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JP2008262160A - Electro-optical device and method for manufacturing electro-optical device - Google Patents

Electro-optical device and method for manufacturing electro-optical device Download PDF

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JP2008262160A
JP2008262160A JP2007324315A JP2007324315A JP2008262160A JP 2008262160 A JP2008262160 A JP 2008262160A JP 2007324315 A JP2007324315 A JP 2007324315A JP 2007324315 A JP2007324315 A JP 2007324315A JP 2008262160 A JP2008262160 A JP 2008262160A
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JP
Japan
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electro
optical device
substrate
coat layer
silicon
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2007324315A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Asada
宏司 麻田
Satoshi Taguchi
聡志 田口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Epson Imaging Devices Corp
Original Assignee
Epson Imaging Devices Corp
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Publication date
Application filed by Epson Imaging Devices Corp filed Critical Epson Imaging Devices Corp
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Publication of JP2008262160A publication Critical patent/JP2008262160A/en
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electro-optical device having high durability with respect to impacts or loads and high reliability, and to provide a method for manufacturing the electro-optical device. <P>SOLUTION: The electro-optical device has a structure of a pair of substrates (10, 20) laminated to mutually face each other, wherein a coating film, consisting of a resin coating layer (13, 23) comprising polyurethane or polyester and a silicon-based coating layer (12, 22) as a hard coat layer constituted of a silicon-based material is formed on the surface of the pair of substrates in an opposite side to the surfaces that mutually face. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、透光性の基板を用いて構成される電気光学装置及び電気光学装置の製造方法に関する。   The present invention relates to an electro-optical device configured using a light-transmitting substrate and a method for manufacturing the electro-optical device.

従来より、電気光学装置として、液晶表示装置等の表示装置が知られている。例えば、液晶表示装置は、一対のガラスからなる基板を貼り合わせて構成されている。液晶表示装置等の表示装置は、携帯電話等の携帯型の電子機器に搭載されて広く使用されている。特に携帯型の電子機器の表示装置においては、表示画面の保護が重要であり、例えば特許文献1に開示されているような透明樹脂が表示画面上に塗布されることが多い。   Conventionally, a display device such as a liquid crystal display device is known as an electro-optical device. For example, a liquid crystal display device is configured by bonding a pair of glass substrates. Display devices such as liquid crystal display devices are widely used by being mounted on portable electronic devices such as mobile phones. In particular, in a display device of a portable electronic device, it is important to protect the display screen. For example, a transparent resin as disclosed in Patent Document 1 is often applied on the display screen.

特許第2793681号公報Japanese Patent No. 2793681

ところで、近年、市場における電子機器の小型化、薄型化の要求に伴い、ガラス基板の厚さを薄くすることで表示装置を薄型化する傾向にある。このように表示装置を構成するガラス基板を薄くした場合、ガラス基板の強度が劇的に低下するため、落下による衝撃や押圧による曲げ荷重により表示装置が破損してしまう可能性が高くなる。   By the way, in recent years, with the demand for downsizing and thinning of electronic devices in the market, there is a tendency to thin the display device by reducing the thickness of the glass substrate. Thus, when the glass substrate which comprises a display apparatus is made thin, since the intensity | strength of a glass substrate falls dramatically, possibility that a display apparatus will be damaged by the impact by a drop and the bending load by a press becomes high.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、衝撃や荷重に対する耐久性が高く、信頼性の高い電気光学装置及び電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a highly reliable electro-optical device and a method for manufacturing the electro-optical device that have high durability against impacts and loads.

本発明の電気光学装置は、透光性の基板を用いて構成される電気光学装置であって、前記基板の少なくとも一方の表面上に形成され、シリコン系の材料を含んで構成されるハードコート層を具備することを特徴とする。   The electro-optical device according to the present invention is an electro-optical device configured using a light-transmitting substrate, and is formed on at least one surface of the substrate and includes a silicon-based material. It is characterized by comprising a layer.

また、本発明の電気光学装置の製造方法は、透光性の基板を用いて構成される電気光学装置の製造方法であって、前記基板の少なくとも一方の表面上に、シリコン系の材料を含んで構成されるハードコート層を形成する工程を具備することを特徴とする。   The electro-optical device manufacturing method according to the present invention is a method for manufacturing an electro-optical device using a light-transmitting substrate, and includes a silicon-based material on at least one surface of the substrate. And a step of forming a hard coat layer comprising:

本発明のこのような構成によれば、基板表面にハードコート層が形成されていることにより、基板の割れの起点となる傷が発生せず、落下や荷重による破損が生じにくい電気光学装置を提供することが可能となる。   According to such a configuration of the present invention, the hard coating layer is formed on the surface of the substrate, so that an electro-optical device that does not cause scratches as a starting point of cracking of the substrate and is less likely to be damaged by dropping or loading. It becomes possible to provide.

また、前記基板は、ガラス基板であることが好ましい。   The substrate is preferably a glass substrate.

このような構成によれば、表面の傷を起点とする割れなどが起こり易いガラス基板の、落下や荷重による破損が生じにくい電気光学装置を提供することが可能となる。   According to such a configuration, it is possible to provide an electro-optical device in which a glass substrate that is likely to be cracked starting from a scratch on the surface is less likely to be damaged by dropping or loading.

また、前記ハードコート層と前記基板との間に介装される樹脂コート層を具備することが好ましい。   Moreover, it is preferable to provide the resin coat layer interposed between the said hard-coat layer and the said board | substrate.

また、前記ハードコート層を形成する工程に先立って、前記基板の少なくとも一方の表面上に、樹脂コート層を形成する工程を具備することが好ましい。   In addition, prior to the step of forming the hard coat layer, it is preferable to include a step of forming a resin coat layer on at least one surface of the substrate.

このような構成によれば、樹脂コート層が外部から電気光学装置に加えられる衝撃を分散し、吸収もしくは緩和するため、より衝撃や荷重に対する耐久性が高く、信頼性の高い電気光学装置を提供することが可能となる。   According to such a configuration, since the resin coat layer disperses, absorbs, or alleviates the impact applied to the electro-optical device from the outside, an electro-optical device having higher durability against impact and load and higher reliability is provided. It becomes possible to do.

また、前記基板を一対用い、該一対の基板間に液晶分子が挟持されていることが好ましい。   Further, it is preferable that a pair of the substrates is used and liquid crystal molecules are sandwiched between the pair of substrates.

また、前記一対の基板の、前記液晶分子が挟持されている側と反対側の両表面に、前記ハードコート層がそれぞれ形成されており、該ハードコート層の外側に、偏光板が配置されていることが好ましい。   Further, the hard coat layer is formed on both surfaces of the pair of substrates opposite to the side where the liquid crystal molecules are sandwiched, and a polarizing plate is disposed outside the hard coat layer. Preferably it is.

このような構成によれば、落下や荷重による破損が生じにくい、一対の基板間に液晶分子が挟持された電気光学装置を提供することが可能となる。   According to such a configuration, it is possible to provide an electro-optical device in which liquid crystal molecules are sandwiched between a pair of substrates that are unlikely to be damaged by dropping or loading.

前記基板は、入力機能付きのタッチパネルに用いられており、該タッチパネルを備えていることが好ましい。   The substrate is used for a touch panel with an input function, and preferably includes the touch panel.

このような構成によれば、落下や荷重による破損が生じにくいタッチパネルを備えた電気光学装置を提供することが可能となる。   According to such a configuration, it is possible to provide an electro-optical device including a touch panel that is less likely to be damaged due to dropping or load.

また、前記ハードコート層は、ディッピング法により形成されることが好ましい。   The hard coat layer is preferably formed by a dipping method.

このような構成によれば、電気光学装置の両面に一度にハードコート層を形成することが可能であるため、効率よく信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。   According to such a configuration, it is possible to form hard coat layers on both sides of the electro-optical device at a time, so that it is possible to efficiently manufacture a highly reliable electro-optical device.

また、前記ハードコート層は、スピンコート法により形成されることが好ましい。   The hard coat layer is preferably formed by a spin coat method.

このような構成によれば、電気光学装置の両面にそれぞれ形成されるハードコート層の膜厚を個別に制御することが可能である。したがって、電気光学装置の使用形態にハードコート層の膜厚を適合させることにより、より耐久性が高く、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。   According to such a configuration, it is possible to individually control the film thicknesses of the hard coat layers formed on both surfaces of the electro-optical device. Therefore, by adapting the film thickness of the hard coat layer to the usage pattern of the electro-optical device, it is possible to manufacture an electro-optical device with higher durability and higher reliability.

(第1の実施形態)
以下、図面を参照して本発明の第1の実施形態を、電気光学装置の一例としての透過型の液晶パネルを例にして説明する。図1は電気光学装置の斜視図である。図2は図1のII−II断面図である。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings, taking a transmissive liquid crystal panel as an example of an electro-optical device as an example. FIG. 1 is a perspective view of an electro-optical device. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.

図1及び図2に示すように、本実施形態の電気光学装置1は、透光性を有するガラス、石英、樹脂等で構成された一対の基板であるTFT基板10と対向基板20との間に電気光学物質である液晶41が挟持されて構成される。電気光学装置1は、電気的に接続される図示しない外部装置から入力された画像信号に基づいて液晶41の配向を変化させ、画像信号に応じて画像表示領域1aを透過する光を変調する装置である。   As shown in FIGS. 1 and 2, the electro-optical device 1 according to this embodiment includes a TFT substrate 10 and a counter substrate 20, which are a pair of substrates made of translucent glass, quartz, resin, and the like. A liquid crystal 41 that is an electro-optic material is sandwiched between the two. The electro-optical device 1 is a device that changes the orientation of the liquid crystal 41 based on an image signal input from an external device (not shown) that is electrically connected, and modulates light transmitted through the image display region 1a according to the image signal. It is.

TFT基板10と対向基板20とは、それぞれ平面視で矩形状の平板であり、枠状のシール材40を介して所定の間隔で貼り合わせられている。両基板とシール材40とに囲まれた領域には、液晶41が封入されている。   The TFT substrate 10 and the counter substrate 20 are each a rectangular flat plate in plan view, and are bonded together with a frame-shaped sealing material 40 at a predetermined interval. A liquid crystal 41 is sealed in a region surrounded by both substrates and the sealing material 40.

TFT基板10の対向基板20側の表面の画像表示領域1a内には、互いに交差して配設された複数の走査線及びデータ線、該走査線とデータ線の交差に対応して設けられた画素電極、及び該画素電極をスイッチングする薄膜トランジスタ等の積層構造11が形成されている。一方、対向基板20のTFT基板10側の表面の画像表示領域1a内には、共通電極や画素電極に対応して設けられるカラーフィルタ等の積層構造21が形成されている。   In the image display area 1a on the surface of the TFT substrate 10 on the counter substrate 20 side, a plurality of scanning lines and data lines arranged to cross each other, and corresponding to the intersections of the scanning lines and the data lines are provided. A laminated structure 11 such as a pixel electrode and a thin film transistor for switching the pixel electrode is formed. On the other hand, in the image display region 1a on the surface of the counter substrate 20 on the TFT substrate 10 side, a laminated structure 21 such as a color filter provided corresponding to the common electrode or the pixel electrode is formed.

TFT基板10は対向基板20よりも大きく形成されており、電気光学装置1を対向基板20の側から平面視した状態で、TFT基板10は、対向基板20よりも一方向に延出する張り出し部42を有している。   The TFT substrate 10 is formed larger than the counter substrate 20, and the TFT substrate 10 extends in one direction from the counter substrate 20 in a state where the electro-optical device 1 is viewed from the side of the counter substrate 20. 42.

TFT基板10の張り出し部42の対向基板20側の表面上には複数の実装端子32が形成されており、該実装端子32上に、駆動回路であるドライバIC30及び、フレキシブル配線基板(以下、FPC(Flexible Printed Circuit)と称する)31が実装されている。ドライバIC30は、FPC31を介して外部装置と電気的に接続される。なお、ドライバIC30は、FPC31上に実装されるものであってもよい。   A plurality of mounting terminals 32 are formed on the surface of the overhanging portion 42 of the TFT substrate 10 on the counter substrate 20 side. On the mounting terminals 32, a driver IC 30 as a driving circuit and a flexible wiring board (hereinafter referred to as FPC). (Referred to as “Flexible Printed Circuit”) 31 is implemented. The driver IC 30 is electrically connected to an external device via the FPC 31. The driver IC 30 may be mounted on the FPC 31.

TFT基板10に形成された走査線及びデータ線は、ドライバIC30に電気的に接続されており、ドライバIC30は、外部装置から供給される画像信号に応じて所定のタイミングで走査線及びデータ線に信号を供給することで、電気光学装置1を駆動する。   The scanning lines and data lines formed on the TFT substrate 10 are electrically connected to the driver IC 30. The driver IC 30 converts the scanning lines and data lines to the scanning lines and data lines at a predetermined timing in accordance with an image signal supplied from an external device. The electro-optical device 1 is driven by supplying a signal.

また、TFT基板10の対向基板20とは反対側の面上、及び対向基板20のTFT基板10とは反対側の面上には、それぞれ被膜14及び24が形成されている。すなわち、本実施形態の電気光学装置1は、第1の基板であるTFT基板10と第2の基板である対向基板20とを貼り合わせて構成されるものであって、その表面に被膜14及び24が形成されているのである。さらに、被膜14及び24のそれぞれの表面には、偏光板15、25が貼り付けられている。   Films 14 and 24 are formed on the surface of the TFT substrate 10 opposite to the counter substrate 20 and on the surface of the counter substrate 20 opposite to the TFT substrate 10, respectively. That is, the electro-optical device 1 of the present embodiment is configured by bonding a TFT substrate 10 as a first substrate and a counter substrate 20 as a second substrate, and has a coating 14 and a coating 14 on the surface thereof. 24 is formed. Further, polarizing plates 15 and 25 are attached to the respective surfaces of the coatings 14 and 24.

被膜14及び24は、双方とも2層からなる同一の構造を有するものであって、TFT基板10及び対向基板20に接する側(下層側)に形成された樹脂コート層13及び23と、その上層すなわち最外表面に形成されたシリコン系コート層12及び22とにより構成されている。   The coatings 14 and 24 both have the same structure consisting of two layers, and the resin coating layers 13 and 23 formed on the side (lower layer side) in contact with the TFT substrate 10 and the counter substrate 20, and the upper layers thereof That is, it is composed of the silicon-based coat layers 12 and 22 formed on the outermost surface.

樹脂コート層13及び23は、ポリエステル、ポリウレタン等の樹脂からなる透明な薄膜で、およそ0.1μmから10μmの膜厚を有する。本実施形態では、樹脂コート層13及び23の膜厚は1μmである。   The resin coat layers 13 and 23 are transparent thin films made of a resin such as polyester or polyurethane, and have a film thickness of approximately 0.1 μm to 10 μm. In the present embodiment, the resin coat layers 13 and 23 have a film thickness of 1 μm.

一方、シリコン系コート層12及び22は、シリカ(SiO2)の微粒子がバインダ中に分散されてなる透明かつ硬質な薄膜で、シリコン系材料からなるいわゆるハードコート層である。シリコン系コート層12及び22の膜厚は、およそ0.1μmから10μmであり、本実施形態では、1μmである。シリコン系コート層12及び22は、シリカ系微粒子、樹脂、有機ケイ素化合物からなるバインダ、界面活性剤、その他の添加物等を含有する液を塗布し、焼成することで形成されるものである。 On the other hand, the silicon-based coating layers 12 and 22 are so-called hard coating layers made of a silicon-based material, which are transparent and hard thin films in which silica (SiO 2 ) fine particles are dispersed in a binder. The film thickness of the silicon-based coat layers 12 and 22 is about 0.1 μm to 10 μm, and in this embodiment, 1 μm. The silicon-based coating layers 12 and 22 are formed by applying and baking a liquid containing a silica-based fine particle, a resin, a binder made of an organic silicon compound, a surfactant, and other additives.

上述した本実施形態の電気光学装置1は、その表面に、ポリエステル、ポリウレタン等の樹脂からなる樹脂コート層13及び23と、シリコン系材料からなるシリコン系コート層12及び22とからなる被膜14及び24を有するものである。   The electro-optical device 1 according to the present embodiment described above has, on its surface, a coating 14 formed of resin coat layers 13 and 23 made of a resin such as polyester and polyurethane, and silicon coat layers 12 and 22 made of a silicon-based material, and 24.

ここで、樹脂コート層13及び23は、その弾性により、外部から電気光学装置1に加えられる衝撃を分散し、吸収もしくは緩和する効果を有する。また、シリコン系コート層12及び22は、硬質な被膜であることから、電気光学装置1の表面の耐擦傷性を向上させる効果を有する。   Here, the resin coat layers 13 and 23 have an effect of dispersing, absorbing or mitigating the impact applied to the electro-optical device 1 from the outside due to its elasticity. Further, since the silicon-based coating layers 12 and 22 are hard coatings, they have an effect of improving the scratch resistance of the surface of the electro-optical device 1.

したがって、本実施形態の電気光学装置1は、その表面にシリコン系コート層12及び22が形成されていることにより、ガラス等からなる基板の割れの起点となる傷が発生せず、また樹脂コート層13及び23が形成されていることにより外部から加えられる衝撃が緩和されるため、高い耐衝撃性を有するのである。すなわち、本実施形態によれば、落下や荷重による破損が生じにくい電気光学装置を提供することが可能となる。   Therefore, the electro-optical device 1 according to the present embodiment has the silicon-based coating layers 12 and 22 formed on the surface thereof, so that no scratches are generated as a starting point for cracking of the substrate made of glass or the like. Since the layers 13 and 23 are formed, the impact applied from the outside is relieved, so that the layer has high impact resistance. That is, according to the present embodiment, it is possible to provide an electro-optical device that is less likely to be damaged due to dropping or load.

なお、ガラスからなる電気光学装置1を構成するTFT基板10及び対向基板20は、表面に傷が存在することで特に割れやすくなるものである。したがって、上述した実施形態では、電気光学装置1の表面に樹脂コート層とシリコン系コート層の2層からなる被膜を形成するものとしたが、電気光学装置1の表面の耐擦傷性を向上させるシリコン系コート層のみを形成した場合であっても、電気光学装置1の耐衝撃性を向上させる効果を有する。   Note that the TFT substrate 10 and the counter substrate 20 constituting the electro-optical device 1 made of glass are particularly susceptible to cracking due to the presence of scratches on the surface. Therefore, in the above-described embodiment, a film composed of two layers of the resin coat layer and the silicon-based coat layer is formed on the surface of the electro-optical device 1. However, the scratch resistance of the surface of the electro-optical device 1 is improved. Even when only the silicon-based coating layer is formed, the impact resistance of the electro-optical device 1 is improved.

また、上述した実施形態では、電気光学装置1の両面に被膜14及び24を形成しているが、片面、例えば対向基板20側にのみ被膜24を形成する場合であっても同様の効果を有するものである。   In the above-described embodiment, the coatings 14 and 24 are formed on both surfaces of the electro-optical device 1, but the same effect is obtained even when the coating 24 is formed only on one side, for example, the counter substrate 20 side. Is.

次に、上述した電気光学装置の製造方法、特に被膜14及び24の形成方法について以下に説明する。図3は、本実施形態の電気光学装置の製造方法を示すフローチャートである。図4は、複数の電気光学装置1を構成する2枚のマザー基板51、52の貼り合わせを説明するための図である。被膜14及び24の形成方法以外の電気光学装置の製造方法については、周知であるため、その説明は省略するか、簡単に説明する。   Next, a method for manufacturing the above-described electro-optical device, particularly a method for forming the coatings 14 and 24 will be described below. FIG. 3 is a flowchart illustrating a method for manufacturing the electro-optical device according to the present embodiment. FIG. 4 is a diagram for explaining the bonding of the two mother substrates 51 and 52 constituting the plurality of electro-optical devices 1. Since the manufacturing method of the electro-optical device other than the method of forming the coating films 14 and 24 is well known, the description thereof will be omitted or briefly described.

なお、本実施形態においては、一枚のマザー基板から複数の電気光学装置用の基板を切り出す、いわゆる多面取りにより電気光学装置を製造するものである。このマザー基板は、透光性を有している。   In the present embodiment, the electro-optical device is manufactured by so-called multiple chamfering, in which a plurality of electro-optical device substrates are cut out from a single mother substrate. This mother substrate has translucency.

まず、図4に示すようなマザー基板51上において、後にTFT基板10となる複数のTFT基板形成領域10aに、それぞれ積層構造11を形成する(ステップS1)。積層構造11は上述したように、データ線、走査線、TFT、画素電極等からなり、例えばCVD法やスパッタリング等による成膜、フォトグラフィ等によるパターニング、熱処理などによって形成される。   First, on the mother substrate 51 as shown in FIG. 4, the laminated structure 11 is formed in each of a plurality of TFT substrate forming regions 10a that will later become the TFT substrate 10 (step S1). As described above, the laminated structure 11 includes data lines, scanning lines, TFTs, pixel electrodes, and the like, and is formed by, for example, film formation by CVD or sputtering, patterning by photolithography, heat treatment, or the like.

一方、マザー基板52上において、後に対向基板20となる複数の対向基板形成領域20aに、それぞれ積層構造21を形成する(ステップS3)。積層構造21は、共通電極やカラーフィルタ及びブラックマトリクス等からなり、例えばCVD法やスパッタリング等による成膜、フォトグラフィ等によるパターニング、熱処理などによって形成される。   On the other hand, on the mother substrate 52, the laminated structure 21 is formed in each of the plurality of counter substrate forming regions 20a that will later become the counter substrate 20 (step S3). The laminated structure 21 includes a common electrode, a color filter, a black matrix, and the like, and is formed by, for example, film formation by CVD or sputtering, patterning by photolithography, heat treatment, or the like.

次に、マザー基板51及び52の一方の対向面上に、個々の電気光学装置の形成領域(10a、20a)に対応して設けられた枠状のシール材40と、複数の電気光学装置の形成領域を取り囲み、後の被膜形成工程において溶液がマザー基板間に浸入することを防止するための、マザー基板外周に設けられた枠状のシール材53を形成する(ステップS2)。本実施形態では、シール材40及び53をマザー基板51上に形成する。   Next, a frame-shaped sealing material 40 provided corresponding to the formation regions (10a, 20a) of the individual electro-optical devices on one opposing surface of the mother substrates 51 and 52, and a plurality of electro-optical devices. A frame-like sealing material 53 provided on the outer periphery of the mother substrate is formed so as to surround the formation region and prevent the solution from entering between the mother substrates in the subsequent film forming process (step S2). In the present embodiment, the sealing materials 40 and 53 are formed on the mother substrate 51.

そして、真空雰囲気中において、マザー基板51上であって、シール材40により囲まれた領域に所定量の液晶41を滴下し、さらにシール材40及び53を介してマザー基板51及び52を所定に位置決めして貼り合わせる(ステップS4)。これにより、後に電気光学装置1となる構造が複数形成された集合体が作成される。   Then, in a vacuum atmosphere, a predetermined amount of liquid crystal 41 is dropped on the mother substrate 51 and surrounded by the sealing material 40, and the mother substrates 51 and 52 are set in a predetermined manner via the sealing materials 40 and 53. Position and bond together (step S4). As a result, an aggregate in which a plurality of structures that will later become the electro-optical device 1 is formed is created.

次に、ステップS4で貼り合わせたマザー基板51及び52を基板エッチング工程にて薄くする(ステップS5)。基板エッチング工程におけるエッチング加工は、例えば、ガラスを用いたマザー基板51及び52ではフッ酸をベースとするエッチング液を用い、このエッチング液の中にマザー基板51及び52を浸漬して行う。マザー基板51及び52は、エッチング液にさらされる外表面から化学的にエッチングされて徐々に薄くなっていく。エッチング量は、エッチング時間によって決まるため、エッチング時間を適宜設定することによって得ようとするマザー基板51及び52の厚さ、換言すればエッチング加工量を決めることができる。   Next, the mother substrates 51 and 52 bonded in step S4 are thinned by a substrate etching process (step S5). The etching process in the substrate etching process is performed by, for example, using an etching solution based on hydrofluoric acid for the mother substrates 51 and 52 using glass and immersing the mother substrates 51 and 52 in the etching solution. The mother substrates 51 and 52 are chemically etched from the outer surface exposed to the etching solution and gradually become thinner. Since the etching amount is determined by the etching time, the thicknesses of the mother substrates 51 and 52 to be obtained by appropriately setting the etching time, in other words, the etching processing amount can be determined.

なお、薄くする方法としては、エッチング液に浸漬する化学的な方法の他に、基板表面を研磨する物理的な方法がよく知られている。マザー基板51及び52を薄くするにはどちらの方法を用いてもよいが、本実施形態においては、エッチング液に浸漬する化学的な方法により行っている。この方法によれば、物理的な方法に比べ基板表面を平坦化しやすいなどの利点を有する。また、この段階で基板を薄くすることで、この段階までに生じている微細な傷を取り除くことができる。   As a thinning method, in addition to a chemical method of immersing in an etching solution, a physical method of polishing the substrate surface is well known. Either method may be used to make the mother substrates 51 and 52 thinner, but in this embodiment, a chemical method of immersing in an etching solution is used. According to this method, there is an advantage that the substrate surface is easily flattened as compared with the physical method. Further, by thinning the substrate at this stage, it is possible to remove fine scratches generated up to this stage.

次に、集合体の表面上に樹脂コート層13及び23を形成する(ステップS6)。具体的には、ポリエステル又はポリウレタンを含有する溶液中に集合体を浸漬し、所定の速度で引き上げることにより集合体の表面上に溶液を塗布し、該溶液を乾燥することにより集合体の表面上にポリエステル又はポリウレタンからなる所定の膜厚の樹脂コート層13及び23を形成する。この時、様々な製造工程を経てきているマザー基板51及び52の表面には、ステップS5で完全に消失できなかった傷を含め、支持台との接触などにより傷等が発生していることがある。しかしながら、樹脂コート層13及び23を形成することにより、マザー基板51及び52の表面に発生している傷を埋めることができる。したがって後の工程によりこの傷を原因とする破損を防止することができる。   Next, resin coat layers 13 and 23 are formed on the surface of the aggregate (step S6). Specifically, the aggregate is dipped in a solution containing polyester or polyurethane, and the solution is applied on the surface of the aggregate by pulling up at a predetermined speed, and then dried on the surface of the aggregate. The resin coat layers 13 and 23 having a predetermined film thickness are formed of polyester or polyurethane. At this time, the surface of the mother substrates 51 and 52 that have undergone various manufacturing processes, including scratches that could not be completely eliminated in step S5, have been damaged due to contact with the support base, etc. There is. However, by forming the resin coat layers 13 and 23, it is possible to fill the scratches generated on the surfaces of the mother substrates 51 and 52. Therefore, it is possible to prevent the damage caused by this scratch in the subsequent process.

次に、樹脂コート層13及び23上にシリコン系コート層12及び22を形成する(ステップS7)。具体的には、シリカ系微粒子が分散され、樹脂、有機ケイ素化合物からなるバインダ、界面活性剤、その他の添加物等を含有する溶液中に集合体を浸漬し、所定の速度で引き上げることにより、溶液を樹脂コート層13及び23上に塗布する。そして該溶液を焼成することにより樹脂コート層13及び23上にシリコン系コート層12及び22を形成する。後述する基板分断の際に、分断したガラス粉等が飛び散り、このガラス粉によりマザー基板51及び52の表面に傷が発生することがある。しかしながら、シリコン系コート層12及び22を形成しておくことで、後の分断工程の際にガラス粉が飛び散っても、マザー基板51及び52の表面をガードすることができ、傷の発生を防止することができる。   Next, silicon-based coat layers 12 and 22 are formed on the resin coat layers 13 and 23 (step S7). Specifically, the silica-based fine particles are dispersed, and the aggregate is immersed in a solution containing a resin, a binder composed of an organosilicon compound, a surfactant, and other additives, and pulled up at a predetermined speed. The solution is applied on the resin coat layers 13 and 23. The silicon coating layers 12 and 22 are formed on the resin coating layers 13 and 23 by baking the solution. When the substrate is divided, which will be described later, the divided glass powder or the like is scattered, and the glass powder may cause scratches on the surfaces of the mother substrates 51 and 52. However, by forming the silicon-based coating layers 12 and 22, the surface of the mother substrates 51 and 52 can be guarded even if glass powder scatters during the subsequent cutting process, thus preventing the occurrence of scratches. can do.

次に、一対のマザー基板51及び52が貼り合わされてなる集合体を所定に切断することにより、一対のTFT基板10及び対向基板20が貼り合わされてなる電気光学装置1を個片に切り出す(ステップS8)。   Next, the electro-optical device 1 formed by bonding the pair of TFT substrates 10 and the counter substrate 20 is cut into individual pieces by cutting the assembly formed by bonding the pair of mother substrates 51 and 52 to each other (step) S8).

なお、このとき、マザー基板51及び52は外周部においてシール材53により貼り合わされていたことから、電気光学装置1の張り出し部42上には、被膜14及び24は形成されていない。この張り出し部42の実装端子32上にドライバIC30及びFPC31を実装するとともに、電気光学装置1の表面に形成された被膜14及び24の上に偏光板15及び25をそれぞれ貼り付けることにより、図1に示した電気光学装置1が完成する(ステップS9)。   At this time, since the mother substrates 51 and 52 are bonded to each other at the outer peripheral portion by the sealing material 53, the coatings 14 and 24 are not formed on the overhanging portion 42 of the electro-optical device 1. The driver IC 30 and the FPC 31 are mounted on the mounting terminal 32 of the projecting portion 42, and the polarizing plates 15 and 25 are attached to the coating films 14 and 24 formed on the surface of the electro-optical device 1, respectively. The electro-optical device 1 shown in FIG. 4 is completed (step S9).

以上に説明した電気光学装置の製造方法においては、マザー基板から電気光学装置を個片に切り出す前に、その表面に被膜14及び24を形成している。このため、ガラス粉が発生し、このガラス粉によって表面に傷がつきやすい工程である切り出し工程において、既にマザー基板の表面に硬質で耐擦傷性の高いシリコン系コート層が形成されていることから、切り出し工程における電気光学装置1の表面に傷が形成されてしまう不良の発生を防止することが可能となる。   In the electro-optical device manufacturing method described above, the coatings 14 and 24 are formed on the surface of the electro-optical device before it is cut out from the mother substrate. For this reason, glass powder is generated, and in the cutting process, which is a process in which the surface is easily damaged by this glass powder, a hard and highly scratch-resistant silicon-based coating layer has already been formed on the surface of the mother substrate. Thus, it is possible to prevent the occurrence of defects that cause scratches on the surface of the electro-optical device 1 in the cutting process.

なお、上述した実施形態においては、被膜14及び24の形成を、いわゆるディッピング法により行っているものであるが、この他のスピンコート法、スプレイコート法等の公知の方法により、被膜が形成されるものであってもよい。例えば、スピンコート法により被膜を形成した場合、TFT基板側と対向基板側とで膜厚を異なるものとすることが可能であり、電気光学装置の使用状況に合わせて耐久性をより最適化することが可能である。   In the above-described embodiment, the coatings 14 and 24 are formed by a so-called dipping method. However, the coatings are formed by other known methods such as a spin coating method and a spray coating method. It may be a thing. For example, when a film is formed by a spin coating method, the film thickness can be different between the TFT substrate side and the counter substrate side, and the durability is further optimized in accordance with the use state of the electro-optical device. It is possible.

また、上述の実施形態においては、被膜14及び24をTFT基板10の対向基板20とは反対側の面上、及び対向基板20のTFT基板10とは反対側の面上に形成する構成で説明したがこれに限らない。被膜14及び24は、TFT基板10の対向基板20側の面上、及び対向基板20のTFT基板10側の面上に形成されている構成、或いは前述の4つの面の内のいずれかの面に形成されている構成でも同等の効果を有する。   In the above-described embodiment, the coatings 14 and 24 are described as being formed on the surface of the TFT substrate 10 opposite to the counter substrate 20 and on the surface of the counter substrate 20 opposite to the TFT substrate 10. However, it is not limited to this. The coatings 14 and 24 are formed on the surface of the TFT substrate 10 on the counter substrate 20 side and on the surface of the counter substrate 20 on the TFT substrate 10 side, or any one of the four surfaces described above. Even the structure formed in the above has the same effect.

(第2の実施形態)
以下に、本発明の第2の実施形態について、図5及び図6を参照して説明する。本実施形態は、第1の実施形態に対して、電気光学装置1の製造方法の一部のみが異なる。よって、以下ではこの相違点のみを説明するものとし、また、第1の実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し、その説明を適宜に省略するものとする。
(Second Embodiment)
Below, the 2nd Embodiment of this invention is described with reference to FIG.5 and FIG.6. This embodiment differs from the first embodiment only in a part of the method for manufacturing the electro-optical device 1. Therefore, only this difference will be described below, and the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted as appropriate.

図5は、本実施形態の電気光学装置の製造方法を示すフローチャートである。図5に示すように、本実施形態の電気光学装置の製造方法は、ステップS4、すなわち液晶41を封止した集合体を得るところまでは第1の実施形態と同一である。   FIG. 5 is a flowchart illustrating a method for manufacturing the electro-optical device according to the present embodiment. As shown in FIG. 5, the manufacturing method of the electro-optical device according to this embodiment is the same as that of the first embodiment until Step S4, that is, to obtain an assembly in which the liquid crystal 41 is sealed.

本実施形態では、集合体を形成した後に、まず電気光学装置を個片に切り出す(ステップS15)。そして、切り出された個々の電気光学装置1の張り出し部42の実装端子32上にドライバIC30及びFPC31を実装する(ステップS16)。   In the present embodiment, after the assembly is formed, the electro-optical device is first cut into pieces (step S15). Then, the driver IC 30 and the FPC 31 are mounted on the mounting terminal 32 of the protruding portion 42 of each cut out electro-optical device 1 (step S16).

次に、個々の電気光学装置1の表面上に、樹脂コート層13及び23を形成する(ステップS17)。具体的には、ポリエステル又はポリウレタンを含有する溶液中に電気光学装置1を浸漬し、所定の速度で引き上げることにより電気光学装置1の表面上に溶液を塗布し、該溶液を乾燥することにより電気光学装置1の表面上にポリエステル又はポリウレタンからなる所定の膜厚の樹脂コート層13及び23を形成する。なお、このとき、FPC31の、実装端子32に接続されていない側の端子部には、樹脂コート層13及び23が形成されないように、該端子部を溶液中に浸漬させない、もしくはマスキングを行う。   Next, resin coat layers 13 and 23 are formed on the surface of each electro-optical device 1 (step S17). Specifically, the electro-optical device 1 is immersed in a solution containing polyester or polyurethane, the solution is applied on the surface of the electro-optical device 1 by pulling it up at a predetermined speed, and the solution is dried to dry the electro-optical device 1. Resin coat layers 13 and 23 made of polyester or polyurethane having a predetermined thickness are formed on the surface of optical device 1. At this time, the terminal portion of the FPC 31 that is not connected to the mounting terminal 32 is not immersed in the solution or masked so that the resin coat layers 13 and 23 are not formed.

次に、樹脂コート層13及び23上にシリコン系コート層12及び22を形成する(ステップS18)。具体的には、シリカ系微粒子が分散され、樹脂、有機ケイ素化合物からなるバインダ、界面活性剤、その他の添加物等を含有する溶液中に電気光学装置1を浸漬し、所定の速度で引き上げることにより、溶液を樹脂コート層13及び23上に塗布する。そして該溶液を焼成することにより樹脂コート層13及び23上にシリコン系コート層12及び22を形成する。ここでも同様に、FPC31の、実装端子32に接続されていない側の端子部には、樹脂コート層13及び23が形成されないように、該端子部を溶液中に浸漬させない、もしくはマスキングを行う。   Next, silicon-based coat layers 12 and 22 are formed on the resin coat layers 13 and 23 (step S18). Specifically, the electro-optical device 1 is immersed in a solution containing silica-based fine particles dispersed and containing a resin, a binder made of an organosilicon compound, a surfactant, and other additives, and pulled up at a predetermined speed. Thus, the solution is applied onto the resin coat layers 13 and 23. The silicon coating layers 12 and 22 are formed on the resin coating layers 13 and 23 by baking the solution. Similarly, the terminal portion of the FPC 31 that is not connected to the mounting terminal 32 is not immersed in the solution or masked so that the resin coat layers 13 and 23 are not formed.

以上により、電気光学装置1の表面上に被膜14及び24が形成され、電気光学装置1が完成するのである。   Thus, the coatings 14 and 24 are formed on the surface of the electro-optical device 1, and the electro-optical device 1 is completed.

本実施形態によれば、図6に示すように、実装された後のドライバIC30上に被膜24が形成される。このため、ドライバIC30は、被膜24により封止された形態となり、別途ドライバIC30を封止するモールディングが不要となる。   According to the present embodiment, as shown in FIG. 6, the coating 24 is formed on the driver IC 30 after being mounted. For this reason, the driver IC 30 is sealed with the coating 24, and a molding for sealing the driver IC 30 is not required.

また、本実施形態においては、電気光学装置1の端面部上にも被膜が形成されるため、欠けやすい電気光学装置1の端面を保護することが可能となり、より耐衝撃性の高い電気光学装置1を提供することが可能となるのである。   In the present embodiment, since a film is also formed on the end surface portion of the electro-optical device 1, it is possible to protect the end surface of the electro-optical device 1 that is easily chipped, and the electro-optical device has higher impact resistance. 1 can be provided.

なお、本実施形態では、ドライバIC30及びFPC31を実装した後に、被膜14及び24を形成しているが、ドライバIC30及びFPC31を実装する前に被膜14及び24を形成してもよい。この場合、張り出し部42の実装端子32は、被膜の形成工程に先立って例えばエポキシ樹脂等によりマスキングされる。   In this embodiment, the films 14 and 24 are formed after the driver IC 30 and the FPC 31 are mounted. However, the films 14 and 24 may be formed before the driver IC 30 and the FPC 31 are mounted. In this case, the mounting terminal 32 of the overhang portion 42 is masked with, for example, an epoxy resin or the like prior to the film forming process.

(第3の実施形態)
以下に、本発明の第3の実施形態について、図7及び図8を参照して説明する。本実施形態では、前述の実施形態との相違点のみを説明するものとする。
(Third embodiment)
Below, the 3rd Embodiment of this invention is described with reference to FIG.7 and FIG.8. In this embodiment, only differences from the above-described embodiment will be described.

図7および図8は各々、本発明を適用した電気光学装置としての入力機能付き表示装置の構成を模式的に示す説明図であり、図7は斜視図、図8は図7のA−A断面図である。なお、図8において、タッチパネルの第1の透光性電極やパターンおよび第2の透光性電極、および液晶装置の画素電極や対向電極などについてはパターンについて実線で簡略化して示してある。また、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。   7 and 8 are explanatory views schematically showing the configuration of a display device with an input function as an electro-optical device to which the present invention is applied. FIG. 7 is a perspective view, and FIG. 8 is an AA view of FIG. It is sectional drawing. In FIG. 8, the first translucent electrode and the pattern and the second translucent electrode of the touch panel, the pixel electrode and the counter electrode of the liquid crystal device, and the like are simplified and shown with solid lines. Further, in the respective drawings shown below, the dimensions and ratios of the respective constituent elements are appropriately changed from the actual ones in order to make the respective constituent elements large enough to be recognized on the drawings.

図7および図8において、本実施形態の入力機能付き表示装置100は、概ね、画像生成装置としての液晶装置105と、この液晶装置105において表示光を出射する側の面に重ねて配置されたタッチパネル101(入力装置)とを有している。   7 and 8, the display device 100 with an input function according to the present embodiment is generally disposed so as to overlap with a liquid crystal device 105 as an image generating device and a surface of the liquid crystal device 105 that emits display light. A touch panel 101 (input device).

液晶装置105は、透過型のアクティブマトリクス型液晶パネル(以下、単に液晶パネル105aという)を備えており、透過型の液晶パネル105aの場合、表示光の出射側とは反対側にバックライト装置(図示せず)が配置されている。また、液晶装置105においては、液晶パネル105aに対して表示光の出射側の素子基板150には被膜147が形成され、その反対側の対向基板160には被膜153が形成されている。被膜147及び153は、双方とも2層からなる同一の構造を有するものであって、素子基板150及び対向基板160に接する側(下層側)に形成された樹脂コート層145及び151と、その上層に形成されたシリコン系コート層146及び152とにより構成されている。さらに、被膜147の表面には第1偏光板181が重ねて配置され、及び反対側の被膜153の表面には第2偏光板182が重ねて配置されている。   The liquid crystal device 105 includes a transmissive active matrix liquid crystal panel (hereinafter simply referred to as a liquid crystal panel 105a). In the case of the transmissive liquid crystal panel 105a, a backlight device ( (Not shown) is arranged. In the liquid crystal device 105, a film 147 is formed on the element substrate 150 on the display light emitting side with respect to the liquid crystal panel 105a, and a film 153 is formed on the opposite substrate 160 on the opposite side. The coatings 147 and 153 both have the same structure consisting of two layers, and the resin coating layers 145 and 151 formed on the side (lower layer side) in contact with the element substrate 150 and the counter substrate 160, and the upper layers thereof The silicon-based coat layers 146 and 152 are formed. Further, a first polarizing plate 181 is disposed on the surface of the coating film 147, and a second polarizing plate 182 is disposed on the surface of the coating film 153 on the opposite side.

液晶パネル105aは、透光性の素子基板150と、この素子基板150に対して対向配置された状態でシール材171により貼り合わされた透光性の対向基板160と、対向基板160と素子基板150との間に保持された液晶層155とを備えている。素子基板150において、対向基板160の縁から張り出した張出領域159には駆動用IC175がCOG実装されているとともに、張出領域159にはフレキシブル基板173が接続されている。なお、素子基板150には、素子基板150上のスイッチング素子と同時に駆動回路を形成することもある。   The liquid crystal panel 105 a includes a light-transmitting element substrate 150, a light-transmitting counter substrate 160 that is bonded to the element substrate 150 with a sealant 171, a counter substrate 160, and the element substrate 150. And a liquid crystal layer 155 held between them. In the element substrate 150, a driving IC 175 is COG mounted in an overhang region 159 that protrudes from the edge of the counter substrate 160, and a flexible substrate 173 is connected to the overhang region 159. Note that a drive circuit may be formed on the element substrate 150 at the same time as the switching elements on the element substrate 150.

入力機能装置としてのタッチパネル101は、抵抗膜型であり、ITO膜(Indium Tin Oxide)からなる透光性の第1電極115が第1面111に形成された透光性の第1基板110と、ITO膜からなる第2電極125が第1面121に形成された透光性の第2基板120とが、第1面111、及び121同士が所定の間隙を介して対向するようにシール材131で貼り合わされ、その内側は空気層になっている。第1基板110および第2基板120としては透光性の薄いプラスチック基板や薄いガラス基板を用いることができ、本実施形態では、第1基板110および第2基板120のいずれにおいても、薄いガラス基板が用いられている。第1基板110において、第2基板120の縁から張り出した張出領域119にはフレキシブル基板133が接続されている。第1基板110の第2面112には、被膜143が形成されている。被膜143は、2層の構造を有するものであって、第1基板110の第2面112に接して形成された樹脂コート層141と、その上層に形成されたシリコン系コート層142とにより構成されている。即ち、第1偏光板181を挟むように素子基板150上に形成された被膜147と第1基板110の第2面112上に形成された被膜143が設けられている構成となっている。   A touch panel 101 as an input function device is a resistance film type, and includes a translucent first substrate 110 in which a translucent first electrode 115 made of an ITO film (Indium Tin Oxide) is formed on a first surface 111. A sealing material is provided so that the first electrode 111 and 121 are opposed to each other with a predetermined gap between the light-transmitting second substrate 120 having the second electrode 125 made of an ITO film formed on the first surface 121. It is bonded together at 131, and the inside is an air layer. As the first substrate 110 and the second substrate 120, a light-transmitting thin plastic substrate or a thin glass substrate can be used. In this embodiment, both the first substrate 110 and the second substrate 120 are thin glass substrates. Is used. In the first substrate 110, a flexible substrate 133 is connected to an overhang region 119 that projects from the edge of the second substrate 120. A coating 143 is formed on the second surface 112 of the first substrate 110. The coating 143 has a two-layer structure, and includes a resin coat layer 141 formed in contact with the second surface 112 of the first substrate 110 and a silicon-based coat layer 142 formed thereon. Has been. That is, the coating 147 formed on the element substrate 150 and the coating 143 formed on the second surface 112 of the first substrate 110 are provided so as to sandwich the first polarizing plate 181.

このように構成したタッチパネル101は、液晶装置105の第1偏光板181に重ねて配置されて入力機能付き表示装置100を構成する。この入力機能付き表示装置100において、液晶装置105は画像表示領域100a内に動画や静止画を表示可能であり、入力機能付き表示装置100に対して、タッチパネル101を介して入力を行う際の指示画像なども表示する。従って、利用者は、液晶装置105で表示された指示画像を見ながら、タッチパネル101を指で押下すれば第2基板120が撓みで、押下された箇所で第1電極115と第2電極125とが接触する。それ故、第1電極115と第2電極125とが接触した箇所を検出すれば、入力された情報を判別することができる。   The touch panel 101 configured as described above is arranged so as to overlap the first polarizing plate 181 of the liquid crystal device 105 to constitute the display device 100 with an input function. In the display device with an input function 100, the liquid crystal device 105 can display a moving image or a still image in the image display area 100a, and an instruction for inputting to the display device with an input function 100 via the touch panel 101. Also display images. Accordingly, when the user presses the touch panel 101 with a finger while viewing the instruction image displayed on the liquid crystal device 105, the second substrate 120 is bent, and the first electrode 115 and the second electrode 125 are pressed at the pressed position. Touch. Therefore, if the portion where the first electrode 115 and the second electrode 125 are in contact with each other is detected, the input information can be determined.

本実施形態によれば、樹脂コート層141、145及び151は、その弾性により、外部から入力機能付き表示装置100に加えられる衝撃を分散し、吸収もしくは緩和する効果を有する。また、シリコン系コート層142、146及び152は、硬質な被膜であることから、入力機能付き表示装置100の表面の耐擦傷性を向上させる効果を有する。   According to the present embodiment, the resin coat layers 141, 145, and 151 have an effect of dispersing, absorbing, or mitigating the impact applied to the display device with an input function 100 from the outside due to its elasticity. Further, since the silicon-based coat layers 142, 146 and 152 are hard coatings, they have an effect of improving the scratch resistance of the surface of the display device with an input function 100.

したがって、本実施形態の入力機能付き表示装置100は、その表面にシリコン系コート層142、146及び152が形成されていることにより、ガラス等からなる基板の割れの起点となる傷が発生しない。また、樹脂コート層141、145及び151が形成されていることにより外部から加えられる衝撃が緩和されるため、高い耐衝撃性を有するのである。すなわち、本実施形態によれば、落下や荷重による破損が生じにくい入力機能付き表示装置100を提供することが可能となる。   Therefore, the display device 100 with an input function according to the present embodiment has the silicon-based coat layers 142, 146, and 152 formed on the surface thereof, so that scratches that are the starting points of the breakage of the substrate made of glass or the like do not occur. Further, since the resin coating layers 141, 145, and 151 are formed, the impact applied from the outside is alleviated, so that the resin coating layers 141, 145, and 151 have high impact resistance. That is, according to the present embodiment, it is possible to provide the display device with an input function 100 that is less likely to be damaged by dropping or loading.

なお、ガラスからなる第1基板110、素子基板150及び対向基板160は、表面に傷が存在することで特に割れやすくなるものである。したがって、上述した実施形態では、それぞれの基板の表面に樹脂コート層とシリコン系コート層の2層からなる被膜を形成するものとしたが、第1基板110、素子基板150及び対向基板160の表面の耐擦傷性を向上させるシリコン系コート層のみを形成した場合であっても、入力機能付き表示装置100の耐衝撃性を向上させる効果を有する。   The first substrate 110, the element substrate 150, and the counter substrate 160 made of glass are particularly susceptible to cracking due to the presence of scratches on the surface. Therefore, in the above-described embodiment, a film composed of two layers of the resin coat layer and the silicon-based coat layer is formed on the surface of each substrate. However, the surfaces of the first substrate 110, the element substrate 150, and the counter substrate 160 are formed. Even when only the silicon-based coating layer that improves the scratch resistance is formed, the impact resistance of the display device 100 with an input function is improved.

また、上述した実施形態では、素子基板150、対向基板160、及び第1基板110に、それぞれ被膜147、153、及び143が形成された構成を説明したが、これに限らず、被膜がいずれかの基板に形成されている構成でも同様の効果を有するものである。この一例について図9を参照して説明する。本例では、図8と同様の構成は、同じ符号を付けて説明を省略する。
図9に示すように、入力機能装置としてのタッチパネル101の第1基板110の第2面112に被膜143が形成されているが、液晶装置105の素子基板150及び対向基板160には被膜が形成されていない。被膜143は、2層の構造を有するものであって、第1基板110の第2面112に接して形成された樹脂コート層141と、その上層に形成されたシリコン系コート層142とにより構成されている。この構成によれば、入力機能装置としてのタッチパネル101のみで用いる場合でも同様の効果を有する。
Further, in the above-described embodiment, the configuration in which the coatings 147, 153, and 143 are formed on the element substrate 150, the counter substrate 160, and the first substrate 110 has been described. The structure formed on the substrate has the same effect. An example of this will be described with reference to FIG. In this example, the same components as those in FIG.
As shown in FIG. 9, the coating 143 is formed on the second surface 112 of the first substrate 110 of the touch panel 101 as the input function device, but the coating is formed on the element substrate 150 and the counter substrate 160 of the liquid crystal device 105. It has not been. The coating 143 has a two-layer structure, and includes a resin coat layer 141 formed in contact with the second surface 112 of the first substrate 110 and a silicon-based coat layer 142 formed thereon. Has been. According to this configuration, even when only the touch panel 101 as the input function device is used, the same effect is obtained.

また、被膜は、第1基板110の第1面111、或いは素子基板150、及び対向基板160の液晶層155側の面に形成されている構成であってもよい。   The coating may be formed on the first surface 111 of the first substrate 110 or the surface of the element substrate 150 and the counter substrate 160 on the liquid crystal layer 155 side.

(第4の実施形態)
以下に、本発明の第4の実施形態について、図10を参照して説明する。本実施形態では、前述の実施形態との相違点のみを説明するものとする。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。
(Fourth embodiment)
Below, the 4th Embodiment of this invention is described with reference to FIG. In this embodiment, only differences from the above-described embodiment will be described. In the drawings shown below, the dimensions and ratios of the components are appropriately different from the actual ones in order to make the components large enough to be recognized on the drawings.

図10は、電気光学装置としての有機EL装置201の正断面図である。有機EL装置201は、透光性のガラス基板210を基体とし、その上に各構成要素が積み上げられた構成となっている。ガラス基板210上には、図示しないTFT(Thin Film Transistor)素子や各種配線等を含む回路素子層219が形成されている。さらに、ガラス基板210の回路素子層219が形成されている面と反対側の面には、被膜223が形成されている。被膜223は、2層の構造を有するものであって、ガラス基板210に接して形成された樹脂コート層221と、その上層に形成されたシリコン系コート層222とにより構成されている。   FIG. 10 is a front sectional view of an organic EL device 201 as an electro-optical device. The organic EL device 201 has a structure in which a light-transmitting glass substrate 210 is used as a base and each component is stacked thereon. A circuit element layer 219 including a TFT (Thin Film Transistor) element and various wirings (not shown) is formed on the glass substrate 210. Further, a coating 223 is formed on the surface of the glass substrate 210 opposite to the surface on which the circuit element layer 219 is formed. The coating 223 has a two-layer structure, and includes a resin coating layer 221 formed in contact with the glass substrate 210 and a silicon-based coating layer 222 formed thereon.

回路素子層219上には、ITO(Indium Tin Oxide)からなる光透過性の画素電極211が発光素子205ごとに形成されている。なお、発光素子205は、ガラス基板210の長手方向に沿って列をなすように等間隔に形成されている。この画素電極211は、回路素子層219に形成されたTFT素子に接続されている。   A light-transmissive pixel electrode 211 made of ITO (Indium Tin Oxide) is formed on the circuit element layer 219 for each light emitting element 205. The light emitting elements 205 are formed at equal intervals so as to form a row along the longitudinal direction of the glass substrate 210. The pixel electrode 211 is connected to a TFT element formed on the circuit element layer 219.

また、回路素子層219上には、無機材料からなる無機バンク212が形成されている。無機バンク212は、画素電極211の周りを囲うようにして配置されており、ガラス基板210の法線方向から見て、一部が画素電極211の外縁部に重なった状態に形成されている。無機バンク212上には、撥水性を有する有機材料からなる有機バンク213を有している。有機バンク213は、発光素子205の周囲を囲うように形成されている。   An inorganic bank 212 made of an inorganic material is formed on the circuit element layer 219. The inorganic bank 212 is disposed so as to surround the pixel electrode 211, and is formed in a state where a part thereof overlaps with the outer edge portion of the pixel electrode 211 when viewed from the normal direction of the glass substrate 210. On the inorganic bank 212, an organic bank 213 made of an organic material having water repellency is provided. The organic bank 213 is formed so as to surround the light emitting element 205.

上記画素電極211及び無機バンク212の上には、正孔輸送層214及び発光層215がこの順に配置されている。発光層215の上には、発光層215及び正孔輸送層214を覆うように、カルシウム(Ca)及びアルミニウム(Al)の積層体である陰極216が形成されている。陰極216の上には、水や酸素の侵入を防ぎ、陰極216あるいは有機EL素子203の酸化を防止するための、樹脂等からなる封止部材217が積層されている。   On the pixel electrode 211 and the inorganic bank 212, a hole transport layer 214 and a light emitting layer 215 are arranged in this order. A cathode 216 that is a laminate of calcium (Ca) and aluminum (Al) is formed on the light emitting layer 215 so as to cover the light emitting layer 215 and the hole transport layer 214. On the cathode 216, a sealing member 217 made of a resin or the like is laminated to prevent water and oxygen from entering and to prevent the cathode 216 or the organic EL element 203 from being oxidized.

また、発光層215は、エレクトロルミネッセンス現象を発現する有機発光物質の層である。画素電極211と陰極216との間に電圧を印加することによって、発光層215には、正孔輸送層214から正孔が、また、陰極216から電子が注入される。発光層215は、これらが結合したときに光を発する。発光層215からの発光スペクトルは、材料の発光特性や膜厚に依存する。本実施形態では、発光層215は赤色光を発光し、その主発光波長、すなわち発光スペクトルにおいて発光強度が最大となる波長は約630nmである。   In addition, the light emitting layer 215 is a layer of an organic light emitting material that exhibits an electroluminescence phenomenon. By applying a voltage between the pixel electrode 211 and the cathode 216, holes are injected from the hole transport layer 214 and electrons are injected from the cathode 216 into the light emitting layer 215. The light emitting layer 215 emits light when they are combined. The emission spectrum from the light emitting layer 215 depends on the light emission characteristics and film thickness of the material. In the present embodiment, the light emitting layer 215 emits red light, and the main emission wavelength, that is, the wavelength at which the emission intensity is maximum in the emission spectrum is about 630 nm.

発光層215から図10の下方に射出された光はそのままガラス基板210を透過し、また図10の上方に射出された光は陰極216によって反射された後に下方へ進み、同じくガラス基板210を透過する。このような構成の有機EL装置201は、ボトムエミッション型と呼ばれる。   The light emitted from the light emitting layer 215 downward in FIG. 10 is transmitted through the glass substrate 210 as it is, and the light emitted upward in FIG. 10 is reflected by the cathode 216 and then travels downward and is also transmitted through the glass substrate 210. To do. The organic EL device 201 having such a configuration is called a bottom emission type.

なお、有機EL装置201が、ガラス基板210とは反対側に向けて表示光を射出するトップエミッション型である場合、陰極216は、例えば、薄いカルシウム層と、ITO層などから構成して光透過性をもたせ、画素電極211の下層側には、画素電極211の略全体と重なるようにアルミニウム膜などからなる光反射層を形成する。   When the organic EL device 201 is a top emission type that emits display light toward the side opposite to the glass substrate 210, the cathode 216 includes, for example, a thin calcium layer and an ITO layer to transmit light. Therefore, a light reflecting layer made of an aluminum film or the like is formed on the lower layer side of the pixel electrode 211 so as to overlap with the entire pixel electrode 211.

本実施形態によれば、樹脂コート層221は、その弾性により、外部から有機EL装置201に加えられる衝撃を分散し、吸収もしくは緩和する効果を有する。また、シリコン系コート層222は、硬質な被膜であることから、有機EL装置201の表面の耐擦傷性を向上させる効果を有する。   According to the present embodiment, the resin coat layer 221 has an effect of dispersing, absorbing or mitigating the impact applied to the organic EL device 201 from the outside due to its elasticity. Further, since the silicon-based coat layer 222 is a hard film, it has an effect of improving the scratch resistance of the surface of the organic EL device 201.

したがって、本実施形態の有機EL装置201は、その表面にシリコン系コート層222が形成されていることにより、ガラス等からなる基板の割れの起点となる傷が発生しない。また、樹脂コート層221が形成されていることにより外部から加えられる衝撃が緩和されるため、高い耐衝撃性を有するのである。すなわち、本実施形態によれば、落下や荷重による破損が生じにくい有機EL装置201を提供することが可能となる。   Therefore, the organic EL device 201 according to the present embodiment has no silicon scratch layer as a starting point of cracking of the substrate made of glass or the like because the silicon-based coating layer 222 is formed on the surface thereof. Moreover, since the impact applied from the outside is relieved by forming the resin coat layer 221, it has high impact resistance. That is, according to the present embodiment, it is possible to provide the organic EL device 201 that is less likely to be damaged due to dropping or load.

なお、ガラス基板210は、表面に傷が存在することで特に割れやすくなるものである。したがって、上述した実施形態では、ガラス基板210の表面に樹脂コート層221とシリコン系コート層222の2層からなる被膜223を形成するものとしたが、ガラス基板210表面の耐擦傷性を向上させるシリコン系コート層222のみを形成した場合であっても、有機EL装置201の耐衝撃性を向上させる効果を有する。   The glass substrate 210 is particularly easily broken due to the presence of scratches on the surface. Therefore, in the above-described embodiment, the coating 223 composed of the two layers of the resin coat layer 221 and the silicon-based coat layer 222 is formed on the surface of the glass substrate 210. However, the scratch resistance on the surface of the glass substrate 210 is improved. Even when only the silicon-based coat layer 222 is formed, the impact resistance of the organic EL device 201 is improved.

また、本実施形態では、ガラス基板210の回路素子層219が形成されている面と反対側の面に被膜223が形成されている構成で説明したが、被膜223が、ガラス基板210の回路素子層219が形成されている面の形成されている構成でもよい。   Further, in the present embodiment, the configuration in which the coating 223 is formed on the surface of the glass substrate 210 opposite to the surface on which the circuit element layer 219 is formed has been described. The structure in which the surface in which the layer 219 is formed may be sufficient.

なお、本発明の電気光学装置は、上述した実施形態に係るアクティブマトリクス型の液晶表示装置(例えば、TFT(薄膜トランジスタ)やTFD(薄膜ダイオード)をスイッチング素子として備えた液晶表示パネル)だけでなく、パッシブマトリクス型の液晶表示装置にも同様に適用することが可能である。また、液晶表示パネルだけでなく、エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電気放出素子を用いた装置( Field Emission Display 及び Surface-Conduction Electron-Emission Display 等)等の各種の電気光学装置においても本発明を同様に適用することが可能である。   The electro-optical device of the present invention is not limited to the active matrix liquid crystal display device according to the above-described embodiment (for example, a liquid crystal display panel including a TFT (thin film transistor) or TFD (thin film diode) as a switching element), The present invention can be similarly applied to a passive matrix liquid crystal display device. In addition to liquid crystal display panels, various electro-optical devices such as electroluminescence devices, plasma display devices, electrophoretic display devices, and devices using electroluminescent elements (Field Emission Display, Surface-Conduction Electron-Emission Display, etc.) The present invention can be applied in the same way.

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及び電気光学装置の製造方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately changed without departing from the spirit or idea of the invention that can be read from the claims and the entire specification, and an electro-optical device with such a change. In addition, the manufacturing method of the electro-optical device is also included in the technical scope of the present invention.

電気光学装置の斜視図。1 is a perspective view of an electro-optical device. 図1のII−II断面図。II-II sectional drawing of FIG. 電気光学装置の製造方法を示すフローチャート。5 is a flowchart showing a method for manufacturing an electro-optical device. 複数の電気光学装置を構成する2枚のマザー基板、の貼り合わせを説明するための図。The figure for demonstrating bonding of the two mother board | substrates which comprise several electro-optical apparatuses. 第2の実施形態の電気光学装置の製造方法を示すフローチャート。9 is a flowchart illustrating a method for manufacturing the electro-optical device according to the second embodiment. 第2の実施形態の電気光学装置の断面図。FIG. 6 is a cross-sectional view of an electro-optical device according to a second embodiment. 第3の実施形態の電気光学装置としての入力機能付き表示装置の構成を示す斜視図。FIG. 10 is a perspective view illustrating a configuration of a display device with an input function as an electro-optical device according to a third embodiment. 第3の実施形態の電気光学装置としての入力機能付き表示装置の構成を示す図7のA−A断面図。FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 7 illustrating the configuration of a display device with an input function as an electro-optical device according to a third embodiment. 第3の実施形態の電気光学装置としての入力機能付き表示装置の他の一例を示す図7のA−A断面図。FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 7 illustrating another example of the display device with an input function as the electro-optical device according to the third embodiment. 第4の実施形態の電気光学装置としての有機EL装置を示す正断面図。FIG. 10 is a front sectional view showing an organic EL device as an electro-optical device according to a fourth embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 電気光学装置、 10 TFT基板、 12 シリコン系コート層、 13 樹脂コート層、 14 被膜、 20 対向基板、 22 シリコン系コート層、 23 樹脂コート層、 24 被膜、 30 ドライバIC、 31 FPC、 32 実装端子、 40 シール材、 41 液晶、 42 張り出し部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electro-optical device, 10 TFT substrate, 12 Silicon system coat layer, 13 Resin coat layer, 14 Film, 20 Opposite substrate, 22 Silicon system coat layer, 23 Resin coat layer, 24 Film, 30 Driver IC, 31 FPC, 32 Mounting Terminal, 40 sealing material, 41 liquid crystal, 42 overhang part.

Claims (10)

透光性の基板を用いて構成される電気光学装置であって、
前記基板の少なくとも一方の表面上に形成され、シリコン系の材料を含んで構成されるハードコート層を具備することを特徴とする電気光学装置。
An electro-optical device configured using a translucent substrate,
An electro-optical device comprising a hard coat layer formed on at least one surface of the substrate and including a silicon-based material.
前記基板は、ガラス基板であることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to claim 1, wherein the substrate is a glass substrate. 前記ハードコート層と前記基板との間に介装される樹脂コート層を具備することを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to claim 1, further comprising a resin coat layer interposed between the hard coat layer and the substrate. 前記基板を一対用い、該一対の基板間に液晶分子が挟持されていることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。   2. The electro-optical device according to claim 1, wherein a pair of the substrates is used, and liquid crystal molecules are sandwiched between the pair of substrates. 前記一対の基板の、前記液晶分子が挟持されている側と反対側の両表面に、前記ハードコート層がそれぞれ形成されており、
該ハードコート層の外側に、偏光板が配置されていることを特徴とする請求項4に記載の電気光学装置。
The hard coat layers are respectively formed on both surfaces of the pair of substrates opposite to the side where the liquid crystal molecules are sandwiched,
The electro-optical device according to claim 4, wherein a polarizing plate is disposed outside the hard coat layer.
前記基板は、入力機能付きのタッチパネルに用いられており、該タッチパネルを備えていることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to claim 1, wherein the substrate is used for a touch panel with an input function, and includes the touch panel. 透光性の基板を用いて構成される電気光学装置の製造方法であって、
前記基板の少なくとも一方の表面上に、シリコン系の材料を含んで構成されるハードコート層を形成する工程を具備することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
A method of manufacturing an electro-optical device configured using a light-transmitting substrate,
A method for manufacturing an electro-optical device, comprising: forming a hard coat layer including a silicon-based material on at least one surface of the substrate.
前記ハードコート層を形成する工程に先立って、前記基板の少なくとも一方の表面上に、樹脂コート層を形成する工程を具備することを特徴とする請求項7に記載の電気光学装置の製造方法。   8. The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 7, further comprising a step of forming a resin coat layer on at least one surface of the substrate prior to the step of forming the hard coat layer. 前記ハードコート層は、ディッピング法により形成されることを特徴とする請求項7に記載の電気光学装置の製造方法。   The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 7, wherein the hard coat layer is formed by a dipping method. 前記ハードコート層は、スピンコート法により形成されることを特徴とする請求項7に記載の電気光学装置の製造方法。   The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 7, wherein the hard coat layer is formed by a spin coat method.
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