JP2010010568A - 回路装置 - Google Patents
回路装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010010568A JP2010010568A JP2008170575A JP2008170575A JP2010010568A JP 2010010568 A JP2010010568 A JP 2010010568A JP 2008170575 A JP2008170575 A JP 2008170575A JP 2008170575 A JP2008170575 A JP 2008170575A JP 2010010568 A JP2010010568 A JP 2010010568A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- circuit
- sealing resin
- hybrid integrated
- case material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H10W72/884—
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
【課題】ビス止めの押圧力が作用する状況でも、封止部材と基板との剥離が防止される回路装置を提供する。
【解決手段】混成集積回路装置10は、導電パターン22および半導体素子24から成る混成集積回路が上面に組み込まれた回路基板18と、額縁状の形状を有して回路基板18に当接することで混成集積回路が封止される領域を形成するケース材12と、ケース材12に囲まれる領域に充填されて混成集積回路を封止する封止樹脂16とを有する構成となっている。更に、混成集積回路装置10では、回路基板18の上面の一部が封止樹脂16により被覆されず、この部分の回路基板18を貫通する貫通孔34を設けている。更に本発明では、ビス止め時の回路基板18とケース材12との分離を防止するために、回路基板18の端部とケース材12とを嵌合させる構造を採用している。
【選択図】図2
【解決手段】混成集積回路装置10は、導電パターン22および半導体素子24から成る混成集積回路が上面に組み込まれた回路基板18と、額縁状の形状を有して回路基板18に当接することで混成集積回路が封止される領域を形成するケース材12と、ケース材12に囲まれる領域に充填されて混成集積回路を封止する封止樹脂16とを有する構成となっている。更に、混成集積回路装置10では、回路基板18の上面の一部が封止樹脂16により被覆されず、この部分の回路基板18を貫通する貫通孔34を設けている。更に本発明では、ビス止め時の回路基板18とケース材12との分離を防止するために、回路基板18の端部とケース材12とを嵌合させる構造を採用している。
【選択図】図2
Description
本発明は回路装置に関し、特に、回路基板の上面に構築された混成集積回路が封止部材により封止される回路装置に関する。
図11を参照して、従来から用いられている混成集積回路装置の構成を説明する。図11(A)はケース材111を用いて封止される構成の混成集積回路装置100の断面であり、図11(B)はトランスファーモールドにより樹脂封止された混成集積回路装置100Aを示す斜視図である。
図11(A)を参照して、先ず、矩形の基板101の表面には、絶縁層102を介して導電パターン103が形成され、この導電パターン103の所望の箇所に回路素子が固着されて、所定の混成集積回路が形成される。ここでは、回路素子として半導体素子105Aおよびチップ素子105Bが、導電パターン103に接続されている。リード104は、基板101の周辺部に形成された導電パターン103から成るパッド109に接続され、外部端子として機能している。封止樹脂108は、基板101の表面に形成された電気回路を封止する機能を有する。
ケース材111は、略額縁形状を有して基板101の側面に当接している。更に、基板101の上面に封止する空間を確保するために、ケース材111の上端部は、基板101の上面よりも上方に位置している。そして、基板101の上方にてケース材111により囲まれる空間には封止樹脂108が充填され、この封止樹脂108により半導体素子等の回路素子が封止されている。この構成により、基板101が比較的大きいものであっても、ケース材111等により囲まれる空間に封止樹脂108を充填させることで、基板101の上面を組み込まれた回路素子等を樹脂封止することができる。
図11(B)に示す混成集積回路装置100Aの概略的な構成は、上記した混成集積回路装置100において、ケース材111を取り除いたものと同様であり、ここでは、トランスファーモールドにより封止樹脂108が形成されている。具体的には、モールド金型を用いた射出成形により、基板101の上面および側面が被覆されるように封止樹脂108が形成されている。
更に、封止樹脂108の周辺部を部分的に窪ませることにより固定部112が形成されており、混成集積回路装置100Aの下面をヒートシンク等に当接させるときは、固定部112にビス止めが施される。また同様に、図11(A)に示す混成集積回路装置100でも、ケース材111の周辺部に設けた段差部分をビス止めに使用する場合もある。
特開2007−036014号公報
しかしながら、上記した構成の混成集積回路装置100Aでは、固定部112によるビス止めが不十分である問題があった。具体的には、固定部112にビス止めを行うことにより、一時的に混成集積回路装置100Aの下面をヒートシンク等に接触させることは可能である。しかしながら、固定部112を構成する絶縁性樹脂が経時劣化により変形すると、固定部112とビスとの間に隙間が発生し、ビス止めによる固定が不十分となる場合がある。この様になると、混成集積回路装置100Aがヒートシンクから離間してしまい、ヒートシンクによる放熱作用が機能しない恐れがある。
また、図11(A)に示す基板101の一部分を封止樹脂108により被覆せずに露出させ、この露出する部分の基板101に、ビス止めを行う固定方法も考えられる。この様にすれば、アルミニウム等の金属から成る基板101の経時劣化による変形は殆ど無いので、ビス止めによる押圧力の低下が抑制される。
しかしながら、ビスをきつくしめると、基板の反りと実装基板面の平坦性の関係により、ケース材101または封止樹脂108と、回路基板101とが剥離してしまう恐れがある。これは実装基板側が常に静止状態であれば良いが、振動が加えられたり、温度により反ったりすると、回路基板と封止樹脂の界面には、剥離作用が働き、この様な剥離が発生する。そのため、混成集積回路装置100の耐湿性が低下する。
本発明はこの様な問題を鑑みてなされ、本発明の主たる目的は、ビス止めの押圧力が回路基板に作用する状況でも、封止部材と基板との剥離が防止される回路装置を提供することにある。
本発明は、回路基板と、前記回路基板の上面に形成された導電パターンおよび回路素子から成る混成集積回路と、前記混成集積回路が封止されるように前記回路基板の少なくとも上面を被覆する封止部材と、を有する回路装置において、前記封止部材は、前記回路基板の側辺に当接する額縁状のケース材と、前記ケース材により囲まれる領域に充填された封止樹脂から成り、前記回路基板の外周部を前記ケース材の内部側壁に設けられた凹部に嵌合させることを特徴とする。
本発明は、回路基板と、前記回路基板の上面に形成された導電パターンおよび回路素子から成る混成集積回路と、前記混成集積回路が封止されるように前記回路基板の少なくとも上面を被覆する封止部材と、を有する回路装置において、前記封止部材は、前記回路基板の上面および側面を被覆すると共に、射出成形により成形された封止樹脂であり、前記回路基板の外周部を前記封止樹脂に嵌合させることを特徴とする。
本発明は、回路基板の上面に形成された導電パターンおよび回路素子から成る混成集積回路と、前記混成集積回路が封止されるように前記回路基板の少なくとも上面を被覆する封止樹脂と、を有する回路装置において、前記封止樹脂により被覆される領域の前記回路基板に、上面よりも下面の方が開口径が大きい開口部を設け、前記開口部に前記封止樹脂を充填させることを特徴とする。
本発明によれば、固定用のビスが通される貫通孔を回路基板に設け、この回路基板の周辺部をケース材等の封止部材と嵌合させている。この様にすることで、ビスの押圧力が回路基板に作用することにより、ケース材を回路基板から分離させる応力が作用しても、両者の密着強度が高いので、ケース材の回路基板からの分離が防止されている。
<第1の実施の形態>
図1を参照して、回路装置の一例として混成集積回路装置10の構造を説明する。図1(A)は混成集積回路装置10を斜め上方から見た斜視図である。図1(B)は図1(A)のB−B’線に於ける断面図であり、図1(C)は図1(A)のC−C’線に於ける断面図である。
図1を参照して、回路装置の一例として混成集積回路装置10の構造を説明する。図1(A)は混成集積回路装置10を斜め上方から見た斜視図である。図1(B)は図1(A)のB−B’線に於ける断面図であり、図1(C)は図1(A)のC−C’線に於ける断面図である。
図1の各図を参照して、混成集積回路装置10は、導電パターン22および半導体素子24等(回路素子)から成る混成集積回路が上面に組み込まれた回路基板18と、額縁状の形状を有して回路基板18に当接することで混成集積回路が封止される領域を形成するケース材12と、ケース材12に囲まれる領域に充填されて混成集積回路を封止する封止樹脂16と、導電パターン22から成るパッド13に固着されて外部(ここでは基板に対して垂直方向)に延在するリード14とを有する構成となっている。更に、混成集積回路装置10では、回路基板18の上面の一部が封止樹脂16により被覆されず、この部分の回路基板18を貫通する貫通孔34を設けている。
回路基板18は、アルミニウム(Al)や銅(Cu)等を主材料とする金属基板である。回路基板18の具体的な大きさは、例えば、縦×横=61mm×88mm程度である。また、回路基板18の厚みは、例えば1.5mmまたは2.0mm程度である。回路基板18としてアルミニウムより成る基板を採用した場合は、回路基板18の両主面は陽極酸化膜により被覆されても良い。ここで、樹脂材料や、セラミックに代表される無機材料等の絶縁材料から回路基板18が構成されても良い。
絶縁層20は、回路基板18の上面全域を覆うように形成されている。絶縁層20は、AL2O3等のフィラーが例えば60重量%〜80重量%程度に高充填されたエポキシ樹脂等から成る。フィラーが混入されることにより、絶縁層20の熱抵抗が低減されるので、内蔵される回路素子から発生した熱を、絶縁層20および回路基板18を経由して良好に外部に放出することができる。絶縁層20の具体的な厚みは、例えば50μm程度である。また、図1(B)では、回路基板18の上面のみが絶縁層20により被覆されているが、回路基板18の下面も絶縁層20により被覆されても良い。このようにすることで、回路基板18の裏面を外部に露出させても、回路基板18の裏面を外部と絶縁させることができる。また回路基板18は、一枚で構成されているが、間に絶縁層を介して複数枚積層させても良い。
導電パターン22は銅等の金属から成り、所定の電気回路が形成されるように絶縁層20の表面に形成される。また、リード14が固着される部分に、導電パターン22からなるパッドが設けられる。更に、半導体素子24の周囲にも多数個のパッドが形成され、このパッドと半導体素子24とは金属細線38により接続される。ここでは単層の導電パターン22が図示されているが、絶縁層を介して積層された多層の導電パターン22が回路基板18の上面に形成されても良い。
導電パターン22に電気的に接続される回路素子としては、能動素子や受動素子を全般的に採用することができる。具体的には、トランジスタ、LSIチップ、ダイオード、チップ抵抗、チップコンデンサ、インダクタンス、サーミスタ、発振器などを回路素子として採用することができる。更にまた、樹脂封止型のパッケージ等も、回路素子として導電パターン22に固着することができる。図1(B)を参照すると、回路基板18の上面には、回路素子として半導体素子24およびチップ素子26が配置されている。半導体素子24は導電パターン22に固着され、上面の電極は金属細線38を経由して導電パターン22に接続されている。チップ素子26は、両端の電極が半田等の固着材を介して導電パターン22に接続されている。ここで、発熱量の多いパワー素子が半導体素子24として採用された場合は、導電パターン22の上面に固着された金属片から成るヒートシンクの上面に半導体素子24が載置されても良い。このことにより、半導体素子24から発生する熱を効率的にヒートシンクおよび回路基板18を経由して外部に放出させることができる。ここで発明のポイントはケース材にあり、素子の実装形態は、限定されない。
封止樹脂16は、回路基板18に構築された混成集積回路を封止する機能を有し、具体的には、回路基板18の上面に形成された導電パターン22、半導体素子24等の回路素子、リード14の接合箇所が封止されるように、回路基板18の上面に封止樹脂16が形成されている。また、封止樹脂16は、ケース材12により囲まれる回路基板18の上方の空間に充填されている。封止樹脂16の材料としては、熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂が採用される。更に、封止樹脂16には、熱伝導性の向上等を目的として、酸化シリコン等のフィラーが例えば10重量%〜20重量%程度混入されても良い。
また、本実施の形態では、回路基板18の上面は全面的に封止樹脂16により被覆されているのではなく、一部は上面が外部に露出している。図1(A)を参照すると、ケース材12の内部側壁部12E、12Fにより囲まれる領域は封止樹脂16が充填されず、回路基板18の上面が露出している状態となっている。この部分の回路基板18は、ビス止めの為の領域として使用され、この詳細は図1(C)を参照して詳述する。
リード14は、回路基板18の対向する側辺に沿って設けられており、混成集積回路装置10の入出力端子として機能している。これらのリード14は、銅(Cu)、アルミニウム(Al)またはFe−Niの合金等などを主成分とした金属から成る。図では、各リード14は上方に引き出されているが、リード14は途中で直角に曲折されて側方に引き出されても良い。
図1(A)を参照して、額縁状の形状を呈するケース材12は、回路基板18の4つの側辺に対応して、4つの側壁部を有する。具体的には、第1側壁部12A、第2側壁部12B、第3側壁部12Cおよび第4側壁部12Dから主にケース材12は構成されている。紙面上における各側壁部の位置を説明すると、第1側壁部12Aは奥側に位置し、第2側壁部12Bは手前側に位置し、第3側壁部12Cは左側に位置し、第4側壁部12Dは右側に位置する。更に、第2側壁部12Bから連続して内側に内部側壁部12Fが形成されており、第1側壁部12Aから連続して内側に内部側壁部12Eが形成されている。これら内部側壁部12Eは、ケース材と同じ厚み、または若干薄くリング状に形成され、ケース材と一体でなる。ケース材12の更なる詳細は、図3を参照して後述する。
ここで、ケース材12は、各側壁部の内壁が回路基板18の側面に当接している。そして、ケース材12に回路基板18と嵌合させると、ケース材12の下面と回路基板18の下面とは、少なくとも中央部分が同一平面上に位置する。なお、ケース材12は、エポキシ樹脂等の樹脂材料を射出成形して形成されたものである。
図1(C)を参照して、本実施形態では、回路基板18の周辺部の下面に段差加工を施して段差部30が設けられており、ケース材12の側壁部は、この段差部30に嵌合する構成と成っている。具体的には、パンチング加工、ダイシング加工またはエッチング加工により、回路基板18の周辺部を下面から部分的に除去することで、回路基板18の周辺部に段差部(切欠部)30を設けている。そして、ケース材の側壁部内側には、段差部30の形状に即した凹部32が下端付近に設けられる。従って、第2側壁部12Bを回路基板18の段差部30に填め込むことにより、第2側壁部12Bの下面と回路基板18の下面とは、同一平面上に位置している。この段差部30は、回路基板18の対向する2つの側面に沿って設けられても良いし、4つの全ての側辺に設けられても良い。即ち、回路基板18の段差部30は、図1(A)を参照して、ケース材12の第1側壁部12Aおよび第2側壁部12Bに接触する回路基板18の側辺に沿って設けられても良いし、4つの全ての側辺に設けられても良い。回路基板18をケース材12に嵌合するためには、回路基板をケース材12よりも若干大きくし、ケース材の柔軟性を利用して、押し込むと填め込まれる。また、回路基板18を容易にケース材12に嵌合させるには、ケース材12の内側のサイズを若干広くし、凹部32の上端部分だけ若干厚く突出部が延在されれば、簡単に嵌合させることが出来る。
この様に回路基板18の周辺部に設けた段差部30にケース材12の側壁部を嵌合させることにより、ケース材の凹部32底面に回路基板18の段差部30が当接されるため、ケース材12が回路基板18から剥離することが防止される。具体的には、混成集積回路装置10にヒートシンクを実装する際には、回路基板18に設けた貫通孔34に上方からビス42を挿入して押圧することにより、両者が固着される。この際、回路基板18にはビスによる押圧力が作用する一方、ケース材12および封止樹脂16には、凹部32底面に段差部30の裏面が当接する方向で力が働き、剥離する方向での力が作用しない状態となる。
このことから、ビス42により混成集積回路装置10がビス止めされると、ビス42の押圧力により、回路基板18をケース材12から引きはがす応力が発生し、この応力が大きいと両者が分離してしまう恐れがある。また、混成集積回路装置10は、封止樹脂16が硬化する際の硬化収縮により、装置全体が下側に凸となるように湾曲しているので、ビス42の押圧力によりこの湾曲形状を平坦に矯正したら、上記した応力は更に大きいものとなる。
この分離を防止するために、本実施形態では、回路基板18の周辺部に設けた段差部30をケース材の側壁部に嵌合させ、凹部32底部と段差部30裏面を当接させている。このようにすることで、ビス42を固くしめても、ケース材12の周辺が回路基板18に填め込まれることにより、両者の分離が抑制される。
このことから、ビス42により混成集積回路装置10がビス止めされると、ビス42の押圧力により、回路基板18をケース材12から引きはがす応力が発生し、この応力が大きいと両者が分離してしまう恐れがある。また、混成集積回路装置10は、封止樹脂16が硬化する際の硬化収縮により、装置全体が下側に凸となるように湾曲しているので、ビス42の押圧力によりこの湾曲形状を平坦に矯正したら、上記した応力は更に大きいものとなる。
この分離を防止するために、本実施形態では、回路基板18の周辺部に設けた段差部30をケース材の側壁部に嵌合させ、凹部32底部と段差部30裏面を当接させている。このようにすることで、ビス42を固くしめても、ケース材12の周辺が回路基板18に填め込まれることにより、両者の分離が抑制される。
図2を参照して、ケース材の側壁部を回路基板18に嵌合させる他の構成を説明する。図2(A)および図2(B)はこの構成を示す断面図である。
図2(A)を参照して、ここでは、回路基板18の周辺部には上記したような段差部は設けられずに、回路基板18の裏面は全面的に平坦面と成っている。そして、ケース材12の第2側壁部12Bには、回路基板18の厚みに即した形状の凹部32が設けられており、この凹部32に回路基板18を当接させることで、第2側壁部12Bの下端の部分が回路基板18を下面から支持する構成となる。
図2(B)を参照すると、封止樹脂16に被覆される領域の回路基板18に開口部36を設け、この開口部36に封止樹脂16を充填させることにより、封止樹脂16と回路基板18との密着強度を向上させている。開口部36は、封止樹脂16が形成される領域の回路基板18を貫通して設けられており、上面の開口形D1よりも下面側の開口径D2の方が大きい構成となっている。ここでは、開口部36は、途中に段差部が設けられた円柱状の形状を呈しているが、開口部36の側面は上方から下方に向かって裾広がりな傾斜面でも良い。ここで、開口部36は、貫通孔34の付近に複数設けられても良い。更には、図2(A)または図1(C)に示されたケース材12と回路基板18とが嵌合する構成と、図2(B)に示された構成は、組みあわせて採用されても良い。
図3に本形態の混成集積回路装置10に用いられるケース材12の形状を説明する。ここでは、図1(A)に示す状態の混成集積回路装置10を構成するケース材12を、下方から見た場合の斜視図を示している。この図を参照して、ケース材12は、4つの側壁部(第1側壁部12A、第2側壁部12B、第3側壁部12C、第4側壁部12D)から成り、第1側壁部12Aおよび第2側壁部12Bから内側に内部側壁部12E、12Fが設けられている。図1(C)に示したような凹部32は各側壁部に設けられる。また、内部側壁部12E、12Fの下端は回路基板18の上面に接触する(図1参照)。この様な構成のケース材12は、モールド金型を用いた射出成形により形成されている。
次に、図4から図6を参照して、図1(A)に示した構成の混成集積回路装置10の製造方法を説明する。
図4を参照して、最初に、所定の混成集積回路を回路基板18の上面に組み込む。先ず、アルミニウム等の金属から成る回路基板18の上面は、フィラーが混入された樹脂から成る絶縁層20により被覆されており、この絶縁層20の上面に所定形状の導電パターン22が形成されている。そして、導電パターン22の所定の箇所に、回路素子として半導体素子24およびチップ素子26が固着されている。また、回路基板18の周辺部には導電パターン22から成るパッドが形成され、このパッドにはリード14が固着されている。更に、回路基板18の周辺部を裏面側から部分的に除去することで、段差部30が設けられている。この段差部30の形成方法としては、パンチング、ダイシングまたはエッチングが考えられる。
図5を参照して、次に、ケース材12を回路基板18に填め込む。図5(A)はこの工程を示す断面図であり、図5(B)はケース材12の構成を示す平面図である。
図5(A)を参照して、ケース材12を回路基板18に組み込む。ここでは、回路基板18の周辺部には段差加工した段差部30が設けられている。そして、ケース材12の側壁部(第1側壁部12Aおよび第2側壁部12B)には、回路基板18の段差部30に即した形状の凹部32が設けられている。従って、回路基板18の段差部30がケース材12の凹部32に嵌合することにより、両者の接続構造は強固なものとなっている。更に、ケース材12と回路基板18とが接触する部分には、接着剤が塗布される。
図5(B)を参照して、回路基板18の段差部30と嵌合する凹部32はケース材12の4つの側壁部(第1側壁部12A、第2側壁部12B、第3側壁部12Cおよび第4側壁部12D)に形成される。更には、対向する2つの側壁部のみ(第1側壁部12Aと第2側壁部または第3側壁部12Cと第4側壁部12D)に、凹部32が設けられても良い。また、本工程では、ケース材12に設けた内部側壁部12E、12Fの下部が、回路基板18の上面に当接し、この内部側壁部により囲まれる領域は、次工程にて封止樹脂が形成されない。
図6を参照して、次に、ケース材12に囲まれる空間に封止樹脂16を充填させて、回路基板18の上面に形成された混成集積回路を樹脂封止する。図6(A)および図6(B)は本工程を示す断面図である。
図6(A)を参照して、本工程では、液状又は半固形状の封止樹脂16をケース材12により囲まれる領域に供給する。封止樹脂16は、ノズル40の先端部から回路基板18の上面に供給されている。封止樹脂16により、回路基板18の上面に形成された導電パターン22、半導体素子24、チップ素子、金属細線およびリード14の接続部分が被覆される。また、封止樹脂16は、粒子状のフィラーが混入された熱硬化性樹脂または熱可塑性樹脂から成る。封止樹脂16の充填が終了した後は、必要に応じて加熱硬化を行う。
図6(B)を参照して、ビス止めの為の貫通孔34が設けられた部分の回路基板は、ケース材12の内部側壁部12Fにより囲まれている。従って、回路基板18の上面に液状の封止樹脂16を供給しても、内部側壁部12Fにより囲まれている貫通孔34の周辺部の回路基板18上面は、封止樹脂16により被覆されない。
図7を参照して、次に、混成集積回路装置10の裏面をヒートシンク44に当接させる。図7(A)は本工程を示す断面図であり、図7(B)は拡大された断面図である。
図7(A)および図7(B)を参照して、本工程では、混成集積回路装置10の貫通孔34およびヒートシンク44の孔部46に、ビス42を通してネジ止めすることで、混成集積回路装置10の裏面をヒートシンク44の上面に接触させている。
ヒートシンク44は、銅やアルミニウム等の金属から成る。従って、回路基板18が露出する混成集積回路装置10の裏面をヒートシンク44の上面に接触させると、混成集積回路装置に内蔵された回路素子から発生した熱を、回路基板18およびヒートシンク44を経由して、良好に外部に放出させることができる。
ここで、混成集積回路装置10は、全体的に下側に凸となるように湾曲した形状となっている。この様に混成集積回路装置10が湾曲する原因は、回路基板18の上面を被覆する封止樹脂16が硬化する際に収縮するからである。従って、混成集積回路装置10の両端部付近に設けたビス42により回路基板18を押圧して、混成集積回路装置10の形状を平坦に矯正することで、混成集積回路装置10の裏面とヒートシンク44の上面に密着させている。
図7(B)を参照して、上記のようにビス42の押圧力により回路基板18の湾曲を平坦に矯正すると、湾曲した状態の封止樹脂16およびケース材12と回路基板18とを分離させる応力が作用する。両者の分離を防止するために本実施形態では、回路基板18の周辺部に段差部30を設け、この段差部30を第2側壁部12Bと嵌合させている。この様にすることで、ビス42による大きな押圧力が回路基板18に作用したとしても、この押圧力に起因して回路基板18がケース材12から分離することが防止される。
更に本工程では、金属材料である回路基板18に対してビス42の押圧力を加えているので、長時間が経過しても回路基板18が変形することは殆ど無く、ビス42による押圧力が変化しない。従って、長期間に渡り、回路基板18の下面をヒートシンク44の上面に当接した状態に維持できる。
<第2の実施の形態>
本実施の形態では、図8から図10を参照して、封止部材として射出成形により形成された封止樹脂16が採用された混成集積回路装置10Aの構造を説明する。本実施形態の混成集積回路装置10Aの他の構成は、上記した混成集積回路装置10と基本的には同様であり、封止部材の構成が異なる。
本実施の形態では、図8から図10を参照して、封止部材として射出成形により形成された封止樹脂16が採用された混成集積回路装置10Aの構造を説明する。本実施形態の混成集積回路装置10Aの他の構成は、上記した混成集積回路装置10と基本的には同様であり、封止部材の構成が異なる。
図8(A)は混成集積回路装置10Aの斜視図であり、図8(B)は図8(A)のX−X’線に於ける断面図である。これらの図を参照して、回路基板18の上面および側面は封止樹脂16により被覆されており、封止樹脂16の側面から多数のリード14が外部に導出されている。
図8(B)を参照して、回路基板18にはビス止めの為の貫通孔34が形成されており、この貫通孔34の周辺部の回路基板18の上面は封止樹脂16により被覆されずに外部に露出して露出領域48を構成している。ここでは、回路基板18の長手方向の両端部付近に貫通孔34が形成されている。そして、回路基板18の周辺部には段差部30が形成されており、この段差部30も封止樹脂16により被覆されている。段差部30に回り込むように封止樹脂16が形成されることで、回路基板18と封止樹脂16との密着強度が強固となり、回路基板18と封止樹脂16との分離が抑制されている。
図9を参照して、封止樹脂16と回路基板18とを嵌合させる他の構造を説明する。
図9(A)を参照すると、回路基板18の側面が、外側に向かって突出する2つの側面から構成されている。この様にすると、回路基板18の傾斜面が封止樹脂16と嵌合するので、両者の密着強度が向上される。また、この回路基板18の側面はダイシングによる研削加工により形成される粗面であるので、この粗面である傾斜面に封止樹脂16が密着することにより、両者の分離が防止されている。
図9(B)を参照すると、封止樹脂16により被覆される領域の回路基板18を貫通して開口部36が設けられ、この開口部36に封止樹脂16が充填されている。開口部36の詳細は、第1の実施の形態にて上記したとおりであり、開口部36の上部の開口径は下部よりも狭くなっている。この様にすることで、開口部36に充填された封止樹脂16と回路基板18との間にアンカー効果が発生して、両者の密着強度が向上される。更に、この図9(B)に示す開口部36の構成は、図8や図9に示す他の構成を組みあわせて採用されても良い。
図9(C)を参照して、回路基板18の裏面は全面的に平坦面とされており、封止樹脂16の一部分を回路基板18の裏面に回り込ませている。この様な構成によっても、封止樹脂16と回路基板18との密着強度が向上されて、両者の分離が防止される。
図10の断面図を参照して、上記した構成の混成集積回路装置10を樹脂封止する方法を説明する。
本実施形態では、モールド金型を使用した射出成形によりインジェクションモールドまたはトランスファーモールドを行い、封止樹脂を形成している。ここでは、上金型54および下金型56から成る金型52を使用してトランスファーモールドにより回路基板18を封止している。具体的には、下金型56に回路基板18を載置した後に、上金型54と下金型56とを当接させることで、金型のキャビティの内部に回路基板18を収納させる。次に、金型52に設けたゲートから封止樹脂を注入して回路基板18の上面および側面を樹脂封止する。更に、本工程では、貫通孔34の周辺部の回路基板18の上面(図8に示す露出領域48)が、封止樹脂に被覆されずに露出するように、当接部58が設けられている。この当接部58は、上金型54の内壁を部分的に下方に突出させた部位であり、下面は貫通孔34の周辺部の回路基板18の上面に当接している。この様に当接部58の下面が回路基板18の上面に接触することで、貫通孔34の周辺部の回路基板18の上面が露出した状態で本工程の樹脂封止が行われる。また、本工程では、回路基板18の周辺部に設けた段差部30にも封止樹脂が回り込み、回路基板18の周辺部に封止樹脂が嵌合する構造が実現されている。
10、10A 混成集積回路装置
12 ケース材
12A 第1側壁部
12B 第2側壁部
12C 第3側壁部
12D 第4側壁部
12E 内部側壁部
12F 内部側壁部
14 リード
16 封止樹脂
18 回路基板
20 絶縁層
22 導電パターン
24 半導体素子
26 チップ素子
28 金属細線
30 段差部
32 凹部
34 貫通孔
36 開口部
38 金属細線
40 ノズル
42 ビス
44 ヒートシンク
46 孔部
48 露出領域
50 被覆領域
52 金型
54 上金型
56 下金型
58 当接部
12 ケース材
12A 第1側壁部
12B 第2側壁部
12C 第3側壁部
12D 第4側壁部
12E 内部側壁部
12F 内部側壁部
14 リード
16 封止樹脂
18 回路基板
20 絶縁層
22 導電パターン
24 半導体素子
26 チップ素子
28 金属細線
30 段差部
32 凹部
34 貫通孔
36 開口部
38 金属細線
40 ノズル
42 ビス
44 ヒートシンク
46 孔部
48 露出領域
50 被覆領域
52 金型
54 上金型
56 下金型
58 当接部
Claims (8)
- 回路基板と、
前記回路基板の上面に形成された導電パターンおよび回路素子から成る混成集積回路と、
前記混成集積回路が封止されるように前記回路基板の少なくとも上面を被覆する封止部材と、を有する回路装置において、
前記封止部材は、前記回路基板の側辺に当接する額縁状のケース材と、前記ケース材により囲まれる領域に充填された封止樹脂から成り、
前記回路基板の外周部を前記ケース材の内部側壁に設けられた凹部に嵌合させることを特徴とする回路装置。 - 前記回路基板の周辺部に下面から窪ませた段差部を設け、
前記段差部の裏面を前記ケース材の凹部に嵌合させることを特徴とする請求項1記載の回路装置。 - 前記ケース材の前記凹部を、平坦面である前記回路基板の下面に当接させることを特徴とする請求項1または請求項2記載の回路装置。
- 回路基板と、
前記回路基板の上面に形成された導電パターンおよび回路素子から成る混成集積回路と、
前記混成集積回路が封止されるように前記回路基板の少なくとも上面を被覆する封止部材と、を有する回路装置において、
前記封止部材は、前記回路基板の上面および側面を被覆すると共に、射出成形により成形された封止樹脂であり、
前記回路基板の外周部を前記封止樹脂に嵌合させることを特徴とする回路装置。 - 前記回路基板の周辺部に下面から窪ませた段差部を設け、
前記段差部に前記封止樹脂を嵌合させることを特徴とする請求項4記載の回路装置。 - 前記封止樹脂の一部を、平坦面である前記回路基板の下面に当接させることを特徴とする請求項4記載の回路装置。
- 前記封止樹脂により被覆される領域の前記回路基板に、上面よりも下面の方が開口径が大きい開口部を設け、
前記開口部に前記封止樹脂を充填させることを特徴とする請求項1から請求項6の何れかに記載の回路装置。 - 回路基板の上面に形成された導電パターンおよび回路素子から成る混成集積回路と、
前記混成集積回路が封止されるように前記回路基板の少なくとも上面を被覆する封止樹脂と、を有する回路装置において、
前記封止樹脂により被覆される領域の前記回路基板に、上面よりも下面の方が開口径が大きい開口部を設け、
前記開口部に前記封止樹脂を充填させることを特徴とする回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008170575A JP2010010568A (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008170575A JP2010010568A (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 回路装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010010568A true JP2010010568A (ja) | 2010-01-14 |
Family
ID=41590669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008170575A Pending JP2010010568A (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2010010568A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012134052A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Kasuga Electric Works Ltd | 帯電装置または除電装置用の電極基板ユニット |
| WO2015182284A1 (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-03 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
| JP2022076164A (ja) * | 2020-11-09 | 2022-05-19 | 富士電機株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
| JP2023085765A (ja) * | 2021-12-09 | 2023-06-21 | 富士電機株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
-
2008
- 2008-06-30 JP JP2008170575A patent/JP2010010568A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012134052A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Kasuga Electric Works Ltd | 帯電装置または除電装置用の電極基板ユニット |
| WO2015182284A1 (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-03 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
| CN105814682A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-07-27 | 富士电机株式会社 | 半导体装置 |
| JPWO2015182284A1 (ja) * | 2014-05-30 | 2017-04-20 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
| US10192806B2 (en) | 2014-05-30 | 2019-01-29 | Fuji Electric Co., Ltd. | Semiconductor device |
| JP2022076164A (ja) * | 2020-11-09 | 2022-05-19 | 富士電機株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
| JP7543854B2 (ja) | 2020-11-09 | 2024-09-03 | 富士電機株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
| JP2023085765A (ja) * | 2021-12-09 | 2023-06-21 | 富士電機株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
| US12489031B2 (en) | 2021-12-09 | 2025-12-02 | Fuji Electric Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5339800B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| EP3226292B1 (en) | Lead frame, semiconductor device, method for manufacturing lead frame, and method for manufacturing semiconductor device | |
| US8203848B2 (en) | Circuit device and method of manufacturing the same | |
| JP5096094B2 (ja) | 回路装置 | |
| JP6266168B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP5285347B2 (ja) | 回路装置 | |
| JP6345342B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP4254527B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2020038914A (ja) | 半導体装置 | |
| JP4967701B2 (ja) | 電力半導体装置 | |
| JP2020098885A (ja) | 半導体装置 | |
| JP4549171B2 (ja) | 混成集積回路装置 | |
| JP4334335B2 (ja) | 混成集積回路装置の製造方法 | |
| JP2018082113A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
| JP2010010568A (ja) | 回路装置 | |
| US20080073763A1 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
| JP2005191147A (ja) | 混成集積回路装置の製造方法 | |
| JP2010245468A (ja) | モールドパッケージの実装構造および実装方法 | |
| JP5381175B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
| JP2008187144A (ja) | 回路装置およびその製造方法 | |
| JP7591377B2 (ja) | 半導体部品 | |
| JP2010010569A (ja) | 回路装置およびその製造方法 | |
| JP5112972B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
| JP2007036013A (ja) | 回路装置およびその製造方法 | |
| KR20190085587A (ko) | 고열전도성 반도체 패키지 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20110602 |