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JP2009158712A - Adhesive for electronic parts - Google Patents

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JP2009158712A
JP2009158712A JP2007334746A JP2007334746A JP2009158712A JP 2009158712 A JP2009158712 A JP 2009158712A JP 2007334746 A JP2007334746 A JP 2007334746A JP 2007334746 A JP2007334746 A JP 2007334746A JP 2009158712 A JP2009158712 A JP 2009158712A
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明伸 早川
Hideaki Ishizawa
英亮 石澤
Kohei Takeda
幸平 竹田
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Sekisui Chemical Co Ltd
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Sekisui Chemical Co Ltd
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Abstract

【課題】電子部品のソリ等の発生を防止し、接着信頼性に極めて優れ、ジェットディスペンス装置を用いた塗布方法に好適に用いることができるとともに、精密な塗布をすることが可能な電子部品用接着剤を提供する。
【解決手段】特定のN基含有3感能エポキシ化合物(A)を20〜60重量%と、炭素数11〜30のアルキル基、アルケニル基又はアラルキル基含有無水コハク酸化合物(C)を30〜60重量%と、硬化促進剤とを含有する電子部品用接着剤。
【選択図】なし
An electronic component that prevents warping of an electronic component, has excellent adhesion reliability, can be suitably used for a coating method using a jet dispensing apparatus, and can be applied precisely. Provide adhesive.
SOLUTION: A specific N group-containing 3-sensitive epoxy compound (A) is 20 to 60% by weight, and an alkyl group, alkenyl group or aralkyl group-containing succinic anhydride compound (C) having a carbon number of 11 to 30 is 30 to 30% by weight. An adhesive for electronic parts containing 60% by weight and a curing accelerator.
[Selection figure] None

Description

本発明は、電子部品のソリ等の発生を防止し、接着信頼性に極めて優れ、ジェットディスペンス装置を用いた塗布方法に好適に用いることができるとともに、精密な塗布をすることが可能な電子部品用接着剤に関する。 The present invention prevents electronic parts from warping and the like, is extremely excellent in adhesion reliability, can be suitably used in a coating method using a jet dispensing apparatus, and can be applied precisely. Relates to adhesives.

近年、益々半導体チップ等の電気部品の小型化が要求されており、例えば、半導体チップの薄片化も進んでいる。これに伴い、接着剤を介して半導体チップと基板とを接着する際に、半導体チップに生じるソリの問題が益々重要な課題となってきている。
この半導体チップに生じるソリの問題は、半導体チップと基板との間を接着する接着剤を硬化させるときの温度から室温にまで冷却される過程における、半導体チップと基板との伸び率の温度依存性の相違により生じる応力が大きな要因であると考えられる。
In recent years, there is an increasing demand for miniaturization of electrical components such as semiconductor chips. For example, semiconductor chips are becoming thinner. Accordingly, when the semiconductor chip and the substrate are bonded via an adhesive, the problem of warping generated in the semiconductor chip has become an increasingly important issue.
The problem of warping that occurs in this semiconductor chip is the temperature dependence of the elongation rate between the semiconductor chip and the substrate in the process of cooling from the temperature at which the adhesive bonding between the semiconductor chip and the substrate is cured to room temperature. It is considered that the stress caused by the difference is a major factor.

このような問題に対し、例えば、半導体チップと基板との間を接着する接着剤で、半導体チップと基板との伸び率の温度依存性の相違により生じる応力を緩和することが考えられている。
ここで、半導体チップと基板との伸び率の温度依存性の相違により生じる応力を緩和するためには、半導体チップと基板との間を接着する接着剤は、硬化物の常温での貯蔵弾性率が4GPa以下である必要があるとされる。しかしながら、この条件を満たす一般的な高分子化合物は、175℃付近での貯蔵弾性率が40MPa以下になってしまい、このような高分子化合物からなる接着剤で半導体チップと基板との間を接着すると、ワイヤボンディング処理をすることができないとされている(例えば、特許文献1参照)。
In order to solve such a problem, for example, it is considered that an adhesive that bonds between a semiconductor chip and a substrate is used to relieve a stress caused by a difference in temperature dependence of the elongation rate between the semiconductor chip and the substrate.
Here, in order to relieve the stress caused by the difference in temperature dependence of the elongation rate between the semiconductor chip and the substrate, the adhesive that bonds between the semiconductor chip and the substrate is the storage modulus of the cured product at room temperature. Is required to be 4 GPa or less. However, a general polymer compound satisfying this condition has a storage elastic modulus of about 40 MPa or less at around 175 ° C., and an adhesive composed of such a polymer compound bonds the semiconductor chip and the substrate. Then, it is said that a wire bonding process cannot be performed (for example, refer patent document 1).

これに対し、常温での貯蔵弾性率を4GPa以下に保ちつつ、175℃での貯蔵弾性率が40MPaを超えるものとする方法として、アクリル樹脂とエポキシ化合物とを相分離させ、更にこれらの樹脂中にフィラーを高充填する方法が開示されている(例えば、非特許文献1参照)。
しかしながら、このような方法では、フィラーが高充填されているため、接着剤の接着強度が低く、半導体チップ等の電気部品の接着信頼性に問題が生じるものであった。
On the other hand, as a method for maintaining the storage elastic modulus at room temperature at 4 GPa or lower and the storage elastic modulus at 175 ° C. to exceed 40 MPa, the acrylic resin and the epoxy compound are phase-separated, and further in these resins Discloses a method of highly filling a filler (for example, see Non-Patent Document 1).
However, in such a method, since the filler is highly filled, the adhesive strength of the adhesive is low, and a problem arises in the adhesion reliability of electrical parts such as semiconductor chips.

また、近年、電子部品用接着剤では、塗布方法の選択自由度が強く求められている。しかしながら、従来公知の接着剤では、例えば、ジェットディスペンス装置を用いた塗布方法を用いた場合、ノズル部分に液垂れが発生したりすること等の問題があり、塗布方法の多様性という要望に応えるものが実現できていなかった。 In recent years, adhesives for electronic parts have been strongly demanded for a degree of freedom in selecting a coating method. However, in the case of a conventionally known adhesive, for example, when a coating method using a jet dispensing apparatus is used, there is a problem such as the occurrence of liquid dripping at the nozzle portion, which meets the demand for a variety of coating methods. Things were not realized.

更に、近年では、電子部品の小型化ニーズの増大に伴い、電子部品用接着剤に関しても、益々精密塗布性が求められている。しかしながら、従来公知の接着剤、例えば、上述のようにフィラーが高充填された接着剤を用いると、フィラーの凝集や塗布時のノズル詰まりが生じることから、接着剤を少量ずつ塗布することが困難となり、精密に塗布することができないという問題があった。
特開2005−183788号公報 日立化成テクニカルレポートNo.47(2006−7)
Further, in recent years, with the increasing needs for downsizing electronic components, there is an increasing demand for precision coating properties for adhesives for electronic components. However, when a conventionally known adhesive, for example, an adhesive that is highly filled with a filler as described above is used, the filler is agglomerated and the nozzle is clogged during application, so that it is difficult to apply the adhesive little by little. Therefore, there was a problem that it could not be applied precisely.
JP 2005-183788 A Hitachi Chemical Technical Report No. 47 (2006-7)

本発明は、上記現状に鑑み、電子部品のソリ等の発生を防止し、接着信頼性に極めて優れ、ジェットディスペンス装置を用いた塗布方法に好適に用いることができるとともに、精密な塗布をすることが可能な電子部品用接着剤を提供することを目的とする。 In view of the above situation, the present invention prevents the occurrence of warping of electronic parts, is extremely excellent in adhesion reliability, can be suitably used for a coating method using a jet dispensing apparatus, and performs precise coating. An object of the present invention is to provide an adhesive for electronic parts.

本発明は、下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物(A)を20〜60重量%と、下記一般式(3)で表される無水コハク酸化合物(C)を30〜60重量%と、硬化促進剤とを含有する電子部品用接着剤である。 In the present invention, the epoxy compound (A) represented by the following general formula (1) is 20 to 60% by weight and the succinic anhydride compound (C) represented by the following general formula (3) is 30 to 60% by weight. And an adhesive for electronic parts containing a curing accelerator.

Figure 2009158712
Figure 2009158712

一般式(1)中、Rは、水素又は炭素数1〜3のアルキル基を表す。 In general formula (1), R 1 represents hydrogen or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms.

Figure 2009158712
Figure 2009158712

一般式(3)中、Rは、炭素数11〜30のアルキル基、アルケニル基又はアラルキル基を表す。
以下、本発明を詳述する。
In General Formula (3), R 3 represents an alkyl group, an alkenyl group, or an aralkyl group having 11 to 30 carbon atoms.
The present invention is described in detail below.

本発明者らは、鋭意検討した結果、所定の構造を有するエポキシ化合物(A)所定量と、所定の構造を有する無水コハク酸化合物(C)所定量と、硬化促進剤とを用いることによって、電子部品のソリ等の発生を防止し、接着信頼性に極めて優れ、ジェットディスペンス装置を用いた塗布方法に好適に用いることができるとともに、精密な塗布をすることが可能な電子部品用接着剤を得ることができることを見出し、本発明を完成するに至った。
これは、エポキシ化合物(A)と無水コハク酸化合物(C)とを併用することによって、従来のようにフィラー等を高充填することなく、得られる硬化物について、低温(10〜50℃)における貯蔵弾性率が低く(1000〜4000MPa)、高温(170℃以上)における貯蔵弾性率が高く(40MPa以上)、更に、ガラス転移温度(Tg)が好適な範囲(110〜150℃)となる電子部品用接着剤が得られることによるものである。このようにして、得られる硬化物は、低温領域(10〜50℃)において応力緩和性に優れ、高温領域(170℃以上)においてワイヤボンディング時に撓みを生じることなく、非常に高い接着信頼性を発揮することが可能となる。
また、エポキシ化合物(A)、無水コハク酸化合物(C)、そして、硬化促進剤を併用すると、本発明の電子部品用接着剤は、硬化速度が非常に速く低温で硬化させることが可能なため、本発明の電子部品用接着剤と、本発明の電子部品用接着剤を介して接着された電子部品と基材とからなる電子部品接合体において、電子部品のソリの発生を極めて効果的に低減することが可能となる。
更に、このように本発明の電子部品用接着剤の硬化速度が非常に速いことは、本発明の電子部品用接着剤について、エポキシ化合物(A)が揮発してしまう前に硬化せしめることができるため、得られる硬化物においてボイドの発生を極めて効果的に防止することができる。
As a result of intensive studies, the present inventors have used a predetermined amount of an epoxy compound (A) having a predetermined structure, a predetermined amount of a succinic anhydride compound (C) having a predetermined structure, and a curing accelerator, An adhesive for electronic parts that prevents the occurrence of warping of electronic parts, has excellent adhesion reliability, can be suitably used for a coating method using a jet dispensing apparatus, and can be applied precisely. The present invention has been found, and the present invention has been completed.
This is because, by using the epoxy compound (A) and the succinic anhydride compound (C) in combination, the cured product obtained without using a high filler or the like as in the past, at a low temperature (10 to 50 ° C.). An electronic component having a low storage elastic modulus (1000 to 4000 MPa), a high storage elastic modulus at a high temperature (170 ° C. or higher) (40 MPa or higher), and a glass transition temperature (Tg) in a suitable range (110 to 150 ° C.). This is because an adhesive is obtained. Thus, the obtained cured product is excellent in stress relaxation property in a low temperature region (10 to 50 ° C.), and has very high adhesion reliability without causing bending at the time of wire bonding in a high temperature region (170 ° C. or more). It becomes possible to demonstrate.
Moreover, when an epoxy compound (A), a succinic anhydride compound (C), and a curing accelerator are used in combination, the adhesive for electronic parts of the present invention has a very fast curing speed and can be cured at a low temperature. In the electronic component assembly comprising the adhesive for electronic components of the present invention and the electronic component and substrate bonded via the adhesive for electronic components of the present invention, generation of warpage of the electronic components is extremely effective. It becomes possible to reduce.
Furthermore, since the curing speed of the adhesive for electronic parts of the present invention is very fast as described above, the adhesive for electronic parts of the present invention can be cured before the epoxy compound (A) is volatilized. Therefore, generation of voids can be extremely effectively prevented in the obtained cured product.

本発明の電子部品用接着剤は、下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物(A)を含有する。 The adhesive for electronic components of the present invention contains an epoxy compound (A) represented by the following general formula (1).

Figure 2009158712
Figure 2009158712

一般式(1)中、Rは、水素又は炭素数1〜3のアルキル基を示す。 In general formula (1), R 1 represents hydrogen or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms.

このようなエポキシ化合物(A)を含有することによって、得られる硬化物の高温(170℃以上)における貯蔵弾性率を高く保つことができる。
また、上記エポキシ化合物(A)のみを用いると、得られる硬化物のガラス転移温度(Tg)が高くなり過ぎ、得られる電子部品用接着剤を用いて電子部品を接合した場合に、電子部品にソリが生じてしまうことがあるが、後述する無水コハク酸化合物(C)と上記エポキシ化合物(A)とを併用することによって、得られる硬化物のガラス転移温度(Tg)を110〜150℃と好適な範囲に制御することが可能となる。このように、得られる硬化物のガラス転移温度(Tg)を110〜150℃とすることによって、電子部品のソリの発生を防止することが可能となる。
更に、上記エポキシ化合物(A)は、後述する無水コハク酸化合物(C)と硬化促進剤とを併用することによって、極めて速く硬化する。硬化速度が速いと、上記エポキシ化合物(A)が揮発してしまう前に硬化するため、得られる硬化物のボイドの発生を極めて効果的に低減することができる。
By containing such an epoxy compound (A), the storage elastic modulus at high temperature (170 ° C. or higher) of the obtained cured product can be kept high.
Further, when only the epoxy compound (A) is used, the glass transition temperature (Tg) of the obtained cured product becomes too high, and when the electronic component is bonded using the obtained adhesive for electronic components, Although warpage may occur, the glass transition temperature (Tg) of the cured product obtained by using the succinic anhydride compound (C) and the epoxy compound (A) described below in combination is 110 to 150 ° C. It becomes possible to control within a suitable range. Thus, it becomes possible to prevent generation | occurrence | production of the curvature of an electronic component by setting the glass transition temperature (Tg) of the hardened | cured material to 110-150 degreeC.
Furthermore, the epoxy compound (A) is cured extremely quickly by using a succinic anhydride compound (C) described later and a curing accelerator in combination. When the curing speed is high, the epoxy compound (A) is cured before it volatilizes, so that the generation of voids in the resulting cured product can be extremely effectively reduced.

上記エポキシ化合物(A)は、低粘度であるため、本発明の電子部品用接着剤は、比較的低粘度になり、塗布性に優れ、様々な塗布方法に対応することができる。なかでも、ジェットディスペンス装置に好適に使用できるようになる。 Since the epoxy compound (A) has a low viscosity, the adhesive for electronic parts of the present invention has a relatively low viscosity, is excellent in coating properties, and can be applied to various coating methods. Among these, it can be suitably used for a jet dispensing apparatus.

上記エポキシ化合物(A)の市販品としては特に限定されず、例えば、EP3950S、EP3900S(以上、いずれもADEKA社製)等が挙げられる。 It does not specifically limit as a commercial item of the said epoxy compound (A), For example, EP3950S, EP3900S (above, all are the products made from ADEKA) etc. are mentioned.

上記エポキシ化合物(A)は、配合量の下限が20重量%、上限が60重量%である。20重量%未満であると、得られる硬化物の高温における貯蔵弾性率が充分に高くならないことがあり、得られる電子部品用接着剤の粘度が充分に低くならないことがある。60重量%を超えると、未反応のエポキシ基が残存し、得られる電子部品接合体の接着信頼性に悪影響を及ぼす可能性がある。好ましい下限は30重量%、好ましい上限は50重量%、より好ましい上限は40重量%である。 The lower limit of the amount of the epoxy compound (A) is 20% by weight, and the upper limit is 60% by weight. If it is less than 20% by weight, the storage modulus of the resulting cured product at high temperatures may not be sufficiently high, and the viscosity of the resulting adhesive for electronic components may not be sufficiently low. If it exceeds 60% by weight, unreacted epoxy groups remain, which may adversely affect the adhesion reliability of the resulting electronic component assembly. A preferred lower limit is 30% by weight, a preferred upper limit is 50% by weight, and a more preferred upper limit is 40% by weight.

本発明の電子部品用接着剤は、下記一般式(2)で表されるエポキシ化合物(B)を含有することが好ましい。 The adhesive for electronic components of the present invention preferably contains an epoxy compound (B) represented by the following general formula (2).

Figure 2009158712
Figure 2009158712

一般式(2)中、Rは、水素又は炭素数1〜3のアルキル基を示す。 In General Formula (2), R 2 represents hydrogen or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms.

このようなエポキシ化合物(B)は、加温により粘度が急激に落ちるため、ジェットディスペンス装置を用いた塗布方法にも極めて好適に使用することができる。
なお、上記エポキシ化合物(B)が、加温により粘度が急激に落ちるのは、エポキシ化合物(B)が室温では結晶性を有するが、加温により結晶性が崩れるためであると考えられる。
Such an epoxy compound (B) can be used very suitably for a coating method using a jet dispensing apparatus because its viscosity drops sharply when heated.
In addition, it is thought that the viscosity of the epoxy compound (B) suddenly drops due to heating because the epoxy compound (B) has crystallinity at room temperature, but crystallinity collapses due to heating.

上記エポキシ化合物(B)は、上記エポキシ化合物(A)と併用することによって、得られる電子部品用接着剤は、常温において低粘度とすることができ、更に、高温において低粘度とすることが可能となり、優れたディスペンス性、ボンディング性、及び、接着信頼性が得られる。
更に、上記エポキシ化合物(B)は、上記エポキシ化合物(A)と同様、後述する無水コハク酸化合物(C)と併用することによって、極めて速く硬化する。従って、他の反応性希釈剤を配合した場合と比較すると、得られる硬化物においてボイドの発生を極めて効果的に低減することができる。
When the epoxy compound (B) is used in combination with the epoxy compound (A), the resulting adhesive for electronic components can have a low viscosity at room temperature, and can also have a low viscosity at high temperature. Thus, excellent dispensing properties, bonding properties, and adhesion reliability can be obtained.
Furthermore, the said epoxy compound (B) hardens | cures very rapidly by using together with the succinic anhydride compound (C) mentioned later similarly to the said epoxy compound (A). Therefore, compared with the case where other reactive diluents are blended, generation of voids can be extremely effectively reduced in the obtained cured product.

上記エポキシ化合物(B)の市販品としては特に限定されず、例えば、EX−201(ナガセケムテックス社製)等が挙げられる。 It does not specifically limit as a commercial item of the said epoxy compound (B), For example, EX-201 (made by Nagase ChemteX Corporation) etc. are mentioned.

上記エポキシ化合物(B)の配合量としては特に限定されないが、好ましい下限が5重量%、好ましい上限が40重量%である。5重量%未満であると、得られる電子部品用接着剤の粘度が充分低くならないことがあり、硬化物の高温における貯蔵弾性率が、充分に高くならないことがある。40重量%を超えると、得られる電子部品接合体において、電子部品のソリが大きくなることがある。より好ましい下限は、10重量%、より好ましい上限は30重量%である。 Although it does not specifically limit as a compounding quantity of the said epoxy compound (B), A preferable minimum is 5 weight% and a preferable upper limit is 40 weight%. If it is less than 5% by weight, the viscosity of the resulting adhesive for electronic parts may not be sufficiently low, and the storage elastic modulus of the cured product at high temperatures may not be sufficiently high. If it exceeds 40% by weight, warpage of the electronic component may be increased in the obtained electronic component assembly. A more preferred lower limit is 10% by weight, and a more preferred upper limit is 30% by weight.

本発明の電子部品用接着剤は、更に、エポキシ基を有する高分子量ポリマー(以下、単に高分子量ポリマーともいう)を含有してもよい。
上記エポキシ基を有する高分子量ポリマーとしては特に限定されず、例えば、エポキシ変性ポリエチレングリコール、エポキシ変性ポリプロピレングリコール、エポキシ基含有アクリルゴム、エポキシ基含有ブタジエンゴム、ビスフェノール型高分子量エポキシ樹脂、エポキシ基含有フェノキシ樹脂、エポキシ基含有(メタ)アクリル樹脂、エポキシ基含有ウレタン樹脂、エポキシ基含有ポリエステル樹脂等のエポキシ基を有するアクリル系高分子化合物、エポキシ末端NBR樹脂、等が挙げられる。これらのエポキシ基を有する高分子量ポリマーは単独で用いてもよく、併用してもよい。
The adhesive for electronic components of the present invention may further contain a high molecular weight polymer having an epoxy group (hereinafter also simply referred to as a high molecular weight polymer).
The high molecular weight polymer having an epoxy group is not particularly limited. For example, epoxy-modified polyethylene glycol, epoxy-modified polypropylene glycol, epoxy group-containing acrylic rubber, epoxy group-containing butadiene rubber, bisphenol type high molecular weight epoxy resin, epoxy group-containing phenoxy Examples thereof include an acrylic polymer compound having an epoxy group such as a resin, an epoxy group-containing (meth) acrylic resin, an epoxy group-containing urethane resin, and an epoxy group-containing polyester resin, and an epoxy-terminated NBR resin. These high molecular weight polymers having an epoxy group may be used alone or in combination.

上記エポキシ基を有する高分子量ポリマーの配合量としては特に限定されないが、好ましい上限は30重量%である。30重量%を超えると、得られる硬化物について、所望の範囲のガラス転移温度、貯蔵弾性率等が達成できなくなることがある。 Although it does not specifically limit as a compounding quantity of the high molecular weight polymer which has the said epoxy group, A preferable upper limit is 30 weight%. When it exceeds 30% by weight, a glass transition temperature, a storage elastic modulus, and the like in a desired range may not be achieved for the obtained cured product.

本発明の電子部品用接着剤は、下記一般式(3)で表される無水コハク酸化合物(C)(以下、単に無水コハク酸化合物(C)ともいう)を含有する。 The adhesive for electronic parts of the present invention contains a succinic anhydride compound (C) represented by the following general formula (3) (hereinafter also simply referred to as succinic anhydride compound (C)).

Figure 2009158712
Figure 2009158712

一般式(3)中、Rは、炭素数11〜30のアルキル基、アルケニル基又はアラルキル基を表す。 In General Formula (3), R 3 represents an alkyl group, an alkenyl group, or an aralkyl group having 11 to 30 carbon atoms.

上記無水コハク酸化合物(C)は、硬化剤としての役割を担う。
更に、上記無水コハク酸化合物(C)が有するRは、得られる硬化物において、柔軟性を発揮する。すなわち、上記エポキシ化合物(A)及び上記エポキシ化合物(B)のみからなる場合には、硬い硬化物となるところ、上記無水コハク酸化合物(C)を用いると、上記無水コハク酸化合物(C)が側鎖に有する柔軟な骨格が付加されるため、得られる硬化物は、全体として柔軟性を発揮することができる。このようにして、室温下での比較的低弾性率を担保することができる。
The succinic anhydride compound (C) plays a role as a curing agent.
Further, R 3 in which the succinic anhydride compound (C) has, in the cured product obtained, exhibits flexibility. That is, when it consists only of the said epoxy compound (A) and the said epoxy compound (B), when it becomes a hard hardened | cured material, when the said succinic anhydride compound (C) is used, the said succinic anhydride compound (C) will become Since the flexible skeleton possessed by the side chain is added, the obtained cured product can exhibit flexibility as a whole. In this way, a relatively low elastic modulus at room temperature can be ensured.

一般に、硬化剤としては、上記無水コハク酸化合物(C)以外にも様々考えられるが、上記酸無水物以外の硬化剤のみを用いると、得られる硬化物について、高温領域における貯蔵弾性率を高くすることはできるものの、常温における貯蔵弾性率も高くなり過ぎてしまうことから、応力緩和性が得られず、熱サイクル下において、クラック、ソリ等が発生することがある。
なお、硬化剤として、上記無水コハク酸化合物(C)と必ずしも同一の化合物でなくとも、酸無水物の側鎖に同様の柔軟な骨格を有する化合物を用いても、本発明の電子部品用接着剤と同様の効果を得ることが期待できる。
このような、酸無水物の側鎖に柔軟な骨格を有する化合物としては特に限定されず、例えば、例えば、炭素数10〜16のアルキル基、炭素数10〜16のアルケニル基、炭素数10〜16のアラルキル基等を有する酸無水物が挙げられる。
In general, various curing agents other than the succinic anhydride compound (C) can be considered, but when only a curing agent other than the acid anhydride is used, the resulting cured product has a high storage elastic modulus in a high temperature region. However, since the storage elastic modulus at room temperature becomes too high, stress relaxation cannot be obtained, and cracks, warpage, etc. may occur under a thermal cycle.
The adhesive for electronic parts of the present invention can be used as a curing agent even if a compound having the same flexible skeleton in the side chain of the acid anhydride is not necessarily the same compound as the succinic anhydride compound (C). It can be expected to obtain the same effect as the agent.
Such a compound having a flexible skeleton in the side chain of the acid anhydride is not particularly limited, and examples thereof include, for example, an alkyl group having 10 to 16 carbon atoms, an alkenyl group having 10 to 16 carbon atoms, and 10 to 10 carbon atoms. And acid anhydrides having 16 aralkyl groups and the like.

更に、上記無水コハク酸化合物(C)は、上記エポキシ化合物(A)及び/又は上記エポキシ化合物(B)、そして、硬化促進剤と併用すると、硬化速度が非常に速いため、得られる硬化物において、ボイドの発生を極めて効果的に低減し、得られる電子部品接合体において、電子部品のソリの発生を極めて効果的に低減することができる。 Furthermore, since the succinic anhydride compound (C) has a very high curing speed when used in combination with the epoxy compound (A) and / or the epoxy compound (B) and a curing accelerator, The generation of voids can be extremely effectively reduced, and the occurrence of warping of electronic components can be extremely effectively reduced in the obtained electronic component assembly.

上記無水コハク酸化合物(C)としては特に限定されず、例えば、テトラプロペニル無水コハク酸等が挙げられる。 The succinic anhydride compound (C) is not particularly limited, and examples thereof include tetrapropenyl succinic anhydride.

上記無水コハク酸化合物(C)の配合量は、下限が20重量%、上限が60重量%である。20重量%未満であると、充分な柔軟性を付与できないことがある。60重量%を超えると、未反応の硬化剤が存在することによって、接着信頼性が低下することがある。好ましい下限は25重量%、より好ましい下限は30重量%、好ましい上限は50重量%、より好ましい上限は40重量%である。また、上記酸無水物は単独で用いてもよいし、他の酸無水物と併用してもよい。他の酸無水物と併用する場合、上記酸無水物は酸無水物全体の40〜80重量%含まれることが好ましい。 The blending amount of the succinic anhydride compound (C) has a lower limit of 20% by weight and an upper limit of 60% by weight. If it is less than 20% by weight, sufficient flexibility may not be imparted. If it exceeds 60% by weight, adhesion reliability may be lowered due to the presence of an unreacted curing agent. A preferred lower limit is 25% by weight, a more preferred lower limit is 30% by weight, a preferred upper limit is 50% by weight, and a more preferred upper limit is 40% by weight. Moreover, the said acid anhydride may be used independently and may be used together with another acid anhydride. When used in combination with other acid anhydrides, the acid anhydride is preferably contained in an amount of 40 to 80% by weight of the whole acid anhydride.

本発明の電子部品用接着剤は、更に、硬化促進剤を含有する。
上記硬化促進剤としては特に限定されず、例えば、イミダゾール系硬化促進剤、3級アミン系硬化促進剤等が挙げられ、なかでも、硬化速度や硬化物の物性等の調整をするための反応系の制御をしやすいことから、イミダゾール系硬化促進剤が好適に用いられる。これらの硬化促進剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
上記イミダゾール系硬化促進剤としては特に限定されず、例えば、イミダゾールの1位をシアノエチル基で保護した1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾールや、イソシアヌル酸で塩基性を保護したもの(商品名「2MA−OK」、四国化成工業社製)等が挙げられる。これらのイミダゾール系硬化促進剤は、単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
The adhesive for electronic components of the present invention further contains a curing accelerator.
The curing accelerator is not particularly limited, and examples thereof include imidazole-based curing accelerators and tertiary amine-based curing accelerators. Among them, a reaction system for adjusting the curing speed and the physical properties of the cured product. Therefore, an imidazole curing accelerator is preferably used. These hardening accelerators may be used independently and may use 2 or more types together.
The imidazole curing accelerator is not particularly limited, and examples thereof include 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole in which the 1-position of imidazole is protected with a cyanoethyl group, and those whose basicity is protected with isocyanuric acid (trade name “2MA- OK ”, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.). These imidazole type hardening accelerators may be used independently and may use 2 or more types together.

上記硬化促進剤は、融点の好ましい下限が120℃である。120℃以上とすることで、本発明の電子部品用接着剤を加熱した場合に、ゲル化が抑制され、好適に電子部品の接合及び電子部品間の距離の調整ができる。また、酸無水物剤及び硬化促進剤のうち何れか一方は粉体であることが好ましい。 As for the said hardening accelerator, the minimum with a preferable melting | fusing point is 120 degreeC. By setting the temperature to 120 ° C. or higher, when the electronic component adhesive of the present invention is heated, gelation is suppressed, and the electronic components can be suitably joined and the distance between the electronic components can be adjusted appropriately. Moreover, it is preferable that any one of an acid anhydride agent and a hardening accelerator is a powder.

上記融点が120℃以上の硬化促進剤としては、例えば、2MZ,2MZ−P、2PZ,2PZ−PW、2P4MZ、C11Z−CNS、2PZ−CNS、2PZCNS−PW、2MZ−A、2MZA−PW、C11Z−A、2E4MZ−A、2MA−OK、2MAOK−PW、2PZ−OK、2MZ−OK、2PHZ、2PHZ−PW、2P4MHZ、2P4MHZ−PW、2E4MZ・BIS、VT,VT−OK、MAVT、MAVT−OK(以上、四国化成工業社製)等が挙げられる。特に、130℃までは安定で、135〜200℃で活性化する硬化促進剤が好ましく、上述したもののなかでは、2MA−OK、2MAOK−PWが好ましい。これらの硬化促進剤を用いた場合、貯蔵安定性、プロセス時の熱に対する安定性及び速硬化性の両立が可能となる。
上記酸無水物と硬化促進剤とを併用する場合、酸無水物の配合量は、上述したエポキシ化合物に含まれるエポキシ基に対して理論的に必要な当量以下とすることが好ましい。上記酸無水物の配合量が理論的に必要な当量を超えると、硬化後に水分によって塩素イオンが溶出しやすくなることがある。すなわち、硬化剤が過剰であると、例えば、本発明の電子部品用接着剤の硬化物から熱水で溶出成分を抽出した際に、抽出水のpHが4〜5程度となるため、上述したエポキシ化合物から塩素イオンが多量溶出することがある。従って、本発明の電子部品用接着剤の硬化物1gを、100℃の純水10gで2時間浸した後の純水のpHが6〜8であることが好ましく、pHが6.5〜7.5であることがより好ましい。
Examples of the curing accelerator having a melting point of 120 ° C. or higher include 2MZ, 2MZ-P, 2PZ, 2PZ-PW, 2P4MZ, C11Z-CNS, 2PZ-CNS, 2PZCNS-PW, 2MZ-A, 2MZA-PW, and C11Z. -A, 2E4MZ-A, 2MA-OK, 2MAOK-PW, 2PZ-OK, 2MZ-OK, 2PHZ, 2PHZ-PW, 2P4MHZ, 2P4MHZ-PW, 2E4MZ · BIS, VT, VT-OK, MAVT, MAVT-OK (Above, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.). In particular, a curing accelerator that is stable up to 130 ° C. and activated at 135 to 200 ° C. is preferable. Among those described above, 2MA-OK and 2MAOK-PW are preferable. When these curing accelerators are used, it is possible to achieve both storage stability, stability against heat during the process, and rapid curability.
When using the said acid anhydride and a hardening accelerator together, it is preferable that the compounding quantity of an acid anhydride shall be below theoretically required equivalent with respect to the epoxy group contained in the epoxy compound mentioned above. If the blending amount of the acid anhydride exceeds the theoretically required equivalent, chlorine ions may be easily eluted by moisture after curing. That is, if the curing agent is excessive, for example, when the elution component is extracted with hot water from the cured product of the adhesive for electronic components of the present invention, the pH of the extracted water becomes about 4 to 5, and thus the above-described case. Large amounts of chloride ions may elute from epoxy compounds. Accordingly, it is preferable that the pH of pure water after 1 g of the cured product of the adhesive for electronic parts of the present invention is immersed in 10 g of pure water at 100 ° C. for 2 hours is 6-8, and the pH is 6.5-7. .5 is more preferable.

上記硬化促進剤の配合量としては特に限定はされず、上記エポキシ化合物(上記エポキシ化合物(A)と上記エポキシ化合物(B)とを含有する場合には、上記エポキシ化合物(A)と上記エポキシ化合物(B)との合計)100重量部に対して好ましい下限が1重量部、好ましい上限が10重量部である。 The amount of the curing accelerator is not particularly limited, and the epoxy compound (when the epoxy compound (A) and the epoxy compound (B) are contained, the epoxy compound (A) and the epoxy compound are included). (A total with (B)) A preferable minimum is 1 weight part with respect to 100 weight part, and a preferable upper limit is 10 weight part.

本発明の電子部品用接着剤は、更に、平均粒子径が2〜200μmであり、CV値が10%以下であり、かつ、K値が980〜10000N/mmであるスペーサ粒子を含有することが好ましい。
このようなスペーサ粒子を含有することにより、例えば、本発明の電子部品用接着剤を用いて、2以上の半導体チップを積層する場合に、各半導体チップを本発明の電子部品用接着剤を介して接着することによって、半導体チップ同士の間隔を一定に保つことが可能となる。
The adhesive for electronic parts of the present invention further contains spacer particles having an average particle diameter of 2 to 200 μm, a CV value of 10% or less, and a K value of 980 to 10000 N / mm 2. Is preferred.
By containing such spacer particles, for example, when two or more semiconductor chips are laminated using the adhesive for electronic components of the present invention, each semiconductor chip is interposed via the adhesive for electronic components of the present invention. By adhering to each other, it is possible to keep the distance between the semiconductor chips constant.

上記スペーサ粒子は、所望の電子部品間距離が達成可能となるような平均粒子径を有するものを選択することができるが、平均粒子径の好ましい下限が2μm、好ましい上限が200μmである。2μm未満であると、スペーサ樹脂粒子の粒子径程度にまで電子部品間距離を縮めることが困難となる場合がある。200μmを超えると、電子部品同士の間隔が必要以上に大きくなることがある。より好ましい下限は9μm、より好ましい上限は50μmである。 The spacer particles can be selected from those having an average particle size such that a desired distance between electronic components can be achieved. The preferable lower limit of the average particle size is 2 μm, and the preferable upper limit is 200 μm. If it is less than 2 μm, it may be difficult to reduce the distance between the electronic components to the particle diameter of the spacer resin particles. If it exceeds 200 μm, the interval between the electronic components may become larger than necessary. A more preferable lower limit is 9 μm, and a more preferable upper limit is 50 μm.

上記スペーサ粒子の平均粒子径は、該スペーサ粒子以外に配合する固体成分の平均粒子径の1.2倍以上であることが好ましい。1.2倍未満であると、電子部品間距離を確実にスペーサ樹脂粒子の粒子径程度にまで縮めることが困難となることがある。より好ましくは1.1倍以上である。 The average particle size of the spacer particles is preferably 1.2 times or more the average particle size of the solid component to be blended in addition to the spacer particles. If it is less than 1.2 times, it may be difficult to reliably reduce the distance between the electronic components to about the particle diameter of the spacer resin particles. More preferably, it is 1.1 times or more.

上記スペーサ粒子は、粒子径分布の標準偏差がスペーサ樹脂粒子の平均粒子径の10%以下であることが好ましい。10%以下とすることで、半導体チップ等の電子部品を積層する場合に、より安定して水平に積層させることができる。 The spacer particles preferably have a standard deviation of the particle size distribution of 10% or less of the average particle size of the spacer resin particles. By setting it to 10% or less, when electronic components such as a semiconductor chip are stacked, they can be stacked more stably and horizontally.

上記スペーサ粒子は、CV値の好ましい上限が10%である。10%を超えると、粒子径のばらつきが大きいことから、電子部品間の間隔を一定に保つことが困難となり、スペーサ樹脂粒子としての機能を充分に果たせないことがある。より好ましい上限は6%、更に好ましい上限は4%である。
なお、本明細書においてCV値とは、下記式(1)により求められる数値のことである。
CV値(%)=(σ2/Dn2)×100 (1)
上記式(1)中、σ2は、粒子径の標準偏差を表し、Dn2は、数平均粒子径を表す。
The spacer particles preferably have a CV value with an upper limit of 10%. If it exceeds 10%, there is a large variation in the particle diameter, so that it is difficult to keep the distance between the electronic components constant, and the function as the spacer resin particles may not be sufficiently achieved. A more preferable upper limit is 6%, and a further preferable upper limit is 4%.
In addition, in this specification, CV value is a numerical value calculated | required by following formula (1).
CV value (%) = (σ2 / Dn2) × 100 (1)
In the above formula (1), σ2 represents the standard deviation of the particle diameter, and Dn2 represents the number average particle diameter.

上記スペーサ粒子は、K値の好ましい下限が980N/mm、好ましい上限が10000N/mmである。
なお、本明細書においてK値とは、下記式(2)によって求められる数値のことである。
K=(3/√2)・F・S−3/2・R−1/2 (2)
上記式(2)中、F、Sはそれぞれスペーサ粒子の10%圧縮変形における荷重値(kgf)、圧縮変位(mm)を表し、Rは該スペーサの半径(mm)を表す。
The spacer particles have a preferable lower limit of K value of 980 N / mm 2 and a preferable upper limit of 10,000 N / mm 2 .
In addition, in this specification, K value is a numerical value calculated | required by following formula (2).
K = (3 / √2) · F · S -3/2 · R -1/2 (2)
In the above formula (2), F and S represent the load value (kgf) and compression displacement (mm) in 10% compression deformation of the spacer particles, respectively, and R represents the radius (mm) of the spacer.

上記K値は以下の測定方法により測定することができる。
まず、平滑表面を有する鋼板の上にスペーサ樹脂粒子を散布した後、その中から1個のスペーサ樹脂粒子を選び、微小圧縮試験機を用いてダイヤモンド製の直径50μmの円柱の平滑な端面でスペーサ樹脂粒子を圧縮する。この際、圧縮荷重を電磁力として電気的に検出し、圧縮変位を作動トランスによる変位として電気的に検出する。そして、得られた圧縮変位−荷重の関係から10%圧縮変形における荷重値、圧縮変位をそれぞれ求め、得られた結果からK値を算出する。
The K value can be measured by the following measuring method.
First, after spraying spacer resin particles on a steel plate having a smooth surface, one spacer resin particle is selected from the spacer resin particles, and a spacer is formed on a smooth end surface of a diamond cylinder having a diameter of 50 μm using a micro compression tester. Compress the resin particles. At this time, the compression load is electrically detected as an electromagnetic force, and the compression displacement is electrically detected as a displacement by the operating transformer. Then, a load value and a compression displacement in 10% compression deformation are obtained from the obtained compression displacement-load relationship, and a K value is calculated from the obtained result.

上記スペーサ粒子は20℃、10%の圧縮変形状態から解放した時の圧縮回復率の好ましい下限が20%である。このような圧縮回復率を有するスペーサ樹脂粒子を用いた場合、積層された電子部品間に平均粒子径よりも大きなスペーサ樹脂粒子が存在しても、圧縮変形により形状を回復してギャップ調整材として働かせることができる。従って、より安定した一定間隔で電子部品を水平に積層することができる。
上記圧縮回復率は、以下の測定方法により測定することができる。
上記K値の測定の場合と同様の手法によって圧縮変位を作動トランスによる変位として電気的に検出し、反転荷重値まで圧縮したのち荷重を減らしていき、その際の荷重と圧縮変位との関係を測定する。得られた測定結果から圧縮回復率を算出する。ただし、除荷重における終点は荷重値ゼロではなく、0.1g以上の原点荷重値とする。
The preferable lower limit of the compression recovery rate when the spacer particles are released from the compression deformation state at 20 ° C. and 10% is 20%. When spacer resin particles having such a compression recovery rate are used, even if spacer resin particles larger than the average particle diameter exist between the laminated electronic components, the shape is recovered by compressive deformation and used as a gap adjusting material. Can work. Therefore, electronic components can be horizontally stacked at a more stable and constant interval.
The compression recovery rate can be measured by the following measurement method.
The compression displacement is electrically detected as the displacement by the operating transformer by the same method as in the measurement of the K value, and the load is reduced after compression to the reverse load value. The relationship between the load and the compression displacement at that time taking measurement. The compression recovery rate is calculated from the obtained measurement result. However, the end point in the removal load is not a load value of zero but an origin load value of 0.1 g or more.

上記スペーサ粒子は、樹脂粒子又は有機無機ハイブリッド粒子であることが好ましい。
上記スペーサ樹脂粒子の材質としては特に限定されないが、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、ポリ塩化ビニル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリエチレンテレフタラート、ポリブチレンテレフタラート、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリアセタール等が挙げられる。なかでも、スペーサ樹脂粒子の硬さと回復率を調整しやすく耐熱性についても向上させることが可能であることから、架橋樹脂を用いることが好ましい。
The spacer particles are preferably resin particles or organic-inorganic hybrid particles.
The material of the spacer resin particles is not particularly limited. For example, polyethylene, polypropylene, polymethylpentene, polyvinyl chloride, polytetrafluoroethylene, polystyrene, polymethyl methacrylate, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyamide, polyimide , Polysulfone, polyphenylene oxide, polyacetal and the like. Among these, it is preferable to use a crosslinked resin because it is easy to adjust the hardness and recovery rate of the spacer resin particles and can improve the heat resistance.

上記架橋樹脂としては特に限定されず、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジビニルベンゼン重合体、ジビニルベンゼン−スチレン共重合体、ジビニルベンゼン−アクリル酸エステル共重合体、ジアリルフタレート重合体、トリアリルイソシアヌレート重合体、ベンゾグアナミン重合体等の網目構造を有する樹脂が挙げられる。なかでも、ジビニルベンゼン重合体、ジビニルベンゼン−スチレン系共重合体、ジビニルベンゼン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体、ジアリルフタレート重合体等が好ましい。これらを用いた場合、チップをボンディングした後、硬化プロセス、半田リフロープロセス等の熱処理プロセスへの耐性が優れる。 The cross-linked resin is not particularly limited. For example, epoxy resin, phenol resin, melamine resin, unsaturated polyester resin, divinylbenzene polymer, divinylbenzene-styrene copolymer, divinylbenzene-acrylate copolymer, diallyl Examples thereof include a resin having a network structure such as a phthalate polymer, a triallyl isocyanurate polymer, and a benzoguanamine polymer. Of these, divinylbenzene polymer, divinylbenzene-styrene copolymer, divinylbenzene- (meth) acrylate copolymer, diallyl phthalate polymer, and the like are preferable. When these are used, the resistance to a heat treatment process such as a curing process or a solder reflow process is excellent after the chip is bonded.

上記有機無機ハイブリッドスペーサー粒子としては特に限定はされず、アルコキシシランを主成分とする粒子を用いることができ、例えば、特2698541号に記載に準拠して、アルコキシシランを加水分解重縮合することにより得る事ができる。 The organic-inorganic hybrid spacer particles are not particularly limited, and particles containing alkoxysilane as a main component can be used. For example, by hydrolytic polycondensation of alkoxysilane in accordance with the description in Japanese Patent No. 2698541. I can get it.

上記スペーサ粒子の形状としては、球状が好ましい。また、上記スペーサ樹脂粒子のアスペクト比の好ましい上限は1.1である。アスペクト比を1.1以下とすることで、電子部品を積層する場合に、電子部品同士の間隔を安定して一定に保つことができる。なお、本明細書においてアスペクト比とは、粒子の長径と短径に関して、短径の長さに対する長径の長さの比(長径の長さを短径の長さで割った値)を意味する。このアスペクト比の値が1に近いほどスペーサ樹脂粒子の形状は真球に近くなる。 The spacer particles are preferably spherical. The preferable upper limit of the aspect ratio of the spacer resin particles is 1.1. By setting the aspect ratio to 1.1 or less, when electronic components are stacked, the interval between the electronic components can be kept stable and constant. In the present specification, the aspect ratio means the ratio of the length of the major axis to the length of the minor axis (the value obtained by dividing the length of the major axis by the length of the minor axis) with respect to the major axis and minor axis of the particle. . The closer the aspect ratio value is to 1, the closer the shape of the spacer resin particles is to a true sphere.

上記スペーサ粒子の配合量の好ましい下限は0.01重量%、好ましい上限は5重量%である。0.01重量%未満であると、電子部品積層体の製造に用いた場合に、電子部品同士の間隔を安定して一定に保つことができないことがあり、5重量%を超えると、接着剤としての機能が低下することがある。
また、上記スペーサ粒子以外に、上記スペーサ粒子の平均粒子径以上の径を有する固形成分を含有する場合は、このような固形成分の配合量の好ましい上限は、1重量%である。また、その固形成分の融点は硬化温度以下であることが好ましい。
更に、固形成分の最大粒子径は、スペーサ粒子の平均粒子径の1.1〜1.5倍であることが好ましく、1.1〜1.2倍であることがより好ましい。
The preferable lower limit of the blending amount of the spacer particles is 0.01% by weight, and the preferable upper limit is 5% by weight. When the amount is less than 0.01% by weight, the distance between the electronic components may not be stably maintained when used for manufacturing the electronic component laminate. As a result, the function may be deteriorated.
Moreover, when containing the solid component which has a diameter more than the average particle diameter of the said spacer particle other than the said spacer particle, the upper limit with the preferable compounding quantity of such a solid component is 1 weight%. The melting point of the solid component is preferably not higher than the curing temperature.
Furthermore, the maximum particle size of the solid component is preferably 1.1 to 1.5 times, more preferably 1.1 to 1.2 times the average particle size of the spacer particles.

本発明の電子部品用接着剤は、更に、必要に応じて、無機イオン交換体を含有してもよい。上記無機イオン交換体のうち、市販品としては、例えば、IXEシリーズ(東亞合成社製)等が挙げられる。上記無機イオン交換体の配合量の好ましい下限は1重量%、好ましい上限は10重量%である。
本発明の電子部品用接着剤は、更に、必要に応じて、ブリード防止剤;イミダゾールシランカップリング剤等の接着性付与剤等の各種添加剤を含有してもよい。
なお、本発明の電子部品用接着剤は、溶剤を含有しないことが好ましい。本発明の電子部品用接着剤が溶剤を含有すると、電子部品を接合するための硬化の際にボイドか発生し、信頼性に欠ける場合がある。
The adhesive for electronic components of the present invention may further contain an inorganic ion exchanger as necessary. Among the inorganic ion exchangers, examples of commercially available products include IXE series (manufactured by Toagosei Co., Ltd.). The preferable lower limit of the amount of the inorganic ion exchanger is 1% by weight, and the preferable upper limit is 10% by weight.
The adhesive for electronic components of the present invention may further contain various additives such as a bleed inhibitor; and an adhesion promoter such as an imidazole silane coupling agent, if necessary.
In addition, it is preferable that the adhesive for electronic components of this invention does not contain a solvent. When the adhesive for electronic parts of the present invention contains a solvent, voids may be generated during curing for joining the electronic parts, resulting in lack of reliability.

本発明の電子部品用接着剤は、E型粘度計を用いて、25℃、10rpmの条件で測定した粘度の好ましい下限が1Pa・s、好ましい上限が100Pa・sある。このような粘度を有することによって、ジェットディスペンス装置等、塗布方法の多様化に対応することが可能となる。1Pa・s未満であると、ジェットディスペンス装置による塗布後の接着剤塗布層の形状を室温において好適に保てなくなることがある。100Pa・sを超えると、ジェットディスペンス装置による塗布時に、ノズル先端に本発明の電子部品用接着剤が溜まり、吐出できなくなることがある。 The adhesive for electronic components of the present invention has a preferred lower limit of 1 Pa · s and a preferred upper limit of 100 Pa · s, measured using an E-type viscometer at 25 ° C. and 10 rpm. By having such a viscosity, it becomes possible to cope with diversification of coating methods such as a jet dispensing apparatus. If it is less than 1 Pa · s, the shape of the adhesive coating layer after coating by the jet dispensing apparatus may not be suitably maintained at room temperature. If it exceeds 100 Pa · s, the adhesive for electronic parts of the present invention may accumulate at the tip of the nozzle during application by a jet dispensing apparatus, and may not be discharged.

本発明の電子部品用接着剤は、E型粘度計を用いて、80℃、10rpmの条件で測定した粘度の好ましい下限が0.1Pa・s、好ましい上限が1Pa・sある。このような粘度を有することによって、ジェットディスペンス装置等、塗布方法の多様化に対応することが可能となる。0.1Pa・s未満であると、室温における粘度特性が上述した範囲を満たすものであったとしても、ノズル先端に粘性の低下した接着剤が濡れ広がってジェットディスペンス装置による塗布性が低下することがある。1Pa・sを超えると、ノズル吐出口付近に接着剤が多量に付着してしまい、連続吐出性が悪化することがある。 The adhesive for electronic components of the present invention has a preferred lower limit of 0.1 Pa · s and a preferred upper limit of 1 Pa · s measured with an E-type viscometer at 80 ° C. and 10 rpm. By having such a viscosity, it becomes possible to cope with diversification of coating methods such as a jet dispensing apparatus. If it is less than 0.1 Pa · s, even if the viscosity characteristics at room temperature satisfy the above-mentioned range, the adhesive with reduced viscosity wets and spreads at the nozzle tip, and the applicability by the jet dispensing device decreases. There is. If it exceeds 1 Pa · s, a large amount of adhesive adheres to the vicinity of the nozzle discharge port, and the continuous discharge property may deteriorate.

本発明の電子部品用接着剤は、硬化物とした場合に、該硬化物のガラス転移温度(Tg)の好ましい下限が110℃、好ましい上限が150℃である。この範囲のガラス転移温度を有することによって、電子部品と基板とを接着して得られる電子部品接合体において、電子部品のソリを防止することができる。110℃未満であると、20℃での抽出塩素量が多量に抽出されることがある。150℃を超えると、電子部品のソリ量が大きくなることがある。
なお、本明細書において、ガラス転移温度(Tg)は、DSCを用いて、20℃/分の割合でサンプルを昇温させて得られる吸熱曲線から測定することができる。
When the adhesive for electronic components of the present invention is a cured product, the preferable lower limit of the glass transition temperature (Tg) of the cured product is 110 ° C., and the preferable upper limit is 150 ° C. By having a glass transition temperature in this range, it is possible to prevent warping of the electronic component in the electronic component assembly obtained by bonding the electronic component and the substrate. If it is less than 110 ° C, the amount of extracted chlorine at 20 ° C may be extracted in large amounts. If the temperature exceeds 150 ° C., the warping amount of the electronic component may increase.
In this specification, the glass transition temperature (Tg) can be measured from an endothermic curve obtained by heating the sample at a rate of 20 ° C./min using DSC.

本発明の電子部品用接着剤は、硬化物とした場合に、該硬化物の10〜50℃における貯蔵弾性率の好ましい下限が1000MPa、好ましい上限が4000MPaである。このような温度領域における貯蔵弾性率を有することで、本発明の電子部品用接着剤を用いて半導体チップ等の電子部品と基板との接着を行うと、常温領域で適度な柔軟性を有するとともに、半導体チップ等の電子部品と基板との接着性に優れたものとなり、基板に接着した半導体チップ等の電子部品に大きなソリが発生することを防止できる。1000MPa未満であると、抽出塩素量が多量に抽出されることがある。4000MPaを超えると、接着力が不充分となり、電子部品と基板とを接着した後、剥離等を生じることがある。 When the adhesive for electronic parts of the present invention is a cured product, the preferable lower limit of the storage elastic modulus at 10 to 50 ° C. of the cured product is 1000 MPa, and the preferable upper limit is 4000 MPa. By having the storage elastic modulus in such a temperature region, when the electronic component such as a semiconductor chip and the substrate are bonded using the adhesive for electronic components of the present invention, it has moderate flexibility in the normal temperature region. Thus, the adhesion between the electronic component such as a semiconductor chip and the substrate is excellent, and the generation of a large warp in the electronic component such as the semiconductor chip adhered to the substrate can be prevented. If it is less than 1000 MPa, a large amount of extracted chlorine may be extracted. When it exceeds 4000 MPa, the adhesive force becomes insufficient, and peeling or the like may occur after the electronic component and the substrate are bonded.

本発明の電子部品用接着剤は、硬化物とした場合に、該硬化物の170℃以上における好ましい最低貯蔵弾性率が40MPa以上である。このような温度領域における最低貯蔵弾性率を有することで、本発明の電子部品用接着剤を用いて半導体チップ等の電子部品と基板との接着を行った後、硬化物が撓むことなく、ワイヤボンディング処理を行うことが可能となる。40MPa未満であると、ワイヤボンディング処理を行おうとする際、硬化物が撓んでしまい、ワイヤボンディング処理を行うことができないことがある。 When the adhesive for electronic parts of the present invention is a cured product, the preferable minimum storage elastic modulus at 170 ° C. or higher of the cured product is 40 MPa or more. By having the minimum storage elastic modulus in such a temperature region, after performing adhesion between the electronic component such as a semiconductor chip and the substrate using the adhesive for electronic components of the present invention, the cured product does not bend, Wire bonding processing can be performed. If the pressure is less than 40 MPa, the cured product may be bent when performing the wire bonding process, and the wire bonding process may not be performed.

本発明の電子部品用接着剤を、厚さ10μmの接着剤層とし、該接着剤層を170℃15分で硬化させた硬化物を、260℃の温度条件下に10秒間曝したときの直径100μm以下のボイド発生率の好ましい上限が1個/mmである。上記硬化物のボイドの発生率が1個/mmを超えるものであると、本発明の電子部品用接着剤を用いて電子部品同士の接合を行ったときに、電子部品間の接続信頼性が不充分となることがある。 The diameter when the adhesive for electronic components of the present invention is an adhesive layer having a thickness of 10 μm and the cured product obtained by curing the adhesive layer at 170 ° C. for 15 minutes is exposed to a temperature condition of 260 ° C. for 10 seconds. A preferable upper limit of the void generation rate of 100 μm or less is 1 piece / mm 2 . When the incidence of voids in the cured product is more than 1 piece / mm 2 , when the electronic components are bonded using the adhesive for electronic components of the present invention, the connection reliability between the electronic components is May be insufficient.

本発明の電子部品用接着剤を製造する方法としては特に限定されず、例えば、ホモディスパー、ホモミキサー、万能ミキサー、プラネタリウムミキサー、ニーダー、三本ロール等の混合機を用いて、常温で、上記多官能エポキシ化合物、上記酸無水物等の各所定量を混合する方法等が挙げられる。 The method for producing the adhesive for electronic parts of the present invention is not particularly limited. For example, using a mixer such as a homodisper, a homomixer, a universal mixer, a planetarium mixer, a kneader, or a three-roller, at room temperature, the above The method etc. which mix each predetermined amount, such as a polyfunctional epoxy compound and the said acid anhydride, etc. are mentioned.

本発明の電子部品用接着剤を用いることによって、電子部品接合体を製造することができる。具体的には、例えば、本発明の電子部品用接着剤を電子部品と基材との間に塗布した後、本発明の電子部品用接着剤を硬化させることによって、本発明の電子部品用接着剤と、本発明の電子部品用接着剤を介して接着された電子部品と基材とからなる電子部品接合体を製造することができる。 By using the adhesive for electronic components of the present invention, an electronic component assembly can be produced. Specifically, for example, after the adhesive for electronic components of the present invention is applied between the electronic component and the substrate, the adhesive for electronic components of the present invention is cured by curing the adhesive for electronic components of the present invention. It is possible to manufacture an electronic component assembly comprising an agent, an electronic component bonded through the electronic component adhesive of the present invention, and a base material.

本発明の電子部品用接着剤を電子部品と基材との間に塗布する方法としては特に限定されないが、例えば、ジェットディスペンス装置を用いる塗布方法が好ましい。ジェットディスペンス装置を用いることによって、短時間でドット状の接着剤の塗布が可能で、吐出する接着剤量の定量性に優れ、かつ、基板表面に段差があっても適用可能であるといった利点を有することとなる。 Although it does not specifically limit as a method of apply | coating the adhesive agent for electronic components of this invention between an electronic component and a base material, For example, the apply | coating method using a jet dispensing apparatus is preferable. By using a jet dispensing device, it is possible to apply a dot-like adhesive in a short time, have excellent quantification of the amount of adhesive to be discharged, and can be applied even if there is a step on the substrate surface. Will have.

上記ジェットディスペンス装置を用いて、上記電子部品接合体を製造する方法としては特に限定されず、例えば、本発明の電子部品用接着剤を基材に塗布し、該基材上に塗布した本発明の電子部品用接着剤上に電子部品を押圧して、本発明の電子部品用接着剤を介して該基材と該電子部品とを貼り合わせた後、本発明の電子部品用接着剤を加熱し硬化させる方法等が挙げられる。
このように、本発明の電子部品用接着剤を基材に塗布する工程と、該基材上に塗布した本発明の電子部品用接着剤上に電子部品を押圧して、本発明の電子部品用接着剤を介して該基材と該電子部品とを貼り合わせる工程と、本発明の電子部品用接着剤を加熱し硬化させる工程とを有する電子部品接合体の製造方法もまた、本発明の一つである。
A method for producing the electronic component assembly using the jet dispensing apparatus is not particularly limited. For example, the present invention in which the adhesive for electronic components of the present invention is applied to a substrate and applied onto the substrate. The electronic component is pressed on the electronic component adhesive, and the base material and the electronic component are bonded together via the electronic component adhesive of the present invention, and then the electronic component adhesive of the present invention is heated. And a curing method.
Thus, the step of applying the adhesive for electronic components of the present invention to the substrate, and pressing the electronic component on the adhesive for electronic components of the present invention applied on the substrate, the electronic component of the present invention The method for producing an electronic component assembly comprising a step of bonding the base material and the electronic component through an adhesive for heating, and a step of heating and curing the adhesive for electronic component of the present invention is also disclosed in the present invention. One.

本発明の電子部品接合体の製造方法又は本発明の電子部品用接着剤を用いて、半導体チップ等の電子部品と基板とを接着し、電子部品接合体を製造することによって、半導体チップや基板のソリを著しく改善することができる。具体的には、例えば、10mm×10mm、厚さ80μmの半導体チップと、20mm×20mm、厚さ170μmの大昌電子社製基板との間に本発明の電子部品用接着剤を10μmの厚みに塗布し、100℃で40分間、続いて170℃で15分間加熱した場合、本発明の電子部品用接着剤は硬化し、その際の半導体チップのソリが100μm程度に抑えられる。 By using the method for manufacturing an electronic component assembly of the present invention or the electronic component adhesive of the present invention, an electronic component such as a semiconductor chip and a substrate are bonded to each other to manufacture the electronic component assembly. Can significantly improve the warpage. Specifically, for example, the adhesive for electronic components of the present invention is applied to a thickness of 10 μm between a 10 mm × 10 mm, 80 μm thick semiconductor chip and a 20 mm × 20 mm, 170 μm thick Taisho Electronics substrate. When heated at 100 ° C. for 40 minutes and then at 170 ° C. for 15 minutes, the adhesive for electronic components of the present invention is cured, and the warpage of the semiconductor chip at that time is suppressed to about 100 μm.

本発明の電子部品接合体の製造方法又は本発明の電子部品用接着剤を用いて、半導体チップ等の電子部品と基板とを接着し、電子部品接合体を製造することによって、本発明の電子部品用接着剤は、塗布量及び塗布状態にバラツキを生じることなく、極めて精緻な描画をすることもできる。
一般に、従来公知の接着剤を用いると、接着剤の塗布量が少量になるにつれて、塗布量を厳密にコントロールすることができず、塗布量及び塗布状態にバラツキが生じることとなっていた。具体的には、例えば、ジェットディスペンス装置を用いる場合には、吐出する接着剤の量を少なくしようとすると、実際に塗布される接着剤量にバラツキを生じることとなっていた。
これに対して、本発明の電子部品接合体の製造方法又は本発明の電子部品用接着剤を用いると、塗布量を少量にしても、塗布量及び塗布状態にバラツキが生じることはなく、本発明の電子部品接合体の製造方法又は本発明の電子部品接着剤を用いることによって、非常に細い線等、精密な描画をすることができる。
具体的には、塗布量を0.1mgという少量にした場合であっても、得られる正規分布において、平均塗布量に対するバラツキ量を±0.01mg(3σ)とすることができる。平均塗布量±0.01mg(3σ)という非常に小さなバラツキを有するため、本発明の電子部品接合体の製造方法又は本発明の電子部品用接着剤を用いることによって、非常に細い線等、精密な描画をすることができる。
なお、本明細書中、σは標準偏差を表す。
By using the method for producing an electronic component assembly of the present invention or the electronic component adhesive of the present invention, an electronic component such as a semiconductor chip and a substrate are bonded to each other to produce an electronic component assembly. The component adhesive can also perform extremely precise drawing without causing variations in the application amount and application state.
In general, when a conventionally known adhesive is used, the application amount cannot be strictly controlled as the application amount of the adhesive becomes small, and the application amount and the application state vary. Specifically, for example, in the case of using a jet dispensing apparatus, if the amount of adhesive to be discharged is reduced, the amount of adhesive that is actually applied varies.
On the other hand, when the method for manufacturing an electronic component assembly of the present invention or the adhesive for electronic components of the present invention is used, even if the coating amount is small, the coating amount and the coating state do not vary. By using the method for producing an electronic component joined body of the invention or the electronic component adhesive of the invention, it is possible to draw a precise drawing such as a very thin line.
Specifically, even when the coating amount is as small as 0.1 mg, the variation amount with respect to the average coating amount can be ± 0.01 mg (3σ) in the obtained normal distribution. Since the average coating amount is ± 0.01 mg (3σ), it has a very small variation. By using the method for manufacturing an electronic component joined body of the present invention or the adhesive for electronic components of the present invention, precision such as very thin lines can be obtained. Can be drawn.
In the present specification, σ represents a standard deviation.

本発明によれば、電子部品のソリ等の発生を防止し、接着信頼性に極めて優れ、ジェットディスペンス装置を用いた塗布方法に好適に用いることができるとともに、精密な塗布をすることが可能な電子部品用接着剤を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, generation | occurrence | production of the curvature of an electronic component, etc. can be prevented, it is excellent in adhesion reliability, can be used suitably for the coating method using a jet dispensing apparatus, and precise coating is possible. An adhesive for electronic parts can be provided.

以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited only to these examples.

(実施例1〜2、比較例1〜5)
下記表1の組成に従って、下記に示す各材料をホモディスパーを用いて攪拌混合し、実施例1〜2及び比較例1〜5に係る電子部品用接着剤を調製した。
(1)多官能エポキシ化合物(A)
3官能グリシジルアニリン型エポキシ(EP−3900S、アデカ社製)
3官能ジシクロペンタジエン型エポキシ(HP−7200H、大日本インキ社製)
(2)エポキシ化合物(B)
レゾルシノール型エポキシ(EX−201、ナガセケムテックス社製)
ビスフェノールF型エポキシ(YSLV−80XY、東都化成社製)
(3)その他のエポキシ基を有する高分子量ポリマー(高分子量ポリマー)
アクリル変性エポキシ(CP−30、日本油脂社製)
(4)硬化剤
ドデセニルコハク酸無水物(DDSA、新日本理化社製)
メチルブテニルテトラヒドロ無水フタル酸(YH−306、ジャパンエポキシレジン社製)
(5)硬化促進剤
イミダゾール系硬化促進剤(2MA−OK、四国化成社製社製)
(6)増粘剤
表面疎水処理ヒュームドシリカ(PM−20L、トクヤマ社製)
(Examples 1-2, Comparative Examples 1-5)
According to the composition of the following Table 1, the materials shown below were stirred and mixed using a homodisper to prepare adhesives for electronic parts according to Examples 1-2 and Comparative Examples 1-5.
(1) Polyfunctional epoxy compound (A)
Trifunctional glycidyl aniline type epoxy (EP-3900S, manufactured by Adeka)
Trifunctional dicyclopentadiene type epoxy (HP-7200H, manufactured by Dainippon Ink, Inc.)
(2) Epoxy compound (B)
Resorcinol type epoxy (EX-201, manufactured by Nagase ChemteX Corporation)
Bisphenol F type epoxy (YSLV-80XY, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.)
(3) Other high molecular weight polymers having epoxy groups (high molecular weight polymers)
Acrylic modified epoxy (CP-30, manufactured by NOF Corporation)
(4) Curing agent dodecenyl succinic anhydride (DDSA, manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.)
Methylbutenyltetrahydrophthalic anhydride (YH-306, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.)
(5) Curing accelerator Imidazole-based curing accelerator (2MA-OK, manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.)
(6) Thickener surface hydrophobized fumed silica (PM-20L, manufactured by Tokuyama Corporation)

(評価)
実施例1〜2及び比較例1〜5で調製した電子部品用接着剤について、以下の評価を行った。結果を表1に示した。
(Evaluation)
The following evaluation was performed about the adhesive agent for electronic components prepared in Examples 1-2 and Comparative Examples 1-5. The results are shown in Table 1.

(1)電子部品用接着剤
(1−1)粘度の測定
E型粘度測定装置(商品名:VISCOMETER TV−22、TOKI SANGYO CO.LTD社製、使用ローター:φ15mm、設定温度:25℃及び80℃)を用いて回転数10rpmにおける粘度を測定した。
(1) Adhesive for electronic parts (1-1) Viscosity measurement E-type viscosity measuring device (trade name: VISCOMETER TV-22, manufactured by TOKI SANGYO CO. LTD, rotor used: φ15 mm, set temperature: 25 ° C. and 80 ° C. ) And the viscosity at a rotation speed of 10 rpm was measured.

(1−2)ジェットディスペンス適性
ジェットディスペンス適性の評価はジェットディスペンス装置(DJ−9000、アシムテック社製)を用いて評価した。使用した部品は、ノズル(No.4、100μm径)、バルブ(C−03、380μm)、ニードルアッセンブリー(No.16、2.4mm)である。吐出条件は、ノズル温度50℃若しくは80℃、ストローク780μm、液圧1000kPa、バルブ圧558kPa、バルブオンタイム5ms、バルブオフタイム5ms、ノズル高さ1.0mmである。
ノズル温度50℃若しくは80℃で30分連続で吐出できた場合を○、30分までに吐出が止まってしまった場合を×とした。
(1-2) Suitability for jet dispensing Jet dispensing suitability was evaluated using a jet dispensing apparatus (DJ-9000, manufactured by Asymtec Corp.). The parts used were a nozzle (No. 4, 100 μm diameter), a valve (C-03, 380 μm), and a needle assembly (No. 16, 2.4 mm). The discharge conditions are a nozzle temperature of 50 ° C. or 80 ° C., a stroke of 780 μm, a hydraulic pressure of 1000 kPa, a valve pressure of 558 kPa, a valve on time of 5 ms, a valve off time of 5 ms, and a nozzle height of 1.0 mm.
The case where the nozzle temperature was 50 ° C. or 80 ° C. and the discharge could be continued for 30 minutes was indicated as “◯”, and the case where the discharge stopped by 30 minutes was indicated as “X”.

(1−3)硬化速度
半導体チップ接合用接着剤の硬化速度について、170℃でのゲルタイムで評価した。ゲルタイムの測定方法はアルミカップ(径2cm、厚み約50um)に樹脂ペーストを厚さ1mm程度入れ、これを170℃のオーブン(ESPEC社製、SPHH−101)に入れて樹脂ペーストが糸引きしなくなる時間をゲルタイムとした。測定に先立ち、予熱を60分間行った。
(1-3) Curing speed The curing speed of the adhesive for bonding a semiconductor chip was evaluated by gel time at 170 ° C. The gel time is measured by placing a resin paste about 1 mm thick in an aluminum cup (diameter: 2 cm, thickness: about 50 μm) and placing it in an oven at 170 ° C. (SPHH-101, manufactured by ESPEC) so that the resin paste does not string. Time was defined as gel time. Prior to the measurement, preheating was performed for 60 minutes.

(2)硬化物
(2−1)ガラス転移温度(Tg)の測定
アイティー計測制御社製の粘弾性測定機を使い、実施例及び比較例で調製した電子部品用接着剤を170℃、15分で硬化させた硬化物の25℃及び175℃における貯蔵弾性率を、昇温速度5℃/min、引っ張り、つかみ幅24mm、10Hzで測定したときのTanδのピーク時の温度をガラス転移点とした。
(2) Cured product (2-1) Measurement of glass transition temperature (Tg) Using viscoelasticity measuring machine manufactured by IT Measurement Control Co., Ltd., adhesives for electronic parts prepared in Examples and Comparative Examples were 170 ° C., 15 The temperature at 25 ° C. and 175 ° C. of the cured product cured in minutes, the temperature at the peak of Tan δ when measured at a heating rate of 5 ° C./min, tension, grip width of 24 mm, and 10 Hz is the glass transition point. did.

(2−2)貯蔵弾性率の測定
アイティー計測制御社製の粘弾性測定機を使い、実施例及び比較例で調製した電子部品用接着剤を170℃、15分で硬化させた硬化物の25℃及び175℃における貯蔵弾性率を、昇温速度5℃/min、引っ張り、つかみ幅24mm、10Hzで測定した。
なお、図1に、実施例1、比較例1及び比較例3でそれぞれ調製した電子部品用接着剤の硬化物の貯蔵弾性率と温度との関係を示すグラフを示す。
(2-2) Measurement of storage elastic modulus Using a viscoelasticity measuring machine manufactured by IT Measurement Control Co., Ltd., a cured product obtained by curing the adhesive for electronic parts prepared in Examples and Comparative Examples at 170 ° C. for 15 minutes. The storage elastic modulus at 25 ° C. and 175 ° C. was measured at a heating rate of 5 ° C./min, pulling, grip width of 24 mm, and 10 Hz.
In addition, in FIG. 1, the graph which shows the relationship between the storage elastic modulus and temperature of the hardened | cured material of the adhesive agent for electronic components each prepared in Example 1, the comparative example 1, and the comparative example 3 is shown.

(2−3)ボイドの測定
得られた電子部品用接着剤を用いてシリコンチップと基板(大昌電子社製)を接合し、該接着剤層(樹脂厚み10umとした)を170℃15分で硬化させた硬化物を、260℃の温度条件下に10秒間曝した後、超音波映像装置SAT(Scan Acoustic Tomograph、mi−scope hyper II、日立建機ファインテック社製)を用いて、チップ−基板間のボイドの有無を観察した。直径100μm以下のボイドが1個/mm以下の場合を○、それ以上の場合を×とした。
(2-3) Measurement of voids Using the obtained adhesive for electronic components, a silicon chip and a substrate (manufactured by Daisho Electronics Co., Ltd.) were joined, and the adhesive layer (with a resin thickness of 10 um) was placed at 170 ° C. for 15 minutes. The cured product is exposed to a temperature condition of 260 ° C. for 10 seconds, and then used with an ultrasonic imaging apparatus SAT (Scan Acoustic Tomograph, mi-scope hyper II, manufactured by Hitachi Construction Machinery Finetech Co., Ltd.) The presence or absence of voids between the substrates was observed. A case where the number of voids having a diameter of 100 μm or less was 1 piece / mm 2 or less was evaluated as “◯”, and a case where the void was more than that was evaluated as “X”.

(3)電子部品接合体
(3−1)半導体チップ接合体の作製
得られた電子部品用接着剤を10mLシリンジ(岩下エンジニアリング社製)に充填し、シリンジ先端に精密ノズル(岩下エンジニアリング社製、ノズル先端径0.3mm)を取り付け、ディスペンサ装置(SHOT MASTER300、武蔵エンジニアリング社製)を用いて、吐出圧0.4MPa、半導体チップとニードルとのギャップ200μm、塗布量5mgにてガラス基板上に塗布した。塗布量は、(接合部分の外周部への塗布量/中央部への塗布量)=4とした。
塗布を行った後、ペリフェラル状に110μmのパッド開口部を172個有する半導体チップ(チップ1)(厚さ80μm、10mm×10mm角、メッシュ状パターン、アルミ配線:厚み0.7μm、L/S=15/15、表面の窒化シリコン膜の厚み:1.0μm)をフリップチップボンダー(DB−100、澁谷工業社製)を用いて常温で0.1MPaの圧力で5秒間押圧することにより積層した。170℃で15分間加熱を行い、電子部品用接着剤を硬化させることにより、半導体チップ接合体を作製した。
(3) Electronic component assembly (3-1) Production of semiconductor chip assembly The obtained adhesive for electronic components was filled into a 10 mL syringe (manufactured by Iwashita Engineering Co., Ltd.), and a precision nozzle (manufactured by Iwashita Engineering Co., Ltd., A nozzle tip diameter of 0.3 mm) is attached, and applied on a glass substrate using a dispenser device (SHOT MASTER300, manufactured by Musashi Engineering Co., Ltd.) with a discharge pressure of 0.4 MPa, a gap between the semiconductor chip and the needle of 200 μm, and a coating amount of 5 mg. did. The application amount was set to (application amount to the outer peripheral portion of the joint portion / application amount to the central portion) = 4.
After coating, a semiconductor chip (chip 1) having 172 110 μm pad openings in a peripheral shape (thickness 80 μm, 10 mm × 10 mm square, mesh pattern, aluminum wiring: thickness 0.7 μm, L / S = 15/15, the thickness of the silicon nitride film on the surface: 1.0 μm) was laminated by pressing at a normal pressure of 0.1 MPa for 5 seconds using a flip chip bonder (DB-100, manufactured by Kasuya Kogyo Co., Ltd.). By heating at 170 ° C. for 15 minutes and curing the adhesive for electronic components, a semiconductor chip joined body was produced.

(3−2)半導体チップのソリ量の測定
作製した半導体チップ接合体の半導体チップの対角線に沿ってソリ量をレーザー変位計(KEYENCE社製 LT9010M、KS−1100)にて測定した。
(3-2) Measurement of warp amount of semiconductor chip The warp amount was measured with a laser displacement meter (LT9010M, KS-1100, manufactured by KEYENCE) along the diagonal line of the semiconductor chip of the manufactured semiconductor chip assembly.

(3−3)ワイヤボンディング性評価
半導体チップ接合体と同様に、基板上に半導体チップ(チップ2)(厚さ80μm、3mm×3mm角、メッシュ状パターン、アルミ配線:厚み0.7μm、L/S=15/15、表面の窒化シリコン膜の厚み:1.0μm)を積層した。その後、この積層体を170℃、15分で硬化させた。そして、ワイヤーボンダーUTC2000(新川社製)を用いて径25μmのワイヤーでワイヤボンディングを行った。このワイヤーをワイヤネック部分で引っ張り、ワイヤネックで切れたものを○、接合部分で切断されたものを×とした。
(3-3) Wire Bondability Evaluation Similar to the semiconductor chip assembly, a semiconductor chip (chip 2) (thickness 80 μm, 3 mm × 3 mm square, mesh pattern, aluminum wiring: thickness 0.7 μm, L / L S = 15/15, the thickness of the surface silicon nitride film: 1.0 μm). Thereafter, the laminate was cured at 170 ° C. for 15 minutes. And wire bonding was performed with the wire of diameter 25 micrometers using wire bonder UTC2000 (made by Shinkawa company). The wire was pulled at the wire neck portion, and the one cut at the wire neck was marked with ◯, and the one cut at the joined portion was marked with ×.

(3−4)耐リフロー性評価
作製した半導体チップ接合体を、85℃85%の恒温高湿オーブンに24時間放置したのち、230℃以上が20秒以上でかつ最高温度が260℃となるIRリフロー炉に3回投入した。投入後、半導体装置のリフロークラックの発生の有無を超音波探傷装置(SAT)により観察し、以下の基準で評価した。
◎:リフロークラック発生数0/30
○:リフロークラック発生数1/30
△:リフロークラック発生数2/30
×:リフロークラック発生数3/30
(3-4) Evaluation of reflow resistance After the produced semiconductor chip joined body is left in a constant temperature and high humidity oven at 85 ° C. and 85% for 24 hours, an IR in which 230 ° C. or higher is 20 seconds or longer and the maximum temperature is 260 ° C. The reflow furnace was charged three times. After the introduction, the presence or absence of reflow cracks in the semiconductor device was observed with an ultrasonic flaw detector (SAT) and evaluated according to the following criteria.
A: Reflow crack occurrence number 0/30
○: Number of reflow cracks generated 1/30
Δ: Number of reflow cracks generated 2/30
X: Number of reflow cracks generated 3/30

Figure 2009158712
Figure 2009158712

本発明によれば、電子部品のソリ等の発生を防止し、接着信頼性に極めて優れ、ジェットディスペンス装置を用いた塗布方法に好適に用いることができるとともに、精密な塗布をすることが可能な電子部品用接着剤を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, generation | occurrence | production of the curvature of an electronic component, etc. can be prevented, it is excellent in adhesion reliability, can be used suitably for the coating method using a jet dispensing apparatus, and precise coating is possible. An adhesive for electronic parts can be provided.

実施例1、比較例1及び比較例3でそれぞれ調整した電子部品用接着剤の硬化物の貯蔵弾性率と温度との関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between the storage elastic modulus and temperature of the hardened | cured material of the adhesive agent for electronic components each adjusted in Example 1, the comparative example 1, and the comparative example 3. FIG.

Claims (9)

下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物(A)を20〜60重量%と、下記一般式(3)で表される無水コハク酸化合物(C)を20〜50重量%と、硬化促進剤とを含有することを特徴とする電子部品用接着剤。
Figure 2009158712
一般式(1)中、Rは、水素又は炭素数1〜3のアルキル基を表す。
Figure 2009158712
一般式(3)中、Rは、炭素数11〜30のアルキル基、アルケニル基又はアラルキル基を表す。
Curing acceleration with 20 to 60% by weight of epoxy compound (A) represented by the following general formula (1) and 20 to 50% by weight of succinic anhydride compound (C) represented by the following general formula (3) An adhesive for electronic parts, comprising an agent.
Figure 2009158712
In general formula (1), R 1 represents hydrogen or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms.
Figure 2009158712
In General Formula (3), R 3 represents an alkyl group, an alkenyl group, or an aralkyl group having 11 to 30 carbon atoms.
更に、下記一般式(2)で表されるエポキシ化合物(B)を20〜60重量%含有することを特徴とする請求項1記載の電子部品用接着剤。
Figure 2009158712
一般式(2)中、Rは、水素又は炭素数1〜3のアルキル基を表す。
Furthermore, 20-60 weight% of epoxy compounds (B) represented by following General formula (2) are contained, The adhesive agent for electronic components of Claim 1 characterized by the above-mentioned.
Figure 2009158712
In General Formula (2), R 2 represents hydrogen or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms.
更に、平均粒子径が2〜200μmであり、CV値が10%以下であり、かつ、K値が980〜10000N/mmであるスペーサ粒子を含有することを特徴とする請求項1又は2記載の電子部品用接着剤。 Furthermore, spacer particles having an average particle diameter of 2 to 200 μm, a CV value of 10% or less, and a K value of 980 to 10000 N / mm 2 are contained. Adhesive for electronic parts. スペーサ粒子は、樹脂粒子又は有機無機ハイブリッド粒子であることを特徴とする請求項1、2又は3記載の電子部品用接着剤。 4. The adhesive for electronic parts according to claim 1, wherein the spacer particles are resin particles or organic-inorganic hybrid particles. E型粘度計を用いて、25℃、10rpmの条件で測定した粘度が1〜100Pa・sであることを特徴とする請求項1、2、3又は4記載の電子部品用接着剤。 5. The adhesive for electronic parts according to claim 1, wherein the viscosity measured at 25 ° C. and 10 rpm using an E-type viscometer is 1 to 100 Pa · s. E型粘度計を用いて、80℃、10rpmの条件で測定した粘度が0.1〜1Pa・sであることを特徴とする請求項1、2、3、4又は5記載の電子部品用接着剤。 6. The adhesive for electronic parts according to claim 1, wherein the viscosity measured at 80 ° C. and 10 rpm using an E-type viscometer is 0.1 to 1 Pa · s. Agent. 硬化物とした場合に、前記硬化物は、ガラス転移温度(Tg)が110〜150℃であり、10〜50℃における貯蔵弾性率が1000〜4000MPaであり、かつ、170℃以上における最低貯蔵弾性率が40MPa以上であることを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6記載の電子部品用接着剤。 In the case of a cured product, the cured product has a glass transition temperature (Tg) of 110 to 150 ° C, a storage elastic modulus at 10 to 50 ° C of 1000 to 4000 MPa, and a minimum storage elasticity at 170 ° C or higher. The adhesive for electronic parts according to claim 1, wherein the rate is 40 MPa or more. ジェットディスペンス装置を用いて、請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の電子部品用接着剤を基材に塗布する工程と、
前記基材上に塗布した前記電子部品用接着剤上に電子部品を押圧して、前記電子部品用接着剤を介して前記基材と前記電子部品とを貼り合わせる工程と、
前記電子部品用接着剤を加熱し硬化させる工程とを有する
ことを特徴とする電子部品接合体の製造方法。
Applying the adhesive for electronic components according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6 or 7 to a substrate using a jet dispensing apparatus;
Pressing the electronic component onto the adhesive for electronic component applied on the base material, and bonding the base material and the electronic component through the adhesive for electronic component;
And a step of heating and curing the adhesive for electronic components.
請求項1、2、3、4、5、6又は7記載の電子部品用接着剤の塗布量を0.1mgとした場合、得られる正規分布において、平均塗布量に対するバラツキ量が±0.01mg(3σ)であることを特徴とする請求項8記載の電子部品接合体の製造方法。 When the application amount of the adhesive for electronic components according to claim 1, 2, 3, 4, 5, 6 or 7 is 0.1 mg, the variation amount with respect to the average application amount is ± 0.01 mg in the obtained normal distribution. 9. The method of manufacturing an electronic component joined body according to claim 8, wherein (3σ).
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