JP2009141321A - 基板移送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の垂れることを防止してエッチング工程中エッチング液が溜まることなく、基板の両側に容易に流れることができる基板移送装置を提供する。
【解決手段】
本発明は、基板のエッチング工程中に基板を移送させる基板移送装置であって、基板が湾曲され、基板の両側にエッチング液が流れるように基板の両側を支持する基板支持台と、 基板が移送されるように基板支持台を移動させる移送駆動部とを備えることを特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は基板移送装置に関する。

従来、メッキ、回路の形成、水洗、前処理及び後処理などの湿式工程（wet process）においては、基板を水平回転ロール（roll）によって移送させた。すなわち、基板がロールに支持され、ロールが回転することにより、基板が一定方向に移送された。特に、ロールによる基板の損傷を減らすために、基板の両側と中間部分のみをロールで支持する三点ロール方式が使用された。

図１は従来技術による基板移送装置を示す概略図である。図１に示すように、従来技術による基板移送装置１００は、三点ロール１１０上に基板１２０が支持され移送されることにより、基板１２０の自体荷重及びノズル１４０から噴射されるエッチング液１３０によって基板１２０が重力方向に曲がってエッチング液１３０が溜まるという問題があった。

このようなエッチング液の溜りは局所的に過エッチングや異物質溜りの問題を起こし、結果的に、製品の収率を低下させ、かつ、高密度回路の形成に障害になるので、基板の垂れを防止してエッチング液の溜りを防止できる基板移送装置が求められている。

こうした従来技術の問題点を解決するために、本発明は、基板のエッチング液の溜りを抑えることができる基板移送装置を提供することを目的とする。

前記の課題を解決するために、本発明の一実施形態によれば、基板のエッチング工程中、 基板を移送する装置であって、 基板が湾曲され、基板の両側からエッチング液が流れるように、基板の両側を支持する基板支持台及び基板が移送されるように基板支持台を移動させる移送駆動部を備える基板移送装置が提供される。

基板の両側に配置され、エッチング液の飛ぶのを防ぐための遮蔽板をさらに備えることができる。

基板の湾曲の程度が変更されるように基板支持台を回転させる回転駆動部をさらに備えることができる。

基板支持台は、基板の両側にそれぞれ一列に配置される複数の単位基板支持台を備えることができる。

基板支持台は、隣接する二つの単位基板支持台を結合させる連結具をさらに備えることができる。

本発明の実施例によれば、基板の垂れを防止し、エッチング工程中のエッチング液が溜まることなく基板の両側に容易に流れるようにすることができる。

以下、本発明に係る基板移送装置の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明し、添付図面を用いて説明することに当たって、同一かつ対応する構成要素は、同一の図面符号を付し、これに対する重複説明は省略する。

また、「結合」とは、各構成要素の間に物理的に直接接触される場合のみを意味することではなく、他の構成が各構成要素の間に介在され、その他の構成に構成要素がそれぞれ接触されている場合まで包括する概念として使用する。

図２は本発明の一実施例による基板移送装置を示す概略図で、図３は本発明の一実施例による基板移送装置を備えたエッチング装置を示す概略図である。

また、図４は本発明の一実施例による基板移送装置の基板支持台及び遮蔽板を示す斜視図であり、図５は本発明の一実施例による基板移送装置の単位基板支持台及び単位遮蔽板を示す斜視図である。

図２から図５を参照すると、基板移送装置２００、基板支持台２１０、上部支持板２１２、 下部支持板２１４、単位基板支持台２１６、単位上部支持板２１７、単位下部支持板２１８、連結具２１９、遮蔽板２２０、単位遮蔽板２２２、移送駆動部２３０、回転駆動部２４０、エッチング液２５０、ノズル２６０、及び基板２７０が示されている。

本実施例によれば、基板２７０が湾曲されるように基板支持台２１０が基板２７０の両側を支持することにより、基板２７０が垂れることやエッチング液２５０が溜まることを防止することができ、基板２７０の両側に遮蔽板２２０が設けられて、エッチング液２５０が基板２７０の外郭に飛ぶことを防ぐことができ、基板支持台２１０が回転駆動部２４０により回転することにより、基板２７０の湾曲の程度を調節できる基板移送装置２００が提示される。

また、基板支持台２１０は複数の単位基板支持台２１６から構成され、連結具２１９がこれらを結合させることになっており、複数の単位基板支持台２１６の数を調節することにより基板支持台２１０のサイズを調節できるようになるため、基板２７０の長さにかかわらず基板２７０を支持することができる基板移送装置２００が提示される。

基板支持台２１０は、基板２７０が湾曲されてエッチング液２５０が基板２７０の両側に流れるように基板２７０の両側を支持することができる。すなわち、基板２７０の両側にそれぞれ配置される基板支持台２１０が互いに離隔する距離は、基板２７０の幅より短くてもよいので、 基板２７０の中央部が重力方向と反対方向に凸になるように基板２７０が湾曲され得る。

これにより、基板２７０は垂れることなく曲げられるので、図３に示すように、ノズル２６０から基板２７０の両面に噴射されるエッチング液２５０は、基板２７０の両側に容易に流れるようになり、過エッチングなどの問題を抑えることができ、結果的に、高密度回路が形成される基板２７０を高い収率で製造することができる。

このとき、基板支持台２１０は、基板２７０の上面を支持する上部支持板２１２と基板２７０の下面を支持する下部支持板２１４から構成されることができ、 上部支持板２１２と下部支持板２１４との間に基板２７０が介在され、回転駆動部２４０により基板支持台２１０が回転することにより、中央部が凸になるように基板２７０が湾曲されることができる。

なお、回転駆動部２４０は基板支持台２１０の回転角度を調節することにより、基板の湾曲も程度を調節することができ、これについては、回転駆動部２４０を説明する部分で後述する。

また、基板支持台２１０は複数の単位基板支持台２１６からなることができ、図４及び図５に基づいて後述する。

遮蔽板２２０は、基板２７０の両側に配置されてエッチング液２５０の飛ぶことを防ぐことができる。基板２７０のエッチング工程で、ノズル２６０からエッチング液２５０が基板２７０の表面に噴射される際に、ノズル２６０の圧力のためエッチング液２５０が基板２７０の外郭に飛ぶおそれがあり、遮蔽板２２０を基板２７０の両側に配置することにより、これを防止して他の設備や作業者を保護することができる。

この場合、遮蔽板２２０は、基板支持台２１０に結合されることができるが、 基板支持台２１０と隣接する下部まで延長されず、基板２７０の両側方向に所定の開口部が形成されて、 基板２７０に噴射され基板２７０の両側に流れるエッチング液２５０は、 図３に示すように、遮蔽板２２０により遮られることなく、容易に流れることができる。

しかし、遮蔽板２２０に開口部を形成しなくて、基板支持台２１０に結合され、基板２７０の両側に沿って基板２７０の両端にエッチング液２５０が流れるようにすることもできることは勿論である。

なお、遮蔽板２２０は複数の単位基板支持台２１６にそれぞれ対応する単位遮蔽板２２２からなることができ、これについては単位基板支持台２１６を説明する部分で後述する。

移送駆動部２３０は、基板２７０が移送されるように基板支持台２１０を移動させることができる。すなわち、基板２７０は、基板支持台２１０により湾曲されるように固定されるので、移送駆動部２３０により基板支持台２１０が基板２７０の移送方向に対応するように移動されることにより基板２７０を移送させることができる。

回転駆動部２４０は、基板２７０の湾曲の程度が変更されるように基板支持台２１０を回転させることができる。すなわち、基板２７０の両側を支持する基板支持台２１０を回転させて回転角度を変更させることにより、エッチング液２５０の粘度や基板２７０の剛性などの条件に合わせて、基板２７０の湾曲の程度を変更することができ、これにより、多様な種類の基板２７０やエッチング液２５０に適用できる基板移送装置２００を具現することができる。

回転駆動部２４０は、移送駆動部２３０により基板支持台２１０と共に基板２７０の移送方向に移動し、基板支持台２１０を０°〜１８０°まで回転させることにより、基板２７０の湾曲の程度を調節することができ、基板支持台２１０の上部支持板２１２及び下部支持板２１４をそれぞれ独立的に回転させて基板２７０の湾曲の程度を調節することもできることは明らかである。

次に、複数の単位基板支持台２１６、連結具２１９、及び単位遮蔽板２２２について説明する。

図４及び図５に示すように、基板支持台２１０は、基板２７０の両側にそれぞれ一列に配置される複数の単位基板支持台２１６と隣接する二つの単位基板支持台２１６を結合させる連結具２１９とを含むことができ、遮蔽板２２０は、複数の単位基板支持台２１６に対応する複数の単位遮蔽板２２２から構成されることができる。

すなわち、図５のように、単位上部支持板２１７及び単位下部支持板２１８で構成される単位基板支持台２１６と単位基板支持台２１６に結合される単位遮蔽板２２２で構成される一つの単位を、連結具２１９を用いて基板２７０のサイズに合わせて一列に複数結合させることにより、図４のように、基板支持台２１０と遮蔽板２２０を形成することができる。

基板支持台２１０と遮蔽板２２０とが、複数の単位基板支持台２１６と単位遮蔽板２２２から形成されることにより、基板２７０のサイズに関係なく、単位基板支持台２１６及び単位遮蔽板２２２の数を調節することにより、基板支持台２１０及び遮蔽板２２０のサイズを調節できるので、多様なサイズや多様な種類の基板２７０に適用できて製造費用及び製造時間を節約することができる。

なお、単位遮蔽板２２２の、単位基板支持台２１６と隣接する下部には所定の開口部が設けられ、これによりエッチング液２５０を所望の流路に導くことができる。水平状態で両側を基板支持台２１０により支持された基板２７０は、基板２７０の両側に配置された回転駆動部２４０の駆動により基板２７０が撓まされ、エッチング液２５０は基板の両側へ流れるので、これを開口部から外部へ導く。

前述したの実施例以外の多くの実施例が、本発明の特許請求範囲内に存在する。

従来技術による基板移送装置を示す概略図である。 本発明の一実施例による基板移送装置を示す概略図である。 本発明の一実施例による基板移送装置を備えたエッチング装置を示す概略図である。 本発明の一実施例による基板移送装置の基板支持台及び遮蔽板を示す斜視図である。 本発明の一実施例による基板移送装置の単位基板支持台及び単位遮蔽板を示す斜視図である。

符号の説明

２００ 基板移送装置
２１０ 基板支持台
２２０ 遮蔽板
２３０ 移送駆動部
２４０ 回転駆動部

Claims (5)

1. 基板のエッチング工程中、前記基板を移送する装置であって、
   前記基板が湾曲され、前記基板の両側にエッチング液が流れるように、前記基板の両側を支持する基板支持台と、
   前記基板が移送されるように前記基板支持台を移動させる移送駆動部を備える基板移送装置。
2. 前記基板の両側に配置され、前記エッチング液が飛ぶのを防ぐための遮蔽板をさらに備える請求項１に記載の基板移送装置。
3. 前記基板の湾曲の程度が変更されるように前記基板支持台を回転させる回転駆動部をさらに備える請求項１に記載の基板移送装置。
4. 前記基板支持台は、
   前記基板の両側にそれぞれ一列に配置される複数の単位基板支持台を備えることを特徴とする請求項１に記載の基板移送装置。
5. 前記基板支持台は、
   隣接する二つの前記単位基板支持台を結合させる連結具をさらに備えることを特徴とする請求項４に記載の基板移送装置。