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JP2008078072A - 画像表示装置 - Google Patents

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JP2008078072A
JP2008078072A JP2006258676A JP2006258676A JP2008078072A JP 2008078072 A JP2008078072 A JP 2008078072A JP 2006258676 A JP2006258676 A JP 2006258676A JP 2006258676 A JP2006258676 A JP 2006258676A JP 2008078072 A JP2008078072 A JP 2008078072A
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Shigemi Hirasawa
重實 平澤
Yoshie Kodera
喜衛 小寺
Toshio Sasamoto
敏雄 笹本
Nobutake Konishi
信武 小西
Nobuhiko Hosoya
信彦 細谷
Kazuo Sunahara
和雄 砂原
Tatsuro Kato
達朗 加藤
Tomohiro Moriyama
智広 森山
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Japan Display Inc
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Hitachi Ltd
Hitachi Displays Ltd
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Abstract

【課題】平面型画像表示装置で、蛍光面の高圧印加部分の端面の電界集中を緩和し放電発生を防止する。
【解決手段】ガラス基板上に複数の信号配線8,9及び電子源10を備えた背面基板1と、ガラス基板上に蛍光体層15、BM膜16及びメタルバック17からなる蛍光膜18を備えた前面基板2と、これら背面基板1と前面基板2間に介挿された枠体3とを備えた平面型画像表示装置であって、前記蛍光膜18の終端から前記枠体3の内面方向に延在した導電膜14を配置した。
【選択図】図2

Description

本発明は、自発光型フラットパネル型画像表示装置に係り、特に薄膜型電子源をマトリクス状に配列した画像表示装置に関するものである。
マトリクス状に配置した電子源を有する自発光型フラットパネルディスプレイ(FPD)の一つとして、微少で集積可能な冷陰極を利用する電界放出型画像表示装置(FED:Field Emission Display)や電子放出型画像表示装置が知られている。これらの冷陰極には、スピント型電子源、表面伝導型電子源、カーボンナノチューブ型電子源、金属―絶縁体―金属を積層したMIM(Metal−Insulator−Metal )型、金属―絶縁体―半導体を積層したMIS(Metal−Insulator−Semiconductor)型、あるいは金属―絶縁体―半導体−金属型等の電子源などがある。
一般的な自発光型FPDは、上記のような電子源をガラス板からなる背面基板上に備えた背面パネルと、蛍光体層及びこの蛍光体層に前記電子源から放出される電子を射突させるための電界を形成する陽極をガラス板からなる前面基板上に備えた前面パネルと、両パネルの対向する内部空間を所定の間隔に保持する枠体とを備え、前記両パネルと枠体で形成される表示空間を真空状態に保持する構成とし、この表示パネルに駆動回路を組み合わせて構成される。
又、前記背面パネルの前記背面基板上には、一方向に延在し該一方向と直交する他方向に並設されて前記他方向に走査信号が順次印加される複数の走査信号配線を有し、更にこの背面基板上には、前記他方向に延在し前記走査信号配線に交差する如く前記一方向に並設された複数の画像信号配線を備えている。加えて前記走査信号配線と画像信号配線の各交差部付近に上記の電子源がそれぞれ設けられ、走査信号配線と電子源とは給電電極で接続され、走査信号配線から電子源に電流が供給される構成が一般的である。
更に、前記個々の電子源は対応する蛍光体層と対になって単位画素を構成する。通常は、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色の単位画素で一つの画素(カラー画素、ピクセル)が構成される。なお、カラー画素の場合、単位画素は副画素(サブピクセル)とも呼ばれる。
上述の構成に加え、前述したような画像表示装置では、背面パネルと前面パネル間の前記枠体で囲繞された表示領域内に複数の間隔保持部材(スペーサ)が配置固定され、前記両パネル間の間隔を前記枠体と協働して所定間隔に保持している。このスペーサは、一般にはガラスやセラミックスなどの絶縁材あるいは幾分かの導電性を有する部材で形成した板状体からなり、通常、複数の画素ごとに画素の動作を妨げない位置に設置される。
又、封止枠となる枠体は背面基板と前面基板との内周縁にフリットガラスなどの封着部材で固着され、この固着部が気密封着され封止領域となっている。両基板と枠体とで形成される表示領域内部の真空度は、例えば10-5〜10-7Torr程度である。
枠体と両基板との封止領域には、背面基板に形成された走査信号配線につながる走査信号配線引出端子や画像信号配線につながる画像信号配線引出端子がそれぞれ貫通する。
特開2002−75254号公報 特開2002−100313号公報 特開2003−226858号公報 特開2004−363075号公報
上述のような自発光型の画像表示装置に関し、特許文献1では前記枠体の両基板との当接面に電極を設けると共に前記当接面に接する側壁側面に高抵抗膜を配置した構成が開示されている。又、特許文献2では放電防止のために表示領域外に抵抗値の異なる2種類の抵抗膜を順次配置する構成が開示されている。更に、特許文献3ではシリコン系シール材料が開示されている。
この種の画像表示装置では、前記放電対策は必須である。しかしながら、従来この対策のために前記表示領域を含め両基板の内表面の汚れや損傷を発生させる恐れがあり、このことは表示品位の劣化を招くと共に長寿命化に支障を来たす問題の発生を内包している。
本発明の目的は、前述の問題を解決して表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明は、前面基板に設けられた蛍光膜の終端を覆って前記枠体方向に延在し、前記枠体と所定の間隔を有して配置された導電膜を備えたことを特徴とする。又、本発明は蛍光膜の終端に連なり枠体方向に延びる高抵抗膜を有し、この高抵抗膜上に前記導電膜を備えたことを特徴とする。更に、枠体の内側面に第2の高抵抗膜を配置したことを特徴とする。
蛍光膜終端から枠体方向へ延在する導電膜を配置したことにより、蛍光面の高圧印加部分端面の電界集中が緩和され、放電発生を抑制でき、表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を可能にした。又、導電膜の損傷に伴う散逸を軽減でき、管内異物発生を抑制して放電発生因子を排除し、表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を可能にした。
更に、蛍光膜の終端を覆って高抵抗膜を配置し、その上に前記導電膜を配置したことにより、両膜が高圧電位緩和層となって蛍光面の高圧印加部分端面の電界集中が緩和され、放電発生を抑制でき、表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を可能にした。更に、枠体の内側面に第2の高抵抗膜を配置したことにより、放電発生を更に抑制でき、表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を可能にした。
以下、本発明を実施するための最良の形態につき、実施例の図面を参照して詳細に説明する。
図1乃至図5は、本発明による画像表示装置の第1の実施例を説明する模式図で、図1(a)は前面基板側から見た平面図、図1(b)は図1(a)の側面図、図2は図1(b)のA−A線に沿った平面図、図3は図1のB−B線に沿った断面図、図4は図2のC−C線に沿った断面図、図5は図2のD−D線に沿った断面図である。
これら図1乃至図5において、参照符号1は背面基板、2は前面基板、3は枠体、4は排気管、5は封着部材、6は表示領域、7は貫通孔、8は映像信号配線、9は走査信号配線、10は電子源、11は接続配線、12はスペーサ、13は接着部材、14は導電膜、15は蛍光体層、16は遮光用のBM(ブラックマトリクス)膜、17は金属薄膜からなるメタルバック(加速電極)、18は蛍光膜である。
これら両基板1、2は厚さ数mm、例えば1〜10mm程度のガラス板から構成され、両基板共に略矩形状を呈し、所定の間隔を隔てて積層されている。参照符号3は枠状を呈する枠体を示し、この枠体3は例えばフリットガラスの燒結体或いはガラス板等から構成され、単体で若しくは複数部材の組み合わせで略矩形状とされ、前記両基板1、2間に介挿されている。
この枠体3は、前記両基板1、2間の周縁部に介挿され、両端面を両基板1、2と気密接合されている。この枠体3の厚さは数mm〜数十mm、その高さは両基板1、2間の前記間隔に略等しい寸法に設定されている。参照符号4は排気管で、この排気管4は前記背面基板1に固着されている。5は封着部材で、この封着部材5は例えばフリットガラスから構成され、前記枠体3と両基板1、2間を接合して気密封着している。
前記枠体3と両基板1、2及び封着部材5で囲まれた空間の表示領域6は前記排気管4を介して排気され例えば10-5〜10-7Torrの真空度を保持している。又、前記排気管4は前述のように前記背面基板1の外表面に取り付けられ、この背面基板1を貫通して穿設された貫通孔7に連通しており、排気完了後前記排気管4は封止される。
参照符号8は映像信号配線で、この映像信号配線8は後述するような金属材料を用い、前記背面基板1の内面に一方向(Y方向)に延在し他方向(X方向)に並設されている。この映像信号配線8は表示領域6から枠体3と背面基板1との封止領域を気密に貫通し、背面基板1の端面まで延長している。この映像信号配線8は前記封止領域より外側先端部分を映像信号配線引出端子81としている。
参照符号9は走査信号配線で、この走査信号配線9は後述するような金属材料を用い、前記映像信号配線8上でこれと交差する前記他方向(X方向)に延在し前記一方向(Y方向)に並設されている。この走査信号配線9は前記表示領域6から枠体3と背面基板1との封止領域を気密に貫通し、背面基板1の端面近傍まで延長している。この走査信号配線9はその前記封止領域より外側先端部分を走査信号配線引出端子91としている。
参照符号10は例えば特許文献4に開示された電子源の一種のMIM型の電子源で、この電子源10は前記走査信号配線9と映像信号配線8の各交差部近傍に設けられている。又、この電子源10は前記走査信号配線9と接続線11で接続されている。又、前記映像信号配線8と、電子源10及び前記走査信号配線9間には層間絶縁膜INSが配置されている。
ここで、前記映像信号配線8は例えばAl(アルミニウム)膜、走査信号配線9は例えばCr/Al/Cr膜、Cr/Cu/Cr膜等が用いられる。又、前記配線引出端子81、91はそれぞれ信号配線の両端に設けられているが、何れか一端のみに設けても良い。
次に、参照符号12はスペーサであり、このスペーサ12はガラスやセラミックスなどの絶縁材あるいは幾分かの導電性を有する部材で形成した板状体からなり、通常、複数の画素ごとに画素の動作を妨げない位置に設置される。このスペーサ12は108〜109Ω・cm程度の比抵抗で、全体として抵抗値の偏在の少ない構成となっている。そして、スペーサ12は前記枠体3と略平行で走査信号配線9上に1本おきに直立配置され、例えば導電性フリットガラスのような接着部材13で両基板1、2と接着固定している。又、スペーサ12の基板との接着固定は一端側のみでも良く、更にその配置は通常、複数の画素毎に画素の動作を妨げない位置に設置される。更に又、走査信号配線9上に数本おきに配置することも可能である。
このスペーサ12の寸法は基板寸法、枠体3の高さ、基板素材、スペーサの配置間隔、スペーサ素材等により設定されるが、一般的には高さは前述した枠体3と略同一寸法、厚さは数十μm〜数mm以下である。スペーサの長さは20mm乃至1000mm程度、更にはそれ以上の長尺も可能であるが、好ましくは80mm乃至300mm程度が実用的な値となる。
このスペーサ12の一端側が固定された前面基板2の内面には、後述するような位置関係で導電膜14が配置されている。この導電膜14としては、Ag微粒子、Ni微粒子等の金属微粒子を少量含む導電性フリットガラス、又は前述の特許文献3に開示されたようなSi系シール材料に、例えばカーボンナノチューブを0.1%〜数%添加した導電性シール材料等が用いられ、特にスペーサ12と接続する構成では、スペーサ12と良好に接着可能な材料が好ましい。
この導電膜14で囲まれたその内側に赤色、緑色、青色用の蛍光体層15が遮光用のBM(ブラックマトリクス)膜16で区画された窓部に配置され、これら蛍光体層15、BM膜16を覆うように金属薄膜からなるメタルバック(加速電極)17が例えば蒸着方法で設けられ、これらで蛍光膜18を形成して蛍光面を構成している。
動作時、この蛍光面には3kv〜20kv程度の陽極電圧が印加される。メタルバック17は前面基板2と反対側、つまり背面基板1側への発光を前面基板2側へ向け反射させ、発光の取り出し効率を上げる為の光反射膜であると共に蛍光体粒子の表面の帯電を防ぐ機能も合わせ持っている。
前記蛍光体としては、例えば赤色用としてY23:Eu、Y22S:Euを、又、緑色用としてZnS:Cu,Al、Y2SiO5:Tb、更に、青色用としてZnS:Ag,Cl、ZnS:Ag,Al等を用いることができる。この蛍光体層15は蛍光体粒子の平均粒径は例えば4μm〜9μm、膜厚は例えば10μm〜20μm程度となっている。
次に、前述した参照符号14で示す導電膜は、表示領域6を略同心に取り巻く複数の環状導電膜141、142、143の集合体から構成されている。前記複数の環状導電膜の内、最も内側に配置された環状導電膜141は、蛍光膜18のBM膜16の終端161とメタルバック17の終端171をそれぞれ覆う位置に配置されると共に、スペーサ12の端部と接続する構成となっている。
一方、前記環状導電膜141と略同心で、かつ最外端に配置された環状導電膜143は、前記枠体3と一定の間隔S1を隔てて配置されている。更に、これら両環状導電膜141、143の間に別の環状導電膜142を所定の間隔を隔てて配置した3重環構造となっており、これらの構成で高圧電位緩和層として作用している。
これら環状導電膜141〜143の配置幅W1は相互間の空白部分を含めて3mm〜10mm程度が必要で、この幅W1が3mm未満では高圧電位緩和効果が期待できず、又10mmを超えると表示領域が狭くなり、周辺領域が広くなる。好ましくは4mm〜8mm程度である。又、膜厚は3μm〜20μmが必要で、特に5μm〜10μmが好ましい。これが3μm未満では膜の消滅の可能性があり、20μmを超えると高圧電位緩和効果が期待できない。
図6は本発明の画像表示装置の他の実施例を示す模式平面図で、前記図2に対応しており、かつ前述した図と同一部分には同一記号を付してある。図6において、参照符号144は小点状導電膜で、この小点状導電膜144を蛍光膜18の終端から枠体3の内側面に近接する範囲内に所定のピッチで配置し、高圧電位緩和層としたものである。配置幅は実施例1と同一とした。
この小点(ドット)状導電膜144の形成は、例えばインクジェットによる方法で可能であり、又各ドットの面積はリークさせる電荷に応じてその面積分布を決定すればよい。更に、配列ピッチも等ピッチに限らず、例えば蛍光膜18に近い部分と枠体3に近い部分とで異なるピッチとすることも可能である。
ここで、図6では小点状導電膜144を円形で図示したが、角形、楕円形、星形など所望により種々の形状が可能である。
図7乃至図9は本発明の画像表示装置の更に他の実施例を示す模式図で、図7は前記図2に対応した平面図、図8は図7のE―E線に沿った断面図、図9は図7のF―F線に沿った断面図で、かつこれら図7乃至図9は前述した図と同一部分には同一記号を付してある。
図7乃至図9において、参照符号19は高抵抗膜で、この高抵抗膜19は、前記実施例1と同一仕様の導電膜14の下側に配置されている。この高抵抗膜19の始端191は前記メタルバック17の終端171の全周を覆い前記枠体3方向へ延在し、その終端192が前記枠体3と一定の間隔S1を隔てて非接触として配置され、前記導電膜14に加えて第2の高圧電位緩和層として作用している。
高低抗膜18は、前記メタルバック17の終端171を覆って前記枠体3方向へ延在しているが、前記メタルバック17の終端171から前記高抵抗膜19の終端192までの長さL1は3mm〜10mm程度が必要で、この長さが3mm未満では高圧電位緩和効果が期待できず、又10mmを超えると表示領域が狭くなり、周辺領域が広くなる。好ましくは4mm〜8mm程度である。又、膜厚は3μm〜20μmが必要で、特に5μm〜10μmが好ましい。これが3μm未満では膜の消滅の可能性があり、20μmを超えると高圧電位緩和効果が期待できない。
この高低抗膜18は、酸化鉄、酸化クロム、酸化チタン等の絶縁性の高抵抗酸化物と水ガラス等の無機バインダで構成されている。酸化鉄としては陰極線管等で使用実績のある例えばFe23が、又酸化クロムとしては例えばCr23が、又酸化チタンとしてはTiO2(ルチル型)が推奨される。この構成では前記酸化鉄、酸化クロム、酸化チタン等は粒径が0.1μm〜10μmのものを用いる。特に、10μmを超えると粒子の脱落が発生し易くその結果電位緩和効果が小さい問題があり、好ましくは0.5μm〜3μm程度である。
この高低抗膜18の無機バインダとして同じく陰極線管等で使用実績のある水ガラスを用いるケースでは、水ガラスは1重量%〜20重量%で、好ましくは3重量%〜10重量%程度である。又、水ガラスとFe23の組み合わせ、又は水ガラスとCr23の組み合わせ、更には水ガラスとTiO2の組み合わせでは、混合比は水ガラス:Fe23は1:4〜1:10、水ガラス:Cr23は同じく1:4〜1:10、更には水ガラス:TiO2も同じく1:4〜1:10が好ましい。
高低抗膜19の形成は、前記材料の混合溶液をスポンジ、刷毛、筆等公知の治具を用いて当該部位に塗布し、乾燥して完成させる。完成後の抵抗値は109Ω/□〜1013Ω/□で、前記メタルバック17の形成された蛍光面の抵抗の102Ω/□程度以下の値に比べ格段に異なる高抵抗膜となっている。
図10及び図11は本発明の画像表示装置の更に他の実施例を示す模式断面図で、図10は前記図4に、図11は前記図5にそれぞれ対応し、かつ前述した図と同一部分には同一記号を付してある。
図10及び図11において、参照符号29は高抵抗膜で、この高抵抗膜29は枠体3の全周に亘ってその内側面31に両基板1、2と非接触の状態で配置されている。この高抵抗膜29は蛍光面側に配置された前記高抵抗膜19と同一組成のもので形成されている。膜厚も実施例1と同様な寸法内に設定される。その他の仕様は実施例3と同一である。
実施例4では、前記蛍光面側に配置された導電膜14、高低抗膜18に加え枠体3の全周に亘ってその内側面31に第2の高抵抗膜29を配置したことにより高圧電位緩和がなされ、前記メタルバック17の終端171付近の等電位線の傾斜が更に滑らかとなり、その結果、放電発生回数が激減し、表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を得ることができた。
以上の各実施例では、電子源にMIMを用いた構造を例としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、前記した各種の電子源を用いた自発光型FPDに対しても同様に適用できるものである。
本発明による画像表示装置の第1の実施例を説明する模式図で、図1(a)は前面基板側から見た平面図、図1(b)は図1(a)の側面図である。 図1(b)のA−A線に沿った模式平面図である。 図1(a)のB−B線に沿った模式断面図である。 図2のC−C線に沿った模式断面図である。 図2のD−D線に沿った模式断面図である。 本発明による画像表示装置の他の実施例を説明する模式平面図である。 本発明による画像表示装置の更に他の実施例を説明する模式平面図である。 図7のE−E線に沿った模式断面図である。 図7のF−F線に沿った模式断面図である。 本発明による画像表示装置の更に他の実施例を説明する模式断面図である。 本発明による画像表示装置の更に他の実施例を説明する模式断面図である。
符号の説明
1・・・背面基板、2・・・前面基板、3・・・枠体、4・・・排気管、5・・・封着部材、6・・・表示領域、7・・・貫通孔、8・・・画像信号配線、9・・・走査信号配線、10・・・電子源、11・・・接続配線、12・・・スペーサ、13・・・接着部材、14・・・導電膜、141〜143・・・環状導電膜、144・・・小点状導電膜、15・・・蛍光体層、16・・・BM膜、17・・・メタルバック(加速電極)、171・・・メタルバック終端、18・・・蛍光膜、19、29・・・高抵抗膜、INS・・・絶縁膜(層間絶縁膜)。

Claims (23)

  1. 一方向に延在し該一方向と直交する他方向に並設された複数の走査信号配線と、前記他方向に延在し前記走査信号配線に交差する如く前記一方向に並設された複数の画像信号配線と、この画像信号配線と前記走査信号配線間に配置された層間絶縁膜と、前記走査信号配線と前記画像信号配線の各交差部近傍に設けられた電子源とを備えた背面基板と、
    前記電子源に対応して設けられた蛍光体層、この蛍光体層に隣接するBM膜及び前記電子源から放出される電子を前記蛍光体層に指向する如く加速するための加速電極を有する蛍光膜を備え前記背面基板と所定の間隔をもって対向する前面基板と、
    前記背面基板と前記前面基板との間で表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する枠体と、
    前記枠体と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封止領域で気密封着する封着部材とを備えた画像表示装置であって、
    前記蛍光膜の終端を覆って前記枠体方向に延在し、前記枠体と所定の間隔を隔てて配置された導電膜を備えたことを特徴とする画像表示装置。
  2. 前記導電膜は前記表示領域を略同心に取り巻く複数の環状導電膜の集合体からなることを特徴とする前記請求項1に記載の画像表示装置。
  3. 前記導電膜は小点状導電膜の集合体からなることを特徴とする前記請求項1に記載の画像表示装置。
  4. 前記導電膜の配置幅は3mm〜10mmであることを特徴とする前記請求項1乃至3の何れかに記載の画像表示装置。
  5. 前記表示領域内で前記背面基板と前記前面基板間に前記枠体と略平行に配置され、前記両基板の何れかと接着部材を介して固定された複数のスペーサを有し、このスペーサと前記導電膜とを接続してなることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の画像表示装置。
  6. 前記接着部材は前記導電膜と略同一組成であることを特徴とする請求項5に記載の画像表示装置。
  7. 前記導電膜は金属微粒子を含むことを特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載の画像表示装置。
  8. 前記導電膜は102Ω・cm〜1010Ω・cmの比抵抗を有することを特徴とする請求項1乃至7の何れかに記載の画像表示装置。
  9. 一方向に延在し該一方向と直交する他方向に並設された複数の走査信号配線と、前記他方向に延在し前記走査信号配線に交差する如く前記一方向に並設された複数の画像信号配線と、この画像信号配線と前記走査信号配線間に配置された層間絶縁膜と、前記走査信号配線と前記画像信号配線の各交差部近傍に設けられた電子源とを備えた背面基板と、
    前記電子源に対応して設けられた蛍光体層、この蛍光体層に隣接するBM膜及び前記電子源から放出される電子を前記蛍光体層に指向する如く加速するための加速電極を有する蛍光膜を備え前記背面基板と所定の間隔をもって対向する前面基板と、
    前記背面基板と前記前面基板との間で表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する枠体と、
    前記枠体と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封止領域で気密封着する封着部材とを備えた画像表示装置であって、
    前記蛍光膜の終端の略全面を覆って前記枠体方向に延在し、前記枠体と所定の間隔を隔てて配置された高抵抗膜と、この高抵抗膜上で前記蛍光膜の終端を覆って前記枠体方向に延在し、前記枠体と所定の間隔を隔てて配置された導電膜とを備えたことを特徴とする画像表示装置。
  10. 前記導電膜は、前記表示領域を略同心に取り巻く複数の環状導電膜の集合体からなることを特徴とする請求項9に記載の画像表示装置。
  11. 前記導電膜は小点状導電膜の集合体からなることを特徴とする前記請求項9に記載の画像表示装置。
  12. 前記導電膜の配置幅は3mm〜10mmであることを特徴とする前記請求項9乃至11の何れかに記載の画像表示装置。
  13. 前記表示領域内で前記背面基板と前記前面基板間に前記枠体と略平行に配置され、前記両基板の何れかと接着部材を介して固定された複数のスペーサを有し、このスペーサと前記導電膜とを接続してなることを特徴とする請求項9乃至12の何れかに記載の画像表示装置。
  14. 前記接着部材は前記導電膜と略同一組成であることを特徴とする請求項13に記載の画像表示装置。
  15. 前記導電膜は金属微粒子を含むことを特徴とする請求項9乃至14の何れかに記載の画像表示装置。
  16. 前記導電膜は102Ω・cm〜1010Ω・cmの比抵抗を有することを特徴とする請求項9乃至15の何れかに記載の画像表示装置。
  17. 前記高抵抗膜を前記枠体の内側面で前記背面基板及び前面基板からそれぞれ離隔した部位に更に配置したことを特徴とする前記請求項9乃至16の何れかに記載の画像表示装置。
  18. 前記高抵抗膜は109Ω/□〜1013Ω/□の抵抗値を有することを特徴とする請求項9乃至17の何れかに記載の画像表示装置。
  19. 前記高抵抗膜の前記延在長さは前記加速電極の終端から3〜10mmであることを特徴とする請求項9乃至18の何れかに記載の画像表示装置。
  20. 前記高抵抗膜は絶縁性の高抵抗酸化物を含むことを特徴とする請求項9乃至19
    の何れかに記載の画像表示装置。
  21. 前記絶縁性の高抵抗酸化物はFe23、Cr23、TiO2の何れかを主成分として含むことを特徴とする請求項9乃至20の何れかに記載の画像表示装置。
  22. 前記高抵抗膜は1〜20重量%の水ガラスを含むことを特徴とする請求項9乃至21の何れかに記載の画像表示装置。
  23. 前記高抵抗膜は水ガラスとFe23、水ガラスとCr23又は水ガラスとTiO2の比が1:4〜1:10の範囲で混合してなることを特徴とする請求項9乃至22の何れかに記載の画像表示装置。
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