JP2007128030A - ペリクル用収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】摩耗粉を低減できるペリクル用収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクル膜６と当該ペリクル膜６を支持する支持枠７とからなるペリクル５を輸送するためのペリクル用収納容器１であって、トレイ３とその蓋となるカバー２と、トレイ３とカバー２の外側または内側において、トレイ３とカバー２との隙間を塞ぐ閉塞部材４とを備え、閉塞部材４における少なくとも上記トレイまたは上記カバーに接する接触部がウレタンエラストマーからなるペリクル用収納容器１としている。
【選択図】図６

Description

本発明は、ペリクル膜とペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器に関する。

半導体回路パターンの製造工程の一部であるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスク上に異物が付着すると、その異物のパターンが転写され、半導体チップの多くを不良品としてしまう危険性がある。このため、従来からフォトマスクの防塵を目的に、ペリクルが用いられている。

ペリクルは、一般的に、ニトロセルロース等の透明な高分子膜からなる厚さ約１０ミクロン程度のペリクル膜と、それを一方の周端面にて支持する厚さ数ミリ程度の支持枠とから構成されている。支持枠におけるペリクル膜と反対側の周端面には、フォトマスクに支持枠を固定するための剥離シート付きの粘着材が備えられている。粘着材は、ペリクルをフォトマスク上に配置した際にフォトマスクと支持枠との間に隙間ができないよう、均一の厚みをもって備え付けられている。

フォトマスクに支持枠を固定する際には、フォトマスクの上方にペリクル膜が配置されるようにペリクルをセッティングし、剥離シートを剥がして粘着材を介して支持枠をフォトマスクに固定して、フォトマスク上に異物が入ることを防止するようにしている。

また、近年、ペリクルは、液晶表示体の製造工程におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクの防塵手段としても多用されてきている。液晶表示体は、シリコンウェハに比べて大きな面積を有することから、フォトマスクも大型化している。これに伴いペリクル膜も大型化してきており、１０００ｍｍ×１０００ｍｍ以上の大型ペリクル膜も多く使用されている。

一般に、ペリクルを製造元から使用者に輸送するには、樹脂製のペリクル用収納容器が用いられる。ペリクル用収納容器は、主に、ペリクルを載置するトレイと、そのトレイの上から被せる蓋とから構成される。トレイと蓋とを固定する方法としては、例えば、両者の外周部を互いに密着する方向に挟みつける固定部品（クリップ）で固定する方法が知られている（特許文献１を参照。）。
特開平７−１４２５６２号公報（段落番号００１５、図１等）

従来から使用されるクリップは、ポリプロピレン製あるいはポリエチレン製のものであり、トレイと蓋とを挟みつける保持力、クリップ自身の強度の点で優れた特性を有している。しかし、ポリプロピレン製あるいはポリエチレン製のクリップを使用する場合、トレイと蓋との分離および嵌合の度にトレイおよび蓋と擦れ合い、トレイおよび蓋との摩擦により摩耗粉が生成することも危惧される。このことから、かかる摩耗粉をより少なくするためのペリクル用収納容器が求められていた。

本発明は、上記課題に鑑み、トレイおよび蓋とクリップとの摩擦により生成する摩耗粉を低減できるペリクル用収納容器の提供を目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、トレイとその蓋となるカバーと、トレイとカバーの外側または内側においてトレイとカバーとの隙間を塞ぐ閉塞部材とを備え、その閉塞部材における少なくともトレイまたはカバーに接する接触部がウレタンエラストマーからなるペリクル用収納容器としている。このため、トレイおよびカバーと閉塞部材との間の摩擦により生成する摩耗粉を低減できる。

また、別の本発明は、閉塞部材を、トレイとカバーの内側に配置され、トレイおよびカバーの各対向面の少なくともいずれか一方の面に備えられるウレタンエラストマー製のシール部材としたペリクル用収納容器としている。このように、トレイとカバーの隙間にウレタンエラストマー製のシール部材が挟持されているので、摩耗粉を低減でき、かつ当該隙間から異物が入ってくる危険性も低減できる。

また、別の本発明は、トレイとカバーを挟持して固定するクリップを、さらに備えたペリクル用収納容器としている。このため、閉塞部材がトレイとカバーとを強固に挟持する役割を有しない場合であっても、クリップを用いることによって、トレイとカバーに囲まれた空間内に外部から異物が入る危険性を低減できる。一方、閉塞部材がトレイとカバーを強固に挟持する役割を有する場合には、より確実に異物の侵入を低減できる。

また、別の本発明は、ウレタンエラストマーが、主なポリオールとしてポリエーテルポリオールを使用して製造されたペリクル用収納容器としている。このため、閉塞部材の一部または全部が空気中の水分によって加水分解する可能性を低くすることができ、ペリクル用収納容器を長期にわたって使用できる。

また、別の本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、トレイと、その蓋となるカバーと、トレイとカバーとを挟持して固定するクリップとを備え、クリップを、ウレタンエラストマーからなるものとしたペリクル用収納容器としている。このため、トレイおよびカバーとクリップとの間の摩擦により生成する摩耗粉を低減できる。

また、別の本発明は、先の各発明におけるクリップを、そのショアー硬度がＡ８０以上のウレタンエラストマーからなるものとしたペリクル用収納容器とするようにしている。このため、クリップの強度がより高くなり、挟持力をより長期間保持できる。硬度の調整は、ポリオールと鎖延長剤の比率を変化させることで行う。

また、別の本発明は、先の各発明におけるクリップを、主なポリオールとしてポリエーテルポリオールを使用して製造されるウレタンエラストマーからなるものとしたペリクル用収納容器とするようにしている。このため、より長期間、保持力を維持可能なクリップとすることができる。ポリエーテルポリオールを主に用いて製造されるエラストマーは、ポリエステルを主に用いて製造されるエラストマーに比べて、加水分解されにくい。これは、エステル結合が加水分解しやすいからである。したがって、クリップが空気中の水分によって加水分解する可能性を低くすることができ、ペリクル用収納容器を長期にわたって使用できる。

本発明に係るペリクル用収納容器を構成するトレイとカバーとの隙間を塞ぐ閉塞部材（クリップ、シール部材を包含する広義の部材）は、ウレタン結合を有するゴム状弾性体であるウレタンエラストマーから成る。ウレタンエラストマーは、ポリオール（通常、ポリエーテルまたはポリエステル）とイソシアネート（Ｒ−Ｎ＝Ｃ＝Ｏ）とを反応させて製造される、ウレタン結合（−ＮＨ−ＣＯ−Ｏ−）を持つエラストマーである。ウレタンエラストマーの化学式は、一般的に、−（Ｏ−Ｒ’−ＯＣＯ−ＮＨ−Ｒ−ＮＨＣＯ）_ｎ−で表される。この化学式中、Ｒ’は、通常、ポリエーテルまたはポリエステルである。

ポリオールとしてポリエーテルポリオール等のポリエーテルを用いて製造されるウレタンエラストマーは、ポリエーテル系ウレタンエラストマーといい、ポリオールとしてポリエステルポリオール等のポリエステルを用いて製造されるウレタンエラストマーは、ポリエステル系ウレタンエラストマーという。ただし、ポリエーテルおよびポリエステル以外のポリオールとして、ヒドロキシ末端ポリブタジエン及び部分的／完全に水素添加した誘導体、ポリカプロラクトンポリオール、ポリカーボネートポリオール等を用いて製造されるウレタンエラストマーも、本発明に係るペリクル用収納容器に用いられる閉塞部材の材料として用いることができる。

本発明に係るペリクル用収納容器を構成するトレイおよびカバーの材料には、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂（アクリロニトリル、ブタジエンおよびスチレンの３種類の単量体からなる共重合体であり、以後、「ＡＢＳ樹脂」という。）の他、ポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂等を用いることができ、特に、ＡＢＳ樹脂を用いるのがより好ましい。ただし、上述の樹脂は一例に過ぎず、他の樹脂材料を採用しても良い。

ウレタンエラストマーは、ＯＨ基を末端に持つポリオールあるいは鎖延長剤と、ＮＣＯ基を持つジイソシアネートとを重合することによって製造され、ポリオールとジイソシアネート（ＯＣＮ−Ｒ−ＮＣＯ）との重合によって形成されるソフトセグメント（−Ｏ〜Ｏ−ＣＯ−ＮＨ−Ｒ−ＮＨ−ＣＯ−）_ｎと、鎖延長剤（ＨＯ−（ＣＨ_２）_ｎ−ＯＨ）とジイソシアネート（ＯＣＮ−Ｒ−ＮＣＯ）との重合によって形成されるハードセグメント（−Ｏ−（ＣＨ_２）_ｎ−Ｏ−ＣＯ−ＮＨ−Ｒ−ＮＨ−ＣＯ−）_ｎとから構成されている。一般的に、ポリマー鎖は、類似した構造が集まりやすい性質を有するため、上記２種類のセグメントは、それぞれ集合した状態で存在する。

閉塞部材を含めたペリクル用収納容器は、ペリクルへの塵、微粒子等の付着を防止すべく、純粋で洗浄される。この際、閉塞部材の材料にエステル結合が含まれていないほど、加水分解しにくくなり、長期間の使用に耐える。なお、ポリエーテルポリオールを主に用いて製造されるウレタンエラストマーは、上述のポリエーテル系ウレタンエラストマーに限定されず、ポリエーテルポリオールが主であれば、ポリエステルポリオールを含めて製造されたウレタンエラストマーも含むように広義に解釈される。本発明に係るペリクル用収納容器は、好適には真空成形にて製造される。ここで、「真空成形」とは、軟化状態の樹脂を金型に配置して、その樹脂と金型との間の空間を真空にすることによって、樹脂を金型に吸い付けて成形する方法をいい、金型への樹脂の供給方法は問わない。したがって、シート形状の樹脂を金型に配置したり、あるいは溶融状態の樹脂を金型に吐出しても良い。真空成形の例としては、雌型を用いるストレート法、雄型によるドレープ法、樹脂シートを半球状にふくらませてその中に雄型を入れて成形するエアスリップ法、エアスリップ法で用いられる雄型の代わりに雌型を用いるリバースドロー法、雌型上にクランプした樹脂シートをプラグで雌型に突き降ろし、樹脂シートを予張して真空にひく補助プラグ法などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、真空成形以外に、樹脂側から金型方向にガス圧を及ぼして成形する圧空成形、当該圧空成形と真空成形の両方を組み合わせた圧空真空成形によって製造することもできる。また、真空成形、圧空成形、圧空真空成形以外の成形方法を採用しても良い。

本発明によれば、トレイおよび蓋と閉塞部材との摩擦により生成する摩耗粉を低減できるペリクル用収納容器となる。

以下、本発明に係るペリクル用収納容器の好適な各実施の形態について、図面を参照しながら詳述するが、本発明はこれに限定されるものではない。

（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るペリクル用収納容器の分解斜視図である。また、図２は、図１に示すペリクル用収納容器にクリップを装着する状態を示す斜視図である。

図１および図２に示すように、ペリクル用収納容器１は、トレイ３と、その蓋であるカバー２とを備えている。カバー２とトレイ３とは、互いの外周部において重ね合わせるように接合できる構造を有している。ペリクルをペリクル用収納容器１内に収納して輸送する際には、カバー２とトレイ３の両外周部に、当該外周部を挟持して固定するためのクリップ４が装着される。本実施の形態では、カバー２およびトレイ３は共に矩形の凹状体としているので、クリップ４は、カバー２とトレイ３とが密着する四辺に装着できるように、４個用意される。ただし、四辺に各１個のクリップ４を装着せずに、各辺に複数のクリップを装着したり、各辺毎の装着個数を変えたり、一部の辺にクリップを装着しなくてもよい。

クリップ４は、カバー２とトレイ３との両外周部を挟持する部分がへこむ凹形状を有している。クリップ４は、ポリエーテルポリオールおよび鎖延長剤と、ジイソシアネートとを重合させて製造したウレタンエラストマーの成形体である。クリップ４の材料をウレタンエラストマーとすることにより、クリップ４と、ＡＢＳ樹脂製のトレイ３およびカバー２との着脱を繰り返しても、摩耗粉等が発生しにくい。したがって、ペリクル用収納容器１内への摩耗粉の混入の危険性がほとんどなく、よってペリクルの汚染の危険性が低くなる。

なお、カバー２とトレイ３とをウレタンエラストマーあるいはそれより低硬度の材料で製造することは理論的には可能ではある。しかし、ペリクル用収納容器の材料は、ウレタンエラストマーの硬度以上の硬度を持つ材料でなければ実用に耐えない。したがって、クリップ４は、常に、カバー２およびトレイ３よりも低硬度の材料になる。この結果、カバー２およびトレイ３がクリップ４との摩擦により削れる危険性はほとんどなくなる。

また、ウレタンエラストマーは、それより高い硬度を持つカバー２およびトレイ３との間で摩擦が生じても、削れにくい。したがって、ペリクル用収納容器１内へのクリップ４の摩耗粉の混入の危険性がほとんどなく、よってペリクルの汚染の危険性が低くなる。

ウレタンエラストマーの耐摩耗性を調べるために、ウレタンエラストマー、オレフィン系エラストマー、軟質塩化ビニルおよび天然ゴムの４種材料の摩擦減量テーパー式Ｈ１８摩擦輪を使用した摩耗試験を行った。その結果、上記材料の各摩耗減量は、それぞれ、３０〜６０ｍｇ、約３４０ｍｇ、約４８５ｍｇおよび２８０ｍｇであった。この結果から、ウレタンエラストマーが極めて耐摩耗性に優れた材料であることがわかった。

第１の実施の形態に係るペリクル用収納容器１に使用するクリップ４の原料であるポリエーテルポリオールは、同じ原料となる鎖延長剤よりも重量比率が高い。ポリエーテルポリオールと鎖延長剤との重量比率を調整することにより、ウレタンエラストマーのショアー硬度を変化させることができる。ポリエーテルポリオールの重量比率を高くするほど、ウレタンエラストマー中のソフトセグメントの比率が高くなり、ショアー硬度も低くなる。

第１の実施の形態では、クリップ４のショアー硬度は、約Ａ９０である。ただし、ショアー硬度は、Ａ９０に限定されるものではない。ショアー硬度をＡ８０以上とすると、クリップ４の強度がより高くなり、挟持力をより長期間保持できる。

カバー２およびトレイ３は、元板の厚さが約３ｍｍのＡＢＳ樹脂を原料とし、真空成形用金型を用いた真空成形法により製造される。ただし、ＡＢＳ樹脂以外の樹脂を用いても良い。さらに、元板の厚みは３ｍｍに限定されず、３ｍｍより薄いあるいは３ｍｍを超える板状の樹脂を成形してもよい。すなわち、ペリクル用収納容器１の大きさは、特に限定されない。

図３は、図２に示すペリクル用収納容器１にクリップ４を装着した状態において、Ａ−Ａ線にて切断した際の断面図である。

カバー２は、トレイ３と対向する側に開口部を有する凹状体である。カバー２は、平面形状のカバー天面２０と、当該カバー天面２０から開口方向に広がるように筒状に形成される側面２１と、当該側面２１から水平に外方向に延出される水平面２２と、当該水平面２２から開口方向に広がるように筒状に形成される側面２３と、当該側面２３から水平に外方向に延出される水平面２４と、当該水平面２４から略垂直上向きに延びる垂直面２５と、当該垂直面２５から水平に外方向に延出される水平面２６とを備えている。

一方、トレイ３は、カバー２と対向する側に、丘を形成すると共に開口部を有する凹状体である。トレイ３は、側面２１の開口面積よりも大きい平面形状のトレイ底面３０と、当該トレイ底面３０からその周囲にカバー２と逆側に下方傾斜させた斜面３１と、当該斜面３１から水平に外方向に延出される水平面３２と、当該水平面３２から略垂直上向きに延びる垂直面３３と、当該垂直面３３から水平に外方向に延出される水平面３４とを備えている。

カバー２の水平面２２とトレイ底面３０とは、上下方向に対向する重複部分を有しており、この部分で、後述するペリクルの支持枠が挟持される。また、カバー２の水平面２４、垂直面２５および水平面２６とから構成されるクランク形状部分は、トレイ３の水平面３２、垂直面３３および水平面３４から構成されるクランク形状部分とほぼ同じ形状であり、カバー２側のクランク形状部分の下面がトレイ３側のクランク形状部分の上面と密着可能となっている。カバー２の水平面２６とトレイ３の水平面３４とは、上述のクリップ４で挟持されて固定される。

図４は、図３に示すペリクル用収納容器１に収納するペリクル５を図２に示すＡ−Ａ線で切断した際の断面図である。

ペリクル５は、ニトロセルロース等の材質からなる厚さ１０ミクロン以下のペリクル膜６を、四角枠形状の支持枠７の一方の端面（図４における上面）に展張して張り付けた構成を有している。支持枠７の高さは、約５ｍｍである。ただし、ペリクル膜５の材質および厚さならびに支持枠７の高さは、上記に限定されるものではない。

図４におけるＸで示される部分の拡大図に示すように、支持枠７におけるペリクル膜６と反対側の周端面（底面）には、粘着材８が備えられている。粘着材８の表面には、通常、薄い剥離シート（不図示）が貼られている。ペリクル５を使用する場合には、当該剥離シートを粘着材８から剥がして、粘着力を発揮し得る状態としてから、支持枠７をフォトマスクに貼り付けて固定する。

図５は、図３に示すペリクル用収納容器１内に、図４に示すペリクル５を収納した状態を示す図である。

ペリクル５は、その支持枠７の底面をトレイ底面３０に載置し、支持枠７の上面をカバー２の水平面２２に接触させた状態で、ペリクル用収納容器１内に収納される。このように、支持枠７の高さ方向をカバー２とトレイ３とで挟持した状態にて輸送されるので、ペリクル５がペリクル用収納容器１内で動く危険性は低くなる。

また、上述のクリップ４以外の形態を有するクリップを採用することもできる。例えば、カバー２の垂直面２５とトレイ３の垂直面３３とを挟持するクリップ、カバー２の水平面２４とトレイ３の水平面３２とを挟持するクリップ、カバー２の水平面２６とトレイ３の水平面３２とを挟持するクリップ、あるいはカバー天面２０とトレイ底面３０とを挟持するクリップを採用してもよい。

また、直線形状の４つのクリップ４を採用する以外に、１つの直線形状のクリップ４と、３つの直線形状のクリップ４を一体化したクリップとを採用してもよい。さらに、カバー２とトレイ３とを接合した状態において、互いの４つの角部のみを挟持するクリップを採用してもよい。このように、クリップは、カバー２とトレイ３とを密着させる方向に固定させる部材であれば、その個数および形状は問わない。

図６は、図１〜図５に示す形態と異なる形態を持つペリクル用収納容器１の一例を示す図である。

なお、図６は、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断した際の断面図を示している。図６では、クリップ４は、見やすくするため白抜きで示している。また、図７は、図６に示すペリクル用収納容器１に用いられるクリップ４の拡大斜視図である。

図６に示すペリクル用収納容器１は、図１〜図５に示すペリクル用収納容器１と異なり、カバー２の垂直面２５からトレイ３の水平面３２までを覆うように接して、カバー２とトレイ３とを狭持するクリップ４を備えている。また、図７に示すように、クリップ４は、図２で示したクリップ４と異なり、カバー２とトレイ３との各辺につき所定間隔おきに複数箇所で狭持する比較的短い長さを有している。

図７に示すクリップ４は、平板４１と、平板４１からわずかに曲げた平板４２と、平板４２から平板４２を曲げた方向と同じ方向に略直角に曲げた平板４３とを備え、平板４１と平板４２との曲部にその内側に突出する凸部４４を、また平板４３の先端に平板４２と略平行となる方向に突出する凸部４５を、それぞれ有している。また、平板４１の内側（凸部４４のある側）には、平板４１と略垂直に伸びる平板４６が備えられている。平板４６には、平板４１と平行よりやや内側に向かって伸びる平板４７が備えられている。平板４７は、平板４１とほぼ同じ長さであり、その先端に、凸部４４と対向するように凸部４８を有している。

このような形態のクリップ４を用いてカバー２とトレイ３を挟持するには、平板４７と平板４１との間を拡げ、かつ平板４２を平板４１と一直線になる方向に拡げて、カバー２とトレイ３との端部に被せる。その後、クリップ４は、その復元力で元の形状にほぼ戻る。クリップ４は、カバー２およびトレイ３よりも弾性に富む材質から成るため、カバー２およびトレイ３を合わせた部分の形状に沿って、カバー２とトレイ３とを狭持する。

このように、カバー２とトレイ３とを比較的広い面積にて狭持可能なクリップ４を採用すると、ペリクル用収納容器１の狭持力を高めることができる。また、クリップ４の長さは、ペリクル用収納容器１の各辺を部分的に狭持する長さとしているので、クリップ４の小型化を図ることができる。

（第２の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第２の実施の形態について、説明する。

図８は、第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器１を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断した際の断面図を示している。また、図９は、図８に示すペリクル用収納容器１に用いられる閉塞部材の一例である複合クリップ５０の拡大斜視図である。

図８および図９に示す複合クリップ５０は、図６および図７に示すクリップ４と同じ形状を有する。しかし、複合クリップ５０とクリップ４とは、次の点で異なっている。クリップ４は、ウレタンエラストマーのみで構成されている。これに対して、複合クリップ５０は、金属あるいは樹脂と、ウレタンエラストマーとから構成されている。具体的には、複合クリップ５０の骨格部分である本体５１は、金属あるいは樹脂で構成され、カバー２およびトレイ３に接触して押さえている接触部５２は、ウレタンエラストマーにて構成されている。

複合クリップ５０は、上記形態以外に、本体５１の内面全体にウレタンエラストマー製のシートを貼り付け、そのシートとカバー２およびトレイ３との接触部分のみを突出させても良い。本体５１と接触部５２との接合は、接着、溶着、嵌め込み等のいずれの方法で行っても良い。

複合クリップ５０は、カバー２およびトレイ３とを押さえる接触部分にのみウレタンエラストマーからなる接触部５２を採用している。このような形態であっても、第１の実施の形態に係るペリクル用収納容器１と同様、摩耗粉の発生を低減できる。加えて、本体５１を金属製あるいは樹脂製とすることにより、複合クリップ５０の挟持力をより高めることも可能である。

（第３の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第３の実施の形態について、説明する。

図１０は、ペリクル用収納容器１のカバー２の端部とトレイ３の端部に、閉塞部材の一例であるカバーシート６０を覆い、その上からクリップ６１で固定する状況を示す部分拡大斜視図である。図１１は、第３の実施の形態に係るペリクル用収納容器１を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断したときの、図１０に示す部分の断面図である。なお、図１１では、見易さを考慮して、カバーシート６０を白抜きで示している。

第３の実施の形態に係るペリクル用収納容器１は、カバー２とトレイ３の端部をウレタンエラストマー製のカバーシート６０にて覆い、その外側からクリップ６１を装着する構造を採用している。このように、カバー２およびトレイ３と直接接触する部分にウレタンエラストマー製のカバーシート６０を使用しているため、摩耗粉の発生を低減する効果が得られる。加えて、クリップ６１を金属製あるいは樹脂製とすることにより、カバー２とトレイ３を固定する力をより高めることも可能である。

（第４の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル用収納容器の第４の実施の形態について、説明する。

図１２は、ペリクル用収納容器１のカバー２とトレイ３の接触面に閉塞部材の一例であるシール部材７０を配し、カバー２とトレイ３の端部をクリップ４で固定する状況を示す部分拡大斜視図である。クリップ４の構造は、図７に示すクリップ４と同じ構造である。図１３は、第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器１を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断したときの、図１２に示す部分の断面図である。なお、図１３では、見易さを考慮して、シール部材７０を白抜きで示している。

図１２および図１３に示すように、第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器１は、カバー２とトレイ３との隙間にウレタンエラストマー製のシール部材７０を介在させて、シール部材７０を挟むようにカバー２の内面とトレイ３の内面を重ねる構造を有している。このような構造の採用により、クリップ４をウレタンエラストマー製とするか否かにかかわらず、ペリクル用収納容器１の内部への摩耗粉の侵入を防止することができる。クリップ４を金属あるいは樹脂で構成すると、カバー２とトレイ３を固定する力をより高めることも可能である。また、固定するシール部材７０をトレイ３に接着し、シール部材７０におけるカバー２との接触面に凹凸を形成することにより、カバー２とシール部材７０との接触面積を小さくすることができる。この結果、シール部材７０およびカバー２からの摩耗粉を低減できる。

なお、シール部材７０をカバー２に接着し、シール部材７０におけるトレイ３との接触面に凹凸を形成するようにしても良い。また、シール部材７０をカバー２またはトレイ３に固定することなく、カバー２とトレイ３の間にシール部材７０を挟んで、クリップ４にて固定するようにしても良い。また、シール部材７０を、カバー２とトレイ３の両水平面に介在させるのではなく、当該水平面から上方に立ち上がった部分に介在させるようにしても良い。さらに、シール部材７０の表面に凹凸を形成する形態は、必須の形態ではない。

本発明は、ペリクルを輸送するための収納容器を製造あるいは使用する産業において利用することができる。

本発明の実施の形態に係るペリクル用収納容器の分解斜視図である。 図１に示すペリクル用収納容器にクリップを装着する状況を示す斜視図である。 図２に示すペリクル用収納容器にクリップを装着した状態において、Ａ−Ａ線にて切断した際の断面図である。 図３に示すペリクル用収納容器に収納するペリクルを、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断した際の断面図である。 図３に示すペリクル用収納容器内に、図４に示すペリクルを収納した状態の断面図である。 図１〜図５に示す形態と異なる形態を持つペリクル用収納容器の一例を示す図であり、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断した際の断面図である。 図６に示すペリクル用収納容器に用いられるクリップの拡大斜視図である。 本発明の第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断した際の断面図である。 図８に示すペリクル用収納容器に用いられる閉塞部材（複合クリップ）の拡大斜視図である。 本発明の第３の実施の形態に係るペリクル用収納容器のカバーの端部とトレイの端部に、閉塞部材（カバーシート）を覆い、その上からクリップで固定する状況を示す部分拡大斜視図である。 本発明の第３の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断したときの、図１０に示す部分の断面図である。 本発明の第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器のカバーとトレイの接触面に、閉塞部材（シール部材）を配し、カバーとトレイの端部をクリップで固定する状況を示す部分拡大斜視図である。 本発明の第４の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断したときの、図１２に示す部分の断面図である。

符号の説明

１ ペリクル用収納容器
２ カバー
３ トレイ
４ クリップ（閉塞部材の一例）
５ ペリクル
６ ペリクル膜
７ 支持枠
８ 粘着材
２０ カバー天面
２１ 側面
２２ 水平面
２３ 側面
２４ 水平面
２５ 垂直面
２６ 水平面
３０ トレイ底面
３１ 斜面
３２ 水平面
３３ 垂直面
３４ 水平面
５０ 複合クリップ（閉塞部材の一例）
５２ 接触部
６０ カバーシート（閉塞部材の一例）
６１ クリップ
７０ シール部材（閉塞部材の一例）

Claims (7)

1. ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、
   トレイと
   その蓋となるカバーと、
   上記トレイと上記カバーの外側または内側において、上記トレイと上記カバーとの隙間を塞ぐ閉塞部材とを備え、
   上記閉塞部材における少なくとも上記トレイまたは上記カバーに接する接触部がウレタンエラストマーからなることを特徴とするペリクル用収納容器。
2. 前記閉塞部材は、前記トレイと前記カバーの内側に配置され、前記トレイおよび前記カバーの各対向面の少なくともいずれか一方の面に備えられるウレタンエラストマー製のシール部材であることを特徴とする請求項１に記載のペリクル用収納容器。
3. 前記トレイと前記カバーを挟持して固定するクリップを、さらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載のペリクル用収納容器。
4. 前記ウレタンエラストマーは、主なポリオールとしてポリエーテルポリオールを使用して製造されるものであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のペリクル用収納容器。
5. ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、
   トレイと
   その蓋となるカバーと、
   上記トレイと上記カバーを挟持して固定するクリップとを備え、
   上記クリップは、ウレタンエラストマーからなることを特徴とするペリクル用収納容器。
6. 前記クリップは、そのショアー硬度がＡ８０以上のウレタンエラストマーからなることを特徴とする請求項５に記載のペリクル用収納容器。
7. 前記クリップは、主なポリオールとしてポリエーテルポリオールを使用して製造されるウレタンエラストマーからなることを特徴とする請求項５または６に記載のペリクル用収納容器。

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