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JP2010080340A - Display device - Google Patents

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JP2010080340A
JP2010080340A JP2008249008A JP2008249008A JP2010080340A JP 2010080340 A JP2010080340 A JP 2010080340A JP 2008249008 A JP2008249008 A JP 2008249008A JP 2008249008 A JP2008249008 A JP 2008249008A JP 2010080340 A JP2010080340 A JP 2010080340A
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JP
Japan
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color pixel
electrode
display device
organic
pixel
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2008249008A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takumi Sawatani
巧 澤谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Display Central Inc
Original Assignee
Toshiba Mobile Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Mobile Display Co Ltd filed Critical Toshiba Mobile Display Co Ltd
Priority to JP2008249008A priority Critical patent/JP2010080340A/en
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  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display device which has excelling display quality and of which the manufacturing cost can be reduced by the improvement of the manufacturing yield. <P>SOLUTION: The display device is provided with: a first color pixel and a second color pixel having mutually different colors, and has a first electrode 60, which is respectively arranged in the first color pixel and the second color pixel; a barrier rib 70, which is arranged along the periphery of the respective first electrodes so as to separate the first color pixel and the second color pixel and of which on the upper face 70T, and a recess C is formed; an organic active layer 62, which is respectively arranged on the first electrode of the first color pixel and the second color pixel and includes a luminous layer made of a low-molecule-based material, and a second electrode 64, which is arranged on the organic active layer. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

この発明は、表示装置に係り、特に、所定の開口パターンを有する蒸着マスクを介した蒸着工程を経て形成される自発光性の表示素子を備えた構成の表示装置に関する。   The present invention relates to a display device, and more particularly, to a display device having a self-luminous display element formed through a vapor deposition process through a vapor deposition mask having a predetermined opening pattern.

近年、平面表示装置として、有機エレクトロルミネッセンス(EL)表示装置が注目されている。この有機EL表示装置は、自発光素子である有機EL素子を備えていることから、視野角が広く、バックライトを必要とせず薄型化及び軽量化が可能であり、消費電力が抑えられ、且つ応答速度が速いといった特徴を有している。これらの特徴から、有機EL表示装置は、液晶表示装置に代わる、次世代平面表示装置の有力候補として注目を集めている。   In recent years, organic electroluminescence (EL) display devices have attracted attention as flat display devices. Since this organic EL display device is provided with an organic EL element that is a self-luminous element, the viewing angle is wide, it can be reduced in thickness and weight without the need for a backlight, power consumption is reduced, and The response speed is fast. Because of these characteristics, organic EL display devices are attracting attention as potential candidates for next-generation flat display devices that can replace liquid crystal display devices.

有機EL表示装置は、陽極と陰極との間に発光機能を有する有機化合物を含む有機活性層を保持した有機EL素子を備えて構成されている。このような有機EL表示装置としては、有機EL素子で発生したEL光をアレイ基板側から外部に取り出す下面発光(ボトムエミッション)方式、及び、有機EL素子で発生したEL光を封止基板側から外部に取り出す上面発光(トップエミッション)方式がある。   The organic EL display device includes an organic EL element that holds an organic active layer containing an organic compound having a light emitting function between an anode and a cathode. As such an organic EL display device, a bottom emission method in which EL light generated in the organic EL element is extracted from the array substrate side, and EL light generated in the organic EL element from the sealing substrate side are used. There is a top emission method that takes out to the outside.

このような有機EL素子において、低分子系の有機化合物からなる有機活性層を形成する工程においては、蒸着源から飛散した材料源を蒸着する蒸着法を適用可能である(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
特開2004−323888号公報 特開2008−103173号公報
In such an organic EL element, in the step of forming an organic active layer made of a low molecular weight organic compound, a vapor deposition method of vapor-depositing a material source scattered from a vapor deposition source can be applied (for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).
JP 2004-323888 A JP 2008-103173 A

カラー表示可能な有機EL表示装置を実現するための代表的な方法として、例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)にそれぞれ発光する複数種類の色画素を配置する方法が挙げられる。これらの色画素にそれぞれ配置される有機活性層(特に、発光層)の形成方法として、開口パターンを有する蒸着マスク(ファインマスク)を介して低分子系の有機化合物を蒸着するマスク蒸着法が適用可能である。   As a typical method for realizing an organic EL display device capable of color display, for example, a method of arranging a plurality of types of color pixels that emit light in red (R), green (G), and blue (B), respectively. It is done. As a method for forming the organic active layer (especially, the light emitting layer) disposed in each of these color pixels, a mask vapor deposition method in which a low molecular weight organic compound is vapor-deposited through a vapor deposition mask (fine mask) having an opening pattern is applied. Is possible.

このようなマスク蒸着法において、色画素間を分離する隔壁の上面に蒸着マスクを載置して材料源を蒸着するプロセスを適用した場合には、以下のような課題を生ずるおそれがある。   In such a mask vapor deposition method, when a process of depositing a vapor deposition mask on the upper surface of a partition wall that separates color pixels and applying a material source, the following problems may occur.

すなわち、蒸着マスクと隔壁の上面との間に異物が挟持されてしまった場合、蒸着マスクと蒸着面との間に必要以上のギャップが形成されてしまう(マスク浮き)。通常、材料源が蒸着される領域は、蒸着マスクの開口パターンとほぼ同等の大きさになるが、蒸着面から蒸着マスクまでの距離が拡大するにしたがって、蒸着マスクを通過した材料源が拡散するため、開口パターンよりも広い領域となる(蒸着ボケ)。つまり、材料源が蒸着される領域が必要以上に拡大してしまい、さらに、隣接する別の色画素にまで達してしまうと、混色不良となってしまう。   That is, if foreign matter is sandwiched between the vapor deposition mask and the upper surface of the partition wall, an unnecessary gap is formed between the vapor deposition mask and the vapor deposition surface (mask floating). Normally, the area where the material source is deposited is approximately the same size as the opening pattern of the deposition mask, but as the distance from the deposition surface to the deposition mask increases, the material source that has passed through the deposition mask diffuses. Therefore, the area is wider than the opening pattern (deposition blur). That is, if the area where the material source is deposited is enlarged more than necessary, and further reaches another adjacent color pixel, color mixing failure occurs.

この発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、表示品位が良好であり、且つ、製造歩留まりの改善による製造コストの低減が可能な表示装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a display device that has good display quality and can reduce manufacturing costs by improving manufacturing yield. .

この発明の態様による表示装置は、
アクティブエリアにおいて、互いに異なる色の第1色画素及び第2色画素を備えた表示装置であって、
前記第1色画素及び前記第2色画素にそれぞれ配置された第1電極と、
前記第1色画素及び前記第2色画素を分離するように、それぞれの前記第1電極の周縁に沿って配置されるとともに、その上面から窪んだ凹部が形成された隔壁と、
前記第1色画素及び前記第2色画素の前記第1電極の上にそれぞれ配置され、低分子系材料からなる発光層を含む有機活性層と、
前記有機活性層の上に配置された第2電極と、
を備えたことを特徴とする。
A display device according to an aspect of the present invention includes:
A display device including a first color pixel and a second color pixel of different colors in an active area,
A first electrode disposed in each of the first color pixel and the second color pixel;
A partition wall that is disposed along the periphery of each of the first electrodes so as to separate the first color pixel and the second color pixel, and that has a recess recessed from an upper surface thereof.
An organic active layer that is disposed on the first electrode of the first color pixel and the second color pixel and includes a light emitting layer made of a low molecular material;
A second electrode disposed on the organic active layer;
It is provided with.

この発明によれば、表示品位が良好であり、且つ、製造歩留まりの改善による製造コストの低減が可能な表示装置を提供することが可能となる。   According to the present invention, it is possible to provide a display device that has good display quality and can reduce manufacturing costs by improving manufacturing yield.

以下、この発明の一実施の形態に係る表示装置及びその製造方法について図面を参照して説明する。なお、この実施の形態では、表示装置として、自己発光型表示装置、例えば、有機EL(エレクトロルミネッセンス)表示装置を例にして説明する。   Hereinafter, a display device and a manufacturing method thereof according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In this embodiment, a self-luminous display device, for example, an organic EL (electroluminescence) display device will be described as an example of the display device.

有機EL表示装置1は、図1に示すように、画像を表示するアクティブエリア102を有するアレイ基板(第1基板)100を備えている。アクティブエリア102は、マトリクス状に配置された複数の画素PXによって構成されている。また、図1では、カラー表示タイプの有機EL表示装置1を例に示しており、アクティブエリア102は、複数種類の色画素、例えば3原色に対応した赤色画素PXR、緑色画素PXG、及び、青色画素PXBによって構成されている。   As shown in FIG. 1, the organic EL display device 1 includes an array substrate (first substrate) 100 having an active area 102 for displaying an image. The active area 102 is composed of a plurality of pixels PX arranged in a matrix. Further, FIG. 1 shows a color display type organic EL display device 1 as an example, and the active area 102 includes a plurality of types of color pixels, for example, a red pixel PXR, a green pixel PXG, and a blue color corresponding to three primary colors. A pixel PXB is used.

アレイ基板100の少なくともアクティブエリア102は、封止基板(第2基板)200によって封止されている。この封止基板200のアレイ基板100と対向する内面は、平坦に形成されていても良いし、少なくともアクティブエリア102との対向面が窪み、周縁部より肉薄に形成されても良い。   At least the active area 102 of the array substrate 100 is sealed with a sealing substrate (second substrate) 200. The inner surface of the sealing substrate 200 facing the array substrate 100 may be formed flat, or at least the surface facing the active area 102 may be recessed and thinner than the peripheral edge.

これらのアレイ基板100と封止基板200とは、例えば、それぞれの周縁部がアクティブエリア102を囲むように枠状に配置されたシール部材300によって接合されている。シール部材300は、フリットガラス(低融点ガラス)や、樹脂材料(例えば紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂)などからなる。   For example, the array substrate 100 and the sealing substrate 200 are bonded to each other by a seal member 300 arranged in a frame shape so that each peripheral portion surrounds the active area 102. The seal member 300 is made of frit glass (low melting point glass), a resin material (for example, an ultraviolet curable resin or a thermosetting resin), or the like.

各画素PX(R、G、B)は、画素回路10及びこの画素回路10によって駆動制御される表示素子40を備えている。図1に示した画素回路10は、一例であって、他の構成の画素回路を適用しても良いことは言うまでもない。   Each pixel PX (R, G, B) includes a pixel circuit 10 and a display element 40 that is driven and controlled by the pixel circuit 10. The pixel circuit 10 shown in FIG. 1 is an example, and it goes without saying that a pixel circuit having another configuration may be applied.

図1に示した例では、画素回路10は、駆動トランジスタDRT、各種スイッチ(第1スイッチSW1、第2スイッチSW2、第3スイッチSW3)、蓄積容量素子Csなどを備えて構成されている。駆動トランジスタDRTは、表示素子40に供給する電流量を制御する機能を有している。第1スイッチSW1及び第2スイッチSW2は、サンプル・ホールドスイッチとして機能する。第3スイッチSW3は、駆動トランジスタDRTから表示素子40への駆動電流の供給、つまり表示素子40のオン/オフを制御する機能を有している。蓄積容量素子Csは、駆動トランジスタDRTのゲートーソース間の電位を保持する機能を有している。   In the example illustrated in FIG. 1, the pixel circuit 10 includes a driving transistor DRT, various switches (first switch SW1, second switch SW2, third switch SW3), a storage capacitor element Cs, and the like. The drive transistor DRT has a function of controlling the amount of current supplied to the display element 40. The first switch SW1 and the second switch SW2 function as a sample / hold switch. The third switch SW3 has a function of controlling the supply of drive current from the drive transistor DRT to the display element 40, that is, the on / off of the display element 40. The storage capacitor element Cs has a function of holding the gate-source potential of the drive transistor DRT.

駆動トランジスタDRTは、高電位電源線P1と第3スイッチSW3との間に接続されている。表示素子40は、第3スイッチSW3と低電位電源線P2との間に接続されている。第1スイッチSW1及び第2スイッチSW2のゲート電極は、第1ゲート線GL1に接続されている。第3スイッチSW3のゲート電極は、第2ゲート線GL2に接続されている。第1スイッチSW1のソース電極は、映像信号線SLに接続されている。   The drive transistor DRT is connected between the high potential power supply line P1 and the third switch SW3. The display element 40 is connected between the third switch SW3 and the low potential power line P2. The gate electrodes of the first switch SW1 and the second switch SW2 are connected to the first gate line GL1. The gate electrode of the third switch SW3 is connected to the second gate line GL2. The source electrode of the first switch SW1 is connected to the video signal line SL.

これらの駆動トランジスタDRT、第1スイッチSW1、第2スイッチSW2、及び、第3スイッチSW3は、例えば薄膜トランジスタ(TFT)によって構成され、その半導体層は、アモルファスシリコンやポリシリコンなどによって形成可能であり、ここではポリシリコンによって形成されている。   The drive transistor DRT, the first switch SW1, the second switch SW2, and the third switch SW3 are configured by, for example, a thin film transistor (TFT), and the semiconductor layer can be formed by amorphous silicon, polysilicon, or the like. Here, it is formed of polysilicon.

このような回路構成の場合、第1ゲート線GL1からオン信号が供給されたのに基づいて第1スイッチSW1及び第2スイッチSW2がオンとなり、映像信号線SLを流れる電流量に応じて高電位電源線P1から駆動トランジスタDRTに電流が流れ、また、駆動トランジスタDRTを流れる電流に応じて蓄積容量素子CSが充電される。これにより、駆動トランジスタDRTは、映像信号線SLから供給された電流量と同一の電流量を、高電位電源線P1から表示素子40に供給可能となる。   In the case of such a circuit configuration, the first switch SW1 and the second switch SW2 are turned on based on the ON signal supplied from the first gate line GL1, and the high potential is set according to the amount of current flowing through the video signal line SL. A current flows from the power supply line P1 to the drive transistor DRT, and the storage capacitor element CS is charged according to the current flowing through the drive transistor DRT. As a result, the drive transistor DRT can supply the same amount of current as that supplied from the video signal line SL to the display element 40 from the high potential power supply line P1.

そして、第2ゲート線GL2からオン信号が供給されたのに基づいて第3スイッチSW3がオンとなり、蓄積容量素子CSで保持した容量に応じて、駆動トランジスタDRTは、高電位電源線P1から第3スイッチSW3を介して表示素子40に所定輝度に対応した所定量の電流を供給する。これにより、表示素子40は、所定の輝度に発光する。   Then, the third switch SW3 is turned on based on the ON signal supplied from the second gate line GL2, and the driving transistor DRT is connected to the first potential from the high potential power supply line P1 according to the capacitance held in the storage capacitor element CS. A predetermined amount of current corresponding to a predetermined luminance is supplied to the display element 40 via the three switch SW3. Thereby, the display element 40 emits light with a predetermined luminance.

表示素子40は、自発光性の表示素子である有機EL素子40(R、G、B)によって構成されている。すなわち、赤色画素PXRは、主に赤色波長に対応した光を出射する有機EL素子40Rを備えている。緑色画素PXGは、主に緑色波長に対応した光を出射する有機EL素子40Gを備えている。青色画素PXBは、主に青色波長に対応した光を出射する有機EL素子40Bを備えている。   The display element 40 includes an organic EL element 40 (R, G, B) that is a self-luminous display element. That is, the red pixel PXR includes an organic EL element 40R that mainly emits light corresponding to the red wavelength. The green pixel PXG includes an organic EL element 40G that mainly emits light corresponding to the green wavelength. The blue pixel PXB includes an organic EL element 40B that mainly emits light corresponding to the blue wavelength.

各種有機EL素子40(R、G、B)は、基本的に同一構成であり、例えば、図2に示すように、配線基板120上に配置されている。なお、配線基板120は、ガラス基板などの絶縁性の支持基板101上に、アンダーコート層111、ゲート絶縁膜112、層間絶縁膜113、保護膜114などの絶縁層を備える他に、各種スイッチSW、駆動トランジスタDRT、蓄積容量素子Cs、各種配線(ゲート線、映像信号線、電源線等)などを備えて構成されている。アンダーコート層111、ゲート絶縁膜112、及び、層間絶縁膜113は、例えば、窒化シリコン(SiN)や酸化シリコン(SiO)などの無機系材料によって形成されている。   The various organic EL elements 40 (R, G, B) have basically the same configuration, and are disposed on the wiring substrate 120 as shown in FIG. The wiring board 120 includes an insulating layer such as an undercoat layer 111, a gate insulating film 112, an interlayer insulating film 113, and a protective film 114 on an insulating support substrate 101 such as a glass substrate. , Driving transistor DRT, storage capacitor element Cs, various wirings (gate line, video signal line, power supply line, etc.) and the like. The undercoat layer 111, the gate insulating film 112, and the interlayer insulating film 113 are made of an inorganic material such as silicon nitride (SiN) or silicon oxide (SiO).

保護膜114は、有機系材料によって形成されても良いし、窒化シリコンなどの無機系材料によって形成されても良い。保護膜114が有機系材料によって形成される場合、材料をコーティングするなどの手法により成膜されるため、下層の凹凸の影響を緩和しその表面を平坦化することができる。   The protective film 114 may be formed of an organic material or an inorganic material such as silicon nitride. In the case where the protective film 114 is formed of an organic material, the protective film 114 is formed by a technique such as coating the material, so that the influence of unevenness in the lower layer can be reduced and the surface thereof can be planarized.

すなわち、図2に示した例では、アンダーコート層111の上には、スイッチや駆動トランジスタなどのトランジスタ素子(図1に示した回路構成においては第3スイッチSW3に相当する)20の半導体層21が配置されている。半導体層21は、ゲート絶縁膜112によって覆われている。   That is, in the example shown in FIG. 2, on the undercoat layer 111, the semiconductor layer 21 of a transistor element (corresponding to the third switch SW3 in the circuit configuration shown in FIG. 1) 20 such as a switch or a drive transistor. Is arranged. The semiconductor layer 21 is covered with the gate insulating film 112.

ゲート絶縁膜112の上には、トランジスタ素子20のゲート電極20Gや図示しないゲート線などが配置されている。ゲート電極20Gやゲート線は、層間絶縁膜113によって覆われている。層間絶縁膜113の上には、トランジスタ素子20のソース電極20S及びドレイン電極20Dや図示しない信号線などが配置されている。   On the gate insulating film 112, a gate electrode 20G of the transistor element 20, a gate line (not shown), and the like are disposed. The gate electrode 20G and the gate line are covered with an interlayer insulating film 113. On the interlayer insulating film 113, a source electrode 20S and a drain electrode 20D of the transistor element 20, a signal line (not shown), and the like are arranged.

これらのソース電極20S及びドレイン電極20Dは、ゲート絶縁膜112及び層間絶縁膜113を半導体層21まで貫通するコンタクトホールを介して半導体層21にそれぞれコンタクトしている。これらのソース電極20S及びドレイン電極20Dや信号線は、保護膜114によって覆われている。   The source electrode 20S and the drain electrode 20D are in contact with the semiconductor layer 21 through contact holes that penetrate the gate insulating film 112 and the interlayer insulating film 113 to the semiconductor layer 21, respectively. The source electrode 20S, the drain electrode 20D, and the signal line are covered with a protective film 114.

この実施の形態においては、有機EL素子40は、保護膜114の上に配置されている。この有機EL素子40は、第1電極60と第2電極64との間に有機活性層62を保持した構成であり、以下に詳細な構造について説明する。   In this embodiment, the organic EL element 40 is disposed on the protective film 114. The organic EL element 40 has a configuration in which an organic active layer 62 is held between a first electrode 60 and a second electrode 64, and a detailed structure will be described below.

すなわち、第1電極60は、保護膜114の上において各画素PXに独立した島状に配置され、陽極として機能する。この第1電極60は、保護膜114をドレイン電極20Dまで貫通するコンタクトホールを介して、ドレイン電極20Dにコンタクトしている。   That is, the first electrode 60 is arranged in an island shape independent of each pixel PX on the protective film 114 and functions as an anode. The first electrode 60 is in contact with the drain electrode 20D through a contact hole that penetrates the protective film 114 to the drain electrode 20D.

このような第1電極60は、アルミニウム(Al)や銀(Ag)などの光反射性を有する導電材料を用いて形成された反射層の上に、インジウム・ティン・オキサイド(ITO)やインジウム・ジンク・オキサイド(IZO)などの光透過性を有する導電材料を用いて形成された透過層を積層した構造であってもよいし、反射層単層、または、透過層単層として構成しても良い。トップエミッション方式の場合、第1電極60は、反射層を含んでいることが望ましい。   Such a first electrode 60 is made of indium tin oxide (ITO) or indium oxide on a reflective layer formed using a light reflective conductive material such as aluminum (Al) or silver (Ag). It may have a structure in which a transmission layer formed using a light-transmitting conductive material such as zinc oxide (IZO) is laminated, or may be configured as a reflection layer single layer or a transmission layer single layer. good. In the case of the top emission method, it is desirable that the first electrode 60 includes a reflective layer.

有機活性層62は、第1電極60の上に配置され、少なくとも発光層62Aを含んでいる。この有機活性層62は、発光層以外の機能層を含むことができ、例えば、ホール注入層、ホール輸送層、ブロッキング層、電子輸送層、電子注入層、バッファ層などの機能層を含むことができる。このような有機活性層62は、複数の機能層を複合した単層で構成されても良いし、各機能層を積層した多層構造であっても良い。有機活性層62においては、発光層62Aが有機系材料であればよく、発光層以外の層は無機系材料でも有機系材料でも構わない。有機活性層62において、発光層以外の機能層は共通層であってもよい。   The organic active layer 62 is disposed on the first electrode 60 and includes at least the light emitting layer 62A. The organic active layer 62 can include functional layers other than the light emitting layer, and includes, for example, functional layers such as a hole injection layer, a hole transport layer, a blocking layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and a buffer layer. it can. Such an organic active layer 62 may be composed of a single layer in which a plurality of functional layers are combined, or may have a multilayer structure in which the functional layers are laminated. In the organic active layer 62, the light emitting layer 62A may be an organic material, and layers other than the light emitting layer may be an inorganic material or an organic material. In the organic active layer 62, the functional layer other than the light emitting layer may be a common layer.

発光層62Aは、赤、緑、または青に発光する発光機能を有した有機化合物によって形成され、各色画素に個別に配置される。なお、有機活性層62、特に発光層62Aは、低分子系材料によって形成されている。このような低分子系材料からなる薄膜は、マスク蒸着法により成膜される。   The light emitting layer 62A is formed of an organic compound having a light emitting function that emits red, green, or blue light, and is individually disposed in each color pixel. The organic active layer 62, particularly the light emitting layer 62A, is formed of a low molecular material. A thin film made of such a low molecular material is formed by a mask vapor deposition method.

第2電極64は、複数の画素PXに共通であって、各画素PXの有機活性層62の上に配置され、陰極として機能する。このような第2電極64は、銀(Ag)とマグネシウム(Mg)との混合物などからなる半透過層、及び、ITOなどの光透過性を有する導電材料を用いて形成された透過層を積層した構造であってもよいし、半透過層単層、または、透過層単層として構成しても良い。トップエミッション方式の場合、第2電極64は、半透過層を含んでいることが望ましい。   The second electrode 64 is common to the plurality of pixels PX, is disposed on the organic active layer 62 of each pixel PX, and functions as a cathode. The second electrode 64 is formed by laminating a semi-transmissive layer made of a mixture of silver (Ag) and magnesium (Mg), and a transmissive layer formed using a light-transmitting conductive material such as ITO. The structure may be such that it may be configured as a single semi-transmissive layer or a single transmissive layer. In the case of the top emission method, it is desirable that the second electrode 64 includes a semi-transmissive layer.

また、アレイ基板100は、アクティブエリア102において、隣接する画素、特に互いに異なる色の画素PX(R、G、B)間を分離する隔壁70を備えている。すなわち、この隔壁70は、各第1電極60の周縁に沿って配置され、第1電極60における少なくとも一部の周縁を覆っている。このような隔壁70は、アクティブエリア102において格子状に形成されている。これにより、隣接する異なる色の有機EL素子が絶縁される。   In addition, the array substrate 100 includes a partition wall 70 that separates adjacent pixels, particularly pixels PX (R, G, B) of different colors in the active area 102. That is, the partition wall 70 is disposed along the periphery of each first electrode 60 and covers at least a part of the periphery of the first electrode 60. Such partition walls 70 are formed in a lattice shape in the active area 102. Thereby, the adjacent organic EL elements of different colors are insulated.

このような隔壁70は、例えばアクリル系樹脂やポリイミドなどの樹脂材料を塗布した後にフォトリソグラフィ法などの手法によりパターニングすることによって形成され、概ね台形状の断面形状を有している。この隔壁70の底面は、第1電極60及び保護膜114に接している。隔壁70の側面の少なくとも一部は、有機活性層62によって覆われている。このような隔壁70の側面に囲まれた内側が発光し、実質的に表示に寄与する有効部となる。   Such a partition wall 70 is formed by applying a resin material such as acrylic resin or polyimide, and then patterning by a technique such as photolithography, and has a substantially trapezoidal cross-sectional shape. The bottom surface of the partition wall 70 is in contact with the first electrode 60 and the protective film 114. At least a part of the side surface of the partition wall 70 is covered with the organic active layer 62. The inner side surrounded by the side surface of the partition wall 70 emits light and becomes an effective portion that substantially contributes to display.

また、隔壁70の上面70Tは、配線基板120の主面(すなわち保護膜114の表面)120Aから最も高い頂点に相当する。この上面70Tは、一部が有機活性層62によって覆われる場合もあるが、有機活性層62の上に配置される第2電極64によって覆われている。   Further, the upper surface 70T of the partition wall 70 corresponds to the highest apex from the main surface of the wiring substrate 120 (that is, the surface of the protective film 114) 120A. The upper surface 70 </ b> T may be partially covered with the organic active layer 62, but is covered with the second electrode 64 disposed on the organic active layer 62.

特に、この実施の形態においては、隔壁70の上面70Tには、凹部が形成されている。すなわち、隔壁70の上面70Tは、発光層62Aを形成するためのマスク蒸着法を適用した場合に、各色画素の塗りわけを行うための蒸着マスクを支持する支持面となる。このような蒸着マスクを支持する際に、蒸着マスクと上面70Tとの間に異物が存在するおそれがあり、蒸着マスクの不所望な浮き(つまり局所的あるいは全体的に蒸着マスクが上面70Tから離れること)を抑制することが望まれている。   In particular, in this embodiment, a recess is formed in the upper surface 70T of the partition wall 70. That is, the upper surface 70T of the partition wall 70 serves as a support surface that supports a vapor deposition mask for performing color pixel separation when a mask vapor deposition method for forming the light emitting layer 62A is applied. When supporting such a vapor deposition mask, there is a possibility that foreign matter may exist between the vapor deposition mask and the upper surface 70T, and undesired floating of the vapor deposition mask (that is, the vapor deposition mask is locally or entirely separated from the upper surface 70T). It is desired to suppress this).

そこで、上面70Tに凹部を形成したことにより、蒸着マスクを支持する箇所すなわち蒸着マスクと上面70Tとが接触する面積を減少させ、たとえ異物が存在したとしても凹部において異物を吸収可能とし、蒸着マスクと上面70Tとの間に異物が存在する確立を低減することが可能となる。   Therefore, by forming the concave portion on the upper surface 70T, the area where the vapor deposition mask is supported, that is, the area where the vapor deposition mask and the upper surface 70T come into contact with each other is reduced. It is possible to reduce the probability that foreign matter exists between the upper surface 70T and the upper surface 70T.

これにより、蒸着マスクの浮きを抑制することが可能となる。したがって、蒸着マスクの浮きに起因した蒸着ボケが抑制されるとともに、混色不良が抑制され、表示品位が良好で、且つ、製造歩留まりの改善による製造コストの低減が可能な有機EL表示装置を提供できる。   Thereby, it becomes possible to suppress the evaporation mask from floating. Therefore, it is possible to provide an organic EL display device that suppresses vapor deposition blur caused by floating of the vapor deposition mask, suppresses color mixing failure, has a good display quality, and can reduce the manufacturing cost by improving the manufacturing yield. .

以下に、より具体的な構成例について説明する。   A more specific configuration example will be described below.

《第1構成例》
第1構成例においては、隔壁70は、互いに異なる色の画素PXをそれぞれ区画するとともに互いに離間して配置された複数のセグメントによって構成されている。すなわち、図3及び図4に示した例では、赤色画素PXR、緑色画素PXG、及び、青色画素PXBがこの順に並んでいる。隔壁70は、赤色画素PXRを区画するように配置された第1セグメント70R、緑色画素PXGを区画するように配置された第2セグメント70G、及び、青色画素PXBを区画するように配置された第3セグメント70Bによって構成されている。
<< First configuration example >>
In the first configuration example, the partition wall 70 is composed of a plurality of segments that partition the pixels PX having different colors from each other and are spaced apart from each other. That is, in the example shown in FIGS. 3 and 4, the red pixel PXR, the green pixel PXG, and the blue pixel PXB are arranged in this order. The partition wall 70 is disposed to partition the red pixel PXR, the first segment 70R disposed to partition the green pixel PXG, and the second segment 70G disposed to partition the blue pixel PXB. It is composed of three segments 70B.

これらの各セグメント70(R、G、B)は、互いに離間しており、第1セグメント70Rと第2セグメント70Gとの間、及び、第2セグメント70Gと第3セグメント70Bとの間からはそれぞれ配線基板120の主面120Aつまり保護膜114の表面が露出している。各セグメント70(R、G、B)の上面70Tは、同一水平面内にあって支持面となる。つまり、各セグメント70(R、G、B)の配線基板120の主面120Aからの上面70Tまでの高さHは、すべて同一である。   These segments 70 (R, G, B) are spaced apart from each other, and between the first segment 70R and the second segment 70G and between the second segment 70G and the third segment 70B, respectively. The main surface 120A of the wiring board 120, that is, the surface of the protective film 114 is exposed. The upper surface 70T of each segment 70 (R, G, B) is in the same horizontal plane and serves as a support surface. That is, the heights H from the main surface 120A of the wiring board 120 to the upper surface 70T of each segment 70 (R, G, B) are all the same.

このような構成の隔壁70において、凹部Cは、各セグメント70(R、G、B)の間に溝状に形成されている。つまり、凹部Cは、隔壁70から保護膜114が露出した部分に相当する。ここに示した例では、凹部Cは、第1セグメント70Rと第2セグメント70Gとの間、及び、第2セグメント70Gと第3セグメント70Bとの間にそれぞれ形成されている。換言すると、凹部Cは、各画素PX(R、G、B)が並ぶ方向すなわち行方向Hに対して直交する方向すなわち列方向Vに沿って延出している。   In the partition wall 70 having such a configuration, the recess C is formed in a groove shape between the segments 70 (R, G, B). That is, the concave portion C corresponds to a portion where the protective film 114 is exposed from the partition wall 70. In the example shown here, the recess C is formed between the first segment 70R and the second segment 70G, and between the second segment 70G and the third segment 70B, respectively. In other words, the recess C extends along the direction in which the pixels PX (R, G, B) are arranged, that is, the direction orthogonal to the row direction H, that is, the column direction V.

各セグメント70(R、G、B)は、例えば、それぞれ第1電極60の全周縁に重なるように配置されている。有機活性層62は、各セグメント70(R、G、B)によって区画された内側に配置されている。第2電極64は、有機活性層62、各セグメント70(R、G、B)の上面70T及び凹部Cを覆うように配置されている。このような構成により、各画素PX(R、G、B)に配置された有機EL素子40(R、G、B)が区画されている。   Each segment 70 (R, G, B) is, for example, arranged so as to overlap the entire periphery of the first electrode 60. The organic active layer 62 is disposed on the inner side partitioned by the segments 70 (R, G, B). The 2nd electrode 64 is arrange | positioned so that the organic active layer 62, the upper surface 70T of each segment 70 (R, G, B), and the recessed part C may be covered. With such a configuration, the organic EL element 40 (R, G, B) disposed in each pixel PX (R, G, B) is partitioned.

なお、第1電極60とトランジスタ素子20のドレイン電極20Dとのコンタクト部CPは、隔壁70のセグメント間の凹部Cから露出すると、第2電極64とショートしてしまうため、確実に隔壁70によって覆われることが重要である。このため、上述した構成においては、コンタクト部CPは、列方向Vに隣接する画素間に配置されることが望ましい。換言すると、凹部Cは、列方向Vに沿ってのみ延出し、列方向Vに隣接する画素間には形成しないことが望ましい。   Note that the contact portion CP between the first electrode 60 and the drain electrode 20D of the transistor element 20 is short-circuited with the second electrode 64 when exposed from the recess C between the segments of the partition wall 70. Is important. For this reason, in the configuration described above, it is desirable that the contact portion CP be disposed between pixels adjacent in the column direction V. In other words, it is desirable that the recess C extends only along the column direction V and is not formed between pixels adjacent in the column direction V.

このような有機EL素子40の形成プロセスは、以下の通りである。   The formation process of such an organic EL element 40 is as follows.

まず、支持基板101上にトランジスタ素子などの画素回路10を形成し、保護膜114で被覆する。そして、保護膜114の上に第1電極60を形成する。そして、第1電極60が形成された保護膜114の上に所望の厚さになるように樹脂材料を塗布し、図3などに示したような形状にパターニングする。このパターニングには、例えば、フォトリソグラフィ法などが適用可能である。これにより、複数のセグメント70(R、G、B)からなる隔壁70が形成される。   First, the pixel circuit 10 such as a transistor element is formed on the support substrate 101 and covered with the protective film 114. Then, the first electrode 60 is formed on the protective film 114. Then, a resin material is applied on the protective film 114 on which the first electrode 60 is formed so as to have a desired thickness, and is patterned into a shape as shown in FIG. For example, a photolithography method can be applied to this patterning. Thereby, the partition 70 which consists of a some segment 70 (R, G, B) is formed.

続いて、図5に示すように、所定の色の画素、例えば赤色画素PXRに対応した開口パターンOPを有する蒸着マスクMを隔壁70の上面70Tに載置する。このとき、蒸着マスクMの表面(上面70Tと対向する面)に異物が付着していたとしても、異物が凹部Cに吸収される確率が高いため、上面70Tの全面が蒸着マスクMに密着し、蒸着マスクMを所定のギャップを保って支持することができる。   Subsequently, as illustrated in FIG. 5, a deposition mask M having an opening pattern OP corresponding to a pixel of a predetermined color, for example, a red pixel PXR, is placed on the upper surface 70 </ b> T of the partition wall 70. At this time, even if foreign matter adheres to the surface of the vapor deposition mask M (the surface facing the upper surface 70T), the entire surface of the upper surface 70T is in close contact with the vapor deposition mask M because the foreign matter has a high probability of being absorbed by the recess C. The vapor deposition mask M can be supported while maintaining a predetermined gap.

続いて、蒸着マスクMを介して発光機能を有する有機化合物を含む低分子系材料を第1電極60の上に蒸着して有機活性層62を形成する。そして、蒸着マスクMを除去して、有機活性層62の上に第2電極64を形成する。このような工程により、有機EL素子40が形成される。   Subsequently, a low molecular material containing an organic compound having a light emitting function is deposited on the first electrode 60 through the deposition mask M to form the organic active layer 62. Then, the vapor deposition mask M is removed, and the second electrode 64 is formed on the organic active layer 62. By such a process, the organic EL element 40 is formed.

上述した形成プロセスにおいて、隔壁70は、有機活性層62、特に発光層62Aをマスク蒸着によって形成する段階では、配線基板120上における最高の高さを有している。つまり、隔壁70の上面70Tが配線基板120の主面120Aから最も突出している。このため、隔壁70は、その上面70Tにおいて蒸着マスクMを支持する。   In the formation process described above, the partition wall 70 has the highest height on the wiring substrate 120 at the stage of forming the organic active layer 62, particularly the light emitting layer 62A, by mask deposition. That is, the upper surface 70T of the partition wall 70 protrudes most from the main surface 120A of the wiring board 120. Therefore, the partition wall 70 supports the vapor deposition mask M on its upper surface 70T.

このとき、隔壁70を実質的に複数のセグメントに分割したことにより、蒸着マスクMとの接触面積が減少し、上面70Tと蒸着マスクMとの間に異物が存在する確立を低減できる。このため、たとえ蒸着マスクMの表面に異物が付着していたとしても、蒸着マスクMの浮きが抑制され、上面70Tの全面で蒸着マスクMを支持可能となる。したがって、蒸着ボケや混色不良を抑制できる。   At this time, by dividing the partition wall 70 into a plurality of segments, the contact area with the vapor deposition mask M is reduced, and the probability that foreign matter exists between the upper surface 70T and the vapor deposition mask M can be reduced. For this reason, even if a foreign substance adheres to the surface of the vapor deposition mask M, the vapor deposition mask M is prevented from floating, and the vapor deposition mask M can be supported on the entire upper surface 70T. Therefore, vapor deposition blur and color mixing failure can be suppressed.

また、隔壁70の配線基板120の主面120Aから上面70Tまでの高さは、例えば2〜3μm程度であり、凹部Cの深さは隔壁70の高さと同等(2〜3μm程度)であるため、粒径が2〜3μm程度の異物まで凹部Cにて吸収可能である。   Further, the height of the partition wall 70 from the main surface 120A to the upper surface 70T of the wiring board 120 is, for example, about 2 to 3 μm, and the depth of the recess C is equal to the height of the partition wall 70 (about 2 to 3 μm). In addition, even a foreign substance having a particle size of about 2 to 3 μm can be absorbed by the concave portion C.

《第2構成例》
第2構成例においては、隔壁70は、一体に形成されつつ、凹部を形成するように上面70Tから窪んだ形状に形成されている。すなわち、図6及び図7に示した例では、赤色画素PXR、緑色画素PXG、及び、青色画素PXBがこの順に並んでいる。隔壁70は、赤色画素PXR、緑色画素PXG、及び、青色画素PXBを区画するように配置されている。
<< Second configuration example >>
In the second configuration example, the partition wall 70 is integrally formed, but is formed in a shape recessed from the upper surface 70T so as to form a recess. That is, in the example shown in FIGS. 6 and 7, the red pixel PXR, the green pixel PXG, and the blue pixel PXB are arranged in this order. The partition wall 70 is disposed so as to partition the red pixel PXR, the green pixel PXG, and the blue pixel PXB.

この隔壁70は、その赤色画素PXR側及び緑色画素RXG側にそれぞれ配線基板120の主面120Aから上面70Tまで第1膜厚T1を有するように形成されている一方で、隔壁70の赤色画素PXRと緑色画素RXGとの間に第1膜厚T1よりも薄い第2膜厚T2を有するように形成されている。同様に、この隔壁70は、その緑色画素PXG側及び青色画素RXB側にそれぞれ配線基板120の主面120Aから上面70Tまで第1膜厚T1を有するように形成されている一方で、隔壁70の緑色画素PXGと青色画素RXGとの間に第1膜厚T1よりも薄い第2膜厚T2を有するように形成されている。   The partition wall 70 is formed on the red pixel PXR side and the green pixel RXG side so as to have a first film thickness T1 from the main surface 120A to the upper surface 70T of the wiring board 120, while the red pixel PXR of the partition wall 70 is formed. And the green pixel RXG so as to have a second film thickness T2 that is thinner than the first film thickness T1. Similarly, the partition wall 70 is formed on the green pixel PXG side and the blue pixel RXB side so as to have the first film thickness T1 from the main surface 120A to the upper surface 70T of the wiring substrate 120, respectively. The green pixel PXG and the blue pixel RXG are formed to have a second film thickness T2 that is thinner than the first film thickness T1.

すなわち、凹部Cは、第2膜厚T2を有する部分に相当する。   That is, the concave portion C corresponds to a portion having the second film thickness T2.

このような構成の隔壁70において、凹部Cは、各画素PX(R、G、B)の間に形成されている。つまり、ここに示した例では、凹部Cは、赤色画素PXRと緑色画素PXGとの間、及び、緑色画素PXGと青色画素PXBとの間にそれぞれ形成されている。換言すると、凹部Cは、各画素PX(R、G、B)が並ぶ方向すなわち行方向Hに対して直交する方向すなわち列方向Vに沿って延出している。   In the partition wall 70 having such a configuration, the recess C is formed between the pixels PX (R, G, B). That is, in the example shown here, the concave portion C is formed between the red pixel PXR and the green pixel PXG and between the green pixel PXG and the blue pixel PXB, respectively. In other words, the recess C extends along the direction in which the pixels PX (R, G, B) are arranged, that is, the direction orthogonal to the row direction H, that is, the column direction V.

この第2構成例においては、隔壁70は、それぞれ第1電極60の全周縁に重なるとともに第1電極60間の保護膜114を覆うように配置されている。つまり、配線基板120の主面120Aつまり保護膜114の表面は、隔壁70から露出していない。このため、第1電極60とトランジスタ素子20のドレイン電極20Dとのコンタクト部CPは、隔壁70によって確実に覆われている。   In the second configuration example, the partition walls 70 are disposed so as to overlap the entire periphery of the first electrode 60 and cover the protective film 114 between the first electrodes 60. That is, the main surface 120 </ b> A of the wiring substrate 120, that is, the surface of the protective film 114 is not exposed from the partition wall 70. Therefore, the contact portion CP between the first electrode 60 and the drain electrode 20 </ b> D of the transistor element 20 is reliably covered with the partition wall 70.

有機活性層62は、隔壁70によってそれぞれ区画された内側に配置されている。第2電極64は、有機活性層62、隔壁70の上面70T及び凹部Cを覆うように配置されている。このような構成により、各画素PX(R、G、B)に配置された有機EL素子40(R、G、B)が区画されている。   The organic active layer 62 is disposed on the inner side divided by the partition walls 70. The second electrode 64 is disposed so as to cover the organic active layer 62, the upper surface 70T of the partition wall 70, and the recess C. With such a configuration, the organic EL element 40 (R, G, B) disposed in each pixel PX (R, G, B) is partitioned.

このような構成においては、コンタクト部CPの位置にかかわらず、凹部Cは、列方向Vに隣接する画素の間にも形成可能である。つまり、凹部Cがコンタクト部CPを露出しない程度の深さ(つまり第1膜厚T1から第2膜厚T2を差し引いた差分)に形成されている場合については、凹部Cは、各画素PXを囲むように格子状に形成しても良い。これにより、上面70Tと蒸着マスクとの接触面積をさらに低減できる。   In such a configuration, the concave portion C can be formed between pixels adjacent in the column direction V regardless of the position of the contact portion CP. That is, when the concave portion C is formed to a depth that does not expose the contact portion CP (that is, the difference obtained by subtracting the second film thickness T2 from the first film thickness T1), the concave portion C defines each pixel PX. You may form in a grid | lattice form so that it may surround. Thereby, the contact area of upper surface 70T and a vapor deposition mask can further be reduced.

このような形状の隔壁70は、例えば、以下のようにして形成可能である。   The partition wall 70 having such a shape can be formed as follows, for example.

まず、第1電極60が形成された保護膜114の上に所望の厚さになるように樹脂材料を塗布した後に、第1電極60を露出する部分と、凹部Cを形成する部分とで異なる条件で露光する。例えば、ポジ型の感光性樹脂材料を用いた場合、多段露光方式が適用可能であり、凹部Cを形成する部分については、第1電極60を露出する部分よりも短い時間露光される。この後に、感光性樹脂材料を現像処理することにより、凹部Cの深さは、第1電極60を露出する部分よりも浅く、第1電極60の間において隔壁70から保護膜114が露出することはない。なお、このような凹凸形状を形成するための手法としては、多段露光方式に限らず、ハーフトーン露光方式を採用しても良い。   First, after applying a resin material on the protective film 114 on which the first electrode 60 is formed to have a desired thickness, the portion where the first electrode 60 is exposed and the portion where the recess C is formed are different. Exposure under conditions. For example, when a positive photosensitive resin material is used, a multi-stage exposure method can be applied, and a portion where the recess C is formed is exposed for a shorter time than a portion where the first electrode 60 is exposed. Thereafter, by developing the photosensitive resin material, the depth of the recess C is shallower than the portion where the first electrode 60 is exposed, and the protective film 114 is exposed from the partition wall 70 between the first electrodes 60. There is no. Note that the method for forming such an uneven shape is not limited to the multistage exposure method, and a halftone exposure method may be employed.

これにより、凹部Cを有する隔壁70が形成される。   Thereby, the partition 70 which has the recessed part C is formed.

このような構造の隔壁70を備えた構成例においても、図8に示すように、所定の色の画素、例えば赤色画素PXRに対応した開口パターンOPを有する蒸着マスクMを隔壁70の上面70Tに載置する。このとき、蒸着マスクMの表面(上面70Tと対向する面)に異物が付着していたとしても、異物が凹部Cに吸収される確率が高いため、上面70Tの全面が蒸着マスクMに密着し、蒸着マスクMを所定のギャップを保って支持することができる。したがって、蒸着ボケや混色不良を抑制できる。   Also in the configuration example including the partition wall 70 having such a structure, a deposition mask M having an opening pattern OP corresponding to a pixel of a predetermined color, for example, a red pixel PXR, is provided on the upper surface 70T of the partition wall 70 as shown in FIG. Place. At this time, even if foreign matter adheres to the surface of the vapor deposition mask M (the surface facing the upper surface 70T), the entire surface of the upper surface 70T is in close contact with the vapor deposition mask M because the foreign matter has a high probability of being absorbed by the recess C. The vapor deposition mask M can be supported while maintaining a predetermined gap. Therefore, vapor deposition blur and color mixing failure can be suppressed.

また、隔壁70の配線基板120の主面120Aから上面70Tまでの高さは、例えば2〜3μm程度であり、また、コンタクト部CPを覆うのに必要な隔壁70の膜厚は0.1μm程度で十分であり、凹部Cの深さは1.5μm程度以上を確保できる。このため、粒径が1.5μm程度の異物まで凹部Cにて吸収可能である。   Further, the height of the partition wall 70 from the main surface 120A to the upper surface 70T of the wiring substrate 120 is, for example, about 2 to 3 μm, and the film thickness of the partition wall 70 necessary to cover the contact portion CP is about 0.1 μm. Is sufficient, and the depth of the recess C can be about 1.5 μm or more. For this reason, even a foreign substance having a particle size of about 1.5 μm can be absorbed by the recess C.

なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the spirit of the invention in the stage of implementation. Further, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, you may combine suitably the component covering different embodiment.

図1は、この発明の一実施の形態に係る有機EL表示装置の構成を概略的に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of an organic EL display device according to an embodiment of the present invention. 図2は、図1に示した有機EL表示装置を切断したときの構造を概略的に示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a structure when the organic EL display device shown in FIG. 1 is cut. 図3は、第1構成例の有機EL表示装置におけるアクティブエリアの構造を概略的に示す平面図である。FIG. 3 is a plan view schematically showing the structure of the active area in the organic EL display device of the first configuration example. 図4は、図3に示した画素をA−A線で切断したときの構造を概略的に示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a structure when the pixel shown in FIG. 3 is cut along line AA. 図5は、第1構成例の有機EL表示装置における有機活性層を形成する工程を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining a process of forming an organic active layer in the organic EL display device of the first configuration example. 図6は、第2構成例の有機EL表示装置におけるアクティブエリアの構造を概略的に示す平面図である。FIG. 6 is a plan view schematically showing the structure of the active area in the organic EL display device of the second configuration example. 図7は、図6に示した画素をB−B線で切断したときの構造を概略的に示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing a structure when the pixel shown in FIG. 6 is cut along line BB. 図8は、第2構成例の有機EL表示装置における有機活性層を形成する工程を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a process of forming an organic active layer in the organic EL display device of the second configuration example.

符号の説明Explanation of symbols

PX(R、G、B)…画素
40…表示素子(有機EL素子)
60…第1電極 62…有機活性層 62A…発光層 64…第2電極
CP…コンタクト部
70…隔壁 70T…上面 70(R、G、B)…セグメント C…凹部
100…アレイ基板 120…配線基板 120A…主面
200…封止基板 300…シール部材
M…蒸着マスク OP…開口パターン
PX (R, G, B) ... pixel 40 ... display element (organic EL element)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 60 ... 1st electrode 62 ... Organic active layer 62A ... Light emitting layer 64 ... 2nd electrode CP ... Contact part 70 ... Partition 70T ... Upper surface 70 (R, G, B) ... Segment C ... Recess 100 ... Array substrate 120 ... Wiring substrate 120A ... Main surface 200 ... Sealing substrate 300 ... Sealing member M ... Deposition mask OP ... Opening pattern

Claims (6)

アクティブエリアにおいて、互いに異なる色の第1色画素及び第2色画素を備えた表示装置であって、
前記第1色画素及び前記第2色画素にそれぞれ配置された第1電極と、
前記第1色画素及び前記第2色画素を分離するように、それぞれの前記第1電極の周縁に沿って配置されるとともに、その上面から窪んだ凹部が形成された隔壁と、
前記第1色画素及び前記第2色画素の前記第1電極の上にそれぞれ配置され、低分子系材料からなる発光層を含む有機活性層と、
前記有機活性層の上に配置された第2電極と、
を備えたことを特徴とする表示装置。
A display device including a first color pixel and a second color pixel of different colors in an active area,
A first electrode disposed in each of the first color pixel and the second color pixel;
A partition wall that is disposed along the periphery of each of the first electrodes so as to separate the first color pixel and the second color pixel, and that has a recess recessed from an upper surface thereof.
An organic active layer that is disposed on the first electrode of the first color pixel and the second color pixel and includes a light emitting layer made of a low molecular material;
A second electrode disposed on the organic active layer;
A display device comprising:
前記隔壁は、前記第1色画素を区画するように配置された第1セグメントと、前記第1セグメントから離間して前記第2色画素を区画するように配置された第2セグメント、とからなり、
前記凹部は、前記第1セグメントと前記第2セグメントとの間に溝状に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
The partition wall includes a first segment arranged so as to partition the first color pixel, and a second segment arranged so as to partition the second color pixel apart from the first segment. ,
The display device according to claim 1, wherein the recess is formed in a groove shape between the first segment and the second segment.
前記凹部は、前記第1色画素と前記第2色画素とが並ぶ方向に対して直交する方向に沿って延出したことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein the recess extends along a direction orthogonal to a direction in which the first color pixel and the second color pixel are arranged. 前記隔壁は、その前記第1色画素側及び前記第2色画素側にそれぞれ上面まで第1膜厚を有するように形成され、
前記凹部は、前記隔壁の前記第1色画素と前記第2色画素との間に第1膜厚よりも薄い第2膜厚を有するように形成されたことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
The barrier ribs are formed on the first color pixel side and the second color pixel side so as to have a first film thickness up to the upper surface,
The said recessed part was formed so that it might have a 2nd film thickness thinner than a 1st film thickness between the said 1st color pixel and the said 2nd color pixel of the said partition. Display device.
前記凹部は、前記第1色画素及び前記第2色画素を囲むように格子状に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。   The display device according to claim 1, wherein the recess is formed in a lattice shape so as to surround the first color pixel and the second color pixel. 前記第1電極に電気的に接続されたトランジスタ素子を備え、
前記隔壁は、前記第1電極と前記トランジスタ素子とのコンタクト部を覆うように配置されたことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。
A transistor element electrically connected to the first electrode;
The display device according to claim 1, wherein the partition wall is arranged to cover a contact portion between the first electrode and the transistor element.
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