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JP2009276174A - 測定方法、測定プログラムおよび測定装置 - Google Patents

測定方法、測定プログラムおよび測定装置 Download PDF

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JP2009276174A
JP2009276174A JP2008126893A JP2008126893A JP2009276174A JP 2009276174 A JP2009276174 A JP 2009276174A JP 2008126893 A JP2008126893 A JP 2008126893A JP 2008126893 A JP2008126893 A JP 2008126893A JP 2009276174 A JP2009276174 A JP 2009276174A
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Takayuki Katayama
孝幸 片山
Goro Imaizumi
吾郎 今泉
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Fujitsu Semiconductor Ltd
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Fujitsu Semiconductor Ltd
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Abstract

【課題】試験時間の短縮を図ること。
【解決手段】可変抵抗の予め定められた可変パターンに従って変化する可変抵抗の電圧と、基準となる第1の電圧との大小をそれぞれ比較する工程と、第1の電圧による比較結果を格納手段に格納する工程と、可変抵抗の電圧と、第1の電圧とは異なる第2の電圧との大小をそれぞれ比較する工程と、第2の電圧による比較結果を格納手段に格納する工程と、第1の電圧による比較結果と、第2の電圧による比較結果とに基づき、可変抵抗の抵抗値を特定する工程とを有する。
【選択図】図11

Description

本発明は測定方法、測定プログラムおよび測定装置に関し、特に、電子回路に含まれる可変抵抗の抵抗値を測定する測定方法、測定プログラムおよび測定装置に関する。
近年、データ伝送量の増大に伴い、デバイスの高速化や高速信号伝送として1Gbpsを超える帯域が普及しつつあり、高速信号の伝送品質を確保するために、LSI(Large Scale Integration circuit)に対しても様々な設計手法が取られている(例えば、特許文献1参照)。
LSIでは、出力タイミング上のずれを小さくするため、LSI内部の出力ドライバのインピーダンス値を調整することにより、出力信号のプルアップ抵抗とプルダウン抵抗値が等しくなるように電圧を補正する駆動能力切り替え機能を内蔵している。
この機能は、例えば、DDR2 SDRAM(Double Data Rate 2 Synchronous DRAM(Random Access Memory))では、OCD(Off Chip Driver)機能として搭載されている。
特開平10−285012号公報
製品出荷時等には、LSIが備える駆動能力切り替え機能が正常に動作しているかの試験を行う必要がある。
この試験装置として、一般的には、DCユニットを用いた直流電流測定や直流電圧測定が知られている。
しかしながら、駆動能力切り替え機能に用いられる抵抗は多段に亘る。また、LSIのSOC(System On Chip)化の要求により、LSIには、A/D変換器、D/A変換器、増幅器等、多様なアナログ回路が多数搭載され、メモリコントローラ(Memory Controller)回路やアナログ回路にも駆動能力切り替え機能が多数搭載されている。
駆動能力切り替え機能を内蔵したLSIの機能を保証するためには、同時に測定できるDCユニットの数にもよるが、端子数分、プルアップ/プルダウン抵抗の段数分のDCユニットを用いた直流電流測定や直流電圧測定を繰り返す必要がある。また、SOC化された大規模LSIにおいては、端子数とプルアップ/プルダウンの段数の組み合わせが何百通りにもなる。
従って、DCユニットを用いた直流電流測定や直流電圧測定では、試験時間の増大が問題となっている。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、試験時間の短縮を図ることができる測定方法、測定プログラムおよび測定装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、電子回路に含まれる可変抵抗の抵抗値を測定する測定方法が提供される。この測定方法は、以下の工程の実行により実現される。
(1)可変抵抗の予め定められた可変パターンに従って変化する可変抵抗の電圧と、基準となる第1の電圧との大小をそれぞれ比較する工程。
(2)第1の電圧による比較結果を格納手段に格納する工程。
(3)可変抵抗の電圧と、第1の電圧とは異なる第2の電圧との大小をそれぞれ比較する工程。
(4)第2の電圧による比較結果を格納手段に格納する工程。
(5)第1の電圧による比較結果と、第2の電圧による比較結果とに基づき、可変抵抗の抵抗値を特定する工程。
また、上記目的を達成するために、電子回路の信号出力端子のインピーダンスを調整する可変抵抗を試験する測定装置が提供される。この測定装置は、パターン信号出力部と、比較部と、判定部とを有する。
パターン信号出力部は、可変抵抗の抵抗値を変化させる複数のパターン信号を出力する。
比較部は、抵抗値の変化に応じて信号出力端子から出力される値の異なる出力電圧を、抵抗値の変化を区別し得る比較用電圧とそれぞれ比較する。これにより、例えば、ある部分を境に比較部から出力される論理が切り替わる。
判定部は、比較部が比較したそれぞれの結果が、比較用電圧の大きさに応じて予め用意された結果と一致しているか否かを判定する。例えば、論理の切り替わり部分が予め用意された結果の切り替わり部分と一致しているか否かを判定する。
判定部の判定結果により可変抵抗が正常に動作しているか否かを判断することができる。
開示の測定方法、測定プログラムおよび測定装置によれば、それぞれ電圧の大小の比較で可変抵抗の抵抗値を特定するようにしたので、試験時間の短縮を図ることができる。
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
図1は、システムの構成を示す図である。
試験システム30は、LSI回路10に試験装置(テスター)20が着脱可能に電気的に接続されている。
LSI回路10は、試験対象となる回路であり、それぞれ等しい構成をなすドライブ回路(I/O回路)11、11、・・・を有している。
各ドライブ回路11は、それぞれ、入出力ドライバD1と、インピーダンス整合用抵抗Raとを有している。
入出力ドライバD1は、LSI回路10内部で生成された信号を、バスラインを介して出力する。また、外部からの信号を、バスラインを介して入力する。
インピーダンス整合用抵抗Raは、対応する入出力ドライバD1の出力端子B1に接続された外部装置とのインピーダンスを調整する。
試験装置20は、インピーダンス整合用抵抗Raのインピーダンス調整機能が正しく動作するか否かを試験する。
具体的には、図1では、各出力端子B1は、それぞれ試験装置20に接続されており、ドライブ回路11、11、・・・の出力値は、出力端子B1、B1、・・・を介して試験装置20に入力される。
試験装置20は、制御端子Aに信号を入力し、各出力端子B1から出力される信号を検査することで、インピーダンス整合用抵抗Raのインピーダンス調整機能が正しく動作するか否かを試験する。
以下、各ドライブ回路11の機能はそれぞれ等しいため、以下、1つのドライブ回路11について説明する。
図2は、ドライブ回路の回路構成を示す図である。
入出力ドライバD1は、PチャネルトランジスタP1およびNチャネルトランジスタN1を有している。
PチャネルトランジスタP1のソース電極は、VDD端子に接続され、NチャネルトランジスタN1のソース電極は、GND端子に接続されている。
インピーダンス整合用抵抗Raは、プルダウン抵抗RP1およびプルアップ抵抗RP2を有している。
プルダウン抵抗RP1は、一端がGND端子に接続され、他端がスイッチSW1に接続された抵抗R1と、一端がGND端子に接続され、他端がスイッチSW2に接続された抵抗R2と、一端がGND端子に接続され、他端がスイッチSW3に接続された抵抗R3とが並列に接続されている。
抵抗R1には、1mAの抵抗分電流が流れ、抵抗R2には、2mAの抵抗分電流が流れ、抵抗R3には、4mAの抵抗分電流が流れる。
プルアップ抵抗RP2は、一端がVDD端子に接続され、他端がスイッチSW4に接続された抵抗R4と、一端がVDD端子に接続され、他端がスイッチSW5に接続された抵抗R5と、一端がVDD端子に接続され、他端がスイッチSW6に接続された抵抗R6とが並列に接続されている。
抵抗R4には、1mAの抵抗分電流が流れ、抵抗R5には、2mAの抵抗分電流が流れ、抵抗R6には、4mAの抵抗分電流が流れる。
スイッチSW1〜SW6は、一端がそれぞれ抵抗R1〜R6に接続され、他端が入出力ドライバD1の出力に接続されている。
スイッチSW1〜SW6は、それぞれ、制御端子A1〜A6(図1の制御端子Aに相当)から入力されるテストパターン信号によって切り替えられる。このテストパターン信号は、前述したように試験装置20が出力する。
具体的には、制御端子A1から入力されるテストパターン信号でスイッチSW1の切り替えを行い、制御端子A2から入力されるテストパターン信号でスイッチSW2の切り替えを行い、制御端子A3から入力されるテストパターン信号でスイッチSW3の切り替えを行い、制御端子A4から入力されるテストパターン信号でスイッチSW4の切り替えを行い、制御端子A5から入力されるテストパターン信号でスイッチSW5の切り替えを行い、制御端子A6から入力されるテストパターン信号でスイッチSW6の切り替えを行うことができる。
スイッチを切り替えることにより、プルダウン抵抗RP1およびプルアップ抵抗RP2は、それぞれ分解能3ビット、すなわち8種類の抵抗値を作成することができる。
図3は、試験装置の回路構成を示す図である。
試験装置20は、テスト回路21と、測定部22とを有している。
テスト回路21は、LSI回路10のドライブ回路11毎に設けられる。図3では1つのドライブ回路11について説明しているため、1つのテスト回路21を図示している。
このテスト回路21は、ドライバD2と、終端抵抗Rrefと、2つのコンパレータCMP1、CMP2とを有している。
ドライバD2は、抵抗R1を介して出力端子B1に接続されている。
終端抵抗Rrefには、基準電圧Vrefが印加されている。この終端抵抗Rrefは、例えば50Ωの抵抗値を備えており、コンパレータCMP1、CMP2にて電圧比較できるように出力端子B1から出力される信号を電圧換算する。
コンパレータCMP1、CMP2は、それぞれ終端抵抗Rrefに対して並列接続されており、トランジスタのON抵抗と、プルダウン抵抗RP1およびプルアップ抵抗RP2と、終端抵抗Rrefとにより分圧された分圧電圧を、コンパレータCMP1、CMP2の比較用電圧と比較する。
また、コンパレータCMP1は、Hi側の電圧を測定し、コンパレータCMP2は、Lo側の電圧を測定する。
測定部22は、インピーダンス調整機能の試験に際し、LSI回路10に対して電圧VDDを出力し、コンパレータCMP1、CMP2に対して駆動電圧および比較用電圧を出力する。
また、コンパレータCMP1、CMP2の比較結果電圧を取り込んで、LSI回路10のインピーダンス調整機能が正常に動作するか否かを判定する。
図4は、測定部のハードウェア構成例を示す図である。
測定部22は、CPU(Central Processing Unit)22aによって装置全体が制御されている。CPU22aには、RAM22b、ROM(Read Only Memory)22c、および電源22dが接続されている。
RAM22bには、CPU22aに実行させるプログラムの少なくとも一部が一時的に格納される。また、RAM22bには、CPU22aによる処理に必要な各種データが格納される。ROM22cには、プログラムファイル等が格納される。
電源22dは、各部に出力する電圧を生成する。
以上のような回路構成によって、本実施の形態の処理機能を実現することができる。このような回路構成のシステムにおいてインピーダンス調整機能の試験を行うために、測定部22内には、以下のような機能が設けられる。
図5は、測定部の機能を示すブロック図である。
測定部22は、比較用電圧出力部221と、テストパターン格納部222と、テストパターン信号出力部223と、比較結果電圧取得部224と、比較結果電圧格納部225と、期待値判定テーブル格納部226と、期待値判定部227と、結果出力部228とを有している。
比較用電圧出力部221は、コンパレータCMP1、CMP2に駆動電圧および比較用電圧を出力する。比較用電圧の電圧レベルは、後述するコンパレートレベルに対応している。
テストパターン格納部222は、前述した複数のテストパターン信号を作成するためのテストパターンが格納されている。
テストパターン信号出力部223は、テストパターン格納部222に格納されているテストパターンに従って、制御端子A1〜A6、並びに入出力ドライバD1が備えるPチャネルトランジスタP1およびNチャネルトランジスタN1へのテストパターン信号(PチャネルトランジスタP1およびNチャネルトランジスタN1においてはゲート信号に相当)を出力する。
このように、テストパターン信号出力部223は、制御端子A1〜A6に異なるパターンの電圧を出力することにより、プルダウン抵抗RP1およびプルアップ抵抗RP2の組み合わせを変化させることで、コンパレータCMP1、CMP2の比較結果電圧を変化させる。
比較結果電圧取得部224は、コンパレータCMP1、CMP2が出力する比較結果電圧を取得し、比較結果電圧格納部225に格納する。
比較結果電圧格納部225は、比較結果電圧取得部224が取得した比較結果電圧を格納する。
期待値判定テーブル格納部226は、期待値判定部227の判定用のデータを格納したテーブルを格納している。
期待値判定部227は、比較用電圧出力部221が出力した比較用電圧と、比較結果電圧格納部225に格納された比較結果電圧と、期待値判定テーブル格納部226に格納されているテーブルとに基づいて、テストパターン信号出力部223が出力したテストパターンに応じた比較結果が得られているか否かを判定する。
結果出力部228は、期待値判定部227の判定結果を出力する。
次に、テストパターン格納部222のデータ構成について説明する。テストパターン格納部222では、データがテーブル化されて格納されている。
図6は、テストパターンテーブルのデータ構造例を示す図である。
テストパターンテーブル222aには、試験アドレス、制御端子、PチャネルトランジスタおよびNチャネルトランジスタの欄が設けられており、横方向に並べられた情報同士が互いに関連づけられている。
試験アドレスの欄には、制御端子、PチャネルトランジスタおよびNチャネルトランジスタに出力するテストパターン信号の種別を識別する名前(アドレス1〜アドレス6)が格納されている。
制御端子の欄には、制御端子A1〜A6に出力する電圧のパターン(0または1)が格納されている。
PチャネルトランジスタおよびNチャネルトランジスタの欄には、それぞれ、PチャネルトランジスタおよびNチャネルトランジスタのON/OFFパターン(0または1)が格納されている。
次に、比較結果電圧格納部225のデータ構成について説明する。比較結果電圧格納部225では、データがテーブル化されて格納されている。
図7は、比較結果電圧テーブルのデータ構造例を示す図である。
比較結果電圧テーブル225aは、比較用電圧出力部221が出力する比較用電圧の電圧レベルの個数、すなわち、コンパレートレベルに対応して複数個設けられている。
各比較結果電圧テーブル225aには、それぞれ試験アドレスおよび端子番号の欄が設けられており、横方向に並べられた情報同士が互いに関連づけられている。
試験アドレスの欄には、テストパターンテーブル222aの試験アドレスの欄と同じアドレス名が格納されている。
端子番号の欄には、ドライブ回路11の出力端子B1を識別する番号p1〜p7が設けられている。例えば、図1中、上側の出力端子B1が番号p1に対応しており、下側の出力端子B1が番号p2に対応している。
これら各欄には、テストパターン信号の出力に応じてコンパレータCMP1、CMP2から出力された比較結果電圧の論理(「H」または「L」)がそれぞれ格納される。
次に、期待値判定テーブル格納部226のデータ構成について説明する。
図8は、期待値判定テーブルのデータ構造例を示す図である。
期待値判定テーブル226aには、試験アドレスおよびコンパレートレベルの欄が設けられており、横方向に並べられた情報同士が互いに関連づけられている。
試験アドレスの欄には、テストパターンテーブル222aの試験アドレスの欄に対応するアドレス名が格納されている。
コンパレートレベルの欄には、インピーダンス整合用抵抗Raの分解能に応じた複数のコンパレートレベル(図8では1〜7)が設けられている。
各コンパレートレベルには、比較用電圧出力部221が、コンパレータCMP1、CMP2に出力する比較用電圧の値に応じてコンパレータCMP1、CMP2からの出力が期待される論理(期待値)がアドレス毎に格納されている。
図9および図10は、コンパレートレベルの具体例を示す図である。
図9では、「コンパレートレベル2」に対応する比較用電圧と、試験アドレスの変化に応じてコンパレータCMP1、CMP2の入力端子に印加される電圧との関係を図示している。
図9に示すように、「コンパレートレベル2」の場合、アドレス3のテストパターン信号を出力したときのみ、出力結果が「コンパレートレベル2」の電圧を下回ることになる(下回るような比較用電圧に設定されている)ため、コンパレータCMP2によって「L」が出力される。残りのアドレスのテストパターン信号を出力した場合は、出力結果が「コンパレートレベル2」の電圧を上回ることになるため、コンパレータCMP1によって「H」が出力される。
図10では、「コンパレートレベル4」に対応する比較用電圧と、試験アドレスの変化に応じてコンパレータCMP1、CMP2の入力端子に印加される電圧との関係を図示している。
図10に示すように、「コンパレートレベル4」の場合、アドレス1、アドレス2、およびアドレス3のテストパターン信号を出力した場合、出力結果が「コンパレートレベル4」の電圧を下回ることになるため、コンパレータCMP2によって「L」が出力される。アドレス4、アドレス5、およびアドレス6のテストパターン信号を出力した場合、出力結果が「コンパレートレベル4」の電圧を上回ることになるため、コンパレータCMP1によって「H」が出力される。
これらの結果を期待値と比較することによって、インピーダンス整合用抵抗Raが正しく動作しているか否かを判断することができる。
次に、測定部22の処理を説明する。
図11は、測定部の処理を示すフローチャートである。
まず、比較用電圧出力部221が、決定したコンパレートレベルに応じた比較用電圧をコンパレータCMP1、CMP2に出力する(ステップS1)。
次に、テストパターン信号出力部223が、テストパターンテーブル222aに格納されている試験アドレスのテストパターン信号を、アドレス番号の小さいものから順に、制御端子A1〜A6、PチャネルトランジスタP1およびNチャネルトランジスタN1に対して出力する(ステップS2)。
比較結果電圧取得部224は、テストパターン信号が出力される度に、コンパレータCMP1、CMP2から出力された比較結果電圧の論理を、比較結果電圧テーブル225aに順次格納していく(ステップS3)。
全てのテストパターン信号の出力に対する比較結果電圧の論理の格納が終了すると、比較用電圧出力部221は、他のコンパレートレベルが存在するか否かを判断する(ステップS4)。
他のコンパレートレベルが存在する場合(ステップS4のYes)、ステップS1に移行し、他のコンパレートレベルを決定し、ステップS1以降の処理を継続して行う。
他のコンパレートレベルが存在しない場合(ステップS4のNo)、期待値判定部227が、比較結果電圧テーブル225aに格納された値を、期待値判定テーブル226aに格納されている期待値と比較し、一致するか否かを判定する(ステップS5)。
次に、判定結果を出力する(ステップS6)。
以上で、測定部22の処理を説明の説明を終了する。
次に、測定部22の処理の具体例を、図7に示す比較結果電圧テーブル225aを用いて説明する。
まず、比較用電圧出力部221が、「コンパレートレベル4」に対応する比較用電圧をコンパレータCMP1、CMP2に出力する。
そして、テストパターンテーブル222aに格納されているテストパターン信号を、アドレス1からアドレス6まで順次出力する。
図10に示したように、「コンパレートレベル4」の場合、アドレス1、アドレス2、およびアドレス3のテストパターン信号を出力した場合、コンパレータCMP2によって「L」が出力される。アドレス4、アドレス5、およびアドレス6のテストパターン信号を出力した場合、コンパレータCMP1によって「H」が出力される。比較結果電圧テーブル225aの端子番号の欄には、試験アドレスに応じた論理が順次格納されていく。
測定が終了すると、期待値判定部227が、比較結果電圧テーブル225aに格納された値を、図8に示す期待値判定テーブル226aに格納されている「コンパレートレベル4」の期待値と比較し、一致するか否かを判定する。
図7に示す比較結果電圧テーブル225aでは、端子番号p4において期待値と論理が一致しない。従って、端子番号p4のインピーダンス整合用抵抗Raが正しく動作していない旨を出力する。また、それ以外の端子番号のインピーダンス整合用抵抗Raは正しく動作している旨を出力する。
なお、判定結果の出力は、正しく動作していない端子番号のみを出力するようにしてもよいし、正しく動作していない端子番号と正しく動作している端子番号を区別し得る態様で出力するようにしてもよい。
以上述べたように、本実施の形態の試験システム30によれば、測定部22が、比較結果電圧と期待値との2値判定を繰り返すことによって、インピーダンス整合用抵抗Raが正しく動作しているか否かを試験することができる。
これにより、直流電流測定や、直流電圧測定を行う場合に比べ大幅な(例えば70%程度の)試験時間の短縮を図ることができる。
なお、試験装置20によれば、LSI回路10の端子数およびインピーダンス整合用抵抗Raが備える抵抗の組み合わせが増加する程、試験時間短縮の効果も増大する。
なお、本実施の形態では、期待値判定部227は、期待値判定テーブル226aの内容に基づいて判定を行ったが、本発明はこれに限らず、例えば、各端子番号の比較結果電圧の論理同士を比較して判定を行うようにしてもよい。
以上、本発明の測定方法、測定プログラムおよび測定装置を、図示の実施の形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物や工程が付加されていてもよい。
また、本発明は、前述した実施の形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
なお、本発明の測定方法は、前述したDDR2 SDRAMの他に、例えばPCIエキスプレス(Express)を備えるLSI等に適用することができる。
なお、上記の処理機能は、コンピュータによって実現することができる。その場合、測定部22が有すべき機能の処理内容を記述したプログラムが提供される。そのプログラムをコンピュータで実行することにより、上記処理機能がコンピュータ上で実現される。処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録しておくことができる。コンピュータで読み取り可能な記録媒体としては、例えば、磁気記録装置、光ディスク、光磁気記録媒体、半導体メモリ等が挙げられる。磁気記録装置としては、例えば、ハードディスク装置(HDD)、フレキシブルディスク(FD)、磁気テープ等が挙げられる。光ディスクとしては、例えば、DVD(Digital Versatile Disc)、DVD−RAM(Random Access Memory)、CD−ROM(Compact Disc Read Only Memory)、CD−R(Recordable)/RW(ReWritable)等が挙げられる。光磁気記録媒体としては、例えば、MO(Magneto-Optical disk)等が挙げられる。
プログラムを流通させる場合には、例えば、そのプログラムが記録されたDVD、CD−ROM等の可搬型記録媒体が販売される。また、プログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することもできる。
測定プログラムを実行するコンピュータは、例えば、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、自己の記憶装置に格納する。そして、コンピュータは、自己の記憶装置からプログラムを読み取り、プログラムに従った処理を実行する。なお、コンピュータは、可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することもできる。また、コンピュータは、サーバコンピュータからプログラムが転送される毎に、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することもできる。
システムの構成を示す図である。 ドライブ回路の回路構成を示す図である。 試験装置の回路構成を示す図である。 測定部のハードウェア構成例を示す図である。 測定部の機能を示すブロック図である。 テストパターンテーブルのデータ構造例を示す図である。 比較結果電圧テーブルのデータ構造例を示す図である。 期待値判定テーブルのデータ構造例を示す図である。 コンパレートレベルの具体例を示す図である。 コンパレートレベルの具体例を示す図である。 測定部の処理を示すフローチャートである。
符号の説明
10 LSI回路
11 ドライブ回路
20 試験装置
21 テスト回路
22 測定部
22a CPU
22b RAM
22c ROM
22d 電源
30 試験システム
221 比較用電圧出力部
222 テストパターン格納部
222a テストパターンテーブル
223 テストパターン信号出力部
224 比較結果電圧取得部
225 比較結果電圧格納部
225a 比較結果電圧テーブル
226 期待値判定テーブル格納部
226a 期待値判定テーブル
227 期待値判定部
228 結果出力部
CMP1、CMP2 コンパレータ
A、A1〜A6 制御端子
B1 出力端子
D1 入出力ドライバ
Ra インピーダンス整合用抵抗
Rref 終端抵抗

Claims (8)

  1. 電子回路に含まれる可変抵抗の抵抗値を測定する測定方法において、
    前記可変抵抗の予め定められた可変パターンに従って変化する前記可変抵抗の電圧と、基準となる第1の電圧との大小をそれぞれ比較する工程と、
    前記第1の電圧による比較結果を格納手段に格納する工程と、
    前記可変抵抗の電圧と、前記第1の電圧とは異なる第2の電圧との大小をそれぞれ比較する工程と、
    前記第2の電圧による比較結果を前記格納手段に格納する工程と、
    前記第1の電圧による比較結果と、前記第2の電圧による比較結果とに基づき、前記可変抵抗の抵抗値を特定する工程と、
    を有することを特徴とする測定方法。
  2. 前記抵抗値を特定する工程は、前記第1の電圧による比較結果および前記第2の電圧による比較結果を、それぞれ予め用意された判定用の値と比較する工程を有することを特徴とする請求項1記載の測定方法。
  3. 前記可変抵抗は、前記電子回路のインピーダンス整合用の抵抗素子であることを特徴とする請求項1記載の測定方法。
  4. 電子回路に含まれる可変抵抗の抵抗値を測定する測定プログラムにおいて、
    コンピュータに、
    前記可変抵抗の予め定められた可変パターンに従って変化する前記可変抵抗の電圧と、基準となる第1の電圧との大小をそれぞれ比較する工程、
    前記第1の電圧による比較結果を格納手段に格納する工程、
    前記可変抵抗の電圧と、前記第1の電圧とは異なる第2の電圧との大小をそれぞれ比較する工程、
    前記第2の電圧による比較結果を前記格納手段に格納する工程、
    前記第1の電圧による比較結果と、前記第2の電圧による比較結果とに基づき、前記可変抵抗の抵抗値を特定する工程、
    を実行させることを特徴とする測定プログラム。
  5. 電子回路の信号出力端子のインピーダンスを調整する可変抵抗を試験する測定装置において、
    前記可変抵抗の抵抗値を変化させる複数のパターン信号を出力するパターン信号出力部と、
    前記抵抗値の変化に応じて前記信号出力端子から出力される値の異なる出力電圧を、前記抵抗値の変化を区別し得る比較用電圧とそれぞれ比較する比較部と、
    前記比較部が比較したそれぞれの結果が、前記比較用電圧の大きさに応じて予め用意された結果と一致しているか否かを判定する判定部と、
    を有することを特徴とする測定装置。
  6. 前記比較用電圧は複数用意されており、
    前記比較部は、前記抵抗値の変化に応じて前記信号出力端子から出力される値の異なる出力電圧を、複数の前記比較用電圧とそれぞれ比較することを特徴とする請求項5記載の測定装置。
  7. 前記可変抵抗は、抵抗値の異なる複数の抵抗素子を有しており、
    前記パターン信号は、前記複数の抵抗素子のうちいずれか1つの抵抗を用いる信号であり、
    前記各比較用電圧は、それぞれ前記可変抵抗の分解能に応じた電圧であることを特徴とする請求項6記載の測定装置。
  8. 前記比較用電圧を前記比較部に出力する比較用電圧出力部をさらに有することを特徴とする請求項5記載の測定装置。
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