JP2008238144A

JP2008238144A - Coating apparatus and coating method

Info

Publication number: JP2008238144A
Application number: JP2007086832A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Mori; 俊裕森; Motonobu Nakazawa; 源伸中澤
Original assignee: Toray Engineering Co Ltd
Current assignee: Toray Engineering Co Ltd
Priority date: 2007-03-29
Filing date: 2007-03-29
Publication date: 2008-10-09
Also published as: CN101274313B; CN101274313A; TW200916201A; KR20080088388A

Abstract

【課題】ガントリの走行をガイドするレールが分割されている場合であっても、不良基板が大量に生産されるのを抑制し、塗布基板の歩留まりを向上させることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージが配設された基台と、前記基台に特定方向に延びた状態で設けられ、複数に分割されたレールと、前記レールに沿って前記基板に対して相対的に走行し、前記基板に塗布液を塗布する塗布ユニットと、を備える塗布装置であって、前記塗布ユニットの動作の変動を検出する変動検出手段が設けられ、この変動検出手段の検出結果により基板上における塗布状態の良否を判断し、塗布状態が不適であると判断した場合には、前記塗布ユニットを停止させるように構成する。
【選択図】図１Disclosed is a coating apparatus and a coating method capable of suppressing the mass production of defective substrates and improving the yield of coated substrates even when rails that guide the traveling of a gantry are divided. provide.
A base on which a stage for holding a substrate is disposed, a rail provided in a state extending in a specific direction on the base, a plurality of divided rails, and the substrate along the rail. A coating unit that travels relatively and applies a coating solution to the substrate, and includes a variation detection unit that detects a variation in operation of the coating unit, and a detection result of the variation detection unit Is used to determine whether the application state on the substrate is good or not, and when it is determined that the application state is inappropriate, the application unit is stopped.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置及びその塗布方法に関するものである。 The present invention relates to a coating apparatus for coating a coating liquid on a substrate and a coating method thereof.

液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス基板上にレジスト液が塗布されたもの（塗布基板と称す）が使用されている。この塗布基板は、レジスト液を均一に塗布する塗布装置によって形成されている。 A flat panel display such as a liquid crystal display or a plasma display uses a glass substrate coated with a resist solution (referred to as a coated substrate). This coating substrate is formed by a coating apparatus that uniformly coats a resist solution.

すなわち、塗布装置は、ガラス基板を載置するステージと、レジスト液を吐出する口金と、この口金をステージ上に支持するとともにステージに沿って移動させる門型のガントリとを有しており、口金のスリットノズルからレジスト液を吐出させながら、ガントリをガラス基板に沿う方向に移動させることにより、所定厚さのレジスト液膜が形成された塗布基板が形成されるようになっている。そして、このような塗布装置により塗布基板が形成された後には、塗布ムラの検出を行う塗布膜の検査が行われる。具体的には、塗布装置により所定枚数の塗布基板の生産を行った後、塗布工程とは別の塗布膜検査工程において塗布基板の検査が行われる。 That is, the coating apparatus includes a stage on which a glass substrate is placed, a base for discharging a resist solution, and a portal gantry that supports the base on the stage and moves along the stage. By moving the gantry in the direction along the glass substrate while discharging the resist solution from the slit nozzle, a coated substrate on which a resist solution film of a predetermined thickness is formed is formed. Then, after the coating substrate is formed by such a coating apparatus, the coating film for detecting coating unevenness is inspected. Specifically, after a predetermined number of coated substrates are produced by the coating apparatus, the coated substrate is inspected in a coating film inspection step different from the coating step.

このような塗布装置のガントリは、ステージを載置する基台上に一方向に延びる石材製のレールが設置されており、このレールに沿って移動するように構成されている。近年では、フラットパネルディスプレイの大型化に伴い、大型の塗布基板を生産すべく、ステージの大型化及びレールの長尺化が余儀なくされている。しかし、レールが長尺化されると、石材製のレールの長尺化に伴う加工限界の問題や、塗布装置の運送上の問題が避けられないことから、下記特許文献１では、複数のレール部品を連結することによりレールを構成する塗布装置が開示されている。 A gantry of such a coating apparatus is provided with a stone rail extending in one direction on a base on which a stage is placed, and is configured to move along this rail. In recent years, with the increase in size of flat panel displays, the size of the stage and the length of the rail have been inevitably increased in order to produce a large coated substrate. However, when the length of the rail is increased, the problem of processing limitations associated with the lengthening of the rail made of stone and the problem of transportation of the coating device cannot be avoided. An applicator that constitutes a rail by connecting parts is disclosed.

特開２００６−９５６６５号公報JP 2006-95665 A

上記特許文献１に示されるように、レールがレール部品を連結することにより構成されている場合には、ガントリがレールの継ぎ目、すなわち、レールの不連続面（分割部分）を通過する際にガントリが変動し、その影響により、塗布ムラが発生して不良基板が生産されやすいという問題がある。しかし、一度不良基板が生産された場合には、後工程の塗布膜検査工程で不良基板が検出されるまでの間、同条件で塗布が行われる。すなわち、塗布ムラが発生する条件で、所定枚数の塗布基板がそのまま継続して生産されるため、不良基板が大量に生産されてしまうという問題がある。 As shown in Patent Document 1, when the rail is configured by connecting rail parts, the gantry is moved when the gantry passes through the rail joint, that is, the discontinuous surface (divided portion) of the rail. As a result, there is a problem that coating unevenness occurs and defective substrates are easily produced. However, once a defective substrate is produced, coating is performed under the same conditions until a defective substrate is detected in a subsequent coating film inspection step. That is, there is a problem that a predetermined number of coated substrates are continuously produced as they are under conditions where coating unevenness occurs, resulting in mass production of defective substrates.

本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、ガントリの走行をガイドするレールが分割されている場合であっても、不良基板が大量に生産されるのを抑制し、塗布基板の歩留まりを向上させることができる塗布装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and suppresses the mass production of defective substrates even when the rails that guide the traveling of the gantry are divided. An object of the present invention is to provide a coating apparatus capable of improving the yield of the coating.

上記課題を解決するために本発明の塗布装置は、基板を保持するステージが配設された基台と、前記基台に特定方向に延びた状態で設けられ、複数に分割されたレールと、前記レールに沿って前記基板に対して相対的に走行し、前記基板に塗布液を塗布する塗布ユニットと、を備える塗布装置であって、前記塗布ユニットの動作の変動を検出する変動検出手段が設けられ、この変動検出手段の検出結果により基板上の塗布液の塗布状態が判断されることを特徴としている。 In order to solve the above problems, the coating apparatus of the present invention includes a base on which a stage for holding a substrate is disposed, a rail provided in a state extending in a specific direction on the base, and a rail divided into a plurality of sections. A coating unit that travels relative to the substrate along the rail and coats the substrate with a coating liquid, and a variation detecting unit that detects a variation in the operation of the coating unit. It is characterized in that the application state of the application liquid on the substrate is determined based on the detection result of the variation detection means.

上記塗布装置によれば、基板に塗布液を塗布する塗布ユニットの動作の変動を検出する変動検出手段を設けたため、この変動検出手段の検出結果をモニタリング（監視）することにより不良塗布基板が生産されたか否かを判断することができる。すなわち、塗布ユニットがレールの連結部分を通過した場合には、塗布ユニットの動作に乱れが生じるため、この動作の乱れを検出することにより塗布ムラが発生するか否かを判断することができる。したがって、レールが分割されている場合であっても、塗布動作中に塗布ムラの発生を検出することができるため、従来のように所定枚数塗布基板を生産した後、別工程の塗布膜検査工程で塗布ムラを検出する場合に比べて、大量に不良基板が生産されるという問題を回避して、歩留まりを向上させることができる。 According to the coating apparatus, since the fluctuation detecting means for detecting the fluctuation of the operation of the coating unit for applying the coating liquid to the substrate is provided, a defective coated substrate is produced by monitoring the result of detection of the fluctuation detecting means. It can be determined whether or not. That is, when the coating unit passes through the connecting portion of the rail, the operation of the coating unit is disturbed. Therefore, it is possible to determine whether or not the coating unevenness is generated by detecting the disturbance of the operation. Therefore, even when the rails are divided, it is possible to detect the occurrence of coating unevenness during the coating operation. Therefore, after a predetermined number of coated substrates are produced as in the prior art, a separate coating film inspection step Compared with the case where coating unevenness is detected, it is possible to avoid the problem that a large number of defective substrates are produced and improve the yield.

上記塗布状態の判断における具体的な様態として、前記塗布装置は制御装置をさらに備えており、この制御装置は、前記変動検出手段の検出結果により、基板上における塗布状態の良否を判断し、塗布状態が不適であると判断した場合には、前記塗布ユニットを停止させる構成とすることができる。 As a specific aspect in the determination of the coating state, the coating device further includes a control device, which determines whether the coating state on the substrate is good or not based on the detection result of the variation detection unit. When it is determined that the state is inappropriate, the coating unit can be stopped.

この構成によれば、塗布ユニットが、不良基板とされるべき塗布ムラが発生するような動作をした場合には、塗布ユニットの動作を自動的に停止させることができる。したがって、大量に不良基板が生産されるのを防止することができる。 According to this configuration, when the coating unit performs an operation that causes coating unevenness to be a defective substrate, the operation of the coating unit can be automatically stopped. Therefore, it is possible to prevent a defective substrate from being produced in large quantities.

また、前記変動検出手段の具体的な様態として、前記変動検出手段は、前記塗布ユニットの走行速度を検出する速度検出手段であって、この速度検出手段により検出される塗布ユニットの走行速度の変化から塗布状態の良否が判断される構成としてもよい。 Further, as a specific mode of the fluctuation detecting means, the fluctuation detecting means is a speed detecting means for detecting a running speed of the coating unit, and a change in the running speed of the coating unit detected by the speed detecting means. It is good also as a structure from which the quality of an application state is judged from.

この構成によれば、前記速度検出手段により、塗布ユニットがレールの分割部分を通過した際の走行速度の変化を検出することにより、塗布ムラの発生を検出することができる。したがって、塗布ムラを検出するための複雑な装置を設けることなく、従来の塗布装置における既存の設備を用いて塗布ムラの発生を検出することができる。 According to this configuration, it is possible to detect the occurrence of coating unevenness by detecting the change in the traveling speed when the coating unit passes through the divided portion of the rail by the speed detection means. Therefore, it is possible to detect the occurrence of coating unevenness using existing equipment in a conventional coating apparatus without providing a complicated device for detecting coating unevenness.

また、前記変動検出手段の別の具体的な様態として、前記塗布ユニットには、レールの表面にエアを供給することにより塗布ユニットをレールから浮上させる軸受け部が備えられており、この軸受け部にエアを供給する管路には、管路内におけるエアの圧力の変化を検出する圧力検出手段が設けられ、前記変動検出手段は、この圧力検出手段を含み、この圧力検出手段により、検出される塗布ユニットの圧力の変化から塗布状態の良否が判断される構成としてもよい。 Further, as another specific mode of the variation detecting means, the coating unit is provided with a bearing unit that floats the coating unit from the rail by supplying air to the surface of the rail. A pressure detection means for detecting a change in air pressure in the pipe is provided in the pipe for supplying air, and the fluctuation detection means includes the pressure detection means and is detected by the pressure detection means. It is good also as a structure by which the quality of an application state is judged from the change of the pressure of an application unit.

この構成によれば、前記圧力検出手段により、塗布ユニットがレールの分割部分を通過した際の前記管路内のエアの圧力の変化を検出することにより、塗布ムラの発生を検出することができる。したがって、塗布ムラを検出するための複雑な装置を設けることなく、塗布ムラの発生を検出することができる。 According to this configuration, it is possible to detect the occurrence of coating unevenness by detecting a change in the pressure of the air in the pipe line when the coating unit passes through the divided portion of the rail by the pressure detecting means. . Therefore, it is possible to detect the occurrence of coating unevenness without providing a complicated device for detecting coating unevenness.

また、前記変動検出手段におけるさらに別の具体的な様態として、前記塗布ユニットには、レールの表面にエアを供給することにより塗布ユニットをレールから浮上させる軸受け部が備えられており、この軸受け部にエアを供給する管路には、管路内におけるエアの流量の変化を検出する流量検出手段が設けられ、前記変動検出手段は、この流量検出手段を含み、この流量検出手段により、検出される塗布ユニットの流量の変化から塗布状態の良否が判断される構成としてもよい。 As another specific aspect of the variation detecting means, the coating unit is provided with a bearing portion that floats the coating unit from the rail by supplying air to the surface of the rail. The pipe for supplying air is provided with a flow rate detecting means for detecting a change in the air flow rate in the pipe line, and the fluctuation detecting means includes the flow rate detecting means, and is detected by the flow rate detecting means. It is good also as a structure by which the quality of a coating state is judged from the change of the flow volume of a coating unit.

この構成によれば、前記流量検出手段により、塗布ユニットがレールの分割部分を通過した際の前記管路内のエアの流量の変化を検出することにより、塗布ムラの発生を検出することができる。したがって、塗布ムラを検出するための複雑な装置を設けることなく、塗布ムラの発生を検出することができる。 According to this configuration, it is possible to detect the occurrence of coating unevenness by detecting a change in the flow rate of air in the pipe line when the coating unit passes through the divided portion of the rail. . Therefore, it is possible to detect the occurrence of coating unevenness without providing a complicated device for detecting coating unevenness.

また、前記変動検出手段が、前記速度検出手段、前記圧力検出手段、前記流量検出手段を含んでおり、これら速度検出手段、圧力検出手段、流量検出手段のうち、少なくとも一つの検出手段の検出結果が設定された範囲から外れる場合には、基板上の塗布状態が不適と判断される構成としてもよい。 The fluctuation detection means includes the speed detection means, the pressure detection means, and the flow rate detection means. The detection result of at least one of the speed detection means, the pressure detection means, and the flow rate detection means. May be determined to be inappropriate for the coating state on the substrate.

この構成によれば、基板上の塗布状態が不適と判断される信頼性を向上させることができる。 According to this configuration, it is possible to improve the reliability that the application state on the substrate is determined to be inappropriate.

上記課題を解決するために本発明の塗布方法は、基台上のステージに基板を保持させて、特定方向に延びるとともに複数に分割されたレールに沿って前記基板に対して相対的に塗布ユニットを走行させながら塗布液を吐出することにより、基板上に塗布液を塗布する塗布方法において、前記塗布ユニットの動作の変動を検出する変動検出手段により、基板に塗布液を吐出している前記塗布ユニットの動作の変動を検出し、その検出結果により基板上の塗布液の塗布状態が判断されることを特徴としている。 In order to solve the above-described problems, the coating method of the present invention is a coating unit that holds a substrate on a stage on a base and extends relative to the substrate along a rail that extends in a specific direction and is divided into a plurality of rails. In the coating method in which the coating liquid is applied onto the substrate by discharging the coating liquid while running the coating, the coating liquid is discharged onto the substrate by the fluctuation detecting means that detects the fluctuation of the operation of the coating unit. A variation in the operation of the unit is detected, and the application state of the coating liquid on the substrate is determined based on the detection result.

上記塗布方法によれば、塗布ユニットが走行するレールが分割されている場合であっても、塗布動作中に塗布ムラの発生を検出することができるため、従来のように所定枚数塗布基板を生産した後、別工程の塗布膜検査工程で塗布ムラを検出する場合に比べて、大量に不良基板が生産されるという問題を回避して、歩留まりを向上させることができる。 According to the above coating method, even when the rail on which the coating unit travels is divided, it is possible to detect the occurrence of coating unevenness during the coating operation. Then, as compared with the case where coating unevenness is detected in a separate coating film inspection process, it is possible to avoid the problem that a large number of defective substrates are produced and improve the yield.

また、前記変動検出手段は、前記速度検出手段、前記圧力検出手段、前記流量検出手段を含んでおり、これら速度検出手段、圧力検出手段、流量検出手段のうち、少なくとも一つの検出手段の検出結果が設定された範囲から外れる場合には、基板上の塗布状態が不適と判断される構成としてもよい。 The fluctuation detection means includes the speed detection means, the pressure detection means, and the flow rate detection means. The detection result of at least one of the speed detection means, the pressure detection means, and the flow rate detection means. May be determined to be inappropriate for the coating state on the substrate.

本発明の塗布装置及び塗布方法によれば、不良塗布基板が大量に生産されるという問題を回避して歩留まりを向上させることができる。 According to the coating apparatus and the coating method of the present invention, it is possible to improve the yield by avoiding the problem that defective coated substrates are produced in large quantities.

本発明に係る実施の形態を図面を用いて説明する。 Embodiments according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本発明の一実施形態における塗布装置１を示す斜視図、図２は、塗布装置１のエアベアリング１４におけるエア系統を概略的に示した図、図３は、塗布ユニット５のユニット支持部７付近を示す図である。 1 is a perspective view showing a coating apparatus 1 according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram schematically showing an air system in an air bearing 14 of the coating apparatus 1, and FIG. It is a figure which shows the support part 7 vicinity.

図１〜図３に示すように、塗布装置１は、供給される薄板状の基板２に薬液やレジスト等の液状物（以下塗布液と称す）を塗布するものである。この塗布装置１は、基台３と、基板２を載置するためのステージ４と、このステージ４に対し特定方向に移動可能に構成される塗布ユニット５とを備えている。 As shown in FIGS. 1 to 3, the coating apparatus 1 applies a liquid material such as a chemical solution or a resist (hereinafter referred to as a coating solution) to a thin plate-like substrate 2 to be supplied. The coating apparatus 1 includes a base 3, a stage 4 for placing the substrate 2, and a coating unit 5 configured to be movable in a specific direction with respect to the stage 4.

なお、以下の説明では、塗布ユニット５が移動する方向をＸ軸方向、これと水平面上で直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。 In the following description, the direction in which the application unit 5 moves is described as the X-axis direction, the direction orthogonal to the horizontal direction on the horizontal plane is the Y-axis direction, and the direction orthogonal to both the X-axis and Y-axis directions is the Z-axis direction. To proceed.

前記基台３には、各構成部材、例えばステージ４、レール１３、及び塗布ユニット５が載置されている。 On the base 3, various components such as a stage 4, a rail 13, and a coating unit 5 are placed.

前記ステージ４は、搬入された基板２をその表面に載置して保持するものである。具体的には、ステージ４には、その表面に開口する複数の吸引孔（不図示）が形成されており、これらの吸引孔と真空ポンプ９（図４参照）とが連通して接続されている。そして、ステージ４の表面に基板２が載置された状態で真空ポンプ９を作動させることにより、吸引孔に吸引力が発生し基板２がステージ４の表面側に吸引されて吸着保持されるようになっている。 The stage 4 places and holds the substrate 2 that has been loaded on the surface thereof. Specifically, the stage 4 has a plurality of suction holes (not shown) opened on the surface thereof, and these suction holes and the vacuum pump 9 (see FIG. 4) are connected in communication. Yes. Then, by operating the vacuum pump 9 with the substrate 2 placed on the surface of the stage 4, a suction force is generated in the suction hole so that the substrate 2 is sucked and held by the surface side of the stage 4. It has become.

また、ステージ４には、基板２を昇降動作させる基板昇降機構（不図示）が設けられている。すなわち、ステージ４の表面には複数のピン孔が形成されており、このピン孔にはＺ軸方向に昇降動作可能なリフトピンが埋設されている。これにより、ステージ４の表面に基板２を載置した状態でリフトピンを上昇又は下降させることにより、基板２にリフトピンの先端部分が当接した状態で、基板２の昇降動作、及び、基板２を所定の高さ位置に保持できるようになっている。 The stage 4 is provided with a substrate lifting mechanism (not shown) that moves the substrate 2 up and down. That is, a plurality of pin holes are formed on the surface of the stage 4, and lift pins that can be moved up and down in the Z-axis direction are embedded in the pin holes. As a result, the lift pins are lifted or lowered while the substrate 2 is placed on the surface of the stage 4, so that the lift operation of the substrate 2 and the substrate 2 can be performed while the tip of the lift pin is in contact with the substrate 2. It can be held at a predetermined height position.

前記レール１３は、塗布ユニット５の走行をガイドするものであり、Ｘ軸方向に延伸して設けられている。本実施形態では、一対のレール１３がステージ４のＹ軸方向両側にステージ４に沿って設けられている。このレール１３は、複数のレール部品１３ａが連結されることによって構成されており、図１に示す例では、２つのレール部品１３ａが連結部１３ｂで連結されている。すなわち、連結部１３ｂは、レール１３のＸ軸方向ほぼ中央に位置している。 The rail 13 guides the travel of the coating unit 5 and is provided extending in the X-axis direction. In the present embodiment, a pair of rails 13 are provided along the stage 4 on both sides in the Y-axis direction of the stage 4. The rail 13 is configured by connecting a plurality of rail components 13a. In the example shown in FIG. 1, two rail components 13a are connected by a connecting portion 13b. In other words, the connecting portion 13b is located approximately at the center of the rail 13 in the X-axis direction.

レール部品１３ａは、平坦かつ平滑なガイド面１３ｃを有している。このガイド面１３ｃは、後述する塗布ユニット５のエアベアリング１４（本発明の軸受け部）と対向する位置に形成されている。すなわち、本実施形態では、それぞれのレール部品１３ａに、Ｚ軸方向に垂直をなす方向と、Ｙ軸方向に垂直をなす方向の２カ所に形成されている。そして、レール部品１３ａを連結させてレール１３を組み立てた状態では、このガイド面１３ｃが特定方向（Ｘ軸方向）に連続して延びる状態に形成される。そして、レール部品１３ａ同士の継ぎ目、すなわち連結部１３ｂにおいては、それぞれのレール部品１３ａのガイド面１３ｃ同士が連続し、ほぼ平坦状に連結されるようになっている。これにより、塗布ユニット５がレール１３上をスムーズに移動するようになっている。 The rail component 13a has a flat and smooth guide surface 13c. The guide surface 13c is formed at a position facing an air bearing 14 (bearing portion of the present invention) of the coating unit 5 described later. That is, in this embodiment, each rail component 13a is formed at two locations, a direction perpendicular to the Z-axis direction and a direction perpendicular to the Y-axis direction. And in the state which assembled the rail 13 by connecting the rail components 13a, this guide surface 13c is formed in the state extended continuously in a specific direction (X-axis direction). And in the joint of rail components 13a, ie, connection part 13b, guide surfaces 13c of each rail component 13a continue, and it is connected almost flatly. Thereby, the coating unit 5 moves smoothly on the rail 13.

前記塗布ユニット５は、ステージ４に載置された基板２に塗布液を塗布するためのものであり、一方向に延び塗布液を吐出する口金部６と、この口金部６の両端部分に設けられたユニット支持部７とを有している。 The coating unit 5 is for applying a coating solution to the substrate 2 placed on the stage 4. The coating unit 5 extends in one direction and discharges the coating solution, and is provided at both end portions of the nozzle unit 6. Unit support portion 7.

前記ユニット支持部７は、口金部６を昇降動作可能に支持するとともに、この口金部６をＸ軸方向に移動させるためのものである。すなわち、このユニット支持部７は、口金部６を昇降動作させる昇降装置２０と、口金部６を走行させる走行装置１０とを有している。 The unit support part 7 supports the base part 6 so as to be movable up and down and moves the base part 6 in the X-axis direction. That is, the unit support portion 7 includes a lifting device 20 that moves the base portion 6 up and down, and a traveling device 10 that runs the base portion 6.

昇降装置２０は、口金部６を昇降動作させるものであり、Ｚ軸方向に延びるガイドレール２１と、口金部６と連結されるスライダ２２とを有している。このガイドレール２１には、スライダ２２がガイドレール２１に沿ってスライド自在に取り付けられている。また、スライダ２２にはサーボモータ２３により駆動されるボールねじ機構が取り付けられており、このサーボモータ２３を駆動制御することにより、スライダ２２がＺ軸方向に移動するとともに、任意の位置で停止できるようになっている。これにより、口金部６は、Ｚ軸方向への昇降動作が駆動制御され、ステージ４に対して接離可能に動作するようになっている。 The elevating device 20 moves the base part 6 up and down, and includes a guide rail 21 extending in the Z-axis direction and a slider 22 connected to the base part 6. A slider 22 is slidably attached to the guide rail 21 along the guide rail 21. A ball screw mechanism driven by a servo motor 23 is attached to the slider 22. By controlling the servo motor 23, the slider 22 can be moved in the Z-axis direction and stopped at an arbitrary position. It is like that. Thereby, the base part 6 is driven and controlled to move up and down in the Z-axis direction, and operates so as to be able to contact and separate from the stage 4.

走行装置１０は、図３に示すように、口金部６をＸ軸方向に走行させるためのものであり、スライド支持部１１とリニアモータ１２とを有している。 As illustrated in FIG. 3, the traveling device 10 is for traveling the base portion 6 in the X-axis direction, and includes a slide support portion 11 and a linear motor 12.

このスライド支持部１１は、レール１３との間に設けられるエアベアリング１４（本発明の軸受け部）によってレール１３上に支持されている。そして、スライド支持部１１に取り付けられたリニアモータ１２を駆動制御することにより、スライド支持部１１がＸ軸方向に移動するようになっている。具体的には、図２，図３に示すように、スライド支持部１１に設けられたエアベアリング１４には管路８１を通じてコンプレッサ８０が接続されており、このコンプレッサ８０を作動させることにより、エアベアリング１４からガイド面１３ｃ側にエアが供給される。そして、エアベアリング１４とガイド面１３ｃとの間にエアが供給されることにより、スライド支持部１１がガイド面１３ｃから浮上する状態に維持される。そして、スライド支持部１１が浮上する状態においてリニアモータ１２を駆動させることにより、スライド支持部１１がＸ軸方向に移動するようになっている。すなわち、塗布ユニット５は、リニアモータ１２を駆動させることにより、エアベアリング１４がレール１３から浮上した状態で、Ｘ軸方向に沿って走行することができるようになっている。 The slide support portion 11 is supported on the rail 13 by an air bearing 14 (bearing portion of the present invention) provided between the slide support portion 11 and the rail 13. And the slide support part 11 moves to a X-axis direction by drive-controlling the linear motor 12 attached to the slide support part 11. FIG. Specifically, as shown in FIGS. 2 and 3, a compressor 80 is connected to the air bearing 14 provided in the slide support portion 11 through a pipe line 81. Air is supplied from the bearing 14 to the guide surface 13c side. And by supplying air between the air bearing 14 and the guide surface 13c, the slide support part 11 is maintained in the state which floats from the guide surface 13c. The slide support 11 is moved in the X-axis direction by driving the linear motor 12 while the slide support 11 is floating. That is, the application unit 5 can travel along the X-axis direction by driving the linear motor 12 while the air bearing 14 floats from the rail 13.

また、管路８１には、エアベアリング１４に供給されるエアの圧力を計測する圧力計８２がそれぞれのエアベアリング１４ごとに設けられている。また、供給されるエアの流量を計測する流量計８３がそれぞれのエアベアリング１４ごとに設けられている。これらの圧力計８２及び流量計８３は、後述する制御装置に接続されており、計測結果が制御装置に取り込まれるようになっている。 Further, a pressure gauge 82 for measuring the pressure of the air supplied to the air bearing 14 is provided in the pipe line 81 for each air bearing 14. A flow meter 83 for measuring the flow rate of the supplied air is provided for each air bearing 14. The pressure gauge 82 and the flow meter 83 are connected to a control device which will be described later, and the measurement result is taken into the control device.

また、スライド支持部１１には、塗布ユニット５のＸ軸方向における位置が検出されるようになっている。すなわち、レール１３上には、ガイド面１３ｃに沿ってスケール１５ｂが設けられている。そして、スライド支持部１１には、このスケール１５ｂと対向する位置にスケール読取部１５ａが取り付けられており、このスケール読取り部１５ａによりスケール１５ｂを読み取ることにより、塗布ユニット５が走行中であっても、現在における塗布ユニット５の位置を精度よく検出できるようになっている。なお、スケール読取部１５ａは、後述する制御装置と接続されており、この位置情報を基に塗布ユニット５の走行速度が演算されるようになっている。これにより、常時、塗布ユニットの走行速度が検出できるようになっている。 Further, the position of the coating unit 5 in the X-axis direction is detected by the slide support portion 11. That is, a scale 15b is provided on the rail 13 along the guide surface 13c. A scale reading unit 15a is attached to the slide support unit 11 at a position facing the scale 15b, and the scale reading unit 15a reads the scale 15b so that the coating unit 5 is running. The current position of the coating unit 5 can be detected with high accuracy. The scale reading unit 15a is connected to a control device described later, and the traveling speed of the coating unit 5 is calculated based on this position information. As a result, the traveling speed of the coating unit can be detected at all times.

前記口金部６は、基板２上に塗布液を塗布するものである。この口金部６は、Ｙ軸方向に延びる形状を有する柱状部材であり、ステージ４の表面と対向する側には塗布液を吐出するノズル６１（図３参照）が形成されている。このノズル６１は、ステージ４の表面側に突出し、この突出した部分にはＹ軸方向に延びる形状のスリットが形成されている。すなわち、このスリットを通じて口金部６に供給された塗布液が基板２の表面に吐出されるようになっている。 The base 6 applies a coating solution on the substrate 2. The base 6 is a columnar member having a shape extending in the Y-axis direction, and a nozzle 61 (see FIG. 3) for discharging a coating liquid is formed on the side facing the surface of the stage 4. The nozzle 61 protrudes to the surface side of the stage 4, and a slit having a shape extending in the Y-axis direction is formed in the protruding portion. That is, the coating liquid supplied to the base 6 through this slit is discharged onto the surface of the substrate 2.

次に、上記塗布装置１の制御系の構成について図４に示すブロック図を用いて説明する。 Next, the configuration of the control system of the coating apparatus 1 will be described with reference to the block diagram shown in FIG.

図４は、この塗布装置に設けられた制御装置９０の制御系を示すブロック図である。図４に示すように、この塗布装置１は、上述した各種ユニットの駆動を制御する制御装置９０が設けられている。この制御装置９０は、制御本体部９１、駆動制御部９２、位置検出部９３、圧力検出部９４、流量検出部９５、入出力装置制御部９６、外部装置制御部９７とを有している。 FIG. 4 is a block diagram showing a control system of the control device 90 provided in the coating apparatus. As shown in FIG. 4, the coating apparatus 1 is provided with a control device 90 that controls driving of the various units described above. The control device 90 includes a control main body 91, a drive control unit 92, a position detection unit 93, a pressure detection unit 94, a flow rate detection unit 95, an input / output device control unit 96, and an external device control unit 97.

制御本体部９１は、論理演算を実行する周知のＣＰＵ、そのＣＰＵを制御する種々のプログラムなどを予め記憶するＲＯＭ、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭ、種々のプログラムやＯＳ、さらに生産プログラム等の各種データを記憶するＨＤＤ等を備えている。そして、制御本体部９１は、主制御部９１ａ、判定部９１ｂ、記憶部９１ｃを有している。 The control main body 91 includes a well-known CPU for executing logical operations, a ROM for storing various programs for controlling the CPU in advance, a RAM for temporarily storing various data during operation of the apparatus, various programs and OSs. Further, an HDD for storing various data such as a production program is provided. And the control main-body part 91 has the main control part 91a, the determination part 91b, and the memory | storage part 91c.

主制御部９１ａは、予め記憶されたプログラムに従って一連の塗布動作を実行すべく、駆動制御部９２を介して各種ユニットの駆動装置等を駆動制御するとともに、この塗布動作において必要な各種演算を行うものである。本実施形態では、スケール読取部１５ａからの位置情報に基づいて、塗布ユニット５の走行速度を演算できるようになっている。 The main control unit 91a drives and controls various units of drive devices and the like through the drive control unit 92 so as to execute a series of coating operations according to a program stored in advance, and performs various calculations necessary for the coating operation. Is. In the present embodiment, the traveling speed of the coating unit 5 can be calculated based on the position information from the scale reading unit 15a.

判定部９１ｂは、塗布ユニット５が走行して基板２に塗布液を塗布する塗布動作時において、塗布ユニット５の走行速度、エアベアリング１４に供給されるエアの圧力、及びエアの流量が適切であるか否かを判定するものである。すなわち、塗布ユニット５の走行速度については、スケール読取部１５ａで検出された位置情報に基づいて主制御部９１ａで演算された走行速度が、所定の条件を満たしているか否かを判断する。また、エアの圧力及び流量については、圧力計８２及び流量計８３により検出された検出圧力Ｐ及び検出流量Ｆが、所定の条件を満たしているか否かを判断する。具体的には、後述する記憶部９１ｃには、塗布ムラが発生する場合の条件（塗布ムラ発生条件）が記憶されており、検出された走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆが、この塗布ムラ発生条件の範囲内であるか否かを判断する。すなわち、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ及び検出流量Ｆに対して、それぞれ閾値が設定されており、この閾値を超える場合には塗布ムラが発生すると判断されるようになっている。本実施形態では、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆのいずれかが、設定された閾値を超えた場合には、塗布ムラが発生したと判断し、主制御部９１ａが駆動制御部９２を介して各サーボモータ２３、リニアモータ１２等の駆動を停止させるとともに、警告を発するようになっている。 The determination unit 91b is configured so that the traveling speed of the coating unit 5, the pressure of air supplied to the air bearing 14, and the flow rate of air are appropriate when the coating unit 5 travels and the coating liquid is applied to the substrate 2. It is determined whether or not there is. That is, for the traveling speed of the coating unit 5, it is determined whether or not the traveling speed calculated by the main control unit 91a satisfies a predetermined condition based on the position information detected by the scale reading unit 15a. As for the air pressure and flow rate, it is determined whether or not the detected pressure P and the detected flow rate F detected by the pressure gauge 82 and the flow meter 83 satisfy predetermined conditions. Specifically, the storage unit 91c described later stores conditions (application unevenness occurrence conditions) when application unevenness occurs, and the detected traveling speed V, detected pressure P, and detected flow rate F are stored in the storage unit 91c. It is determined whether or not the coating unevenness generation condition is satisfied. That is, threshold values are set for the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F, respectively, and when the threshold values are exceeded, it is determined that application unevenness occurs. In this embodiment, when any one of the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F exceeds a set threshold value, it is determined that application unevenness has occurred, and the main control unit 91a determines the drive control unit 92. The servo motors 23, the linear motors 12 and the like are stopped from driving, and a warning is issued.

記憶部９１ｃは、各種データが格納されているとともに、演算結果、計測結果等を一時的に格納するためのものである。本実施形態では、スケール読取部１５ａの検出結果により演算された走行速度Ｖ、また、圧力計８２、流量計８３により検出された検出圧力Ｐ、検出流量Ｆが随時記憶されるようになっている。具体的には、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆが、スケール読取部１５ａによって読み取られたスケール位置Ｓ（スケール１５ｂ上の塗布ユニット５の位置）と関連付けられた状態で記憶される。 The storage unit 91c stores various data and temporarily stores calculation results, measurement results, and the like. In the present embodiment, the traveling speed V calculated from the detection result of the scale reading unit 15a, the detected pressure P detected by the pressure gauge 82 and the flow meter 83, and the detected flow rate F are stored as needed. . Specifically, the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F are stored in a state associated with the scale position S (the position of the coating unit 5 on the scale 15b) read by the scale reading unit 15a.

また、この記憶部９１ｃには、塗布ムラ発生条件が記憶されている。この塗布ムラ発生条件は、発生する塗布ムラが許容範囲内である場合の最大値、最小値、変動値等の閾値によって構成されており、例えば、閾値を超える場合や、これら複数の閾値で設定された範囲から外れる場合を塗布ムラ発生条件として設定されている。この塗布ムラ発生条件は、予め塗布装置１の塗布動作を行うことによって求められた実験条件によって設定される。なお、この記憶部９１ｃに記憶された塗布ムラ発生条件は、キーボード９８やタッチパネル９９から変更できるようになっている。 The storage unit 91c stores application unevenness occurrence conditions. This application unevenness generation condition is configured by threshold values such as a maximum value, a minimum value, a variation value, etc. when the generated application unevenness is within an allowable range. The case where it is outside the range is set as a condition for occurrence of coating unevenness. The application unevenness generation condition is set according to experimental conditions obtained in advance by performing the application operation of the application apparatus 1. The application unevenness occurrence condition stored in the storage unit 91c can be changed from the keyboard 98 or the touch panel 99.

駆動制御部９２は、主制御部９１ａからの制御信号に基づいて、リニアモータ１２、サーボモータ２３等を駆動制御するものである。具体的には、リニアモータ１２及びサーボモータ２３を制御することにより塗布ユニット５における走行装置１０及び昇降装置２０が駆動制御されるようになっている。 The drive control unit 92 controls the drive of the linear motor 12, the servo motor 23, and the like based on a control signal from the main control unit 91a. Specifically, the traveling device 10 and the lifting device 20 in the coating unit 5 are driven and controlled by controlling the linear motor 12 and the servo motor 23.

位置検出部９３は、スケール読取部１５ａによりスケール１５ｂを読み取って、塗布ユニット５の位置を検出するものである。この検出結果は、随時、記憶部９１ｃにて記憶される。そして、この検出結果に基づいて、主制御部９１ａにより塗布ユニット５の走行速度Ｖが演算される。 The position detector 93 reads the scale 15b by the scale reader 15a and detects the position of the coating unit 5. The detection result is stored in the storage unit 91c as needed. Based on this detection result, the traveling speed V of the coating unit 5 is calculated by the main controller 91a.

圧力検出部９４は、圧力計８２によって計測された圧力を検出するものである。この検出された検出圧力Ｐは随時、記憶部９１ｃにて記憶されるようになっている。 The pressure detector 94 detects the pressure measured by the pressure gauge 82. The detected pressure P detected is stored in the storage unit 91c as needed.

流量検出部９５は、流量計８３によって計測された流量を検出するものである。この検出された検出流量Ｆは随時、記憶部９１ｃにて記憶されるようになっている。 The flow rate detector 95 detects the flow rate measured by the flow meter 83. The detected flow rate F is stored in the storage unit 91c as needed.

入出力装置制御部９６は、キーボード９８、タッチパネル９９等の各入出力装置を動作制御するものである。具体的には、オペレータにより、キーボード９８及びタッチパネル９９から塗布条件の設定が行えるようになっている。また、塗布ムラ発生条件を満たすことにより、不良塗布基板２が生産されたと判断される場合には、オペレータに警告を促す警告表示がタッチパネル９９上に行われるようになっている。また、警告表示が出た場合には、その際の閾値が塗布ムラ発生条件として設定されるように、オペレータがタッチパネル９９上から設定できるようになっている。 The input / output device controller 96 controls the operation of each input / output device such as the keyboard 98 and the touch panel 99. Specifically, the application conditions can be set from the keyboard 98 and the touch panel 99 by the operator. Further, when it is determined that the defective application substrate 2 has been produced by satisfying the application unevenness generation condition, a warning display for urging the operator to perform a warning is performed on the touch panel 99. Further, when a warning is displayed, the operator can set from the touch panel 99 so that the threshold value at that time is set as an application unevenness occurrence condition.

外部装置制御部９７は、主制御部９１ａからの制御信号に基づいて、外部装置の駆動制御を行うものである。本実施形態では、コンプレッサ８０と接続されており、このコンプレッサ８０を駆動させることにより、エアベアリング１４にエアが供給されるようになっている。 The external device control unit 97 performs drive control of the external device based on a control signal from the main control unit 91a. In this embodiment, it is connected to the compressor 80, and the air is supplied to the air bearing 14 by driving the compressor 80.

次に、この塗布装置１における塗布動作について、図５に示すフローチャートを参照しながら説明する。なお、本実施形態では、塗布ムラ発生条件として、塗布ユニット５の走行速度Ｖの最大値Ｖａと最小値Ｖｂ、検出圧力Ｐの最大値Ｐａと最小値Ｐｂ、検出流量Ｆの最大値Ｆａと最小値Ｆｂがそれぞれ閾値として設定されており、これら走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆが閾値で設定された範囲（最大値と最小値とで設定された範囲）から外れる場合には、塗布ムラが発生していると判断される場合について説明する。 Next, the application | coating operation | movement in this coating device 1 is demonstrated, referring the flowchart shown in FIG. In the present embodiment, the application unevenness occurrence conditions are the maximum value Va and minimum value Vb of the traveling speed V of the application unit 5, the maximum value Pa and minimum value Pb of the detected pressure P, and the maximum value Fa and minimum of the detected flow rate F. The value Fb is set as a threshold value, and when the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F are out of the range set by the threshold value (the range set by the maximum value and the minimum value), the application is performed. A case where it is determined that unevenness has occurred will be described.

まず、ステップＳ１において基板２の保持が行われる。具体的には、ステージ４の表面から複数のリフトピンが突出した状態で待機されており、これらのリフトピンの先端部分に基板２が載置される。そして、リフトピンを下降させて基板２をステージ４の表面に載置し、この状態で真空ポンプ９を作動させて吸引孔に吸引力を発生させることにより、基板２をステージ４の表面上に吸着させて保持させる。 First, in step S1, the substrate 2 is held. Specifically, the apparatus is on standby with a plurality of lift pins protruding from the surface of the stage 4, and the substrate 2 is placed on the tip portions of these lift pins. Then, the lift pin is lowered to place the substrate 2 on the surface of the stage 4, and in this state, the vacuum pump 9 is operated to generate a suction force in the suction hole, thereby attracting the substrate 2 onto the surface of the stage 4. Let it hold.

次に塗布ユニット５の走行が開始される（ステップＳ２）。具体的には、コンプレッサ８０からエアベアリング１４にエアを供給することにより塗布ユニット５を浮上させた状態で、リニアモータ１２を駆動制御することにより口金部６を基板２上の所定位置まで走行させる。 Next, the coating unit 5 starts to travel (step S2). Specifically, the base unit 6 is caused to travel to a predetermined position on the substrate 2 by driving and controlling the linear motor 12 in a state where the coating unit 5 is levitated by supplying air from the compressor 80 to the air bearing 14. .

次に、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆの監視が開始される（ステップＳ３）。具体的には、スケール読取部１５ａからの塗布ユニット５の位置情報から塗布ユニット５の走行速度Ｖが演算され、その演算された走行速度Ｖが記憶部９１ｃに記憶される。また、コンプレッサ８０によりエアベアリング１４に供給されるエアの圧力が圧力計８２により検出されるとともに、エアの流量が流量計８３により検出され、その検出された圧力値Ｐ及び検出された流量値Ｆが記憶部９１ｃに記憶される。 Next, monitoring of the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F is started (step S3). Specifically, the traveling speed V of the coating unit 5 is calculated from the position information of the coating unit 5 from the scale reading unit 15a, and the calculated traveling speed V is stored in the storage unit 91c. The pressure of the air supplied to the air bearing 14 by the compressor 80 is detected by the pressure gauge 82, and the flow rate of the air is detected by the flow meter 83, and the detected pressure value P and the detected flow value F Is stored in the storage unit 91c.

そして、次に、塗布液が基板上に塗布される（ステップＳ４）。具体的には、走行速度Ｖ等を監視した状態で、塗布ユニット５を所定位置まで走行させる。そして、塗布ユニット５が所定位置に達すると、昇降装置２０を駆動制御することにより口金部６が基板２から所定の高さ位置になるように設定し、この状態からリニアモータ１２を駆動制御することにより、口金部６をＸ軸方向に走行させる。すなわち、口金部６のスリットから塗布液を吐出させながら口金部６を走行させることにより、基板２上に塗布液が均一厚さで塗布される。このとき、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆがそれぞれ記憶部９１ｃに記憶される。 Next, a coating solution is applied on the substrate (step S4). Specifically, the coating unit 5 is caused to travel to a predetermined position while the traveling speed V and the like are monitored. When the coating unit 5 reaches a predetermined position, the elevating device 20 is driven and controlled so that the base portion 6 is set to a predetermined height position from the substrate 2, and the linear motor 12 is driven and controlled from this state. Thus, the base part 6 is caused to travel in the X-axis direction. That is, the coating liquid is applied on the substrate 2 with a uniform thickness by running the base part 6 while discharging the coating liquid from the slit of the base part 6. At this time, the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F are stored in the storage unit 91c.

次に、塗布ムラが発生したか否かを判断する（ステップＳ５）。具体的には、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆが、閾値で設定された範囲（最大値（Ｖａ、Ｐａ、Ｆａ）から最小値（Ｖｂ、Ｐｂ、Ｆｂ）までの範囲）から外れているか否かによって判断する。ここで、図６は、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆの計測結果とスケール位置Ｓとの関係を示す図であり、図６（ａ）は、走行速度Ｖとスケール位置Ｓとの関係を示す図、図６（ｂ）は、検出圧力Ｐとスケール位置Ｓとの関係を示す図、図６（ｃ）は、検出流量Ｆとスケール位置Ｓとの関係を示す図である。 Next, it is determined whether application unevenness has occurred (step S5). Specifically, the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F deviate from the ranges set by the threshold values (ranges from the maximum values (Va, Pa, Fa) to the minimum values (Vb, Pb, Fb)). Judgment by whether or not. Here, FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the measurement result of the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F and the scale position S. FIG. 6A shows the relationship between the traveling speed V and the scale position S. FIG. 6B is a diagram showing the relationship, FIG. 6B is a diagram showing the relationship between the detected pressure P and the scale position S, and FIG. 6C is a diagram showing the relationship between the detected flow rate F and the scale position S.

この図６（ａ）〜図６（ｃ）に示されるように、塗布ユニット５がレール１３のガイド面１３ｃを走行している状態では、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆは、ほぼ一定値を示しているが、レール１３の連結部１３ｂ（スケール位置Ｓの中央部分Ｓｏ）では、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆに乱れが生じている。すなわち、塗布ユニット５がレール１３の連結部１３ｂ（不連続面）を通過する際の塗布ユニット５の動作の乱れ、また、エアベアリング１４からレール１３に向かって供給されるエアの乱れにより、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆが変化する。そして、変化した走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆが閾値で設定された範囲を超える場合には、塗布ムラありと判断される。すなわち、図６に示す例では、連結部１３ｂ付近における走行速度Ｖが設定された閾値（Ｖａ、Ｖｂ）を超えているため、判定部９１ｂにおいて塗布ムラありと判断される。そして、塗布ムラありと判断された場合には、ステップＳ６に進みタッチパネル９９上に警告表示が行われることにより、オペレータに警告を促し、塗布装置１を停止させる。 As shown in FIGS. 6A to 6C, when the coating unit 5 is traveling on the guide surface 13c of the rail 13, the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F are almost equal. Although a constant value is shown, the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F are disturbed at the connecting portion 13b of the rail 13 (the central portion So of the scale position S). That is, when the coating unit 5 passes through the connecting portion 13 b (discontinuous surface) of the rail 13, the operation of the coating unit 5 is disturbed, and the air supplied from the air bearing 14 toward the rail 13 is disturbed. The speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F change. When the changed traveling speed V, detected pressure P, and detected flow rate F exceed the range set by the threshold values, it is determined that there is application unevenness. That is, in the example shown in FIG. 6, since the traveling speed V in the vicinity of the connecting portion 13b exceeds the set threshold values (Va, Vb), the determining portion 91b determines that there is coating unevenness. If it is determined that there is coating unevenness, the process proceeds to step S6, where a warning is displayed on the touch panel 99, prompting the operator to warn, and the coating apparatus 1 is stopped.

また、ステップＳ５において、塗布ムラ発生条件を満たしていない、すなわち、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆすべてが、閾値で設定された範囲内であることにより、塗布ムラが発生していないと判断する場合には、ステップＳ７に進み、塗布基板２が排出される。そして、所定枚数の塗布基板２が生産されたか否かの判断がなされ、所定枚数に達していない場合には、ステップＳ１からの処理が繰り返される（ステップＳ８）。 Further, in step S5, the coating unevenness generation condition is not satisfied, that is, the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F are all within the range set by the threshold value, so that the uneven coating is not generated. In the case where it is determined, the process proceeds to step S7, and the coated substrate 2 is discharged. Then, it is determined whether or not a predetermined number of coated substrates 2 has been produced. If the predetermined number of substrates has not been reached, the processing from step S1 is repeated (step S8).

このように、本実施形態における塗布装置１によれば、塗布動作中における塗布ユニット５の走行速度Ｖ、エアベアリング１４に供給されるエアの圧力値Ｐ、流量値Ｆを監視することにより、不良塗布基板が生産されたか否かを判断することができる。したがって、大型塗布基板を生産するためにレールの分割を余儀なくされる場合であっても、塗布動作中に塗布ムラの発生を検出することができるため、従来のように所定枚数塗布基板を生産した後、別工程の塗布膜検査工程で塗布ムラを検出する場合に比べて、大量に不良基板が生産されるという問題を回避して、歩留まりを向上させることができる。 As described above, according to the coating apparatus 1 of the present embodiment, it is possible to monitor the running speed V of the coating unit 5 during the coating operation, the pressure value P of the air supplied to the air bearing 14, and the flow rate value F. It can be determined whether the coated substrate has been produced. Therefore, even when it is necessary to divide the rails to produce a large coated substrate, it is possible to detect the occurrence of coating unevenness during the coating operation. Thereafter, as compared with the case where coating unevenness is detected in a separate coating film inspection step, it is possible to avoid the problem of producing a large number of defective substrates and improve the yield.

また、上記実施形態では、塗布ムラ発生条件について、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆそれぞれの最大値及び最小値を閾値として設定する例について説明したが、これに限定されるものではない。たとえば、最大値のみを閾値として、この閾値を超える場合に塗布ムラが発生すると判断するものであってもよい。 Moreover, although the said embodiment demonstrated the example which sets the maximum value and the minimum value of each of the traveling speed V, the detection pressure P, and the detection flow rate F as a threshold value about application | coating unevenness generation conditions, it is not limited to this. . For example, only the maximum value may be set as a threshold, and it may be determined that application unevenness occurs when this threshold is exceeded.

また、走行速度Ｖ、エアの検出圧力Ｐ、検出流量Ｆが所定の変化量を示した場合に塗布ムラが発生する場合には、その変化量を閾値として設定するものであってもよい。具体的には、検出された走行速度Ｖについて、その微分成分を演算し、この微分成分が、予め設定された微分成分（閾値）を超える場合に、塗布ムラが発生していると判断するものであってもよい。これにより、塗布ユニット５の変動を連続的に監視することができるため、最大値及び最小値を閾値として設定する場合に比べて、塗布ユニット５が微小に変動する場合であっても塗布ムラの発生を有効に検出することができる。したがって、塗布装置の組付けの高精度化に伴い、連結部１３ｂにおけるレール１３同士の間隔が僅かとなって、塗布ユニット５の変動が微小となる場合に特に有効となる。 In the case where application unevenness occurs when the traveling speed V, the detected pressure P of air, and the detected flow rate F indicate a predetermined change amount, the change amount may be set as a threshold value. Specifically, the differential component of the detected traveling speed V is calculated, and when this differential component exceeds a preset differential component (threshold), it is determined that application unevenness has occurred. It may be. Thereby, since the fluctuation | variation of the application | coating unit 5 can be monitored continuously, compared with the case where the maximum value and the minimum value are set as a threshold value, even if the application | coating unit 5 fluctuates minutely, the unevenness of application | coating The occurrence can be detected effectively. Therefore, this is particularly effective when the interval between the rails 13 in the connecting portion 13b becomes small with the increase in accuracy of the assembly of the coating device, and the variation of the coating unit 5 becomes minute.

また、上記実施形態では、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆのいずれかが、閾値で設定された範囲から外れた場合に塗布ムラが発生したと判断する例について説明したが、例えば、検出圧力Ｐと検出流量Ｆの両方が閾値で設定された範囲から外れた場合に塗布ムラが発生すると判断するものであってもよい。すなわち、走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆから選択される２以上の要素が、閾値で設定された範囲から外れた場合に塗布ムラが発生すると判断するものであってもよい。 Moreover, although the said embodiment demonstrated the example which judges that application | coating nonuniformity generate | occur | produced when one of driving speed V, the detection pressure P, and the detection flow volume F remove | deviated from the range set with the threshold value, for example, When both the detection pressure P and the detection flow rate F are out of the range set by the threshold value, it may be determined that the coating unevenness occurs. That is, it may be determined that application unevenness occurs when two or more elements selected from the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F are out of the range set by the threshold.

また、上記実施形態では、塗布ムラ発生条件が初期段階で設定されている場合について説明したが、オペレータにより適宜変更されるものであってもよい。例えば、塗布ムラが発生した不良塗布基板が生産されているにもかかわらず、塗布動作が停止されない場合には、その不良塗布基板が生産された塗布ムラ発生条件をオペレータによりタッチパネル９９から入力することにより各閾値を更新し、その後の塗布基板の生産に反映させるものであってもよい。これにより、初期設定された塗布ムラ発生条件だけでは不良塗布基板が大量に生産されてしまう問題を回避することができる。 Moreover, although the said embodiment demonstrated the case where the coating nonuniformity generation conditions were set at the initial stage, it may be changed suitably by an operator. For example, if the application operation is not stopped despite the production of a defective coated substrate in which uneven coating has occurred, the operator inputs the application unevenness generating condition for producing the defective coated substrate from the touch panel 99. Each threshold value may be updated by the above and reflected in subsequent production of the coated substrate. As a result, it is possible to avoid the problem that a defective coated substrate is produced in large quantities only under the initial setting conditions for occurrence of uneven coating.

本発明の一実施形態における塗布装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the coating device in one Embodiment of this invention. 上記塗布装置のエアベアリングにおけるエア系統を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly the air system | strain in the air bearing of the said coating device. 上記塗布装置のユニット支持部付近を示す図である。It is a figure which shows the unit support part vicinity of the said coating device. 上記塗布装置の制御系を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the control system of the said coating device. 上記塗布装置の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of the said coating device. 上記塗布装置における走行速度Ｖ、検出圧力Ｐ、検出流量Ｆの計測結果とスケール位置Ｓとの関係を示す図であり、図６（ａ）は、走行速度Ｖとスケール位置Ｓとの関係を示す図、図６（ｂ）は、検出圧力Ｐとスケール位置Ｓとの関係を示す図、図６（ｃ）は、検出流量Ｆとスケール位置Ｓとの関係を示す図である。FIG. 6A is a diagram showing the relationship between the measurement result of the traveling speed V, the detected pressure P, and the detected flow rate F and the scale position S in the coating apparatus, and FIG. 6A shows the relationship between the traveling speed V and the scale position S; FIG. 6B is a diagram showing the relationship between the detected pressure P and the scale position S, and FIG. 6C is a diagram showing the relationship between the detected flow rate F and the scale position S.

Explanation of symbols

１塗布装置
２基板
３基台
５塗布ユニット
１３レール
１５ａスケール読取部
１５ｂスケール
８１管路
８２圧力計
８３流量計
９０制御装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Application | coating apparatus 2 Board | substrate 3 Base 5 Application | coating unit 13 Rail 15a Scale reading part 15b Scale 81 Pipe line 82 Pressure gauge 83 Flowmeter 90 Control apparatus

Claims

A base on which a stage for holding a substrate is disposed;
The rail is provided in a state extending in a specific direction on the base, and is divided into a plurality of rails,
A coating unit that travels relative to the substrate along the rail and applies a coating solution to the substrate;
A coating apparatus comprising:
A coating apparatus, comprising: a fluctuation detecting means for detecting a fluctuation in the operation of the coating unit; and a coating state of the coating liquid on the substrate is determined based on a detection result of the fluctuation detecting means.

The coating apparatus further includes a control device, which determines whether the coating state on the substrate is good or not based on the detection result of the variation detection unit, and determines that the coating state is inappropriate. The coating apparatus according to claim 1, wherein the coating unit is stopped.

The fluctuation detecting means is a speed detecting means for detecting a traveling speed of the coating unit, and whether the application state is good or bad is determined from a change in the traveling speed of the coating unit detected by the speed detecting means. The coating apparatus according to claim 1 or 2.

The coating unit is provided with a bearing portion that floats the coating unit from the rail by supplying air to the surface of the rail, and a pipe that supplies air to the bearing portion has air in the pipeline. Pressure detecting means for detecting a change in pressure is provided, and the fluctuation detecting means includes the pressure detecting means, and the pressure detecting means determines the quality of the application state from the detected change in the pressure of the application unit. The coating apparatus according to any one of claims 1 to 3.

The coating unit is provided with a bearing portion that floats the coating unit from the rail by supplying air to the surface of the rail, and a pipe that supplies air to the bearing portion has air in the pipeline. Flow rate detection means for detecting a change in flow rate is provided, and the fluctuation detection means includes the flow rate detection means, and the flow rate detection means determines whether the application state is good or not from the detected change in the flow rate of the application unit. The coating apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein

The fluctuation detection means includes the speed detection means, the pressure detection means, and the flow rate detection means, and a detection result of at least one of the speed detection means, the pressure detection means, and the flow rate detection means is set. The coating apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the coating state on the substrate is determined to be unsuitable when it is out of the specified range.

The substrate is held on the stage on the base, and the coating liquid is discharged while running the coating unit relative to the substrate along a plurality of divided rails extending in a specific direction. In the coating method of coating the coating liquid on
The fluctuation detecting means for detecting fluctuations in the operation of the coating unit detects fluctuations in the operation of the coating unit that is discharging the coating liquid onto the substrate, and the application result of the coating liquid on the substrate is determined based on the detection result. The coating method characterized by the above-mentioned.

The fluctuation detection means includes the speed detection means, the pressure detection means, and the flow rate detection means, and a detection result of at least one of the speed detection means, the pressure detection means, and the flow rate detection means is set. The coating method according to claim 7, wherein the coating state on the substrate is determined to be unsuitable when it is out of the range.