JP2008268059A - 試料ホルダ - Google Patents

Abstract

【課題】測定光を透過させる分析が可能で、試料の変形や汚染を防止可能な試料ホルダを提供すること。
【解決手段】表面の試料支持面（２ｂ）に試料（Ｓ）が支持され且つ表面側から裏面側に延びる複数の吸引孔（２ａ）が形成された光学透過材料製の試料支持部材（２）と、前記複数の吸引孔（２ａ）が接続され且つ前記試料支持部材（２）の表面側に対して負圧に排気された減圧空間（Ｋ）を有し、前記試料支持部材（２）を支持する減圧空間形成部材（４）と、を備えた試料ホルダ（１）。
【選択図】図１

Description

本発明は、赤外光等の測定光が入射される試料を保持する試料ホルダに関し、特に、測定光が試料および試料ホルダを透過する測定が可能な前記試料ホルダに関する。
本発明の試料ホルダは、顕微分析又は分光分析等に使用される測定光の光路中に着脱自在に装着して使用される。

従来、試料を分析する際に使用される試料ホルダとして、次の（Ｊ01），（Ｊ02）の技術が知られている。
（Ｊ01）特許文献１（特開平９−６１３１９号公報）記載の技術
特許文献１には、紙や布などの平面上で薄い試料表面の光学特性を測定するために、試料が表面に支持される金網のようなメッシュ状支持体（１２）と、メッシュ状支持体（１２）が支持され且つ内部が排気される試料台枠（１１）とを有する試料ステージを使用して、試料をメッシュ状支持体（１２）に圧力差により吸着して保持する技術が記載されている。

（Ｊ02）特許文献２（特開平９−１５２１３号公報）記載の技術
特許文献２には、サンプルが光を吸収したことに起因するサンプルの体積変化により発生する音響信号を計測する光吸収計測装置用のサンプルホルダーに関し、パイプ状のサンプルホルダー（１）の内部を排気して減圧すると共に、Ｏリングのような弾性支持部材（２）を介して、円板状のサンプル（７）を吸引して支持する技術が記載されている。また、前記特許文献２には、音響検出において雑音（ノイズ）の影響を低減するために、サンプル（７）を通過した後の入射光（６）の光路に、何も配置しないようにしたり、音を伝えにくい弾性体（９）を配置したり、光を吸収しにくい（透過しやすい）合成石英ガラス（３４）を配置することも記載されている。

特開平９−６１３１９号公報（段落番号「０００６」、第１図、第２図） 特開平９−１５２１３号公報（段落番号「００１９」〜「００２７」、「００４１」、第１図、第２図、第４図、第７図）

前記従来技術（Ｊ01）では、金網のような金属体を使用すると、入射光が金網で遮断されてしまう恐れがある。したがって、従来技術（Ｊ01）記載の技術では、試料表面での反射光を利用する分析には使用可能であるが、透過光を利用する分析には十分な光量が取れないため使用できない問題がある。
前記従来技術（Ｊ02）では、Ｏリングのような弾性支持部材を介してパイプ状のサンプルホルダーに支持する構成では、中央部が吸引され、周縁部がＯリングで支持されるため、吸引された中央部が湾曲してしまい、試料が変形する恐れがある。また、試料が小さい場合には利用できない。

従来のＦＴ−ＩＲ（Fourier Transform Infrared Spectroscopy：フーリエ変換赤外分光法）のような透過光を利用する分析法の装置では、試料は、両面テープやガム等で試料ホルダに保持されたり、ネジや板バネ等で挟み付けて試料ホルダに固定されていることが一般的であった。しかし、両面テープ等を使用すると粘着剤が試料や試料ホルダに付着し、試料や試料ホルダが汚れてしまうという問題があった。また、ネジ等を使用すると試料が変形する恐れがあるという問題があった。

本発明は、前述の事情に鑑み、測定光を透過させる分析が可能で、試料の変形や汚染を防止可能な試料ホルダを提供することを技術的課題とする。

次に、前記課題を解決するために案出した本発明の構成を説明するが、本発明の構成要素には、後述の実施例の構成要素との対応を容易にするため、実施例の構成要素の符号をカッコで囲んだものを付記している。なお、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。

（本発明）
前記技術的課題を解決するために、請求項１記載の試料ホルダ（１，１′，１″，４１）は、
表面の試料支持面（２ｂ）に試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）が支持され且つ表面側から裏面側に延びる複数の吸引孔（２ａ）が形成された光学透過材料製の試料支持部材（２，２′，２″）と、
前記複数の吸引孔（２ａ）が接続され且つ前記試料支持部材（２，２′，２″）の表面側に対して減圧された減圧空間（Ｋ）を有し、前記試料支持部材（２，２′，２″）を支持する減圧空間形成部材（４，１１，１１″）と、
を備えたことを特徴とする。

（本発明の作用）
前記構成要件を備えた請求項１記載の試料ホルダ（１，１′，１″，４１）は、光学透過材料製の試料支持部材（２，２′，２″）の表面の試料支持面（２ｂ）には、試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）が支持される。前記試料支持部材（２，２′，２″）には、表面側から裏面側に延びる複数の吸引孔（２ａ）が形成されている。前記試料支持部材（２，２′，２″）を支持する減圧空間形成部材（４，１１，１１″）は、減圧空間（Ｋ）を有する。前記減圧空間（Ｋ）は、前記複数の吸引孔（２ａ）が接続され、且つ、前記試料支持部材（２，２′，２″）の表面側に対して減圧されている。
したがって、試料支持面（２ｂ）に支持された試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）は、減圧された減圧空間（Ｋ）に接続された吸引孔（２ａ）により吸引され、試料支持面（２ｂ）に吸着、保持される。この結果、試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）は、試料支持面（２ｂ）により面で保持され且つ圧力差で吸着されるため、試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）の変形や粘着剤を使用することによる汚染を防止することができる。また、試料支持面（２ｂ）を構成する試料支持部材（２，２′，２″）が光学透過材料により構成されているため、透過光の損失が低く、透過光を利用した分析を行うことができる。

請求項２記載の発明は、請求項１に記載の試料ホルダ（１，４１）において、
試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）を測定する測定光（Ｌ）を透過させる透過材料製の前記減圧空間形成部材（４）、
を備えたことを特徴とする。
前記構成要件を備えた請求項２記載の発明では、前記減圧空間形成部材（４）が試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）を測定する測定光（Ｌ）を透過させる透過材料製であるため、測定光（Ｌ）の光路上に減圧空間形成部材（４）を配置することができ、減圧空間形成部材（４）を透過した測定光（Ｌ）を利用して分析を行うことができる。

請求項３記載の発明は、請求項１に記載の試料ホルダ（１′，１″）において、
前記試料支持部材（２，２′，２″）に対向離隔して配置された光学透過材料製の底部材（１２，１２″）と、前記試料支持部材（２，２′，２″）と前記底部材（１２，１２″）との間に配置された壁部材（１３，１３″）と、を有する前記減圧空間形成部材（１１，１１″）であって、前記底部材（１２，１２″）と前記壁部材（１３，１３″）と前記試料支持部材（２，２′，２″）とに囲まれた空間により構成された前記減圧空間（Ｋ）を有する前記減圧空間形成部材（１１，１１″）、
を備えたことを特徴とする。

前記構成要件を備えた請求項３記載の発明では、前記試料支持部材（２，２′，２″）に対向離隔して配置された底部材（１２，１２″）は、光学透過材料で作製されている。壁部材（１３，１３″）は、前記試料支持部材（２，２′，２″）と前記底部材（１２，１２″）との間に配置されている。したがって、底部材（１２，１２″）が光学透過材料で作製されているため、試料支持部材（２，２′，２″）を通過した透過光が底部材（１２，１２″）も透過するので、精度の高い透過測定をおこなうことができる。また、底部材（１２，１２″）と壁部材（１３，１３″）を別個に作製できるため、作製、組み立てが容易にでき、さらに、壁部材（１３，１３″）は光学透過材料で作製しなくてもよいため、低コスト化が図れる。

請求項４記載の発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の試料ホルダ（１′，４１）において、
前記試料支持面（２ｂ）よりも小さい前記試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）と、
前記試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）が収容される試料収容孔（２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ）が形成され且つ、前記試料支持面（２ｂ）と同形またはより大きな外形を有する試料支持面カバー（２１，２１′）と、
を備えたことを特徴とする。

前記構成要件を備えた請求項４記載の発明では、前記試料支持面（２ｂ）と同形の外形を有する試料支持面カバー（２１，２１′）の試料収容孔（２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ）には、試料支持面（２ｂ）よりも小さい試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）が収容される。したがって、試料支持面（２ｂ）が試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）と試料支持面カバー（２１，２１′）とによりカバーされるため、試料支持面カバー（２１，２１′）を設けない場合に比べて、試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）の吸着力を確保でき、確実に試料ホルダ（１′，４１）に保持できると共に、吸引孔（２ａ）が塵や埃等で詰まることも防止できる。

請求項５記載の発明は、請求項４に記載の試料ホルダ（１′，４１）において、
複数の試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）の大きさに対応して形成された複数の試料収容孔（２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ）を有する前記試料支持面カバー（２１′）、
を備えたことを特徴とする。
前記構成要件を備えた請求項５記載の発明では、試料支持面カバー（２１′）には、複数の試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）の大きさに対応して形成された複数の試料収容孔（２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ）が設けられているので、１つの試料支持面カバー（２１′）で複数の大きさの試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）に対応することができる。

請求項６記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載の試料ホルダ（１，１″，４１）において、
光学透過材料製の前記試料支持部材（２，２′，２″）を支持する光学透過プレート支持部材（３，３″）と、
前記光学透過プレート支持部材（３，３″）を介して前記試料支持部材（２，２′，２″）を支持する前記減圧空間形成部材（４，１１″）と、
を備えたことを特徴とする。
前記構成要件を備えた請求項６記載の発明では、光学透過プレート支持部材（３，３″）は、光学透過材料製の前記試料支持部材（２，２′，２″）を支持する。前記減圧空間形成部材（４，１１″）は、前記光学透過プレート支持部材（３，３″）を介して前記試料支持部材（２，２′，２″）を支持する。したがって、試料（Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）を支持する部分のみ光学透過材料製の試料支持部材（２，２′，２″）とすることでき、試料ホルダ（１，１″，４１）を任意の形状とすることができる。

請求項７記載の発明は、請求項６に記載の試料ホルダ（１″）において、
複数の前記試料支持部材（２，２′，２″）を支持する前記光学透過プレート支持部材（３″）、
を備えたことを特徴とする。
前記構成要件を備えた請求項７記載の発明では、光学透過プレート支持部材（３″）は、複数の前記試料支持部材（２，２′，２″）を支持するので、一度に複数の試料（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）を保持することができ、複数の試料（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３）を一度に分析することもできる。

前述の本発明は、測定光を透過させる分析が可能で、試料の変形や汚染を防止可能な試料ホルダを提供することができる。

次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
なお、以下の図面を使用した説明において、理解の容易のために説明に必要な部材以外の図示は適宜省略されている。

図１は本発明の実施例１の試料ホルダの説明図であり、図１Ａは試料が支持された状態での平面図、図１Ｂは試料が支持された状態での正面図である。
図２は本発明の実施例１の試料ホルダの説明図であり、図２Ａは試料が支持されていない状態の試料ホルダの側断面図、図２Ｂは図２Ａに示す状態から試料支持部材と減圧空間形成部材とが離隔した状態の説明図、図２Ｃは試料支持部材と減圧空間形成部材の平面図である。
図１，図２において、測定光としての赤外光を使用するＦＴ−ＩＲで使用可能な実施例１の試料ホルダ１は、試料Ｓが表面に支持される試料支持部材２を有する。実施例１では、前記試料支持部材２は、円板状の光学透過プレートにより構成されている。前記試料支持部材２は、光学透過材料の一例としてのＧｅ（ゲルマニウム）により構成されており、表面側から裏面側に延びる微細な吸引孔２ａが複数形成されている。なお、前記試料支持部材２の表面の試料支持面２ｂの直径は、広く一般的に使用される試料Ｓのサイズに合わせて１３ｍｍとすることが好適である。また、各吸引孔２ａは、支持される試料Ｓのサイズや重量、排気装置Ｖの排気性能に応じて変形可能であるが、直径５μｍ〜１００μｍとすることができ、２０μｍ〜５０μｍが好適である。さらに、光学透過材料としては、検出したい波長の透過光に対する透過特性に対応し且つ前記微細な吸引孔２ａが形成可能な光学透過材料を選択可能であるが、例えば、ガラス、Ｇｅ、サファイア、ＣaＦ_２、ＢａＦ_２、ＭｇＦ_２、ＬｉＦ、ＫＢｒ、ＫＣｌ、ＮａＣｌ，ＭｇＯ、石英、シリコン、ＺｎＳｅ、ＺｎＳ、ＧａＡｓ，方解石（ＣａＣＯ_３）等が挙げられる。

前記試料支持部材２は、金属製の板状の光学透過プレート支持部材３の中央部に接着等により固定支持されている。前記光学透過プレート支持部材３の裏面側には、支持部材２と同じ光学透過プレートの減圧空間形成部材４が貼り合わされている。図２Ｃにおいて、前記減圧空間形成部材４には、前記試料支持部材２に対応して中央部に形成された凹部４ａと、前記凹部４ａの後端から後方に延びる排気路４ｂとが形成されている。前記排気路４ｂの後端には排気管接続部６が固定支持されている。前記排気管接続部６は、図示しない排気管を介して排気装置Ｖ（図１Ａ参照）に接続されている。したがって、図２Ａに示すように、前記凹部４ａと試料支持部材２の裏面とにより囲まれる空間によって、減圧空間Ｋが形成される。そして、前記減圧空間Ｋには、前記試料支持部材２の吸引孔２ａが接続され、排気路４ｂから排気されることで、減圧空間Ｋ内部を試料支持部材２の表面側に対して減圧される。
前記符号２〜６を付した部材等により実施例１の試料ホルダ１が構成されている。

（実施例１の作用）
前記構成を備えた実施例１の試料ホルダ１では、試料支持部材２の表面に試料Ｓが支持された状態で、排気装置Ｖにより減圧空間Ｋの排気を行うことで、圧力差により試料Ｓが試料支持部材２表面に吸引された状態で保持される。この状態で、測定光Ｌ（図１Ｂの一点鎖線参照）が試料Ｓに入射されると、試料Ｓの特性に応じて特定の波長が吸収されて透過する。このとき、測定光Ｌは、Ｇｅ製の試料支持部材２、減圧空間Ｋ、測定光に透明な材料（光学透過材料）の減圧空間形成部材４を透過する。
したがって、測定光Ｌは、透過性が高く且つ光学的な損失が低い光学透過材料や、空間Ｋを通過するので、透過光を利用して（例えば、分光してスペクトル測定をする等）、試料Ｓの分析を精度よく行うことができる。また、実施例１の試料ホルダ１では、両面テープ等で接着する従来の場合に比べて、試料Ｓや試料ホルダ１が粘着剤により汚れることが防止できる。さらに、排気装置Ｖによる排気を終了するか、試料Ｓを試料支持部材２の面方向にスライドさせて光学透過プレート支持部材３側に移動させることで容易に試料Ｓを試料ホルダ１から取り外すことができる。また、実施例１の試料ホルダ１では、試料支持部材２により、試料Ｓの裏面側の全面が支持されると共に、試料支持部材２に離散的に形成された吸引孔２ａで吸引されるため、試料Ｓが湾曲する等の変形を受けにくく、試料Ｓの破損を防止することができ、分析後の再利用等が可能となる。また、試料支持部材２を支持する光学透過プレート支持部材３の形状および材料を任意に変更することができるので、使用される分析機器に装着可能な任意の形状とすることができる。

図３は本発明の実施例２の試料ホルダの説明図であり、図３Ａは斜視説明図、図３Ｂは分解された状態の説明図である。
なお、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。

図３において、実施例２の試料ホルダ１′は、実施例１の試料ホルダ１と異なり、光学透過プレート支持部材３が省略され、円板状の試料支持部材２の裏面側には、減圧空間形成部材１１が支持されている。前記減圧空間形成部材１１は、試料支持部材２と対向離隔して配置された底部材１２と、底部材１２と試料支持部材２との間に配置された円筒パイプ状の壁部材１３とを有している。前記底部材１２は、試料支持部材２と同様に光学透過材料製で円板状の部材により構成されており、試料支持部材２と異なり吸引孔２ａは形成されていない。また、前記壁部材１３の側面には、排気装置Ｖに接続される排気管接続部６が支持されている。
したがって、前記試料支持部材２、壁部材１３、底部材１２により囲まれた空間により、実施例２の減圧空間Ｋが構成されており、減圧空間Ｋは排気管接続部６に接続された排気装置Ｖにより排気される。

（実施例２の作用）
前記構成を備えた実施例２の試料ホルダ１′は、減圧空間Ｋが排気されて減圧されることにより試料支持部材２の試料支持面２ｂに試料Ｓが吸着されて保持され、測定光Ｌは、試料Ｓ、試料支持部材２を透過した後、減圧空間Ｋ、光学透過材料製の底部材１２を透過する。したがって、実施例２の試料ホルダ１′は、実施例１の試料ホルダ１と同様の作用効果を有する。
また、実施例２の試料ホルダ１′は、底部材１２と壁部材１３とが別の部材により構成されているので、各部材の加工や組み立てが容易にできる。また、実施例２の試料ホルダ１′では、壁部材１３を測定光Ｌが透過しないので、壁部材１３は光学透過材料に限定されず、任意の材料を使用することができ、低コスト化を図ることもできる。

図４は本発明の実施例３の試料ホルダの説明図であり、実施例２の図３Ｂに対応する図である。
なお、この実施例３の説明において、前記実施例１、２の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例３は、下記の点で前記実施例１、２と相違しているが、他の点では前記実施例１、２と同様に構成されている。
図４において、実施例３の試料ホルダ１′では、試料支持部材２よりも小さい試料Ｓの分析を行う場合に、試料支持部材２の試料支持面２ｂには、試料支持面カバー２１が支持される。前記試料支持面カバー２１は、外径が試料支持部材２と同様の外径に形成され、中央部に試料Ｓの外径に対応する試料収容孔２１ａが形成されている。

（実施例３の作用）
前記構成要件を備えた実施例３の試料ホルダ１′では、試料支持面２ｂの表面積よりも小さい試料Ｓの分析を行う場合、試料支持面カバー２１と試料Ｓとにより試料支持面２ｂの全面がカバーされる。試料支持面カバー２１を設けない場合には、試料Ｓにより覆われていない部分の吸引孔２ａから減圧空間Ｋ側への吸引が優位になり、試料Ｓの吸引が弱くなる恐れや、試料Ｓにより覆われていない部分の吸引孔２ａに塵や埃等が詰まる恐れがあったが、実施例３の試料ホルダ１′では試料支持面カバー２１を設けることにより、試料支持面２ｂよりも小さな試料Ｓを使用する場合でも、確実に吸着することができ、吸引孔２ａが詰まることも防止できる。さらに試料を通過しない測定光を遮断することができるために、精度のよい測定を可能にする。

図５は本発明の実施例４の試料ホルダの斜視説明図ある。
なお、この実施例４の説明において、前記実施例１〜３の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例４は、下記の点で前記実施例１〜３と相違しているが、他の点では前記実施例１〜３と同様に構成されている。
図５において、実施例４の試料ホルダ１″は、板状の光学透過プレート支持部材３″と、角筒状の壁部材１３″および板状の底部材１２″とを有する減圧空間形成部材１１″とを有する。前記光学透過プレート支持部材３″には、試料支持部材２の外径に対応した３つの装着口（装着部）３ａ，３ｂ，３ｃが形成されている。前記装着口３ａ〜３ｃには、段差が形成されており、段差により試料支持部材２が着脱可能に支持される。前記各装着口３ａ〜３ｃには、大サイズ試料用の試料支持部材２、中サイズ試料用の試料支持部材２′、小サイズ試料用の試料支持部材２″または装着口閉塞用のカバー３１のいずれかが装着可能に構成されている。

前記大サイズ試料用の試料支持部材２は、大サイズの試料Ｓ１を吸着するために、全面に吸引孔２ａが形成されており、中サイズ試料用の試料支持部材２′は、中サイズの試料Ｓ２を吸着するために、中サイズの試料Ｓ２の大きさに対応する領域にのみ吸引孔２ａが形成されている。同様に、小サイズ試料用の試料支持部材２″は、小サイズの試料Ｓ３を吸着するために、小サイズの試料Ｓ３の大きさに対応する領域にのみ吸引孔２ａが形成され、装着口閉塞用の装着口カバー３１には吸引孔２ａが形成されていない。

（実施例４の作用）
前記構成要件を備えた実施例４の試料ホルダ１″では、実施例１と同様に、試料Ｓを吸着して保持できると共に、光学透過プレート支持部材３″に試料支持部材２，２′、２″を最大で３つ装着できるので、複数の試料Ｓ１〜Ｓ３を前もって用意して、順に測定することができる。また、試料Ｓ１〜Ｓ３のサイズに合わせて試料支持部材２〜２″を交換することができるので、実施例３の場合と同様に、確実に吸着保持できると共に吸引孔２ａの詰まりを防止することができる。さらに、例えば、１つまたは２つの試料Ｓの分析を行う場合には、試料Ｓが装着されない装着口３ａ〜３ｃには、装着口カバー３１を装着することで、減圧空間Ｋを気密に保つことができる。なお、各試料支持部材２〜２″を複数個準備しておくことで、３つとも同じサイズの試料Ｓの分析を行うこともできる。

図６は本発明の実施例５の試料ホルダの説明図であり、図６Ａは試料支持面カバーの平面図、図６Ｂは試料支持面カバーが使用された状態の説明図である。
なお、この実施例５の説明において、前記実施例１〜４の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例５は、下記の点で前記実施例１〜４と相違しているが、他の点では前記実施例１〜４と同様に構成されている。
図６において、実施例５の試料支持面カバー２１′は、装着される試料Ｓの大きさに対応して、４つの試料収容口２１ａ〜２１ｄが形成されている。

（実施例５の作用）
前記構成を備えた実施例５の試料ホルダ１′では、試料支持部材２と同じサイズの試料Ｓの分析を行う場合には試料支持面カバー２１′を使用せずに吸着保持でき、試料支持部材２よりも小さなサイズの試料Ｓの分析を行う場合には、図６Ｂに示すように、試料支持面カバー２１′を、分析対象の試料Ｓのサイズに応じて、試料支持部材２の面方向にスライドさせることで、試料Ｓと試料支持面カバー２１′とにより試料支持面２ｂの全面がカバーできる。この結果、実施例５の試料ホルダ１′は、実施例３と同様に、試料支持面２ｂよりも小さな試料Ｓを使用する場合でも、確実に吸着することができ、吸引孔２ａが詰まることも防止できる。また、試料Ｓのサイズに応じて、試料支持面カバーを複数個作成する必要が無く、１つの試料支持面カバー２１′を使用して複数のサイズの試料Ｓに対応することができる。

図７は本発明の実施例６の試料ホルダの説明図であり、図７Ａは試料支持面カバーが装着された状態の試料ホルダの平面図、図７Ｂは図７Ａの側面図である。
なお、この実施例６の説明において、前記実施例１〜５の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例６は、下記の点で前記実施例１〜５と相違しているが、他の点では前記実施例１〜５と同様に構成されている。
図７において、実施例６の試料ホルダ４１は、実施例１の試料ホルダ１において、光学透過プレート支持部材３の上面に、試料支持部材２を挟んで二対のカバーガイド部材４２が固定支持されている。前記カバーガイド部材４２の間には、実施例５と同様に構成された試料支持面カバー２１′がスライド移動可能に支持されており、左右方向（Ｙ軸方向）にガイドされる。

（実施例６の作用）
前記構成を備えた実施例６の試料ホルダ４１では、試料支持面カバー２１′をガイド部材４２に沿って移動させることで、試料Ｓのサイズに対応する試料収容孔２１ａ〜２１ｄを試料支持部材２の位置に容易に移動させることができる。他に、実施例６の試料ホルダ４１は、実施例１，５と同様に作用効果を有する。

(変更例)
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例（Ｈ01）〜（Ｈ05）を下記に例示する。
（Ｈ01）前記実施例において、試料ホルダ１，１′、１″、４１や試料Ｓの大きさ、装着口３ａ〜３ｃの数、試料収容口２１ａ〜２１ｄの数、吸引孔２ａの分布や孔径等は、例示した数値や大きさに限定されず、設計や使用目的等に応じて、任意に変更可能である。
（Ｈ02）前記実施例において、試料ホルダ１，１′、１″、４１は、試料支持面２ｂが、水平面になるように支持する場合を例示したが、これに限定されず、鉛直方向に沿った状態で分析機器に装着されたり、傾斜した状態で装着される場合にも適用可能である。

（Ｈ03）前記実施例において、試料ホルダ１，１′、１″、４１は、測定光Ｌの透過光を利用する分析機器に好適に使用可能であるが、反射光を使用する分析機器（例えば、可視紫外分光法、蛍光分光法、ラマン分光法等の分析機器）の試料ホルダとして使用することも可能である。すなわち、複数の異なる方式で分析を行う分析機器の間で共通した試料ホルダとして使用することも可能である。
（Ｈ04）前記実施例において、例えば、減圧空間内に反射鏡を設け、試料支持部材２を透過した光を所定の方向に反射させ、分析に使用することも可能である。
（Ｈ05）前記実施例において、減圧空間Ｋを減圧するために、排気装置Ｖで排気したが、これに限定されず、光の透過を妨げない範囲で、減圧可能な任意の方法を採用可能である。例えば、吸引孔２ａに垂直な方向に高速で流体（水等）を流すことで減圧空間Ｋを減圧するいわゆるアスピレータを採用することも可能である。

図１は本発明の実施例１の試料ホルダの説明図であり、図１Ａは試料が支持された状態での平面図、図１Ｂは試料が支持された状態での正面図である。 図２は本発明の実施例１の試料ホルダの説明図であり、図２Ａは試料が支持されていない状態の試料ホルダの側断面図、図２Ｂは図２Ａに示す状態から試料支持部材と減圧空間形成部材とが離隔した状態の説明図、図２Ｃは試料支持部材と減圧空間形成部材の平面図である。 図３は本発明の実施例２の試料ホルダの説明図であり、図３Ａは斜視説明図、図３Ｂは分解された状態の説明図である。 図４は本発明の実施例３の試料ホルダの説明図であり、実施例２の図３Ｂに対応する図である。 図５は本発明の実施例４の試料ホルダの斜視説明図ある。 図６は本発明の実施例５の試料ホルダの説明図であり、図６Ａは試料支持面カバーの平面図、図６Ｂは試料支持面カバーが使用された状態の説明図である。 図７は本発明の実施例６の試料ホルダの説明図であり、図７Ａは試料支持面カバーが装着された状態の試料ホルダの平面図、図７Ｂは図７Ａの側面図である。

符号の説明

１，１′，１″，４１…試料ホルダ、
２，２′，２″…試料支持部材、
２…大サイズ試料用の試料支持部材、
２′…中サイズ試料用の試料支持部材、
２″…小サイズ試料用の試料支持部材、
３１…装着口閉塞用のカバー、
２ａ…吸引孔、
２ｂ…試料支持面、
３，３″…光学透過プレート支持部材、
３ａ，３ｂ，３ｃ…装着部、
４，１１，１１″…減圧空間形成部材、
４ａ…凹部、
４ｂ…排気路、
６…排気管接続部、
１２，１２″…底部材、
１３，１３″…壁部材、
２１，２１′…試料支持面カバー、
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ…試料収容孔、
４２…カバーガイド部材、
Ｋ…減圧空間、
Ｌ…測定光、
Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３…試料、
Ｖ…排気装置。

Claims (7)

1. 表面の試料支持面に試料が支持され且つ表面側から裏面側に延びる複数の吸引孔が形成された光学透過材料製の試料支持部材と、
   前記複数の吸引孔が接続され且つ前記試料支持部材の表面側に対して減圧された負圧空間を有し、前記試料支持部材を支持する減圧空間形成部材と、
   を備えたことを特徴とする試料ホルダ。
2. 試料を測定する測定光を透過させる透過材料製の前記減圧空間形成部材、
   を備えたことを特徴とする請求項１に記載の試料ホルダ。
3. 前記試料支持部材に対向離隔して配置された光学透過材料製の底部材と、前記試料支持部材と前記底部材との間に配置された壁部材と、を有する前記減圧空間形成部材であって、前記底部材と前記壁部材と前記試料支持部材とに囲まれた空間により構成された前記減圧空間を有する前記減圧空間形成部材、
   を備えたことを特徴とする請求項１に記載の試料ホルダ。
4. 前記試料支持面よりも小さい前記試料と、
   前記試料が収容される試料収容孔が形成され且つ、前記試料支持面と同形の外形を有する試料支持面カバーと、
   を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の試料ホルダ。
5. 複数の試料の大きさに対応して形成された複数の試料収容孔を有する前記試料支持面カバー、
   を備えたことを特徴とする請求項４に記載の試料ホルダ。
6. 光学透過材料製の前記試料支持部材を支持する光学透過プレート支持部材と、
   前記光学透過プレート支持部材を介して前記試料支持部材を支持する前記減圧空間形成部材と、
   を備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の試料ホルダ。
7. 複数の前記試料支持部材を支持する前記光学透過プレート支持部材、
   を備えたことを特徴とする請求項６に記載の試料ホルダ。