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JP2008277428A - Electromagnetic shielding material and display panel - Google Patents

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JP2008277428A
JP2008277428A JP2007117190A JP2007117190A JP2008277428A JP 2008277428 A JP2008277428 A JP 2008277428A JP 2007117190 A JP2007117190 A JP 2007117190A JP 2007117190 A JP2007117190 A JP 2007117190A JP 2008277428 A JP2008277428 A JP 2008277428A
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JP
Japan
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layer
fine line
shielding material
silver
transparent substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP2007117190A
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Japanese (ja)
Inventor
Asako Tanaka
麻子 田中
Hirokazu Iizuka
宏和 飯塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zacros Corp
Original Assignee
Fujimori Kogyo Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujimori Kogyo Co Ltd filed Critical Fujimori Kogyo Co Ltd
Priority to JP2007117190A priority Critical patent/JP2008277428A/en
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Abstract

【課題】電磁波シールド材において、電磁波シールド性能とコントラストの向上を図った電磁波シールド材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】透明基材14上に細線パターンを形成してなる電磁波シールド材10であって、前記細線パターン13,15は、細線化した導電性の金属層からなるパターンであり、前記透明基材14の両方の面に形成されていることを特徴とする電磁波シールド材10を提供する。前記透明基材14の両方の面に形成された2つの細線パターン13,15は、前記透明基材14の一方の面に対して垂直な方向から視て、両方の細線パターン13,15の線幅およびピッチが略重なる位置に配設されていることが好ましい。
【選択図】図2
In an electromagnetic wave shielding material, an electromagnetic wave shielding material with improved electromagnetic wave shielding performance and contrast and a method for manufacturing the electromagnetic wave shielding material are provided.
An electromagnetic wave shielding material having a fine line pattern formed on a transparent substrate, wherein the fine line patterns are made of a thin conductive metal layer, and the transparent substrate An electromagnetic wave shielding material 10 is provided which is formed on both surfaces of the material 14. The two fine line patterns 13 and 15 formed on both surfaces of the transparent substrate 14 are lines of both the fine line patterns 13 and 15 when viewed from a direction perpendicular to one surface of the transparent substrate 14. It is preferable that the width and the pitch are arranged at substantially overlapping positions.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は、電磁波シールド材に関するものである。さらに詳細には、高性能電磁波シールド材であって、主として、CRT、PDP(プラズマディスプレイ)などの各種ディスプレイ用の光学フィルターに使用される電磁波シールド材において、電磁波シールド性能とコントラストの向上を図った電磁波シールド材及びディスプレイパネルに関する。   The present invention relates to an electromagnetic wave shielding material. More specifically, in an electromagnetic shielding material used for an optical filter for various displays such as CRT and PDP (plasma display), which is a high performance electromagnetic shielding material, the electromagnetic shielding performance and contrast are improved. The present invention relates to an electromagnetic shielding material and a display panel.

近年、CRT、PDP(プラズマディスプレイ)などの各種ディスプレイにおいては、ディスプレイ前面から発生する電磁波が人体に悪影響を与えたり、周囲の電子機器を誤動作させることが問題とされるようになり、ディスプレイの画像の鮮明さとともに、ディスプレイが周囲へ与える影響への対策がますます重要視されつつある。   In recent years, in various displays such as CRT and PDP (plasma display), electromagnetic waves generated from the front of the display adversely affect the human body and malfunction of surrounding electronic devices has become a problem. Along with the clearness of the display, countermeasures against the influence of the display on the surroundings are becoming increasingly important.

従来、ディスプレイから発生する電磁波が外部に漏洩して人体への悪影響を防ぐという要求に対して、種々の透明導電性フィルムおよび電磁波シールドフィルムが開発されている。公知の電磁波シールド材は、大きくは、透明導電膜による電磁波シールド材と、導電性の金属メッシュによる電磁波シールド材の2つに区分される。このうち、透明導電膜による電磁波シールド材は、金属メッシュによる電磁波シールド材に比べて透明性に優れる反面、表面抵抗率が大きく、電磁波シールド性能に劣る。このため、PDP等の強い電磁波を発生させる機器からの電磁波をシールドする用途では、金属メッシュによる電磁波シールド材が好ましい。   Conventionally, various transparent conductive films and electromagnetic wave shielding films have been developed in response to the requirement that electromagnetic waves generated from a display leak outside and prevent adverse effects on the human body. Known electromagnetic shielding materials are roughly classified into two types: an electromagnetic shielding material made of a transparent conductive film and an electromagnetic shielding material made of a conductive metal mesh. Among these, the electromagnetic shielding material using a transparent conductive film is superior in transparency to the electromagnetic shielding material using a metal mesh, but has a large surface resistivity and inferior electromagnetic shielding performance. For this reason, in the use which shields the electromagnetic waves from the apparatus which generate | occur | produces strong electromagnetic waves, such as PDP, the electromagnetic wave shielding material by a metal mesh is preferable.

さらに、導電性の金属メッシュによる電磁波シールド材の作製方法としては、下記の(1)〜(3)に示す方法が挙げられる。
(1)透明基材に金属箔を貼り合わせ、または透明基材に金属の薄膜を蒸着した後、フォトリソグラフ法により導電性金属パターンを形成するエッチング法(例えば、特許文献1参照)。
(2)透明基材の上に導電性の金属ペーストをメッシュパターンに印刷した後にメッキして導電性金属パターンを形成する印刷−メッキ法(例えば、特許文献2参照)。
(3)細線パターンを写真製法により現像された金属銀で形成した後、この金属銀を物理現像および/またはメッキすることにより導電性金属パターンを形成する写真銀−メッキ法(例えば、特許文献3および特許文献4参照)。
Furthermore, as a method for producing an electromagnetic wave shielding material using a conductive metal mesh, the following methods (1) to (3) are exemplified.
(1) An etching method in which a metal foil is bonded to a transparent substrate, or a metal thin film is deposited on the transparent substrate, and then a conductive metal pattern is formed by a photolithographic method (see, for example, Patent Document 1).
(2) A printing-plating method in which a conductive metal paste is printed on a transparent substrate and then plated to form a conductive metal pattern (see, for example, Patent Document 2).
(3) A photographic silver-plating method for forming a conductive metal pattern by forming a fine line pattern with metallic silver developed by a photographic method and then physically developing and / or plating the metallic silver (for example, Patent Document 3) And Patent Document 4).

そして、写真製法により金属銀でメッシュパターンを形成する方法には、下記の(a)、(b)に示す2通りがある。   Then, there are two methods shown in the following (a) and (b) for forming a mesh pattern with metallic silver by a photographic manufacturing method.

(a)支持体上に設けられた銀塩を含有する銀塩含有層を露光し、現像処理することにより金属銀部と光透過性部とを形成し、さらに前記金属銀部を物理現像及び/又はメッキ処理することにより前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させた導電性金属部を形成する方法(例えば、特許文献3参照)。この方法は、露光マスクに覆われて露光されなかった部分には現像銀は発現せず、露光マスクに覆われていなくて露光された部分に現像銀が発現する、したがって、露光マスクと比較して反転した形に現像銀が表れるネガ型の露光・現像法である。 (A) A silver salt-containing layer containing a silver salt provided on a support is exposed and developed to form a metallic silver part and a light-transmitting part, and the metallic silver part is further subjected to physical development and A method of forming a conductive metal part in which conductive metal particles are supported on the metal silver part by plating (see, for example, Patent Document 3). In this method, developed silver does not appear in the portion that is covered with the exposure mask and is not exposed, and developed silver appears in the portion that is not covered with the exposure mask and exposed. Therefore, compared with the exposure mask. This is a negative exposure / development method in which developed silver appears in an inverted form.

(b)透明基材上に、物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層とをこの順で有する感光材料を露光し、物理現像核上に任意の細線パターンで金属銀を析出させ、次いで前記物理現像核上に設けられた層を除去した後、前記物理現像された金属銀を触媒核として金属をめっきする方法(例えば、特許文献4参照)。この方法は、露光マスクに覆われて露光されなかった部分には現像銀が発現し、露光マスクに覆われていなくて露光された部分には現像銀が発現しない、したがって、露光マスクと同じ形に現像銀が表れるポジ型の露光・現像法(銀錯塩拡散転写法、以降DTR法と称す。)である。 (B) A light-sensitive material having a physical development nucleus layer and a silver halide emulsion layer in this order is exposed on a transparent substrate, and metallic silver is deposited on the physical development nucleus in an arbitrary fine line pattern. A method of plating a metal using the physically developed metallic silver as a catalyst nucleus after removing a layer provided on the development nucleus (see, for example, Patent Document 4). In this method, developed silver appears in a portion which is covered with the exposure mask and is not exposed, and developed silver does not appear in a portion which is not covered with the exposure mask and exposed. Is a positive exposure / development method (silver complex diffusion transfer method, hereinafter referred to as DTR method).

また、特許文献5には、上記(1)のエッチング法で銅薄膜の微細なメッシュパターンを形成する際、金属箔の黒化処理された面と透明基材の一方の面とを接着剤層を介して貼り合せた後、金属箔をエッチングして金属層のパターンを形成し、さらに、金属層のパターンの表面及び側面を黒化処理することが記載されている。
特開平10−075087号公報 特開平11−170420号公報 特開2004−221564号公報 国際公開第2004/007810号 特開2002−009484号公報
Further, in Patent Document 5, when a fine mesh pattern of a copper thin film is formed by the etching method of (1) above, the blackened surface of the metal foil and one surface of the transparent substrate are bonded to the adhesive layer. After bonding, the metal foil is etched to form a metal layer pattern, and the surface and side surfaces of the metal layer pattern are blackened.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-075087 JP 11-170420 A JP 2004-221564 A International Publication No. 2004/007810 JP 2002-009484 A

上記(1)のエッチング法においては、エッチングにより細線部分となるほんのわずかな部分のみを残し、それ以外のほとんど大部分の金属を溶解除去するのは資源を節減するという観点から問題である。さらに、エッチング処理液の廃液処理に費用が嵩むため、製造コストが高くなるという問題がある。また、金属の薄膜を蒸着する場合は、膨大な設備費が必要となることから簡単に製造を行うことができないという問題があった。
上記(2)の印刷−メッキ法においては、メッシュパターンの線幅を30μm以下にするのが困難であり、また、透明基材とメッシュパターンの密着性が悪く剥がれ易いという問題があった。
In the etching method (1), it is a problem from the viewpoint of saving resources that only a very small portion which becomes a thin line portion is left by etching and most of the other metals are dissolved and removed. Furthermore, there is a problem that the manufacturing cost increases because the cost for the waste liquid treatment of the etching treatment liquid increases. In addition, when a metal thin film is deposited, there is a problem that it cannot be easily manufactured because a huge equipment cost is required.
In the printing-plating method (2), it is difficult to reduce the line width of the mesh pattern to 30 μm or less, and there is a problem in that the adhesiveness between the transparent substrate and the mesh pattern is poor and is easily peeled off.

上記(3)の写真銀−メッキ法においては、高い電磁波シールド性が得られ、また、透明基材の寸法に制約を受けることが無く、ロールtoロールで製造でき非常に生産性が高いことから好ましい製造方法である。
しかし、写真銀−メッキ法による導電性金属のメッシュパターンによる電磁波シールド材を用いた光学フィルターであっても、電磁波シールド性を高めるためにメッシュパターンの細線密度を増やしているので、メッシュパターンの細線が全光線透過率を下げてしまうという問題があった。
In the photographic silver-plating method of (3) above, high electromagnetic shielding properties are obtained, and there is no restriction on the dimensions of the transparent base material, so that it can be produced with a roll-to-roll and the productivity is very high. This is a preferred production method.
However, even with an optical filter using an electromagnetic shielding material with a conductive metal mesh pattern by photographic silver-plating method, the fine line density of the mesh pattern is increased in order to improve electromagnetic shielding properties. However, there is a problem that the total light transmittance is lowered.

ところで、特許文献5によると、金属層パターンの両面及び側面が黒化処理されることで、PDPの表示画面からの出射光がシールド材の表面で反射されて表示画面に戻り、シールド材の光の透過率が下がり、表示画面の視認性が劣化するのを防止することが開示されている。しかし、上記のように、特許文献5のエッチング法による金属層のパターニングでは、省資源と製造コストの観点から問題があった。   By the way, according to Patent Document 5, both surfaces and side surfaces of the metal layer pattern are blackened, so that the emitted light from the display screen of the PDP is reflected by the surface of the shield material and returns to the display screen, and the light of the shield material It is disclosed that the transmittance of the liquid crystal is reduced and the visibility of the display screen is prevented from deteriorating. However, as described above, the patterning of the metal layer by the etching method of Patent Document 5 has problems from the viewpoint of resource saving and manufacturing cost.

このため、PDPにおいては、PDPの発光強度を減衰させないで鮮明な画像を映し出すため、省資源に繋がる製造方法を用いたものであって、全光線透過率が高くて輝度の低下が少ない、電磁波シールド性能とコントラストの向上を図った電磁波シールド材が求められている。   For this reason, in the PDP, a clear image is displayed without attenuating the light emission intensity of the PDP, and therefore, a manufacturing method that leads to resource saving is used, and the total light transmittance is high and the luminance is less reduced. There is a need for an electromagnetic shielding material that improves shielding performance and contrast.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、電磁波シールド材おいて、電磁波シールド性能とコントラストの向上を図った電磁波シールド材及びディスプレイパネルを提供することを課題とする。   This invention is made | formed in view of the said situation, and makes it a subject to provide the electromagnetic wave shielding material and display panel which aimed at the improvement of electromagnetic wave shielding performance and contrast in an electromagnetic wave shielding material.

前記課題を解決するため、本発明は、透明基材上に細線パターンを形成してなる電磁波シールド材であって、前記細線パターンは、細線化した導電性の金属層からなるパターンであり、前記透明基材の両方の面に形成されていることを特徴とする電磁波シールド材を提供する。   In order to solve the above problems, the present invention is an electromagnetic shielding material formed by forming a fine line pattern on a transparent substrate, wherein the fine line pattern is a pattern comprising a thinned conductive metal layer, Provided is an electromagnetic wave shielding material characterized by being formed on both surfaces of a transparent substrate.

前記透明基材の両方の面に形成された2つの細線パターンは、前記透明基材の一方の面に対して垂直な方向から視て、両方の細線パターンの線幅およびピッチが略重なる位置に配設されていることが好ましい。   The two fine line patterns formed on both surfaces of the transparent substrate are located at positions where the line widths and pitches of both fine line patterns substantially overlap when viewed from a direction perpendicular to one surface of the transparent substrate. It is preferable that it is disposed.

前記細線パターンは、写真製法により生成された現像銀層からなる金属層であることが好ましい。
また、前記細線パターンは、写真製法により生成された現像銀層からなる金属層であり、且つ、少なくとも一方の面の細線パターンには、前記現像銀層の上に更に金属メッキ層が積層されてなることが好ましい。
前記細線パターンは、金属メッシュパターンであることが好ましい。
The fine line pattern is preferably a metal layer composed of a developed silver layer produced by a photographic process.
The fine line pattern is a metal layer composed of a developed silver layer produced by a photographic process, and the fine line pattern on at least one surface has a metal plating layer further laminated on the developed silver layer. It is preferable to become.
The fine line pattern is preferably a metal mesh pattern.

前記金属メッキ層は、無電解メッキ層及び/又は電解メッキ層であることが好ましい。
また、前記金属層の最表面は、黒化処理されていることが好ましい。
また、前記細線パターンは、前記金属層の線幅が15〜80μmであり、かつ厚みが0.05〜80μmであることが好ましい。
The metal plating layer is preferably an electroless plating layer and / or an electrolytic plating layer.
The outermost surface of the metal layer is preferably blackened.
In the fine line pattern, it is preferable that the metal layer has a line width of 15 to 80 μm and a thickness of 0.05 to 80 μm.

前記現像銀層は、露光しない部分に現像銀が発現するポジ型写真製法によって生成された現像銀層であることが好ましい。   The developed silver layer is preferably a developed silver layer produced by a positive photographic method in which developed silver appears in a portion that is not exposed.

また、本発明は、前記に記載の電磁波シールド材を光学フィルターに用いたことを特徴とするディスプレイパネルを提供する。   The present invention also provides a display panel characterized in that the electromagnetic wave shielding material described above is used for an optical filter.

本発明によれば、透明基材の両方の面に金属層からなる細線パターンを形成するので、高性能電磁波シールド材を得ることができる。
また、透明基材の両方の面に形成された2つの細線パターンは、前記透明基材の一方の面に垂直な方向から視て、両方の細線パターンの線幅およびピッチが略重なるように配設されているので、表示画面からの光線透過率低下、及び表示画面の視認性が劣化するのを防止することができる。
According to the present invention, since a fine line pattern made of a metal layer is formed on both surfaces of a transparent substrate, a high-performance electromagnetic shielding material can be obtained.
Also, the two fine line patterns formed on both surfaces of the transparent substrate are arranged so that the line width and pitch of both fine line patterns are substantially overlapped when viewed from a direction perpendicular to one surface of the transparent substrate. Therefore, it is possible to prevent the light transmittance from the display screen from being lowered and the visibility of the display screen from being deteriorated.

さらに、前記透明基材の両方の面に形成された2つの金属層からなる細線パターンの最表面を黒化処理することでディスプレイからの光が金属層からなる細線パターンの表面で反射するのを抑え、表示画面のコントラストを高めることができる。   Further, by blackening the outermost surface of the fine line pattern made of two metal layers formed on both surfaces of the transparent substrate, the light from the display is reflected on the surface of the fine line pattern made of the metal layer. And the contrast of the display screen can be increased.

以下、最良の形態に基づき、図面を参照して本発明を説明する。
図1は、本発明の第1形態の電磁波シールド材を示すものであって、現像銀層からなる細線パターンが透明基材の両面に形成されてなる電磁波シールド材を示す概略部分断面図である。
図2は、本発明の第2形態の電磁波シールド材を示すものであって、現像銀層からなる細線パターンが透明基材の両面に形成され、更に一方の細線パターンには前記現像銀層の上に更に金属メッキ層が積層されてなる電磁波シールド材を示す概略部分断面図である。
図3は、従来の電磁波シールド材の一例を示す概略部分断面図である。
The present invention will be described below with reference to the drawings based on the best mode.
FIG. 1 is a schematic partial cross-sectional view showing an electromagnetic wave shielding material according to a first embodiment of the present invention, showing an electromagnetic wave shielding material in which fine line patterns composed of developed silver layers are formed on both surfaces of a transparent substrate. .
FIG. 2 shows an electromagnetic wave shielding material according to a second embodiment of the present invention, in which fine line patterns composed of a developed silver layer are formed on both surfaces of a transparent base material, and one fine line pattern is formed on the developed silver layer. It is a general | schematic fragmentary sectional view which shows the electromagnetic wave shielding material by which a metal plating layer is further laminated | stacked on it.
FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view showing an example of a conventional electromagnetic shielding material.

図1に示す、本発明の第1形態の電磁波シールド材1は、透明基材4の両方の面に、細線化した導電性の金属層からなる電磁波シールドパターン3,3が、前記透明基材の両方の面に形成されている。
透明基材4の両方の面に、電磁波シールドパターン3,3が形成されることによって、従来の透明基材の一方の面のみに電磁波シールドパターンを形成するのに比べて、高性能電磁波シールド材を得ることができる。
また、透明基材4の両方の面に形成された2つの細線パターン3,3は、透明基材4の一方の面に対して垂直な方向から視て、両方の細線パターンの線幅およびピッチが略重なる位置に配設されている。このことによって、PDPの表示画面からの出射光がシールド材の表面で反射されて表示画面に戻り、シールド材の光線透過率の低下、及び表示画面の視認性が劣化するのを防止することができる。
細線パターン3,3は、写真製法により生成された現像銀層からなる金属層であることが好ましい。現像銀層の表面は、黒化処理が施されているのが好ましい。
The electromagnetic shielding material 1 according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1 has an electromagnetic shielding pattern 3, 3 made of a thin conductive metal layer on both surfaces of a transparent substrate 4. Are formed on both sides.
By forming the electromagnetic wave shielding patterns 3 and 3 on both surfaces of the transparent base material 4, compared to forming the electromagnetic wave shielding pattern only on one surface of the conventional transparent base material, the high performance electromagnetic wave shielding material Can be obtained.
Further, the two fine line patterns 3 and 3 formed on both surfaces of the transparent substrate 4 are viewed from the direction perpendicular to one surface of the transparent substrate 4, and the line width and pitch of both fine line patterns. Are disposed at substantially overlapping positions. This prevents the light emitted from the display screen of the PDP from being reflected on the surface of the shield material and returning to the display screen, thereby preventing the light transmittance of the shield material from being lowered and the visibility of the display screen from being deteriorated. it can.
The fine line patterns 3 and 3 are preferably metal layers composed of developed silver layers produced by a photographic process. The surface of the developed silver layer is preferably blackened.

図2に示す、本発明の第2形態の電磁波シールド材10は、透明基材14の両方の面には、細線化した写真製法により生成された現像銀層からなる金属層13,13が形成され、少なくとも一方の細線パターンの現像銀層の上には、更に金属メッキ層15,15が積層されている。
透明基材14の両方の面に形成された2つの細線パターン13,13は、透明基材14の一方の面に対して垂直な方向から視て、両方の細線パターンの線幅およびピッチが略重なる位置に配設されている。このことによって、PDPの表示画面からの出射光がシールド材の表面で反射されて表示画面に戻り、シールド材の光線透過率の低下、及び表示画面の視認性が劣化するのを防止することができる。金属メッキ層の最表面は、黒化処理が施されているのが好ましい。
なお、図2は、透明基材の一方の面にのみ、写真製法により生成された現像銀層からなる金属層13の上に金属メッキ層15が積層されてなる電磁波シールド材を示しているが、本発明の実施形態には、透明基材の両面に対して、写真製法により生成された現像銀層からなる金属層が形成され、更にその上に金属メッキ層が積層されてなる電磁波シールド材も含まれる。
The electromagnetic shielding material 10 of the second embodiment of the present invention shown in FIG. 2 is formed with metal layers 13 and 13 composed of developed silver layers produced by a thin photographic method on both surfaces of the transparent substrate 14. Further, metal plating layers 15 and 15 are further laminated on the developed silver layer of at least one fine line pattern.
The two fine line patterns 13 and 13 formed on both surfaces of the transparent substrate 14 are substantially the same in width and pitch of both fine line patterns as viewed from a direction perpendicular to one surface of the transparent substrate 14. It is arranged at the overlapping position. This prevents the light emitted from the display screen of the PDP from being reflected on the surface of the shield material and returning to the display screen, thereby preventing the light transmittance of the shield material from being lowered and the visibility of the display screen from being deteriorated. it can. The outermost surface of the metal plating layer is preferably blackened.
FIG. 2 shows an electromagnetic wave shielding material in which a metal plating layer 15 is laminated on a metal layer 13 composed of a developed silver layer produced by a photographic method only on one surface of a transparent substrate. In the embodiment of the present invention, an electromagnetic shielding material in which a metal layer composed of a developed silver layer produced by a photographic method is formed on both sides of a transparent substrate, and a metal plating layer is further laminated thereon. Is also included.

(金属層パターンの製造方法)
本発明において電磁波シールド材として利用される金属層からなる細線パターンの製造方法には、異なる2つの銀塩写真現像法(ポジ型写真製法、ネガ型写真製法)のうち、露光しない部分に現像銀が発現するポジ型の現像方法を用いて現像銀からなる細線パターンを形成する方法が採用される。
ポジ型写真製法を用いることによって、透明基材の一方の面(A面とする)に生成された現像銀層からなる細線パターンをマスクとして用い、A面側から他方の面(B面とする)を露光した後、現像することにより、B面側にもA面と同一の細線パターンを現像銀層により生成することが可能となる。
このポジ型写真製法によって、初めて、透明基材の両方の面に形成された2つの細線パターンは、前記透明基材の一方の面に対して垂直な方向から視て、両方の細線パターンの線幅およびピッチが略重なる位置に配設された状態にすることができる。
(Metal layer pattern manufacturing method)
The method for producing a fine line pattern comprising a metal layer used as an electromagnetic wave shielding material in the present invention includes developed silver at a portion not exposed between two different silver salt photographic development methods (positive photographic production method and negative photographic production method). A method of forming a fine line pattern made of developed silver using a positive developing method in which is developed.
By using a positive photographic method, a fine line pattern formed of a developed silver layer formed on one side (A side) of a transparent substrate is used as a mask, and the other side (B side is designated as A side). ) After exposure, it is possible to generate the same fine line pattern as that on the A side on the B side with the developed silver layer.
By this positive photographic process, for the first time, two fine line patterns formed on both surfaces of the transparent substrate can be seen from the direction perpendicular to the one surface of the transparent substrate. It can be set in the state where the width and the pitch are substantially overlapped.

本発明は、このポジ型写真製法による現像銀からなる細線パターンを透明基材の両面に形成することが好ましい。さらに、現像銀からなる細線パターンの上にメッキ処理することにより金属メッキ層を形成する方法を用いることも好ましい。
以下、本発明に用いるポジ型写真製法に基づいた、電磁波シールド材として利用可能な細線パターンの製法について説明する。
In the present invention, it is preferable to form fine line patterns made of developed silver by this positive photographic process on both surfaces of a transparent substrate. Furthermore, it is also preferable to use a method of forming a metal plating layer by plating on a fine line pattern made of developed silver.
Hereinafter, a method for producing a fine line pattern that can be used as an electromagnetic shielding material based on the positive photographic method used in the present invention will be described.

(透明基材)
本発明に使用される透明基材4、14としては、可視領域で透明性を有し、一般に全光線透過率が90%以上のものが好ましい。中でも、フレキシブル性を有する樹脂フィルムは、取扱い性が優れている点で、好適に用いられる。透明基材4、14に使用される透明樹脂フィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)やポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状ポリオレフィン樹脂等からなる厚さ50〜300μmの単層フィルム又は前記透明樹脂からなる複数層の複合フィルムが挙げられる。
(Transparent substrate)
The transparent substrates 4 and 14 used in the present invention are preferably those having transparency in the visible region and generally having a total light transmittance of 90% or more. Especially, the resin film which has flexibility is used suitably at the point which is easy to handle. Specific examples of transparent resin films used for the transparent substrates 4 and 14 include polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), acrylic resins, epoxy resins, fluororesins, silicone resins, and polycarbonate resins. Single layer film having a thickness of 50 to 300 μm made of diacetate resin, triacetate resin, polyarylate resin, polyvinyl chloride, polysulfone resin, polyether sulfone resin, polyimide resin, polyamide resin, polyolefin resin, cyclic polyolefin resin, etc. A composite film having a plurality of layers made of the transparent resin may be mentioned.

(透明基材の両面への細線パターンの形成)
本発明に適用できる導電性の金属からなる細線パターンの作製方法は、細線パターンをポジ型写真製法により現像された金属銀で形成するものである。また、本発明に適用できる導電性の金属からなる細線パターンの作製方法は、細線パターンをポジ型写真製法により生成された現像銀層とその上に積層された金属メッキ層とからなる金属層で形成するものである
本発明には、(a)ネガ型の露光・現像方法と、(b)ポジ型の露光・現像方法の2種類の写真銀法のうち、(b)ポジ型の露光・現像方法が好適に用いられる。
(Formation of fine line pattern on both sides of transparent substrate)
The method for producing a fine line pattern made of a conductive metal applicable to the present invention is to form a fine line pattern with metallic silver developed by a positive photographic method. In addition, a method for producing a fine line pattern made of a conductive metal applicable to the present invention is a metal layer comprising a developed silver layer produced by a positive photographic process and a metal plating layer laminated thereon. In the present invention, the present invention includes (a) a negative exposure / development method and (b) a positive exposure / development method. A development method is preferably used.

本発明では、透明基材の両方の面に、細線パターンを形成してなる電磁波シールド材を製造する方法として、前記細線パターンは、露光しない部分に現像銀が発現するポジ型写真製法を用いて現像銀メッシュパターンが生成される。
透明基材の一方の面(A面とする)に、露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層が設けられた基材を、予め準備された露光マスクを用いて露光し、次いで現像することにより、現像銀層からなる細線パターンを生成する工程と、次に、透明基材の他方の面(B面とする)に、露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層を設ける工程と、次に、A面に生成された現像銀層からなる細線パターンをマスクとして用い、A面側から露光した後、現像することにより、B面側にもA面と同一の細線パターンを現像銀層により生成する工程とを少なくとも含む電磁波シールド材の製造方法により行なわれる。
In the present invention, as a method for producing an electromagnetic wave shielding material formed by forming a fine line pattern on both surfaces of a transparent substrate, the fine line pattern is obtained by using a positive photographic method in which developed silver appears in a portion that is not exposed. A developed silver mesh pattern is generated.
A substrate provided with a layer containing a substance that deposits metallic silver by exposure and development on one surface (referred to as surface A) of the transparent substrate is exposed using a previously prepared exposure mask, and then developed. Then, a step of generating a fine line pattern composed of a developed silver layer, and then, a layer containing a substance that deposits metallic silver by exposure and development is provided on the other surface (referred to as B surface) of the transparent substrate. Next, using the fine line pattern formed of the developed silver layer formed on the A side as a mask, exposing from the A side, and developing, the same fine line pattern as the A side is formed on the B side. And a method for producing an electromagnetic wave shielding material including at least a step of producing a developed silver layer.

また、本発明では、透明基材の一方の面(A面とする)に、露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層が設けられた基材を、予め準備された露光マスクを用いて露光し、次いで現像することにより、現像銀層からなる細線パターンを生成する工程と、 次に、透明基材の他方の面(B面とする)に、露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層を設ける工程と、次に、A面に生成された現像銀層からなる細線パターンをマスクとして用い、A面側から露光した後、現像することにより、B面側にもA面と同一の細線パターンを現像銀層により生成する工程と、次にA面とB面の両方に生成された前記現像銀層からなる細線パターンの上に金属メッキ層を形成するメッキ工程とを、を少なくとも含む電磁波シールド材の製造方法により行なわれる。   Moreover, in this invention, the exposure mask prepared beforehand is used for the base material provided with the layer containing the substance which deposits metal silver by exposure and image development on one side (it is set as A surface) of a transparent base material. A step of generating a fine line pattern composed of a developed silver layer by exposing to light and then developing, and then depositing metallic silver on the other surface (referred to as surface B) of the transparent substrate by exposure and development The step of providing a layer containing a substance, and then using the fine line pattern formed of the developed silver layer formed on the A surface as a mask, exposing from the A surface side, and developing the A surface on the B surface side. A step of generating the same fine line pattern with the developed silver layer, and a plating step of forming a metal plating layer on the fine line pattern composed of the developed silver layer generated on both the A side and the B side, Of electromagnetic shielding material containing at least It is carried out by the law.

以下、露光しない部分に現像銀が発現するポジ型写真製法(DTR法)による現像銀からなる細線パターンの作製、及び露光しない部分に現像銀が発現するポジ型写真製法(DTR法)による現像銀の上にメッキ層を形成してなる金属層からなる細線パターンの作製方法について説明する。
DTR法の場合、透明基材表面には、予め物理現像核層が設けられていることが好ましい。本発明のように、透明基材の両方の面にDTR法を用いた露光・現像による現像銀を発現させるには、片面に物理現像層を形成した後に、もう一方の面に、物理現像核層を設けて、露光・現像による現像銀を発現させてもよい。
Hereinafter, development of a fine line pattern made of developed silver by developing a positive photographic method (DTR method) in which developed silver appears in a non-exposed portion, and developing silver by a positive photographic method (DTR method) in which developed silver appears in a non-exposed portion. A method for producing a fine line pattern made of a metal layer having a plating layer formed thereon will be described.
In the case of the DTR method, it is preferable that a physical development nucleus layer is provided in advance on the transparent substrate surface. In order to develop developed silver by exposure and development using the DTR method on both sides of the transparent substrate as in the present invention, after forming a physical development layer on one side, a physical development nucleus is formed on the other side. A layer may be provided to develop developed silver by exposure and development.

物理現像核としては、重金属あるいはその硫化物からなる微粒子(粒子サイズは1〜数十nm程度)が用いられる。例えば、金、銀等のコロイド、パラジウム、亜鉛等の水溶性塩と硫化物を混合した金属硫化物等が挙げられる。これらの物理現像核の微粒子層は、真空蒸着法、カソードスパッタリング法、コーティング法等によって透明基材上に設けることができる。生産効率の面からコーティング法が好ましく用いられる。物理現像核層における物理現像核の含有量は、固形分で1平方メートル当たり0.1〜10mg程度が適当である。   As the physical development nuclei, fine particles (having a particle size of about 1 to several tens of nm) made of heavy metals or sulfides thereof are used. Examples thereof include colloids such as gold and silver, metal sulfides obtained by mixing water-soluble salts such as palladium and zinc and sulfides, and the like. The fine particle layer of these physical development nuclei can be provided on the transparent substrate by a vacuum deposition method, a cathode sputtering method, a coating method or the like. From the viewpoint of production efficiency, a coating method is preferably used. The content of physical development nuclei in the physical development nuclei layer is suitably about 0.1 to 10 mg per square meter in solid content.

透明基材は、塩化ビニリデンやポリウレタン等のポリマーラテックス層の接着層を設けることができ、また接着層と物理現像核層との間にはゼラチン等の親水性バインダーからなる中間層を設けることもできる。   The transparent substrate can be provided with an adhesive layer of a polymer latex layer such as vinylidene chloride or polyurethane, and an intermediate layer made of a hydrophilic binder such as gelatin can be provided between the adhesive layer and the physical development nucleus layer. it can.

物理現像核層には、親水性バインダーを含有するのが好ましい。親水性バインダー量は物理現像核に対して10〜300質量%程度が好ましい。親水性バインダーとしては、ゼラチン、アラビアゴム、セルロース、アルブミン、カゼイン、アルギン酸ナトリウム、各種デンプン、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、アクリルアミドとビニルイミダゾールの共重合体等を用いることができる。物理現像核層には親水性バインダーの架橋剤を含有することもできる。   The physical development nucleus layer preferably contains a hydrophilic binder. The amount of the hydrophilic binder is preferably about 10 to 300% by mass with respect to the physical development nucleus. As the hydrophilic binder, gelatin, gum arabic, cellulose, albumin, casein, sodium alginate, various starches, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, polyacrylamide, a copolymer of acrylamide and vinyl imidazole, and the like can be used. The physical development nucleus layer may also contain a hydrophilic binder crosslinking agent.

物理現像核層や前記中間層等の塗布には、例えばディップコーティング、スライドコーティング、カーテンコーティング、バーコーティング、エアーナイフコーティング、ロールコーティング、グラビアコーティング、スプレーコーティングなどの塗布方式で塗布することができる。本発明において物理現像核層は、上記したコーティング法によって、通常連続した均一な層として設けることが好ましい。   The physical development nucleus layer and the intermediate layer can be applied by an application method such as dip coating, slide coating, curtain coating, bar coating, air knife coating, roll coating, gravure coating, spray coating, and the like. In the present invention, the physical development nucleus layer is preferably provided as a continuous and uniform layer by the above-described coating method.

物理現像核層に金属銀を析出させるためのハロゲン化銀の供給は、透明基材上に物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層をこの順に一体的に設ける方法、あるいは別の紙やプラスチック樹脂フィルム等の基材上に設けられたハロゲン化銀乳剤層から可溶性銀錯塩を供給する方法がある。コスト及び生産効率の面からは前者の物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層を一体的に設けるのが好ましい。   The supply of silver halide for depositing metallic silver on the physical development nucleus layer is performed by a method in which the physical development nucleus layer and the silver halide emulsion layer are integrally formed in this order on a transparent substrate, or another paper or plastic resin. There is a method of supplying a soluble silver complex salt from a silver halide emulsion layer provided on a substrate such as a film. From the viewpoint of cost and production efficiency, it is preferable to provide the former physical development nucleus layer and silver halide emulsion layer integrally.

前記ハロゲン化銀乳剤は、ハロゲン化銀写真感光材料の一般的なハロゲン化銀乳剤の製造方法に従って製造することができる。ハロゲン化銀乳剤は、通常、硝酸銀水溶液、塩化ナトリウムや臭化ナトリウムのハロゲン水溶液をゼラチンの存在下で混合熟成することによって作られる。
前記ハロゲン化銀乳剤層のハロゲン化銀組成は、塩化銀を80モル%以上含有するのが好ましく、特に90モル%以上が塩化銀であることが好ましい。塩化銀含有率を高くすることによって形成された物理現像銀の導電性が向上する。
The silver halide emulsion can be produced according to a general method for producing a silver halide emulsion of a silver halide photographic light-sensitive material. The silver halide emulsion is usually prepared by mixing and ripening an aqueous silver nitrate solution, an aqueous halogen solution of sodium chloride or sodium bromide in the presence of gelatin.
The silver halide composition of the silver halide emulsion layer preferably contains 80 mol% or more of silver chloride, and more preferably 90 mol% or more is silver chloride. The conductivity of the physically developed silver formed by increasing the silver chloride content is improved.

(露光方法)
前記物理現像核層の上に直接にあるいは中間層を介してハロゲン化銀乳剤層が塗設された感光材料を用いて電磁波シールド材を作製する場合は、通常、網目状パターンのような任意の細線パターンの露光マスクと上記感光材料を密着して露光、あるいは、任意の細線パターンのデジタル画像を各種レーザー光の出力機で上記感光材料に走査露光する。
(Exposure method)
When an electromagnetic wave shielding material is produced using a photosensitive material in which a silver halide emulsion layer is coated directly on the physical development nucleus layer or via an intermediate layer, it is usually an arbitrary one such as a mesh pattern. An exposure mask with a fine line pattern and the photosensitive material are in close contact with each other, or a digital image with an arbitrary fine line pattern is scanned and exposed to the photosensitive material with various laser beam output machines.

前記ハロゲン化銀乳剤層は、各種の光源に対して感光性を有している。電磁波シールド材を作製するための1つの方法として、例えば網目状などの細線パターンの物理現像銀の形成が挙げられる。この場合、ハロゲン化銀乳剤層は細線パターン状に露光されるが、露光方法として、細線パターンの透過原稿とハロゲン化銀乳剤層を密着して露光する方法、あるいは各種レーザー光を用いて走査露光する方法等がある。前者の密着露光は、ハロゲン化銀の感光性は比較的低くても可能であるが、レーザー光を用いた走査露光の場合は比較的高い感光性が要求される。従って、後者の露光方法を用いる場合は、ハロゲン化銀の感光性を高めるために、ハロゲン化銀は化学増感あるいは増感色素による分光増感を施してもよい。化学増感としては、金化合物や銀化合物を用いた金属増感、硫黄化合物を用いた硫黄増感、あるいはこれらの併用が挙げられる。好ましくは、金化合物と硫黄化合物を併用した金−硫黄増感である。上記したレーザー光で露光する方法においては、450nm以下の発振波長の持つレーザー光、例えば400〜430nmに発振波長を有する青色半導体レーザー(バイオレットレーザーダイオードともいう)を用いることによって、明室下(明るいイエロー蛍光灯下)でも取り扱いが可能となる。   The silver halide emulsion layer is sensitive to various light sources. As one method for producing an electromagnetic wave shielding material, for example, formation of physically developed silver having a fine line pattern such as a mesh shape can be mentioned. In this case, the silver halide emulsion layer is exposed in a fine line pattern. As an exposure method, a method of exposing a fine line pattern transmission original and a silver halide emulsion layer in close contact with each other, or scanning exposure using various laser beams. There are ways to do this. The former contact exposure is possible even if the silver halide has relatively low photosensitivity, but in the case of scanning exposure using laser light, relatively high photosensitivity is required. Therefore, when the latter exposure method is used, the silver halide may be subjected to chemical sensitization or spectral sensitization with a sensitizing dye in order to increase the sensitivity of the silver halide. Chemical sensitization includes metal sensitization using a gold compound or silver compound, sulfur sensitization using a sulfur compound, or a combination thereof. Gold-sulfur sensitization using a gold compound and a sulfur compound in combination is preferable. In the above-described method of exposing with laser light, a laser beam having an oscillation wavelength of 450 nm or less, for example, a blue semiconductor laser (also referred to as a violet laser diode) having an oscillation wavelength of 400 to 430 nm is used. It can be handled even under a yellow fluorescent lamp.

(露光装置)
上記の露光方法による露光装置としては、枚葉式の露光マスク(フォトマスク)を用いる枚葉処理方式の露光装置と、連続した細線パターンが形成できる連続露光装置とがある。枚葉処理方式の露光装置は、所定のマスクパターンが形成された枚葉式の露光マスク(フォトマスク)を用いて、透露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層が設けられた透明基材の原反ロールから繰り出されたロールシートを間欠送りで露光装置に送り、装置内を真空排気して露光マスクと基材とを密着させて隙間を無くしてから、例えば紫外線で露光する。枚葉処理方式の露光装置では、真空排気、露光、大気開放を間欠的に行うので処理速度は遅くなるとともに、繋ぎ目の無い連続パターンを得ることができない。
(Exposure equipment)
As an exposure apparatus using the above exposure method, there are a single wafer processing type exposure apparatus using a single wafer type exposure mask (photomask) and a continuous exposure apparatus capable of forming a continuous fine line pattern. A single-wafer processing type exposure apparatus uses a single-wafer exposure mask (photomask) on which a predetermined mask pattern is formed, and a transparent layer provided with a layer containing a substance that deposits metallic silver by transparent exposure and development. The roll sheet fed from the base fabric roll of the base material is intermittently fed to the exposure apparatus, the inside of the apparatus is evacuated, the exposure mask and the base material are brought into close contact with each other to eliminate a gap, and then exposed with, for example, ultraviolet rays. In a single wafer processing type exposure apparatus, vacuum exhaust, exposure, and release to the atmosphere are intermittently performed, so that the processing speed is slow and a seamless continuous pattern cannot be obtained.

これに対して、細線パターンを連続的に形成できる連続露光装置を用いることもできる。すなわち、露光及び現像によって金属銀を析出する物質を含む層が設けられた透明基材の原反ロールから繰り出されたロールシートを、連続露光装置を用いて露光、次いで現像することにより、前記透明基材の長手方向に一定の間隔を介して現像銀からなる細線パターンを生成する。   On the other hand, a continuous exposure apparatus capable of continuously forming a fine line pattern can also be used. That is, the transparent sheet is exposed by using a continuous exposure apparatus, and then developed by using a continuous exposure apparatus, and the transparent sheet is rolled out from a raw roll of a transparent substrate provided with a layer containing a substance that deposits metallic silver by exposure and development. A fine line pattern made of developed silver is generated at a certain interval in the longitudinal direction of the substrate.

連続露光装置は、例えば、写真製法における露光に用いられる光を透過する材質からなる円筒ドラムと、円筒ドラムの外周壁に設けられた露光マスク部分と、円筒ドラムの内部に配設された露光用光源とを備え、円筒ドラムの内側の光源から出射した光によって円筒ドラムに巻き付けられた透明基材を露光する装置からなるものである。この連続露光装置には、特定の照射方向に光を透過する開口部を有する光源カバーを露光用光源の周囲に設けることができる。透明基材を露光するパターンは、露光マスク部分の光を透過する部分のパターンによって決定される。円筒ドラムに対する露光マスク部分の配設は、例えば、円筒ドラムの外周壁の表面(内面又は外面)に設けられ、あるいは外周壁の内部に挿入又は挟み込まれることによって行われる。   The continuous exposure apparatus is, for example, a cylindrical drum made of a material that transmits light used for exposure in a photographic process, an exposure mask portion provided on the outer peripheral wall of the cylindrical drum, and an exposure mask disposed in the cylindrical drum. And a device for exposing a transparent substrate wound around the cylindrical drum by light emitted from the light source inside the cylindrical drum. In this continuous exposure apparatus, a light source cover having an opening that transmits light in a specific irradiation direction can be provided around the light source for exposure. The pattern for exposing the transparent substrate is determined by the pattern of the portion that transmits light in the exposure mask portion. The exposure mask portion is disposed on the cylindrical drum by, for example, being provided on the surface (inner surface or outer surface) of the outer peripheral wall of the cylindrical drum, or being inserted or sandwiched inside the outer peripheral wall.

この連続露光装置では、円筒ドラムは、連続的に移送される透明基材と同じ速度で回転しているので、透明基材の各部分が円筒ドラムに巻き付けられた箇所において露光される間、透明基材に対する露光マスク部分のパターン(光を透過する部分と遮光する部分のパターン)がずれることがなく、所要時間の露光を継続することが可能である。露光装置に利用する光源としては、ハロゲン化銀乳剤層に含まれるハロゲン化銀乳剤の分光特性、感度により適宜選択することができるが、例えばタングステンランプ、紫外線ランプ、蛍光ランプ、キセノンランプ等を利用することができる。   In this continuous exposure apparatus, since the cylindrical drum rotates at the same speed as the transparent substrate that is continuously transferred, the transparent drum is transparent while the portions of the transparent substrate are exposed at the portions wound around the cylindrical drum. It is possible to continue the exposure for the required time without shifting the pattern of the exposure mask portion with respect to the base material (the pattern of the light transmitting portion and the light shielding portion). The light source used in the exposure apparatus can be appropriately selected depending on the spectral characteristics and sensitivity of the silver halide emulsion contained in the silver halide emulsion layer. For example, a tungsten lamp, an ultraviolet lamp, a fluorescent lamp, a xenon lamp, etc. are used. can do.

露光の際、光源カバーは回転せず、開口部が常時一定の方向を向いているので、透明基材が円筒ドラムの表面から離れている部分では光源の光が光源カバーによって遮られる。すなわち、露光装置の光源による透明基材の露光は、透明基材がその移送経路上において円筒ドラムの表面に巻き付けられている一定の範囲内でなされるので、露光の光量及び時間の制御を確実に行うことができる。
連続露光装置は、従来の枚葉処理方式の露光装置に比較して処理速度が速く、かつ、繋ぎ目の無い連続したパターンが得られるという長所がある。
At the time of exposure, the light source cover does not rotate, and the opening portion is always directed in a certain direction, so that light from the light source is blocked by the light source cover at a portion where the transparent substrate is away from the surface of the cylindrical drum. That is, the exposure of the transparent base material by the light source of the exposure apparatus is performed within a certain range in which the transparent base material is wound around the surface of the cylindrical drum on the transfer path, so that the control of the light amount and time of exposure is ensured. Can be done.
The continuous exposure apparatus has an advantage that the processing speed is higher than that of a conventional single wafer processing type exposure apparatus and a continuous pattern having no joints can be obtained.

(現像方法)
物理現像核層が設けられる透明基材上の任意の位置、たとえば接着層、中間層、物理現像核層あるいはハロゲン化銀乳剤層、保護層、または支持体を挟んで設けられる裏塗り層にハレーションないしイラジエーション防止用の染料もしくは顔料を含有させてもよい。
(Development method)
Halation at any position on the transparent substrate on which the physical development nucleus layer is provided, for example, an adhesive layer, an intermediate layer, a physical development nucleus layer or a silver halide emulsion layer, a protective layer, or a backing layer provided with a support interposed therebetween Or a dye or pigment for preventing irradiation may be contained.

物理現像核層の上に直接にあるいは中間層を介してハロゲン化銀乳剤層が塗設された感光材料を用いて電磁波シールド材を作製する場合は、網目状パターンのような任意の細線パターンの透過原稿と上記感光材料を密着して露光、あるいは、任意の細線パターンのデジタル画像を各種レーザー光の出力機で上記感光材料に走査露光した後、可溶性銀錯塩形成剤と還元剤の存在下でアルカリ液中で処理することにより銀錯塩拡散転写現像(DTR現像)が起こり、未露光部のハロゲン化銀が溶解されて銀錯塩となり、物理現像核上で還元されて金属銀が析出して細線パターンの物理現像銀薄膜を得ることができる。露光された部分はハロゲン化銀乳剤層中で化学現像されて黒化銀となる。現像後、ハロゲン化銀乳剤層及び中間層、あるいは必要に応じて設けられた保護層は水洗除去されて、細線パターンの物理現像銀薄膜が表面に露出する。   When producing an electromagnetic shielding material using a photosensitive material in which a silver halide emulsion layer is coated directly on the physical development nucleus layer or via an intermediate layer, an arbitrary fine line pattern such as a mesh pattern is used. After exposing a transparent original and the photosensitive material in close contact, or by scanning and exposing a digital image of an arbitrary fine line pattern onto the photosensitive material with various laser light output machines, in the presence of a soluble silver complex salt forming agent and a reducing agent. Silver complex diffusion transfer development (DTR development) occurs by processing in an alkaline solution, the silver halide in the unexposed area is dissolved to form a silver complex salt, which is reduced on the physical development nuclei, and metallic silver is precipitated to form a fine line. A physically developed silver thin film with a pattern can be obtained. The exposed portion is chemically developed in the silver halide emulsion layer to become blackened silver. After development, the silver halide emulsion layer and the intermediate layer, or the protective layer provided as necessary, are washed away with water, and a physically developed silver thin film having a fine line pattern is exposed on the surface.

DTR現像後、物理現像核層の上に設けられたハロゲン化銀乳剤層等の除去方法は、水洗除去あるいは剥離紙等に転写剥離する方法がある。水洗除去は、スクラビングローラ等を用いて温水シャワーを噴射しながら除去する方法や温水をノズル等でジェット噴射しながら水の勢いで除去する方法がある。   After DTR development, the silver halide emulsion layer or the like provided on the physical development nucleus layer may be removed by washing with water or transferring and peeling to a release paper or the like. There are two methods for removing the water washing: a method of removing hot water using a scrubbing roller or the like while jetting it with a nozzle or the like, and a method of removing hot water by jetting with a nozzle or the like.

一方、物理現像核層が塗布された透明基材とは別の基材上に設けたハロゲン化銀乳剤層から可溶性銀錯塩を供給する場合、前述と同様にハロゲン化銀乳剤層に露光を与えた後、物理現像核層が塗布された透明基材と、ハロゲン化銀乳剤層が塗布された別の感光材料とを、可溶性銀錯塩形成剤と還元剤の存在下、アルカリ液中で重ね合わせて密着し、アルカリ液中から取り出した後、数十秒〜数分間経過した後に、両者を剥がすことによって、物理現像核上に析出した細線パターンの物理現像銀薄膜が得られる。   On the other hand, when the soluble silver complex salt is supplied from a silver halide emulsion layer provided on a substrate different from the transparent substrate on which the physical development nucleus layer is coated, the silver halide emulsion layer is exposed as described above. After that, a transparent substrate coated with a physical development nucleus layer and another photosensitive material coated with a silver halide emulsion layer are superposed in an alkaline solution in the presence of a soluble silver complexing agent and a reducing agent. After several tens of seconds to several minutes after taking out from the alkaline solution, the both are removed to obtain a physically developed silver thin film having a fine line pattern deposited on the physical development nuclei.

次に、銀錯塩拡散転写現像のために必要な可溶性銀錯塩形成剤、還元剤、及びアルカリ液について説明する。可溶性銀錯塩形成剤は、ハロゲン化銀を溶解し可溶性の銀錯塩を形成させる化合物であり、還元剤はこの可溶性銀錯塩を還元して物理現像核上に金属銀を析出させるための化合物であり、これらの作用はアルカリ液中で行われる。   Next, a soluble silver complex salt forming agent, a reducing agent, and an alkali solution necessary for silver complex diffusion transfer development will be described. The soluble silver complex salt forming agent is a compound that dissolves silver halide to form a soluble silver complex salt, and the reducing agent is a compound that reduces this soluble silver complex salt to precipitate metallic silver on physical development nuclei. These actions are performed in an alkaline solution.

本発明に用いられる可溶性銀錯塩形成剤としては、チオ硫酸ナトリウム、チオ硫酸アンモニウムのようなチオ硫酸塩、チオシアン酸ナトリウム、チオシアン酸アンモニウムのようなチオシアン酸塩、アルカノールアミン、亜硫酸ナトリウム、亜硫酸水素カリウムのような亜硫酸塩、T.H.ジェームス編のザ・セオリー・オブ・ザ・フォトグラフィック・プロセス4版の474〜475項(1977年)に記載されている化合物等が挙げられる。   Examples of the soluble silver complex forming agent used in the present invention include sodium thiosulfate, thiosulfate such as ammonium thiosulfate, thiocyanate such as sodium thiocyanate and ammonium thiocyanate, alkanolamine, sodium sulfite, and potassium bisulfite. Sulfites such as T. H. Examples include the compounds described in 474-475 (1977) of James The Theory of the Photographic Process 4th edition.

前記還元剤としては、写真現像の分野で公知の現像主薬を用いることができる。例えば、ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、クロルハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類、1−フェニル−4,4−ジメチル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−3−ピラゾリドン、1−フェニル−4−メチル−4−ヒドロキシメチル−3−ピラゾリドン等の3−ピラゾリドン類、パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、パラフェニレンジアミン等が挙げられる。   As the reducing agent, a developing agent known in the field of photographic development can be used. For example, polyhydroxybenzenes such as hydroquinone, catechol, pyrogallol, methylhydroquinone, chlorohydroquinone, 1-phenyl-4,4-dimethyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-3-pyrazolidone, 1-phenyl-4-methyl- Examples include 3-pyrazolidones such as 4-hydroxymethyl-3-pyrazolidone, paramethylaminophenol, paraaminophenol, parahydroxyphenylglycine, paraphenylenediamine, and the like.

上記した可溶性銀錯塩形成剤及び還元剤は、物理現像核層と一緒に透明基材に塗布してもよいし、ハロゲン化銀乳剤層中に添加してもよいし、またはアルカリ液中に含有させてもよく、更に複数の位置に含有してもよいが、少なくともアルカリ液中に含有させるのが好ましい。   The above-mentioned soluble silver complex salt forming agent and reducing agent may be applied to the transparent substrate together with the physical development nucleus layer, added to the silver halide emulsion layer, or contained in the alkaline solution. It may be allowed to be contained, and may be further contained in a plurality of positions, but is preferably contained at least in the alkaline liquid.

アルカリ液中への可溶性銀錯塩形成剤の含有量は、現像液1リットル当たり、0.1〜5モルの範囲で用いるのが適当であり、還元剤は現像液1リットル当たり0.05〜1モルの範囲で用いるのが適当である。   The content of the soluble silver complex salt forming agent in the alkaline solution is suitably used in the range of 0.1 to 5 mol per liter of the developer, and the reducing agent is 0.05 to 1 per liter of the developer. It is suitable to use in the molar range.

アルカリ液のpHは10以上が好ましく、更に11〜14の範囲が好ましい。銀錯塩拡散転写現像を行うためのアルカリ液の適用は、浸漬方式であっても塗布方式であってもよい。浸漬方式は、例えば、タンクに大量に貯流されたアルカリ液中に、物理現像核層及びハロゲン化銀乳剤層が設けられた透明基材を浸漬しながら搬送するものであり、塗布方式は、例えばハロゲン化銀乳剤層上にアルカリ液を1平方メートル当たり40〜120ml程度塗布するものである。   The pH of the alkaline solution is preferably 10 or more, and more preferably in the range of 11-14. Application of the alkaline solution for silver complex diffusion transfer development may be an immersion method or a coating method. The immersion method is, for example, transporting while immersing a transparent substrate provided with a physical development nucleus layer and a silver halide emulsion layer in an alkaline solution stored in a large amount in a tank. For example, about 40 to 120 ml of an alkali solution per square meter is coated on the silver halide emulsion layer.

(現像銀による細線パターン)
前述したように、細線パターンとしては、たとえば線幅10〜100μm程度の細線を縦横に格子状に設けられたものがあるが、細線幅を小さくして格子の間隔を大きくすると透光性は上がるが導電性は低下し、逆に細線幅を大きくして格子の間隔を小さくすると透光性は低下して導電性は高くなる。本発明にかかる透明基材の一方の面に形成された任意の細線パターンの物理現像による銀画像は、全光線透過率50%以上の透光性と表面抵抗率10オーム/□以下の導電性とを同時に満足させることは困難である。
しかし、透明基材の両方の面に、現像銀からなる細線パターンを形成することによって、表面低効率を10オーム/□以下にすることが可能となる。
さらに、本発明のポジ型写真製法によって、透明基材の両方の面に形成された2つの細線パターンは、前記透明基材の一方の面に対して垂直な方向から視て、両方の細線パターンの線幅およびピッチが略重なる位置に配設された状態にすることができるので、全光線透過率50%以上の透光性を満たすことが可能となる。
(Thin line pattern with developed silver)
As described above, there are fine line patterns in which, for example, fine lines having a line width of about 10 to 100 μm are provided in a grid pattern in the vertical and horizontal directions. If the narrow line width is reduced and the interval between the gratings is increased, the translucency increases. However, the conductivity decreases, and conversely, if the fine line width is increased to reduce the lattice spacing, the translucency is decreased and the conductivity is increased. The silver image obtained by physical development of an arbitrary fine line pattern formed on one surface of the transparent substrate according to the present invention has a translucency with a total light transmittance of 50% or more and a conductivity with a surface resistivity of 10 ohms / □ or less. It is difficult to satisfy at the same time.
However, by forming fine line patterns made of developed silver on both surfaces of the transparent substrate, the surface low efficiency can be reduced to 10 ohms / square or less.
Further, the two fine line patterns formed on both surfaces of the transparent substrate by the positive photographic method of the present invention are both fine line patterns as viewed from a direction perpendicular to one surface of the transparent substrate. Therefore, it is possible to satisfy the translucency with a total light transmittance of 50% or more.

ところで、この物理現像による銀画像自身は、現像処理後に得られた銀画像を形成する金属銀粒子が極めて小さく、且つ銀画像中に存在する親水性バインダー量が極めて少ないことにより、銀画像を形成する金属銀粒子が最密充填状態に近い状態で銀画像が形成されて通電性を有している。
このため、銀画像の上に銅やニッケルなどの金属による無電解メッキや、電解メッキを施すことにより、さらに電磁波シールド性能を高めることが可能である。
金属層から細線パターンの全光線透過率を向上させるためには、細線が設けられた領域の面積に対して、細線間の光透過部の面積を十分に広くする必要がある。このため、細線の間隔は、100〜900μmであることが好ましく、より好ましくは150〜700μmである。
By the way, the silver image by the physical development itself forms a silver image because the metallic silver particles forming the silver image obtained after the development processing are extremely small and the amount of the hydrophilic binder present in the silver image is extremely small. A silver image is formed in a state where the metallic silver particles to be close to the close-packed state have electrical conductivity.
For this reason, it is possible to further improve electromagnetic wave shielding performance by performing electroless plating or electrolytic plating with a metal such as copper or nickel on the silver image.
In order to improve the total light transmittance of the fine line pattern from the metal layer, it is necessary to sufficiently increase the area of the light transmission portion between the fine lines with respect to the area of the region where the fine lines are provided. For this reason, it is preferable that the space | interval of a thin wire | line is 100-900 micrometers, More preferably, it is 150-700 micrometers.

(現像銀へのメッキ)
現像銀の上に金属メッキした細線パターンの厚みは所望とする特性により任意に変えることができるが、0.05〜80μm、好ましくは0.2〜30μmの範囲である。
本発明の電磁波シールド材をディスプレイ用光学フィルターの電磁波シールド材として用いた場合は、金属層からなるメッシュパターンが細線幅15〜80μm、厚みが0.2〜30μm、及びピッチが200〜300μmであるとき、全光線透過率50%以上、かつ表面抵抗率が1オーム/□以下という優れた透光性能と導電性能を持ち、30MHz〜1,000MHzのような広い周波数帯に亘って30dB以上のシールド効果を発揮することができる。
(Plating on developed silver)
The thickness of the fine line pattern obtained by metal plating on the developed silver can be arbitrarily changed depending on the desired properties, but is in the range of 0.05 to 80 μm, preferably 0.2 to 30 μm.
When the electromagnetic wave shielding material of the present invention is used as an electromagnetic wave shielding material for an optical filter for display, the mesh pattern made of a metal layer has a fine line width of 15 to 80 μm, a thickness of 0.2 to 30 μm, and a pitch of 200 to 300 μm. Shielding of 30 dB or more over a wide frequency band such as 30 MHz to 1,000 MHz with excellent light transmission performance and conductivity performance of total light transmittance of 50% or more and surface resistivity of 1 ohm / □ or less The effect can be demonstrated.

現像銀の上に施す金属メッキは、無電解メッキ法、電解メッキ法あるいは両者を組み合わせたメッキ法のいずれでも可能である。   The metal plating applied on the developed silver can be any of electroless plating, electrolytic plating, or a combination of both.

(メッキ方法)
本発明においては、写真製法により生成された現像銀層の上に積層された金属メッキ層を形成する方法は、次による。
透明基材14の両面に、写真製法により生成された現像銀からなる細線パターン13,13を形成し、この細線パターン13,13の上に、銅(Cu)および/またはニッケル(Ni)をメッキする。
本発明において、金属メッキ法は公知の方法で行うことが出来るが、たとえば電解メッキ法は、銅、ニッケル、銀、金、半田、あるいは銅/ニッケルの多層あるいは複合系などの従来公知の方法を使用でき、これらについては、「表面処理技術総覧;(株)技術資料センター、1987年12月21日初版、281〜422頁」等の文献を参照することができる。
メッキが容易で、かつ導電性に優れ、さらに厚膜にメッキでき、低コスト等の理由により、銅および/またはニッケルを用いることが好ましい。
(Plating method)
In the present invention, the method for forming the metal plating layer laminated on the developed silver layer produced by the photographic method is as follows.
Fine line patterns 13 and 13 made of developed silver produced by a photographic manufacturing method are formed on both surfaces of the transparent substrate 14, and copper (Cu) and / or nickel (Ni) is plated on the fine line patterns 13 and 13. To do.
In the present invention, the metal plating method can be performed by a known method. For example, the electrolytic plating method is a conventionally known method such as copper, nickel, silver, gold, solder, or a multilayer or composite system of copper / nickel. For these, reference can be made to documents such as “Surface Treatment Technology Overview; Technical Data Center, Inc., December 21, 1987, first edition, pages 281 to 422”.
It is preferable to use copper and / or nickel for reasons such as easy plating, excellent electrical conductivity, plating on a thick film, and low cost.

(無電解銅メッキ)
無電解銅メッキ液としては、金属銅(Cu)の濃度として0.5〜10g/リットルが好ましく、さらに好ましくは2〜3g/リットルの濃度である。
メッキ処理液の温度としては、30〜80℃が好ましく、さらに好ましくは40〜50℃である。メッキ処理液の温度が30℃より低いと銅のメッキ析出速度が遅くなり、80℃以上になると、エネルギー費用が嵩むことから好ましくない。
メッキ厚みは0.01〜1μmが好ましく、さらに好ましくは0.05〜0.2μmである。また、無電解銅メッキ液は、公知のメッキ液であればどのような液であっても問題はない。
(Electroless copper plating)
The electroless copper plating solution preferably has a metal copper (Cu) concentration of 0.5 to 10 g / liter, more preferably 2 to 3 g / liter.
As temperature of a plating process liquid, 30-80 degreeC is preferable, More preferably, it is 40-50 degreeC. If the temperature of the plating solution is lower than 30 ° C., the copper deposition rate is slow, and if it is 80 ° C. or higher, the energy cost increases, which is not preferable.
The plating thickness is preferably 0.01 to 1 μm, and more preferably 0.05 to 0.2 μm. Further, the electroless copper plating solution may be any solution as long as it is a known plating solution.

(電解銅メッキ)
電解銅メッキの場合は、硫酸銅、青化銅、ピロリン酸銅など、どのようなメッキ液でも良いが、その中でも硫酸銅がコスト面から見て好ましい。これらの電解銅メッキ液において、銅(Cu)の濃度は、それぞれ適当な濃度に設定すればよい。
硫酸銅メッキ浴を用いる場合、硫酸濃度が20〜400g/リットルが好ましく、さらに好ましくは70〜300g/リットルである。硫酸濃度が20g/リットルより低いと、メッキ液が不安定となり、300g/リットルより高いとメッキ粒子に異常が生じるから好ましくない。
メッキ処理温度としては、10〜60℃が好ましく、さらに好ましくは20〜40℃である。メッキ処理液の温度が、10℃より低いとメッキ時間が長く掛かりコストアップとなり、60℃より高いとメッキ外観が悪くなる。
電解メッキの電流密度としては、0.05〜20A/cmが好ましく、さらに好ましくは0.5〜8A/cmである。電解メッキの電流密度が0.05A/cmより低いと、メッキ時間が長くなりコストアップとなる。また、電解メッキの電流密度が20A/cmより高いと、メッキ皮膜の外観が悪くなるから好ましくない。
(Electrolytic copper plating)
In the case of electrolytic copper plating, any plating solution such as copper sulfate, copper cyanide, and copper pyrophosphate may be used, but copper sulfate is preferable from the viewpoint of cost. In these electrolytic copper plating solutions, the concentration of copper (Cu) may be set to an appropriate concentration.
When using a copper sulfate plating bath, the sulfuric acid concentration is preferably 20 to 400 g / liter, more preferably 70 to 300 g / liter. If the sulfuric acid concentration is lower than 20 g / liter, the plating solution becomes unstable, and if it is higher than 300 g / liter, abnormalities occur in the plating particles.
The plating temperature is preferably 10 to 60 ° C, more preferably 20 to 40 ° C. If the temperature of the plating solution is lower than 10 ° C., the plating time is increased and the cost is increased, and if it is higher than 60 ° C., the plating appearance is deteriorated.
The current density of electrolytic plating is preferably 0.05 to 20 A / cm 2 , more preferably 0.5 to 8 A / cm 2 . When the current density of electrolytic plating is lower than 0.05 A / cm 2 , the plating time becomes longer and the cost increases. Moreover, when the current density of electrolytic plating is higher than 20 A / cm < 2 >, since the external appearance of a plating film will worsen, it is unpreferable.

(電解ニッケルメッキ)
電解ニッケルメッキを行う場合には、ニッケルメッキ処理液として、ワット浴(硫酸ニッケル、塩化ニッケル、ホウ酸)、スルファミン酸ニッケル浴(スルファミン酸ニッケル、塩化ニッケル、ホウ酸)その他、どのようなメッキ浴でもよい。
(Electrolytic nickel plating)
When performing electrolytic nickel plating, any plating bath such as watt bath (nickel sulfate, nickel chloride, boric acid), nickel sulfamate bath (nickel sulfamate, nickel chloride, boric acid), etc. But you can.

(黒化処理)
現像銀層または金属メッキ層の最表面は、金属の光沢による光の反射を防ぐために黒化処理することが好ましい。
ポジ型写真製法による現像銀からなる細線パターンを電磁波シールド材として用いる場合は、ディスプレイからの光が金属層からなる細線パターンの表面で反射するのを抑え、表示画面のコントラストを高めため、DTR法により形成された金属銀層の表面を黒化処理する必要がある。
DTR法においては、任意の細線パターンに露光した後、可溶性銀錯塩形成剤と還元剤の存在下、アルカリ液中で処理することにより銀錯塩拡散転写現像(DTR現像)が起こり、未露光部のハロゲン化銀が溶解されて銀錯塩となり、物理現像核上で還元されて金属銀が析出して細線パターンの物理現像銀薄膜が得られる。露光された部分はハロゲン化銀乳剤層中で化学現像されて黒化銀となる。現像後、ハロゲン化銀乳剤層及び中間層、あるいは必要に応じて設けられた保護層は水洗除去されて、細線パターンの金属銀層が表面に露出する。この金属銀層を再度、ハロゲン化処理することにより、黒化処理された黒化銀が得られる。
(Blackening treatment)
The outermost surface of the developed silver layer or metal plating layer is preferably blackened to prevent reflection of light due to the gloss of the metal.
When a fine line pattern made of developed silver by a positive photographic method is used as an electromagnetic shielding material, the DTR method is used to suppress the reflection of light from the display on the surface of the fine line pattern made of a metal layer and increase the contrast of the display screen. It is necessary to blacken the surface of the metallic silver layer formed by the above.
In the DTR method, after exposure to an arbitrary fine line pattern, silver complex diffusion transfer development (DTR development) occurs by processing in an alkaline solution in the presence of a soluble silver complex salt forming agent and a reducing agent. The silver halide is dissolved to form a silver complex salt, which is reduced on the physical development nuclei to deposit metallic silver to obtain a physically developed silver thin film having a fine line pattern. The exposed portion is chemically developed in the silver halide emulsion layer to become blackened silver. After the development, the silver halide emulsion layer and the intermediate layer, or the protective layer provided as necessary, are removed by washing, and the metal silver layer having a fine line pattern is exposed on the surface. This metal silver layer is again subjected to a halogenation treatment to obtain a blackened silver black.

また、ポジ型写真製法により生成された現像銀層とその上に積層された金属メッキ層とからなる金属層の細線パターンを電磁波シールド材として用いる場合は、ディスプレイからの光が金属層からなる細線パターンの表面で反射するのを抑え、表示画面のコントラストを高めるため、メッキ層の最表面を黒化処理する必要がある。
ニッケルメッキ表面の黒化処理の方法として、黒化処理皮膜の種類および用いる黒化処理液の配合について特に制限はないが、好ましい一例として、黒ニッケルを使用する場合、当該黒化処理液の硫酸濃度は、10〜50g/リットルで行うのが好ましく、さらに好ましくは20〜40g/リットルである。硫酸ニッケルの濃度が10g/リットルより低いと、メッキ析出が遅くなりコストアップとなり、50g/リットルより高いと黒化処理の仕上げ色が安定しないから好ましくない。
In addition, when a fine line pattern of a metal layer composed of a developed silver layer produced by a positive type photographic method and a metal plating layer laminated thereon is used as an electromagnetic shielding material, the light from the display is a fine line composed of a metal layer. In order to suppress reflection on the surface of the pattern and increase the contrast of the display screen, it is necessary to blacken the outermost surface of the plating layer.
As a method of blackening treatment on the surface of nickel plating, there is no particular limitation on the type of blackening treatment film and the composition of the blackening treatment liquid to be used. As a preferable example, when black nickel is used, sulfuric acid of the blackening treatment liquid is used. The concentration is preferably 10 to 50 g / liter, and more preferably 20 to 40 g / liter. When the concentration of nickel sulfate is lower than 10 g / liter, plating deposition is delayed and the cost is increased, and when it is higher than 50 g / liter, the finished color of the blackening treatment is not stable.

本発明によれば、電磁波シールド材において、電磁波シールド性能とコントラストの向上を図った電磁波シールド材及びその製造方法を提供することができる。
特に、前記透明基材の両方の表面に形成された2つの細線パターンは、前記透明基材の一方の面に垂直な方向から視て、両方の細線パターンの線幅およびピッチが略重なるように配設されているので、表示画面からの光線透過率の低下、及び表示画面の視認性が劣化するのを防止することができる。
さらに、前記透明基材の両方の表面に形成された2つの細線パターンの最表面を黒化処理することでディスプレイからの光が金属メッシュの表面で反射するのを抑え、表示画面のコントラストを高めることができる。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, in the electromagnetic wave shielding material, the electromagnetic wave shielding material which aimed at the improvement of electromagnetic wave shielding performance and contrast, and its manufacturing method can be provided.
In particular, the two fine line patterns formed on both surfaces of the transparent substrate are substantially overlapped with the line width and pitch of both fine line patterns when viewed from a direction perpendicular to one surface of the transparent substrate. Since it is disposed, it is possible to prevent the light transmittance from the display screen from being lowered and the visibility of the display screen from being deteriorated.
Furthermore, by blackening the outermost surfaces of the two fine line patterns formed on both surfaces of the transparent substrate, light from the display is prevented from being reflected on the surface of the metal mesh, and the contrast of the display screen is increased. be able to.

本発明において、細線パターンが写真製法により生成された現像銀層からなる金属層である電磁波シールド材を示す概略部分断面図である。In this invention, it is a general | schematic fragmentary sectional view which shows the electromagnetic wave shielding material whose thin wire | line pattern is a metal layer which consists of the image development silver layer produced | generated by the photographic manufacturing method. 本発明において、一方の前記細線パターンが写真製法により生成された現像銀層とその上に積層された金属メッキ層とからなる金属層である電磁波シールド材を示す概略部分断面図である。In the present invention, one of the fine line patterns is a schematic partial cross-sectional view showing an electromagnetic wave shielding material which is a metal layer composed of a developed silver layer produced by a photographic method and a metal plating layer laminated thereon. 従来の電磁波シールド材の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the conventional electromagnetic wave shielding material.

符号の説明Explanation of symbols

1、10…本発明の電磁波シールド材、3、13…写真製法により生成された現像銀層からなる金属層、4、14…透明基材、15…メッキによる金属メッシュ、20…従来技術による電磁波シールド材、22…金属メッシュ、24…透明基材。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,10 ... Electromagnetic wave shielding material of this invention, 3,13 ... Metal layer which consists of developed silver layer produced | generated by the photographic manufacturing method, 4,14 ... Transparent base material, 15 ... Metal mesh by plating, 20 ... Electromagnetic wave by a prior art Shielding material, 22 ... metal mesh, 24 ... transparent substrate.

Claims (8)

透明基材上に細線パターンを形成してなる電磁波シールド材であって、前記細線パターンは、細線化した導電性の金属層からなるパターンであり、前記透明基材の両方の面に形成されていることを特徴とする電磁波シールド材。   An electromagnetic shielding material formed by forming a fine line pattern on a transparent substrate, wherein the fine line pattern is a pattern composed of a thinned conductive metal layer and is formed on both surfaces of the transparent substrate. An electromagnetic shielding material characterized by having 前記透明基材の両方の面に形成された2つの細線パターンは、前記透明基材の一方の面に対して垂直な方向から視て、両方の細線パターンの線幅およびピッチが略重なる位置に配設されていることを特徴とする請求項1に記載の電磁波シールド材。   The two fine line patterns formed on both surfaces of the transparent substrate are located at positions where the line widths and pitches of both fine line patterns substantially overlap when viewed from a direction perpendicular to one surface of the transparent substrate. The electromagnetic shielding material according to claim 1, wherein the electromagnetic shielding material is disposed. 前記細線パターンは、写真製法により生成された現像銀層からなる金属層であることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁波シールド材。   The electromagnetic wave shielding material according to claim 1, wherein the fine line pattern is a metal layer composed of a developed silver layer generated by a photographic manufacturing method. 前記細線パターンは、写真製法により生成された現像銀層からなる金属層であり、且つ、少なくとも一方の面の細線パターンには、前記現像銀層の上に更に金属メッキ層が積層されてなることを特徴とする請求項1または2に記載の電磁波シールド材。   The fine line pattern is a metal layer composed of a developed silver layer generated by a photographic process, and the fine line pattern on at least one surface is formed by further laminating a metal plating layer on the developed silver layer. The electromagnetic wave shielding material according to claim 1 or 2. 前記金属メッキ層は、無電解メッキ層及び/又は電解メッキ層であることを特徴とする請求項4に記載の電磁波シールド材。   The electromagnetic shielding material according to claim 4, wherein the metal plating layer is an electroless plating layer and / or an electrolytic plating layer. 前記金属層の最表面は、黒化処理されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の電磁波シールド材。   The electromagnetic wave shielding material according to claim 1, wherein the outermost surface of the metal layer is blackened. 前記現像銀層は、露光しない部分に現像銀が発現するポジ型写真製法によって生成された現像銀層であることを特徴とする請求項3〜6のいずれかに記載の電磁波シールド材。   The electromagnetic wave shielding material according to any one of claims 3 to 6, wherein the developed silver layer is a developed silver layer produced by a positive photographic method in which developed silver appears in a portion not exposed to light. 請求項1〜7のいずれかに記載の電磁波シールド材を光学フィルターに用いたことを特徴とするディスプレイパネル。   A display panel comprising the electromagnetic shielding material according to claim 1 as an optical filter.
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