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JP2007265974A - Light-emitting element, light-emitting device, and electronic apparatus - Google Patents

Light-emitting element, light-emitting device, and electronic apparatus Download PDF

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JP2007265974A
JP2007265974A JP2007043690A JP2007043690A JP2007265974A JP 2007265974 A JP2007265974 A JP 2007265974A JP 2007043690 A JP2007043690 A JP 2007043690A JP 2007043690 A JP2007043690 A JP 2007043690A JP 2007265974 A JP2007265974 A JP 2007265974A
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light
emitting
electrode
emitting element
layer
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JP2007043690A
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Japanese (ja)
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Junichiro Sakata
淳一郎 坂田
Kohei Yokoyama
浩平 横山
Komei Yamamoto
孔明 山本
Takahiro Kawakami
貴洋 川上
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Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light-emitting element which can be driven at low voltage, and to provide a light-emitting device and an electronic apparatus with reduced power consumption. <P>SOLUTION: The light-emitting element incorporates a first electrode 101, a first insulating layer 102, a light-emitting layer 103, a second insulating layer 104 and a second electrode 105 on a substrate 100. The light-emitting layer 103 includes a three-dimensional compound ABC<SB>2</SB>(wherein A=Cu or Ag, B=Al, Ga or In, and C=S, Se or Te) which is called the chalcopyrite. By employing such a structure, the light-emitting element which can be driven at low voltage can be provided. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、発光材料に関する。また、エレクトロルミネッセンスを利用した発光素子に関する。また、発光素子を有する発光装置及び電子機器に関する。   The present invention relates to a light emitting material. In addition, the present invention relates to a light emitting element utilizing electroluminescence. In addition, the present invention relates to a light-emitting device and an electronic device each having a light-emitting element.

近年、テレビ、携帯電話、デジタルカメラ等における表示装置は、平面的で薄型の表示装置が求められており、この要求を満たすための表示装置として、自発光型である発光素子を利用した表示装置が注目されている。自発光型の発光素子の一つとして、エレクトロルミネッセンス(Electro Luminescence)を利用する発光素子があり、この発光素子は、発光材料を一対の電極で挟み、電圧を印加することにより、発光材料からの発光を得ることができるものである。   In recent years, display devices in televisions, mobile phones, digital cameras, and the like have been demanded to be flat and thin display devices, and display devices using self-luminous light-emitting elements as display devices to satisfy these requirements. Is attracting attention. One of self-luminous light-emitting elements is a light-emitting element that uses electroluminescence. This light-emitting element is formed by sandwiching a light-emitting material between a pair of electrodes and applying a voltage to the light-emitting element. Light emission can be obtained.

このような自発光型の発光素子は、液晶ディスプレイに比べ画素の視認性が高く、バックライトが不要である等の利点があり、フラットパネルディスプレイ素子として好適であると考えられている。また、このような発光素子は、薄型軽量に作製できることも大きな利点である。また、非常に応答速度が速いことも特徴の一つである。   Such a self-luminous light emitting element has advantages such as higher pixel visibility than a liquid crystal display and no need for a backlight, and is considered to be suitable as a flat panel display element. In addition, it is a great advantage that such a light-emitting element can be manufactured to be thin and light. Another feature is that the response speed is very fast.

さらに、このような自発光型の発光素子は膜状に形成することが可能であるため、大面積の素子を形成することにより、面発光を容易に得ることができる。このことは、白熱電球やLEDに代表される点光源、あるいは蛍光灯に代表される線光源では得難い特色であるため、照明等に応用できる面光源としての利用価値も高い。   Further, since such a self-luminous light emitting element can be formed into a film shape, surface emission can be easily obtained by forming a large-area element. This is a feature that is difficult to obtain with a point light source typified by an incandescent bulb or LED, or a line light source typified by a fluorescent lamp, and therefore has a high utility value as a surface light source applicable to illumination or the like.

エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般的に、前者は有機EL素子、後者は無機EL素子と呼ばれている。   A light-emitting element using electroluminescence is distinguished depending on whether the light-emitting material is an organic compound or an inorganic compound. Generally, the former is called an organic EL element and the latter is called an inorganic EL element.

無機EL素子は、その素子構成により、分散型無機EL素子と薄膜型無機EL素子とに分類される。前者は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光層を有し、後者は、発光材料の薄膜からなる発光層を有している点に違いはあるが、高電界で加速された電子を必要とする点では共通である。なお、得られる発光のメカニズムとしては、ドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー−アクセプター再結合型発光と、金属イオンの内殻電子遷移を利用する局在型発光とがある。一般的に、分散型無機EL素子ではドナー−アクセプター再結合型発光、薄膜型無機EL素子では局在型発光である場合が多い。 Inorganic EL elements are classified into a dispersion-type inorganic EL element and a thin-film inorganic EL element depending on the element structure. The former has a light-emitting layer in which particles of a light-emitting material are dispersed in a binder, and the latter has a light-emitting layer made of a thin film of the light-emitting material. It is common in the point that requires. Note that the obtained light emission mechanism includes donor-acceptor recombination light emission using a donor level and an acceptor level, and localized light emission using inner-shell electron transition of a metal ion. In general, the dispersion-type inorganic EL element often has donor-acceptor recombination light emission, and the thin-film inorganic EL element often has localized light emission.

このような無機EL素子は、有機EL素子と比較して寿命が長いという長所を有しているものの、発光層では高電界で加速された電子を必要とするため、一般的には、発光素子に数百Vの電圧を印加する必要がある。例えば、近年フルカラーディスプレイに必要とされる高輝度の青色発光の無機EL素子が開発されたが、該青色発光の無機EL素子の駆動には、100〜200Vの駆動電圧が必要である(例えば、非特許文献1)。そのため、無機EL素子は消費電力が大きく、中小型サイズのディスプレイ、例えば、携帯電話等のディスプレイには採用することが難しかった。
ジャパニーズ ジャーナル オブ アプライド フィジクス(Japanese Journal of Applied Physics)、1999年、Vol.38、p.L1291−1292
Although such an inorganic EL element has an advantage that it has a longer life compared to an organic EL element, the light emitting layer generally requires electrons accelerated by a high electric field. It is necessary to apply a voltage of several hundred volts. For example, in recent years, a high-luminance blue light-emitting inorganic EL element required for a full-color display has been developed, and driving of the blue light-emitting inorganic EL element requires a driving voltage of 100 to 200 V (for example, Non-patent document 1). For this reason, the inorganic EL element consumes a large amount of power, and it has been difficult to adopt it for a small-sized display such as a mobile phone.
Japanese Journal of Applied Physics, 1999, Vol. 38, p. L1291-1292

上記問題に鑑み、本発明は、新規発光材料を提供することを目的とする。また、低電圧駆動が可能な発光素子を提供することを課題とする。また、消費電力の低減された発光装置および電子機器を提供することを課題とする。また、低コストで作製可能な発光装置及び電子機器を提供することを課題とする。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a novel light emitting material. Another object is to provide a light-emitting element that can be driven at a low voltage. It is another object to provide a light-emitting device and an electronic device with reduced power consumption. It is another object to provide a light-emitting device and an electronic device that can be manufactured at low cost.

本発明の一は、一対の電極間に三元化合物を含む発光層を有し、三元化合物は、CuまたはAgのうちいずれか一の元素と、Al、Ga、またはInのうちいずれか一の元素と、S、Se、またはTeのうちいずれか一の元素と、からなることを特徴とする発光素子である。 One embodiment of the present invention includes a light-emitting layer including a ternary compound between a pair of electrodes, and the ternary compound includes any one element of Cu or Ag and any one of Al, Ga, and In. And a light-emitting element comprising any one element of S, Se, and Te.

また、本発明の一は、一対の電極間に発光層を有し、発光層は、化合物ABC(但し、A=Cu、またはAg、B=Al、Ga、またはIn、C=S、Se、またはTe)を含むことを特徴とする発光素子である。 One embodiment of the present invention includes a light-emitting layer between a pair of electrodes, and the light-emitting layer includes a compound ABC 2 (provided that A = Cu, or Ag, B = Al, Ga, or In, C = S, Se). , Or Te).

また、本発明の一は、一対の電極間に発光層を有し、発光層に接して化合物ABC(但し、A=Cu、またはAg、B=Al、Ga、またはIn、C=S、Se、またはTe)を含む半導体層が設けられていることを特徴とする発光素子である。 Further, according to one embodiment of the present invention, a light emitting layer is provided between a pair of electrodes, and the compound ABC 2 (where A = Cu, or Ag, B = Al, Ga, or In, C = S, A light-emitting element including a semiconductor layer containing Se or Te).

また、上記構成において、発光層は硫化物、酸化物、または窒化物を含むことを特徴とする。 In the above structure, the light-emitting layer includes a sulfide, an oxide, or a nitride.

または、上記構成において、発光層は硫化亜鉛を含むことを特徴とする。 Alternatively, in the above structure, the light-emitting layer includes zinc sulfide.

また、上記構成において、発光層は、マンガン(Mn)、銅(Cu)、サマリウム(Sm)、テルビウム(Tb)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、ユーロピウム(Eu)、セリウム(Ce)、プラセオジウム(Pr)、のいずれか1種又は2種以上の元素を含むことを特徴とする。 In the above structure, the light-emitting layer includes manganese (Mn), copper (Cu), samarium (Sm), terbium (Tb), erbium (Er), thulium (Tm), europium (Eu), cerium (Ce), It contains any one or more elements of praseodymium (Pr).

また、上記構成において、発光層は、フッ素(F)、塩素(Cl)のいずれか1種又は2種の元素を含むことを特徴とする。 In the above structure, the light-emitting layer includes any one or two elements of fluorine (F) and chlorine (Cl).

または、上記構成において、発光層は、アクセプター準位を形成する不純物元素を含むことを特徴とする。 Alternatively, in the above structure, the light-emitting layer includes an impurity element which forms an acceptor level.

または、上記構成において、発光層は、ドナー準位を形成する第1の不純物元素及びアクセプター準位を形成する第2の不純物元素を含むことを特徴とする。 Alternatively, in the above structure, the light-emitting layer includes a first impurity element that forms a donor level and a second impurity element that forms an acceptor level.

また、本発明は、上述した発光素子を有する発光装置も範疇に含めるものである。本明細書中における発光装置とは、画像表示デバイス、発光デバイス、もしくは光源(照明装置含む)を含む。また、発光素子が形成されたパネルにコネクター、例えばFPC(Flexible printed circuit)もしくはTAB(Tape Automated Bonding)テープもしくはTCP(Tape Carrier Package)が取り付けられたモジュール、TABテープやTCPの先にプリント配線板が設けられたモジュール、または発光素子が形成されたパネルにCOG(Chip On Glass)方式によりIC(集積回路)が直接実装されたモジュールも全て発光装置に含むものとする。   The present invention also includes a light emitting device having the above-described light emitting element. The light-emitting device in this specification includes an image display device, a light-emitting device, or a light source (including a lighting device). Also, a panel in which a light emitting element is formed and a connector, for example, a FPC (Flexible Printed Circuit) or TAB (Tape Automated Bonding) tape or TCP (Tape Carrier Package) tape, a printed wiring board on the end of a TAB tape or TCP The light emitting device also includes all the modules provided with an IC (integrated circuit) directly mounted on a panel on which a light emitting element is formed or a panel in which a light emitting element is formed by a COG (Chip On Glass) method.

また、本発明の発光素子を表示部に用いた電子機器も本発明の範疇に含めるものとする。したがって、本発明の電子機器は、表示部を有し、表示部は、上述した発光素子と発光素子の発光を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。   An electronic device using the light-emitting element of the present invention for the display portion is also included in the category of the present invention. Therefore, an electronic device according to the present invention includes a display portion, and the display portion includes the above-described light emitting element and a control unit that controls light emission of the light emitting element.

本発明の発光素子は、低電圧駆動が可能である。   The light-emitting element of the present invention can be driven at a low voltage.

また、本発明の発光装置は、低電圧駆動が可能な発光素子を有しているため、消費電力を低減することができる。また、高耐電圧の駆動回路が不要であるため、低コストで発光装置を作製することができる。   In addition, since the light-emitting device of the present invention includes a light-emitting element that can be driven at a low voltage, power consumption can be reduced. In addition, since a drive circuit with high withstand voltage is unnecessary, a light-emitting device can be manufactured at low cost.

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。ただし、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更しうることは当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following description, and it is easily understood by those skilled in the art that modes and details can be variously changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the present invention should not be construed as being limited to the description of the embodiments below.

(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明に係る薄膜型発光素子について図1を用いて説明する。
(Embodiment 1)
In this embodiment mode, a thin film light-emitting element according to the present invention will be described with reference to FIG.

本実施の形態で示す発光素子は、基板100の上に、第1の電極101と、第2の電極105と、第1の電極101に接する第1の絶縁層102と、第2の電極105に接する第2の絶縁層104と、第1の絶縁層102と第2の絶縁層104との間に形成された発光層103と、を有する素子構成である。本実施の形態で示す発光素子は、第1の電極101と、第2の電極105の間に電圧を印加することで発光が得られるが、直流駆動又は交流駆動のいずれにおいても動作することができる。   In the light-emitting element described in this embodiment, a first electrode 101, a second electrode 105, a first insulating layer 102 in contact with the first electrode 101, and a second electrode 105 are provided over a substrate 100. The element structure includes the second insulating layer 104 in contact with the light-emitting layer and the light-emitting layer 103 formed between the first insulating layer 102 and the second insulating layer 104. Although the light-emitting element described in this embodiment can emit light by applying voltage between the first electrode 101 and the second electrode 105, the light-emitting element can operate in either DC driving or AC driving. it can.

基板100は発光素子の支持体として用いられる。基板100としては、例えば、ガラス、又はプラスチックなどを用いることができる。なお、発光素子の作製工程において支持体として機能するものであれば、これら以外のものでも用いることができる。   The substrate 100 is used as a support for the light emitting element. As the substrate 100, for example, glass or plastic can be used. Note that any material other than these can be used as long as it functions as a support in the manufacturing process of the light-emitting element.

また、第1の絶縁膜102と第2の絶縁膜104を構成する材料は、酸化物などの無機材料である。例えば、高い比誘電率を有するチタン酸バリウム(BaTiO)や五酸化タンタル(Ta)等を用いることができる。 The material forming the first insulating film 102 and the second insulating film 104 is an inorganic material such as an oxide. For example, barium titanate (BaTiO 3 ) or tantalum pentoxide (Ta 2 O 5 ) having a high relative dielectric constant can be used.

第1の電極101及び第2の電極105としては、金属、合金、導電性化合物、及びこれらの混合物などを用いることができる。なお、面発光を得るためには、第1の電極101又は第2の電極105のいずれか一方又は両方を、透光性を有する電極とする必要がある。例えば、透光性を有する電極の材料として、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSO)、酸化インジウム酸化亜鉛(IZO)、酸化タングステンと酸化亜鉛を含む酸化インジウム(IWZO)等が挙げられる。これらの導電性金属酸化物膜は、通常スパッタリングにより成膜される。例えば、IZOは、酸化インジウムに対し1〜20wt%の酸化亜鉛を加えたターゲットを用いたスパッタリングにより形成することができる。また、IWZOは、酸化インジウムに対し酸化タングステンを0.5〜5wt%、酸化亜鉛を0.1〜1wt%含有したターゲットを用いたスパッタリングにより形成することができる。また、金属電極を用いて透光性の電極とする場合、可視光の透過率の低い材料であっても、1nm〜50nm、好ましくは5nm〜20nm程度の厚さで成膜することで、透光性の電極として用いることができる。金属電極としては、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、金(Au)、白金(Pt)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、又は金属材料の窒化物、例えば、窒化チタン(TiN)等を用いることができる。なお、スパッタリング以外にも、真空蒸着、CVD、ゾル−ゲル法を用いて電極を作製することもできる。   As the first electrode 101 and the second electrode 105, a metal, an alloy, a conductive compound, a mixture thereof, or the like can be used. Note that in order to obtain surface light emission, one or both of the first electrode 101 and the second electrode 105 needs to be a light-transmitting electrode. For example, as a material for a light-transmitting electrode, indium tin oxide (ITO), indium tin oxide containing silicon oxide (ITSO), indium zinc oxide (IZO), indium oxide containing tungsten oxide and zinc oxide ( IWZO) and the like. These conductive metal oxide films are usually formed by sputtering. For example, IZO can be formed by sputtering using a target in which 1 to 20 wt% of zinc oxide is added to indium oxide. IWZO can be formed by sputtering using a target containing 0.5 to 5 wt% tungsten oxide and 0.1 to 1 wt% zinc oxide with respect to indium oxide. Further, when a light-transmitting electrode is formed using a metal electrode, even a material having a low visible light transmittance can be formed by forming a film with a thickness of about 1 nm to 50 nm, preferably about 5 nm to 20 nm. It can be used as a light electrode. As metal electrodes, aluminum (Al), silver (Ag), gold (Au), platinum (Pt), nickel (Ni), tungsten (W), chromium (Cr), molybdenum (Mo), iron (Fe), Cobalt (Co), copper (Cu), palladium (Pd), or a nitride of a metal material such as titanium nitride (TiN) can be used. In addition to sputtering, an electrode can also be produced using vacuum deposition, CVD, or a sol-gel method.

発光層103は、カルコパイライトと呼ばれる三元化合物ABC(A=Cu又はAg、B=Al、Ga又はIn、C=S、Se又はTe)を含む層である。このようなカルコパイライト化合物としては、例えば、CuAlS、CuAlSe、CuAlTe、CuGaS、CuGaSe、CuGaTe、CuInS、CuInSe、CuInTe、AgAlS、AgAlSe、AgAlTe、AgGaS、AgGaSe、AgGaTe、AgInS、AgInSe、AgInTeがある。 The light emitting layer 103 is a layer containing a ternary compound ABC 2 (A = Cu or Ag, B = Al, Ga or In, C = S, Se or Te) called chalcopyrite. Examples of such chalcopyrite compounds include CuAlS 2 , CuAlSe 2 , CuAlTe 2 , CuGaS 2 , CuGaSe 2 , CuGaTe 2 , CuInS 2 , CuInSe 2 , CuInTe 2 , AgAlS 2 , AgAlSe 2 , AgAlTe 2 , AgAlTe 2 , AgAlTe 2 , AgAlTe 2 , AgAlTe 2 , AgAlTe 2 , AgAlTe 2 . There are AgGaSe 2 , AgGaTe 2 , AgInS 2 , AgInSe 2 , and AgInTe 2 .

なお、発光層103は、無機ELで用いられている母体材料に、カルコパイライト化合物ABCを含有したものを用いてもよい。この場合の母体材料としては、硫化物、酸化物又は窒化物を用いることができる。硫化物としては、例えば、硫化亜鉛(ZnS)、硫化カドミウム(CdS)、硫化カルシウム(CaS)、硫化イットリウム(Y)、硫化ガリウム(Ga)、硫化ストロンチウム(SrS)、硫化バリウム(BaS)等を用いることができる。また、酸化物としては、例えば、酸化亜鉛(ZnO)、酸化イットリウム(Y)等を用いることができる。また、窒化物としては、例えば、窒化アルミニウム(AlN)、窒化ガリウム(GaN)、窒化インジウム(InN)等を用いることができる。さらに、セレン化亜鉛(ZnSe)、テルル化亜鉛(ZnTe)等も用いることができ、硫化カルシウム−ガリウム(CaGa)、硫化ストロンチウム−ガリウム(SrGa)、硫化バリウム−ガリウム(BaGa)、等の3元系の混晶であってもよい。 The light-emitting layer 103, the base material used in inorganic EL, may be used those containing chalcopyrite ABC 2. In this case, sulfide, oxide, or nitride can be used as the base material. Examples of the sulfide include zinc sulfide (ZnS), cadmium sulfide (CdS), calcium sulfide (CaS), yttrium sulfide (Y 2 S 3 ), gallium sulfide (Ga 2 S 3 ), strontium sulfide (SrS), sulfide. Barium (BaS) or the like can be used. As the oxide, for example, zinc oxide (ZnO), yttrium oxide (Y 2 O 3 ), or the like can be used. As the nitride, for example, aluminum nitride (AlN), gallium nitride (GaN), indium nitride (InN), or the like can be used. Furthermore, zinc selenide (ZnSe), zinc telluride (ZnTe), and the like can also be used. Calcium sulfide-gallium sulfide (CaGa 2 S 4 ), strontium sulfide-gallium sulfide (SrGa 2 S 4 ), barium sulfide-gallium (BaGa). It may be a ternary mixed crystal such as 2 S 4 ).

さらに、発光層103に、発光中心材料を含んでいてもよい。局在型発光の発光中心材料として、例えば、マンガン(Mn)、銅(Cu)、サマリウム(Sm)、テルビウム(Tb)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、ユーロピウム(Eu)、セリウム(Ce)、プラセオジウム(Pr)等のうち、いずれか1種又は2種以上の元素を用いることができる。なお、電荷補償として、フッ素(F)、塩素(Cl)などのハロゲン元素が添加されていてもよい。一方、ドナー−アクセプター再結合型発光の発光中心材料として、ドナー準位を形成する第1の不純物元素及びアクセプター準位を形成する第2の不純物元素を含む発光材料を用いることもできる。第1の不純物元素は、例えば、フッ素(F)、塩素(Cl)、アルミニウム(Al)等を用いることができ、第2の不純物元素としては、例えば、銅(Cu)、銀(Ag)等を用いることができる。なお、格子欠陥等がドナー準位を形成する場合があるため、必ずしも第1の不純物元素を必要としない。   Further, the light emitting layer 103 may contain an emission center material. Examples of localized emission center materials include manganese (Mn), copper (Cu), samarium (Sm), terbium (Tb), erbium (Er), thulium (Tm), europium (Eu), and cerium (Ce). ), Praseodymium (Pr), etc., any one element or two or more elements can be used. Note that a halogen element such as fluorine (F) or chlorine (Cl) may be added as charge compensation. On the other hand, a light-emitting material containing a first impurity element that forms a donor level and a second impurity element that forms an acceptor level can also be used as the emission center material for donor-acceptor recombination light emission. For example, fluorine (F), chlorine (Cl), aluminum (Al), or the like can be used as the first impurity element. Examples of the second impurity element include copper (Cu), silver (Ag), and the like. Can be used. Note that since a lattice defect or the like may form a donor level, the first impurity element is not necessarily required.

カルコパイライト化合物ABCの作製方法としては、固相法や液相法(共沈法)等の様々な方法を用いることができる。また、噴霧熱分解法、複分解法、プレカーサーの熱分解反応による方法、逆ミセル法やこれらの方法と高温焼成を組み合わせた方法、凍結乾燥法などの液相法なども用いることができる。 As a manufacturing method for chalcopyrite compound ABC 2, it is possible to use various methods such as a solid phase method or a liquid phase method (coprecipitation method). Also, spray pyrolysis method, metathesis method, precursor thermal decomposition method, reverse micelle method, method combining these methods with high temperature firing, liquid phase method such as freeze-drying method, etc. can be used.

固相法は、カルコパイライト化合物を構成する元素又はその元素を含む化合物を秤量し、乳鉢で混合、電気炉で加熱、焼成を行い、固相反応により合成を行う方法である。焼成温度は、700〜1500℃が好ましい。700℃よりも温度が低すぎる場合は固相反応が進まず、1500℃よりも温度が高すぎる場合は母体材料が分解してしまうからである。なお、粉末状態で焼成を行ってもよいが、ペレット状態で焼成を行うことが好ましい。固相法による発光材料の合成は、比較的高温での焼成を必要とするが、簡単な方法であるため、生産性がよく大量生産に適している。 The solid phase method is a method in which an element constituting a chalcopyrite compound or a compound containing the element is weighed, mixed in a mortar, heated and fired in an electric furnace, and synthesized by a solid phase reaction. The firing temperature is preferably 700 to 1500 ° C. This is because when the temperature is lower than 700 ° C., the solid phase reaction does not proceed, and when the temperature is higher than 1500 ° C., the base material is decomposed. In addition, although baking may be performed in a powder state, it is preferable to perform baking in a pellet state. The synthesis of a light emitting material by a solid phase method requires firing at a relatively high temperature, but is a simple method and thus has high productivity and is suitable for mass production.

液相法(共沈法)は、カルコパイライト化合物を構成する元素又はその元素を含む化合物を溶液中で反応させ、乾燥させた後、焼成を行う合成方法である。液相法による発光材料の合成は、発光材料の粒子が均一に分布し、粒径が小さいため、低い焼成温度でも反応を進めることができる。 The liquid phase method (coprecipitation method) is a synthesis method in which an element constituting a chalcopyrite compound or a compound containing the element is reacted in a solution, dried, and then fired. In the synthesis of the light emitting material by the liquid phase method, the particles of the light emitting material are uniformly distributed and the particle size is small, so that the reaction can proceed even at a low firing temperature.

ここでは、固相法を用いたカルコパイライト化合物の合成方法について説明する。まず、化合物ACと化合物Bをモル比で1:1となるように秤量し、乳鉢で混合する。その後、電気炉で加熱して焼成を行う。焼成の際は、真空封管を行ってから焼成を行っても良く、また、カルコゲン元素を含むガスを流しながら焼成を行ってもよい。カルコゲン元素を含むガスとしては、硫化水素(HS)等がある。なお、焼成温度は、700〜1500℃が好ましく、粉末状態よりも、ペレット状態で焼成を行うことが好ましい。 Here, a method for synthesizing a chalcopyrite compound using a solid phase method will be described. First, compound A 2 C and compound B 2 C 3 are weighed so as to have a molar ratio of 1: 1, and mixed in a mortar. Then, it heats with an electric furnace and performs baking. At the time of firing, firing may be performed after performing a vacuum sealed tube, or firing may be performed while flowing a gas containing a chalcogen element. Examples of the gas containing a chalcogen element include hydrogen sulfide (H 2 S). The firing temperature is preferably 700 to 1500 ° C., and firing is preferably performed in a pellet state rather than a powder state.

化合物ACとしては、硫化銅(CuS)、セレン化銅(CuSe)、テルル化銅(CuTe)、硫化銀(AgS)、セレン化銀(AgSe)、又はテルル化銀(AgTe)を用いることができる。化合物Bとしては、硫化アルミニウム(Al)、セレン化アルミニウム(AlSe)、テルル化アルミニウム(AlTe)、硫化ガリウム(Ga)、セレン化ガリウム(GaSe)、テルル化ガリウム(GaTe)、硫化インジウム(In)、セレン化インジウム(InSe)、又はテルル化インジウム(InTe)を用いることができる。 As the compound A 2 C, copper sulfide (Cu 2 S), copper selenide (Cu 2 Se), copper telluride (Cu 2 Te), silver sulfide (Ag 2 S), silver selenide (Ag 2 Se), Alternatively, silver telluride (Ag 2 Te) can be used. Examples of the compound B 2 C 3 include aluminum sulfide (Al 2 S 3 ), aluminum selenide (Al 2 Se 3 ), aluminum telluride (Al 2 Te 3 ), gallium sulfide (Ga 2 S 3 ), gallium selenide ( Ga 2 Se 3 ), gallium telluride (Ga 2 Te 3 ), indium sulfide (In 2 S 3 ), indium selenide (In 2 Se 3 ), or indium telluride (In 2 Te 3 ) can be used. .

発光層103の形成方法としては、抵抗加熱蒸着または電子ビーム蒸着(EB蒸着)等の真空蒸着法、スパッタリング法、有機金属CVD法、ハイドライド輸送減圧CVD法、原子層エピタキシ法(ALE)等を用いることができる。膜厚は特に限定されることはないが、好ましくは、10〜1000nmの範囲である。 As a method for forming the light emitting layer 103, vacuum evaporation such as resistance heating evaporation or electron beam evaporation (EB evaporation), sputtering, organometallic CVD, hydride transport low pressure CVD, atomic layer epitaxy (ALE), or the like is used. be able to. The film thickness is not particularly limited, but is preferably in the range of 10 to 1000 nm.

このようにして形成された発光素子は、発光層に電気伝導性の高いカルコパイライト化合物を有し、低抵抗となっているため、低電圧駆動が可能な発光素子となる。   A light-emitting element formed in this manner has a chalcopyrite compound with high electrical conductivity in a light-emitting layer and has a low resistance, and thus can be a light-emitting element that can be driven at a low voltage.

(実施の形態2)
本実施の形態では、本発明に係る薄膜型発光素子について図2を用いて説明する。
(Embodiment 2)
In this embodiment mode, a thin film light-emitting element according to the present invention will be described with reference to FIG.

本実施の形態で示す発光素子は、基板200の上に、第1の電極201及び第2の電極204を有し、第1の電極201と第2の電極204の間にカルコパイライト化合物を含む半導体層202と、発光層203を有する素子構成である。本実施の形態で示す発光素子は、第1の電極201と、第2の電極204の間に電圧を印加することで発光が得られるが、直流駆動又は交流駆動のいずれにおいても動作することができる。   The light-emitting element described in this embodiment includes a first electrode 201 and a second electrode 204 over a substrate 200 and includes a chalcopyrite compound between the first electrode 201 and the second electrode 204. The element structure includes a semiconductor layer 202 and a light emitting layer 203. Although the light-emitting element described in this embodiment can emit light by applying voltage between the first electrode 201 and the second electrode 204, the light-emitting element can operate in either DC driving or AC driving. it can.

基板200と、第1の電極201と、第2の電極204としては、実施の形態1に記載した材料と同様のものを用いることができる。また、カルコパイライト化合物を含む半導体層202としては、実施の形態1に記載したカルコパイライトと呼ばれる三元化合物ABCを含む層を用いることができる。 As the substrate 200, the first electrode 201, and the second electrode 204, the same materials as those described in Embodiment 1 can be used. As the semiconductor layer 202 containing a chalcopyrite compound, a layer containing the ternary compound ABC 2 called chalcopyrite described in Embodiment 1 can be used.

発光層203は、発光材料の薄膜であり、母体材料に発光中心材料が添加された発光材料を用いることができる。   The light-emitting layer 203 is a thin film of a light-emitting material, and a light-emitting material in which a light-emitting center material is added to a base material can be used.

母体材料としては、硫化物、酸化物、または窒化物を用いることができる。硫化物としては、例えば、硫化亜鉛(ZnS)、硫化カドミウム(CdS)、硫化カルシウム(CaS)、硫化イットリウム(Y)、硫化ガリウム(Ga)、硫化ストロンチウム(SrS)、硫化バリウム(BaS)等を用いることができる。また、酸化物としては、例えば、酸化亜鉛(ZnO)、酸化イットリウム(Y)等を用いることができる。また、窒化物としては、例えば、窒化アルミニウム(AlN)、窒化ガリウム(GaN)、窒化インジウム(InN)等を用いることができる。さらに、セレン化亜鉛(ZnSe)、テルル化亜鉛(ZnTe)等も用いることができ、硫化カルシウム−ガリウム(CaGa)、硫化ストロンチウム−ガリウム(SrGa)、硫化バリウム−ガリウム(BaGa)、等の3元系の混晶であってもよい。 As the base material, sulfide, oxide, or nitride can be used. Examples of the sulfide include zinc sulfide (ZnS), cadmium sulfide (CdS), calcium sulfide (CaS), yttrium sulfide (Y 2 S 3 ), gallium sulfide (Ga 2 S 3 ), strontium sulfide (SrS), sulfide. Barium (BaS) or the like can be used. As the oxide, for example, zinc oxide (ZnO), yttrium oxide (Y 2 O 3 ), or the like can be used. As the nitride, for example, aluminum nitride (AlN), gallium nitride (GaN), indium nitride (InN), or the like can be used. Furthermore, zinc selenide (ZnSe), zinc telluride (ZnTe), and the like can also be used. Calcium sulfide-gallium sulfide (CaGa 2 S 4 ), strontium sulfide-gallium sulfide (SrGa 2 S 4 ), barium sulfide-gallium (BaGa). It may be a ternary mixed crystal such as 2 S 4 ).

発光材料に含まれる発光中心材料としては、例えば局在型発光の発光中心材料として、マンガン(Mn)、銅(Cu)、サマリウム(Sm)、テルビウム(Tb)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、ユーロピウム(Eu)、セリウム(Ce)、プラセオジウム(Pr)等のいずれか1種又は2種以上を用いることができる。なお、電荷補償として、フッ素(F)、塩素(Cl)などのハロゲン元素が添加されていてもよい。一方、ドナー−アクセプター再結合型発光中心材料は、ドナー準位を形成する第1の不純物元素及びアクセプター準位を形成する第2の不純物元素とで構成される。第1の不純物元素としては、例えば、フッ素(F)、塩素(Cl)、アルミニウム(Al)等を用いることができる。第2の不純物元素としては、例えば、銅(Cu)、銀(Ag)等を用いることができる。なお、格子欠陥等がドナー準位を形成する場合があるため、必ずしも第1の不純物元素を必要としない。   Examples of the luminescent center material included in the luminescent material include manganese (Mn), copper (Cu), samarium (Sm), terbium (Tb), erbium (Er), and thulium (Tm). ), Europium (Eu), cerium (Ce), praseodymium (Pr), or the like can be used. Note that a halogen element such as fluorine (F) or chlorine (Cl) may be added as charge compensation. On the other hand, the donor-acceptor recombination luminescent center material includes a first impurity element that forms a donor level and a second impurity element that forms an acceptor level. For example, fluorine (F), chlorine (Cl), aluminum (Al), or the like can be used as the first impurity element. For example, copper (Cu), silver (Ag), or the like can be used as the second impurity element. Note that since a lattice defect or the like may form a donor level, the first impurity element is not necessarily required.

発光材料の作製方法としては、固相法または液相法(共沈法)等の様々な方法を用いることができる。また、噴霧熱分解法、複分解法、プレカーサーの熱分解反応による方法、逆ミセル法や、これらの方法と高温焼成を組み合わせた方法、凍結乾燥法などの液相法なども用いることができる。 As a method for manufacturing the light-emitting material, various methods such as a solid phase method or a liquid phase method (coprecipitation method) can be used. Also, spray pyrolysis method, metathesis method, precursor thermal decomposition method, reverse micelle method, a combination of these methods and high-temperature baking, liquid phase method such as freeze-drying method, etc. can be used.

固相法は、母体材料と、含有させる元素又はその元素を含む化合物を秤量し、乳鉢で混合、電気炉で加熱、焼成を行い、固相反応により合成を行う方法である。焼成温度は、700〜1500℃が好ましい。700℃よりも温度が低すぎる場合は固相反応が進まず、1500℃よりも温度が高すぎる場合は母体材料が分解してしまうからである。なお、粉末状態で焼成を行ってもよいが、ペレット状態で焼成を行うことが好ましい。固相法による発光材料の合成は、比較的高温での焼成を必要とするが、簡単な方法であるため、生産性がよく大量生産に適している。 The solid phase method is a method in which a base material and an element to be contained or a compound containing the element are weighed, mixed in a mortar, heated and fired in an electric furnace, and synthesized by a solid phase reaction. The firing temperature is preferably 700 to 1500 ° C. This is because when the temperature is lower than 700 ° C., the solid phase reaction does not proceed, and when the temperature is higher than 1500 ° C., the base material is decomposed. In addition, although baking may be performed in a powder state, it is preferable to perform baking in a pellet state. The synthesis of a light emitting material by a solid phase method requires firing at a relatively high temperature, but is a simple method and thus has high productivity and is suitable for mass production.

液相法(共沈法)は、母体材料又は母体材料を含む化合物と、含有させる元素又はその元素を含む化合物を溶液中で反応させ、乾燥させた後、焼成を行う合成方法である。液相法による発光材料の合成は、発光材料の粒子が均一に分布し、粒径が小さいため、低い焼成温度でも反応を進めることができる。 The liquid phase method (coprecipitation method) is a synthesis method in which a base material or a compound containing the base material and an element to be contained or a compound containing the element are reacted in a solution, dried, and then fired. In the synthesis of the light emitting material by the liquid phase method, the particles of the light emitting material are uniformly distributed and the particle size is small, so that the reaction can proceed even at a low firing temperature.

発光材料を、固相法により合成する方法について説明する。すなわち、母体材料と、ドナー−アクセプター再結合型発光中心材料を構成する元素又はその元素を含む化合物をそれぞれ秤量し、乳鉢で混合した後、電気炉で加熱して焼成を行う。母体材料としては、上述した母体材料を用いることができ、ドナー−アクセプター再結合型発光中心材料として、第1の不純物元素又は第1の不純物元素を含む化合物としては、例えば、フッ素(F)、塩素(Cl)、硫化アルミニウム(Al)等を用いることができ、第2の不純物元素又は第2の不純物元素を含む化合物としては、例えば、銅(Cu)、銀(Ag)、硫化銅(CuS)、硫化銀(AgS)等を用いることができる。焼成温度は、700〜1500℃が好ましい。なお、粉末状態よりも、ペレット状態で焼成を行うことが好ましい。 A method for synthesizing a luminescent material by a solid phase method will be described. That is, the base material, the element constituting the donor-acceptor recombination type luminescent center material or the compound containing the element are weighed, mixed in a mortar, and then heated in an electric furnace to be fired. As the base material, the above-described base material can be used. As the donor-acceptor recombination luminescent center material, as the first impurity element or the compound containing the first impurity element, for example, fluorine (F), Chlorine (Cl), aluminum sulfide (Al 2 S 3 ), or the like can be used. Examples of the second impurity element or the compound containing the second impurity element include copper (Cu), silver (Ag), and sulfide. Copper (Cu 2 S), silver sulfide (Ag 2 S), or the like can be used. The firing temperature is preferably 700 to 1500 ° C. In addition, it is preferable to perform baking in a pellet state rather than a powder state.

また、固相反応を利用する場合では、第1の不純物元素と第2の不純物元素で構成される化合物を組み合わせて用いてもよい。この場合、不純物元素が拡散されやすく、固相反応が進みやすくなるため、均一な発光材料を得ることができる。さらに、余分な不純物元素が入らないため、純度の高い発光材料が得ることができる。第1の不純物元素と第2の不純物元素で構成される化合物としては、例えば、塩化銅(CuCl)、塩化銀(AgCl)等を用いることができる。   In the case of using a solid phase reaction, a compound composed of the first impurity element and the second impurity element may be used in combination. In this case, since the impurity element is easily diffused and the solid-phase reaction easily proceeds, a uniform light emitting material can be obtained. Further, since no extra impurity element is contained, a light-emitting material with high purity can be obtained. As the compound including the first impurity element and the second impurity element, for example, copper chloride (CuCl), silver chloride (AgCl), or the like can be used.

なお、これらの不純物元素の濃度は、母体材料に対して、0.01〜10原子%であればよく、好ましくは0.05〜5原子%の範囲である。   In addition, the density | concentration of these impurity elements should just be 0.01-10 atomic% with respect to a base material, Preferably it is the range of 0.05-5 atomic%.

カルコパイライト化合物を含む半導体層202、発光層203の形成方法としては、抵抗加熱蒸着や電子ビーム蒸着(EB蒸着)等の真空蒸着法、スパッタリング法、有機金属CVD法、ハイドライド輸送減圧CVD法、原子層エピタキシ法(ALE)等を用いることができる。膜厚は特に限定されることはないが、好ましくは、10〜1000nmの範囲である。 The semiconductor layer 202 containing the chalcopyrite compound and the light emitting layer 203 can be formed by vacuum deposition such as resistance heating deposition or electron beam deposition (EB deposition), sputtering, organometallic CVD, hydride transport reduced pressure CVD, Layer epitaxy (ALE) or the like can be used. The film thickness is not particularly limited, but is preferably in the range of 10 to 1000 nm.

また、図示しないが、カルコパイライト化合物を含む半導体層202と第1の電極201、発光層203と第2の電極204の間にバッファー層を設けても良い。このバッファー層は電極と半導体層との界面の障壁を減らし、電極から半導体層へのキャリア注入を容易にする効果を有する。バッファー層としては、特に限定されることはないが、例えば、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdS、SrS、BaS等、又はCuS、CuS、又はハロゲン化アルカリであるLiF、CaF、BaF、MgF等を用いることができる。 Although not illustrated, a buffer layer may be provided between the semiconductor layer 202 containing a chalcopyrite compound and the first electrode 201, and the light-emitting layer 203 and the second electrode 204. This buffer layer has an effect of reducing the barrier at the interface between the electrode and the semiconductor layer and facilitating carrier injection from the electrode to the semiconductor layer. The buffer layer is not particularly limited. For example, ZnS, ZnSe, ZnTe, CdS, SrS, BaS, or the like, or CuS, Cu 2 S, or an alkali halide such as LiF, CaF 2 , BaF 2 , MgF 2 or the like can be used.

本発明の発光素子は、p型、n型両伝導性を示すバイポーラ型であるカルコパイライト化合物を含む半導体層を電極と発光層の間に設けることにより、効率良くキャリアを発光層に輸送することが可能となり、低駆動電圧で動作可能な発光素子を得ることができる。また、低駆動電圧で発光可能なため、消費電力を低減された発光素子を得ることができる。   The light-emitting element of the present invention efficiently transports carriers to the light-emitting layer by providing a semiconductor layer containing a p-type and n-type bipolar chalcopyrite compound between the electrode and the light-emitting layer. Thus, a light-emitting element that can operate at a low driving voltage can be obtained. In addition, since light can be emitted with a low driving voltage, a light-emitting element with reduced power consumption can be obtained.

(実施の形態3)
本実施の形態では、本発明を適用して作製した発光素子を有する発光装置について説明する。
(Embodiment 3)
In this embodiment mode, a light-emitting device having a light-emitting element manufactured by applying the present invention will be described.

本実施の形態では、発光装置の一態様として表示装置について、図3〜図7を参照して説明する。図6は表示装置の主要部を示す概略構成図である。   In this embodiment, a display device as one embodiment of a light-emitting device will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing a main part of the display device.

図3において、基板410には、第1の電極416と、その電極と交差する方向に伸びる第2の電極418が設けられている。少なくとも、第1の電極416と第2の電極418との交差部には、発光層が設けられ、実施の形態1または2で説明したものと同様な発光素子を形成している。図3の表示装置は、第1の電極416と第2の電極418を複数本配置して、画素となる発光素子をマトリクス状に配列させ、表示部414を形成している。この表示部414においては、第1の電極416と第2の電極418の電位を制御して個々の発光素子の発光及び非発光を制御して、動画及び静止画を表示することができる。 In FIG. 3, the substrate 410 is provided with a first electrode 416 and a second electrode 418 extending in a direction intersecting with the electrode. At least at a crossing portion between the first electrode 416 and the second electrode 418, a light-emitting layer is provided, and a light-emitting element similar to that described in Embodiment Mode 1 or 2 is formed. In the display device in FIG. 3, a plurality of first electrodes 416 and second electrodes 418 are arranged, light emitting elements to be pixels are arranged in a matrix, and a display portion 414 is formed. In the display portion 414, a moving image and a still image can be displayed by controlling the potentials of the first electrode 416 and the second electrode 418 to control light emission and non-light emission of each light emitting element.

図3に示した表示装置は、基板410の一方向に延設される第1の電極416と、それと交差する第2の電極418のそれぞれに映像を表示する信号を印加して発光素子の発光及び非発光を選択する。すなわち、画素の駆動は、もっぱら外部回路から与えられる信号で行う単純マトリクス型の表示装置である。このような表示装置は、構成が簡単であるので、大面積化をしても容易に製造をすることができる。 The display device illustrated in FIG. 3 applies a signal for displaying an image to each of the first electrode 416 extending in one direction of the substrate 410 and the second electrode 418 intersecting with the first electrode 416 to emit light from the light emitting element. And non-luminous. That is, the pixel is driven by a simple matrix display device which is exclusively driven by a signal supplied from an external circuit. Since such a display device has a simple configuration, it can be easily manufactured even when the area is increased.

なお、対向基板412は必要に応じて設ければ良く、表示部414の位置に合わせて設けることで保護部材とすることもできる。また、保護部材は、板状の硬材としなくても、樹脂フィルム若しくは樹脂材料を塗布して代用することもできる。第1の電極416及び第2の電極418は基板410の端部に引き出され、外部回路と接続する端子を形成している。すなわち第1の電極416及び第2の電極418は基板410の端部でフレキシブル配線基板420、422と接続しており、フレキシブル配線基板を介して外部回路と接続している。外部回路としては、映像信号を制御するコントローラ回路の他、電源回路、チューナ回路などが含まれる。 Note that the counter substrate 412 may be provided as necessary, and may be used as a protective member by being provided in accordance with the position of the display portion 414. Further, the protective member may be replaced by applying a resin film or a resin material without using a plate-like hard material. The first electrode 416 and the second electrode 418 are drawn out to an end portion of the substrate 410 to form a terminal connected to an external circuit. That is, the first electrode 416 and the second electrode 418 are connected to the flexible wiring substrates 420 and 422 at the end of the substrate 410, and are connected to an external circuit through the flexible wiring substrate. Examples of the external circuit include a power supply circuit, a tuner circuit, and the like in addition to a controller circuit that controls a video signal.

図4は、図3に示した表示部414の構成を示す部分拡大図を示す。基板410に形成された第1の電極416の側端部には隔壁層424が形成されている。そして、少なくとも第1の電極416上にはEL層426が形成されている。ここで、EL層426は、第1の絶縁層と、第2の絶縁層と、第1の絶縁層と第2の絶縁層の間に形成された実施の形態1に示した発光層を含む。または、EL層426を、実施の形態2に示した半導体層上に発光層を設けた構成としても良い。第2の電極418は、EL層426上に設けられている。第2の電極418は、隔壁層424上に、第1の電極416と交差するように形成されている。隔壁層424は、第1の電極416と第2の電極418の間で短絡が起こらないように絶縁材料で形成されている。隔壁層424が第1の電極416の端部を覆う部位では、段差が急峻とならないように隔壁層424の側端部に勾配を持たせ、所謂テーパー形状としている。隔壁層424をこのような形状とすることで、EL層426や第2の電極418の被覆性が向上し、ひび割れや断裂などの不良を無くすことができる。 FIG. 4 is a partially enlarged view showing the configuration of the display unit 414 shown in FIG. A partition layer 424 is formed on a side end portion of the first electrode 416 formed over the substrate 410. An EL layer 426 is formed on at least the first electrode 416. Here, the EL layer 426 includes the first insulating layer, the second insulating layer, and the light-emitting layer described in Embodiment 1 formed between the first insulating layer and the second insulating layer. . Alternatively, the EL layer 426 may have a structure in which a light-emitting layer is provided over the semiconductor layer described in Embodiment 2. The second electrode 418 is provided over the EL layer 426. The second electrode 418 is formed on the partition layer 424 so as to intersect with the first electrode 416. The partition layer 424 is formed using an insulating material so that a short circuit does not occur between the first electrode 416 and the second electrode 418. In a portion where the partition layer 424 covers the end portion of the first electrode 416, a side end portion of the partition layer 424 is given a gradient so that a step is not steep so as to have a so-called tapered shape. When the partition layer 424 has such a shape, coverage with the EL layer 426 and the second electrode 418 is improved, and defects such as cracks and tears can be eliminated.

図5は、図3に示した表示部414の平面図であり、第1の電極416、第2の電極418、隔壁層424、EL層426の配置を示している。補助電極428は第2の電極418をインジウム錫酸化物、酸化亜鉛などの光透過性を有する酸化物の導電膜で形成する場合に、抵抗損失を低減するために設けると好ましいものである。この場合、補助電極428はチタン、タングステン、クロム、タンタルなどの高融点金属、若しくは高融点金属とアルミニウム、銀などの低抵抗金属とを組み合わせて形成すると良い。 FIG. 5 is a plan view of the display portion 414 shown in FIG. 3 and shows the arrangement of the first electrode 416, the second electrode 418, the partition wall layer 424, and the EL layer 426. The auxiliary electrode 428 is preferably provided in order to reduce resistance loss in the case where the second electrode 418 is formed using a light-transmitting oxide conductive film such as indium tin oxide or zinc oxide. In this case, the auxiliary electrode 428 is preferably formed using a high melting point metal such as titanium, tungsten, chromium, or tantalum, or a combination of a high melting point metal and a low resistance metal such as aluminum or silver.

図5において、A−B線及びC−D線に沿った断面図を図6(A)(B)にそれぞれ示す。第1の電極416と第2の電極418の交差部にEL層426が形成された発光素子が形成されている。図6(B)で示す補助電極428は隔壁層424上にあって、第2の電極418と接触するように設けられている。補助電極428を隔壁層424上に設けることにより、第1の電極416と第2の電極418の交差部に形成される発光素子を遮光することがないので、発光した光を有効に利用することができる。また、補助電極428が第1の電極416と短絡してしまうことを防ぐことができる。 5A and 5B, cross-sectional views taken along lines AB and CD are shown in FIGS. A light-emitting element in which an EL layer 426 is formed at the intersection of the first electrode 416 and the second electrode 418 is formed. The auxiliary electrode 428 illustrated in FIG. 6B is provided over the partition layer 424 so as to be in contact with the second electrode 418. By providing the auxiliary electrode 428 over the partition layer 424, a light-emitting element formed at the intersection of the first electrode 416 and the second electrode 418 is not shielded, so that the emitted light can be used effectively. Can do. Further, the auxiliary electrode 428 can be prevented from being short-circuited with the first electrode 416.

図6では、対向基板412に色変換層430を配設した一例を示している。色変換層430は、EL層426で発光した光を波長変換して発光色を異ならせるためのものである。この場合、EL層426で発光する光は、エネルギーの高い青色の光若しくは紫外光であることが好ましい。色変換層430として、赤色、緑色、青色に変換するものをそれぞれ配列させれば、RGBカラー表示を行う表示装置とすることができる。また、色変換層430を着色層(カラーフィルタ)に置き換えることもできる。その場合は、EL層426は白色発光するように構成すれば良い。充填材432は基板410と対向基板412を固定するものであり適宜設ければ良い。 FIG. 6 shows an example in which the color conversion layer 430 is provided on the counter substrate 412. The color conversion layer 430 is for changing the wavelength of light emitted from the EL layer 426 to change the emission color. In this case, light emitted from the EL layer 426 is preferably high-energy blue light or ultraviolet light. If the color conversion layers 430 are arranged to convert red, green, and blue, respectively, a display device that performs RGB color display can be obtained. Further, the color conversion layer 430 can be replaced with a colored layer (color filter). In that case, the EL layer 426 may be configured to emit white light. The filler 432 fixes the substrate 410 and the counter substrate 412, and may be provided as appropriate.

上記において、第1の電極416としてアルミニウム、チタン、タンタルなどを用い、第2の電極418として酸化インジウム、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物、酸化インジウム酸化亜鉛、酸化亜鉛、酸化タングステンと酸化亜鉛を含む酸化インジウム(IWZO)等の透光性材料を用いれば、対向基板412側に表示部414が形成される表示装置とすることができる。この場合、第1の電極416の表面に薄い酸化膜を形成しておくとバリア層が形成され、キャリアブロッキング効果により発光効率を高めることができる。第1の電極416として酸化インジウム、インジウム錫酸化物(ITO)、酸化珪素を含むインジウム錫酸化物、酸化インジウム酸化亜鉛、酸化亜鉛、酸化タングステンと酸化亜鉛を含む酸化インジウム(IWZO)等の透光性材料を用い、第2の電極418としてアルミニウム、チタン、タンタルなどを用いれば、基板410側に表示部414が形成される表示装置とすることができる。また、第1の電極416と第2の電極418を共に透光性を有する電極で形成すれば、両面表示型の表示装置とすることができる。 In the above, aluminum, titanium, tantalum, or the like is used as the first electrode 416, and indium tin oxide, indium tin oxide (ITO), indium tin oxide containing silicon oxide, indium zinc oxide, oxidation is used as the second electrode 418. When a light-transmitting material such as zinc, indium oxide containing tungsten oxide and zinc oxide (IWZO) or the like is used, a display device in which the display portion 414 is formed on the counter substrate 412 side can be obtained. In this case, if a thin oxide film is formed on the surface of the first electrode 416, a barrier layer is formed, and light emission efficiency can be increased by a carrier blocking effect. Light transmission of indium oxide, indium tin oxide (ITO), indium tin oxide containing silicon oxide, indium zinc oxide, zinc oxide, indium oxide containing tungsten oxide and zinc oxide (IWZO), or the like as the first electrode 416 When a conductive material is used and aluminum, titanium, tantalum, or the like is used for the second electrode 418, a display device in which the display portion 414 is formed on the substrate 410 side can be obtained. In addition, when both the first electrode 416 and the second electrode 418 are formed using a light-transmitting electrode, a double-sided display device can be obtained.

また、表示部414の他の構成を図7に示す。図7の構造は、第1の電極952の側端部が絶縁層953で覆われている。そして、絶縁層953上には隔壁層954が設けられている。隔壁層954の側壁は、基板951面に近くなるに伴って、一方の側壁と対向する他方の側壁との間隔が狭くなっていくような傾斜を有する。つまり、隔壁層954の短辺方向の断面は、台形状であり、底辺(絶縁層953の面方向と同様の方向を向き、絶縁層953と接する辺)の方が上辺(絶縁層953の面方向と同様の方向を向き、絶縁層953と接しない辺)よりも短い。このように、隔壁層954を設けることで、EL層955及び第2の電極956を、隔壁層954を使って自己整合的に形成することができる。 Another structure of the display portion 414 is shown in FIG. In the structure of FIG. 7, the side end portion of the first electrode 952 is covered with an insulating layer 953. A partition layer 954 is provided over the insulating layer 953. The side wall of the partition wall layer 954 has an inclination such that the distance between one side wall and the other side wall facing the side wall becomes narrower as it approaches the surface of the substrate 951. That is, the cross section in the short side direction of the partition wall layer 954 has a trapezoidal shape, and the bottom side (side facing the surface direction of the insulating layer 953 and in contact with the insulating layer 953) is the top side (surface of the insulating layer 953). The direction is the same as the direction and is shorter than the side not in contact with the insulating layer 953. In this manner, by providing the partition layer 954, the EL layer 955 and the second electrode 956 can be formed in a self-aligned manner using the partition layer 954.

本実施例の表示装置は低電圧で発光素子が発光するので、昇圧回路などが不要となり、装置の構成を簡略化することができる。   In the display device of this embodiment, since the light emitting element emits light at a low voltage, a booster circuit or the like is unnecessary, and the configuration of the device can be simplified.

なお、本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることが可能である。   Note that this embodiment can be combined with any of the other embodiments as appropriate.

(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明を適用して作製した発光素子を有する発光装置について説明する。
(Embodiment 4)
In this embodiment mode, a light-emitting device having a light-emitting element manufactured by applying the present invention will be described.

本実施の形態では、トランジスタによって発光素子の駆動を制御するアクティブ型の発光装置について説明する。本実施の形態では、画素部に本発明を適用して作製した発光素子を有する発光装置について図8を用いて説明する。なお、図8(A)は、発光装置を示す上面図、図8(B)は図8(A)をA−A’およびB−B’で切断した断面図である。図8において、点線で示された601はソース側駆動回路、602は画素部、603はゲート側駆動回路である。また、604は封止基板、605はシール材であり、シール材605で囲まれた内側は、空間607になっている。   In this embodiment, an active light-emitting device in which driving of a light-emitting element is controlled by a transistor will be described. In this embodiment mode, a light-emitting device including a light-emitting element manufactured by applying the present invention to a pixel portion will be described with reference to FIGS. 8A is a top view illustrating the light-emitting device, and FIG. 8B is a cross-sectional view taken along lines A-A ′ and B-B ′ in FIG. 8A. In FIG. 8, 601 indicated by a dotted line is a source side driver circuit, 602 is a pixel portion, and 603 is a gate side driver circuit. Reference numeral 604 denotes a sealing substrate, reference numeral 605 denotes a sealing material, and the inside surrounded by the sealing material 605 is a space 607.

なお、図8(B)の引き回し配線608はソース側駆動回路601及びゲート側駆動回路603に入力される信号を伝送するための配線であり、外部入力端子となるFPC(フレキシブルプリントサーキット)609からビデオ信号、クロック信号、スタート信号、リセット信号等を受け取る。なお、ここではFPCしか図示されていないが、このFPCにはプリント配線基板(PWB)が取り付けられていても良い。本明細書における発光装置には、発光装置本体だけでなく、それにFPCもしくはPWBが取り付けられた状態をも含むものとする。   Note that a lead wiring 608 in FIG. 8B is a wiring for transmitting signals input to the source side driver circuit 601 and the gate side driver circuit 603, and is from an FPC (flexible printed circuit) 609 serving as an external input terminal. Receives a video signal, a clock signal, a start signal, a reset signal, and the like. Although only the FPC is shown here, a printed wiring board (PWB) may be attached to the FPC. The light-emitting device in this specification includes not only a light-emitting device body but also a state in which an FPC or a PWB is attached thereto.

次に、断面構造について図8(B)を用いて説明する。素子基板610上には駆動回路部及び画素部が形成されているが、ここでは、駆動回路部であるソース側駆動回路601と、画素部602中の一つの画素が示されている。   Next, a cross-sectional structure is described with reference to FIG. A driver circuit portion and a pixel portion are formed over the element substrate 610. Here, a source-side driver circuit 601 that is a driver circuit portion and one pixel in the pixel portion 602 are illustrated.

なお、ソース側駆動回路601はnチャネル型TFT623とpチャネル型TFT624とを組み合わせたCMOS回路が形成される。また、駆動回路は、公知のCMOS回路、PMOS回路もしくはNMOS回路で形成しても良い。また、本実施例では、基板上に駆動回路を形成したドライバ一体型を示すが、必ずしもその必要はなく、駆動回路を基板上ではなく外部に形成することもできる。なお、TFTの構造は、特に限定されない。スタガ型のTFTでもよいし、逆スタガ型のTFTでもよい。また、TFTに用いられる半導体膜の結晶性についても特に限定されない。非晶質半導体膜を用いてもよいし、結晶性半導体膜を用いてもよい。また、半導体材料についても特に限定されず、無機化合物を用いてもよいし、有機化合物を用いてもよい。   Note that the source side driver circuit 601 is a CMOS circuit in which an n-channel TFT 623 and a p-channel TFT 624 are combined. The driving circuit may be formed of a known CMOS circuit, PMOS circuit, or NMOS circuit. In this embodiment, a driver integrated type in which a drive circuit is formed on a substrate is shown. However, this is not always necessary, and the drive circuit can be formed outside the substrate. Note that the structure of the TFT is not particularly limited. A staggered TFT or an inverted staggered TFT may be used. Further, the crystallinity of a semiconductor film used for the TFT is not particularly limited. An amorphous semiconductor film or a crystalline semiconductor film may be used. Further, the semiconductor material is not particularly limited, and an inorganic compound or an organic compound may be used.

また、画素部602はスイッチング用TFT611と、電流制御用TFT612とそのドレインに電気的に接続された第1の電極613とを含む複数の画素により形成される。なお、第1の電極613の端部を覆って絶縁膜614が形成されている。ここでは、ポジ型の感光性アクリル樹脂膜を用いることにより絶縁膜614を形成する。   The pixel portion 602 is formed by a plurality of pixels including a switching TFT 611, a current control TFT 612, and a first electrode 613 electrically connected to the drain thereof. Note that an insulating film 614 is formed to cover an end portion of the first electrode 613. Here, the insulating film 614 is formed by using a positive photosensitive acrylic resin film.

また、被覆性を良好なものとするため、絶縁膜614の上端部または下端部に曲率を有する曲面が形成されるようにする。例えば、絶縁膜614の材料としてポジ型の感光性アクリルを用いた場合、絶縁膜614の上端部のみに曲率半径(0.2μm〜3μm)を有する曲面を持たせることが好ましい。また、絶縁膜614として、光の照射によってエッチャントに不溶解性となるネガ型、或いは光の照射によってエッチャントに溶解性となるポジ型のいずれも使用することができる。   In order to improve the coverage, a curved surface having a curvature is formed on the upper end portion or the lower end portion of the insulating film 614. For example, in the case where positive photosensitive acrylic is used as the material of the insulating film 614, it is preferable that only the upper end portion of the insulating film 614 has a curved surface having a curvature radius (0.2 μm to 3 μm). As the insulating film 614, either a negative type that becomes insoluble in an etchant by light irradiation or a positive type that becomes soluble in an etchant by light irradiation can be used.

第1の電極613上には、EL層616、および第2の電極617がそれぞれ形成されている。ここで、EL層616は、第1の絶縁層と、第2の絶縁層と、第1の絶縁層と第2の絶縁層の間に形成された実施の形態1に示した発光層を含む。または、EL層616を、実施の形態2に示した半導体層上に発光層を設けた構成としても良い。第1の電極613および第2の電極617の少なくとも一方は透光性を有しており、EL層616からの発光を外部へ取り出すことが可能である。   An EL layer 616 and a second electrode 617 are formed over the first electrode 613. Here, the EL layer 616 includes the first insulating layer, the second insulating layer, and the light-emitting layer described in Embodiment 1 formed between the first insulating layer and the second insulating layer. . Alternatively, the EL layer 616 may have a structure in which a light-emitting layer is provided over the semiconductor layer described in Embodiment 2. At least one of the first electrode 613 and the second electrode 617 has a light-transmitting property, and light emitted from the EL layer 616 can be extracted to the outside.

なお、第1の電極613、EL層616、第2の電極617の形成方法としては、種々の方法を用いることができる。具体的には、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着(EB蒸着)法等の真空蒸着法、スパッタリング法等の物理気相成長法(PVD)、有機金属CVD法、ハイドライド輸送減圧CVD法等の化学気相成長法(CVD)、または原子層エピタキシ法(ALE)等を用いることができる。また、インクジェット法、スピンコート法等を用いることができる。また、各電極または各層ごとに異なる成膜方法を用いて形成しても構わない。   Note that various methods can be used for forming the first electrode 613, the EL layer 616, and the second electrode 617. Specifically, chemicals such as resistance heating vapor deposition, vacuum deposition such as electron beam vapor deposition (EB vapor deposition), physical vapor deposition (PVD) such as sputtering, metal organic CVD, hydride transport low pressure CVD, etc. Vapor phase epitaxy (CVD), atomic layer epitaxy (ALE), or the like can be used. In addition, an inkjet method, a spin coating method, or the like can be used. Moreover, you may form using the different film-forming method for each electrode or each layer.

さらにシール材605で封止基板604を素子基板610と貼り合わせることにより、素子基板610、封止基板604、およびシール材605で囲まれた空間607に発光素子618が備えられた構造になっている。なお、空間607には、充填材が充填されており、不活性気体(窒素やアルゴン等)が充填される場合の他、シール材605で充填される場合もある。   Further, the sealing substrate 604 is bonded to the element substrate 610 with the sealant 605, whereby the light-emitting element 618 is provided in the space 607 surrounded by the element substrate 610, the sealing substrate 604, and the sealant 605. Yes. Note that the space 607 is filled with a filler, and may be filled with a sealant 605 in addition to an inert gas (such as nitrogen or argon).

なお、シール材605にはエポキシ系樹脂を用いるのが好ましい。また、シール材及び充填材はできるだけ水分や酸素を透過しない材料であることが望ましい。また、封止基板604に用いる材料としてガラス基板や石英基板の他、FRP(Fiberglass−Reinforced Plastics)、PVF(ポリビニルフロライド)、ポリエステルフィルム、ポリエステルまたはアクリル等からなるプラスチック基板を用いることができる。   Note that an epoxy-based resin is preferably used for the sealant 605. Further, it is desirable that the sealing material and the filler are materials that do not transmit moisture and oxygen as much as possible. In addition to a glass substrate and a quartz substrate, a plastic substrate made of FRP (Fiberglass-Reinforced Plastics), PVF (polyvinyl fluoride), polyester film, polyester, acrylic, or the like can be used as a material for the sealing substrate 604.

以上のようにして、本発明を適用して作製した発光素子を有する発光装置を得ることができる。   As described above, a light-emitting device having a light-emitting element manufactured by applying the present invention can be obtained.

本実施の形態で示す発光装置は、実施の形態1〜2で示した発光素子を有し、低駆動電圧で動作が可能である。そのため、消費電力を低減された発光装置を得ることができる。   The light-emitting device described in this embodiment includes the light-emitting element described in any of Embodiments 1 and 2, and can operate with a low driving voltage. Therefore, a light-emitting device with reduced power consumption can be obtained.

また、本実施の形態で示す発光装置は、高耐電圧の駆動回路が不要であるため、発光装置の作製コストを低減することができる。また、発光装置の軽量化、駆動回路部分の小型化が可能である。   In addition, since the light-emitting device described in this embodiment does not require a high withstand voltage driver circuit, the manufacturing cost of the light-emitting device can be reduced. In addition, the light emitting device can be reduced in weight and the drive circuit portion can be reduced in size.

(実施の形態5)
本実施の形態では、実施の形態3〜4に示す発光装置をその一部に含む電子機器について説明する。本実施の形態で示す電子機器は、実施の形態1〜2で示した発光素子を有する。よって、駆動電圧の低減された発光素子を有するため、消費電極の低減された電子機器を提供することが可能である。
(Embodiment 5)
In this embodiment, electronic devices each including the light-emitting device described in any of Embodiments 3 to 4 will be described. An electronic device described in this embodiment includes the light-emitting element described in any of Embodiments 1 and 2. Therefore, since the light-emitting element with reduced driving voltage is included, an electronic device with reduced consumption electrodes can be provided.

本発明を適用して作製された電子機器として、ビデオカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ、ナビゲーションシステム、音響再生装置(カーオーディオ、オーディオコンポ等)、コンピュータ、ゲーム機器、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話、携帯型ゲーム機または電子書籍等)、記録媒体を備えた画像再生装置(具体的にはDigital Versatile Disc(DVD)等の記録媒体を再生し、その画像を表示しうる表示装置を備えた装置)などが挙げられる。これらの電子機器の具体例を図9に示す。   As an electronic device manufactured by applying the present invention, a video camera, a digital camera, a goggle type display, a navigation system, a sound reproduction device (car audio, audio component, etc.), a computer, a game device, a portable information terminal (mobile computer, A mobile phone, a portable game machine, an electronic book, or the like), and an image playback device (specifically, a digital versatile disc (DVD) or the like) provided with a recording medium, and a display device that can display the image. Device). Specific examples of these electronic devices are shown in FIGS.

図9(A)は本実施の形態に係るテレビ装置であり、筐体9101、支持台9102、表示部9103、スピーカー部9104、ビデオ入力端子9105等を含む。このテレビ装置において、表示部9103は、実施の形態1〜2で説明したものと同様の発光素子をマトリクス状に配列して構成されている。当該発光素子は、発光効率が高く、駆動電圧が低いという特徴を有している。また、外部からの衝撃等による短絡を防止することも可能である。本発明の発光素子で構成される表示部9103も同様の特徴を有するため、このテレビ装置は画質の劣化が少なく、低消費電力化が図られている。このような特徴により、本発明の発光素子を用いたテレビ装置において、劣化補償機能や電源回路を大幅に削減、若しくは縮小することができるので、筐体9101や支持台9102の小型軽量化を図ることが可能である。本実施の形態に係るテレビ装置は、低消費電力、高画質及び小型軽量化が図られているので、住環境に適合した製品を提供することができる。   FIG. 9A illustrates a television set according to this embodiment, which includes a housing 9101, a supporting base 9102, a display portion 9103, speaker portions 9104, a video input terminal 9105, and the like. In this television device, the display portion 9103 is formed by arranging light-emitting elements similar to those described in Embodiment Modes 1 and 2 in a matrix. The light-emitting element has a feature of high luminous efficiency and low driving voltage. It is also possible to prevent a short circuit due to an external impact or the like. Since the display portion 9103 which includes the light-emitting elements of the present invention has similar features, the television device has little deterioration in image quality and low power consumption. With such a feature, in the television device using the light-emitting element of the present invention, the deterioration compensation function and the power supply circuit can be significantly reduced or reduced, so that the housing 9101 and the support base 9102 can be reduced in size and weight. It is possible. In the television device according to this embodiment, low power consumption, high image quality, and reduction in size and weight are achieved; therefore, a product suitable for a living environment can be provided.

図9(B)は本実施の形態に係るコンピュータであり、本体9201、筐体9202、表示部9203、キーボード9204、外部接続ポート9205、ポインティングマウス9206等を含む。このコンピュータにおいて、表示部9203は、実施の形態1〜2で説明したものと同様の発光素子をマトリクス状に配列して構成されている。当該発光素子は、発光効率が高く、駆動電圧が低いという特徴を有している。また、外部からの衝撃等による短絡を防止することも可能である。本発明の発光素子で構成される表示部9203も同様の特徴を有するため、このコンピュータは画質の劣化が少なく、低消費電力化が図られている。このような特徴により、本発明の発光素子を用いたコンピュータにおいて、劣化補償機能や電源回路を大幅に削減、若しくは縮小することができるので、本体9201や筐体9202の小型軽量化を図ることが可能である。本実施の形態に係るコンピュータは、低消費電力、高画質及び小型軽量化が図られているので、環境に適合した製品を提供することができる。また、本実施の形態にかかるコンピュータは、持ち運ぶことも可能であり、持ち運んでいるときの外部からの衝撃にも強い表示部を有する。   FIG. 9B illustrates a computer according to this embodiment, which includes a main body 9201, a housing 9202, a display portion 9203, a keyboard 9204, an external connection port 9205, a pointing mouse 9206, and the like. In this computer, the display portion 9203 includes light-emitting elements similar to those described in Embodiments 1 and 2, arranged in a matrix. The light-emitting element has a feature of high luminous efficiency and low driving voltage. It is also possible to prevent a short circuit due to an external impact or the like. Since the display portion 9203 which includes the light-emitting elements of the present invention has similar features, this computer has little deterioration in image quality and low power consumption. With such a feature, a deterioration compensation function and a power supply circuit can be significantly reduced or reduced in a computer using the light-emitting element of the present invention, so that the main body 9201 and the housing 9202 can be reduced in size and weight. Is possible. Since the computer according to this embodiment has low power consumption, high image quality, and reduced size and weight, a product suitable for the environment can be provided. In addition, the computer according to this embodiment can be carried and has a display portion that is resistant to an external shock when being carried.

図9(C)は本実施の形態に係る携帯電話であり、本体9401、筐体9402、表示部9403、音声入力部9404、音声出力部9405、操作キー9406、外部接続ポート9407、アンテナ9408等を含む。この携帯電話において、表示部9403は、実施の形態1〜2で説明したものと同様の発光素子をマトリクス状に配列して構成されている。当該発光素子は、発光効率が高く、駆動電圧が低いという特徴を有している。また、外部からの衝撃等による短絡を防止することも可能である。本発明の発光素子で構成される表示部9403も同様の特徴を有するため、この携帯電話は画質の劣化が少なく、低消費電力化が図られている。このような特徴により、本発明の発光素子を用いた携帯電話において、劣化補償機能や電源回路を大幅に削減、若しくは縮小することができるので、本体9401や筐体9402の小型軽量化を図ることが可能である。本実施の形態に係る携帯電話は、低消費電力、高画質及び小型軽量化が図られているので、携帯に適した製品を提供することができる。また、携帯しているときの外部からの衝撃にも強い表示部を有する製品を提供することができる。   FIG. 9C illustrates a mobile phone according to this embodiment, which includes a main body 9401, a housing 9402, a display portion 9403, an audio input portion 9404, an audio output portion 9405, operation keys 9406, an external connection port 9407, an antenna 9408, and the like. including. In this cellular phone, the display portion 9403 is formed by arranging light-emitting elements similar to those described in Embodiment Modes 1 and 2 in a matrix. The light-emitting element has a feature of high luminous efficiency and low driving voltage. It is also possible to prevent a short circuit due to an external impact or the like. Since the display portion 9403 including the light-emitting element of the present invention has similar features, the cellular phone has little deterioration in image quality and low power consumption. With such a feature, in the mobile phone using the light-emitting element of the present invention, the deterioration compensation function and the power supply circuit can be significantly reduced or reduced, so that the main body 9401 and the housing 9402 can be reduced in size and weight. Is possible. Since the cellular phone according to this embodiment has low power consumption, high image quality, and reduced size and weight, a product suitable for carrying can be provided. In addition, a product having a display portion that is resistant to external impact when being carried can be provided.

図9(D)はカメラであり、本体9501、表示部9502、筐体9503、外部接続ポート9504、リモコン受信部9505、受像部9506、バッテリー9507、音声入力部9508、操作キー9509、接眼部9510等を含む。このカメラにおいて、表示部9502は、実施の形態1〜2で説明したものと同様の発光素子をマトリクス状に配列して構成されている。当該発光素子は、発光効率が高く、駆動電圧が低く、外部からの衝撃等による短絡を防止することができるという特徴を有している。本発明の発光素子で構成される表示部9502も同様の特徴を有するため、このカメラは画質の劣化が少なく、低消費電力化が図られている。このような特徴により、本発明の発光素子を用いたカメラにおいて、劣化補償機能や電源回路を大幅に削減、若しくは縮小することができるので、本体9501の小型軽量化を図ることが可能である。本実施の形態に係るカメラは、低消費電力、高画質及び小型軽量化が図られているので、携帯に適した製品を提供することができる。また、携帯しているときの外部からの衝撃にも強い表示部を有する製品を提供することができる。   FIG. 9D shows a camera, which includes a main body 9501, a display portion 9502, a housing 9503, an external connection port 9504, a remote control receiving portion 9505, an image receiving portion 9506, a battery 9507, an audio input portion 9508, operation keys 9509, an eyepiece portion. 9510 etc. are included. In this camera, the display portion 9502 is formed by arranging light-emitting elements similar to those described in Embodiment Modes 1 and 2 in a matrix. The light-emitting element has characteristics that light emission efficiency is high, a driving voltage is low, and a short circuit due to an external impact or the like can be prevented. Since the display portion 9502 including the light-emitting element of the present invention has similar features, the camera has little deterioration in image quality and low power consumption. With such a feature, in the camera using the light-emitting element of the present invention, the deterioration compensation function and the power supply circuit can be significantly reduced or reduced, so that the main body 9501 can be reduced in size and weight. Since the camera according to this embodiment has low power consumption, high image quality, and reduced size and weight, a product suitable for carrying can be provided. In addition, a product having a display portion that is resistant to external impact when being carried can be provided.

図14は音響再生装置、具体例としてカーオーディオであり、本体701、表示部702、操作スイッチ703、704を含む。表示部702は実施の形態3の発光装置(パッシブ型)又は実施の形態4の発光装置(アクティブ型)で実現することができる。また、この表示部702はセグメント方式の発光装置で形成しても良い。いずれにしても、本発明の発光素子を用いることにより、車両用電源(12〜42V)を使って、低消費電力化を図りつつ、寿命が長く明るい表示部を構成することができる。また、本実施例では車載用オーディオを示すが、携帯型や家庭用のオーディオ装置に本発明を用いても良い。 FIG. 14 shows a sound reproduction device, which is a car audio as a specific example, and includes a main body 701, a display unit 702, and operation switches 703 and 704. The display portion 702 can be realized by the light-emitting device of Embodiment 3 (passive type) or the light-emitting device of Embodiment 4 (active type). The display portion 702 may be formed using a segment type light emitting device. In any case, by using the light-emitting element of the present invention, a bright display portion having a long lifetime can be configured using a vehicle power source (12 to 42 V) while reducing power consumption. In this embodiment, in-vehicle audio is shown, but the present invention may be used for a portable or home audio device.

図15は、車載用以外のオーディオに本発明の発光素子を用いた一例として携帯用デジタルプレーヤーを示している。図15に示すデジタルプレーヤーは、本体710、表示部711、メモリ部712、操作部713、イヤホン714等を含んでいる。なお、イヤホン714の代わりにヘッドホンや無線式イヤホンを用いることができる。表示部711として、実施の形態3の発光装置(パッシブ型)又は実施の形態4の発光装置(アクティブ型)で実現することができる。また、この表示部711はセグメント方式の発光装置で形成しても良い。いずれにしても、本発明に係る発光素子を用いることにより、二次電池(ニッケル−水素電池など)を使っても表示が可能であり、低消費電力化を図りつつ、寿命が長く明るい表示部を構成することができる。メモリ部712は、ハードディスクや不揮発性メモリを用いている。例えば、記録容量が20〜200ギガバイト(GB)のNAND型不揮発性メモリを用い、操作部713を操作することにより、映像や音声(音楽)を記録、再生することができる。なお、図14の表示部702及び図15の表示部711は黒色の背景に白色の文字を表示することで消費電力を抑えられる。これは携帯型のオーディオ装置において特に有効である。 FIG. 15 shows a portable digital player as an example in which the light-emitting element of the present invention is used for audio other than in-vehicle audio. A digital player shown in FIG. 15 includes a main body 710, a display unit 711, a memory unit 712, an operation unit 713, an earphone 714, and the like. Note that headphones or wireless earphones can be used instead of the earphones 714. The display portion 711 can be realized by the light-emitting device of Embodiment 3 (passive type) or the light-emitting device of Embodiment 4 (active type). The display portion 711 may be formed using a segment type light emitting device. In any case, by using the light-emitting element according to the present invention, display is possible even when a secondary battery (such as a nickel-hydrogen battery) is used. Can be configured. The memory unit 712 uses a hard disk or a nonvolatile memory. For example, by using a NAND nonvolatile memory having a recording capacity of 20 to 200 gigabytes (GB) and operating the operation unit 713, video and audio (music) can be recorded and reproduced. Note that the display unit 702 in FIG. 14 and the display unit 711 in FIG. 15 can reduce power consumption by displaying white characters on a black background. This is particularly effective in a portable audio device.

以上の様に、本発明を適用して作製した発光装置の適用範囲は極めて広く、この発光装置をあらゆる分野の電子機器に適用することが可能である。本発明を適用することにより、低消費電力で、信頼性の高い表示部を有する電子機器を作製することが可能となる。   As described above, the applicable range of the light-emitting device manufactured by applying the present invention is so wide that the light-emitting device can be applied to electronic devices in various fields. By applying the present invention, an electronic device having a display portion with low power consumption and high reliability can be manufactured.

また、本発明を適用した発光装置は、発光効率の高い発光素子を有しており、照明装置として用いることもできる。本発明を適用した発光素子を照明装置として用いる一態様を、図10を用いて説明する。   In addition, a light-emitting device to which the present invention is applied has a light-emitting element with high emission efficiency, and can also be used as a lighting device. One mode in which the light-emitting element to which the present invention is applied is used as a lighting apparatus is described with reference to FIGS.

図10は、本発明を適用した発光装置をバックライトとして用いた液晶表示装置の一例である。図10に示した液晶表示装置は、筐体501、液晶層502、バックライト503、筐体504を有し、液晶層502は、ドライバIC505と接続されている。また、バックライト503は、本発明の発光装置が用いられており、端子506により、電圧が印加されている。   FIG. 10 illustrates an example of a liquid crystal display device using the light-emitting device to which the present invention is applied as a backlight. The liquid crystal display device illustrated in FIG. 10 includes a housing 501, a liquid crystal layer 502, a backlight 503, and a housing 504, and the liquid crystal layer 502 is connected to a driver IC 505. The backlight 503 uses the light-emitting device of the present invention, and a voltage is applied to the terminal 506.

本発明の発光装置を液晶表示装置のバックライトとして用いることにより、高輝度で長寿命のバックライトが得られるので、表示装置としての品質が向上する。また、本発明の発光装置は、面発光の発光装置であり大面積化も可能であるため、バックライトの大面積化が可能であり、液晶表示装置の大面積化も可能になる。さらに、発光素子は薄型で低消費電力であるため、表示装置の薄型化、低消費電力化も可能となる。   By using the light-emitting device of the present invention as a backlight of a liquid crystal display device, a backlight with high luminance and long life can be obtained, so that the quality as a display device is improved. The light-emitting device of the present invention is a surface-emitting light-emitting device and can have a large area. Therefore, the backlight can have a large area, and a liquid crystal display device can have a large area. Further, since the light emitting element is thin and has low power consumption, the display device can be thinned and the power consumption can be reduced.

また、本発明を適用した発光装置は高輝度の発光が可能であるため、自動車、自転車、船などのヘッドライトとして用いることが可能である。図11は、本発明を適用した発光装置を自動車のヘッドライトとして用いた例である。図11(B)は図11(A)のヘッドライト1000の部分を拡大した断面図である。図11(B)において、光源1011として本発明の発光装置が用いられている。光源1011から出た光は、反射板1012により反射され、外部へ取り出される。図11(B)に示すように、複数の光源を用いることで、より高輝度の光を得ることができる。また、図11(C)は、円筒形状に作製した本発明の発光装置を光源として用いた例である。光源1021からの発光は反射板1022により反射され、外部へ取り出される。   In addition, since the light-emitting device to which the present invention is applied can emit light with high luminance, the light-emitting device can be used as a headlight for automobiles, bicycles, ships, and the like. FIG. 11 shows an example in which the light emitting device to which the present invention is applied is used as a headlight of an automobile. FIG. 11B is an enlarged cross-sectional view of a portion of the headlight 1000 in FIG. In FIG. 11B, the light-emitting device of the present invention is used as the light source 1011. Light emitted from the light source 1011 is reflected by the reflecting plate 1012 and extracted to the outside. As shown in FIG. 11B, light with higher luminance can be obtained by using a plurality of light sources. FIG. 11C illustrates an example in which the light-emitting device of the present invention manufactured in a cylindrical shape is used as a light source. Light emitted from the light source 1021 is reflected by the reflecting plate 1022 and extracted outside.

図12は、本発明を適用した発光装置を、照明装置である電気スタンドとして用いた例である。図12に示す電気スタンドは、筐体2001と、光源2002を有し、光源2002として、本発明の発光装置が用いられている。本発明の発光装置は、高輝度の発光が可能であるため、細かい作業をする場合など、手元を明るく照らすことが可能である。   FIG. 12 illustrates an example in which the light-emitting device to which the present invention is applied is used as a table lamp which is a lighting device. A table lamp illustrated in FIG. 12 includes a housing 2001 and a light source 2002, and the light-emitting device of the present invention is used as the light source 2002. Since the light-emitting device of the present invention can emit light with high luminance, the hand can be brightly illuminated when performing fine work.

図13は、本発明を適用した発光装置を、室内の照明装置3001として用いた例である。本発明の発光装置は大面積化が可能であるため、大面積の照明装置として用いることができる。また、本発明の発光装置は、薄型で低消費電力であるため、薄型化、低消費電力化の照明装置として用いることが可能となる。このように、本発明を適用した発光装置を、室内の照明装置3001として用いた部屋に、図9(A)で説明したような、本発明に係るテレビ装置3002を設置して公共放送や映画を鑑賞することができる。   FIG. 13 illustrates an example in which the light-emitting device to which the present invention is applied is used as an indoor lighting device 3001. Since the light-emitting device of the present invention can have a large area, it can be used as a large-area lighting device. In addition, since the light-emitting device of the present invention is thin and has low power consumption, it can be used as a lighting device with low thickness and low power consumption. In this manner, in the room where the light-emitting device to which the present invention is applied is used as an indoor lighting device 3001, the television set 3002 according to the present invention as described with reference to FIG. Can be appreciated.

照明装置としては、図11、図12、図13で例示したものに限られず、住宅や公共施設の照明をはじめ、様々な形態の照明装置として応用することができる。このような場合において、本発明に係る照明装置は、発光媒体が薄膜状であるので、デザインの自由度が高いので、様々な意匠を凝らした商品を市場に提供することができる。   The lighting device is not limited to those illustrated in FIGS. 11, 12, and 13, and can be applied as various types of lighting devices including lighting of houses and public facilities. In such a case, since the illuminating device according to the present invention has a thin light-emitting medium and thus has a high degree of design freedom, it is possible to provide products with various designs on the market.

本実施例では、本発明の発光素子に用いる発光材料について説明する。   In this example, a light-emitting material used for the light-emitting element of the present invention will be described.

CuSとGaを、モル比で1:1となるように秤量し、メノー乳鉢を用いて撹拌混合した。次に、その混合物をアルミナの坩堝に入れ、N雰囲気下にした電気炉を使用し、1000℃で4時間焼成して、CuGaSを合成した。得られた発光材料は濃い茶色であった。254nmの波長で励起したところ、青色の発光を確認することができた。 Cu 2 S and Ga 2 S 3 were weighed so as to have a molar ratio of 1: 1, and stirred and mixed using a menor mortar. Next, the mixture was put in an alumina crucible and fired at 1000 ° C. for 4 hours using an electric furnace in an N 2 atmosphere to synthesize CuGaS 2 . The obtained luminescent material was dark brown. When excited at a wavelength of 254 nm, blue light emission could be confirmed.

本実施例では、本発明の発光素子に用いる発光材料について説明する。   In this example, a light-emitting material used for the light-emitting element of the present invention will be described.

母体材料としてのZnSと、実施例1で得られたCuGaSとを、モル比で1:1となるように秤量し、メノー乳鉢を用いて撹拌混合した。次に、その混合物をアルミナの坩堝に入れ、N雰囲気下にした電気炉を使用し、1000℃で4時間焼成した。得られた発光材料は濃い茶色であった。254nmの波長で励起したところ、青色の発光を確認することができた。 ZnS as a base material and CuGaS 2 obtained in Example 1 were weighed so as to have a molar ratio of 1: 1, and stirred and mixed using a menor mortar. The mixture was then placed in an alumina crucible and fired at 1000 ° C. for 4 hours using an electric furnace under N 2 atmosphere. The obtained luminescent material was dark brown. When excited at a wavelength of 254 nm, blue light emission could be confirmed.

本発明の発光素子を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting element of the present invention. 本発明の発光素子を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting element of the present invention. 本発明の発光装置を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device of the present invention. 本発明の発光装置を説明する図。4A and 4B illustrate a light-emitting device of the present invention. 本発明の電子機器を説明する図。8A and 8B each illustrate an electronic device of the invention. 本発明の照明装置を説明する図。The figure explaining the illuminating device of this invention. 本発明の照明装置を説明する図。The figure explaining the illuminating device of this invention. 本発明の照明装置を説明する図。The figure explaining the illuminating device of this invention. 本発明の照明装置を説明する図。The figure explaining the illuminating device of this invention. 本発明の電子機器を説明する図。8A and 8B each illustrate an electronic device of the invention. 本発明の電子機器を説明する図。8A and 8B each illustrate an electronic device of the invention.

符号の説明Explanation of symbols

100 基板
101 第1の電極
102 第1の絶縁層
103 発光層
104 第2の絶縁層
105 第2の電極
100 Substrate 101 First electrode 102 First insulating layer 103 Light emitting layer 104 Second insulating layer 105 Second electrode

Claims (11)

一対の電極間に発光層を有し、
前記発光層は、三元化合物を含み、
前記三元化合物は、
CuまたはAgのうちいずれか一の元素と、
Al、Ga、またはInのうちいずれか一の元素と、
S、Se、またはTeのうちいずれか一の元素と、からなることを特徴とする発光素子。
Having a light emitting layer between a pair of electrodes,
The light emitting layer includes a ternary compound,
The ternary compound is
Any one element of Cu or Ag;
Any one element of Al, Ga, or In;
A light-emitting element comprising any one element of S, Se, and Te.
一対の電極間に発光層を有し、
前記発光層は、化合物ABC(但し、A=Cu、またはAg、B=Al、Ga、またはIn、C=S、Se、またはTe)を含むことを特徴とする発光素子。
Having a light emitting layer between a pair of electrodes,
The light-emitting layer includes a compound ABC 2 (where A = Cu, or Ag, B = Al, Ga, or In, C = S, Se, or Te).
一対の電極間に発光層を有し、
前記発光層に接して化合物ABC(但し、A=Cu、またはAg、B=Al、Ga、またはIn、C=S、Se、またはTe)を含む半導体層が設けられていることを特徴とする発光素子。
Having a light emitting layer between a pair of electrodes,
A semiconductor layer containing a compound ABC 2 (A = Cu, or Ag, B = Al, Ga, or In, C = S, Se, or Te) is provided in contact with the light-emitting layer. Light emitting element.
請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、
前記発光層は硫化物、酸化物、または窒化物を含むことを特徴とする発光素子。
In any one of Claims 1 thru | or 3,
The light-emitting element, wherein the light-emitting layer contains sulfide, oxide, or nitride.
請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、
前記発光層は硫化亜鉛を含むことを特徴とする発光素子。
In any one of Claims 1 thru | or 3,
The light emitting device, wherein the light emitting layer contains zinc sulfide.
請求項4または請求項5において、
前記発光層は、マンガン(Mn)、銅(Cu)、サマリウム(Sm)、テルビウム(Tb)、エルビウム(Er)、ツリウム(Tm)、ユーロピウム(Eu)、セリウム(Ce)、プラセオジウム(Pr)、のいずれか1種又は2種以上の元素を含むことを特徴とする発光素子。
In claim 4 or claim 5,
The light emitting layer includes manganese (Mn), copper (Cu), samarium (Sm), terbium (Tb), erbium (Er), thulium (Tm), europium (Eu), cerium (Ce), praseodymium (Pr), A light-emitting element comprising any one or more elements.
請求項6において、
前記発光層は、フッ素(F)、塩素(Cl)のいずれか1種又は2種の元素を含むことを特徴とする発光素子。
In claim 6,
The light-emitting layer includes one or two elements of fluorine (F) and chlorine (Cl).
請求項4または請求項5において、
前記発光層は、アクセプター準位を形成する不純物元素を含むことを特徴とする発光素子。
In claim 4 or claim 5,
The light-emitting element, wherein the light-emitting layer includes an impurity element that forms an acceptor level.
請求項4または請求項5において、
前記発光層は、ドナー準位を形成する第1の不純物元素及びアクセプター準位を形成する第2の不純物元素を含むことを特徴とする発光素子。
In claim 4 or claim 5,
The light-emitting layer includes a first impurity element that forms a donor level and a second impurity element that forms an acceptor level.
請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の発光素子と、前記発光素子の発光を制御する制御手段とを有する発光装置。 A light emitting device comprising: the light emitting element according to claim 1; and a control unit that controls light emission of the light emitting element. 表示部を有し、
前記表示部は、請求項1乃至請求項9のいずれか一項に記載の発光素子と前記発光素子の発光を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする電子機器。
Having a display,
An electronic apparatus comprising: the light emitting element according to claim 1; and a control unit that controls light emission of the light emitting element.
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