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JP2008102351A - Positive photosensitive composition - Google Patents

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JP2008102351A
JP2008102351A JP2006285334A JP2006285334A JP2008102351A JP 2008102351 A JP2008102351 A JP 2008102351A JP 2006285334 A JP2006285334 A JP 2006285334A JP 2006285334 A JP2006285334 A JP 2006285334A JP 2008102351 A JP2008102351 A JP 2008102351A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
compound
photosensitive composition
positive photosensitive
group
diol
Prior art date
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Pending
Application number
JP2006285334A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Sato
弘幸 佐藤
Eiji Watanabe
英司 渡辺
Takashi Kikukawa
敬 菊川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JNC Corp
Original Assignee
Chisso Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Chisso Corp filed Critical Chisso Corp
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  • Polyesters Or Polycarbonates (AREA)
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Abstract

【課題】アルカリ現像によるパターン形成が可能で、耐熱性および異物特性の良好な保護膜用感光性組成物が求められている。
【解決手段】少なくとも、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)とジアミン(a2)と多価ヒドロキシ化合物(a3)とを用いて合成される構成単位を有する化合物(A2)、および、1,2−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性組成物。
【選択図】なし
There is a need for a photosensitive composition for a protective film that can form a pattern by alkali development and has good heat resistance and foreign material characteristics.
A compound (A2) having a structural unit synthesized using at least a compound (a1) having two or more acid anhydride groups, a diamine (a2), and a polyvalent hydroxy compound (a3), and A positive photosensitive composition containing a 1,2-quinonediazide compound.
[Selection figure] None

Description

本発明は、液晶表示素子やEL表示素子などを製造するためのポジ型感光性組成物、該組成物から製造した保護膜または絶縁膜、および該保護膜または該絶縁膜を含む表示素子に関する。   The present invention relates to a positive photosensitive composition for producing a liquid crystal display element, an EL display element, and the like, a protective film or an insulating film produced from the composition, and a display element including the protective film or the insulating film.

パターン化された透明膜は、スペーサー、絶縁膜、保護膜など液晶表示素子の多くの部分で使用されている。近年、VAモードやIPSモードに代表される液晶表示素子の高性能化により、カラーフィルター上に保護膜を具備した液晶表示素子が増えている。   Patterned transparent films are used in many parts of liquid crystal display elements such as spacers, insulating films and protective films. In recent years, the performance of liquid crystal display elements represented by the VA mode and the IPS mode has increased, and the number of liquid crystal display elements having a protective film on a color filter has increased.

このような保護膜には、熱硬化性材料あるいは感光性材料が使用されるが、保護膜を必要な部分にだけ製膜する場合や、絶縁膜においてホールパターンを形成する場合には感光性材料が使用される場合が多い。   For such a protective film, a thermosetting material or a photosensitive material is used, but when forming a protective film only on a necessary part or when forming a hole pattern in an insulating film, the photosensitive material is used. Is often used.

また、保護膜用の組成物および絶縁膜用の組成物は表示素子全面に塗布されるため、塗布ノズルに付着しているゲル状物の落下等によりスペックアウト品が発生しやすいという問題がある。これを防ぐためには、異物が存在しても見えにくい「異物特性」が重要である。「異物特性」とは、異物が存在する基板上に樹脂組成物を塗布・乾燥したときに、異物の周辺の膜厚に乱れが生じ、その結果、異物周辺の反射光が乱れ、実際の異物の大きさより拡大された形状で目視され、異物が目立ち易くなる現象をいう。異物特性に優れるとは、この様な現象が起こりにくく異物が目立たないことをいう。異物特性は、カラーフィルー製造時の歩留まりに大きく影響するものである。
特開2005−105264号公報(特許文献1)には熱硬化性の保護膜材料には異物特性に優れた材料についての記載があるが、感光性の保護膜材料についてはこれまでのところ異物特性に優れた材料は見出されておらず、例えば、重合性モノマーを光重合開始剤で重合させるタイプのネガ型感光性組成物では、含有する重合性モノマーの影響で異物特性が低下する(例えば、特開2005−308874号公報(特許文献2))。一方、ポジ型感光性組成物を使用した保護膜や絶縁膜も提案されているが、比較的、異物特性は優れているが、アクリル系であるため耐熱性が低く、さらに、保護膜として重要な特性である平坦性が不十分である(特開平5−165214号公報(特許文献3)、特開2001−330953号公報(特許文献4)、特開2002−287351号公報(特許文献5))。
特開2005−105264号公報 特開2005−308874号公報 特開平5−165214号公報 特開2001−330953号公報 特開2002−287351号公報
In addition, since the composition for the protective film and the composition for the insulating film are applied to the entire surface of the display element, there is a problem that a spec-out product is likely to occur due to a drop of a gel-like material attached to the coating nozzle. . In order to prevent this, “foreign matter characteristics” that are difficult to see even when foreign matter is present are important. “Foreign material characteristics” means that when a resin composition is applied and dried on a substrate on which foreign material exists, the film thickness around the foreign material is disturbed, resulting in disturbed reflected light around the foreign material. This is a phenomenon in which a foreign object is easily noticeable when viewed in a shape enlarged from the size of. “Excellent foreign material properties” means that such a phenomenon is unlikely to occur and foreign materials are not conspicuous. The foreign matter characteristics greatly affect the yield at the time of manufacturing the color film.
Japanese Patent Laid-Open No. 2005-105264 (Patent Document 1) describes a material having excellent foreign matter characteristics as a thermosetting protective film material, but the foreign matter characteristics so far for photosensitive protective film materials. For example, in a negative photosensitive composition of a type in which a polymerizable monomer is polymerized with a photopolymerization initiator, foreign material characteristics are deteriorated due to the influence of the polymerizable monomer contained (for example, JP, 2005-308874, A (patent documents 2)). On the other hand, a protective film and an insulating film using a positive photosensitive composition have also been proposed, but they have relatively excellent foreign material properties, but they are acrylic and have low heat resistance, and are also important as protective films. The flatness which is a characteristic is insufficient (Japanese Patent Laid-Open No. 5-165214 (Patent Document 3), Japanese Patent Laid-Open No. 2001-330953 (Patent Document 4), Japanese Patent Laid-Open No. 2002-287351 (Patent Document 5). ).
JP 2005-105264 A JP 2005-308874 A JP-A-5-165214 JP 2001-330953 A JP 2002-287351 A

アルカリ現像によるパターン形成が可能で、耐熱性および異物特性の良好な保護膜用感光性組成物が求められている。   There is a need for a photosensitive composition for a protective film that can form a pattern by alkali development and has good heat resistance and foreign material characteristics.

本発明者等は、下記式(2)で示される構成単位を有する化合物(A1)もしくは下記式(1)で示される構成単位と下記式(2)で示される構成単位とを有する化合物(A2)、並びに、1,2−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性組成物を見出し、この知見に基づいて本発明を完成した。   The inventors have a compound (A1) having a structural unit represented by the following formula (2) or a compound (A2) having a structural unit represented by the following formula (1) and a structural unit represented by the following formula (2). And a positive photosensitive composition containing a 1,2-quinonediazide compound, and the present invention was completed based on this finding.

[1] 下記式(2)

Figure 2008102351
(式中、R1とR3はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位を有する化合物(A1)、および、1,2−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性組成物。
[2] 化合物(A1)が、少なくとも、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と多価ヒドロキシ化合物(a3)とを用いて合成される、[1]に記載のポジ型感光性組成物。
[3] 酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)が、テトラカルボン酸二無水物、および、酸無水物基を有する重合性モノマーと他の重合性モノマーとの共重合体からなる群から選ばれる1以上であり、
多価ヒドロキシ化合物(a3)がジオールである、[2]に記載のポジ型感光性組成物。
[4] 化合物(A1)が、
ジオール、テトラカルボン酸二無水物およびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物、
ジオールおよびテトラカルボン酸二無水物の反応生成物、または、
ジオールおよびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物
である、[1]に記載のポジ型感光性組成物。
[5] 化合物(A1)が、
ジオール、テトラカルボン酸二無水物、スチレン−無水マレイン酸共重合体および1価アルコールの反応生成物、
ジオール、テトラカルボン酸二無水物、スチレン−無水マレイン酸共重合体およびモノアミンの反応生成物、
ジオール、テトラカルボン酸二無水物および1価アルコールの反応生成物、
ジオール、テトラカルボン酸二無水物およびモノアミンの反応生成物、
ジオール、スチレン−無水マレイン酸共重合体および1価アルコールの反応生成物、または、
ジオール、スチレン−無水マレイン酸共重合体およびモノアミンの反応生成物
である、[1]に記載のポジ型感光性組成物。 [1] The following formula (2)
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 3 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
A positive photosensitive composition containing a compound (A1) having a structural unit represented by formula (1) and a 1,2-quinonediazide compound.
[2] The positive photosensitive property according to [1], wherein the compound (A1) is synthesized using at least the compound (a1) having two or more acid anhydride groups and the polyvalent hydroxy compound (a3). Composition.
[3] The compound (a1) having two or more acid anhydride groups is composed of tetracarboxylic dianhydride and a copolymer of a polymerizable monomer having an acid anhydride group and another polymerizable monomer. 1 or more selected from
The positive photosensitive composition as described in [2], wherein the polyvalent hydroxy compound (a3) is a diol.
[4] Compound (A1) is
Reaction product of diol, tetracarboxylic dianhydride and styrene-maleic anhydride copolymer,
Reaction product of diol and tetracarboxylic dianhydride, or
The positive photosensitive composition according to [1], which is a reaction product of a diol and a styrene-maleic anhydride copolymer.
[5] Compound (A1) is
Reaction product of diol, tetracarboxylic dianhydride, styrene-maleic anhydride copolymer and monohydric alcohol,
Reaction product of diol, tetracarboxylic dianhydride, styrene-maleic anhydride copolymer and monoamine,
Reaction product of diol, tetracarboxylic dianhydride and monohydric alcohol,
Reaction products of diols, tetracarboxylic dianhydrides and monoamines,
Reaction product of diol, styrene-maleic anhydride copolymer and monohydric alcohol, or
The positive photosensitive composition according to [1], which is a reaction product of a diol, a styrene-maleic anhydride copolymer and a monoamine.

[6] ジオールが、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,7−ヘプタンジオールおよび1,8−オクタンジオールからなる群から選ばれる1つ以上であり、
テトラカルボン酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物および3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1つ以上であり、
1価アルコールが、ベンジルアルコール、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルおよび3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタンからなる群から選ばれる1つ以上であり、
モノアミンが、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、4−アミノブチルトリメトキシシラン、4−アミノブチルトリエトキシシラン、4−アミノブチルメチルジエトキシシラン、p−アミノフェニルトリメトキシシラン、p−アミノフェニルトリエトキシシラン、p−アミノフェニルメチルジメトキシシラン、p−アミノフェニルメチルジエトキシシラン、m−アミノフェニルトリメトキシシラン、m−アミノフェニルメチルジエトキシシランおよびアミノ安息香酸からなる群から選ばれる1つ以上である、[4]または[5]に記載のポジ型感光性組成物。
[7] 下記式(1)

Figure 2008102351
(式中、R1とR2はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位と、下記式(2)
Figure 2008102351
(式中、R1とR3はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位とを有する化合物(A2)、および、1,2−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性組成物。 [6] The diol is selected from the group consisting of ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol, and 1,8-octanediol. One or more selected,
Tetracarboxylic dianhydride is pyromellitic dianhydride, cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-Diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride and 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride One or more selected from the group consisting of things,
Monohydric alcohols are benzyl alcohol, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether and 3-ethyl-3-hydroxy One or more selected from the group consisting of methyl oxetane,
Monoamine is 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, 4-aminobutyltrimethoxysilane, 4-aminobutyltriethoxy Silane, 4-aminobutylmethyldiethoxysilane, p-aminophenyltrimethoxysilane, p-aminophenyltriethoxysilane, p-aminophenylmethyldimethoxysilane, p-aminophenylmethyldiethoxysilane, m-aminophenyltrimethoxy The positive photosensitive composition according to [4] or [5], which is one or more selected from the group consisting of silane, m-aminophenylmethyldiethoxysilane, and aminobenzoic acid.
[7] The following formula (1)
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 2 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
And the following formula (2)
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 3 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
A positive photosensitive composition containing a compound (A2) having a structural unit represented by formula (1) and a 1,2-quinonediazide compound.

[8] 化合物(A2)が、少なくとも、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)とジアミン(a2)と多価ヒドロキシ化合物(a3)とを用いて合成される、[7]に記載のポジ型感光性組成物。
[9] 酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)が、テトラカルボン酸二無水物、および、酸無水物基を有する重合性モノマーと他の重合性モノマーとの共重合体からなる群から選ばれる1以上であり、
多価ヒドロキシ化合物(a3)がジオールである、[8]に記載のポジ型感光性組成物。
[10] 化合物(A2)が、
ジオール、ジアミン、テトラカルボン酸二無水物およびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物、
ジオール、ジアミンおよびテトラカルボン酸二無水物の反応生成物、または、
ジオール、ジアミンおよびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物、
である、[7]に記載のポジ型感光性組成物。
[11] 化合物(A2)が、
ジオール、ジアミン、テトラカルボン酸二無水物、スチレン−無水マレイン酸共重合体および1価アルコールの反応生成物、
ジオール、ジアミン、テトラカルボン酸二無水物、スチレン−無水マレイン酸共重合体およびモノアミンの反応生成物、
ジオール、ジアミン、テトラカルボン酸二無水物および1価アルコールの反応生成物、
ジオール、ジアミン、テトラカルボン酸二無水物およびモノアミンの反応生成物、
ジオール、ジアミン、スチレン−無水マレイン酸共重合体および1価アルコールの反応生成物、または、
ジオール、ジアミン、スチレン−無水マレイン酸共重合体、モノアミンの反応生成物、
である、[7]に記載のポジ型感光性組成物。
[8] The compound (A2) is synthesized using at least the compound (a1) having two or more acid anhydride groups, the diamine (a2), and the polyvalent hydroxy compound (a3). A positive photosensitive composition.
[9] The group in which the compound (a1) having two or more acid anhydride groups comprises a tetracarboxylic dianhydride and a copolymer of a polymerizable monomer having an acid anhydride group and another polymerizable monomer. 1 or more selected from
The positive photosensitive composition as described in [8], wherein the polyvalent hydroxy compound (a3) is a diol.
[10] Compound (A2) is
Reaction product of diol, diamine, tetracarboxylic dianhydride and styrene-maleic anhydride copolymer,
Reaction product of diol, diamine and tetracarboxylic dianhydride, or
Reaction product of diol, diamine and styrene-maleic anhydride copolymer,
The positive photosensitive composition as described in [7].
[11] Compound (A2) is
Reaction product of diol, diamine, tetracarboxylic dianhydride, styrene-maleic anhydride copolymer and monohydric alcohol,
Reaction products of diols, diamines, tetracarboxylic dianhydrides, styrene-maleic anhydride copolymers and monoamines,
Reaction product of diol, diamine, tetracarboxylic dianhydride and monohydric alcohol,
Reaction products of diols, diamines, tetracarboxylic dianhydrides and monoamines,
Reaction product of diol, diamine, styrene-maleic anhydride copolymer and monohydric alcohol, or
Diol, diamine, styrene-maleic anhydride copolymer, monoamine reaction product,
The positive photosensitive composition as described in [7].

[12] ジオールが、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,7−ヘプタンジオールおよび1,8−オクタンジオールからなる群から選ばれる1つ以上であり、
ジアミンが、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,3'−ジアミノジフェニルスルホン、3,4'−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2’−ジアミノジフェニルプロパン、ビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]メタン、および下記式(A)

Figure 2008102351
(式中、R4およびR5は独立して炭素数1〜3のアルキルまたはフェニルであり、R6独立してはメチレン、フェニレンまたはアルキル置換されたフェニレンである。xは独立して1〜6の整数であり、yは1〜10の整数である。)
で表される化合物なる群からから選ばれる1つ以上であり、
テトラカルボン酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物および3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1つ以上であり、
1価アルコールが、ベンジルアルコール、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルおよび3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタンからなる群から選ばれる1つ以上であり、
モノアミンが、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、および4−アミノ安息香酸からなる群から選ばれる1つ以上である、[10]または[11]に記載のポジ型感光性組成物。
[13] ジオールが、1,4−ブタンジオールであり、
ジアミンが、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,3'−ジアミノジフェニルスルホン、および下記式(A)
Figure 2008102351
(式中、R4およびR5は独立して炭素数1〜3のアルキルまたはフェニルであり、R6独立してはメチレン、フェニレンまたはアルキル置換されたフェニレンである。xは独立して1〜6の整数であり、yは1〜10の整数である。)
で表される化合物からなる群から選ばれる1つ以上であり、
テトラカルボン酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物および3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1つ以上であり、
1価アルコールが、ベンジルアルコール、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルおよび3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタンからなる群から選ばれる1つ以上であり、
モノアミンが、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、p−アミノフェニルトリメトキシシランおよびアミノ安息香酸からなる群から選ばれる1つ以上である、[10]または[11]に記載のポジ型感光性組成物。 [12] The diol is selected from the group consisting of ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol, and 1,8-octanediol. One or more selected,
Diamine is 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′. -Dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2'-diaminodiphenylpropane, bis [4- (4-aminobenzyl) Phenyl] methane and the following formula (A)
Figure 2008102351
Wherein R 4 and R 5 are independently alkyl or phenyl having 1 to 3 carbon atoms, R 6 is independently methylene, phenylene or alkyl-substituted phenylene. X is independently 1 to 1 6 is an integer, and y is an integer of 1 to 10.)
One or more selected from the group consisting of compounds represented by:
Tetracarboxylic dianhydride is pyromellitic dianhydride, cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-Diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride and 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride One or more selected from the group consisting of things,
The monohydric alcohol is one or more selected from the group consisting of benzyl alcohol, 2-hydroxyethyl methacrylate, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether and 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane;
One selected from the group consisting of monoamino, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, and 4-aminobenzoic acid; The positive photosensitive composition as described in [10] or [11].
[13] The diol is 1,4-butanediol,
Diamine is 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, and the following formula (A)
Figure 2008102351
Wherein R 4 and R 5 are independently alkyl or phenyl having 1 to 3 carbon atoms, R 6 is independently methylene, phenylene or alkyl-substituted phenylene. X is independently 1 to 1 6 is an integer, and y is an integer of 1 to 10.)
One or more selected from the group consisting of compounds represented by:
Tetracarboxylic dianhydrides are pyromellitic dianhydride, butanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride and 3,3 ′, 4,4. One or more selected from the group consisting of '-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride,
The monohydric alcohol is one or more selected from the group consisting of benzyl alcohol, 2-hydroxyethyl methacrylate, diethylene glycol monoethyl ether and 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane;
[10] or [11], wherein the monoamine is one or more selected from the group consisting of 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, p-aminophenyltrimethoxysilane, and aminobenzoic acid. The positive photosensitive composition as described.

[14] テトラカルボン酸二無水物およびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物からなる群から選ばれる1つ以上である酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と、 エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,7−ヘプタンジオールおよび1,8−オクタンジオールからなる群から選ばれる1つ以上である多価ヒドロキシ化合物(a3)と、を用いて合成される下記式(2)

Figure 2008102351
(式中、R1とR3はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位を有する化合物(A1)、ならびに、
1,2−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性組成物。
[15] テトラカルボン酸二無水物およびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物からなる群から選ばれる1つ以上である酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,3'−ジアミノジフェニルスルホン、3,4'−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2’−ジアミノジフェニルプロパンおよびビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]メタンからなる群から選ばれる1つ以上であるジアミン(a2)と、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,7−ヘプタンジオールおよび1,8−オクタンジオールからなる群から選ばれる1つ以上である多価ヒドロキシ化合物(a3)と、を用いて合成される 下記式(1)
Figure 2008102351
(式中、R1とR2はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位と、下記式(2)
Figure 2008102351
(式中、R1とR3はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位とを有する化合物(A2)、ならびに、
1,2−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性組成物。 [14] Compound (a1) having two or more acid anhydride groups which are one or more selected from the group consisting of a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and styrene-maleic anhydride copolymer, ethylene glycol And one or more selected from the group consisting of propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol and 1,8-octanediol A hydroxy compound (a3) and the following formula (2)
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 3 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
A compound (A1) having a structural unit represented by:
A positive photosensitive composition containing a 1,2-quinonediazide compound.
[15] Compound (a1) having two or more acid anhydride groups that are one or more selected from the group consisting of a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and styrene-maleic anhydride copolymer; 4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, 3,4'-diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-dimethyl-4, Consists of 4′-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2′-diaminodiphenylpropane and bis [4- (4-aminobenzyl) phenyl] methane Diamine (a2) which is one or more selected from the group, ethylene glycol, propylene glycol, 1,4- A polyvalent hydroxy compound (a3) which is one or more selected from the group consisting of tandiol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol and 1,8-octanediol, The following formula (1)
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 2 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
And the following formula (2)
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 3 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
A compound (A2) having a structural unit represented by:
A positive photosensitive composition containing a 1,2-quinonediazide compound.

[16] 1,2−キノンジアジド化合物が、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、4,4'−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、および、4,4'−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルからなる群から選ばれる1つ以上である、[1]〜[15]に記載のポジ型感光性組成物。
[17] 1,2−キノンジアジド化合物が、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、および、4,4'−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルからなる群から選ばれる1つ以上である、[1]〜[15]に記載のポジ型感光性組成物。
[16] 1,2-quinonediazide compound is 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide -5-sulfonic acid ester, 4,4 '-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid Ester, and 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester The positive photosensitive composition according to any one of [1] to [15], which is one or more selected from the group.
[17] 1,2-quinonediazide compound is 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide -5-sulfonic acid ester and 4,4 '-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-5 The positive photosensitive composition according to [1] to [15], which is one or more selected from the group consisting of sulfonate esters.

[18] さらにエポキシ樹脂(C)を含有する、[1]〜[17]に記載のポジ型感光性組成物。
[19] エポキシ樹脂(C)が、下記式(C1)〜(C4)で示される化合物から選ばれる1つ以上である、[17]に記載のポジ型感光性組成物。

Figure 2008102351
(式中、nは0〜10の整数である。)
[20] エポキシ樹脂(C)が、オキシランを有するモノマーの重合体、および、オキシランを有するモノマーと他のモノマーとの共重合体からなる群から選ばれる1つ以上である、[18]に記載のポジ型感光性組成物。
[21] オキシランを有するモノマーが、グリシジル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートから選ばれる1つ以上である、[18]に記載のポジ型感光性組成物。
[22] [1]〜[21]のいずれか1項に記載のポジ型感光性組成物の透明膜またはパターン状透明膜。 [18] The positive photosensitive composition according to any one of [1] to [17], further comprising an epoxy resin (C).
[19] The positive photosensitive composition according to [17], wherein the epoxy resin (C) is one or more selected from compounds represented by the following formulas (C1) to (C4).
Figure 2008102351
(In the formula, n is an integer of 0 to 10.)
[20] The epoxy resin (C) is at least one selected from the group consisting of a polymer of a monomer having an oxirane and a copolymer of a monomer having an oxirane and another monomer. A positive photosensitive composition.
[21] The positive photosensitive resin according to [18], wherein the monomer having oxirane is one or more selected from glycidyl (meth) acrylate, methyl glycidyl (meth) acrylate, and 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate. Sex composition.
[22] A transparent film or a patterned transparent film of the positive photosensitive composition according to any one of [1] to [21].

本明細書中、アクリル酸とメタクリル酸の両者を示すために「(メタ)アクリル酸」のように表記することがある。また同様にアクリレートとメタクリレートの両者を示すために「(メタ)アクリレート」のように表記することがある。   In this specification, in order to show both acrylic acid and methacrylic acid, it may describe as "(meth) acrylic acid". Similarly, in order to indicate both acrylate and methacrylate, it may be expressed as “(meth) acrylate”.

本発明の好ましい態様のポジ型感光性組成物は、耐熱性、平坦性、異物特性等に優れている。本発明の好ましい態様のポジ型感光性組成物を用いると、耐熱性、平坦性、異物特性等に優れたアルカリ現像によるパターン形成が可能となる。
また、本発明の好ましい態様のポジ型感光性組成物のパターン状透明膜は液晶表示素子のカラーフィルター用保護膜やTFT基板の絶縁膜として用いることで、それらの歩留まりの向上に寄与することができる。
The positive photosensitive composition according to a preferred embodiment of the present invention is excellent in heat resistance, flatness, foreign matter characteristics and the like. When the positive photosensitive composition according to a preferred embodiment of the present invention is used, a pattern can be formed by alkali development which is excellent in heat resistance, flatness, foreign matter characteristics and the like.
In addition, the pattern-like transparent film of the positive photosensitive composition according to a preferred embodiment of the present invention can be used as a color filter protective film for a liquid crystal display element or an insulating film for a TFT substrate, thereby contributing to an improvement in yield. it can.

1 本発明のポジ型感光性組成物
本発明の第1の態様は、上記式(2)で示される構成単位を有する化合物(A1)および1,2−キノンジアジド化合物とを含有するポジ型感光性組成物に関する。
また、本発明の第1の態様は、上記式(1)で示される構成単位と上記式(2)で示される構成単位とを有する化合物(A2)、および、1,2−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性組成物に関する。
これらのポジ型感光性組成物は、化合物(A1)もしくは化合物(A2)ならびに1,2−キノンジアジド化合物を混合して得ることができる。そして、当該組成物は、さらに、任意にエポキシ樹脂や溶媒を混合し、目的とする特性によっては、さらにカップリング剤や界面活性剤等の各種添加剤、多価カルボン酸等を必要により選択して添加し、それらを均一に混合溶解することにより得ることができる。
1 Positive Photosensitive Composition of the Present Invention A first aspect of the present invention is a positive photosensitive composition containing a compound (A1) having a structural unit represented by the above formula (2) and a 1,2-quinonediazide compound. Relates to the composition.
Moreover, the 1st aspect of this invention contains the compound (A2) which has a structural unit shown by the said Formula (1), and the structural unit shown by the said Formula (2), and a 1, 2- quinonediazide compound. The present invention relates to a positive photosensitive composition.
These positive photosensitive compositions can be obtained by mixing the compound (A1) or the compound (A2) and a 1,2-quinonediazide compound. The composition is further optionally mixed with an epoxy resin or a solvent, and depending on the desired properties, various additives such as coupling agents and surfactants, polyvalent carboxylic acids and the like are selected as necessary. And then uniformly mixing and dissolving them.

1.1 化合物(A1)
1.1.1 化合物(A1)に含まれる構成単位
本発明のポジ型感光性組成物に含まれる化合物(A1)は、たとえば、上記式(2)で示される構成単位を含む。
上記式(2)において、R1は炭素数2〜100の有機基であるが、このR1は酸無水物基を2つ以上有する化合物の残基であり、好ましくはテトラカルボン酸二無水物残基またはスチレン−無水マレイン酸共重合体残基である。また、上記式(2)において、R3は炭素数2〜100の有機基であるが、このR3は多価ヒドロキシ化合物残基であり、好ましくはジオール残基である。
1.1 Compound (A1)
1.1.1 Structural Unit Included in Compound (A1) The compound (A1) contained in the positive photosensitive composition of the present invention contains, for example, a structural unit represented by the above formula (2).
In the above formula (2), R 1 is an organic group having 2 to 100 carbon atoms, and this R 1 is a residue of a compound having two or more acid anhydride groups, preferably tetracarboxylic dianhydride. Residue or styrene-maleic anhydride copolymer residue. In the above formula (2), R 3 is an organic group having 2 to 100 carbon atoms, and this R 3 is a polyvalent hydroxy compound residue, preferably a diol residue.

化合物(A1)は上記構成単位を含み、その末端は酸無水物基、アミノ、ヒドロキシ等で構成されることが好ましい。   The compound (A1) includes the above structural unit, and the terminal thereof is preferably composed of an acid anhydride group, amino, hydroxy and the like.

本発明のポジ型感光性組成物の耐薬品性は高分子量である方が好ましい一方、他方、溶媒に対する溶解性は低分子量である方が好ましいため、化合物(A1)の重量平均分子量は1,000〜200,000であることが好ましく、2,000〜150,000がより好ましい。   The chemical resistance of the positive photosensitive composition of the present invention is preferably a high molecular weight, while the solubility in a solvent is preferably a low molecular weight. Therefore, the weight average molecular weight of the compound (A1) is 1, It is preferable that it is 000-200,000, and 2,000-150,000 are more preferable.

本発明においてポジ型感光性組成物中の化合物(A1)の濃度は特に限定されないが、2〜50重量%が好ましい。この濃度範囲であると、ポジ型感光性組成物の粘度が好ましく、各種の塗布方法で均一な膜厚の塗膜を形成できる。   In the present invention, the concentration of the compound (A1) in the positive photosensitive composition is not particularly limited, but is preferably 2 to 50% by weight. Within this concentration range, the viscosity of the positive photosensitive composition is preferable, and a coating film having a uniform film thickness can be formed by various coating methods.

本発明において化合物(A1)は、加熱あるいは脱水処理により部分的あるいは全てイミド化したポリイミドとしてからポジ型感光性組成物に使用してもよい。   In the present invention, the compound (A1) may be used in a positive photosensitive composition after being partially or completely imidized by heating or dehydration treatment.

1.1.2 化合物(A1)の製造方法
本発明のポジ型感光性組成物に含まれる化合物(A1)は、たとえば、少なくとも、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と多価ヒドロキシ化合物(a3)とを反応させることにより得られる。
このような方法で得られた化合物(A1)は上記式(2)の構成単位を有することが好ましいが、当該構成単位を有することに限定されない。
1.1.2 Production Method of Compound (A1) The compound (A1) contained in the positive photosensitive composition of the present invention is, for example, at least a compound (a1) having two or more acid anhydride groups and a polyvalent compound. It can be obtained by reacting with a hydroxy compound (a3).
The compound (A1) obtained by such a method preferably has the structural unit of the above formula (2), but is not limited to having the structural unit.

以下に、化合物(A1)を得るために用いることができる、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と多価ヒドロキシ化合物(a3)を説明する。   Below, the compound (a1) and polyvalent hydroxy compound (a3) which have two or more acid anhydride groups which can be used in order to obtain a compound (A1) are demonstrated.

(1) 酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)
化合物(A1)を得るために用いることができる、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)の具体例としては、スチレン−無水マレイン酸共重合体、スチレン−無水マレイン酸−(メタ)アクリル酸共重合体、(メタ)アクリル酸メチル−無水マレイン酸共重合体、(メタ)アクリル酸メチル−無水マレイン酸−(メタ)アクリル酸共重合体、スチレン−無水イタコン酸共重合体、スチレン−無水イタコン酸−(メタ)アクリル酸共重合体、(メタ)アクリル酸メチル−無水イタコン酸共重合体、(メタ)アクリル酸メチル−無水イタコン酸−(メタ)アクリル酸共重合体、2,2',3,3'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、2,2−[ビス(3,4ージカルボキシフェニル)]ヘキサフルオロプロパン二無水物、およびエチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)(商品名;TMEG−100、新日本理化(株)製)等の芳香族テトラカルボン酸二無水物、エタンテトラカルボン酸二無水物、4―(2,5−ジオキソテトラヒドロフラン−3−イル)−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン−1,2−ジカルボン酸無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、および下記式a1−1〜a1−73で表される化合物等のテトラカルボン酸二無水物が挙げられる。

Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
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Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
(1) Compound (a1) having two or more acid anhydride groups
Specific examples of the compound (a1) having two or more acid anhydride groups that can be used to obtain the compound (A1) include a styrene-maleic anhydride copolymer, styrene-maleic anhydride- (meth). Acrylic acid copolymer, (meth) acrylic acid methyl-maleic anhydride copolymer, (meth) methyl acrylate-maleic anhydride- (meth) acrylic acid copolymer, styrene-itaconic anhydride copolymer, styrene -Itaconic anhydride- (meth) acrylic acid copolymer, (meth) acrylic acid methyl-itaconic anhydride copolymer, (meth) acrylic acid methyl-itaconic anhydride- (meth) acrylic acid copolymer, 2, 2 ′, 3,3′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-diphenylsulfate Tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 2,2- [bis (3,4-dicarboxyphenyl)] hexafluoropropane Dianhydrides, and aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as ethylene glycol bis (anhydro trimellitate) (trade name; TMEG-100, manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), ethane tetracarboxylic dianhydride, 4- (2,5-dioxotetrahydrofuran-3-yl) -1,2,3,4-tetrahydronaphthalene-1,2-dicarboxylic anhydride, 5- (2,5-dioxotetra Dorofuriru) methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid anhydride, and tetracarboxylic acid dianhydride, such as compounds represented by the following formula a1-1~a1-73 the like.
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
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Figure 2008102351
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酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)の上記具体例の中でも、スチレン−無水マレイン酸共重合体、スチレン−無水マレイン酸−(メタ)アクリル酸共重合体、(メタ)アクリル酸メチル−無水マレイン酸共重合体、ピロメリット酸二無水物(a1−1)、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物(a1−14)、ブタンテトラカルボン酸二無水物(a1−18)、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物(a1−20)、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物(a1−8)、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物および3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(a1−6)等を用いると、得られるポジ型感光性組成物の塗膜の耐久性が高くなるから好ましい。
これらの中でも、スチレン−無水マレイン酸共重合体、ピロメリット酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物および3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物を用いて得られるポジ型感光性組成物の塗膜の透明性が高いので好ましい。
Among the above specific examples of the compound (a1) having two or more acid anhydride groups, styrene-maleic anhydride copolymer, styrene-maleic anhydride- (meth) acrylic acid copolymer, methyl (meth) acrylate -Maleic anhydride copolymer, pyromellitic dianhydride (a1-1), cyclobutanetetracarboxylic dianhydride (a1-14), butanetetracarboxylic dianhydride (a1-18), 1,2, 4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride (a1-20), 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride (a1-8), 3,3 ′, 4,4 ′ -When the diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride and 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride (a1-6) are used, the durability of the coating film of the resulting positive photosensitive composition But Preferably from Kunar.
Among these, styrene-maleic anhydride copolymer, pyromellitic dianhydride, butanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride and 3,3 Since the transparency of the coating film of the positive photosensitive composition obtained using ', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride is high, it is preferable.

なお、本発明のポジ型感光性組成物に含まれる化合物(A1)を合成するために用いることができる酸無水物基を有する化合物(a1)は、本明細書の化合物に限定されることなく、本発明の目的が達成される範囲内で他にも種々の形態の酸無水物基を有する化合物を用いることができる。
また、本発明のポジ型感光性組成物に含まれる化合物(A1)を合成するために用いることができるる酸無水物基を有する化合物(a1)は、1種単独、または、2種以上を組み合わせて用いることができる。すなわち、2種以上の組み合わせとしては、上記酸無水物基を有する化合物同士、上記酸無水物基を有する化合物とそれ以外の酸無水物基を有する化合物、または、上記酸無水物基を有する化合物以外の酸無水物基を有する化合物同士を用いることができる。
In addition, the compound (a1) having an acid anhydride group that can be used for synthesizing the compound (A1) contained in the positive photosensitive composition of the present invention is not limited to the compound of the present specification. As long as the object of the present invention is achieved, other various compounds having acid anhydride groups can be used.
In addition, the compound (a1) having an acid anhydride group that can be used for synthesizing the compound (A1) contained in the positive photosensitive composition of the present invention is one kind alone, or two or more kinds. They can be used in combination. That is, as a combination of two or more, the compounds having the acid anhydride group, the compound having the acid anhydride group and the compound having the other acid anhydride group, or the compound having the acid anhydride group Compounds having an acid anhydride group other than the above can be used.

(2) 多価ヒドロキシ化合物(a3)
化合物(A1)を得るために用いることができる多価ヒドロキシ化合物(a3)としてはジオールが好ましい。多価ヒドロキシ化合物(a3)の具体例としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、分子量1,000以下のポリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、テトラプロピレングリコール、分子量1,000以下のポリプロピレングリコール、1,2−ブタンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、1,2−ペンタンジオール、1,5−ペンタンジオール、2,4−ペンタンジオール、1,2,5−ペンタントリオール、1,2−ヘキサンジオール、1,6−ヘキサンジオール、2,5−ヘキサンジオール、1,2,6−ヘキサントリオール、1,2−ヘプタンジオール、1,7−ヘプタンジオール、1,2,7−ヘプタントリオール、1,2−オクタンジオール、1,8−オクタンジオール、3,6−オクタンジオール、1,2,8−オクタントリオール、1,2−ノナンジオール、1,9−ノナンジオール、1,2,9−ノナントリオール、1,2−デカンジオール、1,10−デカンジオール、1,2,10−デカントリオール、1,2−ドデカンジオール、1,12−ドデカンジオール、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、ビスフェノールA(商品名)、ビスフェノールS(商品名)、ビスフェノールF(商品名)、ジエタノールアミン、およびトリエタノールアミン、SEO−2(商品名、日華化学(株)製)、SKY CHDM、リカビノールHB(以上商品名、新日本理化(株)製)、サイラプレーンFM−4411(商品名、チッソ(株)製)等が挙げられる。
(2) Polyvalent hydroxy compound (a3)
As the polyvalent hydroxy compound (a3) that can be used for obtaining the compound (A1), a diol is preferable. Specific examples of the polyvalent hydroxy compound (a3) include ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, tetraethylene glycol, polyethylene glycol having a molecular weight of 1,000 or less, propylene glycol, dipropylene glycol, tripropylene glycol, tetrapropylene glycol, Polypropylene glycol having a molecular weight of 1,000 or less, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 1,2-pentanediol, 1,5-pentanediol, 2,4-pentanediol 1,2,5-pentanetriol, 1,2-hexanediol, 1,6-hexanediol, 2,5-hexanediol, 1,2,6-hexanetriol, 1,2-heptanediol, 1,7 -Heptane 1,2,7-heptanetriol, 1,2-octanediol, 1,8-octanediol, 3,6-octanediol, 1,2,8-octanetriol, 1,2-nonanediol, , 9-nonanediol, 1,2,9-nonanetriol, 1,2-decanediol, 1,10-decanediol, 1,2,10-decanetriol, 1,2-dodecanediol, 1,12-dodecane Diol, glycerin, trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol, bisphenol A (trade name), bisphenol S (trade name), bisphenol F (trade name), diethanolamine, and triethanolamine, SEO-2 (trade name, (Manufactured by Nikka Chemical Co., Ltd.), SKY CHDM, Ricabinol HB Co., Ltd.), SILAPLANE FM-4411 (manufactured by product name, Chisso Co., Ltd.), and the like.

多価ヒドロキシ化合物(a3)の上記具体例の中でも、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,7−ヘプタンジオール、1,8−オクタンジオール、が好ましく、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、および1,6−ヘキサンジオールを用いると、得られるポジ型感光性組成物透明性が高くなり好ましい。   Among the above specific examples of the polyvalent hydroxy compound (a3), ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol, 1, 8-octanediol is preferable, and 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, and 1,6-hexanediol are preferable because transparency of the resulting positive photosensitive composition is increased.

なお、本発明のポジ型感光性組成物に含まれる化合物(A1)を合成するために用いることができる多価ヒドロキシ化合物(a3)は、本明細書の多価ヒドロキシ化合物に限定されることなく、本発明の目的が達成される範囲内で他にも種々の形態の多価ヒドロキシ化合物を用いることができる。
また、本発明のポジ型感光性組成物に含まれる化合物(A1)を合成するために用いることができる多価ヒドロキシ化合物(a3)は、1種単独、または、2種以上を組み合わせて用いることができる。すなわち、2種以上の組み合わせとしては、上記多価ヒドロキシ化合物同士、上記多価ヒドロキシ化合物とそれ以外の多価ヒドロキシ化合物、または、上記多価ヒドロキシ化合物以外の多価ヒドロキシ化合物同士を用いることができる。
In addition, the polyvalent hydroxy compound (a3) that can be used for synthesizing the compound (A1) contained in the positive photosensitive composition of the present invention is not limited to the polyvalent hydroxy compound of the present specification. Various other forms of polyvalent hydroxy compounds can be used as long as the object of the present invention is achieved.
Moreover, the polyvalent hydroxy compound (a3) that can be used for synthesizing the compound (A1) contained in the positive photosensitive composition of the present invention is used singly or in combination of two or more. Can do. That is, as the combination of two or more kinds, the above polyvalent hydroxy compounds, the above polyvalent hydroxy compounds and other polyvalent hydroxy compounds, or polyvalent hydroxy compounds other than the above polyvalent hydroxy compounds can be used. .

(3) 1価アルコール
本発明で用いられる化合物(A1)が、分子末端に酸無水物基を有している場合には、1価アルコールを投入して反応させることが好ましい。酸無水物基を有する化合物(a1)もしくは多価ヒドロキシ化合物(a3)と同時、または、酸無水物基を有する化合物(a1)と多価ヒドロキシ化合物(a3)を投入後に、1価アルコールを反応系に投入する。1価アルコールを投入して反応させて得られた化合物(A1)は、平坦性が良好となり好ましい。
投入される1価アルコールの具体例としては、メタノール、エタノール、1−プロパノール、イソプロピルアルコール、アリルアルコール、ベンジルアルコール、ヒドロキシエチルメタクリレート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、フェノール、ボルネオール、マルトール、リナロール、テルピネオール、ジメチルベンジルカルビノール、乳酸エチル、グリシドール、3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン等を挙げることができる。
これらの中でも、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコール、ヒドロキシエチルメタクリレート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタンが好ましく、ベンジルアルコールを用いると、得られるポジ型感光性組成物の塗膜が平坦になり好ましい。
(3) Monohydric alcohol When the compound (A1) used in the present invention has an acid anhydride group at the molecular end, it is preferable to react by introducing a monohydric alcohol. Reaction with a monohydric alcohol simultaneously with the compound (a1) or polyvalent hydroxy compound (a3) having an acid anhydride group, or after the compound (a1) and polyvalent hydroxy compound (a3) having an acid anhydride group are added Put it into the system. The compound (A1) obtained by reacting with a monohydric alcohol is preferable because of good flatness.
Specific examples of the monohydric alcohol added include methanol, ethanol, 1-propanol, isopropyl alcohol, allyl alcohol, benzyl alcohol, hydroxyethyl methacrylate, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether. , Dipropylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, phenol, borneol, maltol, linalool, terpineol, dimethylbenzyl carbinol, ethyl lactate, glycidol, 3- Ethyl-3-hydroxymethyl oxetane etc. It can gel.
Among these, isopropyl alcohol, benzyl alcohol, hydroxyethyl methacrylate, propylene glycol monoethyl ether, and 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane are preferable. When benzyl alcohol is used, a coating film of the obtained positive photosensitive composition can be obtained. It becomes flat and preferable.

(4) その他の原料
3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、4−アミノブチルトリメトキシシラン、4−アミノブチルトリエトキシシラン、4−アミノブチルメチルジエトキシシラン、p−アミノフェニルトリメトキシシラン、p−アミノフェニルトリエトキシシラン、p−アミノフェニルメチルジメトキシシラン、p−アミノフェニルメチルジエトキシシラン、m−アミノフェニルトリメトキシシラン、m−アミノフェニルメチルジエトキシシラン等のシリコン含有モノアミン、または、4−アミノ安息香酸等のカルボキシル基含有モノアミンを、分子末端に酸無水物基を有する化合物(A1)と反応させると、得られるポジ型感光性組成物の塗膜の耐薬品性が改善されて好ましい。
また、シリコン含有モノアミンを1価アルコールと同時に反応系に投入して、化合物(A1)と反応させることもできる。
(4) Other raw materials 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, 4-aminobutyltrimethoxysilane, 4-amino Butyltriethoxysilane, 4-aminobutylmethyldiethoxysilane, p-aminophenyltrimethoxysilane, p-aminophenyltriethoxysilane, p-aminophenylmethyldimethoxysilane, p-aminophenylmethyldiethoxysilane, m-amino A silicon-containing monoamine such as phenyltrimethoxysilane or m-aminophenylmethyldiethoxysilane, or a carboxyl-containing monoamine such as 4-aminobenzoic acid is reacted with a compound (A1) having an acid anhydride group at the molecular end. If is preferred chemical resistance of the coating film of the positive photosensitive composition obtained is improved.
Further, the silicon-containing monoamine can be charged into the reaction system simultaneously with the monohydric alcohol to react with the compound (A1).

(5) 反応条件
化合物(A1)は、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)の酸無水物が1モルに対して、多価ヒドロキシ化合物(a3)のヒドロキシが0.5〜1.5モル反応させて得られることが好ましく、0.8〜1.2モル反応させて得られることがさらに好ましい。
(5) Reaction conditions The compound (A1) has 0.5 to 1 hydroxy of the polyvalent hydroxy compound (a3) with respect to 1 mol of the acid anhydride of the compound (a1) having two or more acid anhydride groups. It is preferably obtained by reaction of 5 mol, more preferably obtained by reaction of 0.8 to 1.2 mol.

また、化合物(A1)の合成反応に用いられる溶媒は特に限定されるものではないが、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と多価ヒドロキシ化合物(a3)とを溶解できる溶媒が好ましい。   The solvent used for the synthesis reaction of the compound (A1) is not particularly limited, but a solvent capable of dissolving the compound (a1) having two or more acid anhydride groups and the polyvalent hydroxy compound (a3) is used. preferable.

化合物(A1)を合成するための反応溶媒の具体例としては、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、シクロヘキサノン、N−メチル−2−ピロリドン、およびN,N−ジメチルアセトアミド、などを挙げることができる。これらの中でもプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピオン酸メチル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、およびN−メチル−2−ピロリドンが好ましい。   Specific examples of the reaction solvent for synthesizing the compound (A1) include diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, 3- Mention may be made of methyl methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, cyclohexanone, N-methyl-2-pyrrolidone and N, N-dimethylacetamide. Among these, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl 3-methoxypropionate, diethylene glycol methyl ethyl ether, and N-methyl-2-pyrrolidone are preferable.

これらの反応溶媒は単独、または2種以上の混合溶媒として使用できる。また、50重量%以下の割合であれば上記反応溶媒以外に他の溶媒を混合して用いることもできる。   These reaction solvents can be used alone or as a mixed solvent of two or more. Moreover, if it is a ratio of 50 weight% or less, in addition to the said reaction solvent, another solvent can also be mixed and used.

酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と多価ヒドロキシ化合物(a3)、および、任意に含まれる1価アルコール、モノアミン等の合計100重量部に対し反応溶媒を100重量部以上使用すると、合成反応がスムーズに進行するので好ましい。反応は40℃〜200℃で、0.2〜20時間反応させるのがよい。シリコン含有モノアミンを反応させる場合には、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と多価ヒドロキシ化合物(a3)との反応が終了した後に、反応液を40℃以下まで冷却した後、シリコン含有モノアミンを投入し、10〜40℃で0.1〜6時間反応させるとよい。また、1価アルコールは多価ヒドロキシ化合物と同時に投入することが好ましい。   When the reaction solvent is used in an amount of 100 parts by weight or more based on a total of 100 parts by weight of the compound (a1) having two or more acid anhydride groups and the polyvalent hydroxy compound (a3), and optionally included monohydric alcohol, monoamine, etc. Since the synthesis reaction proceeds smoothly, it is preferable. The reaction is preferably carried out at 40 to 200 ° C. for 0.2 to 20 hours. When the silicon-containing monoamine is reacted, after the reaction between the compound (a1) having two or more acid anhydride groups and the polyvalent hydroxy compound (a3) is completed, the reaction solution is cooled to 40 ° C. or lower, Silicon-containing monoamine may be added and reacted at 10 to 40 ° C. for 0.1 to 6 hours. The monohydric alcohol is preferably added simultaneously with the polyvalent hydroxy compound.

(6) 反応系への投入順序
反応原料の反応系への投入順序に特に限定されない。すなわち、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と多価ヒドロキシ化合物(a3)とを同時に反応溶媒に加える、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)を反応溶媒中に溶解させた後に多価ヒドロキシ化合物(a3)を投入する、多価ヒドロキシ化合物(a3)を反応溶媒中に溶解させた後に酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)を投入するなどいずれの方法も用いることができる。
(6) Order of charging into reaction system There is no particular limitation on the order of charging reaction raw materials into the reaction system. That is, the compound (a1) having two or more acid anhydride groups and the polyvalent hydroxy compound (a3) are simultaneously added to the reaction solvent, and the compound (a1) having two or more acid anhydride groups is dissolved in the reaction solvent. Any method such as charging the polyvalent hydroxy compound (a3) after adding the compound, and charging the compound (a1) having two or more acid anhydride groups after dissolving the polyvalent hydroxy compound (a3) in the reaction solvent. Can also be used.

1.2 化合物(A2)
1.2.1 化合物(A2)に含まれる構成単位
本発明のポジ型感光性組成物に含まれる化合物(A2)は、たとえば、上記式(1)で示される構成単位と上記式(2)で示される構成単位とを含む。
上記式(1)において、R1は炭素数2〜100の有機基であるが、このR1は酸無水物基を2つ以上有する化合物の残基であり、好ましくはテトラカルボン酸二無水物残基またはスチレン−無水マレイン酸共重合体残基である。また、上記式(2)において、R2は炭素数2〜100の有機基であるが、好ましくはこのR2はジアミン残基である。
1.2 Compound (A2)
1.2.1 Constituent Units Contained in Compound (A2) The compound (A2) contained in the positive photosensitive composition of the present invention is, for example, a constituent unit represented by the above formula (1) and the above formula (2). And a structural unit represented by
In the above formula (1), R 1 is an organic group having 2 to 100 carbon atoms, and this R 1 is a residue of a compound having two or more acid anhydride groups, preferably tetracarboxylic dianhydride. Residue or styrene-maleic anhydride copolymer residue. In the above formula (2), R 2 is an organic group having 2 to 100 carbon atoms, and preferably R 2 is a diamine residue.

化合物(A2)は上記構成単位を含み、その末端は酸無水物基、アミノ、ヒドロキシ等で構成されることが好ましい。   The compound (A2) includes the above structural unit, and the terminal thereof is preferably composed of an acid anhydride group, amino, hydroxy and the like.

化合物(A2)の重量平均分子量、ポジ型感光性組成物中の化合物(A2)の濃度は、上記化合物(A1)と同様である。   The weight average molecular weight of the compound (A2) and the concentration of the compound (A2) in the positive photosensitive composition are the same as those of the compound (A1).

本発明において化合物(A2)は、加熱あるいは脱水処理により部分的あるいは全てイミド化したポリエステル−ポリイミドとしてからポジ型感光性組成物に使用してもよい。
1.2.2 化合物(A2)の製造方法
本発明のポジ型感光性組成物に含まれる化合物(A2)は、たとえば、少なくとも、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)とジアミン(a2)と多価ヒドロキシ化合物(a3)とを反応させることにより得られる。
このような方法で得られた化合物(A2)は上記式(1)の構成単位と上記式(2)の構成単位とを有することが好ましいが、当該構成単位を有することに限定されない。
In the present invention, the compound (A2) may be used in a positive photosensitive composition after being partially or completely imidized by heating or dehydration treatment.
1.2.2 Production Method of Compound (A2) The compound (A2) contained in the positive photosensitive composition of the present invention includes, for example, at least a compound (a1) having two or more acid anhydride groups and a diamine ( It can be obtained by reacting a2) with a polyvalent hydroxy compound (a3).
Although it is preferable that the compound (A2) obtained by such a method has the structural unit of the said Formula (1) and the structural unit of the said Formula (2), it is not limited to having the said structural unit.

以下に、化合物(A2)を得るために用いることができる、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と多価ヒドロキシ化合物(a3)は、化合物(A1)を得るために用いることができる酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と多価ヒドロキシ化合物(a3)と同様である。そこで、以下に、化合物(A2)を得るために用いることができるジアミン(a2)を説明する。   Hereinafter, the compound (a1) having two or more acid anhydride groups and the polyvalent hydroxy compound (a3) that can be used for obtaining the compound (A2) are used for obtaining the compound (A1). This is the same as the compound (a1) having two or more acid anhydride groups and the polyvalent hydroxy compound (a3). Therefore, the diamine (a2) that can be used to obtain the compound (A2) will be described below.

(1) ジアミン(a2)
本発明において、化合物(A2)の合成に用いられるジアミン(a2)はアミノを2つ有していれば特に限定されるものではないが、例えば、一般式NH2−R−NH2(式中、Rは炭素数2〜100の有機基である)で表される化合物が挙げられる。当該一般式で表される化合物の具体例としては、下記一般式(II)〜(VIII)で表される化合物が挙げられる。
(1) Diamine (a2)
In the present invention, the diamine (a2) used for the synthesis of the compound (A2) is not particularly limited as long as it has two amino groups. For example, the general formula NH 2 —R—NH 2 (wherein , R is an organic group having 2 to 100 carbon atoms). Specific examples of the compound represented by the general formula include compounds represented by the following general formulas (II) to (VIII).

Figure 2008102351
[式(II)および(IV)中、
1は、−(CH2m−であり、ここでmは1〜6の整数であり、
式(VI)〜(VIII)中、
1は、単結合、−O−、−S−、−S−S−、−SO2−、−CO−、−CONH−、−NHCO−、−C(CH32−、−C(CF32−、−(CH2m−、−O−(CH2m−O−、−S−(CH2m−S−であり、ここでmは1〜6の整数であり、
2は、単結合、−O−、−S−、−CO−、−C(CH32−、−C(CF32−または炭素数1〜3のアルキレンであり、
シクロヘキサン環またはベンゼン環に結合している水素は、−F、−CH3と置き換えられていてもよい。]
Figure 2008102351
[In the formulas (II) and (IV),
A 1 is — (CH 2 ) m —, where m is an integer of 1 to 6,
In formulas (VI) to (VIII),
A 1 is a single bond, —O—, —S—, —S—S—, —SO 2 —, —CO—, —CONH—, —NHCO—, —C (CH 3 ) 2 —, —C ( CF 3 ) 2 —, — (CH 2 ) m —, —O— (CH 2 ) m —O—, and —S— (CH 2 ) m —S—, where m is an integer of 1-6. Yes,
A 2 is a single bond, —O—, —S—, —CO—, —C (CH 3 ) 2 —, —C (CF 3 ) 2 — or alkylene having 1 to 3 carbon atoms,
Hydrogen bonded to a cyclohexane ring or a benzene ring may be replaced with -F or -CH 3 . ]

一般式(II)で表されるジアミンとしては、例えば式(II−1)〜(II−3)で表されるジアミンが挙げられる。   Examples of the diamine represented by the general formula (II) include diamines represented by the formulas (II-1) to (II-3).

Figure 2008102351
Figure 2008102351

一般式(III)で表されるジアミンとしては、例えば式(III−1)、(III−2)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
Examples of the diamine represented by the general formula (III) include diamines represented by the formulas (III-1) and (III-2).
Figure 2008102351

一般式(IV)で表されるジアミンとしては、例えば式(IV−1)〜(IV−3)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
Examples of the diamine represented by the general formula (IV) include diamines represented by the formulas (IV-1) to (IV-3).
Figure 2008102351

一般式(V)で表されるジアミンとしては、例えば式(V−1)〜(V−5)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
Examples of the diamine represented by the general formula (V) include diamines represented by the formulas (V-1) to (V-5).
Figure 2008102351

一般式(VI)で表されるジアミンとしては、例えば式(VI−1)〜(VI−30)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Examples of the diamine represented by the general formula (VI) include diamines represented by the formulas (VI-1) to (VI-30).
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351

一般式(VII)で表されるジアミンとしては、例えば式(VII−1)〜(VII−6)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
Examples of the diamine represented by the general formula (VII) include diamines represented by the formulas (VII-1) to (VII-6).
Figure 2008102351

一般式(VIII)で表されるジアミンとしては、例えば式(VIII−1)〜(VIII−11)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
Examples of the diamine represented by the general formula (VIII) include diamines represented by the formulas (VIII-1) to (VIII-11).
Figure 2008102351

一般式(II)〜(VIII)で表されるジアミン(a2)の上記具体例の中でも、より好ましくは、式(V−1)〜(V−5)、式(VI−1)〜(VI−12)、式(VI−26)、式(VI−27)、式(VII−1)、式(VII−2)、式(VII−6)、式(VIII−1)〜(VIII−5)で表されるジアミンが挙げられ、さらに好ましくは式(V−6)、式(V−7)、式(VI−1)〜(VI−12)で表されるジアミンが挙げられる。   Among the specific examples of the diamine (a2) represented by the general formulas (II) to (VIII), more preferably, the formulas (V-1) to (V-5) and the formulas (VI-1) to (VI) -12), formula (VI-26), formula (VI-27), formula (VII-1), formula (VII-2), formula (VII-6), formula (VIII-1) to (VIII-5) Diamines represented by formula (V-6), formula (V-7), and diamines represented by formulas (VI-1) to (VI-12).

本発明において、化合物(A2)の合成に用いられるジアミン(a2)としては、さらに一般式(IX)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
[式(IX)中、
3は、単結合、−O−、−COO−、−OCO−、−CO−、−CONH−または−(CH2m−(式中、mは1〜6の整数である)であり、
6は、炭素数1〜30の有機基であり、該有機基の末端は−Hまたはハロゲンであってもよく、好ましくは、該有機基はステロイド骨格を有する基、下記式(X)で表される基、または、ベンゼン環に結合している2つのアミノの位置関係がパラ位のときは炭素数1〜20のアルキル、もしくは該位置関係がメタのときは炭素数1〜10のアルキルまたはフェニルであり、
該アルキルにおいては、任意の−CH2−が−CF2−、−CHF−、−O−、−CH=CH−または−C≡C−で置き換えられていてもよく、−CH3が−CH2F、−CHF2または−CF3で置き換えられていてもよく
該フェニルの環形成炭素に結合している水素は、−F、−CH3、−OCH3、−OCH2F、−OCHF2または−OCF3と置き換えられていてもよい。]
Figure 2008102351
[式(X)中、
4およびA5はそれぞれ独立して、単結合、−O−、−COO−、−OCO−、−CONH−、−CH=CH−または炭素数1〜12のアルキレンであり、
7およびR8はそれぞれ独立して、−Fまたは−CH3であり、
環Sは1,4−フェニレン、1,4−シクロヘキシレン、1,3−ジオキサン−2,5−ジイル、ピリミジン−2,5−ジイル、ピリジン−2,5−ジイル、ナフタレン−1,5−ジイル、ナフタレン−2,7−ジイルまたはアントラセン−9,10−ジイルであり、
9は−H、−F、炭素数1〜12のアルキル、炭素数1〜12のフッ素置換アルキル、炭素数1〜12のアルコキシ、−CN、−OCH2F、−OCHF2または−OCF3であり、
aおよびbはそれぞれ独立して0〜4の整数を表し、
c、dおよびeはそれぞれ独立して0〜3の整数を表し、eが2または3であるとき複数の環Sは同一の基であっても異なる基であってもよく、
fおよびgはそれぞれ独立して0〜2の整数を表し、かつ
c+d+e≧1である。] In the present invention, examples of the diamine (a2) used for the synthesis of the compound (A2) further include a diamine represented by the general formula (IX).
Figure 2008102351
[In the formula (IX),
A 3 is a single bond, —O—, —COO—, —OCO—, —CO—, —CONH— or — (CH 2 ) m — (wherein m is an integer of 1 to 6). ,
R 6 is an organic group having 1 to 30 carbon atoms, and the terminal of the organic group may be —H or halogen. Preferably, the organic group is a group having a steroid skeleton, represented by the following formula (X): Or a C 1-10 alkyl when the position of the two amino groups bonded to the benzene ring is para, or a C 1-10 alkyl when the position is meta. Or phenyl,
In the alkyl, any —CH 2 — may be replaced by —CF 2 —, —CHF—, —O—, —CH═CH— or —C≡C—, and —CH 3 may be —CH 2 F, —CHF 2 or —CF 3 may be replaced. The hydrogen bonded to the ring-forming carbon of the phenyl is —F, —CH 3 , —OCH 3 , —OCH 2 F, —OCHF 2. Alternatively, it may be replaced with —OCF 3 . ]
Figure 2008102351
[In the formula (X),
A 4 and A 5 are each independently a single bond, —O—, —COO—, —OCO—, —CONH—, —CH═CH—, or alkylene having 1 to 12 carbons,
R 7 and R 8 are each independently —F or —CH 3 ;
Ring S is 1,4-phenylene, 1,4-cyclohexylene, 1,3-dioxane-2,5-diyl, pyrimidine-2,5-diyl, pyridine-2,5-diyl, naphthalene-1,5- Diyl, naphthalene-2,7-diyl or anthracene-9,10-diyl;
R 9 is —H, —F, alkyl having 1 to 12 carbons, fluorine-substituted alkyl having 1 to 12 carbons, alkoxy having 1 to 12 carbons, —CN, —OCH 2 F, —OCHF 2 or —OCF 3. And
a and b each independently represents an integer of 0 to 4;
c, d and e each independently represent an integer of 0 to 3, and when e is 2 or 3, the plurality of rings S may be the same group or different groups,
f and g each independently represent an integer of 0 to 2 and c + d + e ≧ 1. ]

一般式(IX)において、2つのアミノはフェニル環炭素に結合しているが、好ましくは、2つのアミノの結合位置関係は、メタ位またはパラ位であることが好ましい。さらに2つのアミノはそれぞれ、「R6−A3−」の結合位置を1位としたときに3位と5位、または2位と5位に結合していることが好ましい。
一般式(IX)で表されるジアミンとしては、例えば下記式(IX−1)〜(IX−11)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
Figure 2008102351
In the general formula (IX), two aminos are bonded to the phenyl ring carbon. Preferably, the bonding position of the two aminos is preferably the meta position or the para position. Further, the two amino groups are preferably bonded to the 3rd and 5th positions or the 2nd and 5th positions, respectively, when the bonding position of “R 6 —A 3 —” is the 1st position.
Examples of the diamine represented by the general formula (IX) include diamines represented by the following formulas (IX-1) to (IX-11).
Figure 2008102351
Figure 2008102351

上記式(IX−1)、(IX−2)、(IX−7)および(IX−8)中、R18は炭素数3〜12のアルキルまたは炭素数3〜12のアルコキシであるが、これらの中でも炭素数5〜12のアルキルまたは炭素数5〜12のアルコキシが好ましい。また、上記式(IX−3)〜(IX−6)および(IX−9)〜(IX−11)中、R19は炭素数1〜10のアルキルまたは炭素数1〜10のアルコキシであるが、これらの中でも炭素数3〜10のアルキルまたは炭素数3〜10のアルコキシが好ましい。 In the above formulas (IX-1), (IX-2), (IX-7) and (IX-8), R 18 is alkyl having 3 to 12 carbons or alkoxy having 3 to 12 carbons. Among these, alkyl having 5 to 12 carbons or alkoxy having 5 to 12 carbons is preferable. In the formulas (IX-3) to (IX-6) and (IX-9) to (IX-11), R 19 is alkyl having 1 to 10 carbons or alkoxy having 1 to 10 carbons. Of these, alkyl having 3 to 10 carbon atoms or alkoxy having 3 to 10 carbon atoms is preferable.

一般式(IX)で表されるジアミンとしては、さらに、例えば下記式(IX−12)〜(IX−17)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
Examples of the diamine represented by the general formula (IX) further include diamines represented by the following formulas (IX-12) to (IX-17).
Figure 2008102351

上記式(IX-12)〜(IX-15)においてR20は炭素数4〜16のアルキルであり、炭素数6〜16のアルキルが好ましい。式(IX-16)と式(IX-17)においてR21は炭素数6〜20のアルキルであり、炭素数8〜20のアルキルが好ましい。 In the above formulas (IX-12) to (IX-15), R 20 is alkyl having 4 to 16 carbons, preferably alkyl having 6 to 16 carbons. In the formula (IX-16) and the formula (IX-17), R 21 is alkyl having 6 to 20 carbon atoms, preferably alkyl having 8 to 20 carbon atoms.

一般式(IX)で表されるジアミンとしては、さらに、例えば下記式(IX−18)〜(IX−38)で表されるジアミンが挙げられる。   Examples of the diamine represented by the general formula (IX) further include diamines represented by the following formulas (IX-18) to (IX-38).

Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351
Figure 2008102351

上記式(IX-18)、(IX-19)、(IX-22)、(IX-24)、(IX-25)、(IX-28)、(IX-30)、(IX-31)、(IX-36)および(IX-37)においてR22は炭素数1〜12のアルキルまたは炭素数1〜12のアルコキシであり、炭素数3〜12のアルキルまたは炭素数3〜12のアルコキシが好ましい。また、上記式(IX-20)、(IX-21)、(IX-23)、(IX-26)、(IX-27)、(IX-29)、(IX-32)〜(IX-35)および(IX-38)において、R23は−H、−F、炭素数1〜12のアルキル、炭素数1〜12のアルコキシ、−CN、−OCH2F、−OCHF2または−OCF3であり、炭素数3〜12のアルキルまたは炭素数3〜12のアルコキシがさらに好ましい。上記式(IX-33)と(IX-34)において、A9は炭素数1〜12のアルキレンである。 The above formulas (IX-18), (IX-19), (IX-22), (IX-24), (IX-25), (IX-28), (IX-30), (IX-31), In (IX-36) and (IX-37), R 22 is alkyl having 1 to 12 carbons or alkoxy having 1 to 12 carbons, preferably alkyl having 3 to 12 carbons or alkoxy having 3 to 12 carbons. . In addition, the above formulas (IX-20), (IX-21), (IX-23), (IX-26), (IX-27), (IX-29), (IX-32) to (IX-35) ) And (IX-38), R 23 is —H, —F, alkyl having 1 to 12 carbons, alkoxy having 1 to 12 carbons, —CN, —OCH 2 F, —OCHF 2 or —OCF 3 . Yes, C3-C12 alkyl or C3-C12 alkoxy is more preferable. In the above formulas (IX-33) and (IX-34), A 9 is alkylene having 1 to 12 carbons.

一般式(IX)で表されるジアミンとしては、さらに、例えば下記式(IX−39)〜(IX−48)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
Figure 2008102351
Examples of the diamine represented by the general formula (IX) further include diamines represented by the following formulas (IX-39) to (IX-48).
Figure 2008102351
Figure 2008102351

一般式(IX)で表されるジアミン(a2)のうち、式(IX−1)〜式(IX−11)で表されるジアミンが好ましく、式(IX−2)、式(IX−4)、式(IX−5)、式(IX−6)で表されるジアミンがさらに好ましい。   Of the diamines (a2) represented by the general formula (IX), diamines represented by the formulas (IX-1) to (IX-11) are preferable, and the formulas (IX-2) and (IX-4) are preferred. More preferred are diamines represented by formula (IX-5) and formula (IX-6).

本発明において、化合物(A2)の合成に用いられるジアミン(a2)は、さらに下記一般式(XI)および(XII)で表される化合物が挙げられる。

Figure 2008102351
[式(XI)と(XII)中、
10は−Hまたは−CH3であり、
11はそれぞれ独立して、−Hまたは炭素数1〜20のアルキルもしくは炭素数2〜20のアルケニルであり、
6はそれぞれ独立して、単結合、−C(=O)−または−CH2−であり、
13およびR14はそれぞれ独立して、−H、炭素数1〜20のアルキルまたはフェニルである。] In the present invention, examples of the diamine (a2) used for the synthesis of the compound (A2) further include compounds represented by the following general formulas (XI) and (XII).
Figure 2008102351
[In the formulas (XI) and (XII)
R 10 is —H or —CH 3 ;
Each R 11 is independently —H or alkyl having 1 to 20 carbons or alkenyl having 2 to 20 carbons;
Each A 6 is independently a single bond, —C (═O) — or —CH 2 —;
R 13 and R 14 are each independently —H, C 1-20 alkyl or phenyl. ]

前記一般式(XI)において、2つの「NH2−Ph−A6−O−」の一方はステロイド核の3位に結合し、もう一方は6位に結合していることが好ましい。また、2つのアミノはそれぞれ、フェニル環炭素に結合しており、A6の結合位置に対して、メタ位またはパラ位に結合していることが好ましい。
一般式(XI)で表されるジアミンとしては、例えば式(XI−1)〜(XI−4)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
In the general formula (XI), it is preferable that one of the two “NH 2 —Ph—A 6 —O—” is bonded to the 3-position of the steroid nucleus and the other is bonded to the 6-position. The two amino groups are each bonded to a phenyl ring carbon, and preferably bonded to the meta position or the para position with respect to the bonding position of A 6 .
Examples of the diamine represented by the general formula (XI) include diamines represented by the formulas (XI-1) to (XI-4).
Figure 2008102351

一般式(XII)において、2つの「NH2−(R14−)Ph−A6−O−」は、それぞれフェニル環炭素に結合しているが、好ましくはステロイド核が結合している炭素に対してメタ位またはパラ位の炭素に結合している。また、2つのアミノはそれぞれフェニル環炭素に結合しているが、A6に対してメタ位またはパラ位に結合していることが好ましい。
一般式(XII)で表されるジアミンとしては、例えば式(XII−1)〜(XII−8)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
Figure 2008102351
In the general formula (XII), two “NH 2 — (R 14 —) Ph—A 6 —O—” are each bonded to the phenyl ring carbon, but preferably to the carbon to which the steroid nucleus is bonded. On the other hand, it is bonded to carbon in the meta or para position. The two aminos are each bonded to the phenyl ring carbon, but are preferably bonded to the meta or para position with respect to A 6 .
Examples of the diamine represented by the general formula (XII) include diamines represented by the formulas (XII-1) to (XII-8).
Figure 2008102351
Figure 2008102351

本発明において、化合物(A2)の合成に用いられるジアミン(a2)は、さらに一般式(XIII)、(XIV)で表される化合物が挙げられる。

Figure 2008102351
[式(XIII)中、R15は−Hまたは炭素数1〜20のアルキルであり、該アルキルのうち炭素数2〜20のアルキルの任意の−CH2−は、−O−、−CH=CH−または−C≡C−で置き換えられてもよく、
7はそれぞれ独立して−O−または炭素数1〜6のアルキレンであり、
8は単結合または炭素数1〜3のアルキレンであり、
環Tは1,4−フェニレンまたは1,4−シクロヘキシレンであり、
hは0または1である。]
Figure 2008102351
[式(XIV)中、
16は炭素数2〜30のアルキルであり、
17は−Hまたは炭素数1〜30のアルキルであり、
7はそれぞれ独立して−O−または炭素数1〜6のアルキレンである。] In the present invention, examples of the diamine (a2) used for the synthesis of the compound (A2) further include compounds represented by general formulas (XIII) and (XIV).
Figure 2008102351
[In the formula (XIII), R 15 is —H or alkyl having 1 to 20 carbons, and of the alkyls, any —CH 2 — in the alkyl having 2 to 20 carbons is —O—, —CH═. CH— or —C≡C— may be substituted,
Each A 7 is independently —O— or alkylene having 1 to 6 carbon atoms;
A 8 is a single bond or alkylene having 1 to 3 carbon atoms,
Ring T is 1,4-phenylene or 1,4-cyclohexylene,
h is 0 or 1. ]
Figure 2008102351
[In the formula (XIV),
R 16 is alkyl having 2 to 30 carbons,
R 17 is —H or alkyl having 1 to 30 carbons;
A 7 is independently —O— or alkylene having 1 to 6 carbon atoms. ]

前記一般式(XIII)において、2つのアミノはそれぞれフェニル環炭素に結合しているが、A7に対してメタ位またはパラに結合していることが好ましい。
一般式(XIII)で表されるジアミンとしては、例えば式(XIII−1)〜(XIII−9)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
Figure 2008102351
上記式(XIII-1)〜(XIII-3)において、R24は炭素数−H、1〜20のアルキルが好ましく、(XIII-4)〜(XIII-9)においてR25は−H、炭素数1〜10のアルキルがさらに好ましい。 In the general formula (XIII), the two amino groups are each bonded to the phenyl ring carbon, but are preferably bonded to the meta position or para to A 7 .
Examples of the diamine represented by the general formula (XIII) include diamines represented by the formulas (XIII-1) to (XIII-9).
Figure 2008102351
Figure 2008102351
In the above formulas (XIII-1) to (XIII-3), R 24 is preferably —H, alkyl having 1 to 20 carbons, and in (XIII-4) to (XIII-9), R 25 is —H, carbon. The alkyl having 1 to 10 is more preferable.

前記一般式(XIV)において、2つのアミノはそれぞれフェニル環炭素に結合しているが、A7に対してメタ位またはパラ位に結合していることが好ましい。
一般式(XIV)で表されるジアミンとしては、例えば(XIV−1)〜(XIV−3)で表されるジアミンが挙げられる。

Figure 2008102351
In the general formula (XIV), the two amino groups are each bonded to the phenyl ring carbon, but are preferably bonded to the meta position or the para position with respect to A 7 .
Examples of the diamine represented by the general formula (XIV) include diamines represented by (XIV-1) to (XIV-3).
Figure 2008102351

(XIV−1)〜(XIV−3)式中、R26は炭素数2〜30のアルキルであり、これらの中でも炭素数6〜20のアルキルが好ましく、R27は−Hまたは炭素数1〜30のアルキルであり、これらの中でも−Hまたは炭素数1〜10のアルキルがさらに好ましい。 In the formulas (XIV-1) to (XIV-3), R 26 is alkyl having 2 to 30 carbons, and among these, alkyl having 6 to 20 carbons is preferable, and R 27 is —H or carbon number 1 to 1. 30 alkyl, and among these, -H or alkyl having 1 to 10 carbon atoms is more preferable.

上述のとおり、本発明において、化合物(A2)の合成に用いられるジアミン(a2)は、例えば、一般式(I)〜(XIV)で表されるジアミンを用いることができるが、これらのジアミン以外のジアミンも用いることができる。例えば、ナフタレン構造を有するナフタレン系ジアミン、フルオレン構造を有するフルオレン系ジアミン、またはシロキサン結合を有するシロキサン系ジアミンなどを単独または他のジアミンと混合して用いることができる。   As described above, in the present invention, as the diamine (a2) used for the synthesis of the compound (A2), for example, diamines represented by the general formulas (I) to (XIV) can be used. The diamine can also be used. For example, a naphthalene diamine having a naphthalene structure, a fluorene diamine having a fluorene structure, a siloxane diamine having a siloxane bond, or the like can be used alone or mixed with another diamine.

シロキサン系ジアミンは特に限定されるものではないが、下記式(A)で表されるものが本発明において、好ましく使用され得る。

Figure 2008102351
(式中、R4およびR5は独立して炭素数1〜3のアルキルまたはフェニルであり、R6は独立してはメチレン、フェニレンまたはアルキル置換されたフェニレンであり、xは独立して1〜6の整数であり、yは1〜70の整数である。ここで、より好ましいyは1〜15の整数である。)
ここで、「アルキル置換されたフェニレン」における、「アルキル」は、炭素数2〜10のアルキルであることが好ましく、炭素数2〜6のアルキルであることが更に好ましい。アルキルの例としては、制限するわけではないが、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、s−ブチル、t−ブチル、ペンチル、ヘキシル、ドデカニル等を挙げることができる。 The siloxane-based diamine is not particularly limited, but those represented by the following formula (A) can be preferably used in the present invention.
Figure 2008102351
Wherein R 4 and R 5 are independently alkyl or phenyl having 1 to 3 carbon atoms, R 6 is independently methylene, phenylene or alkyl-substituted phenylene, and x is independently 1 And y is an integer of 1 to 70. Here, more preferable y is an integer of 1 to 15.)
Here, “alkyl” in “alkyl-substituted phenylene” is preferably alkyl having 2 to 10 carbon atoms, more preferably alkyl having 2 to 6 carbon atoms. Examples of alkyl include, but are not limited to, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, s-butyl, t-butyl, pentyl, hexyl, dodecanyl and the like.

これらの中でも、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−キシリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、2,2’−ジアミノジフェニルプロパン、ベンジジン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]シクロヘキサン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−4−メチルシクロヘキサン、ビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]シクロヘキサン、1,1−ビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]4−メチルシクロヘキサン、 1,1−ビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]シクロヘキサン、1,1−ビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]−4−メチルシクロヘキサン、1,1−ビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]メタン、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,3'−ジアミノジフェニルスルホン、3,4'−ジアミノジフェニルスルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[3−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル][3−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル][3−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、上記式Aで表される化合物等を用いると、得られるポジ型感光性組成物の塗膜の耐久性が高くなるから好ましい。
これらの中でも、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,3'−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパンおよび2,2’−ジアミノジフェニルプロパンおよび上記式Aで表される化合物を用いて得られるポジ型感光性組成物の塗膜の透明性が高いので好ましい。
Among these, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl ] Propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,2'- Diaminodiphenylpropane, benzidine, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] cyclohexane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -4-methylcyclohexane, bis [4- (4-Aminobenzyl) phenyl] methane, 1,1-bis [4- (4-aminobenzyl) pheny ] Cyclohexane, 1,1-bis [4- (4-aminobenzyl) phenyl] 4-methylcyclohexane, 1,1-bis [4- (4-aminobenzyl) phenyl] cyclohexane, 1,1-bis [4- (4-aminobenzyl) phenyl] -4-methylcyclohexane, 1,1-bis [4- (4-aminobenzyl) phenyl] methane, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone , [4- (4-aminophenoxy) phenyl] [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, [4- 3-aminophenoxy) phenyl] [3- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, a compound represented by the above formula A, etc. When used, it is preferable because the durability of the coating film of the obtained positive photosensitive composition is increased.
Among these, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethyl-4,4′- Positive photosensitive composition obtained by using diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane and 2,2′-diaminodiphenylpropane and the compound represented by the above formula A Since the transparency of the coating film of a thing is high, it is preferable.

なお、本発明のポジ型感光性組成物に含まれる化合物(A2)を合成するために用いることができるジアミン(a2)は、本明細書のジアミンに限定されることなく、本発明の目的が達成される範囲内で他にも種々の形態のジアミンを用いることができる。
また、本発明のポジ型感光性組成物に含まれる化合物(A2)を合成するために用いることができるジアミン(a2)は、1種単独、または、2種以上を組み合わせて用いることができる。すなわち、2種以上の組み合わせとしては、上記ジアミン同士、上記ジアミンとそれ以外のジアミン、または、上記ジアミン以外のジアミン同士を用いることができる。
The diamine (a2) that can be used to synthesize the compound (A2) contained in the positive photosensitive composition of the present invention is not limited to the diamine of the present specification, and the object of the present invention is Various other forms of diamine can be used as long as they are achieved.
Moreover, the diamine (a2) which can be used in order to synthesize | combine the compound (A2) contained in the positive photosensitive composition of this invention can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. That is, as a combination of two or more kinds, the diamines described above, the diamine and other diamines, or diamines other than the diamines can be used.

(2) 1価アルコール
本発明で用いられる化合物(A2)が、分子末端に酸無水物基を有している場合には、1価アルコールを投入して反応させることが好ましい。用いることができる1価アルコールは、化合物(A1)の合成に用いられる1価アルコールと同様である。
(2) Monohydric alcohol When the compound (A2) used in the present invention has an acid anhydride group at the molecular end, it is preferable to react by adding a monohydric alcohol. The monohydric alcohol that can be used is the same as the monohydric alcohol used for the synthesis of the compound (A1).

(3) その他の原料
化合物(A1)と同様に、上述した具体例を含むシリコン含有モノアミン、または、4−アミノ安息香酸等のカルボキシル基含有モノアミンを分子末端に酸無水物基を有する化合物(A2)と反応させると、得られるポジ型感光性組成物の塗膜の耐薬品性が改善されて好ましい。
(3) Other raw materials Similarly to the compound (A1), a compound (A2) having an acid anhydride group at the molecular end of a silicon-containing monoamine including the specific examples described above or a carboxyl-containing monoamine such as 4-aminobenzoic acid. And the chemical resistance of the coating film of the resulting positive photosensitive composition is improved.

(4) 反応条件
化合物(A2)は、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)の酸無水物が1モルに対して、ジアミン(a2)のアミノが0.1〜0.9モル、多価ヒドロキシ化合物(a3)のヒドロキシが0.1〜0.9モル反応させて得られることが好ましい。また、化合物(A2)は、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)の酸無水物が1モルに対して、ジアミン(a2)のアミノが0.2〜0.8モル、多価ヒドロキシ化合物(a3)のヒドロキシが0.2〜0.8モル反応させて得られることがさらに好ましい。
(4) Reaction conditions Compound (A2) is an acid anhydride of compound (a1) having two or more acid anhydride groups, and the amount of amino of diamine (a2) is 0.1 to 0.9 mol. The polyhydroxy compound (a3) is preferably obtained by reacting 0.1 to 0.9 mol of hydroxy. In addition, compound (A2) is a compound having a polyhydric acid content of 0.2 to 0.8 mol of diamine (a2) with respect to 1 mol of acid anhydride of compound (a1) having two or more acid anhydride groups. More preferably, the hydroxy of the hydroxy compound (a3) is obtained by reacting 0.2 to 0.8 mol of hydroxy.

また、当該反応に用いられる溶媒は特に限定されるものではないが、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)、ジアミン(a2)と多価ヒドロキシ化合物(a3)とを溶解できる溶媒が好ましい。   The solvent used in the reaction is not particularly limited, but a solvent capable of dissolving the compound (a1) having two or more acid anhydride groups, the diamine (a2), and the polyvalent hydroxy compound (a3). preferable.

化合物(A2)を合成するための反応溶媒は、化合物(A1)を合成するための反応溶媒と同様である。   The reaction solvent for synthesizing the compound (A2) is the same as the reaction solvent for synthesizing the compound (A1).

酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)とジアミン(a2)と多価ヒドロキシ化合物(a3)、および、任意に含まれる、1価アルコール、モノアミン等の合計100重量部に対し反応溶媒を100重量部以上使用すると、合成反応がスムーズに進行するので好ましい。反応は40℃〜200℃で、0.2〜20時間反応させるのがよい。シリコン含有モノアミンを反応させる場合には、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)とジアミン(a2)と多価ヒドロキシ化合物(a3)との反応が終了した後に、反応液を40℃以下まで冷却した後、シリコン含有モノアミンを投入し、10〜40℃で0.1〜6時間反応させるとよい。また、1価アルコールは多価ヒドロキシ化合物と同時に投入することが好ましい。   The reaction solvent is used with respect to a total of 100 parts by weight of the compound (a1), the diamine (a2), the polyvalent hydroxy compound (a3) having two or more acid anhydride groups, and a monohydric alcohol, monoamine and the like optionally contained. Use of 100 parts by weight or more is preferable because the synthesis reaction proceeds smoothly. The reaction is preferably carried out at 40 to 200 ° C. for 0.2 to 20 hours. In the case of reacting a silicon-containing monoamine, after the reaction of the compound (a1) having two or more acid anhydride groups, the diamine (a2) and the polyvalent hydroxy compound (a3) is completed, the reaction solution is kept at 40 ° C. or lower. After cooling to 10 minutes, silicon-containing monoamine may be added and reacted at 10 to 40 ° C. for 0.1 to 6 hours. The monohydric alcohol is preferably added simultaneously with the polyvalent hydroxy compound.

(5) 反応系への投入順序
化合物(A1)の合成と同様に、化合物(A2)の合成における反応原料の反応系への投入順序に特に限定されない。
(5) Order of charging into reaction system Similar to the synthesis of compound (A1), the order of charging the reaction raw materials into the reaction system in the synthesis of compound (A2) is not particularly limited.

1.3 1,2−キノンジアジド化合物
本発明のポジ型感光性組成物に含有される1,2−キノンジアジド化合物として用いられる化合物の例は、1,2−ベンゾキノンジアジドスルホン酸エステル、1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、1,2−ベンゾキノンジアジドスルホンアミド、1,2−ナフトキノンジアジドスルホンアミド等である。これらは単独で用いてもよく、2つ以上を組み合わせて用いてもよい。
1.3 1,2-quinonediazide compound Examples of the compound used as the 1,2-quinonediazide compound contained in the positive photosensitive composition of the present invention include 1,2-benzoquinonediazidesulfonic acid ester, 1,2- Naphthoquinone diazide sulfonic acid ester, 1,2-benzoquinone diazide sulfonamide, 1,2-naphthoquinone diazide sulfonamide, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

1,2−ベンゾキノンジアジドスルホン酸エステルの具体例としては、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,3,3’,4−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,3’,4−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、トリ(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、トリ(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホン酸エステル等が挙げられる。
これらは単独で用いても、2つ以上を組み合わせて用いてもよい。
Specific examples of 1,2-benzoquinonediazide sulfonic acid ester include 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1, 2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide -5-sulfonic acid ester, 2,2 ', 4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2', 4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1, 2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,3 ′ 4-tetrahydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,3 ′, 4-tetrahydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,4 , 4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4,4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, bis (2 , 4-Dihydroxyphenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, bis (p-hydroxy) Phenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide-4- Sulfonic acid ester, bis (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, tri (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, tri ( p-hydroxyphenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 1,1,1-tri (p-hydroxyphenyl) ethane-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 1, 1,1-tri (p-hydroxyphenyl) ethane-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfone Acid ester, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1,2- Nzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,2-bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) propane-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2-bis (2,3 , 4-Trihydroxyphenyl) propane-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 1,1,3-tris (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane-1,2 -Benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 1,1,3-tris (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 4, 4 ′-[1- [4- [1- [4-Hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1 2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-benzoquinonediazide— 5-sulfonic acid ester, bis (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,5-dimethyl-4-hydroxy) Phenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 3,3,3 ′, 3′-tetramethyl-1,1′-spirobiindene-5,6,7, 5 ′, 6 ′, 7′-hexanol-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 3,3,3 ′, 3′-tetramethyl 1,1′-spirobiindene-5,6,7,5 ′, 6 ′, 7′-hexanol-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,2,4-trimethyl-7,2 ', 4'-Trihydroxyflavan-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2,4-trimethyl-7,2', 4'-trihydroxyflavan-1,2-benzoquinonediazide-5 -A sulfonic acid ester etc. are mentioned.
These may be used alone or in combination of two or more.

1,2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルの具体例としては、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,3,3’,4−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,3’,4−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、トリ(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、トリ(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル等が挙げられる。
これらは単独で用いても、2つ以上を組み合わせて用いてもよい。
Specific examples of 1,2-naphthoquinonediazide sulfonic acid ester include 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1, 2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide -5-sulfonic acid ester, 2,2 ', 4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2', 4,4'-tetrahydroxybenzophenone-1, 2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,3 ′ 4-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,3 ′, 4-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,3,4 , 4′-Tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4,4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, bis (2 , 4-Dihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, bis (p-hydroxy) Phenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4- Sulfonic acid ester, bis (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, tri (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, tri ( p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 1,1,1-tri (p-hydroxyphenyl) ethane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 1,1-tri (p-hydroxyphenyl) ethane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfone Acid ester, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1,2- Phtoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,2-bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) propane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2-bis (2,3,3) 4-trihydroxyphenyl) propane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 1,1,3-tris (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane-1,2- Naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 1,1,3-tris (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 4,4 '-[1- [4- [1- [4-Hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1 2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide— 5-sulfonic acid ester, bis (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, bis (2,5-dimethyl-4-hydroxy) Phenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 3,3,3 ′, 3′-tetramethyl-1,1′-spirobiindene-5,6,7, 5 ′, 6 ′, 7′-hexanol-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 3,3,3 ′, 3′-tetramethyl 1,1′-spirobiindene-5,6,7,5 ′, 6 ′, 7′-hexanol-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 2,2,4-trimethyl-7,2 ', 4'-Trihydroxyflavan-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,2,4-trimethyl-7,2', 4'-trihydroxyflavan-1,2-naphthoquinonediazide-5 -A sulfonic acid ester etc. are mentioned.
These may be used alone or in combination of two or more.

1,2−ベンゾキノンジアジドスルホンアミドの具体例としては、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,3,3’,4−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,3,3’,4−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、トリ(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、トリ(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ベンゾキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホンアミド等が挙げられる。
これらは単独で用いても、2つ以上を組み合わせて用いてもよい。
Specific examples of 1,2-benzoquinonediazidesulfonamide include 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2- Benzoquinonediazide-5-sulfonamide, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfone Amides, 2,2 ′, 4,4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,2 ′, 4,4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-5 -Sulfonamide, 2,3,3 ', 4-tetrahydroxybenzo Enone-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,3,3 ′, 4-tetrahydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonamide, 2,3,4,4′-tetrahydroxy Benzophenone-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,3,4,4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonamide, bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane 1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonamide, bis (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide -4-sulfonamide, bis (p-hydroxyphenyl) methane -1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonamide, tri (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, tri (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide- 5-sulfonamide, 1,1,1-tri (p-hydroxyphenyl) ethane-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, 1,1,1-tri (p-hydroxyphenyl) ethane-1,2 -Benzoquinonediazide-5-sulfonamide, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1 , 2-Benzoquinonediazide-5-sulfonamide, 2,2-bis (2,3,4-trihydroxy) Phenyl) propane-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,2-bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) propane-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonamide, 1,1, 3-tris (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, 1,1,3-tris (2,5-dimethyl-4-hydroxy Phenyl) -3-phenylpropane-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonamide, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] Bisphenol-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonamide, bis (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-benzoquinonediazide -4-sulfonamide, bis (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonamide, 3,3,3 ', 3'-tetramethyl -1,1'-spirobiindene-5,6,7,5 ', 6', 7'-hexanol-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, 3,3,3 ', 3'-tetra Methyl-1,1′-spirobiindene-5,6,7,5 ′, 6 ′, 7′-hexanol-1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonamide, 2 2,4-trimethyl-7,2 ′, 4′-trihydroxyflavan-1,2-benzoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,2,4-trimethyl-7,2 ′, 4′-trihydroxyflavan- 1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonamide and the like.
These may be used alone or in combination of two or more.

1,2−ナフトキノンジアジドスルホンアミドの具体例としては、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,3,3’,4−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,3,3’,4−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、ビス(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、トリ(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、トリ(p−ヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、1,1,1−トリ(p−ヒドロキシフェニル)エタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,2−ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)プロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、ビス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、3,3,3’,3’−テトラメチル−1,1’−スピロビインデン−5,6,7,5’,6’,7’−ヘキサノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド、2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホンアミド、2,2,4−トリメチル−7,2’,4’−トリヒドロキシフラバン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホンアミド等が挙げられるである。
これらは単独で用いても、2つ以上を組み合わせて用いてもよい。
Specific examples of 1,2-naphthoquinonediazidesulfonamide include 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2- Naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,4,6-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfone Amides, 2,2 ′, 4,4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,2 ′, 4,4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5 -Sulfonamide, 2,3,3 ', 4-tetrahydroxybenzo Enone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,3,3 ′, 4-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, 2,3,4,4′-tetrahydroxy Benzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,3,4,4′-tetrahydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane 1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, bis (2,4-dihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, bis (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide -4-sulfonamide, bis (p-hydroxyphenyl) methane -1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, tri (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, tri (p-hydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide- 5-sulfonamide, 1,1,1-tri (p-hydroxyphenyl) ethane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, 1,1,1-tri (p-hydroxyphenyl) ethane-1,2 -Naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) methane-1 , 2-Naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, 2,2-bis (2,3,4-trihydroxy) Phenyl) propane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,2-bis (2,3,4-trihydroxyphenyl) propane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, 1,1, 3-tris (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -3-phenylpropane-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, 1,1,3-tris (2,5-dimethyl-4-hydroxy Phenyl) -3-phenylpropane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] Bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, bis (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-naphthoquinonediazide -4-sulfonamide, bis (2,5-dimethyl-4-hydroxyphenyl) -2-hydroxyphenylmethane-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, 3,3,3 ', 3'-tetramethyl -1,1'-spirobiindene-5,6,7,5 ', 6', 7'-hexanol-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, 3,3,3 ', 3'-tetra Methyl-1,1′-spirobiindene-5,6,7,5 ′, 6 ′, 7′-hexanol-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonamide, 2 2,4-trimethyl-7,2 ′, 4′-trihydroxyflavan-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonamide, 2,2,4-trimethyl-7,2 ′, 4′-trihydroxyflavan- 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonamide and the like.
These may be used alone or in combination of two or more.

本発明のポジ型感光性組成物に含まれる1,2−キノンジアジド化合物として、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステルおよび4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルからなる群から選ばれる1以上を用いると、ポジ型感光性組成物の透明性が高くなるため好ましい。   As the 1,2-quinonediazide compound contained in the positive photosensitive composition of the present invention, 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4-triacid Hydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1, 2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester and 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide— When at least one selected from the group consisting of 5-sulfonic acid esters is used, the transparency of the positive photosensitive composition is improved. Preferred for Kunar.

本発明のポジ型感光性組成物中の1,2−キノンジアジド化合物の濃度は特に限定されないが、感度と透明性のバランスの点から、0.5〜20重量%が好ましい。   The concentration of the 1,2-quinonediazide compound in the positive photosensitive composition of the present invention is not particularly limited, but is preferably 0.5 to 20% by weight from the viewpoint of balance between sensitivity and transparency.

1.4 エポキシ樹脂(C)
本発明のポジ型感光性組成物は、エポキシ樹脂(C)をさらに含んでもよい。本発明のポジ型感光性組成物に含まれるエポキシ樹脂(C)は、オキシランを有すれば特に限定されないが、オキシランを2つ以上有する化合物が好ましい。
本発明のポジ型感光性組成物に含まれるエポキシ樹脂(C)の具体例としては、オキシランを有するモノマーの重合体、オキシランを有するモノマーと他のモノマーとの共重合体が挙げられる。
1.4 Epoxy resin (C)
The positive photosensitive composition of the present invention may further contain an epoxy resin (C). The epoxy resin (C) contained in the positive photosensitive composition of the present invention is not particularly limited as long as it has oxirane, but a compound having two or more oxiranes is preferable.
Specific examples of the epoxy resin (C) contained in the positive photosensitive composition of the present invention include a polymer of a monomer having an oxirane, and a copolymer of a monomer having an oxirane and another monomer.

オキシランを有するモノマーの具体例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートを挙げることができる。   Specific examples of the monomer having oxirane include glycidyl (meth) acrylate, methyl glycidyl (meth) acrylate, and 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate.

また、オキシランを有するモノマーと共重合を行う他のモノマーの具体例としては、(メタ)アクリル酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、iso−ブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、スチレン、メチルスチレン、クロルメチルスチレン、N−シクロヘキシルマレイミド及びN−フェニルマレイミドなどを挙げることができる。   Specific examples of other monomers copolymerized with the oxirane-containing monomer include (meth) acrylic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, and n-butyl (meth). Acrylate, iso-butyl (meth) acrylate, tert-butyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, styrene, Mention may be made of methylstyrene, chloromethylstyrene, N-cyclohexylmaleimide and N-phenylmaleimide.

これらの中でも、オキシランを有するモノマーの重合体、オキシランを有するモノマーと他のモノマーとの共重合体として、ポリグリシジルメタクリレート、メチルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体、ベンジルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体、n−ブチルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体、2−ヒドロキシエチルメタクリレート−グリシジルメタクリレート共重合体及びスチレン−グリシジルメタクリレート共重合体を用いると、得られるポジ型感光性組成物の耐熱性が高くなるので好ましい。   Among these, a polymer of a monomer having oxirane, a copolymer of a monomer having oxirane and another monomer, polyglycidyl methacrylate, methyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, benzyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, n It is preferable to use a -butyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, a 2-hydroxyethyl methacrylate-glycidyl methacrylate copolymer, and a styrene-glycidyl methacrylate copolymer because the resulting positive photosensitive composition has high heat resistance.

エポキシ樹脂(C)は、上記具体例以外にも、例えば、商品名「エピコート807」、「エピコート815」、「エピコート825」、「エピコート827」、上記式(C4)の化合物である商品名「エピコート828」、「エピコート190P」、「エピコート191P」(以上、油化シェルエポキシ(株)製)、商品名「エピコート1004」、「エピコート1256」(以上、ジャパンエポキシレジン(株)製)、商品名「アラルダイトCY177」、上記式(C1)の化合物である商品名「アラルダイトCY184」(日本チバガイギー(株)製)、上記式(C2)の化合物である商品名「セロキサイド2021P」、「セロキサイド3000」、「EHPE−3150」(ダイセル化学工業(株)製)、上記式(C3)の化合物である商品名「テクモアVG3101L」(三井化学(株)製)、N,N,N’,N’,−テトラグリシジル−m−キシレンジアミン、1,3−ビス(N,N−ジグリシジルアミノメチル)シクロヘキサン、N,N,N’,N’,−テトラグリシジル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン等を用いることができる。   In addition to the above specific examples, the epoxy resin (C) includes, for example, trade names “Epicoat 807”, “Epicoat 815”, “Epicoat 825”, “Epicoat 827”, “Epicoat 828”, “Epicoat 190P”, “Epicoat 191P” (above, manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.), trade names “Epicoat 1004”, “Epicoat 1256” (above, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), products The name “Araldite CY177”, the trade name “Araldite CY184” (manufactured by Ciba Geigy Japan), which is a compound of the above formula (C1), and the trade names “Celoxide 2021P” and “Celoxide 3000” which are compounds of the above formula (C2). "EHPE-3150" (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), a compound of the above formula (C3) "Techmore VG3101L" (Mitsui Chemicals), N, N, N ', N',-tetraglycidyl-m-xylenediamine, 1,3-bis (N, N-diglycidylaminomethyl) Cyclohexane, N, N, N ′, N ′,-tetraglycidyl-4,4′-diaminodiphenylmethane and the like can be used.

これらのエポキシ樹脂(C)の中でも、「エピコート828」、「テクモアVG3101」、「セロキサイド2021P」、「アラルダイトCY184」を用いると、得られるポジ型感光性組成物の耐熱性が高くなるので好ましい。   Among these epoxy resins (C), use of “Epicoat 828”, “Techmore VG3101”, “Celoxide 2021P”, and “Araldite CY184” is preferable because the resulting positive photosensitive composition has high heat resistance.

本発明においてポジ型感光性組成物中のエポキシ樹脂の濃度は特に限定されないが、0.5〜20重量%が好ましい。この濃度範囲であると、保護膜用組成物から形成された塗膜の耐熱性、耐薬品性が良好である。   In the present invention, the concentration of the epoxy resin in the positive photosensitive composition is not particularly limited, but is preferably 0.5 to 20% by weight. Within this concentration range, the heat resistance and chemical resistance of the coating film formed from the protective film composition are good.

1.5 溶媒
本発明のポジ型感光性組成物に含めることができる溶媒は沸点が100℃〜250℃である化合物の少なくとも1つ、またはこの化合物を20重量%以上含有する混合溶媒であることが好ましい。沸点が100℃〜250℃である当該溶媒の具体例は、水、酢酸ブチル、プロピオン酸ブチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、ジオキサン、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、トルエン、キシレン、γ−ブチロラクトン、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルイミダゾリジノン、等である。
1.5 Solvent The solvent that can be included in the positive photosensitive composition of the present invention is at least one compound having a boiling point of 100 ° C. to 250 ° C., or a mixed solvent containing 20% by weight or more of this compound. Is preferred. Specific examples of the solvent having a boiling point of 100 ° C. to 250 ° C. are water, butyl acetate, butyl propionate, ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, methoxyacetic acid Butyl, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxypropionic acid Ethyl, methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate , 2- Ethyl toxipropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, pyrubin Methyl acetate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, dioxane, ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, tri Propylene glycol, 1,4-butanediol, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monome Ether ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, cyclohexanone, cyclopentanone, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol Monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, toluene, xylene, γ-butyrolactone, N, N-dimethylacetamide, - methyl-2-pyrrolidone, dimethyl imidazolidinone, and the like.

これらの溶媒の中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、乳酸エチルおよび酢酸ブチルから選ばれる少なくとも1つを用いると、塗布均一性が高くなるのでより好ましい。さらにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、乳酸エチルおよび酢酸ブチルから選ばれる少なくとも1つを用いると、得られるポジ型感光性組成物は塗布均一性が高く、人体への安全性が高くなるため好ましい。   Among these solvents, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol Use of at least one selected from dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, ethyl lactate, and butyl acetate is more preferable because the coating uniformity becomes high. Further, when at least one selected from propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, diethylene glycol methyl ethyl ether, ethyl lactate and butyl acetate is used, the resulting positive photosensitive composition is This is preferable because the coating uniformity is high and the safety to the human body is increased.

1.6 本発明のポジ型感光性組成物に添加される添加剤
本発明のポジ型感光性組成物には、解像度、塗布均一性、現像性、接着性等を向上させるために、各種の添加剤を添加することができる。添加剤としては、アクリル系、スチレン系、ポリエチレンイミン系もしくはウレタン系の高分子分散剤、アニオン系、カチオン系、ノニオン系もしくはフッ素系の界面活性剤、シリコン樹脂系塗布性向上剤、シランカップリング剤等の密着性向上剤、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤、ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤、エポキシ化合物、メラミン化合物もしくはビスアジド化合物等の熱架橋剤、有機カルボン酸等のアルカリ溶解性促進剤等が挙げられる。
1.6 Additives added to the positive photosensitive composition of the present invention The positive photosensitive composition of the present invention contains various additives to improve resolution, coating uniformity, developability, adhesiveness, and the like. Additives can be added. Additives include acrylic, styrene, polyethyleneimine or urethane polymer dispersants, anionic, cationic, nonionic or fluorine surfactants, silicone resin coating improvers, silane couplings Adhesion improvers such as adhesives, ultraviolet absorbers such as alkoxybenzophenones, anti-aggregation agents such as sodium polyacrylate, thermal cross-linking agents such as epoxy compounds, melamine compounds or bisazide compounds, and alkali solubility promotion such as organic carboxylic acids Agents and the like.

添加剤の具体例としては、商品名「EFKA−745」、「EFKA−46」、「EFKA−47」、「EFKA−47EA」、「EFKAポリマー100」、「EFKAポリマー400」、「EFKAポリマー401」、「EFKAポリマー450」(森下産業株式会社製)、「ソルスパーズ3000」、「ソルスパーズ5000」、「ソルスパーズ9000」、「ソルスパーズ12000」、「ソルスパーズ13240」、「ソルスパーズ13940」、「ソルスパーズ17000」、「ソルスパーズ20000」、「ソルスパーズ24000」、「ソルスパーズ24000GR」、「ソルスパーズ26000」、「ソルスパーズ28000」、「ソルスパーズ32000」(Lubrizol corporation社製)、「ディスパースエイド6」、「ディスパースエイド8」、「ディスパースエイド15」、「ディスパースエイド9100」(サンノプコ株式会社製)、「ポリフローNo.45」、「ポリフローKL−245」、「ポリフローNo.75」、「ポリフローNo.90」、「ポリフローNo.95」(共栄社化学工業株式会社製)、「ディスパーベイク(Disperbyk)161」、「ディスパーベイク(Disperbyk)162」、「ディスパーベイク(Disperbyk)163」、「ディスパーベイク(Disperbyk)164」、「ディスパーベイク(Disperbyk)166」、「ディスパーベイク(Disperbyk)170」、「ディスパーベイク(Disperbyk)180」、「ディスパーベイク(Disperbyk)181」、「ディスパーベイク(Disperbyk)182」、「BYK300」、「BYK306」、「BYK310」、「BYK320」、「BYK330」、「BYK344」、「BYK346」(ビックケミー・ジャパン株式会社製)、「サーフロンSC−101」、「サーフロンKH−40」(セイミケミカル株式会社製)、「フタージェント222F」、「フタージェント251」、「FTX−218」(株式会社ネオス製)、「EFTOP」、「EF−351」、「EF−352」、「EF−601」、「EF−801」、「EF−802」(三菱マテリアル株式会社製)、「メガファックF−171」、「メガファックF−177」、「メガファックF−475」、「メガファックR−08」、「メガファックR−30」(大日本インキ化学工業株式会社製)、フルオロアルキルベンゼンスルホン酸塩、フルオルアルキルカルボン酸塩、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルスルホン酸塩、ジグリセリンテトラキス(フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル)、フルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、フルオロアルキルアミノスルホン酸塩、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレントリデシルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンラウレート、ポリオキシエチレンオレレート、ポリオキシエチレンステアレート、ポリオキシエチレンラウリルアミン、ソルビタンラウレート、ソルビタンパルミテート、ソルビタンステアレート、ソルビタンオレエート、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンオレエート、ポリオキシエチレンナフチルエーテル、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸塩等が挙げられ、これらから選ばれる少なくとも1つを用いることが好ましい。   Specific examples of the additive include trade names “EFKA-745”, “EFKA-46”, “EFKA-47”, “EFKA-47EA”, “EFKA Polymer 100”, “EFKA Polymer 400”, “EFKA Polymer 401”. ”,“ EFKA Polymer 450 ”(Morishita Sangyo Co., Ltd.),“ Solspurs 3000 ”,“ Solspurs 5000 ”,“ Solspurs 9000 ”,“ Solspurs 12000 ”,“ Solspurs 13240 ”,“ Solspurs 13940 ”,“ Solspurs 17000 ”, "Solspurs 20000", "Solspurs 24000", "Solspurs 24000GR", "Solspurs 26000", "Solspurs 28000", "Solspurs 32000" (manufactured by Lubrizol corporation), "Disperse Aid 6", "D "Perth Aid 8", "Disperse Aid 15", "Disperse Aid 9100" (manufactured by San Nopco), "Polyflow No. 45", "Polyflow KL-245", "Polyflow No. 75", "Polyflow No. 75" 90 "," Polyflow No. 95 "(manufactured by Kyoeisha Chemical Industry Co., Ltd.)," Disperbyk 161 "," Disperbyk 162 "," Disperbyk 163 "," Disperbyk " ) 164 ”,“ Disperbyk 166 ”,“ Disperbyk 170 ”,“ Disperbyk 180 ”,“ Disperbyk 181 ”,“ Desperbyk 181 ” Disperbyk 182 ”,“ BYK300 ”,“ BYK306 ”,“ BYK310 ”,“ BYK320 ”,“ BYK330 ”,“ BYK344 ”,“ BYK346 ”(manufactured by BYK Chemie Japan KK),“ Surflon SC-101 ”, “Surflon KH-40” (manufactured by Seimi Chemical Co., Ltd.), “Futgent 222F”, “Futgent 251”, “FTX-218” (manufactured by Neos Co., Ltd.), “EFTOP”, “EF-351”, “EF” -352 "," EF-601 "," EF-801 "," EF-802 "(manufactured by Mitsubishi Materials Corporation)," Megafuck F-171 "," Megafuck F-177 "," Megafuck F- " 475 ”,“ Megafuck R-08 ”,“ Megafuck R-30 ”(Dainippon Ink, Inc.) Manufactured by Gaku Kogyo Co., Ltd.), fluoroalkyl benzene sulfonate, fluoroalkyl carboxylate, fluoroalkyl polyoxyethylene ether, fluoroalkyl ammonium iodide, fluoroalkyl betaine, fluoroalkyl sulfonate, diglycerin tetrakis (fluoroalkyl poly) Oxyethylene ether), fluoroalkyltrimethylammonium salt, fluoroalkylaminosulfonate, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyoxyethylene octylphenyl ether, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene oleyl ether, Polyoxyethylene tridecyl ether, polyoxyethylene cetyl ether, polyoxyethylene steer Ether, polyoxyethylene laurate, polyoxyethylene oleate, polyoxyethylene stearate, polyoxyethylene laurylamine, sorbitan laurate, sorbitan palmitate, sorbitan stearate, sorbitan oleate, sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitan Laurate, polyoxyethylene sorbitan palmitate, polyoxyethylene sorbitan stearate, polyoxyethylene sorbitan oleate, polyoxyethylene naphthyl ether, alkylbenzene sulfonate, alkyl diphenyl ether disulfonate, etc., and at least selected from these It is preferable to use one.

これらの添加剤の中でも、フルオロアルキルベンゼンスルホン酸塩、フルオルアルキルカルボン酸塩、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルスルホン酸塩、ジグリセリンテトラキス(フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル)、フルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、フルオロアルキルアミノスルホン酸塩等のフッ素系の界面活性剤、ならびに、BYK306、BYK344、BYK346等のシリコン樹脂系塗布性向上剤からなる群から選ばれる少なくとも1種が添加されると、ポジ型感光性組成物の塗布均一性が高くなるので好ましい。   Among these additives, fluoroalkyl benzene sulfonate, fluoroalkyl carboxylate, fluoroalkyl polyoxyethylene ether, fluoroalkyl ammonium iodide, fluoroalkyl betaine, fluoroalkyl sulfonate, diglycerin tetrakis (fluoroalkyl polyoxyethylene) Oxyethylene ether), fluorosurfactants such as fluoroalkyltrimethylammonium salts, fluoroalkylaminosulfonates, and at least one selected from the group consisting of silicon resin coating improvers such as BYK306, BYK344, BYK346 Addition of seeds is preferable because the coating uniformity of the positive photosensitive composition is increased.

本発明においてポジ型感光性組成物中の添加剤の濃度は特に限定されないが、0.01〜1重量%が好ましい。この濃度範囲であると、形成された塗膜の塗布均一性等が良好である。   In the present invention, the concentration of the additive in the positive photosensitive composition is not particularly limited, but is preferably 0.01 to 1% by weight. When the concentration is within this range, the coating uniformity of the formed coating film is good.

1.7 本発明のポジ型感光性組成物に添加される多価カルボン酸
本発明のポジ型感光性組成物には、無水トリメリット酸、無水フタル酸、4−メチルシクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸無水物等の多価カルボン酸を添加してもよい。これらの多価カルボン酸の中でも無水トリメリット酸が好ましい。
本発明のポジ型感光性組成物に前記多価カルボン酸が添加されて加熱されると、多価カルボン酸のカルボキシルは、ポジ型感光性組成物のエポキシと反応して、耐熱性、耐薬品性を向上させることができる。また、本発明のポジ型感光性組成物に前記多価カルボン酸が添加されると、保存時に、1,2−キノンジアジド化合物の分解が抑制され、ポジ型感光性組成物の着色を防ぐことができる。
本発明においてポジ型感光性組成物中の多価カルボン酸の濃度は特に限定されないが、本発明のポジ型感光性組成物の塗膜の耐熱性、耐薬品性が良好となるから0.2〜10重量%が好ましい。
1.7 Polyvalent carboxylic acid added to the positive photosensitive composition of the present invention The positive photosensitive composition of the present invention includes trimellitic anhydride, phthalic anhydride, 4-methylcyclohexane-1,2- You may add polyvalent carboxylic acid, such as dicarboxylic acid anhydride. Of these polyvalent carboxylic acids, trimellitic anhydride is preferable.
When the polyvalent carboxylic acid is added to the positive photosensitive composition of the present invention and heated, the carboxyl of the polyvalent carboxylic acid reacts with the epoxy of the positive photosensitive composition, resulting in heat resistance and chemical resistance. Can be improved. Moreover, when the polyvalent carboxylic acid is added to the positive photosensitive composition of the present invention, the decomposition of the 1,2-quinonediazide compound is suppressed during storage, and coloring of the positive photosensitive composition is prevented. it can.
In the present invention, the concentration of the polyvalent carboxylic acid in the positive photosensitive composition is not particularly limited, but the heat resistance and chemical resistance of the coating film of the positive photosensitive composition of the present invention will be 0.2. -10 wt% is preferred.

1−3 ポジ型感光性組成物の保存
本発明のポジ型感光性組成物は、温度−30℃〜25℃の範囲で遮光して保存すると、組成物の経時安定性が良好となり好ましい。保存温度が−30℃〜10℃であれば、さらに好ましい。
1-3 Preservation of Positive Type Photosensitive Composition The positive type photosensitive composition of the present invention is preferably stored under light shielding in the temperature range of −30 ° C. to 25 ° C., since the stability with time of the composition is good. More preferably, the storage temperature is −30 ° C. to 10 ° C.

2 本発明のポジ型感光性組成物を用いた透明膜
本発明の第2の態様は、本発明のポジ感光性組成物より形成された透明膜およびパターン状透明膜に関する。
2 Transparent Film Using the Positive Photosensitive Composition of the Present Invention The second aspect of the present invention relates to a transparent film and a patterned transparent film formed from the positive photosensitive composition of the present invention.

本発明の透明膜は以下のようにして形成される。
まず、本発明のポジ型感光性組成物をスピンコート、ロールコート、スリットコート等など公知の方法により、ガラス等の基板上に塗布する。基板としては、たとえば、白板ガラス、青板ガラス、シリカコート青板ガラスなどの透明ガラス基板、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、ポリエステル、アクリル樹脂、塩化ビニール樹脂、芳香族ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド、ポリイミド等の合成樹脂製のシート、合成樹脂製のフィルムもしくは合成樹脂製の基板、アルミニウム板、銅板、ニッケル板、ステンレス板等の金属基板、セラミック板、および、光電変換素子を有する半導体基板等を挙げることができる。これらの基板には所望により、シランカップリング剤などの薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着などの前処理を行うことができる。
The transparent film of the present invention is formed as follows.
First, the positive photosensitive composition of the present invention is applied onto a substrate such as glass by a known method such as spin coating, roll coating, slit coating or the like. Examples of substrates include transparent glass substrates such as white plate glass, blue plate glass, and silica coated blue plate glass, synthetic resins such as polycarbonate, polyethersulfone, polyester, acrylic resin, vinyl chloride resin, aromatic polyamide resin, polyamideimide, and polyimide. Examples thereof include a sheet made of synthetic resin, a film made of synthetic resin or a substrate made of synthetic resin, a metal substrate such as an aluminum plate, a copper plate, a nickel plate and a stainless plate, a ceramic plate, and a semiconductor substrate having a photoelectric conversion element. If necessary, these substrates can be subjected to pretreatment such as chemical treatment such as a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, and vacuum deposition.

次に、この基板を、ホットプレートまたはオーブンで、通常、60〜120℃で1〜5分間乾燥する。乾燥した基板に、所望のパターン形状のマスクを介して紫外線を照射する。照射条件は、i線で5〜1000mJ/cm2が好ましい。
紫外線が照射された部分の1,2−キノンジアジド化合物はインデンカルボン酸となり速やかに現像液に溶解する。このとき用いる現像液としては、アルカリ溶液が好ましい。アルカリ溶液に含まれるアルカリの具体例は、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムハイドロオキサイド、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等である。また、現像液としては、これらのアルカリの水溶液が好適に用いられる。これらの中でも、現像液としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムハイドロオキサイド等の有機アルカリ類の水溶液、および、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の無機アルカリ類の水溶液が好ましい。
Next, this board | substrate is normally dried at 60-120 degreeC for 1 to 5 minutes with a hotplate or oven. The dried substrate is irradiated with ultraviolet rays through a mask having a desired pattern shape. Irradiation conditions are preferably 5 to 1000 mJ / cm 2 for i-line.
The 1,2-quinonediazide compound in the portion irradiated with ultraviolet rays becomes indenecarboxylic acid and dissolves rapidly in the developer. The developer used at this time is preferably an alkaline solution. Specific examples of the alkali contained in the alkaline solution include tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, sodium carbonate, sodium bicarbonate, potassium carbonate, potassium bicarbonate, sodium hydroxide, water Potassium oxide and the like. As the developer, an aqueous solution of these alkalis is preferably used. Among these, as developers, aqueous solutions of organic alkalis such as tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, and sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, etc. An aqueous solution of an inorganic alkali is preferable.

現像残渣の低減やパターン形状の適性化を目的として、現像液にメタノール、エタノールや界面活性剤を添加してもよい。添加される界面活性剤は、例えばアニオン系、カチオン系、ノニオン系から選択して使用することができる。これらの中でも、特に、ノニオン系のポリオキシエチレンアルキルエーテルを添加すると、解像度が高くなるので好ましい。   For the purpose of reducing the development residue and optimizing the pattern shape, methanol, ethanol or a surfactant may be added to the developer. The surfactant to be added can be selected from, for example, anionic, cationic and nonionic. Among these, the addition of nonionic polyoxyethylene alkyl ether is particularly preferable because the resolution is increased.

一般的な現像方法(シャワー現像、スプレー現像、パドル現像、ディップ現像等)を用いて現像してから、純水で十分すすいだ後、再度紫外線を基板全面に100〜1000mJ/cm2の強度で照射し、最後に180〜250℃で10〜120分焼成すると、所望のパターニングされた本発明の透明膜(パターン状透明膜)を得ることができる。 After developing using a general development method (shower development, spray development, paddle development, dip development, etc.), rinse thoroughly with pure water, and then again irradiate the entire surface of the substrate with an intensity of 100 to 1000 mJ / cm 2 . When irradiated and finally baked at 180 to 250 ° C. for 10 to 120 minutes, a desired patterned transparent film (patterned transparent film) of the present invention can be obtained.

このようにして得られた本発明の透明膜およびパターン状透明膜は、透明性や耐熱性が高く、異物特性に優れるため、感光性保護膜として用いることができる。   The transparent film and patterned transparent film of the present invention thus obtained can be used as a photosensitive protective film because of high transparency and heat resistance and excellent foreign matter characteristics.

また、本発明の透明膜は絶縁膜として用いることもできる。ここで、絶縁膜とは、たとえば、層状に配置される配線間を絶縁するために設ける膜(層間絶縁膜)等をいう。本発明の好ましい態様の透明膜はパターニングの際の解像度が高く、10μm以下の小さな穴の開いた絶縁膜を形成することができる。本発明のパターン状透明膜(パターン状絶縁膜)に形成された穴の形状は、真上から見た場合、たとえば正方形、長方形、円形または楕円形であることが好ましい。さらに、該絶縁膜上に透明電極を形成し、エッチングによりパターニングを行った後、配向処理を行う膜を形成させてもよい。本発明の好ましい態様の絶縁膜は、耐スパッタ性が高いため、透明電極を形成しても絶縁膜にしわが発生しにくく、高い透明性を保つことができる。   The transparent film of the present invention can also be used as an insulating film. Here, the insulating film refers to, for example, a film (interlayer insulating film) provided to insulate the wirings arranged in layers. The transparent film of a preferred embodiment of the present invention has high resolution during patterning, and can form an insulating film having a small hole of 10 μm or less. The shape of the hole formed in the patterned transparent film (patterned insulating film) of the present invention is preferably, for example, a square, a rectangle, a circle or an ellipse when viewed from directly above. Furthermore, a transparent electrode may be formed over the insulating film, and after patterning by etching, a film for performing an alignment process may be formed. Since the insulating film according to a preferred embodiment of the present invention has high sputter resistance, wrinkles are hardly generated in the insulating film even when a transparent electrode is formed, and high transparency can be maintained.

3 本発明の透明膜または絶縁膜を含む表示素子
本発明の第3の態様は、本発明のパターニングされたパターン状透明膜または絶縁膜を含む表示素子に関する。
3. Display Element Comprising Transparent Film or Insulating Film of the Present Invention A third aspect of the present invention relates to a display element including the patterned patterned transparent film or insulating film of the present invention.

本発明の表示素子の一態様である液晶表示素子は、上記のようにして基板上にパターニングされた透明膜または絶縁膜が設けられた素子基板と、対向基板であるカラーフィルター基板とを、位置を合わせて圧着後、熱処理して組み合わせ、液晶を注入し、注入口を封止することによって製作される。
また、前記素子基板上に液晶を散布した後、基板を重ね合わせ、液晶が漏れないように密封して液晶表示素子が製作されてもよい。
このようにして、本発明のポジ型感光性組成物で形成された、優れた透明性を有する保護膜あるいは絶縁膜を液晶表示素子に用いることができる。
A liquid crystal display element which is an embodiment of the display element of the present invention includes an element substrate provided with a transparent film or an insulating film patterned on a substrate as described above, and a color filter substrate which is a counter substrate. Are combined by heat treatment, injecting liquid crystal, and sealing the injection port.
Further, after the liquid crystal is spread on the element substrate, the liquid crystal display element may be manufactured by superimposing the substrates and sealing the liquid crystal so as not to leak.
In this way, a protective film or insulating film having excellent transparency and formed of the positive photosensitive composition of the present invention can be used for a liquid crystal display element.

本発明の液晶表示素子において用いられる液晶組成物は、特に制限はなく、誘電率異方性が正の各種の液晶組成物を用いることができる。好ましい液晶組成物の例は、特許第3086228号公報、特許第2635435号公報、特表平5−501735号公報、特開平8−157826号公報、特開平8−231960号公報、特開平9−241644号公報(EP885272A1明細書)、特開平9−302346号公報(EP806466A1明細書)、特開平8−199168号公報(EP722998A1明細書)、特開平9−235552号公報、特開平9−255956号公報、特開平9−241643号公報(EP885271A1明細書)、特開平10−204016号公報(EP844229A1明細書)、特開平10−204436号公報、特開平10−231482号公報、特開2000−087040公報、特開2001−48822公報などに開示されている。   The liquid crystal composition used in the liquid crystal display element of the present invention is not particularly limited, and various liquid crystal compositions having positive dielectric anisotropy can be used. Examples of preferred liquid crystal compositions include Japanese Patent No. 3086228, Japanese Patent No. 2635435, Japanese Patent Laid-Open No. 5-501735, Japanese Patent Laid-Open No. 8-157826, Japanese Patent Laid-Open No. 8-231960, and Japanese Patent Laid-Open No. 9-241644. (EP885272A1 specification), JP-A-9-302346 (EP806466A1 specification), JP-A-8-199168 (EP722998A1 specification), JP-A-9-235552, JP-A-9-255958, JP-A-9-241463 (EP885271A1), JP-A-10-204016 (EP844229A1), JP-A-10-204436, JP-A-10-231482, JP-A-2000-087040, JP Opened in Gazette 2001-48822 It is.

誘電率異方性が負の各種の液晶組成物を用いることもできる。好ましい液晶組成物の例は、特開昭57−114532号公報、特開平2−4725号公報、特開平4−224885号公報、特開平8−40953号公報、特開平8−104869号公報、特開平10−168076号公報、特開平10−168453号公報、特開平10−236989号公報、特開平10−236990号公報、特開平10−236992号公報、特開平10−236993号公報、特開平10−236994号公報、特開平10−237000号公報、特開平10−237004号公報、特開平10−237024号公報、特開平10−237035号公報、特開平10−237075号公報、特開平10−237076号公報、特開平10−237448号公報(EP967261A1明細書)、特開平10−287874号公報、特開平10−287875号公報、特開平10−291945号公報、特開平11−029581号公報、特開平11−080049号公報、特開2000−256307公報、特開2001−019965公報、特開2001−072626公報、特開2001−192657公報などに開示されている。   Various liquid crystal compositions having negative dielectric anisotropy can also be used. Examples of preferred liquid crystal compositions include JP-A-57-141432, JP-A-2-4725, JP-A-4-224858, JP-A-8-40953, JP-A-8-104869, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 10-168076, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 10-168453, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 10-236989, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 10-236990, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 10-236992, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 10-236993, Japanese Laid-open Patent Publication No. -236994, JP-A-10-237000, JP-A-10-237004, JP-A-10-237024, JP-A-10-237035, JP-A-10-237075, JP-A-10-237076 JP, 10-237448, (EP967261A1), JP 10-28. 874, JP-A-10-287875, JP-A-10-291945, JP-A-11-029581, JP-A-11-080049, JP-A-2000-256307, JP-A-2001-019965, JP-A-2001-072626, JP-A-2001-192657, and the like.

前記誘電率異方性が正または負の液晶組成物に一種以上の光学活性化合物を添加して使用することも何ら差し支えない。   One or more optically active compounds may be added to the liquid crystal composition having a positive or negative dielectric anisotropy.

以下、本発明を実施例および比較例を用いて説明するが、本発明はこれらの実施例等に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated using an Example and a comparative example, this invention is not limited to these Examples.

実施例および比較例で用いる無水物、ジアミンおよび溶媒の名称を略号で示す。以下の記述にはこの略号を使用する。   The names of anhydrides, diamines, and solvents used in Examples and Comparative Examples are abbreviated. This abbreviation is used in the following description.

酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)
スチレン−無水マレイン酸共重合体
(共重合モル比1:1、重量平均分子量1,100) :SMA
3,3',4,4'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物:ODPA
ジアミン(a2)
3,3'−ジアミノジフェニルスルホン :DDS
溶媒
3−メトキシプロピオン酸メチル :MMP
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル :EDM
Compound (a1) having two or more acid anhydride groups
Styrene-maleic anhydride copolymer (copolymerization molar ratio 1: 1, weight average molecular weight 1,100): SMA
3,3 ′, 4,4′-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride: ODPA
Diamine (a2)
3,3′-Diaminodiphenylsulfone: DDS
Solvent Methyl 3-methoxypropionate: MMP
Diethylene glycol methyl ethyl ether: EDM

[合成例1]化合物(A1−1)の合成
温度計、攪拌機、原料投入仕込み口および窒素ガス導入口を備えた500mlの四つ口フラスコに、以下に示すとおりに原料を仕込み、乾燥窒素気流下130℃で5時間攪拌し、淡黄色透明なポリエステルである化合物(A1−1)の30重量%溶液を得た。
MMP 286.5g
SMA 70.7g
ODPA 23.3g
1,4−ブタンジオール 18.0g
ベンジルアルコール 10.8g
[Synthesis Example 1] Synthesis of Compound (A1-1) A 500 ml four-necked flask equipped with a thermometer, a stirrer, a raw material charging inlet and a nitrogen gas inlet was charged with raw materials as shown below, and a dry nitrogen stream The mixture was stirred at 130 ° C. for 5 hours to obtain a 30% by weight solution of compound (A1-1), which is a pale yellow transparent polyester.
MMP 286.5g
SMA 70.7g
ODPA 23.3g
1,4-butanediol 18.0g
Benzyl alcohol 10.8g

この溶液の粘度は88mPa・sであった。GPCで測定した重量平均分子量は15,000であった。   The viscosity of this solution was 88 mPa · s. The weight average molecular weight measured by GPC was 15,000.

[合成例2]化合物(A2−1)の合成
温度計、攪拌機、原料投入仕込み口および窒素ガス導入口を備えた500mlの四つ口フラスコに以下に示すとおりに原料を仕込み、乾燥窒素気流下130℃で2時間攪拌した。
MMP 276.0g
SMA 70.7g
ODPA 23.3g
1,4−ブタンジオール 13.5g
ベンジルアルコール 10.8g
[Synthesis Example 2] Synthesis of Compound (A2-1) Into a 500 ml four-necked flask equipped with a thermometer, a stirrer, a raw material charging inlet and a nitrogen gas inlet, the raw materials were charged as shown below, under a dry nitrogen stream The mixture was stirred at 130 ° C. for 2 hours.
MMP 276.0g
SMA 70.7g
ODPA 23.3g
1,4-butanediol 13.5g
Benzyl alcohol 10.8g

上記反応後の溶液を40℃まで冷却し、以下に示す化合物を追加投入し、40℃で2時間攪拌し、さらに120℃に昇温して1時間攪拌し、淡黄色透明なポリエステル−ポリアミド酸である化合物(A2−1)の30重量%溶液を得た。
MMP 29.0g
DDS 12.4g
The solution after the above reaction was cooled to 40 ° C., and the following compounds were additionally added, stirred at 40 ° C. for 2 hours, further heated to 120 ° C. and stirred for 1 hour, and a pale yellow transparent polyester-polyamic acid As a result, a 30 wt% solution of the compound (A2-1) was obtained.
MMP 29.0g
DDS 12.4g

この溶液の粘度は117mPa・sであった。GPCで測定した重量平均分子量は19,000であった。   The viscosity of this solution was 117 mPa · s. The weight average molecular weight measured by GPC was 19,000.

[合成例3]化合物(A2−2)の合成
温度計、攪拌機、原料投入仕込み口および窒素ガス導入口を備えた500mlの四つ口フラスコに以下に示すとおりに原料を仕込み、乾燥窒素気流下130℃で2時間攪拌した。
MMP 181.8g
ODPA 62.0g
1,4−ブタンジオール 7.2g
ベンジルアルコール 8.7g
[Synthesis Example 3] Synthesis of Compound (A2-2) Raw materials were charged as shown below into a 500 ml four-necked flask equipped with a thermometer, a stirrer, a raw material charging inlet, and a nitrogen gas inlet, and a dry nitrogen stream was used. The mixture was stirred at 130 ° C. for 2 hours.
MMP 181.8g
ODPA 62.0g
1,4-butanediol 7.2 g
8.7 g of benzyl alcohol

上記反応後の溶液を40℃まで冷却し、以下に示す化合物を追加投入し、40℃で2時間攪拌し、さらに120℃に昇温して1時間攪拌し、淡黄色透明なポリエステル−ポリアミド酸である化合物(A2−2)の30重量%溶液を得た。
MMP 46.4g
DDS 19.9g
The solution after the above reaction was cooled to 40 ° C., and the following compounds were additionally added, stirred at 40 ° C. for 2 hours, further heated to 120 ° C. and stirred for 1 hour, and a pale yellow transparent polyester-polyamic acid As a result, a 30 wt% solution of the compound (A2-2) was obtained.
MMP 46.4g
DDS 19.9g

この溶液の粘度は43mPa・sであった。GPCで測定した重量平均分子量は9,000であった。   The viscosity of this solution was 43 mPa · s. The weight average molecular weight measured by GPC was 9,000.

[比較合成例1](特開2002−287351の合成例1)
温度計、攪拌機、原料投入仕込み口および窒素ガス導入口を備えた500mlの四つ口フラスコに以下に示すとおりに原料を仕込み、乾燥窒素をバブリングしながら70℃で5時間攪拌した。
EDM 220.0g
スチレン 20.0g
メタクリル酸 20.0g
グリシジルメタクリレート 40.0g
2−ヒドロキシエチルメタクリレート 20.0g
2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル) 8.0g
[Comparative Synthesis Example 1] (Synthesis Example 1 of JP-A-2002-287351)
A raw material was charged as shown below into a 500 ml four-necked flask equipped with a thermometer, a stirrer, a raw material charging inlet and a nitrogen gas inlet, and stirred at 70 ° C. for 5 hours while bubbling dry nitrogen.
EDM 220.0g
Styrene 20.0g
Methacrylic acid 20.0g
Glycidyl methacrylate 40.0g
2-Hydroxyethyl methacrylate 20.0g
2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) 8.0 g

この溶液の粘度は33mPa・sであった。GPCで測定した重量平均分子量は11,000であった。170℃での乾燥減量から求めたポリマー濃度は30.1重量%であった。   The viscosity of this solution was 33 mPa · s. The weight average molecular weight measured by GPC was 11,000. The polymer concentration determined from loss on drying at 170 ° C. was 30.1% by weight.

[実施例1]ポジ型感光性組成物の調整
合成例1で得られた化合物(A1−1)、1,2−キノンジアジド化合物として4,4’−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノールと1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸クロライドとを縮合物である4,4'−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル(平均エステル化率58%、以下「PAD」と略す)、添加剤としてフッ素系界面活性剤である「サーフロンSC−101」(セイミケミカル株式会社製、以下「SC−101」と略す)、および、溶媒としてMMPを、下記の重量で混合溶解し、ポジ型感光性組成物を得た。
MMP 1.40g
化合物(A1−1)の30重量%溶液 10.00g
PAD 0.60g
SC−101 0.006g
[Example 1] Preparation of positive photosensitive composition 4,4 '-[1- [4- [1- [4] as the compound (A1-1) obtained in Synthesis Example 1 and 1,2-quinonediazide compound 4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol and 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid chloride, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4] -Hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester (average esterification rate 58%, hereinafter abbreviated as "PAD"), fluorine-based interface as additive “Surflon SC-101” (manufactured by Seimi Chemical Co., Ltd., hereinafter abbreviated as “SC-101”) as an activator and MMP as a solvent are mixed in the following weights. Construed, to obtain a positive photosensitive composition.
MMP 1.40g
10.00 g of 30% by weight solution of compound (A1-1)
PAD 0.60g
SC-101 0.006g

このようにして得られたポジ型感光性組成物の耐熱性、平坦性および異物特性を評価した。   The positive photosensitive composition thus obtained was evaluated for heat resistance, flatness and foreign matter characteristics.

(1)耐熱性
ガラス基板上に実施例1で調製されたポジ型感光性組成物を800rpmで10秒間スピンコートし、100℃のホットプレート上で2分間乾燥した。この基板を空気中、ホールパターン形成用のマスクを介して、株式会社トプコン製プロキシミティー露光機「TME−150PRC」を使用し、波長カットフィルターを通して350nm以下の光をカットしてg、h、i線を取り出し、露光ギャップ100μmで露光した。露光量はウシオ電機株式会社製積算光量計「UIT−102」と受光器「UVD−365PD」で測定して100mJ/cm2とした。露光後のガラス基板を、0.3重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で60秒間ディップ現像し、露光部を除去した。現像後の基板を純水で60秒間洗ってから100℃のホットプレートで2分間乾燥した。この基板を前記露光機にてマスクを介さずに露光量300mJ/cm2で全面露光した後、オーブン中230℃で30分ポストベイクし膜厚3μmのパターン状透明膜の形成した。膜厚はKLA-Tencor Japan株式会社製触針式膜厚計「αステップ200」を使用し、3箇所の測定の平均値を膜厚とした。この基板を240℃のオーブンで1時間追加加熱した後、再度膜厚を測定し、追加加熱前後での膜厚変化率を次式から算出した。
[(追加加熱後膜厚−追加加熱前膜厚)/追加加熱前膜厚]×100(%)
その結果を表1に示す。この値が小さいほど、耐熱性が良いことを示す。
(1) Heat resistance The positive photosensitive composition prepared in Example 1 on a glass substrate was spin-coated at 800 rpm for 10 seconds and dried on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes. This substrate is passed through a mask for hole pattern formation in the air using a Topcon Co., Ltd. proximity exposure machine “TME-150PRC”, and the light of 350 nm or less is cut through a wavelength cut filter to make g, h, i The line was taken out and exposed with an exposure gap of 100 μm. The exposure amount was 100 mJ / cm 2 measured with an integrated light meter “UIT-102” and a photoreceiver “UVD-365PD” manufactured by USHIO INC. The exposed glass substrate was dip-developed with a 0.3 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution for 60 seconds to remove the exposed portion. The substrate after development was washed with pure water for 60 seconds and then dried on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes. The entire surface of the substrate was exposed at an exposure amount of 300 mJ / cm 2 without using a mask with the exposure machine, and then post-baked in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to form a patterned transparent film having a thickness of 3 μm. For the film thickness, a stylus type film thickness meter “α step 200” manufactured by KLA-Tencor Japan Co., Ltd. was used, and the average value of the measurements at three locations was taken as the film thickness. This substrate was further heated in an oven at 240 ° C. for 1 hour, and then the film thickness was measured again, and the rate of change in film thickness before and after the additional heating was calculated from the following equation.
[(Film thickness after additional heating−film thickness before additional heating) / film thickness before additional heating] × 100 (%)
The results are shown in Table 1. It shows that heat resistance is so good that this value is small.

(2)平坦性
ブラックマトリクス付きカラーフィルター基板上に、実施例1で調製されたポジ型感光性組成物を800rpmで10秒間スピンコートし、100℃のホットプレート上で2分間乾燥した。この基板を0.3重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に60秒間ディップし、さらに純水で60秒間洗ってから100℃のホットプレートで2分間乾燥した。この基板を前記露光機にてマスクを介さずに露光量300mJ/cm2で全面露光した後、オーブン中230℃で30分ポストベイクして保護膜付きカラーフィルター基板を得た。この基板について前記膜厚計を使用して最大段差を測定した。ここで、「最大段差」とは測定長さを400μmに設定して該基板表面の凹凸を連続的に測定したときに、最も高い点と最も低い点の差をいう。基板上で測定した3箇所の最大段差の平均値を保護膜形成後最大段差とした。また、保護膜を付けていないブラックマトリクスについても同様の測定を行った。この値を保護膜形成前最大段差とした。保護膜形成後の平坦化率を次式から算出した。
((保護膜形成前最大段差−保護膜形成後最大段差)/保護膜形成前最大段差)×100(%)
結果を表1に示す。この値が大きいほど、平坦性が良いことを示す。
(3)異物特性
クロム膜付きガラス基板上に、直径20μmのビーズスペーサーを3〜5個/cm2となるようにビーズスペーサー散布器を用いて散布した。この基板上に実施例1で調製されたポジ型感光性組成物を800rpmで10秒間スピンコートし、100℃のホットプレート上で2分間乾燥した。この基板を0.3重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に60秒間ディップし、さらに純水で60秒間洗ってから100℃のホットプレートで2分間乾燥した。この基板を前記露光機にてマスクを介さずに露光量300mJ/cm2で全面露光した後、オーブン中230℃で30分ポストベイクして異物特性評価用基板を得た。この基板を光学顕微鏡で観察し、ビーズ周囲に発生する干渉縞の直径を測定した。
その結果を表1に示す。この干渉縞の直径が小さいほど、異物特性が良いことを示す。
(2) Flatness The positive photosensitive composition prepared in Example 1 was spin-coated at 800 rpm for 10 seconds on a color filter substrate with a black matrix and dried on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes. This substrate was dipped in a 0.3 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution for 60 seconds, further washed with pure water for 60 seconds, and then dried on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes. The entire surface of the substrate was exposed at an exposure amount of 300 mJ / cm 2 without using a mask with the exposure machine, and then post-baked in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a color filter substrate with a protective film. The maximum level difference was measured on the substrate using the film thickness meter. Here, the “maximum step” refers to the difference between the highest point and the lowest point when the measurement length is set to 400 μm and the unevenness of the substrate surface is continuously measured. The average value of the three maximum steps measured on the substrate was taken as the maximum step after forming the protective film. The same measurement was performed on a black matrix without a protective film. This value was defined as the maximum level difference before forming the protective film. The flattening rate after forming the protective film was calculated from the following equation.
((Maximum step before protective film formation-maximum step after protective film formation) / maximum step before protective film formation) x 100 (%)
The results are shown in Table 1. The larger this value, the better the flatness.
(3) Foreign material characteristics On a glass substrate with a chromium film, bead spacers having a diameter of 20 μm were spread using a bead spacer spreader so as to be 3 to 5 pieces / cm 2 . On this substrate, the positive photosensitive composition prepared in Example 1 was spin-coated at 800 rpm for 10 seconds and dried on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes. This substrate was dipped in a 0.3 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution for 60 seconds, further washed with pure water for 60 seconds, and then dried on a hot plate at 100 ° C. for 2 minutes. The entire surface of the substrate was exposed at an exposure amount of 300 mJ / cm 2 without using a mask by the exposure machine, and then post-baked in an oven at 230 ° C. for 30 minutes to obtain a substrate for foreign material property evaluation. This substrate was observed with an optical microscope, and the diameter of interference fringes generated around the beads was measured.
The results are shown in Table 1. The smaller the interference fringe diameter, the better the foreign matter characteristics.

[実施例2]
化合物(A1−1)の代わりに合成例2で得られた化合物(A2−1)を用いた以外は、実施例1と同様にポジ型感光性組成物を調製し、該組成物を評価した。
その結果を表1に示す。
[Example 2]
A positive photosensitive composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the compound (A2-1) obtained in Synthesis Example 2 was used instead of the compound (A1-1), and the composition was evaluated. .
The results are shown in Table 1.

[実施例3]
化合物(A1−1)の代わりに、合成例3で得られた化合物(A2−2)を用いた以外は、実施例1と同様にポジ型感光性組成物を調製し、評価した。
その結果を表1に示す。
[Example 3]
A positive photosensitive composition was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the compound (A2-2) obtained in Synthesis Example 3 was used instead of the compound (A1-1).
The results are shown in Table 1.

[比較例1]
化合物(A1−1)の代わりに、比較合成例1で得られたポリマーを用いた以外は、実施例1と同様にポジ型感光性組成物を調製し、評価した。結果を表1に示す。
[Comparative Example 1]
A positive photosensitive composition was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the polymer obtained in Comparative Synthesis Example 1 was used instead of the compound (A1-1). The results are shown in Table 1.

Figure 2008102351
Figure 2008102351

本発明のポジ型感光性組成物は、液晶表示素子のカラーフィルター用保護膜やTFT基板の絶縁膜として用いることができる。   The positive photosensitive composition of the present invention can be used as a color filter protective film for a liquid crystal display element or an insulating film for a TFT substrate.

Claims (22)

下記式(2)
Figure 2008102351
(式中、R1とR3はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位を有する化合物(A1)、および、1,2−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性組成物。
Following formula (2)
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 3 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
A positive photosensitive composition containing a compound (A1) having a structural unit represented by formula (1) and a 1,2-quinonediazide compound.
化合物(A1)が、少なくとも、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と多価ヒドロキシ化合物(a3)とを用いて合成される、請求項1に記載のポジ型感光性組成物。   The positive photosensitive composition according to claim 1, wherein the compound (A1) is synthesized using at least the compound (a1) having two or more acid anhydride groups and the polyvalent hydroxy compound (a3). 酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)が、テトラカルボン酸二無水物、および、酸無水物基を有する重合性モノマーと他の重合性モノマーとの共重合体からなる群から選ばれる1以上であり、
多価ヒドロキシ化合物(a3)がジオールである、請求項2に記載のポジ型感光性組成物。
The compound (a1) having two or more acid anhydride groups is selected from the group consisting of tetracarboxylic dianhydrides and copolymers of polymerizable monomers having acid anhydride groups and other polymerizable monomers. 1 or more,
The positive photosensitive composition according to claim 2, wherein the polyvalent hydroxy compound (a3) is a diol.
化合物(A1)が、
ジオール、テトラカルボン酸二無水物およびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物、
ジオールおよびテトラカルボン酸二無水物の反応生成物、または、
ジオールおよびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物
である、請求項1に記載のポジ型感光性組成物。
Compound (A1) is
Reaction product of diol, tetracarboxylic dianhydride and styrene-maleic anhydride copolymer,
Reaction product of diol and tetracarboxylic dianhydride, or
The positive photosensitive composition according to claim 1, which is a reaction product of a diol and a styrene-maleic anhydride copolymer.
化合物(A1)が、
ジオール、テトラカルボン酸二無水物、スチレン−無水マレイン酸共重合体および1価アルコールの反応生成物、
ジオール、テトラカルボン酸二無水物、スチレン−無水マレイン酸共重合体およびモノアミンの反応生成物、
ジオール、テトラカルボン酸二無水物および1価アルコールの反応生成物、
ジオール、テトラカルボン酸二無水物およびモノアミンの反応生成物、
ジオール、スチレン−無水マレイン酸共重合体および1価アルコールの反応生成物、または、
ジオール、スチレン−無水マレイン酸共重合体およびモノアミンの反応生成物
である、請求項1に記載のポジ型感光性組成物。
Compound (A1) is
Reaction product of diol, tetracarboxylic dianhydride, styrene-maleic anhydride copolymer and monohydric alcohol,
Reaction product of diol, tetracarboxylic dianhydride, styrene-maleic anhydride copolymer and monoamine,
Reaction product of diol, tetracarboxylic dianhydride and monohydric alcohol,
Reaction products of diols, tetracarboxylic dianhydrides and monoamines,
Reaction product of diol, styrene-maleic anhydride copolymer and monohydric alcohol, or
The positive photosensitive composition according to claim 1, which is a reaction product of a diol, a styrene-maleic anhydride copolymer and a monoamine.
ジオールが、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,7−ヘプタンジオールおよび1,8−オクタンジオールからなる群から選ばれる1つ以上であり、
テトラカルボン酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物および3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1つ以上であり、
1価アルコールが、ベンジルアルコール、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルおよび3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタンからなる群から選ばれる1つ以上であり、
モノアミンが、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、4−アミノブチルトリメトキシシラン、4−アミノブチルトリエトキシシラン、4−アミノブチルメチルジエトキシシラン、p−アミノフェニルトリメトキシシラン、p−アミノフェニルトリエトキシシラン、p−アミノフェニルメチルジメトキシシラン、p−アミノフェニルメチルジエトキシシラン、m−アミノフェニルトリメトキシシラン、m−アミノフェニルメチルジエトキシシランおよびアミノ安息香酸からなる群から選ばれる1つ以上である、請求項4または5に記載のポジ型感光性組成物。
The diol is selected from the group consisting of ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol, and 1,8-octanediol. Two or more
Tetracarboxylic dianhydride is pyromellitic dianhydride, cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-Diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride and 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride One or more selected from the group consisting of things,
Monohydric alcohols are benzyl alcohol, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether and 3-ethyl-3-hydroxy One or more selected from the group consisting of methyl oxetane,
Monoamine is 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, 4-aminobutyltrimethoxysilane, 4-aminobutyltriethoxy Silane, 4-aminobutylmethyldiethoxysilane, p-aminophenyltrimethoxysilane, p-aminophenyltriethoxysilane, p-aminophenylmethyldimethoxysilane, p-aminophenylmethyldiethoxysilane, m-aminophenyltrimethoxy The positive photosensitive composition according to claim 4 or 5, which is one or more selected from the group consisting of silane, m-aminophenylmethyldiethoxysilane, and aminobenzoic acid.
下記式(1)
Figure 2008102351
(式中、R1とR2はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位と、下記式(2)
Figure 2008102351
(式中、R1とR3はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位とを有する化合物(A2)、および、1,2−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性組成物。
Following formula (1)
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 2 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
And the following formula (2)
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 3 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
A positive photosensitive composition containing a compound (A2) having a structural unit represented by formula (1) and a 1,2-quinonediazide compound.
化合物(A2)が、少なくとも、酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)とジアミン(a2)と多価ヒドロキシ化合物(a3)とを用いて合成される、請求項7に記載のポジ型感光性組成物。   The positive type according to claim 7, wherein the compound (A2) is synthesized using at least the compound (a1) having two or more acid anhydride groups, the diamine (a2), and the polyvalent hydroxy compound (a3). Photosensitive composition. 酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)が、テトラカルボン酸二無水物、および、酸無水物基を有する重合性モノマーと他の重合性モノマーとの共重合体からなる群から選ばれる1以上であり、
多価ヒドロキシ化合物(a3)がジオールである、請求項8に記載のポジ型感光性組成物。
The compound (a1) having two or more acid anhydride groups is selected from the group consisting of tetracarboxylic dianhydrides and copolymers of polymerizable monomers having acid anhydride groups and other polymerizable monomers. 1 or more,
The positive photosensitive composition according to claim 8, wherein the polyvalent hydroxy compound (a3) is a diol.
化合物(A2)が、
ジオール、ジアミン、テトラカルボン酸二無水物およびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物、
ジオール、ジアミンおよびテトラカルボン酸二無水物の反応生成物、または、
ジオール、ジアミンおよびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物、
である、請求項7に記載のポジ型感光性組成物。
Compound (A2) is
Reaction product of diol, diamine, tetracarboxylic dianhydride and styrene-maleic anhydride copolymer,
Reaction product of diol, diamine and tetracarboxylic dianhydride, or
Reaction product of diol, diamine and styrene-maleic anhydride copolymer,
The positive photosensitive composition according to claim 7, wherein
化合物(A2)が、
ジオール、ジアミン、テトラカルボン酸二無水物、スチレン−無水マレイン酸共重合体および1価アルコールの反応生成物、
ジオール、ジアミン、テトラカルボン酸二無水物、スチレン−無水マレイン酸共重合体およびモノアミンの反応生成物、
ジオール、ジアミン、テトラカルボン酸二無水物および1価アルコールの反応生成物、
ジオール、ジアミン、テトラカルボン酸二無水物およびモノアミンの反応生成物、
ジオール、ジアミン、スチレン−無水マレイン酸共重合体および1価アルコールの反応生成物、または、
ジオール、ジアミン、スチレン−無水マレイン酸共重合体、モノアミンの反応生成物、
である、請求項7に記載のポジ型感光性組成物。
Compound (A2) is
Reaction product of diol, diamine, tetracarboxylic dianhydride, styrene-maleic anhydride copolymer and monohydric alcohol,
Reaction products of diols, diamines, tetracarboxylic dianhydrides, styrene-maleic anhydride copolymers and monoamines,
Reaction product of diol, diamine, tetracarboxylic dianhydride and monohydric alcohol,
Reaction products of diols, diamines, tetracarboxylic dianhydrides and monoamines,
Reaction product of diol, diamine, styrene-maleic anhydride copolymer and monohydric alcohol, or
Diol, diamine, styrene-maleic anhydride copolymer, monoamine reaction product,
The positive photosensitive composition according to claim 7, wherein
ジオールが、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,7−ヘプタンジオールおよび1,8−オクタンジオールからなる群から選ばれる1つ以上であり、
ジアミンが、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,3'−ジアミノジフェニルスルホン、3,4'−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2’−ジアミノジフェニルプロパン、ビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]メタン、および下記式(A)
Figure 2008102351
(式中、R4およびR5は独立して炭素数1〜3のアルキルまたはフェニルであり、R6独立してはメチレン、フェニレンまたはアルキル置換されたフェニレンである。xは独立して1〜6の整数であり、yは1〜10の整数である。)
で表される化合物なる群からから選ばれる1つ以上であり、
テトラカルボン酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物および3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1つ以上であり、
1価アルコールが、ベンジルアルコール、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルおよび3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタンからなる群から選ばれる1つ以上であり、
モノアミンが、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、および4−アミノ安息香酸からなる群から選ばれる1つ以上である、請求項10または11に記載のポジ型感光性組成物。
The diol is selected from the group consisting of ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol, and 1,8-octanediol. Two or more
Diamine is 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,3 ′. -Dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2'-diaminodiphenylpropane, bis [4- (4-aminobenzyl) Phenyl] methane and the following formula (A)
Figure 2008102351
Wherein R 4 and R 5 are independently alkyl or phenyl having 1 to 3 carbon atoms, R 6 is independently methylene, phenylene or alkyl-substituted phenylene. X is independently 1 to 1 6 is an integer, and y is an integer of 1 to 10.)
One or more selected from the group consisting of compounds represented by:
Tetracarboxylic dianhydride is pyromellitic dianhydride, cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-Diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride and 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride One or more selected from the group consisting of things,
The monohydric alcohol is one or more selected from the group consisting of benzyl alcohol, 2-hydroxyethyl methacrylate, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether and 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane;
The monoamine is one selected from the group consisting of 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, 3-aminopropylmethyldiethoxysilane, and 4-aminobenzoic acid The positive photosensitive composition according to claim 10 or 11, which is as described above.
ジオールが、1,4−ブタンジオールであり、
ジアミンが、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,3'−ジアミノジフェニルスルホン、および下記式(A)
Figure 2008102351
(式中、R4およびR5は独立して炭素数1〜3のアルキルまたはフェニルであり、R6独立してはメチレン、フェニレンまたはアルキル置換されたフェニレンである。xは独立して1〜6の整数であり、yは1〜10の整数である。)
で表される化合物からなる群から選ばれる1つ以上であり、
テトラカルボン酸二無水物が、ピロメリット酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物および3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物からなる群から選ばれる1つ以上であり、
1価アルコールが、ベンジルアルコール、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルおよび3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタンからなる群から選ばれる1つ以上であり、
モノアミンが、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、p−アミノフェニルトリメトキシシランおよびアミノ安息香酸からなる群から選ばれる1つ以上である、請求項10または11に記載のポジ型感光性組成物。
The diol is 1,4-butanediol;
Diamine is 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, and the following formula (A)
Figure 2008102351
Wherein R 4 and R 5 are independently alkyl or phenyl having 1 to 3 carbon atoms, R 6 is independently methylene, phenylene or alkyl-substituted phenylene. X is independently 1 to 1 6 is an integer, and y is an integer of 1 to 10.)
One or more selected from the group consisting of compounds represented by:
Tetracarboxylic dianhydrides are pyromellitic dianhydride, butanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride and 3,3 ′, 4,4. One or more selected from the group consisting of '-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride,
The monohydric alcohol is one or more selected from the group consisting of benzyl alcohol, 2-hydroxyethyl methacrylate, diethylene glycol monoethyl ether and 3-ethyl-3-hydroxymethyloxetane;
The monoamine is one or more selected from the group consisting of 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, p-aminophenyltrimethoxysilane, and aminobenzoic acid. Positive photosensitive composition.
テトラカルボン酸二無水物およびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物からなる群から選ばれる1つ以上である酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と、 エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,7−ヘプタンジオールおよび1,8−オクタンジオールからなる群から選ばれる1つ以上である多価ヒドロキシ化合物(a3)と、を用いて合成される下記式(2)
Figure 2008102351
(式中、R1とR3はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位を有する化合物(A1)、ならびに、
1,2−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性組成物。
A compound (a1) having two or more acid anhydride groups selected from the group consisting of a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and styrene-maleic anhydride copolymer, ethylene glycol, propylene glycol , 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol, and 1,8-octanediol (A3) and the following formula (2) synthesized using
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 3 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
A compound (A1) having a structural unit represented by:
A positive photosensitive composition containing a 1,2-quinonediazide compound.
テトラカルボン酸二無水物およびスチレン−無水マレイン酸共重合体の反応生成物からなる群から選ばれる1つ以上である酸無水物基を2つ以上有する化合物(a1)と、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン、3,3'−ジアミノジフェニルスルホン、3,4'−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2’−ジアミノジフェニルプロパンおよびビス[4−(4−アミノベンジル)フェニル]メタンからなる群から選ばれる1つ以上であるジアミン(a2)と、エチレングリコール、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、1,5−ペンタンジオール、1,6−ヘキサンジオール、1,7−ヘプタンジオールおよび1,8−オクタンジオールからなる群から選ばれる1つ以上である多価ヒドロキシ化合物(a3)と、を用いて合成される 下記式(1)
Figure 2008102351
(式中、R1とR2はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位と、下記式(2)
Figure 2008102351
(式中、R1とR3はそれぞれ独立して炭素数2〜100の有機基である。)
で示される構成単位とを有する化合物(A2)、ならびに、
1,2−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性組成物。
A compound (a1) having two or more acid anhydride groups which are one or more selected from the group consisting of a reaction product of tetracarboxylic dianhydride and styrene-maleic anhydride copolymer, and 4,4′- Diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,3′-dimethyl-4,4′- Selected from the group consisting of diaminodiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2'-diaminodiphenylpropane and bis [4- (4-aminobenzyl) phenyl] methane One or more diamines (a2), ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butane A polyhydric hydroxy compound (a3) which is at least one selected from the group consisting of diol, 1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,7-heptanediol and 1,8-octanediol; The following formula (1)
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 2 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
And the following formula (2)
Figure 2008102351
(In the formula, R 1 and R 3 are each independently an organic group having 2 to 100 carbon atoms.)
A compound (A2) having a structural unit represented by:
A positive photosensitive composition containing a 1,2-quinonediazide compound.
1,2−キノンジアジド化合物が、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、4,4'−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、および、4,4'−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルからなる群から選ばれる1つ以上である、請求項1〜15に記載のポジ型感光性組成物。   1,2-quinonediazide compound is 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5 Sulfonic acid ester, 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, and 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester The positive photosensitive composition according to claim 1, wherein the positive photosensitive composition is one or more. 1,2−キノンジアジド化合物が、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、および、4,4'−[1−[4−[1−[4−ヒドロキシフェニル]−1−メチルエチル]フェニル]エチリデン]ビスフェノール−1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステルからなる群から選ばれる1つ以上である、請求項1〜15に記載のポジ型感光性組成物。   1,2-quinonediazide compound is 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 2,3,4-trihydroxybenzophenone-1,2-naphthoquinonediazide-5 Sulfonic acid esters and 4,4 ′-[1- [4- [1- [4-hydroxyphenyl] -1-methylethyl] phenyl] ethylidene] bisphenol-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid esters The positive photosensitive composition according to claim 1, which is one or more selected from the group consisting of: さらにエポキシ樹脂(C)を含有する、請求項1〜17に記載のポジ型感光性組成物。   Furthermore, the positive photosensitive composition of Claims 1-17 containing an epoxy resin (C). エポキシ樹脂(C)が、下記式(C1)〜(C4)で示される化合物から選ばれる1つ以上である、請求項17に記載のポジ型感光性組成物。
Figure 2008102351
(式中、nは0〜10の整数である。)
The positive photosensitive composition according to claim 17, wherein the epoxy resin (C) is one or more selected from compounds represented by the following formulas (C1) to (C4).
Figure 2008102351
(In the formula, n is an integer of 0 to 10.)
エポキシ樹脂(C)が、オキシランを有するモノマーの重合体、および、オキシランを有するモノマーと他のモノマーとの共重合体からなる群から選ばれる1つ以上である、請求項18に記載のポジ型感光性組成物。   The positive type resin according to claim 18, wherein the epoxy resin (C) is at least one selected from the group consisting of a polymer of a monomer having an oxirane and a copolymer of a monomer having an oxirane and another monomer. Photosensitive composition. オキシランを有するモノマーが、グリシジル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートから選ばれる1つ以上である、請求項18に記載のポジ型感光性組成物。   The positive photosensitive composition according to claim 18, wherein the monomer having oxirane is one or more selected from glycidyl (meth) acrylate, methyl glycidyl (meth) acrylate, and 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate. . 請求項1〜21のいずれか1項に記載のポジ型感光性組成物の透明膜またはパターン状透明膜。   The transparent film or pattern-shaped transparent film of the positive photosensitive composition of any one of Claims 1-21.
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