JP2009188121A - Manufacturing method of electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an electronic component.
内部電極を有する略直方体形状のチップ素体と、チップ素体の互いに対向する一対の面の表面にそれぞれ形成された外部電極とを備えるチップ状の電子部品がある。この電子部品の外部電極を形成する方法として、下記特許文献1に記載された方法がある。その方法では、チップ素体の一対の面のうち一方の面を導電ペースト中に浸漬することにより素体チップの端面に導電ペーストの膜を形成し、焼き付けて、外部電極の下地となる電極層を形成する。
上記特許文献1の技術では、チップ素体の一方の面を容器に溜めた導電ペーストに浸漬して持ち上げる。すると、チップ素体の一方の面に付着した導電ペーストが、容器内の導電ペーストに引っ張られる。この接着力(引っ張り力)の作用により導電ペーストがチップ素体の一方の面の中央部に溜まる。このため、一方の面に形成された導電ペーストの膜は山形状になり、中央部が厚くなる。そのため、チップ素体の一方の面の周囲の稜部では導電ペーストの厚みが一方の面の厚みより薄くなる。
In the technique disclosed in
この場合、次のような問題がある。導電ペーストの膜は、焼成後に電極層となり、更にめっき処理が行われる。このめっき処理を行う際に、電極層における稜部の厚みが薄いと、めっき液がチップ素体の稜部からチップ素体の内部へ侵入する虞がある。チップ素体の内部にめっき液が侵入すると、電子部品としての特性の劣化やショートが発生する場合があるので問題である。 In this case, there are the following problems. The conductive paste film becomes an electrode layer after firing, and is further subjected to a plating treatment. When the plating process is performed, if the thickness of the ridge portion in the electrode layer is thin, the plating solution may enter the inside of the chip body from the ridge portion of the chip body. When the plating solution penetrates into the chip body, it is a problem because the characteristics as an electronic component may be deteriorated or a short circuit may occur.
そこで、稜部の厚みを厚くするために、チップ素体を導電ペースト中に浸漬する際に、その浸漬深さを大きくしてより多くの量の導電ペーストをチップ素体に塗布する方法が考えられる。しかし、この場合は、チップ素体の端面における導電ペーストの厚みが厚くなり、より突出した山形状となる。すると、その突出した分だけ電子部品としての寸法が大きくなるので問題である。 Therefore, in order to increase the thickness of the ridges, a method of applying a larger amount of conductive paste to the chip body by increasing the immersion depth when the chip body is immersed in the conductive paste is considered. It is done. However, in this case, the thickness of the conductive paste on the end face of the chip body is increased, resulting in a more protruding mountain shape. Then, since the dimension as an electronic component becomes large by the protruding part, it is a problem.
また、一方の面に導電ペーストの膜を形成した後に、他方の面に導電ペーストの膜を形成する際には、一方の面に形成された導電ペーストの膜を粘着シートに貼り付けてチップ素体を保持する。一方の面に形成された導電ペーストの膜が山状に形成されていると、粘着シートに対してチップ素体が傾く。このような状態で保持されたチップ素体の他方の面に導電ペーストの膜を所定の形状に形成することは困難である。 In addition, when the conductive paste film is formed on the other surface after the conductive paste film is formed on the one surface, the conductive paste film formed on the one surface is attached to the adhesive sheet. Hold the body. When the conductive paste film formed on one surface is formed in a mountain shape, the chip body is inclined with respect to the adhesive sheet. It is difficult to form a conductive paste film in a predetermined shape on the other surface of the chip body held in such a state.
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、チップ素体の面を覆う部分がより平坦で、稜部を覆う部分の厚みがより厚い電極層が形成された電子部品の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems. An electronic component in which an electrode layer in which a portion covering a surface of a chip body is flat and a portion covering a ridge is thicker is formed. An object is to provide a manufacturing method.
本発明の電子部品の製造方法は、略直方体形状に形成され、第1の面、第1の面に垂直且つ隣り合う4つの第2の面を有するチップ素体を準備する準備工程と、チップ素体の第1の面と当該第1の面から4つの第2の面に亘る部分とを導電ペーストに浸漬して、第1のペースト電極層を形成する第1の導電ペーストの付与工程と、第1のペースト電極層に導電ペーストを付与して、第2のペースト電極層を形成する第2の導電ペーストの付与工程と、第1及び第2のペースト電極層を熱処理して電極層を形成する熱処理工程と、を備え、第1の導電ペーストの付与工程では、第1の面の中央部を覆う第1の部分の厚みが、4つの第2の面のうち対向する一対の面それぞれと第1の面との間の稜部を覆う第2の部分の厚みより厚い第1のペースト電極層を形成し、第2の導電ペーストの付与工程では、第1の部分を覆う第3の部分の厚みが、第2の部分を覆う第4の部分の厚みより薄い第2のペースト電極層を形成することを特徴とする。 The electronic component manufacturing method of the present invention includes a preparatory step of preparing a chip body that is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape and has a first surface and four second surfaces that are perpendicular to and adjacent to the first surface; A first conductive paste applying step of immersing a first surface of the element body and a portion extending from the first surface to four second surfaces in a conductive paste to form a first paste electrode layer; Applying a conductive paste to the first paste electrode layer to form a second paste electrode layer; and applying a heat treatment to the first and second paste electrode layers to form an electrode layer And a heat treatment step to be formed, and in the first conductive paste application step, the thickness of the first portion covering the central portion of the first surface is a pair of opposing surfaces of the four second surfaces, respectively. A first pace that is thicker than the thickness of the second portion covering the ridge between the first surface and the first surface In the step of forming the electrode layer and applying the second conductive paste, the thickness of the third portion covering the first portion is smaller than the thickness of the fourth portion covering the second portion. It is characterized by forming.
本発明の電子部品の製造方法では、第1のペースト電極層の上に更に第2のペースト電極層を形成する。この第1のペースト電極層は、チップ素体の第1の面の中央部を覆う第1の部分の厚みが、チップ素体の稜部を覆う第2の部分の厚みより厚い。そして、第2のペースト電極層は、第1のペースト電極層における第1の部分を覆う第3の部分の厚みが、第2の部分を覆う第4の部分の厚みより薄い。従って、第1及び第2のペースト電極層を熱処理して形成される電極層においては、第1のペースト電極層のみを熱処理して形成される電極層より、チップ素体の第1の面を覆う部分がより平坦で、且つ、稜部を覆う部分の厚みをより厚くすることができる。すなわち、チップ素体の第1の面を覆う部分の厚みと稜部を覆う部分の厚みとの差を小さくすることができる。 In the method for manufacturing an electronic component according to the present invention, a second paste electrode layer is further formed on the first paste electrode layer. In the first paste electrode layer, the thickness of the first portion covering the central portion of the first surface of the chip body is thicker than the thickness of the second portion covering the ridge portion of the chip body. In the second paste electrode layer, the thickness of the third portion covering the first portion in the first paste electrode layer is smaller than the thickness of the fourth portion covering the second portion. Therefore, in the electrode layer formed by heat-treating the first and second paste electrode layers, the first surface of the chip body is made to be more than the electrode layer formed by heat-treating only the first paste electrode layer. The covering portion is flatter, and the thickness of the portion covering the ridge portion can be increased. That is, the difference between the thickness of the portion covering the first surface of the chip body and the thickness of the portion covering the ridge portion can be reduced.
好ましくは、第1のペースト電極層における一部を乾燥させる仮乾燥工程を備え、第1の導電ペーストの付与工程では、第1の部分が突出した山形状を有し、当該第1の部分を含む第1の領域と、稜部を含む第2の領域とを有する第1のペースト電極層を形成し、仮乾燥工程では、第1の領域が未乾燥で、第2の領域が乾燥した仮乾燥状態となるまで第1のペースト電極層を乾燥し、第2の導電ペーストの付与工程では、仮乾燥状態である第1のペースト電極層を導電ペーストに浸漬することにより、第2のペースト電極層を形成する。 Preferably, a provisional drying step of drying a part of the first paste electrode layer is provided, and in the application step of the first conductive paste, the first portion has a protruding mountain shape, and the first portion is Forming a first paste electrode layer having a first region including the second region and a second region including the ridge, and in the temporary drying step, the first region is undried and the second region is dried; The first paste electrode layer is dried until it is in a dry state, and in the second conductive paste application step, the first paste electrode layer that is in a temporarily dry state is immersed in the conductive paste, whereby the second paste electrode Form a layer.
第1の導電ペーストの付与工程において、チップ素体の第1の面を含む領域に導電ペーストを浸漬塗布すると、形成される第1のペースト電極層は、第1の面を覆う部分が山形状となる。仮乾燥工程において、乾燥を行うと、第2の部分を含む第2の領域が第1の部分を含む第1の領域より早く乾燥が進む。そこで、第2の領域が乾燥し、第1の領域が未乾燥である状態まで、仮乾燥を行う。この仮乾燥状態である第1のペースト電極層における第1の面及び第2の部分を覆う部分を導電ペーストに浸漬すると、乾燥した表面には、未乾燥の表面より厚く導電ペーストが付着する。従って、第2の領域を覆う部分の厚みが第1の領域を覆う部分の厚みより厚い第2のペースト電極層を形成することができる。すなわち、第2の部分を覆う第4の部分の厚みが第1の部分を覆う第3の部分の厚みより厚い第2のペースト電極層を形成することができる。これにより、チップ素体の面を覆う部分がより平坦で、稜部を覆う部分の厚みがより厚い電極層を形成することができる。 In the step of applying the first conductive paste, when the conductive paste is dip-coated on the region including the first surface of the chip body, the portion of the first paste electrode layer that is formed covers the first surface in a mountain shape It becomes. When drying is performed in the temporary drying step, the drying proceeds faster in the second region including the second part than in the first region including the first part. Therefore, temporary drying is performed until the second region is dried and the first region is undried. When a portion covering the first surface and the second portion of the first paste electrode layer in the temporarily dried state is immersed in the conductive paste, the conductive paste adheres to the dried surface thicker than the undried surface. Therefore, it is possible to form the second paste electrode layer in which the thickness of the portion covering the second region is thicker than the thickness of the portion covering the first region. That is, it is possible to form the second paste electrode layer in which the thickness of the fourth portion covering the second portion is larger than the thickness of the third portion covering the first portion. As a result, an electrode layer can be formed in which the portion covering the surface of the chip body is flatter and the portion covering the ridge is thicker.
好ましくは、第2の導電ペーストの付与工程では、第2のペースト電極層の第3の部分の厚みが、第1のペースト電極層の第1の部分の厚みより薄く、第2のペースト電極層の第4の部分の厚みが、第1のペースト電極層の第2の部分の厚みより厚くなるように、第2のペースト電極層を形成する。このように、第1及び第2のペースト電極層を形成することにより、チップ素体の第1の面を覆う部分がより平坦で、稜部を覆う部分の厚みがより厚い電極層を形成することができる。 Preferably, in the second conductive paste application step, the thickness of the third portion of the second paste electrode layer is smaller than the thickness of the first portion of the first paste electrode layer, and the second paste electrode layer The second paste electrode layer is formed such that the thickness of the fourth portion is greater than the thickness of the second portion of the first paste electrode layer. In this way, by forming the first and second paste electrode layers, an electrode layer is formed in which the portion covering the first surface of the chip body is flat and the portion covering the ridge is thicker. be able to.
好ましくは、第1のペースト電極層における第1の面を覆う部分を平面に押し付けるブロット工程を更に備える。これにより、第1のペースト電極層において第1の面を覆う部分をより平坦化することができる。 Preferably, the method further comprises a blotting step of pressing a portion covering the first surface of the first paste electrode layer against the flat surface. Thereby, the part which covers a 1st surface in a 1st paste electrode layer can be planarized more.
好ましくは、第1の面に電極層を形成した後に、チップ素体において第1の面と対向する第3の面に電極層を形成するために、チップ素体における第1の面側を保持具により保持する保持工程を更に備え、保持工程では、第1の面に形成された電極層における第1の面を覆う部分と保持具の粘着面とを粘着させることによりチップ素体を保持する。保持具の粘着面と電極層における第1の面を覆う部分とを粘着させると、第1の面に形成された電極層の第1の面を覆う部分がより平坦化されているので、チップ素体を水平且つ確実に保持することができる。よって、チップ素体の他方の面に電極層を所定の形状に形成することができる。 Preferably, after the electrode layer is formed on the first surface, the first surface side of the chip body is held in order to form the electrode layer on the third surface opposite to the first surface of the chip body. A holding step of holding the chip body by holding the portion covering the first surface of the electrode layer formed on the first surface and the adhesive surface of the holder. . When the adhesive surface of the holder and the portion covering the first surface of the electrode layer are adhered, the portion covering the first surface of the electrode layer formed on the first surface is more flattened. The element body can be held horizontally and reliably. Therefore, the electrode layer can be formed in a predetermined shape on the other surface of the chip body.
本発明の電子部品の製造方法によれば、チップ素体の端面を覆う部分がより平坦で、稜部を覆う部分の厚みがより厚い電極層を形成することができる。 According to the electronic component manufacturing method of the present invention, it is possible to form an electrode layer in which the portion covering the end face of the chip body is flat and the portion covering the ridge is thicker.
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素に同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 The best mode for carrying out the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same reference numerals are assigned to the same elements, and duplicate descriptions are omitted.
図1を参照して、本実施形態に係る電子部品の構成について説明する。図1は、本実施形態に係る電子部品の斜視図である。本実施形態に係る電子部品Eは、フリップチップタイプのセラミックコンデンサである。電子部品Eは、略直方体形状で、チップ素体1と、チップ素体1に形成された第1の外部電極2及び第2の外部電極3と、を備えている。
With reference to FIG. 1, the structure of the electronic component which concerns on this embodiment is demonstrated. FIG. 1 is a perspective view of an electronic component according to this embodiment. The electronic component E according to the present embodiment is a flip chip type ceramic capacitor. The electronic component E has a substantially rectangular parallelepiped shape, and includes a
チップ素体1は、誘電体層と内部電極層とが交互に積層されて形成されている。この内部電極層は、第1の内部電極層と第2の内部電極層とを含み、第1の内部電極層と第2の内部電極層とは交互に積層されている。そして、第1の内部電極層は、第1の外部電極2に電気的に接続され、第2の内部電極層は、第2の外部電極3と電気的に接続されている。
The
チップ素体1は、略直方体形状で、互いに対向する主面11及び主面12と、互いに対向する長側面(第1の面)13及び長側面(第3の面)14と、互いに対向する短側面15及び短側面16と、を備える。主面11,12、長側面13,14,及び短側面15,16は、略平面状の面である。
The
チップ素体1は、主面11と主面12と対向方向の高さ寸法が、長側面13と長側面14との対向方向の長さ寸法、及び、短側面15と短側面16と対向方向の幅寸法より薄い。また、幅寸法が、長さ寸法より厚い。すなわち、電子部品Eは、低背型のチップ部品である。また、チップ素体1では、各面主面11,12、長側面13,14,及び短側面15,16の間の稜部が、丸みを帯びている。
The
長側面13の周囲の稜部17は、長側面13と主面11との間の部分、長側面13と主面11と短側面15との間の角部分、長側面13と短側面15との間の部分、長側面13と主面12と短側面15との間の角部分、長側面13と主面12との間の部分、長側面13と主面12と短側面16との間の角部分、長側面13と短側面16との間の部分、及び長側面13と主面11と短側面16との間の角部分を含む。
The
長側面14の周囲の稜部18は、長側面14と主面11との間の部分、長側面14と主面11と短側面15との間の角部分、長側面14と短側面15との間の部分、長側面14と主面12と短側面15との間の角部分、長側面14と主面12との間の部分、長側面14と主面12と短側面16との間の角部分、長側面14と短側面16との間の部分、及び長側面14と主面11と短側面16との間の角部分を含む部分である。
The
第1の外部電極2及び第2の外部電極3は、それぞれチップ素体1の外表面における電極形成領域Aを覆っている。第1の外部電極2の電極形成領域Aは、長側面13、稜部17を含む長側面13の周囲の稜部、及び、主面11,12及び短側面15,16における長側面13側を含む領域である。第2の外部電極3の電極形成領域Aは、長側面14、稜部18を含む長側面14の周囲の稜部、及び、主面11,12及び短側面15,16における長側面14側を含む領域である。第1及び第2の外部電極2,3は、それぞれ電極層と当該電極層を覆うめっき層とで構成されている。
The first
この電子部品Eの製造方法について説明する。図2は、本実施形態に係る電子部品の製造方法を示すフロー図である。本実施形態に係る電子部品の製造方法では、まず、上述したチップ素体1を準備する(チップ素体の準備工程S1)。チップ素体の準備工程S1では、次のようにしてチップ素体1を形成する。まず、誘電体層となるセラミックグリーンシートを形成する。セラミックグリーンシートは、セラミックスラリーをPETフィルムに塗布後、乾燥して形成する。セラミックスラリーは、チタン酸バリウムを主成分とする誘電体材料にブチラール系樹脂を加え、更に、溶剤、可塑剤等を加えて混合分散することにより得られる。
A method for manufacturing the electronic component E will be described. FIG. 2 is a flowchart showing a method for manufacturing an electronic component according to this embodiment. In the method of manufacturing an electronic component according to the present embodiment, first, the above-described
次に、セラミックグリーンシートに、内部電極層となる電極パターンを形成する。電極パターンは、電極ペーストをスクリーン印刷等により印刷後、乾燥することにより形成する。電極ペーストは、Ni粉末にバインダー(例えば、エチルセルロース系樹脂)や溶剤(例えば、ジヒドロターピネオール系溶剤)等を混合したものである。このように電極パターンが形成された複数のセラミックグリーンシートを積層する。そして、積層方向と垂直に切断してグリーンチップを形成し、このグリーンチップを焼成する。焼成後、バレル研磨を行うことにより角部を丸く形成し、チップ素体1を得る。
Next, an electrode pattern to be an internal electrode layer is formed on the ceramic green sheet. The electrode pattern is formed by printing an electrode paste by screen printing or the like and then drying it. The electrode paste is obtained by mixing Ni powder with a binder (for example, ethyl cellulose resin), a solvent (for example, dihydroterpineol solvent), and the like. A plurality of ceramic green sheets on which the electrode patterns are thus formed are stacked. Then, a green chip is formed by cutting perpendicularly to the stacking direction, and the green chip is fired. After firing, the corners are rounded by barrel polishing to obtain the
次に、チップ素体1の長側面13側における第1の外部電極2を形成する領域Aに第1のグリーン電極層を形成する(第1のグリーン電極層の形成工程S2)。第1のグリーン電極層の形成工程S2では、図3(a)に示すように、チップ素体1を保持具4により保持した状態で、このチップ素体1に第1のグリーン電極層20を形成する。図3(a)は、第1のグリーン電極層の形成工程S2を示す概略断面図である。
Next, a first green electrode layer is formed in a region A in which the first
保持具4は、プレート状で粘着性のある粘着面4aを有している。この保持具4は、ステンレス製のベースプレートの表面に粘着性のあるシリコンゴムが形成され、粘着面4aとして機能している。この粘着面4aに、チップ素体1の長側面14を貼り付けて、チップ素体1を保持する。この粘着面4aには、複数のチップ素体1を配列して配置する。
The
次に、長側面14側に第2のグリーン電極層を形成するために、保持具4から保持具5に移し変えて、保持具5によって長側面13側を保持する(保持工程;保持具の移し変え工程S3)。保持具の移し変え工程S3では、保持具4によって長側面14を保持した状態で、長側面14が上側の状態(図3(a)の状態)から長側面14が下側の状態(図3(b)の状態)へ反転させ、保持具5の粘着面5aに第1のグリーン電極層20を貼り付けて、チップ素体1を保持具5によって保持する。
Next, in order to form the second green electrode layer on the
保持具5は、矩形状のホルダに固定されたPET(ポリエチレンテレフタラート)フィルムの表面に発泡性剥離粘着剤が塗布された粘着面5aを有する。この粘着面5aに、第1のグリーン電極層20におけるチップ素体1の長側面13を覆う部分を貼り付けることにより、チップ素体1における長側面13側を保持することができる。
The
発砲性剥離粘着剤は、熱剥離粘着剤とも呼ばれ、常温では通常の粘着力を発揮し、所定温度以上に加熱すると粘着力を失う。この性質を利用して被着体を剥離する。この発砲性剥離粘着剤として、保持具4の粘着面4aの粘着力より高い粘着力を常温で発揮するものを用いて、長側面13側を保持具5によって保持した状態で、保持具4を長側面14から剥がす。このようにして、保持具を移し変える。
The foaming release adhesive is also called a heat release adhesive, exhibits normal adhesive strength at room temperature, and loses adhesive strength when heated to a predetermined temperature or higher. The adherend is peeled using this property. As the foaming release adhesive, a material that exhibits an adhesive strength higher than the adhesive strength of the
次に、長側面14側の第2の外部電極3を形成する領域Aに第2のグリーン電極層を形成する(第2のグリーン電極層の形成工程S4)。続いて、第1のグリーン電極層20及び第2のペースト電極層が形成されると、第1及び第2のグリーン電極層を焼成して第1及び第2の電極層を得る(焼成工程S5)。
Next, a second green electrode layer is formed in a region A where the second
その後、めっき処理を施して、第1及び第2の電極層をそれぞれ覆うめっき層を形成して、第1及び第2の外部電極2,3が完成する。めっき層として例えば、Niめっき層とNiめっき層を覆うSnめっき層が形成される。
Thereafter, a plating process is performed to form plating layers covering the first and second electrode layers, respectively, and the first and second
引き続いて、第1のグリーン電極層の形成工程S2についてより詳細に説明する。図4に示すように、第1のグリーン電極層20の形成工程S2は、第1の導電ペーストの付与工程S11、ブロット工程S12、仮乾燥工程S13、第2の導電ペーストの付与工程S14、ブロット工程S15、及び本乾燥工程S16を備える。以下、各工程について説明する。
Subsequently, the first green electrode layer forming step S2 will be described in more detail. As shown in FIG. 4, the first
まず、第1の導電ペーストの付与工程S11において、図5に示すように、保持具4に保持されたチップ素体1に導電ペーストを付与する。図5は、第1の導電ペーストの付与工程S11を示す概略断面図である。導電ペーストは、例えば、銀、パラジウム、銀パラジウム、又は銅などの導体紛に樹脂性のバインダと有機溶剤とを混合させたペースト状のものである。この導電ペーストを塗布用ベッド(図示せず)の平面上に入れて、導電ペースト層6を準備する。この導電ペースト層6中にチップ素体1の長側面13側を所定の高さまで浸漬させ(図5(a))、引き上げる(図5(b))。
First, in the first conductive paste application step S11, as shown in FIG. 5, the conductive paste is applied to the
これにより、チップ素体1において第1の外部電極2を形成する領域内に導体ペーストを塗布して、第1のペースト電極層21を形成する。図6に示すように、第1のペースト電極層21は、チップ素体1の長側面13を覆う部分21a、チップ素体の稜部17を覆う第2の部分21b、及び、主面11,12と短側面15,16とにおける長側面13側の領域を覆う部分21cを有する。なお、図6は、第1のペースト電極層21の形状を説明するための概略断面図である。図6では、第1のペースト電極層21の特徴を示すために、その厚みを実際の比率より大きく示している。
As a result, the conductive paste is applied to the area where the first
第1のペースト電極層21では、導電ペーストの表面張力により、中央部に導体ペーストが集まり、長側面13を覆う部分21aは、山状になる。そして、第1のペースト電極層21において、長側面13の中央部13aを覆う第1の部分21dの厚みT1は、第2の部分21bの厚みR1より厚い。
In the first
第1のペースト電極層21において、長側面13を覆う部分21aと稜部17を覆う第2の部分21bとで構成される領域は、その層の厚みと相関関係を有する第1の領域21eと第2の領域21fとを有する。第1の領域21eの各位置の厚みは、第2の領域21fの各位置の厚みより厚い。すなわち、第1の領域21eは、第1の部分21dを含み、山状に形成された部分21aの突出した部分に相当する。第2の領域21fは、長側面13を覆う部分21aにおいて第1の領域21eを囲む裾野部分と稜部17とで構成される。
In the first
次に、ブロット工程S12において、図7(a)に示すように、第1のペースト電極層21の長側面13を覆う部分21aを平面状のプレート7に押し付ける。これは、山状に形成された部分21aを平坦化するためである。ブロット工程S12を行うことで、行う前よりは、第1の部分21dの厚みが多少小さくなるものの、ブロット工程S12後においても、長側面13を覆う部分21aは、山状の形状であり、第1の領域21eの各位置の厚みは、第2の領域21fの各位置の厚みより厚い状態である。また、第1のペースト電極層21において、長側面13の中央部13aを覆う第1の部分21dの厚みは、第2の部分21bの厚みより厚い状態である。
Next, in the blotting step S <b> 12, as shown in FIG. 7A, the
次に、仮乾燥工程S13において、第1のペースト電極層21において、第1の領域21eが未乾燥状態、且つ、第2の領域21fが乾燥した仮乾燥状態となるまで、乾燥を行う。図7(b)に示すように、遠赤外線ヒータ8を用いて遠赤外線により乾燥を行う。乾燥を開始すると、第1のペースト電極層21は、厚みの厚い部分より薄い部分の方が乾きやすく、外側の部分から乾いて行く。そこで、第2の領域21fが乾燥して、第1の領域21eが生乾きの状態で、乾燥を停止する。
Next, in the temporary drying step S13, the first
第1の領域21eが未乾燥状態であり、第2の領域21fが乾燥状態である仮乾燥状態とは、第1の領域21eにおいて第2の領域21fより残留している溶剤の割合が高い状態であることを示す。乾燥状態とは、未乾燥状態より残留している溶剤の割合が低い状態であり、この乾燥状態の表面は、未乾燥状態の表面より色が薄く見える。乾燥状態と未乾燥状態との違いは、目視により識別することができる。図8(a)(b)は、この乾燥状態と未乾燥状態との色の違いを定量的に示したグラフである。
The temporarily dried state in which the
図8(a)(b)のグラフは、第1のペースト電極層21の長側面13を覆う部分21aにおける、長手方向に伸びる中央ラインに沿った各位置の色を示している。横軸は、中央ラインの一方端からの距離を示す。図8(a)の縦軸は、画像認識装置によってカラーの撮影画像の色調変換を行い、各位置の色をRGBの10進数で示した値であり、図8(b)の縦軸は、R、G、Bの値の平均値を示している。RGB値は、色の濃淡を示す値である。
The graphs of FIGS. 8A and 8B show the color of each position along the central line extending in the longitudinal direction in the
図8において、RGBの値が低く範囲が未乾燥状態の範囲である。例えば、RGBの値が、乾燥した領域のRGBの値の55〜85%以下の値である範囲が、未乾燥状態の範囲である。図8によれば、距離が約100から約700までの範囲は、未乾燥状態である。例えば、未乾燥状態の第1の領域21eは、第1の部分21dを中心に、長側面13を覆う部分21aに対して85〜50%程度とすることが好ましい。
In FIG. 8, the RGB values are low and the range is in the undried state. For example, the range where the RGB value is 55 to 85% or less of the RGB value of the dried region is the range of the undried state. According to FIG. 8, the range from about 100 to about 700 is undried. For example, the undried
実際の製造工程においては、例えば、乾燥状態を目視で確認して、遠赤外線ヒータ8の出力及び乾燥時間等の乾燥条件を決定し、同じロットについての仮乾燥工程S13は、設定した乾燥条件で行う。これにより、全ての部品について目視確認を行わずとも、第2の領域21fが乾燥状態となり、第1の領域21eが未乾燥な状態で、乾燥を終了することができる。例えば、乾燥条件は、150W〜200W程度の遠赤外線ヒータを用いて10秒〜30秒程度の乾燥時間とする。
In the actual manufacturing process, for example, the drying state is visually confirmed to determine the drying conditions such as the output of the far
引き続いて、第2の導電ペーストの付与工程S14において、仮乾燥状態の第1のペースト電極層21に導電ペーストを付与して第2のペースト電極層22を形成する。図9(a)に示すように、導電ペースト層6中にチップ素体1の第1のペースト電極層21が形成された領域を導電ペースト層6中に浸漬し、引き上げる。導電ペースと層6中にチップ素体1を浸漬する深さは、第1の導電ペーストの付与工程S14の際に浸漬する深さより深くする。これにより、第1のペースト電極層21の全域を覆う第2のペースト電極層22を形成する。
Subsequently, in the second conductive paste application step S14, the second
導電ペースト層6からチップ素体1を引き上げると、未乾燥状態の第1の領域21eの表面には、導電ペーストが付着しにくいので、第1の領域21eより第2の領域21fに厚く導電ペーストが付着する(図9(b))。すなわち、第2のペースト電極層22において、長側面13の中央部13aを覆う第3の部分22dの厚みT2は、稜部17を覆う第4の部分22bの厚みR2より薄くなる。
When the
更に、第2のペースト電極層22の第3の部分22dの厚みT2が、第1のペースト電極層21の第1の部分21dの厚みT1より小さく、第2のペースト電極層22の第4の部分22bの厚みR2が、第1のペースト電極層21の第2の部分21bの厚みR1より厚くなる。これにより、第2の導電ペーストの付与工程S14において、長側面13における中央部を覆う部分の厚さが増大するのを抑制して稜部17を覆う部分の厚さを増すことができる。従って、第2のペースト電極層22における長側面13を覆う部分22aは、第1のペースト電極層21における長側面13を覆う部分21aより平坦化されている。なお、図9は、第2の導電ペーストの付与工程S14を示す概略断面図であるが、図9(b)は、第1及び第2のペースト電極層21,22の特徴を示すために、その厚みを実際の比率より大きく示したものである。
Further, the thickness T2 of the
次に、ブロット工程S15において、第2のペースト電極層22の長側面13を覆う部分22aを平面状のプレート7に押し付ける。これは、部分22aをより平坦化するためである。引き続いて、本乾燥工程S16において、第1及び第2のペースト電極層21,22の全体を完全に乾燥させる。図10(a)に示すように、遠赤外線ヒータ8をチップ素体1の下方に配置して、第1及び第2のペースト電極層21,22を乾燥させる。これにより、図10(b)に示すように、第1及び第2のペースト電極層21,22が一体化した第1のグリーン電極層20を得る。
Next, in the blotting step S <b> 15, the
第2のグリーン電極層の形成工程S4においても、第1のグリーン電極層の形成工程S2と同様な手順でチップ素体1の長側面14側に第2のグリーン電極層が形成される。なお、第1及び第2のペースト電極層21,22に、本乾燥工程S16及び上記の焼成工程S5を含む熱処理を行い、第1及び第2の電極層を得ることとなる。
Also in the second green electrode layer forming step S4, the second green electrode layer is formed on the
以上説明した本実施形態に係る電子部品の製造方法では、第1のペースト電極層21の上に更に第2のペースト電極層22を形成する。第1のペースト電極層21は、チップ素体1の長側面13の中央部13aを覆う第1の部分21dの厚みT1が、稜部17を覆う第2の部分21bの厚みR1より厚い。そして、第2のペースト電極層22は、第1のペースト電極層21の第1の部分21dを覆う第3の部分22dの厚みT2が、第2の部分21bを覆う第4の部分22bの厚みR2より薄い。従って、第1及び第2のペースト電極層21,22を熱処理して形成される電極層においては、第1のペースト電極層のみを熱処理して形成される電極層より、チップ素体1の長側面を覆う部分21aがより平坦で、且つ、稜部17を覆う部分21bの厚みをより厚くすることができる。これにより、チップ素体1の長側面13を覆う部分の厚みと稜部を覆う部分の厚みとの差を小さくすることができる。
In the electronic component manufacturing method according to the present embodiment described above, the second
また、保持具の移し変え工程S3において、保持具5の粘着面5aと第1のペースト電極層21における長側面13を覆う部分21aとを粘着させると、部分21aがより平坦化しているので、チップ素体1を水平且つ確実に保持することができる。
Further, in the holder transfer step S3, when the
また、本実施形態に係る電子部品の製造方法では、第1の導電ペーストの付与工程S11において、チップ素体1の長側面13及び稜部17に導電ペーストを浸漬塗布すると、形成される第1のペースト電極層21は、長側面13を覆う部分が山形状となる。仮乾燥工程S13において、乾燥を行うと、第2の領域21fが第1の領域21eより早く乾燥する。そこで、第1の領域21eが未乾燥状態で第2の領域21fが乾燥状態となるまで仮乾燥を行う。この仮乾燥状態である第1のペースト電極層21を導電ペーストに浸漬すると、乾燥した表面には、未乾燥の表面より厚く導電ペーストが付着する。従って、第2の領域21fを覆う部分の厚みが第1の領域21eを覆う部分の厚みより厚い第2のペースト電極層22を形成することができる。すなわち、第2のペースト電極層22において、チップ素体1の稜部17を覆う第4の部分22bの厚みR2を長側面13の中央部13aを覆う第3の部分22dの厚みT2より厚く形成することができる。これにより、チップ素体1の長側面13を覆う部分がより平坦で、稜部17を覆う部分の厚みがより厚い電極層を形成することができる。
Moreover, in the manufacturing method of the electronic component according to the present embodiment, the first conductive paste is formed by immersing the conductive paste on the
また、本実施形態に係る電子部品の製造方法では、第1及び第2の導電ペーストの付与工程S11,S14において、第2のペースト電極層22の第3の部分22dの厚みT2が、第1のペースト電極層21の第1の部分21dの厚みT1より薄く、第2のペースト電極層22の第4の部分22bの厚みR2が、第1のペースト電極層21の第2の部分21bの厚みR1より厚くなるように、第1及び第2のペースト電極層21,22をそれぞれ形成する。このように第1及び第2のペースト電極層21,22を形成することにより、チップ素体1の第1の面13を覆う部分がより平坦で、稜部17を覆う部分の厚みがより厚い電極層を形成することができる。
In the electronic component manufacturing method according to the present embodiment, the thickness T2 of the
また、本実施形態に係る電子部品の製造方法では、第1のペースト電極層21における第1の面13を覆う部分21aを平面に押し付けるブロット工程S12を更に備える。これにより、第1のペースト電極層21において第1の面13を覆う部分21aをより平坦化することができる。
The electronic component manufacturing method according to the present embodiment further includes a blotting step S12 that presses a
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、ブロット工程S12は仮乾燥工程S13の後に行うものとしたが、仮乾燥工程S13の後に行っても良い。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. For example, in the above embodiment, the blotting step S12 is performed after the temporary drying step S13, but may be performed after the temporary drying step S13.
例えば、上記実施形態では、仮乾燥工程S13において乾燥状態とする第2の領域21fは、長側面13の周囲の稜部17を含むとしたが、これに限らない。長側面13の長手方向の長さが短手方向の長さに比べて十分に大きいために、接着力の作用により、第1のペースト電極層21において主面11及び主面12それぞれと長側面13との間の稜部の中央部を覆う部分が比較的厚い場合がある。この場合は、第2の領域21fとして、主面11及び主面12それぞれと長側面13との間の稜部を含んでいなくともよい。すなわち、主面11及び主面12それぞれと長側面13との間の稜部の中央部を覆う部分が未乾燥状態で、第2の導電ペーストの付与工程S14を実施してもよい。なお、接着力の作用とは、チップ素体の一方の面を容器に溜めた導電ペーストに浸漬して持ち上げる際に、チップ素体の一方の面に付着した導電ペーストが、容器内の導電ペーストに引っ張られる作用のことである。
For example, in the above embodiment, the
また、上記仮乾燥工程S13では、第1のペースト電極層21の乾燥状態を目視で確認することとしたが、これに限られない。上記において、色の濃淡を定量的に測定するために画像認識装置を用いたが、この画像認識装置によるRGB値の測定結果により乾燥状態を確認してもよい。また、顕微鏡を用いて第1のペースト電極層21の表面の濃淡を視認してもよい。また、第1のペースト電極層21の未乾燥領域と乾燥領域とでは、例えば、ステンレス等の平滑な金属板等に対するくっつき強度が異なるので、このくっつき強度に基づいて、乾燥状態を確認してもよい。
In the temporary drying step S13, the dry state of the first
また、仮乾燥工程S13において、未乾燥状態の第1の領域21eは、第1の部分21dを中心に、長側面13を覆う部分21aに対して85〜50%程度とすることが好ましく、より好ましくは、80%程度である。この点について図11を参照して試験結果を説明する。
Moreover, in temporary drying process S13, it is preferable that the 1st area |
図11は、未乾燥領域(第1の領域21e)の長側面13を覆う部分21aに対する割合と、膜厚差との関係を示すグラフである。縦軸は、膜厚差を示す。膜厚差は、第1の外部電極における最も膜厚が厚い中央部分の厚みと、この中央部分から長手方向に沿って、短側面15と短側面16との間の距離の1/4移動した位置における厚みとの差である。この膜厚差が大きいほど、第1の外部電極は、山状に突出し、中央部の厚みと稜部の厚みとの差が大きいこととなる。
FIG. 11 is a graph showing the relationship between the ratio of the undried region (
横軸は、未乾燥領域の割合を示す。図11のグラフでは、未乾燥領域の割合が、90%、85%、80%、50%、30%の膜厚差を示している。未乾燥領域の割合が90%の場合、仮乾燥工程S13を経ずに、第1のペースト電極層21に続けて第2のペースト電極層22を形成した場合との差が小さく、膜厚差が大きい。また、未乾燥領域の割合が30%の場合、第1のペースト電極層21を完全に乾燥した後に、第2のペースト電極層22を形成した場合との差が小さく、膜厚差が大きい。図11のグラフに示されるように、未乾燥状態の第1の領域21eは、長側面13を覆う部分21aに対して85〜50%程度とすることが好ましく、より好ましくは、80%程度である。
The horizontal axis indicates the ratio of the undried region. In the graph of FIG. 11, the proportion of the undried region indicates a film thickness difference of 90%, 85%, 80%, 50%, and 30%. When the ratio of the undried region is 90%, the difference from the case where the second
1…チップ素体、2…第1の外部電極、3…第2の外部電極、4,5…保持具、4a,5a…粘着面、6…導電ペースト層、13…長側面(第1の面)、17,18…稜部、20…グリーン電極層、21…第1のペースト電極層、21b…第2の部分、21d…第1の部分、21e…第1の領域、21f…第2の領域、22…第2のペースト電極層、22b…第4の部分、22d…第3の部分、E…電子部品。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記チップ素体の第1の面と当該第1の面から前記4つの第2の面に亘る部分とを導電ペーストに浸漬して、第1のペースト電極層を形成する第1の導電ペーストの付与工程と、
前記第1のペースト電極層に導電ペーストを付与して、第2のペースト電極層を形成する第2の導電ペーストの付与工程と、
前記第1及び第2のペースト電極層を熱処理して電極層を形成する熱処理工程と、
を備え、
前記第1の導電ペーストの付与工程では、前記第1の面の中央部を覆う第1の部分の厚みが、前記4つの第2の面のうち対向する一対の面それぞれと前記第1の面との間の稜部を覆う第2の部分の厚みより厚い前記第1のペースト電極層を形成し、
前記第2の導電ペーストの付与工程では、前記第1の部分を覆う第3の部分の厚みが、前記第2の部分を覆う第4の部分の厚みより薄い前記第2のペースト電極層を形成することを特徴とする電子部品の製造方法。 A preparatory step of preparing a chip body having a substantially rectangular parallelepiped shape and having a first surface and four second surfaces perpendicular to and adjacent to the first surface;
A first conductive paste for forming a first paste electrode layer by immersing a first surface of the chip body and a portion extending from the first surface to the four second surfaces in a conductive paste. Granting process;
Applying a second conductive paste by applying a conductive paste to the first paste electrode layer to form a second paste electrode layer;
A heat treatment step of heat-treating the first and second paste electrode layers to form an electrode layer;
With
In the application step of the first conductive paste, the thickness of the first portion covering the central portion of the first surface is such that each of the pair of opposing surfaces of the four second surfaces and the first surface Forming the first paste electrode layer thicker than the thickness of the second portion covering the ridge between
In the applying step of the second conductive paste, the second paste electrode layer is formed such that the thickness of the third portion covering the first portion is smaller than the thickness of the fourth portion covering the second portion. A method for manufacturing an electronic component, comprising:
前記第1の導電ペーストの付与工程では、前記第1の部分が突出した山形状を有し、当該第1の部分を含む第1の領域と、前記稜部を含む第2の領域とを有する前記第1のペースト電極層を形成し、
前記仮乾燥工程では、前記第1の領域が未乾燥で、前記第2の領域が乾燥した仮乾燥状態となるまで前記第1のペースト電極層を乾燥し、
前記第2の導電ペーストの付与工程では、前記仮乾燥状態である前記第1のペースト電極層を導電ペーストに浸漬することにより、前記第2のペースト電極層を形成することを特徴とする請求項1記載の電子部品の製造方法。 A provisional drying step of drying a part of the first paste electrode layer;
In the application step of the first conductive paste, the first portion has a protruding mountain shape, and includes a first region including the first portion and a second region including the ridge portion. Forming the first paste electrode layer;
In the provisional drying step, the first paste electrode layer is dried until the first region is undried and the second region is in a dried state.
The second paste electrode layer is formed by immersing the first paste electrode layer in the temporarily dried state in a conductive paste in the applying step of the second conductive paste. 1. A method for producing an electronic component according to 1.
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