JP2007185640A - Foreign matter prevention device - Google Patents
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Abstract
【課題】帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受けからの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して製品への異物付着を抑制することができる異物付着防止装置を提供する。
【解決手段】帯状可撓性素材12を複数のローラ14、14…で搬送する搬送ラインにおける異物付着防止装置10において、帯状可撓性素材12の両端位置近傍に帯状可撓性素材12の搬送方向Aに沿って立設され、その下端と帯状可撓性素材12との間に隙間Zが形成された一対の仕切り板18、18と、一対の仕切り板18、18の間に清浄空気を供給して隙間Zから排出する気流を形成する清浄空気供給手段16と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】 図1An object of the present invention is to prevent foreign matter from adhering to a product against dust generation from a bearing of a roller that conveys a belt-like flexible material or dust from the belt-like flexible material itself from an end of the belt-like flexible material. Provided is an apparatus for preventing foreign matter adhesion.
In a foreign matter adhesion prevention apparatus 10 for conveying a strip-shaped flexible material 12 by a plurality of rollers 14, 14, the strip-shaped flexible material 12 is transported in the vicinity of both end positions of the strip-shaped flexible material 12. A pair of partition plates 18 and 18 erected along the direction A and having a gap Z formed between the lower end thereof and the strip-shaped flexible material 12, and clean air is supplied between the pair of partition plates 18 and 18. And clean air supply means 16 for forming an air flow that is supplied and discharged from the gap Z.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、フィルム、薄板状の金属などの帯状可撓性素材を形成又は加工する装置の搬送ラインに備えられ、帯状可撓性素材への異物付着を抑制する異物付着防止装置に係り、特に、帯状可撓性素材からの発塵に対しても異物付着を抑制することができる異物付着防止装置に関する。 The present invention relates to a foreign matter adhesion preventing device that is provided in a transport line of an apparatus for forming or processing a strip-like flexible material such as a film or a thin plate-like metal, and suppresses foreign matter adhesion to the strip-like flexible material. The present invention also relates to a foreign matter adhesion preventing apparatus capable of suppressing foreign matter adhesion even when dust is generated from a strip-shaped flexible material.
近年、電子産業分野における半導体や液晶ディスプレイ、医薬品分野における医薬用包装容器、食品分野における充填容器などの製品を製造するにあたり、フィルムや薄板状の金属などの帯状可撓性素材を搬送しながら形成・加工する工程を有することが多い。この形成・加工工程は、製品の品質確保、異物混入を防止するためクリーンルームやクリーンブースを用いた清浄空間内に設けられている。 In recent years, when manufacturing products such as semiconductors and liquid crystal displays in the electronics industry, pharmaceutical packaging containers in the pharmaceutical field, filling containers in the food field, etc., it is formed while transporting band-like flexible materials such as films and thin metal sheets・ There are many steps to process. This forming / processing step is provided in a clean space using a clean room or a clean booth in order to ensure product quality and prevent foreign matter from entering.
図5は、帯状可撓性素材を形成・加工する装置において、帯状可撓性素材2を搬送する複数個のローラ4、4…と帯状可撓性素材2を示す斜視図である。帯状可撓性素材を形成・加工する装置は、製品を連続的に製造するため原材料供給側または製品側の一方または両方に帯状可撓性素材2を巻き取ったロールが配置されており、供給された材料を複数個の配置されたローラ4、4…により搬送しながら、形成工程及び/又は加工工程を通過し最終的に製品となる。特に、加工工程では、帯状可撓性素材表面への薬品塗布や乾燥、洗浄、浸漬、ラミネートなど、製造する製品により様々な加工が行われる。これらの工程における異物混入は、電子分野では製品不良(接触、絶縁不良)となり、医薬品、食品分野ではGMP(適正製造規範)、FDA(米国食品医薬品局)などのガイドラインにより規制の障害が発生する。 FIG. 5 is a perspective view showing a plurality of rollers 4, 4... That convey the belt-shaped flexible material 2 and the belt-shaped flexible material 2 in an apparatus for forming and processing the belt-shaped flexible material. An apparatus for forming and processing a strip-shaped flexible material is provided with a roll in which the strip-shaped flexible material 2 is wound on one or both of the raw material supply side and the product side in order to continuously produce products. While the formed material is conveyed by a plurality of arranged rollers 4, 4..., The material passes through a forming process and / or a processing process to finally become a product. In particular, in the processing step, various processing is performed depending on the product to be manufactured, such as chemical application to the surface of the belt-shaped flexible material, drying, washing, dipping, and laminating. Foreign matter contamination in these processes results in product defects (contact and insulation defects) in the electronic field, and in the pharmaceutical and food fields, regulatory obstacles occur due to guidelines such as GMP (Good Manufacturing Practice) and FDA (US Food and Drug Administration). .
異物混入防止のため利用されているクリーンルーム、クリーンブースでは、外部からの異物混入に対してはHEPAフィルタ吹き出し口からの気流により清浄空気を供給することや製造空間を他室よりも圧力を高めることにより塵境などの異物混入を防ぐことが行われている。従って、形成・加工工程を搬送される帯状可撓性素材に異物が付着するのをいかに防止するかが重要となる。 In clean rooms and clean booths that are used to prevent foreign matter contamination, clean air is supplied by the air flow from the HEPA filter outlet and the production space is made more pressurized than other rooms for foreign contamination. In order to prevent foreign substances such as dust from entering. Therefore, it is important how to prevent foreign matters from adhering to the belt-like flexible material conveyed through the forming / processing steps.
このような背景から、特許文献1には、走行するフィルムを、液体で濡らした弾性体で連続的に擦った後、該弾性体で擦った面に液体を噴射することで、表面に付着してしまった異物、ゴミ、塵等を除去できるフィルムの除塵装置が提案されている。
しかしながら、帯状可撓性素材をシート状に形成・加工する装置において、帯状可撓性素材を連続的に搬送するため複数個のローラ4、4…の軸受からの発塵や帯状可撓性素材1端部のこすれ等による帯状可撓性素材そのものからの発塵に対しては塵埃(異物)の除去ができない。そのため、これらの塵埃は、クリーンルーム、クリーンブースから吹出された気流に乗って風下の吸込口向かって流れることになるが、風下にフィルム、薄板状の金属などの帯状可撓性素材がある場合には、製品に異物として付着する問題点があった。 However, in an apparatus for forming and processing a strip-shaped flexible material into a sheet shape, in order to continuously convey the strip-shaped flexible material, dust is generated from the bearings of a plurality of rollers 4, 4,. Dust (foreign matter) cannot be removed from dust generated from the strip-shaped flexible material itself by rubbing one end. Therefore, these dusts flow in the airflow blown out from the clean room or clean booth and flow toward the leeward suction port, but when there is a strip-like flexible material such as a film or a thin plate-like metal in the leeward Has the problem of adhering to the product as foreign matter.
また、特許文献1の除塵装置は、フィルムに付着してしまったゴミ等の異物をフィルムから除去するものであり、本質的な解決策としては、異物が付着しないようにすることが必要である。 Moreover, the dust removal apparatus of patent document 1 removes foreign substances, such as the dust adhering to a film, from a film, and it is necessary to prevent a foreign substance from adhering as an essential solution. .
本発明は、このような事情により鑑みてなられたもので、帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受からの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して製品への異物付着を抑制することができる異物付着防止装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances. From the roller-shaped bearing that conveys the belt-shaped flexible material, dust generation from the roller-shaped flexible material itself or the belt-shaped flexible material itself. An object of the present invention is to provide a foreign matter adhesion preventing device capable of suppressing foreign matter adhesion to a product against dust generation.
請求項1に記載の発明は、前記目的を達成するために、帯状可撓性素材を複数のローラで搬送する搬送ラインにおける異物付着防止装置において、前記帯状可撓性素材の両端位置近傍に前記帯状可撓性素材の搬送方向に沿って立設され、その下端と前記帯状可撓性素材との間に隙間が形成された一対の仕切り板と、前記一対の仕切り板の間に清浄空気を供給して前記隙間から排出する気流を形成する清浄空気供給手段と、を備えたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is the foreign matter adhesion preventing apparatus in the transport line for transporting the belt-shaped flexible material with a plurality of rollers, and is located near both end positions of the belt-shaped flexible material. Clean air is supplied between the pair of partition plates that are erected along the conveyance direction of the strip-shaped flexible material and have a gap formed between the lower end thereof and the strip-shaped flexible material, and the pair of partition plates. And a clean air supply means for forming an air flow discharged from the gap.
請求項1によれば、帯状可撓性素材の両端位置近傍に、帯状可撓性素材の搬送方向に沿って立設され、その下端と帯状可撓性素材との間に隙間が形成された一対の仕切り板と、一対の仕切り板の間に洗浄空気を供給して隙間から排出する気流を形成する清浄空気供給手段を備えているので、清浄空気供給手段により帯状可撓性素材の中央部近辺に供給された清浄空気は拡散されず、帯状可撓性素材に向かい気流が形成され、帯状可撓性素材の左端部又は右端部と仕切り板との隙間から排出される。この清浄空気の気流により、ローラの軸受から発塵した塵埃等の異物や、帯状可撓性素材端部の搬送時の擦れ等により帯状可撓性素材そのものから発塵した塵埃等の異物が一対の仕切り板の間に侵入することがない。従って、一対の仕切り板で帯状可撓性素材の両端位置近傍を仕切れば、軸受からの発塵による塵埃等の異物や帯状可撓性素材の端が搬送時に擦れて帯状可撓性素材そのものからの発塵による塵埃等の異物が、帯状可撓性素材の中央側である製品部分に付着することを防止できる。よって、帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受からの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して製品への異物付着を抑制することができる異物付着防止装置を提供することができる。 According to the first aspect of the present invention, the belt-like flexible material is erected in the vicinity of both ends of the belt-like flexible material along the conveyance direction of the belt-like flexible material, and a gap is formed between the lower end thereof and the belt-like flexible material. Since the cleaning air is provided between the pair of partition plates and the pair of partition plates to form an air flow that is supplied from the gap and discharged from the gap, the clean air supply unit is provided near the center of the strip-shaped flexible material. The supplied clean air is not diffused, an air flow is formed toward the strip-shaped flexible material, and is discharged from the gap between the left end portion or the right end portion of the strip-shaped flexible material and the partition plate. This clean air stream causes a pair of foreign matter such as dust generated from the roller bearing, or a pair of foreign matter such as dust generated from the strip flexible material itself due to rubbing during conveyance of the end of the strip flexible material. There is no intrusion between the partition plates. Therefore, when the vicinity of both end positions of the strip-shaped flexible material is partitioned by a pair of partition plates, foreign matter such as dust due to dust generation from the bearings and the end of the strip-shaped flexible material are rubbed during transport from the strip-shaped flexible material itself. It is possible to prevent foreign matters such as dust due to the generation of dust from adhering to the product portion on the center side of the belt-like flexible material. Therefore, it is possible to prevent foreign matter from adhering to the product against dust generation from the roller bearing that conveys the belt-shaped flexible material or dust generation from the belt-shaped flexible material itself from the end of the belt-shaped flexible material. It is possible to provide an apparatus for preventing foreign matter adhesion.
請求項2に記載の発明は、請求項1の発明において、前記帯状可撓性素材はフィルム又は薄板状金属であることを特徴とする。 The invention described in claim 2 is characterized in that, in the invention of claim 1, the strip-shaped flexible material is a film or a thin plate metal.
請求項2によれば、帯状可撓性素材がフィルム又は薄板状金属である場合に本発明は特に有効である。 According to claim 2, the present invention is particularly effective when the belt-like flexible material is a film or a thin plate metal.
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2の発明において、前記一対の仕切り板と前記清浄空気供給手段は、前記帯状可撓性素材の下面側にも設けられていることを特徴とする。 The invention according to claim 3 is the invention according to claim 1 or 2, wherein the pair of partition plates and the clean air supply means are also provided on the lower surface side of the belt-shaped flexible material. To do.
請求項3によれば、一対の仕切り板と清浄空気供給手段を、帯状可撓性素材の下面側にも設けているので、帯状可撓性素材の片面に異物付着しても製造上問題のない製品だけでなく、帯状可撓性素材両面の異物付着を抑制することが必要な帯状可撓性素材から製造される製品への異物付着を抑制することができる。 According to the third aspect, since the pair of partition plates and the clean air supply means are also provided on the lower surface side of the belt-like flexible material, even if foreign matter adheres to one side of the belt-like flexible material, there is a problem in manufacturing. It is possible to suppress the adhesion of foreign matter to a product manufactured from a strip-shaped flexible material that is required to suppress the adhesion of foreign matter on both sides of the strip-shaped flexible material as well as a product that does not exist.
請求項4に記載の発明は、請求項1〜3のいずれか1の発明において、前記搬送ラインは、前記帯状可撓性素材を形成及び加工する装置に設けられることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to third aspects, the transport line is provided in an apparatus for forming and processing the strip-shaped flexible material.
請求項4によれば、搬送ラインが帯状可撓性素材を形成及び加工する装置に設けられているので、この場合、帯状可撓性素材を形成及び加工した製品への異物付着を有効に抑制することができる。 According to claim 4, since the conveying line is provided in the apparatus for forming and processing the strip-shaped flexible material, in this case, it is possible to effectively suppress the adhesion of foreign matter to the product formed and processed the strip-shaped flexible material. can do.
請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれか1の発明において、前記洗浄空気は、イオン成分を含む空気であることを特徴とする。 The invention according to claim 5 is the invention according to any one of claims 1 to 4, wherein the cleaning air is air containing an ionic component.
請求項5によれば、洗浄空気がイオン成分を含む空気であることで、帯状可撓性素材の帯電を防ぐことができる。 According to the fifth aspect, since the cleaning air is air containing an ionic component, charging of the belt-shaped flexible material can be prevented.
以上説明したように、本発明の異物付着防止装置によれば、帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受からの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して、製品への異物付着を抑制することができる。 As described above, according to the foreign matter adhesion preventing apparatus of the present invention, dust generation from the roller bearing that conveys the belt-like flexible material or the belt-like flexible material itself from the end of the belt-like flexible material itself. Foreign matter adhesion to the product can be suppressed against dust generation.
以下、添付図面に従って本発明に係る異物付着防止装置の好ましい実施の形態について詳説する。 Hereinafter, preferred embodiments of a foreign matter adhesion preventing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は本発明の異物付着防止装置を側面から見た概念図であり、図2は本発明の異物付着防止装置の斜視図である。図1及び図2から分かるように、帯状可撓性素材12は、複数個のローラ14、14…によって矢印の方向に搬送されている。尚、この搬送ラインは、縦方向に蛇行している例で示してある。また、搬送ラインにより搬送された帯状可撓性素材12の上方にはファンフィルタユニット16が設けられており、高性能フィルタにより空気中の塵埃を除去した清浄空気を吹き出すようになっている。
FIG. 1 is a conceptual view of a foreign matter adhesion preventing apparatus according to the present invention as viewed from the side, and FIG. 2 is a perspective view of the foreign matter adhesion preventing apparatus according to the present invention. As can be seen from FIGS. 1 and 2, the strip-shaped
搬送されている帯状可撓性素材12の左右両端部の上方には、その下端が帯状可撓性素材12とローラ14、14…に接触しないように搬送ラインの蛇行に沿った形状で、隙間Zが形成された一対の仕切り板18、18が天井15に取り付けられている。FFU16から供給される清浄空気Xは、この一対の仕切り板18、18により拡散されずに帯状可撓性素材12上面に向かい気流が形成される。帯状可撓性素材12上面に到達した清浄空気は、帯状可撓性素材12の端部と仕切り板18との隙間Zに向かう気流となる。尚、仕切り板は、帯状可撓性素材12が見えるように透明プラスチックであることが好ましい。
Above the left and right end portions of the strip-shaped
帯状可撓性素材12の端部と仕切り板18との隙間から排出された清浄空気Yは、ローラ14、14…の軸受からの発塵した塵埃や帯状可撓性素材12とローラ14、14…との接触により発塵した塵埃を、帯状可撓性素材12の端部と仕切り板18との隙間に向かう気流によって吹き飛ばすので、帯状可撓性素材12に塵埃が付着しない。従って、帯状可撓性素材12から製造される製品への塵埃の付着を抑制することができる。特に、複数のローラ14、14…を支持する軸受からの発塵は、帯状可撓性素材12の端部と仕切り板18との隙間から排出された清浄空気Yにより、帯状可撓性素材12の方向に流れないので、効果的に帯状可撓性素材から製造される製品への塵埃の付着を抑制することができる。
The clean air Y discharged from the gap between the end of the strip-shaped
また、本発明の別の実施形態を図3及び図4に示す。尚、図3及び図4の異物付着防止装置10’において図1及び図2の異物付着防止装置10と同一の部材について、同様の符号を附してその説明を省略する。
Another embodiment of the present invention is shown in FIGS. 3 and 4, the same members as those in the foreign matter
図3は本発明の別の実施形態の異物付着防止装置を示す側面から見た概念図であり、図4はこの異物付着防止装置の斜視図である。本実施形態である異物付着防止装置10’は、異物付着防止装置10において帯状可撓性素材12の下面側の異物付着防止も考慮したものである。即ち、帯状可撓性素材12に対する一対の仕切り板18、18の配置は同様であるが、搬送されている帯状可撓性素材12の左右両端部の下方にも、その上端が帯状可撓性素材12とローラ14、14…に接触しないように一対の仕切り板22、22が、搬送ラインの蛇行に沿った形状で隙間Z’を形成して床面19上に取り付けられている。そして、帯状可撓性素材12の下方には更に、洗浄空気を送風する吹出口20、20…を取り付けている。吹出口は、ダクトや配管などにより形成される。配管の吹出口20から供給される清浄空気X’は、一対の仕切り板22、22により拡散されずに帯状可撓性素材12下面に向かい気流が形成される。そして、帯状可撓性素材12下面に到達した清浄空気は、帯状可撓性素材12の端部と仕切り板22との隙間Z’に向かう気流となる。
FIG. 3 is a conceptual view of a foreign matter adhesion preventing apparatus according to another embodiment of the present invention viewed from the side, and FIG. 4 is a perspective view of the foreign matter adhesion preventing apparatus. The foreign matter
帯状可撓性素材12の端部と仕切り板22との隙間Z’から排出された清浄空気Y’は、ローラ14、14…の軸受からの発塵した塵埃や帯状可撓性素材12とローラ14、14…との接触により発塵した塵埃を、帯状可撓性素材12の端部と仕切り板22との隙間に向かう気流によって吹き飛ばす。
The clean air Y ′ discharged from the gap Z ′ between the end of the strip-shaped
従って、帯状可撓性素材の上方とともに下方にも一対の仕切り板と清浄空気供給手段を備えているので、帯状可撓性素材12の両面に塵埃が付着することを防ぐことができ、帯状可撓性素材から製造される製品への塵埃の付着を更に抑制することができる。
Therefore, since the pair of partition plates and the clean air supply means are provided on the lower side and the upper side of the strip-shaped flexible material, it is possible to prevent dust from adhering to both surfaces of the strip-shaped
また、帯状可撓性素材とローラ14、14…が接触搬送されることにより、帯状可撓性素材とローラ14、14…間、又は帯状可撓性素材と周囲雰囲気の空気間との摩擦によって発生する静電気による帯状可撓性素材への帯電は、供給洗浄空気にイオン成分を含ませることにより除電できる。
Further, the belt-like flexible material and the
2…帯状可撓性素材、4…ローラ、10,10’…異物付着防止装置、12…帯状可撓性素材、14…ローラ、15…天井、16…ファンフィルタユニット(清浄空気供給手段)、18…仕切り板、19…床面、20…吹出口、22…仕切り板、X,X’…吹出口から供給される清浄空気、Y,Y’…隙間から排出された清浄空気、Z,Z’…隙間
2 ... strip-shaped flexible material, 4 ... roller, 10, 10 '... foreign matter adhesion prevention device, 12 ... strip-shaped flexible material, 14 ... roller, 15 ... ceiling, 16 ... fan filter unit (clean air supply means), DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記帯状可撓性素材の両端位置近傍に前記帯状可撓性素材の搬送方向に沿って立設され、
その下端と前記帯状可撓性素材との間に隙間が形成された一対の仕切り板と、
前記一対の仕切り板の間に清浄空気を供給して前記隙間から排出する気流を形成する清浄空気供給手段と、を備えたことを特徴とする異物付着防止装置。 In the foreign matter adhesion preventing apparatus in the transport line for transporting the belt-shaped flexible material with a plurality of rollers,
It is erected along the conveying direction of the band-shaped flexible material in the vicinity of both ends of the band-shaped flexible material,
A pair of partition plates in which a gap is formed between the lower end and the strip-shaped flexible material;
A foreign matter adhesion preventing apparatus, comprising: a clean air supply unit configured to supply clean air between the pair of partition plates to form an air flow discharged from the gap.
The foreign matter adhesion preventing apparatus according to claim 1, wherein the cleaning air is air containing an ionic component.
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008298320A (en) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Clean booth and clean booth ventilation method |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08296876A (en) * | 1995-04-24 | 1996-11-12 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | Local clean space |
| JP2001151911A (en) * | 1999-11-30 | 2001-06-05 | Toppan Printing Co Ltd | Method for highly cleaning plastic film or sheet |
| JP2003214669A (en) * | 2002-01-25 | 2003-07-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | Clean booth |
| JP2005282953A (en) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | Differential pressure device |
-
2006
- 2006-01-16 JP JP2006007726A patent/JP2007185640A/en active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08296876A (en) * | 1995-04-24 | 1996-11-12 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | Local clean space |
| JP2001151911A (en) * | 1999-11-30 | 2001-06-05 | Toppan Printing Co Ltd | Method for highly cleaning plastic film or sheet |
| JP2003214669A (en) * | 2002-01-25 | 2003-07-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | Clean booth |
| JP2005282953A (en) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | Differential pressure device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008298320A (en) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Clean booth and clean booth ventilation method |
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