JP2008035358A - 薄膜圧電バルク波共振器及びそれを用いた高周波フィルタ - Google Patents

Abstract

【課題】薄膜圧電バルク波共振器において、共振周波数の微調整を可能にする低コストな薄膜圧電バルク共振器を提供する。更に同一基板上に形成することが可能な薄膜圧電バルク波共振器を用いたフィルタにおいて、周波数特性を格段に向上させた低コストなフィルタを提供する。
【解決手段】圧電薄膜と、該圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第一の金属電極膜と第二の金属電極膜とを含む積層構造を具備し、第一の金属電極膜は、第二の金属電極膜と対向する電極面に形成され少なくとも該第一の金属電極膜の厚さに相当する深さの複数の穴を有し、上下電極層と圧電薄膜の厚さの和をｈｔとしたとき、第一の金属電極膜の電極面における被膜率σが、１．２８ｈｔのピッチ毎に、０＜σ＜１の条件を満たす薄膜圧電バルク波共振器。
【選択図】図１

Description

本発明は、薄膜圧電体の圧電/反圧電効果を用い且つバルク弾性波の共振現象を利用した共振器(以下薄膜圧電バルク波共振器と略す)及びそれを用いた高周波フィルタに関する。

高周波フィルタに適した薄膜圧電バルク波共振器として、ＦＢＡＲ（Ｆｉｌｍ Ｂｕｌｋ Ａｃｏｕｓｔｉｃ ｗａｖｅ Ｒｅｓｏｎａｔｏｒ）とＳＭＲ（Ｓｏｌｉｄｌｙ Ｍｏｕｎｔｅｄ Ｒｅｓｏｎａｔｏｒ）が広く知られている。

特許文献１には、表面電極層の上にこの表面電極層を覆いかつパターニングされた表面負荷層を形成することで、同一基板上に共振周波数の異なる共振器を組み立てることのできる、ＦＢＡＲタイプの薄膜バルク音響共振器が開示されている。

特許文献２には、複数の圧電体層が積層されて成る積層体で構成され、かつ、その複数の圧電体層間に互いに面積の異なる複数の電極が設けられた基体を有する圧電共振子が開示されている。

非特許文献１には、共振周波数の異なる共振器を製作するために、表面電極層の上に補助の金属層を追加して共振周波数をシフトさせたＳＭＲタイプの薄膜バルク音響フィルタが開示されている。

非特許文献２には、１つのチップ上に共振周波数の異なる複数のＦＢＡＲタイプの共振器を製作するために、表面電極層の上に追加の調整層を設け、調整層の幅やピッチの調整パターンを制御することにより、共振周波数の調整を可能にしている。

特開２００２−３３５１４１号公報 特開平１０−８４２４４号公報 Aigner et al. , "Bulk-Acoustic Wave Filters: Performance Optimization and Volume Manufacturing", 2003 IEEE MTT-S Digest, pp. 2001-2004 Wang et al. , "Method of Fabricating Multiple-frequency Film Bulk Acoustic Resonators (FBARs) in a Single Chip", 2006, IEEE Frequency Control Symposium Digest, p. 179

一般に、高周波フィルタに適した共振周波数が１ＭＨｚ以上の薄膜圧電バルク波共振器は、共に薄膜装置で成膜された圧電薄膜と、上記圧電薄膜の少なくても一部を挟んで存在する第一の金属薄膜と第二の金属薄膜で構成される共振部と、弾性波反射器とを具備している。第一の金属薄膜は上部電極として、第二の金属薄膜は下部電極として機能する。圧電薄膜は、厚さ方向に分極している。上部電極と下部電極との間に印加した交流電圧により発生する交流電界が、圧電/反圧電効果により、圧電薄膜の厚さ方向の伸縮＝弾性波を引き起こす。圧電薄膜と上部電極と下部電極とで構成される共振部は、その上下は弾性波反射器で挟まれている。固体と気体（または真空）との界面は、効率のよい弾性波反射器として機能する。ＦＢＡＲでは、共振器の上下を気体（または真空）としている。ＳＭＲでは、上部電極の上に気体（または真空）を、下部電極の下にブラッグ反射器を設置する。そのため、圧電薄膜で発生した弾性波は、共振器内部に閉じ込められる。

励振される弾性波は、その半波長が圧電薄膜と上部電極と下部電極との膜厚の和と一致するときに共振する。共振周波数は、弾性波の音速と波長（圧電薄膜と上部電極と下部電極との膜厚の和の２倍）の比である。

上記特許文献１、２や非特許文献１、２に開示された高周波用の薄膜圧電バルク波共振器には、以下の問題点がある。

ラダー型に代表される薄膜圧電バルク波共振器を用いたフィルタは、直列腕共振器の直列共振周波数と並列腕共振器の並列共振周波数をほぼ一致させることにより、帯域通過型フィルタを実現させている。このため異なる共振周波数を有する薄膜圧電バルク波共振器を同一基板上に形成する必要がある。

共振周波数は膜厚で制御されるため、異なる共振周波数を有する一対の薄膜圧電バルク波共振器を同一基板上に形成するためには、特許文献１や非特許文献１で開示されているように、双方の共振器に上部電極を形成した後、一方の共振器の上部電極はそのままとし、他方の共振器の上部電極上に新たに負荷膜を付加する必要がある。このため、工程数が増える欠点があり、これはコストの上昇を生じてさせてしまう。

また、特許文献１や非特許文献１の構成では、負荷膜の膜厚が周波数差を決定するため、きわめて高い膜厚精度が必要であり、高価な製膜装置が必要であり、コストを上昇させてしまう。

なお、非特許文献２の構成によると、調整層の幅やピッチをパターニング工程で制御することにより、共振周波数の調整を可能にする。しかし特許文献１や非特許文献１で開示されている手法と同じように、上部電極の上に新たに膜を付加する必要があり、特許文献１や非特許文献１の方法と工程数は変わらない。そのためコスト高となる。

ところで、特許文献２が開示する圧電共振子は、その基体である積層体を構成する複数の圧電体層間に設けられた複数の電極の面積が互いに異なっている。同文献の図５の（Ｂ）に示されるように、圧電体層１２ａの主面に電極１４を形成し、その電極１４に孔１５を形成することで、面積を異ならせることができる旨が開示されている。

一方、同文献の段落［０００９］によれば、長さ基本振動においては、基体の長手方向に置ける中央部ほど、そこから基体の長手方向の端部までの質量が大きくなるので、強い駆動力が必要であること、及び、この積層構造の圧電共振子では、電気機械結合係数が十分には大きくならず、したがって、共振周波数と反共振周波数との差ΔＦも十分には大きくならない旨記載されている。そのため、同文献では、複数の圧電体層間に互いに面積の異なる複数の電極を設けることにより、対向する面積が均一な圧電共振子に比べて共振周波数と反共振周波数との差ΔＦをさらに大きくすることができ、広帯域の圧電共振子を得ることができるとされている。このように、特許文献２の発明は、積層構造の圧電共振子において広帯域の圧電共振子を得ることを目的としている。

ところで、バルク波共振器はバルクの厚さ（圧電層を挟む２つの電極の外側の面同士の間の距離）で共振周波数が決まり、バルクが厚くなるほど共振周波数が低くなる。そのため、積層体で圧電共振子を構成した場合、特許文献２の表４に開示されように、高々数百ｋＨｚ程度の共振周波数しか得られない。いずれにしても、特許文献２には、高周波帯域で使用される圧電共振子に関し、工程数を増加させずに、共振周波数の微調整を可能にするという課題については、なんら配慮されていない。

以上の従来技術とその問題点とを踏まえ、本発明の発明者らは、主として数ＧＨｚ程度の周波数を共振周波数とする薄膜バルク波共振器において、上記の従来技術の課題を解決する共振器構成を独自に導き出した。

本発明の主たる目的は、これらの課題を解決し、工程数を増加させずに、共振周波数の微調整を可能にする薄膜圧電バルク波共振器及びそれを用いた高周波フィルタを提供することである。

本発明の代表的なものの一例を示せば以下の通りである。即ち、本発明の薄膜圧電バルク波共振器は、圧電薄膜と該圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第一の金属電極膜と第二の金属電極膜とを含む積層構造を具備して成り、前記第一の金属電極膜は、少なくとも該第一の金属電極膜の厚さに相当する深さの複数の穴を有し、前記圧電薄膜により励振される超音波が個々の前記穴を識別出来ない共振周波数を有することを特徴とする。

本発明によれば、第一の金属薄膜に設ける複数の穴をホトマスクと露光工程でパターニングすることで、共振周波数の微調整が可能になる。

別の言葉で説明すると、同一基板上に複数の薄膜圧電バルク共振器を形成する時、各共振器の上部電極の被膜率を調整することにより、上部電極の形成工程で、工程数を増加させずに異なる共振周波数を有する複数の薄膜圧電バルク波共振器を形成することができる。

以下、本発明に係る薄膜圧電バルク波共振器を図面に示した幾つかの好ましい実施形態を参照して、更に詳細に説明する。
なお、本発明の対象となるのは、共振周波数が１ＭＨｚ以上の高周波でかつこの共振周波数が共振部の膜厚で決まるＦＢＡＲ及びＳＭＲである。以下、適時、ＦＢＡＲとＳＭＲを例にして本発明の実施例を説明する。

図１ないし図３により、本発明の第１の実施例になる薄膜圧電バルク波共振器を説明する。図１は、第１の実施例になる薄膜圧電バルク波共振器の断面模式図であり、図２のＩ−Ｉ断面を示す。図２は、第１の実施例になる薄膜圧電バルク波共振器の上面模式図である。

絶縁基板２上にＦＢＡＲ型薄膜圧電バルク波共振器１が形成されている。このＦＢＡＲ型薄膜圧電バルク波共振器１の共振部は、圧電体（圧電薄膜）５と、この圧電体の少なくとも一部を挟んで存在する一対の上部電極（第１の金属電極膜）３と下部電極（第二の金属電極膜）４とを含む積層構造(層厚ht)を有している。

本実施例では、上部電極(膜厚hu)３と下部電極(膜厚hd)４は共に薄膜装置で成膜された平面形状が正方形のモリブデン膜で構成されており、また圧電体(膜厚hp)５は窒化アルミニウム膜で構成されている。上部電極３と下部電極４として他の導電材料、例えばＣｕ、Ａｌを用いても良いことは言うまでもない。

なお、本発明で述べている成膜装置とは、スパッタ装置、蒸着装置、ＣＶＤ装置に代表される装置であり、分子、原子、イオン、またはそれらのクラスタを基板上に直接積層させることにより、または化学反応を伴って積層させることにより、膜を作成する装置である。本発明で述べている薄膜とは、この成膜装置で作成した膜であり、これ以外の、焼結により作成した焼結体や、水熱合成法、チョコラルスキー法などで形成されたバルク体は、厚さにかかわらず、含まれない。

上部電極３は圧電薄膜５を挟んで相対応する下部電極４と向かい合っている。しかし、上部電極３と下部電極４とは、周辺部に設けられた引き出し線の位置や形状が異なるため電極全体の平面形状は必ずしも一致していない。本発明では、平面形状において上部電極３の電極面と下部電極４の電極面とが相対向する領域を、対向領域とする。

上部電極３には、その平面形状のほぼ全域すなわち少なくとも電極面の対向領域の全体に、この上部電極の厚さ(hu)に相当する深さの微小な正方形の穴７が設けられている。換言すると、穴７は上部電極３にのみ形成されている。なお、図１、図２において、穴７は見易くするために実際のサイズよりもはるかに大きなサイズで表示してある。

下部電極膜の電極面と対向している上部電極膜の電極面の対向領域において、この対向領域の全面積Ｓに対する金属膜で覆われている領域の面積の比率を、被膜率σ（電極面の対向領域の１００％が金属膜のとき、σ＝１）と定義する。

本発明では、共振周波数の微調整の対象となる上部電極３が、下部電極４と対向する領域すなわち電極面の対向領域に分散して設けられた上部電極３の厚さに相当する深さの複数の穴７を有し、圧電体５により励振される超音波が個々の穴７を識別出来ない共振周波数を有する。なお、本発明では、「超音波」を上下電極で励振される「電界」に置き換えても、同じ事が言える。

ここで、超音波または電界が認識することが出来ない大きさの穴の構造とは、より具体的な例を挙げると、上、下電極と圧電体とが積層された積層構造の厚さの総和をｈｔとしたとき、上部電極３の電極面の対向領域における被膜率σが、１．２８ｈｔのピッチ毎に、０＜σ＜１の条件を満たしていることである。

換言すると、被膜率σは、上部電極の電極面の対向領域において、１．２８ｈｔのピッチ毎に想定される各メッシュの全面積Ｓm0に対する穴の開いていない部分の面積Ｓmcの比率であり、共振周波数の微調整の対象となる上部電極はその電極面の対向領域において、各メッシュ毎の被膜率σが、０＜σ＜１の条件を満たしていることが本発明の特徴の１つである。

絶縁基板２は、例えばガラス基板、化合物半導体基板、高抵抗シリコン基板、圧電体基板などの絶縁材料で形成されている。絶縁基板２は、酸化ケイ素に代表される絶縁膜で表面を覆った半導体基板、半絶縁体基板、又は導電体基板でも良い。

絶縁基板２の一部に凹部６が形成されている。凹部６は真空または気体で満たされており、共振部と絶縁基板２との間の弾性的に絶縁する機能を有する。後で説明するように、製造時、凹部６は酸化ケイ素、窒化ケイ素、リンガラス、ゲルマニウム、タングステン等エッチングしやすい材料で成膜された犠牲層で満たされている。犠牲層の表面を平坦化した後に、下部電極４、圧電薄膜５、上部電極３を成膜／パターニングし、その後、犠牲層を除去する。

各薄膜圧電バルク波共振器の上部電極３と下部電極４との間に交流を印加すると、圧電薄膜５に弾性波が励振される。この弾性波は上部電極３の上面と下部電極４の下面との間(面間距離ht=hu+hp+hd)に閉じ込められる。上部電極３の上面と下部電極４の下面は弾性的に自由面であるため、波長λ=(hu+hp+hd)／２の弾性波のみが共振し、共振器として機能する。本実施例では、共振部の膜厚の和（＝ht）が同じでも、上部電極３の被膜率σを変更することにより、共振周波数を異なる値に調整できる。すなわち、第一の金属薄膜における電極面の対向領域の構造をホトマスクと露光工程でパターニングし被膜率σを変更することで、共振周波数の微調整が可能になる。

上部電極３の穴７の一辺の長さＬは、共振する弾性波の波長より充分小さいサイズである。また穴７のピッチ（隣り合う穴の中心間の距離）Ｐも共振する弾性波の波長λより充分小さい値である。そのため、超音波は穴７を一個一個分離して認識することが出来ず、上部電極の密度が低下したときと等価な弾性特性変化が生じる。こ場合の等価密度は、被膜率に比例する。

なお、本発明において、上部電極３の電極面の対向領域の構成は、圧電薄膜により励振される弾性波の波長λを用いて定義することもできる。すなわち、本発明の実施例によれば、共振周波数の微調整の対象となる上部電極の対向領域の被膜率σが、０．６４λのピッチＰ毎に、０＜σ＜１の条件を満たしている。例えばこの共振器の共振周波数ｆを２ＧＨｚとした場合、λ＝３μｍとなり、Ｐ＝１．９２μｍとなる。

被膜率σの設定は、例えば、ホトマスクとレジストを用いた光露光法で上部電極を製造する場合は、上部電極のパターニング時のホトマスク、露光量により、自由に設定することが出来る。

共振周波数は、共振する弾性波の音速を波長で割った周波数である。音速は材料の弾性定数を等価密度で割った値の１／２乗に比例する。その結果、第１の実施例では、上部電極３のパターニング工程により、共振周波数の調整を可能にする。

図３は、本実施例の薄膜圧電バルク波共振器を採用した高周波フィルタが単一基板の上に作成された例を模式的に示す、携帯電話送信用の高周波フィルタの外観斜視図である。

高周波フィルタ１００は、直列共振器を構成する薄膜圧電バルク波共振器１０１〜１０３と、並列共振器を構成する薄膜圧電バルク波共振器１１１〜１１４を備えている。各共振器の上部電極３と下部電極４にはそれぞれ引き出し線１２０または引き出し線１２１が設けられており、共振器１０１〜１１４が引き出し線を介して図１０に示すように接続されている。送信信号が伝送されて来る入力配線パッド１２２がフィルタの入力パッド１２３とボンディングワイヤ１２４で接続されている。入力パッド１２３と直列共振器を構成する共振器１０１の下部電極とが引き出し線を介して接続されている。直列共振器を構成する共振器１０３の上部電極が引き出し線を介してフィルタの出力パッド１２５と接続されている。また、アンテナに接続された出力配線パッド１２６がフィルタの出力パッド１２５とボンディングワイヤ１２７で接続されている。並列共振器を構成する共振器１１１，１１３の上部電極及び共振器１１２，１１４の下部電極は、夫々ボンディングワイヤを介して接地されている。

薄膜圧電バルク波共振器１０１〜１０３及び１１１〜１１４は、上部電極３の電極面の対向領域に穴のない（被膜率σ＝１）共振器と、上部電極３の電極面の被膜率σを前記した条件のもとで変更し共振周波数を調整した共振器とが組み合わされて、１個の高周波フィルタを構成している。各上部電極３の穴の有無及び穴のピッチや形状は上部電極のパターニング工程により同時に調整される。あるいは、各共振器の被膜率σを、前記条件のもとで変更しても良い。すなわち、上部電極の形成工程で工程数を増加させずに、成膜により異なる共振周波数を有する複数の薄膜圧電バルク波共振器を備えた高周波フィルタ１００を形成することができる。

図３では、圧電薄膜１５０が、全薄膜圧電バルク波共振器に対して共通した１枚の圧電薄膜となっている。圧電薄膜５を薄膜圧電バルク波共振器毎に独立して設けても良いことは言うまでもない。

なお、上部電極３は、成膜された単一のモリブデン膜からなっているが、これに代えて、複数の膜、例えばモリブデン膜とＡｌ膜の積層構造であってもよい。この場合も、上部電極にはその全体の厚さ(hu)に相当する深さの微小な穴７が設けられる。

図４は、本発明の第１の実施形態において、下部電極４と対向している領域の上部電極３の対向領域を模式図で示した図である。上部電極３の電極面の対向領域の構造を説明するために、波長の０.６４倍（＝hd+hp+hu x 1.28）でメッシュに切った線を記している。超音波と電界は波であるため、各メッシュより小さい構造は認識することが出来ない。またメッシュより大きい構造(σ=０, または１)は、超音波と電界が認識してしまう。よって、各メッシュ内の被膜率を０<σ<１とすることにより、静電容量値は劣化せず、上部電極膜の密度がσ倍になったのと同等の効果を生じさせることが出来る。

図５から図９は、本発明のメカニズムを説明した図である。
一般に、ＦＢＡＲでは、上下の電極膜に電圧を加えると、上下の電極膜（電極面の対向領域）に挟まれた部分に厚さ方向の電界が発生し、圧電薄膜５は厚さ方向に伸縮する。別の言葉で表現すると、共振部１(上部電極膜３と下部電極膜４と、それらに挟まれた圧電薄膜５)の厚さ方向に超音波は伝搬する。上部電極膜３の上面と下部電極４の下面(面間距離: ht=hd+hp+hu)は、真空（または気体）との境界であるため、そこで超音波は自由端反射する。反射を繰り返す超音波は、面間距離: hd+hp+huと位相が合わない周波数成分は、打ち消しあう。結局、超音波の波長の半分の整数倍が面間距離: ht=hd+hp+huと一致する超音波のみが存在できる(共振現象をおこす)。

図５と図６は、その基本波(波長の半分=面間距離: ht=hd+hp+hu)になる周波数近傍を模式図で示している。図５は、上部電極に穴の無いＦＢＡＲの基本波の周波数近傍を模式図で示している。波長の半分＝面間距離: ht=hd+hp+huとなる周波数で、インピーダンス特性が共振特性を示す。なお、図中のＷは、超音波の広がりの範囲を示している。

図６は、上部電極に穴９を設けたＦＢＡＲの基本波の周波数近傍を模式図で示している。図５と同様に、波長の半分=面間距離: ht=hd+hp+huとなる周波数で、インピーダンス特性が共振特性(極小と極大(図６の下図の左側の共振))を示す。しかし、穴９を設けた部分でも共振現象が起こるため、波長の半分＝面間距離: hd+hpとなる周波数でも、インピーダンス特性が共振特性((図６の下図の右側の共振)を示す。ラダー型共振器フィルタでは、共振特性が２個発生すると、一方がスプリアスとして機能してしまうため、共振を一個にする必要がある。

なお、上部電極がない部分の圧電薄膜には電界が生じないため、超音波は励振されない(スプリアスは発生しない)ような感じがするが、後で述べるように発明者による実験により、超音波は励振されることが確認された。これは、次の２つのメカニズムによると考えられる。

（１）電界は波であるため、上部電極のない部分にも、上部電極周辺に沁み出す。染み出し量は波長程度であるが、その部分では、超音波が励振され、スプリアスが生じる。

（２）上下電極で励振される電界方向は、電極中心部では、正確に厚さ方向と一致する(＝超音波の速度方向は正確に厚さ方向と一致する)が、しかし電極サイズは有限であるため、端部に近づくにつれ、斜めになる。そのため、励振される超音波には、僅かに面内方向の速度成分を有するラム波になる。上部電極のある領域で励振されたラム波は、上下で反射を繰り返しながら徐々に面内方向に移動し、上部電極のない領域でも上下で反射を繰り返す(共振する)。再び上部電極の存在する領域に戻り、スプリアスを生じさせる。

図７は、上部電極に穴７を設けたＦＢＡＲの基本波の周波数近傍を模式図で示している。図６とは異なり、本発明の思想に基づき、穴７のピッチＰは超音波の半波長より小さく設定されている。超音波は、波であるため、波長程度の広がりを有するため、波長より充分小さい構造物は識別することが出来ない。そのため、図７で示すＦＢＡＲは、上部電極の穴を個々に識別することができず、波長の半分＝面間距離: hd+hp+huとなる周波数で、インピーダンス特性が共振特性を示す。換言すると、上部電極を貫通する穴９を設けたにもかかわらず、図６の場合と異なり、波長の半分＝面間距離: hd+hpとなる周波数での共振特性は生じない。

図８は、上部電極に大きな穴７を設けたＦＢＡＲにおける静電容量の特性を模式図で示している。波長の半分=面間距離: hd+hp+huより穴のサイズがはるかに大きいと、対向する上部電極膜のない下部電極から発生した電界は、外部に放出してしまい、静電容量に寄与できない部分が生じる。穴の無いＦＢＡＲの静電容量値を(静電容量値Ｃ０)とすると、穴のあるＦＢＡＲの静電容量値Ｃ1は、静電容量値Ｃ０ × 被膜率σとなってしまう。図６で説明したように、スプリアスが発生する以外に、静電容量値の面でも劣化を起こす。

図９は、本発明の思想に基づき上部電極に穴７を設けたＦＢＡＲにおける静電容量の特性を模式図で示している。図８とは異なり、穴７のピッチは超音波の半波長より小さく設定されている。電界は、波であるため、波長程度の広がりを有するため、波長より充分小さい構造物は識別することが出来ない。そのため、図９で示すＦＢＡＲでは、電界は上部電極の穴７をすり抜けて外部に出ることはできず、静電容量の劣化は生じない（Ｃ1＝Ｃ０）。別の言葉で表現すると、電界は波長程度の広がりを有するため、上部電極の端部では広がり、穴をふさぐため、穴がない場合と同じ電気特性を示す。

このように、上部電極を貫通する穴７のピッチを弾性波の波長より十分小さくすると、静電容量の減少量はわずかとなる。その理由は、穴７のピッチが電界の波長より十分小さいため、電界は穴７を認識することが出来ないためである。なお、被膜率を過度に小さくすると、上部電極の抵抗値の増加により、実質的な静電容量は減少する。このことから被膜率は０．１より小さくすることは避けた方がよい。

なお、第１の実施例では、上部電極３の電極面の対向領域において穴７の形状が全て同じで、かつ、ピッチも全て等ピッチである。すなわち、穴７は対向領域内で全て同一、換言すると対向領域内に均一に設けられている。しかし、穴が超音波の波長より小さい構造であれば、超音波は形状を認識することは出来ない。そのため、被膜率σが、０．６４λのピッチＰ毎に、０＜σ＜１の条件を満たす限り、必ずしも穴７の形状やピッチを電極面の対向領域の全域で全て同じにする必要はない。個々の穴の形状やピッチに差があっても、上記条件を満たす限り、同様の効果は生じる。

本発明の実施例によれば、上部電極上に新たに膜を付加することなく、上部電極のパターニング工程により、共振周波数の微調整を可能にする薄膜圧電バルク共振器を提供することができる。また、上部電極３の電極面内方向の寸法で共振周波数差を制御できるため、高価な成膜装置を必要とせず、一層安価な薄膜圧電バルク波共振器を提供することが可能になる。

別の言葉で説明すると、負荷層を用いず、反射層、下部電極、圧電薄膜、上部電極のみで、かつ下部電極、圧電薄膜、上部電極を同一膜厚であるにもかかわらず異なる共振周波数を有する複数の薄膜圧電バルク共振器を実現することが可能な薄膜圧電バルク共振器を提供することができる。つまり工程数を増加させずに任意の共振周波数を有する複数の薄膜圧電バルク波共振器を同一基板上に形成することが可能な薄膜圧電バルク波共振器を提供することができる。

図１０と図１１に、本発明の第２の実施例を模式図で示す。上部電極３は第１の実施例と同じであるが、第１の実施例とは異なり、上部電極３と同じ構造が圧電体５の層にも延長して施されている。すなわち、穴７は、上部電極３のみならず圧電体５の層の下端まで伸びており、上部電極(膜厚hu)３と圧電体(膜厚hp)５の厚さに相当する深さを有している。

本実施例によると、第１の実施例と同様に、上部電極３の被膜率σと圧電体５の（上部電極３の電極面の対向領域に対応する領域の）被膜率σを、上部電極３と圧電体５のパターニング工程で制御することにより、共振周波数の調整を可能にする。

また、上部電極３の電極面及び圧電体５の面内方向の寸法で共振周波数差を制御できるため、高価な成膜装置を必要とせず、一層安価な薄膜圧電バルク波共振器を提供することが可能になる。

本発明の第３の実施例を図１２、図１３で説明する。図１２は、第３の実施例になるＳＭＲ型薄膜圧電バルク波型共振器を示す断面模式図である。図１３のＣ−Ｃ断面を示す。図１３は、第３の実施例になる薄膜圧電バルク波共振器の上面模式図である。

絶縁基板３（高抵抗シリコン基板）上に弾性波反射器８として、２層のタングステン膜と３層のシリコン酸化膜を交互に成膜し、各膜を正方形にパターニングした。反射器の上に共振部１(下部電極４、圧電体５、上部電極３)として、正方形のモリブデン膜、窒化アルミニウム膜、正方形のモリブデン膜を成膜した。

共振部１の構成は、第１の実施例と同じであり、上部電極３には穴７が設けられている。
本実施例によれば、第１の実施例と同様に、上部電極３の被膜率を上部電極３のパターニング工程で制御することにより、共振周波数の調整が可能となる。また、上部電極３の電極面内方向の寸法で共振周波数差を制御できるため、高価な成膜装置を必要とせず、一層安価な薄膜圧電バルク波共振器を提供することが可能になる。

図１４は、本発明の第４の実施例になるＳＭＲ型薄膜圧電バルク波型共振器を模式図で示す。第３の実施形態とは異なり、上部電極３と同じ構造が圧電層５にも施されている。本発明によると、第２の実施形態と同様、上部電極３と圧電層５の被膜率を上部電極３と圧電層５のパターニング工程で制御することにより、共振周波数の調整を可能にする。

次に、本発明の実施例の作用、効果を確認するために、実施例３及び実施例４に示したＳＭＲ型薄膜圧電バルク波型共振器を試作した。すなわち、絶縁基板２（高抵抗シリコン基板）上に弾性波反射器８として、２層のタングステン膜(５３０nm)と３層のシリコン酸化膜(６３０nm)を交互に成膜し、各膜を一辺の長さが１２８umの正方形にパターニングした。反射器の上に共振部(下部電極４、圧電体５、上部電極３)として、一辺正方形１２０umのモリブデン膜(hd=２３０nm)、窒化アルミニウム膜(hp=１１００nm)、一辺正方形１００umのモリブデン膜(hu=２３０nm)を成膜した。

上部電極３に、一辺１.２umの正方形の穴７を１.６umピッチで全面に形成した(被膜率０.４３８：Ａ素子＝第３の実施例)。また上部電極３と同じ微細構造を圧電体５にも設けた共振器も作成した(Ｂ素子＝第４の実施例)。また、比較のため、上部電極３及び圧電体５に穴を設けない共振器(被膜率１.００)も作成した(Ｃ素子＝比較例)。

なお、模式図では穴７を４個しか記入していないが、微小な穴７を上部電極の電極面の対向領域の全面に形成しているため、実際の穴７の数は、３８４４個である。ここで、穴７の一辺の長さは、試作した共振器を光学顕微鏡で観察することで評価した。正方形の角は丸まったため、一辺の長さは、穴７とほぼ同じ面積の正方形の一辺の長さとした。

共振層１の膜厚は、穴７を設けない従来の形態のとき、共振周波数が１.９GHzになるように設定した。また反射層各層の膜厚は、膜に垂直に伝搬する１.９GHzの縦波バルク波の波長の１/４に設定した。そのため、共振層で励振される１.９GHz近傍の縦波バルク波は、下部電極４の下面を自由反射面と認識し、共振器としては、ＦＢＡＲと等価な動作をする。

図１２ないし図１４では電気配線を省略しているが、実際には上部電極３と下部電極４には幅６０umの引き出し線(膜厚２３０nmのモリブデン膜と膜厚５００nmのアルミニウム膜)が接続され、測定のための端子に接続されている。Ａ、Ｂ、Ｃ素子全て同一ウェハ上に作成した。

表１に、Ａ、Ｂ、Ｃ素子に関する直列共振周波数と並列共振周波数の測定結果を示す。

Ｃ素子と比較して、Ａ、Ｂ素子共に共振周波数は上昇している。また比帯域に劣化は生じていない。逆にＢ素子では向上している。以上のことから、本発明の各実施例では、比帯域を劣化させること無く、共振周波数を調整できることがわかる。

次に、図１５に試作品の被膜率σと直列共振周波数の関係を示す。
図１５Ａは、第３の実施例の試作素子の直列共振周波数と被膜率の関係を示した図であり、図１５Ｂは、第４の実施例の試作素子の直列共振周波数と被膜率の関係を示した図である。

図１５Ａ、図１５Ｂから、上部電極の被膜率に応じて共振周波数が変化しており、被膜率σを変えることで、直列共振周波数を調整可能なことが明らかである。

さらに、図１５に示した素子のインピーダンスの周波数特性図を図１６Ａ、図１６Ｂに示す。

図１６Ａの（ａ）は、第３の実施例において、被膜率０.３０６の試作素子のインピーダンスの周波数特性図、図１６Ａの（ｂ）は、第３の実施例において、被膜率０.４３８の試作素子のインピーダンスの周波数特性図である。また、図１６Ａの（ｃ）は、第４の実施例において、被膜率０.３０６の試作素子のインピーダンスの周波数特性図、図１６Ａの（ｄ）は、第４の実施例において、被膜率０.４３８の試作素子のインピーダンスの周波数特性図である。さらに、図１６Ｂの（ｅ）は、比較例である被膜率１.０００の試作素子のインピーダンスの周波数特性図である。

測定した素子は被膜率０.３０６、被膜率０.４３８(Ａ素子、Ｂ素子)、被膜率１.０００(Ｃ素子)であり、全て同一ウェハ上に作成した素子である。被膜率は上部電極のパターニング用ホトマスクの穴のパターンで調整した。その他の共振器の形状と膜厚は全て同じである。

図１６Ａの（ａ）と（ｂ）及び図１６Ｂの（ｅ）から、被膜率を上げると共振周波数が低下していることがわかる。また、図１６Ａの（ｃ）と（ｄ）及び図１６Ｂの（ｅ）からも、被膜率を上げると共振周波数が連続的に低下することが明らかである。このことから、本発明の各実施例を用いることで、上部電極あるいは上部電極と圧電体とのパターニング工程により、共振周波数の微調整を可能にする薄膜圧電バルク共振器を提供することが可能になることがわかる。すなわち、穴のサイズやピッチで共振周波数が決まるため、マスク寸法で精度良く、各薄膜圧電バルク共振器の共振周波数差を微調整できる。別の言葉で説明すると、工程数を増加させずに異なる共振周波数を有する複数の薄膜圧電バルク波共振器を同一基板上に形成することが可能な薄膜圧電バルク波共振器を提供することが可能になる。

図１５と図１６Ａ、図１６Ｂに示した共振器は全て同一ウェハ上に作成した共振器であり、電気的に接続することが可能である。

従来、ラダータイプの共振器型バンドパスフィルタを作成する場合、共振器を作成する場合より工程数が増加していたため、コストが増加していたが、本発明を用いることにより、共振器を作成する場合と同じ工程数でラダータイプの共振器型バンドパスフィルタを作成することが可能になり、低コスト化の効果がある。

さらに、図１７と図１８は、本発明の第３の実施例と第４の実施例において、発明の効果が発生する範囲を明らかにするために作成した共振器の測定結果を示した図である。

まず、図１７Ａは、第３の実施例の試作素子の直列共振周波数と穴のピッチの関係を示した図、図１７Ｂは、第４の実施例の試作素子の直列共振周波数と穴のピッチの関係を示した図である。

図１７Ａ、図１７Ｂから明らかな通り、第３、第４の実施例の試作素子共に、共振器の穴７のピッチが1.６um以下では共振特性は１個となり、ピッチを２.０um以上にすると、共振特性は２個発生する。これは、穴７のピッチが１.６um以下では超音波の波長(２×(hd+hp+hu)=３.１２um)より充分小さいという条件が満たされ、超音波は、穴７のある場所と無い場所を分離して認識できず、共振特性が１個になったものであり、穴７のピッチ２.０umでは、超音波の波長より充分小さいという条件が満たされなくなり、超音波は、穴７のある場所と無い場所を分離して認識したことに起因して共振特性が２個発生したことを意味している。

また、図１８の（ａ）は、第３の実施例において、穴のピッチを２.０umとした試作素子のインピーダンスの周波数特性図、（ｂ）は、同じ実施例において、穴のピッチを４.０umとした試作素子のインピーダンスの周波数特性図を示している。穴７のピッチ２.０um以上では、超音波の波長より充分小さいという条件が満たされなくなるため、ピークが分裂し共振特性が２個の発生している。

図１８の（ｃ）は、第４の実施例において、穴のピッチを２.０umとした試作素子のインピーダンスの周波数特性図、（ｄ）は、同じ実施例において、穴のピッチを８.０umとした試作素子のインピーダンスの周波数特性図である。この例でも、穴７のピッチ２.０um以上では、超音波の波長より充分小さいという条件が満たされなくなるため、共振特性が２個の発生している。

本実験より、波長λ=３.１２umに対して穴７のピッチは２.０umより小さく、すなわち、穴７のピッチはλの０.６４倍より小さくする必要があることが分かる。実験の結果、この関係は、穴７のサイズや深さに関係なく、成り立つことを確認している。

穴７のピッチが２.０umより大きいと、本発明の効果が無くなることを明らかにしたが、しかし穴７のピッチを過度に小さくすると、製造が困難になり、本発明の低コストの効果が小さくなる。例えばi線露光機を用いて製造する場合、位相シフト法で容易に製造できるように、穴７のピッチを０.１um以上にした方が良い。

図４２と図４３に本発明との比較のための比較例を模式図で示す。比較例は、本発明の実施形態とは異なり、上部電極３０がＡ層３−１とＢ層３−２の２層構造をなしている。本発明の第１の実施形態の上部電極３に設けたと同様な穴７０がＡ層３−１のみに設けられており、この穴はＢ層３−２には達していない。また、Ｂ層３−２は金属薄膜であるが、Ａ層３−１は金属薄膜である必要はない。

比較例では、特許文献１で開示されている手法と同じように、本来の上部電極であるＢ層３−２の上に新たに膜Ａ層３−１を付加する必要があり、特許文献１と工程数は変わらない。一方、本発明によると、本来の上部電極であるＢ層３−２の被膜率を上部電極のパターニング工程で制御することにより、共振周波数の調整を可能にする。そのため比較例では、本発明の効果であるコストの低減効果はない。

ところで、共振器の重要な電気特性に静電容量がある。共振器の静電容量Ｃ０は、上部電極と下部電極との間の静電容量であるから、

となる。ここでεは圧電薄膜の誘電率、Ｓは上部電極３と下部電極４とが向かい合っている電極面の対向領域の面積である。共振器の静電容量の値は、用途によって最適な値が存在する。一方、共振器のサイズを小さくした方が、一枚のウェハから製造できる共振器の数を増やすことが出来るため、単位面積あたりの静電容量の大きい共振器のほうが、低コストに製造することが出来る。

本発明の実施例の共振器を図４２と図４３に示す比較例の共振器と比較すると、上部電極３と下部電極４とが向かい合っている電極面の対向領域部分の面積が被膜率で表される値だけ小さい。このことは本発明の実施例は、一見、高コストに思われるが、以下に述べるように、本発明の実施例のほうが低コストである。

まず、先に述べた表１に、本発明の第３と第４の実施例の静電容量の実測値を示す。Ａ素子とＢ素子の被膜率は半分以下であるのに対して、静電容量の減少率は２.８％、９.７％と無視できる。また被膜率が０.３０６の素子の静電容量の減少率は４.２％、９.７％であった。このことから、被膜率を大きくする、例えば０.３０６以上とすることで、本発明の第３と第４の実施例は、共振器サイズの上昇に起因するコスト増加はほぼ無視できる程度に小さいにも係わらず、図４２と図４３の比較例に比べて、工程数を減らすことが可能であり、結局コスト低減の効果がある。

なお、本発明の第１と第２の実施例では、穴７のピッチは、弾性波の波長より十分小さい。圧電薄膜内部では、弾性波の波長と、弾性波に伴う電界の波長は一致する。つまり静電容量の減少量はわずかであった理由は、穴７のピッチが電界の波長より十分小さいため、電界は穴７を認識することが出来なかったことである。被膜率を過度に小さくすると、上部電極の抵抗値の増加により、実質的な静電容量は減少する。このことからも被膜率はあまり小さくすることは避けた方がよい。

本発明の各実施例の共振器１では、上部電極に設けた穴７の形状を正方形で説明したが、穴の形状は、パターニング工程で形成された長方形、円、楕円、多角形、または曲がりくねった細長い亀裂のような穴状の構造物でも同様の効果はある。また成膜工程で新たに付加した突起でも良い。この場合、穴状の構造物または突起状の構造物(略して微細な構造物とする)は、正方形の一辺の長さＬの代わりに、短辺、直径、短径、外接円と内接円との直径の平均、幅等に置き換えればよい。例えば、上部電極の電極面にその引き出し線の延長方向と同じ方向に平行に伸びる細長い複数のスリットを設けても良い。

また穴７のピッチＰは構造物間の中心距離に置き換えればよい。隣り合う穴７が複数あり、その中心間距離が異なる場合、最も近い穴７との中心間距離が本発明のピッチに対応する。また穴７が長方形の場合は、中心間距離の代わりに中心線間の距離が本発明のピッチに対応することは明らかであり、穴７の形状がそれ以外の複雑な形状の場合でも、正方形や長方形等の場合に準じてピッチを定義する。

また、これらの微細な穴７もしくはそれに類する構造物は、パターニング工程で形成された構造物であり、成膜工程で生じるポア、亀裂は含まれない。

本発明の第２、第４の実施例では、上部電極３と圧電薄膜５に穴７を形成した。しかしその場合、被膜率を変化させても、上部電極３、圧電薄膜５の実効的な密度が同時に変化し、共振周波数は複雑な振舞いを示す。さらに上部電極３から下部電極４まで貫通する穴を形成させたばあいでも同様の効果は若干あるが、しかしその場合、被膜率を変化させても、上部電極３、圧電薄膜５、下部電極４全ての実効的な密度が同時に変化し、共振周波数はさらに複雑な振舞いを示す。共振周波数の微調整を達成するには、第１、３の実施例が最善の形態であり、本発明の第２、４の実施例が次善の形態である。

本発明の第５の実施例として、本発明をバイパスフィルタに適用した例について、図１９〜図２１で説明する。

先に述べた本発明の各実施例において、圧電薄膜５を挟んで下部電極４と向かい合っている上部電極３の全域に、同じサイズ、同じピッチで一様に穴７が分布する形状が、本発明の第一の目的を達成する上で最も望ましい形態である。一様に分布させることで、共振器内の被膜率を一様させ、その結果共振器内に複数の共振周波数が存在することが防げ、急峻な周波数特性が実現できる。

しかし共振器を用いてフィルタを作成する場合、通過帯域と阻止帯域の間では急峻な特性が要求されるが、阻止帯域内では緩やかな周波数特性が要求されることが多い。
本発明の第５の実施例は、上記要求を満たすために、上部電極の被膜率σに分布を持たせたものである。

図１９で本発明の第５の実施例の構成を説明する。図１９Ａは、本発明の第５の実施例を説明するための上面模式図、図１９Ｂは比較のために示した第１の実施例に相当する共振器の上面模式図である。

第５の実施例は、本発明の第１の実施例と類似の形状であるが、上部電極の被膜率σが、右から左にかけて徐々に変化（減少）している。従って、共振周波数も徐々に変化している。

図２０に、本発明の第５の実施例の共振器を並列腕に接続したハイパスフィルタの等価回路図を示し、図２１Ａにその時の通過特性を示す。また比較のために、図２１Ｂに図１９Ｂの共振器を用いたハイパスフィルタの通過特性を示す。

本発明の第５の実施例では、上部電極３の被膜率が右から左にかけて徐々に変化しているため、共振周波数も徐々に変化している。そのため、第１の実施例と比較すると、阻止帯域のピーク減衰量は劣化しているが、しかし阻止帯域の広帯域化が実現しており、阻止帯域内の最小減衰量は著しく向上する効果がある。

本発明の実施例によれば、工程数を増加させずに異なる共振周波数を有する薄膜圧電バルク波共振器を同一基板上に形成することが可能な薄膜圧電バルク波共振器を用いたフィルタにおいて、周波数特性を格段に向上させたフィルタを提供することができる。

シリコン酸化膜に代表される温度特性改善膜に前記各実施例の上部電極と同じ構造を設けることにより、コストとは異なる効果を生み出すことが出来る。
本発明の第６の実施例として、本発明をラダー型フィルタに適用した例について、図２２で説明する。

ラダー型フィルタでは、直列腕共振器１−２の並列共振周波数と並列腕共振器１−１の直列共振周波数の温度安定性を最小にする必要がある。
しかし共振器の温度係数は周波数特性を有しており、第１の実施例の上部電極３と同じ構造を有さないベタ膜の温度特性改善膜では、直列腕共振器１−２の並列共振周波数と並列腕共振器１−１の直列共振周波数の温度安定性を同時に最適化することは出来ない。

図２２に示す第６の実施例は、本発明の前記各実施例に代表される面内方向の寸法で共振周波数を制御できる共振器を用いたラダー型フィルタ１６０上に、第１の実施例の上部電極３と同じ構造を施した温度特性改善膜を付加している。ラダー型フィルタを構成している直列腕共振器１−２と並列腕共振器１−１は、同一チップに形成されており、直列腕共振器１−１と並列腕共振器１−２上に形成された温度特性改善膜の膜厚は同じである。

温度特性改善膜として前記実施例の上部電極３と同じ構造を設けることで、直列腕共振器１−２と並列腕共振器１−１をそれぞれ最適な被膜率σに設定することができ、直列腕共振器の並列共振周波数と並列腕共振器の直列共振周波数の温度安定性を同時に最適化することが出来る。なお、実際にフィルタを設計する場合、直列/並列共振器の温度係数をそれぞれ温度特性改善膜の被膜率を最適化すると、共振周波数はそれぞれの最適値からずれる。

本発明の第６の実施例によれば、温度係数を温度特性改善膜の被膜率で、共振周波数は上部電極の被膜率（ＳＡＷ共振器では、櫛形電極のピッチ）で調節することが可能であるため、温度特性と共振周波数を同時に最適化することを可能にしている。

なお、この実施例では、穴７の代わりに孤立パターンを用いても良い。本発明の他の実施例でも、上部電極３を孤立パターンの集合体で形成しても同様の効果は生じるが、しかし電極への配線が難しいため、次善の形態である。

本発明の第７の実施例になるバンドパスフィルタを、図２３〜図２６で説明する。
図２３に本発明の第７の実施例の等価回路図を示す。第７の実施例は、２個の共振器を接続したバンドパスフィルタであり、入出力端子間９−１、９−２に直列に接続された１個の直列腕共振器１−２と、アースとの間に接続された１個の並列腕共振器１−１で構成されている。

図２４と図２５に本発明の第７の実施例を模式図で示す。本発明の第１の実施例で示した薄膜圧電バルク波共振器１が２個形成されている。一方が直列腕共振器１−２として、他方が並列腕共振器１−１として機能している。図では電気接続線を省略しているが、図２３の等価回路図に示すように、並列腕共振器１−１の一方の電極は直列腕共振器１−２の一方の電極に、また並列腕共振器１−１の他方の電極はアースに接続されている。直列腕共振器１−２の両電極は、それぞれ入出力端子９−１、９−２に接続されている。

図２６に、第７の実施例の周波数特性を示す。直列腕共振器１−２の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が増加する周波数を通過帯域の高周波側の端の周波数に、並列腕共振器１−１の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が減少する周波数を通過帯域の低周波側の端の周波数に一致させているため、バンドパスフィルタとして機能している。

バンドパスフィルタの通過帯域幅は、直列共振器１−２と並列共振器１−１との周波数差が決めるため、極めて高い精度で制御される必要がある。本実施例では、直列腕共振器１−２を、並列腕共振器１−１より被膜率σを小さく設定している。被膜率σの差はホトマスク上のパターンの被膜率で制御でき、ホトマスク上の被膜率の差は、誤差をほぼゼロで作成できるため、その結果、本発明の第７の実施の形態のバンドパスフィルタの帯域幅は、製造上のウェハ間/内のばらつきは、ほぼ完全に無視できる程度に高精度にできる。そのため、プロセスバラツキを考慮した保証フィルタ特性は格段に向上する。さらに特許文献１等で開示されている共振器より膜が一層少ないため、工程数が少なく、低コストに製造できる。

以上のことから、本発明の第１の実施例等を用いたバンドパスフィルタにおいて、直列直列腕共振器１−２の被膜率より並列腕共振器１−１の被膜率を大きくすることにより、周波数特性を格段に向上させた低コストなフィルタを提供することが可能になる。

本発明の第８の実施例になるバイパスフィルタを、図２７〜図２８で説明する。

図２７の等価回路図に示すように、本実施例は、２個の共振器を並列腕に接続したハイパスフィルタであり、入出力端子９−１、９−２との間の信号線とアースとの間に接続された２個の並列腕共振器１−１で構成されている。２個の並列腕共振器１−１は本発明の第１の実施例で示した共振器であり、異なる被膜率に設定されているため、異なる共振周波数を有している。

図２８Ａに本発明の第８の実施例の周波数特性を示す。並列腕共振器の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が減少する周波数を通過帯域の低周波側の端の周波数に一致させているため、ハイパスフィルタとして機能している。

ハイパスフィルタの阻止帯域幅は、２個の並列椀共振器１−１の直列共振周波数が決めるため、極めて高い精度で制御される必要がある。本発明では、２個の並列腕共振器１−１の被膜率を異なる値に設定している。被膜率の差はホトマスク上のパターンの被膜率で制御でき、ホトマスク上の被膜率の差は、誤差をほぼゼロで作成できるため、その結果、第８の実施の形態のハイパスフィルタの帯域幅は、製造上のウェハ間/内のばらつきは、ほぼ完全に無視できる程度に高精度にできる。そのため、プロセスバラツキを考慮した阻止帯域の保証減衰量特性は格段に向上する。

なお、比較例として、一個の並列腕共振器１−１でもハイパスフィルタを実現することは出来る。しかし、比較例のように一個の並列腕共振器を用いたハイパスフィルタは、周波数特性が図２８Ｂに示すようになり、阻止帯域のピーク減衰量は優れているが、阻止帯域は狭帯域であり、阻止帯域内の最小減衰量は著しく劣化する。また特許文献１等で開示されている技術を用いると、本発明の第８の実施例と類似な電気特性が実現できることが予想できる。本発明の第８の実施例は、特許文献１等で開示されている共振器より膜が一層少ないため、工程数が少なく、低コストに製造できる。また、２個の並列椀共振器の共振周波数を異ならせる方法として、インダクタンスを用いる方法が考えられる。並列椀共振器の共振周波数は同じに設定し、各共振器とアースの間に異なる値のインダクタンスを挿入することで、実効的な直列共振周波数を低周波側にシフトさせることが出来る。この方法では、特許文献１等で開示されている共振器より膜が一層少ないため、工程数が少なく、ウェハ工程は低コストにできるが、しかしウェハ上に作成するインダクタンスは、一般に損失が大きく、また低損失にするには特別な工程が必要になり、低コストと低損失の両立は難しい。またインダクタンスをウェハの外に設置することである程度は低損失化できるが、しかし、ウェハ外にインダクタンスを設けるため、新たに高コストと面積増大の弊害が生じる。

以上のことから、本発明の前記実施例を用いたバイパスフィルタにおいて、異なる被膜率を有する並列腕共振器を複数用いることにより、周波数特性を格段に向上させた低コストなフィルタを提供することが可能になる。

本発明の第９の実施例になるローパスフィルタを、図２９〜図３０で説明する。

図２９の等価回路図に示すように、本実施例は、２個の共振器を直列腕に直列接続したローパスフィルタであり、入出力端子間に接続された２個の直列腕共振器１−２で構成されている。２個の直列腕共振器は本発明の第１の実施例で示した共振器であり、異なる被膜率に設定されているため、異なる共振周波数を有している。

図３０Ａに第９の実施例の周波数特性を示す。直列腕共振器の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が増加する周波数を通過帯域の高周波側の端の周波数に一致させているため、ローパスフィルタとして機能している。

ローパスフィルタの阻止帯域幅は、２個の直列椀共振器１−２の並列共振周波数が決めるため、極めて高い精度で制御される必要がある。本発明では、２個の直列腕共振器の被膜率を異なる値に設定している。被膜率の差はホトマスク上のパターンの被膜率で制御でき、ホトマスク上の被膜率の差は、誤差をほぼゼロで作成できるため、その結果、第９の実施の形態のローパスフィルタの帯域幅は、製造上のウェハ間/内のばらつきは、ほぼ完全に無視できる程度に高精度にできる。そのため、プロセスバラツキを考慮した阻止帯域の保証減衰量特性は格段に向上する。

なお、一個の直列腕共振器でもローパスフィルタを実現することは出来る。しかし比較例として図３０Ｂに示すように、一個の直列腕共振器では阻止帯域のピーク減衰量は優れているが、しかし阻止帯域は狭帯域であり、阻止帯域内の最小減衰量は著しく劣化する。また特許文献１等で開示されている技術を用いると、またはインダクタンスを用いることで、本発明の第９の実施例と類似な電気特性が実現できることが予想できる。しかし本発明の第８の実施例で説明したように、低コストと低損失の両立、または高コストと面積増大の弊害が生じる。

以上のことから、本発明の第１ないし第４の実施例等を用いたローパスフィルタにおいて、異なる被膜率を有する直列腕共振器を複数用いることにより、周波数特性を格段に向上させた低コストなフィルタを提供することが可能になる。

本発明の第１０の実施例になるバンドパスフィルタを、図３１〜図３２で説明する。図３１は、第１０実施例を説明するための等価回路図である。図３２は、図３１で示した第８の実施例のバンドパスフィルタの周波数特性図である。

この実施例は、本発明の例えば第１の実施例で示した薄膜圧電バルク波共振器１を７個接続したラダー型バンドパスフィルタであり、入出力端子間を直列に接続された４個の直列腕共振器１−２と、アースとの間に接続された３個の並列腕共振器１−１で構成されている。直列腕共振器１−２と並列腕共振器１−１で異なる被膜率に設定されているため、異なる共振周波数を有している。

図３２に、第１０の実施例の周波数特性を示す。直列腕共振器１−２の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が増加する周波数を通過帯域の高周波側の端の周波数に、並列腕共振器１−１の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が減少する周波数を通過帯域の低周波側の端の周波数に一致させているため、ラダー型バンドパスフィルタとして機能している。

ラダー型バンドパスフィルタの通過帯域幅は、直列共振器１−２と並列共振器１−１との周波数差が決めるため、極めて高い精度で制御される必要がある。本発明では、直列腕共振器１−２を、並列腕共振器１−１より被膜率を小さく設定している。被膜率の差はホトマスク上のパターンの被膜率で制御でき、ホトマスク上の被膜率の差は、誤差をほぼゼロで作成できるため、その結果、本発明の第７の実施形態のバンドパスフィルタの帯域幅は、製造上のウェハ間/内のばらつきは、ほぼ完全に無視できる程度に高精度にできる。そのため、プロセスバラツキを考慮した保証フィルタ特性は格段に向上する。さらに特許文献１等で開示されている共振器より膜が一層少ないため、工程数が少なく、低コストに製造できる。

以上のことから、本発明の第１の実施例等を用いたラダー型バンドパスフィルタにおいて、直列直列腕共振器１−２の被膜率より並列腕共振器１−１の被膜率を大きくすることにより、周波数特性を格段に向上させた低コストなフィルタを提供することが可能になる。

本発明の第１０の実施例で示したラダー型バンドパスフィルタにおいて、３個の並列腕共振器１−１を、異なる被膜率に設定することにより、さらに周波数特性を改善することが本発明を用いることにより可能である。

本発明の第１１の実施例になるバンドパスフィルタを、図３３を用いて説明する。この実施例の等価回路は、第１０の実施例の等価回路と同じである。この実施例は、第１０の実施例に対して、３個の並列腕共振器１−１の被膜率が異なる点で相違する。図３３に、第１１の実施例の周波数特性を示す。第１０の実施例と同じように、直列腕共振器１−２の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が増加する周波数を通過帯域の高周波側の端の周波数に、並列腕共振器１−１の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が減少する周波数を通過帯域の低周波側の端の周波数に一致させているため、ラダー型バンドパスフィルタとして機能している。

第１０の実施例と異なり、バンドパスフィルタの低周波側の阻止帯域幅は、３個の並列椀共振器１−１により広帯域化されている。そのため、第１０の実施例と比較すると、阻止帯域のピーク減衰量は劣化しているが、しかし阻止帯域の広帯域化が実現しており、阻止帯域内の最小減衰量は著しく向上する効果がある。

バンドパスフィルタの低周波側の阻止帯域幅は、３個の並列椀共振器１−１の直列共振周波数が決めるため、極めて高い精度で制御される必要がある。本発明では、３個の並列腕共振器１−１の被膜率を異なる値に設定している。被膜率の差はホトマスク上のパターンの被膜率で制御でき、ホトマスク上の被膜率の差は、誤差をほぼゼロで作成できるため、その結果、第１１の実施例を採用することにより、本発明の第１０の実施の形態のローパスフィルタの帯域幅は、製造上のウェハ間/内のばらつきをほぼ完全に無視できる程度に高精度にできる。そのため、プロセスバラツキを考慮した阻止帯域の保証減衰量特性は格段に向上する。

なお、特許文献１等で開示されている技術を用いると、またはインダクタンスを用いることで、本発明の第９の実施例と類似な電気特性が実現できることが予想できる。しかし本発明の第８の実施例で説明したように、低コストと低損失の両立、または高コストと面積増大の弊害が生じる。

以上のことから、第１１の実施例のように、本発明の実施例を用いたラダー型バンドパスフィルタにおいて、異なる被膜率を有する並列腕共振器１−１を複数用いることにより、周波数特性を格段に向上させた低コストなフィルタを提供することが可能になる。

本発明の第１２の実施例になるラダー型バンドパスフィルタを、図３４、図３５を用いて説明する。

図３４に本発明の第１２の実施例の等価回路図を示す。この実施例は、本発明の第１の実施例で示した１０個の薄膜圧電バルク波共振器１を接続したラダー型バンドパスフィルタであり、本発明の第１１の実施例で示したラダー型バンドパスフィルタの３個の並列腕共振器１−１をそれぞれ２個に分割し、さらに異なる被膜率に設定している。

図３５に第１２の実施例の周波数特性を示す。本発明の第１１の実施例と同じように、直列腕共振器１−２の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が増加する周波数を通過帯域の高周波側の端の周波数に、並列腕共振器１−１の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が減少する周波数を通過帯域の低周波側の端の周波数に一致させているため、ラダー型バンドパスフィルタとして機能している。

バンドパスフィルタの低周波側の阻止帯域幅は、６個の並列椀共振器により広帯域化されている。本発明の第１１の実施例と比較すると、阻止帯域のピーク減衰量は劣化しているが、しかし阻止帯域の広帯域化が実現しており、阻止帯域内の最小減衰量は著しく向上する効果がある。

以上のことから、本発明の第１の実施例を用いたラダー型バンドパスフィルタにおいて、並列椀共振器１−１を分割し、さらに異なる被膜率を有する並列腕共振器１−１を複数用いることにより、周波数特性を格段に向上させた低コストなフィルタを提供することが可能になる。

本発明の第１３の実施例になるラダー型バンドパスフィルタを、図３６、図３７を用いて説明する。図３６に第１３の実施例の等価回路図を示す。本明細書では、便宜上、主たる阻止帯域が通過帯域の高周波側に配置されているフィルタを送信フィルタ、逆に配置されているフィルタを受信フィルタと呼ぶ。

この実施例のラダー型バンドパスフィル１００は、本発明の第１の実施例などで示した１７個の薄膜圧電バルク波共振器１で構成された２個の分波器用ラダー型バンドパスフィルタ（送信フィルタ及び受信フィルタ）１００Ａ、１００Ｂが同一基板上に形成されている。ラダー型バンドパスフィル１００を構成する１７個の共振器１は、周波数特性を最適化するために異なる被膜率に設定している。

図３７に、第１３の実施例の周波数特性を示す。図３７Ａは送信フィルタ、図３７Ｂは受信フィルタの周波数特性を示している。

送信フィルタと受信フィルタでは、通過周波数帯域が異なるため、それぞれの直列腕１-２、並列腕共振器１−１を、それぞれの通過周波数帯域に最適化するため、それぞれ被膜率が最適化されている。

送信フィルタ１００Ａでは、本発明の第１１の実施例と同じように、直列腕共振器１−２と並列腕共振器１−１は、異なる被膜率に設定されているため、異なる共振周波数を有している。図３７Ａに示すように、直列腕共振器１−２の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が増加する周波数を、通過帯域の高周波側の端の周波数に一致させている。また並列腕共振器１−１の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が減少する周波数を、通過帯域の低周波側の端の周波数に一致させている。そのため、ラダー型バンドパスフィルタとして機能している。さらに高周波側の阻止帯域幅を広帯域化するため、４個の直列椀共振器１−２は異なる被膜率に設定されている。

受信フィルタでは、本発明の第１１の実施例と同じように、直列腕共振器１−２と並列腕共振器１−１は、異なる被膜率に設定されているため、異なる共振周波数を有している。図３７Ｂに示すように、直列腕共振器１−２の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が増加する周波数を通過帯域の高周波側の端の周波数に一致させ、並列腕共振器１−１の直列共振周波数から並列共振周波数にかけて急激に減衰量が減少する周波数を通過帯域の低周波側の端の周波数に一致させている。そのため、ラダー型バンドパスフィルタとして機能している。さらに低周波側の阻止帯域幅を広帯域化するため、６個の並列椀共振器１−１は異なる被膜率に設定されている。

以上のことから、本発明の第１３の実施例を用いることにより、周波数特性を格段に向上させた低コストな分波器を提供することが可能になる。

なお、本発明の第７から第１３の実施例では、個々の共振器として本発明の第１の実施例で説明したが、個々の共振器１として本発明の第２から第４の実施例の共振器を用いても同様の効果があることは明らかである。また主にＦＢＡＲ型で説明したが、ＳＭＲ型でも同様の効果があることは明らかである。また振動モードは、厚さ伸縮モードに限定されることはない。

また、本発明の実施の形態では、全て上部電極３に穴７を形成した構造で説明したが、下部電極４に穴７を形成しても、同様の効果がある。しかし成膜工程で作成するため、最初に成膜する電極に穴７を設けると、圧電薄膜５の下地に凹凸が生じ、膜質が劣化する。膜質を考慮すると、圧電薄膜５の後に成膜する上部電極３に穴７を設ける方が望ましい。

さらに、本発明の第１から第４の実施例では、上部電極３と下部電極４の間には１層の圧電薄膜５が挟まれているが、圧電体５はこの構成に限定されるものではない。圧電体５が多層の圧電薄膜で構成されていても良く、あるいまた、上下の圧電薄膜の間に非圧電薄膜が含まれている構成でも良い。ただし圧電体５は最低１層の圧電薄膜を含んでいる必要がある。

本発明の第１５の実施例になるフィルタを、図３８乃至図４０を用いて説明する。図３８に、実施例１５のハイパスフィルタに採用される薄膜圧電バルク波共振器１の平面図を示す。図３９にこの実施例のハイパスフィルタの周波数特性図を示す。図４０は、実施例１５の効果を示す模式図である。

先にも述べたとおり、穴は超音波の波長より小さい構造である場合、超音波は形状を認識することは出来ないため、必ずしも穴７の形状やピッチは全て等ピッチにしなくても、被膜率σが、０．６４λのピッチＰ毎に、０＜σ＜１であるという条件の範囲内であれば、等ピッチの場合と同等の効果を生ずる。

第１５の実施例では、図３９に示すように、上部電極３の電極面の対向領域に設ける穴７の形状とピッチを積極的に分布させている。すなわち、上部電極３の中心部分から周辺に向かって徐々に実効密度（被膜率σ）を上げている。理想的には密度関数が正弦関数の類似になることが望ましい。このことにより、図４０に示すように、直列共振周波数と並列共振周波数との間の周波数において、超音波の励振強度が、中心部で最大になる正弦波の関数形になり、その結果、図４０の右下側の円内に示すように、新たにその周波数におけるスプリアスを抑圧することが出来る効果が付加的に生じる。

図４１に本発明の第１の実施例を例とした製造方法の一例を示す。
絶縁基板２にギャップ６を形成し（ａ）、犠牲層６−１を成膜する（ｂ）。研磨によりギャップ６以外の部分の犠牲層６−１を除去し（ｃ）、下部電極４の成膜とパターニングを行う（ｄ）。同様に圧電薄膜５の成膜とパターニング（ｅ）、上部電極３の成膜（ｆ）とパターニング（ｇ）を行う。最後に犠牲層を除去する（ｈ）。

なお、成膜のための装置としては、スパッタ装置、蒸着装置、ＣＶＤ装置などを用いる。パターニングのための装置として、プラズマエッチング装置などを用いる。

本発明によれば、第一の金属薄膜に設けた構造をホトマスクと露光工程でパターニングすることで、共振周波数の微調整が可能になる。さらに異なる共振周波数の共振器を同一基板上に形成する場合でも、フィルタを製造する時の工程数を増やす必要が無く、その結果、コストを下げることが可能になる。

本発明の第１の実施例を説明するための薄膜圧電バルク波共振器の縦断面模式図。 本発明の第１の実施例を説明するための薄膜圧電バルク波共振器の上面模式図。 本実施例の薄膜圧電バルク波共振器を採用した高周波フィルタが単一基板の上に作成された例を模式的に示す、送信用の高周波フィルタの外観斜視図。 本発明の第１の実施形態における上部電極の電極面の対向領域を模式図で示した図。 上部電極に穴の無いＦＢＡＲの基本波の周波数近傍を示す模式図。 上部電極に大きな穴を設けたＦＢＡＲの基本波の周波数近傍を示す模式図。 上部電極に本発明の思想に基づき穴を設けたＦＢＡＲの基本波の周波数近傍を示す模式図。 上部電極に大きな穴を設けたＦＢＡＲにおける静電容量の特性を示す模式図。 本発明の思想に基づき上部電極に穴を設けたＦＢＡＲにおける静電容量の特性を示す模式図。 本発明の第２の実施例を説明するための薄膜圧電バルク波共振器の縦断面模式図。 本発明の第２の実施例を説明するための薄膜圧電バルク波共振器の上面模式図。 本発明の第３の実施例を説明するための薄膜圧電バルク波共振器の縦断面模式図。 本発明の第３の実施例を説明するための薄膜圧電バルク波共振器の上面模式図。 本発明の第４の実施例を説明するための薄膜圧電バルク波共振器の縦断面模式図。 本発明の第３の実施例の試作素子の直列共振周波数と被膜率の関係を実験により求めた結果を示す図。 本発明の第４の実施例の試作素子の直列共振周波数と被膜率の関係を、実験により求めた結果を示す図。 本発明の第３の及び第４の実施例において、被膜率と試作素子のインピーダンスの周波数特性の関係を、実験により求めた結果を示す図。 本発明の第３の及び第４の実施例において、被膜率と試作素子のインピーダンスの周波数特性の関係を、実験により求めた結果を示す図。 本発明の第３の実施例の試作素子の直列共振周波数と穴のピッチの関係を示した図。 本発明の第４の実施例の試作素子の直列共振周波数と穴のピッチの関係を示した図。 本発明の第３及び第４の実施例において、穴のピッチと試作素子のインピーダンスの周波数特性の関係を、実験により求めた結果を示す図。 本発明の第５の実施例を説明するための薄膜圧電バルク波共振器の上面模式図。 比較のために本発明の第１の実施例に相当する薄膜圧電バルク波共振器の上面模式図。 本発明の第５の実施例の共振器を並列腕に接続したハイパスフィルタの等価回路を示す図。 本発明の第５の実施例の共振器を図２０の等価回路図で実施したハイパスフィルタの周波数特性図。 図１９Ｂの共振器を用いたハイパスフィルタの通過特性を示す図。 本発明の第６の実施例として、本発明をラダー型フィルタに適用した例を説明する図。 本発明の第７の実施例を説明するためのフィルタの等価回路図。 本発明の第７の実施例を説明するためのフィルタの縦断面模式図。 本発明の第７の実施例を説明するためのフィルタの上面模式図。 本発明の第７の実施例を実施したバンドパスフィルタの周波数特性図。 本発明の第８の実施例になるハイパスフィルタを説明するための等価回路図。 本発明の第８の実施例のハイパスフィルタの周波数特性図。 比較のために単一共振器で実施したハイパスフィルタの周波数特性図。 本発明の第９の実施例を説明するためのフィルタの等価回路図。 本発明の第９の実施例のローパスフィルタの周波数特性図。 比較のために単一共振器で実施したローパスフィルタの周波数特性図。 本発明の第１０の実施例を説明するためのフィルタの等価回路図。 本発明の第１０実施例のバンドパスフィルタの周波数特性図。 本発明の第１１の実施例のバンドパスフィルタの周波数特性図。 本発明の第１２の実施例を説明するためのフィルタの等価回路図。 本発明の第１２の実施例のバンドパスフィルタの周波数特性図。 本発明の第１３の実施例になるラダー型バンドパスフィルタを説明するための回路図。 本発明の第１３の実施例の送信フィルタの周波数特性図。 本発明の第１３の実施例の受信フィルタの周波数特性図。 本発明の第１４の実施例を説明するためのフィルタの等価回路図。 本発明の第１４の実施例になるハイパスフィルタの周波数特性図。 本発明の第１４の実施例の効果を示す模式図。 本発明の第１の実施例の製造方法を説明するための断面図。 本発明との比較例の薄膜圧電バルク波共振器の断面模式図。 図４２図の上面模式図。

符号の説明

１…薄膜圧電バルク共振器、１−１…並列腕薄膜圧電バルク共振器、１−２…直列腕薄膜圧電バルク共振器、２…絶縁基板、３…上部電極、３−１…上部電極Ａ層、３−２…上部電極Ｂ層、４…下部電極、５…圧電薄膜、６…ギャップ、６−１…犠牲層、７…穴、８…ブラッグ反射器、９−１…入力端子、９−２…出力端子、３０…上部電極、７０…穴、１００…高周波フィルタ、１００Ａ…送信フィルタ、１００Ｂ…受信フィルタ、１０１〜１０３…直列共振器を構成する薄膜圧電バルク波共振器、１１１〜１１４…並列共振器を構成する薄膜圧電バルク波共振器、１２０…引き出し線、１２１…引き出し線、１２２…入力配線パッド、１２３…入力パッド、１２４…ボンディングワイヤ、１２５…出力パッド、１２６…出力配線パッド、１２７…ボンディングワイヤ、１５０…圧電薄膜。

Claims (20)

1. 圧電薄膜と該圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第一の金属電極膜と第二の金属電極膜とを含む積層構造を具備して成り、
   前記第一の金属電極膜は、少なくとも該第一の金属電極膜の厚さに相当する深さの複数の穴を有し、
   前記圧電薄膜により励振される超音波が個々の前記穴を識別出来ない共振周波数を有することを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
2. 請求項１において、
   前記圧電薄膜により励振される弾性波の波長をλとしたとき、前記第一の金属電極膜の電極面であって前記第二の金属電極膜の電極面との対向領域における被膜率σが、０．６４λのピッチ毎に、０＜σ＜１の条件を満たして成ることを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
3. 請求項１において、
   前記穴は、前記第一の金属電極膜の前記第二の金属電極膜と対向する領域に分散して形成され、かつ、前記第一の金属電極膜にのみ形成されて成ることを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
4. 請求項１において、
   前記第一の金属電極膜の穴は前記圧電薄膜まで伸びており、前記第一の金属電極膜及び前記圧電薄膜の厚さに相当する深さを有して成ることを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
5. 請求項１において、
   前記圧電薄膜は、薄膜装置で成膜された少なくとも１層の圧電薄膜を有して成ることを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
6. 請求項２において、
   前記第一の金属電極膜の被膜率σが前記電極面の対向領域において同一であることを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
7. 請求項２において、
   前記第一の金属電極膜の被膜率σが前記電極面の対向領域において分布を有することを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
8. 請求項１において、
   前記第一の金属電極膜及び前記第二の金属電極膜は共に薄膜装置で成膜され、かつ共に電気的な引き出し線が接続されて成ることを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
9. 圧電薄膜と該圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第一の金属電極膜と第二の金属電極膜とを含む積層構造を具備して成り、
   前記第一の金属電極膜は、少なくとも該第一の金属電極膜の厚さに相当する深さの複数の穴を有して成り、
   前記第一の金属電極膜と前記第二の金属電極膜および前記圧電薄膜の厚さの和をｈｔとしたとき、前記第二の金属電極膜との対向領域における前記第一の金属電極膜の被膜率σが、１．２８ｈｔのピッチ毎に、０＜σ＜１の条件を満たして成ることを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
10. 請求項９において、
    前記穴は前記第一の金属電極膜にのみ形成されて成ることを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
11. 請求項９において、
    前記第一の金属電極膜の被膜率σが、前記対向領域において同一であることを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
12. 請求項９において、
    前記圧電薄膜は、薄膜装置で成膜された少なくとも１層の圧電薄膜を有し、
    前記第一の金属電極膜及び前記第二の金属電極膜は共に薄膜装置で成膜され、かつ共に電気的な引き出し線が接続されて成ることを特徴とする薄膜圧電バルク波共振器。
13. 入力端子と出力端子と
    前記入力端子と前記出力端子に接続された少なくとも１つの薄膜圧電バルク波共振器を具備して成り、
    前記薄膜圧電バルク波共振器が、
    圧電薄膜と該圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第一の金属電極膜と第二の金属電極膜とを含む積層構造を具備して成り、
    前記第一の金属電極膜は、少なくとも該第一の金属電極膜の厚さに相当する深さの複数の穴を有し、前記圧電薄膜により励振される超音波が個々の前記穴を識別出来ない共振周波数を有することを特徴とする高周波フィルタ。
14. 請求項１３において、
    前記入力端子と前記出力端子に対して直列腕に接続された前記薄膜圧電バルク波共振器からなる第１の薄膜圧電バルク波共振器と並列腕に接続された第２の薄膜圧電バルク波共振器とを具備し、
    前記圧電薄膜により励振される弾性波の波長をλとしたとき、前記第一の金属電極膜の前記第二の金属電極膜との対向領域における被膜率σが、０．６４λのピッチ毎に、０＜σ＜１の条件を満たして成ることを特徴とする高周波フィルタ。
15. 請求項１４において、
    前記入力端子と前記出力端子に対して直列腕に接続された前記薄膜圧電バルク波共振器からなる第１の記薄膜圧電バルク波共振器と、並列腕に接続された前記薄膜圧電バルク波共振器からなる第２の薄膜圧電バルク波共振器とを具備して成り、
    前記第２の薄膜圧電バルク波共振器の被膜率よりも前記第１の薄膜圧電バルク波共振器の被膜率が小さいことを特徴とする高周波フィルタ。
16. 請求項１３において、
    前記入力端子と前記出力端子に対して並列腕に接続された複数の前記薄膜圧電バルク波共振器を具備して成り、
    前記複数の薄膜圧電バルク波共振器の少なくとも１つの被膜率が他の前記薄膜圧電バルク波共振器の被膜率と異なることを特徴とする高周波フィルタ。
17. 請求項１３において、
    前記入力端子と前記出力端子に対して直列腕に接続された複数の前記薄膜圧電バルク波共振器を具備して成り、
    前記複数の薄膜圧電バルク波共振器の少なくとも１つが他の前記薄膜圧電バルク波共振器と異なる被膜率を有することを特徴とする高周波フィルタ。
18. 請求項１３において、
    前記入力端子と前記出力端子に対して直列腕に接続された複数の第１の薄膜圧電バルク波共振器と複数並列腕に接続された第２の薄膜圧電バルク波共振器とを具備し、
    上記直列腕に接続された第１の薄膜圧電バルク波共振器の全てが前記薄膜圧電バルク波共振器であることを特徴とするラダー型高周波フィルタ。
19. 請求項１８において、
    前記第２の薄膜圧電バルク波共振器の全てが前記薄膜圧電バルク波共振器であり、前記第２の薄膜圧電バルク波共振器の被膜率よりも前記第１の薄膜圧電バルク波共振器の被膜率が小さいことを特徴とする高周波フィルタ。
20. 請求項１９において、
    前記第２の薄膜圧電バルク波共振器の少なくとも１つの被膜率が他の前記第２の薄膜圧電バルク波共振器の被膜率と異なることを特徴とする高周波フィルタ。

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