JP2010247034A - Gas abatement device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガス除害装置であって、より具体的には、排気ガス等に含まれるアンモニア等の有害ガスを、効率よく、低圧損で分解することができる、ガス除害装置に関するものである。 The present invention relates to a gas abatement apparatus, and more particularly to a gas abatement apparatus that can efficiently decompose harmful gas such as ammonia contained in exhaust gas with low pressure loss. is there.
アンモニアの分解に触媒を用いる方法、とくに触媒について多くの提案がなされている(特許文献1〜5)。たとえば遷移金属を含む多孔質カーボン粒子、マンガン組成物、鉄−マンガン組成物(特許文献1)、クロム化合物、銅化合物、コバルト化合物(特許文献2)、アルミナ製3次元網状構造体に担持された白金(特許文献3)などが公表されている。上記の触媒を用いた化学反応によってアンモニアを分解する方法では、窒素酸化物NOxの生成を抑えることができる。さらに、触媒に二酸化マンガンを用いることによって、100℃以下で、より効率的にアンモニアの熱分解を促進する方法も提案されている(特許文献4、5)。
上記のように、多量のアンモニアの分解をすることを目的とする場合と異なり、廃ガス中の臭気成分であるアンモニア等を、ppmオーダーまで分解することを主目的とする除害装置がある。たとえば化合物半導体の製造における排気ガスには、アンモニア等が含まれるのが普通であり、アンモニアの異臭を完全に除去するには、ppmオーダーにまで除害する必要がある。この目的のために、半導体製造ラインの排気ガスは、スクラバーを通され、薬品を含む水分にその中の有害ガスを吸収させ、その後で大気に放出される。
また、エネルギーや薬品等の投入なしに、安価なランニングコストを得るために、水素酸素燃料電池型分解方式を用いた、半導体製造装置の排気ガス処理の提案もされている(特許文献6)。
Many proposals have been made on a method of using a catalyst for decomposition of ammonia, particularly on a catalyst (
As described above, there is a detoxification device whose main purpose is to decompose ammonia, which is an odor component in waste gas, down to the ppm order, unlike the case where it is intended to decompose a large amount of ammonia. For example, exhaust gas in the production of compound semiconductors usually contains ammonia and the like, and in order to completely remove the off-flavor of ammonia, it is necessary to remove it to the order of ppm. For this purpose, the exhaust gas of the semiconductor production line is passed through a scrubber, causing the moisture containing the chemical to absorb the harmful gases therein and then released into the atmosphere.
In addition, in order to obtain an inexpensive running cost without input of energy, chemicals, etc., there has been proposed an exhaust gas treatment of a semiconductor manufacturing apparatus using a hydrogen-oxygen fuel cell decomposition method (Patent Document 6).
上記の触媒を用いた熱分解反応による方法(特許文献1〜5)によれば、アンモニアの分解は可能である。スクラバーについても、アンモニア等の除害はppmオーダーまで可能である。しかし、上記の方法では、外部エネルギー(燃料)を必要とし、さらに触媒の定期的交換やメインテナンスを要し、ランニングコストが高いという問題がある。また、装置が大掛かりとなり、たとえば既存の設備に付加的に設ける場合に配置が難しい場合も生じる。水素酸素燃料電池型分解方式についても、ppmオーダーまで除害を徹底させると、燃料極において排気ガスの長い流路が必要となり、圧力損失の増大防止のために、装置の大型化が避けられない。わが国では、装置の大型化は、実用上、大きな不利益をもたらす場合が多い。
According to the method (
本発明は、(1)小型で、効率よく、有害ガスを無害レベルまで除害でき、(2)低いランニングコストで稼動することができる、ガス除害装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a gas abatement apparatus that can (1) be small, efficiently remove harmful gas to a harmless level, and (2) operate at a low running cost.
本発明のガス除害装置は、対をなす電極、および該対をなす電極に挟まれる電解質で構成されるMEA(Membrane Electrode Assembly)を備え、気体中の化学成分を電気化学反応によって除害する装置である。このガス除害装置は、化学成分を含む気体が導入され、前記MEAの電極が面する流路と、MEAが面する電極の集電体となるように該電極に接し、かつ流路を占めるように配置された、連続気孔を持つ導電多孔体とを備え、導電多孔体が、MEAの電極に接する電極接触多孔シートと、MEAの電極に非接触の非接触多孔シートとを有し、電極接触多孔シートが、非接触多孔シートに比べて、目が細かいことを特徴とする。 The gas abatement apparatus of the present invention includes a MEA (Membrane Electrode Assembly) composed of a pair of electrodes and an electrolyte sandwiched between the pair of electrodes, and detoxifies chemical components in the gas by an electrochemical reaction. Device. This gas abatement apparatus is in contact with and occupies a flow path in which a gas containing a chemical component is introduced, the flow path facing the electrode of the MEA, and the current collector of the electrode facing the MEA. A conductive porous body having continuous pores, the conductive porous body having an electrode-contacting porous sheet in contact with the MEA electrode, and a non-contacting porous sheet not in contact with the MEA electrode, The contact porous sheet is characterized by being finer than the non-contact porous sheet.
上記の構成によれば、分解の電気化学反応のサイトとなる電極の集電体は、目の細かい電極接触シートで形成されるため、確実な集電を得ることができ、上記の電気化学反応に関与する電子の電導を円滑化することができる。また、電極に接していない部分は目が比較的粗いので、圧力損失を増大させない。この結果、小型の装置で、良好な反応効率を確保しながら、低圧力損失を実現することができる。また、上記のガス除害装置ではメインテナンスは不要であり、また電気化学反応において、発電反応の場合には投入電力は不要であるが、電気分解反応においても、投入電力は些少であり、ランニングコストは抑制される。 According to the above configuration, since the current collector of the electrode that becomes the site of the electrochemical reaction of decomposition is formed of a fine electrode contact sheet, a reliable current collection can be obtained, and the electrochemical reaction described above It is possible to facilitate conduction of electrons involved in the. Moreover, since the part which is not in contact with the electrode is relatively rough, pressure loss is not increased. As a result, a low pressure loss can be realized with a small apparatus while ensuring good reaction efficiency. In addition, the above gas abatement device does not require maintenance, and in the electrochemical reaction, no input power is required in the case of a power generation reaction, but in the electrolysis reaction, the input power is small and the running cost is low. Is suppressed.
上記のMEAを第1のMEAとして、さらに第2のMEAを備え、第1のMEAと第2のMEAとが、同じ極性の電極を対向させて、流路を挟んでおり、導電多孔体が、第1のMEAに接する第1の電極接触多孔シートと、第2のMEAに接する第2の電極接触多孔シートと、第1および第2の電極接触多孔シートに挟まれる非接触多孔シートとで構成されることができる。これによって、極低濃度まで有害成分を除害するのに、比較的短い電極長さで済む、(同極性の電極/流路/同極性の電極)という両側電極流路を構成しながら、上記の電子電導の円滑化(低電気抵抗)および低圧力損失を実現することができる。 The above MEA is used as a first MEA, and further includes a second MEA. The first MEA and the second MEA have electrodes of the same polarity facing each other and sandwich a flow path, The first electrode contact porous sheet in contact with the first MEA, the second electrode contact porous sheet in contact with the second MEA, and the non-contact porous sheet sandwiched between the first and second electrode contact porous sheets Can be configured. This makes it possible to remove harmful components to a very low concentration by using a relatively short electrode length, while constituting a double-sided electrode flow path (same polarity electrode / flow path / same polarity electrode). It is possible to achieve smoothing of electronic conduction (low electrical resistance) and low pressure loss.
上記の流路は、気体の導入から排気までの間に蛇行するように、少なくとも一つの折り返し部が設けられることができる。これによって、面状というMEAの形態的特徴を生かして小型でありながら、十分な反応長さ(電極長さ)を確保することができる。折り返し部の数は、許容される圧力損失によって制限される。 The flow path may be provided with at least one folded portion so as to meander between the introduction of gas and the exhaust. This makes it possible to ensure a sufficient reaction length (electrode length) while being small by taking advantage of the morphological feature of the MEA that is planar. The number of folds is limited by the allowable pressure loss.
上記の分解室における導電多孔体の厚みの、50%以上90%以下が非接触多孔シートで形成されることができる。これによって、分解サイトの電極に対する電子電導性と、圧力損失とのバランスを適切にとることができる。非接触多孔シートの厚みが、導電多孔体の50%未満では圧力損失が高すぎ、エネルギー効率を害する。一方、90%を超えると、電子電導性が劣化して、分解の電気化学反応の速度を低下させる。 50% or more and 90% or less of the thickness of the conductive porous body in the decomposition chamber can be formed of a non-contact porous sheet. This makes it possible to appropriately balance the electronic conductivity with respect to the electrode at the decomposition site and the pressure loss. If the thickness of the non-contact porous sheet is less than 50% of the conductive porous body, the pressure loss is too high, which impairs energy efficiency. On the other hand, if it exceeds 90%, the electronic conductivity deteriorates and the rate of the electrochemical reaction for decomposition is reduced.
本発明のガス除害装置によれば、(1)小型で、効率よく、有害ガスを無害レベルまで除害でき、(2)低いランニングコストで稼動することができる。 According to the gas abatement apparatus of the present invention, (1) it is small and efficient, it can remove harmful gas to a harmless level, and (2) it can be operated at a low running cost.
(実施の形態1−両側電極流路−)
図1は、本発明の実施の形態1におけるガス除害装置であるアンモニア分解装置10を示す図である。このアンモニア分解装置10では、電気化学反応とくに燃料電池反応によってアンモニア含有気体中のアンモニアを分解する。燃料電池の燃料極(以下、アノードと記す)には、アンモニア含有気体が入口61から導入され、また空気極(以下、カソードと記す)には、空気が入口71から導入される。これから説明する電気化学反応によって、アンモニア含有気体中のアンモニアは、窒素と水とに分解されて、その他の気体とともに出口62から放出される。また、空気についても酸素が電気化学反応に関与して、残りの窒素等が出口72から放出される。アンモニアが分解された後、出口62から放出される気体中のアンモニア濃度はppm以下のオーダーに除害される。このように燃料に対応づけられる気体中の分解対象成分が、極低濃度レベルまで分解される点で、除害装置は、燃料電池と相違する。燃料電池では発電効率に注意が集中し、気体中の分解対象成分の濃度については、所定レベル以上あることを前提にしている。また、本実施の形態では、燃料に対応する気体中の成分が分解されるが、それに限定されず、たとえば空気に対応する気体が空気そのものではなく、他の成分(たとえばNOx)または当該成分を含む他の気体または空気中の、当該成分を分解するものであってもよい。
図1において、図示しないアノードとアノード集電体を経て導電接続するアノード端子11aと、カソードとカソード集電体を経て導電接続するカソード端子12aとから、電力の取り出しが可能である。このアンモニア分解装置10は、実用的な電気化学反応速度を得るために、700℃〜900℃程度に加熱される。カソード端子12aとアノード端子11aとから取り出した電力を、この加熱用のヒータや加熱制御装置(マイコン)に供給してもよい。カソード端子12aとアノード端子11aとの間に、どのような負荷を入れるにしろ、アンモニア分解の電気化学反応を生起させ、持続するためには、アノードで生成した電子が、アノード端子11aからカソード端子12aへと、負荷を伝って電導する必要がある。
(Embodiment 1-Both-side electrode flow path-)
FIG. 1 is a diagram showing an
In FIG. 1, electric power can be taken out from an
図2は、図1に示すアンモニア分解装置10の断面図である。また、図3は、中央部の部分拡大図である。金属多孔体のアノード集電体11が占める流路A1を挟んで、シート状の2つのMEAが配置されている。流路A1は、MEAのアノード2により、上下から挟まれるので、両側電極流路である。この両側電極流路A1には、入口61から導入されたアンモニア含有気体が、アノード集電体11と接触しながら流れる。アノード集電体11は、目の粗い金属多孔体11tと、それより目が細かい金属多孔体11sとで形成される。目の細かい金属多孔体11sは、MEAのアノード2に接して配置されて電極接触多孔シートを構成し、目の粗い金属多孔体11tはその間の中央位置に配置されて非接触多孔シートを構成する。本実施の形態におけるアンモニア分解装置10は、両側電極流路A1を占めるアノード集電体11を形成する金属多孔体11について、アノード2に接するものを目の粗いもの11sとして、それより目の粗いもの11tを中央部に配置した点に特徴を有する。なお、アノード集電体の機能は、実質的に、電極接触多孔シート11sによって行われる。非接触多孔シート11tは、機械的に電極接触多孔シート11sに接触して、端子の取り方によっては集電作用にあずかることがあるが、たとえば上述のアノード端子11aは、電極接触多孔シート11sに直接、接続され、非接触多孔シート11tに集電機能に関与させないことが、電気抵抗の抑制上、好ましい。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the
2つのMEAの外側、すなわちMEAのアノード側の流路A1と反対側に、カソード3に接する流路C1/2が配置されている。2つのカソード側の流路C1/2には、入口71から導入された空気が、カソード集電体12と接触しながら流れる。アノード集電体11およびカソード集電体12は、それぞれが占める流路を流れる気体と接触して、気体の流れを乱流状態にして、気体をMEAの電極とよく接触させて電気化学反応が効率よく進行させる。アノード集電体11のうちの電極接触多孔シート11s、およびカソード集電体12は、それぞれ、アノード2およびカソード3と導電接触して、分解反応(電気化学反応)における電子の授受を円滑にする。このため、アノード集電体11およびカソード集電体12には、導電性および通気性が求められ、とくに通気性については圧力損失を生じにくいことが求められる。上記の特性を備える金属多孔体として、たとえば三角柱状の骨格が3次元に連なった連続気孔を持つものがあり、その典型材として、たとえば住友電気工業(株)製のセルメット(商標登録)を用いることができる。本実施の形態におけるアノード集電体11では、電極接触多孔シート11sと非接触多孔シート11tとを用いた複層構造として、導電性は電極接触多孔シート11sが主に分担し、通気性は非接触多孔シート11tが比較的大きく分担する。要約すると、次の作用を得ることができる。
(1)アノード2との導電接触を目の細かい電極接触多孔シート11sにより行うので、電気抵抗の低い、導電接触を得ることができる。この結果、分解の電気化学反応における電子の授受を妨げることがなく、分解速度を向上させることができる。
(2)流路A1の、電極非接触部とくに断面中央部に、目の粗い金属多孔シート11tを配置することで、圧力損失の増大を抑制することができる。
A flow path C 1/2 in contact with the
(1) Since the conductive contact with the
(2) An increase in pressure loss can be suppressed by disposing the coarse metal
図4は、図2および図3のMEAおよび流路A1およびC1/2を含む拡大した、電気化学反応を説明するための断面図である。アノード集電体11が占める流路A1を挟んで、2つのMEAが配置されることは、上述のとおりである。この流路A1にアンモニア含有気体が通され、アノード2と接触してアンモニアを分解する。また、2つのMEAの外側に位置する2つの流路C1/2はカソード集電体11に占められ、そこに空気を導入される。
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view for explaining an electrochemical reaction including the MEA and the flow paths A1 and C1 / 2 of FIGS. As described above, two MEAs are arranged across the flow path A1 occupied by the anode
MEAは、電解質1と、それを挟むアノード2およびカソード3とで構成される。電解質1は、固体酸化物、溶融炭酸塩、リン酸、固体高分子、電解液など、イオン導電性があれば何でもよい。固体酸化物は小型化でき、取り扱いが容易なので好ましい。固体酸化物としては、SSZ(スカンジウム安定化ジルコニア)、YSZ(イットリウム安定化ジルコニア)、SDC(サマリウム安定化セリア)、LSGMランタンガレート)などを用いるのがよい。
アノード2は、表面酸化されて酸化層を有する金属粒連鎖体21と、酸素イオン導電性のセラミックス22とを主成分とする焼結体とするのがよい。酸素イオン導電性のセラミックス22としては、上記のSSZ、YSZ、SDC、LSGMなどを用いることができる。
カソード3は、酸素イオン導電性のセラミックス32と、銀(Ag)33と、を主成分とする焼結体とする。酸素イオン導電性のセラミックス32として、LSM(ランタンストロンチウムマンガナイト)、LSC(ランタンストロンチウムコバルタイト)、SSC(サマリウムストロンチウムコバルタイト)などを用いるのがよい。アンモニア分解の場合には、カソード3の触媒として、表面酸化されて酸化層を有するNi粒連鎖体は不要であるが、その他の化学成分の分解には、カソードを形成する焼結体に、表面酸化されて酸化層を有するNi粒連鎖体を含ませてもよい。Ni粒連鎖体は、金属粒連鎖体の金属をNiとしたもので、製造が比較的容易であり、また既知である。また、Ni粒連鎖体の導電部(酸化層で被覆される金属部)は、Niのみでもよいし、NiにFeを含ませたものでもよい。
The MEA includes an
The
The
本実施の形態では、分解対象のガスはアンモニア(NH3)とし、酸素イオンを供給する気体は、空気すなわち酸素(O2)とする。アノード2に導入されたアンモニアは、2NH3+3O2−→N2+3H2O+6e−の反応(アノード反応)をする。反応後の流体であるN2+3H2Oはアノードから放出される。また、カソード3に導入された空気の中の酸素は、O2+2e−→2O2−の反応(カソード反応)をする。酸素イオンは、カソード3中のLSM32から固体電解質1を通って、アノード2に到達する。アノード2に到達した酸素イオンは、アンモニアと上記反応をして、アンモニアは分解される。分解されたアンモニアは、窒素ガスおよび水蒸気(H2O)となって、放出される。アノード2で生成した電子e−は、図示しない負荷を経てカソード3に向かって流れる。上記の反応の結果、アノード2とカソード3との間に電位差が生じ、カソード3は、アノード2よりも電位が高くなる。
In this embodiment, the gas to be decomposed is ammonia (NH 3 ), and the gas that supplies oxygen ions is air, that is, oxygen (O 2 ). Ammonia introduced into the
図5は、アノード2におけるアンモニア分解を説明するための図である。アノード2は、Ni粒連鎖体21aの表層に酸化層21bを有する酸化層付きNi粒連鎖体21と、酸素イオン導電性セラミックス22とを主成分とする焼結体である。気体中のアンモニアは、アノード集電体を経由してアノード2中の、酸素イオン導電性セラミックス22と、酸化層21bと、Ni粒連鎖体21aとが会合する位置において、電解質1を移動してきた酸素イオンO2−と反応して、分解される。分解の結果、窒素と水蒸気とになり、放出される。アノード集電体は、アンモニアを素通りしないようにしてアノードにおいて上記の電気化学反応を生じさせ、かつ、圧力損失を増大させないようにすることが重要である。
アノード2で生じた電子は、外部回路または負荷を経由して金属多孔体のカソード集電体12からカソード3に到達する(図4参照)。カソード集電体12に導入された空気中の酸素は、連続気孔12hを通り気孔3hに入り、カソード3の、銀粒子33と、酸素イオン導電性セラミックス32とが会合する位置において、酸素イオンO2−となり、酸素イオン導電性セラミックス32中を固体電解質1に向かって移動する。
FIG. 5 is a diagram for explaining ammonia decomposition in the
Electrons generated at the
(両側電極流路)
ここで、極低濃度まで有害ガスを除害する装置における両側電極流路の作用について説明する。図6に示すように、両側電極流路A1では、2つのMEAのアノード2が、アンモニア含有気体の流路A1を挟んで、対面するように位置する。この配置においては、アンモニアは、流路A1を画する上壁でも下壁でも、これら壁がアノード2であるため、上下壁において、図4に示すように、電気化学反応を進行させ、分解する。なお、図6では、流路A1の高さ中央部のアンモニアは流路A1を素通りするように見えるが、流路A1はアノード集電体11の目の粗い金属多孔体(非接触シート)11tに占有されているので、乱流化されて、目の細かい電極接触シート11s側に流れ、アノード2での電気化学反応に関与する。
図7は、比較のために示す構造であり、MEAの同じ面を同じ側にそろえて、片側電極流路として並行的に積層した場合の流路A1/2を示す図である。片側電極流路を構成するように、MEAを並行的に積層した構造では、図7に示す流路A1/2が2つあるとして、図6の流路A1と比較するのが妥当である。流路A1/2には、アンモニアが流れるが、図7の場合、アノード2である上壁でのみ分解して、下壁を構成する絶縁仕切りシート13では、分解せず、単に気体として接触する。MEAの電極の向きを揃えて並行的に積層する場合、電気的絶縁と、空気とアンモニア含有気体の隔絶とのために、1つのMEAおよびそれに付随する流路ごとに、絶縁仕切りシート13が必要となる。このような流路A1/2が2つある。
図6の流路A1が一つの場合と、図7の流路A1/2が2つの場合と比較すると、つぎのことが分かる。
(1)仮にアンモニアが多量にこれら流路に導入される場合、分解箇所(アノード2)の全面積は、両者、同じであり、分解されるアンモニアの総量は大差がない。このため、たとえば燃料電池の発電効率などを問題にする場合、両者は大差ない結果をもたらす。
(2)しかし、極低濃度、たとえばppmオーダーまでアンモニアを除害(分解)する場合、未反応のまま壁(絶縁仕切りシート13)に接触して流れるアンモニアの存在によって、MEAの所要長さは長いものになる。未反応のままの状態を許す壁があるからである。極低濃度まで除害するには、その壁から未反応のアンモニアを剥がして反対側の壁(アノード2)に接触させる必要がある。未反応のままの状態がある壁はないほうが、アンモニアをその壁の箇所を自由に通り抜けできるので、分解反応を停滞させずに済む。すなわち、流路A1のように、間隔は倍であるが上壁および下壁ともにアノード2とされ、ともに分解が進行する場合、未反応のまま壁に接触する箇所はないので、ppmオーダーまで分解するMEAの所要長さは短くなる。
(3)アンモニア含有気体を流す流路A1は、絶縁仕切りシート13を伴う2つの流路A1/2と比べて、絶縁仕切りシート13を配置する必要がないので、圧力損失が小さくしやすい。このため、圧力損失という面でも有利である。
上記(1)および(2)によって、極低濃度レベルまで有害成分を除害する装置において、両側電極構造は装置の小型化、とくに流路長の短縮に大きな効果を奏する。また、(3)圧力損失を抑制しやすい。
(Both-side electrode flow path)
Here, the operation of the both-side electrode flow path in the apparatus for removing harmful gas to an extremely low concentration will be described. As shown in FIG. 6, in the both-side electrode flow path A1, the
FIG. 7 shows a structure shown for comparison, and shows a flow path A 1/2 when the same surface of the MEA is aligned on the same side and stacked in parallel as a one-side electrode flow path. In a structure in which MEAs are stacked in parallel so as to form a one-side electrode flow path, it is appropriate to compare with the flow path A1 in FIG. 6 assuming that there are two flow paths A 1/2 shown in FIG. . In the case of FIG. 7, ammonia flows through the flow path A 1/2 , but in the case of FIG. 7, it decomposes only at the upper wall, which is the
Comparing the case where there is one channel A1 in FIG. 6 and the case where there are two
(1) If a large amount of ammonia is introduced into these flow paths, the total area of the decomposition site (anode 2) is the same in both cases, and the total amount of ammonia decomposed is not very different. For this reason, for example, when the power generation efficiency of the fuel cell is considered as a problem, both of them produce results that are not significantly different.
(2) However, when detoxifying (decomposing) ammonia to an extremely low concentration, for example, ppm order, the required length of MEA is due to the presence of ammonia flowing in contact with the wall (insulating partition sheet 13) without being reacted. It will be long. This is because there are walls that allow unreacted conditions. In order to detoxify to an extremely low concentration, it is necessary to peel off unreacted ammonia from the wall and to contact the opposite wall (anode 2). If there is no wall that remains unreacted, ammonia can pass through the wall freely, so that the decomposition reaction does not have to stagnate. That is, as in the flow path A1, the interval is doubled, but both the upper wall and the lower wall are the
(3) Since the flow path A1 for flowing the ammonia-containing gas does not need to be provided with the insulating
According to the above (1) and (2), in the device that removes harmful components to an extremely low concentration level, the double-sided electrode structure has a great effect on downsizing the device, particularly shortening the flow path length. Moreover, (3) It is easy to suppress pressure loss.
(実施の形態1の変形例−両側電極流路・多層構造−)
図8は、実施の形態1の変形例における除害装置10の断面図であり、図2または図3に対応する。図2の除害装置の構成は、両側電極流路A1は1層だけであったが、本変形例では、両側電極流路が多層または2層、配置されている。両側電極流路A1の多層配置を有する除害装置10では、アンモニア含有気体の流路A1と、空気流路流路C1/2との間に、単位燃料電池を電気的に直列に接続する必要がない。この点が、燃料電池として用いる場合と大きな相違である。燃料電池として用いる場合、各単位電池を電気的に並列に接続した、非常に低い電圧では電池としての価値がない。しかし、除害装置として用いる場合、電力を取り出すことが目的ではないので、電気的に並列接続して、間に絶縁仕切りシート等を用いないほうが、圧力損失の抑制という観点から好ましい。両側電極流路A1の多層配置は、多量のアンモニア含有気体の除外処理を圧力損失を抑制しながらできる。このため、上述の、1層における流路長さ短縮効果と合わせて、小型で効率のよい除害装置を得ることができる。
(Modification of Embodiment 1-Both-side Electrode Channel / Multilayer Structure-)
FIG. 8 is a cross-sectional view of the
(実施の形態2−サーペンタイン両側電極流路−)
図9は、本発明の実施の形態2におけるガス除害装置であるアンモニア分解装置10内の流路を示す図である。この流路A1は折り返し部Tを持ち、交互に往復するチャネルP1〜P7を形成して、流路長を長くしている。折り返し部Tのある流路A1は、アノードにアンモニア含有気体を導入するための流路であり、当該流路を占めるように、金属めっき体を骨格とする金属多孔体11が配置されている。金属多孔体11は、アノード集電体を兼ねている。図10に示すように、金属多孔体11は、アノードに接する、目の細かい電極接触シート11sと、電極に接触しないで流路A1の中央に配置される非接触シート11tと、で構成される。これによって、アンモニア分解の電気化学反応における電子授受を円滑に行いながら、圧力損失を抑制することができる。
このアンモニア分解装置10は、複数のMEAが積層されて形成されているが、各MEAは、図示しない絶縁仕切りシートで仕切られている。図2に示す折り返し部Tを持つ流路に面するアノードと対をなすカソードには、空気が導入されるが、その空気が導入される流路C1/2については、折り返し部はなくてもよいが、折り返し部を設けてもよい。ここでは、空気を導入する流路についても、アンモニア含有気体が導入される流路と同様に、折り返し部Tを持つものについて説明する。
折り返し部Tを持つことで、MEAの面積は小さいまま、流路長を長くすることができ、上記気体中のアンモニア濃度を無害レベル、たとえばppmオーダーまで低減することができる。往復するチャネルを隔てるチャネル壁15は、圧力損失を抑制するため、できるだけ薄くするのがよい。図9に示す流路A1では、折り返し部Tの数、すなわちターン数は6つである。ターン数を増やすほど流路長は長くなり、分解反応を長く起こさせることができるが、圧力損失が増大するので、許容できる範囲内とするのがよい。
(Embodiment 2-Serpentine double-sided electrode flow path)
FIG. 9 is a diagram showing a flow path in the
The
By having the turn-back portion T, the flow path length can be increased while the area of the MEA is small, and the ammonia concentration in the gas can be reduced to a harmless level, for example, on the order of ppm. The
図10に示すアンモニア分解装置10の流路A1,C1/2は、図9と同様の折り返し部Tを有し、チャネル壁15で隔てられた交互に往復するチャネルP1等で形成される。本実施の形態においては、アノード側流路A1の上下面ともにアノードが配置される。すなわち、2つのMEAは、同じ極性のアノード2を対向させて、流路A1を挟み、流路A1を両側電極流路としている点にある。この両側電極流路A1には、入口61から導入されたアンモニア含有気体が導入される。また、各MEAの反対側のカソード側流路C1/2には、相手側気体である空気が導入される。両側電極流路A1の断面積は、チャネルP1等の断面から分かるように、カソード側流路C1/2のどれよりも大きい。これによって、濃度を極低レベルまで減少させたアンモニア含有気体を大量に流しながら、圧力損失を抑制することが可能になる。アンモニア濃度は非常に低いレベルまで低減されるので、上記の電気化学反応に必要な空気量は少なくて済む。このため、図10に示すような断面積の大小関係をもたらす。
The flow paths A1 and C1 / 2 of the
(他の実施の形態)
1.上記した本発明の実施の形態では、アノードに接する両側電極流路に占める導電多孔体11を、目の細かい電極接触シート11sと、目の粗い非接触シート11tとで形成する場合について、例示した。しかし、片側電極流路に配置されるアノード集電体について、目の細かい導電多孔シートと目の粗い導電多孔シートとを用いて、目の細かいほうをアノードに接するように配置してもよい。
2.上記した本発明の実施の形態では、アノードに接する流路A1に占める導電多孔体11について例示したが、カソードに接する流路C1/2について、当該流路に占める導電多孔体を、目の細かいものと目の粗い導電多孔体で形成してもよい。
3.本発明のガス除害装置は、表1に示すすべての除害反応R1〜R7に用いることができる。上記実施の形態1は、反応R1について説明した。
(Other embodiments)
1. In the above-described embodiment of the present invention, the case where the conductive
2. In the above-described embodiment of the present invention, the conductive
3. The gas abatement apparatus of the present invention can be used for all the abatement reactions R1 to R7 shown in Table 1. In the first embodiment, the reaction R1 has been described.
アンモニアの除害についていえば、その他に上記表1のR2〜R4の反応が可能である。このうち反応R4は燃料電池反応ではなく電気分解反応であるが、電力の取り出しと投入との相違があるだけで、電気化学反応という点で、上記の実施の形態1と同じである。また、VOC(Volatile Organic Compounds)の除害、NOxの除害もある。これらすべての電気化学反応について、(1)上記の両側電極流路を挟んで対面するように、同じ極性の電極を配置し、同じ極性の電極に接する導電多孔シートの目を細かくし、電極に非接触の導電多孔シートに目の粗いものを用いることができる。(2)また、片側電極流路について同様の構成の導電多孔シートを用いてもよい。これによって、低いランニングコストで稼動することができ、小型で、有害ガスを無害レベルまで効率よく除害することができる。 As for ammonia detoxification, the reactions R2 to R4 in Table 1 are possible. Of these, the reaction R4 is not a fuel cell reaction but an electrolysis reaction. However, the reaction R4 is the same as that of the first embodiment in terms of an electrochemical reaction, except for the difference between taking out and supplying electric power. There are also VOC (Volatile Organic Compounds) detoxification and NOx detoxification. For all these electrochemical reactions, (1) arrange the electrodes of the same polarity so as to face each other across the both-side electrode flow channel, make the conductive porous sheet in contact with the electrodes of the same polarity fine, A non-contact conductive porous sheet can be used having a coarse mesh. (2) Moreover, you may use the electroconductive porous sheet of the same structure about a one-side electrode flow path. As a result, it can be operated at a low running cost, is small, and can efficiently remove harmful gases to harmless levels.
次に、実施例によって本発明のガス除害装置の効果を検証する。本発明例A1には、本発明の実施の形態1で例示した両側電極流路A1をもつ、図2に示すアンモニア分解装置を用いた。両側電極流路A1を占める金属多孔体には、住友電気工業株式会社製のセルメット(登録商標)を複合層にして用いた。アノードに接する電極接触シート11sは、孔径0.45mm、厚み0.5mmのセルメットを用い、中央部の非接触部11tには孔径1.9mm、厚み2mmのセルメットを用いた。非接触シートの厚み2mmは、流路厚み3mmの約67%である。
比較のために、他の部分は本発明例A1と同じで、両側電極流路を占める導電多孔シートだけが、単層のものを用いた。単層のセルメットは、厚み3mm、孔径1.9mmとした。
800℃に加熱して、上記のアンモニア分解装置に、濃度50%のアンモニアを含む窒素ガスを流して、出口でのアンモニア濃度を測定した。結果を表2に示す。
Next, the effect of the gas abatement apparatus of the present invention will be verified by examples. The present invention Example A1 has bilateral electrode channel A 1 illustrated in the first embodiment of the present invention, using the ammonia decomposition apparatus shown in FIG. The metal porous body occupying both sides electrode channel A 1, Sumitomo Electric Industries, Ltd. of Celmet (R) was used in the composite layer. As the
For comparison, the other parts were the same as Example A1 of the present invention, and only a conductive porous sheet occupying both-side electrode channels was used as a single layer. The single-layer cermet had a thickness of 3 mm and a hole diameter of 1.9 mm.
After heating to 800 ° C., nitrogen gas containing 50% ammonia was passed through the ammonia decomposing apparatus, and the ammonia concentration at the outlet was measured. The results are shown in Table 2.
表2によれば、比較例B1では、アンモニア濃度は100ppmであったのに対して、本発明例A1では、25ppmまで除害されており、四分の一の濃度にまで分解されていた。これは、両側電極流路を占める導電多孔体を、アノードに接するものは目の細かいものにして、電極に非接触の中央部を目の粗い導電多孔体で形成したことで、電気化学反応における電子の授受を円滑化しながら圧力損失を抑制したことによる。 According to Table 2, in Comparative Example B1, the ammonia concentration was 100 ppm, whereas in Invention Example A1, it was detoxified to 25 ppm and decomposed to a quarter concentration. This is because the conductive porous body that occupies the electrode flow paths on both sides is fine in the contact with the anode, and the central portion that is not in contact with the electrode is formed with a coarse conductive porous body. This is because pressure loss was suppressed while facilitating the transfer of electrons.
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら発明の実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention disclosed above are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. The scope of the present invention is indicated by the description of the scope of claims, and further includes meanings equivalent to the description of the scope of claims and all modifications within the scope.
本発明のガス除害装置によれば、(1)小型で、効率よく、有害ガスを無害レベルまで除害でき、(2)低いランニングコストで稼動することができる。とくに両側電極流路を占める導電多孔シートの目の粗さを分けて複層化することで、小型化をさらに推進することができる。 According to the gas abatement apparatus of the present invention, (1) it is small and efficient, it can remove harmful gas to a harmless level, and (2) it can be operated at a low running cost. In particular, downsizing can be further promoted by dividing the grain of the conductive porous sheet that occupies the both-side electrode channels into multiple layers.
1 イオン導電性電解質(固体酸化物電解質)、2 アノード、3 カソード、10 アンモニア分解装置、11 金属多孔体(アノード集電体)、11a アノード端子、11s 電極接触多孔シート、11t 非接触多孔シート、12 金属多孔体(カソード集電体)、12a カソード端子、13 絶縁仕切りシート、15 チャネル壁、21 金属粒連鎖体、21a 金属粒連鎖体の芯部(金属部)、21b 酸化層、22 アノードのイオン導電性セラミックス(SSZなど)、32 カソードのイオン導電性セラミックス(LSMなど)、33 銀、61 アンモニア含有気体入口、62 出口、71 空気入口、72 出口、A1,A1/2 アノード側流路(アンモニア含有気体流路)、C1/2 両側電極流路の外側のカソード側流路(空気流路)、P1〜P7 チャネル(蛇行流路)。 1 ion conductive electrolyte (solid oxide electrolyte), 2 anode, 3 cathode, 10 ammonia decomposition apparatus, 11 metal porous body (anode current collector), 11a anode terminal, 11s electrode contact porous sheet, 11t non-contact porous sheet, 12 metal porous body (cathode current collector), 12a cathode terminal, 13 insulating partition sheet, 15 channel wall, 21 metal particle chain, 21a metal particle chain core (metal part), 21b oxide layer, 22 anode Ion conductive ceramics (SSZ, etc.), 32 Cathode ion conductive ceramics (LSM, etc.), 33 Silver, 61 Ammonia-containing gas inlet, 62 outlet, 71 Air inlet, 72 outlet, A1, A 1/2 anode side flow path (ammonia-containing gas channel), the cathode-side channel of the outer C 1/2 sides electrodes passage (air passage), P1 to 7 channel (serpentine passage).
Claims (4)
前記化学成分を含む気体が導入され、前記MEAの電極が面する流路と、
前記MEAが面する電極の集電体となるように該電極に接し、かつ前記流路を占めるように配置された、連続気孔を持つ導電多孔体とを備え、
前記導電多孔体が、前記MEAの電極に接する電極接触多孔シートと、前記MEAの電極に非接触の非接触多孔シートとを有し、
前記電極接触多孔シートが、前記非接触多孔シートに比べて、目が細かいことを特徴とする、除害装置。 An apparatus comprising a MEA (Membrane Electrode Assembly) composed of a pair of electrodes and an electrolyte sandwiched between the pair of electrodes, and detoxifying chemical components in the gas by an electrochemical reaction,
A flow path in which a gas containing the chemical component is introduced and the MEA electrode faces;
A conductive porous body having continuous pores disposed so as to contact the electrode and occupy the flow path so as to be a current collector of the electrode facing the MEA;
The conductive porous body has an electrode contact porous sheet in contact with the electrode of the MEA, and a non-contact porous sheet not in contact with the electrode of the MEA,
The detoxifying device, wherein the electrode contact porous sheet has finer eyes than the non-contact porous sheet.
The abatement apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein 50% or more and 90% or less of the thickness of the conductive porous body in the flow path is formed by the non-contact porous sheet. .
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