JP2010247034A - ガス除害装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 化学成分を含む気体が導入され、MEAのアノード2が面する流路A1と、アノード集電体となるようにアノードに接し、かつ流路A1を占めるように配置された、連続気孔を持つ導電多孔体11とを備え、導電多孔体が、MEAの電極に接する電極接触多孔シート11sと、MEAの電極に非接触の非接触多孔シート11tとを有し、電極接触多孔シートが、非接触多孔シートに比べて、目が細かいことを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
上記のように、多量のアンモニアの分解をすることを目的とする場合と異なり、廃ガス中の臭気成分であるアンモニア等を、ppmオーダーまで分解することを主目的とする除害装置がある。たとえば化合物半導体の製造における排気ガスには、アンモニア等が含まれるのが普通であり、アンモニアの異臭を完全に除去するには、ppmオーダーにまで除害する必要がある。この目的のために、半導体製造ラインの排気ガスは、スクラバーを通され、薬品を含む水分にその中の有害ガスを吸収させ、その後で大気に放出される。
また、エネルギーや薬品等の投入なしに、安価なランニングコストを得るために、水素酸素燃料電池型分解方式を用いた、半導体製造装置の排気ガス処理の提案もされている(特許文献6)。
図1は、本発明の実施の形態1におけるガス除害装置であるアンモニア分解装置10を示す図である。このアンモニア分解装置10では、電気化学反応とくに燃料電池反応によってアンモニア含有気体中のアンモニアを分解する。燃料電池の燃料極(以下、アノードと記す)には、アンモニア含有気体が入口61から導入され、また空気極(以下、カソードと記す)には、空気が入口71から導入される。これから説明する電気化学反応によって、アンモニア含有気体中のアンモニアは、窒素と水とに分解されて、その他の気体とともに出口62から放出される。また、空気についても酸素が電気化学反応に関与して、残りの窒素等が出口72から放出される。アンモニアが分解された後、出口62から放出される気体中のアンモニア濃度はppm以下のオーダーに除害される。このように燃料に対応づけられる気体中の分解対象成分が、極低濃度レベルまで分解される点で、除害装置は、燃料電池と相違する。燃料電池では発電効率に注意が集中し、気体中の分解対象成分の濃度については、所定レベル以上あることを前提にしている。また、本実施の形態では、燃料に対応する気体中の成分が分解されるが、それに限定されず、たとえば空気に対応する気体が空気そのものではなく、他の成分(たとえばNOx)または当該成分を含む他の気体または空気中の、当該成分を分解するものであってもよい。
図1において、図示しないアノードとアノード集電体を経て導電接続するアノード端子11aと、カソードとカソード集電体を経て導電接続するカソード端子12aとから、電力の取り出しが可能である。このアンモニア分解装置10は、実用的な電気化学反応速度を得るために、700℃〜900℃程度に加熱される。カソード端子12aとアノード端子11aとから取り出した電力を、この加熱用のヒータや加熱制御装置(マイコン)に供給してもよい。カソード端子12aとアノード端子11aとの間に、どのような負荷を入れるにしろ、アンモニア分解の電気化学反応を生起させ、持続するためには、アノードで生成した電子が、アノード端子11aからカソード端子12aへと、負荷を伝って電導する必要がある。
(1)アノード2との導電接触を目の細かい電極接触多孔シート11sにより行うので、電気抵抗の低い、導電接触を得ることができる。この結果、分解の電気化学反応における電子の授受を妨げることがなく、分解速度を向上させることができる。
(2)流路A1の、電極非接触部とくに断面中央部に、目の粗い金属多孔シート11tを配置することで、圧力損失の増大を抑制することができる。
アノード2は、表面酸化されて酸化層を有する金属粒連鎖体21と、酸素イオン導電性のセラミックス22とを主成分とする焼結体とするのがよい。酸素イオン導電性のセラミックス22としては、上記のSSZ、YSZ、SDC、LSGMなどを用いることができる。
カソード3は、酸素イオン導電性のセラミックス32と、銀(Ag)33と、を主成分とする焼結体とする。酸素イオン導電性のセラミックス32として、LSM(ランタンストロンチウムマンガナイト)、LSC(ランタンストロンチウムコバルタイト)、SSC(サマリウムストロンチウムコバルタイト)などを用いるのがよい。アンモニア分解の場合には、カソード3の触媒として、表面酸化されて酸化層を有するNi粒連鎖体は不要であるが、その他の化学成分の分解には、カソードを形成する焼結体に、表面酸化されて酸化層を有するNi粒連鎖体を含ませてもよい。Ni粒連鎖体は、金属粒連鎖体の金属をNiとしたもので、製造が比較的容易であり、また既知である。また、Ni粒連鎖体の導電部(酸化層で被覆される金属部)は、Niのみでもよいし、NiにFeを含ませたものでもよい。
アノード2で生じた電子は、外部回路または負荷を経由して金属多孔体のカソード集電体12からカソード3に到達する(図4参照)。カソード集電体12に導入された空気中の酸素は、連続気孔12hを通り気孔3hに入り、カソード3の、銀粒子33と、酸素イオン導電性セラミックス32とが会合する位置において、酸素イオンO2−となり、酸素イオン導電性セラミックス32中を固体電解質1に向かって移動する。
ここで、極低濃度まで有害ガスを除害する装置における両側電極流路の作用について説明する。図6に示すように、両側電極流路A1では、2つのMEAのアノード2が、アンモニア含有気体の流路A1を挟んで、対面するように位置する。この配置においては、アンモニアは、流路A1を画する上壁でも下壁でも、これら壁がアノード2であるため、上下壁において、図4に示すように、電気化学反応を進行させ、分解する。なお、図6では、流路A1の高さ中央部のアンモニアは流路A1を素通りするように見えるが、流路A1はアノード集電体11の目の粗い金属多孔体(非接触シート)11tに占有されているので、乱流化されて、目の細かい電極接触シート11s側に流れ、アノード2での電気化学反応に関与する。
図7は、比較のために示す構造であり、MEAの同じ面を同じ側にそろえて、片側電極流路として並行的に積層した場合の流路A1/2を示す図である。片側電極流路を構成するように、MEAを並行的に積層した構造では、図7に示す流路A1/2が2つあるとして、図6の流路A1と比較するのが妥当である。流路A1/2には、アンモニアが流れるが、図7の場合、アノード2である上壁でのみ分解して、下壁を構成する絶縁仕切りシート13では、分解せず、単に気体として接触する。MEAの電極の向きを揃えて並行的に積層する場合、電気的絶縁と、空気とアンモニア含有気体の隔絶とのために、1つのMEAおよびそれに付随する流路ごとに、絶縁仕切りシート13が必要となる。このような流路A1/2が2つある。
図6の流路A1が一つの場合と、図7の流路A1/2が2つの場合と比較すると、つぎのことが分かる。
(1)仮にアンモニアが多量にこれら流路に導入される場合、分解箇所(アノード2)の全面積は、両者、同じであり、分解されるアンモニアの総量は大差がない。このため、たとえば燃料電池の発電効率などを問題にする場合、両者は大差ない結果をもたらす。
(2)しかし、極低濃度、たとえばppmオーダーまでアンモニアを除害(分解)する場合、未反応のまま壁(絶縁仕切りシート13)に接触して流れるアンモニアの存在によって、MEAの所要長さは長いものになる。未反応のままの状態を許す壁があるからである。極低濃度まで除害するには、その壁から未反応のアンモニアを剥がして反対側の壁(アノード2)に接触させる必要がある。未反応のままの状態がある壁はないほうが、アンモニアをその壁の箇所を自由に通り抜けできるので、分解反応を停滞させずに済む。すなわち、流路A1のように、間隔は倍であるが上壁および下壁ともにアノード2とされ、ともに分解が進行する場合、未反応のまま壁に接触する箇所はないので、ppmオーダーまで分解するMEAの所要長さは短くなる。
(3)アンモニア含有気体を流す流路A1は、絶縁仕切りシート13を伴う2つの流路A1/2と比べて、絶縁仕切りシート13を配置する必要がないので、圧力損失が小さくしやすい。このため、圧力損失という面でも有利である。
上記(1)および(2)によって、極低濃度レベルまで有害成分を除害する装置において、両側電極構造は装置の小型化、とくに流路長の短縮に大きな効果を奏する。また、(3)圧力損失を抑制しやすい。
図8は、実施の形態1の変形例における除害装置10の断面図であり、図2または図3に対応する。図2の除害装置の構成は、両側電極流路A1は1層だけであったが、本変形例では、両側電極流路が多層または2層、配置されている。両側電極流路A1の多層配置を有する除害装置10では、アンモニア含有気体の流路A1と、空気流路流路C1/2との間に、単位燃料電池を電気的に直列に接続する必要がない。この点が、燃料電池として用いる場合と大きな相違である。燃料電池として用いる場合、各単位電池を電気的に並列に接続した、非常に低い電圧では電池としての価値がない。しかし、除害装置として用いる場合、電力を取り出すことが目的ではないので、電気的に並列接続して、間に絶縁仕切りシート等を用いないほうが、圧力損失の抑制という観点から好ましい。両側電極流路A1の多層配置は、多量のアンモニア含有気体の除外処理を圧力損失を抑制しながらできる。このため、上述の、1層における流路長さ短縮効果と合わせて、小型で効率のよい除害装置を得ることができる。
図9は、本発明の実施の形態2におけるガス除害装置であるアンモニア分解装置10内の流路を示す図である。この流路A1は折り返し部Tを持ち、交互に往復するチャネルP1〜P7を形成して、流路長を長くしている。折り返し部Tのある流路A1は、アノードにアンモニア含有気体を導入するための流路であり、当該流路を占めるように、金属めっき体を骨格とする金属多孔体11が配置されている。金属多孔体11は、アノード集電体を兼ねている。図10に示すように、金属多孔体11は、アノードに接する、目の細かい電極接触シート11sと、電極に接触しないで流路A1の中央に配置される非接触シート11tと、で構成される。これによって、アンモニア分解の電気化学反応における電子授受を円滑に行いながら、圧力損失を抑制することができる。
このアンモニア分解装置10は、複数のMEAが積層されて形成されているが、各MEAは、図示しない絶縁仕切りシートで仕切られている。図2に示す折り返し部Tを持つ流路に面するアノードと対をなすカソードには、空気が導入されるが、その空気が導入される流路C1/2については、折り返し部はなくてもよいが、折り返し部を設けてもよい。ここでは、空気を導入する流路についても、アンモニア含有気体が導入される流路と同様に、折り返し部Tを持つものについて説明する。
折り返し部Tを持つことで、MEAの面積は小さいまま、流路長を長くすることができ、上記気体中のアンモニア濃度を無害レベル、たとえばppmオーダーまで低減することができる。往復するチャネルを隔てるチャネル壁15は、圧力損失を抑制するため、できるだけ薄くするのがよい。図9に示す流路A1では、折り返し部Tの数、すなわちターン数は6つである。ターン数を増やすほど流路長は長くなり、分解反応を長く起こさせることができるが、圧力損失が増大するので、許容できる範囲内とするのがよい。
1.上記した本発明の実施の形態では、アノードに接する両側電極流路に占める導電多孔体11を、目の細かい電極接触シート11sと、目の粗い非接触シート11tとで形成する場合について、例示した。しかし、片側電極流路に配置されるアノード集電体について、目の細かい導電多孔シートと目の粗い導電多孔シートとを用いて、目の細かいほうをアノードに接するように配置してもよい。
2.上記した本発明の実施の形態では、アノードに接する流路A1に占める導電多孔体11について例示したが、カソードに接する流路C1/2について、当該流路に占める導電多孔体を、目の細かいものと目の粗い導電多孔体で形成してもよい。
3.本発明のガス除害装置は、表1に示すすべての除害反応R1〜R7に用いることができる。上記実施の形態1は、反応R1について説明した。
比較のために、他の部分は本発明例A1と同じで、両側電極流路を占める導電多孔シートだけが、単層のものを用いた。単層のセルメットは、厚み3mm、孔径1.9mmとした。
800℃に加熱して、上記のアンモニア分解装置に、濃度50%のアンモニアを含む窒素ガスを流して、出口でのアンモニア濃度を測定した。結果を表2に示す。
Claims (4)
- 対をなす電極、および該対をなす電極に挟まれる電解質で構成されるMEA(Membrane Electrode Assembly)を備え、気体中の化学成分を電気化学反応によって除害する装置であって、
前記化学成分を含む気体が導入され、前記MEAの電極が面する流路と、
前記MEAが面する電極の集電体となるように該電極に接し、かつ前記流路を占めるように配置された、連続気孔を持つ導電多孔体とを備え、
前記導電多孔体が、前記MEAの電極に接する電極接触多孔シートと、前記MEAの電極に非接触の非接触多孔シートとを有し、
前記電極接触多孔シートが、前記非接触多孔シートに比べて、目が細かいことを特徴とする、除害装置。 - 前記MEAを第1のMEAとして、さらに第2のMEAを備え、前記第1のMEAと第2のMEAとが、同じ極性の電極を対向させて、前記流路を挟んでおり、前記導電多孔体が、前記第1のMEAに接する第1の電極接触多孔シートと、前記第2のMEAに接する第2の電極接触多孔シートと、前記第1および第2の電極接触多孔シートに挟まれる非接触多孔シートとで構成されることを特徴とする、請求項1に記載の除害装置。
- 前記流路は、前記気体の前記導入から排気までの間に蛇行するように、少なくとも一つの折り返し部が設けられていることを特徴とする、請求項1または2に記載のガス除害装置。
- 前記流路における前記導電多孔体の厚みの、50%以上90%以下が前記非接触多孔シートで形成されることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の除害装置。
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