JP2010080340A - Display device - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、表示装置に係り、特に、所定の開口パターンを有する蒸着マスクを介した蒸着工程を経て形成される自発光性の表示素子を備えた構成の表示装置に関する。 The present invention relates to a display device, and more particularly, to a display device having a self-luminous display element formed through a vapor deposition process through a vapor deposition mask having a predetermined opening pattern.
近年、平面表示装置として、有機エレクトロルミネッセンス(EL)表示装置が注目されている。この有機EL表示装置は、自発光素子である有機EL素子を備えていることから、視野角が広く、バックライトを必要とせず薄型化及び軽量化が可能であり、消費電力が抑えられ、且つ応答速度が速いといった特徴を有している。これらの特徴から、有機EL表示装置は、液晶表示装置に代わる、次世代平面表示装置の有力候補として注目を集めている。 In recent years, organic electroluminescence (EL) display devices have attracted attention as flat display devices. Since this organic EL display device is provided with an organic EL element that is a self-luminous element, the viewing angle is wide, it can be reduced in thickness and weight without the need for a backlight, power consumption is reduced, and The response speed is fast. Because of these characteristics, organic EL display devices are attracting attention as potential candidates for next-generation flat display devices that can replace liquid crystal display devices.
有機EL表示装置は、陽極と陰極との間に発光機能を有する有機化合物を含む有機活性層を保持した有機EL素子を備えて構成されている。このような有機EL表示装置としては、有機EL素子で発生したEL光をアレイ基板側から外部に取り出す下面発光(ボトムエミッション)方式、及び、有機EL素子で発生したEL光を封止基板側から外部に取り出す上面発光(トップエミッション)方式がある。 The organic EL display device includes an organic EL element that holds an organic active layer containing an organic compound having a light emitting function between an anode and a cathode. As such an organic EL display device, a bottom emission method in which EL light generated in the organic EL element is extracted from the array substrate side, and EL light generated in the organic EL element from the sealing substrate side are used. There is a top emission method that takes out to the outside.
このような有機EL素子において、低分子系の有機化合物からなる有機活性層を形成する工程においては、蒸着源から飛散した材料源を蒸着する蒸着法を適用可能である(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
カラー表示可能な有機EL表示装置を実現するための代表的な方法として、例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)にそれぞれ発光する複数種類の色画素を配置する方法が挙げられる。これらの色画素にそれぞれ配置される有機活性層(特に、発光層)の形成方法として、開口パターンを有する蒸着マスク(ファインマスク)を介して低分子系の有機化合物を蒸着するマスク蒸着法が適用可能である。 As a typical method for realizing an organic EL display device capable of color display, for example, a method of arranging a plurality of types of color pixels that emit light in red (R), green (G), and blue (B), respectively. It is done. As a method for forming the organic active layer (especially, the light emitting layer) disposed in each of these color pixels, a mask vapor deposition method in which a low molecular weight organic compound is vapor-deposited through a vapor deposition mask (fine mask) having an opening pattern is applied. Is possible.
このようなマスク蒸着法において、色画素間を分離する隔壁の上面に蒸着マスクを載置して材料源を蒸着するプロセスを適用した場合には、以下のような課題を生ずるおそれがある。 In such a mask vapor deposition method, when a process of depositing a vapor deposition mask on the upper surface of a partition wall that separates color pixels and applying a material source, the following problems may occur.
すなわち、蒸着マスクと隔壁の上面との間に異物が挟持されてしまった場合、蒸着マスクと蒸着面との間に必要以上のギャップが形成されてしまう(マスク浮き)。通常、材料源が蒸着される領域は、蒸着マスクの開口パターンとほぼ同等の大きさになるが、蒸着面から蒸着マスクまでの距離が拡大するにしたがって、蒸着マスクを通過した材料源が拡散するため、開口パターンよりも広い領域となる(蒸着ボケ)。つまり、材料源が蒸着される領域が必要以上に拡大してしまい、さらに、隣接する別の色画素にまで達してしまうと、混色不良となってしまう。 That is, if foreign matter is sandwiched between the vapor deposition mask and the upper surface of the partition wall, an unnecessary gap is formed between the vapor deposition mask and the vapor deposition surface (mask floating). Normally, the area where the material source is deposited is approximately the same size as the opening pattern of the deposition mask, but as the distance from the deposition surface to the deposition mask increases, the material source that has passed through the deposition mask diffuses. Therefore, the area is wider than the opening pattern (deposition blur). That is, if the area where the material source is deposited is enlarged more than necessary, and further reaches another adjacent color pixel, color mixing failure occurs.
この発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、表示品位が良好であり、且つ、製造歩留まりの改善による製造コストの低減が可能な表示装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a display device that has good display quality and can reduce manufacturing costs by improving manufacturing yield. .
この発明の態様による表示装置は、
アクティブエリアにおいて、互いに異なる色の第1色画素及び第2色画素を備えた表示装置であって、
前記第1色画素及び前記第2色画素にそれぞれ配置された第1電極と、
前記第1色画素及び前記第2色画素を分離するように、それぞれの前記第1電極の周縁に沿って配置されるとともに、その上面から窪んだ凹部が形成された隔壁と、
前記第1色画素及び前記第2色画素の前記第1電極の上にそれぞれ配置され、低分子系材料からなる発光層を含む有機活性層と、
前記有機活性層の上に配置された第2電極と、
を備えたことを特徴とする。
A display device according to an aspect of the present invention includes:
A display device including a first color pixel and a second color pixel of different colors in an active area,
A first electrode disposed in each of the first color pixel and the second color pixel;
A partition wall that is disposed along the periphery of each of the first electrodes so as to separate the first color pixel and the second color pixel, and that has a recess recessed from an upper surface thereof.
An organic active layer that is disposed on the first electrode of the first color pixel and the second color pixel and includes a light emitting layer made of a low molecular material;
A second electrode disposed on the organic active layer;
It is provided with.
この発明によれば、表示品位が良好であり、且つ、製造歩留まりの改善による製造コストの低減が可能な表示装置を提供することが可能となる。 According to the present invention, it is possible to provide a display device that has good display quality and can reduce manufacturing costs by improving manufacturing yield.
以下、この発明の一実施の形態に係る表示装置及びその製造方法について図面を参照して説明する。なお、この実施の形態では、表示装置として、自己発光型表示装置、例えば、有機EL(エレクトロルミネッセンス)表示装置を例にして説明する。 Hereinafter, a display device and a manufacturing method thereof according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In this embodiment, a self-luminous display device, for example, an organic EL (electroluminescence) display device will be described as an example of the display device.
有機EL表示装置1は、図1に示すように、画像を表示するアクティブエリア102を有するアレイ基板(第1基板)100を備えている。アクティブエリア102は、マトリクス状に配置された複数の画素PXによって構成されている。また、図1では、カラー表示タイプの有機EL表示装置1を例に示しており、アクティブエリア102は、複数種類の色画素、例えば3原色に対応した赤色画素PXR、緑色画素PXG、及び、青色画素PXBによって構成されている。
As shown in FIG. 1, the organic
アレイ基板100の少なくともアクティブエリア102は、封止基板(第2基板)200によって封止されている。この封止基板200のアレイ基板100と対向する内面は、平坦に形成されていても良いし、少なくともアクティブエリア102との対向面が窪み、周縁部より肉薄に形成されても良い。
At least the
これらのアレイ基板100と封止基板200とは、例えば、それぞれの周縁部がアクティブエリア102を囲むように枠状に配置されたシール部材300によって接合されている。シール部材300は、フリットガラス(低融点ガラス)や、樹脂材料(例えば紫外線硬化型樹脂や熱硬化型樹脂)などからなる。
For example, the
各画素PX(R、G、B)は、画素回路10及びこの画素回路10によって駆動制御される表示素子40を備えている。図1に示した画素回路10は、一例であって、他の構成の画素回路を適用しても良いことは言うまでもない。
Each pixel PX (R, G, B) includes a
図1に示した例では、画素回路10は、駆動トランジスタDRT、各種スイッチ(第1スイッチSW1、第2スイッチSW2、第3スイッチSW3)、蓄積容量素子Csなどを備えて構成されている。駆動トランジスタDRTは、表示素子40に供給する電流量を制御する機能を有している。第1スイッチSW1及び第2スイッチSW2は、サンプル・ホールドスイッチとして機能する。第3スイッチSW3は、駆動トランジスタDRTから表示素子40への駆動電流の供給、つまり表示素子40のオン/オフを制御する機能を有している。蓄積容量素子Csは、駆動トランジスタDRTのゲートーソース間の電位を保持する機能を有している。
In the example illustrated in FIG. 1, the
駆動トランジスタDRTは、高電位電源線P1と第3スイッチSW3との間に接続されている。表示素子40は、第3スイッチSW3と低電位電源線P2との間に接続されている。第1スイッチSW1及び第2スイッチSW2のゲート電極は、第1ゲート線GL1に接続されている。第3スイッチSW3のゲート電極は、第2ゲート線GL2に接続されている。第1スイッチSW1のソース電極は、映像信号線SLに接続されている。
The drive transistor DRT is connected between the high potential power supply line P1 and the third switch SW3. The
これらの駆動トランジスタDRT、第1スイッチSW1、第2スイッチSW2、及び、第3スイッチSW3は、例えば薄膜トランジスタ(TFT)によって構成され、その半導体層は、アモルファスシリコンやポリシリコンなどによって形成可能であり、ここではポリシリコンによって形成されている。 The drive transistor DRT, the first switch SW1, the second switch SW2, and the third switch SW3 are configured by, for example, a thin film transistor (TFT), and the semiconductor layer can be formed by amorphous silicon, polysilicon, or the like. Here, it is formed of polysilicon.
このような回路構成の場合、第1ゲート線GL1からオン信号が供給されたのに基づいて第1スイッチSW1及び第2スイッチSW2がオンとなり、映像信号線SLを流れる電流量に応じて高電位電源線P1から駆動トランジスタDRTに電流が流れ、また、駆動トランジスタDRTを流れる電流に応じて蓄積容量素子CSが充電される。これにより、駆動トランジスタDRTは、映像信号線SLから供給された電流量と同一の電流量を、高電位電源線P1から表示素子40に供給可能となる。
In the case of such a circuit configuration, the first switch SW1 and the second switch SW2 are turned on based on the ON signal supplied from the first gate line GL1, and the high potential is set according to the amount of current flowing through the video signal line SL. A current flows from the power supply line P1 to the drive transistor DRT, and the storage capacitor element CS is charged according to the current flowing through the drive transistor DRT. As a result, the drive transistor DRT can supply the same amount of current as that supplied from the video signal line SL to the
そして、第2ゲート線GL2からオン信号が供給されたのに基づいて第3スイッチSW3がオンとなり、蓄積容量素子CSで保持した容量に応じて、駆動トランジスタDRTは、高電位電源線P1から第3スイッチSW3を介して表示素子40に所定輝度に対応した所定量の電流を供給する。これにより、表示素子40は、所定の輝度に発光する。
Then, the third switch SW3 is turned on based on the ON signal supplied from the second gate line GL2, and the driving transistor DRT is connected to the first potential from the high potential power supply line P1 according to the capacitance held in the storage capacitor element CS. A predetermined amount of current corresponding to a predetermined luminance is supplied to the
表示素子40は、自発光性の表示素子である有機EL素子40(R、G、B)によって構成されている。すなわち、赤色画素PXRは、主に赤色波長に対応した光を出射する有機EL素子40Rを備えている。緑色画素PXGは、主に緑色波長に対応した光を出射する有機EL素子40Gを備えている。青色画素PXBは、主に青色波長に対応した光を出射する有機EL素子40Bを備えている。
The
各種有機EL素子40(R、G、B)は、基本的に同一構成であり、例えば、図2に示すように、配線基板120上に配置されている。なお、配線基板120は、ガラス基板などの絶縁性の支持基板101上に、アンダーコート層111、ゲート絶縁膜112、層間絶縁膜113、保護膜114などの絶縁層を備える他に、各種スイッチSW、駆動トランジスタDRT、蓄積容量素子Cs、各種配線(ゲート線、映像信号線、電源線等)などを備えて構成されている。アンダーコート層111、ゲート絶縁膜112、及び、層間絶縁膜113は、例えば、窒化シリコン(SiN)や酸化シリコン(SiO)などの無機系材料によって形成されている。
The various organic EL elements 40 (R, G, B) have basically the same configuration, and are disposed on the
保護膜114は、有機系材料によって形成されても良いし、窒化シリコンなどの無機系材料によって形成されても良い。保護膜114が有機系材料によって形成される場合、材料をコーティングするなどの手法により成膜されるため、下層の凹凸の影響を緩和しその表面を平坦化することができる。
The
すなわち、図2に示した例では、アンダーコート層111の上には、スイッチや駆動トランジスタなどのトランジスタ素子(図1に示した回路構成においては第3スイッチSW3に相当する)20の半導体層21が配置されている。半導体層21は、ゲート絶縁膜112によって覆われている。
That is, in the example shown in FIG. 2, on the
ゲート絶縁膜112の上には、トランジスタ素子20のゲート電極20Gや図示しないゲート線などが配置されている。ゲート電極20Gやゲート線は、層間絶縁膜113によって覆われている。層間絶縁膜113の上には、トランジスタ素子20のソース電極20S及びドレイン電極20Dや図示しない信号線などが配置されている。
On the
これらのソース電極20S及びドレイン電極20Dは、ゲート絶縁膜112及び層間絶縁膜113を半導体層21まで貫通するコンタクトホールを介して半導体層21にそれぞれコンタクトしている。これらのソース電極20S及びドレイン電極20Dや信号線は、保護膜114によって覆われている。
The
この実施の形態においては、有機EL素子40は、保護膜114の上に配置されている。この有機EL素子40は、第1電極60と第2電極64との間に有機活性層62を保持した構成であり、以下に詳細な構造について説明する。
In this embodiment, the
すなわち、第1電極60は、保護膜114の上において各画素PXに独立した島状に配置され、陽極として機能する。この第1電極60は、保護膜114をドレイン電極20Dまで貫通するコンタクトホールを介して、ドレイン電極20Dにコンタクトしている。
That is, the
このような第1電極60は、アルミニウム(Al)や銀(Ag)などの光反射性を有する導電材料を用いて形成された反射層の上に、インジウム・ティン・オキサイド(ITO)やインジウム・ジンク・オキサイド(IZO)などの光透過性を有する導電材料を用いて形成された透過層を積層した構造であってもよいし、反射層単層、または、透過層単層として構成しても良い。トップエミッション方式の場合、第1電極60は、反射層を含んでいることが望ましい。
Such a
有機活性層62は、第1電極60の上に配置され、少なくとも発光層62Aを含んでいる。この有機活性層62は、発光層以外の機能層を含むことができ、例えば、ホール注入層、ホール輸送層、ブロッキング層、電子輸送層、電子注入層、バッファ層などの機能層を含むことができる。このような有機活性層62は、複数の機能層を複合した単層で構成されても良いし、各機能層を積層した多層構造であっても良い。有機活性層62においては、発光層62Aが有機系材料であればよく、発光層以外の層は無機系材料でも有機系材料でも構わない。有機活性層62において、発光層以外の機能層は共通層であってもよい。
The organic
発光層62Aは、赤、緑、または青に発光する発光機能を有した有機化合物によって形成され、各色画素に個別に配置される。なお、有機活性層62、特に発光層62Aは、低分子系材料によって形成されている。このような低分子系材料からなる薄膜は、マスク蒸着法により成膜される。
The
第2電極64は、複数の画素PXに共通であって、各画素PXの有機活性層62の上に配置され、陰極として機能する。このような第2電極64は、銀(Ag)とマグネシウム(Mg)との混合物などからなる半透過層、及び、ITOなどの光透過性を有する導電材料を用いて形成された透過層を積層した構造であってもよいし、半透過層単層、または、透過層単層として構成しても良い。トップエミッション方式の場合、第2電極64は、半透過層を含んでいることが望ましい。
The
また、アレイ基板100は、アクティブエリア102において、隣接する画素、特に互いに異なる色の画素PX(R、G、B)間を分離する隔壁70を備えている。すなわち、この隔壁70は、各第1電極60の周縁に沿って配置され、第1電極60における少なくとも一部の周縁を覆っている。このような隔壁70は、アクティブエリア102において格子状に形成されている。これにより、隣接する異なる色の有機EL素子が絶縁される。
In addition, the
このような隔壁70は、例えばアクリル系樹脂やポリイミドなどの樹脂材料を塗布した後にフォトリソグラフィ法などの手法によりパターニングすることによって形成され、概ね台形状の断面形状を有している。この隔壁70の底面は、第1電極60及び保護膜114に接している。隔壁70の側面の少なくとも一部は、有機活性層62によって覆われている。このような隔壁70の側面に囲まれた内側が発光し、実質的に表示に寄与する有効部となる。
Such a
また、隔壁70の上面70Tは、配線基板120の主面(すなわち保護膜114の表面)120Aから最も高い頂点に相当する。この上面70Tは、一部が有機活性層62によって覆われる場合もあるが、有機活性層62の上に配置される第2電極64によって覆われている。
Further, the
特に、この実施の形態においては、隔壁70の上面70Tには、凹部が形成されている。すなわち、隔壁70の上面70Tは、発光層62Aを形成するためのマスク蒸着法を適用した場合に、各色画素の塗りわけを行うための蒸着マスクを支持する支持面となる。このような蒸着マスクを支持する際に、蒸着マスクと上面70Tとの間に異物が存在するおそれがあり、蒸着マスクの不所望な浮き(つまり局所的あるいは全体的に蒸着マスクが上面70Tから離れること)を抑制することが望まれている。
In particular, in this embodiment, a recess is formed in the
そこで、上面70Tに凹部を形成したことにより、蒸着マスクを支持する箇所すなわち蒸着マスクと上面70Tとが接触する面積を減少させ、たとえ異物が存在したとしても凹部において異物を吸収可能とし、蒸着マスクと上面70Tとの間に異物が存在する確立を低減することが可能となる。
Therefore, by forming the concave portion on the
これにより、蒸着マスクの浮きを抑制することが可能となる。したがって、蒸着マスクの浮きに起因した蒸着ボケが抑制されるとともに、混色不良が抑制され、表示品位が良好で、且つ、製造歩留まりの改善による製造コストの低減が可能な有機EL表示装置を提供できる。 Thereby, it becomes possible to suppress the evaporation mask from floating. Therefore, it is possible to provide an organic EL display device that suppresses vapor deposition blur caused by floating of the vapor deposition mask, suppresses color mixing failure, has a good display quality, and can reduce the manufacturing cost by improving the manufacturing yield. .
以下に、より具体的な構成例について説明する。 A more specific configuration example will be described below.
《第1構成例》
第1構成例においては、隔壁70は、互いに異なる色の画素PXをそれぞれ区画するとともに互いに離間して配置された複数のセグメントによって構成されている。すなわち、図3及び図4に示した例では、赤色画素PXR、緑色画素PXG、及び、青色画素PXBがこの順に並んでいる。隔壁70は、赤色画素PXRを区画するように配置された第1セグメント70R、緑色画素PXGを区画するように配置された第2セグメント70G、及び、青色画素PXBを区画するように配置された第3セグメント70Bによって構成されている。
<< First configuration example >>
In the first configuration example, the
これらの各セグメント70(R、G、B)は、互いに離間しており、第1セグメント70Rと第2セグメント70Gとの間、及び、第2セグメント70Gと第3セグメント70Bとの間からはそれぞれ配線基板120の主面120Aつまり保護膜114の表面が露出している。各セグメント70(R、G、B)の上面70Tは、同一水平面内にあって支持面となる。つまり、各セグメント70(R、G、B)の配線基板120の主面120Aからの上面70Tまでの高さHは、すべて同一である。
These segments 70 (R, G, B) are spaced apart from each other, and between the
このような構成の隔壁70において、凹部Cは、各セグメント70(R、G、B)の間に溝状に形成されている。つまり、凹部Cは、隔壁70から保護膜114が露出した部分に相当する。ここに示した例では、凹部Cは、第1セグメント70Rと第2セグメント70Gとの間、及び、第2セグメント70Gと第3セグメント70Bとの間にそれぞれ形成されている。換言すると、凹部Cは、各画素PX(R、G、B)が並ぶ方向すなわち行方向Hに対して直交する方向すなわち列方向Vに沿って延出している。
In the
各セグメント70(R、G、B)は、例えば、それぞれ第1電極60の全周縁に重なるように配置されている。有機活性層62は、各セグメント70(R、G、B)によって区画された内側に配置されている。第2電極64は、有機活性層62、各セグメント70(R、G、B)の上面70T及び凹部Cを覆うように配置されている。このような構成により、各画素PX(R、G、B)に配置された有機EL素子40(R、G、B)が区画されている。
Each segment 70 (R, G, B) is, for example, arranged so as to overlap the entire periphery of the
なお、第1電極60とトランジスタ素子20のドレイン電極20Dとのコンタクト部CPは、隔壁70のセグメント間の凹部Cから露出すると、第2電極64とショートしてしまうため、確実に隔壁70によって覆われることが重要である。このため、上述した構成においては、コンタクト部CPは、列方向Vに隣接する画素間に配置されることが望ましい。換言すると、凹部Cは、列方向Vに沿ってのみ延出し、列方向Vに隣接する画素間には形成しないことが望ましい。
Note that the contact portion CP between the
このような有機EL素子40の形成プロセスは、以下の通りである。
The formation process of such an
まず、支持基板101上にトランジスタ素子などの画素回路10を形成し、保護膜114で被覆する。そして、保護膜114の上に第1電極60を形成する。そして、第1電極60が形成された保護膜114の上に所望の厚さになるように樹脂材料を塗布し、図3などに示したような形状にパターニングする。このパターニングには、例えば、フォトリソグラフィ法などが適用可能である。これにより、複数のセグメント70(R、G、B)からなる隔壁70が形成される。
First, the
続いて、図5に示すように、所定の色の画素、例えば赤色画素PXRに対応した開口パターンOPを有する蒸着マスクMを隔壁70の上面70Tに載置する。このとき、蒸着マスクMの表面(上面70Tと対向する面)に異物が付着していたとしても、異物が凹部Cに吸収される確率が高いため、上面70Tの全面が蒸着マスクMに密着し、蒸着マスクMを所定のギャップを保って支持することができる。
Subsequently, as illustrated in FIG. 5, a deposition mask M having an opening pattern OP corresponding to a pixel of a predetermined color, for example, a red pixel PXR, is placed on the
続いて、蒸着マスクMを介して発光機能を有する有機化合物を含む低分子系材料を第1電極60の上に蒸着して有機活性層62を形成する。そして、蒸着マスクMを除去して、有機活性層62の上に第2電極64を形成する。このような工程により、有機EL素子40が形成される。
Subsequently, a low molecular material containing an organic compound having a light emitting function is deposited on the
上述した形成プロセスにおいて、隔壁70は、有機活性層62、特に発光層62Aをマスク蒸着によって形成する段階では、配線基板120上における最高の高さを有している。つまり、隔壁70の上面70Tが配線基板120の主面120Aから最も突出している。このため、隔壁70は、その上面70Tにおいて蒸着マスクMを支持する。
In the formation process described above, the
このとき、隔壁70を実質的に複数のセグメントに分割したことにより、蒸着マスクMとの接触面積が減少し、上面70Tと蒸着マスクMとの間に異物が存在する確立を低減できる。このため、たとえ蒸着マスクMの表面に異物が付着していたとしても、蒸着マスクMの浮きが抑制され、上面70Tの全面で蒸着マスクMを支持可能となる。したがって、蒸着ボケや混色不良を抑制できる。
At this time, by dividing the
また、隔壁70の配線基板120の主面120Aから上面70Tまでの高さは、例えば2〜3μm程度であり、凹部Cの深さは隔壁70の高さと同等(2〜3μm程度)であるため、粒径が2〜3μm程度の異物まで凹部Cにて吸収可能である。
Further, the height of the
《第2構成例》
第2構成例においては、隔壁70は、一体に形成されつつ、凹部を形成するように上面70Tから窪んだ形状に形成されている。すなわち、図6及び図7に示した例では、赤色画素PXR、緑色画素PXG、及び、青色画素PXBがこの順に並んでいる。隔壁70は、赤色画素PXR、緑色画素PXG、及び、青色画素PXBを区画するように配置されている。
<< Second configuration example >>
In the second configuration example, the
この隔壁70は、その赤色画素PXR側及び緑色画素RXG側にそれぞれ配線基板120の主面120Aから上面70Tまで第1膜厚T1を有するように形成されている一方で、隔壁70の赤色画素PXRと緑色画素RXGとの間に第1膜厚T1よりも薄い第2膜厚T2を有するように形成されている。同様に、この隔壁70は、その緑色画素PXG側及び青色画素RXB側にそれぞれ配線基板120の主面120Aから上面70Tまで第1膜厚T1を有するように形成されている一方で、隔壁70の緑色画素PXGと青色画素RXGとの間に第1膜厚T1よりも薄い第2膜厚T2を有するように形成されている。
The
すなわち、凹部Cは、第2膜厚T2を有する部分に相当する。 That is, the concave portion C corresponds to a portion having the second film thickness T2.
このような構成の隔壁70において、凹部Cは、各画素PX(R、G、B)の間に形成されている。つまり、ここに示した例では、凹部Cは、赤色画素PXRと緑色画素PXGとの間、及び、緑色画素PXGと青色画素PXBとの間にそれぞれ形成されている。換言すると、凹部Cは、各画素PX(R、G、B)が並ぶ方向すなわち行方向Hに対して直交する方向すなわち列方向Vに沿って延出している。
In the
この第2構成例においては、隔壁70は、それぞれ第1電極60の全周縁に重なるとともに第1電極60間の保護膜114を覆うように配置されている。つまり、配線基板120の主面120Aつまり保護膜114の表面は、隔壁70から露出していない。このため、第1電極60とトランジスタ素子20のドレイン電極20Dとのコンタクト部CPは、隔壁70によって確実に覆われている。
In the second configuration example, the
有機活性層62は、隔壁70によってそれぞれ区画された内側に配置されている。第2電極64は、有機活性層62、隔壁70の上面70T及び凹部Cを覆うように配置されている。このような構成により、各画素PX(R、G、B)に配置された有機EL素子40(R、G、B)が区画されている。
The organic
このような構成においては、コンタクト部CPの位置にかかわらず、凹部Cは、列方向Vに隣接する画素の間にも形成可能である。つまり、凹部Cがコンタクト部CPを露出しない程度の深さ(つまり第1膜厚T1から第2膜厚T2を差し引いた差分)に形成されている場合については、凹部Cは、各画素PXを囲むように格子状に形成しても良い。これにより、上面70Tと蒸着マスクとの接触面積をさらに低減できる。
In such a configuration, the concave portion C can be formed between pixels adjacent in the column direction V regardless of the position of the contact portion CP. That is, when the concave portion C is formed to a depth that does not expose the contact portion CP (that is, the difference obtained by subtracting the second film thickness T2 from the first film thickness T1), the concave portion C defines each pixel PX. You may form in a grid | lattice form so that it may surround. Thereby, the contact area of
このような形状の隔壁70は、例えば、以下のようにして形成可能である。
The
まず、第1電極60が形成された保護膜114の上に所望の厚さになるように樹脂材料を塗布した後に、第1電極60を露出する部分と、凹部Cを形成する部分とで異なる条件で露光する。例えば、ポジ型の感光性樹脂材料を用いた場合、多段露光方式が適用可能であり、凹部Cを形成する部分については、第1電極60を露出する部分よりも短い時間露光される。この後に、感光性樹脂材料を現像処理することにより、凹部Cの深さは、第1電極60を露出する部分よりも浅く、第1電極60の間において隔壁70から保護膜114が露出することはない。なお、このような凹凸形状を形成するための手法としては、多段露光方式に限らず、ハーフトーン露光方式を採用しても良い。
First, after applying a resin material on the
これにより、凹部Cを有する隔壁70が形成される。
Thereby, the
このような構造の隔壁70を備えた構成例においても、図8に示すように、所定の色の画素、例えば赤色画素PXRに対応した開口パターンOPを有する蒸着マスクMを隔壁70の上面70Tに載置する。このとき、蒸着マスクMの表面(上面70Tと対向する面)に異物が付着していたとしても、異物が凹部Cに吸収される確率が高いため、上面70Tの全面が蒸着マスクMに密着し、蒸着マスクMを所定のギャップを保って支持することができる。したがって、蒸着ボケや混色不良を抑制できる。
Also in the configuration example including the
また、隔壁70の配線基板120の主面120Aから上面70Tまでの高さは、例えば2〜3μm程度であり、また、コンタクト部CPを覆うのに必要な隔壁70の膜厚は0.1μm程度で十分であり、凹部Cの深さは1.5μm程度以上を確保できる。このため、粒径が1.5μm程度の異物まで凹部Cにて吸収可能である。
Further, the height of the
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、その実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the spirit of the invention in the stage of implementation. Further, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, you may combine suitably the component covering different embodiment.
PX(R、G、B)…画素
40…表示素子(有機EL素子)
60…第1電極 62…有機活性層 62A…発光層 64…第2電極
CP…コンタクト部
70…隔壁 70T…上面 70(R、G、B)…セグメント C…凹部
100…アレイ基板 120…配線基板 120A…主面
200…封止基板 300…シール部材
M…蒸着マスク OP…開口パターン
PX (R, G, B) ...
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記第1色画素及び前記第2色画素にそれぞれ配置された第1電極と、
前記第1色画素及び前記第2色画素を分離するように、それぞれの前記第1電極の周縁に沿って配置されるとともに、その上面から窪んだ凹部が形成された隔壁と、
前記第1色画素及び前記第2色画素の前記第1電極の上にそれぞれ配置され、低分子系材料からなる発光層を含む有機活性層と、
前記有機活性層の上に配置された第2電極と、
を備えたことを特徴とする表示装置。 A display device including a first color pixel and a second color pixel of different colors in an active area,
A first electrode disposed in each of the first color pixel and the second color pixel;
A partition wall that is disposed along the periphery of each of the first electrodes so as to separate the first color pixel and the second color pixel, and that has a recess recessed from an upper surface thereof.
An organic active layer that is disposed on the first electrode of the first color pixel and the second color pixel and includes a light emitting layer made of a low molecular material;
A second electrode disposed on the organic active layer;
A display device comprising:
前記凹部は、前記第1セグメントと前記第2セグメントとの間に溝状に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。 The partition wall includes a first segment arranged so as to partition the first color pixel, and a second segment arranged so as to partition the second color pixel apart from the first segment. ,
The display device according to claim 1, wherein the recess is formed in a groove shape between the first segment and the second segment.
前記凹部は、前記隔壁の前記第1色画素と前記第2色画素との間に第1膜厚よりも薄い第2膜厚を有するように形成されたことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。 The barrier ribs are formed on the first color pixel side and the second color pixel side so as to have a first film thickness up to the upper surface,
The said recessed part was formed so that it might have a 2nd film thickness thinner than a 1st film thickness between the said 1st color pixel and the said 2nd color pixel of the said partition. Display device.
前記隔壁は、前記第1電極と前記トランジスタ素子とのコンタクト部を覆うように配置されたことを特徴とする請求項1に記載の表示装置。 A transistor element electrically connected to the first electrode;
The display device according to claim 1, wherein the partition wall is arranged to cover a contact portion between the first electrode and the transistor element.
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