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JP2011128290A - Light source device, and backlight, exposure device and exposure method using the same - Google Patents

Light source device, and backlight, exposure device and exposure method using the same Download PDF

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JP2011128290A
JP2011128290A JP2009285237A JP2009285237A JP2011128290A JP 2011128290 A JP2011128290 A JP 2011128290A JP 2009285237 A JP2009285237 A JP 2009285237A JP 2009285237 A JP2009285237 A JP 2009285237A JP 2011128290 A JP2011128290 A JP 2011128290A
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JP
Japan
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light source
electrode pad
light
light emitting
substrate
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Application number
JP2009285237A
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Japanese (ja)
Inventor
Susumu Ishida
進 石田
Toshiro Terouchi
俊郎 手呂内
Hidekazu Tezuka
秀和 手塚
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi High Technologies Corp
Hitachi High Tech Corp
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Publication date
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Priority to CN201010594473.0A priority patent/CN102182954B/en
Priority to KR1020100128033A priority patent/KR101319749B1/en
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    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched

Landscapes

  • Led Device Packages (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

【課題】基板の上に発光素子の光軸と光学部品の光軸を正確に位置合わせした光源装置を低コストで実現する。
【解決手段】本発明の光源装置は次のような構成である。基板4は第1の電極パッド411と第2の電極パッド412を有し、発光素子2は、出光面21と第3の電極パッド26を有するパッケージと、前記パッケージの内部に収容された発光素子チップを有し、光学部品は、レンズ部31と台座部32と、台座部32に形成された接合面33を有し、レンズ部31は発光素子2の出光面21を覆っており、基板4に形成された第1の電極パッド411と発光素子2に形成された第3の電極パッド26ははんだ10で接合され、基板4に形成された第2の電極パッド412と光学部品の台座部32に形成された接合面33は、はんだ10によって接合されている。
【選択図】図1
A light source device in which an optical axis of a light emitting element and an optical axis of an optical component are accurately aligned on a substrate is realized at low cost.
The light source device of the present invention has the following configuration. The substrate 4 includes a first electrode pad 411 and a second electrode pad 412, and the light emitting element 2 includes a package having a light emitting surface 21 and a third electrode pad 26, and a light emitting element housed in the package. The optical component includes a lens portion 31, a pedestal portion 32, and a joint surface 33 formed on the pedestal portion 32, and the lens portion 31 covers the light output surface 21 of the light emitting element 2. The first electrode pad 411 formed on the first electrode pad 411 and the third electrode pad 26 formed on the light emitting element 2 are joined by the solder 10, and the second electrode pad 412 formed on the substrate 4 and the pedestal portion 32 of the optical component. The joint surface 33 formed in the above is joined by the solder 10.
[Selection] Figure 1

Description

照明用光源に係り、特にLEDを光源とする光源装置、およびそれを用いた液晶表示装置等のバックライト、露光装置、露光方法に関する。   In particular, the present invention relates to a light source device using an LED as a light source, a backlight such as a liquid crystal display device using the same, an exposure device, and an exposure method.

光源装置に用いられる光源モジュールには、基板上にあるLEDとレンズの間に高精度のアライメントと固定が必要とされる。従来の技術においてアライメントは、基板に固定されたLEDの外形とレンズ部の位置合わせガイドを合わせる方法を用いて、LEDの光軸とレンズの光軸をあわせた後、接着剤やはんだを用いてレンズを固定する方法がとられていた。この方法では、光軸あわせとレンズの固定に多くのタクトとコストが必要となるため生産性の低下、コストアップを招くという不具合があった。   A light source module used in a light source device requires highly accurate alignment and fixing between an LED and a lens on a substrate. In the conventional technology, alignment is performed by aligning the optical axis of the LED and the optical axis of the lens using a method of aligning the outer shape of the LED fixed to the substrate and the alignment guide of the lens unit, and then using an adhesive or solder. The method of fixing the lens was taken. This method has a problem that a lot of tact and cost are required for alignment of the optical axis and fixing of the lens, resulting in a decrease in productivity and an increase in cost.

また、高精度のアライメントを簡単に行なう方法の一例として、「特許文献1」には図12(断面図)、図13(上面図)に示すような光学アセンブリ構成と方法が開示されている。光学サブアセンブリ10は基板4上に形成されたリング状に並ぶはんだボール群100を含んでいる。リング状のはんだボール群100は、オス型スナップ嵌め造作を受容する為のメス型スナップ嵌め造作を形成している。はんだボール群100は基板4上にある円形はんだパッド101上に堆積させられている。   As an example of a method for easily performing high-precision alignment, “Patent Document 1” discloses an optical assembly configuration and method as shown in FIG. 12 (sectional view) and FIG. 13 (top view). The optical subassembly 10 includes a group of solder balls 100 formed on a substrate 4 and arranged in a ring shape. The ring-shaped solder ball group 100 forms a female snap fit feature to accept a male snap fit feature. The solder ball group 100 is deposited on a circular solder pad 101 on the substrate 4.

レンズキャップ102は、ダイ103の上から基板4に取り付けられる。レンズキャップ102は耐熱光学材料など光学材料から作られており、レンズキャップ102は基部104 と円筒外表面105とを持つ中空の円筒形のものであるとしている。基部104 には、その表側にレンズ106 ( 例えばコリメータレンズ) 及び/又はその裏側にレンズ107(例えば収束レンズ)が含まれている。   The lens cap 102 is attached to the substrate 4 from above the die 103. The lens cap 102 is made of an optical material such as a heat-resistant optical material, and the lens cap 102 has a hollow cylindrical shape having a base portion 104 and a cylindrical outer surface 105. The base 104 includes a lens 106 (for example, a collimator lens) on the front side and / or a lens 107 (for example, a converging lens) on the back side.

円筒外表面105は、リング状のはんだボール群100が形成するメス型スナップ嵌め造作によって受容されることになるオス型スナップ嵌め造作を形成している。これらのスナップ嵌め造作により、レンズキャップ102 は基板4上に維持され、レンズ106/107がダイ103へとアライメントされる。レンズキャップ102ははんだボール群100と嵌り合い、外表面105を持たせることが出来るとしている。   The cylindrical outer surface 105 forms a male snap fit feature that will be received by the female snap fit feature formed by the ring-shaped solder ball group 100. With these snap fit features, the lens cap 102 is maintained on the substrate 4 and the lenses 106/107 are aligned to the die 103. The lens cap 102 fits with the solder ball group 100 and can have an outer surface 105.

この特許文献1の光学サブアセンブリ10構造によれば、はんだパッド101はフォトリソグラフィーにより画定される造作であることから、はんだボール100を正確に配置することが出来るとしている。また、個々のはんだボール100の幾何学的中心は、はんだパッド101の幾何学的中心の近くに配置される。更に、複数のハンダボール100をアライメント基準として使用した場合、はんだボールとはんだパッド間の差異を平均化することで、精度よくアライメントできると同時に前記レンズキャップを前記基板上で維持することが出来るとしている。   According to the optical subassembly 10 structure of Patent Document 1, since the solder pad 101 is a structure defined by photolithography, the solder balls 100 can be accurately arranged. Further, the geometric center of each solder ball 100 is arranged near the geometric center of the solder pad 101. Further, when a plurality of solder balls 100 are used as an alignment reference, the difference between the solder balls and the solder pads can be averaged, so that the lens cap can be maintained on the substrate while being able to align with high precision. Yes.

特開2005−321772JP-A-2005-321772

しかし、この構造においては、レンズキャップははんだボール群に嵌め込まれているために基板への固定強度が必ずしも十分ではないという課題がある。この構造において固定強度を向上させる手法として、レンズキャップへの嵌め合う応力を高める方法があるが、その際にレンズキャップが変形するためにレンズの特性が低下したり、レンズキャップが破損するなど信頼性上の問題がある。または、嵌め合う応力の上昇によりはんだボールの球形状からの変形や、レンズキャップの変形によって、正確なアライメントができないという問題が生じる。   However, in this structure, since the lens cap is fitted in the solder ball group, there is a problem that the fixing strength to the substrate is not always sufficient. In this structure, as a method for improving the fixing strength, there is a method of increasing the fitting stress to the lens cap. However, since the lens cap is deformed at that time, the lens characteristics are deteriorated or the lens cap is damaged. There is a sexual problem. Alternatively, there arises a problem that accurate alignment cannot be performed due to deformation of the solder ball from the spherical shape or deformation of the lens cap due to an increase in fitting stress.

本発明は、上記従来問題を解決するもので、発光素子とレンズの光軸合わせを簡単な方法にて行うことができるLED発光装置およびこれを用いたLED光源装置を提供するものである。具体的な手段は次のとおりである。   The present invention solves the above-described conventional problems, and provides an LED light-emitting device capable of aligning the optical axes of a light-emitting element and a lens by a simple method and an LED light source device using the LED light-emitting device. Specific means are as follows.

(1)基板上に発光素子と、光学部品を配置した光源装置であって、前記基板は第1の電極パッドと第2の電極パッドを有し、前記発光素子は、出光面と第3の電極パッドを有するパッケージと、前記パッケージの内部に収容された発光素子チップを有し、前記光学部品は、レンズ部と台座部と、前記台座部に形成された接合面を有し、前記レンズ部は前記発光素子の出光面を覆っており、前記基板に形成された前記第1の電極パッドと前記発光素子に形成された前記第3の電極パッドははんだで接合され、前記基板に形成された前記第2の電極パッドと前記光学部品の前記台座部に形成された前記接合面は、はんだによって接合されていることを特徴とする光源装置。   (1) A light source device in which a light emitting element and an optical component are arranged on a substrate, wherein the substrate has a first electrode pad and a second electrode pad, and the light emitting element has a light emitting surface and a third electrode pad. A package having an electrode pad; and a light emitting element chip housed in the package, wherein the optical component has a lens portion, a pedestal portion, and a joint surface formed on the pedestal portion, and the lens portion Covers the light-emitting surface of the light-emitting element, and the first electrode pad formed on the substrate and the third electrode pad formed on the light-emitting element are bonded to each other by solder and formed on the substrate The light source device, wherein the joining surface formed on the pedestal portion of the second electrode pad and the optical component is joined by solder.

(2)前記はんだで接合された部分における前記第1の電極パッドの面積をSAとし、前記第3の電極パッドの面積をSBとしたとき、SA=SB(1±0.2)であることを特徴とする(1)に記載の光源装置。   (2) SA = SB (1 ± 0.2) where SA is the area of the first electrode pad in the soldered portion and SB is the area of the third electrode pad. (1) The light source device according to (1).

(3)前記はんだで接合された部分における前記第2の電極パッドの面積をSCとし、前記台座前に形成された前記接合面の面積をSDとしたとき、SC=SD(1±0.2)であることを特徴とする(1)に記載の光源装置。   (3) When the area of the second electrode pad in the part joined by the solder is SC and the area of the joint surface formed in front of the base is SD, SC = SD (1 ± 0.2 The light source device according to (1), wherein

(4)前記光学部品において、前記レンズと前記台座部は一体で形成されていることを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の光源装置。   (4) The light source device according to any one of (1) to (3), wherein in the optical component, the lens and the pedestal portion are integrally formed.

(5)前記光学部品において、前記台座部に切り欠き部が形成され、前記切り欠き部に前記レンズがはめ込まれた構造を有することを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載の光源装置。   (5) The optical component according to any one of (1) to (3), wherein the optical part has a structure in which a notch is formed in the pedestal and the lens is fitted in the notch. Light source device.

(6)複数の光源装置を有する光源部と、前記光源部からの光の光路を制御する光学システムと、ワークを載置して、少なくとも一方向に移動可能なテーブルを有する露光装置であって、前記複数の光源装置の各々は、(1)に記載した光源装置によって構成されていることを特徴とする露光装置。   (6) An exposure apparatus having a light source unit having a plurality of light source devices, an optical system for controlling an optical path of light from the light source unit, and a table on which a work is placed and movable in at least one direction. Each of the plurality of light source devices includes the light source device described in (1).

(7)前記光源部における前記複数の光源装置は、水冷ジャケットによって冷却されていることを特徴とする(6)に記載の露光装置。   (7) The exposure apparatus according to (6), wherein the plurality of light source devices in the light source unit are cooled by a water cooling jacket.

(8)露光装置を用いて、感光剤が塗付されたワークをマスクを介して露光する露光方法であって、前記露光装置は、複数の光源装置を有する光源部と、前記光源部からの光の光路を制御する光学システムと、ワークを載置して、少なくとも一方向に移動可能なテーブルを有する露光装置であって、前記複数の光源装置の各々は、請求項1に記載した光源装置によって構成されていることを特徴とする露光方法。   (8) An exposure method in which an exposure apparatus is used to expose a workpiece coated with a photosensitive agent through a mask, the exposure apparatus comprising: a light source unit having a plurality of light source devices; 2. An exposure apparatus having an optical system for controlling an optical path of light and a table on which a work is placed and movable in at least one direction, wherein each of the plurality of light source devices is a light source device according to claim 1. An exposure method comprising:

(9)前記ワークを露光する露光工程の時間をt1とし、前記露光工程において、前記複数の光源装置の発光時間をt2としたとき、t2<t1であることを特徴とする(8)に記載の露光方法。   (9) The time of the exposure process for exposing the workpiece is t1, and in the exposure process, the light emission time of the plurality of light source devices is t2, and t2 <t1. Exposure method.

(10)基板上に発光素子と、前記発光素子と光学部品を配置したバックライトであって、前記基板は第1の電極パッドと第2の電極パッドを有し、前記発光素子は、出光面と第3の電極パッドを有するパッケージと、前記パッケージの内部に収容された発光素子チップを有し、前記光学部品は、導光板と台座部と、前記台座部に形成された接合面を有し、前記導光板の側面は、前記発光素子の前記出光面と対向しており、前記導光板の主面から光を出射し、前記基板に形成された前記第1の電極パッドと前記発光素子に形成された前記第3の電極パッドははんだで接合され、前記基板に形成された前記第2の電極パッドと前記光学部品の前記台座部に形成された前記接合面は、はんだによって接合されていることを特徴とするバックライト。   (10) A backlight in which a light emitting element, and the light emitting element and an optical component are arranged on a substrate, the substrate having a first electrode pad and a second electrode pad, and the light emitting element has a light emitting surface And a package having a third electrode pad, and a light emitting element chip accommodated in the package, and the optical component has a light guide plate, a pedestal portion, and a joint surface formed on the pedestal portion. The side surface of the light guide plate is opposed to the light output surface of the light emitting element, emits light from the main surface of the light guide plate, and is applied to the first electrode pad and the light emitting element formed on the substrate. The formed third electrode pad is bonded by solder, and the second electrode pad formed on the substrate and the bonding surface formed on the pedestal portion of the optical component are bonded by solder. Backlight characterized by

本発明によれば、LED等の発光素子の光軸とレンズ等の光学部品の光軸を容易にかつ精度よくあわせることが出来、高性能の光源装置を安価に製作することが出来る。   According to the present invention, the optical axis of a light emitting element such as an LED can be easily aligned with the optical axis of an optical component such as a lens, and a high-performance light source device can be manufactured at low cost.

また、製造工程においては、従来のはんだリフロー工程を用いて基板上にLED等の発光素子および光学部品を共に実装が可能であるため、新たな製造設備を導入する必要がない。このため製造コストを抑制することができる。   In the manufacturing process, since a light emitting element such as an LED and an optical component can be mounted on the substrate using a conventional solder reflow process, it is not necessary to introduce new manufacturing equipment. For this reason, manufacturing cost can be suppressed.

さらに、光学部品とLED等の発光素子は同時にリフロー工程にて基板への取り付けが可能であるため製造時間の大幅な短縮となる。さらに、基板上に多数のLED等の発光素子および光学部品を実装する際においても一括してはんだリフロー工程を通すことにより、光軸あわせができるために軸合わせに要する時間を大幅に短縮することが可能である。   Furthermore, since the optical component and the light emitting element such as LED can be attached to the substrate at the same time in the reflow process, the manufacturing time is greatly reduced. Furthermore, when mounting many light emitting elements such as LEDs and optical components on a substrate, the time required for alignment is greatly reduced because the optical axis alignment can be performed by collectively performing the solder reflow process. Is possible.

本発明のLED光源装置の実施例1における構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structural example in Example 1 of the LED light source device of this invention. 実施例1におけるLED2の斜視図である。1 is a perspective view of an LED 2 in Example 1. FIG. 実施例1における光学部品3の断面図である。2 is a cross-sectional view of an optical component 3 in Example 1. FIG. 実施例1における光学部品3の上面視図である。2 is a top view of the optical component 3 in Embodiment 1. FIG. 本発明の実施例1の接合部の説明図である。It is explanatory drawing of the junction part of Example 1 of this invention. 本発明のLED光源装置の実施例2における構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structural example in Example 2 of the LED light source device of this invention. 実施例2における構成例を示す上面図である。6 is a top view illustrating a configuration example in Embodiment 2. FIG. 本発明のLED光源装置の実施例3における構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structural example in Example 3 of the LED light source device of this invention. 本発明の実施例4を示す露光機装置の全体図である。It is a general view of the exposure apparatus which shows Example 4 of this invention. 本発明の実施例4を示す露光機装置の露光条件である。It is exposure conditions of the exposure apparatus which shows Example 4 of this invention. 従来のLEDバックライトモジュールの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the conventional LED backlight module. 従来のLED光源装置における他の構成を示す上面図である。It is a top view which shows the other structure in the conventional LED light source device.

以下に、本発明の光源装置、この光源装置を用いた、バックライト装置、露光装置および露光方法について実施例を用いて詳細に説明する。   Hereinafter, a light source device of the present invention, a backlight device, an exposure device, and an exposure method using the light source device will be described in detail using embodiments.

図1は、本発明のLED光源装置の実施例1における構成例を示す断面図である。図1において、このLED光源装置1は、発光素子としてのLED2と、このLED2の出光面21の上部を覆うように配置されたレンズ機能を有したレンズ部31と上記基板にはんだによって接続する接合面33を有した台座部32によって構成された光学部品3と、LED2の下面にあって、はんだ10を介して接合された基板4とを備えている。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration example in Embodiment 1 of the LED light source device of the present invention. In FIG. 1, this LED light source device 1 includes an LED 2 as a light emitting element, a lens portion 31 having a lens function arranged so as to cover an upper part of a light emitting surface 21 of the LED 2, and a joint connected to the substrate by soldering. The optical component 3 is constituted by a pedestal portion 32 having a surface 33, and the substrate 4 is provided on the lower surface of the LED 2 and joined via the solder 10.

図2はLED2の斜視図を示す。LED2は、250nm〜430nmの紫外光を発光する0.3mm〜2mm角のサイズのLED素子チップ22がパッケージ内に収容されているものである。パッケージ24は、セラミックまたはモールド樹脂によって作られ、0.5mm〜20mm角の大きさであり、内側に凹部がありその底面にLED素子チップ22が、はんだや接着剤によって固定されている。LED素子チップ22にはAu接続ワイア23を通してパッケージ24に設置された配線パターン25と接続されている。パッケージ24の出光面は、透明ガラスにて覆われており、ハーメチックシールがなされている。   FIG. 2 shows a perspective view of the LED 2. The LED 2 is a package in which an LED element chip 22 having a size of 0.3 mm to 2 mm square that emits ultraviolet light of 250 nm to 430 nm is accommodated in a package. The package 24 is made of ceramic or mold resin, has a size of 0.5 mm to 20 mm square, has a concave portion inside, and the LED element chip 22 is fixed to the bottom surface thereof by solder or adhesive. The LED element chip 22 is connected to a wiring pattern 25 installed in a package 24 through an Au connection wire 23. The light outgoing surface of the package 24 is covered with transparent glass and hermetically sealed.

パッケージ24の裏面には、たとえばスルーホールなどにより配線パターン25に電気的に接続されたLED側電極パッド26を有している。パッケージの裏面に形成されたLED側電極パッド26の1個の大きさは、例えば、図2において、x1=1mm、y1=6mmである。   On the back surface of the package 24, for example, LED side electrode pads 26 electrically connected to the wiring pattern 25 by through holes or the like are provided. The size of one LED side electrode pad 26 formed on the back surface of the package is, for example, x1 = 1 mm and y1 = 6 mm in FIG.

電極パッド26は配線パターン25と電気的に接続していないものもある。これはLED素子チップ22にて発生した熱を効率よく逃がす目的で設置した所謂ヒートスプレッタ目的で設置したものである。   Some electrode pads 26 are not electrically connected to the wiring pattern 25. This is installed for the purpose of so-called heat spreader installed for the purpose of efficiently releasing the heat generated in the LED element chip 22.

図2には紫外発光のLEDの例を示したが、可視光発光、赤外発光のLEDにおいても図2同様の構造をとることが可能である。パッケージ24の凹部には、シリコーン、エポキシ、アクリルなどの透明樹脂が封入されている場合もある。   Although FIG. 2 shows an example of an ultraviolet light emitting LED, a visible light emitting and infrared light emitting LED can have the same structure as FIG. A transparent resin such as silicone, epoxy, or acrylic may be sealed in the recess of the package 24.

本実施例では、LED素子チップ22と配線パターン25との電気接合をAu接続ワイア23を用いている例を示したがが、LED素子チップ22の電極面がパッケージ側に向けられた、いわゆる、フリップチップ型のLED素子チップ22の場合もある。   In the present embodiment, an example in which the Au connection wire 23 is used for the electrical connection between the LED element chip 22 and the wiring pattern 25 is shown, but the electrode surface of the LED element chip 22 is directed to the package side, so-called In some cases, the flip chip type LED element chip 22 may be used.

図3において光学部品3の断面図を、図4に光学部品3の上面視図を示す。図3は図4のA−A断面図となっている。光学部品3は、ガラスやシリコーン、アクリル、エポキシなどの透明樹脂の透明材料から成り立っている。透明材料とは、LED素子の発光波長に対して、透過率が50%以上の材料を指す。したがって、LED素子の発光波長によって透明である材料は異なるため、上記例を示した材料を光学部品として用いることが可能である。   3 is a sectional view of the optical component 3, and FIG. 4 is a top view of the optical component 3. As shown in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. The optical component 3 is made of a transparent material made of a transparent resin such as glass, silicone, acrylic, or epoxy. The transparent material refers to a material having a transmittance of 50% or more with respect to the emission wavelength of the LED element. Therefore, since the transparent material differs depending on the emission wavelength of the LED element, the material shown in the above example can be used as an optical component.

光学部品3はレンズ機能を有したレンズ部31とレンズ部31を支える4本の台座部32、基板4と接合する接合部33によって構成されている。光学部品3は、レンズ部31と台座部32が同時にモールド成型によって作製されているものである。台座部32の端部は、めっき、蒸着、スパッタなど、成膜手段によって厚さ0.1μm以上のはんだ接合が可能な金属(Ni、Ti、Pt、Pd、Au、Ag、Sn、Cu)などにて覆われた接合面33を有している。本実施例では台座部32の支柱の本数は4本の場合を例示したが、支柱本数はこの限りではない。ただし、支柱は、上面視図において対称性の高い位置に配置されていることが好ましい。   The optical component 3 includes a lens portion 31 having a lens function, four pedestal portions 32 that support the lens portion 31, and a joint portion 33 that joins the substrate 4. In the optical component 3, the lens portion 31 and the pedestal portion 32 are simultaneously manufactured by molding. The end of the pedestal 32 is made of a metal (Ni, Ti, Pt, Pd, Au, Ag, Sn, Cu) that can be soldered to a thickness of 0.1 μm or more by plating means, such as plating, vapor deposition, or sputtering. It has the joint surface 33 covered. In the present embodiment, the number of support columns of the pedestal portion 32 is exemplified as four, but the number of support columns is not limited to this. However, it is preferable that the support columns are arranged at highly symmetrical positions in the top view.

基板4は、ガラスエポキシ、メタル(Cu、Al、Fe) 、ポリイミドなどの基材の複数層によって構成されており、基板表面には配線のほかに、LED電極パッド26が配置される位置に基板電極パッド411を有し、さらに光学部品3の接合面33が搭載固定される位置に基板電極パッド412を有している。基板4に設けられた基板はんだパッド411や412は、フォトリソグラフィ工法により作製されているために10μm程度の位置精度にて作成することが可能である。   The substrate 4 is composed of a plurality of layers of base materials such as glass epoxy, metal (Cu, Al, Fe), and polyimide, and the substrate surface has a substrate at a position where the LED electrode pad 26 is arranged in addition to the wiring. The electrode pad 411 is provided, and the substrate electrode pad 412 is provided at a position where the bonding surface 33 of the optical component 3 is mounted and fixed. The board solder pads 411 and 412 provided on the board 4 can be formed with a positional accuracy of about 10 μm because they are manufactured by a photolithography method.

図5は本発明の第1の実施例に係る光素子の位置合わせ方法を説明するための接合部の説明図で、LED光源装置を構成する基板とLEDの光軸とレンズ部の光軸との光軸合わせを高精度に実現するための一構成例を示すものである。   FIG. 5 is an explanatory view of a joint portion for explaining the optical element alignment method according to the first embodiment of the present invention. The substrate constituting the LED light source device, the optical axis of the LED, the optical axis of the lens portion, An example of a configuration for realizing the optical axis alignment with high accuracy is shown.

このLEDの光軸27とレンズ部の光軸34との位置合わせ方法は、基板の各電極パッド26上に、接合用の半田ボール10を介して、LED 側の電極パッド26を接合する際に、溶融した半田ボール10の表面張力を利用して基板側電極パッド411とLED側電極パッド26との位置合わせを行うと同時に、基板側電極パッド412と光学部品3の接合面33との位置合わせをセルフアライメント実装方法にて実施する点が特徴的である。   The alignment method of the optical axis 27 of the LED and the optical axis 34 of the lens unit is as follows. When the electrode pad 26 on the LED side is bonded to each electrode pad 26 of the substrate via the solder ball 10 for bonding. The substrate-side electrode pad 411 and the LED-side electrode pad 26 are aligned using the surface tension of the melted solder ball 10, and at the same time, the substrate-side electrode pad 412 and the bonding surface 33 of the optical component 3 are aligned. It is characteristic that this is implemented by a self-alignment mounting method.

セルフアライメント効果による位置あわせ精度は、基板側電極パッド411の面積(S1)とLED側電極パッド26の面積(S2)の比(S1/S2)が1±0.2以内にであれば、10μmの精度にて位置あわせが可能である。光学部品でのセルフアライメント効果による位置あわせ精度も同様に基板側電極パッド412の面積(S1)と光学部品3の接合面33の面積(S2)との比(S1/S2)についても同様である。   The alignment accuracy by the self-alignment effect is 10 μm if the ratio (S1 / S2) of the area (S1) of the substrate-side electrode pad 411 to the area (S2) of the LED-side electrode pad 26 is within 1 ± 0.2. The position can be adjusted with. Similarly, the alignment accuracy by the self-alignment effect in the optical component is the same for the ratio (S1 / S2) of the area (S1) of the substrate-side electrode pad 412 and the area (S2) of the bonding surface 33 of the optical component 3. .

したがって、LED2の光軸27と光学部品3のレンズ部31の光軸34の位置合わせ精度dは、基板上の電極パッドの位置合わせ精度10μmとはんだボール10のセルフアライメント効果による精度10μmの二乗和平方根から14μmが可能となる。   Therefore, the alignment accuracy d of the optical axis 27 of the LED 2 and the optical axis 34 of the lens portion 31 of the optical component 3 is the sum of squares of the alignment accuracy of the electrode pad on the substrate 10 μm and the accuracy 10 μm due to the self-alignment effect of the solder ball 10. 14 μm from the square root is possible.

製造工程においては、従来のはんだリフロー工程を用いて基板4上にLED2および光学部品3共に実装が可能であるため、新たな製造設備を導入する必要がない。このため製造コストを抑制することができる。   In the manufacturing process, since both the LED 2 and the optical component 3 can be mounted on the substrate 4 using a conventional solder reflow process, it is not necessary to introduce new manufacturing equipment. For this reason, manufacturing cost can be suppressed.

また、光学部品3とLED2は同時にリフロー工程にて基板4への取り付けが可能であるため製造時間の大幅な短縮となる。さらに、基板4上に多数のLED2および光学部品3を実装する際においても一括してはんだリフロー工程を通すことにより、光軸あわせができるために軸合わせに要する時間を大幅に短縮することが可能である。   Further, since the optical component 3 and the LED 2 can be attached to the substrate 4 in the reflow process at the same time, the manufacturing time is greatly reduced. Furthermore, when mounting a large number of LEDs 2 and optical components 3 on the substrate 4, it is possible to significantly reduce the time required for alignment because the optical axis can be aligned by performing a solder reflow process all at once. It is.

なお、本明細書において半田ボールとは、ボール(球)状の半田のみならず、バンプ状、その他、種々の形状の塊状の半田を含むものであり、フリップチップ接合用に使用されるあらゆる形態の半田を含むものである。   In this specification, the solder ball includes not only ball-shaped solder but also bump-shaped solder and other bulk solders in various shapes, and all forms used for flip-chip bonding. The solder is included.

また、この例では、半田ボールを基板4上の電極パッド411、412上に予め固定した例を示したが、LED2 側の電極パッド26上や光学部品3の接合面33に半田ボール10を固定してもよい。   In this example, the solder ball is fixed on the electrode pads 411 and 412 on the substrate 4 in advance. However, the solder ball 10 is fixed on the electrode pad 26 on the LED 2 side and the bonding surface 33 of the optical component 3. May be.

以上の説明では、光学部品3にはレンズ部31が1個存在する場合を示したが、図1に示すレンズ部31の部分にレンズアレイとして複数のレンズ部が形成されている場合も含まれる。   In the above description, the case where there is one lens portion 31 in the optical component 3 is shown, but the case where a plurality of lens portions are formed as a lens array in the portion of the lens portion 31 shown in FIG. 1 is also included. .

図6は、本発明のLED光源装置の第1の実施例における構成例を示す断面図である。図3に示した光学部材3が、石英ガラスなどモールド成型が困難な材料で構成された場合、実施例1に示したような台座32の加工は難しい。このような場合、台座を個別部材として構成する必要がある。   FIG. 6 is a cross-sectional view showing a configuration example in the first embodiment of the LED light source device of the present invention. When the optical member 3 shown in FIG. 3 is made of a material that is difficult to mold, such as quartz glass, it is difficult to process the pedestal 32 as shown in the first embodiment. In such a case, it is necessary to configure the pedestal as an individual member.

本実施例では、光学部品30のレンズ部301が石英または、合成石英など高融点ガラスにて作られ、台座302が、セラミックまたは金属にて構成された例を示す。図6においてレンズ部301は、片側凸レンズを示しているがレンズ形状は、LED光源装置の光学的な制限から設計されるものであるので、片側凸レンズに制限するものではない。   In the present embodiment, an example is shown in which the lens portion 301 of the optical component 30 is made of high melting point glass such as quartz or synthetic quartz, and the pedestal 302 is made of ceramic or metal. In FIG. 6, the lens unit 301 indicates a one-side convex lens, but the lens shape is designed from the optical limitation of the LED light source device, and is not limited to the one-side convex lens.

台座302は、鉄、銅、黄銅、チタン、ニッケル、アルミなどで構成される金属材料か、アルミナ、窒化アルミ、炭化珪素(SiC)などのセラミック、耐熱樹脂などで構成されている。台座302には、 レンズ301を固定するための切り込み部302aと基板4の電極パッド412とはんだ10を介して接合されている接合面33を有している。接合面33は、はんだ10の一部と合金層を形成されることにより接合されている。これにより、台座302は基板4の電極パッド412に固定することができる。   The pedestal 302 is made of a metal material made of iron, copper, brass, titanium, nickel, aluminum, or the like, a ceramic such as alumina, aluminum nitride, or silicon carbide (SiC), or a heat resistant resin. The pedestal 302 has a joint surface 33 that is joined via a notch 302 a for fixing the lens 301, the electrode pad 412 of the substrate 4, and the solder 10. The joint surface 33 is joined to a part of the solder 10 by forming an alloy layer. Thereby, the pedestal 302 can be fixed to the electrode pad 412 of the substrate 4.

次に、レンズ301の台座302への固定方法について述べる。
基板4上に設置された電極パッド411および412には、はんだ印刷工程によって所定量のはんだボールが載せられている。LED2と台座302はマウンタによって所定の位置に仮配置する。
Next, a method for fixing the lens 301 to the pedestal 302 will be described.
A predetermined amount of solder balls are placed on the electrode pads 411 and 412 installed on the substrate 4 by a solder printing process. The LED 2 and the pedestal 302 are temporarily arranged at predetermined positions by a mounter.

さらに、レンズ301を台座302上の切り込み部302aに合わせて仮置きする。
通常のリフロー工程によってはんだボールを溶融し、固化することでセルフアライメント効果によりLED2、台座302の高精度な位置決めを行なうことができる。
Further, the lens 301 is temporarily placed in alignment with the notch 302 a on the pedestal 302.
By melting and solidifying the solder ball by a normal reflow process, the LED 2 and the pedestal 302 can be positioned with high accuracy by a self-alignment effect.

リフロー工程において、はんだの融解温度以上では、ガラスエポキシなどで構成されている基板4は、高温であるために熱膨張によりランド間距離Lが室温でのランド間距離よりも大きくなっている。   In the reflow process, since the temperature of the substrate 4 made of glass epoxy is higher than the melting temperature of the solder, the distance L between lands is larger than the distance between lands at room temperature due to thermal expansion.

基板温度が下がると、はんだが固化して、台座302は基板側電極ランド位置に固定される。基板4の温度低下ともに、熱膨張によって広がっていた基板上のランド間距離Lは小さくなるため、レンズの取り付け距離L2も縮小する。
例えば、ガラスエポキシ基板の場合、ガラスエポキシの線膨張係数は30×10−6/K程度であり、Lが10mmで、リフロー最高温度260℃とした時、室温(20℃)では、75μm程度のLの収縮が起こる。レンズの取り付け距離L2も同様に縮小する。一方、石英ガラスは熱膨張係数は0.4×10−6/Kであるため、リフロー最高温度と室温でのレンズ径10mmのレンズ302の径の変化は1μm程度である。したがって、75μm−1μm=74μmの分、台座302によってレンズ301を締め付ける力が発生することになる。
When the substrate temperature is lowered, the solder is solidified and the pedestal 302 is fixed to the substrate-side electrode land position. As the temperature of the substrate 4 decreases, the distance L between the lands on the substrate that has spread due to thermal expansion decreases, so the lens mounting distance L2 also decreases.
For example, in the case of a glass epoxy substrate, the linear expansion coefficient of glass epoxy is about 30 × 10 −6 / K, and when L is 10 mm and the maximum reflow temperature is 260 ° C., it is about 75 μm at room temperature (20 ° C.). L contraction occurs. The lens mounting distance L2 is similarly reduced. On the other hand, quartz glass has a coefficient of thermal expansion of 0.4 × 10 −6 / K. Therefore, the change in the diameter of the lens 302 having a lens diameter of 10 mm between the maximum reflow temperature and room temperature is about 1 μm. Therefore, a force for tightening the lens 301 by the pedestal 302 is generated by 75 μm−1 μm = 74 μm.

このように、室温では、台座間にレンズが挟み込まれることで固定が可能である。基板は、リフロー温度以上になることはないので、レンズ302が熱膨張によって、位置がずれたり、レンズが取れることはない。   Thus, at room temperature, the lens can be fixed by being sandwiched between the pedestals. Since the substrate never exceeds the reflow temperature, the lens 302 is not displaced or the lens cannot be removed due to thermal expansion.

以上で説明した工程では、光学部品30のレンズ301と台座302の取り付けのために新たな工程を設ける必要がなく、新たな装置の導入の必要もない。また、レンズ301の光軸とLED2の光軸あわせは、実施例1と同様に基板側電極パットとLED2の台座302の電極パットの間にあるはんだボールのセルフアライメント効果により決められるために精度よくあわせることが可能である。   In the process described above, it is not necessary to provide a new process for attaching the lens 301 and the pedestal 302 of the optical component 30, and it is not necessary to introduce a new apparatus. Further, since the optical axis of the lens 301 and the optical axis of the LED 2 are determined by the self-alignment effect of the solder ball between the substrate-side electrode pad and the electrode pad of the LED 2 pedestal 302 as in the first embodiment, it is accurate. It is possible to match.

実施例3では、LEDの出光面が電極パッド面に対して垂直方向の(サイドビューLED)場合である。このようなLED光源装置は、例えば、液晶表示装置のバックライトとして使用することが出来る。図8は、本発明のLED光源装置の実施例3における構成例を示す断面図である。図8においてLED光源装置は、基板4と可視光発光のサイドビュータイプのLED20と光学部材310とを有している。   In Example 3, the light output surface of the LED is perpendicular to the electrode pad surface (side view LED). Such an LED light source device can be used as a backlight of a liquid crystal display device, for example. FIG. 8: is sectional drawing which shows the structural example in Example 3 of the LED light source device of this invention. In FIG. 8, the LED light source device includes a substrate 4, a side view type LED 20 that emits visible light, and an optical member 310.

光学部品310は導光板311と台座部312と接合部313を有している。導光板311は、LED20より発光された光を入射面から内部に光伝播し、一方表面側から光を所定方向に出射する機能を有した面照明用の部材である。   The optical component 310 includes a light guide plate 311, a pedestal portion 312, and a joint portion 313. The light guide plate 311 is a surface illumination member having a function of propagating light emitted from the LEDs 20 from the incident surface to the inside and emitting light from the one surface side in a predetermined direction.

導光板311の光入射面は、LED20からの光の取り込み量が、最大となる方向位置にアライメントする必要がある。図8において、LED20の出光面を導光板311の光入射面側に向けて配置している。導光板の一側面から入射されたLED20からの光は導光板311の上面(主面)から均等に出射される。なお、導光板311の下面には反射層が形成され、LED20から入射した光を導光板311の上面に向ける。   The light incident surface of the light guide plate 311 needs to be aligned at a directional position where the amount of light taken in from the LED 20 is maximized. In FIG. 8, the light output surface of the LED 20 is arranged toward the light incident surface side of the light guide plate 311. The light from the LEDs 20 that is incident from one side of the light guide plate is evenly emitted from the upper surface (main surface) of the light guide plate 311. Note that a reflection layer is formed on the lower surface of the light guide plate 311, and directs light incident from the LED 20 toward the upper surface of the light guide plate 311.

LED20と台座部312に設けられた接合面313は、はんだ10によるセルフアライメント効果によって基板4上に設けられた電極パッド411や412に正確に位置決めされる。台座部312には導光板311の端部を固定するための凹部が設けられており、導光板311はこの凹部に固定されている。これにより、導光板311の光入射面とLED20の光出射面の正確な位置合わせが可能となる。   The bonding surface 313 provided on the LED 20 and the pedestal 312 is accurately positioned on the electrode pads 411 and 412 provided on the substrate 4 by the self-alignment effect by the solder 10. The pedestal 312 is provided with a recess for fixing the end of the light guide plate 311, and the light guide plate 311 is fixed to the recess. Thereby, accurate alignment of the light incident surface of the light guide plate 311 and the light emitting surface of the LED 20 is possible.

図8は、このようにして形成されたバックライトが液晶表示装置のバックライトとして使用された場合を示している。図8において、バックライトの導光板311の上には拡散フィルム等の光学フィルム710が配置され、その上に液晶表示パネル700が配置されている。   FIG. 8 shows a case where the backlight thus formed is used as a backlight of a liquid crystal display device. In FIG. 8, an optical film 710 such as a diffusion film is disposed on a light guide plate 311 of a backlight, and a liquid crystal display panel 700 is disposed thereon.

図9は本発明の実施例4を示す露光機装置の概略構成を示す図である。光を放射する光源部500は、複数の光源装置1Aから構成されており、各光源装置1Aは、発熱を効率よく放熱するために水冷ジャケット501に取り付けられている。各光源装置1Aの接続基板上に設けられた配線はハーネスを通して、電力を供給する点灯電源502に接続されている。光源装置1Aの配置または傾斜角度は、光源装置1Aから発せられた光が、効率よくインテグレータ503に入射できるように設計されている。   FIG. 9 is a view showing the schematic arrangement of an exposure apparatus showing Embodiment 4 of the present invention. The light source unit 500 that emits light is composed of a plurality of light source devices 1A, and each light source device 1A is attached to a water cooling jacket 501 in order to efficiently dissipate heat. The wiring provided on the connection board of each light source device 1A is connected to a lighting power source 502 that supplies power through a harness. The arrangement or inclination angle of the light source device 1A is designed so that light emitted from the light source device 1A can efficiently enter the integrator 503.

インテグレータ503から出射した光は、コリメータミラー504、マスク505を介してレジスト等の感光剤が塗布されたワーク506に照射されマスク505に形成されたパターンがワーク506上の感光剤に露光形成される。テーブル600はワークを載置し、少なくとも一方向に移動可能である。   The light emitted from the integrator 503 is irradiated to a workpiece 506 coated with a photosensitive agent such as a resist through a collimator mirror 504 and a mask 505, and a pattern formed on the mask 505 is exposed and formed on the photosensitive agent on the workpiece 506. . The table 600 mounts a work and can move in at least one direction.

露光時の光源装置への露光条件を図10に示す。図10において、507は露光時間、508は露光していない時間、509は露光工程時間である。露光機における露光工程には、ワークの搬入、所定位置へのワークの固定、マスクとワークとの位置あわせ、露光、ワークの固定解除、ワークの搬出の工程等、露光していない時間508が含まれる。露光工程509は、10〜120秒が必要となるが、実際にワークに光が露光される時間507は、おおよそ1〜10秒である。   The exposure conditions for the light source device during exposure are shown in FIG. In FIG. 10, 507 is an exposure time, 508 is a non-exposure time, and 509 is an exposure process time. The exposure process in the exposure machine includes a time 508 when the workpiece is not exposed, such as loading the workpiece, fixing the workpiece to a predetermined position, aligning the mask and the workpiece, exposing the workpiece, releasing the workpiece, and unloading the workpiece. It is. The exposure process 509 requires 10 to 120 seconds, but the time 507 during which light is actually exposed to the workpiece is approximately 1 to 10 seconds.

従来の水銀ランプ光源を用いた露光機においては、水銀ランプへの通電直後においては、ランプの温度が変動するために出射光度が安定しない。ランプの温度が安定するまで30分程度必要である。したがって、従来の露光工程では、出射光度を安定させるために水銀ランプは常に通電して点灯させておく必要がある。しかし、LED光源では、通電直後でも数ミリ秒以内に出射光度が安定するために、露光工程においては露光時間にだけLED光源に通電すればよいことから、露光機の消費電力の大幅な低減が可能となる。   In an exposure apparatus using a conventional mercury lamp light source, the luminous intensity is not stabilized immediately after the mercury lamp is energized because the lamp temperature fluctuates. It takes about 30 minutes for the lamp temperature to stabilize. Therefore, in the conventional exposure process, it is necessary to always turn on the mercury lamp in order to stabilize the emitted light intensity. However, in the LED light source, since the emitted light intensity is stabilized within a few milliseconds immediately after energization, it is only necessary to energize the LED light source only during the exposure time in the exposure process, which greatly reduces the power consumption of the exposure machine. It becomes possible.

1 LED光源装置
2 LED
3、30 光学部品
4 基板
10 はんだボール
20 LED
21 出光面
22 LED素子チップ
23 Au接続ワイア
24 パッケージ
25 配線パターン
26 電極パッド
27 LEDの光軸
31 レンズ部
32 台座部
33 接合面
34 レンズ部の光軸
301 レンズ部
302 台座
302a 切り込み部
310 光学部品
311 導光板
312 台座部
313 接合部
411、 412基板側電極パッド
500 光源モジュール郡
501 冷却ジャケット
502 点灯電源
503 インテグレータ
504 コリメータミラー
505 マスク
506 ワーク
507 露光時間
508 露光していない時間
509 露光工程時間
d 位置合わせ精度
L ランド間距離。
1 LED light source device 2 LED
3, 30 Optical component 4 Substrate 10 Solder ball 20 LED
DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 Outgoing surface 22 LED element chip 23 Au connection wire 24 Package 25 Wiring pattern 26 Electrode pad 27 Optical axis 31 of LED 31 Lens part 32 Base part 33 Joint surface 34 Optical axis 301 of lens part Lens part 302 Base
302a Cut portion 310 Optical component 311 Light guide plate 312 Base portion 313 Joint portion 411, 412 Substrate side electrode pad 500 Light source module group 501 Cooling jacket 502 Lighting power source 503 Integrator 504 Collimator mirror 505 Mask 506 Work time 507 Exposure time 508 Time not exposed 509 Exposure process time d Positioning accuracy L Distance between lands.

Claims (10)

基板上に発光素子と、光学部品を配置した光源装置であって、
前記基板は第1の電極パッドと第2の電極パッドを有し、
前記発光素子は、出光面と第3の電極パッドを有するパッケージと、前記パッケージの内部に収容された発光素子チップを有し、
前記光学部品は、レンズ部と台座部と、前記台座部に形成された接合面を有し、
前記レンズ部は前記発光素子の出光面を覆っており、
前記基板に形成された前記第1の電極パッドと前記発光素子に形成された前記第3の電極パッドははんだで接合され、
前記基板に形成された前記第2の電極パッドと前記光学部品の前記台座部に形成された前記接合面は、はんだによって接合されていることを特徴とする光源装置。
A light source device in which a light emitting element and an optical component are arranged on a substrate,
The substrate has a first electrode pad and a second electrode pad;
The light emitting device includes a package having a light emitting surface and a third electrode pad, and a light emitting device chip accommodated in the package,
The optical component has a lens portion, a pedestal portion, and a bonding surface formed on the pedestal portion,
The lens portion covers the light emitting surface of the light emitting element,
The first electrode pad formed on the substrate and the third electrode pad formed on the light emitting element are joined with solder,
The light source device, wherein the second electrode pad formed on the substrate and the joint surface formed on the pedestal portion of the optical component are joined by solder.
前記はんだで接合された部分における前記第1の電極パッドの面積をSAとし、前記第3の電極パッドの面積をSBとしたとき、SA=SB(1±0.2)であることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。   SA = SB (1 ± 0.2) where SA is the area of the first electrode pad in the soldered portion and SB is the area of the third electrode pad. The light source device according to claim 1. 前記はんだで接合された部分における前記第2の電極パッドの面積をSCとし、前記台座前に形成された前記接合面の面積をSDとしたとき、SC=SD(1±0.2)であることを特徴とする請求項1に記載の光源装置。   SC = SD (1 ± 0.2), where SC is the area of the second electrode pad in the soldered portion and SD is the area of the bonding surface formed before the pedestal. The light source device according to claim 1. 前記光学部品において、前記レンズと前記台座部は一体で形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光源装置。   The light source device according to claim 1, wherein in the optical component, the lens and the pedestal portion are integrally formed. 前記光学部品において、前記台座部に切り欠き部が形成され、前記切り欠き部に前記レンズがはめ込まれた構造を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光源装置。   4. The light source device according to claim 1, wherein the optical component has a structure in which a notch is formed in the pedestal and the lens is fitted in the notch. 5. . 複数の光源装置を有する光源部と、前記光源部からの光の光路を制御する光学システムと、ワークを載置して、少なくとも一方向に移動可能なテーブルを有する露光装置であって、
前記複数の光源装置の各々は、請求項1に記載した光源装置によって構成されていることを特徴とする露光装置。
An exposure apparatus having a light source unit having a plurality of light source devices, an optical system for controlling an optical path of light from the light source unit, and a table on which a work is placed and movable in at least one direction,
An exposure apparatus, wherein each of the plurality of light source devices comprises the light source device according to claim 1.
前記光源部における前記複数の光源装置は、水冷ジャケットによって冷却されていることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。   The exposure apparatus according to claim 6, wherein the plurality of light source devices in the light source unit are cooled by a water cooling jacket. 露光装置を用いて、感光剤が塗付されたワークをマスクを介して露光する露光方法であって、
前記露光装置は、複数の光源装置を有する光源部と、前記光源部からの光の光路を制御する光学システムと、ワークを載置して、少なくとも一方向に移動可能なテーブルを有する露光装置であって、
前記複数の光源装置の各々は、請求項1に記載した光源装置によって構成されていることを特徴とする露光方法。
An exposure method for exposing a workpiece coated with a photosensitive agent through a mask using an exposure apparatus,
The exposure apparatus is an exposure apparatus having a light source unit having a plurality of light source devices, an optical system for controlling an optical path of light from the light source unit, and a table on which a work is placed and movable in at least one direction. There,
An exposure method, wherein each of the plurality of light source devices includes the light source device according to claim 1.
前記ワークを露光する露光工程の時間をt1とし、前記露光工程において、前記複数の光源装置の発光時間をt2としたとき、t2<t1であることを特徴とする請求項8に記載の露光方法。   9. The exposure method according to claim 8, wherein t2 <t1, where t1 is an exposure process time for exposing the workpiece and t2 is a light emission time of the plurality of light source devices in the exposure process. . 基板上に発光素子と、前記発光素子と光学部品を配置したバックライトであって、
前記基板は第1の電極パッドと第2の電極パッドを有し、
前記発光素子は、出光面と第3の電極パッドを有するパッケージと、前記パッケージの内部に収容された発光素子チップを有し、
前記光学部品は、導光板と台座部と、前記台座部に形成された接合面を有し、
前記導光板の側面は、前記発光素子の前記出光面と対向しており、
前記導光板の主面から光を出射し、
前記基板に形成された前記第1の電極パッドと前記発光素子に形成された前記第3の電極パッドははんだで接合され、
前記基板に形成された前記第2の電極パッドと前記光学部品の前記台座部に形成された前記接合面は、はんだによって接合されていることを特徴とするバックライト。
A backlight in which a light emitting element and a light emitting element and an optical component are arranged on a substrate,
The substrate has a first electrode pad and a second electrode pad;
The light emitting device includes a package having a light emitting surface and a third electrode pad, and a light emitting device chip accommodated in the package,
The optical component has a light guide plate, a pedestal portion, and a joint surface formed on the pedestal portion,
The side surface of the light guide plate is opposed to the light exit surface of the light emitting element,
Light is emitted from the main surface of the light guide plate,
The first electrode pad formed on the substrate and the third electrode pad formed on the light emitting element are joined with solder,
The backlight, wherein the second electrode pad formed on the substrate and the joint surface formed on the pedestal portion of the optical component are joined by solder.
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