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JP2006088410A - Manufacturing method of polyimide/metal foil laminated sheet - Google Patents

Manufacturing method of polyimide/metal foil laminated sheet Download PDF

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JP2006088410A
JP2006088410A JP2004274277A JP2004274277A JP2006088410A JP 2006088410 A JP2006088410 A JP 2006088410A JP 2004274277 A JP2004274277 A JP 2004274277A JP 2004274277 A JP2004274277 A JP 2004274277A JP 2006088410 A JP2006088410 A JP 2006088410A
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JP
Japan
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bis
polyimide
dianhydride
metal foil
polyimide film
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Pending
Application number
JP2004274277A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Iida
健二 飯田
Ooki Nakazawa
巨樹 中澤
Eiji Otsubo
英二 大坪
Kosuke Ota
康介 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Chemicals Inc
Original Assignee
Mitsui Chemicals Inc
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Publication date
Application filed by Mitsui Chemicals Inc filed Critical Mitsui Chemicals Inc
Priority to JP2004274277A priority Critical patent/JP2006088410A/en
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a heat-resistant polyimide/metal foil laminated sheet improved in the adhesiveness between polyimide and a metal foil in order to realize the fine wiring and multilayered lamination of a flexible printed wiring board at a low cost. <P>SOLUTION: After a silane coupling agent and/or a siloxane oligomer is applied to one side or both sides of a polyimide film and, after the coated polyimide film is dried, a thermoplastic polyimide precursor varnish is applied to one side or both sides of the polyimide film to manufacture an adhesive polyimide film. The metal foil is bonded to one side or both sides of the adhesive polyimide film under heating and pressure. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、フレキシブルプリント配線板などに広く使用されるポリイミド金属箔積層板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a polyimide metal foil laminate widely used for flexible printed wiring boards and the like.

近年、電子機器の小型携帯化に伴い、回路基板材料として部品、素子の高密度実装が可能な耐熱性の高いポリイミド金属箔積層板の需要が増大している。ポリイミド金属箔積層板に要求される性能には、耐熱性や寸法安定性など様々なものがあるが、近年のフレキシブルプリント配線板(FPC)の微細配線化や多層積層化に伴い、金属箔と樹脂(ポリイミド)間の引き剥がし強度(ピール強度)の向上が特に要求されている。微細配線化が進むと、見かけ上ピール強度が低下したように見えるため、回路加工時の熱履歴や薬液処理、カバー材やレジストの剥離などによって容易に金属配線部がポリイミドから剥がれてしまうことが予想される。また一方で多層積層化が進むと、積層化するための高温、高圧力のプロセスや、回路加工プロセスでの薬液処理などが多く必要になるため、ポリイミド金属箔積層板にかかるストレスも多くなり、ピール強度が低下してしまうことが予想される。   In recent years, with the downsizing and portability of electronic devices, there is an increasing demand for highly heat-resistant polyimide metal foil laminates capable of high-density mounting of components and elements as circuit board materials. There are various performances required for polyimide metal foil laminates, such as heat resistance and dimensional stability. With the recent trend toward fine wiring and multilayer lamination of flexible printed wiring boards (FPC), The improvement of the peeling strength (peel strength) between resin (polyimide) is especially requested | required. As fine wiring progresses, the peel strength appears to have dropped, so the metal wiring part can be easily peeled off from the polyimide due to thermal history during circuit processing, chemical treatment, peeling of the cover material and resist, etc. is expected. On the other hand, as multilayer lamination progresses, high temperature and high pressure processes for lamination and chemical treatment in circuit processing processes are required, so the stress on the polyimide metal foil laminate also increases. It is expected that the peel strength will decrease.

以上のことからポリイミド金属箔積層板に関して、ピール強度の向上は重要課題の一つとして従来より検討されてきた。例えば、特開平5-222219号公報(特許文献1)ではポリイミドフィルム表面にプラズマ処理することで表面濡れ性を向上し、ポリイミドフィルムと接着剤、及び金属箔との間の接着性を改善することが検討されている。しかしながらこの方法では、大型なプラズマ処理装置が必要となり、製造コストが高くなってしまうといった問題がある。   From the above, with respect to polyimide metal foil laminates, improvement of peel strength has been conventionally studied as one of the important issues. For example, in Japanese Patent Laid-Open No. 5-222219 (Patent Document 1), the surface wettability is improved by plasma treatment on the polyimide film surface, and the adhesion between the polyimide film, the adhesive, and the metal foil is improved. Is being considered. However, this method has a problem that a large plasma processing apparatus is required and the manufacturing cost becomes high.

そこで特開2001-233973号公報(特許文献2)や特開平6-100714号公報(特許文献3)などでは、ポリイミドフィルム表面を液体研磨剤で研磨することで意図的に荒らして表面の濡れ性を向上させたり、またはポリイミドフィルム製膜時に混入させたポリイミド微粒子をポリイミド表面に析出させることで、意図的に表面に凸凹を作製し、それによって表面濡れ性を向上させる方法が開示されている。しかしながらこれらの方法では、基本的には表面を数μm程度荒らすこととなり、今後ポリイミド層の薄膜化がいっそう進むとその表面の荒らした部分の寄与が全体の割合に対して多くなり、部分的な剛性の減少による破断や、ピンホール形成による誘電損失の悪化が予想され好ましくない。   Therefore, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-233973 (Patent Document 2) and Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-100714 (Patent Document 3), the surface of the polyimide film is intentionally roughened by polishing with a liquid abrasive to wett the surface. There is disclosed a method of intentionally producing unevenness on the surface by improving polyimide or depositing polyimide fine particles mixed at the time of forming a polyimide film on the polyimide surface, thereby improving surface wettability. However, in these methods, the surface is basically roughened by several μm, and if the polyimide layer is further thinned in the future, the contribution of the roughened portion of the surface will increase with respect to the overall ratio, and the partial Breaking due to a decrease in rigidity and deterioration of dielectric loss due to pinhole formation are expected and not preferable.

また、その他の方法としてポリイミドフィルム表面の接着性を改善するために、特開平11-48423号公報(特許文献4)では非熱可塑性ポリイミドフィルムと熱可塑性ポリイミドフィルムの表面をそれぞれシランカップリング剤やシロキサンオリゴマー類で表面改質した後、両フィルムを張り合わせて接着性を改善することが検討されている。しかしながらこの方法で使用する接着層は熱可塑性ポリイミドフィルムであり、現状のポリイミドフィルムの製膜技術では安定的に製造できる膜厚は最薄でも8μm程度が限界であるため、薄い接着層の構成を作製することが困難である。つまりはポリイミド金属箔積層板にしたときに、薄膜化が難しいといった問題があり、これを改善するための技術の開発が望まれていた。
特開平5-222219号公報 特開2001-233973号公報 特開平6-100714号公報 特開平11-48423号公報
As another method, in order to improve the adhesion of the polyimide film surface, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-48423 (Patent Document 4) describes the surface of the non-thermoplastic polyimide film and the thermoplastic polyimide film as a silane coupling agent, After surface modification with siloxane oligomers, it has been studied to improve adhesion by laminating both films. However, the adhesive layer used in this method is a thermoplastic polyimide film, and the film thickness that can be stably produced with the current polyimide film forming technology is limited to about 8 μm even at the thinnest. It is difficult to produce. In other words, when a polyimide metal foil laminate is used, there is a problem that it is difficult to make a thin film, and development of a technique for improving this problem has been desired.
Japanese Unexamined Patent Publication No. H5-222219 JP 2001-233973 A JP-A-6-100714 Japanese Patent Laid-Open No. 11-48423

フレキシブルプリント配線板(FPC)において微細配線化や多層積層化を実現するには、ポリイミド金属箔積層板において金属箔と接着層、もしくは接着層とポリイミドとの間の接着性(ピール強度)を改善する必要があるが、従来の改善方法では製造コストがかかるといったことや、将来的に進むと予想されるポリイミド層(樹脂層)の薄膜化には対応できないといった問題があった。   In order to realize fine wiring and multi-layer lamination in flexible printed circuit boards (FPC), improve the adhesion (peel strength) between metal foil and adhesive layer or between adhesive layer and polyimide in polyimide metal foil laminate. However, there is a problem that the conventional improvement method requires a manufacturing cost and cannot cope with the thinning of the polyimide layer (resin layer) expected to progress in the future.

そこで本発明の目的は、微細配線化や多層積層化が進む次世代のフレキシブルプリント配線板(FPC)用として、接着性(ピール強度)を向上したポリイミド金属箔積層板の製造方法を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for producing a polyimide metal foil laminate having improved adhesiveness (peel strength) for next-generation flexible printed wiring boards (FPC), which are becoming finer and more multilayered. It is.

本出願人は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、ポリイミドフィルム表面にシランカップリング剤及び又はシロキサンオリゴマーを塗布・乾燥した後、熱可塑性ポリイミド前駆体ワニスを塗布して接着性ポリイミドフィルムを製造し、その後金属箔と加熱圧着することで微細配線化や多層積層化に対応可能なポリイミド金属箔積層板が製造できることを見出し、本発明を完成した。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present applicant applied and dried a silane coupling agent and / or a siloxane oligomer on the surface of the polyimide film, and then applied a thermoplastic polyimide precursor varnish to form an adhesive polyimide film. After that, it was found that a polyimide metal foil laminate that can be applied to fine wiring and multilayer lamination can be produced by thermocompression bonding with a metal foil, thereby completing the present invention.

即ち、本発明は、1)ポリイミドフィルムの片面又は両面の表面にシランカップリング剤及び又はシロキサンオリゴマーを塗布、乾燥した後、該ポリイミドフィルム表面の片面又は両面に熱可塑性ポリイミド前駆体ワニスを塗布して接着性ポリイミドフィルムを製造し、該接着性ポリイミドフィルムの片面又は両面と金属箔を加熱圧着することを特徴とするポリイミド金属箔積層板の製造方法、より好ましくは、
2)シランカップリング剤が、ヘキサメチルジシラザン(以下、HMDSと略記することがある)である1)に記載のポリイミド金属箔積層板の製造方法、並びに、
3)1)記載の製造方法より得られるポリイミド金属箔積層板を提供するものである。
That is, the present invention is as follows. 1) A silane coupling agent and / or a siloxane oligomer is applied to one or both surfaces of a polyimide film and dried, and then a thermoplastic polyimide precursor varnish is applied to one or both surfaces of the polyimide film surface. To produce an adhesive polyimide film, and a method for producing a polyimide metal foil laminate, which is characterized by heat-pressing one or both sides of the adhesive polyimide film and a metal foil, more preferably,
2) The method for producing a polyimide metal foil laminate according to 1), wherein the silane coupling agent is hexamethyldisilazane (hereinafter sometimes abbreviated as HMDS), and
3) A polyimide metal foil laminate obtained from the production method described in 1) is provided.

本発明によれば、ポリイミドフィルムとその表面に形成される接着層との間の接着性が改善され、ポリイミドフィルムと接着層の間での剥離が低減し、実質上ポリイミドフィルムと金属箔との間の接着性(ピール強度)を向上することが可能となる。また、表面処理として形成するシランカップリング剤の厚みは1μm以下にコントロールすることが容易なので、ポリイミド金属箔積層板の全体の厚みに対するシランカップリング剤の寄与を少なくすることができ、薄い膜厚を保持することができる。   According to the present invention, the adhesion between the polyimide film and the adhesive layer formed on the surface thereof is improved, the peeling between the polyimide film and the adhesive layer is reduced, and the polyimide film and the metal foil are substantially removed. It becomes possible to improve the adhesiveness (peel strength). In addition, since the thickness of the silane coupling agent formed as a surface treatment can be easily controlled to 1 μm or less, the contribution of the silane coupling agent to the overall thickness of the polyimide metal foil laminate can be reduced, and the thin film thickness Can be held.

また、1分子単位で表面処理層を形成することが可能であるので、ポリイミドフィルム表面や金属箔表面に形成されている接着性を改善するための凸凹形状(アンカー層)を埋め込んで形状を変形させることがなく、従来の接着性を低下させること無く安定的にピール強度を向上させることが可能となる。また、HMDS処理は材料自身のコストも低いため、表面処理によるコストアップを最小限に抑えることが可能である。   In addition, since it is possible to form a surface treatment layer on a molecular unit basis, the shape is deformed by embedding an uneven shape (anchor layer) to improve adhesion on the polyimide film surface or metal foil surface. The peel strength can be stably improved without reducing the conventional adhesiveness. Moreover, since the cost of the HMDS treatment is low, the cost increase due to the surface treatment can be minimized.

本発明のポリイミド金属箔積層板を用いれば、プラズマ処理のような大型な装置で表面処理をしなくても接着性を向上させることができるため、微細配線化や多層積層化に対応した高いピール強度を有したポリイミド金属箔積層板を低コストに提供することが可能となる。また、HMDS処理はポリイミドフィルム表面上に1分子単位で層を形成するのみなので、樹脂層(絶縁層)の薄膜化に優位な上に、本来ポリイミドフィルムが有する表面アンカー効果による接着性を低減することなく金属箔と接着でき、高い接着性を有したポリイミド金属箔積層板を提供することが可能となる。   If the polyimide metal foil laminate of the present invention is used, the adhesiveness can be improved without performing surface treatment with a large apparatus such as plasma treatment, so that high peel corresponding to fine wiring and multilayer lamination can be achieved. It is possible to provide a polyimide metal foil laminate having strength at low cost. In addition, since the HMDS treatment only forms a layer on the polyimide film surface in units of one molecule, it is superior in reducing the thickness of the resin layer (insulating layer) and reduces the adhesion due to the surface anchor effect inherent in the polyimide film. It is possible to provide a polyimide metal foil laminate that can be bonded to the metal foil without any problem and has high adhesion.

以下、本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明は、ポリイミドフィルムの片面又は両面の表面にシランカップリング剤及び又はシロキサンオリゴマーを塗布、乾燥した後、該ポリイミドフィルム表面の片面又は両面に熱可塑性ポリイミド前駆体ワニスを塗布して接着性ポリイミドフィルムを製造し、該接着性ポリイミドフィルムの片面又は両面と金属箔を加熱圧着することを特徴とするポリイミド金属箔積層板の製造方法である。   In the present invention, a silane coupling agent and / or a siloxane oligomer is applied to one or both surfaces of a polyimide film, dried, and then a thermoplastic polyimide precursor varnish is applied to one or both surfaces of the polyimide film surface to form an adhesive polyimide. A method for producing a polyimide metal foil laminate comprising producing a film, and heat-pressing one or both surfaces of the adhesive polyimide film and a metal foil.

本発明方法に用いることのできるポリイミドフィルムとしては、特に限定されず、市販品の入手可能なポリイミドフィルムを用いることが可能である。例えば、Kapton(登録商標)フィルム(東レ・デュポン(株)製)、Apical(登録商標)フィルム((株)カネカ製)、Upilex(登録商標)フィルム(宇部興産(株)製)等が挙げられる。   It does not specifically limit as a polyimide film which can be used for this invention method, It is possible to use the polyimide film which can obtain a commercial item. Examples include Kapton (registered trademark) film (manufactured by Toray DuPont Co., Ltd.), Apical (registered trademark) film (manufactured by Kaneka Corporation), Upilex (registered trademark) film (manufactured by Ube Industries, Ltd.), and the like. .

また、公知のジアミンと酸二無水物より製造可能なポリアミド酸溶液からポリイミドフィルムを製造することも可能である。その場合、ジアミン成分の例としては、特に限定されず、ポリイミド製造に用いられる公知のジアミンを使用することが可能である。   It is also possible to produce a polyimide film from a polyamic acid solution that can be produced from a known diamine and acid dianhydride. In that case, it does not specifically limit as an example of a diamine component, It is possible to use the well-known diamine used for polyimide manufacture.

ジアミン成分の例としては、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−アミノベンジルアミン、p−アミノベンジルアミン、ビス(3−アミノフェニル)スルフィド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(4−アミノフェニル)スルフィド、ビス(3−アミノフェニル)スルホキシド、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホキシド、ビス(3−アミノフェニル)スルホン、(3−アミノフェニル)(4−アミノフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェニル)スルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(4−アミノフェニキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、   Examples of the diamine component include m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine, bis (3-aminophenyl) sulfide, (3-aminophenyl) ( 4-aminophenyl) sulfide, bis (4-aminophenyl) sulfide, bis (3-aminophenyl) sulfoxide, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfoxide, bis (3-aminophenyl) sulfone, (3 -Aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) sulfone, 3,3'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,3'- Diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiph Nylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [ 4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1 , 2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl ] Propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophene) Xyl) phenyl] butane, 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (4- Aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1, 4′-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl,

ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’−ビス[3−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、ビス[4−{4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ}フェニル]スルホン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス(3−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−(2−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−(2−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(2−(2−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(2−(3−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(2−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−(3−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−(2−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−(2−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(2−(2−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(2−(3−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(2−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、 Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-amino Phenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- (aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,4-bis [4- (3-amino) Phenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] ben 4,4′-bis [3- (4-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4′-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4′-bis [4- ( 4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzophenone, 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] diphenylsulfone, bis [4- {4- (4 -Aminophenoxy) phenoxy} phenyl] sulfone, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) -α , Α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis (3- (4-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,3-bis (3- (2-aminophenoxy) ) Phenoxy) benzene, 1,3-bis (4- (2-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,3-bis (2- (2-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,3-bis (2- ( 3-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,3-bis (2- (4-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,4-bis (3- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,4-bis (3- (4-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,4-bis (3- (2-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,4-bis (4- (2-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1 , 4-bis (2- (2-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,4-bis (2- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 4- bis (2- (4-aminophenoxy) phenoxy) benzene,

1,2−ビス(3−(3−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス(3−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス(3−(2−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス(4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス(4−(3−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス(4−(2−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス(2−(2−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス(2−(3−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス(2−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−(3−アミノフェノキシ)フェノキシ)−2−メチルベンゼン、1,3−ビス(3−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ)−4−メチルベンゼン、1,3−ビス(4−(3−アミノフェノキシ)フェノキシ)−2−エチルベンゼン、1,3−ビス(3−(2−アミノフェノキシ)フェノキシ)−5−sec−ブチルベンゼン、1,3−ビス(4−(3−アミノフェノキシ)フェノキシ)−2,5−ジメチルベンゼン、1,3−ビス(4−(2−アミノ−6−メチルフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(2−(2−アミノ−6−エチルフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(2−(3−アミノフェノキシ)−4−メチルフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(2−(4−アミノフェノキシ)−4−tert−ブチルフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(3−(3−アミノフェノキシ)フェノキシ)−2,5−ジ−tert−ブチルベンゼン、1,4−ビス(3−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ)−2,3−ジメチルベンゼン、1,4−ビス(3−(2−アミノ−3−プロピルフェノキシ)フェノキシ)ベンゼン、1,2−ビス(3−(3−アミノフェノキシ)フェノキシ)−4−メチルベンゼン、1,2−ビス(3−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ)−3−n−ブチルベンゼン、1,2−ビス(3−(2−アミノ−3−プロピルフェノキシ)フェノキシ)ベンゼンビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン、ビス(10−アミノデカメチレン)テトラメチルジシロキサン、ビス(3−アミノフェノキシメチル)テトラメチルジシロキサン等が挙げられる。尚、これらは単独あるいは2種以上混合して、用いることができる。 1,2-bis (3- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,2-bis (3- (4-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,2-bis (3- (2-aminophenoxy) Phenoxy) benzene, 1,2-bis (4- (4-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,2-bis (4- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,2-bis (4- (2 -Aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,2-bis (2- (2-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,2-bis (2- (3-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,2-bis ( 2- (4-aminophenoxy) phenoxy) benzene, 1,3-bis (3- (3-aminophenoxy) phenoxy) -2-methylbenzene, 1,3-bis ( -(4-aminophenoxy) phenoxy) -4-methylbenzene, 1,3-bis (4- (3-aminophenoxy) phenoxy) -2-ethylbenzene, 1,3-bis (3- (2-aminophenoxy) Phenoxy) -5-sec-butylbenzene, 1,3-bis (4- (3-aminophenoxy) phenoxy) -2,5-dimethylbenzene, 1,3-bis (4- (2-amino-6-methyl) Phenoxy) phenoxy) benzene, 1,3-bis (2- (2-amino-6-ethylphenoxy) phenoxy) benzene, 1,3-bis (2- (3-aminophenoxy) -4-methylphenoxy) benzene, 1,3-bis (2- (4-aminophenoxy) -4-tert-butylphenoxy) benzene, 1,4-bis (3- (3-aminophenoxy) phenoxy) -2 5-di-tert-butylbenzene, 1,4-bis (3- (4-aminophenoxy) phenoxy) -2,3-dimethylbenzene, 1,4-bis (3- (2-amino-3-propylphenoxy) ) Phenoxy) benzene, 1,2-bis (3- (3-aminophenoxy) phenoxy) -4-methylbenzene, 1,2-bis (3- (4-aminophenoxy) phenoxy) -3-n-butylbenzene 1,2-bis (3- (2-amino-3-propylphenoxy) phenoxy) benzenebis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane, bis (10-aminodecamethylene) tetramethyldisiloxane, bis (3 -Aminophenoxymethyl) tetramethyldisiloxane and the like. In addition, these can be used individually or in mixture of 2 or more types.

また酸二無水物成分の例としては、特に制限はされず、例えばピロメリット酸二無水物、3−フルオロピロメリット酸二無水物、3,6−ジフルオロピロメリット酸二無水物、3,6−ビス(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’’,4,4’’−テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’’’,4,4’’’−クァテルフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’’’’,4,4’’’’−キンクフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、メチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1−エチニリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、2,2−プロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,2−エチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−トリメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,4−テトラメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,5−ペンタメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−へキサフルオロプロパン二無水物、ジフルオロメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2−テトラフルオロ−1,2−エチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3−ヘキサフルオロ−1,3−トリメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3,4,4−オクタフルオロ−1,4−テトラメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,1,2,2,3,3,4,4,5,5−デカフルオロ−1,5−ペンタメチレン−4,4’−ジフタル酸二無水物、オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、チオ−4,4’−ジフタル酸二無水物、スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,3,3−テトラメチルシロキサン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ベンゼン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ベンゼン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、1,3−ビス〔2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル〕ベンゼン二無水物、1,4−ビス〔2−(3,4−ジカルボキシフェニル)−2−プロピル〕ベンゼン二無水物、   Examples of the acid dianhydride component are not particularly limited. For example, pyromellitic dianhydride, 3-fluoropyromellitic dianhydride, 3,6-difluoropyromellitic dianhydride, 3,6 -Bis (trifluoromethyl) pyromellitic dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3, 3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ″, 4,4 ″ -terphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′ ″, 4,4 ′ ″ -Quaterphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 "", 4,4 ""-kinkphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic acid Dianhydride, methylene-4,4'-diph Luric dianhydride, 1,1-ethynylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 2,2-propylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,2-ethylene-4,4 ′ -Diphthalic dianhydride, 1,3-trimethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,4-tetramethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,5-pentamethylene-4 , 4′-diphthalic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, difluoromethylene-4, 4'-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2-tetrafluoro-1,2-ethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3-hexa Fluoro-1,3-trimethylene-4,4'-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2 3,3,4,4-octafluoro-1,4-tetramethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5-deca Fluoro-1,5-pentamethylene-4,4′-diphthalic dianhydride, oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, thio-4,4′-diphthalic dianhydride, sulfonyl-4, 4′-diphthalic dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,3,3-tetramethylsiloxane dianhydride, 1,3-bis (3,4-di Carboxyphenyl) benzene dianhydride, 1,4-bis (3,4-dicarboxyphenyl) benzene dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,4- Bis (3,4-dicarboxyphenoxy) benzene dianhydride, 1,3-bi [2- (3,4-dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride, 1,4-bis [2- (3,4-dicarboxyphenyl) -2-propyl] benzene dianhydride,

ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕メタン二無水物、ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕メタンニ無水物、2,2−ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,2−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、2,2−ビス〔3−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕プロパン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジメチルシラン二無水物、1,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−1,2,4,5−テトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビシクロヘキシルテトラカルボン酸二無水物、カルボニル−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、メチレン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,2−エチレン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,1−エチニリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、2,2−プロピリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2,2−プロピリデン−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、オキシ−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、チオ−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、スルホニル−4,4’−ビス(シクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸)二無水物、2,2’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,5,5’ ,6,6’−ヘキサフルオロ−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)−3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、 Bis [3- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] methane dianhydride, 2,2-bis [3- (3 4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, 2,2-bis [3- (3,4- Dicarboxyphenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane dianhydride, Bis (3,4-dicarboxyphenoxy) dimethylsilane dianhydride, 1,3-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) -1,1,3,3-tetramethyldisiloxane dianhydride, 2,3 6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6 7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,7,8-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4 Cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,4,5-tetracarboxylic dianhydride 3,3 ′, 4,4′-bicyclohexyltetracarboxylic dianhydride, carbonyl-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, methylene- , 4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,2-ethylene-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,1-ethynylidene -4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 2,2-propylidene-4,4'-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, 1,1 , 1,3,3,3-hexafluoro-2,2-propylidene-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, oxy-4,4′-bis (cyclohexane-1) , 2-dicarboxylic acid) dianhydride, thio-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) dianhydride, sulfonyl-4,4′-bis (cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid) Dianhydride, 2, 2 '-Difluoro-3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5'-difluoro-3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 6,6 '-Difluoro-3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 5,5', 6,6'-hexafluoro-3,3 ', 4,4'- Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2'-bis (trifluoromethyl) -3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 5,5'-bis (trifluoromethyl)- 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 6,6′-bis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2, 2 ', 5,5'-tetrakis (trifluoromethyl)- 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride Anhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 5,5 ′, 6 6′-hexakis (trifluoromethyl) -3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride,

3,3’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロオキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)オキシ−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロスルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ビス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)スルホニル−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’−ビス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、6,6’−ジフルオロ−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、5,5’,6,6’−テトラキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、3,3’,5,5’,6,6’−ヘキサキス(トリフルオロメチル)−2,2−パーフルオロプロピリデン−4,4’−ジフタル酸二無水物、9−フェニル−9−(トリフルオロメチル)キサンテン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス(トリフルオロメチル)キサンテン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、ビシクロ〔2,2,2〕オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス〔4−(3,4−ジカルボキシ)フェニル〕フルオレン二無水物、9,9−ビス〔4−(2,3−ジカルボキシ)フェニル〕フルオレン二無水物等が挙げられる。これらは単独あるいは2種以上混合して、使用することができる。 3,3′-difluorooxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-difluorooxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-difluorooxy-4,4 ′ Diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexafluorooxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-bis (trifluoromethyl) oxy 4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-bis (trifluoromethyl) oxy-4, 4'-diphthalic dianhydride, 3,3 ', 5,5'-tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3', 6,6'-tetrakis ( Trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5 ′ 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) oxy-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexakis (trifluoromethyl) oxy-4,4 '-Diphthalic dianhydride, 3,3'-difluorosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 5,5'-difluorosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 6,6' -Difluorosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3 ', 5,5', 6,6'-hexafluorosulfonyl-4,4'-diphthalic dianhydride, 3,3'- Bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-bis ( Trifluoromethyl) sulfonyl-4,4 ' Diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) ) Sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5 5 ′, 6,6′-hexakis (trifluoromethyl) sulfonyl-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic acid Dianhydride, 5,5′-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 6,6′-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4 '-Diphthalic dianhydride, 3 , 3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexafluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3′-bis (trifluoromethyl) -2 , 2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 5,5′-bis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride 6,6′-difluoro-2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5′-tetrakis (trifluoromethyl) -2,2-per Fluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 6,6′-tetrakis (trifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride Product, 5,5 ′, 6,6′-tetrakis ( (Rifluoromethyl) -2,2-perfluoropropylidene-4,4′-diphthalic dianhydride, 3,3 ′, 5,5 ′, 6,6′-hexakis (trifluoromethyl) -2,2 -Perfluoropropylidene-4,4'-diphthalic dianhydride, 9-phenyl-9- (trifluoromethyl) xanthene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, 9,9-bis (Trifluoromethyl) xanthene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2,2,2] oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride 9,9-bis [4- (3,4-dicarboxy) phenyl] fluorene dianhydride, 9,9-bis [4- (2,3-dicarboxy) phenyl] fluorene dianhydride, and the like. . These can be used alone or in admixture of two or more.

ポリアミド酸溶液は、前記のジアミンと酸二無水物を適当な配合比で適当な有機溶媒中で攪拌することで作製できる。ここで有機溶媒としては、ポリイミド製造の際に一般に用いられる公知の有機溶媒で特に問題なく、例としてN,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルメトキシアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホルアミド、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホンなどの他、これらの2種以上の混合物、あるいはこれらの溶媒とベンゼン、トルエン、キシレン、ベンゾニトリル、ジオキサン、シクロヘキサンなどとを適宜混合させたものなどが挙げられる。   The polyamic acid solution can be prepared by stirring the diamine and acid dianhydride in an appropriate organic solvent at an appropriate blending ratio. Here, as the organic solvent, known organic solvents that are generally used in the production of polyimide are not particularly problematic. Examples thereof include N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylformamide, and N, N. -Diethylacetamide, N, N-dimethylmethoxyacetamide, dimethyl sulfoxide, hexamethylphosphoramide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethyl sulfone, etc., a mixture of two or more of these, or a solvent thereof and benzene, What mixed toluene, xylene, benzonitrile, dioxane, cyclohexane, etc. suitably is mentioned.

ポリイミドフィルムの製造方法としては、前記のポリアミド酸溶液を通常、キャスティングドラムあるいはエンドレスベルトの上にフィルム状に押し出しあるいは流延塗布し、そのドラム又はベルトの上で脱水閉環させてポリイミドに転化させ、さらにこれを自己支持性を備える程度に硬化させた後、そのポリイミドフィルムをドラムあるいはベルトから剥離して、ポリイミドフィルムを製造することができる。ここでポリアミド酸溶液を塗布する支持体は、キャスティングドラムやエンドレスベルトに限るものではなく、ガラス基板上、金属箔上、PETフィルム上などに塗布した後に剥離することも可能である。   As a method for producing a polyimide film, the polyamic acid solution is usually extruded or cast on a casting drum or endless belt in a film form, dehydrated and closed on the drum or belt, and converted into polyimide. Furthermore, after hardening this to such an extent that it has self-supporting properties, the polyimide film can be peeled off from the drum or belt to produce a polyimide film. Here, the support on which the polyamic acid solution is applied is not limited to a casting drum or an endless belt, and can be peeled off after being applied on a glass substrate, a metal foil, a PET film, or the like.

本発明方法において、ポリイミドフィルムの厚さは特に限定されず、好ましくは5〜100μm、より好ましくは10〜50μmであり、より更に好ましくは25μm程度である。このような厚みのポリイミドフィルムを用いることで、フィルム自体が適度な剛性を持つためにフィルムの搬送性が良くなり、フィルムの破断やねじれなどのトラブルを回避することができる。また10〜50μmと薄くすることで、回路加工や多層積層化の時の穴あけ加工性が良くなり、如いてはフレキシブルプリント配線板製造時の低コスト化につながる。   In the method of the present invention, the thickness of the polyimide film is not particularly limited, and is preferably 5 to 100 μm, more preferably 10 to 50 μm, and still more preferably about 25 μm. By using a polyimide film having such a thickness, the film itself has an appropriate rigidity, so that the transportability of the film is improved, and troubles such as breakage and twisting of the film can be avoided. Further, by making the thickness as thin as 10 to 50 μm, the drilling workability at the time of circuit processing and multilayer lamination is improved, which leads to cost reduction at the time of manufacturing a flexible printed wiring board.

本発明方法において使用可能なシランカップリング剤としては、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジクロロシラン、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリジメチルクロロシラン等が挙げられ、より好ましくはヘキサメチルジシラザンである。   Examples of silane coupling agents that can be used in the method of the present invention include methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, hexamethyldisilazane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, dimethyldichlorosilane, trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, Examples thereof include tridimethylchlorosilane, and hexamethyldisilazane is more preferable.

また、本発明方法において用いることができるシロキサンオリゴマーは、反応性基を有するシロキサンオリゴマーであることが好ましい。   The siloxane oligomer that can be used in the method of the present invention is preferably a siloxane oligomer having a reactive group.

本発明方法においてシランカップリング剤及び又はシロキサンオリゴマーをポリイミドフィルム表面へ塗布する方法の一例を挙げると、ギャップ100μm以下のダイコートによって一方向に向かって、ポリイミドフィルム表面に薄く塗布した後、およそ50℃・10分間程度乾燥することで、厚み1μm以下に制御されたシランカップリング剤の層が形成できる。ここで、シランカップリング剤の塗布方法はダイコートに限られるものではなく、ロールコートやダイリップコート、コンマコート、ディップコート、スピンコート、スプレーコートなども適用可能である。シランカップリング剤は1分子単位でフィルム表面に形成することができるので、1〜50nm程度の厚みが好ましい。また、乾燥温度と時間は200℃以下であるならば特に規制するものではないが、50〜100℃で5〜30分程度の乾燥が好ましい。   An example of a method for applying a silane coupling agent and / or a siloxane oligomer to the polyimide film surface in the method of the present invention is as follows. After thinly applying to the polyimide film surface in one direction by die coating with a gap of 100 μm or less, approximately 50 ° C. -By drying for about 10 minutes, a silane coupling agent layer controlled to a thickness of 1 μm or less can be formed. Here, the application method of the silane coupling agent is not limited to die coating, and roll coating, die lip coating, comma coating, dip coating, spin coating, spray coating, and the like are also applicable. Since the silane coupling agent can be formed on the film surface in units of one molecule, a thickness of about 1 to 50 nm is preferable. The drying temperature and time are not particularly limited as long as they are 200 ° C. or less, but drying at 50 to 100 ° C. for about 5 to 30 minutes is preferable.

本発明方法において、熱可塑性ポリイミドは、公知のジアミンと酸二無水物から得られる公知の熱可塑性ポリイミドを使用することが可能である。これらの原料のジアミン及び酸二無水物の例としては、前述のポリイミドフィルムの原料の例示を示すことができる。より好ましくは、下記に示されるような熱可塑性ポリイミドが例として挙げられる。   In the method of the present invention, as the thermoplastic polyimide, a known thermoplastic polyimide obtained from a known diamine and acid dianhydride can be used. Examples of these raw material diamines and acid dianhydrides include the above-mentioned raw materials for polyimide films. More preferably, a thermoplastic polyimide as shown below is mentioned as an example.

Figure 2006088410
Figure 2006088410

また、熱可塑性ポリイミド前駆体には、更にマイレイミド化合物を添加することも好ましい態様であり、より好ましくは下記式   Moreover, it is also a preferable aspect that a maleimide compound is further added to the thermoplastic polyimide precursor, more preferably the following formula:

Figure 2006088410
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で表されるビスマレイミド化合物を共重合したものを用いることができる。マレイミド化合物を共重合することにより、ポリイミドの弾性率の向上が期待され、如いては耐熱性の向上が期待できる。 What copolymerized the bismaleimide compound represented by these can be used. By copolymerizing the maleimide compound, an improvement in the elastic modulus of the polyimide is expected, and thus an improvement in heat resistance can be expected.

本発明方法において、熱可塑性ポリイミド層の形成の好ましい一例としては、ギャップ500μm以下に制御されたロールコーターによってシランカップリング剤が形成されたポリイミドフィルム表面に薄く塗布し、およそ240℃・10分間程度乾燥することで形成することが可能である。このとき形成される熱可塑性ポリイミド層の厚みは特に限定されないが、0.1μm以上5μm以下程度が好ましい。   In the method of the present invention, as a preferable example of the formation of the thermoplastic polyimide layer, it is thinly applied to the surface of the polyimide film on which the silane coupling agent is formed by a roll coater controlled to have a gap of 500 μm or less, and about 240 ° C. for about 10 minutes. It can be formed by drying. The thickness of the thermoplastic polyimide layer formed at this time is not particularly limited, but is preferably about 0.1 μm to 5 μm.

本発明方法において用いることのできる金属箔には、特に限定はなく、銅箔、ステンレス箔、アルミ箔、金箔、銀箔及びこれらの合金等が挙げられるが、銅箔及び銅合金が好ましい。金属箔の厚みは特に限定するものではないが、製造時の搬送性から5μm〜50μm程度のものが好ましい。   The metal foil that can be used in the method of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include copper foil, stainless steel foil, aluminum foil, gold foil, silver foil, and alloys thereof. Copper foil and copper alloy are preferable. Although the thickness of metal foil is not specifically limited, The thing of about 5 micrometers-50 micrometers is preferable from the transportability at the time of manufacture.

接着性ポリイミドフィルムと金属箔の加熱圧着方法の好ましい例として、金属箔を2箇所から、接着性ポリイミドフィルムを1箇所からフィードする3層ラミネーターを例として説明する。熱風によって270℃程度まで昇温された炉内に接着性ポリイミドフィルムを挟むようにして金属箔を2箇所からフィードし、これら金属箔と接着性ポリイミドフィルムを熱媒によって260℃まで昇温された2つの耐熱性ゴムロールにてラミネートする。このときの金属箔、及び接着性ポリイミドフィルムの炉内での滞留時間は、1分以内であることが好ましい。また、2つの耐熱性ゴムロール間のギャップは、500μm以下に制御することで、圧着抜けやシワの発生を抑制することが好ましい。   As a preferred example of the method for heat and pressure bonding of the adhesive polyimide film and the metal foil, a three-layer laminator that feeds the metal foil from two places and the adhesive polyimide film from one place will be described as an example. The metal foil is fed from two places so that the adhesive polyimide film is sandwiched in a furnace heated up to about 270 ° C. by hot air, and the metal foil and the adhesive polyimide film are heated to 260 ° C. by a heating medium. Laminate with heat-resistant rubber roll. The residence time in the furnace of the metal foil and the adhesive polyimide film at this time is preferably within 1 minute. In addition, it is preferable to suppress the occurrence of pressure drop and wrinkles by controlling the gap between the two heat resistant rubber rolls to 500 μm or less.

本発明方法のより詳細な条件の一例について、図1を用いて説明する。まず、市販ポリイミドフィルム表面にヘキサメチルジシラザン(以下、HMDSと略記することがある)を薄くアプリケーターにより塗布した後、すばやく窒素雰囲気下、温度50℃で乾燥してシランカップリング剤処理済みポリイミドフィルムを作成する(図1(a))。ここで形成されるHMDS層は1μm以下に制御されることが好ましい。次に、さらにその上に熱可塑性ポリアミック酸溶液を同様にアプリケーターにより塗布した後、すばやく窒素雰囲気下で10分間、温度240℃において乾燥・イミド化することで、厚み2〜3μm程度の熱可塑性ポリイミド層を形成する(図1(b))。以上のプロセスによって作製した接着性のポリイミドフィルムに対して、厚み18μmの圧延銅箔((株)日鉱マテリアルズ:BHYシリーズ)の粗化処理面を貼り合せた後、300℃、1時間、100kg/cm2の真空熱プレスによってポリイミドフィルムと圧延銅箔を接着してポリイミド金属箔積層板を製造することができる(図1(c))。   An example of more detailed conditions of the method of the present invention will be described with reference to FIG. First, after applying hexamethyldisilazane (hereinafter sometimes abbreviated as HMDS) thinly to the surface of a commercially available polyimide film with an applicator, it is quickly dried at a temperature of 50 ° C. in a nitrogen atmosphere and treated with a silane coupling agent. (Fig. 1 (a)). The HMDS layer formed here is preferably controlled to 1 μm or less. Next, a thermoplastic polyamic acid solution is further applied thereon with an applicator in the same manner, and then quickly dried and imidized at a temperature of 240 ° C. for 10 minutes in a nitrogen atmosphere, so that a thermoplastic polyimide having a thickness of about 2 to 3 μm. A layer is formed (FIG. 1 (b)). After bonding the roughened surface of 18 μm thick rolled copper foil (Nikko Materials Co., Ltd .: BHY series) to the adhesive polyimide film produced by the above process, 300 kg, 1 hour, 100 kg A polyimide metal foil laminate can be produced by bonding a polyimide film and a rolled copper foil by a vacuum hot press of / cm 2 (FIG. 1 (c)).

本発明において、ポリイミドフィルム表面を汎用的なHMDSのようなシランカップリング剤で処理することによりポリイミドと金属箔の接着性(ピール強度)を改善することにより、低コストで且つ微細配線化や多層積層化に対応できる高い接着性を有したポリイミド金属箔積層板を提供することが可能となる。   In the present invention, the polyimide film surface is treated with a general-purpose HMDS-like silane coupling agent to improve the adhesion (peel strength) between the polyimide and the metal foil. It is possible to provide a polyimide metal foil laminate having high adhesion that can be laminated.

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。
尚、実施例、比較例でおこなった評価は以下の方法にしたがっておこなった。
金属箔張積層板の引き剥がし強度(ピール強度)測定:
測定方法は、IPC−TM−650 methodに順じ、銅箔部分をエッチング加工することにより長さ50mm、幅3.2mmの銅箔パターンをMD、TD方向それぞれに形成し、その銅箔パターンを基板に対して90度方向に50mm/minの速度で引き剥がすことで実施した。それぞれ3回行なった。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples.
In addition, the evaluation performed by the Example and the comparative example was performed in accordance with the following method.
Measurement of peel strength (peel strength) of metal foil-clad laminate:
The measuring method is to follow the IPC-TM-650 method, and by etching the copper foil part, a copper foil pattern having a length of 50 mm and a width of 3.2 mm is formed in each of the MD and TD directions. It was carried out by peeling off the substrate at a speed of 50 mm / min in the 90-degree direction. Each was performed three times.

実施例1
市販のポリイミドフィルム((株)カネカ製、商品名:アピカル(登録商標)25NPI(厚み25μm)、)の片側表面に液状のヘキサメチルジシラザン(HMDS)を塗布した後、窒素雰囲気下50℃で10分間乾燥して0.01μmの厚さとした。さらにその上にジメチルアセトアミド溶媒中に熱可塑性ポリイミド前駆体として3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物と1,3−(3−アミノフェノキシ)ベンゼンに1,3−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ベンゼンを共重合させたものを窒素雰囲気下、温度240℃で10分間塗布・乾燥して接着性ポリイミドフィルムを得た。この時、熱可塑性ポリイミド層は乾燥後の厚みが2〜3μmとなるようにした。その後、圧延銅箔((株)日鉱マテリアルズ製、BHYシリーズ、厚さ18μm)の粗化処理面を接着性ポリイミドフィルムの接着層と貼り合せた後、300℃・1時間・100kg/cmの真空熱プレスによってポリイミドフィルムと圧延銅箔を接着し、ポリイミド金属箔積層板を得た。得られたポリイミド金属箔積層板の銅箔とポリイミド層とのピール強度測定を前述の方法に従い、測定した。結果を表1に示す。
Example 1
Liquid hexamethyldisilazane (HMDS) was applied to one surface of a commercially available polyimide film (trade name: Apical (registered trademark) 25 NPI (thickness 25 μm), manufactured by Kaneka Corporation), and then at 50 ° C. in a nitrogen atmosphere. It was dried for 10 minutes to a thickness of 0.01 μm. Furthermore, 1,3-bis (3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 1,3- (3-aminophenoxy) benzene as a thermoplastic polyimide precursor in a dimethylacetamide solvent are used. (3-maleimidophenoxy) copolymerized benzene was applied and dried at 240 ° C. for 10 minutes in a nitrogen atmosphere to obtain an adhesive polyimide film. At this time, the thermoplastic polyimide layer had a thickness after drying of 2 to 3 μm. Thereafter, the roughened surface of the rolled copper foil (manufactured by Nikko Materials Co., Ltd., BHY series, thickness 18 μm) was bonded to the adhesive layer of the adhesive polyimide film, and then 300 ° C., 1 hour, 100 kg / cm 2. The polyimide film and the rolled copper foil were bonded to each other by a vacuum heat press to obtain a polyimide metal foil laminate. The peel strength measurement between the copper foil and the polyimide layer of the obtained polyimide metal foil laminate was measured according to the method described above. The results are shown in Table 1.

比較例1
ポリイミドフィルムにHMDS処理をしない以外は、実施例1と同様の操作を行い、ポリイミド金属箔積層板を製造した。得られたポリイミド金属箔積層板の銅箔とポリイミド層とのピール強度測定を前述の方法に従い、測定した。結果を表1に示す。
Comparative Example 1
Except not performing HMDS process to a polyimide film, operation similar to Example 1 was performed and the polyimide metal foil laminated sheet was manufactured. The peel strength measurement between the copper foil and the polyimide layer of the obtained polyimide metal foil laminate was measured according to the method described above. The results are shown in Table 1.

Figure 2006088410
Figure 2006088410

また、剥離界面の場所についても表1に合わせて記載した。表1より、未処理の銅張積層板では剥離界面がポリイミド/ポリイミド界面であるのに対して、HMDS処理した銅張積層板では剥離界面がポリイミド/ポリイミド界面のみでなく、銅/ポリイミド界面に移行していることが分かる。これはポリイミドフィルム表面にHMDS処理することで、ポリイミドフィルムと熱可塑性ポリイミドの接着剤との間の接着性が改善されたことを示している。さらにピール強度に関しては、表1から分かるようにHMDS処理した銅張積層板では銅/ポリイミド界面での剥離に移行しているために全体的にピール強度は向上しており、さらにポリイミド/ポリイミド界面でのピール強度に関しても、若干向上しているのが分かる。   The location of the peeling interface is also shown in Table 1. From Table 1, the untreated copper-clad laminate has a polyimide / polyimide interface, whereas the HMDS-treated copper-clad laminate has not only a polyimide / polyimide interface but also a copper / polyimide interface. You can see that it is moving. This indicates that the adhesion between the polyimide film and the thermoplastic polyimide adhesive was improved by HMDS treatment on the polyimide film surface. Furthermore, as can be seen from Table 1, the peel strength at the copper / polyimide interface has shifted to the peel strength at the copper / polyimide interface in the HMDS-treated copper clad laminate, and the polyimide / polyimide interface has further improved. It can also be seen that the peel strength at is slightly improved.

以上のように、ポリイミドフィルム表面にHMDS処理した銅張積層板では、接着性(ピール強度)が改善されることが分かった。   As described above, it was found that the adhesiveness (peel strength) was improved in the copper-clad laminate having the polyimide film surface treated with HMDS.

このような接着性が改善されたポリイミド金属箔積層板によって、配線幅の微細化による見かけのピール強度の低下や、熱・圧力履歴によるピール強度の低下分を補うことができるため、微細配線化や多層積層化に対応することが可能となる。また、本開発技術はHMDS処理といった簡単な方法で接着性を改善できるので、現状コストの維持が可能である。   With such a polyimide metal foil laminate with improved adhesiveness, it is possible to compensate for the apparent peel strength reduction due to finer wiring width and the peel strength reduction due to heat / pressure history. And multi-layer stacking can be supported. In addition, this developed technology can improve the adhesiveness by a simple method such as HMDS treatment, so that the current cost can be maintained.

実施例で製造したHMDS処理したポリイミドフィルムの構造を示すものである。1 shows the structure of an HMDS-treated polyimide film produced in an example. 実施例で製造した接着性ポリイミドフィルムの構造を示すものである。The structure of the adhesive polyimide film manufactured in the Example is shown. 本発明のポリイミド金属箔積層板の構造の一例を示すものである。An example of the structure of the polyimide metal foil laminated board of this invention is shown.

符号の説明Explanation of symbols

1 市販ポリイミドフィルム
2 ヘキサメチルジシラザン(HMDS)処理層
3 接着性の熱可塑性ポリイミド層
4 圧延銅箔(BHYシリーズ)
1 Commercial polyimide film 2 Hexamethyldisilazane (HMDS) treatment layer 3 Adhesive thermoplastic polyimide layer 4 Rolled copper foil (BHY series)

Claims (3)

ポリイミドフィルムの片面又は両面の表面にシランカップリング剤及び又はシロキサンオリゴマーを塗布、乾燥した後、該ポリイミドフィルム表面の片面又は両面に熱可塑性ポリイミド前駆体ワニスを塗布して接着性ポリイミドフィルムを製造し、該接着性ポリイミドフィルムの片面又は両面と金属箔を加熱圧着することを特徴とするポリイミド金属箔積層板の製造方法。 After applying and drying a silane coupling agent and / or siloxane oligomer on one or both surfaces of the polyimide film, an adhesive polyimide film is manufactured by applying a thermoplastic polyimide precursor varnish on one or both surfaces of the polyimide film surface. A method for producing a polyimide metal foil laminate, wherein one or both surfaces of the adhesive polyimide film and a metal foil are heat-pressed. シランカップリング剤が、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)である請求項1に記載のポリイミド金属箔積層板の製造方法。 The method for producing a polyimide metal foil laminate according to claim 1, wherein the silane coupling agent is hexamethyldisilazane (HMDS). 請求項1記載の製造方法より得られるポリイミド金属箔積層板。
A polyimide metal foil laminate obtained from the production method according to claim 1.
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