[go: up one dir, main page]

JP2010149248A - ワイヤソー及びワイヤソーシステム - Google Patents

ワイヤソー及びワイヤソーシステム Download PDF

Info

Publication number
JP2010149248A
JP2010149248A JP2008331528A JP2008331528A JP2010149248A JP 2010149248 A JP2010149248 A JP 2010149248A JP 2008331528 A JP2008331528 A JP 2008331528A JP 2008331528 A JP2008331528 A JP 2008331528A JP 2010149248 A JP2010149248 A JP 2010149248A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
wire saw
holding member
held
work
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008331528A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4825867B2 (ja
Inventor
Shigeo Kobayashi
茂雄 小林
Hitoshi Gushiken
仁 具志堅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu NTC Ltd
Original Assignee
Komatsu NTC Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu NTC Ltd filed Critical Komatsu NTC Ltd
Priority to JP2008331528A priority Critical patent/JP4825867B2/ja
Priority to TW098144157A priority patent/TWI481489B/zh
Priority to KR1020090130467A priority patent/KR20100075761A/ko
Priority to CN200910249572.2A priority patent/CN101774149B/zh
Publication of JP2010149248A publication Critical patent/JP2010149248A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4825867B2 publication Critical patent/JP4825867B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23DPLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D61/00Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
    • B23D61/18Sawing tools of special type, e.g. wire saw strands, saw blades or saw wire equipped with diamonds or other abrasive particles in selected individual positions
    • B23D61/185Saw wires; Saw cables; Twisted saw strips
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00Other grinding machines or devices
    • B24B27/06Grinders for cutting-off
    • B24B27/0683Accessories therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/0082Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
    • H10P52/00

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

【課題】ワーク上の被保持体を保持部材に対して大きくスライドさせることなく着脱することができて、着脱作業を容易に行うことができるワイヤソー及びワイヤソーシステムを提供する。
【解決手段】ワーク切断用のワイヤ26が巻回される複数本の加工用ローラ24,25を設ける。ワークWの上面に固定された被保持体33がスライド可能に吊下される保持部材34を設け、その保持部材34により被保持体33をワーク支持部材35の規制面に向かって引き上げて、その規制面において保持する。被保持体33のスライド方向が加工用ローラ24,25の軸線方向と交差する方向となるように、保持部材34を配置する。保持部材34の先端部には、被保持体33を保持部材34の基端側に向かってガイドするための導入ガイド部36aを設ける。
【選択図】図2

Description

この発明は、例えば半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よりなるワークをワイヤにより切断するワイヤソー及びそのワイヤソーとワーク受け渡し装置とを備えたワイヤソーシステムに関するものである。
従来、この種の技術としては、例えば特許文献1及び特許文献2に開示されるような構成が提案されている。
特許文献1に記載の従来構成では、加工用ローラ間のワーク切断用ワイヤの上方に、ワークをワイヤに向かって昇降可能に吊下状態で保持するための保持部材が配置されている。ワークの上面には被保持体が固定され、この被保持体が前記保持部材に対して加工用ローラの軸線方向へスライド可能に支持される。ワイヤソーに対応してワーク受け渡し装置が設けられ、そのワーク受け渡し装置にはワーク上の被保持体を支持して、ワイヤソー側の保持部材との間でワークの受け渡しをガイドするためのガイド部材が設けられている。
また、特許文献2に記載の従来構成では、加工用ローラ間のワイヤの上方に、ワークをワイヤに向かって昇降可能に吊下状態で保持するための保持部材が配置されている。ワークの上面には被保持体が固定され、この被保持体が前記保持部材に対して加工用ローラの軸線方向と直交する方向へスライド可能に支持される。
特開2008−246643号公報 特開平10-202499号公報
ところが、これらの従来構成においては、次のような問題があった。
特許文献1に記載の従来構成においては、ワーク上の被保持体をワイヤソーの保持部材に対して、加工用ローラの軸線方向へスライドさせることにより受け渡しするようになっている。このため、複数のワークを加工用ローラの軸線方向に沿って並設した状態で被保持体に固定したり、加工用ローラの軸線方向に長いワークを被保持体に固定したりした場合には、保持部材に対する被保持体のスライド距離が長くなる。そして、スライド距離が長くなると、保持部材のガイド方向と被保持体の移動方向とが一致しないと、前記スライドにおいてこじれが生じる。このため、スライド距離が長い場合は、被保持体の移動方向を保持部材のガイド方向に正確に合わせる必要があり、ワイヤソー側に被保持体の導入をガイドする構造が設けられているとしても、ワークの装着作業が面倒であった。
また、特許文献2に記載の従来構成においては、ワーク上の被保持体をワイヤソー側の保持部材に対して装着する場合の導入をガイドする構造が設けられていない。このため、保持部材に対する被保持体の導入に手間がかかり、スライド方向が加工用ローラの軸線方向と直交する方向になっていても、ワークの受け渡し作業を容易に行うことができなかった。
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、ワイヤソーに対するワークの装着を容易に行うことができるワイヤソー及びワイヤソーシステムを提供することにある。
上記の目的を達成するために、ワイヤソーの発明は、複数本の加工用ローラを平行に配置するとともに、その加工用ローラと対向する位置においてワークを着脱可能に保持する保持手段を設け、その保持手段に保持されたワークを前記加工用ローラ間に張設されたワイヤにより切断するようにしたワイヤソーにおいて、前記保持手段に対するワークの着脱方向を、前記加工用ローラの軸線と平行な上下方向の平面に対して交差する方向にするとともに、その保持手段には、ワークの装着位置への導入をガイドするための導入ガイド部を設けたことを特徴とする。
従って、複数のワークを加工用ローラの軸線方向に並設した状態であっても、また、ワークが加工用ローラの軸線方向に長いものであっても、ワークを保持手段に対して簡単に導入できるとともに、大きくスライドさせることなく装着することができる。よって、ワークの装着作業をこじれが生じることなく容易に行うことができる。
前記の構成において、前記保持手段に対するワークの着脱方向を、前記加工用ローラの軸線と平行な上下方向の平面に対して直交する方向にすることが好ましい。
また、前記の構成において、前記保持手段は、ワークの上面に固定された被保持体をスライド可能に吊下してワークを被加工位置にガイドするとともに、その被加工位置で保持する保持部材を有し、その保持部材の先端部に前記導入ガイド部を設けるようにすることが望ましい。このように構成すれば、保持部材がワークの保持機能及びスライドガイド機能を有するために、構成を簡素化できるとともに、導入ガイド部の作用により、保持部材へのワークのスライドをこじれることなく円滑に行うことができる。
さらに、前記の構成において、前記保持手段には、前記被保持体の位置を規制するための規制面を形成するとともに、前記保持部材を前記規制面に対して接近離間可能にし、前記保持部材を前記接近方向に移動させて前記被保持体を前記規制面に対して規制状態で圧接させる駆動手段を設けるとよい。このように構成すれば、規制面が下方に向かって開放されるため、規制面の清掃を容易に行うことができる。
また、ワイヤソーシステムの発明では、請求項3または4に記載のワイヤソーと、前記被保持体を前記保持部材の高さ位置に配置し、ワークを前記保持部材との間において受け渡し可能に支持する受け渡し位置と、そこから離間する位置との間を移動可能なワーク受け渡し装置とよりなることを特徴とする。従って、この発明においては、ワーク受け渡し装置を用いて、ワイヤソーに対するワークの着脱作業を容易に行うことができる。
前記の構成において、ワイヤソーとワーク受け渡し装置との間に、ワーク受け渡し装置を前記保持部材に対して位置決めするための位置決め手段を設けるとよい。このようにすれば、ワイヤソーに対するワークの装着において、保持部材,すなわちワーク装着位置に対するワークの位置決めが容易になる。
また、前記の構成において、前記ワーク受け渡し装置は、ワークの上面に固定された被保持体をスライド可能に吊下するとともに、ワークをワイヤソーの保持部材の先端にガイドするためのガイド部材を有することが好ましい。このように構成すれば、ワークをガイド部材とワイヤソーの保持部材との間で容易に受け渡すことができる。
さらに、前記の構成において、前記ワーク受け渡し装置は、前記ガイド部材に吊下されたワークからの滴下スラリを受けるための受け皿を有することが望ましい。このようにすれば、ワイヤソーの周辺の床面等の汚染を防止できる。
加えて、前記ガイド部材を前記保持部材に接近する位置と保持部材から離間する位置との間で移動できるようにフレームに支持するとともに、少なくとも前記離間位置においてガイド部材を固定するための固定手段を設けることが好ましい。このようにすれば、ワークを着脱位置において安定させることができ、ワーク着脱が容易になる。
以上のように、この発明によれば、ワイヤソーに対してワークの着脱作業を容易に行うことができるという効果を発揮する。
以下に、この発明の一実施形態を、図面に基づいて説明する。
図1に示すように、この実施形態のワイヤソーシステムは、ワークWを切断するワイヤソー20と、そのワイヤソー20に対して加工前のワークWを装着したり、加工済みのワークWを取り外したりするためのワーク受け渡し装置41とを備えている。
図1〜図3に示すように、前記ワイヤソー20においては、基台21上のコラム22に切断機構23が装設されている。この切断機構23は、相互間隔をおいて平行に延びる一対の加工用ローラ24,25を備え、それらの加工用ローラ24,25の外周には環状溝24a,25aが所定ピッチで形成されている。加工用ローラ24,25の各環状溝24a,25aには、1本の線材よりなるワイヤ26が連続的に巻回されている。そして、図示しない走行用モータにて加工用ローラ24,25が回転されることにより、ワイヤ26が加工用ローラ24,25間において走行される。この場合、ワイヤ26の走行は、一定量前進及び一定量後退を繰り返して、全体として歩進的に前進し、または一方向に連続して前進するように行われる。前記加工用ローラは、少なくとも一対あればよく、相互間隔をおいて平行に配置される構成であれば、3本以上でもよい。
ワイヤソー20のボディには、ワークWを出し入れするために、加工用ローラ24,25の軸線方向と直交する方向に向かって開放する開口20aが形成されている。
前記切断機構23の上方位置には、スラリ供給装置27が配置されている。そして、このスラリ供給装置27から加工用ローラ24,25間のワイヤ26に、遊離砥粒を含むスラリが供給される。
切断機構23の上方においてコラム22には、ワークWを支持するためのワーク支持装置28が昇降可能に配置されている。ワークWは、図2に示すように、加工用ローラ24,25の軸線方向に沿って並設された複数のもの、あるいは図示はしないが、加工用ローラ24,25の軸線方向に延びる長い単一のものが用いられる。そして、ワイヤソー20の運転時には、ワイヤ26が切断機構23の加工用ローラ24,25間で走行されるとともに、そのワイヤ26上にスラリ供給装置27からスラリが供給されながら、ワーク支持装置28によりワークWが切断機構23に向かって下降される。これによって、ワークWがワイヤ26に押し付けられて切断される。
次に、前記ワークWをワイヤソー20に保持するための構成について詳細に説明する。
図4〜図6に示すように、前記ワークWの上面には、ガラスプレート31及び金属プレート32が接着固定されている。金属プレート32の上面には、金属製の被保持体33が図示しない複数のボルトにより着脱可能に取り付けられている。被保持体33の上面には複数の被保持片34が突設され、各被保持片34の頂壁上面には被規制面34aが形成されている。隣接する各一対の被保持片34の内側には、ワイヤソー20に対する装着状態で前記加工用ローラ24,25の軸線方向と直交する方向に延びる段差状の第1係合部34b及び第2係合部34cが形成されている。
図5〜図7に示すように、前記ワークWを支持するための保持手段としてのワーク支持部材35は、加工用ローラ24,25間に掛装されたワイヤ26の上方においてワイヤソー20に昇降可能に配置されている。ワーク支持部材35の下面には、前記被保持体33上の第1係合部34bに係合可能な正面形ほぼ逆T字状をなす保持手段としての複数の保持部材36が支持されている。ワーク支持部材35の上面には駆動手段としての複数のシリンダ37が配置され、それらのシリンダ37のピストンロッド37aの下端に前記保持部材36がボルト38により固定されている。
そして、前記シリンダ37のピストンロッド37aが下方に突出動作されることにより、保持部材36が上方位置から図6に実線及び図7に鎖線で示す下方位置に移動される。この状態で前記ワーク受け渡し装置41上のワークWの被保持体33の第1係合部34bが保持部材36と係合する位置に移動される。そして、第1係合部34bが保持部材36上をその基端側に向かってスライドされる。その後に、シリンダ37のピストンロッド37aが上方に没入動作されることにより、保持部材36が図4及び図7に実線で示す上方位置に移動される。これによって、被保持体33が第1係合部34bを介して引き上げられて、その被保持体33上の被規制面34aがワーク支持部材35の下面の規制面35aに圧接される。その結果、ワークWがワーク支持部材35の規制面35aに吊り下げ状態で保持される。
図3及び図7に示すように、前記保持部材36の後方において、ワーク支持部材35の下面には、位置決め部材39が突設されている。そして、図3に示すように、ワークW上の被保持体33が導入ガイド部36aに沿って保持部材36の基端側にガイド移動されたとき、この位置決め部材39に被保持体33の後面が当接される。この当接により、被保持体33がワーク支持部材35に対して前後方向の所定位置に位置決めされる。
図4〜図7に示すように、前記各保持部材36の先端部には、被保持体33上の第1係合部34bに係合可能な導入ガイド部36aが前方に向かって突出形成されている。この導入ガイド部36aは、傾斜面により前端縁に向かって先細状になるように形成されている。そして、図7に鎖線で示すように、保持部材36が下方位置に配置された状態で、被保持体33の第1係合部34bが導入ガイド部36aの前端側から保持部材36の基端側にガイド移動される。そして、被保持体33のスライド方向が前記加工用ローラ24,25の軸線を上下方向に通る平面に対して直交する方向となるように、保持部材36が配置されている。ただし、ワークWの加工に問題がなければ、被保持体33のスライド方向が前記加工用ローラ24,25の軸線を上下方向に通る平面と斜交する方向となるように、保持部材36が配置されていてもよい。
次に、前記ワーク受け渡し装置41の構成及びその関連構成について詳細に説明する。
図1及び図8〜図10に示すように、このワーク受け渡し装置41のフレーム42は、縦枠部42aと、その縦枠部42aの下端から側方に突設された一対のアーム部42bとを備えている。フレーム42の下面四隅には、車輪43が取り付けられている。フレーム42はワーク受け渡し装置41を移動させるためのハンドル44を備えている。フレーム42のアーム部42b間には、複数のローラ45が支持板46を介して、アーム部42bの延長方向に沿うとともに、アーム部42bの延長方向と直交する方向へ間隔をおいた状態で配置されている。支持板46の上面には、位置決め突起47が設けられている。
前記ワイヤソー20の基台21の底面は、そのワイヤソー20が設置される工場等の床面(図示しない)から浮き上がっている。図1及び図8に示すように、前記ワイヤソー20の基台21の底面には、ガイド部材としてのガイド板48が加工用ローラ24,25の軸線方向と直交する方向へ延びるように配置されている。ガイド板48の先端には、先細状の導入ガイド面48aが形成されている。そして、図1に矢印で示すように、ワーク受け渡し装置41のフレーム42がワイヤソー20の基台21に接近移動されたとき、ローラ45がガイド板48の導入ガイド面48aに沿ってガイドされ、ガイド板48の両側面に係合される。この係合により、ワーク受け渡し装置41がワイヤソー20に対して、加工用ローラ24,25の軸線方向の所定位置に位置決めされる。また、位置決め突起47がガイド板48の先端に係合されることにより、ワーク受け渡し装置41が加工用ローラ24,25の軸線方向と直交する方向の所定位置に位置決めされる。前記ローラ45,位置決め突起47及びガイド板48により、ワーク受け渡し装置41を前記ワーク支持部材35に位置決めするための位置決め手段が構成されている。
図1及び図8〜図10に示すように、前記フレーム42の縦枠部42aの内側面には、昇降体49が昇降可能に支持されている。そして、昇降用ハンドル50を回転させることにより、図示しないスプロケット及びチェーン等よりなる昇降機構を介して、昇降体49が上昇または下降される。昇降体49には、箱型の移動体51が水平面内でフレーム42のアーム部42bの延長方向と直交する方向へ移動可能に支持されている。そして、移動用ハンドル52を回転させることにより、図示しないボールスクリュー等よりなる移動機構を介して、移動体51が前記の方向に移動される。
図8及び図11〜図12に示すように、前記移動体51の両側内面には、ガイドレール53が移動体51の移動方向と直交する方向に延長配置されている。移動体51内において両ガイドレール53間には、支持体54が複数のローラ55を介して移動体51の移動方向と直交する方向へ移動可能に支持されている。支持体54には、この支持体54を移動操作するためのハンドル56が固定されている。
図8〜図11及び図13に示すように、前記移動体51の一側上面には、位置決め孔57aを有する一対の位置決め板57が支持体54の移動方向に間隔をおいて配置されている。支持体54の一側には、両位置決め板57の位置決め孔57aに択一的に合致可能な挿通孔58aを有する固定板58が取り付けられている。そして、支持体54が図8〜図10及び図12に示す外側位置(ワイヤソー20のワークWに近接する位置)に移動された状態及び支持体54が図12に鎖線で示すように昇降体49に接近する内側位置(ワイヤソー20のワークWから離間する位置)に移動された状態で、挿通孔58aから一方の位置決め孔57aに位置決めピン59が挿通されることにより、支持体54が外側位置または内側位置に位置決め固定される。前記位置決め板57,固定板58及び位置決めピン59により固定手段が構成されている。
図1及び図8〜図12に示すように、前記支持体54の上面前縁には、ワークW上の被保持体33の第2係合部34cに係合可能な複数のガイド部材60が突設されている。これらのガイド部材60は、前端縁に向かって先細状になるように形成されている。そして、図8、図10及び図12に示すように、各ガイド部材60に被保持体33の第2係合部34cが係合された状態で、支持体54の前部にワークWが吊り下げ状態で支持される。
図10及び図12に示すように、前記支持体54の前面には、複数のゴムブッシュ61が配置されている。そして、ガイド部材60に被保持体33の第2係合部34cが挿入されたとき、これらのゴムブッシュ61が被保持体33に緩衝をともなって当接される。
図8、図9、図11及び図12に示すように、前記移動体51の底面の開口部62には受け皿63が取り付けられている。そして、ガイド部材60に加工済みのワークWが吊り下げられた状態で、支持体54が昇降体49側の内側位置に移動されたとき、ワークWから滴下するスラリが受け皿63により受け止められる。
次に、前記のように構成されたワイヤソー20に対してワークWを着脱する際の動作を説明する。
さて、ワイヤソー20のワーク支持装置28にワークWを装着する場合には、図14に示すように、ワークWがその上面にガラスプレート31及び金属プレート32を介して被保持体33を固定した状態で、ワーク運搬用台車66に搭載されて、ワーク受け渡し装置41と対応する位置に搬送される。この場合、ワーク受け渡し装置41の支持体54は、図12に鎖線で示す内側位置に移動配置されている。そして、昇降用ハンドル50の操作により昇降体49が昇降されるとともに、移動用ハンドル52の操作により移動体51が移動されることにより、支持体54上のガイド部材60がワークW上の被保持体33の第2係合部34cと対応する位置に配置される。
この状態で、操作ハンドル56の操作により支持体54が図12に鎖線で示す内側位置から実線で示す外側位置に移動されると、ガイド部材60がワークW上の被保持体33の第2係合部34cに挿入される。その後、昇降体49が上昇されることにより、ワークWが支持体54の前部に吊り下げ状態で支持される。そして、支持体54が外側位置から内側位置に移動されることにより、ワークWが移動体51内に搭載される。
一方、ワイヤソー20のワーク支持装置28においては、各シリンダ37の突出動作により、図6に示すように、保持部材36が下方位置に移動配置される。この状態で、図1に矢印で示すように、ワークWを搭載したワーク受け渡し装置41が前記保持部材36と対応する位置に移動される。そして、ワーク受け渡し装置41側のローラ45及び位置決め突起47がワイヤソー20側のガイド板48に係合することにより、ワーク受け渡し装置41がワイヤソー20に対して所定のワーク着脱位置に位置決めされる。
その後、ワーク受け渡し装置41の昇降体49が必要に応じて昇降されるとともに、移動体51が左右方向へ移動されることにより、ガイド部材60に吊下されたワークW上の被保持体33の第1係合部34bが、ワイヤソー20のワーク支持装置28における保持部材36の導入ガイド部36aと対応する位置に配置される。この状態で、ワーク受け渡し装置41の支持体54が内側位置から外側位置に移動される。このため、図7に鎖線で示すように、ワークW上の被保持体33の第1係合部34bが、ワーク支持部材35の前方側から保持部材36の導入ガイド部36aに沿って保持部材36の基端側にスライドされる。
そして、図3に示すように、被保持体33がワーク支持部材35の下面に設けられた位置決め部材39に当接することにより、前後方向の所定位置に位置決めされて、被保持体33の第1係合部34bが保持部材36に対する係合位置に配置される。この状態で、ワーク受け渡し装置41の支持体54が外側位置から内側位置に移動されることにより、ワークWがワーク受け渡し装置41のガイド部材60からワイヤソー20の保持部材36に受け渡される。
この場合、前記ローラ45とガイド板48との係合により、被保持体33のスライド方向が加工用ローラ24,25の軸線方向と交差する方向となるように、保持部材36が配置されている。このため、図2及び図4に示すように、複数のワークWを加工用ローラ24,25の軸線方向に並設した状態で被保持体33に固定した場合でも、ワークWが加工用ローラ24,25の軸線方向に長いものであっても、ワークW上の被保持体33を保持部材36に対してこじれることなく円滑に受け渡すことができる。
その後、ワイヤソー20のワーク支持装置28における各シリンダ37が没入動作されると、図4に示すように、保持部材36が上方位置に移動されて、被保持体33の第1係合部34bに係合し、その被保持体33がワーク支持部材35の規制面35aに向かって引き上げられる。この引き上げにより、その被保持体33上の被規制面34aがワーク支持部材35の規制面35aに圧接されて、ワークWがワーク支持部材35の規制面35aに吊り下げ状態で保持され、被加工位置にセットされる。
また、ワイヤソー20において、ワイヤ26によりワークWの加工が終了した後、加工済みのワークWをワーク支持装置28から取り外す場合には、ワーク受け渡し装置41を用いて、前記ワークWの装着時と逆順に操作すればよい。
そして、この実施形態の構成は以下の効果がある。
(1) 前記ワーク支持部材35の保持部材36に対するワークWの着脱方向が、加工用ローラ24の軸線と平行な上下方向の平面と直交する方向になっている。そして、前記保持部材36の先端には、ワークWの装着位置への導入をガイドするための導入ガイド部36aが形成されている。このため、複数のワークWを加工用ローラ24の軸線方向に並設した状態であっても、また、ワークWが加工用ローラ24の軸線方向に長いものであっても、ワークWを保持部材36に対して簡単に導入できるとともに、大きくスライドさせることなく装着することができる。よって、ワークWの装着作業をこじれが生じることなく容易に行うことができる。
(2) 前記ワーク支持部材35が、ワークWの上面に固定された被保持体33をスライド可能に吊下してワークWを被加工位置にガイドするとともに、その被加工位置で保持する保持部材36を有し、その保持部材36の先端部に前記導入ガイド部36aが形成されている。従って、前記保持部材36がワークWの保持機能及びスライドガイド機能を有するために、部品点数が少なくなって、構成を簡素化できる。また、前記導入ガイド部36aの作用により、保持部材36へのワークWの導入をこじれることなく円滑に行うことができる。
(3) 前記ワーク支持部材35に、ワークWの被保持体33の被規制面34aの位置を規制するための規制面35aが形成されている。また、保持部材36がシリンダ37により引き上げられて、前記被規制面34aが前記規制面35aに対して規制状態で圧接される。このため、ワークWが所定位置で位置決めされるため、高精度加工を実現できる。また、保持部材36の両側の規制面35aが下方に向かって開放されるため、その規制面35aの清掃を容易に行うことができる。規制面35aにスラリが付着した状態でワークWをワーク支持部材35に支持すると、ワークWの位置が狂ってしまい、高精度加工を行う得ないおそれがあるが、この実施形態はこのようなおそれが生じる事態を簡単に解消できる。これに対し、例えば前記特許文献2においては、この実施形態の規制面35aに相当する規制面がL形状の支持部の上面、すなわち上向きの面に形成されているため、その規制面の清掃が困難である。
(4) 被保持体33を保持部材36の高さ位置に配置し、ワークWを前記保持部材との間において受け渡し可能に支持する受け渡し位置と、そこから離間する位置との間を移動可能なワーク受け渡し装置41が設けられているため、ワイヤソー20に対するワークWの着脱作業を容易に行うことができる。
(5) ワイヤソー20とワーク受け渡し装置41との間に、ワーク受け渡し装置41を保持部材36に対して位置決めするためのローラ45やガイド板48等よりなる位置決め手段が設けられている。このため、ワイヤソー20に対するワークWの装着において、保持部材36に対するワークの位置決めが容易になり、ワークWの装着作業がさらに容易になる。
(6) 前記ワーク受け渡し装置41には、ガイド部材60に吊下されたワークWからの滴下スラリを受けるための受け皿63が設けられている。従って、ワイヤソー20の周辺の床面や作業者の衣服等に対するスラリによる汚染を防止できる。
(7) ガイド部材60がを保持部材36に接近する位置及び保持部材36から離間した位置の両位置において、ガイド部材60を支持した支持体54を固定するための位置決め板57,固定板58,位置決めピン59が設けられている。従って、ワークWをワーク支持部材35に対する着脱位置及び待機位置において安定させることができ、ワークWの着脱作業がいっそう容易になる。
(変更例)
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
・ ワーク受け渡し装置41の昇降体49や移動体51を、電気モータ等よりなる駆動機構により昇降または移動させるように構成すること。
・ ワーク受け渡し装置41の支持体54を、電気モータ等よりなる駆動機構により内側位置と外側位置とに移動させるように構成すること。
・ 前記実施形態においては、加工用ローラ24に対してワークWを昇降させてワークWの加工が行われるようにしたが、これとは逆に、加工用ローラ24が昇降されてワークWの加工が行われるように構成すること。
・ ワーク受け渡し装置41の移動体51上の位置決め板57を支持体54の前進位置側のみに設けること。すなわち、ガイド部材60がワイヤソー20のワーク支持部材35に接近した位置において支持体54が固定されるように構成すること。
(他の技術的思想)
前記実施形態から把握されるが、請求項に記載されていない技術的思想を以下に記す。
(A) ワークの上面に固定された被保持体をスライド可能に吊下してワークを被加工位置にガイドするとともに、その被加工位置で保持する保持部材を設け、その保持部材の先端部にワークを同保持部材に導入するための導入ガイド部を設けたことを特徴とするワイヤソー。
(B) 前記保持部材の上方位置には、前記被保持体の位置を規制するための規制面を形成するとともに、前記保持部材を前記規制面に対して接近離間可能にし、前記保持部材を前記接近方向に移動させることにより被保持体を前記規制面に対して規制状態で圧接させる駆動手段を設けたことを特徴とする前記技術的思想(A)項に記載のワイヤソー。
(C) 走行可能なフレーム(42)に支持され、ワーク(W)をワイヤソー(20)に装着される装着部(33)の高さ位置に保持するワーク保持部(60)を設けて、ワイヤソー(20)との間においてワーク(W)を受け渡すようにしたワーク受け渡し装置において、
前記保持部(60)に保持されたワーク(W)からの滴下スラリを受けるための受け皿(63)を設けたことを特徴とするワイヤソーシステム。
一実施形態のワイヤソーシステムを示す要部斜視図。 図1のワイヤソーシステムにおけるワイヤソーの要部拡大正面図。 同ワイヤソーの要部側面図。 同ワイヤソーのワーク支持装置を拡大して示す正面図。 同じくワーク支持装置の要部斜視図。 図4のワーク支持装置に対するワークの着脱時の状態を示す正面図。 図4の7−7線における拡大断面図。 図1のワイヤソーシステムにおけるワーク受け渡し装置を拡大して示す斜視図。 同ワーク受け渡し装置の側面図。 同ワーク受け渡し装置の拡大平面図。 図9の11-11線における拡大断面図。 図10の12-12線における拡大断面図。 ワーク受け渡し装置の移動体に対する支持体の位置決め構成を拡大して示す要部斜視図。 図9のワーク受け渡し装置に対するワークの搭載時の状態を示す側面図。
符号の説明
20…ワイヤソー、23…切断機構、24,25…加工用ローラ、26…ワイヤ、28…ワーク支持装置、33…被保持体、34…被保持片、34a…被規制面、34b…第1係合部、34c…第2係合部、35…ワーク支持部材、35a…規制面、36…保持部材、36a…導入ガイド部、37…シリンダ、41…ワーク受け渡し装置、42…フレーム、49…昇降体、51…移動体、54…支持体、60…ガイド部材、63…受け皿、W…ワーク。

Claims (9)

  1. 複数本の加工用ローラを平行に配置するとともに、その加工用ローラと対向する位置においてワークを着脱可能に保持する保持手段を設け、その保持手段に保持されたワークを前記加工用ローラ間に張設されたワイヤにより切断するようにしたワイヤソーにおいて、
    前記保持手段に対するワークの着脱方向を、前記加工用ローラの軸線と平行な上下方向の平面に対して交差する方向にするとともに、その保持手段には、ワークの装着位置への導入をガイドするための導入ガイド部を設けたことを特徴とするワイヤソー。
  2. 前記保持手段に対するワークの着脱方向を、前記加工用ローラの軸線と平行な上下方向の平面に対して直交する方向にしたことを特徴とする請求項1に記載のワイヤソー。
  3. 前記保持手段は、ワークの上面に固定された被保持体をスライド可能に吊下してワークを被加工位置にガイドするとともに、その被加工位置で保持する保持部材を有し、その保持部材の先端部に前記導入ガイド部を設けたことを特徴とする請求項1または2に記載のワイヤソー。
  4. 前記保持手段には、前記被保持体の位置を規制するための規制面を形成するとともに、前記保持部材を前記規制面に対して接近離間可能にし、前記保持部材を前記接近方向に移動させて被保持体を前記規制面に対して規制状態で圧接させる駆動手段を設けたことを特徴とする請求項3に記載のワイヤソー。
  5. 請求項3または4に記載のワイヤソーと、
    前記被保持体を前記保持部材の高さ位置に配置し、ワークを前記保持部材との間において受け渡し可能に支持する受け渡し位置と、そこから離間する位置との間を移動可能なワーク受け渡し装置と
    よりなることを特徴とするワイヤソーシステム。
  6. ワイヤソーとワーク受け渡し装置との間に、ワーク受け渡し装置を前記保持部材に対して位置決めするための位置決め手段を設けたことを特徴とする請求項5に記載のワイヤソーシステム。
  7. 前記ワーク受け渡し装置は、ワークの上面に固定された被保持体をスライド可能に吊下するとともに、ワークをワイヤソーの保持部材の先端にガイドするためのガイド部材を有することを特徴とする請求項5または6に記載のワイヤソーシステム。
  8. 前記ワーク受け渡し装置は、前記ガイド部材に吊下されたワークからの滴下スラリを受けるための受け皿を有することを特徴とする請求項7に記載のワイヤソーシステム。
  9. 前記ガイド部材を前記保持部材に接近する位置と保持部材から離間する位置との間で移動できるようにフレームに支持するとともに、少なくとも前記離間位置においてガイド部材を固定するための固定手段を設けたことを特徴とする請求項7または8に記載のワイヤソーシステム。
JP2008331528A 2008-12-25 2008-12-25 ワイヤソーシステム Expired - Fee Related JP4825867B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008331528A JP4825867B2 (ja) 2008-12-25 2008-12-25 ワイヤソーシステム
TW098144157A TWI481489B (zh) 2008-12-25 2009-12-22 Wire sawing system
KR1020090130467A KR20100075761A (ko) 2008-12-25 2009-12-24 와이어 소 및 와이어 소 시스템
CN200910249572.2A CN101774149B (zh) 2008-12-25 2009-12-25 线状锯及线状锯系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008331528A JP4825867B2 (ja) 2008-12-25 2008-12-25 ワイヤソーシステム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010149248A true JP2010149248A (ja) 2010-07-08
JP4825867B2 JP4825867B2 (ja) 2011-11-30

Family

ID=42510806

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008331528A Expired - Fee Related JP4825867B2 (ja) 2008-12-25 2008-12-25 ワイヤソーシステム

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4825867B2 (ja)
KR (1) KR20100075761A (ja)
CN (1) CN101774149B (ja)
TW (1) TWI481489B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012031900A1 (en) * 2010-09-06 2012-03-15 Meyer Burger Ag Method and transfer appliance for loading and unloading a wire saw cutting machine
US9475209B2 (en) 2012-07-10 2016-10-25 Komatsu Ntc Ltd. Wire saw and workpiece machining method employing same

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2517347B (en) * 2010-02-19 2015-07-22 Belron Hungary Kft Zug Branch Wire handling for vehicle glazing panel cut out
JP5016122B1 (ja) * 2011-03-07 2012-09-05 コマツNtc株式会社 測定用治具、ワイヤソー、及びワーク装着方法
JP5041613B1 (ja) * 2011-03-28 2012-10-03 コマツNtc株式会社 ワイヤソー用リフター
JP6317120B2 (ja) * 2014-01-29 2018-04-25 高周波熱錬株式会社 線材の挿入装置、長尺ワークの巻取装置及び線材の挿入方法
JP7372097B2 (ja) * 2019-09-20 2023-10-31 コマツNtc株式会社 ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法
JP7372098B2 (ja) * 2019-09-20 2023-10-31 コマツNtc株式会社 ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法
CN113941939B (zh) * 2021-10-28 2022-06-24 连云港福东正佑照明电器有限公司 一种基于双面打磨机构的加工设备及其加工工艺

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1070172A (ja) * 1997-08-21 1998-03-10 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JPH10128736A (ja) * 1996-10-25 1998-05-19 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー
JPH10202499A (ja) * 1997-01-14 1998-08-04 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー
JPH11188600A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Nippei Toyama Corp ワイヤソー及びワーク搬入出方法
JPH11262852A (ja) * 1998-03-19 1999-09-28 Shin Etsu Handotai Co Ltd 切断終了検知装置付ワイヤーソー装置 及びワークの切断方法
JP2003282514A (ja) * 2002-03-25 2003-10-03 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置及び基板処理方法
JP2008246643A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Toyo Advanced Technologies Co Ltd ワイヤソー

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3976556B2 (ja) * 2001-11-30 2007-09-19 Dowaホールディングス株式会社 ワイヤソー
JP2009282514A (ja) * 2008-04-24 2009-12-03 Kobe Steel Ltd 表示装置用Al合金膜、表示装置およびスパッタリングターゲット

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10128736A (ja) * 1996-10-25 1998-05-19 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー
JPH10202499A (ja) * 1997-01-14 1998-08-04 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー
JPH1070172A (ja) * 1997-08-21 1998-03-10 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JPH11188600A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Nippei Toyama Corp ワイヤソー及びワーク搬入出方法
JPH11262852A (ja) * 1998-03-19 1999-09-28 Shin Etsu Handotai Co Ltd 切断終了検知装置付ワイヤーソー装置 及びワークの切断方法
JP2003282514A (ja) * 2002-03-25 2003-10-03 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置及び基板処理方法
JP2008246643A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Toyo Advanced Technologies Co Ltd ワイヤソー

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012031900A1 (en) * 2010-09-06 2012-03-15 Meyer Burger Ag Method and transfer appliance for loading and unloading a wire saw cutting machine
US9475209B2 (en) 2012-07-10 2016-10-25 Komatsu Ntc Ltd. Wire saw and workpiece machining method employing same

Also Published As

Publication number Publication date
KR20100075761A (ko) 2010-07-05
CN101774149B (zh) 2014-08-13
TWI481489B (zh) 2015-04-21
CN101774149A (zh) 2010-07-14
JP4825867B2 (ja) 2011-11-30
TW201024056A (en) 2010-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4825867B2 (ja) ワイヤソーシステム
CN109176119B (zh) 一种喷头加工机床自动上下料的机械手系统
CN203371331U (zh) 机床
CN100404190C (zh) 激光加工机中的喷嘴交换盒
JP2008264862A (ja) 板材加工システム
JP2012051076A (ja) 板状物の製造装置及び製造方法並びに板状物の端面研削装置及び端面研削方法
KR101439376B1 (ko) 사출물 절단장치
WO2014010468A1 (ja) ワイヤソー及びそのワイヤソーによるワーク加工方法
ITUB20155709A1 (it) Macchina per lavorare lastre in posizione sostanzialmente verticale, con utensile di molatura a tazza che e' orientabile intorno ad un asse ortogonale al piano della lastra
WO2012031900A1 (en) Method and transfer appliance for loading and unloading a wire saw cutting machine
KR20150072664A (ko) 판재 절단장치
JP4939262B2 (ja) 加工システム
KR101494692B1 (ko) 공작기계 공구 장착장치
CN110853955B (zh) 一种全自动倒铆式银触点铆接机构
CN106573352B (zh) 加工中心
JP2009208168A (ja) 生産ライン
CN106914790B (zh) 加工定位装置、加工机床及加工方法
CN223604698U (zh) 切片机及其上下料装置
JP5350015B2 (ja) 組付設備
KR20180011437A (ko) 스크라이빙 장치
JP2020174074A (ja) 部品実装装置
CN119159413A (zh) 一种机床轨道的工件夹持装置
CN109571259A (zh) 一种新型平面磨床
JPH05318224A (ja) 切断装置
JP2009032867A (ja) 分割装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101119

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110208

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110408

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110906

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110912

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4825867

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140916

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees