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JP2008185869A - Electro-optical device - Google Patents

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JP2008185869A
JP2008185869A JP2007020544A JP2007020544A JP2008185869A JP 2008185869 A JP2008185869 A JP 2008185869A JP 2007020544 A JP2007020544 A JP 2007020544A JP 2007020544 A JP2007020544 A JP 2007020544A JP 2008185869 A JP2008185869 A JP 2008185869A
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Japan
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substrate
light
electro
optical device
protrusion
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Withdrawn
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JP2007020544A
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Japanese (ja)
Inventor
Shin Koide
慎 小出
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Epson Imaging Devices Corp
Original Assignee
Epson Imaging Devices Corp
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electro-optical device capable of preventing disturbance light from being made incident on a photosensor, from a pixel region side. <P>SOLUTION: A photosensor 310 is formed in an outside region of a pixel region 10b on an element substrate 10 of an electro-optical device 100. A second columnar spacer 4b, functioning as a light-shielding projection, is formed between the photosensor 310 and the pixel region 10b on the element substrate 10. The second columnar spacer 4b comprises a photosensitive resin that is formed simultaneously with a first columnar spacer 4a defining the gap dimension (layer thickness of a liquid crystal layer 50) between the element substrate 10 and a counter substrate 20 in the pixel region 10b. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、光センサを備えた電気光学装置に関するものである。   The present invention relates to an electro-optical device including an optical sensor.

電気光学装置を表示装置として搭載したパーソナルコンピュータや携帯電話機などの電子機器は、環境光の強度が異なる様々な環境下で使用される。従って、環境光に変化に応じて、電気光学装置での駆動条件を変化させれば、画像品位の向上や低消費電力化を図ることができる。   Electronic devices such as personal computers and mobile phones equipped with an electro-optical device as a display device are used in various environments with different ambient light intensities. Accordingly, if the driving conditions in the electro-optical device are changed in accordance with changes in the ambient light, it is possible to improve image quality and reduce power consumption.

例えば、代表的な電気光学装置である透過型または反透過型の液晶装置では、液晶パネルの背面にバックライト装置が設けられており、バックライト装置からの出射光は、液晶パネルによって変調される。このような液晶装置において、バックライト装置の消費電力は大きい。そこで、液晶装置にディスクリート部品からなる光センサを搭載し、この光センサによって外光(環境光)を測定するとともに、その測定結果に応じてバックライト装置の強度を調整し、低消費電力化を図ることが提案されている(例えば、特許文献1参照)。   For example, in a transmissive or anti-transmissive liquid crystal device which is a typical electro-optical device, a backlight device is provided on the back surface of the liquid crystal panel, and light emitted from the backlight device is modulated by the liquid crystal panel. . In such a liquid crystal device, the power consumption of the backlight device is large. Therefore, an optical sensor composed of discrete components is mounted on the liquid crystal device, and external light (environmental light) is measured by this optical sensor, and the intensity of the backlight device is adjusted according to the measurement result to reduce power consumption. It has been proposed to plan (see, for example, Patent Document 1).

しかしながら、特許文献1に記載の技術では、ディスクリート部品からなる光センサをフレキシブル基板に実装しているため、工数およびコストが増大してしまうという問題点がある。   However, the technique described in Patent Document 1 has a problem that man-hours and costs increase because an optical sensor made of discrete components is mounted on a flexible substrate.

そこで、液晶パネルの素子基板に対して薄膜トランジスタ(TFT/Thin Film Transistor)を形成する工程を利用して光センサを素子基板上に形成することが考えられ、かかる構成によれば、ディスクリート部品からなる光センサを用いなくても、透光性の対向基板の側から入射した外光を検出することができる。
特開2003−78838号公報
In view of this, it is conceivable to form a photosensor on an element substrate by using a process of forming a thin film transistor (TFT / Thin Film Transistor) on the element substrate of the liquid crystal panel. Even without using an optical sensor, it is possible to detect external light incident from the side of the light-transmitting counter substrate.
JP 2003-78838 A

しかしながら、液晶パネルでは、画素領域で表示が行なわれることから、画素領域の側から光センサに光が漏れてくるおそれがある。例えば、バックライト装置から液晶パネルに向けて出射された光のうち、斜め方向に出射された光が対向基板で反射して画素領域側から光センサに外乱光として入射する場合があり、かかる外乱光は光センサの感度を低下させてしまう。   However, in the liquid crystal panel, since display is performed in the pixel region, light may leak from the pixel region side to the photosensor. For example, out of the light emitted from the backlight device toward the liquid crystal panel, the light emitted in an oblique direction may be reflected by the counter substrate and enter the optical sensor as disturbance light from the pixel region side. Light reduces the sensitivity of the photosensor.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、画素領域領域側から光センサへの外乱光の入射を防止することのできる電気光学装置を提供することにある。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an electro-optical device that can prevent disturbance light from entering the optical sensor from the pixel region side.

上記課題を解決するために、本発明では、第1の基板と第2の基板とが所定の隙間を介して貼り合わされたパネルを備え、当該パネルには、複数の画素が配列された画素領域が構成された電気光学装置において、前記第1の基板または前記第2の基板のうちの少なくとも一方の前記画素領域の外側領域において、入射する対象光を検出する光センサが形成され、前記第1の基板および前記第2の基板のうちの一方の基板には、前記光センサと前記画素領域との間の領域において当該一方の基板から突出した遮光用突起が形成されていることを特徴とする。   In order to solve the above problems, in the present invention, a pixel region in which a first substrate and a second substrate are bonded to each other with a predetermined gap and a plurality of pixels are arranged in the panel is provided. In the electro-optical device configured as described above, an optical sensor that detects incident target light is formed in an outer region of the pixel region of at least one of the first substrate and the second substrate. One of the substrate and the second substrate is formed with a light-shielding protrusion protruding from the one substrate in a region between the photosensor and the pixel region. .

本発明では、画素領域の外側領域に光センサが形成されており、この光センサは、入射する対象光を検出する。ここで、画素領域では表示が行なわれることから、画素領域の側から光センサに光が漏れてくるおそれがあるが、本発明では、第1の基板および第2の基板のうちの一方の基板には、光センサと画素領域との間において一方の基板から突出する遮光用突起が形成されているので、画素領域側から光センサに向けて進行する外乱光を遮ることができる。従って、光センサに外乱光が入射することを防止することができるので、光センサの感度を高めることができる。   In the present invention, an optical sensor is formed in an outer region of the pixel region, and the optical sensor detects incident target light. Here, since display is performed in the pixel region, there is a possibility that light leaks from the pixel region side to the photosensor. In the present invention, one of the first substrate and the second substrate is used. Since a light-shielding projection that protrudes from one substrate is formed between the photosensor and the pixel region, disturbance light traveling from the pixel region side toward the photosensor can be blocked. Therefore, disturbance light can be prevented from entering the optical sensor, and thus the sensitivity of the optical sensor can be increased.

本発明において、前記一方の基板には、当該一方の基板から突出して他方の基板に向けて突出する複数の柱状スペーサが形成されている場合があり、この場合、前記複数の柱状スペーサには、前記画素領域内において前記他方の基板に当接して前記隙間の寸法を規定する複数の第1の柱状スペーサと、前記光センサと前記画素領域との間に前記遮光用突起として形成された第2の柱状スペーサと、が含まれている構成を採用することが好ましい。このように構成すると、第1の基板と第2の基板との隙間を制御する柱状スペーサを形成する工程を利用して遮光用突起を形成することができ、新たな工程を追加する必要がない。   In the present invention, the one substrate may be formed with a plurality of columnar spacers protruding from the one substrate and protruding toward the other substrate. In this case, the plurality of columnar spacers include: In the pixel region, a plurality of first columnar spacers that abut against the other substrate to define the size of the gap, and a second light shielding protrusion formed between the photosensor and the pixel region. It is preferable to adopt a configuration that includes a columnar spacer. If comprised in this way, the process of forming the columnar spacer which controls the clearance gap between a 1st board | substrate and a 2nd board | substrate can be utilized, and the processus | protrusion for light shielding can be formed, and it is not necessary to add a new process. .

本発明において、前記遮光用突起は、前記画素領域の端部に沿う第1の方向に配列されて突起列を構成し、当該突起列は、前記第1の方向に直交する第2の方向において複数列設けられ、当該複数列の突起列において隣接する2つの突起列を前記第2の方向からみたとき、一方の突起列に含まれる前記遮光用突起の間が、他方の突起列に含まれる前記遮光用突起により塞がれていることが好ましい。このように構成すると、過大な遮光用突起を形成しなくても、画素領域側から光センサに向かう光を確実に遮ることができる。   In the present invention, the light-shielding protrusions are arranged in a first direction along an end of the pixel region to form a protrusion row, and the protrusion row is in a second direction orthogonal to the first direction. A plurality of rows are provided, and when two adjacent projection rows in the plurality of projection rows are viewed from the second direction, the space between the light shielding projections included in one projection row is included in the other projection row. It is preferable that the light-shielding projection is closed. With this configuration, it is possible to reliably block light traveling from the pixel region side to the optical sensor without forming an excessive light shielding projection.

本発明において、前記遮光用突起は、例えば、前記第1の方向の寸法と前記第2の方向の寸法とが略同一の棒状突起である。例えば、前記遮光用突起は、横断面が円形の丸棒状突起、あるいは横断面が正多角形の角棒状突起である。   In the present invention, the light shielding protrusion is, for example, a rod-shaped protrusion having substantially the same dimension in the first direction and the dimension in the second direction. For example, the light-shielding protrusion is a round bar-shaped protrusion having a circular cross section or a square bar-shaped protrusion having a regular polygonal cross section.

本発明において、前記遮光用突起は、前記第1の方向の寸法が前記第2の方向の寸法より長い板状突起であってもよい。   In the present invention, the light-shielding protrusion may be a plate-like protrusion whose dimension in the first direction is longer than the dimension in the second direction.

本発明において、前記光センサが前記第1の基板に形成され、前記第2の基板が透光性基板であって、当該第2の基板の側から前記対象光が入射する場合、前記第2の基板において前記画素領域と前記光センサとの間に重なる領域には第1の遮光層が形成され、前記遮光用突起は、前記第1の遮光層と平面的に重なる領域に形成されていることが好ましい。このように構成すると、第1の遮光層によって画素領域に対して画像表示領域を設定することができる。この場合、画素領域の側から斜めに第1の遮光層に入射した外乱光が第1の遮光層で反射して光センサに向かうおそれがあるが、かかる外乱光は遮光用突起によって遮られ、光センサに入射することがない。   In the present invention, when the optical sensor is formed on the first substrate, the second substrate is a translucent substrate, and the target light is incident from the second substrate side, the second substrate In the substrate, a first light shielding layer is formed in a region overlapping between the pixel region and the photosensor, and the light shielding protrusion is formed in a region overlapping with the first light shielding layer in a plane. It is preferable. If comprised in this way, an image display area can be set with respect to a pixel area by the 1st light shielding layer. In this case, disturbance light incident on the first light shielding layer obliquely from the pixel region side may be reflected by the first light shielding layer and directed to the photosensor, but the disturbance light is blocked by the light shielding protrusion, It does not enter the optical sensor.

本発明において、前記光センサが前記第1の基板に形成され、前記第1の基板および前記第2の基板が透光性基板であって、当該第2の基板の側から前記対象光が入射する場合、前記光センサに対して前記第1の基板が位置する側には、少なくとも前記光センサと重なる領域に第2の遮光層が形成されていることが好ましい。このように構成すると第1の基板から外乱光が直接、光センサに入射することを防止することができる。   In the present invention, the optical sensor is formed on the first substrate, the first substrate and the second substrate are translucent substrates, and the target light is incident from the second substrate side. In this case, it is preferable that a second light shielding layer is formed at least in a region overlapping with the photosensor on the side where the first substrate is located with respect to the photosensor. With this configuration, it is possible to prevent disturbance light from directly entering the optical sensor from the first substrate.

本発明において、前記光センサによる光検出結果に基づいて前記画素領域の駆動条件が調整されることが好ましい。   In the present invention, it is preferable that a driving condition of the pixel region is adjusted based on a light detection result by the light sensor.

また、前記画素領域に光を出射する光源装置を備えている場合、前記光センサによる光検出結果に基づいて前記光源装置における出射光量を制御することが好ましい。   In the case where the pixel region includes a light source device that emits light, it is preferable to control the amount of light emitted from the light source device based on the light detection result of the light sensor.

本発明を適用した電気光学装置は、例えばパーソナルコンピュータ、携帯電話機、情報携帯端末等の電子機器に用いることができる。   The electro-optical device to which the present invention is applied can be used in electronic devices such as personal computers, mobile phones, and portable information terminals.

以下に、図面を参照して本発明について説明する。以下の実施形態は、代表的な電気光学装置であるTFTアクティブマトリクス駆動形式の液晶装置に本発明に係る光検出装置を構成したものである。なお、以下の説明で参照する図においては、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材毎に縮尺を異ならしめてある。   The present invention will be described below with reference to the drawings. In the following embodiments, a light detection device according to the present invention is configured in a TFT active matrix driving type liquid crystal device which is a typical electro-optical device. In the drawings to be referred to in the following description, the scales are different for each layer and each member so that each layer and each member have a size that can be recognized on the drawing.

[実施の形態1]
(全体構成)
図1は、本発明を適用した電気光学装置の電気的構成を示すブロック図である。図1に示す電気光学装置100は、全透過型の液晶装置であり、液晶パネル100p、画像処理回路202、タイミング発生回路203、電源回路201、調光回路500、バックライト装置600(光源装置)などを備えている。画像処理回路202、タイミング発生回路203および電源回路201は、液晶パネル100pに接続されたフレキシブル基板108(図2(a)、(b)参照)に実装されたICなどにより構成されている。また、調光回路500およびバックライト装置600は、液晶パネル100pの外部に構成されている。
[Embodiment 1]
(overall structure)
FIG. 1 is a block diagram showing an electrical configuration of an electro-optical device to which the present invention is applied. An electro-optical device 100 shown in FIG. 1 is a totally transmissive liquid crystal device, and includes a liquid crystal panel 100p, an image processing circuit 202, a timing generation circuit 203, a power supply circuit 201, a dimming circuit 500, and a backlight device 600 (light source device). Etc. The image processing circuit 202, the timing generation circuit 203, and the power supply circuit 201 are configured by an IC or the like mounted on the flexible substrate 108 (see FIGS. 2A and 2B) connected to the liquid crystal panel 100p. The light control circuit 500 and the backlight device 600 are configured outside the liquid crystal panel 100p.

タイミング発生回路203では、液晶パネル100pの各画素100aを駆動するためのドットクロックが生成され、このドットクロックに基づいて、クロック信号VCK、HCK、反転クロック信号VCKB、HCKB、転送開始パルスHSP、VSPが生成される。画像処理回路202は、外部から入力画像データが入力されると、この入力画像データに基づいて画像信号を生成し、液晶パネル100pに供給する。電源回路201は、複数の電源VDD、VSS、VHH、VLLを生成して液晶パネル100pに供給する。   In the timing generation circuit 203, a dot clock for driving each pixel 100a of the liquid crystal panel 100p is generated, and based on the dot clock, clock signals VCK, HCK, inverted clock signals VCKB, HCKB, transfer start pulses HSP, VSP. Is generated. When input image data is input from the outside, the image processing circuit 202 generates an image signal based on the input image data and supplies it to the liquid crystal panel 100p. The power supply circuit 201 generates a plurality of power supplies VDD, VSS, VHH, and VLL and supplies them to the liquid crystal panel 100p.

液晶パネル100pは、その中央領域に複数の画素100aがマトリクス状に配列された画素領域10b(画素配列領域)を備えている。かかる液晶パネル100pにおいて、後述する素子基板10には、画素領域10bの内側で複数本のデータ線6aおよび複数本の走査線3aが縦横に延びており、それらの交点に対応する位置に画素100aが構成されている。複数の画素100aの各々には、画素スイッチング素子としての薄膜トランジスタ30および画素電極9aが形成されている。薄膜トランジスタ30のソースにはデータ線6aが電気的に接続され、薄膜トランジスタ30のゲートには走査線3aが電気的に接続され、薄膜トランジスタ30のドレインには画素電極9aが電気的に接続されている。   The liquid crystal panel 100p includes a pixel region 10b (pixel array region) in which a plurality of pixels 100a are arranged in a matrix in the central region. In the liquid crystal panel 100p, on the element substrate 10 described later, a plurality of data lines 6a and a plurality of scanning lines 3a extend vertically and horizontally inside the pixel region 10b, and the pixel 100a is located at a position corresponding to the intersection. Is configured. In each of the plurality of pixels 100a, a thin film transistor 30 as a pixel switching element and a pixel electrode 9a are formed. The data line 6 a is electrically connected to the source of the thin film transistor 30, the scanning line 3 a is electrically connected to the gate of the thin film transistor 30, and the pixel electrode 9 a is electrically connected to the drain of the thin film transistor 30.

素子基板10において、画素領域10bの外側領域には走査線駆動回路104およびデータ線駆動回路101が構成されている。データ線駆動回路101はデータ線6aに電気的に接続しており、画像信号を各データ線6aに順次供給する。走査線駆動回路104は走査線3aに電気的に接続しており、走査信号を各走査線3aに順次供給する。   In the element substrate 10, a scanning line driving circuit 104 and a data line driving circuit 101 are configured outside the pixel region 10 b. The data line driving circuit 101 is electrically connected to the data line 6a and sequentially supplies image signals to the data lines 6a. The scanning line driving circuit 104 is electrically connected to the scanning line 3a, and sequentially supplies the scanning signal to each scanning line 3a.

各画素100aにおいて、画素電極9aは、後述する対向基板に形成された共通電極と液晶を介して対向し、液晶容量50aを構成している。また、各画素100aには、液晶容量50aで保持される画像信号がリークするのを防ぐために、液晶容量50aと並列に保持容量60が付加されている。本形態では、保持容量60を構成するために、走査線3aと並列するように容量線3bが形成されており、かかる容量線3bは共通電位線(図示せず)に接続され、所定の電位に保持されている。なお、保持容量60は前段の走査線3aとの間に形成される場合もある。   In each pixel 100a, the pixel electrode 9a is opposed to a common electrode formed on a counter substrate, which will be described later, via liquid crystal, and constitutes a liquid crystal capacitor 50a. Each pixel 100a is provided with a holding capacitor 60 in parallel with the liquid crystal capacitor 50a in order to prevent the image signal held in the liquid crystal capacitor 50a from leaking. In this embodiment, in order to form the storage capacitor 60, the capacitor line 3b is formed in parallel with the scanning line 3a, and the capacitor line 3b is connected to a common potential line (not shown) and has a predetermined potential. Is held in. The storage capacitor 60 may be formed between the preceding scanning line 3a.

電気光学装置100において、表示画像の見え易さは環境の明るさによって左右される。例えば、日中の自然光の下では、バックライト装置600の発光輝度を高く設定し、明るい画面を表示する必要がある。一方、夜間の暗い環境の下では、バックライト装置600の発光輝度が日中ほど高くなくても鮮明な画像を表示することができる。従って、バックライト装置600の発光輝度は、環境光の照度に応じて調整することが望ましい。そこで、本形態の電気光学装置100には、光センサ310および検出回路340を備えた光検出装置300が構成されており、かかる光検出装置300は、環境光の照度を計測する。また、調光回路500は、光検出装置300により得られた照度データに応じた輝度でバックライト装置600が発光するように制御する。かかる光検出装置300の具体的な構成は後述する。なお、検出回路340は素子基板10上に構成される場合もある。   In the electro-optical device 100, the visibility of the display image depends on the brightness of the environment. For example, under natural daylight, it is necessary to set the light emission luminance of the backlight device 600 high and display a bright screen. On the other hand, in a dark environment at night, a clear image can be displayed even if the light emission luminance of the backlight device 600 is not as high as during the daytime. Therefore, it is desirable to adjust the light emission luminance of the backlight device 600 according to the illuminance of the ambient light. Therefore, the electro-optical device 100 according to the present embodiment includes a light detection device 300 including a light sensor 310 and a detection circuit 340. The light detection device 300 measures the illuminance of ambient light. In addition, the dimming circuit 500 controls the backlight device 600 to emit light with a luminance corresponding to the illuminance data obtained by the light detection device 300. A specific configuration of the light detection apparatus 300 will be described later. Note that the detection circuit 340 may be configured on the element substrate 10.

(液晶パネル100pの具体的構成)
図2(a)、(b)は各々、本発明を適用した電気光学装置100の液晶パネル100pを各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのH−H′断面図である。図2(a)、(b)に示すように、電気光学装置100の液晶パネル100pでは、所定の隙間を介して素子基板10と、ガラスなどを基材とする透光性の対向基板20とがシール材107(図2(a)において右下がりの斜線を付した領域)によって貼り合わされており、シール材107は対向基板20の外周縁に沿うように配置されている。シール材107は、光硬化樹脂や熱硬化性樹脂などからなる接着剤である。対向基板20のコーナー部などにおいては、素子基板10と対向基板20との間で電気的導通をとるための上下導通材(図示せず)が形成されている。
(Specific configuration of the liquid crystal panel 100p)
FIGS. 2A and 2B are a plan view of the liquid crystal panel 100p of the electro-optical device 100 to which the present invention is applied as viewed from the side of the counter substrate together with each component, and a cross-sectional view thereof taken along line HH ′. . As shown in FIGS. 2A and 2B, in the liquid crystal panel 100p of the electro-optical device 100, the element substrate 10 and the translucent counter substrate 20 made of glass or the like through a predetermined gap are provided. Is bonded by a sealing material 107 (a region with a slanting line in the lower right in FIG. 2A), and the sealing material 107 is disposed along the outer peripheral edge of the counter substrate 20. The sealing material 107 is an adhesive made of a photo-curing resin or a thermosetting resin. In a corner portion of the counter substrate 20 and the like, a vertical conductive material (not shown) is formed for electrical conduction between the element substrate 10 and the counter substrate 20.

素子基板10において、シール材107の内周縁より外側領域には、素子基板10の一辺に沿ってデータ線駆動回路101および複数の端子102が形成されており、この一辺に隣接する辺に沿って走査線駆動回路104が形成されている。また、素子基板10には、端子102によりフレキシブル基板108が接続されている。なお、素子基板10には、画素領域10b、データ線駆動回路101および走査線駆動回路104を静電気から保護するための保護回路や検査回路が構成される場合もあるが、それらの説明は省略する。   In the element substrate 10, a data line driving circuit 101 and a plurality of terminals 102 are formed along one side of the element substrate 10 in a region outside the inner peripheral edge of the sealing material 107, and along the side adjacent to this one side. A scanning line driving circuit 104 is formed. In addition, a flexible substrate 108 is connected to the element substrate 10 by a terminal 102. The element substrate 10 may include a protection circuit and an inspection circuit for protecting the pixel region 10b, the data line driving circuit 101, and the scanning line driving circuit 104 from static electricity, but the description thereof is omitted. .

詳しくは後述するが、素子基板10には、画素電極9aがマトリクス状に形成されている。これに対して、対向基板20には、シール材107の内側領域に額縁状の遮光層23b(図2(a)において右上がりの斜線を付した領域)が形成され、その内側が画像表示領域10aとされている。また、対向基板20では、素子基板10の画素電極9aの縦横の境界領域と対向する領域にブラックマトリクス、あるいはブラックストライプなどと称せられる遮光層23aが形成され、その上層側には、ITO膜からなる対向電極21が形成されている。なお、画素領域10bには、遮光層23bと重なる領域にダミーの画素が構成される場合があり、この場合、画素領域10bのうち、ダミー画素を除いた領域が画像表示領域10aとして利用されることになる。本形態では、シール材107として光硬化性接着剤を用いたため、対向基板20側からの光照射が可能なように、遮光層23bとシール材107とをずれた位置に形成したが、素子基板10側からの光照射によりシール材107を光硬化させる場合や、シール材107に熱硬化性接着剤を用いた場合には、遮光層23bとシール材107とが重なった位置に形成されている構成を採用することもできる。   As will be described in detail later, pixel electrodes 9 a are formed in a matrix on the element substrate 10. On the other hand, the counter substrate 20 is formed with a frame-shaped light shielding layer 23b (a region with a diagonal line rising to the right in FIG. 2A) in the inner region of the sealant 107, and the inner side is the image display region. 10a. In the counter substrate 20, a light shielding layer 23 a called a black matrix or a black stripe is formed in a region facing the vertical and horizontal boundary regions of the pixel electrode 9 a of the element substrate 10, and an ITO film is formed on the upper layer side. The counter electrode 21 is formed. In the pixel area 10b, a dummy pixel may be formed in an area overlapping with the light shielding layer 23b. In this case, an area excluding the dummy pixel in the pixel area 10b is used as the image display area 10a. It will be. In this embodiment, since the photocurable adhesive is used as the sealing material 107, the light shielding layer 23b and the sealing material 107 are formed at positions shifted so that light irradiation from the counter substrate 20 side is possible. When the sealing material 107 is photocured by light irradiation from the 10 side, or when a thermosetting adhesive is used for the sealing material 107, the light shielding layer 23 b and the sealing material 107 are formed at overlapping positions. A configuration can also be adopted.

シール材107より囲まれた空間内には電気光学物質としての液晶50が封入されている。液晶50は、画素電極9aからの電界が印加されていない状態で、素子基板10および対向基板に形成された配向膜16、22(図2(b)参照)により所定の配向状態をとる。液晶50は、例えば一種または数種のネマティック液晶を混合したものなどからなる。   A liquid crystal 50 as an electro-optical material is sealed in a space surrounded by the sealing material 107. The liquid crystal 50 takes a predetermined alignment state by the alignment films 16 and 22 (see FIG. 2B) formed on the element substrate 10 and the counter substrate in a state where an electric field from the pixel electrode 9a is not applied. The liquid crystal 50 is made of, for example, one or a mixture of several types of nematic liquid crystals.

電気光学装置100において、素子基板10の背面側にはバックライト装置600が配置されており、バックライト装置600から出射された光は、素子基板10の側から液晶パネル100pに入射して対向基板20の側から出射される間に変調され、対向基板20の側から表示光として出射される。バックライト装置600としては面光源装置を採用することができるとともに、LED素子と導光板とを用いた光源装置を採用することもできる。   In the electro-optical device 100, a backlight device 600 is disposed on the back side of the element substrate 10, and light emitted from the backlight device 600 is incident on the liquid crystal panel 100p from the element substrate 10 side to face the counter substrate. The light is modulated while being emitted from the side 20, and is emitted as display light from the side of the counter substrate 20. As the backlight device 600, a surface light source device can be adopted, and a light source device using an LED element and a light guide plate can also be adopted.

液晶パネル100pにおいて、画像表示領域10aを挟んでデータ線駆動回路101と対向する位置には光センサ310が配置されている。本形態において、光センサ310は、素子基板10上に形成された受光素子からなる。対向基板20に形成された遮光層23bは、一部が切り欠かれており、素子基板10において遮光層23bの切り欠き23cと重なる領域に光センサ310が形成されている。   In the liquid crystal panel 100p, an optical sensor 310 is disposed at a position facing the data line driving circuit 101 with the image display region 10a interposed therebetween. In the present embodiment, the optical sensor 310 includes a light receiving element formed on the element substrate 10. A part of the light shielding layer 23b formed on the counter substrate 20 is notched, and the optical sensor 310 is formed in a region of the element substrate 10 that overlaps the notch 23c of the light shielding layer 23b.

このように形成した電気光学装置100は、後述するモバイルコンピュータ、携帯電話機、液晶テレビなどといった電子機器のカラー表示装置として用いることができ、この場合、対向基板20には、カラーフィルタ(図示せず)や保護膜が形成される。また、対向基板20および素子基板10の光入射側の面あるいは光出射側には、使用する液晶50の種類、すなわち、TN(ツイステッドネマティック)モード、STN(スーパーTN)モード等々の動作モードや、ノーマリホワイトモード/ノーマリブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板などが所定の向きに配置される。電気光学装置100は、透過型に限らず、半透過反射型として構成される場合がある。   The electro-optical device 100 formed in this way can be used as a color display device for electronic devices such as a mobile computer, a mobile phone, and a liquid crystal television described later. In this case, a color filter (not shown) is provided on the counter substrate 20. ) And a protective film are formed. Further, on the light incident side surface or the light emitting side of the counter substrate 20 and the element substrate 10, the type of the liquid crystal 50 to be used, that is, an operation mode such as a TN (twisted nematic) mode, an STN (super TN) mode, Depending on the normally white mode / normally black mode, a polarizing film, a retardation film, a polarizing plate, and the like are arranged in a predetermined direction. The electro-optical device 100 is not limited to a transmissive type, and may be configured as a transflective type.

(各画素の構成)
図3(a)、(b)は各々、本発明を適用した電気光学装置100に用いた素子基板10において相隣接する画素の平面図、およびそのA−A′線に相当する位置で電気光学装置100を切断したときの断面図である。
(Configuration of each pixel)
3A and 3B are plan views of adjacent pixels in the element substrate 10 used in the electro-optical device 100 to which the present invention is applied, and electro-optics at positions corresponding to the AA ′ line. It is sectional drawing when the apparatus 100 is cut | disconnected.

図3(a)、(b)に示すように、素子基板10には、ガラスなどからなる透光性基板10dの表面にシリコン酸化膜などからなる下地保護膜12が形成されているとともに、その表面側において、画素電極9aに隣接する位置にNチャネル型の薄膜トランジスタ30が形成されている。薄膜トランジスタ30は、ツインゲート構造を有しており、島状の半導体膜1aには、ソース側からドレイン側に向かって、高濃度ソース領域1d、チャネル形成領域1b、高濃度N型領域1g、チャネル形成領域1c、および高濃度ドレイン領域1eがこの順に配置されている。半導体膜1aの上層にはシリコン酸化膜などからなるゲート絶縁膜2が形成され、ゲート絶縁膜2の上層には走査線3aが形成されている。走査線3aの一部は、ゲート電極としてゲート絶縁膜2を介してチャネル形成領域1b、1cに対向している。   As shown in FIGS. 3A and 3B, the element substrate 10 is provided with a base protective film 12 made of a silicon oxide film or the like on the surface of a light-transmitting substrate 10d made of glass or the like. On the surface side, an N-channel thin film transistor 30 is formed at a position adjacent to the pixel electrode 9a. The thin film transistor 30 has a twin gate structure. The island-shaped semiconductor film 1a includes a high concentration source region 1d, a channel formation region 1b, a high concentration N type region 1g, a channel from the source side to the drain side. The formation region 1c and the high concentration drain region 1e are arranged in this order. A gate insulating film 2 made of a silicon oxide film or the like is formed above the semiconductor film 1a, and a scanning line 3a is formed above the gate insulating film 2. A part of the scanning line 3a is opposed to the channel formation regions 1b and 1c through the gate insulating film 2 as a gate electrode.

半導体膜1aは、透光性基板10dに対してアモルファスシリコン膜を形成した後、レーザアニールやランプアニールなどにより多結晶化されたポリシリコン膜である。高濃度ソース領域1d、高濃度N型領域1g、および高濃度ドレイン領域1eは、走査線3a(ゲート電極)をマスクとして約0.1×1015/cm2〜約10×1015/cm2のドーズ量で高濃度N型の不純物(リンイオンなど)を導入することにより形成された半導体領域である。 The semiconductor film 1a is a polysilicon film that is polycrystallized by laser annealing, lamp annealing, or the like after an amorphous silicon film is formed on the translucent substrate 10d. The high-concentration source region 1d, the high-concentration N-type region 1g, and the high-concentration drain region 1e are about 0.1 × 10 15 / cm 2 to about 10 × 10 15 / cm 2 using the scanning line 3a (gate electrode) as a mask. This is a semiconductor region formed by introducing high-concentration N-type impurities (such as phosphorus ions) at a dose of.

薄膜トランジスタ30の上層側には、層間絶縁膜7、8が形成されている。層間絶縁膜7の表面にはデータ線6aおよびドレイン電極6bが形成され、データ線6aは、層間絶縁膜7に形成されたコンタクトホール7aを介して高濃度ソース領域1dに電気的に接続している。層間絶縁膜8の表面にはITO膜からなる画素電極9aが形成されている。画素電極9aは、層間絶縁膜8に形成されたコンタクトホール8aを介してドレイン電極6bに電気的に接続し、このドレイン電極6bは、層間絶縁膜7およびゲート絶縁膜2に形成されたコンタクトホール7bを介して高濃度ドレイン領域1eに電気的に接続している。画素電極9aの表面側にはポリイミド膜からなる配向膜16が形成されている。高濃度ドレイン領域1eからの延設部分1f(下電極)に対しては、ゲート絶縁膜2と同時形成された絶縁膜(誘電体膜)を介して、走査線3aと同層の容量線3bが上電極として対向することにより、保持容量60が構成されている。本形態において、走査線3aおよび容量線3bは、モリブデン膜、アルミニウム膜、チタン膜、タングステン膜、タンタル膜などの単層膜あるいは積層膜からなる。また、データ線6aおよびドレイン電極6bも、モリブデン膜、アルミニウム膜、チタン膜、タングステン膜、タンタル膜などの単層膜あるいは積層膜からなる。   On the upper layer side of the thin film transistor 30, interlayer insulating films 7 and 8 are formed. A data line 6a and a drain electrode 6b are formed on the surface of the interlayer insulating film 7. The data line 6a is electrically connected to the high concentration source region 1d through a contact hole 7a formed in the interlayer insulating film 7. Yes. A pixel electrode 9 a made of an ITO film is formed on the surface of the interlayer insulating film 8. The pixel electrode 9 a is electrically connected to the drain electrode 6 b through the contact hole 8 a formed in the interlayer insulating film 8, and the drain electrode 6 b is connected to the contact hole formed in the interlayer insulating film 7 and the gate insulating film 2. 7b is electrically connected to the high concentration drain region 1e. An alignment film 16 made of a polyimide film is formed on the surface side of the pixel electrode 9a. For the extended portion 1f (lower electrode) from the high-concentration drain region 1e, the capacitive line 3b in the same layer as the scanning line 3a is provided via an insulating film (dielectric film) formed simultaneously with the gate insulating film 2. Are opposed to each other as an upper electrode, thereby forming a storage capacitor 60. In this embodiment, the scanning line 3a and the capacitor line 3b are formed of a single layer film or a laminated film such as a molybdenum film, an aluminum film, a titanium film, a tungsten film, or a tantalum film. The data line 6a and the drain electrode 6b are also formed of a single layer film or a laminated film such as a molybdenum film, an aluminum film, a titanium film, a tungsten film, or a tantalum film.

素子基板10には、画素100aのうち、表示に実質寄与しない領域に第1の柱状スペーサ4a(第1の柱状スペーサ)が形成されている。本形態において、第1の柱状スペーサ4aは、画素電極9aの上層のうち、容量線3bと重なる位置に形成されている。このような第1の柱状スペーサ4aは、複数の画素100aの各々に形成されており、素子基板10から突出して上端部が対向基板20に当接することにより、素子基板10と対向基板20との隙間寸法(液晶50の層厚)を規定する。このような第1の柱状スペーサ4aは、例えば、透光性、感光性および絶縁性を有する樹脂、例えば、アクリル樹脂を塗布、露光、現像することによって形成される。   In the element substrate 10, a first columnar spacer 4a (first columnar spacer) is formed in a region of the pixel 100a that does not substantially contribute to display. In this embodiment, the first columnar spacer 4a is formed at a position overlapping the capacitor line 3b in the upper layer of the pixel electrode 9a. Such a first columnar spacer 4a is formed in each of the plurality of pixels 100a. The first columnar spacer 4a protrudes from the element substrate 10 and has its upper end abutting against the counter substrate 20, whereby the element substrate 10 and the counter substrate 20 are separated from each other. The gap dimension (layer thickness of the liquid crystal 50) is defined. Such first columnar spacers 4a are formed by applying, exposing, and developing a resin having translucency, photosensitivity, and insulation, for example, an acrylic resin.

(駆動回路の構成)
再び図2(a)において、本形態の電気光学装置100では、素子基板10の表面側のうち、画素領域10bの周辺領域を利用してデータ線駆動回路101および走査線駆動回路104などの内部回路が形成されている。このようなデータ線駆動回路101および走査線駆動回路104のシフトレジスタなどを構成するにあたっては、図示を省略するが、Nチャネル型の薄膜トランジスタとPチャネル型の薄膜トランジスタとを備えた相補型薄膜トランジスタが用いられる。
(Configuration of drive circuit)
Referring again to FIG. 2A, in the electro-optical device 100 of the present embodiment, the data line driving circuit 101, the scanning line driving circuit 104, and the like inside the surface side of the element substrate 10 using the peripheral region of the pixel region 10b. A circuit is formed. In configuring such a shift register of the data line driving circuit 101 and the scanning line driving circuit 104, a complementary thin film transistor including an N-channel thin film transistor and a P-channel thin film transistor is used, although illustration is omitted. It is done.

(光センサおよびその周辺部分の構成)
図4(a)、(b)は、本発明を適用した電気光学装置に用いた光センサおよびその近傍の平面図、およびそのB−B′断面図であり、図4には、画素スイッチング用の薄膜トランジスタ30も示してある。
(Configuration of optical sensor and its peripheral parts)
FIGS. 4A and 4B are a plan view of the optical sensor used in the electro-optical device to which the present invention is applied and its vicinity, and a cross-sectional view taken along the line BB ′. FIG. A thin film transistor 30 is also shown.

図4(a)、(b)に示すように、本形態の素子基板10(第1の基板)において画素領域10bの外側領域には光センサ310が形成されており、光センサ310は、複数の受光素子を配線によって並列に電気的に接続した構造を有している。本形態において、光センサ310は、半導体膜1wで高濃度N型領域1x、真性領域1yおよび高濃度P型領域1zが順に並ぶPIN接合型ダイオードからなり、層間絶縁膜7の上層に形成された配線6h、6iが各々、コンタクトホール7h、7iを介して高濃度N型領域1xおよび高濃度P型領域1zに電気的に接続している。   As shown in FIGS. 4A and 4B, in the element substrate 10 (first substrate) of the present embodiment, a photosensor 310 is formed in the outer region of the pixel region 10b, and a plurality of photosensors 310 are provided. The light receiving elements are electrically connected in parallel by wiring. In this embodiment, the optical sensor 310 is composed of a PIN junction type diode in which a high-concentration N-type region 1x, an intrinsic region 1y, and a high-concentration P-type region 1z are arranged in this order on the semiconductor film 1w, and is formed on the interlayer insulating film 7 The wirings 6h and 6i are electrically connected to the high concentration N-type region 1x and the high concentration P-type region 1z through contact holes 7h and 7i, respectively.

半導体膜1wは、薄膜トランジスタ30を構成する半導体膜1aと同時形成されたポリシリコン膜である。高濃度N型領域1xは、薄膜トランジスタ30および相補型薄膜トランジスタの高濃度N型領域を形成する際、レジストマスクを用いて、約0.1×1015/cm2〜約10×1015/cm2のドーズ量で高濃度N型の不純物(リンイオンなど)を導入することにより形成された半導体領域であり、高濃度P型領域1zは、相補型薄膜トランジスタの高濃度P型領域を形成する際、レジストマスクを用いて、約0.1×1015/cm2〜約10×1015/cm2のドーズ量で高濃度P型の不純物(ボロンイオンなど)を導入することにより形成された半導体領域である。配線6h、6iは、データ線6aおよびドレイン電極6bと同時形成された金属膜であり、モリブデン膜、アルミニウム膜、チタン膜、タングステン膜、タンタル膜などの単層膜あるいは積層膜からなる。 The semiconductor film 1w is a polysilicon film formed simultaneously with the semiconductor film 1a constituting the thin film transistor 30. The high-concentration N-type region 1x is formed from about 0.1 × 10 15 / cm 2 to about 10 × 10 15 / cm 2 using a resist mask when forming the high-concentration N-type regions of the thin film transistor 30 and the complementary thin film transistor. This is a semiconductor region formed by introducing a high concentration N-type impurity (such as phosphorus ion) at a dose of 1%, and the high concentration P-type region 1z is a resist when forming a high-concentration P-type region of a complementary thin film transistor. A semiconductor region formed by introducing high-concentration P-type impurities (such as boron ions) at a dose of about 0.1 × 10 15 / cm 2 to about 10 × 10 15 / cm 2 using a mask. is there. The wirings 6h and 6i are metal films formed simultaneously with the data lines 6a and the drain electrodes 6b, and are made of a single layer film or a laminated film such as a molybdenum film, an aluminum film, a titanium film, a tungsten film, or a tantalum film.

このように構成した光センサ310は、対向基板20(第2の基板)に形成された遮光層23b(第1の遮光層)の切り欠き23cと重なっており、対向基板20の側から入射してくる外光(対象光/環境光/矢印Pで示す)を検出可能である。遮光層23bは、ブラックマトリクスを構成する遮光層23aと同時形成されたクロム膜やチタンなどの金属膜や窒化チタン膜などからなる。ここで、遮光層23bは、画素領域10bと光センサ310との間に重なる領域にも形成されている。   The thus configured optical sensor 310 overlaps the notch 23c of the light shielding layer 23b (first light shielding layer) formed on the counter substrate 20 (second substrate), and is incident from the counter substrate 20 side. The incoming external light (target light / ambient light / indicated by arrow P) can be detected. The light shielding layer 23b is made of a chromium film, a metal film such as titanium, a titanium nitride film, or the like formed simultaneously with the light shielding layer 23a constituting the black matrix. Here, the light shielding layer 23 b is also formed in a region overlapping between the pixel region 10 b and the optical sensor 310.

半導体膜1wに対して透光性基板10dが位置する側、例えば、透光性基板10dと下地保護膜12との層間には、光センサ310を含む領域と重なるように、クロム膜やチタンなどの金属膜や窒化チタン膜などからなる遮光層11a(第2の遮光層)が形成されている。このため、バックライト装置600からの光が直接、真性領域1yに入射しない。このような遮光層11aは、下地保護膜12を形成する前に、フォトリソグラフィ技術を用いて、透光性基板10dの表面に形成しておけばよい。本形態において、遮光層11aは広い領域にわたって形成されており、後述する第2の柱状スペーサ4bと重なる領域にまで形成されている。   A chrome film, titanium, or the like is disposed on the side where the translucent substrate 10d is located with respect to the semiconductor film 1w, for example, between the translucent substrate 10d and the base protective film 12 so as to overlap the region including the optical sensor 310 A light shielding layer 11a (second light shielding layer) made of a metal film or a titanium nitride film is formed. For this reason, the light from the backlight device 600 does not directly enter the intrinsic region 1y. Such a light shielding layer 11a may be formed on the surface of the light-transmitting substrate 10d by using a photolithography technique before the base protective film 12 is formed. In this embodiment, the light shielding layer 11a is formed over a wide area, and is formed up to an area overlapping with a second columnar spacer 4b described later.

本形態では、素子基板10において画素領域10bには複数の第1の柱状スペーサ4aが形成されているとともに、光センサ310と画素領域10bとの間にも、素子基板10から突出して対向基板20に当接する複数の第2の柱状スペーサ4bが形成されている。このような第2の柱状スペーサ4bは、第1の柱状スペーサ4aと同時形成されたものであり、アクリル樹脂などを塗布、露光、現像することによって形成される。   In this embodiment, a plurality of first columnar spacers 4a are formed in the pixel region 10b of the element substrate 10, and the counter substrate 20 protrudes from the element substrate 10 between the photosensor 310 and the pixel region 10b. A plurality of second columnar spacers 4b that are in contact with each other are formed. Such a second columnar spacer 4b is formed at the same time as the first columnar spacer 4a, and is formed by applying, exposing, and developing an acrylic resin or the like.

ここで、複数の第2の柱状スペーサ4bは、画素領域10bの端部に沿う第1の方向Xにおける寸法Lxと、第1の方向Xと直交する第2の方向Yにおける寸法Lyが略同一の丸棒状の突起であるが、以下のように配置されることにより、画素領域10b側から光センサ310に向けて進行する光を遮る遮光用突起として機能する。   Here, in the plurality of second columnar spacers 4b, the dimension Lx in the first direction X along the end of the pixel region 10b is substantially the same as the dimension Ly in the second direction Y orthogonal to the first direction X. However, when arranged as follows, it functions as a light-shielding projection that blocks light traveling from the pixel region 10b toward the photosensor 310.

本形態において、複数の第2の柱状スペーサ4b(遮光用突起)は、画素領域10bの端部に沿う第1の方向Xに配列されて突起列41、42を構成しているとともに、これらの突起列41、42は、画素領域10bから光センサ310に向かう第2の方向Yで並列している。   In this embodiment, the plurality of second columnar spacers 4b (light-shielding protrusions) are arranged in the first direction X along the end of the pixel region 10b to form the protrusion rows 41 and 42. The protrusion rows 41 and 42 are juxtaposed in the second direction Y from the pixel region 10b toward the optical sensor 310.

また、突起列41、42を第2の方向Yからみたとき、一方の突起列41に含まれる第2の柱状スペーサ4bの間が、他方の突起列42に含まれる第2の柱状スペーサ4bにより塞がれている。具体的には、突起列41において、第2の柱状スペーサ4bは所定の間隔を空けて配列されているが、その間隔は、第2の柱状スペーサ4bの第1の方向Xにおける寸法Lzよりも狭く、突起列42に含まれる第2の柱状スペーサ4bは、突起列41に含まれる第2の柱状スペーサ4bの間に配置されている。逆に、突起列42において、第2の柱状スペーサ4bは所定の間隔を空けて配列されているが、その間隔は、第2の柱状スペーサ4bの第1の方向Xにおける寸法Lzよりも狭く、かつ、突起列41に含まれる第2の柱状スペーサ4bは、突起列42に含まれる第2の柱状スペーサ4bの間に配置されている。   Further, when the protrusion rows 41 and 42 are viewed from the second direction Y, the second columnar spacer 4b included in the other protrusion row 42 is provided between the second columnar spacers 4b included in the one protrusion row 41. It is blocked. Specifically, in the projection row 41, the second columnar spacers 4b are arranged at a predetermined interval, and the interval is larger than the dimension Lz in the first direction X of the second columnar spacer 4b. The second columnar spacer 4 b that is narrow and included in the protrusion row 42 is disposed between the second columnar spacers 4 b included in the protrusion row 41. On the contrary, in the projection row 42, the second columnar spacers 4b are arranged with a predetermined interval, but the interval is narrower than the dimension Lz in the first direction X of the second columnar spacer 4b, In addition, the second columnar spacer 4 b included in the protrusion row 41 is disposed between the second columnar spacers 4 b included in the protrusion row 42.

(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態の電気光学装置100では、素子基板10において画素領域10bの外側領域に光センサ310が形成されており、この光センサ310は、対向基板20側から入射する外光を検出する。従って、検出回路340は、照度データを調光装置500に出力し、調光装置500は、外光に応じた条件でバックライト装置600が発光するように制御する。
(Main effects of this form)
As described above, in the electro-optical device 100 according to this embodiment, the optical sensor 310 is formed in the element substrate 10 in the outer region of the pixel region 10b, and the optical sensor 310 is external light incident from the counter substrate 20 side. Is detected. Therefore, the detection circuit 340 outputs the illuminance data to the dimming device 500, and the dimming device 500 controls the backlight device 600 to emit light under conditions according to external light.

ここで、画素領域10bのうち、画像表示領域10aでは表示が行なわれることから、画素領域10bの側から光センサ310に光が漏れてくるおそれがある。例えば。バックライト装置600から出射された光のうち、斜め方向に出射された光は、矢印Qで示すように、対向基板20の遮光層23bのうち、画素領域10bと光センサ310との間に重なる部分で反射して光センサ310の向けて進行する場合がある。このような場合でも、本形態では、素子基板10において光センサ310と画素領域10bとの間には、遮光用突起として機能する第2の柱状スペーサ4bが形成されており、第2の柱状スペーサ4bの側面に斜めに入射した光は反射、吸収あるいは散乱される。従って、画素領域10b側から光センサ310に向けて進行する外乱光を遮ることができる。それ故、光センサ310に外乱光が入射することを防止することができるので、光センサ310の感度を高めることができる。   Here, since display is performed in the image display area 10a in the pixel area 10b, light may leak from the pixel area 10b side to the optical sensor 310. For example. Of the light emitted from the backlight device 600, light emitted in an oblique direction overlaps between the pixel region 10b and the photosensor 310 in the light shielding layer 23b of the counter substrate 20, as indicated by an arrow Q. In some cases, the light is reflected from the portion and travels toward the optical sensor 310. Even in such a case, in this embodiment, the second columnar spacer 4b functioning as a light-shielding protrusion is formed between the optical sensor 310 and the pixel region 10b in the element substrate 10, and the second columnar spacer is formed. Light obliquely incident on the side surface of 4b is reflected, absorbed or scattered. Therefore, disturbance light traveling from the pixel region 10b side toward the optical sensor 310 can be blocked. Therefore, since disturbance light can be prevented from entering the optical sensor 310, the sensitivity of the optical sensor 310 can be increased.

また、第2の柱状スペーサ4bは、画素領域10bにおいて素子基板10と対向基板20との隙間寸法(液晶50の層厚)を規定する第1の柱状スペーサ4aと同時形成された感光性樹脂からなる。このため、第1の柱状スペーサ4aを形成する工程を利用して第2の柱状スペーサ4bを形成するため、第2の柱状スペーサ4bを形成する場合でも、新たな工程を追加する必要がない。   The second columnar spacer 4b is made of a photosensitive resin formed simultaneously with the first columnar spacer 4a that defines the gap size (layer thickness of the liquid crystal 50) between the element substrate 10 and the counter substrate 20 in the pixel region 10b. Become. For this reason, since the 2nd columnar spacer 4b is formed using the process of forming the 1st columnar spacer 4a, even when forming the 2nd columnar spacer 4b, it is not necessary to add a new process.

また、半導体膜1wに対して透光性基板10dが位置する側、本形態では、透光性基板10dと下地保護膜12との層間には、光センサ310を含む領域と重なるように遮光層11aが形成されているため、バックライト装置600からの光が直接、真性領域1yに入射しない。それ故、光センサ310の感度が高い。   Further, in the present embodiment, on the side where the translucent substrate 10d is positioned with respect to the semiconductor film 1w, the light shielding layer is provided between the translucent substrate 10d and the base protective film 12 so as to overlap the region including the photosensor 310. Since 11a is formed, the light from the backlight device 600 does not directly enter the intrinsic region 1y. Therefore, the sensitivity of the optical sensor 310 is high.

[実施の形態1の変形例]
上記実施の形態1において、第2の柱状スペーサ4bは丸棒状の突起であったが、横断面が正四角形、正六角形、正八角形などといった角棒状の突起であってもよい。
[Modification of Embodiment 1]
In the first embodiment, the second columnar spacer 4b is a round bar-like protrusion, but the cross section may be a square bar-like protrusion such as a regular square, a regular hexagon, or a regular octagon.

[実施の形態2]
図5は、本発明の実施の形態2に係る電気光学装置に用いた光センサおよびその近傍の平面図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。また、本形態のC−C′断面は、図4(b)に示すように表わされることから、本形態の光センサの断面については図4(b)を参照する。
[Embodiment 2]
FIG. 5 is a plan view of an optical sensor used in the electro-optical device according to Embodiment 2 of the present invention and the vicinity thereof. Since the basic configuration of this embodiment is the same as that of Embodiment 1, common portions are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. In addition, since the CC ′ cross section of the present embodiment is represented as shown in FIG. 4B, refer to FIG. 4B for the cross section of the photosensor of this embodiment.

図4(b)および図5に示すように、本形態においても、実施の形態1と同様、素子基板10(第1の基板)において画素領域10bの外側領域には光センサ310が形成されており、本形態において、光センサ310は、複数の受光素子を配線によって並列に電気的に接続した構造を有している。本形態において、光センサ310は、ポリシリコン膜からなる半導体膜1wに高濃度N型領域1x、真性領域1yおよび高濃度P型領域1zが順に並ぶPIN接合型ダイオードからなり、層間絶縁膜7の上層に形成された配線6h、6iが各々、コンタクトホール7h、7iを介して高濃度N型領域1xおよび高濃度P型領域1zに電気的に接続している。なお、本形態でも、図4(b)を参照して説明したように、光センサ310は、対向基板20(第2の基板)に形成された遮光層23b(第1の遮光層)の切り欠き23cと重なっており、対向基板20の側から入射してくる外光(対象光/環境光/矢印Pで示す)を検出可能である。ここで、遮光層23bは、画素領域10bと光センサ310との間に重なる領域にも形成された状態にある。また、透光性基板10dと下地保護膜12との層間には、光センサ310を含む領域と重なるように、クロム膜やチタンなどの金属膜や窒化チタン膜などからなる遮光層11a(第2の遮光層)が形成されている。   As shown in FIGS. 4B and 5, in this embodiment as well, in the same manner as in the first embodiment, the optical sensor 310 is formed in the outer region of the pixel region 10b in the element substrate 10 (first substrate). In this embodiment, the optical sensor 310 has a structure in which a plurality of light receiving elements are electrically connected in parallel by wiring. In this embodiment, the optical sensor 310 is composed of a PIN junction type diode in which a high-concentration N-type region 1x, an intrinsic region 1y, and a high-concentration P-type region 1z are arranged in this order on a semiconductor film 1w made of a polysilicon film. Wirings 6h and 6i formed in the upper layer are electrically connected to high concentration N-type region 1x and high concentration P-type region 1z through contact holes 7h and 7i, respectively. In this embodiment as well, as described with reference to FIG. 4B, the optical sensor 310 is formed by cutting the light shielding layer 23b (first light shielding layer) formed on the counter substrate 20 (second substrate). It overlaps with the notch 23c and can detect external light (indicated by target light / environment light / arrow P) incident from the counter substrate 20 side. Here, the light shielding layer 23b is also formed in a region overlapping between the pixel region 10b and the optical sensor 310. Further, a light shielding layer 11a (second film) made of a metal film such as a chromium film or titanium, a titanium nitride film, or the like so as to overlap an area including the optical sensor 310 between the light-transmitting substrate 10d and the base protective film 12. The light shielding layer is formed.

さらに、本形態でも、実施の形態1と同様、素子基板10において画素領域10bには複数の第1の柱状スペーサ4aが形成されているとともに、光センサ310と画素領域10bとの間にも、素子基板10から突出して対向基板20に当接する複数の第2の柱状スペーサ4cが形成されている。このような第2の柱状スペーサ4cは、第1の柱状スペーサ4aと同時形成されたものであり、アクリル樹脂などを塗布、露光、現像することによって形成される。   Further, in the present embodiment, as in the first embodiment, a plurality of first columnar spacers 4a are formed in the pixel region 10b in the element substrate 10, and between the photosensor 310 and the pixel region 10b, A plurality of second columnar spacers 4 c protruding from the element substrate 10 and contacting the counter substrate 20 are formed. Such a second columnar spacer 4c is formed at the same time as the first columnar spacer 4a, and is formed by applying, exposing, and developing an acrylic resin or the like.

ここで、複数の第2の柱状スペーサ4cは、画素領域10bの端部に沿う第1の方向Xにおける寸法Lxが、第1の方向Xと直交する第2の方向Yにおける寸法Lyより長い板状突起であり、以下のように配置されることにより、画素領域10b側から光センサ310に向けて進行する光を遮る遮光用突起として機能する。   Here, the plurality of second columnar spacers 4c are plates in which the dimension Lx in the first direction X along the end of the pixel region 10b is longer than the dimension Ly in the second direction Y orthogonal to the first direction X. The projections are arranged as follows, and function as light-shielding projections that block light traveling from the pixel region 10b toward the optical sensor 310.

本形態において、複数の第2の柱状スペーサ4c(遮光用突起)は、画素領域10bの端部に沿う第1の方向Xに配列されて突起列41、42を構成しているとともに、これらの突起列41、42は、画素領域10bから光センサ310に向かう第2の方向Yで並列している。   In the present embodiment, the plurality of second columnar spacers 4c (light-shielding protrusions) are arranged in the first direction X along the end of the pixel region 10b to form the protrusion rows 41 and 42, and these The protrusion rows 41 and 42 are juxtaposed in the second direction Y from the pixel region 10b toward the optical sensor 310.

また、突起列41、42を第2の方向Yからみたとき、突起列41に含まれる第2の柱状スペーサ4cの間が、突起列42に含まれる第2の柱状スペーサ4cにより塞がれている。具体的には、突起列41において、第2の柱状スペーサ4cは所定の間隔を空けて配列されているが、その間隔は、第2の柱状スペーサ4cの第1の方向Xにおける寸法Lzよりも狭く、突起列42に含まれる第2の柱状スペーサ4cは、突起列41に含まれる第2の柱状スペーサ4cの間に配置されている。   Further, when the projection rows 41 and 42 are viewed from the second direction Y, the second columnar spacer 4c included in the projection row 42 is closed between the second columnar spacers 4c included in the projection row 41. Yes. Specifically, in the projection row 41, the second columnar spacers 4c are arranged at a predetermined interval, and the interval is larger than the dimension Lz in the first direction X of the second columnar spacer 4c. The second columnar spacer 4 c that is narrow and included in the protrusion row 42 is disposed between the second columnar spacers 4 c included in the protrusion row 41.

以上説明したように、本形態の電気光学装置100でも、実施の形態1と同様、素子基板10において画素領域10bの外側領域に光センサ310が形成されており、この光センサ310は、対向基板20側から入射する外光を検出する。ここで、画素領域10bのうち、画像表示領域10aでは表示が行なわれることから、画素領域10bの側から光センサ310に光が漏れてくるおそれがあるが、本形態では、素子基板10において光センサ310と画素領域10bとの間には、遮光用突起として機能する第2の柱状スペーサ4cが形成されているので、画素領域10b側から光センサ310に向けて進行する外乱光を遮ることができるなど、実施の形態1と同様な効果を奏する。   As described above, also in the electro-optical device 100 according to the present embodiment, the optical sensor 310 is formed in the outer region of the pixel region 10b in the element substrate 10 as in the first embodiment. External light incident from the 20 side is detected. Here, since display is performed in the image display area 10a in the pixel area 10b, there is a possibility that light leaks to the optical sensor 310 from the pixel area 10b side. Since the second columnar spacer 4c functioning as a light shielding protrusion is formed between the sensor 310 and the pixel region 10b, disturbance light traveling from the pixel region 10b side toward the optical sensor 310 may be blocked. The same effects as in the first embodiment can be obtained.

[その他の電気光学装置への適用例]
上記形態では、光センサ310がPIN接合型ダイオードの場合を説明したが、N型の薄膜トランジスタをダイオード接続したMOS型ダイオード、あるいはP型の薄膜トランジスタをダイオード接続したMOS型ダイオードを光センサ310として用いた場合に本発明を適当してもよい。また、光センサ310を用いて光検出を行なうにあたっては、遮光層23bの切り欠き23cに重なる領域に主センサを構成する光センサ310を配置する一方、遮光層23bと重なる領域に副センサを構成する光センサ310を配置し、それらの検出結果の差により、外光の強度を求めてもよい。例えば、主センサと副センサとをノードを介して直列に電気的接続してセンサ回路を構成するとともに、センサ回路の両端に電圧を印加したときにノードから取り出される電流あるいは電圧に基いて外光を検出してもよい。
[Application examples to other electro-optical devices]
In the above embodiment, the case where the optical sensor 310 is a PIN junction type diode has been described. However, a MOS type diode in which an N-type thin film transistor is diode-connected or a MOS type diode in which a P-type thin film transistor is diode-connected is used as the optical sensor 310. In some cases, the present invention may be suitable. Further, when performing light detection using the optical sensor 310, the optical sensor 310 constituting the main sensor is disposed in the region overlapping the notch 23c of the light shielding layer 23b, while the sub sensor is configured in the region overlapping the light shielding layer 23b. The light sensor 310 may be arranged, and the intensity of external light may be obtained from the difference between the detection results. For example, a sensor circuit is configured by electrically connecting a main sensor and a sub sensor in series via a node, and external light is generated based on a current or voltage extracted from the node when a voltage is applied to both ends of the sensor circuit. May be detected.

上記形態では、第1の柱状スペーサ4aおよび第2の柱状スペーサ4b、4cを素子基板10の側から突出させたが、対向基板20の側から突出させてもよい。   In the above embodiment, the first columnar spacer 4a and the second columnar spacers 4b and 4c are projected from the element substrate 10 side, but may be projected from the counter substrate 20 side.

また、上記形態では、第1の柱状スペーサ4aを製造する際、第2の柱状スペーサ4b、4cを同時形成したが、第1の柱状スペーサ4aと第2の柱状スペーサ4b、4cとを別工程で形成した構成や、第1の柱状スペーサ4aを形成せず、第2の柱状スペーサ4b、4cのみを形成した構成を採用してもよい。   Moreover, in the said form, when manufacturing the 1st columnar spacer 4a, although the 2nd columnar spacer 4b and 4c were formed simultaneously, the 1st columnar spacer 4a and the 2nd columnar spacer 4b and 4c are another process. Alternatively, a configuration in which only the second columnar spacers 4b and 4c are formed without forming the first columnar spacer 4a may be employed.

[電子機器への搭載例]
次に、上述した実施形態に係る電気光学装置100を適用した電子機器について説明する。図6(a)に、電気光学装置100を備えたモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す。パーソナルコンピュータ2000は、表示ユニットとしての電気光学装置100と本体部2010を備える。本体部2010には、電源スイッチ2001及びキーボード2002が設けられている。図6(b)に、電気光学装置100を備えた携帯電話機の構成を示す。携帯電話機3000は、複数の操作ボタン3001及びスクロールボタン3002、並びに表示ユニットとしての電気光学装置100を備える。スクロールボタン3002を操作することによって、電気光学装置100に表示される画面がスクロールされる。図6(c)に、電気光学装置100を適用した情報携帯端末(PDA:Personal Digital Assistants)の構成を示す。情報携帯端末4000は、複数の操作ボタン4001及び電源スイッチ4002、並びに表示ユニットとしての電気光学装置100を備える。電源スイッチ4002を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が電気光学装置100に表示される。
[Example of mounting on electronic devices]
Next, an electronic apparatus to which the electro-optical device 100 according to the above-described embodiment is applied will be described. FIG. 6A illustrates a configuration of a mobile personal computer including the electro-optical device 100. The personal computer 2000 includes an electro-optical device 100 as a display unit and a main body 2010. The main body 2010 is provided with a power switch 2001 and a keyboard 2002. FIG. 6B shows a configuration of a mobile phone provided with the electro-optical device 100. A cellular phone 3000 includes a plurality of operation buttons 3001, scroll buttons 3002, and the electro-optical device 100 as a display unit. By operating the scroll button 3002, the screen displayed on the electro-optical device 100 is scrolled. FIG. 6C shows the configuration of a personal digital assistant (PDA) to which the electro-optical device 100 is applied. The information portable terminal 4000 includes a plurality of operation buttons 4001, a power switch 4002, and the electro-optical device 100 as a display unit. When the power switch 4002 is operated, various types of information such as an address book and a schedule book are displayed on the electro-optical device 100.

なお、電気光学装置100が適用される電子機器としては、図6に示すものの他、デジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた機器等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、前述した電気光学装置100が適用可能である。   As an electronic apparatus to which the electro-optical device 100 is applied, in addition to those shown in FIG. 6, a digital still camera, a liquid crystal television, a viewfinder type, a monitor direct-view type video tape recorder, a car navigation device, a pager, an electronic notebook, Examples include calculators, word processors, workstations, videophones, POS terminals, devices with touch panels, and the like. The electro-optical device 100 described above can be applied as a display unit of these various electronic devices.

本発明を適用した電気光学装置の電気的構成を示すブロック図である。1 is a block diagram illustrating an electrical configuration of an electro-optical device to which the present invention is applied. (a)、(b)は各々、本発明を適用した電気光学装置の液晶パネルを各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図、およびそのH−H′断面図である。(A), (b) is the top view which looked at the liquid crystal panel of the electro-optical apparatus to which this invention was applied from the opposing board | substrate side with each component, and its HH 'sectional drawing. (a)、(b)は各々、本発明を適用した電気光学装置に用いた素子基板10において相隣接する画素の平面図、およびそのA−A′線に相当する位置で電気光学装置を切断したときの断面図である。(A), (b) is a plan view of adjacent pixels in the element substrate 10 used in the electro-optical device to which the present invention is applied, and the electro-optical device is cut at a position corresponding to the line AA ′. It is sectional drawing when doing. (a)、(b)は各々、本発明の実施の形態1に係る電気光学装置に用いた光センサおよびその近傍の平面図、およびそのB−B′断面図である。(A), (b) is the top view of the optical sensor used for the electro-optical apparatus based on Embodiment 1 of this invention, its vicinity, and its BB 'sectional drawing, respectively. 本発明の実施の形態2に係る電気光学装置に用いた光センサおよびその近傍の平面図である。FIG. 6 is a plan view of an optical sensor used in an electro-optical device according to Embodiment 2 of the present invention and its vicinity. 本発明を適用した電気光学装置を備えた電子機器の説明図である。It is explanatory drawing of the electronic device provided with the electro-optical apparatus to which this invention is applied.

符号の説明Explanation of symbols

1w・・光センサの半導体膜、1x・・光センサの高濃度N型領域、1y・・光センサの真性領域、1z・・光センサの高濃度P型領域、4a・・第1の柱状スペーサ、4b、4c・・第2の柱状スペーサ(遮光用突起)、10・・素子基板(第1の基板)、10a・・画像表示領域、10b・・画素領域、11a・・素子基板側の遮光層(第2の遮光層)、20・・対向基板(第2の基板)、23b・・対向基板側の遮光層(第1の遮光層)、30・・画素スイッチング用の薄膜トランジスタ、100・・電気光学装置、100p・・液晶パネル、300・・光検出装置、310・・光センサ回路、600・・バックライト装置 1w..Semiconductor film of optical sensor, 1x..High-concentration N-type region of optical sensor, 1y..Intrinsic region of optical sensor, 1z..High-concentration P-type region of optical sensor, 4a..First columnar spacer 4b, 4c... Second columnar spacer (light-shielding projection), 10.. Element substrate (first substrate), 10 a... Image display area, 10 b... Pixel area, 11 a. Layer (second light shielding layer), 20 .. counter substrate (second substrate), 23 b .. light shielding layer on the opposite substrate side (first light shielding layer), 30... Thin film transistor for pixel switching, 100. Electro-optical device, 100p ... Liquid crystal panel, 300 Photo detector, 310 Photo sensor circuit, 600 Back light device

Claims (9)

第1の基板と第2の基板とが所定の隙間を介して貼り合わされたパネルを備え、当該パネルには、複数の画素が配列された画素領域が構成された電気光学装置において、
前記第1の基板または前記第2の基板のうちの少なくとも一方の前記画素領域の外側領域において、入射する対象光を検出する光センサが形成され、
前記第1の基板および前記第2の基板のうちの一方の基板には、前記光センサと前記画素領域との間の領域において当該一方の基板から突出した遮光用突起が形成されていることを特徴とする電気光学装置。
In an electro-optical device that includes a panel in which a first substrate and a second substrate are bonded to each other with a predetermined gap, and the panel includes a pixel region in which a plurality of pixels are arranged.
An optical sensor for detecting incident target light is formed in an outer region of the pixel region of at least one of the first substrate and the second substrate,
One of the first substrate and the second substrate is provided with a light-shielding protrusion protruding from the one substrate in a region between the photosensor and the pixel region. Electro-optical device characterized.
前記一方の基板には、当該一方の基板から突出して他方の基板に向けて突出する複数の柱状スペーサが形成され、
前記複数の柱状スペーサには、前記画素領域内において前記他方の基板に当接して前記隙間の寸法を規定する複数の第1の柱状スペーサと、前記光センサと前記画素領域との間に前記遮光用突起として形成された第2の柱状スペーサと、が含まれていることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
The one substrate is formed with a plurality of columnar spacers protruding from the one substrate and protruding toward the other substrate,
The plurality of columnar spacers include a plurality of first columnar spacers that abut against the other substrate in the pixel region to define the size of the gap, and the light shielding between the photosensor and the pixel region. The electro-optical device according to claim 1, further comprising: a second columnar spacer formed as a projection for use.
前記遮光用突起は、前記画素領域の端部に沿う第1の方向に配列されて突起列を構成し、
当該突起列は、前記第1の方向に直交する第2の方向において複数列設けられ、
当該複数列の突起列において隣接する2つの突起列を前記第2の方向からみたとき、一方の突起列に含まれる前記遮光用突起の間が、他方の突起列に含まれる前記遮光用突起により塞がれていることを特徴とする請求項1または2に記載の電気光学装置。
The light-shielding protrusions are arranged in a first direction along the edge of the pixel region to form a protrusion row,
The protrusion rows are provided in a plurality of rows in a second direction orthogonal to the first direction,
When two adjacent protrusion rows in the plurality of protrusion rows are viewed from the second direction, a gap between the light shielding protrusions included in one protrusion row is caused by the light shielding protrusion included in the other protrusion row. The electro-optical device according to claim 1, wherein the electro-optical device is closed.
前記遮光用突起は、前記第1の方向の寸法と前記第2の方向の寸法とが同一の棒状突起であることを特徴とする請求項3に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to claim 3, wherein the light-shielding protrusion is a rod-shaped protrusion having the same dimension in the first direction and the dimension in the second direction. 前記遮光用突起は、前記第1の方向の寸法が前記第2の方向の寸法より長い板状突起であることを特徴とする請求項3に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to claim 3, wherein the light-shielding protrusion is a plate-like protrusion whose dimension in the first direction is longer than the dimension in the second direction. 前記光センサは前記第1の基板に形成され、
前記第2の基板は透光性基板であり、当該第2の基板の側から前記対象光が入射し、
前記第2の基板において前記画素領域と前記光センサとの間に重なる領域には第1の遮光層が形成され、
前記遮光用突起は、前記第1の遮光層と平面的に重なる領域に形成されていることを特徴とする請求項1乃至5の何れか一項に記載の電気光学装置。
The photosensor is formed on the first substrate;
The second substrate is a translucent substrate, and the target light enters from the second substrate side,
A first light-shielding layer is formed in a region of the second substrate that overlaps between the pixel region and the photosensor;
The electro-optical device according to claim 1, wherein the light-shielding protrusion is formed in a region overlapping the first light-shielding layer in a planar manner.
前記光センサは前記第1の基板に形成され、
前記第1の基板および前記第2の基板は透光性基板であり、当該第2の基板の側から前記対象光が入射し、
前記光センサに対して前記第1の基板が位置する側には、少なくとも前記光センサと重なる領域に第2の遮光層が形成されていることを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の電気光学装置。
The photosensor is formed on the first substrate;
The first substrate and the second substrate are translucent substrates, and the target light is incident from the second substrate side,
The second light-shielding layer is formed at least in a region overlapping with the photosensor on the side where the first substrate is located with respect to the photosensor. The electro-optical device according to Item.
前記光センサによる光検出結果に基づいて前記画素領域の駆動条件が調整されることを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to claim 1, wherein a driving condition of the pixel region is adjusted based on a light detection result by the optical sensor. 前記画素領域に光を出射する光源装置を備え、
前記光センサによる光検出結果に基づいて前記光源装置における出射光量を制御することを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の電気光学装置。
A light source device for emitting light to the pixel region;
The electro-optical device according to claim 1, wherein an emitted light amount in the light source device is controlled based on a light detection result by the optical sensor.
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