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JP2008126471A - Printer head inspection apparatus, printer head inspection method, and printer head manufacturing method - Google Patents

Printer head inspection apparatus, printer head inspection method, and printer head manufacturing method Download PDF

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JP2008126471A JP2006312789A JP2006312789A JP2008126471A JP 2008126471 A JP2008126471 A JP 2008126471A JP 2006312789 A JP2006312789 A JP 2006312789A JP 2006312789 A JP2006312789 A JP 2006312789A JP 2008126471 A JP2008126471 A JP 2008126471A
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JP2006312789A
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Masashi Atsumi
誠志 渥美
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Abstract

【課題】簡略化された方法でプリンタヘッドの発光輝度特性及び発光波長特性を検査することのできるプリンタヘッドの検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のプリンタヘッドの検査装置CAは、一方向に配列された複数の発光素子9を備え、前記複数の発光素子9から射出された光によって像担持体上に静電潜像を形成するプリンタヘッド1の検査装置であって、前記像担持体の感光特性に合致した波長の光のみを透過するバンドパスフィルタ55と、前記像担持体の感光特性に合致した波長の光に感度を有する撮像装置53と、前記バンドパスフィルタ55及び前記撮像装置53を用いて撮像された前記発光素子9の発光状態の画像を処理し、前記像担持体が感光する波長の範囲内における前記発光素子9の発光輝度を検出する画像処理装置58とを備えることを特徴とする。
【選択図】図1
A printer head inspection apparatus capable of inspecting light emission luminance characteristics and light emission wavelength characteristics of a printer head by a simplified method.
A printer head inspection apparatus CA according to the present invention includes a plurality of light emitting elements 9 arranged in one direction, and an electrostatic latent image is formed on an image carrier by light emitted from the plurality of light emitting elements 9. A bandpass filter 55 that transmits only light having a wavelength that matches the photosensitive characteristic of the image carrier, and light having a wavelength that matches the photosensitive characteristic of the image carrier. The imaging device 53 having sensitivity, the band-pass filter 55 and the image of the light emitting state of the light emitting element 9 imaged using the imaging device 53 are processed, and the image carrier within the wavelength range that is exposed to light. And an image processing device 58 for detecting the light emission luminance of the light emitting element 9.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、ラインプリンタに用いられるプリンタヘッドの検査装置、プリンタヘッドの検査方法並びにプリンタヘッドの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a printer head inspection apparatus used in a line printer, a printer head inspection method, and a printer head manufacturing method.

従来、電子写真方式を利用したプリンタとして、ラインプリンタ(画像形成装置)が知られている。このラインプリンタは、被露光部となる像担持体(例えば、感光体ドラム)に、帯電器、ライン状のプリンタヘッド、現像器、転写器などの装置を近接配置したものである。すなわち、帯電器によって帯電された像担持体に、プリンタヘッドに設けられた発光素子の選択的な発光動作で露光を行うことにより静電潜像(結像)を形成し、この静電潜像を現像器から供給されるトナーで現像して、そのトナー像を転写器で用紙に転写するようにしたものである。   Conventionally, a line printer (image forming apparatus) is known as a printer using an electrophotographic system. In this line printer, devices such as a charger, a line-shaped printer head, a developing device, and a transfer device are arranged close to an image carrier (for example, a photosensitive drum) serving as an exposed portion. In other words, an electrostatic latent image (image formation) is formed on the image carrier charged by the charger by performing selective light emission operation of a light emitting element provided in the printer head, and this electrostatic latent image is formed. Is developed with toner supplied from a developing device, and the toner image is transferred onto a sheet by a transfer device.

ライン状のプリンタヘッドに設けられる発光素子としては、LED素子やEL素子が用いられている。また必要に応じて、発光素子と像担持体との間に複数の屈折率分布型レンズを配列したレンズアレイが配設される。このように構成されたプリンタヘッドにおいては、発光素子からの射出光が、レンズアレイを透過し、像担持体上に正立等倍結像することにより、像担持体上に静電潜像が形成される(例えば、特許文献1参照)。   As a light emitting element provided in a line-shaped printer head, an LED element or an EL element is used. If necessary, a lens array in which a plurality of gradient index lenses are arranged is disposed between the light emitting element and the image carrier. In the printer head configured as described above, the light emitted from the light emitting element passes through the lens array and forms an equal-magnification image on the image carrier so that an electrostatic latent image is formed on the image carrier. It is formed (for example, see Patent Document 1).

このようなラインプリンタにおいては、量産化を目的とした研究が行われており、必要な特性をより精密且つ効率的に測定するための測定装置及び測定方法の研究も盛んに行われている。プリンタヘッドの構成、方式は多岐にわたるため、それぞれの構成、方式に応じて測定、評価すべき項目も多岐にわたっている。特に、光学的観点からは、IVL特性(電流電圧輝度特性)、発光輝度特性、発光波長特性等が重視される。   In such a line printer, research aimed at mass production has been conducted, and research on a measurement apparatus and a measurement method for measuring necessary characteristics more precisely and efficiently has been actively conducted. Since the configuration and method of the printer head are diverse, there are various items to be measured and evaluated according to each configuration and method. In particular, from an optical point of view, IVL characteristics (current voltage luminance characteristics), light emission luminance characteristics, light emission wavelength characteristics, and the like are emphasized.

ここで、ラインプリンタにおいては、プリンタヘッドに形成される数百〜数千に及ぶ発光素子の特性を均一に制御する必要があり、プリンタヘッドの開発や工程管理においては、諸特性の測定と評価は欠かせない事項となっている。例えば、有機EL素子を用いたプリンタヘッドでは、発光に寄与するレイヤーの製造上のばらつきによって発光波長のピークがシフトすることが知られており、像担持体の感光特性(受光波長特性)からずれた場合に、像担持体上での十分な潜像形成パワーが得られないという問題があった。そのため、プリンタヘッドに形成された発光素子の発光輝度及び発光波長を一つ一つ検査する必要があり、その検査工程に要する時間と費用は膨大なものとなっていた。   Here, in a line printer, it is necessary to uniformly control the characteristics of hundreds to thousands of light emitting elements formed on the printer head. In the development and process management of the printer head, various characteristics are measured and evaluated. Is an indispensable matter. For example, in a printer head using an organic EL element, it is known that the peak of the emission wavelength shifts due to manufacturing variations of layers that contribute to light emission, which deviates from the photosensitive characteristics (light reception wavelength characteristics) of the image carrier. In such a case, there is a problem that sufficient latent image forming power cannot be obtained on the image carrier. Therefore, it is necessary to inspect the light emission luminance and the light emission wavelength of the light emitting elements formed on the printer head one by one, and the time and cost required for the inspection process have been enormous.

一方、有機EL素子等を用いたプリンタヘッドについては、未だ量産技術が確立されておらず、検査方法についても、特許文献2に開示されるような既存の有機ELディスプレイの検査方法を参考にしつつ行われているのが現状である。例えば、プリンタヘッドの発光輝度及び発光波長を検査する場合には、まず、プリンタヘッドをCCDカメラでスキャンし、プリンタヘッド上に形成された個々の発光素子について発光輝度の特性を検査する。続いて、プリンタヘッドを分光器に設けられたCCDカメラで再度スキャンし、個々の発光素子について発光波長の特性を検査する。
特開平9−226171号公報 特開2006−266750号公報
On the other hand, with respect to printer heads using organic EL elements or the like, mass production technology has not yet been established, and the inspection method is also referred to the existing inspection method for organic EL displays as disclosed in Patent Document 2. This is what is being done. For example, when inspecting the light emission luminance and light emission wavelength of a printer head, first, the printer head is scanned with a CCD camera, and the light emission luminance characteristics of each light emitting element formed on the printer head are inspected. Subsequently, the printer head is scanned again with a CCD camera provided in the spectroscope, and the characteristics of the emission wavelength of each light emitting element are inspected.
JP-A-9-226171 JP 2006-266750 A

しかしながら、この方法では、数千ドットに及ぶ発光素子を2回にわたってスキャンする必要があるため、その測定に要する時間及び費用は膨大なものになるという問題があった。一方、プリンタヘッドにおいては、ディスプレイの場合と異なり、個々の発光素子について、色度を含めた詳細な発光波長の特性を検査する必要はない。すなわち、プリンタヘッドにおいては、発光素子の発光波長が像担持体の感光特性に適合する範囲内であり、且つその範囲内で得られる光量が所定の範囲内に収まっていれば、十分な潜像形成パワーを得ることができ、従って、良品と判断することができる。このため、ディスプレイで適用されている方法をそのままプリンタヘッドに適用することは、工程上無駄が多く、製造コストを上昇させる原因となる。以上のような背景から、より簡略化された方法でプリンタヘッドを検査する方法が求められていた。   However, in this method, since it is necessary to scan a light emitting element of several thousand dots twice, there is a problem that the time and cost required for the measurement become enormous. On the other hand, in the printer head, unlike the case of the display, it is not necessary to inspect the detailed light emission wavelength characteristics including chromaticity for each light emitting element. That is, in the printer head, if the emission wavelength of the light emitting element is within a range suitable for the photosensitive characteristics of the image carrier, and the amount of light obtained within that range is within a predetermined range, a sufficient latent image is obtained. The forming power can be obtained, and therefore it can be determined as a non-defective product. For this reason, applying the method applied to the display to the printer head as it is is wasteful in the process and increases the manufacturing cost. From the above background, a method for inspecting a printer head by a more simplified method has been demanded.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、簡略化された方法でプリンタヘッドの発光輝度特性及び発光波長特性を検査することのできるプリンタヘッドの検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。また、このような検査方法を用いることにより、製造コストを低減することのできるプリンタヘッドの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a printer head inspection apparatus and inspection method capable of inspecting light emission luminance characteristics and light emission wavelength characteristics of a printer head by a simplified method. For the purpose. It is another object of the present invention to provide a printer head manufacturing method that can reduce the manufacturing cost by using such an inspection method.

上記の課題を解決するため、本発明のプリンタヘッドの検査装置は、一方向に配列された複数の発光素子を備え、前記複数の発光素子から射出された光によって像担持体上に静電潜像を形成するプリンタヘッドの検査装置であって、前記像担持体の感光特性に合致した波長の光のみを透過するバンドパスフィルタと、前記像担持体の感光特性に合致した波長の光に感度を有する撮像装置と、前記バンドパスフィルタ及び前記撮像装置を用いて撮像された前記発光素子の発光状態の画像を処理し、前記像担持体が感光する波長の範囲内における前記発光素子の発光輝度を検出する画像処理装置とを備えることを特徴とする。この構成によれば、分光器に比べて安価なバンドパスフィルタの導入のみで発光波長の検査を行うことができるため、分光器を用いる場合に比べて検査工程に要するコストを低減することができる。また、発光輝度の検査と発光波長の検査とを同時に行うことができるため、分光器を用いて発光素子を2回スキャンする場合に比べて検査時間を大幅に短縮することができる。   In order to solve the above-described problems, a printer head inspection apparatus according to the present invention includes a plurality of light emitting elements arranged in one direction, and electrostatic latent images are formed on an image carrier by light emitted from the plurality of light emitting elements. A printer head inspection apparatus for forming an image, wherein a band-pass filter that transmits only light having a wavelength that matches the photosensitive characteristics of the image carrier and sensitivity to light having a wavelength that matches the photosensitive characteristics of the image carrier. A light emitting luminance of the light emitting element within a wavelength range that the image carrier is exposed to, and processing an image of a light emitting state of the light emitting element imaged using the bandpass filter and the imaging device And an image processing device for detecting the image. According to this configuration, since the emission wavelength can be inspected only by introducing an inexpensive bandpass filter compared to the spectroscope, the cost required for the inspection process can be reduced compared to the case of using the spectroscope. . In addition, since the inspection of the emission luminance and the inspection of the emission wavelength can be performed at the same time, the inspection time can be significantly shortened compared to the case where the light emitting element is scanned twice using a spectroscope.

本発明のプリンタヘッドの検査方法は、一方向に配列された複数の発光素子を備え、前記複数の発光素子から射出された光によって像担持体上に静電潜像を形成するプリンタヘッドの検査方法であって、前記像担持体の感光特性に合致した波長の光のみを透過するバンドパスフィルタと前記像担持体の感光特性に合致した波長の光に感度を有する撮像装置とを用いて前記発光素子の発光状態を撮像する工程と、前記発光素子の発光状態の画像を処理し、前記像担持体が感度を有する波長の範囲内における前記発光素子の発光輝度を検出する工程と、前記発光素子の発光輝度に基づいて前記発光素子の良否を判定する工程とを備えることを特徴とする。この方法によれば、分光器に比べて安価なバンドパスフィルタの導入のみで発光波長の検査を行うことができるため、分光器を用いる場合に比べて検査工程に要するコストを低減することができる。また、発光輝度の検査と発光波長の検査とを同時に行うことができるため、分光器を用いて発光素子を2回スキャンする場合に比べて検査時間を大幅に短縮することができる。   A printer head inspection method according to the present invention includes a plurality of light emitting elements arranged in one direction, and forms an electrostatic latent image on an image carrier by light emitted from the plurality of light emitting elements. A bandpass filter that transmits only light having a wavelength that matches the photosensitive characteristic of the image carrier and an imaging device that is sensitive to light having a wavelength that matches the photosensitive characteristic of the image carrier. Imaging a light emitting state of the light emitting element, processing an image of the light emitting state of the light emitting element, detecting a light emission luminance of the light emitting element within a wavelength range in which the image carrier has sensitivity, and the light emission And a step of determining the quality of the light emitting element based on the light emission luminance of the element. According to this method, since the emission wavelength can be inspected only by introducing an inexpensive bandpass filter compared to the spectroscope, the cost required for the inspection process can be reduced compared to the case of using the spectroscope. . In addition, since the inspection of the emission luminance and the inspection of the emission wavelength can be performed at the same time, the inspection time can be significantly shortened compared to the case where the light emitting element is scanned twice using a spectroscope.

本発明においては、前記発光素子を撮像する工程では、前記複数の発光素子を複数の測定区画に分割し、各々の前記測定区画毎に複数の前記発光素子を撮像することが望ましい。この方法によれば、1つの測定区画に含まれる複数の発光素子を一括で撮像及び画像処理するため、発光素子を1つ1つ撮像して画像処理する場合に比べて検査効率を向上することができる。   In the present invention, in the step of imaging the light emitting element, it is desirable to divide the plurality of light emitting elements into a plurality of measurement sections and to image the plurality of light emitting elements for each of the measurement sections. According to this method, since a plurality of light emitting elements included in one measurement section are collectively imaged and image processed, the inspection efficiency is improved as compared with the case where each light emitting element is imaged and image processed. Can do.

本発明のプリンタヘッドの製造方法は、基体上に複数の発光素子を形成する工程と、前記複数の発光素子の発光輝度及び発光波長を検査する検査工程とを備え、前記検査工程は、前述した本発明のプリンタヘッドの検査方法により行われることを特徴とする。この方法によれば、プリンタヘッドの検査工程を前述した本発明の検査方法により行うため、プリンタヘッドの製造時間を短縮でき、製造コストも低減することができる。   The printer head manufacturing method of the present invention includes a step of forming a plurality of light emitting elements on a substrate, and an inspection step of inspecting light emission luminance and light emission wavelength of the plurality of light emitting elements. This is performed by the printer head inspection method of the present invention. According to this method, since the inspection process of the printer head is performed by the above-described inspection method of the present invention, the manufacturing time of the printer head can be shortened and the manufacturing cost can be reduced.

本発明においては、前記発光素子は、反射膜と半透過反射膜との間に発光層を含む1又は2以上の層からなる機能層を備え、前記反射膜と前記半透過反射膜との間の光学的距離に対応した共振波長の光のみが増幅されて取り出されるものであることが望ましい。この方法によれば、発光輝度が高く、シャープなスペクトルを有するプリンタヘッドを提供することができる。この場合、機能層の膜厚異常によってピーク波長がシフトする場合があるが、このようなピーク波長のシフトはバンドパスフィルタによって発光輝度の異常として認識できるため、発光輝度の異常とピーク波長の異常とを同時に行うことができ、検査時間を大幅に短縮することができる。   In the present invention, the light-emitting element includes a functional layer including one or more layers including a light-emitting layer between the reflective film and the semi-transmissive reflective film, and between the reflective film and the semi-transmissive reflective film. It is desirable that only light having a resonance wavelength corresponding to the optical distance is amplified and extracted. According to this method, a printer head having high emission luminance and a sharp spectrum can be provided. In this case, the peak wavelength may shift due to an abnormal thickness of the functional layer, but such a shift in the peak wavelength can be recognized as an abnormal luminance by the bandpass filter. The inspection time can be greatly shortened.

本発明においては、前記発光素子を形成する工程では、前記機能層を形成するための条件を先に検査された他のプリンタヘッドの発光素子の検査結果に基づいて設定することが望ましい。例えば、前記発光素子を形成する工程では、前記機能層を構成する一又は二以上の層を湿式成膜法で形成し、前記層を形成するための液体材料の粘度を先に検査された他のプリンタヘッドの発光素子の検査結果に基づいて設定することが望ましい。このように検査工程と製造工程とを並行して行い、直近の検査データを次ロットの機能層の製造条件にフィードバックすることで、効率的な製造が可能になり、製造歩留まりも向上することができる。   In the present invention, in the step of forming the light emitting element, it is desirable to set conditions for forming the functional layer based on the inspection results of the light emitting elements of other printer heads that have been inspected previously. For example, in the step of forming the light emitting element, one or more layers constituting the functional layer are formed by a wet film forming method, and the viscosity of the liquid material for forming the layer is first inspected It is desirable to set based on the inspection result of the light emitting element of the printer head. In this way, the inspection process and the manufacturing process are performed in parallel, and the latest inspection data is fed back to the manufacturing conditions of the functional layer of the next lot, thereby enabling efficient manufacturing and improving the manufacturing yield. it can.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. This embodiment shows one aspect of the present invention, and does not limit the present invention, and can be arbitrarily changed within the scope of the technical idea of the present invention. Moreover, in the following drawings, in order to make each structure easy to understand, an actual structure and a scale, a number, and the like in each structure are different.

図1は、本発明の検査装置の一実施形態を示す概略構成図である。検査装置CAは、ライン状のプリンタヘッド1を撮像し、撮像した画像データに基づいてプリンタヘッド1の表示むらや画素欠陥を検査するものである。プリンタヘッド1は、一方向に配列された複数の発光素子9を画素として備え、前記複数の発光素子9から射出された光によって、像担持体である感光体ドラム上に静電潜像を形成するものである。なお、以下の説明では、「ライン状のプリンタヘッド」を単に「ラインヘッド」と略記することとする。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an inspection apparatus of the present invention. The inspection apparatus CA images the line-shaped printer head 1 and inspects display unevenness and pixel defects of the printer head 1 based on the captured image data. The printer head 1 includes a plurality of light emitting elements 9 arranged in one direction as pixels, and forms an electrostatic latent image on a photosensitive drum as an image carrier by light emitted from the plurality of light emitting elements 9. To do. In the following description, “line printer head” is simply abbreviated as “line head”.

発光素子9は、例えば有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、「エレクトロルミネッセンス」を「EL」と略記する)であり、一対の電極間に発光層を含む一又は二以上の層からなる機能層を備えている。機能層は反射膜と半透過反射膜との間に配置されており、反射膜と半透過反射膜との間の光学的距離に対応した共振波長の光のみが増幅されて取り出されるようになっている。この種の発光素子9では、発光に寄与するレイヤーの製造上のばらつきによって発光波長のピークがシフトすることが知られており、発光素子の発光特性と感光体ドラムの感光特性(受光波長特性)とがどの程度一致するかが、感光体ドラム上における潜像形成パワーに大きく影響する。したがって、検査装置CAにおいては、発光素子9の発光特性として、特に発光素子9のピーク波長、半値幅並びに感光体ドラムが感度を有する波長の範囲内における発光輝度を検査することが重要となる。   The light emitting element 9 is, for example, an organic electroluminescence element (hereinafter, “electroluminescence” is abbreviated as “EL”), and includes a functional layer including one or more layers including a light emitting layer between a pair of electrodes. Yes. The functional layer is disposed between the reflective film and the semi-transmissive reflective film, and only the light having the resonance wavelength corresponding to the optical distance between the reflective film and the semi-transmissive reflective film is amplified and extracted. ing. In this type of light-emitting element 9, it is known that the peak of the emission wavelength shifts due to manufacturing variations of layers that contribute to light emission. The light-emitting characteristic of the light-emitting element and the photosensitive characteristic of the photosensitive drum (light-receiving wavelength characteristic) Is substantially affected by the latent image forming power on the photosensitive drum. Therefore, in the inspection apparatus CA, it is important to inspect the light emission characteristics of the light emitting element 9, particularly the emission wavelength within the range of the peak wavelength and the half width of the light emitting element 9 and the wavelength at which the photosensitive drum is sensitive.

検査装置CAは、ラインヘッド1を支持する支持体としてのステージ51と、ステージ51の位置を制御するステージ制御装置52と、ラインヘッド1を撮像する撮像装置としてのCCDカメラ53と、CCDカメラ53の駆動を制御するカメラ制御装置54と、CCDカメラ52に取り付けられた光学フィルタとしてのバンドパスフィルタ55と、ラインヘッド1の点灯状態を制御するヘッド制御装置56と、ステージ制御装置52、カメラ制御装置54及びヘッド制御装置56を統合的に制御する制御装置57とを備えている。   The inspection apparatus CA includes a stage 51 as a support that supports the line head 1, a stage control device 52 that controls the position of the stage 51, a CCD camera 53 as an imaging device that images the line head 1, and a CCD camera 53. A camera control device 54 that controls the driving of the CCD, a band-pass filter 55 as an optical filter attached to the CCD camera 52, a head control device 56 that controls the lighting state of the line head 1, a stage control device 52, and a camera control And a control device 57 for controlling the device 54 and the head control device 56 in an integrated manner.

ステージ51は、発光素子9の配列方向と、該配列方向を中心軸とした回転方向について移動可能となっており、ステージ制御装置52からの制御信号によって、各方向に移動してラインヘッド1の位置を調節するようになっている。ステージ制御装置52は、制御装置57からの指令に基づいて制御信号をステージ51に送信するようになっている。   The stage 51 is movable with respect to the arrangement direction of the light emitting elements 9 and the rotation direction with the arrangement direction as a central axis. The stage 51 is moved in each direction by a control signal from the stage control device 52 and The position is adjusted. The stage control device 52 is configured to transmit a control signal to the stage 51 based on a command from the control device 57.

CCDカメラ53は、感光体ドラムの感光特性に合致した波長の光に感度を有する撮像素子を備えている。CCDカメラ53において撮像素子の光入射側には、図2に示すような感光体ドラムの感光特性(受光波長特性)に合致した中心波長λと半値幅Wを有するバンドパスフィルタ55が取り付けられている。このバンドパスフィルタ55では、感光体ドラムの感光特性に合致した波長の光のみが透過され、それ以外の波長範囲の光は吸収又は反射される。本実施形態の場合、バンドパスフィルタ55の中心波長λは660nmであり、半値幅Wは60nmである。したがって、感光体ドラムの受光波長範囲である630nm〜690nmの範囲の赤色光のみがバンドパスフィルタ55を透過するようになっている。CCDカメラ53では、バンドパスフィルタ55を介して観察される発光素子9の発光状態が撮像され、バンドパスフィルタ55の透過波長範囲内の発光輝度の分布が画像データとして制御装置57に送信されるようになっている。なお、CCDカメラ53には図示略の顕微鏡が装備されており、複数の発光素子9のそれぞれについて個別に発光輝度を測定できるようになっている。 The CCD camera 53 includes an image sensor that is sensitive to light having a wavelength that matches the photosensitive characteristics of the photosensitive drum. In the CCD camera 53, a band pass filter 55 having a center wavelength λ 0 and a half-value width W 0 matching the photosensitive characteristics (light receiving wavelength characteristics) of the photosensitive drum as shown in FIG. It has been. The band-pass filter 55 transmits only light having a wavelength that matches the photosensitive characteristics of the photosensitive drum, and absorbs or reflects light in other wavelength ranges. In the present embodiment, the center wavelength λ 0 of the bandpass filter 55 is 660 nm, and the half-value width W 0 is 60 nm. Accordingly, only red light in the range of 630 nm to 690 nm, which is the light receiving wavelength range of the photosensitive drum, is transmitted through the band pass filter 55. In the CCD camera 53, the light emission state of the light emitting element 9 observed through the band pass filter 55 is imaged, and the distribution of light emission luminance within the transmission wavelength range of the band pass filter 55 is transmitted to the control device 57 as image data. It is like that. The CCD camera 53 is equipped with a microscope (not shown) so that the light emission luminance can be individually measured for each of the plurality of light emitting elements 9.

ヘッド制御装置56は、制御装置57から制御信号を受信し、該制御信号によりラインヘッド1の各発光素子9の点灯/消灯を制御するようになっている。ヘッド制御装置56には、図示略の電源装置が接続されている。電源装置は、制御装置57により制御され、ラインヘッド1の各発光素子9に対応した駆動電圧を出力するようになっている。   The head control device 56 receives a control signal from the control device 57 and controls lighting / extinguishing of each light emitting element 9 of the line head 1 based on the control signal. A power supply device (not shown) is connected to the head control device 56. The power supply device is controlled by the control device 57 and outputs a driving voltage corresponding to each light emitting element 9 of the line head 1.

制御装置57は、コンピュータ58とモニタ59とを備えている。コンピュータ58は、CPU、ROM、RAM、ディスク装置等を備えており、ステージ51、カメラ制御装置54及びヘッド制御装置56を統合的に制御すると共に、CCDカメラ53で撮像した発光素子9の画像を処理する画像処理装置として機能する。コンピュータ58は、CCDカメラ53からの画像データに対して平均化処理や2値化処理等を実行し、この演算結果に基づいてラインヘッド1の各発光素子9の位置を検出したり、発光素子9の欠陥(非発光等)や表示むらを検出したりするようになっている。コンピュータ58のROMやRAM等には、演算を実行するためのプログラムや各種データ(ラインヘッド1の大きさ、画素ピッチ、感光体ドラムの受光波長範囲における発光輝度、発光輝度の閾値等)が記憶されている。   The control device 57 includes a computer 58 and a monitor 59. The computer 58 includes a CPU, a ROM, a RAM, a disk device, and the like. The computer 58 controls the stage 51, the camera control device 54, and the head control device 56 in an integrated manner, and captures an image of the light emitting element 9 captured by the CCD camera 53. It functions as an image processing apparatus for processing. The computer 58 performs an averaging process, a binarization process, etc. on the image data from the CCD camera 53, detects the position of each light emitting element 9 of the line head 1 based on the calculation result, 9 defects (non-light emission, etc.) and display irregularities are detected. The ROM and RAM of the computer 58 store programs and various data (the size of the line head 1, the pixel pitch, the light emission luminance in the light receiving wavelength range of the photosensitive drum, the light emission threshold value, etc.) for executing calculations. Has been.

次に、検査装置CAによるラインヘッド1の検査方法と、それを用いたラインヘッドの製造方法について説明する。まず、第1ロット目で作製したラインヘッド1をステージ2上に載置し、コンピュータ58からステージ制御装置52、カメラ制御装置54及びヘッド制御装置56に制御信号を出力し、ステージ51、CCDカメラ53及びラインヘッド1の点灯状態を初期化する。そして、コンピュータ58からヘッド制御装置56に指令してラインヘッド1の全て又は所定区間の発光素子9を点灯させると共に、ステージ51を移動させてラインヘッド1の所定部分がCCDカメラ53の視野範囲に入るように位置決めする。   Next, a method for inspecting the line head 1 by the inspection apparatus CA and a method for manufacturing a line head using the same will be described. First, the line head 1 manufactured in the first lot is placed on the stage 2, and control signals are output from the computer 58 to the stage control device 52, the camera control device 54, and the head control device 56, the stage 51, and the CCD camera. 53 and the lighting state of the line head 1 are initialized. Then, the computer 58 instructs the head control device 56 to turn on the light emitting elements 9 in all or a predetermined section of the line head 1 and move the stage 51 so that a predetermined portion of the line head 1 is within the field of view of the CCD camera 53. Position to enter.

次に、ラインヘッド1を複数の測定区画に分割し、測定区画S,S,…S毎にラインヘッド1を撮像する。この際、各測定区画S,S,…Sの大きさはCCDカメラ53の解像度や視野角によって設定される。そして、設定された測定区画分の大きさ分だけステージ51を順次移動させながら、CCDカメラ53で測定区画内の発光素子9の発光状態が撮像される。各測定区画S,S,…Sの画像データは、カメラ制御装置54を介してコンピュータ58のRAMに記憶される。 Next, divide the line head 1 to a plurality of measurement sections measurement sections S 1, S 2, ... imaging the line head 1 for each S n. In this case, the measurement field S 1, S 2, ... the size of S n is set by the resolution and viewing angle of the CCD camera 53. The light emission state of the light emitting element 9 in the measurement section is imaged by the CCD camera 53 while sequentially moving the stage 51 by the size of the set measurement section. Image data of each measurement section S 1 , S 2 ,... S n is stored in the RAM of the computer 58 via the camera control device 54.

コンピュータ58では、各測定区画内の発光素子9の画像について平均化処理や2値化処理等の画像処理が実行される。そして、この画像処理によって各発光素子9の発光輝度及び発光面積等が検出される。この発光輝度は、バンドパスフィルタ55を透過した波長範囲内の発光輝度であり、感光体ドラム上で静電潜像の形成に寄与し得る実効的な発光輝度である。コンピュータ58では、検出された発光輝度及び発光面積等に基づいて1画素の発光輝度が算出され、この1画素の発光輝度と、コンピュータ58のROMに記憶された発光輝度の閾値(発光輝度の上限及び下限)とが比較される。そして、1画素の発光輝度が前記上限及び下限によって規定される範囲内に収まる場合には、当該画素は正常画素と判定され、当該範囲から外れる場合には、当該画素は欠陥画素と判定される。   In the computer 58, image processing such as averaging processing and binarization processing is performed on the image of the light emitting element 9 in each measurement section. Then, the light emission luminance, the light emission area, and the like of each light emitting element 9 are detected by this image processing. This emission luminance is the emission luminance within the wavelength range transmitted through the bandpass filter 55, and is an effective emission luminance that can contribute to the formation of an electrostatic latent image on the photosensitive drum. The computer 58 calculates the light emission luminance of one pixel based on the detected light emission luminance, the light emission area, and the like, and the light emission luminance of this one pixel and the threshold value of the light emission luminance stored in the ROM of the computer 58 (the upper limit of the light emission luminance). And the lower limit). When the emission luminance of one pixel falls within the range defined by the upper limit and the lower limit, the pixel is determined as a normal pixel, and when out of the range, the pixel is determined as a defective pixel. .

図3及び図4は、モニタ59に表示された測定区画Sの画像データの一例である。図3は、正常に発光した場合の画像データの一例であり、図4は、欠陥画素を含む場合の画像データの一例である。なお、図3(a)及び図4(a)において、斜線部は発光素子の発光スペクトルとバンドパスフィルタの透過スペクトルとの重なりを示しており、斜線部の面積はバンドパスフィルタの透過波長範囲内(すなわち、感光体ドラム上で静電潜像の形成に寄与し得る波長範囲内)における発光素子の発光輝度の大きさを示している。 3 and 4 is an example of the image data of the measuring compartment S m which is displayed on the monitor 59. FIG. 3 is an example of image data when light is normally emitted, and FIG. 4 is an example of image data when a defective pixel is included. 3A and 4A, the shaded area indicates the overlap between the emission spectrum of the light emitting element and the transmission spectrum of the bandpass filter, and the area of the shaded area is the transmission wavelength range of the bandpass filter. The magnitude of the light emission luminance of the light emitting element is shown within (that is, within a wavelength range that can contribute to formation of an electrostatic latent image on the photosensitive drum).

図3(a)に示すように発光素子の中心波長λ及び半値幅Wとバンドパスフィルタの中心波長λ及び半値幅Wとが一致する場合には、発光素子の発光スペクトルとバンドパスフィルタの透過スペクトルとの重なりは最も大きくなり、コンピュータで検出される発光輝度も最も大きくなる。この状態が全ての画素(発光素子9)で得られた場合には、図3(b)に示すように測定区画S内の全ての画素が明るく表示され、各画素の発光輝度は、予め設定された発光輝度の閾値の範囲内に収まる。したがって、全ての画素は正常画素と判定され、ラインヘッド全体としても良品と判定される。 As shown in FIG. 3A, when the center wavelength λ 1 and half-value width W 1 of the light-emitting element coincide with the center wavelength λ 0 and half-value width W 0 of the bandpass filter, the emission spectrum and band of the light-emitting element are obtained. The overlap with the transmission spectrum of the pass filter is the largest, and the emission luminance detected by the computer is the largest. If this condition is obtained in all the pixels (light emitting elements 9) is displayed all the pixels brighter in the measurement compartment S m as shown in FIG. 3 (b), the light emitting luminance of each pixel in advance It falls within the threshold range of the set emission brightness. Therefore, all the pixels are determined as normal pixels, and the entire line head is determined as a non-defective product.

一方、図4(a)に示すように機能層の膜厚異常等によって発光素子の中心波長λがバンドパスフィルタの中心波長λよりも短波長側にシフトした場合には、発光素子の発光スペクトルとバンドパスフィルタの透過スペクトルとの重なりは低下し、コンピュータで検出される発光輝度も低下する。この状態が全ての画素(発光素子9)で生じた場合には、図4(b)に示すように測定区画S内の全ての画素が暗く表示され、各画素の発光輝度は、予め設定された発光輝度の閾値の範囲から外れた状態となる。したがって、全ての画素は異常画素と判定され、ラインヘッド全体としても不良品と判定される。 On the other hand, as shown in FIG. 4A, when the center wavelength λ 2 of the light emitting element is shifted to a shorter wavelength side than the center wavelength λ 0 of the bandpass filter due to an abnormal film thickness of the functional layer, The overlap between the emission spectrum and the transmission spectrum of the bandpass filter is reduced, and the emission luminance detected by the computer is also reduced. If this condition occurs in all the pixels (light emitting elements 9), all the pixels of the measuring compartment S m as shown in FIG. 4 (b) is displayed dark, light-emitting luminance of each pixel is set in advance Thus, the light emission luminance is out of the threshold range. Therefore, all the pixels are determined to be abnormal pixels, and the entire line head is also determined to be defective.

他方、この状態が一部の画素で生じた場合には、図4(c)に示すように測定区画S内の一部の画素のみが暗く表示され、他の画素は明るく表示される。この場合、一部の画素のみが異常画素と判定され、他の画素は正常画素と判定されるが、ラインヘッドは一部の画素でも異常が検出されれば、その部分が線欠陥の表示不良を生じさせるため、ラインヘッド全体としては不良品と判定される。 On the other hand, the state when generated in some pixels, only a subset of the pixels in the measurement compartment S m as shown in FIG. 4 (c) is displayed dark and the other pixels are brightly displayed. In this case, only some pixels are determined to be abnormal pixels, and other pixels are determined to be normal pixels. However, if an abnormality is detected in some pixels, the line head is defective in displaying a line defect. Therefore, the entire line head is determined as a defective product.

なお、図4(b)では全ての発光素子の中心波長がシフトした場合を示したが、発光素子の中心波長は必ずしも全ての発光素子で均一にシフトするとは限らない。ラインヘッドに形成される発光素子の数は数百〜数千にも及ぶため、ラインヘッドの中央部とラインヘッドの両端部とでは製造条件の違いによって機能層の膜厚等に差が出る場合があるからである。例えば、発光素子が光共振器構造を有し、機能層の膜厚に対応した共振波長の光のみが増幅して取り出される場合には、機能層の膜厚のばらつきは発光素子のピーク波長のばらつきに直結し、そのピーク波長のばらつきはバンドパスフィルタを介して発光輝度のばらつきとして検出される。   Note that FIG. 4B illustrates the case where the center wavelengths of all the light emitting elements are shifted, but the center wavelength of the light emitting elements is not necessarily shifted uniformly in all the light emitting elements. Since the number of light emitting elements formed on the line head ranges from several hundred to several thousand, there is a difference in the film thickness of the functional layer due to differences in manufacturing conditions between the center of the line head and both ends of the line head. Because there is. For example, when the light emitting element has an optical resonator structure and only light having a resonance wavelength corresponding to the film thickness of the functional layer is amplified and extracted, the variation in the film thickness of the functional layer is the peak wavelength of the light emitting element. It is directly related to the variation, and the variation of the peak wavelength is detected as the variation of the emission luminance through the band pass filter.

例えば、機能層をインクジェット法やスピンコート法等の湿式成膜法で形成する場合、機能層を形成するための液体材料の粘度によっては、機能層の膜厚に局所的なばらつきを生じさせる場合がある。特にインクジェット法で機能層を形成する場合には、機能層の粘度のばらつきによって、液体材料の吐出量が変化し、機能層の膜厚がラインヘッド全体で不均一になる場合がある。また、機能層を乾燥する際の乾燥雰囲気内の溶媒の濃度がラインヘッドの中央部と両端部で大きく異なる場合には、ラインヘッドの中央部の膜厚がラインヘッドの両端部の膜厚よりも大きくなり、その結果、バンドパスフィルタを介して検出される発光素子の発光輝度は、ラインヘッドの中央部で大きくなり、ラインヘッドの両端部で小さくなる。   For example, when the functional layer is formed by a wet film forming method such as an ink jet method or a spin coat method, depending on the viscosity of the liquid material for forming the functional layer, local variations in the thickness of the functional layer may occur. There is. In particular, when the functional layer is formed by the ink jet method, the discharge amount of the liquid material may change due to variations in the viscosity of the functional layer, and the film thickness of the functional layer may be non-uniform throughout the line head. In addition, when the concentration of the solvent in the drying atmosphere when the functional layer is dried is greatly different between the center and both ends of the line head, the film thickness at the center of the line head is larger than the film thickness at both ends of the line head. As a result, the light emission luminance of the light emitting element detected through the band pass filter increases at the center of the line head and decreases at both ends of the line head.

このようなラインヘッドにおいては、バンドパスフィルタを介した発光素子の発光輝度がラインヘッドの位置に応じて局所的に変化する。この場合、部分的には正常画素と判定されるが、全ての発光素子で正常画素と判定されない限りは、ラインヘッド全体として不良品と判定される。   In such a line head, the light emission luminance of the light emitting element through the band pass filter locally changes according to the position of the line head. In this case, the pixel is partially determined to be a normal pixel, but the entire line head is determined to be defective unless all the light emitting elements are determined to be normal pixels.

なお、図4では、発光素子の中心波長λがバンドパスフィルタの中心波長λよりも短波長側にシフトした場合について説明したが、上述した事情は、発光素子の中心波長λがバンドパスフィルタの中心波長λよりも長波長側にシフトした場合でも同様である。 In FIG. 4, although the central wavelength lambda 2 of the light emitting element has been described as being shifted to the shorter wavelength side than the center wavelength lambda 0 of the bandpass filter, the above-described circumstances, the central wavelength lambda 2 band of the light emitting element The same applies to the case where the center wavelength λ 0 of the pass filter is shifted to the longer wavelength side.

以上により第1ロットのラインヘッド1の検査工程が終了したら、その検査結果に基づいて第2ロットのラインヘッドの発光素子の製造条件を設定する。具体的には、発光素子の機能層を構成する一又は二以上の層をインクジェット法等の湿式成膜法で形成する場合に、発光素子の発光輝度がラインヘッド全体として低輝度側若しくは高輝度側にシフトしている場合には、前記層を形成するための液体材料の吐出量、吐出回数、或いは当該層を形成するための液体材料の粘度等を調節することにより、各発光素子の発光輝度が、コンピュータのROMに記憶された閾値の範囲に収まるようにする。また、ラインヘッド全体で発光輝度が大きくばらつく場合には、前記液体材料の粘度を調節し、ラインヘッド全体で均一な膜厚が得られるようにする。また、機能層の乾燥条件によってラインヘッドの中央部と両端部で発光輝度に差が出た場合には、中央部の機能層の乾燥速度と両端部の機能層の乾燥速度とを近づけるべく、乾燥時の溶媒雰囲気の濃度を高くする等の工夫をする。   When the inspection process of the line head 1 of the first lot is completed as described above, the manufacturing conditions of the light emitting elements of the line head of the second lot are set based on the inspection result. Specifically, when one or more layers constituting the functional layer of the light-emitting element are formed by a wet film formation method such as an ink jet method, the light emission luminance of the light-emitting element as a whole is low or high as the line head. In the case of shifting to the side, the light emission of each light emitting element is adjusted by adjusting the discharge amount, the number of discharges of the liquid material for forming the layer, the viscosity of the liquid material for forming the layer, or the like. The brightness is set to fall within a threshold range stored in the ROM of the computer. Further, when the light emission luminance varies greatly over the entire line head, the viscosity of the liquid material is adjusted so that a uniform film thickness can be obtained over the entire line head. In addition, if there is a difference in luminance between the center and both ends of the line head depending on the drying conditions of the functional layer, in order to bring the drying speed of the functional layer at the center close to the drying speed of the functional layers at both ends, Take measures such as increasing the concentration of the solvent atmosphere during drying.

このように検査工程と製造工程とを並行して行い、直近の検査データを次ロットの機能層の製造条件にフィードバックすることで、効率的な製造が可能になり、製造歩留まりも向上することができる。そして、このようにラインヘッドの製造工程及び検査工程を繰り返すことにより、複数ロットのラインヘッドを順次製造する。   In this way, the inspection process and the manufacturing process are performed in parallel, and the latest inspection data is fed back to the manufacturing conditions of the functional layer of the next lot, thereby enabling efficient manufacturing and improving the manufacturing yield. it can. Then, by repeating the manufacturing process and the inspection process of the line head in this way, a plurality of lots of line heads are sequentially manufactured.

以上説明したように、本実施形態の検査装置CAでは、発光素子9の発光状態を検査する際に、CCDカメラ53に感光体ドラムの感光特性(受光波長特性)に合致した波長のみを透過させるバンドパスフィルタ55を取り付けて発光素子9の撮像を行っている。このため、分光器に比べて安価なバンドパスフィルタの導入のみで発光波長の検査を行うことができ、分光器を用いる場合に比べて検査工程に要するコストを低減することができる。また、発光輝度の検査と発光波長の検査とを同時に行うことができるため、分光器を用いて発光素子を2回スキャンする場合に比べて検査時間を大幅に短縮することができる。   As described above, in the inspection apparatus CA of the present embodiment, when inspecting the light emission state of the light emitting element 9, only the wavelength that matches the photosensitive characteristic (light receiving wavelength characteristic) of the photosensitive drum is transmitted to the CCD camera 53. The band-pass filter 55 is attached to image the light emitting element 9. For this reason, the emission wavelength can be inspected only by introducing an inexpensive bandpass filter compared to the spectroscope, and the cost required for the inspection process can be reduced as compared with the case of using the spectroscope. In addition, since the inspection of the emission luminance and the inspection of the emission wavelength can be performed at the same time, the inspection time can be significantly shortened compared to the case where the light emitting element is scanned twice using a spectroscope.

また、発光素子を撮像する工程では、複数の発光素子9を複数の測定区画S,S,…Sに分割し、各々の前記測定区画毎に複数の発光素子9を撮像しているため、1つの測定区画に含まれる複数の発光素子9を一括で撮像及び画像処理でき、発光素子9を1つ1つ撮像して画像処理する場合に比べて検査効率を向上することができる。 Further, in the step of imaging the light emitting element, a plurality of light emitting elements 9 a plurality of measurement sections S 1, S 2, ... is divided into S n, and imaging the plurality of light emitting elements 9 for each respective said measuring compartment Therefore, the plurality of light emitting elements 9 included in one measurement section can be collectively imaged and processed, and the inspection efficiency can be improved as compared with the case where each light emitting element 9 is imaged and image processed one by one.

[画像形成装置]
次に、本発明のプリンタヘッドを備えた画像形成装置の実施形態について説明する。図5は、本発明のプリンタヘッドの一実施形態であるラインヘッド1を備えた画像形成装置100の概略構成図である。このラインヘッド1は、上述の本発明のプリンタヘッドの検査方法を用いて製造されたものである。
[Image forming apparatus]
Next, an embodiment of an image forming apparatus provided with the printer head of the present invention will be described. FIG. 5 is a schematic configuration diagram of an image forming apparatus 100 including the line head 1 which is an embodiment of the printer head of the present invention. The line head 1 is manufactured by using the above-described printer head inspection method of the present invention.

画像形成装置100は、転写媒体22の走行経路の近傍に、像担持体としての感光体ドラム16を備えている。感光体ドラム16の周囲には、感光体ドラム16の回転方向(図中に矢印で示す)に沿って、露光装置15、現像装置18及び転写ローラ21が順次配設されている。感光体ドラム16は、回転軸17の周りに回転可能に設けられており、その外周面には、回転軸方向中央部に感光面16Aが形成されている。露光装置15及び現像装置18は感光体ドラム16の回転軸17に沿って長軸状に配置されており、その長軸方向の幅は、感光面16Aの幅と概ね一致している。   The image forming apparatus 100 includes a photosensitive drum 16 as an image carrier in the vicinity of the travel path of the transfer medium 22. Around the photosensitive drum 16, an exposure device 15, a developing device 18, and a transfer roller 21 are sequentially arranged along the rotation direction of the photosensitive drum 16 (indicated by an arrow in the drawing). The photosensitive drum 16 is rotatably provided around the rotation shaft 17, and a photosensitive surface 16 </ b> A is formed on the outer peripheral surface of the photosensitive drum 16 at the central portion in the rotation axis direction. The exposure device 15 and the developing device 18 are arranged in a long axis shape along the rotation shaft 17 of the photosensitive drum 16, and the width in the long axis direction substantially coincides with the width of the photosensitive surface 16A.

この画像形成装置100では、まず、感光体ドラム16が回転する過程において、露光装置15の上流側に設けられた図示略の帯電装置により感光体ドラム16の表面(感光面16A)が例えば正(+)に帯電され、次いで露光装置15により感光体ドラム16の表面が露光されて表面に負(−)の静電潜像LAが形成される。さらに、現像装置18の現像ローラ19により、トナー(現像剤)20が感光体ドラム16の表面に付与され、静電潜像LAの電気的吸着力によって静電潜像LAに対応したトナー像が形成される。なお、トナー粒子は正(+)に帯電されている。   In this image forming apparatus 100, first, in the process of rotating the photosensitive drum 16, the surface of the photosensitive drum 16 (photosensitive surface 16 </ b> A) is positive (for example, positive) by a charging device (not shown) provided on the upstream side of the exposure device 15. Then, the surface of the photosensitive drum 16 is exposed by the exposure device 15 to form a negative (−) electrostatic latent image LA on the surface. Further, the toner (developer) 20 is applied to the surface of the photosensitive drum 16 by the developing roller 19 of the developing device 18, and the toner image corresponding to the electrostatic latent image LA is formed by the electric attractive force of the electrostatic latent image LA. It is formed. The toner particles are positively (+) charged.

現像装置18によるトナー像の形成後は、感光体ドラム16の更なる回転によりトナー像が転写媒体22に接触し、転写ローラ21により転写媒体22の背面からトナー像のトナー粒子とは逆極性の電荷(ここでは負(−)の電荷)が付与され、これに応じて、トナー像を形成するトナー粒子が感光体ドラム16の表面から転写媒体22に吸引され、トナー像が転写媒体22の表面に転写される。   After the toner image is formed by the developing device 18, the toner image comes into contact with the transfer medium 22 by further rotation of the photosensitive drum 16, and the transfer roller 21 has a polarity opposite to that of the toner particles of the toner image from the back surface of the transfer medium 22. Charge (here, negative (−) charge) is applied, and accordingly, toner particles forming a toner image are attracted from the surface of the photosensitive drum 16 to the transfer medium 22, and the toner image is transferred to the surface of the transfer medium 22. Is transcribed.

露光装置15は、複数の有機EL素子9を有するラインヘッド1と、該ラインヘッド1から放射された光Lを正立等倍結像させる複数のレンズ素子13を有する結像光学素子12とを備えている。ラインヘッド1と結像光学素子12とは、互いにアライメントされた状態で図示略のヘッドケースによって保持され、感光体ドラム16上に固定されている。   The exposure apparatus 15 includes a line head 1 having a plurality of organic EL elements 9 and an imaging optical element 12 having a plurality of lens elements 13 for imaging the light L emitted from the line head 1 at an erecting equal magnification. I have. The line head 1 and the imaging optical element 12 are held by a head case (not shown) while being aligned with each other, and are fixed on the photosensitive drum 16.

ラインヘッド1は、複数の有機EL素子9を感光体ドラム16の回転軸17に沿って配列してなる発光素子列10と、有機EL素子9を駆動させる図示略の駆動素子からなる駆動素子群と、これら駆動素子(駆動素子群)の駆動を制御する制御回路群11とを備えている。有機EL素子9、駆動素子群及び制御回路群11は長細い矩形の素子基板(基体)2上に一体形成されている。   The line head 1 includes a light emitting element array 10 in which a plurality of organic EL elements 9 are arranged along the rotation axis 17 of the photosensitive drum 16, and a drive element group including a drive element (not shown) that drives the organic EL elements 9. And a control circuit group 11 for controlling driving of these drive elements (drive element group). The organic EL element 9, the drive element group, and the control circuit group 11 are integrally formed on a long and thin element substrate (base) 2.

結像光学素子12は、日本板硝子株式会社製のセルフォック(登録商標)レンズ素子と同様の構成からなるレンズ素子13を感光体ドラム16の回転軸17に沿って千鳥状に2列配列(配置)してなるレンズ素子列14を備えている。   The imaging optical element 12 is arranged (arranged) in a zigzag pattern in which the lens elements 13 having the same configuration as the SELFOC (registered trademark) lens element manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd. are arranged along the rotation axis 17 of the photosensitive drum 16. A lens element array 14 is provided.

図6は、ラインヘッド1の1画素の概略構成図である。ラインヘッド1は、素子基板2上に、反射膜5、層間絶縁膜6、第1電極としての陽極3、発光部4、及び第2電極としての陰極8を備えている。発光部4は、陽極3上に積層された機能層7と、画素間を絶縁して画素の境界部を規定する隔壁Bとを備えている。   FIG. 6 is a schematic configuration diagram of one pixel of the line head 1. The line head 1 includes a reflection film 5, an interlayer insulating film 6, an anode 3 as a first electrode, a light emitting unit 4, and a cathode 8 as a second electrode on an element substrate 2. The light emitting unit 4 includes a functional layer 7 laminated on the anode 3 and a partition wall B that insulates pixels and defines a boundary portion of the pixels.

機能層7は、少なくとも発光層を含む一又は二以上の層を含む。発光層としては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料が用いられる。具体的には、(ポリ)フルオレン誘導体(PF)、(ポリ)パラフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリフェニレン誘導体(PP)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)、ポリビニルカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン(PMPS)などのポリシラン系などが好適に用いられる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。またカルバゾール(CBP)などの低分子材料にこれらの低分子色素をドープして発光層とすることもできる。またトリス−8−キノリノラトアルミニウム錯体(Alq)を電子輸送層として発光層の一部として加えることもできる。 The functional layer 7 includes one or more layers including at least a light emitting layer. As the light emitting layer, a known light emitting material capable of emitting fluorescence or phosphorescence is used. Specifically, (poly) fluorene derivative (PF), (poly) paraphenylene vinylene derivative (PPV), polyphenylene derivative (PP), polyparaphenylene derivative (PPP), polyvinylcarbazole (PVK), polythiophene derivative, polymethyl Polysilanes such as phenylsilane (PMPS) are preferably used. In addition, these polymer materials include polymer materials such as perylene dyes, coumarin dyes, rhodamine dyes, rubrene, perylene, 9,10-diphenylanthracene, tetraphenylbutadiene, Nile red, coumarin 6, and quinacridone. It can also be used by doping a low molecular weight material such as. Alternatively, a low molecular material such as carbazole (CBP) can be doped with these low molecular dyes to form a light emitting layer. Tris-8-quinolinolato aluminum complex (Alq 3 ) can also be added as an electron transporting layer as part of the light emitting layer.

機能層7は、赤色を発光可能な発光材料を含み、赤色の光を発光するように構成されている。機能層7は複数の発光画素が配置される有効画素領域全体を覆うように形成されており、各発光画素に共通の層となっている。機能層7には、発光層以外の層を形成してもよい。例えば、陽極3と発光層との間に配置されて、陽極3から供給された正孔を発光層に注入/輸送する正孔注入層を形成しても良い。また、陰極8と発光層との間に配置されて、陰極8から供給された電子を発光層に注入/輸送する電子注入層を形成しても良い。   The functional layer 7 includes a light emitting material capable of emitting red light, and is configured to emit red light. The functional layer 7 is formed so as to cover the entire effective pixel region where a plurality of light emitting pixels are arranged, and is a layer common to each light emitting pixel. A layer other than the light emitting layer may be formed in the functional layer 7. For example, a hole injection layer that is disposed between the anode 3 and the light emitting layer and injects / transports holes supplied from the anode 3 to the light emitting layer may be formed. Further, an electron injection layer that is disposed between the cathode 8 and the light emitting layer and injects / transports electrons supplied from the cathode 8 to the light emitting layer may be formed.

隔壁Bとしては、酸化シリコン等の無機絶縁材料やアクリル樹脂等の有機絶縁材料が用いられる。また、このような無機物或いは有機物以外にも、有機・無機ハイブリッド材料からなる絶縁材料を用いることもできる。隔壁Bは、陽極3上に開口部Hを有し、陽極3の周縁部に乗り上げるように形成されている。そして、隔壁Bの開口部Hの内側に機能層7が形成されることにより、発光部4が形成されている。機能層7は陽極3と陰極8との間に挟持されており、陽極3、機能層7及び陰極8によって、発光素子である有機EL素子9が形成されている。   As the partition wall B, an inorganic insulating material such as silicon oxide or an organic insulating material such as an acrylic resin is used. In addition to such inorganic materials or organic materials, insulating materials made of organic / inorganic hybrid materials can also be used. The partition wall B has an opening H on the anode 3 and is formed so as to run on the peripheral edge of the anode 3. The functional layer 7 is formed inside the opening H of the partition wall B, whereby the light emitting unit 4 is formed. The functional layer 7 is sandwiched between the anode 3 and the cathode 8, and the anode 3, the functional layer 7, and the cathode 8 form an organic EL element 9 that is a light emitting element.

陰極8は、発光部4で発光した光の一部を透過し残りの光を反射膜5側に反射する半透過反射膜として機能する。一般に、ITO等の透光性導電膜は、機能層7との界面で10%〜50%程度の反射率を有しており、特段の工夫を施さなければ、このような透光性導電膜を用いた陰極8は、上記のような半透過反射膜としての機能を有する。   The cathode 8 functions as a transflective film that transmits part of the light emitted by the light emitting unit 4 and reflects the remaining light to the reflective film 5 side. In general, a translucent conductive film such as ITO has a reflectivity of about 10% to 50% at the interface with the functional layer 7, and such a translucent conductive film is provided unless special measures are taken. The cathode 8 using the above has a function as a transflective film as described above.

反射膜5と陰極8との間の光学的距離は、発光素子9から射出する光の波長と同じか、その整数倍となるように設計されている。その結果、反射膜5と陰極8とが、発光素子9から取り出したい光に対して光共振器を構成するようになっている。本実施形態の場合、発光素子9から取り出す光は赤色の光である。したがって、反射膜5と陰極8との間の光学的距離は、赤色の波長(例えば660nm)と同じか、その整数倍となるように設計されている。発光部4で発光した光は、反射膜5と陰極8との間で往復し、その光学的距離に対応した共振波長の光だけが増幅されて取り出される。このため、発光輝度が高く、スペクトルがシャープな光を取り出すことができる。   The optical distance between the reflective film 5 and the cathode 8 is designed to be the same as the wavelength of light emitted from the light emitting element 9 or an integral multiple thereof. As a result, the reflective film 5 and the cathode 8 constitute an optical resonator with respect to light desired to be extracted from the light emitting element 9. In the present embodiment, the light extracted from the light emitting element 9 is red light. Therefore, the optical distance between the reflective film 5 and the cathode 8 is designed to be the same as the red wavelength (for example, 660 nm) or an integral multiple thereof. The light emitted from the light emitting section 4 reciprocates between the reflective film 5 and the cathode 8, and only the light having the resonance wavelength corresponding to the optical distance is amplified and extracted. For this reason, light with high emission luminance and sharp spectrum can be extracted.

発光素子9から射出される光は、当該画素に形成された光共振器構造の共振波長、すなわち反射膜5と陰極8との間の光学的距離に対応した波長の光である。この光学的距離は、反射膜5と陰極8との間に配置される各層(層間絶縁膜6、陽極3及び機能層7)の光学的距離の総和として得られる。各層の光学的距離は、その膜厚と屈折率との積によって求められる。   The light emitted from the light emitting element 9 is light having a wavelength corresponding to the resonance wavelength of the optical resonator structure formed in the pixel, that is, the optical distance between the reflective film 5 and the cathode 8. This optical distance is obtained as the sum of the optical distances of the respective layers (interlayer insulating film 6, anode 3 and functional layer 7) disposed between the reflective film 5 and the cathode 8. The optical distance of each layer is determined by the product of its film thickness and refractive index.

ここで、機能層7を構成する一又は二以上の層は湿式成膜法により形成されている。すなわち、機能層の形成材料は、溶媒に溶解ないし分散された後、基体2上に塗布され、乾燥処理及び焼成処理によって、有機膜の層を形成する。そして、このような層を順次積層することで、機能層7が形成される。これらの層の製造条件、特に液体材料の粘度は、先に製造されたラインヘッドの検査工程の検査結果を用いて設定されている。例えば、先の検査結果によって当該層の膜厚が薄く、発光スペクトルのピーク波長が短波長側にシフトしていた場合には、液体材料の粘度を増加し、所定の膜厚が得られるようにしている。   Here, one or more layers constituting the functional layer 7 are formed by a wet film forming method. That is, the functional layer forming material is dissolved or dispersed in a solvent and then applied onto the substrate 2 to form an organic film layer by a drying process and a baking process. And the functional layer 7 is formed by laminating | stacking such a layer one by one. The manufacturing conditions of these layers, particularly the viscosity of the liquid material, is set using the inspection results of the inspection process of the previously manufactured line head. For example, if the layer thickness is thin due to the previous inspection result and the peak wavelength of the emission spectrum is shifted to the short wavelength side, the viscosity of the liquid material is increased so that a predetermined film thickness can be obtained. ing.

この画像形成装置100によれば、ラインヘッド1が前述した本発明のプリンタヘッドの検査方法を用いて製造されているため、製造工程が簡略化され、安価な画像形成装置が提供される。また、ラインヘッド1が光共振器構造を備えているため、発光輝度が高く、シャープなスペクトルを有するラインヘッド1となる。その結果、画像形成装置100の寿命が向上し、消費電力も低減することが可能となる。この場合、発光素子9の機能層の膜厚異常によってピーク波長がシフトする場合があるが、このようなピーク波長のシフトは前述したバンドパスフィルタによって発光輝度の異常として認識できるため、発光輝度の異常とピーク波長の異常とを同時に行うことができ、検査時間が増加することはない。   According to the image forming apparatus 100, since the line head 1 is manufactured using the printer head inspection method of the present invention described above, the manufacturing process is simplified and an inexpensive image forming apparatus is provided. Further, since the line head 1 has an optical resonator structure, the line head 1 has high emission luminance and a sharp spectrum. As a result, the life of the image forming apparatus 100 is improved and the power consumption can be reduced. In this case, the peak wavelength may shift due to an abnormality in the thickness of the functional layer of the light emitting element 9, but such a shift in the peak wavelength can be recognized as an abnormality in the emission luminance by the bandpass filter described above. The abnormality and the peak wavelength abnormality can be performed at the same time, and the inspection time does not increase.

検査装置の一実施形態を示す概略構成図である。It is a schematic structure figure showing one embodiment of an inspection device. 同検査装置に適用されるバンドパスフィルタの光学特性の説明図である。It is explanatory drawing of the optical characteristic of the band pass filter applied to the inspection apparatus. 正常画素の発光スペクトルとCCDカメラの画像との関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the emission spectrum of a normal pixel, and the image of a CCD camera. 異常画素の発光スペクトルとCCDカメラの画像との関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the relationship between the emission spectrum of an abnormal pixel, and the image of a CCD camera. 画像形成装置の一実施形態を示す概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram illustrating an embodiment of an image forming apparatus. 同画像形成装置に備えられるラインヘッドの1画素の概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of one pixel of a line head provided in the image forming apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1…ラインヘッド(プリンタヘッド)、2…基体、3…第1電極(第1電極)、5…反射膜、7…機能層、8…第2電極(半透過反射膜)、9…発光素子、16…感光体ドラム(像担持体)、53…CCDカメラ(撮像装置)、55…バンドパスフィルタ、58…コンピュータ(画像処理装置)、CA…検査装置、L…光、LA…静電潜像、S,S,S,S…測定区間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Line head (printer head), 2 ... Base | substrate, 3 ... 1st electrode (1st electrode), 5 ... Reflective film, 7 ... Functional layer, 8 ... 2nd electrode (semi-transmissive reflective film), 9 ... Light emitting element 16 ... photosensitive drum (image carrier), 53 ... CCD camera (imaging device), 55 ... bandpass filter, 58 ... computer (image processing device), CA ... inspection device, L ... light, LA ... electrostatic latent Image, S 1 , S 2 , S m , S n ... Measurement section

Claims (7)

一方向に配列された複数の発光素子を備え、前記複数の発光素子から射出された光によって像担持体上に静電潜像を形成するプリンタヘッドの検査装置であって、
前記像担持体の感光特性に合致した波長の光のみを透過するバンドパスフィルタと、
前記像担持体の感光特性に合致した波長の光に感度を有する撮像装置と、
前記バンドパスフィルタ及び前記撮像装置を用いて撮像された前記発光素子の発光状態の画像を処理し、前記像担持体が感光する波長の範囲内における前記発光素子の発光輝度を検出する画像処理装置とを備えることを特徴とするプリンタヘッドの検査装置。
A printer head inspection apparatus comprising a plurality of light emitting elements arranged in one direction and forming an electrostatic latent image on an image carrier by light emitted from the plurality of light emitting elements,
A bandpass filter that transmits only light having a wavelength that matches the photosensitive characteristics of the image carrier;
An imaging device having sensitivity to light having a wavelength matching the photosensitive characteristics of the image carrier;
An image processing apparatus that processes an image of a light emitting state of the light emitting element imaged using the bandpass filter and the imaging device, and detects light emission luminance of the light emitting element within a wavelength range that the image carrier is exposed to. And a printer head inspection apparatus.
一方向に配列された複数の発光素子を備え、前記複数の発光素子から射出された光によって像担持体上に静電潜像を形成するプリンタヘッドの検査方法であって、
前記像担持体の感光特性に合致した波長の光のみを透過するバンドパスフィルタと前記像担持体の感光特性に合致した波長の光に感度を有する撮像装置とを用いて前記発光素子の発光状態を撮像する工程と、
前記発光素子の発光状態の画像を処理し、前記像担持体が感度を有する波長の範囲内における前記発光素子の発光輝度を検出する工程と、
前記発光素子の発光輝度に基づいて前記発光素子の良否を判定する工程とを備えることを特徴とするプリンタヘッドの検査方法。
A printer head inspection method comprising a plurality of light emitting elements arranged in one direction and forming an electrostatic latent image on an image carrier by light emitted from the plurality of light emitting elements,
The light emitting state of the light emitting element using a bandpass filter that transmits only light having a wavelength that matches the photosensitive characteristic of the image carrier and an imaging device that is sensitive to light having a wavelength that matches the photosensitive characteristic of the image carrier A step of imaging
Processing an image of a light emitting state of the light emitting element, and detecting light emission luminance of the light emitting element within a wavelength range in which the image carrier has sensitivity;
And a step of determining pass / fail of the light emitting element based on light emission luminance of the light emitting element.
前記発光素子を撮像する工程では、前記複数の発光素子を複数の測定区画に分割し、各々の前記測定区画毎に複数の前記発光素子を撮像することを特徴とする請求項2に記載のプリンタヘッドの検査方法。   3. The printer according to claim 2, wherein in the step of imaging the light emitting element, the plurality of light emitting elements are divided into a plurality of measurement sections, and the plurality of light emitting elements are imaged for each of the measurement sections. Head inspection method. 基体上に複数の発光素子を形成する工程と、
前記複数の発光素子の発光輝度及び発光波長を検査する検査工程とを備え、
前記検査工程は、請求項2又は3に記載のプリンタヘッドの検査方法により行われることを特徴とするプリンタヘッドの製造方法。
Forming a plurality of light emitting elements on a substrate;
An inspection step of inspecting light emission luminance and light emission wavelength of the plurality of light emitting elements,
The method for manufacturing a printer head according to claim 2, wherein the inspection step is performed by the printer head inspection method according to claim 2.
前記発光素子は、反射膜と半透過反射膜との間に発光層を含む一又は二以上の層からなる機能層を備え、前記反射膜と前記半透過反射膜との間の光学的距離に対応した共振波長の光のみが増幅されて取り出されるものであることを特徴とする請求項4に記載のプリンタヘッドの製造方法。   The light-emitting element includes a functional layer including one or more layers including a light-emitting layer between a reflective film and a semi-transmissive reflective film, and an optical distance between the reflective film and the semi-transmissive reflective film. 5. The method of manufacturing a printer head according to claim 4, wherein only light having a corresponding resonance wavelength is amplified and extracted. 前記発光素子を形成する工程では、前記機能層を形成するための条件を先に検査された他のプリンタヘッドの発光素子の検査結果に基づいて設定することを特徴とする請求項5に記載のプリンタヘッドの製造方法。   6. The step of forming the light emitting element sets a condition for forming the functional layer based on a test result of a light emitting element of another printer head that has been previously tested. A method for manufacturing a printer head. 前記発光素子を形成する工程では、前記機能層を構成する1又は2以上の層を湿式成膜法で形成し、前記層を形成するための液体材料の粘度を先に検査された他のプリンタヘッドの発光素子の検査結果に基づいて設定することを特徴とする請求項6に記載のプリンタヘッドの製造方法。   In the step of forming the light emitting element, another printer in which one or more layers constituting the functional layer are formed by a wet film forming method, and the viscosity of the liquid material for forming the layer is first inspected. The method of manufacturing a printer head according to claim 6, wherein the setting is made based on a test result of the light emitting element of the head.
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