JP2010268631A

JP2010268631A - Vibration actuator, lens unit, and imaging device

Info

Publication number: JP2010268631A
Application number: JP2009118958A
Authority: JP
Inventors: Kazuyasu One; 一泰大根
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2009-05-15
Filing date: 2009-05-15
Publication date: 2010-11-25

Abstract

【課題】振動アクチュエータの効率を向上させる。
【解決手段】ロータと、ロータの回転軸の方向に、ロータに接して配されたステータと、回転軸の方向についてロータとの間でステータを挟む位置に配され、ステータに対してロータの回転軸周りに遷移する振動を付与する電気機械変換部と、回転軸の方向についてステータとの間で電気機械変換部を挟む位置に配された狭持部材と、ロータ、ステータおよび電気機械変換部に挿通され、狭持部材に結合された軸部材と、回転軸の径方向について軸部材とステータとの間に挟まれており、回転軸の方向に沿ってロータ側に延伸する振動体とを備える。
【選択図】図８The efficiency of a vibration actuator is improved.
A rotor, a stator arranged in contact with the rotor in the direction of the rotation axis of the rotor, and a position in which the stator is sandwiched between the rotor in the direction of the rotation axis, and the rotation of the rotor with respect to the stator An electromechanical converter that applies vibrations that change around the shaft, a pinching member that is disposed between the stator and the stator in the direction of the rotation axis, and a rotor, a stator, and an electromechanical converter. A shaft member that is inserted and coupled to the holding member, and a vibrating body that is sandwiched between the shaft member and the stator in the radial direction of the rotating shaft and extends toward the rotor along the direction of the rotating shaft. .
[Selection] Figure 8

Description

本発明は、振動アクチュエータ、レンズユニットおよび撮像装置に関する。 The present invention relates to a vibration actuator, a lens unit, and an imaging apparatus.

圧電素子によりステータを振動させ、当該ステータに接触するロータを回転させる振動アクチュエータがある（特許文献１参照）。この種の振動アクチュエータは、互いに異なる位相で伸縮運動する複数の圧電素子の振動を、ロータの回転運動に変換して出力する。 There is a vibration actuator that vibrates a stator by a piezoelectric element and rotates a rotor that contacts the stator (see Patent Document 1). This type of vibration actuator converts the vibrations of a plurality of piezoelectric elements that expand and contract at different phases into rotational movements of the rotor and outputs them.

特開２００５−２８７２４６号公報JP 2005-287246 A

上記振動アクチュエータでは、圧電素子が生じた振動の一部がロータの回転駆動に寄与しない部材にも伝達される。このため、振動アクチュエータの駆動効率が低下していた。 In the vibration actuator, part of the vibration generated by the piezoelectric element is transmitted to a member that does not contribute to the rotational drive of the rotor. For this reason, the drive efficiency of the vibration actuator has been reduced.

上記課題を解決すべく、本発明の第１の態様として、ロータと、ロータの回転軸の方向に、ロータに接して配されたステータと、回転軸の方向についてロータとの間でステータを挟む位置に配され、ステータに対してロータの回転軸周りに遷移する振動を付与する電気機械変換部と、回転軸の方向についてステータとの間で電気機械変換部を挟む位置に配された狭持部材と、ロータ、ステータおよび電気機械変換部に挿通され、狭持部材に結合された軸部材と、回転軸の径方向について軸部材とステータとの間に挟まれており、回転軸の方向に沿ってロータ側に延伸する振動体と、を備える振動アクチュエータが提供される。 In order to solve the above-mentioned problem, as a first aspect of the present invention, the stator is sandwiched between the rotor, the stator arranged in contact with the rotor in the direction of the rotation axis of the rotor, and the rotor in the direction of the rotation axis. An electromechanical transducer that is arranged at a position and imparts vibrations that transition around the rotation axis of the rotor to the stator, and a sandwich that is arranged at a position that sandwiches the electromechanical transducer between the stator and the direction of the rotation axis A member, a shaft member inserted into the rotor, the stator, and the electromechanical conversion unit and coupled to the holding member, and a radial direction of the rotating shaft are sandwiched between the shaft member and the stator, and in the direction of the rotating shaft A vibration actuator is provided that includes a vibration body extending along the rotor side.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となり得る。 It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. Also, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

振動アクチュエータ１００の側面図である。3 is a side view of the vibration actuator 100. FIG. 振動アクチュエータ１００の断面図である。2 is a cross-sectional view of the vibration actuator 100. FIG. 電気機械変換部１３０の分解斜視図である。3 is an exploded perspective view of an electromechanical conversion unit 130. FIG. ステータ１２０および電気機械変換部１３０の動作を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing operations of a stator 120 and an electromechanical conversion unit 130. ステータ１２０および電気機械変換部１３０の動作を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing operations of a stator 120 and an electromechanical conversion unit 130. ステータ１２０および電気機械変換部１３０の動作を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing operations of a stator 120 and an electromechanical conversion unit 130. ステータ１２０および電気機械変換部１３０の動作を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing operations of a stator 120 and an electromechanical conversion unit 130. 振動アクチュエータ１００の振動モードを模式的に示す図である。FIG. 3 is a diagram schematically showing a vibration mode of the vibration actuator 100. 振動アクチュエータ１００の組立工程を示す斜視図である。5 is a perspective view showing an assembly process of the vibration actuator 100. FIG. 振動アクチュエータ１００の組立工程を示す斜視図である。5 is a perspective view showing an assembly process of the vibration actuator 100. FIG. 他の実施形態に係る振動アクチュエータ１０１を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the vibration actuator 101 which concerns on other embodiment. 振動アクチュエータ１００の組立工程を示す斜視図である。5 is a perspective view showing an assembly process of the vibration actuator 100. FIG. 振動アクチュエータ１００の組立工程を示す斜視図である。5 is a perspective view showing an assembly process of the vibration actuator 100. FIG. 撮像装置４００の概略構成を示す断面図である。2 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of an imaging apparatus 400. FIG.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

図１は、振動アクチュエータ１００の側面図である。なお、振動アクチュエータ１００は、後述するように、電気機械変換部１３０において発生した振動を、歯車１８０から回転運動として出力する。 FIG. 1 is a side view of the vibration actuator 100. As will be described later, the vibration actuator 100 outputs the vibration generated in the electromechanical conversion unit 130 as a rotational motion from the gear 180.

そこで、以下の説明においては、軸部材１１０の軸方向について、歯車１８０に近い側を「出力側」、電気機械変換部１３０に近い側を「駆動側」とそれぞれ記載する。また、以下の説明においては、軸部材１１０の軸方向から振動アクチュエータ１００を見た場合を平面視、軸部材１１０の径方向から振動アクチュエータ１００を見た場合を側面視と記載する。 Therefore, in the following description, in the axial direction of the shaft member 110, the side close to the gear 180 is described as “output side”, and the side close to the electromechanical conversion unit 130 is described as “drive side”. Further, in the following description, the case where the vibration actuator 100 is viewed from the axial direction of the shaft member 110 is described as a plan view, and the case where the vibration actuator 100 is viewed from the radial direction of the shaft member 110 is described as a side view.

振動アクチュエータ１００は、円柱状の軸部材である軸部材１１０と、軸部材１１０が挿通された取付板１９０、ロータ１６０、ステータ１２０、電気機械変換部１３０、配線板１４０およびベース１５０を備える。取付板１９０、ロータ１６０、ステータ１２０、電気機械変換部１３０、配線板１４０およびベース１５０は、軸部材１１０の軸方向に沿って出力側から駆動側へ記載順に配される。 The vibration actuator 100 includes a shaft member 110 that is a columnar shaft member, a mounting plate 190 through which the shaft member 110 is inserted, a rotor 160, a stator 120, an electromechanical converter 130, a wiring board 140, and a base 150. The mounting plate 190, the rotor 160, the stator 120, the electromechanical converter 130, the wiring board 140, and the base 150 are arranged in the order of description along the axial direction of the shaft member 110 from the output side to the drive side.

取付板１９０は、円盤であって、軸心に軸部材１１０が挿通される。また、取付板１９０は複数のネジ孔を有して、振動アクチュエータ１００が搭載される機器の取付部１９１にネジ１９２により締結される。この複数のネジ孔は、取付板１９０の軸心に対して対称に配される。また、軸部材１１０の出力側の端部には、Ｅリング２３０が取り付けられており、軸部材１１０が取付板１９０から駆動側へ抜け出ることはない。 The mounting plate 190 is a disk, and the shaft member 110 is inserted through the shaft center. The mounting plate 190 has a plurality of screw holes and is fastened by screws 192 to a mounting portion 191 of a device on which the vibration actuator 100 is mounted. The plurality of screw holes are arranged symmetrically with respect to the axis of the mounting plate 190. Further, an E-ring 230 is attached to the end of the shaft member 110 on the output side, and the shaft member 110 does not come out from the attachment plate 190 to the drive side.

ロータ１６０は、円筒状の回転体であって、軸心に軸部材１１０を挿通される。また、ロータ１６０と取付板１９０との間に、軸受２２０および歯車１８０が配される。軸受２２０および歯車１８０は、軸部材１１０の軸方向に沿って出力側から記載順に配されて、軸部材１１０を共通に挿通される。 The rotor 160 is a cylindrical rotating body, and the shaft member 110 is inserted through the shaft center. A bearing 220 and a gear 180 are arranged between the rotor 160 and the mounting plate 190. The bearing 220 and the gear 180 are arranged in the order of description along the axial direction of the shaft member 110 from the output side, and are inserted through the shaft member 110 in common.

軸受２２０は転がり軸受であって、軸受２２０の内輪は、軸部材１１０に嵌合する。軸受２２０の外輪は、歯車１８０の中央部に嵌合する。また、歯車１８０およびロータ１６０は嵌合する。 The bearing 220 is a rolling bearing, and the inner ring of the bearing 220 is fitted to the shaft member 110. The outer ring of the bearing 220 is fitted in the central portion of the gear 180. Further, the gear 180 and the rotor 160 are fitted.

ステータ１２０は、セラミック製の円盤であって、軸心に軸部材１１０を挿通される。電気機械変換部１３０は、セラミック製の圧電素子が積層されてなる円筒状の積層型圧電素子であって、軸心に軸部材１１０が挿通される。配線板１４０は、ポリイミド製の円盤状の基板部分と銅製の配線部分とを備えたフレキシブルプリント配線板であり、軸心に軸部材１１０が挿通される。更に、ベース１５０は、ステンレス製の円盤であり、軸心に軸部材１１０を挿通される。 The stator 120 is a ceramic disk, and the shaft member 110 is inserted through the shaft center. The electromechanical conversion unit 130 is a cylindrical stacked piezoelectric element in which ceramic piezoelectric elements are stacked, and the shaft member 110 is inserted through the shaft center. The wiring board 140 is a flexible printed wiring board having a disk-shaped substrate portion made of polyimide and a copper wiring portion, and the shaft member 110 is inserted through the shaft center. Furthermore, the base 150 is a stainless steel disk, and the shaft member 110 is inserted through the shaft center.

ステータ１２０はロータ１６０に、電気機械変換部１３０はステータ１２０に、それぞれ当接する。配線板１４０は、電気機械変換部１３０およびベース１５０に挟まれる。 The stator 120 abuts on the rotor 160 and the electromechanical converter 130 abuts on the stator 120. Wiring board 140 is sandwiched between electromechanical converter 130 and base 150.

ベース１５０の外周部には、保持部１５４が形成される。保持部１５４は、ベース１５０の軸心を中心として回転対称に配された４個の平面を含み、レンチ等の工具により保持される。 A holding portion 154 is formed on the outer peripheral portion of the base 150. The holding portion 154 includes four planes that are rotationally symmetrical about the axis of the base 150 and is held by a tool such as a wrench.

図２は、振動アクチュエータ１００を示す断面図である。この図に示すように、軸部材１１０の出力側には、出力側から駆動側へかけて記載順に、Ｅリング取付用の溝１１２、Ｄカット部１１３、軸受２２０の内輪と嵌合する嵌合部１１４が配される。溝１１２とＤカット部１１３とは軸部材１１０の軸方向に間隔を空けずに形成され、Ｄカット部１１３と嵌合部１１４とが軸部材１１０の軸方向に微小間隔を空けて形成される。嵌合部１１４の直径はＤカット部１１３の直径より大きい。 FIG. 2 is a cross-sectional view showing the vibration actuator 100. As shown in this figure, on the output side of the shaft member 110, the fitting for fitting with the E-ring mounting groove 112, the D-cut portion 113, and the inner ring of the bearing 220 in the order of description from the output side to the drive side. Part 114 is arranged. The groove 112 and the D-cut portion 113 are formed without a gap in the axial direction of the shaft member 110, and the D-cut portion 113 and the fitting portion 114 are formed with a small gap in the axial direction of the shaft member 110. . The diameter of the fitting part 114 is larger than the diameter of the D-cut part 113.

Ｄカット部１１３は、平面視にてＤ字状に形成される。取付板１９０の軸心には、Ｄカット部１１３と凸凹関係にある平面視にてＤ字状の孔１９３が形成され、Ｄカット部１１３と孔１９３とが相対回転不能に嵌り合う。Ｅリング２３０の外径がＤカット部１１３の外径より大きく、嵌合部１１４の直径が孔１９３の内径より大きく、さらに、取付板１９０の厚みとＤカット部１１３の軸方向長さが同一なので、取付板１９０は軸方向に移動しない。 The D cut portion 113 is formed in a D shape in plan view. A D-shaped hole 193 is formed on the shaft center of the mounting plate 190 in a plan view having a concave-convex relationship with the D-cut portion 113, and the D-cut portion 113 and the hole 193 are fitted so as not to be relatively rotatable. The outer diameter of the E-ring 230 is larger than the outer diameter of the D-cut portion 113, the diameter of the fitting portion 114 is larger than the inner diameter of the hole 193, and the thickness of the mounting plate 190 and the axial length of the D-cut portion 113 are the same. Therefore, the mounting plate 190 does not move in the axial direction.

取付板１９０の駆動側の面における中央部には、円状のリブ１９４が形成される。リブ１９４の高さは、Ｄカット部１１３と嵌合部１１４との間隔と等しい。また、軸受２２０および嵌合部１１４は、同一の軸方向寸法を有する。このため、軸受２２０の駆動側の端部と嵌合部１１４の駆動側の端部とは面一となる。 A circular rib 194 is formed at the center of the drive side surface of the mounting plate 190. The height of the rib 194 is equal to the distance between the D-cut portion 113 and the fitting portion 114. Moreover, the bearing 220 and the fitting part 114 have the same axial direction dimension. For this reason, the drive-side end of the bearing 220 and the drive-side end of the fitting portion 114 are flush with each other.

歯車１８０の出力側の面における中央部には、軸受２２０の外輪と嵌合する円状の凹部１８１が形成される。即ち、歯車１８０は、軸受２２０を介して軸部材１１０の嵌合部１１４に軸部材１１０の軸線周りに回転自在に支持される。 A circular recess 181 that fits with the outer ring of the bearing 220 is formed at the center of the output side surface of the gear 180. That is, the gear 180 is supported by the fitting portion 114 of the shaft member 110 via the bearing 220 so as to be rotatable around the axis of the shaft member 110.

また、歯車１８０の駆動側の面には、平面視にて円状の凹部１８２が形成される。ロータ１６０の出力側の面には、凹部１８２と嵌合する平面視にて円状の凸部１６１が形成される。ロータ１６０の内周部１６６と軸部材１１０との間には空間が形成され、この空間に付勢部材１７０および振動体２１０が配される。 Further, a circular recess 182 is formed on the drive side surface of the gear 180 in plan view. On the output-side surface of the rotor 160, a circular convex portion 161 is formed in a plan view that fits with the concave portion 182. A space is formed between the inner peripheral portion 166 of the rotor 160 and the shaft member 110, and the biasing member 170 and the vibrating body 210 are disposed in this space.

振動体２１０は、円筒状の金属製弾性体であって、軸部材１１０が挿通される。振動体２１０の内周部２１２における駆動側の端部は、ネジ部２１４を有する。軸部材１１０は、ネジ部２１４と螺合するネジ部１１５を有して、振動体２１０における駆動側の端部は、軸部材１１０に締結固定される。 The vibrating body 210 is a cylindrical metal elastic body, and the shaft member 110 is inserted therethrough. An end portion on the drive side in the inner peripheral portion 212 of the vibrating body 210 has a screw portion 214. The shaft member 110 has a screw portion 115 that is screwed with the screw portion 214, and an end portion on the driving side of the vibrating body 210 is fastened and fixed to the shaft member 110.

ロータ１６０の内周部１６６における駆動側の端部は、内径側へ張り出したフランジ部１６８を有する。フランジ部１６８は、付勢部材１７０の駆動側の端部に当接する。付勢部材１７０は、圧縮コイルバネであって、内部に軸部材１１０および振動体２１０を挿通される。付勢部材１７０の出力側の端部は、歯車１８０の凹部１８２に当接して、軸部材１１０の軸方向に圧縮して装着される。 An end portion on the drive side of the inner peripheral portion 166 of the rotor 160 has a flange portion 168 that protrudes toward the inner diameter side. The flange portion 168 is in contact with the driving side end portion of the biasing member 170. The urging member 170 is a compression coil spring, and the shaft member 110 and the vibrating body 210 are inserted into the urging member 170. The output side end portion of the urging member 170 is in contact with the concave portion 182 of the gear 180 and is attached by being compressed in the axial direction of the shaft member 110.

ステータ１２０は、振動体２１０の駆動側端部に存する嵌合部２１１が嵌合する嵌合孔１２１を軸芯に有する。振動体２１０は、該嵌合部２１１よりも大径の段差部２１８を嵌合部２１１より出力側に有する。これにより、ステータ１２０の出力側の面と段差部２１８とが係合する。 The stator 120 has a fitting hole 121 into which the fitting portion 211 existing at the driving side end of the vibrating body 210 is fitted. The vibrating body 210 has a step portion 218 having a diameter larger than that of the fitting portion 211 on the output side from the fitting portion 211. Thereby, the output side surface of the stator 120 and the stepped portion 218 are engaged.

ロータ１６０は、円環状のリブ１６２を駆動側の面に有する。リブ１６２は、付勢部材１７０の付勢力によりステータ１２０に圧接される。付勢部材１７０の付勢力は、歯車１８０および軸受２２０を取付板１９０に、取付板１９０をＥリング２３０に、それぞれ圧接させる。 The rotor 160 has an annular rib 162 on the drive side surface. The rib 162 is pressed against the stator 120 by the urging force of the urging member 170. The urging force of the urging member 170 presses the gear 180 and the bearing 220 against the mounting plate 190 and the mounting plate 190 against the E-ring 230, respectively.

配線板１４０は、円盤状に形成された円盤部１４２と、円盤部１４２から外径側へ延出する外延部１４４とを有する。円盤部１４２の直径は、電気機械変換部１３０の直径と略等しい。 The wiring board 140 has a disk part 142 formed in a disk shape and an outer extension part 144 extending from the disk part 142 to the outer diameter side. The diameter of the disk part 142 is substantially equal to the diameter of the electromechanical converter 130.

ベース１５０は、ネジ孔１５２を軸芯に有する。軸部材１１０の駆動側端部は、ネジ孔１５２と螺合するネジ部１１６を有する。これらにより、ベース１５０および軸部材１１０の駆動側端部は、相互に締結固定される。即ち、電気機械変換部１３０および配線板１４０は、段差部２１８により出力側への移動を阻止されたステータ１２０と、軸部材１１０に螺合したベース１５０とにより、締付けられた状態で固定される。 The base 150 has a screw hole 152 at its axis. The driving side end of the shaft member 110 has a screw portion 116 that is screwed into the screw hole 152. Thereby, the drive-side end portions of the base 150 and the shaft member 110 are fastened and fixed to each other. That is, the electromechanical conversion unit 130 and the wiring board 140 are fixed in a tightened state by the stator 120 that is prevented from moving to the output side by the stepped portion 218 and the base 150 that is screwed to the shaft member 110. .

なお、ステータ１２０の駆動側の面１２６と、電気機械変換部１３０の出力側の面１３６とは、共に研磨、熱処理等の表面処理により平滑化され、互いに密接する。また、電気機械変換部１３０の駆動側の面１３５と、配線板１４０の出力側の面１４５も、同様の表面加工により、互いに密接する。さらに、配線板１４０の駆動側の面１４６と、ベース１５０の出力側の面１５６も、同様の表面加工により密接する。これらの構造により、電気機械変換部１３０で生じた振動は、ステータ１２０へ効率よく伝播される。 The drive-side surface 126 of the stator 120 and the output-side surface 136 of the electromechanical conversion unit 130 are both smoothed by surface treatment such as polishing or heat treatment, and are in close contact with each other. Further, the drive-side surface 135 of the electromechanical conversion unit 130 and the output-side surface 145 of the wiring board 140 are brought into close contact with each other by the same surface processing. Further, the drive-side surface 146 of the wiring board 140 and the output-side surface 156 of the base 150 are brought into close contact by the same surface processing. With these structures, vibration generated in the electromechanical conversion unit 130 is efficiently propagated to the stator 120.

ここで、配線板１４０の出力側の面１４５と、当該面１４５に密着する電気機械変換部１３０の駆動側の面１３５との間の摩擦係数μ１１と、配線板１４０の駆動側の面１４６と当該面１４６に密着するベース１５０の出力側の面１５６との間の摩擦係数μ１２とは、下記（１）式の関係を満足するように設定される。
μ１１＞μ１２…（１） Here, the friction coefficient μ11 between the output-side surface 145 of the wiring board 140 and the driving-side surface 135 of the electromechanical transducer 130 that is in close contact with the surface 145, and the driving-side surface 146 of the wiring board 140 The friction coefficient μ12 between the output side surface 156 of the base 150 that is in close contact with the surface 146 is set so as to satisfy the relationship of the following expression (1).
μ11> μ12 (1)

また、上記摩擦係数μ１１と、電気機械変換部１３０の出力側の面１３６と当該面１３６に密着するステータ１２０の駆動側の面１２６との間の摩擦係数μ１３とは、下記（２）式の関係を満足するように設定される。
μ１１＞μ１３…（２） The friction coefficient μ11 and the friction coefficient μ13 between the output-side surface 136 of the electromechanical converter 130 and the drive-side surface 126 of the stator 120 that is in close contact with the surface 136 are expressed by the following equation (2). It is set to satisfy the relationship.
μ11> μ13 (2)

更に、上記摩擦係数μ１２と上記摩擦係数μ１３とは、下記（３）式の関係を満足するように設定される。
μ１３＞μ１２…（３） Further, the friction coefficient μ12 and the friction coefficient μ13 are set so as to satisfy the relationship of the following expression (3).
μ13> μ12 (3)

摩擦係数μ１１、μ１２、μ１３は、面１２６、１３５、１３６、１４５、１４６、１５６の表面粗さに依存するので、面１２６、１３５、１３６、１４５、１４６、１５６の表面粗さを大小させることにより、摩擦係数μ１１、μ１２、μ１３を大小させる。また、摩擦係数μ１１、μ１２、μ１３は、面１２６、１３５、１３６、１４５、１４６、１５６の材質の違いにも依存するので、面１２６、１３５、１３６、１４５、１４６の表面粗さを、材質の違いを考慮に入れたうえで調整する。 Since the friction coefficients μ11, μ12, and μ13 depend on the surface roughness of the surfaces 126, 135, 136, 145, 146, and 156, the surface roughness of the surfaces 126, 135, 136, 145, 146, and 156 is increased or decreased. Thus, the friction coefficients μ11, μ12, and μ13 are increased or decreased. Further, since the friction coefficients μ11, μ12, and μ13 depend on the difference in material of the surfaces 126, 135, 136, 145, 146, and 156, the surface roughness of the surfaces 126, 135, 136, 145, and 146 is determined by the material. Adjust after taking into account the differences.

図３は、電気機械変換部１３０の分解斜視図である。電気機械変換部１３０は、軸部材１１０の軸方向に積層された複数の素子層１３８を備える。素子層１３８の各々は、圧電材料板１３７と、圧電材料板１３７の表面に形成された複数の電極１３１、１３２、１３３、１３４とを備える。 FIG. 3 is an exploded perspective view of the electromechanical conversion unit 130. The electromechanical conversion unit 130 includes a plurality of element layers 138 stacked in the axial direction of the shaft member 110. Each of the element layers 138 includes a piezoelectric material plate 137 and a plurality of electrodes 131, 132, 133, and 134 formed on the surface of the piezoelectric material plate 137.

電極１３１、１３２、１３３、１３４は、略セクタ状の同形状を有して、軸部材１１０を中心として回転対称に配される。また、同符号が付された電極の全体同士が軸方向に重なり合うように、素子層１３８が積層されて、電極１３１、１３２、１３３、１３４の各々は、電気機械変換部１３０の側面に形成された導線により、配線板１４０の配線に導通される。 The electrodes 131, 132, 133, and 134 have substantially the same sector shape and are arranged rotationally symmetrically about the shaft member 110. In addition, the element layers 138 are stacked so that the electrodes having the same reference numerals are overlapped in the axial direction, and each of the electrodes 131, 132, 133, and 134 is formed on the side surface of the electromechanical conversion unit 130. The conductive wire is electrically connected to the wiring of the wiring board 140.

また、圧電材料板１３７の電極形成面の裏側にはグランド電極が配される。各層のグランド電極は、電気機械変換部１３０の側面に形成された導線により、配線板１４０のグランド電極に導通される。 A ground electrode is disposed on the back side of the electrode forming surface of the piezoelectric material plate 137. The ground electrode of each layer is electrically connected to the ground electrode of the wiring board 140 by a conductive wire formed on the side surface of the electromechanical conversion unit 130.

圧電材料板１３７は、駆動電圧を印加された場合に伸張または収縮する圧電材料を含む。具体的には、チタン酸ジルコン酸鉛、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電材料を含む。なお、多くの圧電材料は脆いので、りん青銅等の高弾性金属材料で補強することが好ましい。電極１３１、１３２、１３３、１３４は、ニッケル、金等の電極材料を用いて、鍍金、スパッタ、蒸着、厚膜印刷等の方法で、圧電材料の表面に直接に形成すればよい。 The piezoelectric material plate 137 includes a piezoelectric material that expands or contracts when a driving voltage is applied. Specifically, it includes piezoelectric materials such as lead zirconate titanate, crystal, lithium niobate, barium titanate, lead titanate, lead metaniobate, polyvinylidene fluoride, lead zinc niobate, lead scandium niobate. Since many piezoelectric materials are fragile, they are preferably reinforced with a highly elastic metal material such as phosphor bronze. The electrodes 131, 132, 133, and 134 may be formed directly on the surface of the piezoelectric material by a method such as plating, sputtering, vapor deposition, or thick film printing using an electrode material such as nickel or gold.

図４、図５、図６および図７は、ステータ１２０および電気機械変換部１３０の動作を模式的に示す斜視図である。電気機械変換部１３０において、図４から図７までに示した状態は、図番の順序に順次遷移する。また、図７に示した状態の次には、図４に示す状態が再び訪れ、図４から図７に示す状態は循環する。このように、ステータ１２０および電気機械変換部１３０は、周期的な動作をする。 4, 5, 6, and 7 are perspective views schematically showing operations of the stator 120 and the electromechanical conversion unit 130. In the electromechanical conversion unit 130, the states shown in FIGS. 4 to 7 are sequentially shifted in the order of the drawing numbers. Further, after the state shown in FIG. 7, the state shown in FIG. 4 revisits, and the states shown in FIGS. 4 to 7 circulate. As described above, the stator 120 and the electromechanical converter 130 perform a periodic operation.

電極１３１、１３２、１３３、１３４のいずれかに対して駆動電圧が印加された場合、電気機械変換部１３０の軸方向の長さは、駆動電圧が印加された電極１３１、１３２、１３３、１３４に対応する部位で増加する。駆動電圧が印加されていない電極１３１、１３２、１３３、１３４に対応する部位では、電気機械変換部１３０の軸方向の長さは変化しない。ステータ１２０は、電気機械変換部１３０の軸方向の長さが増加した部位において持ち上げられる。これにより、ステータ１２０は傾斜する。 When a driving voltage is applied to any of the electrodes 131, 132, 133, and 134, the axial length of the electromechanical converter 130 is set to the electrodes 131, 132, 133, and 134 to which the driving voltage is applied. Increases at corresponding sites. The length of the electromechanical conversion unit 130 in the axial direction does not change at the portions corresponding to the electrodes 131, 132, 133, and 134 to which no drive voltage is applied. The stator 120 is lifted at a portion where the axial length of the electromechanical transducer 130 is increased. Thereby, the stator 120 inclines.

電極１３１、１３２、１３３、１３４に対して駆動電圧が順次印加されると、電極１３１、１３２、１３３、１３４に対応する部位で、電気機械変換部１３０の軸方向の長さが順次増加する。例えば、電極１３１、１３２、１３３、１３４に対して、π／４ずつ位相が異なる交流電圧が印加される。これにより、ステータ１２０の傾斜方向が、軸心周りの一方向へと遷移すると共に、当該方向へ遷移する振動が発生する。ステータ１２０には、共振周波数の振動を発生させる。 When a driving voltage is sequentially applied to the electrodes 131, 132, 133, and 134, the length in the axial direction of the electromechanical conversion unit 130 is sequentially increased at portions corresponding to the electrodes 131, 132, 133, and 134. For example, AC voltages having different phases by π / 4 are applied to the electrodes 131, 132, 133, and 134. As a result, the inclination direction of the stator 120 changes in one direction around the axis, and vibrations that change in that direction are generated. The stator 120 generates vibration at a resonance frequency.

ロータ１６０は、付勢部材１７０に付勢されて、ステータ１２０に対して定常的に当接する。このため、ロータ１６０は、傾斜方向を周回させつつ揺動するステータ１２０から摩擦駆動力および軸周りに遷移する共振を受けて回転する。また、ロータ１６０の凸部１６１および歯車１８０の凹部１８２は相互に接している。このため、ロータ１６０および歯車１８０は、凸部１６１と凹部１８２との間に生じる摩擦力により一体的に回転する。こうして、振動アクチュエータ１００は回転駆動力を発生する。 The rotor 160 is urged by the urging member 170 and is in constant contact with the stator 120. For this reason, the rotor 160 rotates in response to the frictional driving force and the resonance that changes around the axis from the stator 120 that swings while rotating around the tilt direction. Further, the convex portion 161 of the rotor 160 and the concave portion 182 of the gear 180 are in contact with each other. For this reason, the rotor 160 and the gear 180 are integrally rotated by the frictional force generated between the convex portion 161 and the concave portion 182. Thus, the vibration actuator 100 generates a rotational driving force.

図８は、振動アクチュエータ１００における振動の系を模式的に示す図である。なお、他の図と共通の要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。 FIG. 8 is a diagram schematically showing a vibration system in the vibration actuator 100. In addition, the same reference number is attached | subjected to the same element as another figure, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

振動アクチュエータ１００において、振動を発生する電気機械変換部１３０は、ベース１５０およびステータ１２０に挟持される。従って、電気機械変換部１３０が発生した振動は、ベース１５０およびステータ１２０に直接的に伝えられる。 In the vibration actuator 100, the electromechanical converter 130 that generates vibration is sandwiched between the base 150 and the stator 120. Therefore, the vibration generated by the electromechanical converter 130 is directly transmitted to the base 150 and the stator 120.

ここで、ロータ１６０に駆動力を伝えるのはステータ１２０であり、ベース１５０はステータの駆動には寄与しない。そこで、電気機械変換部１３０が発生する振動が、軸部材１１０の軸方向について見た場合のベース１５０の位置Ｑを節とする振動を発生するように、駆動周波数が選択される。 Here, it is the stator 120 that transmits the driving force to the rotor 160, and the base 150 does not contribute to the driving of the stator. Therefore, the drive frequency is selected so that the vibration generated by the electromechanical conversion unit 130 generates a vibration having a node at the position Q of the base 150 when viewed in the axial direction of the shaft member 110.

更に、ロータ１６０は、ステータ１２０に対して、ステータ１２０の周縁部近傍において接して駆動力を受ける。そこで、電気機械変換部１３０が発生する振動が、軸部材１１０の軸方向について見た場合のステータ１２０の位置Ｐをもうひとつの節とすることをもうひとつの条件として駆動周波数が選択される。 Further, the rotor 160 is in contact with the stator 120 in the vicinity of the peripheral edge of the stator 120 and receives a driving force. Therefore, the driving frequency is selected on the condition that the vibration generated by the electromechanical conversion unit 130 is set to another node at the position P of the stator 120 when viewed in the axial direction of the shaft member 110.

更に、既に説明したように、振動体２１０の下端は、ステータ１２０の内部に嵌入する。また、振動体２１０の下端部近傍は、軸部材１１０の径方向について、軸部材１１０およびステータ１２０に挟まれる。更に、振動体２１０のネジ部２１４の下端では、軸部材１１０に対して、振動体２１０の一部が、軸部材１１０の軸方向に当接する。 Furthermore, as already described, the lower end of the vibrating body 210 is fitted inside the stator 120. Further, the vicinity of the lower end portion of the vibrating body 210 is sandwiched between the shaft member 110 and the stator 120 in the radial direction of the shaft member 110. Furthermore, at the lower end of the screw portion 214 of the vibrating body 210, a part of the vibrating body 210 abuts against the shaft member 110 in the axial direction of the shaft member 110.

ただし、振動体２１０の下端面は、電気機械変換部１３０から離間して、電気機械変換部１３０が発生した振動を直接に受けることはない。また、振動体２１０は、軸部材１１０に螺合すると共に、電気機械変換部１３０に対して反対の側からステータ１２０に当接して、ステータ１２０が軸部材１１０に沿って変位することを防止する。 However, the lower end surface of the vibrating body 210 is separated from the electromechanical conversion unit 130 and does not directly receive the vibration generated by the electromechanical conversion unit 130. The vibrating body 210 is screwed into the shaft member 110 and abuts against the stator 120 from the opposite side to the electromechanical conversion unit 130 to prevent the stator 120 from being displaced along the shaft member 110. .

これにより、軸部材１１０のステータ１２０から駆動側の部分と、ステータ１２０および振動体２１０とを含み、電気機械変換部１３０の駆動周波数に強く共振する振動モードを有する振動系が形成される。この振動系は、電気機械変換部１３０が所定の駆動周波数で発生した振動を受けて、ステータ１２０を効率よく振動させると共に、振動系の外に振動を伝播させない。よって、例えば、軸部材１１０の出力側は、電気機械変換部１３０が振動を発生している場合でも略無振動となる。従って、電気機械変換部１３０が発生した振動は、ステータ１２０に損失無く伝達され、ロータ１６０の駆動に寄与する。 As a result, a vibration system including a portion of the shaft member 110 on the drive side from the stator 120, the stator 120 and the vibrating body 210 and having a vibration mode that resonates strongly with the drive frequency of the electromechanical conversion unit 130 is formed. This vibration system receives vibration generated by the electromechanical conversion unit 130 at a predetermined drive frequency, and efficiently vibrates the stator 120 and does not propagate vibration outside the vibration system. Therefore, for example, the output side of the shaft member 110 is substantially free of vibration even when the electromechanical conversion unit 130 generates vibration. Therefore, the vibration generated by the electromechanical conversion unit 130 is transmitted to the stator 120 without loss and contributes to the driving of the rotor 160.

このように、振動アクチュエータ１００は、ステータ１２０および振動体２１０を含む振動系が、電気機械変換部１３０の駆動周波数と強く共振する振動モードを有する。それ故、電気機械変換部１３０が発生した振動は専らステータ１２０に伝達され、他の部材を振動させない。これにより、振動アクチュエータ１００に投入された電力は、ロータの回転に効率よく変換される。 Thus, the vibration actuator 100 has a vibration mode in which the vibration system including the stator 120 and the vibrating body 210 resonates strongly with the drive frequency of the electromechanical conversion unit 130. Therefore, the vibration generated by the electromechanical conversion unit 130 is exclusively transmitted to the stator 120 and does not vibrate other members. Thereby, the electric power input to the vibration actuator 100 is efficiently converted into the rotation of the rotor.

以下、振動アクチュエータ１００の組立手順を説明する。まず、軸部材１１０のＤカット部１１３を、取付板１９０の孔１９３に、取付板１９０の駆動側から挿入する。このとき、Ｄカット部１１３の平面部と孔１９３の平面部とを合わせる。これにより、軸部材１１０は、取付板１９０に対して、軸回りに回転しなくなる。 Hereinafter, an assembly procedure of the vibration actuator 100 will be described. First, the D-cut portion 113 of the shaft member 110 is inserted into the hole 193 of the mounting plate 190 from the drive side of the mounting plate 190. At this time, the flat portion of the D-cut portion 113 and the flat portion of the hole 193 are aligned. As a result, the shaft member 110 does not rotate about the axis with respect to the mounting plate 190.

次に、Ｅリング２３０を軸部材１１０の溝１１２に嵌める。これにより、取付板１９０は、Ｅリング２３０により出力側への移動を係止される。また、Ｄカット部１１３より大径の嵌合部１１４により、軸部材１１０が出力側へ移動することも規制される。 Next, the E ring 230 is fitted into the groove 112 of the shaft member 110. Thereby, the attachment plate 190 is locked to the output side by the E-ring 230. Further, the shaft member 110 is also restricted from moving to the output side by the fitting portion 114 having a larger diameter than the D-cut portion 113.

続いて、軸部材１１０を軸受２２０の内輪に、軸受け２００の出力側から挿通して、軸部材１１０の嵌合部１１４と軸受２２０の内輪とを嵌合させる。これにより、軸受２２０の内輪を取付板１９０のリブ１９４に当接させる。次に、歯車１８０の出力側から、軸部材１１０を挿通して、軸受２２０の外輪を歯車１８０の凹部１８１に嵌合させる。 Subsequently, the shaft member 110 is inserted into the inner ring of the bearing 220 from the output side of the bearing 200, and the fitting portion 114 of the shaft member 110 and the inner ring of the bearing 220 are fitted. As a result, the inner ring of the bearing 220 is brought into contact with the rib 194 of the mounting plate 190. Next, the shaft member 110 is inserted from the output side of the gear 180, and the outer ring of the bearing 220 is fitted into the recess 181 of the gear 180.

更に、付勢部材１７０をロータ１６０の内側に挿入した状態で、軸部材１１０を付勢部材１７０およびロータ１６０の内部に、ロータ１６０の出力側から挿通する。このとき、ロータ１６０の凸部１６１を歯車１８０の凹部１８２に嵌合させる。 Further, the shaft member 110 is inserted into the urging member 170 and the rotor 160 from the output side of the rotor 160 with the urging member 170 inserted inside the rotor 160. At this time, the convex portion 161 of the rotor 160 is fitted into the concave portion 182 of the gear 180.

次に、振動体２１０の出力側から、軸部材１１０を振動体２１０に挿通する。更に、軸部材１１０のネジ部１１５と振動体２１０のネジ部２１４とを螺着させることにより、振動体２１０を軸部材１１０に締結固定する。続いて、ステータ１２０の嵌合孔１２１に、ステータ１２０の出力側から軸部材１１０を挿通して、振動体２１０の嵌合部２１１をステータ１２０の嵌合孔１２１に嵌合させると共に、ステータ１２０を段差部２１８に係合させる。 Next, the shaft member 110 is inserted into the vibrating body 210 from the output side of the vibrating body 210. Further, the vibration member 210 is fastened and fixed to the shaft member 110 by screwing the screw portion 115 of the shaft member 110 and the screw portion 214 of the vibration member 210. Subsequently, the shaft member 110 is inserted into the fitting hole 121 of the stator 120 from the output side of the stator 120 to fit the fitting portion 211 of the vibrating body 210 into the fitting hole 121 of the stator 120, and the stator 120. Is engaged with the stepped portion 218.

図９および図１０は、振動アクチュエータ１００の以降の製造過程を段階毎に示す図である。まず、図９に示すように、電気機械変換部１３０の孔および配線板１４０の孔に、電気機械変換部１３０の出力側から、軸部材１１０を順次挿通する。次に、ベース１５０のネジ孔１５２に、ベース１５０の出力側から、軸部材１１０のネジ部１１６を螺入する。 9 and 10 are diagrams showing the subsequent manufacturing process of the vibration actuator 100 for each stage. First, as illustrated in FIG. 9, the shaft member 110 is sequentially inserted into the hole of the electromechanical conversion unit 130 and the hole of the wiring board 140 from the output side of the electromechanical conversion unit 130. Next, the screw portion 116 of the shaft member 110 is screwed into the screw hole 152 of the base 150 from the output side of the base 150.

更に、図１０に示すように、ベース１５０の保持面を工具により保持して、軸部材１１０に対して相対的に回転させることにより、ベース１５０を軸部材１１０に螺合させる。電気機械変換部１３０および配線板１４０を、ベース１５０およびステータ１２０に挟み込んだ状態で、ベース１５０を軸部材１１０に対して締め込むことにより、電気機械変換部１３０および配線板１４０は、ベース１５０およびステータ１２０に締付けられる。 Further, as shown in FIG. 10, the base 150 is screwed into the shaft member 110 by holding the holding surface of the base 150 with a tool and rotating it relative to the shaft member 110. By tightening the base 150 with respect to the shaft member 110 in a state where the electromechanical conversion unit 130 and the wiring board 140 are sandwiched between the base 150 and the stator 120, the electromechanical conversion unit 130 and the wiring board 140 are It is fastened to the stator 120.

ここで、配線板１４０および電気機械変換部１３０が密着し合う面１４５、１３５の摩擦係数μ１１は、配線板１４０およびベース１５０が密着し合う面１４６、１５６の摩擦係数μ１２より大きい。このため、軸部材１１０に対してベース１５０を締め込む場合に、配線板１４０および電気機械変換部１３０の間に生じる摩擦抵抗は、配線板１４０およびベース１５０の間に生じる摩擦抵抗より大きい。これにより、ベース１５０を軸部材１１０に対して相対的に回転させた場合、配線板１４０は電気機械変換部１３０と共に止まり、ベース１５０が配線板１４０に対して回転する。 Here, the friction coefficient μ11 of the surfaces 145 and 135 where the wiring board 140 and the electromechanical converter 130 are in close contact with each other is larger than the friction coefficient μ12 of the surfaces 146 and 156 where the wiring board 140 and the base 150 are in close contact. For this reason, when the base 150 is fastened to the shaft member 110, the frictional resistance generated between the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 is larger than the frictional resistance generated between the wiring board 140 and the base 150. Accordingly, when the base 150 is rotated relative to the shaft member 110, the wiring board 140 stops together with the electromechanical conversion unit 130, and the base 150 rotates with respect to the wiring board 140.

また、上記の摩擦係数μ１１は、電気機械変換部１３０およびステータ１２０が密着し合う面１３６、１２６の摩擦係数μ１３より大きい。このため、ベース１５０を軸部材１１０に対して回転させて締め込む場合に、配線板１４０および電気機械変換部１３０の互いに密着し合う面１４５、１３５の間に生じる摩擦抵抗は、電気機械変換部１３０およびステータ１２０の互いに密着し合う面１３６、１２６に生じる摩擦抵抗より大きい。従って、ベース１５０を軸部材１１０に対して相対的に回転させる場合に、配線板１４０がベース１５０に連れ従って回転したとしても、電気機械変換部１３０も配線板１４０と一体的に、ステータ１２０に対して相対的に回転する。 The friction coefficient μ11 is larger than the friction coefficient μ13 of the surfaces 136 and 126 where the electromechanical conversion unit 130 and the stator 120 are in close contact with each other. For this reason, when the base 150 is rotated and tightened with respect to the shaft member 110, the frictional resistance generated between the mutually in close contact surfaces 145 and 135 of the wiring board 140 and the electromechanical converter 130 is the electromechanical converter. 130 and the frictional resistance generated on the surfaces 136 and 126 of the stator 120 that are in close contact with each other. Therefore, when the base 150 is rotated relative to the shaft member 110, even if the wiring board 140 is rotated along with the base 150, the electromechanical conversion unit 130 is integrated with the wiring board 140 into the stator 120. It rotates relative to it.

これにより、振動アクチュエータ１００は、ベース１５０を軸部材１１０に対して相対的に回転させた場合に、配線板１４０および電気機械変換部１３０の位置関係を一定に保つことができる。従って、配線板１４０および電気機械変換部１３０を、接着、嵌合等の位置決め構造を形成することなく、配線板１４０および電気機械変換部１３０の位置関係を確保した状態で、ベース１５０およびステータ１２０により配線板１４０および電気機械変換部１３０を締結固定できる。また、配線板１４０の周方向の位置が、ステータ１２０に対して変化しないので、外延部１４４の位置も変化しない。これにより、ベース１５０の締めつけ後も、外延部１４４を所定の位置に合わせた状態を維持できる。 Thereby, the vibration actuator 100 can keep the positional relationship between the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 constant when the base 150 is rotated relative to the shaft member 110. Therefore, the base 150 and the stator 120 are maintained in a state in which the positional relationship between the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 is secured without forming a positioning structure such as bonding and fitting. Thus, the wiring board 140 and the electromechanical converter 130 can be fastened and fixed. Further, since the circumferential position of the wiring board 140 does not change with respect to the stator 120, the position of the extended portion 144 does not change. Thereby, even after the base 150 is tightened, it is possible to maintain a state in which the extended portion 144 is aligned with a predetermined position.

また、ベース１５０、配線板１４０、電気機械変換部１３０、ステータ１２０が、動作中の捩りモーメントを受けて軸部材１１０の周りで動く場合でも、配線板１４０と電気機械変換部１３０とは一体となって、ベース１５０およびステータ１２０に対して相対的に動く。従って、配線板１４０と電気機械変換部１３０とを接着したり、配線板１４０と電気機械変換部１３０とをキーとキー溝とにより位置決めしたりすることなしに、動作中の配線板１４０と電気機械変換部１３０との位置関係を確保できる。 Further, even when the base 150, the wiring board 140, the electromechanical converter 130, and the stator 120 move around the shaft member 110 in response to a torsional moment during operation, the wiring board 140 and the electromechanical converter 130 are integrated. Thus, it moves relative to the base 150 and the stator 120. Therefore, the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 are not bonded to each other and the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 are not positioned with the key and the key groove, so that the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 are electrically operated. The positional relationship with the machine conversion unit 130 can be ensured.

このように、配線板１４０と電気機械変換部１３０との接着を不要としたことにより、作業工程、作業工数を削減できる。また、配線板１４０と電気機械変換部１３０との間に接着層が存在しないので、振動アクチュエータ１００の振動周波数特性の変動要因を減らすことができるので、振動周波数特性の調整が容易になる。 As described above, since the bonding between the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 is not required, the work process and the work man-hour can be reduced. In addition, since there is no adhesive layer between the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130, it is possible to reduce the variation factor of the vibration frequency characteristic of the vibration actuator 100, so that the vibration frequency characteristic can be easily adjusted.

更に、配線板１４０と電気機械変換部１３０とを位置決めするキーとキー溝等の位置決め部を要しないので、配線板１４０および電気機械変換部１３０の周方向の位置による形状特性の差をなくすことができる。これにより、振動アクチュエータ１００における周方向の位置による周波数特性のバラツキを抑制できる。 Further, since a positioning part such as a key and a key groove for positioning the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 is not required, a difference in shape characteristics due to the circumferential position of the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 is eliminated. Can do. Thereby, variation in frequency characteristics due to the circumferential position of the vibration actuator 100 can be suppressed.

以上により、振動アクチュエータ１００は、ベース１５０を軸部材１１０に締結する場合にベース１５０を軸部材１１０に対して相対的に回転させても、電気機械変換部１３０とステータ１２０との位置関係が一定に保たれる。よって、電気機械変換部１３０に対する相対位置が決められた配線板１４０の周方向の位置を、締付け前の位置に対して不変とすることができる。従って、締付け前に、配線板１４０の外延部１４４を所定の位置に合わせることにより、締付け中の配線板１４０の固定を要することなく、締付け後においても、外延部１４４を所定の位置に合わせた状態にすることができる。 As described above, in the vibration actuator 100, even when the base 150 is fastened to the shaft member 110, the positional relationship between the electromechanical conversion unit 130 and the stator 120 is constant even if the base 150 is rotated relative to the shaft member 110. To be kept. Therefore, the circumferential position of the wiring board 140 at which the relative position with respect to the electromechanical conversion unit 130 is determined can be made unchanged with respect to the position before tightening. Accordingly, by aligning the extended portion 144 of the wiring board 140 to a predetermined position before tightening, the extended portion 144 is adjusted to the predetermined position even after tightening without requiring fixing of the wiring board 140 being tightened. Can be in a state.

図１１は、他の振動アクチュエータ１０１を示す断面図である。この図に示すように、振動アクチュエータ１０１は、電気機械変換部１３０の出力側の面１３６とステータ１２０の駆動側の面１２６との間に挟み込まれた配線板１４０を有する。 FIG. 11 is a cross-sectional view showing another vibration actuator 101. As shown in this figure, the vibration actuator 101 includes a wiring board 140 sandwiched between an output-side surface 136 of the electromechanical conversion unit 130 and a drive-side surface 126 of the stator 120.

配線板１４０の駆動側の面１４６と電気機械変換部１３０の出力側の面１３６との間の摩擦係数μ２１と、電気機械変換部１３０の駆動側の面１３５とベース１５０の出力側の面１５６との間の摩擦係数μ２２とは、下記（４）式の関係を満足するように設定されている。
μ２１＞μ２２…（４） The friction coefficient μ21 between the drive-side surface 146 of the wiring board 140 and the output-side surface 136 of the electromechanical conversion unit 130, the drive-side surface 135 of the electromechanical conversion unit 130, and the output-side surface 156 of the base 150 Is set so as to satisfy the relationship of the following equation (4).
μ21> μ22 (4)

また、上記摩擦係数μ２１と、配線板１４０の出力側の面１４５とステータ１２０の駆動側の面１２６との間の摩擦係数μ２３とは、下記（５）式の関係を満足するように設定されている。
μ２１＞μ２３…（５） The friction coefficient μ21 and the friction coefficient μ23 between the output-side surface 145 of the wiring board 140 and the driving-side surface 126 of the stator 120 are set so as to satisfy the relationship of the following expression (5). ing.
μ21> μ23 (5)

また、上記摩擦係数μ２３と上記摩擦係数μ２２とは、下記（６）式の関係を満足するように設定されている。
μ２３＞μ２２…（６） The friction coefficient μ23 and the friction coefficient μ22 are set so as to satisfy the relationship of the following expression (6).
μ23> μ22 (6)

次に、振動アクチュエータ１０１の組立工程について説明する。なお、軸部材１１０をステータ１２０に挿通するまでの工程は、振動アクチュエータ１００の組立工程と同様なので、重複する説明は省く。 Next, the assembly process of the vibration actuator 101 will be described. Note that the process until the shaft member 110 is inserted into the stator 120 is the same as the assembly process of the vibration actuator 100, and thus a duplicate description is omitted.

図１２および図１３は、振動アクチュエータ１０１の組み立てに固有の段階を、段階毎に示す図である。まず、図１２に示すように、軸部材１１０を配線板１４０の穴に出力側から挿通する。そして、軸部材１１０を電気機械変換部１３０の穴に出力側から挿通する。 FIG. 12 and FIG. 13 are diagrams showing the stages unique to the assembly of the vibration actuator 101 for each stage. First, as shown in FIG. 12, the shaft member 110 is inserted into the hole of the wiring board 140 from the output side. Then, the shaft member 110 is inserted into the hole of the electromechanical conversion unit 130 from the output side.

次に、ベース１５０のネジ孔１５２に、ベース１５０の出力側から、軸部材１１０のネジ部１１６を挿入して、ベース１５０を軸部材１１０に対して相対的に回転させる。これにより、ベース１５０を軸部材１１０に螺合させる。電気機械変換部１３０および配線板１４０は、ベース１５０およびステータ１２０に挟まれているので、ベース１５０を締め込むことにより、電気機械変換部１３０および配線板１４０は締付けられる。 Next, the screw portion 116 of the shaft member 110 is inserted into the screw hole 152 of the base 150 from the output side of the base 150, and the base 150 is rotated relative to the shaft member 110. Thereby, the base 150 is screwed to the shaft member 110. Since the electromechanical conversion unit 130 and the wiring board 140 are sandwiched between the base 150 and the stator 120, the electromechanical conversion unit 130 and the wiring board 140 are tightened by tightening the base 150.

ここで、配線板１４０および電気機械変換部１３０の互いに密着し合う面１４６、１３６の摩擦係数μ２１は、電気機械変換部１３０およびベース１５０の互いに密着し合う面１３５、１５６の摩擦係数μ２２より大きい。このため、配線板１４０および電気機械変換部１３０の間に生じる摩擦抵抗は、電気機械変換部１３０およびベース１５０の間に生じる摩擦抵抗より大きい。これにより、ベース１５０を軸部材１１０に対して相対的に回転させた場合、ベース１５０は、電気機械変換部１３０に対しても相対的に回転する。 Here, the friction coefficient μ21 of the surfaces 146 and 136 in close contact with each other of the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 is larger than the friction coefficient μ22 of the surfaces 135 and 156 in close contact with each other of the electromechanical conversion unit 130 and the base 150. . For this reason, the frictional resistance generated between the wiring board 140 and the electromechanical converter 130 is larger than the frictional resistance generated between the electromechanical converter 130 and the base 150. Thereby, when the base 150 is rotated relative to the shaft member 110, the base 150 also rotates relative to the electromechanical converter 130.

また、上記摩擦係数μ２１は、配線板１４０およびステータ１２０の互いに密着し合う面１４５、１２６の摩擦係数μ２３より大きい。このため、ベース１５０を軸部材１１０に対して相対的に回転させる場合に、配線板１４０および電気機械変換部１３０の間に生じる摩擦抵抗は、配線板１４０およびステータ１２０の間に生じる摩擦抵抗より大きい。従って、ベース１５０を軸部材１１０に対して相対的に回転させた場合、配線板１４０は、電気機械変換部１３０と一体的に、ステータ１２０に対して相対的に回転する。 The friction coefficient μ21 is larger than the friction coefficient μ23 of the surfaces 145 and 126 of the wiring board 140 and the stator 120 that are in close contact with each other. For this reason, when the base 150 is rotated relative to the shaft member 110, the frictional resistance generated between the wiring board 140 and the electromechanical converter 130 is greater than the frictional resistance generated between the wiring board 140 and the stator 120. large. Therefore, when the base 150 is rotated relative to the shaft member 110, the wiring board 140 rotates relative to the stator 120 integrally with the electromechanical conversion unit 130.

このように、振動アクチュエータ１０１では、振動アクチュエータ１００と同様に、ベース１５０を軸部材１１０に対して相対的に回転させて配線板１４０および電気機械変換部１３０を締付ける場合に、配線板１４０および電気機械変換部１３０の位置関係を一定に保つことができる。従って、配線板１４０および電気機械変換部１３０を接着し、あるいは、配線板１４０および電気機械変換部１３０をキーにより嵌合させて位置決めすることなしに、配線板１４０および電気機械変換部１３０の位置関係を維持しつつ、ベース１５０を締め込んで配線板１４０および電気機械変換部１３０を締結固定できる。 As described above, in the vibration actuator 101, similarly to the vibration actuator 100, when the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 are tightened by rotating the base 150 relative to the shaft member 110, The positional relationship of the mechanical conversion unit 130 can be kept constant. Accordingly, the position of the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 can be determined without bonding the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 or by fitting and positioning the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 with a key. While maintaining the relationship, it is possible to fasten and fix the wiring board 140 and the electromechanical converter 130 by tightening the base 150.

また、振動アクチュエータ１０１では、上記の摩擦係数μ２３が、摩擦係数μ２２より大きいので、ベース１５０を軸部材１１０に対して相対的に回転させた場合に、ベース１５０が、電気機械変換部１３０、配線板１４０およびステータ１２０に対して相対的に回転する一方、電気機械変換部１３０および配線板１４０は、ステータ１２０に対して相対的に回転することはない。 In the vibration actuator 101, the friction coefficient μ23 is larger than the friction coefficient μ22. Therefore, when the base 150 is rotated relative to the shaft member 110, the base 150 is connected to the electromechanical conversion unit 130, the wiring. While rotating relative to the plate 140 and the stator 120, the electromechanical converter 130 and the wiring board 140 do not rotate relative to the stator 120.

これにより、振動アクチュエータ１０１では、ベース１５０を軸部材１１０に対して相対的に回転させて、ベース１５０を締め込む場合に、配線板１４０およびステータ１２０の位置関係を一定に保つことができる。よって、配線板１４０の周方向の位置が、締付け前の位置に対して不変となる。従って、締付け前に、配線板１４０の外延部１４４を所定の位置に合わせることにより、外延部１４４を所定の位置に合わせた状態で振動アクチュエータ１０１を組み立てることができる。 Thus, in the vibration actuator 101, when the base 150 is tightened by rotating the base 150 relative to the shaft member 110, the positional relationship between the wiring board 140 and the stator 120 can be kept constant. Therefore, the circumferential position of the wiring board 140 remains unchanged with respect to the position before tightening. Therefore, the vibration actuator 101 can be assembled in a state in which the extended portion 144 is set to a predetermined position by adjusting the extended portion 144 of the wiring board 140 to a predetermined position before tightening.

なお、振動アクチュエータ１００、１０１では、軸部材１１０に螺合するベース１５０とステータ１２０とにより電気機械変換部１３０および配線板１４０を締付けた。しかし、ベース１５０の駆動側に軸部材１１０に螺合するナットを配して、該ナットとステータ１２０とによりベース１５０、電気機械変換部１３０および配線板１４０を締め付けてもよい。また、取付板１９０を軸部材１１０に螺合させ、またはＥリング２３０の替わりとなるナットを軸部材１１０に螺合させ、取付板１９０または該ナットとベース１５０とにより、これらの間に存する構成要素を締め付けてもよい。 In the vibration actuators 100 and 101, the electromechanical conversion unit 130 and the wiring board 140 are fastened by the base 150 and the stator 120 that are screwed to the shaft member 110. However, a nut that is screwed into the shaft member 110 may be disposed on the drive side of the base 150, and the base 150, the electromechanical conversion unit 130, and the wiring board 140 may be tightened by the nut and the stator 120. Further, the mounting plate 190 is screwed to the shaft member 110, or a nut that replaces the E-ring 230 is screwed to the shaft member 110, and the mounting plate 190 or the nut and the base 150 exist between them. The element may be tightened.

図１４は、振動アクチュエータ１００を備える撮像装置４００の模式的な断面図である。なお、上記実施形態と同様の構成には同一の符号を付して説明は省略する。 FIG. 14 is a schematic cross-sectional view of an imaging apparatus 400 that includes the vibration actuator 100. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure similar to the said embodiment, and description is abbreviate | omitted.

この図に示すように、撮像装置４００は、光学部材４２０と、レンズ鏡筒４３０と、振動アクチュエータ１００と、撮像部５００と、制御部５５０と、を備える。レンズ鏡筒４３０は光学部材４２０を収容する。 As shown in this figure, the imaging apparatus 400 includes an optical member 420, a lens barrel 430, a vibration actuator 100, an imaging unit 500, and a control unit 550. The lens barrel 430 accommodates the optical member 420.

振動アクチュエータ１００は、光学部材４２０を移動させる。撮像部５００は、光学部材４２０によって結像された画像を撮像する。制御部５５０は、振動アクチュエータ１００および撮像部５００を制御する。 The vibration actuator 100 moves the optical member 420. The imaging unit 500 captures an image formed by the optical member 420. The control unit 550 controls the vibration actuator 100 and the imaging unit 500.

また、撮像装置４００は、光学部材４２０、レンズ鏡筒４３０、および振動アクチュエータ１００を備えるレンズユニット４１０と、ボディ４６０を含む。レンズユニット４１０は、マウント４５０を介して、ボディ４６０に対して着脱自在に装着される。 In addition, the imaging apparatus 400 includes a lens unit 410 including an optical member 420, a lens barrel 430, and the vibration actuator 100, and a body 460. The lens unit 410 is detachably attached to the body 460 via the mount 450.

光学部材４２０は、図中で左側にあたる入射端から順次配列された、フロントレンズ４２２、コンペンセータレンズ４２４、フォーカシングレンズ４２６およびメインレンズ４２８を含む。フォーカシングレンズ４２６およびメインレンズ４２８の間には、アイリスユニット４４０が配置される。 The optical member 420 includes a front lens 422, a compensator lens 424, a focusing lens 426, and a main lens 428, which are sequentially arranged from the incident end corresponding to the left side in the drawing. An iris unit 440 is disposed between the focusing lens 426 and the main lens 428.

振動アクチュエータ１００は、光軸方向についてレンズ鏡筒４３０の中程にあって相対的に小径なフォーカシングレンズ４２６の下方に配置される。これにより、レンズ鏡筒４３０の径を拡大することなく、振動アクチュエータ１００はレンズ鏡筒４３０内に収容される。振動アクチュエータ１００は、例えばギア列を介してフォーカシングレンズ４２６を光軸方向に前進または後退させる。 The vibration actuator 100 is disposed in the middle of the lens barrel 430 in the optical axis direction and below the focusing lens 426 having a relatively small diameter. Accordingly, the vibration actuator 100 is accommodated in the lens barrel 430 without increasing the diameter of the lens barrel 430. The vibration actuator 100 advances or retracts the focusing lens 426 in the optical axis direction through, for example, a gear train.

ボディ４６０は、メインミラー５４０、ペンタプリズム４７０、接眼系４９０を含む光学部材を収容する。メインミラー５４０は、レンズユニット４１０を介して入射した入射光の光路上に傾斜して配置される待機位置と、入射光を避けて上昇する撮影位置（図中に点線で示す）との間を移動する。 The body 460 accommodates optical members including the main mirror 540, the pentaprism 470, and the eyepiece system 490. The main mirror 540 is located between a standby position inclined on the optical path of incident light incident through the lens unit 410 and an imaging position (indicated by a dotted line in the figure) that rises while avoiding incident light. Moving.

待機位置にあるメインミラー５４０は、入射光の大半を、上方に配されたフォーカシングスクリーン４７２に導く。ペンタプリズム４７０は、入射光の鏡映を接眼系４９０に向かって出射するので、フォーカシングスクリーン４７２に投影された像を接眼系４９０から正像として見ることができる。入射光の残りは、ペンタプリズム４７０により測光ユニット４８０に導かれる。測光ユニット４８０は、入射光の強度およびその分布等を測定する。 The main mirror 540 at the standby position guides most of the incident light to the focusing screen 472 disposed above. Since the pentaprism 470 emits a reflection of incident light toward the eyepiece system 490, the image projected on the focusing screen 472 can be viewed as a normal image from the eyepiece system 490. The remainder of the incident light is guided to the photometric unit 480 by the pentaprism 470. The photometric unit 480 measures the intensity and distribution of incident light.

なお、ペンタプリズム４７０および接眼系４９０の間には、ファインダ液晶４９４に形成された表示画像を、フォーカシングスクリーン４７２の映像に重ねるハーフミラー４９２が配置される。表示画像は、ペンタプリズム４７０から投影された画像に重ねて表示される。 A half mirror 492 that superimposes the display image formed on the finder liquid crystal 494 on the image on the focusing screen 472 is disposed between the pentaprism 470 and the eyepiece system 490. The display image is displayed so as to overlap the image projected from the pentaprism 470.

また、メインミラー５４０は、入射光の入射面に対する裏面にサブミラー５４２を有する。サブミラー５４２は、メインミラー５４０を透過した入射光の一部を、下方に配置された測距ユニット５３０に導く。これにより、メインミラー５４０が待機位置にある場合は、測距ユニット５３０が被写体までの距離を測定する。なお、メインミラー５４０が撮影位置に移動した場合は、サブミラー５４２も入射光の光路から退避する。 The main mirror 540 has a sub mirror 542 on the back surface of the incident light incident surface. The sub mirror 542 guides part of the incident light transmitted through the main mirror 540 to the distance measuring unit 530 disposed below. Thereby, when the main mirror 540 is in the standby position, the distance measuring unit 530 measures the distance to the subject. When the main mirror 540 is moved to the photographing position, the sub mirror 542 is also retracted from the optical path of the incident light.

更に、入射光に対してメインミラー５４０の後方には、シャッタ５２０、光学フィルタ５１０および撮像部５００が順次配置される。シャッタ５２０が開放される場合、その直前にメインミラー５４０が撮影位置に移動するので、入射光は直進して撮像部５００に入射される。これにより、入射光の形成する画像が電気信号に変換される。これにより、撮像部５００は、レンズユニット４１０によって結像された画像を撮像する。 Further, a shutter 520, an optical filter 510, and an imaging unit 500 are sequentially arranged behind the main mirror 540 with respect to incident light. When the shutter 520 is opened, the main mirror 540 moves to the photographing position immediately before the shutter 520 is opened, so that incident light travels straight and enters the imaging unit 500. Thereby, an image formed by incident light is converted into an electrical signal. Thereby, the imaging unit 500 captures an image formed by the lens unit 410.

撮像装置４００において、レンズユニット４１０とボディ４６０とは電気的にも結合されている。従って、例えば、ボディ４６０側の測距ユニット５３０が検出した被写体までの距離の情報に応じて振動アクチュエータ１００の回転を制御することにより、オートフォーカス機構を形成できる。また、測距ユニット５３０が振動アクチュエータ１００の動作量を参照することにより、フォーカスエイド機構を形成することもできる。振動アクチュエータ１００および撮像部５００は、制御部５５０により上記の通り制御される。 In the imaging device 400, the lens unit 410 and the body 460 are also electrically coupled. Therefore, for example, the autofocus mechanism can be formed by controlling the rotation of the vibration actuator 100 in accordance with the distance information to the subject detected by the distance measuring unit 530 on the body 460 side. Further, when the distance measuring unit 530 refers to the operation amount of the vibration actuator 100, a focus aid mechanism can be formed. The vibration actuator 100 and the imaging unit 500 are controlled by the control unit 550 as described above.

なお、振動アクチュエータ１００によりフォーカシングレンズ４２６を移動させる場合について例示したが、アイリスユニット４４０の開閉、ズームレンズのバリエータレンズの移動等を振動アクチュエータ１００で駆動できることはいうまでもない。この場合も、電気信号を介して測光ユニット４８０、ファインダ液晶４９４等と情報を参照し合うことにより、振動アクチュエータ１００は、露出の自動化、シーンモードの実行、ブラケット撮影の実行等に寄与する。また、本実施形態では、振動アクチュエータ１００を備える撮像装置４００を例に取って説明したが、振動アクチュエータ１００に替えて、振動アクチュエータ１０１を備えてもよい。 Although the case where the focusing lens 426 is moved by the vibration actuator 100 has been illustrated, it goes without saying that the vibration actuator 100 can drive the opening / closing of the iris unit 440, the movement of the variator lens of the zoom lens, and the like. Also in this case, the vibration actuator 100 contributes to automating exposure, execution of a scene mode, execution of bracket photography, and the like by referring to information with the photometric unit 480, the finder liquid crystal 494, and the like via an electrical signal. In the present embodiment, the imaging apparatus 400 including the vibration actuator 100 has been described as an example, but the vibration actuator 101 may be provided instead of the vibration actuator 100.

以上のように、振動アクチュエータ１００、１０１は、撮影機、双眼鏡等の光学系において、合焦機構、ズーム機構、手振れ補正機構等の駆動に好適に使用できる。さらに、精密ステージ、より具体的には電子ビーム描画装置、検査装置用各種ステージ、バイオテクノロジ用セルインジェクタの移動機構、核磁気共鳴装置の移動ベッド等の動力源に使用され得るが、用途がこれらに限られないことはいうまでもない。 As described above, the vibration actuators 100 and 101 can be suitably used for driving a focusing mechanism, a zoom mechanism, a camera shake correction mechanism, and the like in an optical system such as a photographing machine and binoculars. Furthermore, it can be used for power sources such as precision stages, more specifically electron beam lithography equipment, various stages for inspection equipment, moving mechanisms for cell injectors for biotechnology, moving beds for nuclear magnetic resonance equipment, etc. Needless to say, it is not limited to.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。 The order of execution of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior to”. It should be noted that the output can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.

１００、１０１振動アクチュエータ、１１０軸部材、１１２溝、１１３Ｄカット部、１１４、２１１嵌合部、１１５、１１６ネジ部、１２０ステータ、１２１嵌合孔、１２６、１３５、１３６、１４５、１４６、１５６面、１３０電気機械変換部、１３１、１３２、１３３、１３４電極、１３７圧電材料板、１３８素子層、１４０配線板、１４２円盤部、１４４外延部、１５０ベース、１５２ネジ孔、１５４保持部、１６０ロータ、１６１凸部、１６２リブ、１６６内周部、１６８フランジ部、１７０付勢部材、１８０歯車、１８１、１８２凹部、１９０取付板、１９１取付部、１９２ネジ、１９３孔、１９４リブ、２１０振動体、２１２内周部、２１４ネジ部、２１８段差部、２２０軸受、２３０Ｅリング、４００撮像装置、４１０レンズユニット、４２０光学部材、４２２フロントレンズ、コンペ４２４ンセータレンズ、４２６フォーカシングレンズ、４２８メインレンズ、４３０レンズ鏡筒、４４０アイリスユニット、４５０マウント、４６０ボディ、４７０ペンタプリズム、４７２フォーカシングスクリーン、４８０測光ユニット、４９０接眼系、４９２ハーフミラー、４９４ファインダ液晶、５００撮像部、５１０光学フィルタ、５２０シャッタ、５３０測距ユニット、５４０メインミラー、５４２サブミラー、５５０制御部 100, 101 Vibration actuator, 110 Shaft member, 112 groove, 113 D cut part, 114, 211 Fitting part, 115, 116 Screw part, 120 Stator, 121 Fitting hole, 126, 135, 136, 145, 146, 156 Surface, 130 Electromechanical conversion part, 131, 132, 133, 134 Electrode, 137 Piezoelectric material plate, 138 Element layer, 140 Wiring board, 142 Disk part, 144 Outer extension part, 150 Base, 152 Screw hole, 154 Holding part, 160 Rotor, 161 convex portion, 162 rib, 166 inner peripheral portion, 168 flange portion, 170 biasing member, 180 gear, 181, 182 concave portion, 190 mounting plate, 191 mounting portion, 192 screw, 193 hole, 194 rib, 210 vibration Body, 212 inner peripheral part, 214 screw part, 218 step part, 220 Receiving, 230 E-ring, 400 imaging device, 410 lens unit, 420 optical member, 422 front lens, competition 424 sensator lens, 426 focusing lens, 428 main lens, 430 lens barrel, 440 iris unit, 450 mount, 460 body, 470 Penta prism, 472 focusing screen, 480 photometric unit, 490 eyepiece system, 492 half mirror, 494 finder liquid crystal, 500 imaging unit, 510 optical filter, 520 shutter, 530 ranging unit, 540 main mirror, 542 sub mirror, 550 control unit

Claims

A rotor,
A stator disposed in contact with the rotor in the direction of the rotation axis of the rotor;
An electromechanical converter that is arranged at a position sandwiching the stator between the rotor and the rotor in the direction of the rotation axis, and that imparts vibrations that change around the rotation axis of the rotor to the stator;
A shaft member inserted through the rotor, the stator and the electromechanical converter;
A vibrating body sandwiched between the shaft member and the stator in the radial direction of the rotating shaft and extending toward the rotor along the direction of the rotating shaft;
A vibration actuator comprising:

The vibration actuator according to claim 1, wherein the vibrating body has a surface that abuts the shaft member in an axial direction of the shaft member.

The vibration actuator according to claim 1, wherein the vibration body is separated from the electromechanical conversion unit.

The vibration body engages with the shaft member and abuts on the stator from a side opposite to the electromechanical conversion unit to restrict displacement of the stator along the shaft member. The vibration actuator according to claim 3.

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 4, and
An optical member that is driven by the vibration actuator and moves in the optical axis direction;
A lens unit comprising:

The vibration actuator according to any one of claims 1 to 4, and
An optical member that is driven by the vibration actuator and moves in the optical axis direction;
An imaging unit for recording an image connected by the optical member;
An imaging apparatus comprising: