JP2010268630A

JP2010268630A - Actuator, lens unit and imaging device

Info

Publication number: JP2010268630A
Application number: JP2009118932A
Authority: JP
Inventors: Kazuyasu One; 一泰大根
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2009-05-15
Filing date: 2009-05-15
Publication date: 2010-11-25

Abstract

【課題】配線板と振動子との相対的な位置関係を確保できるアクチュエータを提供する。
【解決手段】軸部と、前記軸部の周りに回転自在であるロータと、前記軸部が挿通され、前記ロータに当接したステータと、前記軸部が挿通され、前記ステータを間に置いて前記ロータの反対側に配置され、前記ステータに前記軸部の周りに遷移する振動を発生させる振動子と、前記軸部が挿通され、前記振動子を間に置いて前記ステータの反対側に配置され、前記ステータと共に前記振動子を挟むベースと、前記軸部が挿通され、前記振動子と共に前記ベースと前記ステータとの間に挟まれて配置され、前記振動子に電力を供給する配線板と、を備え、前記ベース、前記配線板、前記振動子、及び前記ステータの各要素間の摩擦係数のうち、前記配線板と前記振動子との間の摩擦係数が最大であることを特徴とするアクチュエータ。
【選択図】図２An actuator capable of securing a relative positional relationship between a wiring board and a vibrator is provided.
A shaft portion, a rotor that is rotatable around the shaft portion, a stator through which the shaft portion is inserted and in contact with the rotor, a shaft portion is inserted, and the stator is interposed therebetween. Arranged on the opposite side of the rotor, and a vibrator that generates vibration that transitions around the shaft portion in the stator, and the shaft portion is inserted and placed on the opposite side of the stator with the vibrator interposed therebetween. A wiring board that is disposed and has a base that sandwiches the vibrator together with the stator, the shaft portion is inserted, and is sandwiched between the base and the stator together with the vibrator, and supplies power to the vibrator. And the friction coefficient between the wiring board and the vibrator is the largest among the friction coefficients between the elements of the base, the wiring board, the vibrator, and the stator. Actuator to do.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は、アクチュエータ、レンズユニット及び撮像装置に関する。 The present invention relates to an actuator, a lens unit, and an imaging apparatus.

振動子としての積層型圧電素子によりステータに発生される振動によってロータを回転させるアクチュエータが知られている（例えば、特許文献１参照）。当該超音波モータでは、シャフトが、ステータ、振動子、配線板、及びベースに挿通されており、シャフトに螺合したベースとステータとにより、振動子、及び配線板が締付けられて固定されている。 An actuator that rotates a rotor by vibration generated in a stator by a laminated piezoelectric element as a vibrator is known (see, for example, Patent Document 1). In the ultrasonic motor, the shaft is inserted through the stator, the vibrator, the wiring board, and the base, and the vibrator and the wiring board are fastened and fixed by the base and the stator that are screwed into the shaft. .

特開２００５−２８７２４６号公報JP 2005-287246 A

上記アクチュエータでは、ベースをシャフトの回りに回転させてベースとステータとにより配線板及び振動子を締付ける組立工程において、配線板と振動子とが互いに相対的に回転した場合には、配線板と振動子との接点が互いにずれてしまうという問題がある。そこで、当該事情に鑑み、配線板と振動子との相対的な位置関係を確保できるアクチュエータを提供することを課題とする。 In the actuator described above, when the wiring board and the vibrator rotate relative to each other in the assembly process of rotating the base around the shaft and fastening the wiring board and the vibrator by the base and the stator, the wiring board and the vibration There is a problem that the contacts with the child are displaced from each other. In view of the circumstances, it is an object to provide an actuator that can ensure the relative positional relationship between a wiring board and a vibrator.

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、軸部と、前記軸部の周りに回転自在であるロータと、前記軸部が挿通され、前記ロータに当接したステータと、前記軸部が挿通され、前記ステータを間に置いて前記ロータの反対側に配置され、前記ステータに前記軸部の周りに遷移する振動を発生させる振動子と、前記軸部が挿通され、前記振動子を間に置いて前記ステータの反対側に配置され、前記ステータと共に前記振動子を挟むベースと、前記軸部が挿通され、前記振動子と共に前記ベースと前記ステータとの間に挟まれて配置され、前記振動子に電力を供給する配線板と、を備え、前記ベース、前記配線板、前記振動子、及び前記ステータの各要素間の摩擦係数のうち、前記配線板と前記振動子との間の摩擦係数が最大であることを特徴とするアクチュエータを提供する。 In order to solve the above problems, in the first aspect of the present invention, a shaft portion, a rotor that is rotatable around the shaft portion, a stator that is inserted through the shaft portion and is in contact with the rotor, The shaft portion is inserted, the vibrator is disposed on the opposite side of the rotor with the stator interposed therebetween, and the shaft portion is inserted through a vibrator that generates vibration that moves around the shaft portion in the stator. The vibrator is disposed on the opposite side of the stator and the base is sandwiched between the base and the stator together with the stator. The shaft is inserted between the base and the stator together with the vibrator. A wiring board that supplies electric power to the vibrator, and among the friction coefficients between the base, the wiring board, the vibrator, and the stator, the wiring board and the vibrator Friction coefficient between To provide an actuator which is characterized in that.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

一実施形態に係るアクチュエータ１００を示す側面図である。It is a side view showing actuator 100 concerning one embodiment. アクチュエータ１００を示す側断面図である。2 is a side sectional view showing an actuator 100. FIG. 電気機械変換部１３０を示す分解斜視図である。3 is an exploded perspective view showing an electromechanical conversion unit 130. FIG. ステータ１２０及び電気機械変換部１３０の動作を誇張して示す斜視図である。It is a perspective view which exaggerates and shows operation | movement of the stator 120 and the electromechanical conversion part 130. FIG. ステータ１２０及び電気機械変換部１３０の動作を誇張して示す斜視図である。It is a perspective view which exaggerates and shows operation | movement of the stator 120 and the electromechanical conversion part 130. FIG. ステータ１２０及び電気機械変換部１３０の動作を誇張して示す斜視図である。It is a perspective view which exaggerates and shows operation | movement of the stator 120 and the electromechanical conversion part 130. FIG. ステータ１２０及び電気機械変換部１３０の動作を誇張して示す斜視図である。It is a perspective view which exaggerates and shows operation | movement of the stator 120 and the electromechanical conversion part 130. FIG. アクチュエータ１００の組立工程を示す斜視図である。5 is a perspective view showing an assembly process of the actuator 100. FIG. アクチュエータ１００の組立工程を示す斜視図である。5 is a perspective view showing an assembly process of the actuator 100. FIG. 他の実施形態に係るアクチュエータ２００を示す側断面図である。It is a sectional side view which shows the actuator 200 which concerns on other embodiment. アクチュエータ１００の組立工程を示す斜視図である。5 is a perspective view showing an assembly process of the actuator 100. FIG. アクチュエータ１００の組立工程を示す斜視図である。5 is a perspective view showing an assembly process of the actuator 100. FIG. 振動アクチュエータ１００を備える撮像装置７００の概略構成を示す側断面図である。1 is a side sectional view showing a schematic configuration of an imaging apparatus 700 including a vibration actuator 100. FIG.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

図１は、一実施形態に係るアクチュエータ１００を示す側面図である。なお、シャフト１１０の軸方向における駆動出力側を出力側、その反対側を非出力側として説明する。また、シャフト１１０の軸方向からアクチュエータ１００を見た場合を平面視、シャフト１１０の径方向からアクチュエータ１００を見た場合を側面視として説明する。 FIG. 1 is a side view showing an actuator 100 according to an embodiment. Note that the drive output side in the axial direction of the shaft 110 will be described as the output side, and the opposite side as the non-output side. Further, the case where the actuator 100 is viewed from the axial direction of the shaft 110 will be described as a plan view, and the case where the actuator 100 is viewed from the radial direction of the shaft 110 will be described as a side view.

この図に示すように、アクチュエータ１００は、円柱状の軸部材であるシャフト１１０と、シャフト１１０が挿通された取付板１９０、ロータ１６０、ステータ１２０、電気機械変換部１３０、配線板１４０、及びベース１５０とを備えている。取付板１９０、ロータ１６０、ステータ１２０、電気機械変換部１３０、配線板１４０、及びベース１５０は、シャフト１１０の軸方向に沿って出力側から非出側へ記載順に配されている。 As shown in this figure, the actuator 100 includes a shaft 110 that is a cylindrical shaft member, a mounting plate 190 through which the shaft 110 is inserted, a rotor 160, a stator 120, an electromechanical converter 130, a wiring board 140, and a base. 150. The mounting plate 190, the rotor 160, the stator 120, the electromechanical conversion unit 130, the wiring board 140, and the base 150 are arranged in the order of description along the axial direction of the shaft 110 from the output side to the non-exit side.

取付板１９０は、円盤であって、軸心にシャフト１１０が挿通されている。また、取付板１９０には、複数のネジ孔が形成されており、アクチュエータ１００が搭載される機器の取付部１９１にネジ１９２により締結される。この複数のネジ孔は、取付板１９０の軸心に対して対称に配されている。また、シャフト１１０の出力側の端部には、Ｅリング２３０が取り付けられており、シャフト１１０が取付板１９０から非出力側へ抜け出ないようになっている。 The mounting plate 190 is a disk, and the shaft 110 is inserted through the shaft center. A plurality of screw holes are formed in the mounting plate 190 and are fastened by screws 192 to a mounting portion 191 of a device on which the actuator 100 is mounted. The plurality of screw holes are arranged symmetrically with respect to the axis of the mounting plate 190. Further, an E ring 230 is attached to an output side end of the shaft 110 so that the shaft 110 does not come out of the attachment plate 190 to the non-output side.

ロータ１６０は、円筒形状の回転体であって、軸心にシャフト１１０が挿通されている。また、ロータ１６０と取付板１９０との間には、軸受２２０と歯車１８０とが配されている。軸受２２０と歯車１８０とは、シャフト１１０の軸方向に沿って出力側から記載順に配されており、これらの軸心にはシャフト１１０が挿通されている。 The rotor 160 is a cylindrical rotating body, and the shaft 110 is inserted through the shaft center. A bearing 220 and a gear 180 are arranged between the rotor 160 and the mounting plate 190. The bearing 220 and the gear 180 are arranged in the order of description along the axial direction of the shaft 110 from the output side, and the shaft 110 is inserted through these shaft centers.

軸受２２０は転がり軸受であって、軸受２２０の内輪は、シャフト１１０に嵌合している。また、軸受２２０の外輪は、歯車１８０の中央部に嵌合している。また、歯車１８０とロータ１６０とは嵌合している。 The bearing 220 is a rolling bearing, and the inner ring of the bearing 220 is fitted to the shaft 110. Further, the outer ring of the bearing 220 is fitted in the central portion of the gear 180. Further, the gear 180 and the rotor 160 are fitted.

ステータ１２０は、セラミック製の円盤であって、軸心にシャフト１１０が挿通されている。また、電気機械変換部１３０は、ドーナツ形状でセラミック製の圧電素子が積層されてなる円筒状の積層型圧電素子であって、軸心にシャフト１１０が挿通されている。また、配線板１４０は、ポリイミド製の円盤状の基板部分と銅製の配線部分とを備えるフレキシブルプリント配線板であって、軸心にシャフト１１０が挿通されている。さらに、ベース１５０は、ステンレス製の円盤であって、軸心にシャフト１１０が挿通されている。 The stator 120 is a ceramic disk, and the shaft 110 is inserted through the shaft center. The electromechanical conversion unit 130 is a cylindrical laminated piezoelectric element formed by laminating doughnut-shaped ceramic piezoelectric elements, and the shaft 110 is inserted through an axis. Moreover, the wiring board 140 is a flexible printed wiring board provided with a disk-shaped board portion made of polyimide and a wiring portion made of copper, and the shaft 110 is inserted through the axis. Furthermore, the base 150 is a stainless steel disk, and the shaft 110 is inserted through the shaft center.

ステータ１２０はロータ１６０に、電気機械変換部１３０はステータ１２０に、それぞれ当接している。また、配線板１４０は、電気機械変換部１３０とベース１５０とにより挟まれている。 The stator 120 is in contact with the rotor 160, and the electromechanical converter 130 is in contact with the stator 120. The wiring board 140 is sandwiched between the electromechanical conversion unit 130 and the base 150.

また、ベース１５０の外周部には、保持部１５４が形成されている。この保持部１５４は、ベース１５０の軸心を中心として回転対称に配された４個の平面により構成されており、レンチ等の工具により保持される。 A holding portion 154 is formed on the outer peripheral portion of the base 150. The holding portion 154 is composed of four planes that are rotationally symmetrical about the axis of the base 150 and is held by a tool such as a wrench.

図２は、アクチュエータ１００を示す側断面図である。この図に示すように、シャフト１１０の出力側には、出力側から非出力側へかけて記載順に、Ｅリング取付用の溝１１２、Ｄカット部１１３、軸受２２０の内輪と嵌合する嵌合部１１４が形成されている。溝１１２とＤカット部１１３とはシャフト１１０の軸方向に間隔を空けずに形成され、Ｄカット部１１３と嵌合部１１４とがシャフト１１０の軸方向に微小間隔を空けて形成されている。嵌合部１１４の直径はＤカット部１１３の直径より大きくなっている。 FIG. 2 is a side sectional view showing the actuator 100. As shown in this figure, on the output side of the shaft 110, a fitting for fitting with the E-ring mounting groove 112, the D-cut portion 113, and the inner ring of the bearing 220 in the order of description from the output side to the non-output side. A portion 114 is formed. The groove 112 and the D-cut portion 113 are formed without a gap in the axial direction of the shaft 110, and the D-cut portion 113 and the fitting portion 114 are formed with a small gap in the axial direction of the shaft 110. The diameter of the fitting part 114 is larger than the diameter of the D-cut part 113.

Ｄカット部１１３は、平面視にてＤ字状に形成され、一方、取付板１９０の軸心には、Ｄカット部１１３と凸凹関係にある平面視にてＤ字状の孔１９３が形成されており、Ｄカット部１１３と孔１９３とが、相対回転不能に嵌り合っている。また、Ｅリング２３０の外径がＤカット部１１３の外径より大きく、嵌合部１１４の直径が孔１９３の内径より大きく、さらに、取付板１９０の厚みとＤカット部１１３の軸方向長さが同一であることにより、取付板１９０が軸方向へ移動不能となっている。 The D-cut portion 113 is formed in a D shape in plan view. On the other hand, a D-shaped hole 193 is formed in the shaft center of the mounting plate 190 in a plan view having a concave-convex relationship with the D cut portion 113. The D-cut portion 113 and the hole 193 are fitted so as not to be relatively rotatable. Further, the outer diameter of the E-ring 230 is larger than the outer diameter of the D-cut portion 113, the diameter of the fitting portion 114 is larger than the inner diameter of the hole 193, and the thickness of the mounting plate 190 and the axial length of the D-cut portion 113. Are the same, the mounting plate 190 cannot be moved in the axial direction.

取付板１９０の非出力側の面における中央部には、円状のリブ１９４が形成されている。リブ１９４の高さは、Ｄカット部１１３と嵌合部１１４との間隔と同一であり、また、軸受２２０の軸方向寸法と嵌合部１１４の軸方向寸法とは同一である。このため、軸受２２０の非出力側の端部と嵌合部１１４の非出力側の端部とは面一となっている。 A circular rib 194 is formed at the center of the non-output side surface of the mounting plate 190. The height of the rib 194 is the same as the distance between the D-cut portion 113 and the fitting portion 114, and the axial dimension of the bearing 220 and the axial dimension of the fitting portion 114 are the same. For this reason, the non-output side end of the bearing 220 and the non-output side end of the fitting portion 114 are flush with each other.

歯車１８０の出力側の面における中央部には、軸受２２０の外輪と嵌合する円状の凹部１８１が形成されている。即ち、歯車１８０は、軸受２２０を介してシャフト１１０の嵌合部１１４にシャフト１１０の軸線周りに回転自在に支持されている。 A circular recess 181 that fits with the outer ring of the bearing 220 is formed at the center of the output side surface of the gear 180. That is, the gear 180 is supported by the fitting portion 114 of the shaft 110 via the bearing 220 so as to be rotatable around the axis of the shaft 110.

また、歯車１８０の非出力側の面には、平面視にて円状の凹部１８２が形成され、ロータ１６０の出力側の面には、凹部１８２と嵌合する平面視にて円状の凸部１６１が形成されている。また、ロータ１６０の内周部１６６とシャフト１１０との間には空間が形成されており、この空間には、付勢部材１７０と振動体２１０とが配されている。 Further, a circular concave portion 182 is formed on the non-output side surface of the gear 180 in a plan view, and a circular convex portion is formed on the output side surface of the rotor 160 in a plan view that fits with the concave portion 182. A portion 161 is formed. Further, a space is formed between the inner peripheral portion 166 of the rotor 160 and the shaft 110, and the biasing member 170 and the vibrating body 210 are disposed in this space.

振動体２１０は、円筒状の金属製弾性体であって、シャフト１１０が挿通されている。振動体２１０の内周部２１２における非出力側の端部には、ネジ部２１４が形成され、シャフト１１０には、ネジ部２１４と螺合するネジ部１１５が形成されており、振動体２１０における非出力側の端部がシャフト１１０に締結固定されている。 The vibrating body 210 is a cylindrical metal elastic body, and the shaft 110 is inserted therethrough. A threaded portion 214 is formed at the non-output side end of the inner peripheral portion 212 of the vibrating body 210, and a threaded portion 115 that is screwed with the threaded portion 214 is formed on the shaft 110. The end on the non-output side is fastened and fixed to the shaft 110.

また、ロータ１６０の内周部１６６における非出力側の端部には、内径側へ張り出したフランジ部１６８が形成されており、このフランジ部１６８には、付勢部材１７０の非出力側の端部が当接している。付勢部材１７０は、圧縮コイルバネであって、内部にシャフト１１０及び振動体２１０が挿通されている。また、付勢部材１７０の出力側の端部は、歯車１８０の凹部１８２に当接しており、シャフト１１０の軸方向に弾性収縮している。 Further, a flange portion 168 projecting toward the inner diameter side is formed at the end portion on the non-output side of the inner peripheral portion 166 of the rotor 160, and the end portion on the non-output side of the urging member 170 is formed on the flange portion 168. The parts are in contact. The urging member 170 is a compression coil spring, and the shaft 110 and the vibrating body 210 are inserted therein. Further, the output side end portion of the biasing member 170 is in contact with the concave portion 182 of the gear 180 and is elastically contracted in the axial direction of the shaft 110.

ステータ１２０の軸心には、振動体２１０の非出力側端部に存する嵌合部２１１が嵌合する嵌合孔１２１が形成されている。ここで、振動体２１０の嵌合部２１１より出力側には、該嵌合部２１１より大径の段差部２１８が形成されており、ステータ１２０の出力側の面と段差部２１８とが係合している。 A fitting hole 121 into which the fitting portion 211 existing at the non-output side end of the vibrating body 210 is fitted is formed in the shaft center of the stator 120. Here, a step portion 218 having a diameter larger than that of the fitting portion 211 is formed on the output side of the fitting portion 211 of the vibrating body 210, and the surface on the output side of the stator 120 and the step portion 218 are engaged with each other. is doing.

ロータ１６０の非出力側の面には、円環状のリブ１６２が形成されており、この円環状のリブ１６２が、付勢部材１７０の付勢力によりステータ１２０に圧接されている。また、歯車１８０及び軸受２２０が取付板１９０に、取付板１９０がＥリング２３０にそれぞれ、付勢部材１７０の付勢力により圧接されている。 An annular rib 162 is formed on the non-output side surface of the rotor 160, and the annular rib 162 is pressed against the stator 120 by the urging force of the urging member 170. The gear 180 and the bearing 220 are pressed against the mounting plate 190 and the mounting plate 190 is pressed against the E-ring 230 by the biasing force of the biasing member 170, respectively.

配線板１４０は、円盤状に形成された円盤部１４２と、円盤部１４２から外径側へ延出する外延部１４４とを備えている。円盤部１４２の直径は、電気機械変換部１３０の直径と同一である。 The wiring board 140 includes a disk part 142 formed in a disk shape and an outer extension part 144 extending from the disk part 142 to the outer diameter side. The diameter of the disk part 142 is the same as the diameter of the electromechanical converter 130.

ベース１５０の軸心には、ネジ孔１５２が形成され、シャフト１１０の非出力側端部には、ネジ孔１５２と螺合するネジ部１１６が形成されており、ベース１５０がシャフト１１０の非出力側端部に締結固定されている。即ち、電気機械変換部１３０と配線板１４０とは、段差部２１８により出力側への移動を阻止されたステータ１２０と、シャフト１１０に螺合したベース１５０とにより、締付けられた状態で固定されている。 A screw hole 152 is formed in the axial center of the base 150, and a threaded portion 116 that is screwed into the screw hole 152 is formed at the non-output side end of the shaft 110. It is fastened and fixed to the side end. That is, the electromechanical converter 130 and the wiring board 140 are fixed in a tightened state by the stator 120 blocked from moving to the output side by the step 218 and the base 150 screwed to the shaft 110. Yes.

ところで、ステータ１２０の非出力側の面１２６、及び電気機械変換部１３０の出力側の面１３６は、共に研磨、熱処理等の平滑度を向上させる表面加工を施されることにより、互いの間の隙間が減ぜられ、互いの密着度が向上されている。また、電気機械変換部１３０の非出力側の面１３５、及び配線板１４０の出力側の面１４５は、同様の表面加工を施されることにより、互いの間の隙間が減ぜられ、互いの密着度が向上されている。さらに、配線板１４０の非出力側の面１４６、及びベース１５０の出力側の面１５６も、同様の表面加工を施されることにより、互いの間の隙間が減ぜられ、互いの密着度が向上されている。これにより、電気機械変換部１３０で生じた変位、振動をステータ１２０へ効率よく伝播させることができ、以って、アクチュエータ１００の出力を効率よく増加させることができる。 By the way, the non-output-side surface 126 of the stator 120 and the output-side surface 136 of the electromechanical conversion unit 130 are both subjected to surface processing that improves smoothness such as polishing and heat treatment, so The gap is reduced and the degree of close contact with each other is improved. Further, the non-output-side surface 135 of the electromechanical conversion unit 130 and the output-side surface 145 of the wiring board 140 are subjected to the same surface processing, thereby reducing the gap between each other. The degree of adhesion is improved. Further, the surface 146 on the non-output side of the wiring board 140 and the surface 156 on the output side of the base 150 are also subjected to the same surface processing, whereby the gap between each other is reduced and the degree of adhesion between them is reduced. Has been improved. Accordingly, the displacement and vibration generated in the electromechanical conversion unit 130 can be efficiently propagated to the stator 120, and thus the output of the actuator 100 can be efficiently increased.

ここで、配線板１４０の出力側の面１４５と当該面１４５に密着する電気機械変換部１３０の非出力側の面１３５との間の摩擦係数μ１と、配線板１４０の非出力側の面１４６と当該面１４６に密着するベース１５０の出力側の面１５６との間の摩擦係数μ２とは、下記（１）式の関係を満足するように設定されている。
μ１＞μ２…（１） Here, the friction coefficient μ1 between the output-side surface 145 of the wiring board 140 and the non-output-side surface 135 of the electromechanical transducer 130 that is in close contact with the surface 145, and the non-output-side surface 146 of the wiring board 140 And the friction coefficient μ2 between the output side surface 156 of the base 150 that is in close contact with the surface 146 is set so as to satisfy the relationship of the following expression (1).
μ1> μ2 (1)

また、上記摩擦係数μ１と、電気機械変換部１３０の出力側の面１３６と当該面１３６に密着するステータ１２０の非出力側の面１２６との間の摩擦係数μ３とは、下記（２）式の関係を満足するように設定されている。
μ１＞μ３…（２） The friction coefficient μ1 and the friction coefficient μ3 between the output-side surface 136 of the electromechanical converter 130 and the non-output-side surface 126 of the stator 120 that is in close contact with the surface 136 are expressed by the following equation (2). It is set to satisfy the relationship.
μ1> μ3 (2)

また、上記摩擦係数μ２と上記摩擦係数μ３とは、下記（３）式の関係を満足するように設定されている。
μ３＞μ２…（３） The friction coefficient μ2 and the friction coefficient μ3 are set so as to satisfy the relationship of the following expression (3).
μ3> μ2 (3)

なお、摩擦係数μ１、μ２、μ３は、面１２６、１３５、１３６、１４５、１４６、１５６の表面粗さに依存するので、面１２６、１３５、１３６、１４５、１４６、１５６の表面粗さを大小させることにより、摩擦係数μ１、μ２、μ３を大小させる。また、摩擦係数μ１、μ２、μ３は、面１２６、１３５、１３６、１４５、１４６、１５６の材質の違いにも依存するので、面１２６、１３５、１３６、１４５、１４６の表面粗さを、材質の違いを考慮に入れたうえで大小させる。 Since the friction coefficients μ1, μ2, and μ3 depend on the surface roughness of the surfaces 126, 135, 136, 145, 146, and 156, the surface roughness of the surfaces 126, 135, 136, 145, 146, and 156 is increased or decreased. As a result, the friction coefficients μ1, μ2, and μ3 are increased or decreased. Further, since the friction coefficients μ1, μ2, and μ3 depend on the difference in material of the surfaces 126, 135, 136, 145, 146, and 156, the surface roughness of the surfaces 126, 135, 136, 145, and 146 is determined by the material. Make it big and small after taking into account the difference.

図３は、電気機械変換部１３０を示す分解斜視図である。この図に示すように、電気機械変換部１３０は、シャフト１１０の軸方向に積層された複数の素子層１３８を備えている。素子層１３８の各々は、圧電材料板１３７と、圧電材料板１３７の表面に形成された複数の電極１３１、１３２、１３３、１３４とを備えている。 FIG. 3 is an exploded perspective view showing the electromechanical conversion unit 130. As shown in this figure, the electromechanical conversion unit 130 includes a plurality of element layers 138 stacked in the axial direction of the shaft 110. Each of the element layers 138 includes a piezoelectric material plate 137 and a plurality of electrodes 131, 132, 133, and 134 formed on the surface of the piezoelectric material plate 137.

電極１３１、１３２、１３３、１３４は、略セクタ状の同形状とされており、シャフト１１０を中心として回転対称に配されている。また、同符号が付された電極の全体同士が軸方向に重なり合うように、素子層１３８が積層されており、各電極は、電気機械変換部１３０の側面に形成された導線により、配線板１４０の電極に導通される。また、圧電材料板１３７の電極形成面の裏側にはグランド電極が形成されており、各層のグランド電極は、電気機械変換部１３０の側面に形成された導線により、配線板１４０のグランド電極に導通される。 The electrodes 131, 132, 133, and 134 have substantially the same sector shape, and are arranged rotationally symmetrically about the shaft 110. The element layers 138 are stacked so that the electrodes having the same reference numerals are overlapped in the axial direction, and each electrode is connected to the wiring board 140 by a conductive wire formed on the side surface of the electromechanical conversion unit 130. Is conducted to the electrode. In addition, a ground electrode is formed on the back side of the electrode forming surface of the piezoelectric material plate 137, and the ground electrode of each layer is electrically connected to the ground electrode of the wiring board 140 by a conductive wire formed on the side surface of the electromechanical conversion unit 130. Is done.

圧電材料板１３７は、駆動電圧を印加された場合に伸張する圧電材料を含んでいる。具体的には、チタン酸チタン酸ジルコン酸鉛、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電材料を含んでいる。なお、多くの圧電材料は脆いので、りん青銅等の高弾性金属材料で補強することが好ましい。また、上記電極は、ニッケル、金等の電極材料を用いて、鍍金、スパッタ、蒸着、厚膜印刷等の方法で、圧電材料の表面に直接に形成すればよい。 The piezoelectric material plate 137 includes a piezoelectric material that expands when a driving voltage is applied. Specific examples include piezoelectric materials such as lead zirconate titanate, quartz, lithium niobate, barium titanate, lead titanate, lead metaniobate, polyvinylidene fluoride, lead zinc niobate, and lead scandium niobate. It is out. Since many piezoelectric materials are fragile, they are preferably reinforced with a highly elastic metal material such as phosphor bronze. The electrode may be formed directly on the surface of the piezoelectric material by using an electrode material such as nickel or gold by a method such as plating, sputtering, vapor deposition, or thick film printing.

次に、本実施形態における作用について説明する。図４Ａ〜図４Ｄは、ステータ１２０及び電気機械変換部１３０の動作を誇張して示す斜視図である。図４Ａ、図４Ｂ、図４Ｃおよび図４Ｄの相互の間に記入された矢印は、ステータ１２０及び電気機械変換部１３０の状態が遷移することを示すと共に、状態の遷移が循環してステータ１２０及び電気機械変換部１３０が周期的に動作することを示す。 Next, the operation in this embodiment will be described. 4A to 4D are perspective views showing exaggerated operations of the stator 120 and the electromechanical conversion unit 130. FIG. 4A, FIG. 4B, FIG. 4C, and FIG. 4D indicate that the state of the stator 120 and the electromechanical transducer 130 changes, and that the state transition circulates and the stator 120 and It shows that the electromechanical converter 130 operates periodically.

電極１３１、１３２、１３３、１３４のいずれかに対して駆動電圧が印加された場合、電気機械変換部１３０の軸方向の長さは、駆動電圧が印加された電極１３１、１３２、１３３、１３４に対応する部位で増加する。一方、駆動電圧が印加されていない電極１３１、１３２、１３３、１３４に対応する部位では、電気機械変換部１３０の軸方向の長さは変化しない。ステータ１２０は、電気機械変換部１３０の軸方向の長さが増加した部位において持ち上げられる。これにより、ステータ１２０は傾斜する。 When a driving voltage is applied to any of the electrodes 131, 132, 133, and 134, the axial length of the electromechanical converter 130 is set to the electrodes 131, 132, 133, and 134 to which the driving voltage is applied. Increases at corresponding sites. On the other hand, the length in the axial direction of the electromechanical conversion unit 130 does not change in the portions corresponding to the electrodes 131, 132, 133, and 134 to which no drive voltage is applied. The stator 120 is lifted at a portion where the axial length of the electromechanical transducer 130 is increased. Thereby, the stator 120 inclines.

電極１３１、１３２、１３３、１３４に対して順次駆動電圧が印加されると、電極１３１、１３２、１３３、１３４に対応する部位で、電気機械変換部１３０の軸方向の長さが順次増加する。例えば、電極１３１、１３２、１３３、１３４に対して、π／４ずつ位相が異なる交流電圧が印加される。これにより、ステータ１２０の傾斜方向が、軸心周りの一方向へと遷移していくと共に、当該方向へ遷移する振動が発生する。ステータ１２０には、共振周波数の振動を発生させる。 When a driving voltage is sequentially applied to the electrodes 131, 132, 133, and 134, the length in the axial direction of the electromechanical conversion unit 130 is sequentially increased at portions corresponding to the electrodes 131, 132, 133, and 134. For example, AC voltages having different phases by π / 4 are applied to the electrodes 131, 132, 133, and 134. As a result, the inclination direction of the stator 120 changes in one direction around the axis, and vibrations that change in that direction are generated. The stator 120 generates vibration at a resonance frequency.

ロータ１６０は、付勢部材１７０に付勢されて、ステータ１２０に対して定常的に当接している。このため、ロータ１６０は、傾斜方向を周回させつつ揺動するステータ１２０から摩擦駆動力及び軸周りに遷移する共振を受けて回転する。また、ロータ１６０のリブ１６４と歯車１８０の凹部１８２とは、付勢部材１７０の付勢力により圧接されており、ロータ１６０と歯車１８０とは、凸部１６１と凹部１８２との間に生じる摩擦力により一体で回転する。これにより、モータ駆動力が出力される。 The rotor 160 is urged by the urging member 170 and is in constant contact with the stator 120. For this reason, the rotor 160 rotates in response to the friction drive force and the resonance that changes around the axis from the stator 120 that swings while rotating around the tilt direction. Further, the rib 164 of the rotor 160 and the concave portion 182 of the gear 180 are pressed against each other by the biasing force of the biasing member 170, and the rotor 160 and the gear 180 have a friction force generated between the convex portion 161 and the concave portion 182. Rotate together. Thereby, a motor driving force is output.

次に、アクチュエータ１００の組立工程について説明する。当該組立工程では、まず、シャフト１１０のＤカット部１１３を、非出力側から取付板１９０の孔１９３に挿入する。このとき、Ｄカット部１１３の平面部と孔１９３の平面部とを合わせる。 Next, the assembly process of the actuator 100 will be described. In the assembly process, first, the D-cut portion 113 of the shaft 110 is inserted into the hole 193 of the mounting plate 190 from the non-output side. At this time, the flat portion of the D-cut portion 113 and the flat portion of the hole 193 are aligned.

次に、Ｅリング２３０をシャフト１１０の溝１１２に嵌める。これにより、取付板１９０は、Ｅリング２３０により出力側へ移動不能とされ、Ｄカット部１１３より大径の嵌合部１１４により非出力側へ移動不能とされる。 Next, the E ring 230 is fitted into the groove 112 of the shaft 110. As a result, the mounting plate 190 cannot be moved to the output side by the E-ring 230, and cannot be moved to the non-output side by the fitting portion 114 having a larger diameter than the D-cut portion 113.

次に、シャフト１１０を軸受２２０の内輪に出力側から挿通して、シャフト１１０の嵌合部１１４と軸受２２０の内輪とを嵌合させる。このとき、軸受２２０の内輪を取付板１９０のリブ１９４に当接させる。そして、シャフト１１０を歯車１８０に出力側から挿通して、軸受２２０の外輪を歯車１８０の凹部１８１に嵌合させる。 Next, the shaft 110 is inserted into the inner ring of the bearing 220 from the output side, and the fitting portion 114 of the shaft 110 and the inner ring of the bearing 220 are fitted. At this time, the inner ring of the bearing 220 is brought into contact with the rib 194 of the mounting plate 190. Then, the shaft 110 is inserted into the gear 180 from the output side, and the outer ring of the bearing 220 is fitted into the recess 181 of the gear 180.

次に、付勢部材１７０をロータ１６０の内部に挿入した後に、シャフト１１０を付勢部材１７０及びロータ１６０の内部に出力側から挿通する。このとき、ロータ１６０の凸部１６１を歯車１８０の凹部１８２に嵌合させる。 Next, after the biasing member 170 is inserted into the rotor 160, the shaft 110 is inserted into the biasing member 170 and the rotor 160 from the output side. At this time, the convex portion 161 of the rotor 160 is fitted into the concave portion 182 of the gear 180.

次に、シャフト１１０を振動体２１０に出力側から挿通する。このとき、シャフト１１０のネジ部１１５と振動体２１０のネジ部２１４とを螺合させることにより、振動体２１０をシャフト１１０に締結固定する。そして、シャフト１１０をステータ１２０の嵌合孔１２１に出力側から挿通する。このとき、振動体２１０の嵌合部２１１をステータ１２０の嵌合孔１２１に嵌合させると共に、ステータ１２０を段差部２１８に係合させる。 Next, the shaft 110 is inserted into the vibrating body 210 from the output side. At this time, the vibration member 210 is fastened and fixed to the shaft 110 by screwing the screw portion 115 of the shaft 110 and the screw portion 214 of the vibration member 210. Then, the shaft 110 is inserted into the fitting hole 121 of the stator 120 from the output side. At this time, the fitting portion 211 of the vibrating body 210 is fitted into the fitting hole 121 of the stator 120 and the stator 120 is engaged with the step portion 218.

以降の工程については図５及び図６を参照して説明する。これらの図に示すように、シャフト１１０を電気機械変換部１３０の孔に出力側から挿通する。そして、シャフト１１０を配線板１４０の孔に出力側から挿通する。 The subsequent steps will be described with reference to FIGS. As shown in these drawings, the shaft 110 is inserted into the hole of the electromechanical converter 130 from the output side. Then, the shaft 110 is inserted into the hole of the wiring board 140 from the output side.

次に、シャフト１１０のネジ部１１６をベース１５０のネジ孔１５２に出力側から挿入して、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させることにより、ベース１５０をシャフト１１０に螺合させる。このとき、ベース１５０とステータ１２０とにより電気機械変換部１３０及び配線板１４０を挟み込んだ状態で、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させることにより、ベース１５０とステータ１２０とにより電気機械変換部１３０及び配線板１４０を締付ける。 Next, the screw portion 116 of the shaft 110 is inserted into the screw hole 152 of the base 150 from the output side, and the base 150 is rotated relative to the shaft 110, thereby screwing the base 150 to the shaft 110. At this time, by rotating the base 150 relative to the shaft 110 in a state where the electromechanical conversion unit 130 and the wiring board 140 are sandwiched between the base 150 and the stator 120, the base 150 and the stator 120 can The conversion unit 130 and the wiring board 140 are tightened.

ここで、配線板１４０と電気機械変換部１３０との互いに密着し合う面１４５と面１３５との間の摩擦係数μ１が、配線板１４０とベース１５０との互いに密着し合う面１４６と面１５６との間の摩擦係数μ２より大きくなっている。このため、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させるに際して、配線板１４０と電気機械変換部１３０との互いに密着し合う面１４５と面１３５との間に生じる摩擦抵抗が、配線板１４０とベース１５０との互いに密着し合う面１４６と面１５６との間に生じる摩擦抵抗より大きくなる。従って、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させた場合、ベース１５０が配線板１４０に対して相対的に回転する。 Here, the friction coefficient μ1 between the surface 145 and the surface 135 of the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 that are in close contact with each other is such that the surfaces 146 and 156 of the wiring board 140 and the base 150 that are in close contact with each other. Is larger than the friction coefficient μ2. For this reason, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, a frictional resistance generated between the surfaces 145 and 135 of the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 that are in close contact with each other is generated. The frictional resistance generated between the surface 146 and the surface 156 in close contact with each other and the base 150 becomes larger. Therefore, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, the base 150 rotates relative to the wiring board 140.

また、上記摩擦係数μ１が、電気機械変換部１３０とステータ１２０との互いに密着し合う面１３６と面１２６との間の摩擦係数μ３より大きくなっている。このため、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させるに際して、配線板１４０と電気機械変換部１３０との互いに密着し合う面１４５と面１３５との間に生じる摩擦抵抗が、電気機械変換部１３０とステータ１２０との互いに密着し合う面１３６と面１２６との間に生じる摩擦抵抗より大きくなる。従って、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させるに際して、配線板１４０がベース１５０に追従して回転する場合には、配線板１４０が電気機械変換部１３０と一体となってステータ１２０に対して相対的に回転する。 Further, the friction coefficient μ1 is larger than the friction coefficient μ3 between the surface 136 and the surface 126 of the electromechanical converter 130 and the stator 120 that are in close contact with each other. Therefore, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, the frictional resistance generated between the surface 145 and the surface 135 of the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 that are in close contact with each other is This is larger than the frictional resistance generated between the surface 136 and the surface 126 of the part 130 and the stator 120 that are in close contact with each other. Accordingly, when the wiring board 140 rotates following the base 150 when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, the wiring board 140 is integrated with the electromechanical conversion unit 130 to the stator 120. It rotates relative to it.

以上により、本実施形態に係るアクチュエータ１００では、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させて、ベース１５０とステータ１２０とにより配線板１４０及び電気機械変換部１３０を締付ける場合に、配線板１４０と電気機械変換部１３０との位置関係を一定に保つことができる。従って、配線板１４０と電気機械変換部１３０とを接着したり、配線板１４０と電気機械変換部１３０とをキーとキー溝とにより位置決めしたりすることなしに、配線板１４０と電気機械変換部１３０との位置関係を確保した状態で、ベース１５０とステータ１２０とにより配線板１４０と電気機械変換部１３０とを締結固定することができる。 As described above, in the actuator 100 according to the present embodiment, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110 and the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 are tightened by the base 150 and the stator 120, the wiring board is used. The positional relationship between 140 and the electromechanical converter 130 can be kept constant. Therefore, without bonding the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 or positioning the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 with the key and the key groove, the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit. The wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 can be fastened and fixed by the base 150 and the stator 120 in a state where the positional relationship with the terminal 130 is secured.

また、ベース１５０、配線板１４０、電気機械変換部１３０、ステータ１２０が、動作中の捩りモーメントを受けてシャフト１１０の周りに動く場合でも、配線板１４０と電気機械変換部１３０とは一体となって、ベース１５０及びステータ１２０に対して相対的に動く。従って、配線板１４０と電気機械変換部１３０とを接着したり、配線板１４０と電気機械変換部１３０とをキーとキー溝とにより位置決めしたりすることなしに、動作中の配線板１４０と電気機械変換部１３０との位置関係を確保できる。 Further, even when the base 150, the wiring board 140, the electromechanical converter 130, and the stator 120 move around the shaft 110 in response to a torsional moment during operation, the wiring board 140 and the electromechanical converter 130 are integrated. Thus, it moves relative to the base 150 and the stator 120. Therefore, the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 are not bonded to each other and the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 are not positioned with the key and the key groove, so that the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 are electrically operated. The positional relationship with the machine conversion unit 130 can be ensured.

ここで、配線板１４０と電気機械変換部１３０との接着を不要としたことにより、作業工程、作業工数を削減できる。また、配線板１４０と電気機械変換部１３０との間に接着層が存在しないことにより、アクチュエータ１００の振動周波数特性の変動要因を減らすことができ、当該振動周波数特性の調整を容易化できる。 Here, since the bonding between the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 is not required, the work process and work man-hours can be reduced. In addition, since there is no adhesive layer between the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130, the variation factor of the vibration frequency characteristic of the actuator 100 can be reduced, and the adjustment of the vibration frequency characteristic can be facilitated.

また、配線板１４０と電気機械変換部１３０とを位置決めするキーとキー溝等の位置決め部を要しない。従って、配線板１４０及び電気機械変換部１３０の周方向の位置による形状特性の差をなくすことができ、以って、アクチュエータ１００における周方向の位置による周波数特性のバラツキを抑制できる。 Further, a positioning part such as a key and a key groove for positioning the wiring board 140 and the electromechanical conversion part 130 is not required. Accordingly, it is possible to eliminate the difference in shape characteristics due to the circumferential positions of the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130, and thus it is possible to suppress variation in frequency characteristics due to the circumferential position of the actuator 100.

また、本実施形態に係るアクチュエータ１００では、上記摩擦係数μ３が上記摩擦係数μ２より大きくなっている。このため、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させるに際して、電気機械変換部１３０とステータ１２０との互いに密着し合う面１３６と面１２６との間に生じる摩擦抵抗が、配線板１４０とベース１５０との互いに密着し合う面１４６と面１５６との間に生じる摩擦抵抗より大きくなる。よって、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させた場合、ベース１５０は、電気機械変換部１３０及びステータ１２０に対して相対的に回転する一方、電気機械変換部１３０は、ステータ１２０に対して相対的に回転することはない。 In the actuator 100 according to this embodiment, the friction coefficient μ3 is larger than the friction coefficient μ2. For this reason, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, the frictional resistance generated between the surfaces 136 and 126 of the electromechanical converter 130 and the stator 120 that are in close contact with each other is This is larger than the frictional resistance generated between the surface 146 and the surface 156 that are in close contact with the base 150. Therefore, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, the base 150 rotates relative to the electromechanical conversion unit 130 and the stator 120, while the electromechanical conversion unit 130 moves to the stator 120. There is no relative rotation.

以上により、本実施形態に係るアクチュエータ１００では、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させて、ベース１５０とステータ１２０とにより配線板１４０及び電気機械変換部１３０を締付ける場合に、電気機械変換部１３０とステータ１２０との位置関係を一定に保つことができる。よって、電気機械変換部１３０との相対位置が不変である配線板１４０の周方向の位置が、締付け前の位置に対して不変となる。従って、締付け前に、配線板１４０の外延部１４４を所定の位置に合わせることにより、締付け中の配線板１４０の固定を要することなく、締付け後においても、外延部１４４を所定の位置に合わせた状態にすることができる。 As described above, in the actuator 100 according to the present embodiment, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110 and the wiring board 140 and the electromechanical converter 130 are tightened by the base 150 and the stator 120, the electric machine The positional relationship between the converter 130 and the stator 120 can be kept constant. Therefore, the position in the circumferential direction of the wiring board 140 where the relative position to the electromechanical conversion unit 130 remains unchanged is unchanged with respect to the position before tightening. Accordingly, by aligning the extended portion 144 of the wiring board 140 to a predetermined position before tightening, the extended portion 144 is adjusted to the predetermined position even after tightening without requiring fixing of the wiring board 140 being tightened. Can be in a state.

図７は、他の実施形態に係るアクチュエータ２００を示す側断面図である。この図に示すように、アクチュエータ２００では、配線板１４０が電気機械変換部１３０の出力側の面１３６とステータ１２０の非出力側の面１２６との間に挟み込まれている。 FIG. 7 is a side sectional view showing an actuator 200 according to another embodiment. As shown in this figure, in the actuator 200, the wiring board 140 is sandwiched between the output-side surface 136 of the electromechanical converter 130 and the non-output-side surface 126 of the stator 120.

ここで、配線板１４０の非出力側の面１４６と電気機械変換部１３０の出力側の面１３６との間の摩擦係数μ１´と、電気機械変換部１３０の非出力側の面１３５とベース１５０の出力側の面１５６との間の摩擦係数μ２´とは、下記（１´）式の関係を満足するように設定されている。
μ１´＞μ２´…（１´） Here, the friction coefficient μ1 ′ between the non-output-side surface 146 of the wiring board 140 and the output-side surface 136 of the electromechanical converter 130, the non-output-side surface 135 and the base 150 of the electromechanical converter 130 are shown. The friction coefficient μ2 ′ between the output side surface 156 and the output side surface 156 is set so as to satisfy the relationship of the following expression (1 ′).
μ1 ′> μ2 ′ (1 ′)

また、上記摩擦係数μ１´と、配線板１４０の出力側の面１４５とステータ１２０の非出力側の面１２６との間の摩擦係数μ３´とは、下記（２´）式の関係を満足するように設定されている。
μ１´＞μ３´…（２´） The friction coefficient μ1 ′ and the friction coefficient μ3 ′ between the output-side surface 145 of the wiring board 140 and the non-output-side surface 126 of the stator 120 satisfy the relationship of the following equation (2 ′). Is set to
μ1 ′> μ3 ′ (2 ′)

また、上記摩擦係数μ３´と上記摩擦係数μ２´とは、下記（３´）式の関係を満足するように設定されている。
μ３´＞μ２´…（３´） The friction coefficient μ3 ′ and the friction coefficient μ2 ′ are set so as to satisfy the relationship of the following expression (3 ′).
μ3 ′> μ2 ′ (3 ′)

次に、アクチュエータ２００の組立工程について説明する。当該組立工程では、シャフト１１０をステータ１２０に挿通するまでの工程は、上述したアクチュエータ１００の組立工程と同様であるので、説明を省略し、以降の工程について図８及び図９を参照して説明する。 Next, the assembly process of the actuator 200 will be described. In the assembly process, since the process until the shaft 110 is inserted into the stator 120 is the same as the assembly process of the actuator 100 described above, the description thereof will be omitted, and the subsequent processes will be described with reference to FIGS. 8 and 9. To do.

これらの図に示すように、シャフト１１０を配線板１４０の穴に出力側から挿通する。そして、シャフト１１０を電気機械変換部１３０の穴に出力側から挿通する。 As shown in these drawings, the shaft 110 is inserted into the hole of the wiring board 140 from the output side. Then, the shaft 110 is inserted into the hole of the electromechanical conversion unit 130 from the output side.

次に、シャフト１１０のネジ部１１６をベース１５０のネジ孔１５２に出力側から挿入して、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させることにより、ベース１５０をシャフト１１０に螺合させる。このとき、ベース１５０とステータ１２０とにより電気機械変換部１３０及び配線板１４０を挟み込んだ状態で、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させることによって、ベース１５０とステータ１２０とにより電気機械変換部１３０及び配線板１４０を締付ける。 Next, the screw portion 116 of the shaft 110 is inserted into the screw hole 152 of the base 150 from the output side, and the base 150 is rotated relative to the shaft 110, thereby screwing the base 150 to the shaft 110. At this time, by rotating the base 150 relative to the shaft 110 in a state where the electromechanical conversion unit 130 and the wiring board 140 are sandwiched between the base 150 and the stator 120, the base 150 and the stator 120 cause the electric machine to rotate. The conversion unit 130 and the wiring board 140 are tightened.

ここで、配線板１４０と電気機械変換部１３０との互いに密着し合う面１４６と面１３６との間の摩擦係数μ１´が、電気機械変換部１３０とベース１５０との互いに密着し合う面１３５と面１５６との間の摩擦係数μ２´より大きくなっている。このため、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させるに際して、配線板１４０と電気機械変換部１３０との互いに密着し合う面１４６と面１３６との間に生じる摩擦抵抗が、電気機械変換部１３０とベース１５０との互いに密着し合う面１３５と面１５６との間に生じる摩擦抵抗より大きくなる。従って、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させた場合、ベース１５０が電気機械変換部１３０に対して相対的に回転する。 Here, the friction coefficient μ1 ′ between the surface 146 and the surface 136 of the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 that are in close contact with each other is the surface 135 of the electromechanical conversion unit 130 and the base 150 that are in close contact with each other. The coefficient of friction with the surface 156 is larger than μ2 ′. For this reason, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, the frictional resistance generated between the surfaces 146 and 136 of the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 that are in close contact with each other is This is larger than the frictional resistance generated between the surface 135 and the surface 156 of the part 130 and the base 150 that are in close contact with each other. Therefore, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, the base 150 rotates relative to the electromechanical conversion unit 130.

また、上記摩擦係数μ１´が、配線板１４０とステータ１２０との互いに密着し合う面１４５と面１２６との間の摩擦係数μ３´より大きくなっている。このため、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させるに際して、配線板１４０と電気機械変換部１３０との互いに密着し合う面１４６と面１３６との間に生じる摩擦抵抗が、配線板１４０とステータ１２０との互いに密着し合う面１４５と面１２６との間に生じる摩擦抵抗より大きくなる。従って、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させるに際して、電気機械変換部１３０がベース１５０に追従して回転する場合には、配線板１４０が電気機械変換部１３０と一体となってステータ１２０に対して相対的に回転する。 Further, the friction coefficient μ1 ′ is larger than the friction coefficient μ3 ′ between the surface 145 and the surface 126 of the wiring board 140 and the stator 120 that are in close contact with each other. For this reason, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, the frictional resistance generated between the surface 146 and the surface 136 of the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 that are in close contact with each other is generated. And the frictional resistance generated between the surface 145 and the surface 126 of the stator 120 that are in close contact with each other. Accordingly, when the electromechanical conversion unit 130 rotates following the base 150 when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, the wiring board 140 is integrated with the electromechanical conversion unit 130 to form a stator. Rotates relative to 120.

以上により、本実施形態に係るアクチュエータ２００では、上述のアクチュエータ１００と同様に、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させて、ベース１５０とステータ１２０とにより配線板１４０及び電気機械変換部１３０を締付ける場合に、配線板１４０と電気機械変換部１３０との位置関係を一定に保つことができる。従って、配線板１４０と電気機械変換部１３０とを接着したり、配線板１４０と電気機械変換部１３０とをキーとキー溝とにより位置決めしたりすることなしに、配線板１４０と電気機械変換部１３０との位置関係を確保したうえで、ベース１５０とステータ１２０とにより配線板１４０と電気機械変換部１３０とを締結固定することができる。 As described above, in the actuator 200 according to the present embodiment, the base 150 is rotated relative to the shaft 110 in the same manner as the actuator 100 described above, and the wiring board 140 and the electromechanical converter are formed by the base 150 and the stator 120. When tightening 130, the positional relationship between the wiring board 140 and the electromechanical converter 130 can be kept constant. Therefore, without bonding the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 or positioning the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 with the key and the key groove, the wiring board 140 and the electromechanical conversion unit. The wiring board 140 and the electromechanical conversion unit 130 can be fastened and fixed by the base 150 and the stator 120 after securing the positional relationship with the base 130.

また、本実施形態に係るアクチュエータ２００では、上記摩擦係数μ３´が上記摩擦係数μ２´より大きくなっている。このため、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させるに際して、配線板１４０とステータ１２０との互いに密着し合う面１４５と面１２６との間に生じる摩擦抵抗が、電気機械変換部１３０とベース１５０との互いに密着し合う面１３５と面１５６との間に生じる摩擦抵抗より大きくなる。従って、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させた場合、ベース１５０は、電気機械変換部１３０、配線板１４０及びステータ１２０に対して相対的に回転する一方、電気機械変換部１３０、及び配線板１４０は、ステータ１２０に対して相対的に回転することはない。 In the actuator 200 according to this embodiment, the friction coefficient μ3 ′ is larger than the friction coefficient μ2 ′. For this reason, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, the frictional resistance generated between the surfaces 145 and 126 of the wiring board 140 and the stator 120 that are in close contact with each other is generated by the electromechanical conversion unit 130. It becomes larger than the frictional resistance generated between the surface 135 and the surface 156 that are in close contact with the base 150. Accordingly, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110, the base 150 rotates relative to the electromechanical conversion unit 130, the wiring board 140, and the stator 120, while the electromechanical conversion unit 130, And the wiring board 140 does not rotate relative to the stator 120.

以上により、本実施形態に係るアクチュエータ２００では、ベース１５０をシャフト１１０に対して相対的に回転させて、ベース１５０とステータ１２０とにより配線板１４０及び電気機械変換部１３０を締付ける場合に、配線板１４０とステータ１２０との位置関係を一定に保つことができる。よって、配線板１４０の周方向の位置が、締付け前の位置に対して不変となる。従って、締付け前に、配線板１４０の外延部１４４を所定の位置に合わせることにより、締付け中の配線板１４０の固定を要することなく、締付け後においても、当該外延部１４４を所定の位置に合わせた状態にすることができる。 As described above, in the actuator 200 according to the present embodiment, when the base 150 is rotated relative to the shaft 110 and the wiring board 140 and the electromechanical converter 130 are tightened by the base 150 and the stator 120, the wiring board is used. The positional relationship between 140 and the stator 120 can be kept constant. Therefore, the circumferential position of the wiring board 140 remains unchanged with respect to the position before tightening. Therefore, by aligning the extended portion 144 of the wiring board 140 at a predetermined position before tightening, the extended portion 144 is aligned at the predetermined position even after tightening without requiring fixing of the wiring board 140 being tightened. It can be in the state.

図１０は、振動アクチュエータ１００を備える撮像装置７００の概略構成を示す側断面図である。なお、上記実施形態と同様の構成には同一の符号を付して説明は省略する。 FIG. 10 is a side cross-sectional view illustrating a schematic configuration of an imaging apparatus 700 including the vibration actuator 100. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the structure similar to the said embodiment, and description is abbreviate | omitted.

この図に示すように、撮像装置７００は、光学部材４２０と、レンズ鏡筒４３０と、振動アクチュエータ１００と、撮像部５００と、制御部５５０と、を備える。レンズ鏡筒４３０は光学部材４２０を収容する。 As shown in this figure, the imaging apparatus 700 includes an optical member 420, a lens barrel 430, a vibration actuator 100, an imaging unit 500, and a control unit 550. The lens barrel 430 accommodates the optical member 420.

振動アクチュエータ１００は、光学部材４２０を移動させる。撮像部５００は、光学部材４２０によって結像された画像を撮像する。制御部５５０は、振動アクチュエータ１００および撮像部５００を制御する。 The vibration actuator 100 moves the optical member 420. The imaging unit 500 captures an image formed by the optical member 420. The control unit 550 controls the vibration actuator 100 and the imaging unit 500.

また、撮像装置７００は、光学部材４２０、レンズ鏡筒４３０、及び振動アクチュエータ１００を備えるレンズユニット４１０と、ボディ４６０を含む。レンズユニット４１０は、マウント４５０を介して、ボディ４６０に対して着脱自在に装着される。 In addition, the imaging apparatus 700 includes an optical member 420, a lens barrel 430, a lens unit 410 including the vibration actuator 100, and a body 460. The lens unit 410 is detachably attached to the body 460 via the mount 450.

光学部材４２０は、図中で左側にあたる入射端から順次配列された、フロントレンズ４２２、コンペンセータレンズ４２４、フォーカシングレンズ４２６およびメインレンズ４２８を含む。フォーカシングレンズ４２６およびメインレンズ４２８の間には、アイリスユニット４４０が配置される。 The optical member 420 includes a front lens 422, a compensator lens 424, a focusing lens 426, and a main lens 428, which are sequentially arranged from the incident end corresponding to the left side in the drawing. An iris unit 440 is disposed between the focusing lens 426 and the main lens 428.

振動アクチュエータ１００は、光軸方向についてレンズ鏡筒４３０の中程にあって相対的に小径なフォーカシングレンズ４２６の下方に配置される。これにより、レンズ鏡筒４３０の径を拡大することなく、振動アクチュエータ１００はレンズ鏡筒４３０内に収容される。振動アクチュエータ１００は、例えばギア列を介してフォーカシングレンズ４２６を光軸方向に前進または後退させる。 The vibration actuator 100 is disposed in the middle of the lens barrel 430 in the optical axis direction and below the focusing lens 426 having a relatively small diameter. Accordingly, the vibration actuator 100 is accommodated in the lens barrel 430 without increasing the diameter of the lens barrel 430. The vibration actuator 100 advances or retracts the focusing lens 426 in the optical axis direction through, for example, a gear train.

ボディ４６０は、メインミラー５４０、ペンタプリズム４７０、接眼系４９０を含む光学部材を収容する。メインミラー５４０は、レンズユニット４１０を介して入射した入射光の光路上に傾斜して配置される待機位置と、入射光を避けて上昇する撮影位置（図中に点線で示す）との間を移動する。 The body 460 accommodates optical members including the main mirror 540, the pentaprism 470, and the eyepiece system 490. The main mirror 540 is located between a standby position inclined on the optical path of incident light incident through the lens unit 410 and an imaging position (indicated by a dotted line in the figure) that rises while avoiding incident light. Moving.

待機位置にあるメインミラー５４０は、入射光の大半を、上方に配置されたペンタプリズム４７０に導く。ペンタプリズム４７０は、入射光の鏡映を接眼系４９０に向かって出射するので、フォーカシングスクリーン４７２の映像を接眼系４９０から正像として見ることができる。入射光の残りは、ペンタプリズム４７０により測光ユニット４８０に導かれる。測光ユニット４８０は、入射光の強度およびその分布等を測定する。 The main mirror 540 at the standby position guides most of the incident light to the pentaprism 470 disposed above. Since the pentaprism 470 emits a reflection of incident light toward the eyepiece system 490, the image on the focusing screen 472 can be viewed as a normal image from the eyepiece system 490. The remainder of the incident light is guided to the photometric unit 480 by the pentaprism 470. The photometric unit 480 measures the intensity and distribution of incident light.

なお、ペンタプリズム４７０および接眼系４９０の間には、ファインダ液晶４９４に形成された表示画像を、フォーカシングスクリーン４７２の映像に重ねるハーフミラー４９２が配置される。表示画像は、ペンタプリズム４７０から投影された画像に重ねて表示される。 A half mirror 492 that superimposes the display image formed on the finder liquid crystal 494 on the image on the focusing screen 472 is disposed between the pentaprism 470 and the eyepiece system 490. The display image is displayed so as to overlap the image projected from the pentaprism 470.

また、メインミラー５４０は、入射光の入射面に対する裏面にサブミラー５４２を有する。サブミラー５４２は、メインミラー５４０を透過した入射光の一部を、下方に配置された測距ユニット５３０に導く。これにより、メインミラー５４０が待機位置にある場合は、測距ユニット５３０が被写体までの距離を測定する。なお、メインミラー５４０が撮影位置に移動した場合は、サブミラー５４２も入射光の光路から退避する。 The main mirror 540 has a sub mirror 542 on the back surface of the incident light incident surface. The sub mirror 542 guides part of the incident light transmitted through the main mirror 540 to the distance measuring unit 530 disposed below. Thereby, when the main mirror 540 is in the standby position, the distance measuring unit 530 measures the distance to the subject. When the main mirror 540 is moved to the photographing position, the sub mirror 542 is also retracted from the optical path of the incident light.

更に、入射光に対してメインミラー５４０の後方には、シャッタ５２０、光学フィルタ５１０および撮像部５００が順次配置される。シャッタ５２０が開放される場合、その直前にメインミラー５４０が撮影位置に移動するので、入射光は直進して撮像部５００に入射される。これにより、入射光の形成する画像が電気信号に変換される。これにより、撮像部５００は、レンズユニット４１０によって結像された画像を撮像する。 Further, a shutter 520, an optical filter 510, and an imaging unit 500 are sequentially arranged behind the main mirror 540 with respect to incident light. When the shutter 520 is opened, the main mirror 540 moves to the photographing position immediately before the shutter 520 is opened, so that incident light travels straight and enters the imaging unit 500. Thereby, an image formed by incident light is converted into an electrical signal. Thereby, the imaging unit 500 captures an image formed by the lens unit 410.

撮像装置７００において、レンズユニット４１０とボディ４６０とは電気的にも結合されている。従って、例えば、ボディ４６０側の測距ユニット５３０が検出した被写体までの距離の情報に応じて振動アクチュエータ１００の回転を制御することにより、オートフォーカス機構を形成できる。また、測距ユニット５３０が振動アクチュエータ１００の動作量を参照することにより、フォーカスエイド機構を形成することもできる。振動アクチュエータ１００および撮像部５００は、制御部５５０により上記の通り制御される。 In the imaging device 700, the lens unit 410 and the body 460 are also electrically coupled. Therefore, for example, the autofocus mechanism can be formed by controlling the rotation of the vibration actuator 100 in accordance with the distance information to the subject detected by the distance measuring unit 530 on the body 460 side. Further, when the distance measuring unit 530 refers to the operation amount of the vibration actuator 100, a focus aid mechanism can be formed. The vibration actuator 100 and the imaging unit 500 are controlled by the control unit 550 as described above.

なお、振動アクチュエータ１００によりフォーカシングレンズ４２６を移動させる場合について例示したが、アイリスユニット４４０の開閉、ズームレンズのバリエータレンズの移動等を振動アクチュエータ１００で駆動できることはいうまでもない。この場合も、電気信号を介して測光ユニット４８０、ファインダ液晶４９４等と情報を参照し合うことにより、振動アクチュエータ１００は、露出の自動化、シーンモードの実行、ブラケット撮影の実行等に寄与する。また、本実施形態では、振動アクチュエータ１００を備える撮像装置７００を例に取って説明したが、振動アクチュエータ１００に替えて、振動アクチュエータ２００を備えてもよい。 Although the case where the focusing lens 426 is moved by the vibration actuator 100 has been illustrated, it goes without saying that the vibration actuator 100 can drive the opening / closing of the iris unit 440, the movement of the variator lens of the zoom lens, and the like. Also in this case, the vibration actuator 100 contributes to automating exposure, execution of a scene mode, execution of bracket photography, and the like by referring to information with the photometric unit 480, the finder liquid crystal 494, and the like via an electrical signal. In the present embodiment, the imaging apparatus 700 including the vibration actuator 100 has been described as an example, but the vibration actuator 200 may be provided instead of the vibration actuator 100.

以上のように、振動アクチュエータ１００、２００は、撮影機、双眼鏡等の光学系において、合焦機構、ズーム機構、手振れ補正機構等の駆動に好適に使用できる。さらに、精密ステージ、より具体的には電子ビーム描画装置、検査装置用各種ステージ、バイオテクノロジ用セルインジェクタの移動機構、核磁気共鳴装置の移動ベッド等の動力源に使用されうるが、用途がこれらに限られないことはいうまでもない。 As described above, the vibration actuators 100 and 200 can be suitably used for driving a focusing mechanism, a zoom mechanism, a camera shake correction mechanism, and the like in an optical system such as a photographing machine and binoculars. Furthermore, it can be used for power sources such as precision stages, more specifically electron beam lithography equipment, various stages for inspection equipment, moving mechanisms for cell injectors for biotechnology, moving beds for nuclear magnetic resonance equipment, etc. Needless to say, it is not limited to.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

例えば、上記実施形態では、シャフト１１０に螺合するベース１５０とステータ１２０とにより電気機械変換部１３０及び配線板１４０を締付けた。しかし、ベース１５０の非出力側にシャフト１１０に螺合するナットを配して、該ナットとステータ１２０とによりベース１５０、電気機械変換部１３０及び配線板１４０を締め付けてもよい。また、取付板１９０をシャフト１１０に螺合させ、又はＥリング２３０の替わりとなるナットをシャフト１１０に螺合させ、取付板１９０又は該ナットとベース１５０とにより、これらの間に存する構成要素を締め付けてもよい。 For example, in the above embodiment, the electromechanical conversion unit 130 and the wiring board 140 are fastened by the base 150 and the stator 120 that are screwed into the shaft 110. However, a nut that is screwed into the shaft 110 may be disposed on the non-output side of the base 150, and the base 150, the electromechanical conversion unit 130, and the wiring board 140 may be tightened by the nut and the stator 120. Further, the mounting plate 190 is screwed to the shaft 110, or a nut serving as a substitute for the E-ring 230 is screwed to the shaft 110, and the mounting plate 190 or the nut and the base 150 allow components existing between them to be installed. It may be tightened.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。 The order of execution of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior to”. It should be noted that the output can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.

１００アクチュエータ、１１０シャフト、１１２溝、１１３Ｄカット部、１１４嵌合部、１１５、１１６ネジ部、１２０ステータ、１２１嵌合孔、１２６面、１３０電気機械変換部、１３１、１３２、１３３、１３４電極、１３５、１３６面、１３７圧電材料板、１３８素子層、１４０配線板、１４２円盤部、１４４外延部、１４５、１４６面、１５０ベース、１５２ネジ孔、１５４保持部、１５６面、１６０ロータ、１６１凸部、１６２、１６４リブ、１６６内周部、１６８フランジ部、１７０付勢部材、１８０歯車、１８１、１８２凹部、１９０取付板、１９１取付部、１９２ネジ、１９３孔、１９４リブ、２００アクチュエータ、２１０振動体、２１１嵌合部、２１２内周部、２１４ネジ部、２１６嵌合部、２１８段差部、２２０軸受、２３０Ｅリング、４１０レンズユニット、４２０光学部材、４２６フォーカシングレンズ、４２８メインレンズ、４３０レンズ鏡筒、４４０アイリスユニット、４５０マウント、４６０ボディ、４７０ペンタプリズム、４７２フォーカシングスクリーン、４８０測光ユニット、４９０接眼系、４９２ハーフミラー、４９４ファインダ液晶、５００撮像部、５１０光学フィルタ、５２０シャッタ、５３０測距ユニット、５４０メインミラー、５４２サブミラー、５５０制御部、７００撮像装置 100 Actuator, 110 Shaft, 112 Groove, 113 D cut part, 114 Fitting part, 115, 116 Screw part, 120 Stator, 121 Fitting hole, 126 surface, 130 Electromechanical conversion part, 131, 132, 133, 134 Electrode 135, 136 surface, 137 piezoelectric material plate, 138 element layer, 140 wiring board, 142 disk portion, 144 extension portion, 145, 146 surface, 150 base, 152 screw hole, 154 holding portion, 156 surface, 160 rotor, 161 Convex part, 162, 164 rib, 166 inner peripheral part, 168 flange part, 170 urging member, 180 gear, 181, 182 concave part, 190 mounting plate, 191 mounting part, 192 screw, 193 hole, 194 rib, 200 actuator, 210 vibrating body, 211 fitting portion, 212 inner peripheral portion, 14 Screw part, 216 Fitting part, 218 Step part, 220 Bearing, 230 E ring, 410 Lens unit, 420 Optical member, 426 Focusing lens, 428 Main lens, 430 Lens barrel, 440 Iris unit, 450 Mount, 460 Body 470 Penta prism, 472 Focusing screen, 480 Metering unit, 490 Eyepiece system, 492 Half mirror, 494 Finder liquid crystal, 500 Imaging unit, 510 Optical filter, 520 Shutter, 530 Distance measuring unit, 540 Main mirror, 542 Sub mirror, 550 Control Part, 700 imaging device

Claims

The shaft,
A rotor rotatable around the shaft portion;
A stator through which the shaft portion is inserted and in contact with the rotor;
A vibrator through which the shaft portion is inserted, disposed on the opposite side of the rotor with the stator in between, and generating vibration that causes the stator to transition around the shaft portion;
A base through which the shaft portion is inserted, disposed on the opposite side of the stator with the vibrator interposed therebetween, and sandwiching the vibrator together with the stator;
A wiring board that is inserted between the shaft and is sandwiched between the base and the stator together with the vibrator, and supplies power to the vibrator;
With
The actuator characterized in that the friction coefficient between the wiring board and the vibrator is the largest among the friction coefficients between the elements of the base, the wiring board, the vibrator, and the stator.

The wiring board is sandwiched and disposed between the base and the vibrator,
The friction coefficient between the wiring board and the vibrator is larger than the friction coefficient between the base and the wiring board and the friction coefficient between the vibrator and the stator. The actuator according to 1.

The actuator according to claim 2, wherein a friction coefficient between the vibrator and the stator is larger than a friction coefficient between the base and the wiring board.

The wiring board is disposed between the vibrator and the stator,
The friction coefficient between the vibrator and the wiring board is larger than the friction coefficient between the base and the vibrator and the friction coefficient between the wiring board and the stator. The actuator according to 1.

The actuator according to claim 4, wherein a friction coefficient between the wiring board and the stator is larger than a friction coefficient between the base and the vibrator.

The actuator according to any one of claims 1 to 5, and
An optical member moved in the optical axis direction by the actuator;
A lens unit comprising:

The actuator according to any one of claims 1 to 5, and
An optical member moved in the optical axis direction by the actuator;
An imaging unit that captures an image formed by the optical member;
An imaging apparatus comprising: