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JP2008078072A - Image display device - Google Patents

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JP2008078072A
JP2008078072A JP2006258676A JP2006258676A JP2008078072A JP 2008078072 A JP2008078072 A JP 2008078072A JP 2006258676 A JP2006258676 A JP 2006258676A JP 2006258676 A JP2006258676 A JP 2006258676A JP 2008078072 A JP2008078072 A JP 2008078072A
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JP
Japan
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image display
display device
film
frame
signal wiring
Prior art date
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Pending
Application number
JP2006258676A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigemi Hirasawa
重實 平澤
Yoshie Kodera
喜衛 小寺
Toshio Sasamoto
敏雄 笹本
Nobutake Konishi
信武 小西
Nobuhiko Hosoya
信彦 細谷
Kazuo Sunahara
和雄 砂原
Tatsuro Kato
達朗 加藤
Tomohiro Moriyama
智広 森山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Japan Display Inc
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Displays Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Hitachi Displays Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2006258676A priority Critical patent/JP2008078072A/en
Publication of JP2008078072A publication Critical patent/JP2008078072A/en
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  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

【課題】平面型画像表示装置で、蛍光面の高圧印加部分の端面の電界集中を緩和し放電発生を防止する。
【解決手段】ガラス基板上に複数の信号配線8,9及び電子源10を備えた背面基板1と、ガラス基板上に蛍光体層15、BM膜16及びメタルバック17からなる蛍光膜18を備えた前面基板2と、これら背面基板1と前面基板2間に介挿された枠体3とを備えた平面型画像表示装置であって、前記蛍光膜18の終端から前記枠体3の内面方向に延在した導電膜14を配置した。
【選択図】図2
In a flat-type image display device, electric field concentration on an end face of a high voltage application portion of a phosphor screen is reduced to prevent discharge.
A back substrate 1 having a plurality of signal wirings 8 and 9 and an electron source 10 on a glass substrate, and a phosphor film 18 comprising a phosphor layer 15, a BM film 16 and a metal back 17 on the glass substrate. A flat-type image display device comprising a front substrate 2 and a frame 3 interposed between the rear substrate 1 and the front substrate 2, the inner surface direction of the frame 3 from the end of the phosphor film 18. The conductive film 14 extending to the surface was disposed.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は、自発光型フラットパネル型画像表示装置に係り、特に薄膜型電子源をマトリクス状に配列した画像表示装置に関するものである。   The present invention relates to a self-luminous flat panel image display device, and more particularly to an image display device in which thin film electron sources are arranged in a matrix.

マトリクス状に配置した電子源を有する自発光型フラットパネルディスプレイ(FPD)の一つとして、微少で集積可能な冷陰極を利用する電界放出型画像表示装置(FED:Field Emission Display)や電子放出型画像表示装置が知られている。これらの冷陰極には、スピント型電子源、表面伝導型電子源、カーボンナノチューブ型電子源、金属―絶縁体―金属を積層したMIM(Metal−Insulator−Metal )型、金属―絶縁体―半導体を積層したMIS(Metal−Insulator−Semiconductor)型、あるいは金属―絶縁体―半導体−金属型等の電子源などがある。   As one of self-luminous flat panel displays (FPDs) having electron sources arranged in a matrix, a field emission image display (FED: Field Emission Display) using a small and stackable cold cathode or an electron emission type An image display device is known. These cold cathodes include spindt type electron sources, surface conduction type electron sources, carbon nanotube type electron sources, metal-insulator-metal (MIM) type metal-insulator-metal, and metal-insulator-semiconductors. There are stacked MIS (Metal-Insulator-Semiconductor) type or metal-insulator-semiconductor-metal type electron sources.

一般的な自発光型FPDは、上記のような電子源をガラス板からなる背面基板上に備えた背面パネルと、蛍光体層及びこの蛍光体層に前記電子源から放出される電子を射突させるための電界を形成する陽極をガラス板からなる前面基板上に備えた前面パネルと、両パネルの対向する内部空間を所定の間隔に保持する枠体とを備え、前記両パネルと枠体で形成される表示空間を真空状態に保持する構成とし、この表示パネルに駆動回路を組み合わせて構成される。   A general self-luminous FPD includes a rear panel having the electron source as described above on a rear substrate made of a glass plate, a phosphor layer, and electrons emitted from the electron source to the phosphor layer. A front panel having an anode for forming an electric field on the front substrate made of a glass plate, and a frame body that holds internal spaces facing each other at a predetermined interval. The display space to be formed is configured to be kept in a vacuum state, and the display panel is configured by combining a drive circuit.

又、前記背面パネルの前記背面基板上には、一方向に延在し該一方向と直交する他方向に並設されて前記他方向に走査信号が順次印加される複数の走査信号配線を有し、更にこの背面基板上には、前記他方向に延在し前記走査信号配線に交差する如く前記一方向に並設された複数の画像信号配線を備えている。加えて前記走査信号配線と画像信号配線の各交差部付近に上記の電子源がそれぞれ設けられ、走査信号配線と電子源とは給電電極で接続され、走査信号配線から電子源に電流が供給される構成が一般的である。   The back panel of the back panel has a plurality of scanning signal wirings extending in one direction and arranged in parallel in another direction orthogonal to the one direction and sequentially applying a scanning signal in the other direction. Furthermore, a plurality of image signal wirings arranged in the one direction so as to extend in the other direction and intersect the scanning signal wirings are provided on the rear substrate. In addition, the electron source is provided near each intersection of the scanning signal wiring and the image signal wiring. The scanning signal wiring and the electron source are connected by a feeding electrode, and current is supplied from the scanning signal wiring to the electron source. The configuration is general.

更に、前記個々の電子源は対応する蛍光体層と対になって単位画素を構成する。通常は、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色の単位画素で一つの画素(カラー画素、ピクセル)が構成される。なお、カラー画素の場合、単位画素は副画素(サブピクセル)とも呼ばれる。   Further, the individual electron sources are paired with a corresponding phosphor layer to constitute a unit pixel. Usually, one pixel (color pixel, pixel) is composed of unit pixels of three colors of red (R), green (G), and blue (B). In the case of a color pixel, the unit pixel is also called a sub-pixel (sub-pixel).

上述の構成に加え、前述したような画像表示装置では、背面パネルと前面パネル間の前記枠体で囲繞された表示領域内に複数の間隔保持部材(スペーサ)が配置固定され、前記両パネル間の間隔を前記枠体と協働して所定間隔に保持している。このスペーサは、一般にはガラスやセラミックスなどの絶縁材あるいは幾分かの導電性を有する部材で形成した板状体からなり、通常、複数の画素ごとに画素の動作を妨げない位置に設置される。   In addition to the above-described configuration, in the image display device as described above, a plurality of spacing members (spacers) are arranged and fixed in a display area surrounded by the frame body between the rear panel and the front panel, Is maintained at a predetermined interval in cooperation with the frame. This spacer is generally composed of a plate-like body formed of an insulating material such as glass or ceramics or a member having some conductivity, and is usually installed at a position where the operation of the pixel is not hindered for each of a plurality of pixels. .

又、封止枠となる枠体は背面基板と前面基板との内周縁にフリットガラスなどの封着部材で固着され、この固着部が気密封着され封止領域となっている。両基板と枠体とで形成される表示領域内部の真空度は、例えば10-5〜10-7Torr程度である。 The frame body serving as a sealing frame is fixed to the inner peripheral edge of the back substrate and the front substrate with a sealing member such as frit glass, and the fixing portion is hermetically sealed to form a sealing region. The degree of vacuum inside the display area formed by both substrates and the frame is, for example, about 10 −5 to 10 −7 Torr.

枠体と両基板との封止領域には、背面基板に形成された走査信号配線につながる走査信号配線引出端子や画像信号配線につながる画像信号配線引出端子がそれぞれ貫通する。
特開2002−75254号公報 特開2002−100313号公報 特開2003−226858号公報 特開2004−363075号公報
A scanning signal wiring lead terminal connected to the scanning signal wiring formed on the rear substrate and an image signal wiring lead terminal connected to the image signal wiring pass through the sealing region between the frame and both substrates.
JP 2002-75254 A JP 2002-100313 A JP 2003-226858 A JP 2004-363075 A

上述のような自発光型の画像表示装置に関し、特許文献1では前記枠体の両基板との当接面に電極を設けると共に前記当接面に接する側壁側面に高抵抗膜を配置した構成が開示されている。又、特許文献2では放電防止のために表示領域外に抵抗値の異なる2種類の抵抗膜を順次配置する構成が開示されている。更に、特許文献3ではシリコン系シール材料が開示されている。   With respect to the self-luminous image display device as described above, Patent Document 1 has a configuration in which electrodes are provided on the contact surfaces of the frame body with both substrates and a high resistance film is disposed on the side wall side surface in contact with the contact surfaces. It is disclosed. Patent Document 2 discloses a configuration in which two types of resistance films having different resistance values are sequentially arranged outside the display area in order to prevent discharge. Furthermore, Patent Document 3 discloses a silicon-based sealing material.

この種の画像表示装置では、前記放電対策は必須である。しかしながら、従来この対策のために前記表示領域を含め両基板の内表面の汚れや損傷を発生させる恐れがあり、このことは表示品位の劣化を招くと共に長寿命化に支障を来たす問題の発生を内包している。   In this type of image display apparatus, the countermeasure against discharge is indispensable. However, there has been a risk of causing contamination and damage to the inner surfaces of both substrates including the display area as a countermeasure against this, and this causes deterioration of display quality and a problem that hinders long life. Contains.

本発明の目的は、前述の問題を解決して表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を提供することにある。   It is an object of the present invention to provide a long-life image display device that solves the above-described problems and has excellent display quality.

上記目的を達成するため、本発明は、前面基板に設けられた蛍光膜の終端を覆って前記枠体方向に延在し、前記枠体と所定の間隔を有して配置された導電膜を備えたことを特徴とする。又、本発明は蛍光膜の終端に連なり枠体方向に延びる高抵抗膜を有し、この高抵抗膜上に前記導電膜を備えたことを特徴とする。更に、枠体の内側面に第2の高抵抗膜を配置したことを特徴とする。   In order to achieve the above object, the present invention provides a conductive film that extends in the direction of the frame covering the end of a fluorescent film provided on a front substrate, and is disposed at a predetermined interval from the frame. It is characterized by having. Further, the present invention is characterized in that a high-resistance film is connected to the end of the fluorescent film and extends in the direction of the frame, and the conductive film is provided on the high-resistance film. Further, the second high resistance film is disposed on the inner side surface of the frame.

蛍光膜終端から枠体方向へ延在する導電膜を配置したことにより、蛍光面の高圧印加部分端面の電界集中が緩和され、放電発生を抑制でき、表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を可能にした。又、導電膜の損傷に伴う散逸を軽減でき、管内異物発生を抑制して放電発生因子を排除し、表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を可能にした。   By arranging the conductive film extending from the end of the fluorescent film in the frame direction, the electric field concentration on the high voltage application part end surface of the fluorescent screen is alleviated, and the occurrence of discharge can be suppressed. Made possible. In addition, dissipation due to the damage to the conductive film can be reduced, the generation of foreign matter in the tube is suppressed, the discharge generation factor is eliminated, and a long-life image display device with excellent display quality is made possible.

更に、蛍光膜の終端を覆って高抵抗膜を配置し、その上に前記導電膜を配置したことにより、両膜が高圧電位緩和層となって蛍光面の高圧印加部分端面の電界集中が緩和され、放電発生を抑制でき、表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を可能にした。更に、枠体の内側面に第2の高抵抗膜を配置したことにより、放電発生を更に抑制でき、表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を可能にした。   Furthermore, a high-resistance film is arranged to cover the end of the fluorescent film, and the conductive film is arranged on the high-resistance film, so that both films become a high-voltage potential relaxation layer, and the electric field concentration on the high-voltage application portion end face of the fluorescent screen is reduced. As a result, it is possible to suppress the generation of electric discharge and to achieve a long-life image display device with excellent display quality. Furthermore, by disposing the second high resistance film on the inner side surface of the frame, it is possible to further suppress the occurrence of discharge and to enable a long-life image display device with excellent display quality.

以下、本発明を実施するための最良の形態につき、実施例の図面を参照して詳細に説明する。   The best mode for carrying out the present invention will be described below in detail with reference to the drawings of the embodiments.

図1乃至図5は、本発明による画像表示装置の第1の実施例を説明する模式図で、図1(a)は前面基板側から見た平面図、図1(b)は図1(a)の側面図、図2は図1(b)のA−A線に沿った平面図、図3は図1のB−B線に沿った断面図、図4は図2のC−C線に沿った断面図、図5は図2のD−D線に沿った断面図である。   1 to 5 are schematic views for explaining a first embodiment of the image display device according to the present invention. FIG. 1 (a) is a plan view seen from the front substrate side, and FIG. 1 (b) is FIG. FIG. 2 is a plan view taken along line AA in FIG. 1B, FIG. 3 is a sectional view taken along line BB in FIG. 1, and FIG. 4 is CC in FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line DD of FIG. 2.

これら図1乃至図5において、参照符号1は背面基板、2は前面基板、3は枠体、4は排気管、5は封着部材、6は表示領域、7は貫通孔、8は映像信号配線、9は走査信号配線、10は電子源、11は接続配線、12はスペーサ、13は接着部材、14は導電膜、15は蛍光体層、16は遮光用のBM(ブラックマトリクス)膜、17は金属薄膜からなるメタルバック(加速電極)、18は蛍光膜である。   1 to 5, reference numeral 1 is a back substrate, 2 is a front substrate, 3 is a frame body, 4 is an exhaust pipe, 5 is a sealing member, 6 is a display area, 7 is a through-hole, and 8 is a video signal. Wiring, 9 scanning signal wiring, 10 electron source, 11 connection wiring, 12 spacer, 13 adhesive member, 14 conductive film, 15 phosphor layer, 16 BM (black matrix) film for light shielding, Reference numeral 17 denotes a metal back (acceleration electrode) made of a metal thin film, and 18 denotes a fluorescent film.

これら両基板1、2は厚さ数mm、例えば1〜10mm程度のガラス板から構成され、両基板共に略矩形状を呈し、所定の間隔を隔てて積層されている。参照符号3は枠状を呈する枠体を示し、この枠体3は例えばフリットガラスの燒結体或いはガラス板等から構成され、単体で若しくは複数部材の組み合わせで略矩形状とされ、前記両基板1、2間に介挿されている。   Both the substrates 1 and 2 are made of glass plates having a thickness of several millimeters, for example, about 1 to 10 mm, and both the substrates have a substantially rectangular shape and are laminated at a predetermined interval. Reference numeral 3 denotes a frame body having a frame shape. The frame body 3 is made of, for example, a sintered body of frit glass or a glass plate, and has a substantially rectangular shape by itself or a combination of a plurality of members. Between the two.

この枠体3は、前記両基板1、2間の周縁部に介挿され、両端面を両基板1、2と気密接合されている。この枠体3の厚さは数mm〜数十mm、その高さは両基板1、2間の前記間隔に略等しい寸法に設定されている。参照符号4は排気管で、この排気管4は前記背面基板1に固着されている。5は封着部材で、この封着部材5は例えばフリットガラスから構成され、前記枠体3と両基板1、2間を接合して気密封着している。   The frame 3 is inserted in a peripheral portion between the substrates 1 and 2, and both end surfaces are hermetically bonded to the substrates 1 and 2. The thickness of the frame 3 is set to several mm to several tens mm, and the height thereof is set to a dimension substantially equal to the distance between the substrates 1 and 2. Reference numeral 4 is an exhaust pipe, and the exhaust pipe 4 is fixed to the back substrate 1. Reference numeral 5 denotes a sealing member. The sealing member 5 is made of, for example, frit glass. The frame 3 and the substrates 1 and 2 are joined and hermetically sealed.

前記枠体3と両基板1、2及び封着部材5で囲まれた空間の表示領域6は前記排気管4を介して排気され例えば10-5〜10-7Torrの真空度を保持している。又、前記排気管4は前述のように前記背面基板1の外表面に取り付けられ、この背面基板1を貫通して穿設された貫通孔7に連通しており、排気完了後前記排気管4は封止される。 The display area 6 in the space surrounded by the frame 3 and the substrates 1 and 2 and the sealing member 5 is evacuated through the exhaust pipe 4 and maintains a vacuum degree of 10 −5 to 10 −7 Torr, for example. Yes. The exhaust pipe 4 is attached to the outer surface of the rear substrate 1 as described above, and communicates with a through hole 7 formed through the rear substrate 1 so that the exhaust pipe 4 is exhausted after exhausting is completed. Is sealed.

参照符号8は映像信号配線で、この映像信号配線8は後述するような金属材料を用い、前記背面基板1の内面に一方向(Y方向)に延在し他方向(X方向)に並設されている。この映像信号配線8は表示領域6から枠体3と背面基板1との封止領域を気密に貫通し、背面基板1の端面まで延長している。この映像信号配線8は前記封止領域より外側先端部分を映像信号配線引出端子81としている。   Reference numeral 8 denotes a video signal wiring. The video signal wiring 8 is made of a metal material as will be described later, and extends in one direction (Y direction) on the inner surface of the rear substrate 1 and is arranged in parallel in the other direction (X direction). Has been. The video signal wiring 8 airtightly penetrates the sealing region between the frame 3 and the rear substrate 1 from the display region 6 and extends to the end surface of the rear substrate 1. The video signal wiring 8 has a video signal wiring lead-out terminal 81 at the tip outside the sealing area.

参照符号9は走査信号配線で、この走査信号配線9は後述するような金属材料を用い、前記映像信号配線8上でこれと交差する前記他方向(X方向)に延在し前記一方向(Y方向)に並設されている。この走査信号配線9は前記表示領域6から枠体3と背面基板1との封止領域を気密に貫通し、背面基板1の端面近傍まで延長している。この走査信号配線9はその前記封止領域より外側先端部分を走査信号配線引出端子91としている。   Reference numeral 9 denotes a scanning signal wiring. The scanning signal wiring 9 is made of a metal material as will be described later, and extends on the video signal wiring 8 in the other direction (X direction) intersecting with the one direction (X direction). (Y direction). The scanning signal wiring 9 airtightly penetrates the sealing region between the frame 3 and the rear substrate 1 from the display region 6 and extends to the vicinity of the end surface of the rear substrate 1. The scanning signal wiring 9 has a distal end portion outside the sealing region as a scanning signal wiring lead terminal 91.

参照符号10は例えば特許文献4に開示された電子源の一種のMIM型の電子源で、この電子源10は前記走査信号配線9と映像信号配線8の各交差部近傍に設けられている。又、この電子源10は前記走査信号配線9と接続線11で接続されている。又、前記映像信号配線8と、電子源10及び前記走査信号配線9間には層間絶縁膜INSが配置されている。   Reference numeral 10 is, for example, a kind of MIM type electron source disclosed in Patent Document 4, and this electron source 10 is provided in the vicinity of each intersection of the scanning signal wiring 9 and the video signal wiring 8. The electron source 10 is connected to the scanning signal wiring 9 through a connection line 11. An interlayer insulating film INS is disposed between the video signal wiring 8 and the electron source 10 and the scanning signal wiring 9.

ここで、前記映像信号配線8は例えばAl(アルミニウム)膜、走査信号配線9は例えばCr/Al/Cr膜、Cr/Cu/Cr膜等が用いられる。又、前記配線引出端子81、91はそれぞれ信号配線の両端に設けられているが、何れか一端のみに設けても良い。   Here, the video signal wiring 8 is made of, for example, an Al (aluminum) film, and the scanning signal wiring 9 is made of, for example, a Cr / Al / Cr film or a Cr / Cu / Cr film. The wiring lead terminals 81 and 91 are provided at both ends of the signal wiring, respectively, but may be provided only at one end.

次に、参照符号12はスペーサであり、このスペーサ12はガラスやセラミックスなどの絶縁材あるいは幾分かの導電性を有する部材で形成した板状体からなり、通常、複数の画素ごとに画素の動作を妨げない位置に設置される。このスペーサ12は108〜109Ω・cm程度の比抵抗で、全体として抵抗値の偏在の少ない構成となっている。そして、スペーサ12は前記枠体3と略平行で走査信号配線9上に1本おきに直立配置され、例えば導電性フリットガラスのような接着部材13で両基板1、2と接着固定している。又、スペーサ12の基板との接着固定は一端側のみでも良く、更にその配置は通常、複数の画素毎に画素の動作を妨げない位置に設置される。更に又、走査信号配線9上に数本おきに配置することも可能である。 Next, reference numeral 12 denotes a spacer, and the spacer 12 is formed of a plate-like body formed of an insulating material such as glass or ceramics or a member having some conductivity. Installed in a position that does not interfere with operation. The spacer 12 has a specific resistance of about 10 8 to 10 9 Ω · cm, and has a configuration in which the resistance value is unevenly distributed as a whole. The spacers 12 are arranged almost upright on the scanning signal wirings 9 substantially parallel to the frame 3 and are fixed to the substrates 1 and 2 with an adhesive member 13 such as conductive frit glass. . Further, the spacer 12 may be fixed to the substrate only on one end side, and the arrangement is usually set at a position where the operation of the pixel is not hindered for each of the plurality of pixels. Furthermore, it is possible to arrange every several lines on the scanning signal wiring 9.

このスペーサ12の寸法は基板寸法、枠体3の高さ、基板素材、スペーサの配置間隔、スペーサ素材等により設定されるが、一般的には高さは前述した枠体3と略同一寸法、厚さは数十μm〜数mm以下である。スペーサの長さは20mm乃至1000mm程度、更にはそれ以上の長尺も可能であるが、好ましくは80mm乃至300mm程度が実用的な値となる。   The dimensions of the spacer 12 are set according to the substrate dimensions, the height of the frame 3, the substrate material, the spacer spacing, the spacer material, etc. Generally, the height is substantially the same as the frame 3 described above, The thickness is several tens μm to several mm or less. The length of the spacer can be about 20 mm to 1000 mm and even longer, but a practical value is preferably about 80 mm to 300 mm.

このスペーサ12の一端側が固定された前面基板2の内面には、後述するような位置関係で導電膜14が配置されている。この導電膜14としては、Ag微粒子、Ni微粒子等の金属微粒子を少量含む導電性フリットガラス、又は前述の特許文献3に開示されたようなSi系シール材料に、例えばカーボンナノチューブを0.1%〜数%添加した導電性シール材料等が用いられ、特にスペーサ12と接続する構成では、スペーサ12と良好に接着可能な材料が好ましい。   A conductive film 14 is disposed on the inner surface of the front substrate 2 to which one end side of the spacer 12 is fixed in a positional relationship as will be described later. As the conductive film 14, a conductive frit glass containing a small amount of metal fine particles such as Ag fine particles and Ni fine particles, or an Si-based sealing material as disclosed in Patent Document 3 mentioned above, for example, 0.1% of carbon nanotubes is used. A conductive sealing material or the like added to several percent is used, and in particular, in a configuration in which the conductive sealing material is connected to the spacer 12, a material that can be adhered to the spacer 12 is preferable.

この導電膜14で囲まれたその内側に赤色、緑色、青色用の蛍光体層15が遮光用のBM(ブラックマトリクス)膜16で区画された窓部に配置され、これら蛍光体層15、BM膜16を覆うように金属薄膜からなるメタルバック(加速電極)17が例えば蒸着方法で設けられ、これらで蛍光膜18を形成して蛍光面を構成している。   A phosphor layer 15 for red, green, and blue is disposed inside a window surrounded by the light shielding BM (black matrix) film 16 surrounded by the conductive film 14, and the phosphor layer 15, BM A metal back (acceleration electrode) 17 made of a metal thin film is provided by, for example, a vapor deposition method so as to cover the film 16, and a fluorescent film 18 is formed by these to form a fluorescent screen.

動作時、この蛍光面には3kv〜20kv程度の陽極電圧が印加される。メタルバック17は前面基板2と反対側、つまり背面基板1側への発光を前面基板2側へ向け反射させ、発光の取り出し効率を上げる為の光反射膜であると共に蛍光体粒子の表面の帯電を防ぐ機能も合わせ持っている。   In operation, an anode voltage of about 3 kv to 20 kv is applied to the phosphor screen. The metal back 17 is a light reflecting film for reflecting the light emitted to the side opposite to the front substrate 2, that is, the back substrate 1 toward the front substrate 2, and increasing the light emission efficiency, and charging the surface of the phosphor particles. Also has a function to prevent.

前記蛍光体としては、例えば赤色用としてY23:Eu、Y22S:Euを、又、緑色用としてZnS:Cu,Al、Y2SiO5:Tb、更に、青色用としてZnS:Ag,Cl、ZnS:Ag,Al等を用いることができる。この蛍光体層15は蛍光体粒子の平均粒径は例えば4μm〜9μm、膜厚は例えば10μm〜20μm程度となっている。 Examples of the phosphor include Y 2 O 3 : Eu and Y 2 O 2 S: Eu for red, ZnS: Cu, Al, Y 2 SiO 5 : Tb for green, and ZnS for blue. : Ag, Cl, ZnS: Ag, Al, etc. can be used. The phosphor layer 15 has an average particle diameter of phosphor particles of, for example, 4 μm to 9 μm, and a film thickness of, for example, about 10 μm to 20 μm.

次に、前述した参照符号14で示す導電膜は、表示領域6を略同心に取り巻く複数の環状導電膜141、142、143の集合体から構成されている。前記複数の環状導電膜の内、最も内側に配置された環状導電膜141は、蛍光膜18のBM膜16の終端161とメタルバック17の終端171をそれぞれ覆う位置に配置されると共に、スペーサ12の端部と接続する構成となっている。   Next, the conductive film indicated by reference numeral 14 described above is composed of an aggregate of a plurality of annular conductive films 141, 142, and 143 that surround the display region 6 substantially concentrically. Among the plurality of annular conductive films, the annular conductive film 141 disposed on the innermost side is disposed at a position covering the terminal end 161 of the BM film 16 and the terminal end 171 of the metal back 17 of the fluorescent film 18, and the spacer 12. It is the structure connected with the edge part.

一方、前記環状導電膜141と略同心で、かつ最外端に配置された環状導電膜143は、前記枠体3と一定の間隔S1を隔てて配置されている。更に、これら両環状導電膜141、143の間に別の環状導電膜142を所定の間隔を隔てて配置した3重環構造となっており、これらの構成で高圧電位緩和層として作用している。   On the other hand, the annular conductive film 143 that is substantially concentric with the annular conductive film 141 and disposed at the outermost end is disposed at a certain distance S1 from the frame 3. Further, a triple ring structure is formed in which another annular conductive film 142 is disposed between the two annular conductive films 141 and 143 at a predetermined interval, and these structures serve as a high-voltage potential relaxation layer. .

これら環状導電膜141〜143の配置幅W1は相互間の空白部分を含めて3mm〜10mm程度が必要で、この幅W1が3mm未満では高圧電位緩和効果が期待できず、又10mmを超えると表示領域が狭くなり、周辺領域が広くなる。好ましくは4mm〜8mm程度である。又、膜厚は3μm〜20μmが必要で、特に5μm〜10μmが好ましい。これが3μm未満では膜の消滅の可能性があり、20μmを超えると高圧電位緩和効果が期待できない。   The arrangement width W1 of the annular conductive films 141 to 143 is required to be about 3 mm to 10 mm including a space between them. If the width W1 is less than 3 mm, the high voltage potential relaxation effect cannot be expected, and if the width W1 exceeds 10 mm, the display is performed. The area becomes narrower and the peripheral area becomes wider. Preferably, it is about 4 mm to 8 mm. Further, the film thickness is required to be 3 μm to 20 μm, and particularly preferably 5 μm to 10 μm. If this is less than 3 μm, the film may disappear, and if it exceeds 20 μm, the high-voltage potential relaxation effect cannot be expected.

図6は本発明の画像表示装置の他の実施例を示す模式平面図で、前記図2に対応しており、かつ前述した図と同一部分には同一記号を付してある。図6において、参照符号144は小点状導電膜で、この小点状導電膜144を蛍光膜18の終端から枠体3の内側面に近接する範囲内に所定のピッチで配置し、高圧電位緩和層としたものである。配置幅は実施例1と同一とした。   FIG. 6 is a schematic plan view showing another embodiment of the image display device of the present invention, which corresponds to FIG. 2, and the same parts as those shown in FIG. In FIG. 6, reference numeral 144 is a small dot-like conductive film, and the small dot-like conductive film 144 is arranged at a predetermined pitch within a range close to the inner surface of the frame 3 from the end of the fluorescent film 18, and a high voltage potential. It is a relaxation layer. The arrangement width was the same as in Example 1.

この小点(ドット)状導電膜144の形成は、例えばインクジェットによる方法で可能であり、又各ドットの面積はリークさせる電荷に応じてその面積分布を決定すればよい。更に、配列ピッチも等ピッチに限らず、例えば蛍光膜18に近い部分と枠体3に近い部分とで異なるピッチとすることも可能である。   The small dot (dot) conductive film 144 can be formed by, for example, an ink jet method, and the area of each dot may be determined in accordance with the charge to be leaked. Furthermore, the arrangement pitch is not limited to an equal pitch, and for example, it is possible to set different pitches for a portion close to the fluorescent film 18 and a portion close to the frame 3.

ここで、図6では小点状導電膜144を円形で図示したが、角形、楕円形、星形など所望により種々の形状が可能である。   Here, although the small dot-like conductive film 144 is illustrated in a circular shape in FIG. 6, various shapes such as a square shape, an elliptical shape, and a star shape are possible.

図7乃至図9は本発明の画像表示装置の更に他の実施例を示す模式図で、図7は前記図2に対応した平面図、図8は図7のE―E線に沿った断面図、図9は図7のF―F線に沿った断面図で、かつこれら図7乃至図9は前述した図と同一部分には同一記号を付してある。   7 to 9 are schematic views showing still another embodiment of the image display device of the present invention. FIG. 7 is a plan view corresponding to FIG. 2, and FIG. 8 is a cross section taken along line EE of FIG. FIGS. 9 and 9 are cross-sectional views taken along the line FF in FIG. 7. In FIGS. 7 to 9, the same parts as those shown in FIG.

図7乃至図9において、参照符号19は高抵抗膜で、この高抵抗膜19は、前記実施例1と同一仕様の導電膜14の下側に配置されている。この高抵抗膜19の始端191は前記メタルバック17の終端171の全周を覆い前記枠体3方向へ延在し、その終端192が前記枠体3と一定の間隔S1を隔てて非接触として配置され、前記導電膜14に加えて第2の高圧電位緩和層として作用している。   7 to 9, reference numeral 19 is a high-resistance film, and this high-resistance film 19 is disposed below the conductive film 14 having the same specifications as in the first embodiment. The start end 191 of the high resistance film 19 covers the entire circumference of the end 171 of the metal back 17 and extends in the direction of the frame 3, and the end 192 is not in contact with the frame 3 with a certain distance S 1. And acting as a second high-voltage potential relaxation layer in addition to the conductive film 14.

高低抗膜18は、前記メタルバック17の終端171を覆って前記枠体3方向へ延在しているが、前記メタルバック17の終端171から前記高抵抗膜19の終端192までの長さL1は3mm〜10mm程度が必要で、この長さが3mm未満では高圧電位緩和効果が期待できず、又10mmを超えると表示領域が狭くなり、周辺領域が広くなる。好ましくは4mm〜8mm程度である。又、膜厚は3μm〜20μmが必要で、特に5μm〜10μmが好ましい。これが3μm未満では膜の消滅の可能性があり、20μmを超えると高圧電位緩和効果が期待できない。   The high / low resistance film 18 covers the end 171 of the metal back 17 and extends in the direction of the frame 3, but the length L 1 from the end 171 of the metal back 17 to the end 192 of the high resistance film 19. If the length is less than 3 mm, the high-voltage potential relaxation effect cannot be expected. If the length exceeds 10 mm, the display area becomes narrower and the peripheral area becomes wider. Preferably, it is about 4 mm to 8 mm. Further, the film thickness is required to be 3 μm to 20 μm, and particularly preferably 5 μm to 10 μm. If this is less than 3 μm, the film may disappear, and if it exceeds 20 μm, the high-voltage potential relaxation effect cannot be expected.

この高低抗膜18は、酸化鉄、酸化クロム、酸化チタン等の絶縁性の高抵抗酸化物と水ガラス等の無機バインダで構成されている。酸化鉄としては陰極線管等で使用実績のある例えばFe23が、又酸化クロムとしては例えばCr23が、又酸化チタンとしてはTiO2(ルチル型)が推奨される。この構成では前記酸化鉄、酸化クロム、酸化チタン等は粒径が0.1μm〜10μmのものを用いる。特に、10μmを超えると粒子の脱落が発生し易くその結果電位緩和効果が小さい問題があり、好ましくは0.5μm〜3μm程度である。 The high and low resistance film 18 is composed of an insulating high resistance oxide such as iron oxide, chromium oxide, and titanium oxide and an inorganic binder such as water glass. As iron oxide, for example, Fe 2 O 3 which has been used in cathode ray tubes or the like is recommended, as chromium oxide, for example, Cr 2 O 3 is recommended, and as titanium oxide, TiO 2 (rutile type) is recommended. In this configuration, the iron oxide, chromium oxide, titanium oxide or the like having a particle size of 0.1 μm to 10 μm is used. In particular, if it exceeds 10 μm, there is a problem that the particles are likely to fall off, and as a result, the potential relaxation effect is small, preferably about 0.5 μm to 3 μm.

この高低抗膜18の無機バインダとして同じく陰極線管等で使用実績のある水ガラスを用いるケースでは、水ガラスは1重量%〜20重量%で、好ましくは3重量%〜10重量%程度である。又、水ガラスとFe23の組み合わせ、又は水ガラスとCr23の組み合わせ、更には水ガラスとTiO2の組み合わせでは、混合比は水ガラス:Fe23は1:4〜1:10、水ガラス:Cr23は同じく1:4〜1:10、更には水ガラス:TiO2も同じく1:4〜1:10が好ましい。 In the case of using water glass that has been used in cathode ray tubes or the like as the inorganic binder of the high and low resistance film 18, the water glass is 1 to 20% by weight, preferably about 3 to 10% by weight. Further, in the combination of water glass and Fe 2 O 3 , or the combination of water glass and Cr 2 O 3 , and further the combination of water glass and TiO 2 , the mixing ratio is 1: 4 to 1 for water glass: Fe 2 O 3. : 10, water glass: Cr 2 O 3 is preferably from 1: 4 to 1:10, and water glass: TiO 2 is also preferably from 1: 4 to 1:10.

高低抗膜19の形成は、前記材料の混合溶液をスポンジ、刷毛、筆等公知の治具を用いて当該部位に塗布し、乾燥して完成させる。完成後の抵抗値は109Ω/□〜1013Ω/□で、前記メタルバック17の形成された蛍光面の抵抗の102Ω/□程度以下の値に比べ格段に異なる高抵抗膜となっている。 The high / low anti-resistive film 19 is formed by applying a mixed solution of the above materials to the site using a known jig such as a sponge, a brush, a brush, and the like, followed by drying. The resistance value after completion is 10 9 Ω / □ to 10 13 Ω / □, and the resistance value of the phosphor screen on which the metal back 17 is formed is about 10 2 Ω / □ or less. It has become.

図10及び図11は本発明の画像表示装置の更に他の実施例を示す模式断面図で、図10は前記図4に、図11は前記図5にそれぞれ対応し、かつ前述した図と同一部分には同一記号を付してある。   10 and 11 are schematic cross-sectional views showing still another embodiment of the image display device of the present invention. FIG. 10 corresponds to FIG. 4 and FIG. 11 corresponds to FIG. Parts are denoted by the same symbols.

図10及び図11において、参照符号29は高抵抗膜で、この高抵抗膜29は枠体3の全周に亘ってその内側面31に両基板1、2と非接触の状態で配置されている。この高抵抗膜29は蛍光面側に配置された前記高抵抗膜19と同一組成のもので形成されている。膜厚も実施例1と同様な寸法内に設定される。その他の仕様は実施例3と同一である。   10 and 11, reference numeral 29 is a high-resistance film, and this high-resistance film 29 is disposed on the inner surface 31 of the frame body 3 so as not to contact the substrates 1 and 2 over the entire circumference. Yes. The high resistance film 29 is formed of the same composition as the high resistance film 19 disposed on the phosphor screen side. The film thickness is also set within the same dimensions as in Example 1. Other specifications are the same as those in the third embodiment.

実施例4では、前記蛍光面側に配置された導電膜14、高低抗膜18に加え枠体3の全周に亘ってその内側面31に第2の高抵抗膜29を配置したことにより高圧電位緩和がなされ、前記メタルバック17の終端171付近の等電位線の傾斜が更に滑らかとなり、その結果、放電発生回数が激減し、表示品位の優れた長寿命の画像表示装置を得ることができた。   In Example 4, in addition to the conductive film 14 and the high and low resistance film 18 disposed on the phosphor screen side, the second high resistance film 29 is disposed on the inner surface 31 over the entire circumference of the frame 3, thereby increasing the pressure. The potential is relaxed, and the inclination of the equipotential line near the end 171 of the metal back 17 is further smoothed. As a result, the number of occurrences of discharge is drastically reduced, and a long-life image display device with excellent display quality can be obtained. It was.

以上の各実施例では、電子源にMIMを用いた構造を例としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、前記した各種の電子源を用いた自発光型FPDに対しても同様に適用できるものである。   In each of the above-described embodiments, the structure using the MIM as the electron source is taken as an example. However, the present invention is not limited to this, and the self-luminous FPD using the various electron sources described above is also applicable. The same applies.

本発明による画像表示装置の第1の実施例を説明する模式図で、図1(a)は前面基板側から見た平面図、図1(b)は図1(a)の側面図である。FIG. 1A is a schematic diagram for explaining a first embodiment of an image display device according to the present invention, FIG. 1A is a plan view seen from the front substrate side, and FIG. 1B is a side view of FIG. . 図1(b)のA−A線に沿った模式平面図である。It is a schematic plan view along the AA line of FIG.1 (b). 図1(a)のB−B線に沿った模式断面図である。It is a schematic cross section along the BB line of Drawing 1 (a). 図2のC−C線に沿った模式断面図である。It is a schematic cross section along the CC line of FIG. 図2のD−D線に沿った模式断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view along the line DD in FIG. 2. 本発明による画像表示装置の他の実施例を説明する模式平面図である。It is a schematic top view explaining the other Example of the image display apparatus by this invention. 本発明による画像表示装置の更に他の実施例を説明する模式平面図である。FIG. 10 is a schematic plan view illustrating still another embodiment of the image display device according to the present invention. 図7のE−E線に沿った模式断面図である。It is a schematic cross section along the EE line of FIG. 図7のF−F線に沿った模式断面図である。It is a schematic cross section along the FF line of FIG. 本発明による画像表示装置の更に他の実施例を説明する模式断面図である。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view illustrating still another embodiment of the image display device according to the present invention. 本発明による画像表示装置の更に他の実施例を説明する模式断面図である。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view illustrating still another embodiment of the image display device according to the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・背面基板、2・・・前面基板、3・・・枠体、4・・・排気管、5・・・封着部材、6・・・表示領域、7・・・貫通孔、8・・・画像信号配線、9・・・走査信号配線、10・・・電子源、11・・・接続配線、12・・・スペーサ、13・・・接着部材、14・・・導電膜、141〜143・・・環状導電膜、144・・・小点状導電膜、15・・・蛍光体層、16・・・BM膜、17・・・メタルバック(加速電極)、171・・・メタルバック終端、18・・・蛍光膜、19、29・・・高抵抗膜、INS・・・絶縁膜(層間絶縁膜)。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Back substrate, 2 ... Front substrate, 3 ... Frame body, 4 ... Exhaust pipe, 5 ... Sealing member, 6 ... Display area, 7 ... Through-hole, 8 ... Image signal wiring, 9 ... Scanning signal wiring, 10 ... Electron source, 11 ... Connection wiring, 12 ... Spacer, 13 ... Adhesive member, 14 ... Conductive film, 141 to 143 ... annular conductive film, 144 ... small dot conductive film, 15 ... phosphor layer, 16 ... BM film, 17 ... metal back (acceleration electrode), 171 ... Metal back termination, 18... Fluorescent film, 19, 29... High resistance film, INS .. Insulating film (interlayer insulating film).

Claims (23)

一方向に延在し該一方向と直交する他方向に並設された複数の走査信号配線と、前記他方向に延在し前記走査信号配線に交差する如く前記一方向に並設された複数の画像信号配線と、この画像信号配線と前記走査信号配線間に配置された層間絶縁膜と、前記走査信号配線と前記画像信号配線の各交差部近傍に設けられた電子源とを備えた背面基板と、
前記電子源に対応して設けられた蛍光体層、この蛍光体層に隣接するBM膜及び前記電子源から放出される電子を前記蛍光体層に指向する如く加速するための加速電極を有する蛍光膜を備え前記背面基板と所定の間隔をもって対向する前面基板と、
前記背面基板と前記前面基板との間で表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する枠体と、
前記枠体と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封止領域で気密封着する封着部材とを備えた画像表示装置であって、
前記蛍光膜の終端を覆って前記枠体方向に延在し、前記枠体と所定の間隔を隔てて配置された導電膜を備えたことを特徴とする画像表示装置。
A plurality of scanning signal wirings extending in one direction and arranged in parallel in the other direction perpendicular to the one direction, and a plurality of scanning signal wirings extending in the other direction and arranged in parallel in the one direction so as to intersect the scanning signal wiring A back surface comprising: an image signal wiring; an interlayer insulating film disposed between the image signal wiring and the scanning signal wiring; and an electron source provided near each intersection of the scanning signal wiring and the image signal wiring. A substrate,
Fluorescence having a phosphor layer provided corresponding to the electron source, a BM film adjacent to the phosphor layer, and an accelerating electrode for accelerating electrons emitted from the electron source so as to be directed to the phosphor layer A front substrate provided with a film and facing the back substrate with a predetermined interval;
A frame that is inserted around the display area between the rear substrate and the front substrate, and holds the predetermined interval;
An image display device comprising a sealing member that hermetically seals the frame and the front substrate and the rear substrate in a sealing region,
An image display device comprising: a conductive film that covers a terminal end of the fluorescent film, extends in the direction of the frame, and is disposed at a predetermined interval from the frame.
前記導電膜は前記表示領域を略同心に取り巻く複数の環状導電膜の集合体からなることを特徴とする前記請求項1に記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 1, wherein the conductive film is formed of an aggregate of a plurality of annular conductive films that surround the display region substantially concentrically. 前記導電膜は小点状導電膜の集合体からなることを特徴とする前記請求項1に記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 1, wherein the conductive film is formed of an aggregate of small dot conductive films. 前記導電膜の配置幅は3mm〜10mmであることを特徴とする前記請求項1乃至3の何れかに記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 1, wherein an arrangement width of the conductive film is 3 mm to 10 mm. 前記表示領域内で前記背面基板と前記前面基板間に前記枠体と略平行に配置され、前記両基板の何れかと接着部材を介して固定された複数のスペーサを有し、このスペーサと前記導電膜とを接続してなることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の画像表示装置。   A plurality of spacers disposed between the rear substrate and the front substrate in the display area and substantially parallel to the frame and fixed to either one of the substrates via an adhesive member. The image display device according to claim 1, wherein the image display device is connected to a film. 前記接着部材は前記導電膜と略同一組成であることを特徴とする請求項5に記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 5, wherein the adhesive member has substantially the same composition as the conductive film. 前記導電膜は金属微粒子を含むことを特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 1, wherein the conductive film contains metal fine particles. 前記導電膜は102Ω・cm〜1010Ω・cmの比抵抗を有することを特徴とする請求項1乃至7の何れかに記載の画像表示装置。 The image display apparatus according to claim 1, wherein the conductive film has a specific resistance of 10 2 Ω · cm to 10 10 Ω · cm. 一方向に延在し該一方向と直交する他方向に並設された複数の走査信号配線と、前記他方向に延在し前記走査信号配線に交差する如く前記一方向に並設された複数の画像信号配線と、この画像信号配線と前記走査信号配線間に配置された層間絶縁膜と、前記走査信号配線と前記画像信号配線の各交差部近傍に設けられた電子源とを備えた背面基板と、
前記電子源に対応して設けられた蛍光体層、この蛍光体層に隣接するBM膜及び前記電子源から放出される電子を前記蛍光体層に指向する如く加速するための加速電極を有する蛍光膜を備え前記背面基板と所定の間隔をもって対向する前面基板と、
前記背面基板と前記前面基板との間で表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する枠体と、
前記枠体と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封止領域で気密封着する封着部材とを備えた画像表示装置であって、
前記蛍光膜の終端の略全面を覆って前記枠体方向に延在し、前記枠体と所定の間隔を隔てて配置された高抵抗膜と、この高抵抗膜上で前記蛍光膜の終端を覆って前記枠体方向に延在し、前記枠体と所定の間隔を隔てて配置された導電膜とを備えたことを特徴とする画像表示装置。
A plurality of scanning signal wirings extending in one direction and arranged in parallel in the other direction perpendicular to the one direction, and a plurality of scanning signal wirings extending in the other direction and arranged in parallel in the one direction so as to intersect the scanning signal wiring A back surface comprising: an image signal wiring; an interlayer insulating film disposed between the image signal wiring and the scanning signal wiring; and an electron source provided near each intersection of the scanning signal wiring and the image signal wiring. A substrate,
Fluorescence having a phosphor layer provided corresponding to the electron source, a BM film adjacent to the phosphor layer, and an accelerating electrode for accelerating electrons emitted from the electron source so as to be directed to the phosphor layer A front substrate provided with a film and facing the back substrate with a predetermined interval;
A frame that is inserted around the display area between the rear substrate and the front substrate, and holds the predetermined interval;
An image display device comprising a sealing member that hermetically seals the frame and the front substrate and the rear substrate in a sealing region,
A high resistance film that covers the substantially entire surface of the end of the fluorescent film and extends in the direction of the frame and is spaced from the frame by a predetermined distance, and the end of the fluorescent film is disposed on the high resistance film. An image display device comprising: a conductive film that covers and extends in the frame body direction and is disposed at a predetermined interval from the frame body.
前記導電膜は、前記表示領域を略同心に取り巻く複数の環状導電膜の集合体からなることを特徴とする請求項9に記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 9, wherein the conductive film is an aggregate of a plurality of annular conductive films that surround the display region substantially concentrically. 前記導電膜は小点状導電膜の集合体からなることを特徴とする前記請求項9に記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 9, wherein the conductive film is formed of an assembly of small dot conductive films. 前記導電膜の配置幅は3mm〜10mmであることを特徴とする前記請求項9乃至11の何れかに記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 9, wherein an arrangement width of the conductive film is 3 mm to 10 mm. 前記表示領域内で前記背面基板と前記前面基板間に前記枠体と略平行に配置され、前記両基板の何れかと接着部材を介して固定された複数のスペーサを有し、このスペーサと前記導電膜とを接続してなることを特徴とする請求項9乃至12の何れかに記載の画像表示装置。   A plurality of spacers disposed between the rear substrate and the front substrate in the display area and substantially parallel to the frame and fixed to either one of the substrates via an adhesive member. The image display device according to claim 9, wherein the image display device is connected to a film. 前記接着部材は前記導電膜と略同一組成であることを特徴とする請求項13に記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 13, wherein the adhesive member has substantially the same composition as the conductive film. 前記導電膜は金属微粒子を含むことを特徴とする請求項9乃至14の何れかに記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 9, wherein the conductive film contains metal fine particles. 前記導電膜は102Ω・cm〜1010Ω・cmの比抵抗を有することを特徴とする請求項9乃至15の何れかに記載の画像表示装置。 The image display device according to claim 9, wherein the conductive film has a specific resistance of 10 2 Ω · cm to 10 10 Ω · cm. 前記高抵抗膜を前記枠体の内側面で前記背面基板及び前面基板からそれぞれ離隔した部位に更に配置したことを特徴とする前記請求項9乃至16の何れかに記載の画像表示装置。   The image display device according to any one of claims 9 to 16, wherein the high resistance film is further disposed at a portion separated from the back substrate and the front substrate on an inner surface of the frame. 前記高抵抗膜は109Ω/□〜1013Ω/□の抵抗値を有することを特徴とする請求項9乃至17の何れかに記載の画像表示装置。 The image display device according to claim 9, wherein the high resistance film has a resistance value of 10 9 Ω / □ to 10 13 Ω / □. 前記高抵抗膜の前記延在長さは前記加速電極の終端から3〜10mmであることを特徴とする請求項9乃至18の何れかに記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 9, wherein the extended length of the high-resistance film is 3 to 10 mm from a terminal end of the acceleration electrode. 前記高抵抗膜は絶縁性の高抵抗酸化物を含むことを特徴とする請求項9乃至19
の何れかに記載の画像表示装置。
20. The high resistance film includes an insulating high resistance oxide.
An image display device according to any one of the above.
前記絶縁性の高抵抗酸化物はFe23、Cr23、TiO2の何れかを主成分として含むことを特徴とする請求項9乃至20の何れかに記載の画像表示装置。 21. The image display device according to claim 9, wherein the insulating high-resistance oxide contains one of Fe 2 O 3 , Cr 2 O 3 , and TiO 2 as a main component. 前記高抵抗膜は1〜20重量%の水ガラスを含むことを特徴とする請求項9乃至21の何れかに記載の画像表示装置。   The image display device according to claim 9, wherein the high-resistance film includes 1 to 20% by weight of water glass. 前記高抵抗膜は水ガラスとFe23、水ガラスとCr23又は水ガラスとTiO2の比が1:4〜1:10の範囲で混合してなることを特徴とする請求項9乃至22の何れかに記載の画像表示装置。 The high resistance film is formed by mixing water glass and Fe 2 O 3 , water glass and Cr 2 O 3, or a ratio of water glass and TiO 2 in the range of 1: 4 to 1:10. The image display device according to any one of 9 to 22.
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