JP2010042399A

JP2010042399A - Coating apparatus

Info

Publication number: JP2010042399A
Application number: JP2009147929A
Authority: JP
Inventors: Junichi Kojima; 純一小嶋
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2008-07-14
Filing date: 2009-06-22
Publication date: 2010-02-25
Also published as: CN101628273A; TW201004711A

Abstract

【課題】基板に塗布された塗布液の断面積や断面形状の測定を適切に行うことが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布ユニット２０内のシステムコントローラ２２０及びサーボドライバ２２２は、ガラス基板５０に塗布されたペースト６０の断面積を測定するタイミングでは、サーボ制御によって、基板ステージ１１６やヘッド１１０を移動させるためのサーボモータ２０２、２０６及び２１０への電力供給を停止することで、サーボ制御を停止させる。これにより、基板ステージ１１６やヘッド１１０を所定位置に留まらせようとする場合に、位置合わせのためのサーボ制御に伴う微小な振動が生じることがなく、ペースト６０の断面積の測定を適切に行うことが可能となる。
【選択図】図４A coating apparatus capable of appropriately measuring a cross-sectional area and a cross-sectional shape of a coating liquid applied to a substrate is provided.
A system controller 220 and a servo driver 222 in a coating unit 20 move a substrate stage 116 and a head 110 by servo control at a timing for measuring a cross-sectional area of a paste 60 coated on a glass substrate 50. Servo control is stopped by stopping power supply to the servo motors 202, 206, and 210. As a result, when the substrate stage 116 and the head 110 are to be held at predetermined positions, the cross-sectional area of the paste 60 is appropriately measured without causing minute vibrations associated with servo control for alignment. It becomes possible.
[Selection] Figure 4

Description

本発明は、基板に塗布液を塗布する塗布装置に関する。 The present invention relates to a coating apparatus that coats a substrate with a coating solution.

従来から液晶表示パネルの製造に際して、ガラス基板に液晶封止用のペーストを塗布するペースト塗布装置が用いられている。このようなペースト塗布装置では、ステージにガラス基板を搭載し、シリンジに充填されたペーストをノズルから吐出させることにより、当該ペーストをガラス基板に塗布する。ペーストの塗布に際しては、ガラス基板に適切にペーストを塗布する必要がある。一般にペーストは、粘度が時間の経過に伴って高くなる特性（チキソ性）を有している。このため、ノズルの先端とガラス基板との距離を一定に保つ等、ペースト塗布装置における塗布条件を同一にしても、ガラス基板に塗布されるペーストの量に差異が生じることがある。 Conventionally, when manufacturing a liquid crystal display panel, a paste applying apparatus for applying a liquid crystal sealing paste to a glass substrate has been used. In such a paste application apparatus, a glass substrate is mounted on a stage, and the paste is applied to the glass substrate by discharging the paste filled in the syringe from a nozzle. When applying the paste, it is necessary to appropriately apply the paste to the glass substrate. In general, the paste has a property (thixotropic property) in which the viscosity increases with time. For this reason, even if the application conditions in the paste application apparatus are the same, such as keeping the distance between the tip of the nozzle and the glass substrate constant, a difference may occur in the amount of paste applied to the glass substrate.

そこで、例えば特許文献１に記載されたペースト塗布装置は、光学式距離計が基板に塗布されたペーストまでの距離を計測することによって、当該ペーストの断面形状を測定しており、当該断面形状が適切なものであるか否か、更にはペーストの量が適切であるか否かを確認可能としている。 Therefore, for example, the paste application apparatus described in Patent Document 1 measures the cross-sectional shape of the paste by measuring the distance to the paste applied to the substrate by an optical distance meter, and the cross-sectional shape is It is possible to confirm whether or not it is appropriate, and further whether or not the amount of paste is appropriate.

特開平７−２７５７７０号公報JP-A-7-275770

しかしながら、上述した従来のペースト塗布装置において、ペースト塗布時におけるステージやヘッドの移動がサーボ制御によって行われる場合には、以下のような問題が生じる。すなわち、サーボ制御では、ステージやヘッドを移動させるためのサーボモータの回転量に基づいて、これらステージやヘッドの位置が検出され、更に当該位置に基づいてサーボモータの駆動が制御されることによって、ステージやヘッドの位置合わせがなされるというフィードバック制御が行われることになる。 However, in the above-described conventional paste coating apparatus, the following problems occur when the stage and head are moved by servo control during paste coating. That is, in servo control, the position of the stage or head is detected based on the rotation amount of the servo motor for moving the stage or head, and further, the drive of the servo motor is controlled based on the position, Feedback control is performed so that the stage and head are aligned.

このようなサーボ制御の下では、ステージやヘッドが所定位置での停止状態を保持して、光学式距離計が距離を測定することができるようにすべく、ステージやヘッドを所定の位置に停止させておくときに、サーボモータが正回転と逆回転を交互に繰り返して振動するハンチングと称される現象が生じ、これによりステージやヘッドに微小な振動が生じる場合がある。ペーストの断面は非常に小さいものであるため、このような微小な振動であっても、光学式距離計による正確な距離測定の妨げとなってしまう。 Under such servo control, the stage or head is stopped at a predetermined position so that the optical distance meter can measure the distance while holding the stopped state at the predetermined position. When this is done, a phenomenon called hunting occurs in which the servomotor vibrates by alternately repeating forward rotation and reverse rotation, which may cause minute vibrations on the stage and the head. Since the cross section of the paste is very small, even such minute vibrations hinder accurate distance measurement by an optical distance meter.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、基板に塗布された塗布液の断面積や断面形状の測定を適切に行うことが可能な塗布装置を提供するものである。 This invention is made | formed in view of such a situation, and provides the coating device which can perform appropriately the measurement of the cross-sectional area and cross-sectional shape of the coating liquid apply | coated to the board | substrate.

本発明に係る、基板に塗布液を塗布する塗布装置は、前記基板を搭載するステージと、前記塗布液を前記基板に向けて吐出するノズルを有するヘッドと、前記ノズルから吐出されて前記基板に塗布された塗布液の断面積又は断面形状を測定する測定手段と、サーボ制御により、前記ステージ及び前記ヘッドの少なくともいずれかを移動させる駆動機構と、前記測定手段による前記塗布液の断面積又は断面形状の測定時に、前記駆動機構によるサーボ制御を停止させる制御手段とを有する。 According to the present invention, a coating apparatus for coating a substrate with a coating liquid includes a stage on which the substrate is mounted, a head having a nozzle that discharges the coating liquid toward the substrate, and a nozzle that is discharged from the nozzle to the substrate. Measuring means for measuring the cross-sectional area or cross-sectional shape of the applied coating liquid, a drive mechanism for moving at least one of the stage and the head by servo control, and a cross-sectional area or cross-section of the coating liquid by the measuring means Control means for stopping servo control by the drive mechanism when measuring the shape.

この構成によれば、基板に塗布された塗布液の断面積又は断面形状を測定するタイミングでは、ステージやヘッドを移動させるためのサーボ制御を停止させることにより、ステージやヘッドを所定位置に留まらせようとする場合に、位置合わせのためのサーボ制御に伴う微小な振動が生じることがなく、塗布液の断面積や断面形状の測定を適切に行うことが可能となる。 According to this configuration, at the timing of measuring the cross-sectional area or cross-sectional shape of the coating solution applied to the substrate, the servo control for moving the stage or the head is stopped, so that the stage or the head remains in a predetermined position. When trying to do so, minute vibrations associated with servo control for alignment do not occur, and the cross-sectional area and cross-sectional shape of the coating liquid can be appropriately measured.

また、本発明に係る塗布装置は、前記駆動機構が、サーボモータを有し、供給される電力により前記サーボモータを駆動させてサーボ制御を行うものであり、前記制御手段が、前記測定手段による前記塗布液の断面積又は断面形状の測定時に、前記サーボモータへの電力供給を停止させる。 In the coating apparatus according to the present invention, the drive mechanism includes a servo motor, and the servo motor is driven by the supplied power to perform servo control, and the control means is based on the measurement means. When measuring the cross-sectional area or cross-sectional shape of the coating liquid, power supply to the servo motor is stopped.

この構成によれば、サーボモータへの電力供給そのものを停止させることで、サーボ制御を停止させることができる。 According to this configuration, the servo control can be stopped by stopping the power supply itself to the servo motor.

また、本発明に係る塗布装置は、前記ステージ及び前記ヘッドの少なくともいずれかに取り付けられる駆動軸を有し、前記サーボモータが、前記駆動軸を回転させる。 The coating apparatus according to the present invention includes a drive shaft attached to at least one of the stage and the head, and the servo motor rotates the drive shaft.

また、本発明に係る塗布装置は、前記制御手段が、前記ステージ及び前記ヘッドのうち、振動によって前記塗布液の断面積又は断面形状の測定に誤差を及ぼすものとして予め定められた一方に対するサーボ制御が停止するように、前記駆動機構を制御する。 In the coating apparatus according to the present invention, the control means controls the servo for one of the stage and the head, which is predetermined as an error in measuring the cross-sectional area or cross-sectional shape of the coating liquid due to vibration. The drive mechanism is controlled so as to stop.

この構成によれば、ステージ及びヘッドのうち、振動によって塗布液の断面積又は断面形状の測定に誤差を及ぼすものに対するサーボ制御のみが停止され、当該サーボ制御の停止を必要最小限に抑えることができる。 According to this configuration, only the servo control for the stage and the head that causes an error in the measurement of the cross-sectional area or the cross-sectional shape of the coating liquid due to vibration is stopped, and the stop of the servo control can be minimized. it can.

本発明によれば、基板に塗布された塗布液の断面積又は断面形状の測定時に、ステージやヘッドを所定位置に留まらせようとする場合に、位置合わせのためのサーボ制御に伴う微小な振動が生じることがなく、塗布液の断面積や断面形状の測定を適切に行うことが可能となる。これにより、塗布液の塗布状態を適切に判定することが可能となり、塗布液の塗布品質の信頼性を向上させることができる。 According to the present invention, when measuring the cross-sectional area or cross-sectional shape of the coating liquid applied to the substrate, the minute vibration associated with the servo control for alignment when the stage or head is to be held at a predetermined position. Therefore, it is possible to appropriately measure the cross-sectional area and cross-sectional shape of the coating liquid. Thereby, it becomes possible to determine appropriately the application state of a coating liquid, and the reliability of the coating quality of a coating liquid can be improved.

本発明の実施形態に係る塗布装置を適用したペースト塗布システムの平面図である。1 is a plan view of a paste coating system to which a coating apparatus according to an embodiment of the present invention is applied. 塗布ユニットの外観斜視図、及び、塗布ユニット内の各部の移動方向を説明するための座標空間を示す図である。It is an external appearance perspective view of a coating unit, and is a figure which shows the coordinate space for demonstrating the moving direction of each part in a coating unit. 塗布ノズル部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a coating nozzle part. 断面積センサによるガラス基板に塗布されたペーストまでの距離測定の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the distance measurement to the paste apply | coated to the glass substrate by a cross-sectional area sensor. 断面積センサによるガラス基板に塗布されたペーストまでの距離測定の一例を示す側面図である。It is a side view which shows an example of the distance measurement to the paste apply | coated to the glass substrate by a cross-sectional area sensor. 断面積センサによるガラス基板に塗布されたペーストまでの距離測定の一例を示す側面拡大図である。It is a side surface enlarged view which shows an example of the distance measurement to the paste apply | coated to the glass substrate by a cross-sectional area sensor. 塗布ユニットのサーボ制御に関わる部分の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the part in connection with the servo control of an application | coating unit. 塗布ユニットによるペースト断面積測定時の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the operation | movement at the time of the paste cross-sectional area measurement by a coating unit.

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る塗布装置を適用したペースト塗布システムの平面図である。図１に示すペースト塗布システム１０は、液晶表示パネルの製造に際して、ガラス基板５０に塗布液としての液晶封止用のペーストを環状に塗布するものである。ペースト塗布システム１０は、本発明の実施の形態に係る塗布装置を構成する塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４と、基板受け渡し機構３０と、搬送ロボット４０とにより構成される。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a paste coating system to which a coating apparatus according to an embodiment of the present invention is applied. A paste coating system 10 shown in FIG. 1 applies a liquid crystal sealing paste as a coating liquid in a ring shape to a glass substrate 50 when a liquid crystal display panel is manufactured. The paste coating system 10 includes coating units 20-1, 20-2, 20-3, and 20-4, a substrate delivery mechanism 30, and a transport robot 40 that constitute the coating apparatus according to the embodiment of the present invention. Is done.

ペースト塗布の対象となるガラス基板５０は、基板受け渡し機構３０における上流端３２に配置される。搬送ロボット４０は、基板受け渡し機構３０の延在方向（図１における方向Ａ）に移動可能であり、図１における方向Ｂに回転可能である。この搬送ロボット４０は、基板受け渡し機構３０における上流端３２に配置されたガラス基板５０を搬送し、塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４に随時配置する。 The glass substrate 50 to be applied with paste is disposed at the upstream end 32 of the substrate delivery mechanism 30. The transfer robot 40 can move in the extending direction of the substrate delivery mechanism 30 (direction A in FIG. 1), and can rotate in the direction B in FIG. The transport robot 40 transports the glass substrate 50 disposed at the upstream end 32 of the substrate delivery mechanism 30 and places it on the coating units 20-1, 20-2, 20-3 and 20-4 as needed.

塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４は、配置されたガラス基板５０の表面にペーストを塗布する。ペースト塗布は、搬送ロボット４０によるガラス基板５０の搬送等と比較して時間を要するため、これら塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４が並列的に稼動することにより、時間短縮を図り、生産性を向上させることができる。 The coating units 20-1, 20-2, 20-3, and 20-4 apply a paste to the surface of the glass substrate 50 that is disposed. Since paste application takes time compared with conveyance of the glass substrate 50 by the conveyance robot 40, etc., by operating these application units 20-1, 20-2, 20-3 and 20-4 in parallel, Time can be shortened and productivity can be improved.

ガラス基板５０にペーストが塗布された後、搬送ロボット４０は、塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４からペースト塗布後のガラス基板５０を随時取り出して搬送し、基板受け渡し機構３０における下流端３４に配置する。このような一連の動作によって、ガラス基板５０の表面にペーストが塗布される。 After the paste is applied to the glass substrate 50, the transfer robot 40 takes out the glass substrate 50 after applying the paste from the application units 20-1, 20-2, 20-3, and 20-4 as needed and transfers the substrate. Located at the downstream end 34 of the mechanism 30. By such a series of operations, the paste is applied to the surface of the glass substrate 50.

図２（ａ）は、塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４（以下、これら塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４をまとめて、適宜「塗布ユニット２０」と称する）の外観斜視図である。また、図２（ｂ）は塗布ユニット２０内の各部の移動方向を説明するための座標空間である。 FIG. 2A shows coating units 20-1, 20-2, 20-3, and 20-4 (hereinafter, these coating units 20-1, 20-2, 20-3, and 20-4 are combined together as appropriate. It is an external perspective view of “application unit 20”). FIG. 2B is a coordinate space for explaining the moving direction of each part in the coating unit 20.

図２（ａ）に示す塗布ユニット２０は、筐体１１１、塗布ノズル部１１２−１及び１１２−２、レーザセンサ１１３−１及び１１３−２、カメラ１１４−１及び１１４−２、コラム１１５、基板ステージ１１６、ＸＹθ移動装置１１８、断面積センサ１２０−１及び１２０−２により構成される。 2A includes a casing 111, coating nozzle portions 112-1 and 112-2, laser sensors 113-1 and 113-2, cameras 114-1 and 114-2, a column 115, and a substrate. It comprises a stage 116, an XYθ moving device 118, and cross-sectional area sensors 120-1 and 120-2.

筐体１１１には、コラム１１５が取り付けられている。塗布ノズル部１１２−１、レーザセンサ１１３−１、カメラ１１４−１及び断面積センサ１２０−１は、一体となってヘッド１１０−１を構成しており、コラム１１５に対して図２（ｂ）に示すＸ方向及びＺ方向に移動可能に取り付けられている。同様に、塗布ノズル部１１２−２、レーザセンサ１１３−２、カメラ１１４−２及び断面積センサ１２０−２は、一体となってヘッド１１０−２を構成しており、コラム１１５に対して図２（ｂ）に示すＸ方向及びＺ方向に移動可能に取り付けられている。このように複数のヘッド１１０−１及び１１０−２を設けることにより、ガラス基板５０を複数の子基板に分けて、それぞれの子基板に対してペーストを塗布する際に、ヘッド１１０−１及び１１０−２（以下、ヘッド１１０−１及び１１０−２をまとめて、適宜「ヘッド１１０」と称する）を同時並行的に稼動させることで、時間短縮を図り、生産性を向上させることができる。 A column 115 is attached to the casing 111. The coating nozzle part 112-1, the laser sensor 113-1, the camera 114-1, and the cross-sectional area sensor 120-1 are integrated to form the head 110-1, and the column 115 is shown in FIG. It is attached to be movable in the X and Z directions. Similarly, the coating nozzle unit 112-2, the laser sensor 113-2, the camera 114-2, and the cross-sectional area sensor 120-2 integrally constitute a head 110-2, and the column 115 is shown in FIG. It is attached to be movable in the X and Z directions shown in (b). By providing the plurality of heads 110-1 and 110-2 in this way, when the glass substrate 50 is divided into a plurality of child substrates and paste is applied to each child substrate, the heads 110-1 and 110 are provided. -2 (hereinafter, the heads 110-1 and 110-2 are collectively referred to as "head 110" as appropriate) can be operated simultaneously and in parallel, thereby reducing time and improving productivity.

基板ステージ１１６は、図２（ｂ）のＸ方向及びＹ方向に移動可能であって、且つ、θ方向に微小回転可能なように、下面がＸＹθ移動装置１１８の上面に取り付けられている。この基板ステージ１１６の上面には図示しない吸着穴が形成されている。図１に示す搬送ロボット４０によって搬送されてきたガラス基板５０は、基板ステージ１１６の上面に真空吸着される。 The lower surface of the substrate stage 116 is attached to the upper surface of the XYθ moving device 118 so that the substrate stage 116 can move in the X and Y directions in FIG. 2B and can be slightly rotated in the θ direction. A suction hole (not shown) is formed on the upper surface of the substrate stage 116. The glass substrate 50 transported by the transport robot 40 shown in FIG. 1 is vacuum-sucked on the upper surface of the substrate stage 116.

ＸＹθ移動装置１１８は、上面が基板ステージ１１６の下面と接続されている。また、ＸＹθ移動装置１１８は、図２（ｂ）のＸ方向及びＹ方向に移動可能であって、且つ、θ方向に微小回転可能なように、下面が筐体１１１の上面に取り付けられている。 The upper surface of the XYθ moving device 118 is connected to the lower surface of the substrate stage 116. Further, the XYθ moving device 118 can be moved in the X direction and the Y direction in FIG. 2B, and the lower surface is attached to the upper surface of the casing 111 so that it can be slightly rotated in the θ direction. .

ペースト塗布に先立って、カメラ１１４−１及び１１４−２は、それぞれガラス基板５０の表面を撮影し、当該表面に形成された位置決めのためのマーク（アライメントマーク）を検出する。カメラ１１４−１及び１１４−２の撮影によってアライメントマークが検出されると、ガラス基板５０の表面においてペーストを塗布すべき位置が、当該アライメントマークからの相対位置によって特定される。その後、ヘッド１１０−１及び１１０−２は、それぞれサーボ制御によって、ガラス基板５０における子基板の配列ピッチに応じて、図２（ｂ）に示すＸ方向にそれぞれ独立して適宜移動する。ヘッド１１０移動時のサーボ制御の詳細については後述する。 Prior to applying the paste, the cameras 114-1 and 114-2 each photograph the surface of the glass substrate 50 and detect a positioning mark (alignment mark) formed on the surface. When the alignment mark is detected by photographing with the cameras 114-1 and 114-2, the position where the paste should be applied on the surface of the glass substrate 50 is specified by the relative position from the alignment mark. Thereafter, the heads 110-1 and 110-2 are appropriately moved independently in the X direction shown in FIG. 2B according to the arrangement pitch of the sub-substrates on the glass substrate 50 by servo control. Details of the servo control when moving the head 110 will be described later.

ペーストを塗布すべき位置が特定された後、塗布ノズル部１１２−１及び１１２−２は、直下に配置されたガラス基板５０の表面に向けてノズルの先端からペーストを吐出する。 After the position where the paste is to be applied is specified, the application nozzles 112-1 and 112-2 discharge the paste from the tip of the nozzle toward the surface of the glass substrate 50 arranged immediately below.

図３は、塗布ノズル部１１２−１の構成を示す図である。図３に示す塗布ノズル部１１２−１は、シリンジ１４０及びノズル１４２により構成される。なお、塗布ノズル部１１２−２も同様の構成である。シリンジ１４０は、ペーストを充填する容器である。シリンジ１４０内に充填されたペーストは、当該シリンジ１４０内の気圧が増加すると、ノズル１４２へ押し出される。ノズル１４２は、シリンジ１４０の下端に着脱可能であって、先端の吐出口１４３が基板ステージ１１６上のガラス基板５０に対向するように配置される。このノズル１４２は、シリンジ１４０から押し出されるペーストを先端の吐出口１４３からガラス基板５０に向けて吐出する。また、塗布ノズル部１１２−１は、図２（ｂ）のＺ方向に上下動する。同様に、塗布ノズル部１１２−２も、図２（ｂ）のＺ方向に上下動する。 FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of the application nozzle unit 112-1. The application nozzle unit 112-1 shown in FIG. 3 includes a syringe 140 and a nozzle 142. The application nozzle unit 112-2 has the same configuration. The syringe 140 is a container for filling a paste. The paste filled in the syringe 140 is pushed out to the nozzle 142 when the atmospheric pressure in the syringe 140 increases. The nozzle 142 is attachable to and detachable from the lower end of the syringe 140, and is arranged so that the discharge port 143 at the tip faces the glass substrate 50 on the substrate stage 116. The nozzle 142 discharges the paste extruded from the syringe 140 toward the glass substrate 50 from the discharge port 143 at the tip. Moreover, the application nozzle part 112-1 moves up and down in the Z direction of FIG. Similarly, the coating nozzle part 112-2 also moves up and down in the Z direction in FIG.

ペースト塗布時において、ＸＹθ移動装置１１８は、サーボ制御によって、図２（ｂ）のＸ方向及びＹ方向に適宜移動するとともに、θ方向に適宜微小回転する。これにより、ＸＹθ移動装置１１８の上面に取り付けられた基板ステージ１１６が移動し、更には、基板ステージ１１６に吸着されたガラス基板５０が塗布すべきペーストの塗布パターンに合わせて移動する。基板ステージ１１６の移動時のサーボ制御の詳細については後述する。 At the time of applying the paste, the XYθ moving device 118 appropriately moves in the X and Y directions in FIG. 2B and rotates slightly in the θ direction as appropriate under servo control. Thereby, the substrate stage 116 attached to the upper surface of the XYθ moving device 118 moves, and further, the glass substrate 50 adsorbed on the substrate stage 116 moves according to the application pattern of the paste to be applied. Details of servo control during movement of the substrate stage 116 will be described later.

レーザセンサ１１３−１は、ガラス基板５０までの距離を測定するものであり、この測定値からノズル１４２の吐出口１４３とガラス基板５０の表面との間の距離を検出可能とする。同様に、レーザセンサ１１３−２は、ガラス基板５０までの距離を測定するものであり、この測定値からノズル１４２の吐出口１４３とガラス基板５０の表面との間の距離を検出可能とする。検出値が予め定められた所定範囲内でない場合には、塗布されるペーストの断面積が所望の断面積でなくなる可能性が高い。塗布ノズル部１１２−１及び１１２−２が図２（ｂ）のＺ方向に移動することによって、ノズル１４２の先端とガラス基板５０との間の距離が所定範囲内となるように制御される。 The laser sensor 113-1 measures the distance to the glass substrate 50, and the distance between the discharge port 143 of the nozzle 142 and the surface of the glass substrate 50 can be detected from this measured value. Similarly, the laser sensor 113-2 measures the distance to the glass substrate 50, and the distance between the discharge port 143 of the nozzle 142 and the surface of the glass substrate 50 can be detected from this measured value. When the detected value is not within a predetermined range, it is highly possible that the cross-sectional area of the paste to be applied is not a desired cross-sectional area. The application nozzle portions 112-1 and 112-2 are moved in the Z direction in FIG. 2B, so that the distance between the tip of the nozzle 142 and the glass substrate 50 is controlled within a predetermined range.

断面積センサ１２０−１は、測定手段の一部を構成し、ガラス基板５０に塗布されたペーストまでの距離を測定するものであり、この測定値からペーストの断面積を測定検出可能とする。同様に、断面積センサ１２０−２は、測定手段の一部を構成し、ガラス基板５０に塗布されたペーストまでの距離を測定するものであり、この測定値からペーストの断面積を測定検出可能とする。 The cross-sectional area sensor 120-1 constitutes a part of the measuring means and measures the distance to the paste applied to the glass substrate 50. The cross-sectional area of the paste can be measured and detected from this measured value. Similarly, the cross-sectional area sensor 120-2 constitutes a part of the measuring means and measures the distance to the paste applied to the glass substrate 50. The cross-sectional area of the paste can be measured and detected from this measured value. And

図４は、断面積センサ１２０−１によるガラス基板５０に塗布されたペーストまでの距離測定の一例を示す斜視図であり、図５は側面図、図６は側面拡大図である。これら図４乃至図６に示すように、断面積センサ１２０−１は、ガラス基板５０に塗布されたペースト６０が直下に位置したタイミングで、光入出口１２１からレーザ光を照射する。この際、図６に示すように、断面積センサ１２０−１は、光入出口１２１からペースト６０の表面の複数の箇所に向けてレーザ光を照射するとともに、当該ペースト６０の周囲のガラス基板５０の上面に向けてレーザ光を照射する。 4 is a perspective view showing an example of a distance measurement to the paste applied to the glass substrate 50 by the cross-sectional area sensor 120-1, FIG. 5 is a side view, and FIG. 6 is an enlarged side view. As shown in FIGS. 4 to 6, the cross-sectional area sensor 120-1 irradiates the laser beam from the light inlet / outlet 121 at the timing when the paste 60 applied to the glass substrate 50 is located immediately below. At this time, as shown in FIG. 6, the cross-sectional area sensor 120-1 irradiates laser light from the light inlet / outlet 121 toward a plurality of locations on the surface of the paste 60, and the glass substrate 50 around the paste 60. A laser beam is irradiated toward the upper surface of the substrate.

更に、断面積センサ１２０−１は、光入出口１２１を介してガラス基板５０上のペースト６０にレーザ光を照射し、ペースト６０で反射された光を再び光入出口１２１を介して検出し、その検出値を後述するシステムコントローラ２２０へ出力する。この断面積センサ１２０−１には、キーエンス社製のＬＴ−９０００シリーズやＬＪ−Ｇシリーズを用いることができる。断面積センサ１２０−２も同様である。これら断面積センサ１２０−１及び１２０−２とシステムコントローラ２２０とで、測定手段を構成する。 Further, the cross-sectional area sensor 120-1 irradiates the paste 60 on the glass substrate 50 with laser light through the light entrance / exit 121, and detects the light reflected by the paste 60 again through the light entrance / exit 121, The detected value is output to the system controller 220 described later. As this cross-sectional area sensor 120-1, LT-9000 series and LJ-G series made by Keyence Corporation can be used. The same applies to the cross-sectional area sensor 120-2. These cross-sectional area sensors 120-1 and 120-2 and the system controller 220 constitute a measuring means.

次に、ヘッド１１０と基板ステージ１１６の移動時におけるサーボ制御の詳細について説明する。図７は、塗布ユニット２０のサーボ制御に関わる部分の構成を示す図である。なお、以下においては、ヘッド１１０−１を含んだ構成について説明するが、ヘッド１１０−２を含んだ構成の場合も同様である。 Next, details of servo control during movement of the head 110 and the substrate stage 116 will be described. FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration of a portion related to servo control of the coating unit 20. In the following, the configuration including the head 110-1 will be described, but the same applies to the configuration including the head 110-2.

図７に示すように、塗布ユニット２０は、駆動機構を構成するサーボモータ２０２、エンコーダ２０３、駆動軸２０４、サーボモータ２０６、エンコーダ２０７、駆動軸２０８、サーボモータ２１０、エンコーダ２１１、駆動軸２１２及びサーボドライバ２２２と、制御手段及び測定手段に対応するシステムコントローラ２２０とを有する。サーボドライバ２２２は、サーボ制御部２２２ａとサーボ電源回路部２２２ｂとを備え、サーボ制御部２２２ａには、システムコントローラ２２０から位置指令信号が送信される。位置指令信号を受けたサーボ制御部２２２ａは、上記位置指令信号に基づき、サーボ電源回路部２２２ｂから各サーボモータ２０２、２０６及び２１０へ指令を実現するための電力を供給する。 As shown in FIG. 7, the coating unit 20 includes a servo motor 202, an encoder 203, a drive shaft 204, a servo motor 206, an encoder 207, a drive shaft 208, a servo motor 210, an encoder 211, a drive shaft 212, and a drive mechanism. It has a servo driver 222 and a system controller 220 corresponding to control means and measurement means. The servo driver 222 includes a servo control unit 222a and a servo power supply circuit unit 222b, and a position command signal is transmitted from the system controller 220 to the servo control unit 222a. The servo control unit 222a that has received the position command signal supplies electric power for realizing the command from the servo power supply circuit unit 222b to each of the servo motors 202, 206, and 210 based on the position command signal.

塗布ユニット２０は、作業者により不図示の主電源が投入されることによって外部電源から各部（システムコントローラ２２０、サーボドライバ２２２等）へ電力が供給される。サーボドライバ２２２に電力が供給されると、サーボ制御部２２２ａによる各サーボモータ２０２、２０６及び２１０のサーボ制御が開始される。具体的には、システムコントローラ２２０から位置指令信号がないときには、サーボ制御部２２２ａが各エンコーダ２０３、２０７及び２１１からの出力信号に基づき、各サーボモータ２０２、２０６及び２１０が現在位置を維持するように制御し、システムコントローラ２２０から位置指令信号が出されたときには、各エンコーダ２０３、２０７及び２１１からの出力信号を取り込みつつ、指令位置に従って移動するように、各サーボモータ２０２、２０６及び２１０の駆動を制御する。このサーボ制御の際、サーボ制御部２２２ａは、サーボ電源回路部２２２ｂに対して所定の電力の供給指令を出力する。また、システムコントローラ２２０は、サーボ制御の停止に際し、サーボ電源回路部２２２ｂからサーボモータ２０２、２０６及び２１０への電力供給を停止させる。これは例えば、外部電源とサーボ電源回路部２２２ｂとの間に不図示の遮断スイッチを設けておき、この遮断スイッチをシステムコントローラ２２０が制御することで、外部電源からサーボ電源回路部２２２ｂへの電力の供給を遮断したり、或いは、サーボ制御部２２２ａに当該サーボ制御部２２２ａとサーボ電源回路部２２２ｂとの間の通信を遮断する遮断回路を組み込んでおき、この遮断回路をシステムコントローラ２２０からの指令に基づき、サーボ制御部２２２ａが制御して、サーボ電源回路部２２２ｂから各サーボモータ２０２、２０６及び２１０への電力の供給を遮断したりすることによって行うことができる。 The application unit 20 is supplied with electric power from an external power supply to each unit (system controller 220, servo driver 222, etc.) when a main power supply (not shown) is turned on by an operator. When power is supplied to the servo driver 222, servo control of the servo motors 202, 206, and 210 by the servo control unit 222a is started. Specifically, when there is no position command signal from the system controller 220, the servo control unit 222a is based on output signals from the encoders 203, 207, and 211 so that the servo motors 202, 206, and 210 maintain the current position. When a position command signal is output from the system controller 220, the servo motors 202, 206, and 210 are driven so as to move in accordance with the command position while receiving output signals from the encoders 203, 207, and 211. To control. During the servo control, the servo control unit 222a outputs a predetermined power supply command to the servo power supply circuit unit 222b. Further, the system controller 220 stops the power supply from the servo power circuit 222b to the servo motors 202, 206, and 210 when the servo control is stopped. For example, a cutoff switch (not shown) is provided between the external power supply and the servo power supply circuit unit 222b, and the system controller 220 controls this cutoff switch, so that power from the external power supply to the servo power supply circuit unit 222b is obtained. Or the servo control unit 222a is incorporated with a cutoff circuit that cuts off the communication between the servo control unit 222a and the servo power supply circuit unit 222b. The servo control unit 222a can control the power supply to the servo motors 202, 206 and 210 from the servo power supply circuit unit 222b.

サーボモータ２０２及び駆動軸２０４は、基板ステージ１１６を、図２（ｂ）に示すＹ方向に移動させるものである。サーボドライバ２２２からの指令によってサーボモータ２０２が駆動すると、当該サーボモータ２０２に取り付けられた駆動軸２０４が回転する。そして、駆動軸２０４に接続された基板ステージ１１６が、図２（ｂ）に示すＹ方向にスライド移動する。 The servo motor 202 and the drive shaft 204 are for moving the substrate stage 116 in the Y direction shown in FIG. When the servo motor 202 is driven by a command from the servo driver 222, the drive shaft 204 attached to the servo motor 202 rotates. Then, the substrate stage 116 connected to the drive shaft 204 slides in the Y direction shown in FIG.

サーボモータ２０６及び駆動軸２０８は、基板ステージ１１６を、図２（ｂ）に示すＸ方向に移動させるものである。サーボドライバ２２２からの指令によってサーボモータ２０６が駆動すると、当該サーボモータ２０６に取り付けられた駆動軸２０８が回転する。そして、駆動軸２０８に接続された基板ステージ１１６が、図２（ｂ）に示すＸ方向にスライド移動する。 The servo motor 206 and the drive shaft 208 are for moving the substrate stage 116 in the X direction shown in FIG. When the servo motor 206 is driven by a command from the servo driver 222, the drive shaft 208 attached to the servo motor 206 rotates. Then, the substrate stage 116 connected to the drive shaft 208 slides in the X direction shown in FIG.

サーボモータ２１０及び駆動軸２１２は、塗布ノズル部１１２−１及び断面積センサ１２０−１を含むヘッド１１０−１を、図２（ｂ）に示すＸ方向に移動させるものである。サーボドライバ２２２からの指令によってサーボモータ２１０が駆動すると、当該サーボモータ２１０に取り付けられた駆動軸２１２が回転する。そして、駆動軸２１２に取り付けられたヘッド１１０−１が、図２（ｂ）に示すＸ方向にスライド移動する。 The servo motor 210 and the drive shaft 212 move the head 110-1 including the coating nozzle part 112-1 and the cross-sectional area sensor 120-1 in the X direction shown in FIG. When the servo motor 210 is driven by a command from the servo driver 222, the drive shaft 212 attached to the servo motor 210 rotates. Then, the head 110-1 attached to the drive shaft 212 slides in the X direction shown in FIG.

エンコーダ２０３は、サーボモータ２０２の回転量を検出して、サーボドライバ２２２へ出力する。同様に、エンコーダ２０７は、サーボモータ２０６の回転量を検出して、サーボドライバ２２２へ出力し、エンコーダ２１１は、サーボモータ２１０の回転量を検出して、サーボドライバ２２２へ出力する。 The encoder 203 detects the rotation amount of the servo motor 202 and outputs it to the servo driver 222. Similarly, the encoder 207 detects the rotation amount of the servo motor 206 and outputs it to the servo driver 222, and the encoder 211 detects the rotation amount of the servo motor 210 and outputs it to the servo driver 222.

サーボドライバ２２２は、エンコーダ２０３からの出力値と、エンコーダ２０７からの出力値とに基づいて、基板ステージ１１６のＸ方向位置及びＹ方向位置を算出する。更に、サーボドライバ２２２は、算出したそれぞれの位置に基づいて、基板ステージ１１６の位置調整のためにサーボモータ２０２及び２０６を制御する。例えば、それまでサーボモータ２０２が正回転で駆動していて、基板ステージ１１６がシステムコントローラ２２０による指令位置を通過してしまった場合には、サーボモータ２０２を逆回転で駆動させるように制御する。 The servo driver 222 calculates the X direction position and the Y direction position of the substrate stage 116 based on the output value from the encoder 203 and the output value from the encoder 207. Further, the servo driver 222 controls the servo motors 202 and 206 for adjusting the position of the substrate stage 116 based on the calculated positions. For example, when the servo motor 202 has been driven in the forward direction and the substrate stage 116 has passed the command position by the system controller 220, the servo motor 202 is controlled to be driven in the reverse direction.

同様に、サーボドライバ２２２は、エンコーダ２１１からの出力値を入力すると、当該出力値に基づいて、ヘッド１１０−１内の塗布ノズル部１１２−１のノズル１４２の吐出口１４３の位置や、断面積センサ１２０−１の光入出口１２１の位置を算出する。更に、サーボドライバ２２２は、算出した位置に基づいて、吐出口１４３や光入出口１２１の位置調整のためにサーボモータ２１０を制御する。 Similarly, when the servo driver 222 receives an output value from the encoder 211, based on the output value, the position of the discharge port 143 of the nozzle 142 of the coating nozzle portion 112-1 in the head 110-1 and the cross-sectional area. The position of the light entrance / exit 121 of the sensor 120-1 is calculated. Further, the servo driver 222 controls the servo motor 210 for adjusting the positions of the discharge port 143 and the light entrance / exit 121 based on the calculated position.

このようなフィードバック制御であるサーボ制御によって、基板ステージ１１６や、塗布ノズル部１１２−１のノズル１４２の吐出口１４３、断面積センサ１２０−１の光入出口１２１の位置が調整される。 The position of the substrate stage 116, the discharge port 143 of the nozzle 142 of the coating nozzle unit 112-1, and the light inlet / outlet port 121 of the cross-sectional area sensor 120-1 are adjusted by such servo control as feedback control.

次に、塗布ユニット２０によるペースト６０の断面積測定時動作を、フローチャートを参照しつつ説明する。図８は、塗布ユニット２０よるペースト６０の断面積測定時の動作を示すフローチャートである。なお、以下においては、断面積センサ１２０−１を有するヘッド１１０−１について説明するが、断面積センサ１２０−２を有するヘッド１１０−２についても同様である。 Next, the operation at the time of measuring the cross-sectional area of the paste 60 by the coating unit 20 will be described with reference to a flowchart. FIG. 8 is a flowchart showing the operation when measuring the cross-sectional area of the paste 60 by the coating unit 20. In the following description, the head 110-1 having the sectional area sensor 120-1 will be described, but the same applies to the head 110-2 having the sectional area sensor 120-2.

作業者により不図示の主電源が投入されることによって、外部電源からサーボドライバ２２２への電力の供給が開始される。サーボドライバ２２２は、外部からの電力の供給が開始されると、サーボ制御を開始する（Ｓ１０１）。 When the operator turns on the main power supply (not shown), the supply of power from the external power supply to the servo driver 222 is started. The servo driver 222 starts servo control when power supply from the outside is started (S101).

その後、システムコントローラ２２０の指令に基づき、カメラ１１４−１がガラス基板５０の表面を撮影することによってアライメントマークが検出されると、ガラス基板５０の表面においてペーストを塗布すべき位置が、当該アライメントマークからの相対位置によって特定される。そして、ヘッド１１０−１は、サーボ制御によって、ノズル１４２の吐出口１４３の直下がガラス基板５０におけるペースト６０を塗布すべき位置となるように移動し、ペースト６０が吐出され、基板ステージ１１６のＸ方向及びＹ方向の移動によってガラス基板５０に所定のパターンでペースト６０が塗布される（Ｓ１０２）。 Thereafter, when the alignment mark is detected by the camera 114-1 photographing the surface of the glass substrate 50 based on a command from the system controller 220, the position where the paste is to be applied on the surface of the glass substrate 50 is determined. Specified by relative position from Then, the head 110-1 is moved by servo control so that the position immediately below the discharge port 143 of the nozzle 142 is a position where the paste 60 is to be applied on the glass substrate 50, and the paste 60 is discharged. The paste 60 is applied in a predetermined pattern on the glass substrate 50 by the movement in the direction and the Y direction (S102).

その後、システムコントローラ２２０は、ガラス基板５０に塗布されたペースト６０の断面積を測定するタイミングになったか否かを判定する（Ｓ１０３）。例えば、システムコントローラ２２０は、所定枚数のガラス基板５０に対してペースト６０を塗布する毎に、ペースト６０の断面積を測定するタイミングになったと判定する。 Thereafter, the system controller 220 determines whether or not it is time to measure the cross-sectional area of the paste 60 applied to the glass substrate 50 (S103). For example, the system controller 220 determines that it is time to measure the cross-sectional area of the paste 60 every time the paste 60 is applied to a predetermined number of glass substrates 50.

ペースト６０の断面積を測定するタイミングでない場合には、Ｓ１０２におけるペースト６０の塗布が継続される。 If it is not time to measure the cross-sectional area of the paste 60, the application of the paste 60 in S102 is continued.

一方、ペースト６０の断面積を測定するタイミングである場合には、システムコントローラ２２０は、断面積センサ１２０−１の光入出口１２１の直下が、ガラス基板５０に塗布されたペースト６０の断面積の測定箇所となるように、ヘッド１２０−１や基板ステージ１１６を移動させるべく、サーボドライバ２２２に対して、位置指令信号を出力する。位置指令信号を受けたサーボドライバ２２２は、指令を実現すべく、サーボモータ２０２、２０６及び２１０を正回転又は逆回転させる制御を行う。 On the other hand, when it is time to measure the cross-sectional area of the paste 60, the system controller 220 determines that the cross-sectional area of the paste 60 applied to the glass substrate 50 is directly below the light inlet / outlet 121 of the cross-sectional area sensor 120-1. A position command signal is output to the servo driver 222 in order to move the head 120-1 and the substrate stage 116 so as to be a measurement location. The servo driver 222 that has received the position command signal performs control to rotate the servo motors 202, 206, and 210 forward or backward in order to realize the command.

通常、１枚のガラス基板５０に対して、当該ガラス基板５０に塗布されたペースト６０の断面積の測定箇所は複数存在する。このため、システムコントローラ２２０は、断面積センサ１２０−１の光入出口１２１の直下が、ガラス基板５０に塗布されたペースト６０の断面積の測定箇所のうちの未測定のいずれかの測定箇所となるように、サーボドライバ２２２に対して、位置指令信号を出力する。 Usually, for one glass substrate 50, there are a plurality of measurement points of the cross-sectional area of the paste 60 applied to the glass substrate 50. For this reason, the system controller 220 is configured such that the measurement area of the cross-sectional area of the paste 60 applied to the glass substrate 50 is not measured immediately below the light inlet / outlet 121 of the cross-sectional area sensor 120-1. Thus, a position command signal is output to the servo driver 222.

サーボドライバ２２２は、この指令に応じて、サーボモータ２０２、２０６及び２１０を正回転又は逆回転させるべく、これらサーボモータ２０２、２０６及び２１０へ所定の電力の供給を行う。これにより、サーボ制御によって、サーボモータ２０２及び２０６が正回転又は逆回転を行い、基板ステージ１１６が移動するとともに、サーボモータ２１０が正回転または逆回転を行って、ヘッド１１０−１が移動し、断面積センサ１２０−１の光入出口１２１の直下が、ガラス基板５０に塗布されたペースト６０の断面積の測定箇所となる（Ｓ１０４）。 In response to this command, the servo driver 222 supplies predetermined power to the servo motors 202, 206, and 210 in order to rotate the servo motors 202, 206, and 210 in the forward or reverse direction. As a result, the servo motors 202 and 206 rotate forward or backward by servo control, the substrate stage 116 moves, the servo motor 210 rotates forward or backward, and the head 110-1 moves, Immediately below the light inlet / outlet 121 of the cross-sectional area sensor 120-1 is a measurement location of the cross-sectional area of the paste 60 applied to the glass substrate 50 (S104).

次に、システムコントローラ２２０は、上述の遮断スイッチ或いは遮断回路を制御し、サーボモータ２０２、２０６及び２１０への電力供給を停止させる。これにより、サーボ制御が停止する（Ｓ１０５）。なお、エンコーダ２０３、２０７及び２１１への電力供給は継続している。 Next, the system controller 220 controls the above-described cutoff switch or cutoff circuit to stop the power supply to the servo motors 202, 206, and 210. Thereby, the servo control is stopped (S105). The power supply to the encoders 203, 207, and 211 is continued.

その後、断面積センサ１２０−１は、光入出口１２１からペースト６０の表面の複数の箇所及び当該ペースト６０の周囲のガラス基板５０の上面に向けてレーザ光を照射し、反射したレーザ光を光入出口１２１で受ける。断面積センサ１２０−１は、このときの距離測定値をシステムコントローラ２２０へ出力する。 Thereafter, the cross-sectional area sensor 120-1 irradiates laser light from the light inlet / outlet 121 toward a plurality of locations on the surface of the paste 60 and the upper surface of the glass substrate 50 around the paste 60, and reflects the reflected laser light. Receive at entrance 121. The sectional area sensor 120-1 outputs the distance measurement value at this time to the system controller 220.

システムコントローラ２２０は、これらの距離算出値に基づいて、ガラス基板５０に塗布されたペースト６０の断面積を測定する（Ｓ１０６）。ここでは、図６を参照すると、システムコントローラ２２０は、周囲よりも距離算出値が小さい部分をペースト６０の部分であると判断し、その周囲よりも距離算出値が小さい部分の水平方向の長さをペースト６０の幅として得る。また、システムコントローラ２２０は、周囲よりも距離算出値が小さい部分における最小の距離算出値と周囲の距離算出値との差をペースト６０の高さとして得る。そして、システムコントローラ２２０は、これらペースト６０の幅と高さとに基づいて、当該ペースト６０の断面積を算出することができる。 The system controller 220 measures the cross-sectional area of the paste 60 applied to the glass substrate 50 based on these distance calculation values (S106). Here, referring to FIG. 6, the system controller 220 determines that the portion with the calculated distance value smaller than the surrounding area is the portion of the paste 60, and the horizontal length of the portion with the calculated distance value smaller than the surrounding area. Is obtained as the width of the paste 60. Further, the system controller 220 obtains the difference between the minimum distance calculation value and the surrounding distance calculation value in the portion where the distance calculation value is smaller than the surrounding area as the height of the paste 60. Then, the system controller 220 can calculate the cross-sectional area of the paste 60 based on the width and height of the paste 60.

今回の測定箇所でのペースト６０の断面積の測定が完了したら、システムコントローラ２２０は、上述の遮断スイッチ或いは遮断回路を制御し、サーボ制御を再開させる（Ｓ１０７）。なお、サーボ制御の停止中も、エンコーダ２０３、２０７及び２１１への電力供給は継続した状態であるため、エンコーダ２０３、２０７及び２１１の出力値がサーボドライバのサーボ制御部２２２ａに入力されるので、基板ステージ１１６やヘッド１１０−１の位置が不明になることはない。 When the measurement of the cross-sectional area of the paste 60 at the current measurement location is completed, the system controller 220 controls the above-described cutoff switch or cutoff circuit to resume servo control (S107). In addition, since the power supply to the encoders 203, 207, and 211 continues even while the servo control is stopped, the output values of the encoders 203, 207, and 211 are input to the servo control unit 222a of the servo driver. The positions of the substrate stage 116 and the head 110-1 do not become unknown.

次に、システムコントローラ２２０は、ガラス基板５０に塗布されたペースト６０の断面積の測定箇所のうち、未測定の測定箇所が存在するか否かを判定する（Ｓ１０８）。未測定の測定箇所が存在する場合には、Ｓ１０４において、断面積センサ１２０−１の光入出口１２１の直下が、その未測定の測定箇所となるように、ヘッド１１０−１及び基板ステージ１１６を移動させる動作が行われ、その後Ｓ１０４乃至Ｓ１０７の動作が繰り返される。 Next, the system controller 220 determines whether there is an unmeasured measurement location among the measurement locations of the cross-sectional area of the paste 60 applied to the glass substrate 50 (S108). When there is an unmeasured measurement location, in S104, the head 110-1 and the substrate stage 116 are set so that the measurement location immediately below the light input / output port 121 of the cross-sectional area sensor 120-1 is the unmeasured measurement location. The movement operation is performed, and then the operations of S104 to S107 are repeated.

一方、未測定の測定箇所が存在しない場合には、ガラス基板５０へのペースト６０の塗布（Ｓ１０２）へ戻り、以降の動作が繰り返される。なお、システムコントローラ２２０は、上述のＳ１０６でのペースト６０の断面積の算出結果に応じた制御を行うことができる。例えば、システムコントローラ２２０は、複数の測定箇所でそれぞれ算出したペースト６０の断面積が許容値内であるか否かを個々に判別し、許容値を外れた測定箇所が１箇所でもあった場合には、異常として以降のガラス基板５０に対するペースト６０の塗布を中断したり、断面積に異常が生じた旨を作業者に報知したりする制御を行なう。また、システムコントローラ２２０は、複数の測定箇所でそれぞれ算出したペースト６０の断面積を平均し、その平均値と基準値との比較によってシリンジ１４０内に供給する気体圧力を増減させるように制御することも可能である。この場合、ペースト６０の断面積の平均値が基準値よりも大きい場合には、シリンジ１４０内に供給する気体の圧力を低下させ、これによりノズル１４２からのペースト６０の吐出量を減少させる。また、ペースト６０の断面積の平均値が基準値よりも小さい場合には、シリンジ１４０内に供給する気体の圧力を上昇させ、これによりノズル１４２からのペースト６０の吐出量を増加させる。 On the other hand, when there is no unmeasured measurement location, the process returns to the application of the paste 60 to the glass substrate 50 (S102), and the subsequent operations are repeated. The system controller 220 can perform control according to the calculation result of the cross-sectional area of the paste 60 in S106 described above. For example, the system controller 220 individually determines whether or not the cross-sectional area of the paste 60 calculated at each of a plurality of measurement locations is within an allowable value, and when there is even one measurement location that is outside the allowable value. Controls to interrupt the subsequent application of the paste 60 to the glass substrate 50 as an abnormality, or to notify the operator that an abnormality has occurred in the cross-sectional area. In addition, the system controller 220 averages the cross-sectional areas of the paste 60 calculated at each of a plurality of measurement locations, and controls to increase or decrease the gas pressure supplied into the syringe 140 by comparing the average value with a reference value. Is also possible. In this case, when the average value of the cross-sectional area of the paste 60 is larger than the reference value, the pressure of the gas supplied into the syringe 140 is lowered, thereby reducing the discharge amount of the paste 60 from the nozzle 142. Further, when the average value of the cross-sectional area of the paste 60 is smaller than the reference value, the pressure of the gas supplied into the syringe 140 is increased, thereby increasing the discharge amount of the paste 60 from the nozzle 142.

このように、本実施形態では、塗布ユニット２０は、ガラス基板５０に塗布されたペースト６０の断面積を測定するタイミングでは、基板ステージ１１６やヘッド１１０を移動させるためのサーボモータ２０２、２０６及び２１０に対するサーボ制御を停止させる、すなわち、サーボモータ２０２、２０６及び２１０に対する電力の供給を停止させることにより、これら基板ステージ１１６やヘッド１１０を所定位置に留まらせようとする場合に、位置合わせのためのサーボ制御に伴い、サーボモータ２０２，２０６及び２１０に生じる微小な振動を防止している。従って、断面積センサ１２０−１によって測定される、光入出口１２１からペースト６０の表面までの距離や、光入出口１２１からペースト６０の周辺のガラス基板５０の上面までの距離が振動によって変化することがなく、ペースト６０の断面積の測定を適切に行うことが可能となる。これにより、ガラス基板５０に塗布されたペースト６０の塗布状態を適切に判定することが可能となるので、ペースト６０の塗布品質の信頼性を向上させることができ、ひいては、製造される液晶表示パネルの品質の安定化を図ることができる。 As described above, in the present embodiment, the application unit 20 measures the servo motors 202, 206, and 210 for moving the substrate stage 116 and the head 110 at the timing of measuring the cross-sectional area of the paste 60 applied to the glass substrate 50. When the substrate stage 116 and the head 110 are to be held at predetermined positions by stopping the servo control for the servo motors 202, 206, and 210, by stopping the supply of power to the servo motors 202, 206, and 210, Along with the servo control, minute vibrations generated in the servo motors 202, 206 and 210 are prevented. Therefore, the distance from the light inlet / outlet 121 to the surface of the paste 60 and the distance from the light inlet / outlet 121 to the upper surface of the glass substrate 50 around the paste 60 measured by the cross-sectional area sensor 120-1 are changed by vibration. Therefore, the cross-sectional area of the paste 60 can be appropriately measured. As a result, it is possible to appropriately determine the application state of the paste 60 applied to the glass substrate 50, so that the reliability of the application quality of the paste 60 can be improved, and thus the manufactured liquid crystal display panel The quality of the product can be stabilized.

なお、上述した実施形態では、ヘッド１１０と基板ステージ１１６の双方がサーボ制御によって移動する塗布ユニット２０について説明したが、いずれか一方のみがサーボ制御によって移動する塗布ユニットについても同様に本発明を適用することができる。 In the above-described embodiment, the coating unit 20 in which both the head 110 and the substrate stage 116 are moved by servo control has been described. However, the present invention is similarly applied to a coating unit in which only one of them is moved by servo control. can do.

また、上述した実施形態では、ペースト６０の断面積測定時に、ヘッド１１０と基板ステージ１１６の双方について、これらを移動させるためのサーボ制御を停止させたが、振動によってペースト６０の断面積の測定に誤差を及ぼすものがヘッド１１０及び基板ステージ１１６のいずれか一方のみである場合には、その一方を移動させるサーボ制御をペースト６０の断面積測定時に停止させるサーボ制御として予め定めてメモリ等の記憶部に記憶させておき、予め定められた一方を移動させるサーボ制御のみを、ペースト６０の断面積測定時に停止するようにしてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the servo control for moving both the head 110 and the substrate stage 116 is stopped when measuring the cross-sectional area of the paste 60, but the cross-sectional area of the paste 60 is measured by vibration. When only one of the head 110 and the substrate stage 116 causes an error, a servo control for moving one of the heads 110 and the substrate stage 116 is determined in advance as a servo control for stopping the cross-sectional area of the paste 60, and a storage unit such as a memory In this case, only servo control for moving one of the predetermined positions may be stopped when the cross-sectional area of the paste 60 is measured.

また、上述した実施形態では、システムコントローラ２２０は、ペースト６０の断面積を測定したが、ペーストの断面形状を測定する場合にも、同様にサーボ制御を停止して測定することにより、ペースト６０の断面形状の測定を適切に行うことが可能となる。なお、この場合、図６を参照すると、システムコントローラ２２０は、周囲よりも距離算出値が小さい部分をペースト６０の部分であると判断し、その周囲よりも距離算出値が小さい部分の水平方向の長さをペースト６０の幅として得る。また、システムコントローラ２２０は、周囲よりも距離算出値が小さい部分における最小の距離算出値と周囲の距離算出値との差をペースト６０の高さとして得る。そして、システムコントローラ２２０は、これらペースト６０の幅と高さとに基づいて、当該ペースト６０の断面形状を測定することができる。また、生産用のガラス基板５０に所定のパターンで塗布されたペースト６０の断面積を測定するものとしたが、これに限られるものではなく、検査用の基板に塗布されたパターンの断面積を測定するようにしてもよい。また、塗布液としての液晶封止用のペーストを用いた例で説明したが、これに限られるものではなく、例えば、導電性ペーストや液晶等の他の塗布液であってもよい。また、ヘッドとして圧力気体の供給によってノズルから塗布液を吐出させるエアー式のヘッドの例で説明したが、これに限られるものではなく、例えば、インクジェット式やスクリュー式等の機械式のヘッドでもよい。また、断面積又は断面形状を測定する測定手段としての断面積センサ１２０−１及び１２０−２を例に説明したが、これに限られるものではなく、他のセンサ、例えば、ノズル１４２の吐出口１４３とガラス基板５０の表面との間の距離を検出するためのレーザセンサ１１３−１及び１１３−２を用いて測定するようにしてもよい。すなわち、Ｙ軸方向に沿って線状に塗布されたペースト上をＸ軸方向に横切るようにレーザセンサを移動させる。そして、この移動中におけるレーザセンサの出力値を継続的にシステムコントローラ２２０等の演算機能を備えた装置（演算装置）に取り込み、例えば、その出力値の変化から塗布されたペーストの幅及び高さを求め、幅と高さの乗算値に係数を乗じることで、ペーストの断面積を算出する。なお、レーザセンサ１１３−１及び１１３−２は、サーボモータ２１０の駆動によってＸ軸方向に移動するため、断面積の測定の際には、基板ステージ１１６を移動させるためのサーボモータ２０３及び２０６のサーボ制御を停止させればよい。 In the above-described embodiment, the system controller 220 measures the cross-sectional area of the paste 60. However, when measuring the cross-sectional shape of the paste 60, the servo controller is stopped and measured in the same manner. It is possible to appropriately measure the cross-sectional shape. In this case, referring to FIG. 6, the system controller 220 determines that the portion having the calculated distance value smaller than the surrounding area is the portion of the paste 60, and in the horizontal direction of the portion having the calculated distance value smaller than the surrounding area. The length is obtained as the width of the paste 60. Further, the system controller 220 obtains the difference between the minimum distance calculation value and the surrounding distance calculation value in the portion where the distance calculation value is smaller than the surrounding area as the height of the paste 60. The system controller 220 can measure the cross-sectional shape of the paste 60 based on the width and height of the paste 60. Further, the cross-sectional area of the paste 60 applied to the production glass substrate 50 in a predetermined pattern is measured. However, the present invention is not limited to this, and the cross-sectional area of the pattern applied to the inspection substrate is You may make it measure. Moreover, although the example using the paste for liquid crystal sealing as a coating liquid was demonstrated, it is not restricted to this, For example, other coating liquids, such as an electrically conductive paste and a liquid crystal, may be sufficient. Moreover, although the example of the air-type head which discharges a coating liquid from a nozzle by supply of pressure gas as a head was demonstrated, it is not restricted to this, For example, mechanical heads, such as an ink jet type and a screw type, may be sufficient . Further, the cross-sectional area sensors 120-1 and 120-2 as measuring means for measuring the cross-sectional area or the cross-sectional shape have been described as examples. However, the present invention is not limited to this, and other sensors, for example, the discharge port of the nozzle 142 You may make it measure using the laser sensors 113-1 and 113-2 for detecting the distance between 143 and the surface of the glass substrate 50. FIG. That is, the laser sensor is moved so as to cross the X-axis direction on the paste applied linearly along the Y-axis direction. Then, the output value of the laser sensor during the movement is continuously taken into a device (arithmetic device) having a calculation function such as the system controller 220, for example, the width and height of the paste applied from the change of the output value. And the cross-sectional area of the paste is calculated by multiplying the product of the width and height by a coefficient. Since the laser sensors 113-1 and 113-2 move in the X-axis direction by driving the servo motor 210, the servo motors 203 and 206 for moving the substrate stage 116 are measured when measuring the cross-sectional area. Servo control may be stopped.

本発明に係る塗布装置は、基板に塗布された塗布液の断面積や断面形状の測定を適切に行うことが可能であり、塗布装置として有用である。 The coating apparatus according to the present invention can appropriately measure the cross-sectional area and cross-sectional shape of the coating liquid applied to the substrate, and is useful as a coating apparatus.

１０ペースト塗布システム
２０−１、２０−２、２０−３、２０−４塗布ユニット（塗布装置）
３０基板受け渡し機構
３２上流端
３４下流端
４０搬送ロボット
５０ガラス基板
６０ペースト
１１０−１、１１０−２ヘッド
１１１筐体
１１２−１、１１２−２塗布ノズル部
１１３−１、１１３−２レーザセンサ
１１４−１、１１４−２カメラ
１１５コラム
１１６基板ステージ
１１８ＸＹθ移動装置
１２０−１、１２０−２断面積センサ
１２１光入出口
１４０シリンジ
１４２ノズル
１４３吐出口
２０２、２０６、２１０サーボモータ
２０３、２０７、２１１エンコーダ
２０４、２０８、２１２駆動軸
２２０システムコントローラ
２２２サーボドライバ
２２２ａサーボ制御部
２２２ｂサーボ電源回路部 10 Paste coating system 20-1, 20-2, 20-3, 20-4 Coating unit (coating device)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 30 Substrate delivery mechanism 32 Upstream end 34 Downstream end 40 Transfer robot 50 Glass substrate 60 Paste 110-1, 110-2 Head 111 Case 112-1, 112-2 Coating nozzle part 113-1, 113-2 Laser sensor 114- DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 114-2 Camera 115 Column 116 Substrate stage 118 XY (theta) moving apparatus 120-1, 120-2 Cross-sectional area sensor 121 Light inlet / outlet 140 Syringe 142 Nozzle 143 Outlet 202, 206, 210 Servo motor 203, 207, 211 Encoder 204 208, 212 Drive shaft 220 System controller 222 Servo driver 222a Servo control unit 222b Servo power supply circuit unit

Claims

A coating apparatus for applying a coating liquid to a substrate,
A stage on which the substrate is mounted;
A head having a nozzle for discharging the coating liquid toward the substrate;
Measuring means for measuring a cross-sectional area or a cross-sectional shape of the coating liquid discharged from the nozzle and applied to the substrate;
A drive mechanism for moving at least one of the stage and the head by servo control;
And a control unit that stops servo control by the drive mechanism when the cross-sectional area or cross-sectional shape of the coating liquid is measured by the measuring unit.

The drive mechanism includes a servo motor, and performs servo control by driving the servo motor with supplied power.
2. The coating apparatus according to claim 1, wherein the control unit stops power supply to the servo motor when the measurement unit measures a cross-sectional area or a cross-sectional shape of the coating liquid.

A drive shaft attached to at least one of the stage and the head;
The coating apparatus according to claim 2, wherein the servo motor rotates the drive shaft.

The control means controls the drive mechanism so that servo control for one of the stage and the head, which is predetermined as causing an error in measurement of the cross-sectional area or cross-sectional shape of the coating liquid due to vibration, is stopped. The coating apparatus according to any one of claims 1 to 3, which is controlled.