JP2008105015A - ワーククリーニング用のテープカートリッジ - Google Patents

Abstract

【課題】ワークである基板に付着している異物を粘着テープを用いて的確かつ効率よく除去するのに有効に活用できる基板クリーニング用のテープカートリッジを提供する。
【解決手段】粘着テープＴを供給するテープ供給部２２と、ワークである基板に貼り付けて剥離した後の粘着テープＴを巻取り回収するテープ回収部２４と、テープ供給部２２とテープ回収部２４とを収納するとともに、基板に粘着テープＴを貼り付けるためのテープ露出部分を有するハウジング１９とを備えている。
【選択図】図３

Description

本発明は、半導体ウエハ、液晶パネル、多層基板やリードフレームなどのワークに付着しているパーティクルや塵埃などの異物を除去に使用する基板クリーニング用のテープカートリッジに関する。

半導体ウエハなどの基板においては、その表面に形成された半導体素子などの動作確認のための、例えば、アルミニウムなどで形成されたのバンプ電極にプローブ針の先端を擦りつけて酸化膜などを除去して電極との導通をとっている（例えば、特許文献１参照）。

このような検査工程においては、プローブ針の擦りつけによって電極から遊離された酸化膜の破片が異物となって基板に付着残存することになり、その後の工程を経た後に形成されるパッケージとしての信頼性に影響を与えることとなるので、この異物を除去する必要がある。基板に付着残存している異物を除去する手段としては、基板を洗浄する手段、あるいは、粘着テープを基板全面に貼付け剥離して異物を粘着テープに移し取り除去する手段、などが適宜選択されている。
特開平１１−１３３１１６号公報〔段落（０００２）〜（０００５）〕

半導体ウエハなどの基板には洗浄耐性のないものがあり、このような基板に対しては粘着テープを基板に貼付け剥離しての異物除去が行われる。しかし、近年、大型、かつ、薄型化傾向にある基板の全面に粘着テープを貼付け剥離する場合、貼付け時の押圧力や、剥離時の剥離応力によって基板を損傷するおそれが高いものとなっている。つまり、粘着テープの慎重な貼付けおよび剥離が要求されて、処理に時間がかかるものとなる。

また、粘着テープの粘着剤である有機物が基板に残留して基板を汚損するおそれがある。さらに、基板全面に粘着テープを貼り付けるために、基板の外径以上の幅の粘着テープを用いる必要があり、大型の基板に対しては多量の粘着テープを使用してしまうので、廃棄物の増量を招くといった問題も生じている。

本発明はこのような実情に鑑みてなされたものであって、各種基板やリードフレームなどのワークに付着している異物を粘着テープを用いて的確かつ効率よく除去することができるワーククリーニング用のテープカートリッジを提供することを主たる目的としている。

第１の発明は、粘着テープを供給するテープ供給部と、
ワークに貼り付けて剥離した後の粘着テープを巻取り回収するテープ回収部と、
前記テープ供給部とテープ回収部とを収納するとともに、前記ワークに粘着テープを貼り付けるためのテープ露出部分を有するハウジングと、
を備えたことを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、ハウジングの一部から露出している粘着テープをワークにおける異物付着部位に局部的に貼り付けて剥離することで、必要以上に広く粘着テープを貼り付けることなく粘着テープからの転写物も極力抑えることができ、異物を粘着テープに移し取り除去することができる。異物を移し取った粘着テープはハウジング内に巻取り回収することで、処理済みの粘着テープから異物が遊離してワークに再付着するようなおそれはない。

第２の発明は、上記第１の発明において、
前記テープ供給部とテープ回収部とを仕切り壁によってハウジング内部に隔絶して構成してあることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、巻取り回収する際に処理済みの粘着テープを巻取り回収する際に、粘着テープから異物が遊離したとしても、テープ回収部がテープ供給部と隔絶されているので、遊離した異物が使用前の粘着テープに付着して、ワーク上に持ち込まれることはない。

第３の発明は、上記第１または第２の発明において、
前記テープ露出部分の粘着テープの非粘着面を押圧して、ワークに粘着テープを貼り付ける押圧部材を備えてあることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、ハウジングから露出しているテープ部分をワークの異物付着部位に目がけて確実に貼り付けることができる。

第４の発明は、上記第１ないし第３のいずれかの発明において、
前記粘着テープは、粘着面にセパレータが貼り合わされており、前記テープ供給部から供給される粘着テープからセパレータを剥離して回収するセパレータ回収部を備えたことを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、粘着テープの粘着面を貼り付け処理の直前までセパレータで覆って粘着性能が劣化しない状態で供給することができ、良好な異物の移し取りを行うことができる。

第５の発明は、上記第１ないし第３のいずれかの発明において、
前記粘着テープは、粘着面にセパレータが貼り合わされており、
前記テープ供給部から供給される粘着テープから剥離されたセパレータと、異物を移し取った粘着テープとを貼り合わせる貼合せ機構を備えたことを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、移し取った異物は、粘着テープとセパレータとにより封じ込められる。したがって、供給される未使用の粘着テープやワークに異物が再付着するのを防止することができる。

第６の発明は、上記第１ないし第３のいずれかの発明において、
前記粘着テープは、基材に粘着層の形成されたものであることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、テープ供給用の回転軸と粘着テープを巻き取り回収する回転軸の２本の構成となる。したがって、セパレータ回収部を備えた構成に比べ、構造を簡素化することができる。また、回転軸の同調をとりやすくなる。その結果、巻き取る粘着テープの巻き締まり、弛み、および巻きズレを抑制するの有効となる。

第７の発明は、上記第６の発明において、
前記テープ回収部は、ワークから剥離した粘着テープの粘着面を内側にして巻き取るよう構成してあることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、粘着面に移し取られた異物が遊離するおそれがなく、遊離した異物がハウジング内で移動して、使用前の粘着テープに付着したり、ハウジングから出てワークに再付着するようなことを確実に防止できる。

第８の発明は、上記第１ないし第７のいずれかの発明において、
前記粘着テープの繰出しおよび巻取り用の動力を伝達する駆動手段に係合連動される係合部を備えてあることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、駆動手段に対しての連動解除および連動連結が容易となるので、カートリッジの取替えのための処理休止時間を短くすますことができ、ワーククリーニング処理の能率アップに有効となる。

第９の発明は、上記第８の発明において、
前記動力伝動を行う駆動室を前記テープ供給部と別室として形成してあることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、駆動機構で発生する摩耗粉や潤滑オイルなどの異物が使用前の粘着テープに付着して貼り付け箇所に供給されることを防止することができる。

第１０の発明は、上記第１ないし第９のいずれかの発明において、
テープ回収部で巻き取った粘着テープの逆行を阻止する規制手段を備えてあることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、巻き取った使用済みの粘着テープが弛んでテープ露出箇所に飛び出してワークに接触し、移し取った異物がワークに再付着することを防止することができる。

第１１の発明は、上記第１ないし第１０のいずれかの発明において、
前記テープ供給部またはテープ回収部の両回転軸の少なくともいずれかにラチェットを備えたことを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、テープ供給部とテープ回収部の両回転軸の回転差を吸収させられる。したがって、巻き取る粘着テープの巻き締まり、弛み、および巻きズレを抑制するの有効に機能する。

以上のように、本発に係るワーククリーニング用のテープカートリッジによると、ワークに付着している異物を的確かつ効率よく除去するのに有効に活用することができる。

以下、図面を参照して本発明の一実施例説明する。なお、本実施例ではワークとして半導体ウエハである基板から異物を除去する場合を例に採って説明するが、本発明のワークとしては、半導体ウエハ以外に液晶パネル、多層基板などの各種基板およびリードフレームなども含まれる。

図１は、本発明の１実施例形態に用いる基板クリーニング装置の側面図、図２は、基板クリーニング装置の平面図である。

本発明に係る基板クリーニング方法を実行する基板クリーニング装置が、図１に基本構成が示されている。この基板クリーニング装置は、基板である半導体ウエハｗを位置決め載置して吸着保持するチャックテーブル１とクリーニングユニット２とを備えている。

図１および図２に示すように、チャックテーブル１は、前後移動可能な可動台３の上に案内レール４を介して左右に水平移動可能に支持されており、サーボ機能付きのモータ５で正逆転駆動される送りネジ６によって駆動移動される。可動台３は、基台７の上に案内レール８を介して前後に水平移動可能に支持されており、サーボ機能付きのモータ９で正逆転駆動されるる送りネジ１０によって駆動移動される。

クリーニングユニット２は、基台７に立設された支柱１１、この支柱１１の上端から前方に向けて片持ち延出されたブーム１２、ブーム１２の先端部に備えられた案内枠１３、案内枠１３に上下移動可能に支持された昇降台１４、昇降台１４に支点ｘ周りに上下揺動可能に支持されたブラケット１５、このブラケット１５に脱着可能に連結されたテープカートリッジ１６などから構成されている。昇降台１４は、モータ１７によって上下にネジ送り駆動され、ブラケット１５はエアーシリンダ１８によって上下に揺動駆動されるようになっている。

図３〜５に示すように、テープカートリッジ１６のハウジング１９は側面形状が略三角形に形成されている。その内部は、３分割構造に構成されている。つまり、その内部が隔壁２０でテープ幅方向に２室に隔絶されるとともに、隔壁２０の正面側において、仕切り壁２１によって、さらにテープ供給部２２、セパレータ回収部２３、およびテープ回収部２４に仕切られている。

図３において下部に位置するテープ供給部２２は前後に長く形成され、その後部にテープ供給軸２５が配備されるとともに、テープ供給部２２の前端部に押圧部材２６が装備されている。また、テープ供給部２２の後部上方に形成されたセパレータ回収部２３にセパレータ回収軸２７が配備されている。さらに、テープ供給部２２の前部上方に形成されたテープ回収部２４にテープ回収軸２８が配備されている。

テープ供給軸２５に、セパレータ付きの粘着テープＴを巻回した供給リール２９が外嵌装着されている。セパレータ回収軸２７には、粘着テープＴから剥離されたセパレータｓを巻き取るセパレータ回収リール３０が、セパレータ回収軸２７と一体回動可能に装着されている。さらに、テープ回収軸２８には、供給リール２９から引き出された粘着テープＴを巻き取るテープ回収リール３１がテープ回収軸２８と一体回動可能に装着されている。

供給リール２９において、粘着テープＴから剥離されたセパレータｓは、ガイドロール３２で案内されてセパレータ回収リール３０に導かれる。セパレータｓが剥離された粘着テープＴは、ガイドロール３３で案内されて、粘着面が下向き状態で押圧部材２６に導かれ、押圧部材２６の下面に受け止められて斜め上方の進行方向に後退する側に折り返し案内されるとともに、この粘着テープＴがガイドロール３３を介してテープ回収リール３１に導かれるようになっている。

押圧部材２６は、テープ供給部２２の前端下面に形成された開口３４から少し突出するように設けられ、押圧部材２６に非粘着面がわから受け止められた粘着テープＴの下向き粘着面が開口３４から露出されるようになっている。

図４および図５に示すように、隔壁２０の背面側には、外部と完全に隔絶された駆動室３５が形成されている。この駆動室３５には、セパレータ回収軸２７、テープ回収軸２８、および外部からの回転動力を受ける駆動軸３６が支架されるとともに、駆動軸３６とセパレータ回収軸２７およびテープ回収軸２８を駆動するための伝動機構３７が収容されている。

伝動機構３７は、セパレータ回収軸２７およびテープ回収軸２８のそれぞれに一体連結したギヤ３８，３９を、駆動軸３６に一体連結したピニオンギヤ４０に咬合させた構造となっている。図５に示すように、駆動軸３６の一端はハウジング１９の背面外部に露出されており、駆動軸３６の突出端に設けられた溝状の係合部３６ａが、ブラケット１５に装着されたモータ４１の出力軸４２に同心状に係合連動されている。

この伝動機構３７は、図４において、モータ４１によってピニオンギヤ４０が時計方向に回動することで、テープ回収軸２８が反時計方向に回動されて粘着テープＴがテープ回収リール３１に巻き取られるとともに、テープ供給リール２９から粘着テープＴが引き出される。これと同時にセパレータ回収軸２７も反時計方向に同調回動されてセパレータｓがセパレータ回収リール３０に巻き取られる。

次に、上記構成を有する基板クリーニング装置を用いて、異物除去処理工程を図６に示す概略フローチャートに沿って説明する。

基板ｗは先ず適宜仕様の異物検査装置４４（図２参照）に搬入され（ステップ１）、基板ｗの表面全面が走査されて（ステップ２）、異物の有無、および、異物の付着部位の位置情報が取得され、取得された情報は基板クリーニング装置の制御装置４３（図２参照）に転送される（ステップ３）。

異物の付着が検出された基板ｗは基板クリーニング装置に移載され、チャックテーブル１に所定の姿勢で位置決め載置されて吸着保持される。この場合、クリーニングユニット２におけるテープカートリッジ１６は上方位置に待機している（ステップ４）。

以下にステップ５における検査情報に基づく異物除去処理が行われる。チャックテーブル１に保持された基板ｗに関するデータが制御装置４３によって読み出され、このデータに含まれる異物付着位置まで移動量をモータ５，９の回転量に変化された信号に基づいてモータ５，９が作動し、チャックテーブル１が前後左右に水平移動される。つまり、上方位置に待機しているテープカートリッジ１６の下方に異物付着部位が位置するように基板ｗの位置決めが行われる。次にモータ１７が作動し、昇降台１４が下限まで下降されて、図７に示すように、異物付着部位の直上に押圧部材２６が対向される。

次に、エアーシリンダ１８が作動してテープカートリッジ１６が支点ｘ周りに下方揺動され、テープカートリッジ１６の先端部の開口３４に臨んでいる押圧部材２６が基板表面に所定の圧力で押し付けられる。つまり、図８に示すように、粘着面ｎを下向きにして押圧部材２６に巻き掛けられた粘着テープＴが異物ｐの付着部位に小面積で貼り付けられる。

異物ｐの付着が、粘着テープＴの繰り出しを静止した状態での露出したテープの貼り付け範囲内に収まる場合には、図９に示すように、テープカートリッジ１６が支点ｘ周りに上方揺動されて、貼り付けられた粘着テープＴが基板ｗから剥離される。これによって、基板ｗ上の異物は粘着テープＴの粘着面に移し取られる。

テープカートリッジ１６が持ち上げられるとモータ４１が作動し、図１０に示すように、粘着テープＴがテープ回収リール３１に所定少量だけ巻き取られ、押圧部材２６の下面に新たな粘着テープＴが供給される。

図１１に示すように、異物ｐの付着が静止状態で露出したテープ貼り付け範囲内に収まらない場合には、図１２に示すように、粘着テープＴが最前方に在る異物ｐの付着部位に貼り付けられた後、図１３に示すように、チャックテーブル１が前進移動され、基板ｗが異物付着範囲に応じた量だけ前方に水平移動されるとともに、モータ４１が作動して粘着テープＴの巻取りが行われる。基板ｗが前方に移動するに連れて押圧部材２６が基板ｗに対して相対的に後方に移動し、粘着テープＴは押圧部材２６の下方において基板ｗの表面に貼り付けられながら、押圧部材２６の先端における折り返しに伴って逐次基板ｗから剥離されてゆく。そして、基板ｗ上の異物ｐは粘着テープＴの粘着面に順次に移し取られてゆく。

所定範囲の異物ｐが粘着テープＴに移し取られるとチャックテーブル１の前進移動が停止され、図１４に示すように、テープカートリッジ１６が支点ｘ周りに上方揺動されて、貼り付けられた粘着テープＴが基板ｗから剥離される。

この場合、剥離された処理済み粘着テープＴは粘着面を上向きにした状態でテープ回収部２４に送り込まれ、粘着面を内側にして巻き取られるので、移し取られた異物が粘着面から剥落および飛散してテープカートリッジ１６からこぼれ落ちるようなことはない。

次に、次の異物付着部位がテープカートリッジ１６の下方に位置するようにチャックテーブル１が移動され、以下、上記作動が繰り返される。

全ての異物付着部位での異物除去が終了すると、昇降台１４が待機位置まで上昇復帰されるとともに、処理の済んだ基板ｗが搬出される（ステップＳ６）。

以上で、１枚の基板ｗの異物除去処理が終了し、次の基板ｗが搬入に備えられる。

なお、テープ供給リール２９の粘着テープＴが消費されると、テープカートリッジ１６を新しいものと交換する。回収したテープカートリッジ１６は、リール交換および清掃を行うことで再利用することができる。

以上のように、テープカートリッジ１６を利用することにより、基板上の異物ｐの付着した部分を局部的に狙ってその異物ｐのみに粘着テープＴを貼り付けて移し取り、基板ｗから除去することができる。したがって、洗浄できない基板に対して、その全面に粘着テープを貼り付ける必要がないので、粘着テープＴの貼付け時の押圧力や粘着テープＴの剥離時の剥離応力を極力小さく抑えることができる。すなわち、これら影響で基板に損傷を与えるのを抑制することができる。

また、剥離回収した粘着テープＴは、テープ回収リール３１に粘着面を内側（リール中心軸側）にして巻き取られるので、異物ｐの離落や飛散が防止される。さらに、テープ回収部２４自体が、テープカートリッジ１６の内部で仕切り壁２１によって、隔絶されているので、例え異物が離落してもテープ供給部２２側に飛散して粘着テープＴを汚染することがない。

また、テープカートリッジ１６は、内部で隔壁２０によって駆動室３５が隔絶されているので、伝達機構３７で発生する摩耗粉や潤滑オイルなどの異物が使用前の粘着テープＴに付着して汚染するのを防止することができる。

さらに、粘着テープＴの粘着面ｎを貼り付け処理の直前までセパレータｓで覆っておくことができるので、粘着性能が劣化しない状態で供給することができ、良好な異物ｐの移し取りを行うことができる。

なお、本発明は以下のような形態で実施することも可能である。

（１）テープ回収軸２８あるいはセパレータ回収軸２７の一方をモータ４１に連動連結可能に構成するとともに、ピニオンギヤ４０を遊転ギヤに構成して実施することもできる。

（２）テープ回収軸２８あるいはセパレータ回収軸２７の一方をモータ４１に連動連結可能に構成するとともに、両軸２８，２７をベルトで巻き掛け連動して、テープ回収リール３１とセパレータ回収リール３０を同調して巻取り方向に回動させることもできる。

（３）上記実施例では、位置固定したテープカートリッジ１６に対して、基板ｗをチャックテーブル１によって水平移動させるようにしているが、逆に、位置固定した基板ｗに対してテープカートリッジ１６を前後左右に移動させる形態で実施することもできる。

（４）粘着テープＴの引き出し力を利用してテープ回収軸２８およびセパレータ回収軸２７を巻取り駆動することも可能である。例えば、回転可能に支架したテープ供給軸２５とセパレータ回収軸２７とをアイドルギヤを介してギヤ連動して、粘着テープＴの引き出しに伴うテープ供給軸２５の回動でセパレータ回収軸２７を巻取り方向に回動させ、かつ、セパレータ回収軸２７とテープ回収軸２８とをアイドルギヤを介してギヤ連動して、セパレータ回収軸２７の巻取り方向への回動に連動してテープ回収軸２８を巻取り方向に回動させることができる。この構成によると、巻取り駆動力を供給する前記モータ４１を不要とすることができる。但し、この構成においては、必ず押圧部材２６と基板ｗとを相対水平移動させての貼り付け剥離が必要となるので、基板ｗを固定させた状態での貼り付け剥離による異物除去処理はできないものとなる。

（５）上記実施例では、粘着テープＴから剥離後のセパレータｓを個別のセパレータ回収リール３０に巻き取り回収していたが、異物除去後の粘着テープＴに再度貼り合わせて巻き取り回収するように構成してもよい。例えば、図１５に示すように、テープ供給リールから粘着テープＴを繰り出すとともに、剥離されたセパレータｓを図中上部に案内し、仕切り壁２１の間隙を通過させてテープ回収部２４に導く。このセパレータｓを、さらにニップローラ５０に導き、異物を移し取った粘着テープＴと貼り合わせてテープ回収リール３０に巻き取る。なお、ニップローラ５０は、本発明の貼合せ機構に相当する。

この構成によれば、粘着テープＴに移し取られた異物が粘着テープＴとセパレータｓにより封じ込まれるので、テープカートリッジ内で再度飛散することがない。すなわち、テープ供給リール３１から供給される未使用の粘着面が異物によって汚染されるのを防止することができる。

（６）上記実施例では、押圧部材２６にブロック状のものを利用していたが、図１６に示すように、粘着テープＴの幅方向の位置決めおよびガイドとして機能する側壁４５を設けた構成にしてもよい。この場合、テープカートリッジ１６を揺動させたときに、側壁４５の先端側を切欠いて粘着テープＴの露出面が基板Ｔに貼り付けやすいように構成することが好ましい。

（７）上記実施例では、テープカートリッジ１６に押圧部材２６を備えた構成であったが、押圧部材２６を個別に駆動するように別の構成にしてもよい。例えば、図１７に示すように、テープカートリッジ１６Ａを供給側と回収側とが下向きに突き出た形状とし、その両端に亘ってブリッジ状に粘着テープＴを露出させ、その非粘着面側に形成された空間に押圧部材２６Ａを配備するように構成する。つまり、押圧部材２６Ａをその空間内で昇降させることにより、その先端で粘着テープＴの粘着面ｎを基板上の異物ｐに局部的に貼り付けるようにできる。

（８）上記実施例において、テープ回収軸２８が反転して巻き取った粘着テープＴが弛まないように、ギア３９の反転を規制する規制手段としてのラッチ機構などを備えた構成としてもよい。または、テープ供給軸２５とテープ回収軸２７の少なくとも一方にラチェットを取り付ける。この場合、両軸の回転差を吸収することができる。したがって、巻き取る粘着テープの巻き締まり、弛み、および巻きズレを抑制することができる。

（９）上記実施例では、テープカートリッジ１６を基板クリーニング装置に装着して自動で基板ｗから異物ｐを除去していたが、テープカートリッジ１６のみを利用して作業者が手動で基板ｗから異物ｐを除去するようにしてもよい。

（１０）上記実施例では、セパレータ付きの粘着テープＴを利用し、テープ供給部２２からの粘着テープＴの繰り出しと同時にセパレータｓを剥離回収していたが、この粘着テープＴに代えて基材に粘着層を形成したセパレータ無しの粘着テープＴをリール状に巻回したものを利用してもよい。この場合、テープカートリッジ１６としては、例えば、次のように構成することができる。

図１８および図１９に示すように、ハウジング１９の内部を、仕切り壁２１によってテープ供給部２２とテープ回収部２４に仕切る。テープ供給部２２は、テープ供給軸２５が配備されている。このテープ供給軸２５は、遊転自在または適度の回転抵抗が付与されている。

テープ供給部２２の前端下面に形成された開口から先端が少し突出するように押圧部材２６が設けられている。この押圧部材２６に非粘着面側から受け止められた粘着テープＴが、下向き粘着面を開口から露出されるようになっている。また、押圧部材２６の両側端には、粘着テープ走行時のテープ幅方向のふらつきを規制しながら先端に案内する側壁４５が設けられている。

テープ回収部２４は、テープ回収軸２８にモータ４１の出力軸４２が直接に連結されている。したがって、モータ４１の駆動と連動して粘着テープＴを巻上げなら回収するよう構成されている。

このように構成することにより、上記実施例に比べて駆動軸を２軸にすることができるとともに、モータ４１の出力軸４２をテープ回収軸２８に直接に連結することができるので、駆動機構を簡素化することができる。また、駆動軸を２本にすることにより、テープ巻き取り回収時の２軸の回転数の差を吸収（調整）しやすくなる。したがって、テープの巻き締まり、弛み、および巻きズレを抑制しやすくなる。

基板クリーニング装置の側面図である。 基板クリーニング装置の平面図である。 テープカートリッジの縦断側面図である。 テープカートリッジの縦断側面図である。 図３におけるａ−ａ断面図である。 異物除去処理工程のフローチャートである。 異物除去処理作動を示す要部の拡大側面図である。 異物除去処理作動を示す要部の拡大側面図である。 異物除去処理作動を示す要部の拡大側面図である。 異物除去処理作動を示す要部の拡大側面図である。 異物除去処理作動を示す要部の拡大側面図である。 異物除去処理作動を示す要部の拡大側面図である。 異物除去処理作動を示す要部の拡大側面図である。 異物除去処理作動を示す要部の拡大側面図である。 変形例のテープカートリッジを示す側面図である 変形例の押圧部材を示す側面図である。 変形例のテープカートリッジを示す側面図である。 変形例のテープカートリッジの側面図である。 図１８におけるａ−ａ断面図である。

符号の説明

１６ … テープカートリッジ
２０ … 隔壁
２２ … テープ供給部
２３ … セパレータ回収部
２４ … テープ回収部
２６ … 押圧部材
３６ … 係合部
ｐ … 異物
ｓ … セパレータ
Ｔ … 粘着テープ
ｗ … 基板

Claims (11)

1. 粘着テープを供給するテープ供給部と、
   ワークに貼り付けて剥離した後の粘着テープを巻取り回収するテープ回収部と、
   前記テープ供給部とテープ回収部とを収納するとともに、前記ワークに粘着テープを貼り付けるためのテープ露出部分を有するハウジングと、
   を備えたことを特徴とするワーククリーニング用のテープカートリッジ。
2. 請求項１に記載のワーククリーニング用のテープカートリッジにおいて、
   前記テープ供給部とテープ回収部とを仕切り壁によってハウジング内部に隔絶して構成した
   ことを特徴とするワーククリーニング用のテープカートリッジ。
3. 請求項１または請求項２に記載のワーククリーニング用のテープカートリッジにおいて、
   前記テープ露出部分の粘着テープの非粘着面を押圧して、ワークに粘着テープを貼り付ける押圧部材を備えた
   ことを特徴とするワーククリーニング用のテープカートリッジ。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のワーククリーニング用のテープカートリッジにおいて、
   前記粘着テープは、粘着面にセパレータが貼り合わされており、
   前記テープ供給部から供給される粘着テープからセパレータを剥離して回収するセパレータ回収部を備えた
   ことを特徴とするワーククリーニング用のテープカートリッジ。
5. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のワーククリーニング用のテープカートリッジにおいて、
   前記粘着テープは、粘着面にセパレータが貼り合わされており、
   前記テープ供給部から供給される粘着テープから剥離されたセパレータと、異物を移し取った粘着テープとを貼り合わせる貼合せ機構を備えた
   ことを特徴とするワーククリーニング用のテープカートリッジ。
6. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のワーククリーニング用のテープカートリッジにおいて、
   前記粘着テープは、基材に粘着層の形成されたものである
   ことを特徴とするワーククリーニング用のテープカートリッジ。
7. 請求項６に記載のワーククリーニング用のテープカートリッジにおいて、
   前記テープ回収部は、ワークから剥離した粘着テープの粘着面を内側にして巻き取るよう構成した
   ことを特徴とするワーククリーニング用のテープカートリッジ。
8. 請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のワーククリーニング用のテープカートリッジにおいて、
   前記粘着テープの繰出しおよび巻取り用の動力を伝達する駆動手段に係合連動される係合部を備えた
   ことを特徴とするワーククリーニング用のテープカートリッジ。
9. 請求項８に記載のワーククリーニング用のテープカートリッジにおいて、
   前記動力伝動を行う駆動室を前記テープ供給部と別室として形成した
   ことを特徴とするワーククリーニング用のテープカートリッジ。
10. 請求項１ないし請求項９のいずれかに記載のワーククリーニング用のテープカートリッジにおいて、
    テープ回収部で巻き取った粘着テープの逆行を阻止する規制手段を備えた
    ことを特徴とするワーククリーニング用のテープカートリッジ。
11. 請求項１ないし請求項１０のいずれかに記載のワーククリーニング用のテープカートリッジにおいて、
    前記テープ供給部またはテープ回収部の両回転軸の少なくともいずれかにラチェットを備えた
    ことを特徴とするワーククリーニング用のテープカートリッジ。

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