JP2007072034A - Photosensitive composition - Google Patents
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Abstract
【課題】良好な直線性を有し、剥がれにくく、残渣が少ないブラックマトリクスパターンを形成することができる感光性組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】感光性組成物の光重合開始剤として、下記の一般式(1)で示すようなフルオレン骨格とベンゾイルを有するオキシム系化合物を用いた。また、一般式(1)において、ベンゾイル部分を嵩高い基とした場合、現像後の加熱において昇華物の発生を抑制することが可能となることを見出した。
【化1】
An object of the present invention is to provide a photosensitive composition that can form a black matrix pattern that has good linearity, is difficult to peel off, and has few residues.
As a photopolymerization initiator of a photosensitive composition, an oxime compound having a fluorene skeleton and benzoyl represented by the following general formula (1) was used. Moreover, in General formula (1), when the benzoyl part was made into the bulky group, it discovered that it became possible to suppress generation | occurrence | production of a sublimation in the heating after image development.
[Chemical 1]
Description
本発明は、液晶ディスプレイパネルのブラックマトリクスを形成するための感光性組成物に関する。 The present invention relates to a photosensitive composition for forming a black matrix of a liquid crystal display panel.
液晶ディスプレイ等の表示体は、2枚の基板の間に液晶層を挟み、その2枚の基板の各々に対向して対となる電極を配置し、そして一方の基板の内側に液晶層と対面して、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)、及び黒色などの各画素からなるカラーフィルタ層が配置されている。そして、黒色の画素は、異なる色の混色を防止したり、電極のパターンを隠したりする役割があり、通常、R、G、B各色の画素を区画するようにマトリクス状に配され、ブラックマトリクスと言われている。 In a display body such as a liquid crystal display, a liquid crystal layer is sandwiched between two substrates, a pair of electrodes is arranged opposite to each of the two substrates, and the liquid crystal layer faces the inside of one substrate. Then, a color filter layer composed of pixels such as red (R), green (G), blue (B), and black is disposed. The black pixels play a role of preventing color mixture of different colors and hiding the electrode pattern, and are usually arranged in a matrix so as to partition the R, G, and B pixels. It is said.
一般に、カラーフィルタはリソグラフィ法により形成される。具体的には、感光性樹脂成分中に有機顔料、染料あるいはカーボンブラック等の着色剤を均一に分散もしくは溶解した組成物の塗布液を、基板上に塗布して乾燥した後、カラーフィルタを構成する各色のパターンに応じた露光を行う。次いでこれをアルカリ現像液などで現像処理して得られた画素パターンを加熱処理して、永久膜としての機械的強度を付与する。この工程をR、G、B各色毎に繰り返すことでカラーフィルタ層を形成する。 Generally, the color filter is formed by a lithography method. Specifically, a coating solution of a composition in which a colorant such as an organic pigment, dye or carbon black is uniformly dispersed or dissolved in a photosensitive resin component is applied on a substrate and dried, and then a color filter is formed. The exposure according to the pattern of each color to be performed is performed. Subsequently, the pixel pattern obtained by developing this with an alkali developer or the like is subjected to heat treatment to give mechanical strength as a permanent film. By repeating this process for each color of R, G, and B, a color filter layer is formed.
カラーフィルタのブラックマトリクスには、従来から蒸着したクロム薄膜をリソグラフィ法でパターン化したものが用いられてきた。このクロム薄膜からなるブラックマトリクスは、寸法精度が高く、信頼性も高い。しかしながらクロム薄膜を形成するためには、上記のように蒸着やスパッタといった真空製膜工程が必要である。基板の大型化には機会の大型化を伴うため、基板の大型化への対応が困難であった。 As a black matrix for a color filter, a conventionally deposited chromium thin film patterned by a lithography method has been used. This black matrix made of a chromium thin film has high dimensional accuracy and high reliability. However, in order to form a chromium thin film, a vacuum film forming process such as vapor deposition and sputtering is required as described above. Increasing the size of the substrate is accompanied by an increase in opportunities, and it has been difficult to respond to the increase in size of the substrate.
またクロム薄膜は、環境上の問題から、他の色のカラーフィルタと同様に黒色系着色剤を分散させた光硬化性組成物から形成される樹脂膜が使用されるようになった(特許文献1参照)。これらのブラックマトリクスの材料用の黒色着色剤としては、カーボンブラック、チタンブラック等が知られており、中でもカーボンブラックが最も一般的に用いられている。 Also, as a chromium thin film, a resin film formed from a photocurable composition in which a black colorant is dispersed has been used in the same manner as other color filters because of environmental problems (Patent Literature). 1). As black colorants for these black matrix materials, carbon black, titanium black and the like are known, and carbon black is most commonly used.
特許文献1には、付加重合が可能なエチレン性不飽和二重結合を少なくとも1個含有する化合物、光重合開始剤及び金属酸化物等を含有し、実質的にハロゲン原子を含有しない光重合性組成物が開示されている。この組成物は、実質的にハロゲン原子を除去したことによって耐熱性に優れ、電気絶縁抵抗値が高いカラーフィルタを提供することを可能としている。
しかしながら、ブラックマトリクスに高い遮光性を付与するには、遮光材料の含有量を高くしなければならない。そのため光学濃度が高くなり、露光の際に光が膜の深部まで到達せず、光硬化(感光反応)が十分に進行しない場合があった。その結果、現像マージンが狭くなり、パターンの直線性が低くなったり、パターンが基板から剥がれたり、基板上に残渣が発生したりする場合があった。 However, in order to impart high light shielding properties to the black matrix, the content of the light shielding material must be increased. For this reason, the optical density increases, and light does not reach the deep part of the film during exposure, and photocuring (photosensitive reaction) may not sufficiently proceed. As a result, the development margin becomes narrow, the linearity of the pattern becomes low, the pattern peels off from the substrate, and a residue may be generated on the substrate.
さらに、カラーフィルタを製造する際、使用する着色感光樹脂によっては露光及び現像後にベーク炉にて加熱処理を行なうと、着色パターンから昇華物が生じる場合がある。この昇華物が着色パターンに異物として混入すると製品不良を引き起こしてしまう場合がある。 Further, when a color filter is produced, depending on the colored photosensitive resin used, if a heat treatment is performed in a baking furnace after exposure and development, a sublimate may be generated from the colored pattern. If this sublimate is mixed in the colored pattern as a foreign substance, it may cause a product defect.
以上の課題に鑑み、本発明は液晶ディスプレイのカラーフィルタにおいて良好な直線性を有し、剥がれにくく、残渣が少ないブラックマトリクスパターンを形成することができる感光性組成物を提供することを目的とする。また、現像後の加熱において昇華物の発生が少ないブラックマトリクスパターンを形成することができる感光性組成物を提供することを目的とする。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a photosensitive composition that can form a black matrix pattern that has good linearity in a color filter of a liquid crystal display, hardly peels off, and has little residue. . It is another object of the present invention to provide a photosensitive composition capable of forming a black matrix pattern with less generation of sublimation during heating after development.
本発明者らは、感光性組成物の光重合開始剤として、フルオレン骨格とベンゾイルを有するオキシム系化合物を用いることにより、良好な直線性を有し、剥がれにくく、残渣が少ないブラックマトリクスパターンを形成することができる感光性組成物を提供することができることを見出した。また、本発明者らはベンゾイル部分を嵩高い基とした場合、現像後の加熱において昇華物の発生を抑制することが可能となることを見出した。 By using an oxime compound having a fluorene skeleton and benzoyl as the photopolymerization initiator of the photosensitive composition, the present inventors have formed a black matrix pattern that has good linearity, is difficult to peel off, and has few residues It has been found that a photosensitive composition can be provided. In addition, the present inventors have found that when the benzoyl portion is a bulky group, it is possible to suppress the generation of sublimates during heating after development.
より具体的には、本発明は以下のようなものを提供する。 More specifically, the present invention provides the following.
(1) 光重合性化合物と、光重合開始剤と、着色剤と、を含有し、
前記光重合開始剤として、下記の一般式(1)で示される化合物を含有する感光性組成物。
Aは−R1、−OR1、−COR1、−SR1、又は−NR1R2を表し、
Bは−R1、−OR1、−COR1、−SR1、−CONR1R2又は−CNを表し、
Gは水素原子、−R1、−OR1、−COR1、−SR1、又は−NR1R2を表し、
上記R1及びR2は、それぞれ独立して、アルキル基、アリール基、アラルキル基又は複素環基を表し、これらはハロゲン原子及び/又は複素環基で置換されていてもよく、これらのうちアルキル基及びアラルキル基のアルキレン部分は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよく、また、R1及びR2は一緒になって環を形成していてもよく、
Dは、同一又は異なっていてもよい、ハロゲン原子、又は、炭素数1以上20以下であってヘテロ原子を含んでいてもよい炭化水素系基を表し、
Eは、同一又は異なっていてもよい、炭素数1から20のアルキル基、炭素数1から20のアルコキシ基、炭素数3から20のシクロアルキル基、−OR3、−NR4R5を表し、
ここで、R3は、炭素数1から20のアルキル基(炭素原子の一部がヘテロ原子で置換されていてもよい)、炭素数3から20のシクロアルキル基(炭素原子の一部がヘテロ原子で置換されていてもよい)を表し、
R4、R5は、同一又は異なっていてもよい、炭素数1から20のアルキル基、炭素数2から20のアルコキシカルボニル基、あるいはR4とR5とは一緒になって炭素数3から20の環を形成してもよく、環を形成した場合、炭素原子の一部がヘテロ原子で置換されていてもよく、
さらに、Eの少なくとも1つは、分子量が30以上の基を表し、
mは0から5の整数、nは0から3の整数であり、m+n>1を満たす。]
(1) contains a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a colorant,
The photosensitive composition containing the compound shown by following General formula (1) as said photoinitiator.
A is -R 1, -OR 1, -COR 1 , -SR 1, or represents -NR 1 R 2,
B is -R 1, -OR 1, -COR 1 , -SR 1, -CONR 1 R 2 or represents -CN,
G represents a hydrogen atom, -R 1, -OR 1, -COR 1, -SR 1, or -NR 1 R 2,
R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a heterocyclic group, which may be substituted with a halogen atom and / or a heterocyclic group, The alkylene part of the group and the aralkyl group may be interrupted by an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond or an ester bond, and R 1 and R 2 may be combined to form a ring;
D represents a halogen atom which may be the same or different, or a hydrocarbon group which has 1 to 20 carbon atoms and may contain a hetero atom;
E represents the same or different alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, —OR 3 , —NR 4 R 5 . ,
Here, R 3 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (a part of carbon atoms may be substituted with a heteroatom), a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms (a part of carbon atoms is heterogeneous). Which may be substituted with atoms)
R 4 and R 5 , which may be the same or different, are alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl groups having 2 to 20 carbon atoms, or R 4 and R 5 together are 20 rings may be formed, and when a ring is formed, some of the carbon atoms may be substituted with heteroatoms,
Further, at least one of E represents a group having a molecular weight of 30 or more,
m is an integer from 0 to 5, n is an integer from 0 to 3, and satisfies m + n> 1. ]
(1)の発明によれば、光重合開始剤を上記の構造としたことによって、光に対する感受性を向上させることが可能となる。そのため、わずかな照射量の光によって効率的に活性化して感光性組成物を硬化させることができる。その結果、直線性が高く、剥がれや残渣の発生が無いブラックマトリクスパターンを提供することができる。また、Eの少なくとも1つを分子量が30以上の基としたことによって、膜べりが少なく、かつ、光に対する感受性を損なうことなく、かつ、昇華物の発生をより抑制することが可能となる。 According to the invention of (1), it is possible to improve the sensitivity to light by adopting the above-described structure as the photopolymerization initiator. Therefore, the photosensitive composition can be cured by being efficiently activated by a small amount of light. As a result, it is possible to provide a black matrix pattern having high linearity and free from peeling or residue. In addition, by using at least one of E as a group having a molecular weight of 30 or more, it is possible to suppress the generation of sublimates with less film slippage and without impairing sensitivity to light.
(2) Eは、炭素数3から20のアルキル基、炭素数3から20のシクロアルキル基、−OR3、又は−NR4R5のいずれか一種の基である(1)に記載の感光性組成物。 (2) E is the photosensitive group according to (1), wherein E is any one group of an alkyl group having 3 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, —OR 3 , or —NR 4 R 5. Sex composition.
(2)の発明によれば、Eを炭素数3から20のアルキル基、炭素数3から20のシクロアルキル基、−OR3、又は−NR4R5等の基としたことによって、現像後の加熱において昇華物の発生がより少ないブラックマトリクスパターンを形成することが可能な感光性組成物を提供することができる。 According to the invention of (2), E is a group such as an alkyl group having 3 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, —OR 3 , or —NR 4 R 5, etc. It is possible to provide a photosensitive composition capable of forming a black matrix pattern with less generation of sublimates upon heating.
(3) mは1以上であり、nは0である(1)又は(2)記載の感光性組成物。 (3) The photosensitive composition according to (1) or (2), wherein m is 1 or more and n is 0.
(3)の発明によれば、nの値を0としたことによって光に対する感受性をより向上させることが可能となる。 According to the invention of (3), it is possible to further improve the sensitivity to light by setting the value of n to 0.
(4) Eは、炭素数7以上12以下のアルキル基である(1)から(3)いずれかに記載の感光性組成物。 (4) E is the photosensitive composition in any one of (1) to (3) which is a C7-C12 alkyl group.
(4)の発明によれば、Eを炭素数7以上12以下のアルキルとしたことによって、Eが嵩高い構造となる。そのため光に対する感受性を損なうことなく、かつ、昇華物の発生をより抑制することが可能となる。 According to the invention of (4), when E is alkyl having 7 to 12 carbon atoms, E has a bulky structure. For this reason, it is possible to further suppress the generation of sublimates without impairing the sensitivity to light.
(5) 前記一般式(1)で示される化合物は、下記の一般式(2)で示される化合物である(1)から(3)いずれかに記載の感光性組成物。
(5)の発明によれば、一般式(1)で示される化合物のベンゾイル部分にピラニル基を付加することによって、光に対する感受性を損なうことなく、ベンゾイル部分を嵩高い構造とすることができる。そのため、昇華物の発生をより抑制することが可能な感光性化合物を提供することができる。 According to the invention of (5), by adding a pyranyl group to the benzoyl part of the compound represented by the general formula (1), the benzoyl part can have a bulky structure without impairing sensitivity to light. Therefore, the photosensitive compound which can suppress generation | occurrence | production of a sublimation more can be provided.
(6) 前記一般式(1)で示される化合物は、下記の一般式(3)で示される化合物である(1)から(3)いずれかに記載の感光性組成物。
(6)の発明によれば、一般式(3)で示されるように一般式(1)で示される化合物のベンゾイル部分に特定の基を付加することによって、(5)の発明と同様に光に対する感受性を損なうことなく、ベンゾイル部分を嵩高い構造とすることができる。そのため、昇華物の発生をより抑制することが可能な感光性化合物を提供することができる。また、形成される膜の膜べりを抑制することも可能となる。 According to the invention of (6), by adding a specific group to the benzoyl part of the compound represented by the general formula (1) as represented by the general formula (3), the light can be obtained similarly to the invention of (5). A benzoyl part can be made into a bulky structure, without impairing the sensitivity with respect to. Therefore, the photosensitive compound which can suppress generation | occurrence | production of a sublimation more can be provided. In addition, it is possible to suppress film slippage of the formed film.
(7) 前記光重合開始剤は、下記の一般式(4)で示される化合物を更に含む(1)から(6)いずれかに記載の感光性組成物。
(7)の発明によれば、光重合開始剤として上記の化合物を含有することで、極めてわずかな照射量の光によって効率的に活性化することができる。電子バンドスペクトルの異なる化合物が共存することで、光重合開始剤が高い感度を有する光の正味の波長領域を広げるか、もしくは少なくとも二種の化合物が相互作用するためである。従って(1)から(6)に記載の発明に係る光重合開始剤と一般式(4)で示される化合物とを併用することよって、感光性組成物の感度や現像マージンがさらに高まり、ブラックマトリクスパターンを直線性が高く、剥がれや残渣のない良好な形態にすることがさらに容易となる。 According to the invention of (7), by containing the above compound as a photopolymerization initiator, it can be efficiently activated by a very small amount of light. This is because the compounds having different electron band spectra coexist so that the photopolymerization initiator broadens the net wavelength range of light having high sensitivity, or at least two kinds of compounds interact. Accordingly, the combined use of the photopolymerization initiator according to the invention described in (1) to (6) and the compound represented by the general formula (4) further increases the sensitivity and development margin of the photosensitive composition, thereby increasing the black matrix. It becomes even easier to make the pattern a good shape with high linearity and no peeling or residue.
(8) 前記光重合開始剤は、下記の一般式(5)で示される化合物を更に含む(1)から(6)いずれかに記載の感光性組成物。
(8)の発明によれば、(7)に記載の発明と同様、(1)から(6)に記載の発明に係る光重合開始剤と上記一般式(5)で示される化合物とを併用することよってより直線性が高く、剥がれや残渣の発生が無いブラックマトリクスパターンを提供することができる。 According to the invention of (8), the photopolymerization initiator according to the invention described in (1) to (6) and the compound represented by the general formula (5) are used in combination as in the invention described in (7). By doing so, it is possible to provide a black matrix pattern with higher linearity and no peeling or residue.
(9) 前記光重合開始剤は、メルカプトベンズイミダゾールを更に含む(1)から(8)いずれかに記載の感光性組成物。 (9) The photosensitive composition according to any one of (1) to (8), wherein the photopolymerization initiator further contains mercaptobenzimidazole.
(9)の発明によれば、(7)及び(8)に記載の発明と同様、併用して使用することよってより直線性が高く、剥がれや残渣の発生が無いブラックマトリクスパターンを提供することができる。また、メルカプトベンズイミダゾールは、酸化防止剤としても作用するため、光重合開始剤として更に添加したことによって、剥がれや残渣の発生をより確実に防止することができる。 According to the invention of (9), similar to the inventions described in (7) and (8), by using in combination, a black matrix pattern having higher linearity and free from peeling and residue is provided. Can do. Further, since mercaptobenzimidazole also acts as an antioxidant, it can be more reliably prevented from peeling off and generating residues by further adding it as a photopolymerization initiator.
(10) 前記光重合性化合物は、エチレン性二重結合を分子内に少なくとも1つ有する化合物である(1)から(9)いずれかに記載の感光性組成物。 (10) The photosensitive composition according to any one of (1) to (9), wherein the photopolymerizable compound is a compound having at least one ethylenic double bond in the molecule.
(10)の発明によれば、光重合性化合物として、エチレン性二重結合を分子内に有する光重合性化合物を用いたことにより、感光性組成物の吸光濃度を幅広い波長領域で高めて、極めて僅かな照射量の光でも活性化することができる。その結果、遮光性が高いとともに、直線性が高く、剥がれや残渣のない良好なブラックマトリクスパターンを容易に形成することができる。 According to the invention of (10), by using a photopolymerizable compound having an ethylenic double bond in the molecule as the photopolymerizable compound, the absorption density of the photosensitive composition is increased in a wide wavelength region, It can be activated even with a very small amount of light. As a result, it is possible to easily form a good black matrix pattern having high light shielding properties, high linearity, and no peeling or residue.
なお、「エチレン性二重結合を分子内に少なくとも1つ有する化合物」には、モノマー、オリゴマー、及びプレポリマー等も含まれ、これらの中から少なくとも一種を選択して使用することが好ましい。 The “compound having at least one ethylenic double bond in the molecule” includes monomers, oligomers, prepolymers and the like, and it is preferable to select and use at least one of these.
(11) 前記光重合性化合物は、アクリル樹脂である(1)から(10)いずれかに記載の感光性組成物。 (11) The photosensitive composition according to any one of (1) to (10), wherein the photopolymerizable compound is an acrylic resin.
(11)の発明によれば、光重合性化合物をアクリル樹脂としたことによって、感光性組成物の耐候性や耐薬品性を高めることができる。ここで「アクリル樹脂」として、アクリル酸、メタクリル酸及びこれらの誘導体、例えばアクリルアミド、アクリロニトリル等を用いることができる。 According to the invention of (11), the weather resistance and chemical resistance of the photosensitive composition can be enhanced by using the photopolymerizable compound as an acrylic resin. Here, as the “acrylic resin”, acrylic acid, methacrylic acid and derivatives thereof such as acrylamide and acrylonitrile can be used.
(12) 前記光重合性化合物は、分子内にカルド構造を有し、エチレン性二重結合を分子内に少なくとも1つ有する樹脂を含む(1)から(11)いずれかに記載の感光性組成物。 (12) The photosensitive composition according to any one of (1) to (11), wherein the photopolymerizable compound includes a resin having a cardo structure in a molecule and having at least one ethylenic double bond in the molecule. object.
(12)の発明によれば、光重合性化合物を分子内にカルド構造を有する樹脂としたことによって感光性組成物の耐熱性及び耐薬品性を向上させることができる。 According to the invention of (12), the heat resistance and chemical resistance of the photosensitive composition can be improved by using the photopolymerizable compound as a resin having a cardo structure in the molecule.
(13) 前記着色剤は、カーボンブラックを含む(1)から(12)いずれかに記載の感光性組成物。 (13) The photosensitive composition according to any one of (1) to (12), wherein the colorant includes carbon black.
(13)の発明によれば、着色剤をカーボンブラックとしたことによって薄膜で遮光性の高いブラックマトリクスパターンを提供することができる。 According to the invention of (13), by using carbon black as the colorant, a black matrix pattern with a thin film and high light shielding properties can be provided.
本発明によれば、光に対する感受性に優れた光重合開始剤を用いることによって、直線性に優れ、剥がれや残渣がなく、表示コントラストの優れたブラックマトリクスパターンを基板上に容易に形成することができる。また高遮光のレジストでも高感度で現像マージンに優れ、解像度の高いブラックマトリクスパターンを提供することができる。更に本発明に係る重合開始剤を用いたことによって、現像後の加熱において昇華物の発生が少ないブラックマトリクスパターンを形成することができる感光性組成物を提供することができる。 According to the present invention, by using a photopolymerization initiator excellent in sensitivity to light, it is possible to easily form a black matrix pattern on a substrate with excellent linearity, no peeling or residue, and excellent display contrast. it can. In addition, a black matrix pattern with high sensitivity, excellent development margin, and high resolution can be provided even with a highly light-shielding resist. Furthermore, by using the polymerization initiator according to the present invention, it is possible to provide a photosensitive composition capable of forming a black matrix pattern with little generation of sublimation during heating after development.
以下、本発明について具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be specifically described.
本発明に係る感光性組成物は、光重合性化合物、光重合開始剤、及び着色剤を含有する。 The photosensitive composition according to the present invention contains a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a colorant.
[光重合開始剤]
「光重合開始剤」とは、光硬化性組成物の一成分であり、紫外線や電子線などの照射により組成物を重合して高分子化する化合物をいう。本発明において、光重合開始剤として、下記の一般式(1)で示される化合物を用いることができる。
Aは−R1、−OR1、−COR1、−SR1、又は−NR1R2を表し、
Bは−R1、−OR1、−COR1、−SR1、−CONR1R2又は−CNを表し、
Gは水素原子、−R1、−OR1、−COR1、−SR1、又は−NR1R2を表し、
上記R1及びR2は、それぞれ独立して、アルキル基、アリール基、アラルキル基又は複素環基を表し、これらはハロゲン原子及び/又は複素環基で置換されていてもよく、これらのうちアルキル基及びアラルキル基のアルキレン部分は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよく、また、R1及びR2は一緒になって環を形成していてもよく、
Dは、同一又は異なっていてもよい、ハロゲン原子、又は、炭素数1以上20以下であってヘテロ原子を含んでいてもよい炭化水素系基を表し、
Eは、同一又は異なっていてもよい、炭素数1から20のアルキル基、炭素数1から20のアルコキシ基、炭素数3から20のシクロアルキル基、−OR3、−NR4R5を表し、
ここで、R3は、炭素数1から20のアルキル基(炭素原子の一部がヘテロ原子で置換されている、あるいはエステル結合で置換されていてもよい)、炭素数3から20のシクロアルキル基(炭素原子の一部がヘテロ原子で置換されている、あるいはエステル結合で置換されていてもよい)を表し、
R4、R5は、同一又は異なっていてもよい、炭素数1から20のアルキル基、炭素数2から20のアルコキシカルボニル基、あるいはR4とR5とは一緒になって炭素数3から20の環を形成してもよく、環を形成した場合、炭素原子の一部がヘテロ原子で置換されていてもよく、
さらに、Eの少なくとも1つは、分子量が30以上の基を表し、
mは0から5の整数、nは0から3の整数であり、m+n>1を満たす。]
[Photopolymerization initiator]
A “photopolymerization initiator” is a component of a photocurable composition, and refers to a compound that polymerizes the composition by irradiation with ultraviolet rays, electron beams, or the like to polymerize the composition. In the present invention, a compound represented by the following general formula (1) can be used as a photopolymerization initiator.
A is -R 1, -OR 1, -COR 1 , -SR 1, or represents -NR 1 R 2,
B is -R 1, -OR 1, -COR 1 , -SR 1, -CONR 1 R 2 or represents -CN,
G represents a hydrogen atom, -R 1, -OR 1, -COR 1, -SR 1, or -NR 1 R 2,
R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a heterocyclic group, which may be substituted with a halogen atom and / or a heterocyclic group, The alkylene part of the group and the aralkyl group may be interrupted by an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond or an ester bond, and R 1 and R 2 may be combined to form a ring;
D represents a halogen atom which may be the same or different, or a hydrocarbon group which has 1 to 20 carbon atoms and may contain a hetero atom;
E represents the same or different alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, —OR 3 , —NR 4 R 5 . ,
Here, R 3 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (a part of the carbon atoms may be substituted with a hetero atom or an ester bond), or a cycloalkyl having 3 to 20 carbon atoms. A group (a part of carbon atoms may be substituted with a heteroatom, or may be substituted with an ester bond);
R 4 and R 5 , which may be the same or different, are alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl groups having 2 to 20 carbon atoms, or R 4 and R 5 together are 20 rings may be formed, and when a ring is formed, some of the carbon atoms may be substituted with heteroatoms,
Further, at least one of E represents a group having a molecular weight of 30 or more,
m is an integer from 0 to 5, n is an integer from 0 to 3, and satisfies m + n> 1. ]
このうちAは、−R1、−OR1、−COR1、−SR1、又は−NR1R2を示し、−R1を用いることがより好ましい。またBは、−R1、−OR1、−COR1、−SR1、−CONR1R2又は−CNを表し、Aと同様に−R1を用いることがより好ましい。更にGは水素原子、−R1、−OR1、−COR1、−SR1、又は−NR1R2を表し、A,Bと同様に−R1を用いることがより好ましい。 Among A is, -R 1, -OR 1, -COR 1, -SR 1, or shows a -NR 1 R 2, it is more preferable to use a -R 1. B represents -R 1 , -OR 1 , -COR 1 , -SR 1 , -CONR 1 R 2 or -CN, and it is more preferable to use -R 1 as in the case of A. Further, G represents a hydrogen atom, —R 1 , —OR 1 , —COR 1 , —SR 1 , or —NR 1 R 2 , and it is more preferable to use —R 1 in the same manner as A and B.
上記A,B,Gのうち、R1及びR2で表されるアルキル基としては、炭素数1から20のものが好ましく、炭素数1から5のものがより好ましい。例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、第二ブチル基、第三ブチル基、アミル基、イソアミル基、第三アミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、2−エチルヘキシル基、第三オクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基等の直鎖状又は分岐状の飽和炭化水素基が挙げられる。中でも炭素数1のメチル基を用いることが好ましい。 Among the A, B, and G, the alkyl group represented by R 1 and R 2 preferably has 1 to 20 carbon atoms, and more preferably has 1 to 5 carbon atoms. For example, methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, secondary butyl group, tertiary butyl group, amyl group, isoamyl group, tertiary amyl group, hexyl group, heptyl group, octyl And linear or branched saturated hydrocarbon groups such as a group, isooctyl group, 2-ethylhexyl group, tertiary octyl group, nonyl group, isononyl group, decyl group, and isodecyl group. Among these, it is preferable to use a methyl group having 1 carbon atom.
R1及びR2で表されるアリール基としては、炭素数6から20のものが好ましく、炭素数6から10のものがより好ましい。例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、エチルフェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基等が挙げられる。 The aryl group represented by R 1 and R 2 preferably has 6 to 20 carbon atoms, and more preferably has 6 to 10 carbon atoms. Examples thereof include a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, an ethylphenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, and a phenanthryl group.
R1及びR2で表されるアラルキル基としては、炭素数7から20のものが好ましく、炭素数7から12のものがより好ましい。例えば、ベンジル基、α−メチルベンジル基、α,α−ジメチルベンジル基、フェニルエチル基、フェニルエテニル基等が挙げられる。 The aralkyl group represented by R 1 and R 2 preferably has 7 to 20 carbon atoms, and more preferably has 7 to 12 carbon atoms. Examples include benzyl group, α-methylbenzyl group, α, α-dimethylbenzyl group, phenylethyl group, phenylethenyl group and the like.
R1及びR2で表される複素環基としては、窒素原子(N)、硫黄原子(S)及び酸素原子(O)の少なくとも1つの原子を含む5員環以上、好ましくは5から7員環の複素環基が挙げられる。この複素環基には縮合環が含まれていてもよく、例えばピリジル基、ピリミジル基、フリル基、チオフェニル基等が挙げられる。 The heterocyclic group represented by R 1 and R 2 is a 5-membered ring or more, preferably 5 to 7 members, containing at least one atom of nitrogen atom (N), sulfur atom (S) and oxygen atom (O). A heterocyclic group of a ring. The heterocyclic group may contain a condensed ring, and examples thereof include a pyridyl group, a pyrimidyl group, a furyl group, and a thiophenyl group.
更に、これらのR1及びR2はハロゲン原子で置換されていてもよい。例えば、モノフルオロメチル基、ジフロオロメチル基、トリフルオロメチル基、パーフルオロエチル基、クロロフェニル基、クロロベンジル基等が挙げられる。 Further, these R 1 and R 2 may be substituted with a halogen atom. Examples thereof include a monofluoromethyl group, a difluoromethyl group, a trifluoromethyl group, a perfluoroethyl group, a chlorophenyl group, and a chlorobenzyl group.
更にこれらのR1及びR2のうちアルキル基及びアラルキル基のアルキレン部分は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよい。具体的には、ビニル基、アリル基、ブテニル基、エチニル基、プロピニル基等の直鎖状又は分岐状の不飽和炭化水素基や、置換基を有していてもよい。 Furthermore, among these R 1 and R 2 , the alkyl group and the alkylene part of the aralkyl group may be interrupted by an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond, or an ester bond. Specifically, it may have a linear or branched unsaturated hydrocarbon group such as vinyl group, allyl group, butenyl group, ethynyl group, propynyl group, or a substituent.
このようなものとして、A又はBで示される基が、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピロキシエトキシエチル基、メトキシプロピル基、2−(ベンゾオキサゾール−2’−イル)エテニル基等が挙げられる。 As such, the group represented by A or B is a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, a methoxypropyl group, a 2- (benzoxazol-2′-yl) ethenyl group, or the like. Can be mentioned.
また、R1及びR2が一緒になって形成し得る環としては、複素環が挙げられる。この複素環としては、窒素原子(N)、硫黄原子(S)及び酸素原子(O)の少なくとも1つの原子を含む5員環以上、好ましくは5から7員環の複素環基が挙げられる。この複素環基には縮合環が含まれていてもよく、例えば、ピペリジン環、ピペラジン環、モルホリン環、チオモルホリン環等が挙げられる。 As the ring which R 1 and R 2 may form together, and a heterocyclic. Examples of the heterocyclic ring include 5-membered or more, preferably 5- to 7-membered heterocyclic groups containing at least one atom of nitrogen atom (N), sulfur atom (S) and oxygen atom (O). The heterocyclic group may contain a condensed ring, and examples thereof include a piperidine ring, a piperazine ring, a morpholine ring, and a thiomorpholine ring.
またDは、同一又は異なっていてもよい、ハロゲン原子、又は、炭素数1以上20以下であってヘテロ原子を含んでもよい炭化水素系基を表す。このようなものとしては、オキシ基、チオ基、ジチオ基、イミノ基、ニトリノ基、ヒドラゾ基、アゾ基、等を含む炭素数1から20の炭化水素系基が挙げられる。なお、不飽和結合を含んでいてもよいし、環を形成していてもよい。 D represents a halogen atom, which may be the same or different, or a hydrocarbon group which has 1 to 20 carbon atoms and may contain a hetero atom. Examples thereof include hydrocarbon groups having 1 to 20 carbon atoms including oxy group, thio group, dithio group, imino group, nitrino group, hydrazo group, azo group and the like. In addition, the unsaturated bond may be included and the ring may be formed.
Eが有する基の少なくとも一つは分子量が30以上の基であることが好ましく、分子量が50以上であることがより好ましい。さらに、この基の上限値としては、感度、溶剤への溶解性等を考慮して、250以下が好ましく、150以下であることがより好ましい。中でも、ヒドロピラニル基を用いることがより好ましい。 At least one of the groups of E is preferably a group having a molecular weight of 30 or more, and more preferably a molecular weight of 50 or more. Furthermore, the upper limit value of this group is preferably 250 or less, more preferably 150 or less in consideration of sensitivity, solubility in a solvent, and the like. Among these, it is more preferable to use a hydropyranyl group.
またEは、同一又は異なっていてもよい、炭素数1から20のアルキル基、炭素数1から20のアルコキシ基、炭素数3から20のシクロアルキル基、−OR3、−NR4R5を表す。中でも−OR3を用いることが好ましい。また、炭素数1から20のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、第二ブチル基、第三ブチル基、アミル基、イソアミル基、第三アミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、2−エチルヘキシル基、第三オクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基等の直鎖状又は分岐状の飽和炭化水素基が挙げられる。 E may be the same or different and represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, —OR 3 , —NR 4 R 5 . To express. Of these, -OR 3 is preferably used. Examples of the alkyl group having 1 to 20 carbon atoms include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a secondary butyl group, a tertiary butyl group, an amyl group, and an isoamyl group. Linear or branched saturated carbonization such as tertiary amyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, isooctyl group, 2-ethylhexyl group, tertiary octyl group, nonyl group, isononyl group, decyl group, isodecyl group A hydrogen group is mentioned.
更に炭素数1から20のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、フェノキシ基、イソプロポキシ基、イソブトキシ基等が挙げられる。 Further, examples of the alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms include a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, a butoxy group, a phenoxy group, an isopropoxy group, and an isobutoxy group.
更に炭素数3から20のシクロアルキル基としては、シクロプロピル基、シクロヘキシル基、シクロへキシル基等が挙げられる。 Furthermore, examples of the cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms include a cyclopropyl group, a cyclohexyl group, and a cyclohexyl group.
また−OR3のR3は、炭素数1から20のアルキル基、炭素数3から20のシクロアルキル基、複素環基を表す。アルキル基としては上記と同様に、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、第二ブチル基、第三ブチル基、アミル基、イソアミル基、第三アミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、2−エチルヘキシル基、第三オクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基等の直鎖状又は分岐状の飽和炭化水素基が挙げられる。これらのアルキル基は、オキシ基、チオ基、ジチオ基、イミノ基、ニトリノ基、ヒドラゾ基、アゾ基等を含んでいてもよい。 R 3 in —OR 3 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, or a heterocyclic group. As the alkyl group, as described above, methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, secondary butyl group, tertiary butyl group, amyl group, isoamyl group, tertiary amyl group, Examples thereof include straight-chain or branched saturated hydrocarbon groups such as hexyl group, heptyl group, octyl group, isooctyl group, 2-ethylhexyl group, tertiary octyl group, nonyl group, isononyl group, decyl group and isodecyl group. These alkyl groups may contain an oxy group, a thio group, a dithio group, an imino group, a nitrino group, a hydrazo group, an azo group, and the like.
更にシクロアルキル基としては、シクロプロピル基、シクロヘキシル基、シクロへキシル基等が挙げられる。上記と同様にこれらのシクロアルキル基も、オキシ基、チオ基、ジチオ基、イミノ基、ニトリノ基、ヒドラゾ基、アゾ基、等を含んでいてもよい。例えば、テトラヒドロフリル環、テトラヒドロピラニル環等が挙げられるなお、これらの基は、炭素数1から6のアルキル基、炭素数1から6のアルコキシ基等で置換されていてもよい。さらに、溶剤への溶解性を考慮して、上記アルキル基、シクロアルキル基の炭素原子の一部は、特にエーテル結合、エステル結合にて置換されているものがよい。このエーテル結合、エステル結合は、上記アルキル基、シクロアルキル基に、1個から6個含まれることが好ましく、2個から4個含まれることがより好ましい。またこのときの溶剤としては、アルキレングリコールモノアルキルエーテル類、アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類、エーテル類、ケトン類、エステル類が好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテートがを用いることが特に好ましい。 Furthermore, examples of the cycloalkyl group include a cyclopropyl group, a cyclohexyl group, and a cyclohexyl group. As described above, these cycloalkyl groups may also contain an oxy group, a thio group, a dithio group, an imino group, a nitrino group, a hydrazo group, an azo group, and the like. For example, a tetrahydrofuryl ring, a tetrahydropyranyl ring and the like can be mentioned. These groups may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, or the like. Furthermore, in consideration of solubility in a solvent, a part of the carbon atoms of the alkyl group and cycloalkyl group are particularly preferably substituted with an ether bond or an ester bond. The ether bond and ester bond are preferably contained in the alkyl group and cycloalkyl group in an amount of 1 to 6, more preferably 2 to 4. As the solvent at this time, alkylene glycol monoalkyl ethers, alkylene glycol monoalkyl ether acetates, ethers, ketones, and esters are preferable, and propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-methoxybutyl acetate are used. Particularly preferred.
複素環としては、窒素原子(N)、硫黄原子(S)及び酸素原子(O)の少なくとも1つの原子を含む5員環以上、好ましくは5から7員環の複素環基が挙げられる。なお、この複素環基には縮合環が含まれていてよい。 Examples of the heterocyclic ring include 5-membered or more, preferably 5- to 7-membered heterocyclic groups containing at least one atom of nitrogen atom (N), sulfur atom (S) and oxygen atom (O). This heterocyclic group may contain a condensed ring.
また、−NR4R5のR4及びR5は、同一又は異なっていてもよい、炭素数1から20のアルキル基、炭素数2から20のアルコキシカルボニル基、あるいはR4とR5とは一緒になって炭素数3から20の環を形成してもよい。アルキル基としては上記と同様に、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、第二ブチル基、第三ブチル基、アミル基、イソアミル基、第三アミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、2−エチルヘキシル基、第三オクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基等の直鎖状又は分岐状の飽和炭化水素基が挙げられる。 In addition, R 4 and R 5 in —NR 4 R 5 may be the same or different, and are an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, or R 4 and R 5. Together, they may form a ring having 3 to 20 carbon atoms. As the alkyl group, as described above, methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, secondary butyl group, tertiary butyl group, amyl group, isoamyl group, tertiary amyl group, Examples thereof include straight-chain or branched saturated hydrocarbon groups such as hexyl group, heptyl group, octyl group, isooctyl group, 2-ethylhexyl group, tertiary octyl group, nonyl group, isononyl group, decyl group and isodecyl group.
また、アルコキシカルボニル基としては、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、n−プロポキシカルボニル基、イソプロポキシカルボニル基、n−ブトキシカルボニル基、tert−ブトキシカルボニル基、又はシクロヘキシルオキシカルボニル基等の直鎖状、分岐状又は環状の基が挙げられる。 The alkoxycarbonyl group is a straight chain such as a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, an n-propoxycarbonyl group, an isopropoxycarbonyl group, an n-butoxycarbonyl group, a tert-butoxycarbonyl group, or a cyclohexyloxycarbonyl group, A branched or cyclic group is mentioned.
R4とR5とが一緒に環を形成した場合としては、例えばピペリジン環、ピペラジン環、モルホリン環、チオモルホリン環等が挙げられる。なお、これらの環は、炭素数1から6のアルキル基、炭素数1から6のアルコキシ基等で置換されていてもよい。 Examples of the case where R 4 and R 5 together form a ring include a piperidine ring, a piperazine ring, a morpholine ring, and a thiomorpholine ring. Note that these rings may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, or the like.
また一般式(1)において、mは1以上であり、nは0である化合物を用いることが好ましい。 In the general formula (1), it is preferable to use a compound in which m is 1 or more and n is 0.
このような構造を有する化合物としては、下記の一般式(2)で示される化合物であることが好ましい。A及びBをメチル基、Gをエチル基、nを0としたことによってとしたことによって、光に関する感度が向上する。またEに嵩高いピラニル基を付加したことによって、露光時の昇華物の生成を減少させることができる。
上記化合物を光重合開始剤として使用する場合、光重合性化合物の合計100質量部に対し、1質量部から150質量部、好ましくは5質量部から100質量部、より好ましくは10質量部から50質量部の範囲で含有される。含有量を150質量部以下にすることにより十分な耐熱性、耐薬品性が期待することができ、また1質量部以上にすることにより塗膜形成能を向上させ、光硬化不良を防止できるためである。 When using the said compound as a photoinitiator, it is 1 mass part to 150 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of a photopolymerizable compound, Preferably it is 5 mass parts to 100 mass parts, More preferably, it is 10 mass parts to 50 mass parts. It is contained in the range of parts by mass. When the content is 150 parts by mass or less, sufficient heat resistance and chemical resistance can be expected, and when it is 1 part by mass or more, the coating film forming ability can be improved and photocuring failure can be prevented. It is.
さらに、R1はピラニル基以外にも嵩高い骨格を有する基であってもよい。例えば、下記の一般式(3)で示される化合物を用いてもよい。
上記化合物を光重合開始剤として使用する場合、光重合性化合物の合計100質量部に対し、1質量部から150質量部、好ましくは5質量部から100質量部、より好ましくは10質量部から50質量部の範囲で含有される。含有量を150質量部以下にすることにより十分な耐熱性、耐薬品性が期待することができ、また1質量部以上にすることにより塗膜形成能を向上させ、光硬化不良を防止できるためである。 When using the said compound as a photoinitiator, it is 1 mass part to 150 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of a photopolymerizable compound, Preferably it is 5 mass parts to 100 mass parts, More preferably, it is 10 mass parts to 50 mass parts. It is contained in the range of parts by mass. When the content is 150 parts by mass or less, sufficient heat resistance and chemical resistance can be expected, and when it is 1 part by mass or more, the coating film forming ability can be improved and photocuring failure can be prevented. It is.
また、光重合開始剤は上記一般式(1)で示される化合物と他の化合物(光重合開始剤)を数種組み合わせて用いてもよい。このような化合物としては、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類や、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p'−ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類や、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエ−テル類や、ベンジルジメチルケタール、チオキサンテン、2−クロロチオキサンテン、2,4−ジエチルチオキサンテン、2−メチルチオキサンテン、2−イソプロピルチオキサンテン等のイオウ化合物や、2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類や、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物や、2−メルカプトベンゾイミダール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物や、2−(o-クロロフェニル)−4,5−ジ(m-メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体等のイミダゾリル化合物や、p−メトキシトリアジン等のトリアジン化合物や、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン化合物、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1オン等のアミノケトン化合物が挙げられる。 Moreover, you may use a photoinitiator combining the compound shown by the said General formula (1), and another compound (photoinitiator) several types. Examples of such compounds include acetophenone such as acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butylacetophenone, benzophenone, Benzophenones such as 2-chlorobenzophenone and p, p′-bisdimethylaminobenzophenone, benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether and benzoin isobutyl ether, benzyldimethyl ketal, thioxanthene, Sulfur compounds such as 2-chlorothioxanthene, 2,4-diethylthioxanthene, 2-methylthioxanthene, 2-isopropylthioxanthene, 2- Anthraquinones such as ethyl anthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, organic peroxides such as azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, cumene peroxide, 2- Thiol compounds such as mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, and imidazolyl compounds such as 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer And triazine compounds such as p-methoxytriazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2 -(5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -4, 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino) -2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s -Triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2 Triazine compounds having a halomethyl group such as-(4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-benzyl-2-dimethyla Roh-1- (4-morpholinophenyl) - aminoketone compound butane -1 one, and the like.
このような化合物の中では、メルカプトベンズイミダゾールや、トリアジン化合物を用いることが好ましいが、下記一般式(4)で示される化合物を用いることが更に好ましい。この化合物を併用することにより、光に対する感度をより向上させることができるためである。
また、下記一般式(5)で示される化合物を用いても光に対する感度をより向上させることができる。
上記化合物を光重合開始剤として一般式(1)で示される化合物と併用して使用する場合、光重合性化合物の合計100質量部に対し、1質量部から150質量部、好ましくは5質量部から100質量部、より好ましくは10質量部から50質量部の範囲で含有される。含有量を150質量部以下にすることにより十分な耐熱性、耐薬品性が期待することができ、また1質量部以下にすることにより塗膜形成能を向上させ、光硬化不良を防止できるためである。 When using the said compound together with the compound shown by General formula (1) as a photoinitiator, it is 1 mass part to 150 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of a photopolymerizable compound, Preferably it is 5 mass parts To 100 parts by mass, more preferably 10 to 50 parts by mass. When the content is 150 parts by mass or less, sufficient heat resistance and chemical resistance can be expected, and when it is 1 part by mass or less, the film forming ability can be improved and photocuring failure can be prevented. It is.
また、一般式(1)で示される化合物と、一般式(1)で示される化合物以外の化合物(特に一般式(4)及び(5)及びメルカプトベンズイミダゾール等)を併用する場合、質量比で10:90から90:10であることが好ましく、特に50:50から70:30であることが好ましい。一般式(1)で示される化合物と、一般式(1)で示される化合物以外の化合物の配合割合が上述の範囲内であることで、両者の化合物が効果的に相互作用して、感光性組成物の感度、現像マージンをさらに向上させることができる。 Further, when a compound represented by the general formula (1) and a compound other than the compound represented by the general formula (1) (particularly the general formulas (4) and (5) and mercaptobenzimidazole) are used in combination, The ratio is preferably 10:90 to 90:10, particularly preferably 50:50 to 70:30. Since the compounding ratio of the compound represented by the general formula (1) and the compound other than the compound represented by the general formula (1) is within the above-described range, the two compounds effectively interact with each other. The sensitivity of the composition and the development margin can be further improved.
本発明に係る光重合開始剤の製造方法の一例としては、下記の合成スキームが挙げられる。なお、この合成スキームは、Dのnが0の場合の合成例である。ここで、式中R1は本発明におけるBに相当し、R2は本発明におけるEを含むフェニル基に相当する。更にR3は本発明におけるAに相当し、Rは本発明におけるGに相当する。
[光重合性化合物]
「光重合性化合物」とは、紫外線等の光の照射を受けて重合し、硬化する物質をいう。光重合性化合物としては、エチレン性二重結合を有する化合物が好ましく、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルメタクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、グリセロールアクリレート、グリセロールメタクリレート、アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート等のモノマー、オリゴマー類;多価アルコール類と1塩基酸又は多塩基酸を縮合して得られるポリエステルプレポリマーに(メタ)アクリル酸を反応して得られるポリエステル(メタ)アクリレート、ポリオール基と2個のイソシアネート基を持つ化合物を反応させた後、(メタ)アクリル酸を反応して得られるポリウレタン(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノール又はクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸ポリグリシジルエステル、ポリオールポリグリシジルエステル、脂肪族又は脂環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂などのエポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応して得られるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂等が挙げられる。さらに前記エポキシ(メタ)アクリレート樹脂に多塩基酸無水物を反応させた樹脂を用いる事ができる。
[Photopolymerizable compound]
“Photopolymerizable compound” refers to a substance that polymerizes and cures upon irradiation with light such as ultraviolet rays. As the photopolymerizable compound, a compound having an ethylenic double bond is preferable. Specifically, acrylic acid, methacrylic acid, fumaric acid, maleic acid, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2 -Hydroxyethyl methacrylate, ethylene glycol monomethyl ether acrylate, ethylene glycol monomethyl ether methacrylate, ethylene glycol monoethyl ether acrylate, ethylene glycol monoethyl ether methacrylate, glycerol acrylate, glycerol methacrylate, acrylic acid amide, methacrylic acid amide, acrylonitrile, methacrylonitrile , Methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, isobutyl Acrylate, isobutyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol Diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate, propylene glycol diacrylate, propylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylo Propane tetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, 1 Monomers, oligomers such as 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, cardoepoxy diacrylate; polyester prepolymers obtained by condensing polyhydric alcohols with monobasic acids or polybasic acids Polyester (meth) acrylate obtained by reacting (meth) acrylic acid, polyol group Polyurethane (meth) acrylate obtained by reacting (meth) acrylic acid after reacting with a compound having two isocyanate groups; bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, Phenol or cresol novolac type epoxy resin, resol type epoxy resin, triphenolmethane type epoxy resin, polycarboxylic acid polyglycidyl ester, polyol polyglycidyl ester, aliphatic or cycloaliphatic epoxy resin, amine epoxy resin, dihydroxybenzene type epoxy resin An epoxy (meth) acrylate resin obtained by reacting an epoxy resin such as (meth) acrylic acid and the like. Furthermore, a resin obtained by reacting the epoxy (meth) acrylate resin with a polybasic acid anhydride can be used.
中でもアクリル樹脂や、分子内にカルド構造を有する樹脂を用いることが好ましい。カルド構造を有する樹脂は耐熱性や耐薬品性が高いため、光重合性化合物に用いることによって感光性組成物の耐熱性及び耐薬品性を向上させることができる。具体的には下記の構造を有している樹脂を用いることが好ましい。 Among them, it is preferable to use an acrylic resin or a resin having a cardo structure in the molecule. Since the resin having a cardo structure has high heat resistance and chemical resistance, the heat resistance and chemical resistance of the photosensitive composition can be improved by using it as a photopolymerizable compound. Specifically, it is preferable to use a resin having the following structure.
式中、Yは無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸といったジカルボン酸無水物からカルボン酸無水物基(−CO−O−CO−)を除いた残基である。 Wherein Y is maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, It is a residue obtained by removing a carboxylic anhydride group (—CO—O—CO—) from a dicarboxylic anhydride such as glutaric anhydride.
また式中、Zは無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物から2個のカルボン酸無水物基を除いた残基である。 In the formula, Z represents two carboxylic acid anhydrides from tetracarboxylic dianhydrides such as pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, biphenyl tetracarboxylic dianhydride, biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, etc. It is a residue excluding physical groups.
上記光重合性化合物は、感光性組成物の合計100質量部に対し、60質量部から99.9質量部の範囲で含有される。含有量を99.9質量部以下にすることにより十分な耐熱性、耐薬品性を期待でき、また60質量部以上にすることにより塗膜形成能を向上させ、光硬化不良を防止することができるためである。 The said photopolymerizable compound is contained in the range of 60 mass parts to 99.9 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of the photosensitive composition. By making the content 99.9 parts by mass or less, sufficient heat resistance and chemical resistance can be expected, and by making the content 60 parts by mass or more, the coating film forming ability can be improved and photocuring failure can be prevented. This is because it can.
[着色剤]
「着色剤」とは、感光性樹脂成分の一つとして含有され、基板上に着色する成分をいう。例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists 社発行)においてピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
[Colorant]
The “colorant” refers to a component that is contained as one of the photosensitive resin components and colors on the substrate. For example, a compound classified as a pigment in a color index (CI; issued by The Society of Dyers and Colorists), specifically, a color index (CI) number as shown below. What is attached can be mentioned.
C.I.ピグメントイエロー1(以下、「C.I.ピグメントイエロー」は同様で番号のみ記載する。)、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、61、65、71、73、74、81、83、86、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、175、180、185; C. I. Pigment Yellow 1 (hereinafter, “CI Pigment Yellow” is the same and only the number is described) 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116, 117, 119, 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175, 180, 185;
C.I.ピグメントオレンジ1(以下、「C.I.ピグメントオレンジ」は同様で番号のみ記載する。)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、73;
C.I.ピグメントバイオレット1(以下、「C.I.ピグメントバイオレット」は同様で番号のみ記載する。)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50;
C. I. Pigment Orange 1 (hereinafter, “CI Pigment Orange” is the same, and only the number is described) 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71, 73;
C. I. Pigment Violet 1 (hereinafter, “CI Pigment Violet” is the same and only the numbers are described), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40, 50;
C.I.ピグメントレッド1(以下、「C.I.ピグメントレッド」は同様で番号のみ記載する。)、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、265; C. I. Pigment Red 1 (hereinafter, “CI Pigment Red” is the same and only the number is described) 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 53: 1, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 2, 58: 4, 60: 1, 63: 1, 63: 2, 64: 1, 81: 1, 83, 88, 90: 1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 79, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264, 265;
C.I.ピグメントブルー1(以下、「C.I.ピグメントブルー」は同様で番号のみ記載する。)、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン37;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラウン26、C.I.ピグメントブラウン28;
C.I.ピグメントブラック1、ピグメントブラック7。
また黒色顔料としてはカーボンブラックも好ましい。
C. I. Pigment Blue 1 (hereinafter, “CI Pigment Blue” is the same and only the numbers are described), 2, 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, 66;
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment green 37;
C. I. Pigment brown 23, C.I. I. Pigment brown 25, C.I. I. Pigment brown 26, C.I. I. Pigment brown 28;
C. I. Pigment Black 1 and Pigment Black 7.
Carbon black is also preferable as the black pigment.
本発明に係る感光性組成物は、高い感度を有するため、特にブラックマトリクス形成用として好適である。即ち、着色剤としてカーボンブラック等の遮光剤を好ましく用いることができる。具体的には、カーボンブラックやアクリル系分散液で分散させたカーボンブラック分散液等が挙げられる。また、チタンブラック、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀等の金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸鉛又は金属炭酸塩等の無機顔料等も挙げられる。これらの着色剤の中でも遮光性を有するカーボンブラックを用いることがより好ましい。 Since the photosensitive composition according to the present invention has high sensitivity, it is particularly suitable for forming a black matrix. That is, a light-shielding agent such as carbon black can be preferably used as the colorant. Specifically, carbon black or a carbon black dispersion liquid dispersed with an acrylic dispersion liquid may be used. In addition, examples include metal oxides such as titanium black, copper, iron, manganese, cobalt, chromium, nickel, zinc, calcium, and silver, composite oxides, metal sulfides, metal sulfates, inorganic pigments such as metal sulfates, and the like. It is done. Among these colorants, it is more preferable to use carbon black having light shielding properties.
カーボンブラックとしては、チェンネルブラック、ファーネスブラック、サーマルブラ
ック、ランプブラックなど公知のカーボンブラックを用いることができるが、遮光性に優れるチャンネルブラックを用いることが特に好ましい。また、樹脂被覆カーボンブラックを用いてもよい。
As the carbon black, known carbon blacks such as channel black, furnace black, thermal black, and lamp black can be used, but it is particularly preferable to use channel black having excellent light shielding properties. Resin-coated carbon black may also be used.
この樹脂被覆カーボンブラックは樹脂被覆のないカーボンブラックに比べて導電性が低いことから、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタ(ブラックマトリクス)として用いた場合に電流のリークが少なく、信頼性の高い低消費電力のディスプレイが形成できる。 This resin-coated carbon black has lower electrical conductivity than carbon black without resin coating, so there is less current leakage when used as a color filter (black matrix) for liquid crystal displays, etc., and high reliability and low power consumption Can be formed.
また、カーボンブラックの補助顔料として、有機顔料を更に添加してもよい。有機顔料は、無機顔料の補色を呈するものを適切に選択して加えることにより、カーボンブラックの有する赤みを消すことができるためである。例えばフタロシアニン系顔料、アゾ系顔料及び、塩基性染料レーキ顔料等が挙げられる。 An organic pigment may be further added as an auxiliary pigment for carbon black. This is because the organic pigment can eliminate the redness of the carbon black by appropriately selecting and adding an organic pigment that exhibits a complementary color of the inorganic pigment. Examples thereof include phthalocyanine pigments, azo pigments, basic dye lake pigments, and the like.
有機顔料は、無機顔料と有機顔料の総和100質量部に対して、有機顔料を10質量部から80質量部の範囲で用いることが好ましく、20質量部から40質量部の範囲であることがより好ましい。上記の無機顔料及び有機顔料は、分散剤を用いて適当な濃度で分散させた溶液を用いることができる。 The organic pigment is preferably used in the range of 10 to 80 parts by mass, more preferably in the range of 20 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the sum of the inorganic pigment and the organic pigment. preferable. As the inorganic pigment and the organic pigment, a solution in which a dispersant is used and dispersed at an appropriate concentration can be used.
また、分散剤としては、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系の高
分子分散剤を用いることが好ましい。
As the dispersant, it is preferable to use a polyethyleneimine-based, urethane resin-based, or acrylic resin-based polymer dispersant.
[感光性組成物の組成]
本発明に係る感光性組成物は、光重合性化合物、光重合開始剤、及び着色剤を合わせて100質量部中に、光重合性化合物を20質量部から60質量部、光重合開始剤を0.5質量部から30質量部、着色剤を10質量部から70質量部の範囲で含有することが好ましい。着色剤を10質量部以上にすることにより、形成した黒色パターンの遮光性能を十分得ることができる。また、着色剤を70質量部以下にすることにより、所定波長の光線を照射した際に硬化性を向上させることができるためである。
[Composition of photosensitive composition]
In the photosensitive composition according to the present invention, a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a colorant are combined in 100 parts by mass. It is preferable to contain 0.5 to 30 parts by mass and a colorant in the range of 10 to 70 parts by mass. By setting the colorant to 10 parts by mass or more, the light shielding performance of the formed black pattern can be sufficiently obtained. Moreover, it is because sclerosis | hardenability can be improved when it irradiates the light of a predetermined wavelength by making a coloring agent 70 mass parts or less.
なお、上記の組成比において、着色剤は、カーボンブラックやチタンブラック等の無機顔料のみであってもよいが、補助顔料を含んでいてもよい。 In the above composition ratio, the colorant may be only an inorganic pigment such as carbon black or titanium black, but may contain an auxiliary pigment.
また、着色剤の濃度は、後述するように本発明に係る感光性組成物を用いてブラックマトリックスを成膜した際に、感光性組成物の膜厚1μmあたりのOD(Optical Density)値が3.5以上となるように調整することが好ましい。感光性組成物の膜厚1μmあたりのOD値が3.5以上あれば、液晶ディスプレイのブラックマトリックスに用いた場合に、十分な表示コントラストを得ることができる。 The concentration of the colorant is such that when a black matrix is formed using the photosensitive composition according to the present invention as described later, an OD (Optical Density) value of 3 μm per 1 μm of film thickness of the photosensitive composition. It is preferable to adjust so that it may become 5 or more. If the OD value per film thickness of 1 μm of the photosensitive composition is 3.5 or more, sufficient display contrast can be obtained when used for a black matrix of a liquid crystal display.
また、本発明に係る感光性組成物を用いてブラックマトリクスパターンを形成する際には、後述するように、基板上に本発明の感光性組成物を塗布、乾燥して膜を形成する。このときの塗布性の改善、光硬化後の物性改善のために、上記成分に加えてさらに結合剤として高分子バインダーを含有してもよい。結合剤は相溶性、被膜形成性、現像性、接着性等改善目的に応じて適宜選択すればよい。 Moreover, when forming a black matrix pattern using the photosensitive composition which concerns on this invention, as mentioned later, the photosensitive composition of this invention is apply | coated and dried on a board | substrate, and a film | membrane is formed. In order to improve the coating property and the physical properties after photocuring, a polymer binder may be further contained as a binder in addition to the above components. What is necessary is just to select a binder suitably according to the improvement objectives, such as compatibility, film formation property, developability, and adhesiveness.
基板上に形成されたブラックマトリクスパターンの厚みとしては、通常0.1μmから10.0μmの範囲内で設定することができ、好ましくは0.2μmから5.0μm、さらに好ましくは0.2μmから3.0μmである。 The thickness of the black matrix pattern formed on the substrate can usually be set within a range of 0.1 μm to 10.0 μm, preferably 0.2 μm to 5.0 μm, more preferably 0.2 μm to 3 μm. 0.0 μm.
また、本発明に係る感光性組成物は、希釈のための溶剤や、熱重合禁止剤、消泡剤、界
面活性剤などを添加してもよい。
Further, the photosensitive composition according to the present invention may contain a solvent for dilution, a thermal polymerization inhibitor, an antifoaming agent, a surfactant and the like.
ここで、感光性組成物に添加可能な溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチル、酢酸i−ペンチル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。これらの溶剤は1種または2種以上を混合して使用することができる。 Here, as a solvent that can be added to the photosensitive composition, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol Monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether, diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl Ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene glycol (Poly) alkylene glycol mono, such as coal monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl ether Alkyl ethers: (poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate acetate Other ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether and tetrahydrofuran; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone and 3-heptanone; methyl 2-hydroxypropionate and ethyl 2-hydroxypropionate Alkyl lactates such as ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, Ethyl hydroxyacetate, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl Lopionate, ethyl acetate, n-propyl acetate, i-propyl acetate, n-butyl acetate, i-butyl acetate, n-pentyl formate, i-pentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, Other esters such as i-propyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, ethyl 2-oxobutanoate; aromas such as toluene and xylene Group hydrocarbons; amides such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, and the like. These solvents can be used alone or in combination of two or more.
中でもプロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、3−メトキシブチルアセテートは、光重合性化合物、光重合開始剤に対して優れた溶解性を示すとともに、黒色顔料などの不溶性成分の分散性を良好にすることができるため好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテートを用いることが特に好ましい。溶剤は、光重合性化合物、光重合開始剤及び着色剤の合計100質量部に対して50質量部から500質量部の範囲で用いることができる。 Among them, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, and 3-methoxybutyl acetate are photopolymerizable compounds and photopolymerization starts. It is preferable because propylene glycol monomethyl ether acetate and 3-methoxybutyl acetate are used, because it exhibits excellent solubility in the agent and can improve dispersibility of insoluble components such as black pigments. A solvent can be used in 50 mass parts-500 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of a photopolymerizable compound, a photoinitiator, and a coloring agent.
また、熱重合禁止剤としてはヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等を用いることができる。また、消泡剤としてはシリコーン系、フッ素系化合物を、界面活性剤としてはアニオン系、カチオン系、ノニオン系等の公知の各種熱重合禁止剤を用いることができる。 Moreover, hydroquinone, hydroquinone monoethyl ether, etc. can be used as a thermal polymerization inhibitor. In addition, silicone-based and fluorine-based compounds can be used as antifoaming agents, and various known thermal polymerization inhibitors such as anionic, cationic, and nonionic surfactants can be used as surfactants.
本発明に係る感光性組成物の製造方法としては、上述の光重合性化合物と、光重合開始剤と、着色剤、これらを全て攪拌機で混合することにより得られる。なお、得られた混合物が均一なものとなるようフィルターを用いて濾過してもよい。 As a manufacturing method of the photosensitive composition concerning this invention, it is obtained by mixing the above-mentioned photopolymerizable compound, a photoinitiator, a coloring agent, and these all with a stirrer. In addition, you may filter using a filter so that the obtained mixture may become uniform.
<カラーフィルタの形成方法>
以下、本発明に係る感光性組成物を用いてカラーフィルタを形成する方法の例を説明する。
<Method for forming color filter>
Hereinafter, the example of the method of forming a color filter using the photosensitive composition concerning this invention is demonstrated.
[ブラックマトリクス(黒色着色層)の形成]
まず感光性組成物(黒色の着色剤を含む)を、基板上にロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。基板は、光透過性を有する基板が用いられる。なお、本実施形態では厚さ0.5mmから1.1mmのガラス基板を用いた場合を想定している。
[Formation of black matrix (black colored layer)]
First, a photosensitive composition (including a black colorant) is placed on a substrate, such as a contact transfer type coating device such as a roll coater, reverse coater, or bar coater, a spinner (rotary coating device), or a non-contact type such as a curtain flow coater. Apply using an applicator. As the substrate, a substrate having optical transparency is used. In the present embodiment, it is assumed that a glass substrate having a thickness of 0.5 mm to 1.1 mm is used.
ガラス基板と感光性組成物との密着性を向上させるために、予めガラス基板上にシランカップリング剤を塗布しておいてもよい。あるいは感光性組成物の調製時にシランカップリング剤を添加しておいてもよい。 In order to improve the adhesion between the glass substrate and the photosensitive composition, a silane coupling agent may be applied on the glass substrate in advance. Alternatively, a silane coupling agent may be added during the preparation of the photosensitive composition.
この感光性組成物を塗布後、乾燥させて溶剤を除去する。乾燥方法は特に限定されず、例えば(1)ホットプレートにて80℃から120℃、好ましくは90℃から100℃の温度にて60秒間から120秒間乾燥する方法、(2)室温にて数時間から数日放置する方法、(3)温風ヒーターや赤外線ヒーター中に数十分から数時間入れて溶剤を除去する方法、のいずれの方法を用いてもよい。 After this photosensitive composition is applied, it is dried to remove the solvent. The drying method is not particularly limited. For example, (1) a method of drying on a hot plate at a temperature of 80 ° C. to 120 ° C., preferably 90 ° C. to 100 ° C. for 60 seconds to 120 seconds, (2) several hours at room temperature Any of the following methods may be used: (3) a method of removing the solvent by placing it in a warm air heater or an infrared heater for several tens of minutes to several hours.
次いで、ネガ型のマスクを介して、紫外線、エキシマレーザー光等の活性性エネルギー線を照射して部分的に露光する。照射するエネルギー線量は、感光性組成物の組成によっても異なるが、例えば30mJ/cm2から2000mJ/cm2程度が好ましい。 Next, exposure is performed partially by irradiating active energy rays such as ultraviolet rays and excimer laser light through a negative mask. Energy dose to be irradiated may differ depending on the composition of the photosensitive composition, for example, about 2000 mJ / cm 2 from 30 mJ / cm 2 is preferred.
次いで、露光後の膜を、現像液により現像することによって所望の形状にパターニングする。現像方法は特に限定されず、例えば浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。 Next, the exposed film is developed into a desired shape by developing with a developer. The development method is not particularly limited, and for example, an immersion method, a spray method, or the like can be used. Examples of the developer include organic ones such as monoethanolamine, diethanolamine, and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia, and quaternary ammonium salts.
次いで、現像後のパターニングを200℃程度でポストベークを行う。また、形成されたパターンを全面露光することが好ましい。 Next, post-baking is performed at about 200 ° C. for patterning after development. Further, it is preferable to expose the entire surface of the formed pattern.
[他の着色層の形成]
上記の方法により形成されたブラックマトリクスが形成されたガラス基板上に、感光性組成物を上記の方法と同様に塗布、乾燥、露光、現像して所定の色の着色層を、ブラックマトリクスの所定の位置(開口部)にパターン(ストライプまたはドット等)が形成されるようにする。例えば、RGBのカラーフィルタを製造する場合には、R,G,Bの各色の感光性組成物を用いて、前記工程を繰り返し、3色の着色層を形成してカラーフィルタを形成する。
[Formation of other colored layers]
The photosensitive composition is coated, dried, exposed and developed on the glass substrate on which the black matrix formed by the above method is formed in the same manner as described above to form a colored layer of a predetermined color. A pattern (such as a stripe or a dot) is formed at the position (opening). For example, when manufacturing an RGB color filter, the above process is repeated using a photosensitive composition of each color of R, G, and B to form a color filter of three colors to form a color filter.
<実施例1>
[光重合性化合物の合成]
エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物として、メタクリル酸/ベンジルメタクリレート/1−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体(以下、化合物1とする)を合成した。まず、500ml四つ口フラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)400gとメタクリル酸75gと、ベンジルメタクリレート210g、2−ヒドロキシエチルメタクリレート15g、アゾビスイソブチロニトリル5gを入れ、これに窒素を吹き込みながら65℃から70℃に保ち3時間攪拌して反応させた。
<Example 1>
[Synthesis of photopolymerizable compound]
As a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond, a methacrylic acid / benzyl methacrylate / 1-hydroxyethyl methacrylate copolymer (hereinafter referred to as Compound 1) was synthesized. First, 400 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA), 75 g of methacrylic acid, 210 g of benzyl methacrylate, 15 g of 2-hydroxyethyl methacrylate, and 5 g of azobisisobutyronitrile are put into a 500 ml four-necked flask, and nitrogen is blown into this. While maintaining at 65 ° C. to 70 ° C., the mixture was stirred for 3 hours to react.
[光重合開始剤]
光重合開始剤は、下記の一般式(2)で示される構造を有する化合物とした。この化合物は上述の合成スキームに従って製造した。
The photopolymerization initiator was a compound having a structure represented by the following general formula (2). This compound was prepared according to the synthetic scheme described above.
この化合物の合成の際、下記の一般式(8)の化合物を、下記のスキームに従って製造した。
上記化合物1及びモノマーとして、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(PETTA)を光重合性化合物とし、本発明に係る感光性組成物を表1の配合で調整した。このとき顔料には、カーボン分散液(CFブラックEX−1455、高抵抗カーボン24質量%含有、御国色素株式会社製)を、溶剤には3−メトキシブチルアセテートを用いた。これらを全て攪拌機で2時間混合し、5μmメンブランフィルターで濾過して本発明に係る感光性組成物を調整した。 As the compound 1 and monomer, pentaerythritol tetraacrylate (PETTA) was used as a photopolymerizable compound, and the photosensitive composition according to the present invention was prepared according to the formulation shown in Table 1. At this time, a carbon dispersion (CF black EX-1455, containing 24% by mass of high-resistance carbon, manufactured by Mikuni Dye Co., Ltd.) was used as the pigment, and 3-methoxybutyl acetate was used as the solvent. All of these were mixed with a stirrer for 2 hours and filtered through a 5 μm membrane filter to prepare the photosensitive composition according to the present invention.
<実施例2>
光重合性化合物を下記の一般式で示される構造を有する化合物(化合物2)とした以外は実施例1と同様の手順で感光性組成物を調整した(表1参照)。
<Example 2>
A photosensitive composition was prepared in the same procedure as in Example 1 except that the photopolymerizable compound was a compound having the structure represented by the following general formula (Compound 2) (see Table 1).
[光重合性化合物の合成]
下記の一般式(6)で示される構造を有するカルド樹脂を合成した。
A cardo resin having a structure represented by the following general formula (6) was synthesized.
500ml四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂235g(エポキシ当量235)とテトラメチルアンモニウムクロライド110mg、2,6−ジ−tertブチル−4−メチルフェノール100mg及びアクリル酸72.0gを、25ml/分の速度で空気を吹き込みながら90℃から100℃で加熱して溶解させた。 In a 500 ml four-necked flask, 235 g of bisphenolfluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), 110 mg of tetramethylammonium chloride, 100 mg of 2,6-di-tertbutyl-4-methylphenol and 72.0 g of acrylic acid were added at 25 ml / The solution was heated and dissolved at 90 to 100 ° C. while blowing air at a rate of minutes.
次に、この溶液が白濁した状態のまま120℃までゆっくりと昇温させて完全溶解させた。このとき溶液は次第に透明粘稠になっていくがそのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、1.0mgKOH/g未満になるまで約12時間加熱撹拌を続けた。そして室温まで冷却し、下記の一般式(9)に示す無色透明で固体状のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートが得られた。 Next, the solution was slowly heated to 120 ° C. in a cloudy state and completely dissolved. At this time, the solution gradually became transparent and viscous, but stirring was continued as it was. During this time, the acid value was measured, and heating and stirring were continued for about 12 hours until the acid value became less than 1.0 mgKOH / g. And it cooled to room temperature and the colorless and transparent solid bisphenol fluorene type epoxy acrylate shown in following General formula (9) was obtained.
次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート307.0gにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)600gを加えて溶解させた後、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物80.5g及び臭化テトラエチルアンモニウム1gを混合し、110℃から115℃で4時間反応させた。酸無水物基の消失を確認した後、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸38.0gを混合し、90℃で6時間反応させ、上記の一般式(7)で示されるカルド樹脂を得た。なお、酸無水物基の消失はIRスペクトルにより確認した。このカルド樹脂を化合物2とした。 Next, after adding 600 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) to 307.0 g of the bisphenolfluorene type epoxy acrylate thus obtained, 80.5 g of benzophenone tetracarboxylic dianhydride and bromide were added. 1 g of tetraethylammonium was mixed and reacted at 110 to 115 ° C. for 4 hours. After confirming the disappearance of the acid anhydride group, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed and reacted at 90 ° C. for 6 hours to obtain a cardo resin represented by the above general formula (7). Got. The disappearance of the acid anhydride group was confirmed by IR spectrum. This cardo resin was designated as Compound 2.
ここで化合物2は、一般式(6)に示す化合物において、Xは、一般式(7)で示される基であり、Yは1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸二無水物から酸無水物基(−CO−O−CO−)を除いた残基、Zは3,3',4,4'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸四無水物から酸無水物を除いた残基であるとともに、Y/Zモル比は50.0/50.0である。 Here, the compound 2 is a compound represented by the general formula (6), wherein X is a group represented by the general formula (7), and Y is an acid from 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride dianhydride. A residue excluding the anhydride group (—CO—O—CO—), Z is a residue obtained by removing the acid anhydride from 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, The Y / Z molar ratio is 50.0 / 50.0.
<実施例3>
実施例2の光重合開始剤に、更に下記の一般式(4)で示される化合物2−(Dimethylamino)−1−[4−(4−morpholinyl)phenyl]−2−(phenylmethyl)−1−butanone(光重合開始剤2:商品名イルガキュア369、チバ・ガイギー社製)を添加した以外は、実施例2と同様の配合及び手順で本発明に係る感光性組成物を調整した(表1参照)。
In addition to the photopolymerization initiator of Example 2, compound 2- (Dimethylamino) -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -2- (phenylmethyl) -1-butanone represented by the following general formula (4): (Photopolymerization initiator 2: trade name Irgacure 369, manufactured by Ciba-Geigy Co., Ltd.) was added, and the photosensitive composition according to the present invention was prepared in the same composition and procedure as in Example 2 (see Table 1). .
<実施例4>
実施例2の光重合開始剤に、更にメルカプトベンズイミダゾール(光重合開始剤3)を添加した以外は、実施例2と同様の手順で本発明に係る感光性組成物を調整した(表1参照)。
<Example 4>
A photosensitive composition according to the present invention was prepared in the same procedure as in Example 2 except that mercaptobenzimidazole (photopolymerization initiator 3) was further added to the photopolymerization initiator in Example 2 (see Table 1). ).
<比較例1>
光重合開始剤を下記の一般式(5)示される化合物(光重合開始剤4:チバスペシャルティケミカル社製、CGI242)とした以外は実施例1と同様の手順で感光性組成物を調整した(表1参照)。
A photosensitive composition was prepared in the same procedure as in Example 1 except that the photopolymerization initiator was a compound represented by the following general formula (5) (photopolymerization initiator 4: CGI242 manufactured by Ciba Specialty Chemicals) ( (See Table 1).
<評価>
上記の感光性組成物をそれぞれ厚さ1mmの清浄な表面を有するガラス基板上にスピンコーター(TR25000、東京応化工業株式会社製)を用いて乾燥膜厚が1.2μmとなるように塗布し、90℃で2分間乾燥して感光性組成物の膜(感光層)を形成した。次いでこの膜にネガマスクを介して紫外線を選択的に照射した。露光量は40,45,50,60mJの4段階とした。
<Evaluation>
The above photosensitive composition was applied on a glass substrate having a clean surface of 1 mm thickness using a spin coater (TR25000, manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) so that the dry film thickness was 1.2 μm. The film was dried at 90 ° C. for 2 minutes to form a film (photosensitive layer) of the photosensitive composition. Subsequently, the film was selectively irradiated with ultraviolet rays through a negative mask. The exposure amount was set in four stages of 40, 45, 50, and 60 mJ.
そして、0.5質量%炭酸ナトリウム水溶液で25℃、60秒間スプレー現像することで線幅10μmのラインを含むブラックマトリクスパターンを形成した。その後、220℃で30分間循環式オーブンにてポストベークを行った。作成されたブラックマトリックスの膜厚は1.0μmであり、OD測定装置(D−200II、グレタグマクベス社製)にてOD値を測定した。これらの結果を表2に示す。 Then, a black matrix pattern including a line having a line width of 10 μm was formed by spray development with a 0.5 mass% sodium carbonate aqueous solution at 25 ° C. for 60 seconds. Thereafter, post-baking was performed in a circulation oven at 220 ° C. for 30 minutes. The film thickness of the prepared black matrix was 1.0 μm, and the OD value was measured with an OD measuring device (D-200II, manufactured by Gretag Macbeth). These results are shown in Table 2.
パターンの直進性は、10ミクロンライン(幅10μmのライン)のエッジのがたつきがあるかどうかを目視で判定した。またパターン剥がれは、5ミクロンライン(幅5μmのライン)での剥がれや欠けが発生していないかを目視で判定した。残渣はガラス上に顔料の残渣が残っているかどうかを目視で判定した。これより、実施例2から4で得られたパターンは直線性に優れ、顔料残渣や基板との剥がれは確認されなかった。一方、比較例1は、低露光量ではパターン剥がれが多く、直進性も良くなかったことが示された。 The straightness of the pattern was determined by visual observation of whether or not the edge of a 10-micron line (line having a width of 10 μm) was rattling. Further, the pattern peeling was visually judged as to whether peeling or chipping occurred on a 5 micron line (a line having a width of 5 μm). The residue was visually determined whether or not the pigment residue remained on the glass. From this, the patterns obtained in Examples 2 to 4 were excellent in linearity, and the pigment residue and peeling from the substrate were not confirmed. On the other hand, in Comparative Example 1, it was shown that the pattern peeling was large and the straightness was not good at a low exposure amount.
更に実施例2と比較例1について、ポストベークの温度を200℃、220℃とした場合の残膜率を比較した結果を表3に示す。残膜率とは、露光およびポストベーク前の膜厚に対する、ポストベーク後の膜厚の割合をいう。これより本発明に係る感光性組成物を用いた方が、2%程度残膜率が高いことから、ポストベーク後の昇華物の発生を抑制できることが示された。
また、実施例2と比較例1について、露光時の昇華物の発生について検討を行なった。70枚100(mJ/cm2)で露光させた後に所定量のテトラヒドロフラン(THF)を用いてマスクを洗浄した。次いで、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(株式会社島津製作所社製)を用いてマスク付着物の定量を行なった。昇華物の発生量の比較は、チャートの16分付近のピークの面積より判断した。その結果を表4に示す。これより、本発明に係る感光性組成物を用いた方が昇華物の発生を抑制できることが示された。
Claims (13)
前記光重合開始剤として、下記の一般式(1)で示される化合物を含有する感光性組成物。
Aは−R1、−OR1、−COR1、−SR1、又は−NR1R2を表し、
Bは−R1、−OR1、−COR1、−SR1、−CONR1R2又は−CNを表し、
Gは水素原子、−R1、−OR1、−COR1、−SR1、又は−NR1R2を表し、
上記R1及びR2は、それぞれ独立して、アルキル基、アリール基、アラルキル基又は複素環基を表し、これらはハロゲン原子及び/又は複素環基で置換されていてもよく、これらのうちアルキル基及びアラルキル基のアルキレン部分は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよく、また、R1及びR2は一緒になって環を形成していてもよく、
Dは、同一又は異なっていてもよい、ハロゲン原子、又は、炭素数1以上20以下であってヘテロ原子を含んでいてもよい炭化水素系基を表し、
Eは、同一又は異なっていてもよい、炭素数1から20のアルキル基、炭素数1から20のアルコキシ基、炭素数3から20のシクロアルキル基、−OR3、−NR4R5を表し、
ここで、R3は、炭素数1から20のアルキル基(炭素原子の一部がヘテロ原子で置換されていてもよい)、炭素数3から20のシクロアルキル基(炭素原子の一部がヘテロ原子で置換されていてもよい)を表し、
R4、R5は、同一又は異なっていてもよい、炭素数1から20のアルキル基、炭素数2から20のアルコキシカルボニル基、あるいはR4とR5とは一緒になって炭素数3から20の環を形成してもよく、環を形成した場合、炭素原子の一部がヘテロ原子で置換されていてもよく、
さらに、Eの少なくとも1つは、分子量が30以上の基を表し、
mは0から5の整数、nは0から3の整数であり、m+n>1を満たす。] Containing a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, and a colorant;
The photosensitive composition containing the compound shown by following General formula (1) as said photoinitiator.
A is -R 1, -OR 1, -COR 1 , -SR 1, or represents -NR 1 R 2,
B is -R 1, -OR 1, -COR 1 , -SR 1, -CONR 1 R 2 or represents -CN,
G represents a hydrogen atom, -R 1, -OR 1, -COR 1, -SR 1, or -NR 1 R 2,
R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a heterocyclic group, which may be substituted with a halogen atom and / or a heterocyclic group, The alkylene part of the group and the aralkyl group may be interrupted by an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond or an ester bond, and R 1 and R 2 may be combined to form a ring;
D represents a halogen atom which may be the same or different, or a hydrocarbon group which has 1 to 20 carbon atoms and may contain a hetero atom;
E represents the same or different alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, alkoxy group having 1 to 20 carbon atoms, cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms, —OR 3 , —NR 4 R 5 . ,
Here, R 3 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (a part of carbon atoms may be substituted with a heteroatom), a cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms (a part of carbon atoms is heterogeneous). Which may be substituted with atoms)
R 4 and R 5 , which may be the same or different, are alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl groups having 2 to 20 carbon atoms, or R 4 and R 5 together are 20 rings may be formed, and when a ring is formed, some of the carbon atoms may be substituted with heteroatoms,
Further, at least one of E represents a group having a molecular weight of 30 or more,
m is an integer from 0 to 5, n is an integer from 0 to 3, and satisfies m + n> 1. ]
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