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JP2012066328A - Dressing board and dressing board storage case - Google Patents

Dressing board and dressing board storage case Download PDF

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JP2012066328A
JP2012066328A JP2010212351A JP2010212351A JP2012066328A JP 2012066328 A JP2012066328 A JP 2012066328A JP 2010212351 A JP2010212351 A JP 2010212351A JP 2010212351 A JP2010212351 A JP 2010212351A JP 2012066328 A JP2012066328 A JP 2012066328A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dressing board
cutting
dressing
board
cutting blade
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2010212351A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuma Sekiya
一馬 関家
Takahiro Ishii
隆博 石井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Corp filed Critical Disco Corp
Priority to JP2010212351A priority Critical patent/JP2012066328A/en
Priority to CN2011102839741A priority patent/CN102407488A/en
Publication of JP2012066328A publication Critical patent/JP2012066328A/en
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Abstract

【課題】ドレッシングボードの厚みが規格の厚みに対して誤差範囲が大きくても、切削ブレードをドレッシングボードに所定の切り込み深さで切り込むことができるドレッシングボードおよびドレッシングボード収容ケースを提供する。
【解決手段】切削装置に装着される切削ブレードを目立てするためのドレッシングボードであって、所要位置に少なくともドレッシングボードの厚み情報を記録した記録媒体が配設されている。
【選択図】図２The present invention provides a dressing board and a dressing board housing case capable of cutting a cutting blade into a dressing board at a predetermined cutting depth even if the error range of the dressing board is larger than a standard thickness.
A dressing board for concentrating a cutting blade mounted on a cutting apparatus, wherein a recording medium on which at least dressing board thickness information is recorded is disposed at a required position.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を切削する切削ブレードをドレッシングするためのドレッシングボードおよびドレッシングボードを収容するためのドレッシングボード収容ケースに関する。   The present invention relates to a dressing board for dressing a cutting blade for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer and a dressing board housing case for housing the dressing board.

半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。また、セラミックス基板の表面に複数のコンデンサーが形成されたコンデンサーウエーハもストリートに沿って切断することにより個々のコンデンサーに分割され、電気機器に広く利用されている。   In the semiconductor device manufacturing process, a plurality of regions are partitioned by dividing lines called streets arranged in a lattice pattern on the surface of a substantially wafer-shaped semiconductor wafer, and devices such as ICs, LSIs, etc. are partitioned in the partitioned regions. Form. Then, the semiconductor wafer is cut along the streets to divide the region in which the device is formed to manufacture individual semiconductor devices. In addition, a capacitor wafer in which a plurality of capacitors are formed on the surface of a ceramic substrate is also divided into individual capacitors by cutting along the streets, and is widely used in electrical equipment.

上述したウエーハのストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと呼ばれる切削装置によって行われている。この切削装置は、ウエーハ等の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる切削送り手段とを具備している。切削手段は、回転スピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードおよび回転スピンドルを回転駆動する駆動機構を備えたスピンドルユニットを含んでいる。このような切削装置に用いられる切削ブレードとしては、一般にアルミニウム等によって形成された基台の側面に、ダイヤモンド等からなる砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレードが用いられている。   The above-described cutting along the wafer street is usually performed by a cutting device called a dicer. This cutting apparatus includes a chuck table for holding a workpiece such as a wafer, a cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table, and a cutting for relatively moving the chuck table and the cutting means. And feeding means. The cutting means includes a spindle unit having a rotary spindle, a cutting blade mounted on the spindle, and a drive mechanism for driving the rotary spindle to rotate. As a cutting blade used in such a cutting apparatus, an electroforming blade is generally used in which abrasive grains made of diamond or the like are bonded to a side surface of a base made of aluminum or the like by metal plating such as nickel.

しかるに、切削ブレードが目詰まりしたり、目つぶれして切削能力が低下することから、切削ブレードの外周を目立てするためにドレッシングを実施している。また、切削ブレードは切削を継続すると外周が先細りとなり、この状態で切削を続行するとチップの側面の形状精度を悪化させるという問題がある。このため、定期的に切削ブレードの外周を修正する外形修正ドレッシングを実施している。（例えば、特許文献１参照。）   However, since the cutting blade is clogged or clogged and the cutting ability is reduced, dressing is performed to make the outer periphery of the cutting blade stand out. Further, the cutting blade has a problem that the outer periphery becomes tapered when cutting is continued, and the shape accuracy of the side surface of the chip is deteriorated when cutting is continued in this state. For this reason, the external shape correction dressing which corrects the outer periphery of a cutting blade regularly is implemented. (For example, refer to Patent Document 1.)

特開２００６−２１８５７１号公報JP 2006-218571 A

而して、切削ブレードを適正に目立てするには、切削ブレードをドレッシングボードに切り込む切り込み深さが重要である。切削ブレードの切り込み深さは、ドレッシングボードを保持するテーブルの保持面に切削ブレードの外周縁が接触した位置（原点位置）を基準として設定されているため、ドレッシングボードは所定の厚みに設定され、規格の厚み（例えば１mm）に対して±数μmの誤差範囲に収まるように高精度に製作することが要求される。しかるに、ダイヤモンド砥粒をレジンボンドで結合して形成するドレッシングボードを上述したような高精度に製作するには生産性が悪く、コスト高になるという問題がある。   Thus, in order to properly set the cutting blade, the depth of cutting at which the cutting blade is cut into the dressing board is important. The cutting depth of the cutting blade is set with reference to the position (origin position) where the outer peripheral edge of the cutting blade is in contact with the holding surface of the table holding the dressing board, so the dressing board is set to a predetermined thickness, It is required to manufacture with high accuracy so as to be within an error range of ± several μm with respect to a standard thickness (for example, 1 mm). However, in order to manufacture a dressing board formed by bonding diamond abrasive grains with a resin bond with high accuracy as described above, there is a problem that productivity is low and cost is high.

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、ドレッシングボードの厚みが規格の厚みに対して誤差が大きくても、切削ブレードをドレッシングボードに所定の切り込み深さで切り込むことができるドレッシングボードおよびドレッシングボード収容ケースを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above facts, and the main technical problem thereof is that even if the dressing board has a large error with respect to the standard thickness, the cutting blade is inserted into the dressing board at a predetermined cutting depth. An object of the present invention is to provide a dressing board that can be cut and a dressing board storage case.

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、切削装置に装着される切削ブレードを目立てするためのドレッシングボードであって、
所要位置に少なくともドレッシングボードの厚み情報を記録した記録媒体が配設されている、
ことを特徴とするドレッシングボードが提供される。 In order to solve the main technical problem, according to the present invention, a dressing board for conspicuous cutting blades mounted on a cutting device,
A recording medium that records at least the thickness information of the dressing board is disposed at a required position.
A dressing board is provided.

また、本発明によれば、切削装置に装着される切削ブレードを目立てするためのドレッシングボードを収容するドレッシングボード収容ケースであって、
所要位置に収容されるドレッシングボードの少なくとも厚み情報を記録した記録媒体が配設されている、
ことを特徴とするドレッシングボード収容ケースが提供される。 Moreover, according to the present invention, there is a dressing board housing case for housing a dressing board for conspicuous cutting blades attached to a cutting device,
A recording medium that records at least thickness information of the dressing board accommodated in a required position is disposed,
There is provided a dressing board storage case characterized by the above.

本発明によるドレッシングボードは、少なくともドレッシングボードの厚み情報を記録した記録媒体が配設されているので、記録媒体に記録されたドレッシングボードの厚み情報を読み取り切削装置に装備された制御手段のメモリーに記憶させることができる。従って、ドレッシングボードの厚みが許容誤差範囲でなくても、制御手段のメモリーに記憶されドレッシングボードの厚み情報に基づいて、切削ブレードをドレッシングボードに対して適正な切り込み深さに位置付けることができる。
また、本発明によるドレッシングボード収容ケースは、収容されるドレッシングボードの少なくとも厚み情報を記録した記録媒体が配設されているので、記録媒体に記録されたドレッシングボードの厚み情報を読み取り切削装置に装備された制御手段のメモリーに記憶させることができる。従って、ドレッシングボードの厚みが許容誤差範囲でなくても、制御手段のメモリーに記憶されドレッシングボードの厚み情報に基づいて、切削ブレードをドレッシングボードに対して適正な切り込み深さに位置付けることができる。 Since the dressing board according to the present invention is provided with at least a recording medium on which the dressing board thickness information is recorded, the dressing board thickness information recorded on the recording medium is read into the memory of the control means provided in the cutting device. It can be memorized. Therefore, even if the thickness of the dressing board is not within the allowable error range, the cutting blade can be positioned at an appropriate cutting depth with respect to the dressing board based on the dressing board thickness information stored in the memory of the control means.
Also, the dressing board storage case according to the present invention is provided with a recording medium that records at least the thickness information of the dressing board to be stored, and therefore reads the thickness information of the dressing board recorded on the recording medium and equips the cutting device. Can be stored in the memory of the control means. Therefore, even if the thickness of the dressing board is not within the allowable error range, the cutting blade can be positioned at an appropriate cutting depth with respect to the dressing board based on the dressing board thickness information stored in the memory of the control means.

本発明に従って構成されたドレッシングボードを用いてドレッシングされる切削ブレードを装備した切削装置の斜視図。The perspective view of the cutting device equipped with the cutting blade dressed using the dressing board comprised according to this invention. 本発明に従って構成されたドレッシングボードの斜視図。1 is a perspective view of a dressing board constructed in accordance with the present invention. 図１に示す切削装置によって実施するバーコード読み取り工程の説明図。Explanatory drawing of the barcode reading process implemented with the cutting device shown in FIG. 図１に示す切削装置によって実施する切り込み送り工程の説明図。Explanatory drawing of the cutting feed process implemented with the cutting device shown in FIG. 本発明に従って構成されたドレッシングボード収容ケースおよびドレッシングボードの斜視図。The perspective view of the dressing board accommodation case and dressing board comprised according to this invention.

以下、本発明に従って構成されたドレッシングボードおよびドレッシングボード収容ケースの好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of a dressing board and a dressing board storage case configured according to the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

図１には、本発明に従って構成されたドレッシングボードを用いてドレッシングされる切削ブレードを装備した切削装置の斜視図が示されている。図示の実施形態における切削装置は、略直方体状の装置ハウジング２を具備している。この装置ハウジング２内には、カバーテーブル３と、被加工物を保持するチャックテーブル４が切削送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動可能に配設されている。カバーテーブル３は中央に開口３１を備えており、この開口３１を嵌挿してチャックテーブル４が回転可能に配設される。チャックテーブル４は、上面に吸着チャック４１が配設されており、該吸着チャック４１の上面である保持面上に被加工物を図示しない吸引手段を作動することによって吸引保持するようになっている。また、チャックテーブル４は、図示しない回転機構によって回転可能に構成されている。このように構成されたカバーテーブル３およびチャックテーブル４は、図示しない切削送り手段によって、矢印Ｘで示す切削送り方向に移動せしめられるようになっている。   FIG. 1 shows a perspective view of a cutting device equipped with a cutting blade to be dressed using a dressing board constructed according to the present invention. The cutting device in the illustrated embodiment includes a device housing 2 having a substantially rectangular parallelepiped shape. In the apparatus housing 2, a cover table 3 and a chuck table 4 for holding a workpiece are disposed so as to be movable in a direction indicated by an arrow X that is a cutting feed direction. The cover table 3 is provided with an opening 31 in the center, and the chuck table 4 is rotatably disposed by inserting the opening 31. The chuck table 4 is provided with a suction chuck 41 on the upper surface, and sucks and holds a workpiece on a holding surface which is the upper surface of the suction chuck 41 by operating a suction means (not shown). . The chuck table 4 is configured to be rotatable by a rotation mechanism (not shown). The cover table 3 and the chuck table 4 configured as described above are moved in a cutting feed direction indicated by an arrow X by a cutting feed means (not shown).

上記カバーテーブル３には、後述する切削ブレードをドレッシングするためのドレッシングボードを保持する保持テーブル５が配設されている。この保持テーブル５は矩形状に形成され、チャックテーブル４の後述するスピンドルユニット６側に配設される。なお、保持テーブル５は、保持面である上面５aに載置された後述するドレッシングボードを図示しない吸引手段を作動することにより吸引保持するようになっている。   The cover table 3 is provided with a holding table 5 for holding a dressing board for dressing a cutting blade described later. The holding table 5 is formed in a rectangular shape and is disposed on the side of a spindle unit 6 described later of the chuck table 4. The holding table 5 sucks and holds a dressing board, which will be described later, placed on the upper surface 5a, which is a holding surface, by operating suction means (not shown).

切削手段としてのスピンドルユニット６は、図示しない移動基台に装着され割り出し方向である矢印Ｙで示す方向および切り込み方向である矢印Ｚで示す方向に移動調整されるスピンドルハウジング６１と、該スピンドルハウジング６１に回転自在に支持された回転スピンドル６２と、該回転スピンドル６２の前端部に装着された切削ブレード６３とを具備している。この切削ブレード６３は、アルミニウム等によって形成された基台の側面に砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレードが用いられている。このように構成された切削手段としてのスピンドルユニット６は、図示しない割り出し送り手段によって図１において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられるとともに、図示しない切り込み送り手段によって図１において矢印Ｚで示す切り込み送り方向に移動せしめられるようになっている。   The spindle unit 6 serving as a cutting means is mounted on a moving base (not shown) and is adjusted to move in the direction indicated by the arrow Y as the indexing direction and the direction indicated by the arrow Z as the cutting direction, and the spindle housing 61 The rotary spindle 62 is rotatably supported by the rotary spindle 62, and the cutting blade 63 is attached to the front end of the rotary spindle 62. The cutting blade 63 is an electroforming blade in which abrasive grains are bonded to the side surface of a base formed of aluminum or the like by metal plating such as nickel. The spindle unit 6 as the cutting means constructed as described above is moved in the index feed direction indicated by the arrow Y in FIG. 1 by the index feed means (not shown) and is indicated by the arrow Z in FIG. 1 by the notch feed means (not shown). It can be moved in the cutting feed direction.

図示の実施形態における切削装置は、上記チャックテーブル４上に保持された被加工物の表面を撮像し、上記切削ブレード６３によって切削すべき領域を検出するためのアライメント手段７を具備している。このアライメント手段７は、顕微鏡やＣＣＤカメラ等の光学手段からなる撮像手段を具備しており、撮像した画像情報を制御手段９に送る。また、図示の実施形態における切削装置は、上記保持テーブル５に保持された後述するドレッシングボードに配設された記録媒体に記録された情報を読み取るための読み取り手段としてのバーコードリーダー８を具備している。このバーコードリーダー８は、読み取った情報を制御手段９に送る。   The cutting apparatus in the illustrated embodiment includes an alignment means 7 for imaging the surface of the workpiece held on the chuck table 4 and detecting a region to be cut by the cutting blade 63. The alignment unit 7 includes an imaging unit including an optical unit such as a microscope and a CCD camera, and sends the captured image information to the control unit 9. In addition, the cutting apparatus in the illustrated embodiment includes a barcode reader 8 as a reading unit for reading information recorded on a recording medium disposed on a dressing board (described later) held on the holding table 5. ing. The barcode reader 8 sends the read information to the control means 9.

上記装置ハウジング２におけるカセット載置領域１１aには、被加工物を収容するカセットを載置するカセット載置テーブル１１が配設されている。このカセット載置テーブル１１は、図示しない昇降手段によって上下方向に移動可能に構成されている。カセット載置テーブル１１上には、被加工物を収容するカセット１２が載置される。また、装置ハウジング２には、カセット載置テーブル１１上に載置されたカセット１２に収容されている被加工物を仮置きテーブル１３に搬出する搬出手段１４と、仮置きテーブル１３に搬出された被加工物を上記チャックテーブル４上に搬送する第１の搬送手段１５と、チャックテーブル４上で切削加工された被加工物を洗浄する洗浄手段１６と、チャックテーブル４上で切削加工された被加工物を洗浄手段１６へ搬送する第２の搬送手段１７を具備している。   In the cassette mounting area 11a of the apparatus housing 2, a cassette mounting table 11 for mounting a cassette for storing a workpiece is disposed. The cassette mounting table 11 is configured to be movable in the vertical direction by a lifting means (not shown). On the cassette mounting table 11, a cassette 12 for storing a workpiece is placed. Further, in the apparatus housing 2, unloading means 14 for unloading the workpieces stored in the cassette 12 placed on the cassette placing table 11 to the temporary placing table 13, and unloading to the temporary placing table 13. First transport means 15 for transporting the workpiece onto the chuck table 4, cleaning means 16 for cleaning the workpiece cut on the chuck table 4, and workpiece cut on the chuck table 4. Second transport means 17 for transporting the workpiece to the cleaning means 16 is provided.

次に、上記切削ブレード６３をドレッシングするためのドレッシングボードについて、図２を参照して説明する。
図２に示すドレッシングボード１０は矩形状に形成され、表面１０aの所要位置（図示の実施形態においては右下の位置）にドレッシングボードに関する情報を記録した記録媒体としてのバーコード１０１が配設されている。ドレッシングボードに関する情報としては、ドレッシングボードの厚み、ドレッシングボードの種類、ドレッシング条件があげられるが、少なくともドレッシングボードの厚みが記録される。このドレッシングボードの厚みは、製作されたドレッシングボードの厚みをマイクロメータ等によって計測し、計測された厚みが書き込まれる。なお、計測されたドレッシングボード１０の厚みは、図示の実施形態に置いては例えば１０４５μmとする。また、記録媒体としては、バーコードの他にICタグを用いることができる。このように構成されたドレッシングボード１０は、上記図１に示す保持テーブル５の保持面である上面５aに載置され、図示しない吸引手段を作動することにより吸引保持される。 Next, a dressing board for dressing the cutting blade 63 will be described with reference to FIG.
The dressing board 10 shown in FIG. 2 is formed in a rectangular shape, and a barcode 101 as a recording medium on which information on the dressing board is recorded is disposed at a required position (a lower right position in the illustrated embodiment) of the surface 10a. ing. The information on the dressing board includes the thickness of the dressing board, the type of dressing board, and the dressing conditions. At least the thickness of the dressing board is recorded. As for the thickness of the dressing board, the thickness of the manufactured dressing board is measured with a micrometer or the like, and the measured thickness is written. Note that the measured thickness of the dressing board 10 is, for example, 1045 μm in the illustrated embodiment. As a recording medium, an IC tag can be used in addition to a barcode. The dressing board 10 thus configured is placed on the upper surface 5a, which is the holding surface of the holding table 5 shown in FIG. 1, and is sucked and held by operating a suction means (not shown).

上述したように保持テーブル５上にドレッシングボード１０を保持したならば、ドレッシングボード１０に配設されたバーコード１０１に記録された情報を制御手段９のメモリー９１に記憶させる作業を実施する。この記憶作業は、図示しない切削送り手段を作動してドレッシングボード１０を保持した保持テーブル５を図３に示すようにバーコードリーダー８の直下に位置付ける。そして、バーコードリーダー８を作動してバーコード１０１に記録された情報を読み取り、読み取った情報を制御手段９に送る（バーコード読み取り工程）。制御手段９は、バーコードリーダー８から送られたドレッシングボード１０に関する情報をメモリー９１に記憶させる。このようにして、保持テーブル５に保持されたドレッシングボード１０に関する厚みを含む情報が制御手段９のメモリー９１に記憶されたことになる。また、制御手段９のメモリー９１には、切削ブレード６３をドレッシングする際の切り込み深さ（例えば５０μm）も記憶されている。   As described above, when the dressing board 10 is held on the holding table 5, an operation for storing the information recorded in the barcode 101 disposed on the dressing board 10 in the memory 91 of the control means 9 is performed. In this storing operation, the holding table 5 holding the dressing board 10 by operating a cutting feed means (not shown) is positioned immediately below the barcode reader 8 as shown in FIG. Then, the bar code reader 8 is operated to read the information recorded on the bar code 101, and the read information is sent to the control means 9 (bar code reading process). The control means 9 stores information on the dressing board 10 sent from the barcode reader 8 in the memory 91. In this way, information including the thickness related to the dressing board 10 held on the holding table 5 is stored in the memory 91 of the control means 9. The memory 91 of the control means 9 also stores the cutting depth (for example, 50 μm) when dressing the cutting blade 63.

次に、制御手段９のメモリー９１に記憶された保持テーブル５に保持されたドレッシングボード１０の厚みに基づいて、上記切削ブレード６３をドレッシングする方法について図４を参照して説明する。
保持テーブル５に保持されたドレッシングボード１０を用いて切削ブレード６３をドレッシングするには、図示しない切削送り手段を作動してドレッシングボード１０を保持した保持テーブル５を切削作業領域に移動し、図４に示すようにドレッシングボード１０の図において左端を切削ブレード６３の直下より僅かに右側に位置付ける。そして、図示しない切り込み送り手段を作動して切削ブレード６３の外周縁の下端がドレッシングボード１０の表面１０aから所定の深さ(d)（図示の実施形態においては５０μm）の切り込み深さ位置に位置付ける。このとき、ドレッシングボード１０の厚みが図示の実施形態においては１０４５μmに製作されていることが制御手段９のメモリー９１に記憶されているので、制御手段９は切削ブレード６３の外周縁の下端が保持テーブル５の保持面である上面５aに接触する原点位置から９９５μm上方位置に位置付けることにより、切削ブレード６３の外周縁の下端がドレッシングボード１０の表面１０aから５０μmの切り込み深さ位置に位置付けることができる（切り込み送り工程）。このように、制御手段９のメモリー９１に記憶された保持テーブル５に保持されたドレッシングボード１０の厚み情報に基づいて切削ブレード６３を切り込み深さ位置に位置付けるので、ドレッシングボード１０の厚みが許容誤差範囲でなくても、切削ブレード６３を適正な切り込み深さ位置に位置付けることができる。 Next, a method of dressing the cutting blade 63 based on the thickness of the dressing board 10 held on the holding table 5 stored in the memory 91 of the control means 9 will be described with reference to FIG.
To dress the cutting blade 63 using the dressing board 10 held on the holding table 5, the cutting feed means (not shown) is operated to move the holding table 5 holding the dressing board 10 to the cutting work area. As shown, the left end of the dressing board 10 is positioned slightly to the right of the cutting blade 63 directly below. Then, the notch feeding means (not shown) is operated so that the lower end of the outer peripheral edge of the cutting blade 63 is positioned at the notch depth position of a predetermined depth (d) (50 μm in the illustrated embodiment) from the surface 10a of the dressing board 10. . At this time, since the memory 91 of the control means 9 stores that the dressing board 10 has a thickness of 1045 μm in the illustrated embodiment, the control means 9 holds the lower end of the outer peripheral edge of the cutting blade 63. By positioning the lower end of the outer peripheral edge of the cutting blade 63 at a depth of 50 μm from the surface 10 a of the dressing board 10 by positioning the upper end 595 from the origin position contacting the upper surface 5 a that is the holding surface of the table 5. (Cutting feed process). Thus, since the cutting blade 63 is positioned at the cutting depth position based on the thickness information of the dressing board 10 held in the holding table 5 stored in the memory 91 of the control means 9, the thickness of the dressing board 10 has an allowable error. Even if it is not within the range, the cutting blade 63 can be positioned at an appropriate cutting depth position.

上述した切り込み送り工程を実施したならば、切削ブレード６３を矢印６３aで示す方向に回転しつつ図示しない切削送り手段を作動してドレッシングボード１０を保持した保持テーブル５を図４において矢印X1で示す方向に所定の送り速度で移動する。この結果、切削ブレード６３は、適正な切り込み深さ（図示の実施形態においては５０μm）でドレッシングボード１０を切削し目立てすることができる。   If the cutting feed process described above is performed, the holding table 5 holding the dressing board 10 by operating the cutting feed means (not shown) while rotating the cutting blade 63 in the direction indicated by the arrow 63a is indicated by the arrow X1 in FIG. Move in the direction at a predetermined feed rate. As a result, the cutting blade 63 can cut and sharpen the dressing board 10 with an appropriate cutting depth (50 μm in the illustrated embodiment).

次に、ドレッシングボードを収容するドレッシングボード収容ケースについて、図５の(a)および(b)を参照して説明する。
図５の(a)および(b)に示すドレッシングボード収容ケース２０は、矩形状の一辺に開放部２０１aが形成されて袋状に構成された収容部２０１と、該収容部２０１の開放端に設けられた蓋部２０２とからなっている。このように構成されたドレッシングボード収容ケース２０には、所要位置（図示の実施形態においては収容部２０１の表面右下の位置）にドレッシングボード１００に関する情報を記録した記録媒体としてのバーコード１０１が配設されている。ドレッシングボード１００に関する情報としては、上記ドレッシングボード１０と同様にドレッシングボードの厚み、ドレッシングボードの種類、ドレッシング条件があげられるが、少なくともドレッシングボードの厚みが記録される。ドレッシングボード１００の厚みは、製作されたドレッシングボードの厚みを計測し、計測された厚みがバーコード１０１として書き込まれる。このように構成されたドレッシングボード収容ケース２０には、ドレッシングボード１００が開放部２０１aから収容部２０１に収容され蓋部２０２によって封印される。従って、図５の(a)および(b)に示すドレッシングボード収容ケース２０を用いる場合には、ドレッシングボード１００にドレッシングボードに関する情報の記録媒体を配設する必要はない。 Next, a dressing board housing case for housing the dressing board will be described with reference to FIGS. 5 (a) and 5 (b).
The dressing board storage case 20 shown in FIGS. 5 (a) and 5 (b) includes a storage portion 201 having an open portion 201a formed on one side of a rectangular shape and configured in a bag shape, and an open end of the storage portion 201. The lid portion 202 is provided. The dressing board storage case 20 configured in this manner has a barcode 101 as a recording medium in which information about the dressing board 100 is recorded at a required position (in the illustrated embodiment, a position on the lower right of the surface of the storage unit 201). It is arranged. Information on the dressing board 100 includes the thickness of the dressing board, the type of dressing board, and the dressing conditions as in the case of the dressing board 10, but at least the thickness of the dressing board is recorded. As the thickness of the dressing board 100, the thickness of the manufactured dressing board is measured, and the measured thickness is written as the barcode 101. In the dressing board housing case 20 configured as described above, the dressing board 100 is housed in the housing portion 201 from the opening portion 201 a and sealed by the lid portion 202. Therefore, when the dressing board storage case 20 shown in FIGS. 5A and 5B is used, it is not necessary to arrange a recording medium for information on the dressing board on the dressing board 100.

上述したドレッシングボード収容ケース２０に収容されたドレッシングボード１００を上記保持テーブル５に保持する場合には、ドレッシングボード収容ケース２０に配設されたバーコード１０１を上記バーコードリーダー８の下方に位置付けて読み取るか、上記制御手段９に接続された図示しない携帯用のバーコードリーダーによって読み取り、読み取った情報を制御手段９に送る。この結果、保持テーブル５に保持されたドレッシングボード１００の厚みを含む情報が制御手段９のメモリー９１に記憶される。従って、制御手段９のメモリー９１に記憶されドレッシングボード１００の厚み情報に基づいて、切削ブレード６３を適正な切り込み深さに位置付けることができる。   When the dressing board 100 accommodated in the dressing board accommodation case 20 is held on the holding table 5, the barcode 101 disposed in the dressing board accommodation case 20 is positioned below the barcode reader 8. The information is read or read by a portable barcode reader (not shown) connected to the control means 9 and the read information is sent to the control means 9. As a result, information including the thickness of the dressing board 100 held on the holding table 5 is stored in the memory 91 of the control means 9. Accordingly, the cutting blade 63 can be positioned at an appropriate cutting depth based on the thickness information of the dressing board 100 stored in the memory 91 of the control means 9.

２：装置ハウジング
３：カバーテーブル
４：チャックテーブル
５：保持テーブル
６：スピンドルユニット
６３：切削ブレード
７：アライメント手段
８：バーコードリーダー
９：制御手段
１０：ドレッシングボード
１０１：バーコード
２０：ドレッシングボード収容ケース 2: Device housing 3: Cover table 4: Chuck table 5: Holding table 6: Spindle unit 63: Cutting blade 7: Alignment means 8: Bar code reader 9: Control means 10: Dressing board 101: Bar code 20: Dressing board accommodation Case

Claims (2)

切削装置に装着される切削ブレードを目立てするためのドレッシングボードであって、
所要位置に少なくともドレッシングボードの厚み情報を記録した記録媒体が配設されている、
ことを特徴とするドレッシングボード。 A dressing board for conspicuous cutting blades attached to a cutting device,
A recording medium that records at least the thickness information of the dressing board is disposed at a required position.
A dressing board characterized by that. 切削装置に装着される切削ブレードを目立てするためのドレッシングボードを収容するドレッシングボード収容ケースであって、
所要位置に収容されるドレッシングボードの少なくとも厚み情報を記録した記録媒体が配設されている、
ことを特徴とするドレッシングボード収容ケース。 A dressing board housing case for housing a dressing board for conspicuous cutting blades mounted on a cutting device,
A recording medium that records at least thickness information of the dressing board accommodated in a required position is disposed,
A dressing board storage case characterized by that.
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