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JP2008152040A - Microlens array manufacturing method, microlens array, organic EL line head using the same, and image forming apparatus - Google Patents

Microlens array manufacturing method, microlens array, organic EL line head using the same, and image forming apparatus Download PDF

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JP2008152040A
JP2008152040A JP2006340192A JP2006340192A JP2008152040A JP 2008152040 A JP2008152040 A JP 2008152040A JP 2006340192 A JP2006340192 A JP 2006340192A JP 2006340192 A JP2006340192 A JP 2006340192A JP 2008152040 A JP2008152040 A JP 2008152040A
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JP
Japan
Prior art keywords
microlens array
transparent substrate
lens
array
mold
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2006340192A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yujiro Nomura
雄二郎 野村
Takeshi Ikuma
健 井熊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2006340192A priority Critical patent/JP2008152040A/en
Publication of JP2008152040A publication Critical patent/JP2008152040A/en
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Abstract

【課題】光学的性能が良く、両面のレンズ面の光軸ずれが小さい有機ELラインヘッド等に用いるマイクロレンズアレイの製造方法。
【解決手段】 マイクロレンズアレイのそれぞれのレンズ面に対応する型面92、94を持つ金型82、84に光硬化性樹脂76を注入し、その上にそれぞれの透明基板71、73を載せ、その金型に設けられた位置決め手段を用いて透明基板を位置決めし、透明基板71、73側から光照射して光硬化性樹脂76、76’を硬化させることにより2つのレンズアレイ61 、62 を成形し、2つのレンズアレイ61 、62 をそれぞれの成形の際の位置決めに用いた位置決め部を用いて相互に位置合わせして一体化することでマイクロレンズアレイを作製する。
【選択図】図16
A method of manufacturing a microlens array for use in an organic EL line head or the like having good optical performance and a small optical axis shift between lens surfaces on both sides.
SOLUTION: A photo-curable resin 76 is injected into molds 82 and 84 having mold surfaces 92 and 94 corresponding to respective lens surfaces of a microlens array, and transparent substrates 71 and 73 are placed thereon, respectively. The two lens arrays 6 1 , 6 are positioned by positioning the transparent substrate using positioning means provided in the mold, and irradiating light from the transparent substrate 71, 73 side to cure the photocurable resins 76, 76 ′. 2 is formed, and the two lens arrays 6 1 and 6 2 are aligned and integrated with each other using the positioning portions used for positioning in the respective molding, thereby producing a microlens array.
[Selection] Figure 16

Description

本発明は、マイクロレンズアレイの製造方法とその方法で製造されたマイクロレンズアレイ、それを用いた有機ELラインヘッド及び画像形成装置に関するものである。   The present invention relates to a method of manufacturing a microlens array, a microlens array manufactured by the method, an organic EL line head using the same, and an image forming apparatus.

従来、複数のLEDアレイチップをLEDアレイ方向に配置し、各LEDアレイチップのLEDアレイを対応して配置した正レンズで感光体上に拡大投影し、感光体上で隣接するLEDアレイチップの端部の発光ドットの像同士が同一LEDアレイチップの発光ドットの像間ピッチと同一ピッチで隣接して結像するようにする光書き込みラインヘッド、及び、その光路を逆にして光読み取りラインヘッドとするものが特許文献1で提案されている。   Conventionally, a plurality of LED array chips are arranged in the direction of the LED array, and enlarged and projected onto a photosensitive member with a positive lens in which the LED arrays of the respective LED array chips are arranged correspondingly, and the ends of adjacent LED array chips on the photosensitive member. An optical writing line head that forms images adjacent to each other at the same pitch as the pitch between the light emitting dots of the same LED array chip, and an optical reading line head with the optical path reversed. This is proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228707.

一方、LEDアレイチップの各発光ドットからの発散光を集光するマイクロレンズアレイの製造方法として、フォトリソグラフィーと電鋳によりそのマイクロレンズアレイの型を作り、光硬化性樹脂を用いてガラス基板上に複製するか、熱可塑性樹脂に複製することでマイクロレンズアレイを製造する方法が特許文献2に開示されている。   On the other hand, as a method of manufacturing a microlens array that collects divergent light from each light emitting dot of an LED array chip, a mold of the microlens array is formed by photolithography and electroforming, and a photocurable resin is used on a glass substrate. Patent Document 2 discloses a method of manufacturing a microlens array by copying to a thermoplastic resin or by replicating to a thermoplastic resin.

また、特許文献3には、液晶パネル照明用等のマイクロレンズアレイの製造方法として、ガラス基板の両面にフォトレジストを画素に対応してパターニングして、そのフォトレジストを加熱溶融させて表面張力によりレンズ屈折面に加工することでレンズアレイを形成する方法が開示されている。
特開平2−4546号公報 特開2005−276849号公報 特開平6−208006号公報
In addition, in Patent Document 3, as a method for manufacturing a microlens array for liquid crystal panel illumination or the like, a photoresist is patterned on both surfaces of a glass substrate corresponding to pixels, and the photoresist is heated and melted by surface tension. A method of forming a lens array by processing a lens refractive surface is disclosed.
Japanese Patent Laid-Open No. 2-4546 JP 2005-276849 A JP-A-6-208006

従来、特許文献2に記載されているように、レンズ全体の線膨張を防止するためにガラス基板上に光硬化性樹脂を用いてレンズを成形して、ハイブリッドマイクロレンズアレイを製造する方法が提案されている。この製造方法では、光学的性能の向上のために基板の両面にレンズ屈折面(レンズ面)を成形する必要がある。   Conventionally, as described in Patent Document 2, a method of manufacturing a hybrid microlens array by forming a lens using a photocurable resin on a glass substrate in order to prevent linear expansion of the entire lens is proposed. Has been. In this manufacturing method, it is necessary to form lens refracting surfaces (lens surfaces) on both sides of the substrate in order to improve optical performance.

しかしながら、ガラス基板の両面に光硬化性樹脂を用いて成形する場合、型が金属等の不透明な材質で作られると、光硬化のための光が型で遮られて透過しないため、ガラス基板の両面のレンズ面を同時に成形することができない。   However, when molding using a photocurable resin on both sides of the glass substrate, if the mold is made of an opaque material such as metal, the light for light curing is blocked by the mold and does not pass through. Both lens surfaces cannot be molded simultaneously.

このような場合、両面のレンズ面を成形するために、ガラス基板の一方の面にレンズ面を成形した後、ガラス基板を型から一旦取り外さなければならないため、両面のレンズ面の光軸がずれてしまうという問題点がある。   In such a case, in order to mold the lens surfaces on both sides, the lens surface must be removed from the mold after molding the lens surface on one side of the glass substrate. There is a problem that.

本発明は従来技術のこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、別々に成形した片側平面のマイクロレンズを相互に位置合わせて一体化してなり、光学的性能が良く、両面のレンズ面の光軸ずれが小さい有機ELラインヘッド等に用いるマイクロレンズアレイの製造方法とそのようにして製造したマイクロレンズアレイ、それを用いた有機ELラインヘッド及び画像形成装置を提供することである。   The present invention has been made in view of such problems of the prior art, and its purpose is to integrate and integrally form microlenses on one side, which are separately molded, and has good optical performance. To provide a manufacturing method of a microlens array used for an organic EL line head having a small optical axis deviation between both lens surfaces, a microlens array manufactured in this way, an organic EL line head using the same, and an image forming apparatus. It is.

上記目的を達成する本発明のマイクロレンズアレイの製造方法は、金型を用いて光硬化性樹脂のマイクロレンズアレイを形成する方法であって、
マイクロレンズアレイの一方のレンズ面に対応する型面を持つ第1の金型に光硬化性樹脂を注入し、その上に第1の透明基板を載せ、その際に第1の金型に設けられた第1の位置決め手段を用いて第1の透明基板を位置決めし、
前記第1の透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第1の透明基板の一方の面上に第1のレンズアレイを成形し、
マイクロレンズアレイの他方のレンズ面に対応する型面を持つ第2の金型に光硬化性樹脂を注入し、その上に第2の透明基板を載せ、その際に第2の金型に設けられた第2の位置決め手段を用いて第2の透明基板を位置決めし、
前記第2の透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第2の透明基板の一方の面上に第2のレンズアレイを成形し、
前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイとをそれぞれの成形の際の位置決めに用いた前記第1の透明基板の位置決め部、前記第2の透明基板の位置決め部を用いて相互に位置合わせして一体化することでマイクロレンズアレイを作製することを特徴とする方法である。
The method for producing a microlens array of the present invention that achieves the above object is a method of forming a microlens array of a photocurable resin using a mold,
A photocurable resin is injected into a first mold having a mold surface corresponding to one lens surface of the microlens array, and a first transparent substrate is placed on the first mold. At that time, the first mold is provided. Positioning the first transparent substrate using the first positioning means provided,
Forming a first lens array on one surface of the first transparent substrate by irradiating light from the first transparent substrate side to cure the photocurable resin,
A photocurable resin is injected into a second mold having a mold surface corresponding to the other lens surface of the microlens array, and a second transparent substrate is placed on the second mold, and provided on the second mold. Positioning the second transparent substrate using the second positioning means provided,
Forming a second lens array on one surface of the second transparent substrate by irradiating light from the second transparent substrate side to cure the photocurable resin,
The first lens array and the second lens array are positioned relative to each other using the positioning portion of the first transparent substrate and the positioning portion of the second transparent substrate that are used for positioning at the time of molding. A microlens array is manufactured by combining and integrating.

このように構成することで、光学的性能が良く、両面のレンズ面が高精度で軸合わせがなされた有機ELラインヘッド等に用いるマイクロレンズアレイを容易に作製することができる。   With this configuration, it is possible to easily produce a microlens array for use in an organic EL line head or the like having good optical performance and high-precision axis alignment on both lens surfaces.

この場合、前記位置決め部を前記第1の透明基板、前記第2の透明基板それぞれの直交する2つの側辺とすることができる。   In this case, the positioning portion can be two orthogonal sides of the first transparent substrate and the second transparent substrate.

このように構成することで、第1、第2の透明基板に格別のマークを設けないでも両レンズアレイのレンズ面を相互に高精度で軸合わせすることができる。   With this configuration, the lens surfaces of both lens arrays can be aligned with high accuracy without providing any special marks on the first and second transparent substrates.

また、前記位置決め部を前記第1の透明基板、前記第2の透明基板それぞれの周囲に設けられた機械的なマークとすることができる。   The positioning portion may be a mechanical mark provided around each of the first transparent substrate and the second transparent substrate.

このように構成することで、両レンズアレイのレンズ面を相互に高精度で軸合わせすることができる。そして、この機械的なマークを有機ELラインヘッド等を組み立てるときの位置決め手段としても用いることができ、有機ELラインヘッド等の光学系を高精度で組み立てることができるようになる。   With this configuration, the lens surfaces of both lens arrays can be aligned with each other with high accuracy. This mechanical mark can also be used as a positioning means when assembling an organic EL line head or the like, and an optical system such as an organic EL line head or the like can be assembled with high accuracy.

また、前記位置決め部を前記第1の透明基板、前記第2の透明基板それぞれに設けられた光学的マークとすることができる。   The positioning portion may be an optical mark provided on each of the first transparent substrate and the second transparent substrate.

このように構成することで、両レンズアレイのレンズ面を相互に高精度で軸合わせすることができる。そして、この光学的マークを有機ELラインヘッド等を組み立てるときの位置決め手段としても用いることができ、有機ELラインヘッド等の光学系を高精度で組み立てることができるようになる。   With this configuration, the lens surfaces of both lens arrays can be aligned with each other with high accuracy. And this optical mark can be used also as a positioning means when assembling an organic EL line head or the like, and an optical system such as an organic EL line head or the like can be assembled with high accuracy.

また、前記第1の金型、前記第2の金型に中途まで光硬化性樹脂を注入して前記光硬化性樹脂を半硬化状態にし、次いで、その上にさらに光硬化性樹脂を注入し、その上にそれぞれ前記第1の透明基板、前記第2の透明基板を載せ、前記第1の透明基板、前記第2の透明基板を位置決めし、透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第1の透明基板、前記第2の透明基板の一方の面上にそれぞれ前記第1のレンズアレイ、前記第2のレンズアレイを成形するようにすることが望ましい。   Also, a photocurable resin is injected into the first mold and the second mold halfway to make the photocurable resin semi-cured, and then a further photocurable resin is injected thereon. The first transparent substrate and the second transparent substrate are mounted thereon, the first transparent substrate and the second transparent substrate are positioned, and the photo-curing property is irradiated with light from the transparent substrate side. It is desirable that the first lens array and the second lens array are respectively formed on one surface of the first transparent substrate and the second transparent substrate by curing the resin.

このように構成することで、気泡が入り難くなり、また、硬化の際の収縮による面精度の低下を抑えることができる。   By comprising in this way, a bubble becomes difficult to enter and the fall of the surface precision by shrinkage | contraction in the case of hardening can be suppressed.

また、前記第1の金型、前記第2の金型上での前記光硬化性樹脂の硬化のためのエネルギーが2回目の方がより強い方が望ましい。   Further, it is desirable that the energy for curing the photocurable resin on the first mold and the second mold is stronger in the second time.

このように構成することで、気泡が入り難くなり、また、硬化の際の収縮による面精度の低下を抑えることができる。   By comprising in this way, a bubble becomes difficult to enter and the fall of the surface precision by shrinkage | contraction in the case of hardening can be suppressed.

また、前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイとの間に、マイクロレンズアレイを構成する各レンズの光軸と同心の開口が設けられた遮光膜を配置して一体化することができる。   Further, a light-shielding film provided with an opening concentric with the optical axis of each lens constituting the microlens array may be disposed and integrated between the first lens array and the second lens array. it can.

このように構成することで、マイクロレンズ間のクロストークを防いだりその他の迷光を遮断することができる。   With this configuration, crosstalk between microlenses can be prevented and other stray light can be blocked.

また、前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイとの間に、マイクロレンズアレイを構成する各レンズの光軸と同心の開口が設けられた遮光板を配置して一体化することができる。   Further, a light shielding plate provided with an opening concentric with the optical axis of each lens constituting the microlens array may be disposed and integrated between the first lens array and the second lens array. it can.

このように構成することで、マイクロレンズ間のクロストークを防いだりその他の迷光を遮断することができる。また、その遮光板を第1のレンズアレイと第2のレンズアレイの間のスペーサとすることができ、何れかのレンズ面をマイクロレンズアレイの内部に配置することができるようになる。   With this configuration, crosstalk between microlenses can be prevented and other stray light can be blocked. Further, the light shielding plate can be used as a spacer between the first lens array and the second lens array, and any one of the lens surfaces can be arranged inside the microlens array.

その場合に、前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイと少なくとも一方の透明基板側が外に向くような配置で両者を一体化することができる。   In that case, the first lens array, the second lens array, and at least one of the transparent substrates can be integrated so as to face outward.

このように構成することで、マイクロレンズアレイの例えば像側の面を平面とすることができ、例えば画像形成装置のラインヘッドのマイクロレンズアレイとして用いるとき、現像剤のトナーが飛散してマイクロレンズアレイのその平面に付着しても簡単に清掃できクリーニング性が向上することになる。   With this configuration, for example, the image-side surface of the microlens array can be a flat surface. For example, when the microlens array is used as a microlens array of a line head of an image forming apparatus, the developer toner scatters and the microlens Even if it adheres to the flat surface of the array, it can be easily cleaned and the cleaning performance is improved.

その場合、前記第1のレンズアレイ又は前記第2のレンズアレイの透明基板側が外に向くように配置され、その外側の透明基板面に有機ELからなる複数の発光素子が列状に配置されてなる発光素子列を1列以上含む発光体ブロックがマイクロレンズアレイを構成する各レンズに対応して各々配置されているものとすることができる。   In this case, the first lens array or the second lens array is arranged so that the transparent substrate side faces outward, and a plurality of light emitting elements made of organic EL are arranged in a row on the outer transparent substrate surface. The light emitter blocks each including one or more light emitting element rows can be arranged corresponding to the lenses constituting the microlens array.

このように構成することで、マイクロレンズアレイの一方のガラス基板を有機EL装置のガラス基板と兼用させることができ、部品点数の削減、温度変化によるレンズと発光体ブロックのずれがなくなる。   With this configuration, one glass substrate of the microlens array can be used also as the glass substrate of the organic EL device, and the number of components is reduced, and the lens and the light emitter block are not displaced due to a temperature change.

本発明のもう1つのマイクロレンズアレイの製造方法は、金型を用いて樹脂性のマイクロレンズアレイを形成する方法であって、
マイクロレンズアレイの一方のレンズ面に対応する型面を持つ第1の金型を用いて反対の面が平面の樹脂性の第1のマイクロレンズアレイを成形し、
マイクロレンズアレイの他方のレンズ面に対応する型面を持つ第2の金型を用いて反対の面が平面の樹脂性の第2のマイクロレンズアレイを成形し、
前記第1のマイクロレンズアレイと前記の第2のマイクロレンズアレイをその平面側で透明基板の両面に貼り付けて一体化し、 その貼り付けの際に、前記第1のマイクロレンズアレイと前記第2のマイクロレンズとをそれぞれの成形の際の位置決めに用いた位置決め部を用いて相互に位置合わせして一体化することでマイクロレンズアレイを作製することを特徴とする方法である。
Another microlens array manufacturing method of the present invention is a method of forming a resinous microlens array using a mold,
Using a first mold having a mold surface corresponding to one lens surface of the microlens array, a first microlens array having a resinous surface opposite to the surface is molded.
Using a second mold having a mold surface corresponding to the other lens surface of the microlens array, a second microlens array having a flat resin surface is formed on the opposite side,
The first microlens array and the second microlens array are bonded and integrated on both sides of the transparent substrate on the plane side, and the first microlens array and the second microlens array are integrated when the bonding is performed. The microlens array is manufactured by aligning and integrating the microlenses with the microlenses using a positioning portion used for positioning in each molding.

このように構成することで、光学的性能が良く、両面のレンズ面が高精度で軸合わせがなされた有機ELラインヘッド等に用いるマイクロレンズアレイを容易に作製することができる。   With this configuration, it is possible to easily produce a microlens array for use in an organic EL line head or the like having good optical performance and high-precision axis alignment on both lens surfaces.

本発明のマイクロレンズアレイは、第1の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第1の片面平面マイクロレンズアレイと、第2の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第2の片面平面マイクロレンズアレイとがレンズ屈折面部相互が軸合わせされるように一体化されてなり、同一のマイクロレンズが所定方向に一定ピッチで一列に配置され、それと直交する方向にはN個の同様のマイクロレンズ列が配置され、N個のマイクロレンズ列は、先頭のマイクロレンズの位置がN分の1ピッチずつずらして配列されていることを特徴とするものである。   The microlens array of the present invention includes a first single-sided planar microlens array in which a curved lens refracting surface portion having a predetermined shape made of a transparent resin is integrally formed on one surface of a first transparent substrate, A second single-sided microlens array in which a curved lens refracting surface portion of a predetermined shape made of transparent resin is integrally formed on one surface of the transparent substrate is integrated so that the lens refracting surface portions are aligned with each other. The same microlens is arranged in a row at a constant pitch in a predetermined direction, and N similar microlens rows are arranged in a direction orthogonal to the predetermined microlens row, and the N microlens rows are arranged in the first microlens row. The positions are arranged with a shift of 1 / N pitch.

このように構成することで、有機ELラインヘッドに特に適した構成のマイクロレンズアレイとなる。   With this configuration, a microlens array having a configuration particularly suitable for an organic EL line head is obtained.

この場合に、前記第1の透明基板及び前記第2の透明基板の周囲に機械的なマークが設けられるか、前記第1の透明基板及び前記第2の透明基板に光学的マークが設けられていることが望ましい。   In this case, mechanical marks are provided around the first transparent substrate and the second transparent substrate, or optical marks are provided on the first transparent substrate and the second transparent substrate. It is desirable.

このように構成することで、機械的なマークあるいは光学的マークを有機ELラインヘッド等を組み立てるときの位置決め手段としても用いることができ、有機ELラインヘッド等の光学系を高精度で組み立てられることができるようになる。   With this configuration, mechanical marks or optical marks can be used as positioning means when assembling an organic EL line head or the like, and an optical system such as an organic EL line head can be assembled with high accuracy. Will be able to.

本発明の有機ELラインヘッドは、主走査方向に複数の発光素子が列状に配置されてなる発光素子列を1列以上含む発光体ブロックが少なくとも主走査方向に間隔をおいて複数配置された有機EL発光体アレイの射出側に、各発光体ブロックに対応して各々1個の正レンズが整列するように配置されたマイクロレンズアレイが前記有機EL発光体アレイに平行に配置されており、前記マイクロレンズアレイとして、第1の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第1の片面平面マイクロレンズアレイと、第2の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第2の片面平面マイクロレンズアレイとがレンズ屈折面部相互が軸合わせされるように一体化されてなるマイクロレンズアレイであって、前記第1の透明基板及び前記第2の透明基板に位置決めのための機械的又は光学的なマークが設けられているものを用いることを特徴とするものである。   In the organic EL line head of the present invention, a plurality of light emitter blocks each including at least one light emitting element row in which a plurality of light emitting elements are arranged in a row in the main scanning direction are arranged at least in the main scanning direction. On the emission side of the organic EL light emitter array, a microlens array is arranged in parallel with the organic EL light emitter array so that one positive lens is aligned with each of the light emitter blocks. As the microlens array, a first single-sided planar microlens array in which a curved lens refracting surface portion of a predetermined shape made of a transparent resin is integrally formed on one surface of a first transparent substrate, and a second transparent substrate A lens refracting surface portion is axially aligned with a second single-sided planar microlens array in which a curved lens refracting surface portion of a predetermined shape made of transparent resin is integrally formed on one surface of A microlens array integrated with each other, wherein the first transparent substrate and the second transparent substrate are provided with mechanical or optical marks for positioning. To do.

このように構成することで、光学系が高精度で組み立てられた有機ELラインヘッドが得られる。   With this configuration, an organic EL line head in which the optical system is assembled with high accuracy can be obtained.

また、像担持体の周囲に帯電手段と、以上のような有機ELラインヘッドと、現像手段と、転写手段との各画像形成用ユニットを配した画像形成ステーションを少なくとも2つ以上設け、転写媒体が各ステーションを通過することにより、タンデム方式で画像形成を行う画像形成装置を構成することができる。   In addition, at least two or more image forming stations in which image forming units including a charging unit, the organic EL line head as described above, a developing unit, and a transfer unit are arranged around the image carrier are provided, and a transfer medium By passing through each station, it is possible to configure an image forming apparatus that forms an image by a tandem method.

このように構成することで、小型で解像力が高く画像の劣化の少ないプリンター等の画像形成装置を構成することができる。   With this configuration, it is possible to configure an image forming apparatus such as a printer that is small in size and has high resolution and little image deterioration.

本発明のマイクロレンズアレイの製造方法とマイクロレンズアレイ、それを用いた有機ELラインヘッドを詳細に説明する前に、マイクロレンズアレイを用いた有機ELラインヘッドについて簡単に説明しておく。   Before describing in detail the method of manufacturing a microlens array of the present invention, the microlens array, and the organic EL line head using the microlens array, the organic EL line head using the microlens array will be briefly described.

図4は、本発明の1実施形態に係る発光体アレイ1と光学倍率がマイナスのマイクロレンズ5との対応関係を示す説明図である。この実施形態のラインヘッドにおいては、1つのマイクロレンズ5に2列の発光素子が対応している。ただし、マイクロレンズ5が光学倍率がマイナス(倒立結像)の結像素子であるので、発光素子の位置が主走査方向及び副走査方向で反転している。すなわち、図1の構成では、像担持体の移動方向の上流側(1列目)に偶数番号の発光素子(8、6、4、2)を配列し、同下流側(2列目)には奇数番号の発光素子(7、5、3、1)を配列している。また、主走査方向の先頭側に番号が大きな発光素子を配列している。なお、この実施形態の発光体アレイ1としては、後で説明する有機EL装置が用いられる。   FIG. 4 is an explanatory diagram showing a correspondence relationship between the light emitter array 1 according to the embodiment of the present invention and the microlens 5 having a negative optical magnification. In the line head of this embodiment, two rows of light emitting elements correspond to one microlens 5. However, since the microlens 5 is an imaging element having a negative optical magnification (inverted imaging), the position of the light emitting element is reversed in the main scanning direction and the sub-scanning direction. That is, in the configuration of FIG. 1, even-numbered light emitting elements (8, 6, 4, 2) are arranged on the upstream side (first row) in the moving direction of the image carrier, and on the downstream side (second row). Are arranged with odd-numbered light emitting elements (7, 5, 3, 1). In addition, a light emitting element having a large number is arranged on the head side in the main scanning direction. Note that an organic EL device described later is used as the light emitter array 1 of this embodiment.

図1〜図3は、この実施形態のラインヘッドの1つのマイクロレンズに対応する部分の斜視図である。図2に示してあるように、像担持体41の下流側に配列された奇数番号の発光素子2に対応した像担持体41の結像スポット8aは、主走査方向で反転した位置に形成される。Rは、像担持体41の移動方向である。また、図3に示されるように、像担持体41の上流側(1列目)に配列された偶数番号の発光素子2に対応した像担持体41の結像スポット8bは、副走査方向で反転した下流側の位置に形成される。しかしながら、主走査方向では、先頭側からの結像スポットの位置は、発光素子1〜8の番号で順番に対応している。したがって、この例では像担持体の副走査方向における結像スポット形成のタイミングを調整することにより、主走査方向に同列に結像スポットを形成することが可能であることが分かる。   1 to 3 are perspective views of a portion corresponding to one microlens of the line head of this embodiment. As shown in FIG. 2, the image spot 8a of the image carrier 41 corresponding to the odd-numbered light emitting elements 2 arranged on the downstream side of the image carrier 41 is formed at a position reversed in the main scanning direction. The R is the moving direction of the image carrier 41. Further, as shown in FIG. 3, the imaging spot 8b of the image carrier 41 corresponding to the even-numbered light emitting elements 2 arranged on the upstream side (first row) of the image carrier 41 is in the sub-scanning direction. It is formed at the inverted downstream position. However, in the main scanning direction, the positions of the imaging spots from the head side correspond to the light emitting elements 1 to 8 in order. Therefore, in this example, it is understood that the imaging spots can be formed in the same row in the main scanning direction by adjusting the timing of forming the imaging spots in the sub scanning direction of the image carrier.

図5は、画像データが格納されているラインバッファのメモリテーブル10の例を示す説明図である。図5のメモリテーブル10は、図4の発光素子の番号に対して、主走査方向で反転して格納されている。図5において、ラインバッファのメモリテーブル10に格納された画像データの中、先に像担持体41の上流側(1列目)の発光素子に対応する第1の画像データ(1、3、5、7)を読み出し、発光素子を発光させる。次に、T時間後に、メモリアドレスに格納されている像担持体41の下流側(2列目)の発光素子に対応する第2の画像データ(2、4、6、8)を読み出し、発光させる。このようにして、図6に8の位置で示されるように、像担持体上の1列目の結像スポットが2列目の結像スポットと主走査方向で同列に形成される。   FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of the memory table 10 of the line buffer in which image data is stored. The memory table 10 in FIG. 5 is stored with being inverted in the main scanning direction with respect to the light emitting element numbers in FIG. In FIG. 5, among the image data stored in the memory table 10 of the line buffer, first image data (1, 3, 5, 5) corresponding to the light emitting elements on the upstream side (first row) of the image carrier 41 first. 7) to read out the light emitting element. Next, after T time, the second image data (2, 4, 6, 8) corresponding to the light emitting elements on the downstream side (second row) of the image carrier 41 stored in the memory address is read and emitted. Let In this way, as indicated by the position 8 in FIG. 6, the first row of imaging spots on the image carrier is formed in the same row as the second row of imaging spots in the main scanning direction.

図1は、図5のタイミングで画像データを読み出して結像スポットを形成する例を、概念的に示す斜視図である。図5を参照にして説明したように、先に像担持体41の上流側(1列目)の発光素子を発光させ、像担持体41に結像スポットを形成する。次に、所定のタイミングT経過後に像担持体41の下流側(2列目)の奇数番号の発光素子を発光させ、像担持体に結像スポットを形成する。この際に、奇数番号の発光素子による結像スポットは、図2で説明した8aの位置ではなく、図6に示されているように、主走査方向に同列に8の位置に形成されることになる。   FIG. 1 is a perspective view conceptually showing an example in which image data is read out at the timing of FIG. 5 to form an imaging spot. As described with reference to FIG. 5, the light emitting element on the upstream side (first row) of the image carrier 41 is first caused to emit light, thereby forming an imaging spot on the image carrier 41. Next, after a predetermined timing T has elapsed, the odd-numbered light emitting elements on the downstream side (second row) of the image carrier 41 are caused to emit light, thereby forming an imaging spot on the image carrier. At this time, the imaging spot formed by the odd-numbered light emitting elements is not formed at the position 8a described in FIG. 2, but is formed at the position 8 in the same row in the main scanning direction as shown in FIG. become.

図7は、ラインヘッドとして使用される発光体アレイの例を示す概略の説明図である。図7において、発光体アレイ1には、発光素子2を主走査方向に複数配列した発光素子列3を副走査方向に複数列設けて発光体ブロック4(図4参照)を形成している。図7の例では、発光体ブロック4は、主走査方向に4個の発光素子2を配列した発光素子列3を、副走査方向に2列形成している(図4参照)。この発光体ブロック4は、発光体アレイ1に多数配置されており、各発光体ブロック4はマイクロレンズ5に対応して配置されている。   FIG. 7 is a schematic explanatory diagram showing an example of a light emitter array used as a line head. In FIG. 7, in the light emitter array 1, a light emitter block 4 (see FIG. 4) is formed by providing a plurality of light emitting element rows 3 in which a plurality of light emitting elements 2 are arranged in the main scanning direction. In the example of FIG. 7, the light emitter block 4 forms two light emitting element rows 3 in which four light emitting elements 2 are arranged in the main scanning direction in the sub scanning direction (see FIG. 4). A large number of the light emitter blocks 4 are arranged in the light emitter array 1, and each light emitter block 4 is arranged corresponding to the microlens 5.

マイクロレンズ5は、発光体アレイ1の主走査方向及び副走査方向に複数設けられてマイクロレンズアレイ(MLA)6を形成している。このMLA6は、副走査方向では主走査方向の先頭位置をずらして配列されている。このようなMLA6の配列は、発光体アレイ1に発光素子を千鳥状に設ける場合に対応している。図7の例では、MLA6が副走査方向に3列配置されているが、MLA6の副走査方向の3列のそれぞれの位置に対応する各単位ブロック4を、説明の便宜上、グループA、グループB、グループCに区分する。   A plurality of microlenses 5 are provided in the main scanning direction and the sub-scanning direction of the light emitter array 1 to form a microlens array (MLA) 6. The MLA 6 is arranged with the leading position in the main scanning direction shifted in the sub-scanning direction. Such an arrangement of the MLA 6 corresponds to a case where the light emitting elements 1 are provided in a staggered manner in the light emitter array 1. In the example of FIG. 7, three rows of MLA 6 are arranged in the sub-scanning direction. However, for convenience of explanation, the unit blocks 4 corresponding to the respective positions of the three rows of MLA 6 in the sub-scanning direction are group A and group B. And group C.

上記のように、光学倍率がマイナスのマイクロレンズ5内に複数個の発光素子2が配置され、かつ、当該レンズが副走査方向に複数列配置されている場合には、像担持体41の主走査方向に一列に並んだ結像スポットを形成するためには、以下のような画像データ制御が必要となる。(1)副走査方向の反転、(2)主走査方向の反転、(3)レンズ内の複数列発光素子の発光タイミング調整、(4)グループ間の発光素子の発光タイミング調整。   As described above, when the plurality of light emitting elements 2 are arranged in the microlens 5 having a negative optical magnification and the lenses are arranged in a plurality of rows in the sub-scanning direction, the main body of the image carrier 41 is used. In order to form imaging spots arranged in a line in the scanning direction, the following image data control is required. (1) Inversion in the sub-scanning direction, (2) Inversion in the main scanning direction, (3) Adjustment of light emission timing of a plurality of light emitting elements in the lens, and (4) Adjustment of light emission timing of light emitting elements between groups.

図8は、図7の構成で、各発光素子2の出力光によりマイクロレンズ5を通して像担持体の露光面を照射した場合の結像位置を示す説明図である。図8において、図7で説明したように、発光体アレイ1には、グループA、グループB、グループCに区分された単位ブロック4が配置されている。グループA、グループB、グループCの各単位ブロック4の発光素子列を、像担持体41の上流側(1列目)と下流側(2列目)に分け、1列目に偶数番号の発光素子を割り当て、2列目に奇数番号の発光素子を割り当てる。   FIG. 8 is an explanatory view showing an imaging position when the exposure surface of the image carrier is irradiated through the microlens 5 with the output light of each light emitting element 2 in the configuration of FIG. In FIG. 8, as described with reference to FIG. 7, the light emitter array 1 has unit blocks 4 divided into group A, group B, and group C. The light-emitting element rows of the unit blocks 4 of group A, group B, and group C are divided into the upstream side (first row) and the downstream side (second row) of the image carrier 41, and even-numbered light emission in the first row Elements are assigned, and odd-numbered light emitting elements are assigned to the second column.

グループAについては、図1〜図3で説明したように各発光素子2を動作させることにより、像担持体41には主走査方向及び副走査方向で反転した位置に結像スポットが形成される。このようにして、像担持体41上には主走査方向の同じ列に1〜8の順序で結像スポットが形成される。以下、像担持体41を副走査方向に所定時間移動させてグループBの処理を同様に実行する。さらに、像担持体41を副走査方向に所定時間移動させてグループCの処理を実行させることにより、主走査方向の同じ列に1〜24・・・の順序で、入力された画像データに基づく結像スポットが形成される。   For group A, by operating each light emitting element 2 as described with reference to FIGS. 1 to 3, an image spot is formed on the image carrier 41 at a position reversed in the main scanning direction and the sub scanning direction. . In this manner, imaging spots are formed on the image carrier 41 in the order of 1 to 8 in the same row in the main scanning direction. Thereafter, the image carrier 41 is moved in the sub-scanning direction for a predetermined time, and the processing of the group B is similarly executed. Further, by moving the image carrier 41 in the sub-scanning direction for a predetermined time and executing the processing of group C, it is based on the input image data in the order of 1 to 24... In the same column in the main scanning direction. An imaging spot is formed.

図9は、図8において、副走査方向の結像スポット形成の状態を示す説明図である。Sは、像担持体41の移動速度、d1は、グループAの1列目と2列目の発光素子の間隔、d2はグループAの2列目の発光素子とグループBの2列目の発光素子の間隔、d3はグループBの2列目の発光素子とグループCの2列目の発光素子の間隔、T1はグループAの2列目の発光素子の発光後に1列目の発光素子が発光するまでの時間、T2はグループAの2列目の発光素子による結像位置がグループBの2列目の発光素子の結像位置に移動する時間、T3はグループAの2列目の発光素子による結像位置がグループCの2列目の発光素子の結像位置に移動する時間である。   FIG. 9 is an explanatory diagram showing a state of forming an imaging spot in the sub-scanning direction in FIG. S is the moving speed of the image carrier 41, d1 is the distance between the first and second light emitting elements in group A, and d2 is the second light emitting element in group A and the second light emission in group B. The element spacing, d3 is the distance between the light emitting elements in the second row of group B and the light emitting elements in the second row of group C, and T1 is the light emitting element in the first row after the light emitting elements in the second row of group A emit light. T2 is the time required for the image forming position of the light emitting elements in the second row of group A to move to the image forming position of the light emitting elements in the second row of group B, and T3 is the light emitting elements in the second row of group A Is the time required for the imaging position to move to the imaging position of the light-emitting elements in the second row of group C.

T1は以下のようにして求めることができる。T2、T3についても、d1をd2、d3に置き換えることにより同様に求めることができる。   T1 can be obtained as follows. T2 and T3 can be similarly obtained by replacing d1 with d2 and d3.

T1=|(d1×β)/S|
ここで、各パラメータは、以下の通りである。
d1:発光素子の副走査方向の距離
S:結像面(像担持体)の移動速度
β:レンズの倍率
図9においては、グループAの2列目の発光素子が発光した時間のT2時間後にグループBの2列目の発光素子を発光させる。さらに、T2からT3時間後にグループCの2列目の発光素子を発光させる。各グループの1列目の発光素子は、2列目の発光素子が発光してからT1時間後に発光する。このような処理をすることにより、図8に示されているように、発光体アレイ1に2次元的に配置された発光体による結像スポットを、像担持体上で一列に形成することが可能となる。図10は、マイクロレンズ5を複数配列した場合に、像担持体の主走査方向に結像スポットが反転して形成される例を示す説明図である。
T1 = | (d1 × β) / S |
Here, each parameter is as follows.
d1: Distance in the sub-scanning direction of the light emitting elements S: Moving speed of the imaging surface (image carrier) β: Lens magnification In FIG. The light emitting elements in the second row of group B are caused to emit light. Furthermore, the light emitting elements in the second row of group C are caused to emit light after T2 to T3 hours. The first row of light emitting elements in each group emits light after T1 time after the second row of light emitting elements emits light. By performing such processing, as shown in FIG. 8, the imaging spots formed by the light emitters arranged two-dimensionally on the light emitter array 1 can be formed in a line on the image carrier. It becomes possible. FIG. 10 is an explanatory diagram showing an example in which the imaging spot is formed in a reversed manner in the main scanning direction of the image carrier when a plurality of microlenses 5 are arranged.

以上のようなラインヘッドを用いて画像形成装置を構成することができる。その1実施形態においては、4つの感光体に4つのラインヘッドで露光し、4色の画像を同時に形成し、1つの無端状中間転写ベルト(中間転写媒体)に転写する、タンデム式カラープリンター(画像形成装置)に以上のようなラインヘッドを用いることができる。図11は、発光体アレイ1として有機EL装置を用いたタンデム式画像形成装置の1例を示す縦断側面図である。この画像形成装置は、同様な構成の4個のラインヘッド101K、101C、101M、101Yを、対応する同様な構成である4個の感光体ドラム(像担持体)41K、41C、41M、41Yの露光位置にそれぞれ配置したものであり、タンデム方式の画像形成装置として構成されている。   An image forming apparatus can be configured using the line head as described above. In the embodiment, a tandem color printer (exposed to four photoconductors with four line heads, simultaneously forms four color images, and transfers them to one endless intermediate transfer belt (intermediate transfer medium)). The line head as described above can be used in the image forming apparatus. FIG. 11 is a longitudinal side view showing an example of a tandem image forming apparatus using an organic EL device as the light emitter array 1. This image forming apparatus includes four line heads 101K, 101C, 101M, and 101Y having the same configuration, and corresponding four photosensitive drums (image carriers) 41K, 41C, 41M, and 41Y having the same configuration. These are respectively arranged at exposure positions, and are configured as a tandem image forming apparatus.

図11に示すように、この画像形成装置は、駆動ローラ51と従動ローラ52とテンションローラ53が設けられており、テンションローラ53によりテンションを加えて張架されて、図示矢印方向(反時計方向)へ循環駆動される中間転写ベルト(中間転写媒体)50を備えている。この中間転写ベルト50に対して所定間隔で配置された4個の像担持体としての外周面に感光層を有する感光体41K、41C、41M、41Yが配置される。   As shown in FIG. 11, this image forming apparatus is provided with a driving roller 51, a driven roller 52, and a tension roller 53. The tension roller 53 applies tension to the image forming apparatus and stretches it in the direction indicated by the arrow (counterclockwise). ) Is circulated to the intermediate transfer belt (intermediate transfer medium) 50. Photosensitive members 41K, 41C, 41M, and 41Y having photosensitive layers are arranged on the outer peripheral surface as four image carriers arranged at predetermined intervals with respect to the intermediate transfer belt 50.

上記符号の後に付加されたK、C、M、Yはそれぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエローを意味し、それぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエロー用の感光体であることを示す。他の部材についても同様である。感光体41K、41C、41M、41Yは、中間転写ベルト50の駆動と同期して図示矢印方向(時計方向)へ回転駆動される。各感光体41(K、C、M、Y)の周囲には、それぞれ感光体41(K、C、M、Y)の外周面を一様に帯電させる帯電手段(コロナ帯電器)42(K、C、M、Y)と、この帯電手段42(K、C、M、Y)により一様に帯電させられた外周面を、感光体41(K、C、M、Y)の回転に同期して順次ライン走査する本発明の上記のようなラインヘッド101(K、C、M、Y)が設けられている。   K, C, M, and Y added after the above symbols mean black, cyan, magenta, and yellow, respectively, and indicate that the photoconductors are black, cyan, magenta, and yellow, respectively. The same applies to other members. The photoreceptors 41K, 41C, 41M, and 41Y are rotationally driven in the direction indicated by the arrow (clockwise) in synchronization with the driving of the intermediate transfer belt 50. Around each photoconductor 41 (K, C, M, Y), charging means (corona charger) 42 (K) for uniformly charging the outer peripheral surface of the photoconductor 41 (K, C, M, Y), respectively. , C, M, Y) and the outer peripheral surface uniformly charged by the charging means 42 (K, C, M, Y) are synchronized with the rotation of the photoconductor 41 (K, C, M, Y). Thus, the above-described line head 101 (K, C, M, Y) of the present invention for sequentially scanning the line is provided.

また、このラインヘッド101(K、C、M、Y)で形成された静電潜像に現像剤であるトナーを付与して可視像(トナー像)とする現像装置44(K、C、M、Y)と、この現像装置44(K、C、M、Y)で現像されたトナー像を一次転写対象である中間転写ベルト50に順次転写する転写手段としての一次転写ローラ45(K、C、M、Y)と、転写された後に感光体41(K、C、M、Y)の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニング装置46(K、C、M、Y)とを有している。   Further, a developing device 44 (K, C, and M) that applies a toner as a developer to the electrostatic latent image formed by the line head 101 (K, C, M, and Y) to form a visible image (toner image). M, Y) and a primary transfer roller 45 (K, Y) as transfer means for sequentially transferring the toner image developed by the developing device 44 (K, C, M, Y) to the intermediate transfer belt 50 as a primary transfer target. C, M, Y) and a cleaning device 46 (K, C, M, Y) as a cleaning means for removing the toner remaining on the surface of the photoreceptor 41 (K, C, M, Y) after being transferred. ).

ここで、各ラインヘッド101(K、C、M、Y)は、ラインヘッド101(K、C、M、Y)のアレイ方向が感光体ドラム41(K、C、M、Y)の母線に沿うように設置される。そして、各ラインヘッド101(K、C、M、Y)の発光エネルギーピーク波長と、感光体41(K、C、M、Y)の感度ピーク波長とは略一致するように設定されている。   Here, in each line head 101 (K, C, M, Y), the array direction of the line head 101 (K, C, M, Y) is set to the bus of the photosensitive drum 41 (K, C, M, Y). It is installed along. The emission energy peak wavelength of each line head 101 (K, C, M, Y) and the sensitivity peak wavelength of the photoconductor 41 (K, C, M, Y) are set to substantially coincide.

現像装置44(K、C、M、Y)は、例えば、現像剤として非磁性一成分トナーを用いるもので、その一成分現像剤を例えば供給ローラで現像ローラへ搬送し、現像ローラ表面に付着した現像剤の膜厚を規制ブレードで規制し、その現像ローラを感光体41(K、C、M、Y)に接触あるいは押厚させることにより、感光体41(K、C、M、Y)の電位レベルに応じて現像剤を付着させることによりトナー像として現像するものである。   The developing device 44 (K, C, M, Y) uses, for example, a non-magnetic one-component toner as a developer, and the one-component developer is conveyed to the developing roller by a supply roller, for example, and adhered to the developing roller surface. The film thickness of the developed developer is regulated by a regulating blade, and the developing roller is brought into contact with or increased in thickness by the photosensitive body 41 (K, C, M, Y), whereby the photosensitive body 41 (K, C, M, Y). The toner is developed as a toner image by attaching a developer according to the potential level.

このような4色の単色トナー像形成ステーションにより形成された黒、シアン、マゼンタ、イエローの各トナー像は、一次転写ローラ45(K、C、M、Y)に印加される一次転写バイアスにより中間転写ベルト50上に順次一次転写され、中間転写ベルト50上で順次重ね合わされてフルカラーとなったトナー像は、二次転写ローラ66において用紙等の記録媒体Pに二次転写され、定着部である定着ローラ対61を通ることで記録媒体P上に定着され、排紙ローラ対62によって、装置上部に形成された排紙トレイ68上へ排出される。   The black, cyan, magenta, and yellow toner images formed by the four-color single-color toner image forming station are intermediated by the primary transfer bias applied to the primary transfer roller 45 (K, C, M, Y). The toner image, which is sequentially primary transferred onto the transfer belt 50 and sequentially superposed on the intermediate transfer belt 50 to become a full color, is secondarily transferred to a recording medium P such as paper by a secondary transfer roller 66, and serves as a fixing unit. The toner is fixed on the recording medium P by passing through the fixing roller pair 61, and is discharged onto a paper discharge tray 68 formed in the upper part of the apparatus by a paper discharge roller pair 62.

なお、図11中、63は多数枚の記録媒体Pが積層保持されている給紙カセット、64は給紙カセット63から記録媒体Pを一枚ずつ給送するピックアップローラ、65は二次転写ローラ66の二次転写部への記録媒体Pの供給タイミングを規定するゲートローラ対、66は中間転写ベルト50との間で二次転写部を形成する二次転写手段としての二次転写ローラ、67は二次転写後に中間転写ベルト50の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニングブレードである。   In FIG. 11, reference numeral 63 denotes a paper feed cassette in which a large number of recording media P are stacked and held, 64 denotes a pickup roller for feeding the recording media P from the paper feed cassette 63 one by one, and 65 denotes a secondary transfer roller. A pair of gate rollers for defining the supply timing of the recording medium P to the secondary transfer portion 66, a secondary transfer roller 66 as a secondary transfer means for forming a secondary transfer portion with the intermediate transfer belt 50, 67 Is a cleaning blade as a cleaning means for removing the toner remaining on the surface of the intermediate transfer belt 50 after the secondary transfer.

次に、上記のような有機ELラインヘッドに用いる発光装置としての有機EL装置の1実施例を説明する。   Next, an example of an organic EL device as a light emitting device used in the organic EL line head as described above will be described.

図12は有機EL装置1(図1〜図10の発光体アレイ1に対応する)の平面図である。有機EL装置1は、透光性を有する矩形のガラス基板20を基体として構成されており、ガラス基板20には、複数の円形の発光領域2(図1〜図10の発光素子2に対応する)が設けられている。発光領域2は、ガラス基板20の長手方向に沿って列をなすように等間隔に形成されている。そして、この発光領域2の列は、ガラス基板20上に2列に配列されている。また、各発光領域2は、隣接する他方の列の発光領域2に対してガラス基板20の長手方向について半ピッチだけずれるようにして配置されている。つまり、発光領域2は、千鳥状に配列されている。有機EL装置1は、発光領域2において発光を行う。図12は、有機EL装置1を、光が射出される側から見た図である。基板としては、ガラス基板20の他にも、石英基板を始めとする種々の部材を用いることができる。   FIG. 12 is a plan view of the organic EL device 1 (corresponding to the light emitter array 1 in FIGS. 1 to 10). The organic EL device 1 includes a light-transmitting rectangular glass substrate 20 as a base, and the glass substrate 20 corresponds to a plurality of circular light emitting regions 2 (the light emitting elements 2 in FIGS. 1 to 10). ) Is provided. The light emitting regions 2 are formed at equal intervals so as to form a row along the longitudinal direction of the glass substrate 20. The rows of the light emitting regions 2 are arranged in two rows on the glass substrate 20. Each light emitting region 2 is arranged so as to be shifted by a half pitch in the longitudinal direction of the glass substrate 20 with respect to the light emitting region 2 in the other adjacent row. That is, the light emitting regions 2 are arranged in a staggered pattern. The organic EL device 1 emits light in the light emitting region 2. FIG. 12 is a view of the organic EL device 1 as viewed from the light emission side. As the substrate, in addition to the glass substrate 20, various members such as a quartz substrate can be used.

図13は、図12中の発光領域2の周辺部分の拡大図であり、図14は、図13中のE−E線における有機EL装置1の断面図である。以下では、図14の断面図を用いて、図13の平面図を参照しながら有機EL装置1の構造について説明する。   13 is an enlarged view of the peripheral portion of the light emitting region 2 in FIG. 12, and FIG. 14 is a cross-sectional view of the organic EL device 1 taken along the line EE in FIG. Hereinafter, the structure of the organic EL device 1 will be described with reference to the plan view of FIG. 13 using the cross-sectional view of FIG.

有機EL装置1は、ガラス基板20を基体とし、その上に各構成要素が積み上げられた構成となっている。ガラス基板20上にはシリコン酸化膜(SiO2 )等からなる下地保護膜31が形成されている。下地保護膜31上には、TFT(Thin Film Transistor)素子27が形成されている。 The organic EL device 1 has a configuration in which a glass substrate 20 is a base and each component is stacked thereon. A base protective film 31 made of a silicon oxide film (SiO 2 ) or the like is formed on the glass substrate 20. A TFT (Thin Film Transistor) element 27 is formed on the base protective film 31.

より詳しくは、下地保護膜31上に、ポリシリコン膜からなる半導体膜21が島状に形成されている。半導体膜21には不純物の導入によってソース領域、ドレイン領域が形成され、不純物が導入されなかった部分がチャネル領域となっている。下地保護膜31及び半導体膜21の上には、シリコン酸化膜等からなるゲート絶縁膜32が形成され、ゲート絶縁膜32上には、アルミニウム(Al)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、タングステン(W)等からなるゲート電極23が形成されている。ゲート電極23及びゲート絶縁膜32の上には、第1層間絶縁膜33と第2層間絶縁膜34とがこの順に積層されている。ここで、第1層間絶縁膜33及び第2層間絶縁膜34は、シリコン酸化膜(SiO2 )、チタン酸化膜(TiO2 )等のの無機絶縁膜から構成されている。 More specifically, the semiconductor film 21 made of a polysilicon film is formed in an island shape on the base protective film 31. A source region and a drain region are formed in the semiconductor film 21 by introduction of impurities, and a portion where no impurities are introduced is a channel region. A gate insulating film 32 made of a silicon oxide film or the like is formed on the base protective film 31 and the semiconductor film 21. On the gate insulating film 32, aluminum (Al), molybdenum (Mo), tantalum (Ta), A gate electrode 23 made of titanium (Ti), tungsten (W), or the like is formed. A first interlayer insulating film 33 and a second interlayer insulating film 34 are stacked in this order on the gate electrode 23 and the gate insulating film 32. Here, the first interlayer insulating film 33 and the second interlayer insulating film 34 are made of an inorganic insulating film such as a silicon oxide film (SiO 2 ) or a titanium oxide film (TiO 2 ).

第1層間絶縁膜33の上層には、共通給電線25が形成されている。共通給電線25は、第1層間絶縁膜33及びゲート絶縁膜32を貫通して設けられたコンタクトホールを介して半導体膜21のソース領域に接続されている。   A common power supply line 25 is formed in the upper layer of the first interlayer insulating film 33. The common power supply line 25 is connected to the source region of the semiconductor film 21 through a contact hole provided through the first interlayer insulating film 33 and the gate insulating film 32.

第2層間絶縁膜34上には、ITO(Indium Tin Oxide)からなる光透過性の画素電極11が発光領域2毎に形成されている。画素電極11は、図12の平面図において、発光領域2として示された円より一回り大きな領域に形成されている。また、発光領域2は、ガラス基板20の長手方向に沿って列をなすように等間隔に形成されている。この画素電極11は、第2層間絶縁膜34、第1層間絶縁膜33、ゲート絶縁膜32を貫通して設けられたコンタクトホールを介して半導体膜21のドレイン領域に電気的に接続されている。こうした構成において、TFT素子27は、ゲート電極23への電圧の供給によってオン/オフが切り替わり、オン状態となった場合には、共通給電線25から画素電極11へ駆動電流を流す働きをする。   A light-transmissive pixel electrode 11 made of ITO (Indium Tin Oxide) is formed on the second interlayer insulating film 34 for each light emitting region 2. The pixel electrode 11 is formed in a region that is slightly larger than the circle shown as the light emitting region 2 in the plan view of FIG. The light emitting regions 2 are formed at equal intervals so as to form a row along the longitudinal direction of the glass substrate 20. The pixel electrode 11 is electrically connected to the drain region of the semiconductor film 21 through a contact hole provided through the second interlayer insulating film 34, the first interlayer insulating film 33, and the gate insulating film 32. . In such a configuration, the TFT element 27 functions to flow a drive current from the common power supply line 25 to the pixel electrode 11 when switched on and off by supplying a voltage to the gate electrode 23 and is turned on.

また、第2層間絶縁膜34上には、無機材料からなる第1バンク12が形成されている。第1バンク12は、画素電極11の周りを囲うようにして第2層間絶縁膜34上に配置されており、ガラス基板20の法線方向から見て、一部が画素電極11の外縁部に重なった状態に形成されている。換言すれば、第1バンク12は、画素電極11より小さな開口部12aを有して、画素電極11に重ねて配置されている。そして、この開口部12aは、発光領域2に対応する領域に設けられている。つまり、図12に示された発光領域2の形状が、そのまま開口部12aの形状となる。言い換えれば、第1バンク12は、発光領域2を除いた領域に形成されていることとなる。第1バンク12は、シリコン酸化膜等の無機絶縁膜からなり、その厚さは約50〜100nmである。   A first bank 12 made of an inorganic material is formed on the second interlayer insulating film 34. The first bank 12 is disposed on the second interlayer insulating film 34 so as to surround the pixel electrode 11, and a part of the first bank 12 is on the outer edge of the pixel electrode 11 when viewed from the normal direction of the glass substrate 20. It is formed in an overlapping state. In other words, the first bank 12 has an opening 12 a smaller than the pixel electrode 11 and is disposed so as to overlap the pixel electrode 11. The opening 12 a is provided in a region corresponding to the light emitting region 2. That is, the shape of the light emitting region 2 shown in FIG. 12 becomes the shape of the opening 12a as it is. In other words, the first bank 12 is formed in a region excluding the light emitting region 2. The first bank 12 is made of an inorganic insulating film such as a silicon oxide film and has a thickness of about 50 to 100 nm.

第1バンク12の上には、第1バンク12と同一の形成領域に、第2バンク22が積層されている。第2バンク22は、第1撥液領域22a、親液領域22b、第2撥液領域22cを有している。第1撥液領域22aは、図12及び図13に示された、発光領域2を囲む環状の領域Aに形成されている。親液領域22bは、領域Aを囲む環状の領域Bに形成されている。第2撥液領域22cは、領域Bの外側に対応する領域Cに形成されている。本実施例では、領域A及び領域Bは、共に同心の円環状の領域となっている。また、領域Aの内円が発光領域2に一致し、領域Aの外円と領域Bの内円とが一致している。したがって、発光領域2、第1撥液領域22aが形成された領域A、親液領域22bが形成された領域B、第2撥液領域22cが形成された領域Cは、隣り合う領域同士が接した状態で配置されており、ガラス基板20の法線方向から見ると、有機EL装置1上の領域は、発光領域2、領域A、領域B、領域Cの何れかに含まれる。本実施例では、発光領域2の円の直径は約50μm、第1撥液領域22aが形成された領域Aの幅は約5μm、親液領域22bが形成された領域Bの幅は約20μmである。   A second bank 22 is stacked on the first bank 12 in the same formation region as the first bank 12. The second bank 22 has a first liquid repellent area 22a, a lyophilic area 22b, and a second liquid repellent area 22c. The first liquid repellent region 22a is formed in an annular region A surrounding the light emitting region 2 shown in FIGS. The lyophilic region 22b is formed in an annular region B surrounding the region A. The second liquid repellent region 22c is formed in a region C corresponding to the outside of the region B. In this embodiment, the region A and the region B are both concentric annular regions. In addition, the inner circle of the region A matches the light emitting region 2, and the outer circle of the region A and the inner circle of the region B match. Therefore, the light emitting region 2, the region A in which the first liquid repellent region 22a is formed, the region B in which the lyophilic region 22b is formed, and the region C in which the second liquid repellent region 22c is formed are adjacent to each other. When viewed from the normal direction of the glass substrate 20, the region on the organic EL device 1 is included in any one of the light emitting region 2, the region A, the region B, and the region C. In this embodiment, the diameter of the circle of the light emitting region 2 is about 50 μm, the width of the region A where the first lyophobic region 22 a is formed is about 5 μm, and the width of the region B where the lyophilic region 22 b is formed is about 20 μm. is there.

ここで、第2バンク22における親液領域22bは、第1撥液領域22a及び第2撥液領域22cより相対的に濡れ性が高くなっている。濡れ性が高いとは、液体との接触角が相対的に小さいことを指す。ある領域に吐出された液体は、これと隣接する、相対的に濡れ性が低い(すなわち接触角が大きい)領域には浸入し難いと言える。したがって、本実施例では、発光領域2に吐出された液体は第1撥液領域22aには侵入し難く、親液領域22bに吐出された液体は、第2撥液領域22cには浸入し難くなっている。   Here, the lyophilic region 22b in the second bank 22 has a relatively higher wettability than the first liquid repellent region 22a and the second liquid repellent region 22c. High wettability means that the contact angle with the liquid is relatively small. It can be said that the liquid ejected to a certain region is difficult to enter a region adjacent to the region that has relatively low wettability (that is, a large contact angle). Therefore, in this embodiment, the liquid ejected to the light emitting region 2 does not easily enter the first liquid repellent region 22a, and the liquid ejected to the lyophilic region 22b does not easily enter the second liquid repellent region 22c. It has become.

画素電極11上の中、第1撥液領域22aに囲まれた領域、すなわち発光領域2に対応する領域には、正孔注入層14が形成されている。より詳しくは、正孔注入層14は、画素電極11を底部とし、第1バンク12及び第2バンク22を側壁とする凹部に形成されている。正孔注入層14が形成される発光領域2は、周囲を第2バンク22の第1撥液領域22aに囲まれているため、正孔注入層14を形成する際に吐出される機能液は発光領域2の外に浸入し難い。このため、正孔注入層14を容易に発光領域2内に形成することができる。   On the pixel electrode 11, a hole injection layer 14 is formed in a region surrounded by the first liquid repellent region 22 a, that is, a region corresponding to the light emitting region 2. More specifically, the hole injection layer 14 is formed in a recess having the pixel electrode 11 as a bottom and the first bank 12 and the second bank 22 as side walls. Since the light emitting region 2 where the hole injection layer 14 is formed is surrounded by the first liquid repellent region 22a of the second bank 22, the functional liquid discharged when forming the hole injection layer 14 is It is difficult to enter outside the light emitting region 2. For this reason, the hole injection layer 14 can be easily formed in the light emitting region 2.

正孔注入層14は、導電性高分子材料中にドーパントを含有する導電性高分子層からなる。このような正孔注入層14は、例えば、ドーパントとしてポリスチレンスルホン酸を含有する3,4−ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT−PSS)等から構成することができる。   The hole injection layer 14 is composed of a conductive polymer layer containing a dopant in a conductive polymer material. Such a hole injection layer 14 can be composed of, for example, 3,4-polyethylenedioxythiophene (PEDOT-PSS) containing polystyrene sulfonic acid as a dopant.

正孔注入層14上及び第2バンク22上の中、第2撥液領域22cに囲まれた領域(すなわち、発光領域2、第1撥液領域22a、親液領域22bからなる領域)には、発光層15が形成されている。第2撥液領域22cの存在により、発光層15を形成する際に吐出される機能液は、親液領域22b及びその内側の領域にのみ濡れ広がり、第2撥液領域22cには侵入し難い。このため、発光層15を容易に第2撥液領域22cに囲まれた領域に形成することができる。こうして形成された発光層15は、正孔注入層14の面積(すなわち、発光領域2の面積)より大きな面積を有しているため、発光領域2において、発光層15の厚さを均一にすることができる。すなわち、発光層15の中比較的平坦な領域を発光に用いることができる。   In the region on the hole injection layer 14 and the second bank 22 and surrounded by the second liquid repellent region 22c (that is, the region composed of the light emitting region 2, the first liquid repellent region 22a, and the lyophilic region 22b). A light emitting layer 15 is formed. Due to the presence of the second liquid repellent area 22c, the functional liquid discharged when forming the light emitting layer 15 spreads only in the lyophilic area 22b and the area inside thereof, and does not easily enter the second liquid repellent area 22c. . For this reason, the light emitting layer 15 can be easily formed in a region surrounded by the second liquid repellent region 22c. Since the light emitting layer 15 thus formed has an area larger than the area of the hole injection layer 14 (that is, the area of the light emitting region 2), the thickness of the light emitting layer 15 is made uniform in the light emitting region 2. be able to. That is, a relatively flat region in the light emitting layer 15 can be used for light emission.

本明細書では、正孔注入層14、発光層15を含む層を有機EL素子13とも呼ぶ。正孔注入層14の厚さは約50nmであり、発光層15の厚さは約100nmである。   In the present specification, a layer including the hole injection layer 14 and the light emitting layer 15 is also referred to as an organic EL element 13. The thickness of the hole injection layer 14 is about 50 nm, and the thickness of the light emitting layer 15 is about 100 nm.

発光層15上及び第2バンク22の第2撥液領域22c上には、厚さ約5nmのカルシウム(Ca)及び厚さ約300nmのアルミニウム(Al)の積層体である陰極16が形成されている。換言すれば、陰極16は、発光層15を挟んで画素電極11の反対側に形成されている。陰極16の上には、水や酸素の侵入を防ぎ、陰極16あるいは有機EL素子13の酸化を防止するための、樹脂等からなる封止部材17が積層されている。   On the light emitting layer 15 and the second liquid repellent region 22c of the second bank 22, a cathode 16 that is a laminate of calcium (Ca) having a thickness of about 5 nm and aluminum (Al) having a thickness of about 300 nm is formed. Yes. In other words, the cathode 16 is formed on the opposite side of the pixel electrode 11 with the light emitting layer 15 interposed therebetween. A sealing member 17 made of a resin or the like is laminated on the cathode 16 to prevent water and oxygen from entering and prevent the cathode 16 or the organic EL element 13 from being oxidized.

上述した発光層15は、エレクトロルミネッセンス現象を発現する有機発光物質の層である。画素電極11と陰極16との間に電圧を印加することによって、発光層15には、正孔注入層14から正孔が、また、陰極16から電子が注入される。発光層15は、これらが結合したときに光を発する。発光層15からの発光スペクトルは、材料の発光特性や膜厚に依存する。本実施例では、発光層15は赤色光を発光し、その主発光波長、すなわち発光スペクトルにおいて発光強度が最大となる波長は約630nmである。   The light emitting layer 15 described above is a layer of an organic light emitting material that exhibits an electroluminescence phenomenon. By applying a voltage between the pixel electrode 11 and the cathode 16, holes are injected from the hole injection layer 14 and electrons are injected from the cathode 16 into the light emitting layer 15. The light emitting layer 15 emits light when they are combined. The emission spectrum from the light emitting layer 15 depends on the light emission characteristics and film thickness of the material. In the present embodiment, the light emitting layer 15 emits red light, and the main emission wavelength, that is, the wavelength at which the emission intensity is maximum in the emission spectrum is about 630 nm.

有機EL装置1は、発光領域2においてのみ発光し、第1バンク12が形成された領域においては発光は行われない。これは、図14に示すように、当該領域では、画素電極11(陽極)と陰極16との間に絶縁物質である第1バンク12が配置されていることにより、両電極間の電流経路が遮断されるためである。   The organic EL device 1 emits light only in the light emitting region 2 and does not emit light in the region where the first bank 12 is formed. As shown in FIG. 14, in this region, the first bank 12, which is an insulating material, is arranged between the pixel electrode 11 (anode) and the cathode 16. This is because it is blocked.

発光層15から図14の下方に射出された光はそのままガラス基板20を透過し、また図14の上方に射出された光は陰極16によって反射された後に下方へ進み、同じくガラス基板20を透過する。このような構成の有機EL装置1は、ボトムエミッション型と呼ばれる。   The light emitted from the light emitting layer 15 downward in FIG. 14 passes through the glass substrate 20 as it is, and the light emitted upward in FIG. 14 is reflected by the cathode 16 and then travels downward, and also passes through the glass substrate 20. To do. The organic EL device 1 having such a configuration is called a bottom emission type.

なお、有機EL装置1が、ガラス基板20とは反対側に向けて表示光を射出するトップエミッション型である場合、陰極16は、例えば、薄いカルシウム層と、ITO層等から構成して光透過性を持たせ、画素電極11の下層側には、画素電極11の略全体と重なるようにアルミニウム膜等からなる光反射層を形成する。   When the organic EL device 1 is a top emission type that emits display light toward the side opposite to the glass substrate 20, the cathode 16 is composed of, for example, a thin calcium layer, an ITO layer, and the like to transmit light. Therefore, on the lower layer side of the pixel electrode 11, a light reflection layer made of an aluminum film or the like is formed so as to overlap substantially the entire pixel electrode 11.

以上のような構成の有機EL装置1によれば、発光領域2において、発光層15の厚さを均一にすることができる。このため、発光層15の中比較的平坦な部分を発光に用いることができ、均一な発光特性を有する有機EL装置1が得られる。   According to the organic EL device 1 having the above configuration, the thickness of the light emitting layer 15 can be made uniform in the light emitting region 2. Therefore, a relatively flat portion of the light emitting layer 15 can be used for light emission, and the organic EL device 1 having uniform light emission characteristics can be obtained.

さて、本発明は上記のような有機ELラインヘッド及びその有機ELラインヘッドを用いた画像形成装置等に用いるマイクロレンズアレイの製造方法に関するものであり、その製造方法の実施例を以下に説明する。   The present invention relates to an organic EL line head as described above and a method for manufacturing a microlens array used in an image forming apparatus using the organic EL line head. Examples of the manufacturing method will be described below. .

図15は、本発明の製造方法に従って作製された1実施例のマイクロレンズアレイ6の断面図であり、それを構成する同一のマイクロレンズ5が所定方向、図7の場合は、主走査方向に一定ピッチで列状に配置され、副走査方向に3個の同様のマイクロレンズ5の列が3列配置され、主走査方向の列の先頭位置が3分の1ピッチずつずらして配列されて構成される。なお、先頭位置のずれはマイクロレンズ5の列がN個の場合、N分の1ピッチとなる。   FIG. 15 is a cross-sectional view of a microlens array 6 of one embodiment manufactured according to the manufacturing method of the present invention. The same microlens 5 constituting the microlens array 6 is in a predetermined direction, and in the case of FIG. Arranged in rows at a constant pitch, three rows of three similar microlenses 5 are arranged in the sub-scanning direction, and the leading positions of the rows in the main scanning direction are shifted by a third pitch. Is done. The deviation of the head position is 1 / N pitch when there are N rows of microlenses 5.

このマイクロレンズアレイ6は、ガラス板等からなり所定厚さで細長い長方形の透明基板71の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部72が一体に成形されてなる片面平面マイクロレンズアレイ61 と、同様に、別の同様の透明基板73の表面に同様の透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部74が一体に成形されてなる片面平面マイクロレンズアレイ62 とを、各レンズ屈折面部72、74の光軸が対応する各マイクロレンズ5の光軸O−O’に正確に軸合わせされるように、相互に正確に位置合わせして平面側で相互に接着一体化してなるものである。レンズ屈折面部72とレンズ屈折面部74の同一形状であっても異なる形状であってもよい。また、透明基板71と透明基板73は同一材料で同一厚さであっても異なる材料で異なる厚さであってもよい。 This microlens array 6 is a single-sided planar microlens array in which a curved lens refracting surface portion 72 having a predetermined shape made of a transparent resin is integrally formed on the surface of a rectangular transparent substrate 71 having a predetermined thickness and made of a glass plate or the like. 6 1, similarly, a lens refractive surface 74 of the curved surface of a predetermined shape surface made similar transparent resin of another similar transparent substrate 73 and the single-sided planar microlens array 6 2 formed is molded integrally, each The optical surfaces of the lens refracting surface portions 72 and 74 are accurately aligned with each other so that the optical axes OO ′ of the corresponding microlenses 5 are accurately aligned, and are bonded and integrated with each other on the plane side. It will be. The lens refracting surface portion 72 and the lens refracting surface portion 74 may have the same shape or different shapes. Further, the transparent substrate 71 and the transparent substrate 73 may be the same material and the same thickness, or may be different materials and different thicknesses.

このような片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 の製造方法を図16の製造工程を説明する図を参照にして説明する。以下、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 は別々に製造するが、同一の方法で製造するので、同時に説明する。 A method of manufacturing such single-sided planar microlens arrays 6 1 , 6 2 will be described with reference to the drawings illustrating the manufacturing process of FIG. Hereinafter, the front one side plane microlens array 61 and the rear sided planar microlens array 6 2 are prepared separately, so prepared in the same manner, will be described simultaneously.

まず、工程(a)で、マイクロレンズアレイ6の表側レンズ面に対応する表側レンズ面金型82と裏側レンズ面に対応する裏側レンズ面金型84とを別々に用意する。両金型82、84における各マイクロレンズ面の凹型に対応する曲面型部92、94は機械加工により形成される。曲面型部92、94の深さは通常100〜200μm、直径は0.1〜1mm程度である。曲面型部92、94を機械加工により形成する代わりに、エッチングで形成することもできる。あるいは、各マイクロレンズ5の第1面、第2面に対応する面形状を有するビーズを多数整列配置し、その表面形状を金型基板に転写する方法でも形成することができる。このようにして形成された表側レンズ面金型82、裏側レンズ面金型84の各曲面型部92、94中に液量を計量して注入できるディスペンサー75により曲面型部92、94中を中途まで満たす量の紫外線(UV)硬化樹脂76を順に注入する。その注入の際、ディスペンサー75を矢印のように上へ上げながら注入すると、UV硬化樹脂76に乱れを起こさないようにできる。   First, in step (a), a front lens surface mold 82 corresponding to the front lens surface of the microlens array 6 and a back lens surface mold 84 corresponding to the back lens surface are separately prepared. The curved surface mold parts 92 and 94 corresponding to the concave molds of the microlens surfaces in both molds 82 and 84 are formed by machining. The depths of the curved surface mold portions 92 and 94 are usually 100 to 200 μm and the diameter is about 0.1 to 1 mm. Instead of forming the curved surface mold portions 92 and 94 by machining, they can be formed by etching. Alternatively, it can also be formed by a method in which a large number of beads having surface shapes corresponding to the first surface and the second surface of each microlens 5 are arranged and transferred to a mold substrate. The dispenser 75 capable of measuring and injecting the liquid amount into the curved surface mold portions 92 and 94 of the front side lens surface mold 82 and the back side lens surface mold 84 formed in this way is halfway through the curved surface mold portions 92 and 94. A quantity of ultraviolet (UV) curable resin 76 that fills up to is injected in sequence. During the injection, the UV curable resin 76 can be prevented from being disturbed by injecting it while raising the dispenser 75 as shown by the arrow.

次いで、工程(b)において、全ての曲面型部92、94にUV硬化樹脂76が注入された状態で、上方からUVランプ77からの紫外線78を照射し、UV硬化樹脂76を半硬化状態にする。ここで、UV硬化樹脂76を完全に硬化させないのは、次の工程(c)で追加注入するUV硬化樹脂76’との界面が発生するのを防止するためである。   Next, in the step (b), in a state where the UV curable resin 76 is injected into all the curved mold portions 92 and 94, the UV curable resin 76 is irradiated with ultraviolet rays 78 from above to make the UV curable resin 76 semi-cured. To do. Here, the reason why the UV curable resin 76 is not completely cured is to prevent the occurrence of an interface with the UV curable resin 76 'additionally injected in the next step (c).

次いで、工程(c)において、工程(a)と同様にして半硬化状態のUV硬化樹脂76で中途まで満たされた曲面型部92、94中に追加のUV硬化樹脂76’を注入して各曲面型部92をUV硬化樹脂76+76’で多少余分に満たす。   Next, in the step (c), as in the step (a), an additional UV curable resin 76 ′ is injected into the curved surface mold portions 92 and 94 that are filled with the semi-cured UV curable resin 76 halfway. The curved surface mold portion 92 is filled with the UV curable resin 76 + 76 ′ to some extent.

次に、工程(d)において、片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 における透明基板71、73となる相互に同じ形状で細長い長方形のガラス基板71、73を各曲面型部92、94がUV硬化樹脂76+76’で多少余分に満たされたレンズ面金型82、84上に一定圧力で押し付ける。この際、曲面型部92、94全体の周りに所定の小さな距離を保つギャップ材80を配置する。このギャップ材80を配置することで、余分なUV硬化樹脂76’と気泡が抜けやすくなる。その状態で、ガラス基板71、73を通して上方からUVランプ77からの紫外線78を照射し、UV硬化樹脂76+76’を完全に硬化させる。 Next, in the step (d), each of the curved surface mold portions 92 and 94 is formed of UV glass substrates 71 and 73 having the same shape and being the same as the transparent substrates 71 and 73 in the single-sided planar microlens arrays 6 1 and 6 2 . It is pressed at a constant pressure onto the lens surface molds 82 and 84 which are filled with the cured resin 76 + 76 ′. At this time, a gap member 80 that maintains a predetermined small distance is disposed around the entire curved surface mold portions 92 and 94. By disposing the gap member 80, excess UV curable resin 76 'and air bubbles can be easily removed. In this state, the ultraviolet ray 78 from the UV lamp 77 is irradiated from above through the glass substrates 71 and 73 to completely cure the UV curable resin 76 + 76 ′.

UV硬化樹脂76+76’が完全に硬化して表側のレンズ屈折面部72、裏側のレンズ屈折面部74となった後に、工程(e)において、ガラス基板71、73をレンズ屈折面部72、74と共に金型82、84から取り外すことで、それぞれ表側片面平面マイクロレンズアレイ61 、裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 が得られる。 After the UV curable resin 76 + 76 ′ is completely cured to become the front-side lens refracting surface portion 72 and the back-side lens refracting surface portion 74, in step (e), the glass substrates 71 and 73 are molded together with the lens refracting surface portions 72 and 74. By removing from 82 and 84, the front-side single-sided planar microlens array 6 1 and the back-side single-sided planar microlens array 6 2 are obtained, respectively.

ここで、曲面型部92、94に2回に分けてUV硬化樹脂76、76’を注入するのは、各回の注入液量が少ないので気泡が出来難く、また、出来たとしても直ぐに抜けやすいためと、硬化の際の収縮による面精度の低下を抑えるためである。なお、1回目の注入で各曲面型部92、94をUV硬化樹脂76で十分に満たし、ガラス基板71、73を通して1回の紫外線78の照射でUV硬化樹脂76を完全に硬化させて、レンズ屈折面部72、74とするようにしてももちろんよい。   Here, injecting the UV curable resins 76 and 76 'into the curved surface mold portions 92 and 94 in two portions makes it difficult to produce bubbles because the amount of the injected solution is small each time, and even if it is possible, it is easily removed. This is for the purpose of suppressing a decrease in surface accuracy due to shrinkage during curing. In addition, the curved mold portions 92 and 94 are sufficiently filled with the UV curable resin 76 by the first injection, and the UV curable resin 76 is completely cured by the single irradiation of the ultraviolet ray 78 through the glass substrates 71 and 73, and the lens. Of course, the refracting surface portions 72 and 74 may be used.

ところで、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 とを一体化する際に、対応するレンズ屈折面部72とレンズ屈折面部74の間で光軸を正確に軸合わせすることが重要である。以下、そのための位置合わせ方法を説明する。 However, when integrating the front sided planar microlens array 61 and the rear sided planar microlens array 6 2, be accurately aligned axially with the optical axis between the corresponding lens refractive surface portion 72 and the lens refractive surface portion 74 is important. Hereinafter, an alignment method for that purpose will be described.

図17はそのための位置決め合わせ方法の1つを説明するための図であり、図17(a)は図16(d)において表側レンズ面金型82上に載置されたガラス基板71を上から見た図であり、図17(b)は図16(d)において裏側レンズ面金型84上に載置されたガラス基板73を上から見た図である。両金型82、84には、相互に鏡像関係にある曲面型部92の全体のパターンと曲面型部94の全体のパターンに対して、相互に鏡像関係の同じ位置(曲面型部92の全体のパターンと曲面型部94の全体のパターンとの対応する同じ位置)に位置決めピン513〜515、513’〜515’が配置されている。位置決めピン515と515’は主走査方向端部に対応するガラス基板71、73のそれぞれ1つの短辺712、732が突き当てるためのものであり、位置決めピン513と513’は主走査方向に伸びるガラス基板71の1つの長辺711とガラス基板73の1つの長辺731のそれぞれ短辺712、732側の同じ位置が突き当てるためのものであり、位置決めピン514と514’は主走査方向に伸びるガラス基板71の1つの長辺711とガラス基板73の1つの長辺731のそれぞれ短辺712、732と反対側の同じ位置が突き当てるためのものである。なお、ガラス基板71、73としては何れも長辺711、731と短辺712、732が直交するものを用いる。   FIG. 17 is a view for explaining one of the positioning methods for that purpose, and FIG. 17 (a) shows the glass substrate 71 placed on the front lens surface mold 82 in FIG. 16 (d) from above. FIG. 17B is a view of the glass substrate 73 placed on the back lens surface mold 84 in FIG. 16D as viewed from above. Both molds 82, 84 have the same position (the entire curved surface mold portion 92 as a mirror image) with respect to the entire pattern of the curved surface mold portion 92 and the entire pattern of the curved surface mold portion 94 that are mirror images of each other. The positioning pins 513 to 515 and 513 ′ to 515 ′ are arranged at the same position corresponding to the pattern of the curved surface mold portion 94 and the entire pattern of the curved surface mold portion 94). The positioning pins 515 and 515 ′ are for abutting the respective short sides 712 and 732 of the glass substrates 71 and 73 corresponding to the ends in the main scanning direction, and the positioning pins 513 and 513 ′ extend in the main scanning direction. This is for the same position on the short side 712, 732 side of one long side 711 of the glass substrate 71 and one long side 731 of the glass substrate 73 to abut each other, and the positioning pins 514 and 514 ′ are in the main scanning direction. One long side 711 of the extending glass substrate 71 and one long side 731 of the glass substrate 73 are in contact with the same position on the opposite side of the short sides 712 and 732, respectively. As the glass substrates 71 and 73, those in which the long sides 711 and 731 and the short sides 712 and 732 are orthogonal to each other are used.

このような配置であるので、それぞれ、ガラス基板71、73の表面にレンズ屈折面部72、74を一体成形する際(図16(d))には、ガラス基板71、73の表面をそれそれ表側レンズ面金型82、裏側レンズ面金型84に面するようにガラス基板71、73を金型82、84上に載せ、図17(a)、(b)のようにガラス基板71、73を位置決めピン513〜515、513’〜515’に3点支持状態で突き当てた状態で紫外線78を照射することで、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 が得られる。 Because of this arrangement, when the lens refracting surface portions 72 and 74 are integrally formed on the surfaces of the glass substrates 71 and 73, respectively (FIG. 16D), the surfaces of the glass substrates 71 and 73 are respectively front side. The glass substrates 71 and 73 are placed on the molds 82 and 84 so as to face the lens surface mold 82 and the back lens surface mold 84, and the glass substrates 71 and 73 are mounted as shown in FIGS. by irradiating ultraviolet rays 78 in abutting state with 3-point support state with the positioning pins 513~515,513'~515 ', front sided planar microlens array 61 and the rear sided planar microlens array 6 2 is obtained .

そして、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 のガラス基板71の平面側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 のガラス基板73の平面側とを向かい合わせ、ガラス基板71の長辺711と短辺712をガラス基板73のそれぞれ長辺731と短辺732に正確に位置合わせすることで、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 の表側レンズ屈折面部72と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 の裏側レンズ屈折面部74とが軸ずれなく高精度で軸合わせがなされることになる。その状態で、ガラス基板71とガラス基板73の間を接着剤等で一体化することにより、各マイクロレンズ5の表側レンズ屈折面部72と裏側レンズ屈折面部74とが軸ずれなく高精度で軸合わせされた本発明のマイクロレンズアレイ6(図15)が得られることになる。 Then, facing the flat side of the flat surface side and the back side sided planar microlens array 6 2 of the glass substrate 73 of the front sided planar microlens array 61 of the glass substrate 71, the long sides 711 and short sides 712 of the glass substrate 71 by accurately aligning each long side 731 and short side 732 of the glass substrate 73, the front one-sided planar front lens refractive surface 72 of the microlens array 61 and the rear sided planar microlens array 6 2 of the rear side lens refractive surface portion 74 As a result, the axis can be aligned with high accuracy without axis misalignment. In this state, by integrating the glass substrate 71 and the glass substrate 73 with an adhesive or the like, the front side lens refracting surface portion 72 and the back side lens refracting surface portion 74 of each microlens 5 are aligned with high accuracy without axis misalignment. Thus, the microlens array 6 of the present invention (FIG. 15) is obtained.

図17の例は、ガラス基板71、73の長辺711、731と短辺712、732を位置決め基準に用いるものであったが、ガラス基板71、73に位置決め基準となる機械的な手段を設けてもよい。その例を図18に示す。ガラス基板71の長辺711の短辺712側、及び、ガラス基板73の長辺731の短辺732側の同一位置にV字状の切り込みからなる第1位置決め部713、733と、それぞれ長辺711、731の短辺712、732と反対側に同一位置に台形状の切り込みからなる第2位置決め部714、734とを設けておく。このような第1位置決め部713、733と第2位置決め部714、734を設けたガラス基板71、73を用いて表側レンズ屈折面部72と裏側レンズ屈折面部74とが軸ずれなく高精度で軸合わせされたマイクロレンズアレイ6を得るには、図18のような配置でそれぞれのマイクロレンズアレイ61 、62 を成形すればよい。 In the example of FIG. 17, the long sides 711 and 731 and the short sides 712 and 732 of the glass substrates 71 and 73 are used as the positioning reference. However, the glass substrates 71 and 73 are provided with mechanical means serving as the positioning reference. May be. An example is shown in FIG. First positioning portions 713 and 733 made of V-shaped cuts at the same position on the short side 712 side of the long side 711 of the glass substrate 71 and the short side 732 side of the long side 731 of the glass substrate 73, respectively, and the long side On the opposite side of the short sides 712 and 732 of 711 and 731, second positioning portions 714 and 734 made of trapezoidal cuts are provided at the same position. Using the glass substrates 71 and 73 provided with the first positioning portions 713 and 733 and the second positioning portions 714 and 734, the front side lens refracting surface portion 72 and the back side lens refracting surface portion 74 are aligned with high accuracy without axis misalignment. In order to obtain the microlens array 6, the respective microlens arrays 6 1 and 6 2 may be formed in an arrangement as shown in FIG.

すなわち、図18は図17と同様の図であり、この場合も、両金型82、84には、相互に鏡像関係にある曲面型部92の全体のパターンと曲面型部94の全体のパターンに対して、相互に鏡像関係の同じ位置(曲面型部92の全体のパターンと曲面型部94の全体のパターンとの対応する同じ位置)に位置決めピン516〜517、516’〜517’が配置されている。位置決めピン516と516’は主走査方向に伸びるガラス基板71、73の長辺711、731に設けられたV字状の切り込みからなる第1位置決め部713、733が突き当てるためのものであり、位置決めピン517と517’はガラス基板71、73の長辺711、731に設けられた台形状の切り込みからなる第2位置決め部714、734が突き当てるためのものである。   That is, FIG. 18 is a view similar to FIG. 17. In this case as well, the entire pattern of the curved surface mold portion 92 and the entire pattern of the curved surface mold portion 94 are mirror images of each other. On the other hand, the positioning pins 516 to 517 and 516 ′ to 517 ′ are arranged at the same mirror image relation positions (the same positions corresponding to the entire pattern of the curved surface mold portion 92 and the entire pattern of the curved surface mold portion 94). Has been. The positioning pins 516 and 516 ′ are for abutting the first positioning portions 713 and 733 formed of V-shaped cuts provided on the long sides 711 and 731 of the glass substrates 71 and 73 extending in the main scanning direction, The positioning pins 517 and 517 ′ are for abutting the second positioning portions 714 and 734 made of trapezoidal cuts provided on the long sides 711 and 731 of the glass substrates 71 and 73.

このような配置であるので、それぞれ、ガラス基板71、73の表面にレンズ屈折面部72、74を一体成形する際(図16(d))には、ガラス基板71、73の表面をそれそれ表側レンズ面金型82、裏側レンズ面金型84に面するようにガラス基板71、73を金型82、84上に載せ、図18(a)、(b)のように、位置決めピン516、517がガラス基板71のそれぞれ第1位置決め部713、第2位置決め部714に、また、位置決めピン516’、517’がガラス基板73のそれぞれ第1位置決め部733、第2位置決め部734に入り込んで、位置決めピン516、516’と第1位置決め部713、733の相互作用でガラス基板71、73の短辺712、712’側の点での位置が決まり、位置決めピン517、517’と第2位置決め部714、734の相互作用でその点を中心とした旋回位置が決まり、結果的にガラス基板71、73の位置決めがなされる。その位置決め状態で紫外線78を照射することで、所定位置にレンズ屈折面部72、74が一体成形された表側片面平面マイクロレンズアレイ61 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 が得られる。 Because of this arrangement, when the lens refracting surface portions 72 and 74 are integrally formed on the surfaces of the glass substrates 71 and 73, respectively (FIG. 16D), the surfaces of the glass substrates 71 and 73 are respectively front side. Glass substrates 71 and 73 are placed on the molds 82 and 84 so as to face the lens surface mold 82 and the back side lens surface mold 84, and positioning pins 516 and 517 as shown in FIGS. 18 (a) and 18 (b). Are positioned on the first positioning portion 713 and the second positioning portion 714 of the glass substrate 71, respectively, and the positioning pins 516 ′ and 517 ′ are respectively positioned on the first positioning portion 733 and the second positioning portion 734 of the glass substrate 73, thereby positioning. Interaction between the pins 516 and 516 ′ and the first positioning portions 713 and 733 determines the positions of the glass substrates 71 and 73 at points on the short sides 712 and 712 ′, and the positioning pins 517 and 517 The swivel position around that point is determined by the interaction between the second positioning portions 714 and 734, and as a result, the glass substrates 71 and 73 are positioned. By irradiating ultraviolet rays 78 in the positioned state, the front one-sided planar microlens array 61 and the rear sided planar microlens array 6 2 lens refracting surface portion 72, 74 at a predetermined position is integrally molded can be obtained.

そして、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 のガラス基板71の平面側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 のガラス基板73の平面側とを向かい合わせ、ガラス基板71の第1位置決め部713と第2位置決め部714をガラス基板73のそれぞれ第1位置決め部733と第2位置決め部734に例えば位置決めピン516、517と同様の位置決めピンを用いて正確に位置合わせすることで、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 の表側レンズ屈折面部72と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 の裏側レンズ屈折面部74とが軸ずれなく高精度で軸合わせがなされることになる。その状態で、ガラス基板71とガラス基板73の間を接着剤等で一体化することにより、各マイクロレンズ5の表側レンズ屈折面部72と裏側レンズ屈折面部74とが軸ずれなく高精度で軸合わせされたこの実施例のマイクロレンズアレイ6(図19)が得られることになる。 Then, facing the flat side of the flat surface side and the back side sided planar microlens array 6 2 of the glass substrate 73 of the front sided planar microlens array 61 of the glass substrate 71, a first positioning portion 713 of the glass substrate 71 second The positioning unit 714 is accurately aligned with the first positioning unit 733 and the second positioning unit 734 of the glass substrate 73 using positioning pins similar to the positioning pins 516 and 517, respectively, so that the front side single-sided planar microlens array 6 is aligned. so that the first and the front lens refractive surface 72 and the back sided planar microlens array 6 2 of the rear side lens refracting surface portion 74 is axially aligned with high accuracy with no offset axis is made. In this state, by integrating the glass substrate 71 and the glass substrate 73 with an adhesive or the like, the front side lens refracting surface portion 72 and the back side lens refracting surface portion 74 of each microlens 5 are aligned with high accuracy without axis misalignment. Thus, the microlens array 6 of this embodiment (FIG. 19) is obtained.

図18、図19の例は、ガラス基板71、73の長辺711、731に第1位置決め部713、733と第2位置決め部714、734を設けておき、両金型82、84にその位置決め部713、714、733、734に対応して位置決めピン516〜517、516’〜517’を設けて機械的な手段で位置決めする例であったが、ガラス基板71、73と両金型82、84に光学的な位置決めマークを設けておいて光学的に位置決めする方法でもよい。その例を図20を参照にして説明する。図20は図17、図18と同様の図であり、図20(a)に示すように、ガラス基板71の長手方向両端裏面に○で囲まれたX字状の位置決めマーク518、519が設けられており、一方、表側レンズ面金型82の位置決めマーク518、519に正確に対応する位置に+字状の位置決めマーク821、822が設けられており、また、図20(b)に示すように、ガラス基板73の長手方向両端裏面の位置決めマーク518、519と鏡像関係で正確に対応する位置に○で囲まれた+字状の位置決めマーク518’、519’が設けられており、一方、裏側レンズ面金型84の位置決めマーク518’、519’に正確に対応する位置にX字状の位置決めマーク821’、822’が設けられている。   In the example of FIGS. 18 and 19, first positioning portions 713 and 733 and second positioning portions 714 and 734 are provided on the long sides 711 and 731 of the glass substrates 71 and 73, and the positioning is performed on both molds 82 and 84. It was an example in which positioning pins 516 to 517 and 516 ′ to 517 ′ were provided corresponding to the portions 713, 714, 733, and 734 and positioned by mechanical means, but the glass substrates 71 and 73 and both molds 82, Alternatively, an optical positioning mark may be provided at 84 and optically positioned. An example will be described with reference to FIG. FIG. 20 is a view similar to FIGS. 17 and 18, and as shown in FIG. 20A, X-shaped positioning marks 518 and 519 surrounded by circles are provided on both rear surfaces in the longitudinal direction of the glass substrate 71. On the other hand, + -shaped positioning marks 821 and 822 are provided at positions accurately corresponding to the positioning marks 518 and 519 of the front lens surface mold 82, and as shown in FIG. In addition, + -shaped positioning marks 518 ′ and 519 ′ surrounded by circles are provided at positions accurately corresponding to the positioning marks 518 and 519 on the back surfaces at both ends in the longitudinal direction of the glass substrate 73, X-shaped positioning marks 821 ′ and 822 ′ are provided at positions corresponding to the positioning marks 518 ′ and 519 ′ of the back side lens surface mold 84 accurately.

そのため、ガラス基板71の表面にレンズ屈折面部72を一体成形する際には、図20(a)に示すように、ガラス基板71の表面を表側レンズ面金型82に面するようにガラス基板71を表側レンズ面金型82上に載せ、ガラス基板71の位置決めマーク518、519と表側レンズ面金型82の位置決めマーク821、822がそれぞれ正確に整列するように、例えば顕微鏡を用いてガラス基板71の位置を決め、その状態で紫外線78を照射することで、所定位置にレンズ屈折面部72が一体成形され、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 が得られる。 Therefore, when the lens refracting surface portion 72 is integrally formed on the surface of the glass substrate 71, the glass substrate 71 is disposed so that the surface of the glass substrate 71 faces the front lens surface mold 82, as shown in FIG. Is placed on the front lens surface mold 82, and the glass substrate 71 is used, for example, using a microscope so that the positioning marks 518 and 519 of the glass substrate 71 and the positioning marks 821 and 822 of the front lens surface mold 82 are accurately aligned. determining the location, by irradiating the ultraviolet rays 78 in this state, the lens refractive surface 72 at a predetermined position is formed integrally, the front one-sided planar microlens array 61 is obtained.

同様に、ガラス基板73の表面にレンズ屈折面部74を一体成形する際には、図20(b)に示すように、ガラス基板73の表面を裏側レンズ面金型84に面するようにガラス基板73を裏側レンズ面金型84上に載せ、ガラス基板73の位置決めマーク518’、519’と裏側レンズ面金型84の位置決めマーク821’、822’がそれぞれ正確に整列するように、例えば顕微鏡を用いてガラス基板73の位置を決め、その状態で紫外線78を照射することで、所定位置にレンズ屈折面部74が一体成形され、裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 が得られる。 Similarly, when the lens refracting surface portion 74 is integrally formed on the surface of the glass substrate 73, the glass substrate 73 is disposed so that the surface of the glass substrate 73 faces the back lens surface mold 84 as shown in FIG. 73 is placed on the rear lens surface mold 84, and for example, a microscope is used so that the positioning marks 518 'and 519' on the glass substrate 73 and the positioning marks 821 'and 822' on the rear lens surface mold 84 are accurately aligned. position the glass substrate 73 using, by irradiating ultraviolet light 78 in this state, the lens refractive surface portion 74 at a predetermined position is formed integrally, the back one-sided planar microlens array 6 2 is obtained.

そして、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 のガラス基板71の平面側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 のガラス基板73の平面側とを向かい合わせ、ガラス基板71の位置決めマーク518、519をガラス基板73のそれぞれ位置決めマーク518’、519’に例えば顕微鏡を用いて正確に位置合わせすることで、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 の表側レンズ屈折面部72と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 の裏側レンズ屈折面部74とが軸ずれなく高精度で軸合わせがなされることになる。その状態で、ガラス基板71とガラス基板73の間を接着剤等で一体化することにより、各マイクロレンズ5の表側レンズ屈折面部72と裏側レンズ屈折面部74とが軸ずれなく高精度で軸合わせされたこの実施例のマイクロレンズアレイ6(図21)が得られることになる。 Then, facing the flat side of the flat surface side and the back side sided planar microlens array 6 2 of the glass substrate 73 of the front sided planar microlens array 61 of the glass substrate 71, a glass substrate positioning marks 518 and 519 of the glass substrate 71 each positioning mark 73 518 ', 519' that precise alignment with the example microscope, the front one-sided planar microlens array 61 of the front lens refractive surface 72 and the back sided planar microlens array 6 2 of the rear side lens The refracting surface portion 74 is aligned with high accuracy without any axial misalignment. In this state, by integrating the glass substrate 71 and the glass substrate 73 with an adhesive or the like, the front side lens refracting surface portion 72 and the back side lens refracting surface portion 74 of each microlens 5 are aligned with high accuracy without axis misalignment. Thus, the microlens array 6 of this embodiment (FIG. 21) is obtained.

なお、図20の変形例としては、ガラス基板71、73に予め位置決めマーク518、519、518’、519’は設けておかず、その代わりに、レンズ屈折面部72、74をガラス基板71、73に一体成形するときに、ガラス基板71、73の表面の位置決めマーク518、519、518’、519’に対応する位置にUV硬化樹脂で位置決めマーク518、519、518’、519’が同時に一体成形されるようにしてもよい。その場合には、金型82、84の位置決めマーク821、822、821’、822’の位置にそのようなUV硬化樹脂製の位置決めマーク518、519、518’、519’を成形させるための型を形成しておくことになる。   As a modification of FIG. 20, positioning marks 518, 519, 518 ′, and 519 ′ are not provided in advance on the glass substrates 71 and 73. Instead, the lens refracting surface portions 72 and 74 are formed on the glass substrates 71 and 73. At the time of integral molding, positioning marks 518, 519, 518 'and 519' are simultaneously integrally molded with UV curable resin at positions corresponding to the positioning marks 518, 519, 518 'and 519' on the surfaces of the glass substrates 71 and 73. You may make it do. In that case, a mold for forming such UV curable resin positioning marks 518, 519, 518 ', 519' at the positions of the positioning marks 821, 822, 821 ', 822' of the molds 82, 84. Will be formed.

さて、このようにして製造されたマイクロレンズアレイ6を用いた光書き込みラインヘッドの1例を説明する。図22はこの例の光書き込みラインヘッド101の構成を示す一部を破断した斜視図であり、図23はその光書き込みラインヘッド101へのマイクロレンズアレイ6の取り付け機構を示す平面図である。この例の場合、図19のマイクロレンズアレイ6を用いている。この例では、発光体ブロック4が副走査方向に3分の1ピッチずつずらして主走査方向に伸びるように3列配置されており、それに対応してマイクロレンズアレイ6のマイクロレンズ5も主走査方向に伸びるように一定ピッチで配置されており、かつ、副走査方向では主走査方向の列の先頭位置を3分の1ピッチずつずらして配列されている。   Now, an example of an optical writing line head using the microlens array 6 manufactured as described above will be described. FIG. 22 is a partially cutaway perspective view showing the configuration of the optical writing line head 101 of this example, and FIG. 23 is a plan view showing a mechanism for attaching the microlens array 6 to the optical writing line head 101. In this example, the microlens array 6 of FIG. 19 is used. In this example, the light emitter blocks 4 are arranged in three rows so as to extend in the main scanning direction while being shifted by a third pitch in the sub-scanning direction, and the microlenses 5 of the microlens array 6 are also correspondingly scanned in the main scanning direction. They are arranged at a constant pitch so as to extend in the direction, and in the sub-scanning direction, the leading positions of the columns in the main scanning direction are shifted by a third pitch.

発光体アレイ1を構成する有機EL装置1は長尺のハウジング35の底に設けられた受け穴中に嵌め込み固定される。長尺のハウジング35の両端に設けた位置決めピン36を対向する画像形成装置本体の位置決め穴に嵌入させると共に、長尺のケース35の両端に設けたねじ挿入孔37を通して固定ねじを画像形成装置本体のねじ穴にねじ込んで固定することにより、光書き込みラインヘッド101が所定位置に固定されている。   The organic EL device 1 constituting the light emitter array 1 is fitted and fixed in a receiving hole provided at the bottom of the long housing 35. The positioning pins 36 provided at both ends of the long housing 35 are fitted into the positioning holes of the opposing image forming apparatus main body, and the fixing screws are inserted through the screw insertion holes 37 provided at both ends of the long case 35. The optical writing line head 101 is fixed at a predetermined position by being screwed into the screw hole.

そして、長尺のハウジング35の有機EL装置1の表面側には、発光体アレイ1の各発光体ブロック4と整列するように透孔29が穿たれたを所定の厚さの遮光部材28を介して、マイクロレンズアレイ6が固定されている。その際、マイクロレンズアレイ6の各マイクロレンズ5の光軸が発光体ブロック4の中心に整列するようにマイクロレンズアレイ6が固定されている。   A light shielding member 28 having a predetermined thickness is formed on the surface side of the organic EL device 1 of the long housing 35 with a through hole 29 formed so as to align with each light emitter block 4 of the light emitter array 1. The microlens array 6 is fixed through. At that time, the microlens array 6 is fixed so that the optical axis of each microlens 5 of the microlens array 6 is aligned with the center of the light emitter block 4.

マイクロレンズアレイ6を長尺のハウジング35に高精度で固定可能にするため、図23に示すように、ハウジング35にマイクロレンズアレイ6の外形より若干大きい取り付け用の長方形開口38が設けられ、その長辺に沿った一方の壁面に金型82、84の位置決めピン516(516’)、517(517’)に対応する突起526、527が設けられ、対向する壁面には一方の壁面側にバイアス力を加える付勢部材523が設けられている。   In order to make it possible to fix the microlens array 6 to the long housing 35 with high accuracy, as shown in FIG. 23, the housing 35 is provided with a rectangular opening 38 for attachment that is slightly larger than the outer shape of the microlens array 6. Protrusions 526 and 527 corresponding to the positioning pins 516 (516 ′) and 517 (517 ′) of the molds 82 and 84 are provided on one wall surface along the long side, and the opposite wall surface is biased to one wall surface side. A biasing member 523 for applying force is provided.

したがって、付勢部材523を開いて図19のマイクロレンズアレイ6を長方形開口38に嵌め込み、付勢部材523の付勢力を加えるようにしてマイクロレンズアレイ6を長尺のハウジング35に固定する。その際、長方形開口38の壁面の突起526、527がそれぞれマイクロレンズアレイ6を構成するガラス基板71及び73の第1位置決め部713及び733、第2位置決め部714及び734に入り込んで当接することで、マイクロレンズアレイ6はハウジング35に正確に位置決めされて固定される。   Accordingly, the urging member 523 is opened, the microlens array 6 of FIG. 19 is fitted into the rectangular opening 38, and the urging force of the urging member 523 is applied to fix the microlens array 6 to the long housing 35. At that time, the protrusions 526 and 527 on the wall surface of the rectangular opening 38 enter and contact the first positioning portions 713 and 733 and the second positioning portions 714 and 734 of the glass substrates 71 and 73 constituting the microlens array 6, respectively. The microlens array 6 is accurately positioned and fixed to the housing 35.

このように、この実施例では、マイクロレンズアレイ6製造の際のレンズ面の位置決め基準に用いた位置決め手段(第1位置決め部713及び733、第2位置決め部714及び734)を光書き込みラインヘッド101の組み立ての際のマイクロレンズアレイ6の位置決め手段としても用いるので、光書き込みラインヘッド101の光学系は高精度で組み立てられることになる。   As described above, in this embodiment, the positioning means (first positioning portions 713 and 733, second positioning portions 714 and 734) used for the positioning reference of the lens surface when manufacturing the microlens array 6 is used as the optical writing line head 101. Therefore, the optical system of the optical writing line head 101 can be assembled with high accuracy.

次に、本発明によるマイクロレンズアレイ6の変形例をいくつか説明する。   Next, some modified examples of the microlens array 6 according to the present invention will be described.

図24に断面を示したマイクロレンズアレイ6は、図16のようにして製造された表側片面平面マイクロレンズアレイ61 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 をそれぞれの平面側で向かい合わせて一体化する際に、片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 間にマイクロレンズ5間のクロストークを防いだりその他の迷光を遮断する遮光膜63 を配置する構成のものである。遮光膜63 は、各マイクロレンズ5に対応して各光軸O−O’と同心の開口が設けられた遮光膜であり、例えば何れかのガラス基板71、73のレンズ屈折面部72、74と反対側の平面上に印刷したりフォトリソグラフィックな手法で形成することができ、その後に図17〜図21で説明したような方法で片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 相互を位置合わせして一体化することで作製することができる。 Microlens array 6 shown in the sectional view of FIG. 24, integral with facing 16 of way produced a front sided planar microlens array 61 and the rear sided planar microlens array 6 2 at respective planes side when a configuration including arranging the light shielding film 6 3 for blocking other stray Guests prevent crosstalk between the micro lenses 5 between one side plane microlens array 6 and 62. The light shielding film 6 3, corresponding to each microlens 5 with the optical axis O-O 'is a light-shielding film concentric openings are provided, for example, any of the lens refractive surface 72, 74 of the glass substrate 71 and 73 Can be printed on a plane opposite to the first plane or formed by a photolithographic technique, and then the single-sided planar microlens arrays 6 1 and 6 2 are aligned with each other by the method described with reference to FIGS. Can be manufactured by integrating them.

図25に断面を示したマイクロレンズアレイ6は、図16のようにして製造された表側片面平面マイクロレンズアレイ61 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 をそれぞれの平面側で向かい合わせて一体化する際に、片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 間にマイクロレンズ5間のクロストークを防いだりそのたの迷光を遮断するために、図24の遮光膜63 の代わりに、厚さがより厚く、各マイクロレンズ5に対応して各光軸O−O’と同心の開口が設けられた遮光板64 を配置した例である。この場合は、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 の間に遮光板64 を挟み、その後に図17〜図21で説明したような方法で片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 相互を位置合わせして一体化することで作製することができる。 Microlens array 6 shown in the sectional view of FIG. 25, integral with facing 16 of way produced a front sided planar microlens array 61 and the rear sided planar microlens array 6 2 at respective planes side when, in order to block other stray Guests prevent crosstalk between the micro lenses 5 between one side plane microlens array 6 and 62, in place of the light shielding film 6 3 of FIG. 24, the thickness thicker, is an example corresponding to each microlens 5 with the optical axis O-O 'is concentric apertures disposed a light-shielding plate 6 4 provided. In this case, the front one side plane between the microlens array 61 and the rear sided planar microlens array 6 2 sandwiching the light shielding plate 6 4, then 17 to 21 single-sided planar microlens array in the manner described in 6 1 and 6 2 can be manufactured by aligning and integrating each other.

図26に、この実施例のマイクロレンズアレイ6を用いた光書き込みラインヘッドの図22と同様の図を示す。その詳細は、図25の説明と図22の説明から明らかであるので省く。   FIG. 26 is a view similar to FIG. 22 of an optical writing line head using the microlens array 6 of this embodiment. Details thereof will be omitted because they are apparent from the description of FIG. 25 and the description of FIG.

図27に断面を示したマイクロレンズアレイ6は、図25のマイクロレンズアレイ6の変形例であり、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 の平面側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 の平面側を向かい合わせるのではなく、何れか一方の平面側を物体側あるいは像側に向けて両者を遮光板64 をスペーサとして一体化するものであり、図27の場合は、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 の平面側を像側に向け、裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 の平面側と表側片面平面マイクロレンズアレイ61 のレンズ屈折面部72側とを向かい合わせている例である。片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 相互の位置合わせは、図17〜図21で説明したような方法で行う。この構成は、後記するように、図11のような画像形成装置のラインヘッド101のマイクロレンズアレイ6として用いると、現像剤のトナーが飛散してマイクロレンズアレイ61 のガラス基板71の露出した平面に付着することになるが、その面が平面であるため、簡単に清掃できクリーニング性が向上することになる。 Microlens array 6 shown in the sectional view of FIG. 27 is a modified example of the microlens array 6 of FIG. 25, the plane side of the front sided planar microlens array 61 plane side and the back side sided planar microlens array 6 2 rather than confront the, is intended to integrate both towards one of the flat side to the object side or the image side or a light shielding plate 6 4 as a spacer, in the case of FIG. 27, the front one-sided planar microlens array 6 toward the first plane side to the image side, an example in which face each other and the back sided flat plane side of the microlens array 6 2 and front sided planar microlens array 61 of the lens refractive surface 72 side. The mutual alignment between the single-sided planar microlens arrays 6 1 and 6 2 is performed by the method described with reference to FIGS. This configuration, as described later, when used as a micro lens array 6 of the line head 101 of the image forming apparatus shown in FIG 11, the exposed microlens array 61 of the glass substrate 71 toner in the developer is scattered Although it adheres to a flat surface, since the surface is a flat surface, it can be easily cleaned and the cleaning performance is improved.

以上の本発明のマイクロレンズアレイ6は、ガラス基板71、73の一面にそれぞれ例えばUV硬化樹脂76+76’で成形されたレンズ屈折面部72、74を設けて構成される片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 を位置合わせして一体化することで構成していたが、片面平面マイクロレンズアレイとして単一組成の樹脂等で成形したものを用いてもよい。その場合の構成例を図28の断面図に示す。この場合、片面平面マイクロレンズアレイ65 、66 は、それぞれ射出成形等の成形方法で透明樹脂等でレンズ屈折面部72、74を含めて一体成形してなるものであり、一面にマイクロレンズアレイのレンズ面に成形され、他の面は平面に成形されている。このような片面平面マイクロレンズアレイ65 、66 をガラス基板70の両側の平面に対してそれぞれの平面側を向かい合わせ、図17〜図21で説明したような方法で片面平面マイクロレンズアレイ65 、66 相互を位置合わせし、ガラス基板70の両面に接着剤等で一体化することにより作製される。なお、マイクロレンズアレイ6の厚さが薄い場合には、ガラス基板70を省いて片面平面マイクロレンズアレイ65 、66 相互を直接に一体化するようにしてもよい。 The microlens array 6 of the present invention described above is a single-sided planar microlens array 6 1 configured by providing lens refracting surface portions 72 and 74 formed of, for example, UV curable resin 76 + 76 ′ on one surface of glass substrates 71 and 73, respectively. 6 2 had been constructed by integrally aligned, it may be used those formed of resin or the like having a single composition as a single-sided planar microlens array. A configuration example in that case is shown in a sectional view of FIG. In this case, the single-sided planar microlens arrays 6 5 and 6 6 are each integrally formed of transparent resin or the like including the lens refracting surface portions 72 and 74 by a molding method such as injection molding. The other lens surface is molded into a flat surface. Such single-sided planar microlens arrays 6 5 , 6 6 are opposed to the planes on both sides of the glass substrate 70 with their respective planar sides facing each other, and the single-sided planar microlens array 6 is subjected to the method described with reference to FIGS. 5 and 6 6 are produced by aligning each other and integrating them on both surfaces of the glass substrate 70 with an adhesive or the like. When the thickness of the microlens array 6 is thin, the single-sided planar microlens arrays 6 5 and 6 6 may be integrated directly without the glass substrate 70.

ここで、このような単一組成の片面平面マイクロレンズアレイ65 、66 の成形方法の1例を図29の製造工程を説明する図を参照にして説明する。図29(a)に示すように、それぞれ片面平面マイクロレンズアレイ65 、66 の各マイクロレンズ面の凹型に対応する曲面型部92、94を金型82、84と同様にして形成されている上金型95、97を用意し、他方、片面平面マイクロレンズアレイ65 、66 のマイクロレンズ面と反対側の平面に対応する平面型部100を持った下金型96を用意する。下金型96は両上金型95、97に対応した1個のものを用いてもよく、あるいは、金型95、97それぞれに対応して別々に用意してもよい。 Here, an example of a method for forming such single-sided planar microlens arrays 6 5 and 6 6 having a single composition will be described with reference to the drawing explaining the manufacturing process of FIG. As shown in FIG. 29A, curved surface mold parts 92 and 94 corresponding to the concave molds of the microlens surfaces of the single-sided planar microlens arrays 6 5 and 6 6 are formed in the same manner as the molds 82 and 84, respectively. The upper molds 95 and 97 are prepared, and the lower mold 96 having the planar mold part 100 corresponding to the plane opposite to the microlens surface of the single-sided planar microlens arrays 6 5 and 6 6 is prepared. The lower mold 96 may be a single mold corresponding to the upper molds 95 and 97, or may be prepared separately corresponding to the molds 95 and 97, respectively.

そして、図29(b)に示すように、上金型95、97の位置決めピン98、98を下金型96の位置決めピン98、98に対応した位置に設けられた位置決め穴99、99に挿入して成形型を組み立てる。下金型96には樹脂注入用の注入孔110、110が設けられている。   Then, as shown in FIG. 29 (b), the positioning pins 98 and 98 of the upper molds 95 and 97 are inserted into the positioning holes 99 and 99 provided at positions corresponding to the positioning pins 98 and 98 of the lower mold 96. Assemble the mold. The lower mold 96 is provided with injection holes 110 and 110 for injecting resin.

次いで、図29(c)に示すように、上金型95、97と下金型96からなる成形型内に注入孔110、110から加熱溶融したPMMA等の熱可塑性樹脂111を注入し、冷却する。   Next, as shown in FIG. 29 (c), a thermoplastic resin 111 such as PMMA that is heated and melted from the injection holes 110 and 110 is poured into a mold composed of the upper molds 95 and 97 and the lower mold 96 and cooled. To do.

次に、図29(d)に示すよう成形型を分解することにより、成形された片面平面マイクロレンズアレイ65 、66 が取り出される。 Next, by disassembling the mold as shown in FIG. 29 (d), the molded single-sided planar microlens arrays 6 5 and 6 6 are taken out.

なお、図29は単一組成の片面平面マイクロレンズアレイ65 、66 の成形方法の1つの成形方法を示すもので、他の成形方法で作製することもできる。 FIG. 29 shows one molding method of single-sided planar microlens arrays 6 5 , 6 6 having a single composition, and can be produced by other molding methods.

さて、本発明によるマイクロレンズアレイ6の変形例をさらにいくつか説明する。以下の図30〜図32は、本発明による片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 の何れか一方のガラス基板、以下では片面平面マイクロレンズアレイ62 のガラス基板73を発光体アレイ(有機EL装置)1を形成するガラス基板20(図12、図14)と兼用させるマイクロレンズアレイ6の実施例を示す断面図である。これらの場合には、片面平面マイクロレンズアレイ62 のガラス基板73のレンズ屈折面部74とは反対側の平面上に、各マイクロレンズ5に対応させて有機ELの発光領域2からなる発光体ブロック4を配置して(図4)、ボトムエミッション型の有機EL装置1とする。 Now, some further modifications of the microlens array 6 according to the present invention will be described. FIGS. 30 to 32 below show a single-sided planar microlens array 6 1 , 6 2 according to the present invention, and a glass substrate 73 of the single-sided planar microlens array 6 2 below as a light emitter array (organic EL). FIG. 15 is a cross-sectional view showing an example of a microlens array 6 that is also used as a glass substrate 20 (FIGS. 12 and 14) forming an apparatus 1. In these cases, the light emitter block on a plane opposite to the lens refractive surface 74 of the single-sided planar microlens array 6 second glass substrate 73, a light emitting region 2 of the organic EL so as to correspond to each microlens 5 4 is arranged (FIG. 4) to obtain a bottom emission type organic EL device 1.

図30の構成では、マイクロレンズアレイ6は、図27の場合と同様で、裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 の平面側を物体側(発光体ブロック4)に向け、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 の平面側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 のレンズ屈折面部74側とを各マイクロレンズ5に対応して各光軸O−O’と同心の開口が設けられた遮光板64 を介して向かい合わせ、図17〜図21で説明したような方法で相互の位置合わせを行って一体化することで作製される。 In the configuration of FIG. 30, the microlens array 6, the same as in FIG. 27, toward the plane side of the back sided planar microlens array 6 2 on the object side (the light emitter block 4), the front one-sided planar microlens array 6 via the light shielding plate 6 4 provided the first plane side and the back side one side plane microlens apertures and an array 6 second lens refracting surface portion 74 side so as to correspond to each microlens 5 with the optical axis O-O 'concentric And are integrated by performing mutual alignment by the method described with reference to FIGS.

図31の構成では、マイクロレンズアレイ6は、裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 の平面側を物体側(発光体ブロック4)に向け、表側片面平面マイクロレンズアレイ61 のレンズ屈折面部72側と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 のレンズ屈折面部74側とを遮光板64 を介して向かい合わせ、図17〜図21で説明したような方法で相互の位置合わせを行って一体化することで作製される。この構成の場合は、図27の場合と同様に、図11のような画像形成装置のラインヘッド101のマイクロレンズアレイ6として用いる場合に、飛散したトナーはマイクロレンズアレイ61 のガラス基板71の露出した平面に付着するので、簡単に清掃できクリーニング性がよい。 In the configuration of FIG. 31, the microlens array 6, toward the plane side of the back sided planar microlens array 6 2 on the object side (the light emitter block 4), and front sided planar microlens array 61 of the lens refractive surface 72 side facing the rear sided planar microlens array 6 second lens refracting surface portion 74 side through the light shielding plate 6 4, by integrating performing alignment of each other in the manner described in FIGS. 17 to 21 Produced. For this configuration, as in the case of FIG. 27, when used as a micro lens array 6 of the line head 101 of the image forming apparatus as shown in FIG. 11, scattered toner of the microlens array 61 of the glass substrate 71 Since it adheres to the exposed flat surface, it can be easily cleaned and has good cleanability.

図32の構成では、有機ELラインヘッド用のマイクロレンズアレイ6’として、ガラス基板73を発光体アレイ(有機EL装置)1を形成するガラス基板20と兼用させた片面平面マイクロレンズアレイ62 と、図15又は図28のような構成の複合型の両面にレンズ面が形成されてなるマイクロレンズアレイ6とを組み合わせたものを用いた例であり、マイクロレンズアレイ6の一方のレンズ屈折面部側と片面平面マイクロレンズアレイ62 のレンズ屈折面部74側とを遮光板64 を介して向かい合わせ、図17〜図21で説明したような方法で相互の位置合わせを行って一体化することで作製される。この構成の場合は、各マイクロレンズ5が3面の曲面からなるレンズ系からなるので、より明るく結像特性の良いものが可能になる。 In the configuration of FIG. 32, as the microlens array 6 'for organic EL line head, a single-sided planar microlens array 6 2 was also used as the glass substrate 20 to form a light emitter array (organic EL device) 1, a glass substrate 73 15 or 28 is an example using a combination of a microlens array 6 in which lens surfaces are formed on both surfaces of a composite type configured as shown in FIG. 15 or FIG. 28, and one lens refractive surface portion side of the microlens array 6. by the facing the one side plane microlens array 6 second lens refracting surface portion 74 side through the light shielding plate 6 4, integrated by performing the alignment of one another in the manner described in FIGS. 17 to 21 Produced. In the case of this configuration, since each microlens 5 is composed of a lens system composed of three curved surfaces, a brighter and better imaging characteristic can be achieved.

次に、図21のような、2枚の片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 が位置合わせされて各マイクロレンズ5の表側レンズ屈折面部72と裏側レンズ屈折面部74とが高精度で軸合わせされたマイクロレンズアレイ6を用いて、光書き込みラインヘッドを構成する場合の例を説明する。図33はこの例におけるマイクロレンズアレイ6(図21)を構成する表側片面平面マイクロレンズアレイ61 (図33(a))と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 (図33(b))を分解して示すと共に、それらマイクロレンズアレイ61 、62 に対応する発光体アレイ(有機EL装置)1(図33(c))を示す平面図であり、このようなマイクロレンズアレイ6と発光体アレイ1を用いて図22のような光書き込みラインヘッド101に組み立てる際には、マイクロレンズアレイ6を構成する各マイクロレンズ5の光軸と発光体アレイ1の各発光体ブロック4の中心を精密に位置決めしなければならない。そこで、発光体アレイ1を構成する有機EL装置1の発光面のマイクロレンズアレイ6の位置決めマーク518+518’、519+519’(図21)に対応した位置に位置決めマーク528、529を設けておく。 Next, as shown in FIG. 21, two single-sided planar microlens arrays 6 1 , 6 2 are aligned, and the front lens refractive surface portion 72 and the back lens refractive surface portion 74 of each microlens 5 are aligned with high accuracy. An example in which an optical writing line head is configured using the microlens array 6 that has been formed will be described. FIG. 33 is an exploded view of the front-side single-sided planar microlens array 6 1 (FIG. 33 (a)) and the back-sided single-sided planar microlens array 6 2 (FIG. 33 (b)) constituting the microlens array 6 (FIG. 21) in this example. And a plan view showing a light emitter array (organic EL device) 1 (FIG. 33 (c)) corresponding to the microlens arrays 6 1 and 6 2 . When the optical writing line head 101 as shown in FIG. 22 is assembled using the array 1, the optical axis of each microlens 5 constituting the microlens array 6 and the center of each light emitter block 4 of the light emitter array 1 are precisely set. Must be positioned on. Therefore, positioning marks 528 and 529 are provided at positions corresponding to the positioning marks 518 + 518 ′ and 519 + 519 ′ (FIG. 21) of the microlens array 6 on the light emitting surface of the organic EL device 1 constituting the light emitter array 1.

このようなマイクロレンズアレイ6と発光体アレイ1を用いて図22のような光書き込みラインヘッド101を組み立てるために、図34に示すように、マイクロレンズアレイ6の位置決めマークを形成している一方のガラス基板71の位置決めマーク518、519及び他方のガラス基板73の位置決めマーク518’、519’の重畳したマーク(図21)と、発光体アレイ1の位置決めマーク528、529がそれぞれ正確に整列するように、例えば顕微鏡を用いてガラス基板71と発光体アレイ1を位置合わせする。この際、間に介在する遮光部材28が邪魔になるので、遮光部材28の位置決めマーク518+518’、519+519’に対応する位置に若干大きめの開口30を設けておくことで、マイクロレンズアレイ6と発光体アレイ1の間に遮光部材28が介在していても問題にならない。なお、図34の斜視図では、マイクロレンズアレイ6を構成する表側片面平面マイクロレンズアレイ61 と裏側片面平面マイクロレンズアレイ62 を分解して示してあるが、マイクロレンズアレイ6と発光体アレイ1を位置合わせする際はマイクロレンズアレイ61 とマイクロレンズアレイ62 は一体になっている(図21)。 In order to assemble the optical writing line head 101 as shown in FIG. 22 using such a microlens array 6 and the light emitter array 1, a positioning mark of the microlens array 6 is formed as shown in FIG. The positioning marks 518 and 519 of the glass substrate 71 and the marks (FIG. 21) on which the positioning marks 518 ′ and 519 ′ of the other glass substrate 73 are superimposed are accurately aligned with the positioning marks 528 and 529 of the light emitter array 1, respectively. Thus, for example, the glass substrate 71 and the light emitter array 1 are aligned using a microscope. At this time, since the light shielding member 28 interposed therebetween becomes an obstacle, a slightly larger opening 30 is provided at a position corresponding to the positioning marks 518 + 518 ′ and 519 + 519 ′ of the light shielding member 28, so that the microlens array 6 and the light emission are emitted. There is no problem even if the light shielding member 28 is interposed between the body arrays 1. In the perspective view of FIG. 34, but is shown by decomposing the front sided planar microlens array 61 and the rear sided planar microlens array 6 2 constituting the microlens array 6, the microlens array 6 as the light emitter array when aligning a microlens array 61 and the microlens array 6 2 is integrated (Figure 21).

図35は、発光体アレイ1の発光面に設ける位置決めマーク528(529)と、マイクロレンズアレイ6の位置決めマーク518+518’(519+519’)の例示と位置合わせの際の相互の位置関係を示す図である。マイクロレンズアレイ6を構成する一方のマイクロレンズアレイ61 のガラス基板71に設けられている位置決めマーク518(519)が○で囲まれたX字状で、他方のマイクロレンズアレイ62 のガラス基板73に設けられている位置決めマーク518(519)が○で囲まれた+字状の場合に、発光体アレイ1の発光面に設ける位置決めマーク528(529)としては、図35に示すように、+字の交点を4つの象限方向から当間隔で囲むL字状マークとすると、マイクロレンズアレイ6の位置決めマーク518+518’(519+519’)と発光体アレイ1の位置決めマーク528(529)を正確に整列させることができるようになる。 FIG. 35 is a diagram showing the positional relationship between the positioning mark 528 (529) provided on the light emitting surface of the light emitter array 1 and the positioning mark 518 + 518 ′ (519 + 519 ′) of the microlens array 6 and the alignment. is there. In the microlens array 6 one of the microlens array 61 of the glass substrate 71 positioned is provided in the mark 518 constituting the (519) are X-shaped surrounded by ○, a glass substrate of the other of the microlens array 6 2 In the case where the positioning mark 518 (519) provided in 73 is a + character surrounded by a circle, as the positioning mark 528 (529) provided on the light emitting surface of the light emitter array 1, as shown in FIG. Assuming that the intersection of the + character is an L-shaped mark that surrounds the four quadrant directions at equal intervals, the positioning mark 518 + 518 ′ (519 + 519 ′) of the microlens array 6 and the positioning mark 528 (529) of the light emitter array 1 are accurately aligned. To be able to.

なお、この例の場合も、マイクロレンズアレイ6製造の際のレンズ面の位置決め基準に用いた位置決め手段(位置決めマーク518、519、518’、519’)を光書き込みラインヘッド101の組み立ての際のマイクロレンズアレイ6の位置決め手段としても用いるので、光書き込みラインヘッド101の光学系は高精度で組み立てられることになる。   Also in this example, the positioning means (positioning marks 518, 519, 518 ′, and 519 ′) used for the lens surface positioning reference when manufacturing the microlens array 6 are used when the optical writing line head 101 is assembled. Since it is also used as a positioning means for the microlens array 6, the optical system of the optical writing line head 101 is assembled with high accuracy.

以下に、図16に示した方法でマイクロレンズアレイ6を構成する片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 を製造する際の1つの具体例を示す。 Hereinafter, one specific example when manufacturing the single-sided planar microlens arrays 6 1 and 6 2 constituting the microlens array 6 by the method shown in FIG. 16 will be described.

UV硬化樹脂76、76’としては、エポキシ系紫外線硬化樹脂(株式会社ADEKA 製 アデカオプトマーKR400)で屈折率1.52〜1.54を用いた。この樹脂は一般的には保護コート用として使われるものである。   As the UV curable resins 76 and 76 ′, an epoxy ultraviolet curable resin (ADEKA OPTMER KR400 manufactured by ADEKA Corporation) having a refractive index of 1.52 to 1.54 was used. This resin is generally used for a protective coating.

UVランプ77としたは、中心波長365nmで、光照射量80mJ/cm2 を用い、1回目のUV照射(図16(b))には1〜2秒の照射、2回目のUV照射(図16(d))には5〜10秒の照射を行った。 The UV lamp 77 has a central wavelength of 365 nm and a light irradiation amount of 80 mJ / cm 2. The first UV irradiation (FIG. 16B) is 1 to 2 seconds, the second UV irradiation (FIG. 16). 16 (d)) was irradiated for 5 to 10 seconds.

また、用いた片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 の透明基板71、73としては、無アルカリガラス(日本電気硝子株式会社製OA−10)を用いた。他にBK7等を用いることができる。片面平面マイクロレンズアレイ61 、62 の透明基板71、73と有機EL装置1のガラス基板20は同じものを用いるのが望ましい。その理由は、温度変化があっても両者の膨張係数が等しいため、マイクロレンズ5と発光体ブロック4の軸ずれが起き難くなるないためである。 As the single-sided planar microlens array 6 1, 6 2 of the transparent substrate 71, 73 using, using an alkali-free glass (Nippon Electric Glass Co., Ltd. OA-10). In addition, BK7 or the like can be used. It is desirable to use the same transparent substrates 71 and 73 of the single-sided planar microlens arrays 6 1 and 6 2 and the glass substrate 20 of the organic EL device 1. The reason is that, even if there is a temperature change, the expansion coefficients of the two are equal, so that it is difficult for the microlens 5 and the light emitter block 4 to be misaligned.

そして、このガラス基板71、73の表面処理については、
(1)洗浄:オゾン洗浄、硫酸洗浄、プラズマ処理等を行った。これは濡れ性の向上が目的である。
(2)次いで、シアンカップリング剤をスピンコートした。これは樹脂との密着性の向上が目的である。シアンカップリング剤(信越化学(株)KBE−903を水とエタノールの混合液(1:1)に1%添加した液を使用した。シアンカップリング剤入りの樹脂を用いることも可能である。
And about the surface treatment of these glass substrates 71 and 73,
(1) Cleaning: Ozone cleaning, sulfuric acid cleaning, plasma treatment, etc. were performed. This is intended to improve wettability.
(2) Next, a cyan coupling agent was spin-coated. The purpose is to improve the adhesion to the resin. A cyan coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. KBE-903 added to water and ethanol mixed solution (1: 1) 1% was used. It is also possible to use a resin containing a cyan coupling agent.

以上、本発明のマイクロレンズアレイの製造方法、マイクロレンズアレイ、それを用いた有機ELラインヘッド及び画像形成装置をその原理と実施例に基づいて説明してきたが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可能である。   As mentioned above, although the manufacturing method of the microlens array of this invention, the microlens array, the organic EL line head using the same, and the image forming apparatus have been demonstrated based on the principle and Example, this invention is limited to these Examples. Various modifications are possible.

本発明の1実施形態に係るラインヘッドの1つのマイクロレンズに対応する部分の斜視図である。It is a perspective view of the part corresponding to one micro lens of the line head concerning one embodiment of the present invention. 本発明の1実施形態に係るラインヘッドの1つのマイクロレンズに対応する部分の斜視図である。It is a perspective view of the part corresponding to one micro lens of the line head concerning one embodiment of the present invention. 本発明の1実施形態に係るラインヘッドの1つのマイクロレンズに対応する部分の斜視図である。It is a perspective view of the part corresponding to one micro lens of the line head concerning one embodiment of the present invention. 本発明の1実施形態に係る発光体アレイと光学倍率がマイナスのマイクロレンズとの対応関係を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the correspondence of the light-emitting body array which concerns on one Embodiment of this invention, and the micro lens with minus optical magnification. 画像データが格納されているラインバッファのメモリテーブルの例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example of the memory table of the line buffer in which image data is stored. 主走査方向に奇数番号と偶数番号の発光素子による結像スポットが同列に形成される様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a mode that the imaging spot by the light emitting element of an odd number and an even number is formed in the same row in the main scanning direction. ラインヘッドとして使用される発光体アレイの例を示す概略の説明図である。It is explanatory drawing of the outline which shows the example of the light-emitting body array used as a line head. 図7の構成で各発光素子の出力光によりマイクロレンズを通して像担持体の露光面を照射した場合の結像位置を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the image formation position at the time of irradiating the exposure surface of an image carrier through a micro lens with the output light of each light emitting element by the structure of FIG. 図8において副走査方向の結像スポット形成の状態を示す説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram illustrating a state of forming an imaging spot in the sub-scanning direction in FIG. 8. マイクロレンズを複数配列した場合に像担持体の主走査方向に結像スポットが反転して形成される例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the example in which an imaging spot is reversed and formed in the main scanning direction of an image carrier when a plurality of microlenses are arranged. 本発明による電子写真プロセスを用いた画像形成装置の1実施例の全体構成を示す模式的断面図である。1 is a schematic cross-sectional view illustrating an overall configuration of an embodiment of an image forming apparatus using an electrophotographic process according to the present invention. 本発明の有機ELラインヘッドに用いる有機EL装置の1実施例の平面図である。It is a top view of 1 Example of the organic EL apparatus used for the organic EL line head of this invention. 図12中の発光領域の周辺部分の拡大図である。It is an enlarged view of the peripheral part of the light emission area | region in FIG. 図13中のE−E線における有機EL装置の断面図である。It is sectional drawing of the organic electroluminescent apparatus in the EE line | wire in FIG. 本発明の製造方法に従って作製されたマイクロレンズアレイの断面図である。It is sectional drawing of the micro lens array produced according to the manufacturing method of this invention. 本発明のマイクロレンズアレイを構成する片面平面マイクロレンズアレイの製造方法の1例の工程図である。It is process drawing of an example of the manufacturing method of the single-sided planar microlens array which comprises the microlens array of this invention. 一方の片面平面マイクロレンズアレイと他方の片面平面マイクロレンズアレイとの位置合わせ方法の1つの例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating one example of the positioning method of one single-sided planar microlens array and the other single-sided planar microlens array. 一方の片面平面マイクロレンズアレイと他方の片面平面マイクロレンズアレイとの位置合わせ方法の他の例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other example of the positioning method of one single-sided planar microlens array and the other single-sided planar microlens array. 図18の方法で位置合わせして得られるマイクロレンズアレイの平面図である。It is a top view of the micro lens array obtained by aligning by the method of FIG. 一方の片面平面マイクロレンズアレイと他方の片面平面マイクロレンズアレイとの位置合わせ方法の別の例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating another example of the positioning method of one single-sided planar microlens array and the other single-sided planar microlens array. 図20の方法で位置合わせして得られるマイクロレンズアレイの平面図である。It is a top view of the micro lens array obtained by aligning by the method of FIG. 光書き込みラインヘッドの1例の構成を示す一部を破断した斜視図である。It is the perspective view which fractured | ruptured a part which shows a structure of one example of an optical writing line head. 図22の光書き込みラインヘッドへのマイクロレンズアレイの取り付け機構を示す平面図である。It is a top view which shows the attachment mechanism of the micro lens array to the optical writing line head of FIG. 本発明によるマイクロレンズアレイの1つの変形例の断面図である。It is sectional drawing of one modification of the micro lens array by this invention. 本発明によるマイクロレンズアレイの別の変形例の断面図である。It is sectional drawing of another modification of the micro lens array by this invention. 図25の実施例のマイクロレンズアレイを用いた光書き込みラインヘッドの図22と同様の図である。FIG. 26 is a view similar to FIG. 22 of an optical writing line head using the microlens array of the embodiment of FIG. 本発明によるマイクロレンズアレイのさらに別の変形例の断面図である。It is sectional drawing of another modification of the micro lens array by this invention. 本発明によるマイクロレンズアレイのさらに別の変形例の断面図である。It is sectional drawing of another modification of the micro lens array by this invention. 単一組成の片面平面マイクロレンズアレイの成形方法の1例の工程図である。It is process drawing of an example of the shaping | molding method of the single-sided planar microlens array of a single composition. 本発明によるマイクロレンズアレイのさらに別の変形例の断面図である。It is sectional drawing of another modification of the micro lens array by this invention. 本発明によるマイクロレンズアレイのさらに別の変形例の断面図である。It is sectional drawing of another modification of the micro lens array by this invention. 本発明によるマイクロレンズアレイのさらに別の変形例の断面図である。It is sectional drawing of another modification of the micro lens array by this invention. 図21の方法で位置決めされたマイクロレンズアレイを用いて光書き込みラインヘッドを構成する例における表側片面平面マイクロレンズアレイ(a)と裏側片面平面マイクロレンズアレイ(b)を分解して示すと共に、それらに対応する発光体アレイ(c)の平面図である。The front side single-sided planar microlens array (a) and the backside single-sided planar microlens array (b) in the example in which the optical writing line head is configured using the microlens array positioned by the method of FIG. It is a top view of the light-emitting body array (c) corresponding to. 図21のマイクロレンズアレイと発光体アレイを用いて光書き込みラインヘッドを組み立てる際の位置決めマーク間の整列のさせ方を説明するための図である。It is a figure for demonstrating how to align between the positioning marks at the time of assembling an optical writing line head using the microlens array and light-emitting body array of FIG. 図34において発光体アレイの発光面に設ける位置決めマークとマイクロレンズアレイの位置決めマークの例示と位置合わせの際の相互の位置関係を示す図である。It is a figure which shows the mutual positional relationship at the time of the illustration of the positioning mark provided in the light emission surface of a light-emitting body array in FIG. 34, and the positioning mark of a micro lens array, and alignment.

符号の説明Explanation of symbols

1…発光体アレイ(有機EL装置)、2…発光素子(発光領域)、3…発光素子列、4…発光体ブロック、5…マイクロレンズ、6、6’…マイクロレンズアレイ、61 、62 …片面平面マイクロレンズアレイ、63 …遮光膜、64 …遮光板、65 、66 …片面平面マイクロレンズアレイ、8、8a、8b…結像スポット、10…メモリテーブル、11…画素電極(陽極)、12…第1バンク、12a…開口部、13…有機EL素子、14…正孔注入層、15…発光層、16…陰極、17…封止部材、20…ガラス基板、21…半導体膜、22…第2バンク、22a…第1撥液領域、22b…親液領域、22c…第2撥液領域、23…ゲート電極、25…共通給電線、27…TFT素子、28…遮光部材、29…透孔、30…開口、31…下地保護膜、32…ゲート絶縁膜、33…第1層間絶縁膜、34…第2層間絶縁膜、35…長尺のハウジング、36…位置決めピン、37…ねじ挿入孔、38…取り付け用の長方形開口、41…感光体(像担持体)又は読み取り面、41(K、C、M、Y)…感光体ドラム(像担持体)、42(K、C、M、Y)…帯電手段(コロナ帯電器)、44(K、C、M、Y)…現像装置、45(K、C、M、Y)…一次転写ローラ、50…中間転写ベルト、66…二次転写ローラ、70…ガラス基板、71、73…透明基板(ガラス基板)、72、74…レンズ屈折面部、75…ディスペンサー、76、76’…紫外線(UV)硬化樹脂、77…UVランプ、78…紫外線、80…ギャップ材、82、84…レンズ面金型、92、94…曲面型部、95、97…上金型、96…下金型、98…位置決めピン、99…位置決め穴、100…平面型部、101、101K、101C、101M、101Y…ラインヘッド(光書き込みラインヘッド)、110…注入孔、111…熱可塑性樹脂、528、529…位置決めマーク、513、514、515、513’、514’、515’…位置決めピン、516、517、516’、517’…位置決めピン、518、519、518’、519’…位置決めマーク、523…付勢部材、526、527…突起、711、731…1つの長辺、712、732…1つの短辺、713、733…第1位置決め部、714、734…第2位置決め部、821、822、821’、822’…位置決めマーク、O−O’…光軸 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Light emitter array (organic EL device), 2 ... Light emitting element (light emitting area), 3 ... Light emitting element row, 4 ... Light emitter block, 5 ... Micro lens, 6, 6 '... Micro lens array, 6 1 , 6 2 ... single-sided planar microlens array, 6 3 ... light-shielding film, 6 4 ... light-shielding plate, 6 5 , 6 6 ... single-sided planar microlens array, 8, 8a, 8b ... imaging spot, 10 ... memory table, 11 ... pixel Electrode (anode), 12 ... first bank, 12a ... opening, 13 ... organic EL element, 14 ... hole injection layer, 15 ... light emitting layer, 16 ... cathode, 17 ... sealing member, 20 ... glass substrate, 21 ... Semiconductor film, 22 ... second bank, 22a ... first liquid repellent area, 22b ... lyophilic area, 22c ... second liquid repellent area, 23 ... gate electrode, 25 ... common feed line, 27 ... TFT element, 28 ... Light shielding member, 29 ... through hole, 30 ... opening, 31 ... base Protective film 32 ... Gate insulating film 33 ... First interlayer insulating film 34 ... Second interlayer insulating film 35 ... Long housing 36 ... Positioning pin 37 ... Screw insertion hole 38 ... Rectangular opening for mounting 41 (photosensitive member (image carrier) or reading surface), 41 (K, C, M, Y) ... photosensitive drum (image carrier), 42 (K, C, M, Y) ... charging means (corona charging) ), 44 (K, C, M, Y) ... developing device, 45 (K, C, M, Y) ... primary transfer roller, 50 ... intermediate transfer belt, 66 ... secondary transfer roller, 70 ... glass substrate, 71, 73 ... Transparent substrate (glass substrate), 72, 74 ... Lens refractive surface portion, 75 ... Dispenser, 76, 76 '... Ultraviolet (UV) curable resin, 77 ... UV lamp, 78 ... Ultraviolet, 80 ... Gap material, 82 84, lens surface mold, 92, 94 ... curved surface mold part, 95, 97 ... Upper mold, 96 ... Lower mold, 98 ... Positioning pin, 99 ... Positioning hole, 100 ... Planar mold part, 101, 101K, 101C, 101M, 101Y ... Line head (optical writing line head), 110 ... Injection Hole 111, thermoplastic resin, 528, 529, positioning mark, 513, 514, 515, 513 ′, 514 ′, 515 ′, positioning pin, 516, 517, 516 ′, 517 ′, positioning pin, 518, 519, 518 ', 519' ... positioning mark, 523 ... biasing member, 526, 527 ... projection, 711, 731 ... one long side, 712, 732 ... one short side, 713, 733 ... first positioning part, 714, 734 ... 2nd positioning part, 821, 822, 821 ', 822' ... Positioning mark, OO '... Optical axis

Claims (17)

金型を用いて光硬化性樹脂のマイクロレンズアレイを形成する方法であって、
マイクロレンズアレイの一方のレンズ面に対応する型面を持つ第1の金型に光硬化性樹脂を注入し、その上に第1の透明基板を載せ、その際に第1の金型に設けられた第1の位置決め手段を用いて第1の透明基板を位置決めし、
前記第1の透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第1の透明基板の一方の面上に第1のレンズアレイを成形し、
マイクロレンズアレイの他方のレンズ面に対応する型面を持つ第2の金型に光硬化性樹脂を注入し、その上に第2の透明基板を載せ、その際に第2の金型に設けられた第2の位置決め手段を用いて第2の透明基板を位置決めし、
前記第2の透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第2の透明基板の一方の面上に第2のレンズアレイを成形し、
前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイとをそれぞれの成形の際の位置決めに用いた前記第1の透明基板の位置決め部、前記第2の透明基板の位置決め部を用いて相互に位置合わせして一体化することでマイクロレンズアレイを作製することを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
A method of forming a microlens array of a photocurable resin using a mold,
A photocurable resin is injected into a first mold having a mold surface corresponding to one lens surface of the microlens array, and a first transparent substrate is placed on the first mold. At that time, the first mold is provided. Positioning the first transparent substrate using the first positioning means provided,
Forming a first lens array on one surface of the first transparent substrate by irradiating light from the first transparent substrate side to cure the photocurable resin,
A photocurable resin is injected into a second mold having a mold surface corresponding to the other lens surface of the microlens array, and a second transparent substrate is placed on the second mold, and provided on the second mold. Positioning the second transparent substrate using the second positioning means provided,
Forming a second lens array on one surface of the second transparent substrate by irradiating light from the second transparent substrate side to cure the photocurable resin,
The first lens array and the second lens array are positioned relative to each other using the positioning portion of the first transparent substrate and the positioning portion of the second transparent substrate that are used for positioning at the time of molding. A method of manufacturing a microlens array, wherein the microlens array is manufactured by combining and integrating.
前記位置決め部が前記第1の透明基板、前記第2の透明基板それぞれの直交する2つの側辺であることを特徴とする請求項1記載のマイクロレンズアレイの製造方法。 2. The method of manufacturing a microlens array according to claim 1, wherein the positioning portion is two orthogonal sides of the first transparent substrate and the second transparent substrate. 前記位置決め部が前記第1の透明基板、前記第2の透明基板それぞれの周囲に設けられた機械的なマークであることを特徴とする請求項1記載のマイクロレンズアレイの製造方法。 2. The method of manufacturing a microlens array according to claim 1, wherein the positioning portion is a mechanical mark provided around each of the first transparent substrate and the second transparent substrate. 前記位置決め部が前記第1の透明基板、前記第2の透明基板それぞれに設けられた光学的マークであることを特徴とする請求項1記載のマイクロレンズアレイの製造方法。 2. The method of manufacturing a microlens array according to claim 1, wherein the positioning portion is an optical mark provided on each of the first transparent substrate and the second transparent substrate. 前記第1の金型、前記第2の金型に中途まで光硬化性樹脂を注入して前記光硬化性樹脂を半硬化状態にし、次いで、その上にさらに光硬化性樹脂を注入し、その上にそれぞれ前記第1の透明基板、前記第2の透明基板を載せ、前記第1の透明基板、前記第2の透明基板を位置決めし、透明基板側から光照射して前記光硬化性樹脂を硬化させることにより前記第1の透明基板、前記第2の透明基板の一方の面上にそれぞれ前記第1のレンズアレイ、前記第2のレンズアレイを成形することを特徴とする請求項1から4の何れか1項記載のマイクロレンズアレイの製造方法。 Injecting photocurable resin into the first mold and the second mold halfway to make the photocurable resin semi-cured, and then injecting further photocurable resin thereon, Each of the first transparent substrate and the second transparent substrate is placed on the first transparent substrate, the first transparent substrate and the second transparent substrate are positioned, and the light curable resin is irradiated with light from the transparent substrate side. 5. The first lens array and the second lens array are respectively formed on one surface of the first transparent substrate and the second transparent substrate by curing. The method for producing a microlens array according to any one of the above. 前記第1の金型、前記第2の金型上での前記光硬化性樹脂の硬化のためのエネルギーが2回目の方がより強いことを特徴とする請求項5記載のマイクロレンズアレイの製造方法。 6. The microlens array according to claim 5, wherein the energy for curing the photocurable resin on the first mold and the second mold is stronger in the second time. Method. 前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイとの間に、マイクロレンズアレイを構成する各レンズの光軸と同心の開口が設けられた遮光膜を配置して一体化することを特徴とする請求項1から6の何れか1項記載のマイクロレンズアレイの製造方法。 A light-shielding film provided with an opening concentric with the optical axis of each lens constituting the microlens array is disposed and integrated between the first lens array and the second lens array. The method for manufacturing a microlens array according to any one of claims 1 to 6. 前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイとの間に、マイクロレンズアレイを構成する各レンズの光軸と同心の開口が設けられた遮光板を配置して一体化することを特徴とする請求項1から6の何れか1項記載のマイクロレンズアレイの製造方法。 A light-shielding plate provided with an opening concentric with the optical axis of each lens constituting the microlens array is disposed and integrated between the first lens array and the second lens array. The method for manufacturing a microlens array according to any one of claims 1 to 6. 前記第1のレンズアレイと前記第2のレンズアレイと少なくとも一方の透明基板側が外に向くような配置で両者を一体化することを特徴とする請求項8記載のマイクロレンズアレイの製造方法。 9. The method of manufacturing a microlens array according to claim 8, wherein the first lens array, the second lens array, and at least one of the transparent substrates are integrated so as to face outward. 前記第1のレンズアレイ又は前記第2のレンズアレイの透明基板側が外に向くように配置され、その外側の透明基板面に有機ELからなる複数の発光素子が列状に配置されてなる発光素子列を1列以上含む発光体ブロックがマイクロレンズアレイを構成する各レンズに対応して各々配置されていることを特徴とする請求項9記載のマイクロレンズアレイの製造方法。 A light emitting device in which the transparent substrate side of the first lens array or the second lens array faces outward, and a plurality of light emitting devices made of organic EL are arranged in a row on the outer transparent substrate surface 10. The method of manufacturing a microlens array according to claim 9, wherein the light emitter blocks including one or more rows are respectively arranged corresponding to the lenses constituting the microlens array. 金型を用いて樹脂性のマイクロレンズアレイを形成する方法であって、
マイクロレンズアレイの一方のレンズ面に対応する型面を持つ第1の金型を用いて反対の面が平面の樹脂性の第1のマイクロレンズアレイを成形し、
マイクロレンズアレイの他方のレンズ面に対応する型面を持つ第2の金型を用いて反対の面が平面の樹脂性の第2のマイクロレンズアレイを成形し、
前記第1のマイクロレンズアレイと前記の第2のマイクロレンズアレイをその平面側で透明基板の両面に貼り付けて一体化し、 その貼り付けの際に、前記第1のマイクロレンズアレイと前記第2のマイクロレンズとをそれぞれの成形の際の位置決めに用いた位置決め部を用いて相互に位置合わせして一体化することでマイクロレンズアレイを作製することを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
A method of forming a resinous microlens array using a mold,
Using a first mold having a mold surface corresponding to one lens surface of the microlens array, a first microlens array having a resinous surface opposite to the surface is molded.
Using a second mold having a mold surface corresponding to the other lens surface of the microlens array, a second microlens array having a flat resin surface is formed on the opposite side,
The first microlens array and the second microlens array are bonded and integrated on both sides of the transparent substrate on the plane side, and the first microlens array and the second microlens array are integrated when the bonding is performed. A microlens array is manufactured by aligning and integrating the microlenses with a microlens array using a positioning portion used for positioning in each molding.
第1の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第1の片面平面マイクロレンズアレイと、第2の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第2の片面平面マイクロレンズアレイとがレンズ屈折面部相互が軸合わせされるように一体化されてなり、同一のマイクロレンズが所定方向に一定ピッチで一列に配置され、それと直交する方向にはN個の同様のマイクロレンズ列が配置され、N個のマイクロレンズ列は、先頭のマイクロレンズの位置がN分の1ピッチずつずらして配列されていることを特徴とするマイクロレンズアレイ。 A first single-sided planar microlens array in which a curved lens refracting surface portion of a predetermined shape made of a transparent resin is integrally formed on one surface of the first transparent substrate, and transparent on one surface of the second transparent substrate A second single-sided planar microlens array in which a curved lens refracting surface portion having a predetermined shape made of resin is integrally formed is integrated so that the lens refracting surface portions are aligned with each other. Arranged in a row at a constant pitch in a predetermined direction, N similar microlens rows are arranged in a direction orthogonal thereto, and the position of the first microlens in N microlens rows is 1 / N pitch. A microlens array arranged in a shifted manner. 前記第1の透明基板及び前記第2の透明基板の周囲に機械的なマークが設けられていることを特徴とする請求項12記載のマイクロレンズアレイ。 13. The microlens array according to claim 12, wherein mechanical marks are provided around the first transparent substrate and the second transparent substrate. 前記第1の透明基板及び前記第2の透明基板に光学的マークが設けられていることを特徴とする請求項12記載のマイクロレンズアレイ。 The microlens array according to claim 12, wherein an optical mark is provided on the first transparent substrate and the second transparent substrate. 主走査方向に複数の発光素子が列状に配置されてなる発光素子列を1列以上含む発光体ブロックが少なくとも主走査方向に間隔をおいて複数配置された有機EL発光体アレイの射出側に、各発光体ブロックに対応して各々1個の正レンズが整列するように配置されたマイクロレンズアレイが前記有機EL発光体アレイに平行に配置されており、前記マイクロレンズアレイとして、第1の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第1の片面平面マイクロレンズアレイと、第2の透明基板の一方の表面に透明樹脂製の所定形状の曲面のレンズ屈折面部が一体に成形されてなる第2の片面平面マイクロレンズアレイとがレンズ屈折面部相互が軸合わせされるように一体化されてなるマイクロレンズアレイであって、前記第1の透明基板及び前記第2の透明基板に位置決めのための機械的又は光学的なマークが設けられているものを用いることを特徴とする有機ELラインヘッド。 At least on the emission side of the organic EL light emitter array in which a plurality of light emitter blocks each including one or more light emitting element rows arranged in a row in the main scanning direction are arranged at intervals in the main scanning direction. A microlens array arranged so that one positive lens is aligned with each of the light emitter blocks is arranged in parallel to the organic EL light emitter array, A first single-sided planar microlens array in which a curved lens refracting surface portion of a predetermined shape made of transparent resin is integrally formed on one surface of the transparent substrate, and one surface of the second transparent substrate made of transparent resin A microlens formed by integrating a lens refracting surface portion of a predetermined shape with a second single-sided planar microlens array formed integrally with the lens refracting surface portion. A Zuarei, said first transparent substrate and said second transparent mechanical or organic EL line head, which comprises using those optical mark is provided for a substrate for positioning. 前記有機EL発光体アレイが前記第1の透明基板又は前記第2の透明基板のレンズ屈折面部が一体に成形されていない平面上に配置されていることを特徴とする請求項15記載の有機ELラインヘッド。 16. The organic EL device according to claim 15, wherein the organic EL light emitter array is disposed on a plane on which the lens refracting surface portion of the first transparent substrate or the second transparent substrate is not integrally formed. Line head. 像担持体の周囲に帯電手段と、請求項15又は16記載の有機ELラインヘッドと、現像手段と、転写手段との各画像形成用ユニットを配した画像形成ステーションを少なくとも2つ以上設け、転写媒体が各ステーションを通過することにより、タンデム方式で画像形成を行うことを特徴とする画像形成装置。 Around the image carrier, at least two or more image forming stations each provided with a charging unit, an organic EL line head according to claim 15 or 16, a developing unit, and a transfer unit are provided, and transfer is performed. An image forming apparatus that forms an image in a tandem manner as a medium passes through each station.
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