[go: up one dir, main page]

JP2008139184A - 微小間隙溝保有物体の検査方法及びその物体の修正方法 - Google Patents

微小間隙溝保有物体の検査方法及びその物体の修正方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2008139184A
JP2008139184A JP2006326764A JP2006326764A JP2008139184A JP 2008139184 A JP2008139184 A JP 2008139184A JP 2006326764 A JP2006326764 A JP 2006326764A JP 2006326764 A JP2006326764 A JP 2006326764A JP 2008139184 A JP2008139184 A JP 2008139184A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
groove
hole
minute gap
honeycomb structure
slit groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006326764A
Other languages
English (en)
Inventor
Shoichi Nagatoshi
昭一 永利
Susumu Takahashi
進 高橋
Akihiko Takasu
昭彦 高須
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2006326764A priority Critical patent/JP2008139184A/ja
Priority to US11/949,908 priority patent/US7679738B2/en
Publication of JP2008139184A publication Critical patent/JP2008139184A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23PMETAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P6/00Restoring or reconditioning objects
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23PMETAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P15/00Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
    • B23P15/24Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass dies
    • B23P15/243Honeycomb dies
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C48/00Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
    • B29C48/03Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor characterised by the shape of the extruded material at extrusion
    • B29C48/09Articles with cross-sections having partially or fully enclosed cavities, e.g. pipes or channels
    • B29C48/11Articles with cross-sections having partially or fully enclosed cavities, e.g. pipes or channels comprising two or more partially or fully enclosed cavities, e.g. honeycomb-shaped
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C48/00Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
    • B29C48/25Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C48/27Cleaning; Purging; Avoiding contamination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95692Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28BSHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B3/00Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor
    • B28B3/20Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor wherein the material is extruded
    • B28B2003/203Producing shaped articles from the material by using presses; Presses specially adapted therefor wherein the material is extruded for multi-channelled structures, e.g. honeycomb structures
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29LINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
    • B29L2031/00Other particular articles
    • B29L2031/60Multitubular or multicompartmented articles, e.g. honeycomb
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49718Repairing
    • Y10T29/49748Repairing by shaping, e.g., bending, extruding, turning, etc.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Press-Shaping Or Shaping Using Conveyers (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

【課題】微小間隙溝保有物体の作製工程時間ロスをなくすことができる微小間隙溝保有物体の検査方法を提供すること。
【解決手段】複数の貫通穴6が形成され、該貫通穴6の少なくとも一部に間隙の小さいスリット溝5を有する微小間隙溝保有物体としてのハニカム構造体成形用金型1の検査方法であって、前記貫通穴6を構成する供給穴4の一端から光を照射して該貫通穴6内を通過させ、前記貫通穴6の他端のスリット溝5から前記光の透過量をカメラ15で検出し、透過量の差によって前記貫通穴6の少なくとも前記スリット溝5に生じた異常部9の存在を検出する。
【選択図】 図3

Description

本発明は、貫通穴が形成され、該貫通穴の少なくとも一部に間隙の小さい溝を有する微小間隙溝保有物体の検査方法及びその物体の修正方法に関するもので、特に隙間の小さいスリット溝を有するハニカム成形用金型の検査及び修正に好適である。
微小間隙溝保有物体の一例として自動車等の排ガス浄化用コンバータにおける触媒担体として使用されるモノリス型ハニカム構造体を成形する金型がある。ハニカム構造体は成形用金型により押し出し成形される。近年、排ガス浄化用コンバータの浄化性能を向上させるため、自動車のエンジン始動開始時より確実に排ガス浄化機能が作用するようにハニカム構造体のセルの隔壁の厚みは一段と薄壁化の傾向にある。従って、成形用金型においてもハニカム構造体の素材を押し出し成形する部位であるスリット溝の間隙も小さくしなければならない。
ハニカム構造体の成形用金型の製法については、下記特許文献1に記載されている。下記特許文献1では、スリット溝2は薄刃砥石7により研削加工で作製しており、研削加工の際スリット溝2に発生する研削屑を、供給穴4を通して吸引しスリット溝2及び供給穴4内に研削屑が残留しないようにしている。
下記特許文献1に記載のスリット溝2の溝幅は、105〜110μm(ミクロン)であるため、研削屑を吸引によって除去することも可能であるが、上述のごとく、ハニカム構造体のセルの隔壁の更なる薄壁化により、金型のスリット溝の溝幅は75μm程度の微小寸法が要求され、75μm程度の微小スリット溝の場合は、研削屑を吸引では完全に除去することが困難で研削屑が残留し金型のスリット溝内に研削屑の詰まりが生じ易い。また、金型の作製過程でスリット溝内の研削屑等の詰まりのほか、スリット溝や成形材料を供給する供給穴の表面の変形等が生じることもある。すなわち、金型作製においてスリット溝、材料供給穴を構成する微小間隙溝部を有する貫通穴内に異常(不良)部が生じる。
しかしながら、特にスリット溝に生じた異常部は金型作製時ではそのスリット溝間隙が小さいため発見できず、金型完成後のテスト打ち(成形)によって製品であるハニカム構造体内に混入した研削屑の発見、あるいはスリット溝の不良によるハニカム構造体の成形不良で認識している。そのためハニカム構造体の成形工程を戻して金型の異常部の修正を行わなければならず、金型作製からハニカム構造体成形の一連の工程において工程戻しによる工程時間ロスが生じるという問題がある。
特許第3750348号
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、微小間隙溝を有する貫通穴内に光を照射し、貫通穴を通る光の透過量の差を検出して異常部の存在を識別することにより、微小溝保有物体の作製工程時間ロスをなくすことができる微小間隙溝保有物体の検査方法を提供することにある。
また、異常部が存在する微小間隙溝を有する貫通穴内に研磨剤を押し通すことにより、微小溝保有物体の異常部の修正を確実にできる微小間隙溝保有物体の修正方法を提供することにある。
請求項1に係る発明では、複数の貫通穴が形成され、該貫通穴の少なくとも一部に間隙の小さい溝を有する微小間隙溝保有物体の検査方法であって、
前記貫通穴の一端から光を照射して該貫通穴内を透過させ、前記貫通穴の他端から前記光の透過量を検出し、前記透過量の差によって前記貫通穴の少なくとも前記溝の異常部の存在を検出している。
上記構成によれば、前記光の透過量の差を識別するようにしているから、微小間隙の溝を有する貫通穴内の前記異常部の存在をその時点で確実に検出すことができる。
請求項2に係る発明では、前記微小間隙溝保有物体を、ハニカム構造体成形用金型とし、前記貫通穴を、ハニカム構造体成形材を供給する供給穴と該供給穴から供給されたハニカム構造体成形材を所定の形状に成形するための微小間隙のスリット溝としている。
上記構成によれば、微小間隙のスリット溝を備えるハニカム構造体成形用金型でも当該金型の加工屑、変形等の前記異常部を確実に検出すことができる。
請求項3に係る発明では、前記光を前記貫通穴の一端の前記供給穴側から照射している。
上記構成によれば、前記光は前記供給穴から前記スリット溝を経て透過し、前記異常部が生じ易い前記スリット溝が光の透過量を識別する側に位置するため、より確実に前記異常部を検出すことができる。
請求項4に係る発明では、前記スリット溝の大きさは85ミクロン以下としている。
上記構成によれば、85ミクロン以下の微小間隙のスリット溝内に異常部が生じても光の透過量の差の識別であるから、確実に当該異常部を検出することができる。
請求項5に係る発明では、前記光の透過量の検出をカメラで撮影している。
上記構成によれば、前記異常部の存在を見落とすことなく、正確に検出すことができる。
請求項6に係る発明では、前記カメラで撮影した前記光の透過量の差による前記異常部を画像で表示している。
上記構成によれば、前記異常部を客観的且つ正確に見出すことができる。また、画像を記録保持できると共に、解析等に活用することができる。
請求項7に係る発明では、貫通穴が形成され、該貫通穴の少なくとも一部に間隙の小さい溝を有する微小間隙溝保有物体の前記貫通穴の少なくとも前記溝内に存在する異常部を除去修正する微小間隙溝保有物体の修正方法であって、
前記貫通穴に修正剤を押し通している。
上記構成によれば、前記貫通穴の少なくとも前記溝内に存在する異常部を確実に除去修正することができる。
請求項8に係る発明では、前記微小間隙溝保有物体をハニカム構造体成形用金型とし、前記貫通穴をハニカム構造体成形材を供給する供給穴と該供給穴から供給されたハニカム構造体成形材を所定の形状に成形するための微小間隙のスリット溝としている。
上記構成によれば、微小間隙のスリット溝を備えるハニカム構造体成形用金型でも当該金型の加工屑、変形等の前記異常部を確実に除去修正することができる。
請求項9に係る発明では、前記修正剤を、前記異常部が存在しない前記貫通穴にマスキングを施し前記貫通穴の他端の前記スリット溝側から押し通している。
上記構成によれば、前記異常部が生じ易い前記スリット溝が前記修正剤を押し出す側に位置するため、前記異常部が存在する前記貫通穴のみを、より確実に前記異常部を除去修正することができる。
請求項10に係る発明では、前記スリット溝の大きさを85ミクロン以下としている。
上記構成によれば、85ミクロン以下の微小間隙の前記スリット溝内に異常部が生じても確実に前記異常部を除去修正することができる。
請求項11に係る発明では、前記修正剤を、研磨剤を含有する粘土状母剤としている。
上記構成によれば、前記修正剤が研磨剤を含有する粘土状母剤であるから、流体状の修正剤に比べて前記スリット溝内と内壁を擦り押し出すため、良好に前記スリット溝の前記異常部を除去修正することができる。
請求項12に係る発明では、前記研磨剤を炭化珪素又はダイヤモンドとしている。
上記構成によれば、前記研磨剤は炭化珪素又はダイヤモンドであるから充分な硬度と研磨刃を有しているから、金型のスリット溝内の異常部の修正を確実に除去修正することができる。
以下、図に基づき本発明検査方法の実施形態を説明する。図1は本発明方法における微小間隙溝保有物体としてのハニカム(モノリス)構造体成形用金型1を示す。(a)はその縦断面図、(b)は(a)の右側面中央部拡大図、(c)は(a)の左側面中央部拡大図である。
先ず、本発明における微小間隙溝保有物体としての金型1について説明する。この金型1は自動車等の排ガス浄化用コンバータにおける触媒担体として使用されるハニカム構造体を成形するための金型であり、外形はほぼ四角形であり、ハニカム構造体を成形する部分はハニカム構造体の押し出し方向の形状(通常丸形)を呈している。
金型1の一端面側(底面)2から成形用材料を供給するための供給穴4が多数形成されている。また、金型1の他端側(上面)3には供給穴4と連通する微小間隙の溝としてのスリット溝5が十字状に形成されている。このスリット溝5は薄刃砥石による研削加工や放電加工によって形成される。そして本発明においては、供給穴4とスリット溝5で本発明における貫通穴6を構成する。貫通穴6を構成するスリット溝5は、本実施形態では貫通穴6の一部であるがスリット溝5が貫通穴6の全長を占めていてもよい。
貫通穴6は多数形成されると共に、各貫通穴6は互いに平行に形成されている。また、供給穴4の径は、ぼぼ0.7ミリであり、スリット溝5の幅(間隙)は65〜85(中心値幅75)ミクロンの微小間隙幅である。また、縦横スリット溝5で囲まれる四角形部分(ハニカム構造体のセルとなる部分)は約10000個形成される。また、本実施形態においては、スリット溝5に囲まれて形成される部分は四角形であったが、六角形でもよく、さらに他の形状であってもよい
上述した特許文献1に記載されているように、スリット溝の幅が105〜110ミクロン程度の比較的溝幅が広い場合は、スリット溝加工による研削屑等がスリット溝内に残留して詰まることは無いにしても、本実施形態のようにスリット溝5が上述のように微小間隙幅である場合は、図2(a)、(b)に示すように加工屑7、突起物7aやスリット溝面の変形8等の異常部9が発生する。
上述したように、このスリット溝5に生じた異常部9は金型作製時ではそのスリット溝5間隙が小さいため発見できず、金型完成後のテスト打ち(成形)によって製品であるハニカム構造体内に混入した研削屑の発見、あるいはスリット溝5の異常によるハニカム構造体の成形不良を目視で認識している。そのためハニカム構造体の成形工程を行った後に金型作製工程に戻して金型の異常部の修正を行っており、金型作製からハニカム構造体成形の一連の工程において修正のための工程戻しによる工程時間ロスが生じる。
そこで発明者は、微小間隙溝保有物体の検査方法を見出した。以下その検査方法についてハニカム構造体成形用金型を例にして説明する。この方法により作製完了直後に金型1の貫通穴6のスリット溝5内に生じた加工屑や変形等の異常部9の存在を金型加工時点で効率的に検出することができる。
図3は本発明検査方法を実施する検査装置を模式的に示すものである。上面が開放し他の面が閉塞した容器10が台11の上に載置されている。容器10の底部12には光源として蛍光灯13が水平方向に2灯取り付けられている。また、容器10の上面の開放面には透明のガラス板14が開閉自在にして取り付けられている。ガラス板14の上面には被検出体である上述の金型1がスリット溝5を上に、供給穴4を下にして載置される。
蛍光灯13は出来るだけ長さ、幅(図面と直交する方向)が大きいほど好ましい。これは蛍光灯13から照射される光を、金型1の全部の貫通穴6(供給穴4及びスリット溝5)に平行して透過させるためであり、これにより全部の貫通穴6を同じ照度の条件の下で観察することができる。
金型1のスリット溝5側上部にはデジタルカメラ15が配置してある。このカメラ15は蛍光灯13から照射され供給穴4、スリット溝5を透過してきた金型1の上面(スリット溝5側)の光景を撮影する。金型1の肉部は光が透過しないのでスリット溝5の部分が明るく撮影される。
しかしながら、図2で説明したようにスリット溝5内に加工屑7や溝5の変形8等の異常部9が存在する場合は、この異常部9を光が透過しにくく透過量が正常な場合に比べて減少するので、この異常部9が存在するスリット溝は暗く撮影される。従って、明るいスリット溝と暗いスリット溝とを比較識別すれば、暗いスリット溝を当該スリット溝内に異常部9が存在するスリット溝として検出することができる。
照射させる光は貫通穴6の一端の供給穴4側から行っており、光は供給穴4からスリット溝5を経て透過させ、加工屑7や溝5の変形8等の異常部9が存在しているスリット溝5を、透過量を識別する側に位置させることにより、より確実に異常部9の検出ができる。また、本発明検査方法では光の透過量の差の識別であるから、85ミクロン以下の微小間隙のスリット溝内に異常部が生じても確実に当該異常部を検出することができる。
スリット溝5内の異常部9の識別は目視で行っても良く、また、図示するようにカメラ15で撮影(検出)し画像をコンピュータ16の画面で表示するようにしてもよい。光の透過量の差の状態をカメラで撮影すれば、異常部9の存在を見落とすこともなく、確実且つ正確に検出できる。また、コンピュータ16による画像表示をすれば画像を保存できると共に、解析等に活用できる。また、遠隔地でも検査結果を認識することもできる。
なお、上述の実施形態では、微小間隙溝保有物体として自動車等の排ガス浄化用コンバータにおける触媒担体として使用されるハニカム構造体を成形するための金型であったが、本発明検査方法においては、被検出体としては上記金型に限定されず、微小間隙溝を有する物体であれば本発明検査方法を適用できる。また、微小間隙溝は凹状の溝に限定されず穴形状でもよい。また、上述した実施形態では加工屑7等の異常部9はスリット溝5に生じた例であったが、異常部9が供給穴4に生じた場合でもよく、本発明検査方法においては貫通穴6内に異常部9が生じた状態を対象としている。
次に、異常部が存在する微小間隙溝保有物体の修正方法を、微小間隙溝保有物体として自動車等の排ガス浄化用コンバータにおける触媒担体として使用されるハニカム構造体を成形するための金型を例にして説明する。この金型の構造は上記した金型1である。
図4は微小間隙溝保有物体の修正方法を実施するための装置を模式的に示すものである。内部が中空となった受け台20の上に微小間隙溝保有物体としての金型1がその周辺部で保持載置されている。金型1はその供給穴4を下側にし、スリット溝5を上側にして載置されている。金型1の上側には内部が中空となった押え台21が載せてあり、受け台20と押え台21で金型1を挟持している。
金型1のスリット溝5が位置する上面には、マスキング部材22が載置されている。このマスキング部材22は、異常部が存在しない貫通穴6をマスキングし、異常部9が存在する貫通穴6の部分には孔23を形成しマスキングしないようになっている。
押え台21の中空部には修正剤24がマスキング部材22の上に充填してある。この修正剤24は粘土状母剤に研磨剤を混入させたものである。粘土状母剤としては高分子樹脂であり、研磨剤としては炭化珪素(SiC)粒あるいは人工ダイヤモンド粒である。本実施形態では粒径は20〜40ミクロン(#1000〜#600)である。そして修正剤24の上には押し蓋25が載置される。なお、研磨剤の粒径はスリット溝5の間隙に応じて適宜粒径を定めればよい。
金型1の修正要領は、押し蓋25の上から力を加え、修正剤24を押し圧する。圧力が加えられた修正剤24はマスキング部材22の孔23を通り金型1のスリット溝5内を擦り通過し、更に供給穴4を通り外部に出る。
修正剤24がスリット溝5内を擦り通る過程で修正剤24に混入された研磨剤の研磨刃でスリット溝5内の加工屑7(図2(a)に表示)や突起物7a(図2(a)に表示)の除去、溝変形8(図2(b)に表示)の修正を行う。このようにして金型1の貫通穴6に修正剤24を押し通すことにより、貫通穴6の特にスリット溝5内に生じた加工屑7、突起物、溝変形8等の異常部9を確実に除去し修正することができる。
また、本発明修正方法では、修正剤24を異常部9が存在しない貫通穴にマスキングを施してスリット溝5側から押し通しているので、異常部9が存在する貫通穴6のみを修正できる。また、スリット溝5は修正剤24を押し出す側に位置するため、始めに修正剤24がスリット溝5内を擦り通るから、より確実に修正できる。
また、本発明修正方法を適用する金型1のスリット溝5の幅は85ミクロン以下であるが、このような微小間隙のスリット溝5内に異常部6が生じても修正剤24を擦り押し出すようにしているから確実に異常部6の除去修正を行うことができる。
また、本発明修正方法においては、修正剤24の母剤を粘土状部材としているので、液体状の修正剤に比べてスリット溝内と内壁を擦り押し出すため、良好に異常部9の除去修正をすることができる。
さらに本発明修正方法においては、研磨剤として炭化珪素粒あるいは人工ダイヤモンド粒としているので、充分な硬度と研磨刃で金型1のスリット溝5内の異常部9の修正を確実に除去修正ができる。
なお、上述の微小間隙溝保有物体の修正方法の被修正物体は、自動車等の排ガス浄化用コンバータにおける触媒担体として使用されるハニカム構造体を成形するための金型であったが、本発明修正方法においては、被修正体としては上記金型に限定されず、微小間隙溝を有する物体であれば本発明修正方法に適用できる。また、微小間隙溝は凹状の溝に限定されず穴でもよい。また、上述した実施形態では加工屑7等の異常部9はスリット溝5に生じた例であったが、異常部9が供給穴4に生じた場合でもよく、本発明修正方法においては貫通穴6内に異常部9が生じた状態を対象としている。
(a)は本発明方法における微小間隙溝保有物体としてのハニカム構造体成形用金型の縦断面図、(b)は(a)の左側面中央部拡大図、(c)は(a)の右側面中央部拡大図である。 本発明方法の説明に供するもので、(a)、(b)はそれぞれ図1(a)に示す金型の要部拡大断面図である。 本発明検査方法の説明に供する模式的構成図である。 本発明修正方法の説明に供する模式的構成図である。
符号の説明
1 微小間隙溝保有物体としてのハニカム構造体成形用金型
4 供給穴
5 スリット溝
6 貫通穴
7 加工屑
7a 突起物
8 変形
9 異常部
13 光源としての蛍光灯
15 カメラ
16 コンピュータ
22 マスキング部材
23 マスキング部材22の孔
24 修正剤

Claims (12)

  1. 複数の貫通穴が形成され、該貫通穴の少なくとも一部に間隙の小さい溝を有する微小間隙溝保有物体の検査方法であって、
    前記貫通穴の一端から光を照射して該貫通穴内を通過させ、
    前記貫通穴の他端から前記光の透過量を検出し、
    前記透過量の差によって前記貫通穴の少なくとも前記溝の異常部の存在を検出することを特徴する微小間隙溝保有物体の検査方法。
  2. 前記微小間隙溝保有物体は、ハニカム構造体成形用金型であり、前記貫通穴はハニカム構造体成形材を供給する供給穴と該供給穴から供給されたハニカム構造体成形材を所定の形状に成形するための微小間隙のスリット溝を有していることを特徴とする請求項1記載の微小間隙溝保有物体の検査方法。
  3. 前記光を前記貫通穴の一端の前記供給穴側から照射することを特徴とする請求項2記載の微小間隙溝保有物体の検査方法。
  4. 前記スリット溝の大きさは85ミクロン以下であることを特徴とする請求項2又は3記載の微小間隙溝保有物体の検査方法。
  5. 前記光の透過量の検出はカメラで撮影することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の微小間隙溝保有物体の検査方法。
  6. 前記カメラで撮影した前記光の透過量の差による前記異常部を画像で表示することを特徴とする請求項5記載の微小間隙溝保有物体の検査方法。
  7. 貫通穴が形成され、該貫通穴の少なくとも一部に間隙の小さい溝を有する微小間隙溝保有物体の前記貫通穴の少なくとも前記溝内に存在する異常部を除去修正する微小間隙溝保有物体の修正方法であって、
    前記貫通穴に修正剤を押し通すことを特徴とする微小間隙溝保有物体の修正方法。
  8. 前記微小間隙溝保有物体は、ハニカム構造体成形用金型であり、前記貫通穴はハニカム構造体成形材を供給する供給穴と該供給穴から供給されたハニカム構造体成形材を所定の形状に成形するための微小間隙のスリット溝を有していることを特徴とする請求項7記載の微小間隙溝保有物体の修正方法。
  9. 前記修正剤は前記異常部が存在しない前記貫通穴にマスキングを施し前記貫通穴の他端の前記スリット溝側から押し通すことを特徴とする請求項8記載の微小間隙溝保有物体の修正方法。
  10. 前記スリット溝の大きさは85ミクロン以下であることを特徴とする請求項8又は9記載の微小間隙溝保有物体の修正方法。
  11. 前記修正剤は研磨剤を含有する粘土状母材であることを特徴とする請求項7〜10のいずれか一つに記載の微小間隙溝保有物体の修正方法。
  12. 前記研磨剤は炭化珪素又はダイヤモンドであることを特徴とする請求項11記載の微小間隙溝保有物体の修正方法。
JP2006326764A 2006-12-04 2006-12-04 微小間隙溝保有物体の検査方法及びその物体の修正方法 Pending JP2008139184A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006326764A JP2008139184A (ja) 2006-12-04 2006-12-04 微小間隙溝保有物体の検査方法及びその物体の修正方法
US11/949,908 US7679738B2 (en) 2006-12-04 2007-12-04 Method of inspecting a body having fine-gap grooves and method of repairing the body

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006326764A JP2008139184A (ja) 2006-12-04 2006-12-04 微小間隙溝保有物体の検査方法及びその物体の修正方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008139184A true JP2008139184A (ja) 2008-06-19

Family

ID=39600807

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006326764A Pending JP2008139184A (ja) 2006-12-04 2006-12-04 微小間隙溝保有物体の検査方法及びその物体の修正方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7679738B2 (ja)
JP (1) JP2008139184A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013105467A1 (ja) * 2012-01-12 2013-07-18 住友化学株式会社 グリーンハニカム成形体の欠陥を検査する方法、グリーンハニカム構造体の製造方法及びグリーンハニカム成形体の欠陥の検査装置
JP2022524284A (ja) * 2019-01-30 2022-05-02 コーニング インコーポレイテッド 押出ダイの準備方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2269790B1 (en) * 2008-03-28 2015-01-21 Hitachi Metals, Ltd. Die for forming ceramic honeycomb structure
US8049878B2 (en) * 2008-08-22 2011-11-01 Corning Incorporated Systems and methods for detecting defects in ceramic filter bodies
CN103753101B (zh) * 2014-01-16 2016-08-24 广东鸿图科技股份有限公司 一种浸泡式的压铸毛坯热态矫形方法及装置
US9996766B2 (en) 2015-05-01 2018-06-12 Corning Incorporated Imaging-based methods for detecting and measuring defects in extruded cellular ceramic articles
US10769772B2 (en) 2015-05-21 2020-09-08 Corning Incorporated Methods for inspecting cellular articles
US9994137B2 (en) * 2016-02-16 2018-06-12 Ford Global Technologies, Llc Deformable armrest having a patterned array of channels
CN114270280A (zh) * 2019-06-28 2022-04-01 康宁股份有限公司 使用光学尺寸标注来制造工件

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003028032A (ja) * 2001-07-13 2003-01-29 Denso Corp 燃料噴射ノズルボディ及びその加工方法
JP2003270158A (ja) * 2002-03-12 2003-09-25 Denso Corp 貫通検査装置
JP2004037248A (ja) * 2002-07-03 2004-02-05 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 検査装置および貫通孔の検査方法
JP3750348B2 (ja) * 1997-06-09 2006-03-01 株式会社デンソー 金型の製造方法

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0612253B2 (ja) * 1989-03-01 1994-02-16 日本碍子株式会社 ハニカム成形用口金の検査方法
JPH06258455A (ja) 1993-03-03 1994-09-16 Nec Toyama Ltd 印刷配線板穴埋め検査機
JP3814849B2 (ja) * 1995-09-28 2006-08-30 株式会社デンソー ハニカム構造体成形用ダイス及びこれを用いたハニカム構造体の成形方法
US6290837B1 (en) * 1997-06-09 2001-09-18 Denso Corporation Method for machining slots in molding die
US6448530B1 (en) * 1998-05-11 2002-09-10 Denso Corporation Metal mold for molding a honeycomb structure and method of producing the same
JP3631652B2 (ja) 2000-01-20 2005-03-23 日本碍子株式会社 X線を用いた非破壊検査方法
JP2002131240A (ja) * 2000-10-27 2002-05-09 Seiko Epson Corp 透孔内異物検査の管理方法
JP3903733B2 (ja) * 2001-04-27 2007-04-11 株式会社デンソー ハニカム構造体成形用金型
JP2003130799A (ja) * 2001-10-26 2003-05-08 Ccs Inc 検査用照明装置
US7366340B1 (en) * 2004-06-22 2008-04-29 Reflect Scientific (Dba) Miralogix Method and system for optically determining perpendicularity of end surface of part formed from parallel channels
US7701570B2 (en) * 2005-12-12 2010-04-20 Corning Incorporated Collimated light method and system for detecting defects in honeycombs

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3750348B2 (ja) * 1997-06-09 2006-03-01 株式会社デンソー 金型の製造方法
JP2003028032A (ja) * 2001-07-13 2003-01-29 Denso Corp 燃料噴射ノズルボディ及びその加工方法
JP2003270158A (ja) * 2002-03-12 2003-09-25 Denso Corp 貫通検査装置
JP2004037248A (ja) * 2002-07-03 2004-02-05 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 検査装置および貫通孔の検査方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013105467A1 (ja) * 2012-01-12 2013-07-18 住友化学株式会社 グリーンハニカム成形体の欠陥を検査する方法、グリーンハニカム構造体の製造方法及びグリーンハニカム成形体の欠陥の検査装置
JP2013142669A (ja) * 2012-01-12 2013-07-22 Sumitomo Chemical Co Ltd グリーンハニカム成形体の欠陥を検査する方法、グリーンハニカム構造体の製造方法及びグリーンハニカム成形体の欠陥の検査装置
US9067376B2 (en) 2012-01-12 2015-06-30 Sumitomo Chemical Company, Limited Green honeycomb molding defect examination method, green honeycomb structure manufacturing method, and green honeycomb molding defect examination device
JP2022524284A (ja) * 2019-01-30 2022-05-02 コーニング インコーポレイテッド 押出ダイの準備方法

Also Published As

Publication number Publication date
US7679738B2 (en) 2010-03-16
US20080225302A1 (en) 2008-09-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7679738B2 (en) Method of inspecting a body having fine-gap grooves and method of repairing the body
EP1531362A3 (en) Semiconductor manufacturing apparatus and pattern formation method
JP5369092B2 (ja) 目封止ハニカム構造体の製造装置、及びその製造方法
US5102434A (en) Method of inspecting a honeycomb structural body for purifying exhaust gases and apparatus used in the method
EP2613193A3 (en) Apparatus and method for maintaining immersion fluid in the gap under the projection lens during wafer exchange in an immersion lithography machine
JP2009006628A (ja) ハニカム構造体の目封止用マスク、目封止装置、目封止方法、及び製造方法
DE60328135D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur handhabung eines defekten bereiches für ein einmalig beschreibbares aufzeichnungsmedium
JP4665039B2 (ja) ハニカム構造体欠陥検査装置、及びハニカム構造体欠陥検査方法
JP2009224402A (ja) 真空吸着装置
JP3524540B2 (ja) ガラス基板の化学加工方法・化学加工装置及びガラス基板
JP2005059512A (ja) 目封止ハニカム構造体の製造方法、これに用いる目封止部形成用マスク、及びその製造方法
DE60030206D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung von Flachdruckplatten
US20100283213A1 (en) Sealing device for prismatic body
DE60311479D1 (de) Vorrichtung zur Reinigung und Inspektion von Retikeln
EP2216643A1 (en) Method for detecting mask defect of end surface of honeycomb structure
JP2006281537A (ja) ハニカム構造体押出成形用装置
JP2014094318A (ja) セラミックハニカムフィルタの製造方法、及びセラミックハニカムフィルタ
KR20120090803A (ko) 펠리클 프레임
JP2005179166A (ja) 薄肉ガラスリングの製造方法
JPH06329472A (ja) 窒化珪素質焼結体
JP2005247687A (ja) ガラス基板の化学加工方法
JP2006053105A (ja) 円形若しくはリング状ワークの検査装置および検査方法
JP2023059911A (ja) 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置
JP2005334983A (ja) 金型の製造方法
JP2010127693A (ja) 純水中の微粒子測定用の微粒子濾過装置及び微粒子測定方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090327

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110407

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110412

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110906