[go: up one dir, main page]

JP2008164330A - 超音波流量計 - Google Patents

超音波流量計 Download PDF

Info

Publication number
JP2008164330A
JP2008164330A JP2006351253A JP2006351253A JP2008164330A JP 2008164330 A JP2008164330 A JP 2008164330A JP 2006351253 A JP2006351253 A JP 2006351253A JP 2006351253 A JP2006351253 A JP 2006351253A JP 2008164330 A JP2008164330 A JP 2008164330A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic
printed circuit
circuit board
terminal block
signal processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006351253A
Other languages
English (en)
Inventor
Daisuke Betsusou
大介 別荘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2006351253A priority Critical patent/JP2008164330A/ja
Publication of JP2008164330A publication Critical patent/JP2008164330A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

【課題】超音波センサの出力は微弱で、電圧10−3V、電流20×10−6Aのものである。従って、この出力に外部からの電気的なノイズが重畳すると高精度な測定ができなくなる。このためノイズフィルタを用いるが、ノイズフィルタが大型化してしまう。
【解決手段】端子台58、ノイズフィルタ部57をシールドする構成とする。また、輻射されたノイズは超音波センサ52、53のリード線65や、プリント基板上55のラインに重畳することが計測に影響を与えているため、これらのラインやリード線にノイズが重畳しにくいような構成とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、特に超音波によって都市ガス、プロパンガス等流体の流量を測定する超音波流量計に関するものである。
従来の超音波流量計としては、例えば特許文献1に記載されている。図5は特許文献1に記載されている従来の超音波流量計を示す制御ブロック図である。
図5において、流体管路4の途中に超音波を発信する第1振動子5と受信する第2振動子6とが流れ方向に配置されている。7は第1振動子5への発信回路、8は第2振動子6で受信した信号の増幅回路で、この増幅された信号は基準信号と比較回路9で比較され、発信から受信までの時間をタイマカウンタのような計時手段10で求め、その超音波伝幡時間に応じて管路の大きさや流れの状態を考慮して流量演算手段11で流量値を求め、この流量演算手段11の値によって発信回路7のトリガ手段13への信号送出のタイミングを調節する。
次にその動作について述べる。トリガ手段13から発信回路7よりバースト信号を送出され第1振動子5で発信された超音波信号は、流れの中を伝幡し第2振動子6で受信され増幅回路8と比較回路9で信号処理され、発信から受信までの時間を計時手段10で測定する。
静止流体中の音をc、流体の流れの速さをvとすると、流れの順方向の超音波の伝幡速度は(c+v)となる。振動子5と6の間の距離をL、超音波伝幡軸と管路の中心軸とがなす角度をφとすると、超音波が到達する時間Tは、
T=L/(c+vcosφ) (1)
となり、(1)式より
v=(L/T−c)/cosφ (2)
となり、Lとφが既知ならTを測定すれば流速vが求められる。この流速より流量Qは、通過面積をS、補正計数をKとすれば、
Q=KSv (3)
となる。
図6は前記公報に記載されている従来の超音波流量計の第4の実施例を示す制御ブロック図であり、発信から受信を繰り返し手段15によって繰り返し設定手段16で設定された回数だけ繰り返し、さらに発振と受信の切り換えを切換手段17で行った後、同様に繰り返しを行う。すなわち発振回路7によって第1振動子4から超音波が発生し、この超音波を第2振動子5で受信し、増幅回路8を介し比較回路9に到達すると繰り返し手段16で再びトリガ手段13で発信回路7をトリガする。この繰り返しは繰り返し設定手段15で設定された回数だけ行われ、設定回数に達すると繰り返しに要した時間を計時手段10で計測する。しかる後、切換手段17により第1振動子4と第2振動子5の発信受信を逆に接続し、今度は第2振動子から第1振動子5に向かって超音波を発信し前述と同様に到達時間を求め、この差を流量演算手段11で流量値を演算する。
静止流体中の音をc、流体の流れの速さをvとすると、流れの順方向の超音波の伝幡速度は(c+v)、逆方向の伝幡速度は(c−v)となる。振動子7と8の間の距離をL、超音波伝幡軸と管路の中心軸とがなす角度をφ、繰り返し回数をnとすると、順方向と逆方向のそれぞれの繰り返し時間T1とT2は、
T1=n×L/(c+vcosφ) (4)
T2=n×L/(c−vcosφ) (5)
となり、(4)、(5)式より
v=n×L/2cosφ×(1/T1−1/T2) (6)
となり、Lとφが既知ならT1とT2を測定すれば流速vが求められる。
しかしながらT1とT2の差は流量が小さくかつ繰り返し回数が小さいときには極めて微小であり、正確に計ることが困難であるので測定回数を多く設定し誤差を比較的小さくし、流量が大きくなるとT1−T2の差も大きくなるので測定が容易になりその場合には繰り返し設定の回数を小さくしてサンプリング間隔を速くして誤差を小さくする。
すなわち、流量演算手段11によって繰り返し設定手段15の回数を変更する。また、特開平10−30947号公報には、超音波を用いて高精度な超音波伝播時間の測定を短時間で、かつ、低消費電力で行う計測方法が記載されている。
これは図7に示されるように、超音波信号を送受信する振動子25と振動子25の交流受信信号を複数周期にわたって閾値と比較する比較手段29と、振動子25の送信から比較手段29による検出ごとの複数の伝播時間を計測する計時手段31と、計時手段31の計時値の平均値より伝播時間を算出する時間演算手段32とを備えたものである。これによって1回の超音波送受信によって何度も比較手段で比較を行った計測値が得られるので、その平均値を求めることによって高精度な伝播時間の測定値が短時間で得られ、低消費電力で計測を行うことができるように記載されている。
特許文献1および、特許文献2はいずれも、2つの振動子を用いて、送信と受信とを切り替え、それぞれの受信波形から求められる超音波の伝播時間から流速を求めて、流量を演算する方式である。
特開平8―122117号公報 特開平10−30947号公報
流量は流速から求められ、流速は式(6)より、順方向と逆方向のそれぞれの繰り返し時間T1とT2の逆数の差で表される。逆数差は(T1−T2)と近似することが出来る。
流体が流れる管路(流路とも呼ぶ)の大きさにもよるが、2000リッター/時間から6000リッター/時間の気体を測定する超音波流量計の大きさであれば、(T1−T2)が1×10−9秒であれば約2リッター/時間に相当し、1リッター/時間の分解能を得ようとすると、大変な精度で時間を計測する必要がある。
また、第1、2振動子(超音波センサとも呼ぶ)の出力は微弱で、電圧10−3V、電流20×10−6Aのものである。従って、この出力に外部からの電気的なノイズが重畳すると高精度な測定ができなくなる。このため従来の超音波流量計は、流体を導く流路と、前記流路に設けられた超音波センサと、前記超音波センサの信号処理部と、前記信号処理部を制御する制御部と、前記制御部に外部からの信号を受信するために設けた端子台とを備え、前記端子台と前記制御部の間にノイズフィルタ部とを設けるようにしている。さらに、十分なノイズ除去を行うため、端子台と外部機器とを接続するコードにもノイズフィルタ部を設ける構成としており、ノイズフィルタの構成が大規模になっているという課題がある。
ノイズがどのように計測に影響を与えるか、そのメカニズムを解析した。その結果以下のことが明確になった。端子台に取り付けられた外部機器との接続用のコードがアンテナとなり、ノイズとなる高周波の電磁波が重畳し、コードを伝播して端子台から超音波流量計の筐体内部に侵入する。このノイズをノイズフィルタ部で減衰させてはいるが、ノイズフィルタ部でさらに電磁波の放射が行われ、それが制御部、信号処理部に放射されて影響を与えている。このため、ある強度以上のノイズがノイズフィルタに侵入した場合は、ノイズフィルタの減衰能力を高めてもさほど効果が上がらない。そこで、ノイズフィルタ部からの輻射を低減する必要がある。さらに、端子台からある強度以上のノイズが侵入すると、そこからの輻射が制御部、信号処理部に放射されるのでノイズフィルタの効果がなくなる。
このため、本発明の超音波流量計は、端子台、ノイズフィルタ部をシールドする構成とする。また、輻射されたノイズは超音波センサのリード線や、プリント基板上のラインに重畳することが計測に影響を与えているため、これらのラインやリード線をノイズが重畳しにくい構成とする。
本発明によれば、大規模なノイズフィルタの構成を取らずに30V/m程度の強電界ノイズに耐えることができるようになる。当然、端子台と外部機器とを接続するコードに必要であったノイズフィルタ部は削減できる。
(実施の形態1)
流体を導く流路と、前記流路に設けられた超音波センサと、前記超音波センサからの信号を処理する信号処理部と、前記信号処理部を制御する制御部と、前記制御部に外部からの信号を受信するために設けた部端子台と前記端子台と前記制御部の間に設けられたノイズフィルタ部とを備え、前記端子台はシールド部材で複数の面を覆うようにし、シールド部材は直接またはコンデンサを介して筐体と電気的に接続する。
図1は本発明の実施の形態1における超音波流量計の構成を示す断面模式図である。流路51は流体の通る管で、途中に超音波センサ52、53が設けてある。超音波センサ52、53はリード線で信号処理部54が設けられているプリント基板55と接続される。また、プリント基板55には制御部56、ノイズフィルタ部57、端子台58も設けられている。端子台58はシールド部材59で複数の面を覆うようにしている。シールド部材59は金属製の筐体60と電気的に直接または、コンデンサを介して接続される。コンデンサは問題となるノイズが高周波であるため、ある程度の容量を持っていれば、高周波でのコンデンサのインピーダンスは小さくなり、実質上直接接続と同じような効果が得られる。端子台58にはコード61が接続され外部機器との電気信号のやり取りを行う。
外部からの高周波電磁波ノイズは、コード61がアンテナとなって超音波流量計へ侵入する。しかしながら、端子台58がシールド部材59で囲まれているので筐体61と端子台58との間の高周波におけるインピーダンスは小さくなっている。このためコード61から侵入する高周波電磁波ノイズは低減される。
図2は概観斜視図で、同図(a)は端子台58、同図(b)はシールド部材59であり、端子台58はプリント基板55に半田付けされるピン70を有する。シールド部材59は上蓋のない箱形状で金属製である。端子台58はシールド部材59にはめ込みプリント基板55に半田付けされる。
図3は同じく、端子台58とシールド部材59を示しており、同図(a)は端子台58の側面図、同図(b)はシールド部材59の上面図である。シールド部材59には端子台のピン70が通る穴71を設けている。このように端子台58はシールド部材59により、側面と底面を囲まれている。端子台58を囲む面が多いほど、筐体60と端子台58との間の高周波におけるインピーダンスは小さくなるので有利である。とりわけ、端子台58底面のシールド部材59部分は、プリント基板55のパターンが近いため重要である。
(実施の形態2)
ノイズフィルタ部はシールド部材で複数の面を覆うようにし、シールド部材は直接またはコンデンサを介して筐体と電気的に接続する。
図1において、ノイズフィルタ部57はシールド部材B62で複数の面を覆うようにしている。
これは、ノイズフィルタ部57から輻射される高周波電磁波ノイズを遮蔽するためであり、シールド部材B62を直接またはコンデンサを介して筐体60と電気的に接続することで、シールド部材B62と筐体60との間の高周波におけるインピーダンスを低減し高周波電磁波ノイズを低減する。
(実施の形態3)
ノイズフィルタ部と制御部と端子台は一枚のプリント基板上に設けられ、ノイズフィルタ部は前記プリント基板の上下からシールド部材でシールドされ、前記シールド部材は前記プリント基板に設けられた基準電位のパターンと複数の箇所で電気的に接続する。
図4はノイズフィルタ部57、制御部56、端子台58を一枚のプリント基板55に設け、ノイズフィルタ部57はプリント基板55の上下から金属製のシールド部材B62で覆い、シールド部材B62はプリント基板55に設けられた基準電位のパターンと複数の箇所で電気的に結合する。さらに、基準電位のパターンと筐体60とは電気的に直接またはコンデンサを介して接続される。
このためシールド部材B62と筐体60との間の高周波におけるインピーダンスが低減されるので、高周波電磁波ノイズが低減する。この場合、プリント基板55は薄いことが望ましい。
(実施の形態4)
信号処理部はプリント基板上に構成され、前記信号処理部の基準電位のパターンは前記信号処理部の近い箇所から筐体へ電気的に直接またはコンデンサを介して接続するようにする。
図1おいて信号処理部54はプリント基板55に構成され、信号処理部54の基準電位のパターン63は信号処理部54に近い箇所64から筐体60へ電気的に直接またはコンデンサを介して接続するようにする。信号処理部54に遠い箇所から筐体60へ電気的に直接またはコンデンサを介して接続するようにすると、その箇所の基準電位パターンの電位と、信号処理部54に近い箇所の基準電位パターンの電位とが、高周波ノイズの影響で異なるようになり計測精度の悪化を招くことになる。
(実施の形態5)
超音波センサと、プリント基板上に設けられた信号処理部とは、シールドされたリード線で接続され、前記シールドは前記プリント基板上の基準電位のパターンに接続され、かつ前記プリント基板上で信号処理部に導かれるラインの近傍には基準電位のパターンを設けるようにする。
図1において、超音波センサ52,53とプリント基板55との接続に用いているリード線はシールドされたリード線65を用い、シールドとなるリード線外周に設けられたシールド(網線を用いる)はプリント基板上55の基準電位のパターン63に接続している。高周波の電磁界ノイズが微小信号である超音波センサの信号を導くリード線に重畳して、信号処理部54に侵入することがあるため、リード線の筐体との間のインピーダンスを下げる必要がある。そのための手段としてリード線をシールドする。さらに、シールドされたリード線のシールドはプリント基板上55の基準電位のパターン63に接続して、筐体との同電位になるようにしている。
(実施の形態6)
超音波センサと、電池と、流路への流体の出入りを止める遮断弁と、圧力や温度などを検知するセンサとなど要素部品を備え、これらの要素部品はリード線で制御部と信号処理部が設けられたプリント基盤に電気的にリード線で接続され、前記超音波センサとプリント基盤とを接続するリード線は、遮断弁と、圧力や温度などを検知するセンサとプリント基盤とを接続するリード線とは分離するようにする。
図1において、遮断弁66は、それを制御する制御部56が設けられているプリント基板55と電気的に接続するためにリード線67を用いている。また、圧力センサ68も同様にリード線69を用いている。さらに、電池40はプリント基板55に電力供給をおこなうためにリード線で接続されている。遮断弁66や圧力センサ68は比較的インピーダンスが高いので、それらのリード線67、69はアンテナとなりやすく、高周波の電磁波ノイズが重畳しやすくなる。このため、超音波センサ52,53のリード線65と、リード線67、69とは分離して配置するようにすることで、ノイズの伝播を阻止するようにしている。電池は比較的インピーダンスが低いので、そのリード線はアンテナとなりにくく、従ってこのリード線に超音波センサの52,53のリード線65が接近することは許容されやすい。
(実施の形態7)
端子台と前記端子台のシールド部材との間で放電ギャップを設ける構成とする。シールド部材は端子台のピンの近傍まで存在することが望ましいが、その両者の距離により雷サージ電圧発生時に放電するか、またはしないかが決まる。雷サージ電圧発生時に放電が行われるように距離を設定することにより、放電により雷サージのエネルギーが減少し、ノイズフィルタ部に構成される雷サージのエネルギーを吸収するサージアブソーバや抵抗、コイルの部品のエネルギー容量を低減することができる。すなわち小型化や削減することができる。
図3において、ピン70の直径と、シールド部材59の孔の直径71との関係で放電する電圧が決まる。なぜなら、シールド部材59は筐体60と電気的に直接またはコンデンサを介して接続されており、雷サージ電圧は筐体と端子台58のピン70の間に印加するためである。この部分で、雷サージ電圧が発生した場合、放電するようにしておくと、雷サージエネルギーが放電により消費されるので、イズフィルタ部に構成される雷サージのエネルギーを吸収するサージアブソーバや抵抗、コイルの部品のエネルギー耐量を低減することができる。
以上のように、本発明にかかる超音波流量計は、外部からの電気(電磁波)ノイズが、計測に影響を与えにくいものとすることができるので、正確な計測が要求される、天然ガスや液化石油ガスの流量を測定する業務用や家庭用の超音波式ガス流量測定装置(ガスメータ)の用途に展開できる。
本発明の超音波流量計の構造を示す断面模式図 (a)端子台の構造を示す断面模式図(b)本発明のシールド部材の構造を示す断面模式図 (a)端子台の側面図(b)本発明のシールド部材の上面図 本発明のプリント基板の構成を示す断面模式図 従来の超音波流量計の構成を示す制御ブロック図 従来の超音波流量計の構成を示す制御ブロック図 従来の超音波流量計の構成を示す制御ブロック図
符号の説明
51 流路
52 超音波センサA
53 超音波センサB
54 信号処理部
55 プリント基板
56 制御部
57 ノイズフィルタ部
58 端子台
59 シールド部材
60 筐体
62 シールド部材B
63 基準電位のパターン
65 シールドされたリード線
66 遮断弁
67 遮断弁のリード線
68 圧力センサ
69 圧力センサのリード線

Claims (7)

  1. 流体を導く流路と、前記流路に設けられた超音波センサと、前記超音波センサからの信号を処理する信号処理部と、前記信号処理部を制御する制御部と、前記制御部に外部からの信号を受信するために設けた端子台と前記端子台と前記制御部の間に設けられたノイズフィルタ部とを備え、前記端子台はシールド部材で複数の面を覆うようにした超音波流量計。
  2. ノイズフィルタ部はシールド部材で複数の面を覆うようにした請求項1記載の超音波流量計。
  3. ノイズフィルタ部と制御部と端子台は一枚のプリント基板上に設けられ、ノイズフィルタ部は前記プリント基板の上下からシールド部材でシールドされ、前記シールド部材は前記プリント基板に設けられた基準電位のパターンと複数の箇所で電気的に接続した請求項2記載の超音波流量計。
  4. 信号処理部はプリント基板上に構成され、前記信号処理部の基準電位のパターンは前記信号処理部の近い箇所から筐体へ電気的に直接またはコンデンサを介して接続するようにした請求行1記載の超音波流量計。
  5. 超音波センサと、プリント基板上に設けられた信号処理部とは、シールドされたリード線で接続され、前記シールドは前記プリント基板上の基準電位のパターンに接続され、かつ前記プリント基板上で信号処理部に導かれるラインの近傍には基準電位のパターンを設けるようにした請求項1記載の超音波流量計。
  6. 超音波センサと、電池と、流路への流体の出入りを止める遮断弁と、圧力や温度などを検知するセンサとなど要素部品を備え、これらの要素部品はリード線で制御部と信号処理部が設けられたプリント基盤に電気的にリード線で接続され、前記超音波センサとプリント基盤とを接続するリード線は、遮断弁と、圧力や温度などを検知するセンサとプリント基盤とを接続するリード線とは分離するようにした請求項1記載の超音波流量計。
  7. 端子台と前記端子台のシールド部材との間で放電ギャップを設ける構成とした請求項1記載の超音波流量計。
JP2006351253A 2006-12-27 2006-12-27 超音波流量計 Pending JP2008164330A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006351253A JP2008164330A (ja) 2006-12-27 2006-12-27 超音波流量計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006351253A JP2008164330A (ja) 2006-12-27 2006-12-27 超音波流量計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008164330A true JP2008164330A (ja) 2008-07-17

Family

ID=39694044

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006351253A Pending JP2008164330A (ja) 2006-12-27 2006-12-27 超音波流量計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008164330A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102096029A (zh) * 2010-11-27 2011-06-15 山东电力集团公司济宁供电公司 特高频电磁波信号检测传感器盒
CN106768108A (zh) * 2017-02-01 2017-05-31 贺成 一种插入式超声波流量计

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08171816A (ja) * 1994-03-31 1996-07-02 Ricoh Co Ltd シールド線
JPH09164216A (ja) * 1995-12-14 1997-06-24 Hitachi Medical Corp 放射線治療装置
JPH116752A (ja) * 1997-06-16 1999-01-12 Hitachi Ltd 熱式空気流量センサ
JPH1151730A (ja) * 1997-08-07 1999-02-26 Hitachi Ltd 空気流量測定装置
JPH11230794A (ja) * 1998-02-13 1999-08-27 Yazaki Corp Lpガス計量装置
JP2000196289A (ja) * 1998-12-25 2000-07-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd Emi対策手法と情報処理装置
JP2000357546A (ja) * 1999-06-11 2000-12-26 Densei Lambda Kk 端子部材
JP2001085884A (ja) * 1999-09-10 2001-03-30 Sony Computer Entertainment Inc 電磁シールド板、電磁シールド構造体及びエンタテインメント装置
JP2003308996A (ja) * 2002-04-16 2003-10-31 Sharp Corp 高周波機器用シールドケース及び高周波機器

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08171816A (ja) * 1994-03-31 1996-07-02 Ricoh Co Ltd シールド線
JPH09164216A (ja) * 1995-12-14 1997-06-24 Hitachi Medical Corp 放射線治療装置
JPH116752A (ja) * 1997-06-16 1999-01-12 Hitachi Ltd 熱式空気流量センサ
JPH1151730A (ja) * 1997-08-07 1999-02-26 Hitachi Ltd 空気流量測定装置
JPH11230794A (ja) * 1998-02-13 1999-08-27 Yazaki Corp Lpガス計量装置
JP2000196289A (ja) * 1998-12-25 2000-07-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd Emi対策手法と情報処理装置
JP2000357546A (ja) * 1999-06-11 2000-12-26 Densei Lambda Kk 端子部材
JP2001085884A (ja) * 1999-09-10 2001-03-30 Sony Computer Entertainment Inc 電磁シールド板、電磁シールド構造体及びエンタテインメント装置
JP2003308996A (ja) * 2002-04-16 2003-10-31 Sharp Corp 高周波機器用シールドケース及び高周波機器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102096029A (zh) * 2010-11-27 2011-06-15 山东电力集团公司济宁供电公司 特高频电磁波信号检测传感器盒
CN106768108A (zh) * 2017-02-01 2017-05-31 贺成 一种插入式超声波流量计

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9766283B2 (en) Transformer fault detection apparatus and method
KR0170815B1 (ko) 초음파 다회선 유량계
EP2633275B1 (en) Ultrasonic flow meter with zero impedance measuring electronics
US20190078927A1 (en) Sensor
JP2007271613A (ja) 超音波流量測定装置
CN102564364B (zh) 用于测量试件壁厚的电磁超声传感器及其测量方法
CN201795821U (zh) 超声波流量计
JP2007519895A5 (ja)
CN104596601B (zh) 八声道超声波流量计传感器
US20190107419A1 (en) Hydraulic system for ultrasonic flow measurement using reflective acoustic path approach
KR20160133084A (ko) 초음파 센서를 이용한 정밀 풍향풍속 관측 장치 및 그 운용방법
CN209910736U (zh) 一种可自动校正的大量程双向测量流量计
JP2008164330A (ja) 超音波流量計
KR101630301B1 (ko) 자기왜곡방식의 거리측정을 이용한 테이퍼관형 면적식 유량계
JP6838807B2 (ja) 超音波式気体センサ装置
CN104614027B (zh) 超声波测量装置的测量方法
EP2722654B1 (en) Fluid flow metering apparatus
CN210664620U (zh) 一种超声波水表
JP4760115B2 (ja) 流体の流れ計測装置
EP2955509A1 (en) Moisture meter
JP2005091332A (ja) 超音波流量計
JP2008164329A (ja) 超音波流量計
JP5229349B2 (ja) 流体の流れ計測装置
KR20110024368A (ko) 전자유량계
JP2009270882A (ja) 超音波流量計

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090909

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20091014

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111227

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120216

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120306

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20120626