JP2010091341A - Ｌｅｄの試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】多数のＬＥＤを複数回に分けて試験することを可能して、試験に要する時間及び労力を低減する。
【解決手段】試験装置は、ＬＥＤ１２で発光された光が下方側から入射して、上方へ通過することを許す複数の第１の光通路を備える支持体３０と、該支持体の上側に配置されたカバー３２であって、第１の光通路の上方を左右方向へ伸びる第２の光通路を有するカバーと、左右方向への当該シャッタ３４の移動にともなって光ガイドの上端に順次対向される開口を有するシャッタと、第２の光通路内に左右方向へ移動可能に配置された反射鏡３６であって、光ガイドを経た光を第２の光通路内において左右方向へ指向させる反射鏡と、シャッタ及び反射鏡を左右方向へ移動させる移動させるアクチュエータと、反射鏡により反射されて第２の光通路内を進む光を受光する受光器４０とを含む。
【選択図】図４

Description

本発明は、複数のＬＥＤ（発光ダイオード）を試験する装置に関し、特にＬＥＤウエーハのような基板に備えられた複数ＬＥＤの検査、すなわち試験をする装置に関する。

ＬＥＤが正しい光を発生するか否かの試験をする装置は、種々提案されている（特許文献１，２，３等を参照）

しかし、上記いずれの従来技術も、一つのＬＥＤで発光された光を光学系により受光器に導く構造を有する光学機器に構成されているにすぎないから、ＬＥＤを１つずつ試験することができるにすぎない。このため、ＬＥＤウエーハや配線基板のようなＬＥＤ基板に備えられた複数のＬＥＤを試験する場合、ＬＥＤ毎に試験しなければならず、試験に時間と労力を要する。

上記課題を解決するために、上記のような光学機器を複数用いて、ＬＥＤ基板に備えられた多数のＬＥＤを同時に又は複数回に分けて試験することが考えられる。しかし、そのような装置では、一回で試験可能のＬＥＤの数と同数の光学系及び受光器を必要とするから、装置が複雑化し、高価になる。

また、平面的に見たときの光学系及び受光器の大きさがＬＥＤのそれに比べてきわめて大きいから、光学系を複雑な形状にしなければならず、したがって装置が複雑化し、高価になる。
特開２００６−２３４４９７号公報 特開２００６−３０１５３号公報 特許第３１００８６４６号公報

本発明は、装置の複雑化及び高価化を招くことなく、多数のＬＥＤを複数回に分けて試験することを可能して、試験に要する時間及び労力を低減することを目的とする。

本発明に係る試験装置は、左右方向に整列して配置された、上下方向に伸びる複数の第１の光通路であって、それぞれが、その上端部及び下端部をそれぞれ上方及び下方に向けられて、ＬＥＤで発光された光が下方側から入射して、上方へ通過することを許す複数の第１の光通路を備える、支持体と、該支持体の上側に配置されたカバーであって、前記第１の光通路の上方を左右方向へ伸びる第２の光通路を有するカバーと、前記第１の光通路を経る光が前記第２の光通路に達することを解除可能に遮断するように、前記支持体と前記カバーとの間に左右方向へ移動可能に配置されたシャッタであって、左右方向への当該シャッタの移動にともなって前記光ガイドの上端に順次対向される開口を有するシャッタと、前記第２の光通路内に左右方向へ移動可能に配置された反射鏡であって、前記光ガイドを経た光を前記第２の光通路内において左右方向へ指向させる反射鏡と、前記シャッタ及び前記反射鏡を左右方向へ移動させる移動させるアクチュエータと、前記反射鏡により反射されて前記第２の光通路内を進む光を受光する受光器とを含む。

さらに、各第１の光通路の下端に配置された弾性変形可能の筒状の遮光部を含むことができる。該遮光部は、対応する第１の光通路に連通されて、外部の光が対応する第１の光通路に入ることを防止する。

本発明に係る試験装置は、さらに、前記第１の光通路毎に備えられた接触子であって、当該接触子の針先が対応する第1の光通路部の下端部に刺し通された接触子を含むことができる。

本発明に係る試験装置は、さらに、前記支持体の下側に配置された配線基板を含むことができる。この場合、前記接触子は、前記ＬＥＤの電極に接触可能に前記配線基板に配置されていてもよい。

各第１の光通路は、前記支持体を上下方向に貫通して前記第２の光通路及び下方に開放する内部空間を有する筒状の光ガイドにより形成されていてもよい。また、光ガイドの下端部の前記内部空間の部分は、前記光ガイドの軸線に直角な断面積が下端側ほど小さい截頭円錐形又は截頭角錐形の形状を有していてもよい。

前記支持体は、支持ベースと、該支持ベースの上に配置された支持ブロックとを備えることができ、また前記カバーは前記支持ブロックに配置されていてもよく、さらに前記シャッタは前記支持ベースと前記カバーとの間に配置されていてもよい。

前記シャッタは、前記開口を有する板状部材を含むことができ、また前記第２の光通路は、前記一列に配置された複数の前記第１の光通路の側に開放する溝を含むことができる。さらに、前記反射鏡は前記シャッタに取り付けられていてもよい。

例えば、複数のＬＥＤがＬＥＤ基板に一列に配置されている場合、試験装置とＬＥＤ基板とは、シャッタ及び反射鏡の移動方向（左右方向）とＬＥＤの配列方向とが一致するように、維持される。

上記の状態で、ＬＥＤが点灯され、シャッタ及び反射鏡が左右方向に移動されると、シャッタは、第１の光通路を第２の光通路に順次連通させて、ＬＥＤからの光を反射鏡に順次入射させるように、第１の光通路を第２の光通路に順次切り替える。これにより、反射鏡が第２の光通路内を指向させる光を順次切り換えるから、受光器に入射する光の順番がＬＥＤの配列の順に順次切り換えられる。

平面的に見て、第１の光通路及び受光器の大きさがＬＥＤのそれに比べて大きいときは、シャッタ及び反射鏡が一回の移動で複数おきのＬＥＤからの光を受光器に順次導き、シャッタ及び反射鏡が一回移動されるたびに、第１の光通路とＬＥＤとの相対的位置が変位するように、第１の光通路に対向するＬＥＤが切り換えられる。

上記のように、本発明によれば、シャッタを左右方向へ移動させることにより受光器に導く光をシャッタにより順次切り替えるようにしたから、多数のＬＥＤを複数回に分けて試験することができ、しかも一回で試験可能のＬＥＤの数と同数の光通路及び受光器を必要としない。

上記の結果、本発明によれば、装置が簡略化し、廉価になると共に、試験に要する時間及び労力が著しく低減する。

［用語の説明］

本発明においては、図２において、上下方向（Ｚ方向）を上下方向といい、左右方向を左右方向（Ｘ方向）といい、紙面に垂直な方向（Ｙ方向）を前後方向という。しかし、これらの方向は、ＬＥＤ基板を試験装置に配置する姿勢に応じて異なる。

したがって、上記の方向は、試験装置による試験時のＬＥＤ基板の姿勢に応じて、左右方向（Ｘ方向）及び前後方向（Ｙ方向）を含む面（ＸＹ面）が、水平面、水平面に対し傾斜する傾斜面、及び水平面に垂直の垂直面のいずれかの面内となるように決定される。

［試験装置の実施例］

図１から図５を参照するに、試験装置１０は、多数のＬＥＤ１２をＬＥＤウエーハのようなＬＥＤ基板１４にマトリクス状に配置した基板を被検査体１６とし、それらＬＥＤ１２を列毎に複数回に分けて試験する装置に適用されている。

ＬＥＤ基板１４は、多数のＬＥＤ１２を図６に斜線で示すＬＥＤ領域１８に図７に示すようにマトリクス状に配置している。図７は、３列×６個のＬＥＤアレイを示すにすぎないが、実際にはそれよりさらに多いＬＥＤ１２がＬＥＤ基板１４に配置されている。

図５，７及び８に示すように、各ＬＥＤ１２は、発光部２０と、正側の電極２２と、負側の電極２４とを、電極２２及び２４が発光部２０の両側に位置する状態に、ベース部２６の上面に有しており、またベース部２６の下面においてＬＥＤ基板１４に配置されている。

再度図１から図５を参照するに、試験装置１０は、支持体３０と、支持体３０の上側に配置されたカバー３２と、支持体３０及びカバー３２の間に左右方向へ移動可能に配置された板状のシャッタ３４と、ＬＥＤ１２からの光を左右方向における一方側（図１及び２において、右方側）に指向させる反射鏡３６と、シャッタ３４及び反射鏡３６を左右方向へ移動させる移動させるアクチュエータ３８と、反射鏡３６により反射された光を受光する受光器４０と、支持体３０の下側に配置された配線基板４２と、ＬＥＤ１２の電極２２及び２４に接触可能に配線基板４２の下面に配置された複数対の接触子４４とを含む。

配線基板４２、支持ベース４６及び支持ブロック４８は、ボルトのような複数のねじ部材により、分離可能に結合されている。また、上記の、支持体３０、カバー３２、シャッタ３４、反射鏡３６、アクチュエータ３８、受光器４０、配線基板４２、接触子４４等は、試験用ヘッドを構成している。

支持体３０は、配線基板４２の上に配置された板状又は枠状の支持ベース４６と、支持ベース４６の上に配置された支持ブロック４８とを備えており、また支持ベース４８においてプローバ（ハンドリング装置）のフレーム（図示せず）にボルトのような適宜な手段により取り外し可能に取り付けられる。

支持体３０は、上下方向に伸びる複数の第１の光通路５０を備える。第１の光通路５０は、左右方向に整列した１列に配置されている。カバー３２は、第１の光通路５０の上方を左右方向へ伸びる第２の光通路５２を有する。両光通路５０及び５２は、シャッタ３４を介して連通される。

左右方向における第１の光通路５０の配置ピッチは、図６に示す領域１８のＬＥＤ１２を列毎に複数回に分けて試験することができる値、すなわち列方向におけるＬＥＤ１２の配置ピッチの整数倍の値とされている。図示の例では、４つの第１の光通路５０が設けられているように示しているにすぎないが、実際には、より多くのＬＥＤ１２が一列に設けられている。

各第１の光通路５０は、支持ベース４６及び支持ブロック４８並びに配線基板４２を上下方向に貫通して第２の光通路５２の側（上方）及び被検査体１６の側（下方）に開放する内部空間を有する筒状の光ガイドにより形成されている。

各第１の光通路５０、すなわち光ガイドは、その上端部及び下端部をそれぞれ上方及び下方に向けられて、ＬＥＤ１２で発光された光が下方側から入射して、上方へ通過することを許すが、外部の光が内部空間内に入ることを防止する。

各第１の光通路５０（光ガイド）の下端部の、内部空間の部分５０ａ（図５参照）は、各第１の光通路５０の軸線に直角な断面の面積（縦断面積）が下端側ほど小さくなる截頭円錐形又は截頭角錐形の形状を有しており、また配線基板４２より下方に突出されている。

各第１の光通路５０の下端には、蛇腹状の遮光部５４（図５参照）が設けられている。遮光部５４は、対応する接触子４４が対応する電極２２又は２４に押圧されたとき、他のＬＥＤ１２に押圧されて、外部の光が第１の光通路５０に入ることを防止する。

カバー３２は、下方に開放しかつ左右方向へ伸びる逆コ字状の溝となる第２の通路５２を形成するように、逆コ字状の縦断面形状を有しており、またボルト、溶接等の適宜な手段により支持ブロック４８に取り付けられている。カバー３２は、これの下端部内側を前後方向に間隔をおいて左右方向に伸びる一対の段部５６を有する。各段部５６は、内方及び下方に向けられている。

第２の通路５２の左方側の端部は閉塞されている。これに対し、第２の通路５２の右方側の端部は、各ＬＥＤ１２からの光が受光器４０に入射するように、受光器４０に連通されて、受光器４０により閉鎖されている。

図示の例では、カバー３２は、前後方向に間隔をおいて左右方向へ平行に伸びるように支持ブロック４８に取り付けられた一対の板部材３２ａと、両板部材３２ａの間の空間の上部を閉塞するように板部材３２ａの上部に取り付けられた他の板部材３２ｂとにより、逆コ字状の第２の通路５２を形成しており、また閉塞ブロック３２ｃにより第２の通路５２の左方側の端部は閉塞している。

シャッタ３４は、幅の狭い長板状の形状を有しており、また幅方向の各縁部をカバー３２の段部５６に受け入れられて、左右方向へ移動可能に支持ベース４８とカバー３０との間に位置されている。

シャッタ３４は、左右方向への移動にともなって、第１の光通路５０の上端に順次対向される開口５８を有する。このため、シャッタ３４は、左右方向への移動にともなって、第１の光通路５０を経る光が第２の光通路５２に達することを解除可能に遮断する。

反射鏡３６は、左右方向へ移動可能に第２の光通路５２内に配置されており、また第１の光通路５０及びシャッタ３４の開口５８を経た光を第２の光通路５２内において左右方向受光器４０の側へ指向させるように、及び反射鏡３４と一体的に移動可能に、ホルダ６０により反射鏡３４に取り付けられている。

アクチュエータ３８は、図示の例では、可動子６２と、可動子６２を支持する固定子６４とを用いるリニアモータである。可動子６２は、ホルダ６０を介してシャッタ３４及び反射鏡３６を左右方向へ移動させるように、結合具６６でホルダ６０に結合されている。固定子６４は、左右方向へ伸びる状態に、支持ブロック４８の上に取り付けられたている。しかし、リニアモータ以外の移動機構を用いてもよい。

図示してはいないが、カバー３２は、結合具６６が左右方向への可動子６２の移動にともなって左右方向へ移動することを許す、左右方向に長い長穴を一方の板部材３２ａに有する。その長穴は、外部の光が第１の光通路５２に入ることを防止するように、ゴムシートのような適宜な覆いにより覆われている。

受光器４０は、受光した光の少なくとも色相（波長、周期等）及び強度（明度）を検出する高度計のような既知の光検出装置であり、第２の光通路５２を経る光を受光するように、カバー３２の端部に取り外し可能に取り付けられている。

配線基板４２は、それぞれが配線パターンの一部である複数の配線（図示せず）を有すると共に、各配線に電気的に接続された取り付けランド（図示せず）を下面に有し、各取り付けランドに接触子４４を片持ち梁状に取り付けた一般的なプローブ基板である。

配線基板４２には、コネクタ６８が上面に取り付けられている。コネクタ６８は、配線基板４２の配線に電気的に接続された複数の端子を備えており、また支持ベース４６及び支持ブロック４８を上下方向に貫通して、端子を上方に露出させている。コネクタ６８は、試験装置１０をテスターの電気回路（図示せず）に接続するために用いられる。

接触子４４は、図示の例では、金属細線から製作されたニードルタイプのプローブであり、また２つずつ１組とされて第１の光通路５０毎に備えられている。各第１の光通路５０の接触子４４は、先端部を対応する遮光部５４を対応する側から内側に刺し通されて、針先をＬＥＤ１２の電極２２又は２４に当接可能とされている。

［試験装置による試験方法］

被検査体１６は、ＬＥＤ１２の配列方向がシャッタ３４及び反射鏡３６の移動方向となり、かつシャッタ３４の最左端に位置する第１の光通路５０に対応する接触子４４の針先が１つの列の最左端に位置するＬＥＤ１２の電極２２及び２４が接触子４４の針先に押圧可能の状態に、試験装置１０に配置される。

上記状態において、各第１の光通路５０の下端が所定のＬＥＤ１２に対向されて、各第１の光通路５０に対応する接触子４４の針先が所定のＬＥＤ１２の電極２２及び２４と接触子４４の針先に相対的に押圧される。

また、上記状態において、シャッタ３４は、図４に実線で示すように、開口５８を最左端に位置する第１の光通路５０の上端に位置させて、その第１の光通路５０を第２の光通路５２に連通させているが、他の第１の光通路５０をその上端部において閉鎖している。そのような状態において最左端に位置するＬＥＤ１２に通電されて、そのＬＥＤ１２が発光する。

最左端に位置するＬＥＤ１２からの光は、遮光部５４、第１の光通路５０及び開口５８を経て第２の光通路５２に達し、反射鏡３６により第２の光通路５２を受光器４０に指向されて、最終的に受光器４０に入射する。

受光器４０は、受けた光の色相及び強度にそれぞれ対応する信号を発生し、それらの信号を前記した電気回路に出力する。受光器４０からの電気信号は、電気回路において、入力して電気信号を基に、対応するＬＥＤ１２が正しい色相及び強度を有する光を発生しているか否かの判定に用いられる。

最左端に位置するＬＥＤ１２の試験が終了すると、シャッタ３４が第１の光通路５０の配置ピッチ分だけ右方に移動される。これにより、左方から２番目に位置する第１の光通路５０が開口４８を介して第２の光通路５２に連通されるから、その第１の光通路５０に対向されているＬＥＤ１２に通電されて、そのＬＥＤ１２からの光が受光器４０に受光される。

その後は、次の第１の光通路５０が開口５８を介して第２の光通路５２に連通されるように、シャッタ３４が第１の光通路５０の配置ピッチ分だけ右方に移動されて、次の第１の光通路５０に対向されたＬＥＤ１２に通電され、そのＬＥＤ１２からの光が受光器４０に受光され、そのＬＥＤ１２の正否の試験が行われる工程が繰り返される。シャッタ３４がＬＥＤ１２の配置ピッチ分ずつ右方に移動されたときの、シャッタ３４の位置を図４に破線で示す。

全ての第１の光通路５０を経る光が受光器４０に受光された後、１列に整列されたＬＥＤ１２に未判定のＬＥＤが存在すると、最左端に位置する第１の光通路５０が最左端に位置する未判定のＬＥＤ１２の光の通過を許すように、ＬＥＤ１２の電極２２及び２４と接触子４４の針先とが離間された状態で、被検査体１６が第１の光通路５０に対して右方に移動され、次いでＬＥＤ１２の電極２２及び２４と接触子４４の針先とが相対的に押圧される。

上記の位置において、未判定の最左端に位置するＬＥＤ１２に通電され、そのＬＥＤ１２からの光が受光器４０に導かれてそのＬＥＤ１２の試験が行われる試験工程と、シャッタ３４を第１の光通路５０の配置ピッチ分だけ移動させて試験を行う工程とが繰り返される。

１列中の全てのＬＥＤ１２の試験が終了すると、次の列のＬＥＤ１２の試験のために、ＬＥＤ１２の電極２２及び２４と接触子４４の針先とが離間された状態で、被検査体１６が第１の光通路５０に対して前後方向に移動されて、上記各工程が実行される。

各ＬＥＤ１２の正否の判定は、全てのＬＥＤ１２からの光の色相及び強度に対応する信号を電気回路に取り込んだ後に行ってもよい。また、ＬＥＤ１２への通電は、そのＬＥＤの光を受光器４０に導くとき間だけに行ってもよいし、接触子４４の針先が電極２２及び２４に押圧されている全てのＬＥＤ１２の光を受光器に導いている間中行ってもよい。

シャッタ３４を左右方向へ一回移動させることにより、列方向におけるＬＥＤ１２の配置ピッチの整数分の１のＬＥＤ１２からの光を順次切り換えて受光器４０に導くことができる数の第１の光通路５０を設けてもよい。

また、シャッタ３４を左右方向へ一回移動させるのみで、一列に配置された全てのＬＥＤ１２からの光を順次切り換えて受光器４０に導くことができる数の第１の光通路５０を設けてもよい。

さらに、図６及び図７に示すように、ＬＥＤ１２がＬＥＤ基板１４と平行の面内を前後方向に複数列に配置されているときは、前後方向にも、上記のように複数の第１の光通路１２の列を複数列に設けてもよい。

［試験装置の他の実施例］

図９に示す電気的接続装置８０は、図１０に示すように、発光部２０と、正（又は負）の電極２２（又は２４）とをベース部２６の上面に有し、負（又は正）の電極２４（又は２２）をベース部２６の下面に有するＬＥＤ８２の試験に適用される。

試験装置８０は、各第１の光通路部５０毎に１つの接触子４４を用いる点を除いて、図１から図５に示す試験装置１０と同様に構成されている。このため、各ＬＣＤ８２は、接触子４４とＬＥＤ基板１４とにより通電されることを除いて、図８に示すＬＥＤ１２と同様に試験される。

本発明は、上記した形状を有するＬＥＤ１２及び８２のみならず、両電極２２及び２４をベース部２６の同じ又は異なる側面矢、下面等にソナアエラＬＥＤ等、他の形状を有するＬＥＤにも適用することができる。

本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。

本発明に係る試験装置の一実施例を示す平面図である。 図１に示す試験装置の正面図である。 図１に示す試験装置の右側面図である。 図１における４−４線に沿って得た断面図である。 第１の光通路の下端部とＬＥＤとの関係を示す拡大断面図である。 図１に示す試験装置により試験するＬＥＤ基板の一実施例を示す斜視図である。 図６に示すＬＥＤ基板に配置されたＬＥＤアレイの一部を示す斜視図である。 図６に示すＬＥＤアレイ中の１つのＬＥＤの一実施例を示す平面図である。 本発明に係る試験装置の一実施例を示す、図５と同種の断面図である。 図９に示す試験装置により試験するＬＥＤの一実施例を示す平面図である。

符号の説明

１０，８０ 試験装置
１２，８２ ＬＥＤ
１４ ＬＥＤ基板
１６ 被検査体
１８ ＬＥＤ領域
２０ 発光部
２２，２４ 電極
２６ベース部
３０ 支持体
３２ カバー
３４ シャッタ
３６ 反射鏡
３８ アクチュエータ
４０ 受光器
４２ 配線基板
４４ 接触子
４６ 支持ベース
４８ 支持ブロック
５０，５２ 第１及び第２の光通路
５０ａ 光ガイドの下端部
５４ 遮光部
５６ 段部
５８ シャッタの開口
６０ ホルダ
６２ 可動子
６４固定子
６６ 結合具
６８コネクタ

Claims (9)

1. 左右方向に整列して配置された、上下方向に伸びる複数の第１の光通路であって、それぞれが、その上端部及び下端部をそれぞれ上方及び下方に向けられて、ＬＥＤで発光された光が下方側から入射して、上方へ通過することを許す複数の第１の光通路を備える、支持体と、
   該支持体の上側に配置されたカバーであって、前記第１の光通路の上方を左右方向へ伸びる第２の光通路を有するカバーと、
   前記第１の光通路を経る光が前記第２の光通路に達することを解除可能に遮断するように、前記支持体と前記カバーとの間に左右方向へ移動可能に配置されたシャッタであって、左右方向への当該シャッタの移動にともなって前記光ガイドの上端に順次対向される開口を有するシャッタと、
   前記第２の光通路内に左右方向へ移動可能に配置された反射鏡であって、前記光ガイドを経た光を前記第２の光通路内において左右方向へ指向させる反射鏡と、
   前記シャッタ及び前記反射鏡を左右方向へ移動させる移動させるアクチュエータと、
   前記反射鏡により反射されて前記第２の光通路内を進む光を受光する受光器とを含む、ＬＥＤの試験装置。
2. さらに、各第１の光通路の下端に配置された弾性変形可能の筒状の遮光部を含み、該遮光部は、対応する第１の光通路に連通されて、外部の光が対応する第１の光通路に入ることを防止する、請求項１に記載のＬＥＤの試験装置。
3. さらに、前記第１の光通路毎に備えられた接触子であって、当該接触子の針先が対応する第1の光通路部の下端部に刺し通された接触子を含み、請求項１及び２のいずれか１項に記載のＬＥＤの試験装置。
4. さらに、前記支持体の下側に配置された配線基板を含み、前記接触子は、前記ＬＥＤの電極に接触可能に前記配線基板に配置されている、請求項３に記載のＬＥＤの試験装置。
5. 各第１の光通路は、前記支持体を上下方向に貫通して前記第２の光通路及び下方に開放する内部空間を有する筒状の光ガイドにより形成されており、該第１の光通路の下端部の前記内部空間の部分は、前記光ガイドの軸線に直角な断面積が下端側ほど小さい截頭円錐形又は截頭角錐形の形状を有する、請求項１から４のいずれか１項に記載のＬＥＤの試験装置。
6. 前記支持体は、支持ベースと、該支持ベースの上に配置された支持ブロックとを備え、前記カバーは前記支持ブロックに配置されており、前記シャッタは前記支持ベースと前記カバーとの間に配置されている、請求項１から５のいずれか１項に記載のＬＥＤの試験装置。
7. 前記シャッタは、前記開口を有する板状部材を含む、請求項１から６のいずれか１項に記載のＬＥＤの試験装置。
8. 前記第２の光通路は、前記一列に配置された複数の第１の光通路の側に開放する溝を含む、請求項１から７のいずれか１項に記載のＬＥＤの試験装置。
9. 前記反射鏡は前記シャッタに取り付けられている、請求項１から７のいずれか１項に記載のＬＥＤの試験装置。

Images