JP2006114954A - 電気光学装置及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】アンテナと表示部とを共に備えた電気光学装置において、それ自身の小型化が可能で、搭載機器の小型化を図ることのできる構成を提供する。
【解決手段】本発明に係る電気光学装置は、表示部および前記表示部を駆動する表示部駆動配線が設けられた少なくとも一つの基板と、少なくとも一部が前記基板内に配置された第１のアンテナ１２０と、前記第１のアンテナとは独立して設けられ、前記第１のアンテナの一部に対して平面的に重なるように配置され、前記第１のアンテナの残部に対して平面的に重ならないように構成された第２のアンテナ１２２と、前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナに対して電気的に接続され、前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナを介したデータの送受信を制御する通信回路と、を具備することを特徴とする。
【選択図】図１１

Description

本発明は電気光学装置及び電子機器に係り、特に、無線通信機能を備えた電気光学装置の構成に関する。

他の機器と無線により通信する機能を備えた種々の電子機器が従来から広く普及している。例えば、利用者や物品を識別するためのＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）を利用した技術のもとでは、種々のデータが記憶されたＩＣタグ（ＲＦＩＤ）と、このＩＣタグに対して非接触にてデータの書込みや読出しを行なう機器（以下、単に「リーダライタ」という。）とが利用される。ＲＦＩＤおよびリーダライタにはそれぞれアンテナと、電磁波を変復調する通信チップが設けられている。

ＲＦＩＤおよびリーダライタでは、アンテナは通常ループアンテナであり、各機器に１つのアンテナのみが設けられている。これらのアンテナについては、通信相手の機器からの距離が離れたり、アンテナと通信相手の機器の間に電波を遮蔽または障害する物体、例えば金属または液体が存在したりしても、確実に通信することが望まれている。また、一般的には、各機器は単一の通信チップしか有していないので、アンテナの使用可能な周波数帯域が広くても、単一種類の情報しか利用することはできない。

一方、移動体通信端末の技術分野では、受信感度や送信電波強度を上げるために利得の高いヘリカルアンテナを使用する提案や、複数の通信モードを実行できるように複数の通信制御処理部を使用する提案がすでになされている（例えば特許文献１）。
特開平１１−２１５０２２号公報（図７、図８）

通信を行う電子機器には表示装置を有するものが多い。例えば、現在ではほとんどの移動体通信端末に表示装置が設けられているし、ＲＦＩＤのリーダライタでも同様である。またリーダライタで読み書きされるＲＦＩＤにも人間への情報提供のために表示装置が設けられることがある。これらの技術において、通常、アンテナは表示装置とは別個に製造され、組み立てられるので、アンテナを設けると装置が大型化し、携帯型電子機器のような小型電子機器に内蔵することが難しい。また、アンテナを表示装置と一体化することも考えられるが、このようにすると、表示装置の設計の自由度が狭くなり、表示装置に構造的な制約が課せられるという問題点が想定される。

また、リーダライタの小型化を図ると、アンテナ性能の低下により送受信機能にも制約が生じ、ＲＦＩＤとの距離が離れたり、金属や液体などの遮蔽物や障害物が存在したりすると、データの読み取りや書き込みに不具合がでるという問題点がある。

さらに、ＲＦＩＤとリーダライタとの間の通信性能に関しては、多くの場面で通信状態を良好に確保したり、多くの通信態様に適合させたりする必要性が想定され、例えば、ＲＦＩＤの普及とともに、複数のデータを同時に読み取ったり書き込んだりする場面が多くなり、また、複数種類のデータを送受信可能に構成する必要性が高くなるものと考えられるが、従来の単一のアンテナを装備するリーダライタで通信を行う場合、アンテナを使用する無線帯域に対して最適化することができないため送受信性能を高めることができない、不要なカテゴリーのデータまで読み込んで処理する必要が生ずるなど、種々の使用態様に適合し得る通信性能の確保が難しいといった問題点がある。

そこで、本発明は、上記問題点を解決するものであり、その目的は、アンテナと表示部とを共に備えた電気光学装置において、それ自身の小型化が可能で、搭載機器の小型化を図ることのできる構成を提供することにある。また、他の目的は、アンテナと表示部とを共に備えた電気光学装置において、表示部の設計上の制約を低減した構成を提供することにある。さらに、別の目的は、アンテナと表示部とを共に備えた電気光学装置において、多様な使用態様に適合可能な通信性能を確保できる構成を提供することにある。

本発明に係る電気光学装置は、表示部および前記表示部を駆動する表示部駆動配線が設けられた少なくとも一つの基板と、少なくとも一部が前記基板内に配置された第１のアンテナと、前記第１のアンテナとは独立して設けられ、前記第１のアンテナの一部に対して平面的に重なるように配置され、前記第１のアンテナの残部に対して平面的に重ならないように構成された第２のアンテナと、前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナに対して電気的に接続され、前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナを介したデータ通信を制御する通信回路と、を具備することを特徴とする。

この発明によれば、第１のアンテナの少なくとも一部が基板内に配置され、第１のアンテナの一部に対して第２のアンテナが平面的に重なるように配置されるように構成することで、複数のアンテナをコンパクトに配置することができるとともに、表示部の構造上の制約を低減することが可能になる。例えば、表示部と平面的に重ならない領域において複数のアンテナをコンパクトに配置することが可能である。また、第１のアンテナの残部に対して第２のアンテナが平面的に重ならないように配置されていることにより、第１のアンテナに対して、電波が伝播してくる側、或いは、電波を送信すべき側に第２のアンテナが配置されている場合でも、両アンテナによりそれぞれ確実に無線通信を行うことが可能になる。さらに、第１のアンテナと第２のアンテナとが独立して設けられていることにより、各アンテナの最適化が可能になるため、通信性能を高めることができるとともに、複数の周波数帯域にて独立して通信を行うことが可能になるなど、種々の使用態様に適合可能な通信性能を確保することが可能になる。

なお、本発明に係る上記通信回路は、前記第１のアンテナに接続された第１の通信回路と、前記第２のアンテナに接続された第２の通信回路とが別個に構成されていることが好ましい。このようにすると、通信回路の構成を複雑化することなく、それぞれのアンテナにおける送受信データを完全に独立に処理することが可能になる。すなわち、基板に配置された複数のアンテナは互いに独立し、複数の通信回路にそれぞれ電気的に接続されているので、それぞれ異なる周波数を使用することができる。例えば異なる周波数チャネルを用いた複数種類の情報の受信や送信が実現できる。また、本発明に係る通信回路は、送信機能のみ、或いは、受信機能のみを有するものを含むものとする。さらに、本発明に係る上記電気光学装置としては、液晶表示装置、ＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode）表示装置、プラズマ表示装置、および電気泳動などが例示される。

本発明において、前記第１のアンテナの配線幅は、前記第２のアンテナの配線幅より大きいことが好ましい。これによれば、第１のアンテナに対して、電波が伝播してくる側、或いは、電波を送信すべき側に第２のアンテナが配置されている場合でも、第１のアンテナの送受信性能の低下を抑制することが可能になる。

本発明において、前記第１のアンテナのうち前記基板内に配置された部分が、前記表示部若しくは前記表示部駆動配線を構成する導電材若しくは半導体と同一層で構成されていることが好ましい。このように、基板に配置されたアンテナの部分が、表示部または表示部駆動配線を構成する導電材または半導体材と同じ層にあるので、アンテナを表示部または表示部駆動配線と同工程または連続した工程で製造することが可能になる。従って、製造の工程を簡略化することが可能である。

本発明において、前記第１のアンテナのうち前記基板内に配置された部分が、前記表示部若しくは前記表示部駆動配線を構成する導電材若しくは半導体と同一材料で構成されていることが好ましい。このように、基板に配置されたアンテナの部分が、表示部または表示部駆動配線を構成する導電材または半導体材と同じ導電材または半導体材から形成されているので、アンテナを表示部または表示部駆動配線と同工程または連続した工程で製造することが可能になる。従って、製造の工程を簡略化することが可能である。

本発明において、前記第１のアンテナが前記基板内の複数層に亘り延在していることが好ましい。これによってアンテナ性能を高めることができる。具体的には、第１のアンテナは、導電材または半導体材からなる複数の導電層から形成される。

この場合、第１のアンテナが複数の導電層から形成されている形態としては、複数の具体的態様を採ることができる。一つは、アンテナが螺旋状に形成されている（各導電層は完結的に閉じたループを構成せず、しかも一つの導電層の一端部は近接する他の導電層に接続されているが、他端部は当該他の導電層に接続されていない）形態である。この場合には、各アンテナは、本質的に、複数巻きのヘリカルアンテナであり、単巻きのアンテナに比べて、通信の信頼性すなわち受信感度や送信電波強度が高い。他の一つの形態では、アンテナが格子状に形成されている（互いに離間した複数の箇所で、導電層が相互に電気的に接続されている）。この場合には、各アンテナは、並列に接続された複数の導電層を有するが、本質的に単巻きのアンテナと等価である。従って、その受信感度や送信電波強度は高くないが、導電層が並列であるために、一つの導電層が断線しても他の導電層が有効に接続されている限り、アンテナの機能が維持される。

いずれの場合にも、互いに近接し合う前記導電層が複数の接続部で互いに電気的に接続されているとさらに好ましい。これによれば、一つの接続部が断線しても他の接続部が有効に接続されている限り、導電層同士の間の導通が維持される。

また、本発明の別の電気光学装置は、表示部および前記表示部を駆動する表示部駆動配線が設けられた少なくとも一つの基板と、少なくとも一部が前記基板内に配置された第１のアンテナと、少なくとも一部が前記基板内に配置され、前記第１のアンテナとは独立して設けられ、前記第１のアンテナの一部に対して平面的に重なるように配置され、前記第１のアンテナの残部に対して平面的に重ならないように構成された第２のアンテナと、前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナに対して電気的に接続され、前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナを介したデータ通信を制御する通信回路と、を具備することを特徴とする。

この発明によれば、第１のアンテナ及び第２のアンテナの少なくとも一部が基板内に配置され、第１のアンテナの一部に対して第２のアンテナが平面的に重なるように配置されるように構成することで、複数のアンテナをさらにコンパクトに配置することができるとともに、表示部の構造上の制約を低減することが可能になる。例えば、表示部と平面的に重ならない領域において複数のアンテナをコンパクトに配置することが可能である。また、第１のアンテナの残部に対して第２のアンテナが平面的に重ならないように配置されていることにより、第１のアンテナに対して、電波が伝播してくる側、或いは、電波を送信すべき側に第２のアンテナが配置されている場合でも、両アンテナによりそれぞれ確実に無線通信を行うことが可能になる。さらに、第１のアンテナと第２のアンテナとが独立して設けられていることにより、各アンテナの最適化が可能になるため、通信性能を高めることができるとともに、複数の周波数帯域にて独立して通信を行うことが可能になるなど、種々の使用態様に適合可能な通信性能を確保することが可能になる。

なお、本発明に係る上記通信回路では、前記第１のアンテナに接続された第１の通信回路と、前記第２のアンテナに接続された第２の通信回路とが別個に構成されていることが好ましい。このようにすると、通信回路の構成を複雑化することなく、それぞれのアンテナにおける送受信データを完全に独立に処理することが可能になる。すなわち、基板に配置された複数のアンテナは互いに独立し、複数の通信回路にそれぞれ電気的に接続されているので、それぞれ異なる周波数を使用することができる。例えば異なる周波数チャネルを用いた複数種類の情報の受信や送信が実現できる。また、本発明に係る通信回路は、送信機能のみ、或いは、受信機能のみを有するものを含むものとする。さらに、本発明に係る上記電気光学装置としては、液晶表示装置、ＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode）表示装置、プラズマ表示装置、および電気泳動などが例示される。

この発明においても、前記第１のアンテナの配線幅は、前記第２のアンテナの配線幅より大きいことが好ましい。

この場合において、前記第１のアンテナが前記第２のアンテナよりも下層に配置されていることが好ましい。これによれば、基板内において第１のアンテナが第２のアンテナよりも下層に配置されていることにより、第１のアンテナ上に第２のアンテナを形成する場合に、第１のアンテナの配線幅が大きく、第２のアンテナの配線幅が小さいことから、第１のアンテナの上層に形成される段差に起因する第２のアンテナのパターニングの困難性を緩和することができる。

本発明において、前記第１のアンテナ及び第２のアンテナのうち前記基板内に配置された部分が、前記表示部若しくは前記表示部駆動配線を構成する導電材若しくは半導体とそれぞれ同一層で構成されていることが好ましい。また、前記第１のアンテナ及び第２のアンテナのうち前記基板内に配置された部分が、前記表示部若しくは前記表示部駆動配線を構成する導電材若しくは半導体と同一材料でそれぞれ構成されていることが好ましい。さらに、前記第１のアンテナ及び第２のアンテナが前記基板内の複数層に亘りそれぞれ延在していることが好ましい。

上記各発明においては、前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナは、前記表示部及び前記表示部駆動配線と平面的に重ならない位置に形成されていることが好ましい。第１のアンテナ及び第２のアンテナは表示部及び表示部駆動配線と平面的に重なるように設けることもできる。ただし、第１のアンテナ及び第２のアンテナを表示部及び表示部駆動配線と平面的に重ならないように設けることにより、表示部や表示部駆動配線の構造上の制約をなくし、構造の複雑化を緩和することができる。

次に、本発明の電子機器は、上記のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする。本発明に係る電気光学装置は様々な電子機器に設けることが可能である。特に、小型化が要求される携帯型電子機器、例えば、携帯電話、携帯型情報端末、電子時計などに設けることが効果的である。また、例えば、電子機器としては、ＲＦＩＤのリーダライタでもよいし、リーダライタで読み書きされるＲＦＩＤでもよい。さらに、このようなＲＦＩＤのリーダライタ若しくはＲＦＩＤを搭載した各種の電子機器を構成することもできる。

以下、添付図面を参照しながら本発明に係る実施の形態を説明する。なお、以下に示す図面においては、各部の寸法や比率を図示の都合上実際のものとは適宜に異ならせてある。

［１．電気光学装置］
以下の説明では、本発明の実施形態に係る電気光学装置として液晶表示パネルを例とする。図１に示すように、液晶表示パネル（電気光学装置）１００は、互いに対向するアレイ基板１０２および対向基板１０４を有する。アレイ基板１０２の周縁部と対向基板１０４の周縁部の間には、周辺シール材１０６が配置されて、この周辺シール材１０６が基板１０２，１０４を接合する。基板１０２，１０４の間には多数の球形のスペーサ１０８が配置されており、スペーサ１０８によって両者は平行に保たれている。基板１０２，１０４および周辺シール材１０６により画定された空間には、電気光学材料としての液晶１０５が充填されている。

アレイ基板１０２の一方の面（対向基板１０４に対向する面）には透明な画素電極１１０および画素電極を駆動する薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor:以下適宜、ＴＦＴと称す）が形成されている。対向基板１０４の一方の面（アレイ基板１０２に対向する面）には透明な共通電極１１２が形成されている。これらの電極を含めてアレイ基板１０２および対向基板１０４は、液晶表示パネルの技術分野で知られた材料から製造することが可能である。即ち、基板１０２，１０４は、支持基板としての透明基板に透明電極駆動用のＴＦＴをなす半導体および透明電極となるＩＴＯ（indium tin oxide）等を堆積させることにより製造することができる。画素電極１１０および共通電極１１２は、それぞれ配向膜１１４，１１６により被覆されている。図示しないが、対向基板１０４には、複数のカラーフィルタおよびブラックマトリクスを設けてもよい。

アレイ基板１０２には、二つのアンテナすなわち第１のアンテナ１２０および第２のアンテナ１２２が互いに重なり合うように配置されている。第１のアンテナ１２０はアレイ基板１０２に完全に埋設されている。一方、第２のアンテナ１２２の下部はアレイ基板１０２に埋設されており、最上部が画素電極１１０と同じ高さにあってアレイ基板１０２に接合されている。

図１には示さないが、第１のアンテナ１２０及び第２のアンテナ１２２の各々は、別個のＩＣチップに接続されている。各ＩＣチップは通信回路を内包しており、この通信回路は電磁波を変復調することが可能であって、接続されたアンテナを介したデータの送受信を制御する。従って、アンテナとＩＣチップは非接触通信を行う通信装置を構成する。

この通信回路は送信機能及び受信機能の双方を備えたものであることが好ましいが、送信機能若しくは受信機能のうちのいずれか一方のみを備えていても構わない。また、第１のアンテナ１２０及び第２のアンテナ１２２の双方に接続された単一のＩＣチップを有し、このＩＣチップ内に第１のアンテナ１２０に接続される第１の通信回路と、第２のアンテナ１２２に接続される第２の通信回路が内包されていてもよい。さらには、第１のアンテナ１２０と第２のアンテナ１２２の双方に接続された共通の通信回路が設けられていてもよい。

また、上記のＩＣチップは、電磁波による通信に加えてアンテナ１２０，１２２を介した電磁誘導の原理を用いた充電のために使用されてもよい。また各ＩＣチップは通信したデータを格納する記憶回路や通信するデータを生成する制御回路を内包していてもよい。

これらのアンテナ１２０，１２２は、アレイ基板１０２の製造時に製造される。より具体的には、アレイ基板１０２に表示部としての画素電極１１０または画素電極駆動用の駆動配線（ＴＦＴを含む）を形成する工程と同時に、画素電極１１０または画素電極駆動用の駆動配線を構成する導電材または半導体材と同じ導電材または半導体材により形成される。以下、アレイ基板１０２の製造方法を説明する。ＴＦＴおよび駆動配線の具体的構成も製造方法の説明を通じて明らかにする。

まず図２に示すように、例えばガラスまたは石英製の支持基板１０の上に、合金アンテナ最下層１２および遮光層（ブラックマトリクス）１４を同一の導電材から同時に形成する。具体的には、支持基板１０の全面に、好ましくは不透明な高融点金属であるＴｉ、Ｃｒ、Ｗ、Ｔａ、Ｍｏ及びＰｂのうちの少なくとも一つを含む、金属単体、合金またはシリサイドの膜を、スパッタリングにより堆積させる。そして、この膜をエッチングすることにより、アンテナ最下層１２と遮光層１４をパターニングする。

次に、図３に示すように、アンテナ最下層１２および遮光層１４の上に、窒化シリコン膜や酸化シリコン膜等からなる下地絶縁層１６を堆積させる。さらに図４に示すように、アンテナ最下層１２に到達する穴すなわちアンテナコンタクトホール１８を下地絶縁層１６に形成する。

次に、図５に示すように、下地絶縁層１６の上にトランジスタ能動層２２とアンテナ中間層２０を同一の半導体材から同時に形成する。この時、アンテナコンタクトホール１８もアンテナ中間層２０の半導体材で埋められる。アンテナ中間層２０はアンテナ最下層１２に接してこれの上方に形成され、トランジスタ能動層２２は遮光層１４と間隔をおいてこれの上方に形成される。

この半導体材は、好ましくは抵抗値の小さい半導体、例えばポリシリコン膜である。具体的には、ポリシリコン膜の形成は、例えばアモルファスシリコン膜を下地絶縁層１６の上に堆積させた後、アモルファスシリコン膜にアニール処理を施せばよい。アモルファスシリコン膜を堆積させずに、減圧ＣＶＤ法等によりポリシリコン膜を下地絶縁層１６の上に直接堆積させてもよい。そして、この膜をエッチングすることにより、トランジスタ能動層２２とアンテナ中間層２０をパターニングする。好ましくは、アンテナ中間層２０には、さらにその抵抗を低下させる処理が施される。例えば、Ｐイオンを内部に拡散することにより導電化することができる。

次に、図６に示すように、トランジスタ能動層２２とアンテナ中間層２０を覆うゲート絶縁膜２３を形成する。ゲート絶縁膜２３は、熱酸化シリコン膜２４と高温酸化シリコン膜（ＨＴＯ膜）２６を有する。熱酸化シリコン膜２４は、約９００〜１３００℃の温度でトランジスタ能動層２２とアンテナ中間層２０のポリシリコン膜の表面を酸化させることにより得られる。ＨＴＯ膜２６は、減圧ＣＶＤ法等により堆積することにより得られる。さらに図７に示すように、アンテナ中間層２０に到達する穴すなわちアンテナコンタクトホール２８をゲート絶縁膜２３に形成する。

次に、図８に示すように、ゲート絶縁膜２３の上にゲート電極（走査線）３２とアンテナ最上層３０を同一の導電材または半導体材から同時に形成する。この時、アンテナコンタクトホール２８もアンテナ最上層３０の導電材または半導体材で埋められる。アンテナ最上層３０はアンテナ中間層２０に接してこれの上方に形成され、ゲート電極（走査線）３２はトランジスタ能動層２２と間隔をおいてその上方に形成され、紙面に対する垂直方向に延びている。

ゲート電極３２とアンテナ最上層３０を形成する導電材または半導体材は、金属単体、合金またはシリサイドの膜でもよいし、ポリシリコンの膜でもよい。例えば、金属単体、合金またはシリサイドの膜を、スパッタリングにより堆積させ、この膜をエッチングすることにより、アンテナ最上層３０とゲート電極３２をパターニングしてよい。また、ポリシリコン膜の内部にＰイオンを拡散させて導電化したアンテナ最上層３０とゲート電極３２を得ることもできる。この時点で、アンテナ最下層１２、アンテナ中間層２０およびアンテナ最上層３０の三つの導電層を有する第１のアンテナ１２０が形成される。

次に、図９に示すように、ゲート電極３２とアンテナ最上層３０を覆う層間絶縁膜３４を形成する。層間絶縁膜３４は例えばＣＶＤ法等により酸化シリコンまたは窒化シリコンを堆積させることにより形成できる。さらに、トランジスタ能動層２２に到達する対になった穴を層間絶縁膜３４およびゲート絶縁膜２３に形成し、これらの穴を埋めるソース電極３６およびドレイン電極３７を導電材から形成する。ソース電極３６およびドレイン電極３７の形成と同時に、別のアンテナ（第２のアンテナ１２２）のアンテナ最下層３８を同じ導電材によって形成することができる。

本実施形態では、アンテナ最下層３８を、第１のアンテナ１２０の一部と平面的に重なるように形成し、かつ、第１のアンテナ１２０の残部と平面的に重ならないように構成している。具体的には、アンテナ最下層３８の全てが第１のアンテナ１２０のいずれかの部分（上記のアンテナ最下層１２、アンテナ中間層２０およびアンテナ最上層３０の三つの導電層のうちの少なくともいずれか一つ）と必ず平面的に重なり、しかも、第１のアンテナ１２０には、アンテナ最下層３８と平面的に重ならない部分（残部）が存在する。特に本実施形態の場合、第１のアンテナ１２０における上記のアンテナ最下層１２、アンテナ中間層２０およびアンテナ最上層３０の三つの導電層は相互に同一の配線幅Ｗ１を有し、相互に平面的に完全に重なり合った状態にあるので、アンテナ最下層３８は、上記三つの導電層のいずれにも平面的に重なるように構成されている。

また、本実施形態では、アンテナ最下層３８の配線幅Ｗ２を第１のアンテナ１２０の配線幅Ｗ１よりも小さく形成してある。したがって、アンテナ最下層３８を第１のアンテナ１２０の上方に形成しても、第１のアンテナ１２０の一部に対してアンテナ最下層３８が平面的に重なるが、必ず、第１のアンテナ１２０の残部に対してアンテナ最下層３８が平面的に重ならない状態となる。

ここで、図示の形態では、アンテナ最下層３８は既に形成された第１のアンテナ１２０の上方に形成されているが、このアンテナ最下層３８を含んで構成される第２のアンテナ１２２が、結果的に第１のアンテナ１２０の一部と平面的に重なるように構成されていれば、アンテナ最下層３８を第１のアンテナ１２０と重ならない位置に形成してもよい。また、アンテナ最下層３８の一部を第１のアンテナ１２０の一部と平面的に重なるように形成し、アンテナ最下層３８の残部を第１のアンテナ１２０と重ならないように形成してもよい。

次に、ソース電極３６、ドレイン電極３７およびアンテナ最下層３８を覆う層間絶縁膜４０を形成する。層間絶縁膜４０も層間絶縁膜３４と同様に形成できる。また、アンテナ最下層３８に到達する穴すなわちアンテナコンタクトホール４２を層間絶縁膜４０に形成する。

次に、図１０に示すように、層間絶縁膜４０の上に容量電極（容量電極線）４６とアンテナ中間層４８を同一の導電材または半導体材から同時に形成する。この時、アンテナコンタクトホール４２もアンテナ中間層４８の導電材または半導体材で埋められる。アンテナ中間層４８はアンテナ最下層３８に接してこれの上方に形成され、容量電極４６はゲート電極（走査線）３２と間隔をおいてその上方に形成され、紙面に対する垂直方向に延びている。容量電極４６はドレイン電極３７の少なくとも一部と対向配置され、容量電極４６とドレイン電極３７との間に蓄積容量が形成される。

ここで、容量電極４６とアンテナ中間層４８を形成する導電材または半導体材は、前述のゲート電極３２とアンテナ最上層３０を形成する導電材または半導体材と同様でよく、同様に形成することができる。また、アンテナ中間層４８は、第１のアンテナ１２０に対する平面的な配置条件に関して上記アンテナ最下層３８と全く同様に構成されていることが好ましい。例えば、アンテナ中間層４８は、第１のアンテナ１２０の一部に対して平面的に重なり、第１のアンテナ１２０の残部に対して平面的に重ならないように構成されること、アンテナ中間層４８の配線幅Ｗ２は、第１のアンテナ１２０の配線幅Ｗ１より小さいこと、などである。

次に、図１１に示すように、容量電極４６とアンテナ中間層４８を覆う層間絶縁膜５０を形成する。層間絶縁膜５０も例えばＣＶＤ法等により酸化シリコンまたは窒化シリコンを堆積させることにより形成できる。さらに、ソース電極３６とドレイン電極３７に到達する対になった穴を層間絶縁膜５０，４０に形成するとともに、アンテナ中間層４８に到達する穴（アンテナコンタクトホール）を層間絶縁膜５０に形成する。そして、これらの穴を導電材で埋めることにより、アンテナ中間層５２、ソース電極（データ線）５４およびドレイン電極５５を形成する。このようにして同一の導電材によりアンテナ中間層５２、ソース電極５４およびドレイン電極５５は同時に形成される。アンテナ中間層５２はアンテナ中間層４８と接してこれの上方に形成され、ソース電極５４はソース電極３６と接してこれの上方に形成され、ドレイン電極５５はドレイン電極３７と接してこれの上方に形成されている。

また、アンテナ中間層５２は、第１のアンテナ１２０に対する平面的な配置条件に関して上記アンテナ最下層３８やアンテナ中間層４８と全く同様に構成されていることが好ましい。例えば、アンテナ中間層５２は、第１のアンテナ１２０の一部に対して平面的に重なり、第１のアンテナの残部に対して平面的に重ならないように構成されること、アンテナ中間層５２の配線幅Ｗ２は、第１のアンテナ１２０の配線幅Ｗ１より小さいこと、などである。

さらにソース電極５４、ドレイン電極５５およびアンテナ中間層５２を覆う層間絶縁膜５６を形成する。層間絶縁膜５６も層間絶縁膜３４と同様に形成できる。また、ドレイン電極５５およびアンテナ最下層３８に到達する穴すなわちアンテナコンタクトホールを層間絶縁膜５６に形成する。この後、これらの穴をＩＴＯ（Indium Tin Oxide）で埋めることにより、画素電極１１０およびアンテナ最上層５８を形成する。このようにして同一の導電材により画素電極１１０およびアンテナ最上層５８は同時に形成される。画素電極１１０はドレイン電極５５と接してこれの上方に形成され、ソース電極５４はソース電極３６と接してこれの上方に形成され、ドレイン電極５５はドレイン電極３７と接してこれの上方に形成されている。

上記のアンテナ最上層５８においても、第１のアンテナ１２０に対する平面的な配置条件に関して上記アンテナ最下層３８、アンテナ中間層４８、５２と全く同様に構成されていることが好ましい。例えば、アンテナ最上層５８は、第１のアンテナ１２０の一部に対して平面的に重なり、第１のアンテナの残部に対して平面的に重ならないように構成されること、アンテナ最上層５８の配線幅Ｗ２は、第１のアンテナ１２０の配線幅Ｗ１より小さいこと、などである。

この時点で、アンテナ最下層３８、アンテナ中間層４８，５２およびアンテナ最上層５８の四つの導電層を有する第２のアンテナ１２２が形成される。この第２のアンテナ１２２は、第１のアンテナ１２０の一部に対して平面的に重なり、第１のアンテナ１２０の残部に対して平面的に重ならないように構成されている。すなわち、第２のアンテナ１２２の少なくともいずれか一部が第１のアンテナ１２０の少なくともいずれか一部に平面的に重なり、しかも、第２のアンテナ１２２のいずれの部分もが平面的に重ならない第１のアンテナ１２０の部分（残部）が存在する。

また、本実施形態では、第１のアンテナ１２０の各導電層（アンテナ最下層１２、アンテナ中間層２０及びアンテナ最上層３０）は相互に同じ配線幅Ｗ１を有し、第２のアンテナ１２２の各導電層（アンテナ最下層３８、アンテナ中間層４８，５２及びアンテナ最上層５８）は相互に同じ配線幅Ｗ２を有し、配線幅Ｗ１は配線幅Ｗ２より大きい。特に、図示例の場合、第１のアンテナ１２０の各導電層は相互に完全に重なりあっており、また、第２のアンテナ１２２の各導電層も相互に完全に重なりあっており、第１のアンテナ１２０の各導電層の上方に第２のアンテナ１２２が配置され、第１のアンテナ１２０の各導電層には、第２のアンテナ１２２と平面的に重なりあっていない部分（残部）が存在する。

なお、本発明においては、上記のように第１のアンテナ１２０及び第２のアンテナ１２２が複数の導電層でそれぞれ形成されている必要はなく、単一の導電層で構成されていてもよい。また、複数の導電層が相互に同じ配線幅を有する必要はなく、相互に異なる配線幅を有していてもよい。この場合、第１のアンテナ１２０の平均の配線幅が第２のアンテナ１２２の平均の配線幅より大きくなっていればよい。

以上のようにして、表示部としての画素電極１１０と、画素電極駆動用の駆動配線（ＴＦＴを含む）と、第１のアンテナ１２０と、第２のアンテナ１２２を備えたアレイ基板１０２が形成される。このようにアレイ基板１０２に配置されたアンテナの部分を、表示部または表示部駆動配線と同工程で同じ導電材または半導体材により形成することによって、製造の工程を簡略化することが可能である。

なお、上記のように第２のアンテナ１２２を第１のアンテナ１２０の上方に形成する場合、第１のアンテナ１２０（アンテナ最上層３０）によって第２のアンテナ１２２（アンテナ最下層３８）の下地面（層間絶縁膜３４の表面）に段差が生ずるが、第２のアンテナ１２２の配線幅Ｗ２が第１のアンテナ１２０の配線幅Ｗ１より小さいことにより、第１のアンテナ１２０に起因して形成された段差を避けて第２のアンテナ１２２を配置することができるので、上記下地面の段差が第２のアンテナ１２２（アンテナ最下層３８）のパターニングに影響を及ぼし、パターニング不良を招くといったことが防止される。

図１２は、アレイ基板１０２の一例の透視斜視図である。この図では、第１のアンテナ１２０および第２のアンテナ１２２を重視し、画像範囲となる画素電極および駆動配線の図示を省略している。第１のアンテナ１２０は、アンテナ最下層１２、アンテナ中間層２０およびアンテナ最上層３０の三つの導電層を備えており、格子状に形成されている。つまり互いに離間した複数の箇所で、導電層が相互に電気的に接続されている。アンテナ最下層１２、アンテナ中間層２０およびアンテナ最上層３０の各々には、導電性のない隙間Ｓ１が設けられている。

第１のアンテナ１２０には、上述した通信回路などを内包したＩＣチップ１２４が接続されている。ＩＣチップ１２４の両方の端子から延びた接続線１２５は、隙間Ｓ１を挟んだアンテナ最上層３０の両端に接続されている。また、第２のアンテナ１２２は、アンテナ最下層３８、アンテナ中間層４８、アンテナ中間層５２およびアンテナ最上層５８の四つの導電層を備えており、やはり格子状に形成されている。アンテナ最下層３８、アンテナ中間層４８、アンテナ中間層５２およびアンテナ最上層５８には、導電性のない隙間Ｓ２が設けられている。

第２のアンテナ１２２には、上述した通信回路などを内包したＩＣチップ１２６が接続されている。ＩＣチップ１２６の両方の端子は、隙間Ｓ２を挟んだアンテナ最上層５８の両端に接続されている。この例では、格子状に形成されたアンテナ１２０，１２２の各々は、並列に接続された複数の導電層を有するが、本質的に単巻きのアンテナと等価である。従って、その受信感度や送信電波強度は高くないが、導電層が並列であるために、一つの導電層が断線しても他の導電層が有効に接続されている限り、アンテナの機能が維持される。また、互いに近接し合う導電層が複数の接続部（上記アンテナコンタクトホールを通して導電接続された部分）で互いに電気的に接続されているので、一つの接続部が断線しても他の接続部が有効に接続されている限り、導電層同士の間の導通が維持される。

図１３は、アレイ基板１０２の他の例の透視斜視図である。この図でも図１３と同様に、第１のアンテナ１２０および第２のアンテナ１２２を重視し、画像範囲となる画素電極および駆動配線の図示を省略している。第１のアンテナ１２０は、アンテナ最下層１２、アンテナ中間層２０およびアンテナ最上層３０の三つの導電層を備えており、螺旋状に形成されている。つまり各導電層は完結的に閉じたループを構成せず、しかも一つの導電層の一端部は近接する他の導電層に接続されているが、他端部は当該他の導電層に接続されていない。ＩＣチップ１２４の両方の端子から延びた接続線１２５は、アンテナ最上層３０の一端とアンテナ最下層１２の一端に接続されている。

また、第２のアンテナ１２２は、アンテナ最下層３８、アンテナ中間層４８、アンテナ中間層５２およびアンテナ最上層５８の四つの導電層を備えており、やはり螺旋状に形成されている。ＩＣチップ１２６は、アンテナ最上層５８の一端とアンテナ最下層３８の一端に接続されている。この例では、アンテナ１２０，１２２の各々は、本質的に、複数巻きのヘリカルアンテナであり、単巻きのアンテナに比べて、通信の信頼性すなわち受信感度や送信電波強度が高い。この例でも、図示のように、導電層の端部は、複数の接続部（上記アンテナコンタクトホールを通して導電接続された部分）で互いに電気的に接続されているので、一つの接続部が断線しても他の接続部が有効に接続されている限り、導電層同士の間の導通が維持される。

図１２および図１３に示されたいずれの例でも、アレイ基板１０２に配置された複数のアンテナ１２０，１２２は互いに独立し、ＩＣチップ１２４，１２６にそれぞれ電気的に接続されているので、それぞれ異なる周波数帯を使用することができる。従って、この液晶表示パネルを持つ電子機器としては、例えば異なる周波数チャネルを用いた複数種類の情報の受信や送信が実現できる。

図１２および図１３に示されたいずれの例でも、アンテナ１２０，１２２と同様に、ＩＣチップ１２４，１２６とアンテナ１２０，１２２とを接続する接続線（例えば接続線１２５）を、表示部または表示部駆動配線を形成する工程と同時に、表示部または表示部駆動配線を構成する導電材または半導体材と同じ導電材または半導体材により形成してもよい。

ＩＣチップ１２４，１２６は、アレイ基板１０２の内部に配置せずに別個に製造してアレイ基板１０２に実装することができる。但し、ＩＣチップ１２４，１２６と等価な通信回路を、表示部または表示部駆動配線を形成する工程と同時に、表示部または表示部駆動配線を構成する導電材または半導体材と同じ導電材または半導体材により形成してもよい。これによれば、さらに製造の工程を簡略化することが可能である。この場合、アレイ基板１０２内の通信回路が配置される位置（高さ）は任意である。

図１４乃至図１７は、表示領域（複数の上記画素電極１１０が配列された領域）１３０の周囲に設けられたアンテナ１２０，１２２の配置例を示すものである。図１４に示す例では、第１のアンテナ１２０及び第２のアンテナ１２２が共に表示領域１３０の外側において表示領域１３０の周囲を周回する態様で形成されている。また、図１５に示す例では、第１のアンテナ１２０及び第２のアンテナ１２２は、表示領域１３０の外側において表示領域１３０の片側に共に形成されている。より具体的には、図示例では、矩形の表示領域１３０の１辺の外側に共に配置されている。さらに、図１６に示す例では、第１のアンテナ１２０及び第２のアンテナ１２２は、矩形に構成された表示領域１３０の隣接する２辺の外側に共に配置されている。また、図１７に示す例では、第１のアンテナ１２０及び第２のアンテナ１２２は、矩形に構成された表示領域１３０の隣接する３辺の外側に共に配置され、全体として、アンテナ設置領域が隣接する３辺の外側に広がっている。

なお、図１４及び図１５に示す例では、第１のアンテナ１２０と第２のアンテナ１２２とは、表示領域１３０の周囲のほぼ全体に亘って相互に一部が重なり合うように配置されているが、図１６及び図１７に示す例では、第１のアンテナ１２０と第２のアンテナ１２２とが表示領域１３０の周囲の一部領域において相互に少なくとも一部が重なり合い、他の領域においては全く重なりあっていない。このように、第１のアンテナ１２０と第２のアンテナ１２２とが全く重なり合っていない領域を部分的に設けることで、いずれのアンテナでも通信ができる使用態様（例えば電波の送受信方位、通信距離など）の範囲を広げることが可能である。このように構成した場合において、特に、アンテナが図示のようにループアンテナやヘリカルアンテナであるときには、それぞれのアンテナによって囲まれた領域間には相互に重ならない部分が存在することとなるので、各々のアンテナ性能の確保がさらに容易になり、アンテナ間の相互干渉も低減できる。

上記図１５乃至図１７に示す例では、表示領域１３０の外側のうち、第１のアンテナ１２０及び第２のアンテナ１２２の形成されていない部分に、液晶駆動回路などの表示部駆動回路（図示せず）を形成することが好ましい。これによって、表示部駆動回路を備えた液晶表示装置（電気光学装置）１００をコンパクトに構成できる。特に、表示領域１３０の外側に広がる周辺領域を小さく構成できる。また、後述するように、アンテナと表示部駆動配線とが重ならないようにする上でもこのような構成は好ましい。なお、この表示部駆動回路を半導体ＩＣで構成した場合には、当該半導体ＩＣを基板１０２，１０４の少なくともいずれか一方上に実装すればよい。

上記のようにアンテナ１２０，１２２は様々なパターンで配置することができ、上記の例以外の他のパターンを採用することもできる。なお、液晶表示パネルでは、走査線、データ線等が画素領域１３０の外部の駆動回路に接続されているので、アンテナ１２０，１２２を構成する導電層がこれらの線に接することなく避けるように配置しなければならない。個々のアンテナは、アンテナ部分を形成していない層のパターン等の遮蔽物と重ならないように配置すると、受信状態等がより向上される。アンテナを表示部駆動配線と重ならないように配置すると、カップリング容量等の増加による表示部駆動配線の駆動信号の遅延や液晶への書込み能力の低下等によるコントラスト等のパネル特性の低下を防ぐこともできる。さらに、アンテナ１２０、アンテナ１２２の間に少なくとも１層の層間絶縁膜を介す事により、確実な分離が出来る。その層間絶縁膜の膜厚を大きくする事により、アンテナ間に生じるカップリング容量等による通信の遅延を抑制出来る。
また、アンテナ１２０、アンテナ１２２の間に、絶縁膜等を介すことによりアンテナと電気的に導通していない少なくとも１層の導電層を構成し、さらにそれらの導電層に所定の電気信号を送る或いは所定の電位に固定することにより導電層はシールド層として機能する。それらにより、各アンテナの通信の遅延、或いはアンテナ同士の干渉等による誤動作、誤認識を最小限に防ぐ事ができる。

以上、電気光学装置１００として液晶表示パネルを例示したが、電気光学装置１００の構成の如何は不問である。例えば、有機ＥＬ（Electroluminescent）表示パネルなどのＯＬＥＤ（Organic Light Emitting Diode）表示パネル、プラズマ表示パネル、電気泳動表示パネルなど各種の表示パネルに本発明が適用され得る。

［２．電子機器］
図１８は、本発明に係る電気光学装置を備える携帯型電子機器１４０を示す。携帯型電子機器１４０はＲＦＩＤのリーダライタでもよいし、リーダライタで読み書きされるＲＦＩＤでもよい。また、ＲＦＩＤのリーダライタ或いはＲＦＩＤを搭載した携帯電話などの電子機器でもよい。図示のように、携帯型電子機器１４０では、電気光学装置の表示領域によって構成される表示画面１４２の周囲に第１のアンテナ１２０及び第２１のアンテナ１２２が配置されている。この携帯型電子機器１４０には、入力装置としての各種のボタンおよびキーが設けられており、その中のボタン１４４は、第１のアンテナ１２０とＩＣチップ１２４を有する非接触通信装置と、第２のアンテナ１２２とＩＣチップ１２６を有する非接触通信装置のいずれを使用するか選択的に切り替えるために押し下げられる。

要するに、この携帯型電子機器１４０は、図示しない制御装置によって、ある周波数帯を用いて第１のアンテナ１２０とＩＣチップ１２４によってある種の情報の受信または送信を行う第１の通信モードと、他の周波数帯を用いて第２のアンテナ１２２とＩＣチップ１２６によって他の種の情報の受信または送信を行う第２の通信モードで動作できるように構成されている。そしてボタン１４４は、第１の通信モードと第２の通信モードとを切り替えるためのものであり、ボタン１４４の操作によって上記制御装置が上記の通信モードの切り替え処理を実行する。

この場合、例えば、携帯型電子機器１４０の表示画面１４２とは反対側（裏側）に第１のアンテナ１２０が配置され、表示画面１４２側（表側）に第２のアンテナ１２２が配置されるときには、表側から到来する電波及び表側へ放射される電波に関しては、第２のアンテナ１２２が優先的に送受信することが可能であり、裏側から到来する電波及び裏側へ放射される電波に関しては、第１のアンテナ１２０が優先的に送受信することが可能である。

ただし、第１のアンテナ１２０には第２のアンテナ１２２と平面的に重ならない部分が存在するので、表側から到来する電波及び表側へ放射される電波に関して、第１のアンテナ１２０の送受信性能をも確保することができる。このときに裏側から到来する電波や裏側へ放出される電波に関して第２のアンテナ１２２の送受信性能が確保されるかどうかは、第２のアンテナ１２２が第１のアンテナ１２０と平面的に重ならない部分を備えているか否かにより影響を受ける。

なお、上記とは逆に、第１のアンテナ１２０が表側に、第２のアンテナ１２２が裏側に配置されていてもよい。この場合には、裏側から到来する電波に対して第２のアンテナ１２２だけでなく第１のアンテナ１２０の受信性能をも確保でき、また、裏側へ電波を放出する際には第２のアンテナ１２２だけでなく第１のアンテナ１２０の送信性能をも確保することができる。なお、表側から到来する電波に対して第１のアンテナ１２０が受信性能を有し、表側へ電波を放出する際に第１のアンテナ１２０が送信性能を有することはいうまでもない。このときに表側から到来する電波や表側へ放出される電波に関して第２のアンテナ１２２の送受信性能が確保されるかどうかは、第２のアンテナ１２２が第１のアンテナ１２０と平面的に重ならない部分を備えているか否かにより影響を受ける。

図１９は、本発明に係る電気光学装置を備える他の携帯型電子機器１５０を示す。携帯型電子機器１５０もＲＦＩＤのリーダライタでもよいし、リーダライタで読み書きされるＲＦＩＤでもよい。図示のように、携帯型電子機器１５０は、表示部筐体１５６と操作部筐体１５８とを備える。

表示部筐体１５６および操作部筐体１５８はヒンジ部１６０により連結されている。ヒンジ部１６０を中心として操作部筐体１５８に対して表示部筐体１５６は相対的に回転する。つまり、携帯型電子機器１５０は折り畳み式であり、図１９（Ａ）に示す開いた姿勢と、図１９（Ｂ）に示す閉じた姿勢（筐体１５６，１５８が重なった姿勢）を取ることができる。

操作部筐体１５８には入力装置としての各種のボタンおよびキーが設けられ、表示部筐体１５６には主画面１５２および副画面１５４が設けられている。主画面１５２は表示部筐体１５６の内面にて露出する。この内面とは、図１９（Ａ）に示す開いた姿勢で現れ、図１９（Ｂ）に示す閉じた姿勢では操作部筐体１５８に覆われて隠れてしまう面である。

他方、副画面１５４は表示部筐体１５６の外面に露出する。この外面とは上記の内面の裏側にあり、携帯型電子機器１５０の姿勢に関わらず常に現れている面である。主画面１５２および副画面１５４は、二つの電気光学装置の各々の表示面でよいし、デュアルエミッションタイプ（両面発光形式：反対の二方向に発光する形式）の一つの電気光学装置の両方の発光面でよい。実現されているデュアルエミッションタイプの電気光学装置としては、有機ＥＬ表示パネルが知られている。デュアルエミッションタイプの電気光学装置には、表示する画像を瞬時に左右反転できる機能を有しており、主画面および副画面の両方に同じ画像を同時に表示することができるものがあるが、この電気光学装置を用いてもよい。

表示部筐体１５６では、表示領域（主画面１５２および副画面１５４）の周囲にアンテナ１２０，１２２が配置されている。第１のアンテナ１２０は主画面１５２が露出した内面に近い層に設けられており、第２のアンテナ１２２は副画面１５４が露出した外面に近い層に設けられている。表示部筐体１５６には突起１６４が形成されており、操作部筐体１５８にはボタン１６２が設けられている。ボタン１６２は、第１のアンテナ１２０とＩＣチップ１２４を有する非接触通信装置と、第２のアンテナ１２２とＩＣチップ１２６を有する非接触通信装置のいずれを使用するか選択的に切り替えるために設けられている。

要するに、この携帯型電子機器１５０は、ある周波数帯を用いて第１のアンテナ１２０とＩＣチップ１２４によってある種の情報の受信または送信を行う第１の通信モードと、他の周波数帯を用いて第２のアンテナ１２２とＩＣチップ１２６によって他の種の情報の受信または送信を行う第２の通信モードで動作できる。そしてボタン１６２は、第１の通信モードと第２の通信モードとを切り替える。具体的には、図１９（Ｂ）に示す閉じた姿勢では突起１６４でボタン１６２が押し下げられ、携帯型電子機器１５０の動作モードは第２の通信モードになる。また、図１９（Ａ）に示す開いた姿勢では突起１６４がボタン１６２から離れ、携帯型電子機器１５０の動作モードは第１の通信モードになる。

この機器では、主として表示部筐体１５６を開いた状態において主画面１５２側から到来する電波に対しては第１のアンテナ１２０によって優先的に受信が行われ、主画面１５２側へ放射する電波については第１のアンテナ１２０から優先的に送信が行われる。一方、副画面１５４側から到来する電波に対しては第２のアンテナ１２２によって優先的に受信が行われ、副画面１５４側へ放射する電波については第２のアンテナ１２２から優先的に送信が行われる。

ただし、副画面１５４側から到来する電波に対しては第２のアンテナ１２２だけでなく第１のアンテナ１２０の受信性能をも確保でき、また、副画面１５４側へ電波を放出する際にも第２のアンテナ１２２だけでなく第１のアンテナ１２０の送信性能をも確保することができる。このときに主画面１５２側から到来する電波や主画面１５２側へ放出される電波に関して第２のアンテナ１２２の送受信性能が確保されるかどうかは、第２のアンテナ１２２が第１のアンテナ１２０と平面的に重ならない部分を備えているか否かにより影響を受ける。

本実施形態において、携帯型電子機器１５０の副画面１５４側に第１のアンテナ１２０が配置され、主画面１５２側に第２のアンテナ１２２が配置されてもよい。この場合には、上述の記述において主が面１５２側と副画面１５４側とを相互に反対にすればよい。

［３．変形例］
上記実施形態に対しては種々の変形が施される。具体的な変形の態様は以下の通りである。以下の各態様を適宜に組み合わせてもよい。
（１）上記の実施形態では、アンテナ１２０，１２２の全体がアレイ基板１０２の製造と同時に形成されているが、アンテナの一部だけをアレイ基板１０２と同時に製造し、アンテナの他の部分をアレイ基板１０２とは別個に製造して、アレイ基板１０２上のアンテナの部分と接続してもよい（例えば、他のフィルムや板の上に形成されていてもよい）。また、アンテナ１２０，１２２のうち一方のアンテナの少なくとも一部をアレイ基板１０２内に形成し、他方のアンテナをアレイ基板１０２とは別の場所（別個のフィルム、基板、対向基板１０４など）に形成してもよい。
（２）図１８および図１９に示す携帯型電子機器１４０，１５０には、第１の通信モードと第２の通信モードとを切り替えるボタンが設けられている。但し、通信モードの切り替えを行わずに、第１のアンテナ１２０とＩＣチップ１２４を有する非接触通信装置と、第２のアンテナ１２２とＩＣチップ１２６を有する非接触通信装置の両方を継続的に同時に使用するようにしてもよい。すなわち両方の周波数帯を使用して別個の種類の通信を継続的に行うようにしてもよい。
（３）上記の実施形態においては、一つの電気光学装置が二つのアンテナ１２０，１２２およびＩＣチップ１２４，１２６を有するが、アンテナおよびＩＣチップの個数を実施形態に限定する意図ではない。三つ以上のアンテナおよびＩＣチップを設けることも可能である。また、ＩＣチップは一つのみで、第１のアンテナと第２のアンテナがいずれもこのＩＣチップに接続されていてもよい。さらに、電気光学装置の表示部または前記表示部駆動配線を構成する導電材または半導体材のいずれをアンテナの導電層と同じ層にするのかも実施形態に限定されずに、適宜に変更してよい。

本発明の実施形態に係る電気光学装置である液晶表示パネルを示す断面図。 本発明の実施形態において、アンテナを形成しながら液晶表示パネルのアレイ基板を製造する方法の最初の工程を示す断面図。 図２の次の工程を示す断面図。 図３の次の工程を示す断面図。 図４の次の工程を示す断面図。 図５の次の工程を示す断面図。 図６の次の工程を示す断面図。 図７の次の工程を示す断面図。 図８の次の工程を示す断面図。 図９の次の工程を示す断面図。 図１０の次の工程を示す断面図。 前記方法で製造されたアレイ基板の一例の透視斜視図。 前記方法で製造されたアレイ基板の他の例の透視斜視図。 本発明で製造しうるアンテナのパターンの一例を示す平面図。 本発明で製造しうるアンテナのパターンの他の例を示す平面図。 本発明で製造しうるアンテナのパターンの他の例を示す平面図。 本発明で製造しうるアンテナのパターンの他の例を示す平面図。 本発明の実施形態に係る電気光学装置を備える携帯型電子機器を示す正面図。 （Ａ）は本発明の実施形態に係る電気光学装置を備える他の携帯型電子機器の開いた状態を示す正面図であり、（Ｂ）はこの携帯型電子機器の閉じた状態を示す背面図。

符号の説明

１０…支持基板、１２…アンテナ最下層、１４…遮光層、１６…下地絶縁層、１８…アンテナコンタクトホール、２０…アンテナ中間層、２２…トランジスタ能動層、２３…ゲート絶縁膜、２４…熱酸化シリコン膜、２６…高温酸化シリコン膜（ＨＴＯ膜）、２８…アンテナコンタクトホール、３０…アンテナ最上層、３２…ゲート電極（走査線）、３４…層間絶縁膜、３６…ソース電極、３７…ドレイン電極、３８…アンテナ最下層、４０…層間絶縁膜、４２…アンテナコンタクトホール、４６…容量電極、４８…アンテナ中間層、５０…層間絶縁膜、５２…アンテナ中間層、５４…ソース電極（データ線）、５５…ドレイン電極、５６…層間絶縁膜、５８…アンテナ最上層、１００…電気光学装置、１０２…アレイ基板、１０４…対向基板、１１０…画素電極、１１２…共通電極、１２０…第１のアンテナ、１２２…第２のアンテナ、１２４，１２６…ＩＣチップ、１４０…携帯型電子機器、１５０…携帯型電子機器、１５２…主画面、１５４…副画面。

Claims (18)

1. 表示部および前記表示部を駆動する表示部駆動配線が設けられた少なくとも一つの基板と、
   少なくとも一部が前記基板内に配置された第１のアンテナと、
   前記第１のアンテナとは独立して設けられ、前記第１のアンテナの一部に対して平面的に重なるように配置され、前記第１のアンテナの残部に対して平面的に重ならないように構成された第２のアンテナと、
   前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナに対して電気的に接続され、前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナを介したデータ通信を制御する通信回路と、
   を具備することを特徴とする電気光学装置。
2. 前記第１のアンテナの配線幅は、前記第２のアンテナの配線幅より大きいことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
3. 前記第１のアンテナのうち前記基板内に配置された部分が、前記表示部若しくは前記表示部駆動配線を構成する導電材若しくは半導体と同一層で構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
4. 前記第１のアンテナのうち前記基板内に配置された部分が、前記表示部若しくは前記表示部駆動配線を構成する導電材若しくは半導体と同一材料で構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
5. 前記第１のアンテナが前記基板内の複数層に亘り延在していることを特徴とする請求項３又は４に記載の電気光学装置。
6. 表示部および前記表示部を駆動する表示部駆動配線が設けられた少なくとも一つの基板と、
   少なくとも一部が前記基板内に配置された第１のアンテナと、
   少なくとも一部が前記基板内に配置され、前記第１のアンテナとは独立して設けられ、前記第１のアンテナの一部に対して平面的に重なるように配置され、前記第１のアンテナの残部に対して平面的に重ならないように構成された第２のアンテナと、
   前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナに対して電気的に接続され、前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナを介したデータ通信を制御する通信回路と、
   を具備することを特徴とする電気光学装置。
7. 前記第１のアンテナの配線幅は、前記第２のアンテナの配線幅より大きいことを特徴とする請求項６に記載の電気光学装置。
8. 前記第１のアンテナが前記第２のアンテナよりも下層に配置されていることを特徴とする請求項７に記載の電気光学装置。
9. 前記第１のアンテナと前記第２のアンテナの間には、少なくとも１層の絶縁膜が配置されていることを特徴とする請求項６に記載の電気光学装置。
10. 前記第１のアンテナと前記第２のアンテナの間には、
    絶縁膜を介してなる、少なくとも１層の導電層が配置されていることを特徴とする請求項９に記載の電気光学装置。
11. 前記導電層はアンテナ部分と電気的に導通していないことを特徴とする請求項１０に記載の電気光学装置。
12. 前記導電層は一定の電位に固定されていることを特徴とする請求項１０に記載の電気光学装置。
13. 前記第１のアンテナ及び第２のアンテナのうち前記基板内に配置された部分が、前記表示部若しくは前記表示部駆動配線を構成する導電材若しくは半導体とそれぞれ同一層で構成されていることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の電気光学装置。
14. 前記第１のアンテナ及び第２のアンテナのうち前記基板内に配置された部分が、前記表示部若しくは前記表示部駆動配線を構成する導電材若しくは半導体と同一材料でそれぞれ構成されていることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の電気光学装置。
15. 前記導電層のうち前記基板内に配置された部分が、前記表示部若しくは前記表示部駆動配線を構成する導電材若しくは半導体と同一材料でそれぞれ構成されていることを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載の電気光学装置。
16. 前記第１のアンテナ及び第２のアンテナが前記基板内の複数層に亘りそれぞれ延在していることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の電気光学装置。
17. 前記第１のアンテナ及び前記第２のアンテナは、
    前記表示部及び前記表示部駆動配線と平面的に重ならない位置に形成されていることを特徴とする請求項１乃至１６のいずれか一項に記載の電気光学装置。
18. 請求項１乃至１７のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
    

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