JP2008188951A

JP2008188951A - Inkjet head manufacturing method

Info

Publication number: JP2008188951A
Application number: JP2007028321A
Authority: JP
Inventors: Tatsuya Fukuda; 達也福田
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2007-02-07
Filing date: 2007-02-07
Publication date: 2008-08-21

Abstract

【課題】インクジェットヘッドのインクの吐出を阻害する要因を極力取り除くことで印刷品質を高める。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッド１の製造方法は、インクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面３７ａに開口するインク吐出口３７に、ロウ材７４を充填してインク吐出口３７を閉塞する工程と、インク吐出口３７の閉塞されたインク吐出面３７ａを研磨する工程と、インク吐出面３７ａが研磨された後、インク吐出口３７からロウ材７４を除去する工程と、ロウ材７４が除去されたインク吐出面３７ａに、インク吐出口３７とつながるインク吐出孔３ａが穿孔されたオリフィスプレート３を接合する工程と、を有する。
【選択図】図７ＢAn object of the present invention is to improve printing quality by removing as much as possible a factor that hinders ink ejection of an inkjet head.
A method of manufacturing an inkjet head 1 according to the present invention includes a step of filling an ink ejection port 37 opened on an ink ejection surface 37a of an inkjet head manifold 2 with a brazing material 74 to close the ink ejection port 37; A step of polishing the blocked ink discharge surface 37a of the ink discharge port 37, a step of removing the brazing material 74 from the ink discharge port 37 after the ink discharge surface 37a is polished, and an ink from which the brazing material 74 has been removed Joining the orifice plate 3 having the ink discharge holes 3a connected to the ink discharge ports 37 to the discharge surface 37a.
[Selection] Figure 7B

Description

本発明は、インクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an inkjet head used in an inkjet printer.

インク流路形成用の開口部を設けた複数の金属平板を拡散接合により積層一体化したインクジェットヘッドマニホールドを有するインクジェットヘッドが知られている（例えば特許文献１参照）。 There is known an ink jet head having an ink jet head manifold in which a plurality of metal flat plates provided with openings for forming ink flow paths are laminated and integrated by diffusion bonding (see, for example, Patent Document 1).

この種のインクジェットヘッドは、インク吐出口の開口するインクジェットヘッドマニホールド上のインク吐出面と、例えば、オリフィスとなるインク吐出孔を備えたオリフィスプレートと、を互いに位置合せしつつ接合することで、微細なインク粒子を吐出させるインク吐出経路が構成される。 This type of ink jet head is formed by joining an ink discharge surface on an ink jet head manifold having an ink discharge port and an orifice plate having an ink discharge hole serving as an orifice while aligning them with each other. An ink ejection path for ejecting various ink particles is configured.

ここで、上記のインクジェットヘッドのインク吐出面は、例えば積層された複数の金属平板の端面で構成されているので、その表面には凹凸があらわれることになる。したがって、インクジェットヘッドマニホールド上のこのインク吐出面とオリフィスプレートとは、インク吐出面を平滑に研磨した上で例えば拡散接合される。
特開２００６−２３１６８８号公報 Here, since the ink discharge surface of the above-described ink jet head is constituted by, for example, end surfaces of a plurality of stacked metal flat plates, irregularities appear on the surface. Therefore, the ink discharge surface and the orifice plate on the ink jet head manifold are, for example, diffusion bonded after the ink discharge surface is polished smoothly.
JP 2006-231688 A

しかしながら、このようなインクジェットヘッドの製法では、インク吐出面の研磨によってインク吐出口の開口端にバリが発生したり、また、研磨粉がインク吐出口内に混入したりすることがある。これらの場合、インク吐出口からのインクの吐出が阻害され、印刷品質の低下を招くことになる。 However, in such an ink jet head manufacturing method, burrs may be generated at the opening end of the ink discharge port due to polishing of the ink discharge surface, and polishing powder may be mixed into the ink discharge port. In these cases, the ejection of ink from the ink ejection port is hindered, leading to a decrease in print quality.

そこで本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、インクの吐出を阻害する要因を極力取り除くことで実質的に印刷品質を高めることができるインクジェットヘッドの製造方法の提供を目的とする。 Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problem, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing an inkjet head that can substantially improve print quality by removing factors that inhibit ink ejection as much as possible. .

上記目的を達成するために、本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、インクの流路が内部に形成されたヘッド本体のインク吐出面に開口するインク吐出口に、閉塞物を充填して前記インク吐出口を閉塞する吐出口閉塞工程と、前記インク吐出口の閉塞された前記インク吐出面を研磨する研磨工程と、前記インク吐出面が研磨された後、前記インク吐出口から前記閉塞物を除去する閉塞物除去工程と、前記閉塞物が除去された前記ヘッド本体の前記インク吐出面に、前記インク吐出口とつながるインク吐出孔が穿孔されたオリフィス部材を接合する接合工程と、を有することを特徴とする。 In order to achieve the above object, an ink jet head manufacturing method according to the present invention includes: filling an ink discharge port that opens in an ink discharge surface of a head body in which an ink flow path is formed; A discharge port closing step for closing the ink discharge port; a polishing step for polishing the ink discharge surface blocked by the ink discharge port; and the obstruction from the ink discharge port after the ink discharge surface has been polished. A removal step of removing the obstruction, and a joining step of joining an orifice member having an ink discharge hole connected to the ink discharge port to the ink discharge surface of the head body from which the obstruction has been removed. It is characterized by.

すなわち、本発明では、インク吐出口を一時的に閉塞した状態でヘッド本体のインク吐出面を研磨するので、研磨時にインク吐出口の開口端に生じ得るバリの発生や、インク吐出口内への研磨粉の混入を防止することができる。したがって、本発明によれば、ヘッド本体及びオリフィス部材が接合された状態では、このヘッド本体のインク吐出面から開口するインク吐出口とこのインク吐出口につながるオリフィス部材上のインク吐出孔とで、インクの吐出を阻害することない好適なインク吐出経路を構成することができる。 That is, in the present invention, the ink discharge surface of the head main body is polished while the ink discharge port is temporarily closed, so that burrs that may occur at the opening end of the ink discharge port during polishing and polishing into the ink discharge port are polished. Mixing of powder can be prevented. Therefore, according to the present invention, in a state where the head main body and the orifice member are joined, the ink discharge port opened from the ink discharge surface of the head main body and the ink discharge hole on the orifice member connected to the ink discharge port, A suitable ink discharge path that does not hinder ink discharge can be configured.

このように本発明によれば、インクの吐出を阻害する要因を極力取り除くことで実質的に印刷品質を高めることが可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide an ink jet head manufacturing method capable of substantially improving the print quality by removing factors that inhibit ink ejection as much as possible.

以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づき説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を用いて製造されたインクジェットヘッド１の外観を示す斜視図である。また、図２は、このインクジェットヘッド１を示す平面（上面）図であり、図３は、インクジェットヘッド１の底面図である。さらに、図４は、このインクジェットヘッド１の構造を示す分解斜視図である。 The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of an inkjet head 1 manufactured by using the inkjet head manufacturing method according to the embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan (top) view showing the inkjet head 1, and FIG. 3 is a bottom view of the inkjet head 1. Further, FIG. 4 is an exploded perspective view showing the structure of the inkjet head 1.

図１に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド１は、ヘッド本体（ヘッド筐体）としての金属製のインクジェットヘッドマニホールド２を備えている。このインクジェットヘッドマニホールド２は、図１及び図４に示すように、複数の種類（図４に示す例では大別して９種類）の金属製の第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９を複数枚（例えば、２５〜２５０枚）積層して構成されている。これらの第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９は、厚さが例えば０．０２ｍｍ〜０．２ｍｍの金属製（例えば、ＳＵＳ３０４など）の板材から構成されており、これらを拡散接合などによって互いに圧着することで、ブロック状に形成されている。また、第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９に開口されたインク流路は、例えばエッチング加工やブラスト加工によって形成されている。第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９の外形は、エッチング加工やブラスト加工の他、打ち抜き加工によっても成形することができる。 As shown in FIG. 1, the ink jet head 1 of the present embodiment includes a metal ink jet head manifold 2 as a head body (head housing). As shown in FIGS. 1 and 4, the inkjet head manifold 2 has a plurality of types (9 types in the example shown in FIG. 4) of metal first channel formation laminates 21 to 9 channel formation. A plurality of (for example, 25 to 250) laminated plates 29 are laminated. The first flow path forming laminate 21 to the ninth flow path forming laminated plate 29 are made of a metal (for example, SUS304) plate material having a thickness of 0.02 mm to 0.2 mm, for example. Are bonded together by diffusion bonding or the like to form a block shape. Moreover, the ink flow path opened to the 1st flow path formation laminated board 21-the 9th flow path formation laminated board 29 is formed, for example by the etching process or the blast process. The outer shapes of the first flow path forming laminate 21 to the ninth flow path forming laminated plate 29 can be formed by punching as well as etching and blasting.

また、インクジェットヘッドマニホールド２の底面には、図３及び図４に示すように、複数のインク吐出孔３ａ（直径、例えば０．０１ｍｍ〜０．１ｍｍ）の形成されたオリフィス部材としてのオリフィスプレート３が、上記した拡散接合などによって接合されている。このオリフィスプレート３は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍで形成されており、その構成材料としては、インクジェットヘッドマニホールド２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４など）が適用されている。インク吐出孔３ａは、図３、図４に示すように、オリフィスプレート３上に例えば一列に配置されている。このインク吐出孔３ａは、例えばパンチング加工、レーザ加工、エッチング加工などによって形成されている。 Further, as shown in FIGS. 3 and 4, an orifice plate 3 as an orifice member in which a plurality of ink discharge holes 3 a (diameter, for example, 0.01 mm to 0.1 mm) are formed on the bottom surface of the inkjet head manifold 2. Are joined by the diffusion bonding described above. The orifice plate 3 is formed with a thickness of 0.05 mm to 0.2 mm, for example, and the same material (for example, SUS304) as that of the inkjet head manifold 2 is applied as a constituent material thereof. As shown in FIGS. 3 and 4, the ink ejection holes 3 a are arranged, for example, in a line on the orifice plate 3. The ink discharge holes 3a are formed by punching, laser processing, etching, or the like, for example.

また、インクジェットヘッドマニホールド２の各側面には、図２及び図３に示すように、振動板（箔）４が、拡散接合などによって接合されている。この振動板４は、インクジェットヘッドマニホールド２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４など）から構成されており、例えば厚さ０．０１ｍｍ〜０．０５ｍｍで形成されている。この振動板４は、レーザ加工やエッチング加工などによって加工成形されている。 Further, as shown in FIGS. 2 and 3, a diaphragm (foil) 4 is bonded to each side surface of the inkjet head manifold 2 by diffusion bonding or the like. The diaphragm 4 is made of the same material (for example, SUS304) as the inkjet head manifold 2 and is formed with a thickness of 0.01 mm to 0.05 mm, for example. The diaphragm 4 is formed by laser processing, etching, or the like.

この振動板４のさらに外側面には、所定形状の導体パターンが形成されたＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）５が接着剤などによって貼着されている。さらに、このＦＰＣ５には、接着剤（例えば、メチルシアノアクリレートやエポキシ系、アクリル系の接着剤）などを用いて圧電素子６が接合（貼着）されている。この圧電素子６は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの材質で構成されたピエゾ素子であって、例えば、厚さ０．５ｍｍ〜２ｍｍで形成されている。この圧電素子６には、各インク吐出孔３ａにそれぞれ対応する複数の電極が、蒸着などの方法で形成されており、これらの電極は、ＦＰＣ５に形成された導体パターンとそれぞれ電気的に接続されている。 An FPC (Flexible Printed Circuit) 5 in which a conductor pattern having a predetermined shape is formed is attached to the outer surface of the diaphragm 4 with an adhesive or the like. Furthermore, the piezoelectric element 6 is bonded (attached) to the FPC 5 using an adhesive (for example, methyl cyanoacrylate, epoxy-based, or acrylic-based adhesive). The piezoelectric element 6 is a piezo element made of a material such as PZT (lead zirconate titanate), and has a thickness of 0.5 mm to 2 mm, for example. In the piezoelectric element 6, a plurality of electrodes respectively corresponding to the respective ink discharge holes 3a are formed by a method such as vapor deposition, and these electrodes are electrically connected to a conductor pattern formed in the FPC 5, respectively. ing.

また、図４に示すように、上述した第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９のうちで、中央部に配置される第５流路形成積層板２５から一方の積層方向に積層される第６流路形成積層板２６〜第９流路形成積層板２９は、インク吐出孔３ａの例えば奇数列の流路を形成するように配置されている。また、第５流路形成積層板２５から他方の積層方向に積層される第４流路形成積層板２４〜第１流路形成積層板２１は、インク吐出孔３ａの例えば偶数列の流路を形成するように配置されている。 Also, as shown in FIG. 4, one of the first flow path forming laminated plate 21 to the ninth flow path forming laminated plate 29 described above is stacked from the fifth flow path forming laminated plate 25 arranged in the center. The sixth flow path forming laminated plate 26 to the ninth flow path forming laminated plate 29 stacked in the direction are arranged so as to form, for example, odd-numbered flow paths of the ink discharge holes 3a. Further, the fourth flow path forming laminate 24 to the first flow path forming laminated plate 21 laminated in the other laminating direction from the fifth flow path forming laminated plate 25, for example, the even-numbered flow paths of the ink discharge holes 3a. It is arranged to form.

ここで、上記構成に代えて、第５流路形成積層板２５から一方に積層される第６流路形成積層板２６〜第９流路形成積層板２９が、インク吐出孔３ａの偶数列の流路を形成し、第５流路形成積層板２５から他方に積層される第４流路形成積層板２４〜第１流路形成積層板２１が、インク吐出孔３ａの奇数列の流路を形成するものであってもよい。そして、このようにして形成される奇数列の流路と偶数列の流路とで、図３に示すように、インク吐出孔３ａが、オリフィスプレート３上に一列に配置される。 Here, instead of the above configuration, the sixth flow path forming laminated plate 26 to the ninth flow path forming laminated plate 29 laminated on one side from the fifth flow path forming laminated plate 25 are arranged in even rows of the ink discharge holes 3a. The fourth flow path forming laminated plate 24 to the first flow path forming laminated plate 21 that form the flow paths and are laminated on the other side from the fifth flow path forming laminated plate 25 pass through the odd-numbered flow paths of the ink ejection holes 3a. It may be formed. Then, with the odd-numbered flow paths and the even-numbered flow paths formed as described above, the ink discharge holes 3a are arranged in a line on the orifice plate 3 as shown in FIG.

上記したように、中央部に配置される第１流路形成積層板２５には、インク供給流路３１、インク溜め部３２、空気抜き孔４０、インク吐出口３７を形成するための開口部が設けられている。また、第５流路形成積層板２５の両外側に配置される第６流路形成積層板２６及び第４流路形成積層板２４には、インク供給流路３１、インク溜め部３２、空気抜き孔４０を形成するための開口部と、下側インク流路３６を形成するための開口部とが設けられている。 As described above, the first flow path forming laminated plate 25 disposed in the central portion is provided with openings for forming the ink supply flow path 31, the ink reservoir 32, the air vent hole 40, and the ink discharge port 37. It has been. In addition, an ink supply channel 31, an ink reservoir 32, an air vent hole are provided in a sixth channel formation laminate 26 and a fourth channel formation laminate 24 arranged on both outer sides of the fifth channel formation laminate 25. An opening for forming 40 and an opening for forming the lower ink flow path 36 are provided.

ここで、インク溜め部３２の内壁上部３２ａは、空気抜き孔４０に向けて上り勾配となる傾斜面で形成されている。また、インク供給流路３１は、インク供給口２ａから一旦インク溜め部３２の下方に延び、次いで上方に延びてインク溜め部３２の底部に接続されるサイフォン構造を採っている。さらに、インク供給流路３１と空気抜き孔４０とは、インク溜め部３２の長手方向の両側端部に接続されるように設けられている。 Here, the inner wall upper portion 32 a of the ink reservoir 32 is formed with an inclined surface that is inclined upward toward the air vent hole 40. The ink supply channel 31 has a siphon structure that extends from the ink supply port 2 a to the bottom of the ink reservoir 32 and then extends upward to be connected to the bottom of the ink reservoir 32. Further, the ink supply channel 31 and the air vent hole 40 are provided so as to be connected to both end portions in the longitudinal direction of the ink reservoir 32.

また、上記第６流路形成積層板２６及び第４流路形成積層板２４のそれぞれの外側に配置される第７流路形成積層板２７及び第３流路形成積層板２３には、下側インク流路３６と、上側共通インク流路３３とを形成するための開口部が設けられている。さらに、第７流路形成積層板２７及び第３流路形成積層板２３のそれぞれの外側に配置される第８流路形成積層板２８及び第２流路形成積層板２２には、下側インク流路３６と、上側個別インク流路３４とを形成するための開口部が設けられている。また、最も外側に配置される第９流路形成積層板２９及び第１流路形成積層板２１には、上下方向インク流路３５を形成するための開口部が設けられている。 In addition, the seventh flow path forming laminate 27 and the third flow path forming laminate 23 disposed on the outer sides of the sixth flow path forming laminate 26 and the fourth flow path forming laminate 24, respectively, An opening for forming the ink flow path 36 and the upper common ink flow path 33 is provided. Further, the eighth flow path forming laminate 28 and the second flow path forming laminate 22 arranged on the outer sides of the seventh flow path forming laminate 27 and the third flow path forming laminate 23 include lower ink. An opening for forming the flow path 36 and the upper individual ink flow path 34 is provided. In addition, the ninth channel forming laminate 29 and the first channel forming laminate 21 arranged on the outermost side are provided with openings for forming the vertical ink channels 35.

このように構成された所定枚数の第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９を、所定の順序で積層一体化することで、インクジェットヘッドマニホールド２内には、インク供給流路３１からインク吐出口３７に至るインクの流路が、積層方向中央部から両側に向けて形成されると共に、図１及び図４に示すように、インクジェットヘッドマニホールド２の上側に、インク供給口２ａ、空気抜き口２ｂが開口した状態となる。 The predetermined number of the first flow path forming laminated plates 21 to the ninth flow path forming laminated plates 29 configured as described above are laminated and integrated in a predetermined order so that the ink supply flow is provided in the inkjet head manifold 2. An ink flow path from the path 31 to the ink discharge port 37 is formed from the central portion in the stacking direction toward both sides, and as shown in FIGS. 1 and 4, an ink supply port is provided above the inkjet head manifold 2. 2a and the air vent 2b are opened.

インクジェットヘッドマニホールド２へのインクの供給は、インク供給口２ａから行われる。このインク供給口２ａから供給されたインクは、インク供給流路３１を通って、インク溜め部３２に導入され、このインク溜め部３２から、上側共通インク流路３３、上側個別インク流路３４、上下方向インク流路３５、下側インク流路３６をこの順で通過して、インク吐出口３７内にまで充填される。 Ink supply to the inkjet head manifold 2 is performed from the ink supply port 2a. The ink supplied from the ink supply port 2a passes through the ink supply channel 31 and is introduced into the ink reservoir 32. From the ink reservoir 32, the upper common ink channel 33, the upper individual ink channel 34, The ink passes through the vertical ink flow path 35 and the lower ink flow path 36 in this order, and fills the ink discharge port 37.

また、上記のようにインクジェットヘッドマニホールド２内にインクが充填された状態で、ＦＰＣ５を介して圧電素子６に駆動信号が加わると、駆動信号が加わった部分の圧電素子６が変形することで振動板４上の対応する部位が振動し、さらにこれに対応する部分の上下方向インク流路３５内のインクを押圧し、オリフィスプレート３の対応するインク吐出孔３ａから所定量のインクが吐出されることになる。 Further, when a drive signal is applied to the piezoelectric element 6 via the FPC 5 in a state where the ink jet head manifold 2 is filled with ink as described above, the piezoelectric element 6 in the portion to which the drive signal is applied is deformed to vibrate. Corresponding portions on the plate 4 vibrate, and further press the ink in the corresponding vertical ink flow path 35 to discharge a predetermined amount of ink from the corresponding ink discharge holes 3 a of the orifice plate 3. It will be.

ここで、上記したインク供給流路３１は、サイフォン構造で構成されているため、インク供給口２ａから供給されるインク供給量及び供給圧が仮に安定していなくとも、インク溜め部３２内のインクの状態を安定に保つことができ、インクの吐出不良が発生することを防止できる。また、インク溜め部３２には、上述したように、空気抜き孔４０が設けられており、インク溜め部３２の内壁上部３２ａは、空気抜き孔４０に向けて上り勾配となる傾斜面とされているので、インク溜め部３２内に進入した空気を、速やかにこの空気抜き孔４０から排出させることができ、これにより、前記同様、インク吐出不良の発生を抑制することができる。 Here, since the above-described ink supply channel 31 has a siphon structure, even if the ink supply amount and the supply pressure supplied from the ink supply port 2a are not stable, the ink in the ink reservoir 32 is stored. This state can be kept stable, and ink ejection failure can be prevented from occurring. The ink reservoir 32 is provided with the air vent hole 40 as described above, and the inner wall upper portion 32a of the ink reservoir 32 has an inclined surface that is inclined upward toward the air vent hole 40. In addition, the air that has entered the ink reservoir 32 can be quickly discharged from the air vent hole 40, thereby suppressing the occurrence of defective ink ejection as described above.

次に、本実施形態に係るインクジェットヘッド１の製造方法について説明する。ここでは、まず、インクジェットヘッドマニホールド２の製造方法を図５及び図６に基づき説明する。なお、上述した第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９は、以下、積層板６５として説明を行う。上記した図５は、積層板６５どうしを拡散接合するための熱圧着装置５５を概略的に示す図であり、また、図６は、積層板６５を形成するための母材プレート５０を示す斜視図である。 Next, a method for manufacturing the inkjet head 1 according to this embodiment will be described. Here, first, a method of manufacturing the inkjet head manifold 2 will be described with reference to FIGS. In addition, the 1st flow path formation laminated board 21-the 9th flow path formation laminated board 29 mentioned above are demonstrated as the laminated board 65 hereafter. FIG. 5 described above is a diagram schematically showing a thermocompression bonding device 55 for diffusion bonding the laminated plates 65, and FIG. 6 is a perspective view showing a base material plate 50 for forming the laminated plates 65. FIG.

図５に示すように、熱圧着装置５５は、複数の積層板６５を熱圧着により積層一体化したインクジェットヘッドマニホールド２を作製するための装置である。熱圧着装置５５は、高温真空炉５６と、この高温真空炉５６の床上に設置された金属製の支え台５７と、この支え台５７上に設置されたあて板５８と、このあて板５８上に配置された複数の積層板６５を上方から支え台５７側に押圧するあて板５９を備えた金属製の圧着冶具６３と、この圧着冶具６３を駆動するアクチュエータ６４と、一対の金属製の位置決めピン６１、６２と、で主に構成される。 As shown in FIG. 5, the thermocompression bonding apparatus 55 is an apparatus for producing the inkjet head manifold 2 in which a plurality of laminated plates 65 are laminated and integrated by thermocompression bonding. The thermocompression bonding apparatus 55 includes a high-temperature vacuum furnace 56, a metal support base 57 installed on the floor of the high-temperature vacuum furnace 56, a contact plate 58 installed on the support base 57, A metal crimping jig 63 provided with a contact plate 59 for pressing the plurality of laminated plates 65 arranged on the support plate 57 from above, an actuator 64 for driving the crimping jig 63, and a pair of metal positioning members Mainly composed of pins 61 and 62.

ここで、上記した図１、図２及び図５に示すように、金属製（本実施形態ではＳＵＳ３０４製）の複数の積層板６５の各々には、一対の貫通穴（位置決め穴）７、８が形成されている。この貫通穴７、８は、積層板６５の積層一体化後インクの流路になる開口部（インク供給流路３１及びインク溜め部３２など）と同一のステージで形成され、このインク流路形成用の開口部との相対的な位置精度が確保されている。ここで、上記した位置決めピン６１、６２は、積層板６５の貫通穴７、８に対し挿抜自在に嵌合される。 Here, as shown in FIGS. 1, 2, and 5, a pair of through holes (positioning holes) 7, 8 are formed in each of the plurality of laminated plates 65 made of metal (made of SUS304 in the present embodiment). Is formed. The through holes 7 and 8 are formed on the same stage as the opening (ink supply channel 31 and ink reservoir 32 and the like) that becomes the ink channel after the lamination plate 65 is integrated and integrated. The relative positional accuracy with respect to the opening is ensured. Here, the positioning pins 61 and 62 are fitted into the through holes 7 and 8 of the laminated plate 65 so as to be freely inserted and removed.

つまり、熱圧着装置５５では、貫通穴７、８に位置決めピン６１、６２を挿通させた状態で、熱圧着により積層板６５どうしを拡散接合する。なお、積層板６５の貫通穴７、８の内壁面と位置決めピン６１、６２とが拡散現象により接合してしまうことなどを抑制するために、位置決めピン６１、６２の外周面に例えばアルミナ層などを形成することが好ましい。 That is, in the thermocompression bonding apparatus 55, the laminated plates 65 are diffusion bonded by thermocompression bonding with the positioning pins 61 and 62 inserted through the through holes 7 and 8. In order to prevent the inner wall surfaces of the through holes 7 and 8 of the laminated plate 65 and the positioning pins 61 and 62 from joining due to a diffusion phenomenon, for example, an alumina layer or the like is provided on the outer peripheral surface of the positioning pins 61 and 62. Is preferably formed.

高温真空炉５６は、その炉内を最大１３００℃程度まで昇温させることが可能である。また、高温真空炉５６では、その炉内に接続されたターボ分子ポンプ（図示せず）などを通じて１０^-1〜１０^-10Ｐａ程度の真空度を得ることができる。さらに、高温真空炉５６は、炉内を窒素などの不活性ガス雰囲気にすることも可能である。 The high-temperature vacuum furnace 56 can raise the temperature in the furnace to about 1300 ° C. at the maximum. In the high-temperature vacuum furnace 56, a degree of vacuum of about 10 ⁻¹ to 10 ⁻¹⁰ Pa can be obtained through a turbo molecular pump (not shown) connected to the furnace. Furthermore, the high-temperature vacuum furnace 56 can also set the inside of the furnace to an inert gas atmosphere such as nitrogen.

支え台５７の上面に設けられたあて板５８、及び圧着冶具６３の下端部に設けられたあて板５９は、熱圧着時の金属材料間での拡散現象により、支え台５７（又は圧着冶具６３）と積層板６５とが接合してしまうことを防止するために設けられている。つまり、あて板５８、５９は、例えば析出硬化型ステンレス鋼などで形成されている。また、本実施形態では、支え台５７上には、上述したように、位置決めピン６１、６２を挿通させた状態で、複数の積層板６５が搭載されることになる。ここで、あて板５９には、圧着冶具６３が下降して支え台５７上のこれら積層板６５を熱圧着する際に、積層板６５の上方から突出する位置決めピン６１、６２の形状を避けるように一対の凹部６０が設けられている。 The support plate 58 provided on the upper surface of the support base 57 and the support plate 59 provided on the lower end portion of the crimping jig 63 are supported by the support base 57 (or the crimping jig 63) due to a diffusion phenomenon between metal materials during thermocompression bonding. ) And the laminated plate 65 are provided to prevent them from joining. That is, the contact plates 58 and 59 are made of, for example, precipitation hardening stainless steel. Further, in the present embodiment, a plurality of laminated plates 65 are mounted on the support base 57 in a state where the positioning pins 61 and 62 are inserted as described above. Here, when the crimping jig 63 is lowered on the support plate 59 and the laminated plates 65 on the support base 57 are thermocompression bonded, the shape of the positioning pins 61 and 62 protruding from above the laminated plate 65 is avoided. A pair of recesses 60 is provided on the top.

したがって、熱圧着装置５５を用いて、実際に積層板６５どうしを接合する場合には、まず、酸浸漬などによる洗浄処理により、ＳＵＳ３０４製の各積層板６５の表層にあるクロムの酸化膜（不動態皮膜）を除去する。次に、図５に示すように、各積層板６５の一対の貫通穴７、８に対し、位置決めピン６１、６２を挿通させることで、複数の積層板６５どうしをその板面に沿った方向に位置決めする。 Therefore, when the laminated plates 65 are actually bonded to each other using the thermocompression bonding device 55, first, a chromium oxide film (non-coated) is formed on the surface layer of each laminated plate 65 made of SUS304 by a cleaning process such as acid dipping. Remove the dynamic film). Next, as shown in FIG. 5, the positioning pins 61, 62 are inserted into the pair of through holes 7, 8 of each laminated plate 65, so that a plurality of laminated plates 65 are aligned along the plate surface. Position to.

次いで、貫通穴７、８に位置決めピン６１、６２を挿通させた状態の複数の積層板６５を熱圧着装置５５における高温真空炉５６内の支え台５７上に載置する。さらに、位置決めピン６１、６２の外形部分（例えばアルミナ層）を貫通穴７、８の内壁面に接触させることにより位置決めされた複数の積層板６５を、所定温度に加熱しつつ、さらに圧着冶具６３を通じて加圧し、当該積層板６５どうしを拡散接合する。この熱圧着時の条件は、例えば、加熱温度９５０℃〜１０５０℃、圧力０．５〜２ｋｇ／ｃｍ²、炉内の真空度を０．０００１Ｐａとし、この状態を２時間維持し、この後さらに２４時間かけて除冷処理を行う。これにより、インクジェットヘッドマニホールド２が作製される。 Next, a plurality of laminated plates 65 in a state where the positioning pins 61 and 62 are inserted into the through holes 7 and 8 are placed on the support base 57 in the high-temperature vacuum furnace 56 in the thermocompression bonding device 55. Further, the plurality of laminated plates 65 positioned by bringing the outer portions (for example, alumina layers) of the positioning pins 61 and 62 into contact with the inner wall surfaces of the through holes 7 and 8 are further heated to a predetermined temperature, and the crimping jig 63 is further heated. Then, the laminated plates 65 are diffusion bonded together. The conditions at the time of thermocompression bonding are, for example, a heating temperature of 950 ° C. to 1050 ° C., a pressure of 0.5 to ² kg / cm ² , a degree of vacuum in the furnace of 0.0001 Pa, and this state is maintained for 2 hours. Cooling treatment is performed over 24 hours. Thereby, the inkjet head manifold 2 is produced.

ここで、上述した態様では、積層板６５の本体部分（製品部分）どうしを直接積層する製法について例示したが、これに代えて、図６に示すように、積層板６５の外側にあるブランク部（捨て部材）５１、５２を有する状態の積層板６５どうしを積層一体化するようにしてもよい。図６に示すように、積層板６５は、例えばＳＵＳ３０４製の母材プレート５０を加工成形することで得られる。詳細には、非製品部分であるブランク部５１、５２は、各積層板６５の外形部分のさらに外側に配置され且つ積層板６５どうしの拡散接合後に除去されるものであって、積層板６５と一体で加工成形される。このようなブランク部５１、５２は、積層板６５本体を例えばハンドリングする場合などに有用となる。なお、ブランク部５１、５２と積層板６５とのつなぎ部分に、ハーフエッチングなどによって切れ込みを入れておくことで、積層板６５の積層一体化後、ブランク部５１、５２を容易に除去して、インクジェットヘッドマニホールド２を得ることができる。 Here, in the aspect mentioned above, although illustrated about the manufacturing method which laminates | stacks directly the main-body part (product part) of the laminated board 65, it replaces with this and, as shown in FIG. (Discarding members) The laminated plates 65 having the states 51 and 52 may be laminated and integrated. As shown in FIG. 6, the laminated plate 65 is obtained by processing and forming a base material plate 50 made of, for example, SUS304. In detail, the blank parts 51 and 52 which are non-product parts are arrange | positioned further outside the external shape part of each laminated board 65, and are removed after the diffusion bonding of the laminated boards 65, It is integrally molded. Such blank portions 51 and 52 are useful, for example, when handling the laminate 65 main body. In addition, the blank portions 51 and 52 can be easily removed after stacking and integration of the laminated plate 65 by making a cut by half etching or the like in the connecting portion between the blank portions 51 and 52 and the laminated plate 65, The inkjet head manifold 2 can be obtained.

次に、このようにして作製されたインクジェットヘッドマニホールド２に対しオリフィスプレート３を接合する方法について図７Ａ〜図７Ｆ及び図８Ａ〜図８Ｄに基づき説明を行う。ここで、図７Ａは、インクジェットヘッドマニホールド２の内部に形成されたインク流路内（インク吐出口３７内）を減圧している状態を示す図であり、図７Ｂは、インクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面３７ａ側をロウ材７４中に浸漬させている状態を示す図である。また、図７Ｃは、インクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面３７ａ側を純水７６に浸漬させてインク吐出口３７内でロウ材７４を固化させている状態を示す図であり、図７Ｄは、ロウ材７４によってインク吐出口３７の閉塞されたインク吐出面３７ａを研磨している状態を示す図である。 Next, a method for joining the orifice plate 3 to the inkjet head manifold 2 manufactured in this way will be described with reference to FIGS. 7A to 7F and FIGS. 8A to 8D. Here, FIG. 7A is a diagram illustrating a state in which the inside of the ink flow path (the inside of the ink discharge port 37) formed inside the inkjet head manifold 2 is decompressed, and FIG. It is a figure which shows the state which has immersed the discharge surface 37a side in the brazing material 74. FIG. 7C is a diagram showing a state in which the ink discharge surface 37a side of the inkjet head manifold 2 is immersed in pure water 76 and the brazing material 74 is solidified in the ink discharge port 37, and FIG. FIG. 6 is a diagram showing a state in which an ink discharge surface 37a closed by an ink discharge port 37 is polished by a material 74.

さらに、図７Ｅは、インク吐出口３７内で固化したロウ材７４を溶解するための溶剤（薬液）を供給している状態を示す図であり、図７Ｆは、ロウ材７４の溶解されたインクジェットヘッドマニホールド２に対し、オリフィスプレート３を拡散接合する直前の状態を示す図である。また、図８Ａは、減圧された状態のインク吐出口３７の断面図であり、図８Ｂは、ロウ材７４が内部で固化されたインク吐出口３７の断面図である。さらに、図８Ｃは、インク吐出面３７ａの研磨されたインク吐出口３７の断面図であり、図８Ｄは、ロウ材７４を溶解させて除去したインク吐出口３７の断面図である。 Further, FIG. 7E is a diagram showing a state in which a solvent (chemical solution) for dissolving the brazing material 74 solidified in the ink discharge port 37 is supplied, and FIG. 7F is an ink jet in which the brazing material 74 is dissolved. FIG. 3 is a view showing a state immediately before the orifice plate 3 is diffusion bonded to the head manifold 2. 8A is a cross-sectional view of the ink discharge port 37 in a decompressed state, and FIG. 8B is a cross-sectional view of the ink discharge port 37 in which the brazing material 74 is solidified. 8C is a cross-sectional view of the polished ink discharge port 37 of the ink discharge surface 37a, and FIG. 8D is a cross-sectional view of the ink discharge port 37 in which the brazing material 74 is dissolved and removed.

まず、図７Ａ、図８Ａに示すように、塞栓部材７２を用いて空気抜き口２ｂ（空気抜き孔４０）を塞ぐと共に、インクジェットヘッドマニホールド２内のインク流路（インク供給流路３１、インク溜め部３２、上側共通インク流路３３、上側個別インク流路３４、上下方向インク流路３５、下側インク流路３６）を介してインク吐出口３７とつながるインク供給口２ａ（インク供給流路３１）に、負圧発生装置（例えばチューブポンプ）７１のチューブ７１ａの先端を接続する。この後、負圧発生装置７１を駆動させ、インク流路内を減圧する。つまり、インク供給口２ａ側からインク流路内を吸気してインク吐出口（例えば開口断面が０．３ｍｍ角の角穴）３７内に負圧を発生させる。 First, as shown in FIGS. 7A and 8A, the air vent 2b (air vent hole 40) is closed using the embolus member 72, and the ink flow path (ink supply flow path 31, ink reservoir 32) in the inkjet head manifold 2 is used. The ink supply port 2a (ink supply channel 31) connected to the ink discharge port 37 through the upper common ink channel 33, the upper individual ink channel 34, the vertical ink channel 35, and the lower ink channel 36). The tip of the tube 71a of the negative pressure generator (for example, a tube pump) 71 is connected. Thereafter, the negative pressure generator 71 is driven to depressurize the ink flow path. That is, the inside of the ink flow path is sucked from the ink supply port 2 a side, and a negative pressure is generated in the ink discharge port 37 (for example, a square hole whose opening cross section is 0.3 mm square).

次に、図７Ｂ、図８Ｂに示すように、インク吐出口３７内に負圧を発生させた状態で、インクジェットヘッドマニホールド２の底面にあるインク吐出面３７ａ側（例えばインク吐出面３７ａから上側に１ｍｍシフトした部位まで）を、容器７３内の加熱溶融された流動性を有する状態（液状）のロウ材７４中に浸漬させ、閉塞物としてのロウ材７４をインク吐出口３７内に引き込む（浸入させる）。ロウ材７４としては、融点（６１℃程度）、動粘度（４．１［ｍｍ²／ｓ〈１００℃〉］程度）、及び固化時の硬度の比較的低い石油ワックスの一種のパラフィンワックスなどが好適である。ここで、インク吐出面３７ａをロウ材７４中に浸漬させる前に、既にインク吐出口３７内に負圧を発生させているので、複数の微細なインク吐出口３７内にロウ材７４を確実に引き込むことができる。 Next, as shown in FIGS. 7B and 8B, in a state where negative pressure is generated in the ink discharge port 37, the ink discharge surface 37a side (for example, upward from the ink discharge surface 37a) on the bottom surface of the inkjet head manifold 2 is used. The portion up to 1 mm shifted) is dipped in a heated and melted fluid material (liquid) brazing material 74 in the container 73, and the brazing material 74 as a plug is drawn into the ink discharge port 37 (intrusion). ) Examples of the brazing material 74 include a melting point (about 61 ° C.), a kinematic viscosity (about 4.1 [mm ² / s <100 ° C.]), and a kind of paraffin wax which is a petroleum wax having a relatively low hardness when solidified. Is preferred. Here, since the negative pressure is already generated in the ink discharge port 37 before the ink discharge surface 37a is immersed in the brazing material 74, the brazing material 74 is surely placed in the plurality of fine ink discharge ports 37. You can pull in.

また、インクジェットヘッドマニホールド２自体は、加温せずに、常温（例えば２７℃程度）の環境化に置かれていたものを、鉛直方向下向きの姿勢でロウ材７４中に浸漬させることが好ましい。これにより、インク吐出面３７ａから浅い（近い）ところで、ロウ材７４を固化させることが可能となり、後述するロウ材７４の除去を容易に行うことができる。 Moreover, it is preferable that the inkjet head manifold 2 itself is immersed in the brazing material 74 in a vertically downward posture without being heated and being placed in an environment of normal temperature (for example, about 27 ° C.). Accordingly, it is possible to solidify the brazing material 74 at a shallow (near) distance from the ink ejection surface 37a, and it is possible to easily remove the brazing material 74 described later.

続いて、図７Ｃ、図８Ｂに示すように、インク吐出口３７内に溶融状態のロウ材を浸入させた後、インク吐出口３７内に負圧を発生させた状態で、インクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面３７ａ側を、容器７５内に冷媒として貯留された純水７６に浸漬させて、インク吐出口３７内でロウ材７４を固化する。これにより、インクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面３７ａに開口するインク吐出口３７に、ロウ材７４が閉塞物として充填されて当該インク吐出口３７が閉塞される。 Subsequently, as shown in FIGS. 7C and 8B, after the molten brazing material has entered the ink discharge port 37 and the negative pressure is generated in the ink discharge port 37, the inkjet head manifold 2 is The ink discharge surface 37 a side is immersed in pure water 76 stored as a refrigerant in the container 75, and the brazing material 74 is solidified in the ink discharge port 37. As a result, the brazing material 74 is filled as an obstruction in the ink ejection opening 37 opened on the ink ejection surface 37a of the inkjet head manifold 2, and the ink ejection opening 37 is closed.

次いで、図７Ｄ、図８Ｃに示すように、固化されたロウ材７４でインク吐出口３７の閉塞されたインク吐出面３７ａ（の被研磨部８０）をベルトグラインダなどの研磨装置７７で研磨する。ここで、インクジェットヘッドマニホールド２は、複数の積層板６５を積層一体化して構成されていると共に積層一体化された複数の積層板６５の端面（エッチングなどで加工成形された端面）でインク吐出面３７ａが構成されている。このため、（研磨前の）インク吐出面３７ａには、少なくともミクロンオーダの凹凸（段差）が生じている。したがって、インク吐出面３７ａにオリフィスプレート３を拡散接合する前に、インク吐出面３７ａを平滑に（例えば鏡面仕上げに）研磨する必要がある。 Next, as shown in FIG. 7D and FIG. 8C, the ink discharge surface 37a (to-be-polished part 80) of the ink discharge port 37 closed by the solidified brazing material 74 is polished by a polishing device 77 such as a belt grinder. Here, the inkjet head manifold 2 is constructed by laminating and integrating a plurality of laminated plates 65, and at the end surfaces (end surfaces processed and formed by etching or the like) of the laminated plates 65 that are laminated and integrated, an ink discharge surface. 37a is configured. For this reason, at least micron-order irregularities (steps) are formed on the ink discharge surface 37a (before polishing). Therefore, before the orifice plate 3 is diffusion bonded to the ink discharge surface 37a, it is necessary to polish the ink discharge surface 37a smoothly (for example, mirror finish).

但し、インク吐出面３７ａの研磨によってインク吐出口３７の開口端にバリが発生したり、また、研磨粉がインク吐出口３７内に混入したりするおそれがあるため、本実施形態では、上述したようにインク吐出口３７をロウ材７４で閉塞した状態でインク吐出面３７ａの研磨を行っている。これにより、研磨粉の除去やバリ取り工程などを削除することができる。なお、インク吐出面３７ａを研磨する場合には、インクジェットヘッドマニホールド２におけるインクジェットプリンタへの取付基準面（図７Ｄ中のインクジェットヘッドマニホールド２の例えば前面２ｃ）とインク吐出面３７ａとが設計上定めた所定の角度（例えば９０°）をなすように、上記取付基準面とインク吐出面３７ａとを同時に研磨することなどが望ましい。 However, since the burrs may be generated at the opening end of the ink discharge port 37 due to the polishing of the ink discharge surface 37a, and polishing powder may be mixed into the ink discharge port 37, in the present embodiment, as described above. In this manner, the ink discharge surface 37 a is polished in a state where the ink discharge port 37 is closed with the brazing material 74. Thereby, removal of polishing powder, a deburring process, etc. can be deleted. In addition, when the ink discharge surface 37a is polished, the reference surface for attachment to the ink jet printer in the ink jet head manifold 2 (for example, the front surface 2c of the ink jet head manifold 2 in FIG. 7D) and the ink discharge surface 37a are determined by design. It is desirable to polish the mounting reference surface and the ink discharge surface 37a at the same time so as to form a predetermined angle (for example, 90 °).

次に、図７Ｅ、図８Ｄに示すように、インク吐出面３７ａ（の被研磨部８０）が研磨された後、ディスペンサなどの供給装置７８を用いて、インクジェットヘッドマニホールド２の例えばインク供給口２ａから溶剤としてのトルエン７９を供給する。この際、インクジェットヘッドマニホールド２内のインク流路を介してインク供給口２ａとつながるインク吐出口３７内の固化しているロウ材７４にトルエン７９が供給され、これにより、ロウ材７４が溶解されてインク吐出口３７から除去される。 Next, as shown in FIGS. 7E and 8D, after the ink discharge surface 37a (to-be-polished part 80) is polished, a supply device 78 such as a dispenser is used to supply, for example, the ink supply port 2a of the inkjet head manifold 2. Toluene 79 as a solvent is supplied. At this time, the toluene 79 is supplied to the solidified brazing material 74 in the ink discharge port 37 connected to the ink supply port 2a via the ink flow path in the inkjet head manifold 2, whereby the brazing material 74 is dissolved. Removed from the ink ejection port 37.

さらに、図７Ｆに示すように、閉塞物としてのロウ材７４が除去されかつ平滑に研磨されたインクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面３７ａに、インク吐出口３７とつながるインク吐出孔３ａが穿孔されたオリフィスプレート３を拡散接合する。この後、このインクジェットヘッドマニホールド２の両側面に、振動板４、ＦＰＣ５及び圧電素子６を順次積層して行くことで、図１に示したインクジェットヘッド１を作製することができる。 Further, as shown in FIG. 7F, an ink discharge hole 3a connected to the ink discharge port 37 is drilled on the ink discharge surface 37a of the inkjet head manifold 2 from which the brazing material 74 as a blocking material has been removed and polished smoothly. The orifice plate 3 is diffusion bonded. Thereafter, the diaphragm 4, the FPC 5, and the piezoelectric element 6 are sequentially laminated on both side surfaces of the ink jet head manifold 2, whereby the ink jet head 1 shown in FIG. 1 can be manufactured.

既述したように、本実施形態に係るインクジェットヘッド１の製造方法では、インク吐出口３７を一時的に閉塞した状態でインクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面３７ａを研磨するので、研磨時にインク吐出口３７の開口端に生じ得るバリの発生や、インク吐出口３７内への研磨粉の混入を防止することができる。したがって、インクジェットヘッドマニホールド２及びオリフィスプレート３が拡散接合された状態では、このインクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面３７ａから開口するインク吐出口３７とこのインク吐出口３７につながるオリフィスプレート３上のインク吐出孔３ａとで、インクの吐出を阻害することない（インク吐出のバラツキの少ない）好適なインク吐出経路を構成することができる。これにより、本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法によれば、インクの吐出を阻害する要因を極力取り除くことで実質的に印刷品質を向上させることができる。 As described above, in the method of manufacturing the ink jet head 1 according to the present embodiment, the ink discharge surface 37a of the ink jet head manifold 2 is polished with the ink discharge port 37 temporarily closed. It is possible to prevent the occurrence of burrs that may occur at the opening end of the ink 37 and the mixing of abrasive powder into the ink discharge port 37. Therefore, in a state where the inkjet head manifold 2 and the orifice plate 3 are diffusion-bonded, the ink ejection port 37 that opens from the ink ejection surface 37 a of the inkjet head manifold 2 and the ink ejection on the orifice plate 3 that is connected to the ink ejection port 37. With the holes 3a, it is possible to configure a suitable ink discharge path that does not hinder ink discharge (small variation in ink discharge). Thereby, according to the manufacturing method of the ink jet head 1 of the present embodiment, it is possible to substantially improve the print quality by removing as much as possible the factors that hinder ink ejection.

以上、本発明を実施の形態により具体的に説明したが、本発明は前記実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上述した実施形態では、インク吐出口３７内に充填する閉塞物として熱可塑性を有するロウ材７４を用いていたが、流動性に優れ、また所定の溶剤で容易に溶解できる他の熱可塑性材料を適用してもよい。また、上述した熱可塑性を有する材料に代えて、熱硬化性を有する閉塞物を用いてもよい。熱硬化性を有する閉塞物（熱硬化性樹脂など）を用いる場合、インク吐出口３７内に閉塞物を引き込む際には、まず、閉塞物を冷却して流動性を有する状態にしておき、インク吐出口３７内に引き込んだ後、閉塞物を固化させるために、インクジェットヘッドマニホールド２の少なくともインク吐出面３７ａ側を加熱することが必要となる。さらに、このような熱可塑性や熱硬化性を有する閉塞物に代えて、赤外線硬化型若しくは紫外線硬化型の樹脂材料や、所定の波長域の可視光で硬化する可視光硬化型の樹脂材料などを上記閉塞物として適用することも可能である。 Although the present invention has been specifically described above by the embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, in the above-described embodiment, the wax material 74 having thermoplasticity is used as the plugging material filled in the ink discharge port 37. However, other thermoplastics having excellent fluidity and can be easily dissolved in a predetermined solvent. Material may be applied. Moreover, it may replace with the material which has the thermoplasticity mentioned above, and may use the obstruction | occlusion material which has thermosetting. In the case of using a thermosetting plug (such as a thermosetting resin), when the plug is drawn into the ink discharge port 37, the plug is first cooled to a fluid state. After drawing into the discharge port 37, it is necessary to heat at least the ink discharge surface 37a side of the inkjet head manifold 2 in order to solidify the obstruction. Furthermore, instead of such thermoplastic and thermosetting occlusion materials, infrared curable or ultraviolet curable resin materials, visible light curable resin materials that cure with visible light in a predetermined wavelength range, and the like. It is also possible to apply as the said obstruction | occlusion object.

本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法により製造されたインクジェットヘッドの外観を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view showing an appearance of an inkjet head manufactured by the inkjet head manufacturing method according to the embodiment of the present invention. 図１のインクジェットヘッドを示す平面図。The top view which shows the inkjet head of FIG. 図１のインクジェットヘッドの底面図。FIG. 2 is a bottom view of the ink jet head of FIG. 1. 図１のインクジェットヘッドの構造を示す分解斜視図。FIG. 2 is an exploded perspective view showing a structure of the ink jet head of FIG. 1. 図１のインクジェットヘッドを構成する積層板どうしを拡散接合するための熱圧着装置を概略的に示す図。The figure which shows schematically the thermocompression bonding apparatus for carrying out the diffusion bonding of the laminated plates which comprise the inkjet head of FIG. 図１のインクジェットヘッドを構成する積層板を形成するための母材プレートを示す斜視図。The perspective view which shows the base material plate for forming the laminated board which comprises the inkjet head of FIG. 図１のインクジェットヘッドを構成するインクジェットヘッドマニホールドの内部に形成されたインク流路内を減圧している状態を示す図。FIG. 2 is a diagram illustrating a state in which the inside of an ink flow path formed inside an ink jet head manifold constituting the ink jet head of FIG. 1 is decompressed. 図７Ａのインクジェットヘッドマニホールドのインク吐出面側をロウ材中に浸漬させている状態を示す図。FIG. 7B is a diagram illustrating a state where the ink discharge surface side of the inkjet head manifold of FIG. 7A is immersed in a brazing material. 図７Ｂのインクジェットヘッドマニホールドのインク吐出面側を純水に浸漬させてインク吐出口内でロウ材を固化させている状態を示す図。FIG. 7B is a diagram illustrating a state where the ink discharge surface side of the inkjet head manifold of FIG. 7B is immersed in pure water and the brazing material is solidified in the ink discharge port. 図７Ｃのロウ材によってインク吐出口の閉塞されたインク吐出面を研磨している状態を示す図。The figure which shows the state which grind | polishes the ink discharge surface by which the ink discharge port was obstruct | occluded with the brazing material of FIG. 7C. 図７Ｄのインク吐出口内で固化したロウ材を溶解するための溶剤を供給している状態を示す図。The figure which shows the state which is supplying the solvent for melt | dissolving the brazing material solidified within the ink discharge outlet of FIG. 7D. 図７Ｅのロウ材の溶解されたインクジェットヘッドマニホールドに対し、オリフィスプレートを拡散接合する直前の状態を示す図。The figure which shows the state just before carrying out the diffusion bonding of the orifice plate with respect to the inkjet head manifold in which the brazing material of FIG. 7E was dissolved. 図７Ａに対応する減圧された状態のインク吐出口の断面図。FIG. 7B is a cross-sectional view of the ink discharge port in a decompressed state corresponding to FIG. 7A. 図７Ｃに対応するロウ材が内部で固化されたインク吐出口の断面図。FIG. 7C is a cross-sectional view of an ink discharge port in which a brazing material corresponding to FIG. 7C is solidified. 図７Ｄに対応するインク吐出面の研磨されたインク吐出口の断面図。FIG. 7D is a cross-sectional view of the polished ink discharge port of the ink discharge surface corresponding to FIG. 7D. 図７Ｅに対応するロウ材を溶解させて除去したインク吐出口の断面図。FIG. 7B is a cross-sectional view of the ink ejection port from which the brazing material corresponding to FIG. 7E is dissolved and removed.

Explanation of symbols

１…インクジェットヘッド、２…インクジェットヘッドマニホールド、２ａ…インク供給口、２ｂ…空気抜き口、３ａ…インク吐出孔、３…オリフィスプレート、３ａ…インク吐出孔、２１…第１流路形成積層板、２２…第２流路形成積層板、２３…第３流路形成積層板、２４…第４流路形成積層板、２５…第５流路形成積層板、２６…第６流路形成積層板、２７…第７流路形成積層板、２８…第８流路形成積層板、２９…第９流路形成積層板、３１…インク供給流路、３７…インク吐出口、３７ａ…インク吐出面、４０…空気抜き孔、５５…熱圧着装置、６５…積層板、７１…負圧発生装置、７２…塞栓部材、７３，７５…容器、７４…ロウ材、７６…純水、７７…研磨装置、７８…供給装置、７９…トルエン、８０…被研磨部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inkjet head, 2 ... Inkjet head manifold, 2a ... Ink supply port, 2b ... Air vent port, 3a ... Ink ejection hole, 3 ... Orifice plate, 3a ... Ink ejection hole, 21 ... First flow path forming laminate, 22 ... 2nd flow path formation laminated board, 23 ... 3rd flow path formation laminated board, 24 ... 4th flow path formation laminated board, 25 ... 5th flow path formation laminated board, 26 ... 6th flow path formation laminated board, 27 ... Seventh channel forming laminate, 28. Eight channel forming laminate, 29. Ninth channel forming laminate, 31. Ink supply channel, 37. Ink ejection port, 37 a. Air vent hole, 55 ... thermocompression bonding device, 65 ... laminated plate, 71 ... negative pressure generating device, 72 ... embolus member, 73, 75 ... container, 74 ... brazing material, 76 ... pure water, 77 ... polishing device, 78 ... supply Apparatus, 79 ... toluene, 80 ... polished part.

Claims

A discharge port closing step of closing the ink discharge port by filling an ink discharge port that opens on the ink discharge surface of the head main body in which the ink flow path is formed;
A polishing step of polishing the ink discharge surface closed by the ink discharge port;
An obstruction removal step of removing the obstruction from the ink ejection port after the ink ejection surface has been polished;
A bonding step of bonding an orifice member having an ink discharge hole connected to the ink discharge port to the ink discharge surface of the head body from which the obstruction has been removed;
A method of manufacturing an ink jet head, comprising:

The discharge port closing step includes
A drawing-in step of reducing the pressure inside the ink flow path formed inside the head main body and drawing the plugged material in a fluid state into the ink discharge port;
A solidification step of solidifying the plugged object drawn into the ink discharge port in the drawing step;
The method of manufacturing an ink-jet head according to claim 1, comprising:

3. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 2, wherein in the obstruction removal step, the obstruction solidified in the solidification step is dissolved with a solvent.

The head body further includes an ink supply port connected to the ink discharge port via the ink flow path,
The pull-in process is
A negative pressure generating step of sucking the ink flow path from the ink supply port side and generating a negative pressure in the ink discharge port;
Immersion in which the ink discharge surface side of the head main body that has generated a negative pressure in the ink discharge port is immersed in a heat-melted brazing material so that the brazing material as the plugging material enters the ink discharge port Process,
Have
In the solidification step, after the molten brazing material is infiltrated into the ink discharge port in the immersion step, the ink discharge surface side of the head main body is brought into contact with a refrigerant so that the brazing material is placed in the ink discharge port. The method for producing an ink jet head according to claim 2, wherein the ink is solidified.

The head body is constructed by laminating and integrating a plurality of laminated plates, and the ink discharge surface is constituted by end faces of the laminated plates integrated and laminated.
5. The inkjet head manufacturing method according to claim 1, wherein, in the bonding step, the orifice member is diffusion bonded to the ink discharge surface formed by end surfaces of the plurality of laminated plates. 6. Method.