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JP2006072175A - Liquid crystal display device, method for manufacturing liquid crystal display device, and electronic apparatus - Google Patents

Liquid crystal display device, method for manufacturing liquid crystal display device, and electronic apparatus Download PDF

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JP2006072175A
JP2006072175A JP2004258008A JP2004258008A JP2006072175A JP 2006072175 A JP2006072175 A JP 2006072175A JP 2004258008 A JP2004258008 A JP 2004258008A JP 2004258008 A JP2004258008 A JP 2004258008A JP 2006072175 A JP2006072175 A JP 2006072175A
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JP
Japan
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region
liquid crystal
reflective
display device
crystal display
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Withdrawn
Application number
JP2004258008A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshihiro Otake
俊裕 大竹
Tomoyuki Nakano
智之 中野
Kimitaka Kamijo
公高 上條
Keiji Takizawa
圭二 瀧澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

【課題】
簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長の違いなどから生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることができる液晶表示装置、その液晶表示装置の製造方法及びその液晶表示装置を用いた電子機器を提供すること。
【解決手段】
成膜された第1感光性材料である着色層形成用の感光性樹脂35を、透過領域Cで液晶側に突出させることで、透過領域Cでの厚さが反射領域Dでの厚さより厚くなるように、第1ハーフトーンマスク36を用いて露光することとしたので、例えば透過領域Cでの感光性樹脂35には反射領域Dでの感光性樹脂35より多くの光を照射させることができる一方、反射領域Dでの感光性樹脂35にも必要な量の光を照射することができる。
【選択図】 図3
【Task】
Liquid crystal display device capable of preventing deterioration in display quality such as color unevenness caused by a difference in optical path length between a reflective display and a transmissive display with a simple structure, and reducing the number of manufacturing processes, and the liquid crystal display device Manufacturing method and electronic equipment using the liquid crystal display device.
[Solution]
The formed photosensitive resin 35 for forming a colored layer, which is the first photosensitive material, is projected to the liquid crystal side in the transmission region C, so that the thickness in the transmission region C is thicker than the thickness in the reflection region D. As described above, since the first halftone mask 36 is used for exposure, for example, the photosensitive resin 35 in the transmission region C may be irradiated with more light than the photosensitive resin 35 in the reflection region D. On the other hand, the photosensitive resin 35 in the reflective region D can be irradiated with a necessary amount of light.
[Selection] Figure 3

Description

本発明は、パーソナルコンピュータや携帯電話機に用いられる液晶表示装置、その液晶表示装置の製造方法及びその液晶表示装置を用いた電子機器に関する。   The present invention relates to a liquid crystal display device used for a personal computer or a cellular phone, a method for manufacturing the liquid crystal display device, and an electronic apparatus using the liquid crystal display device.

従来、パーソナルコンピュータや携帯電話機等といった電子機器の表示装置として液晶表示装置等があり、その液晶表示装置の光源として自然光やバックライト等を用いた反射半透過型等の液晶表示装置がある。   Conventionally, there is a liquid crystal display device or the like as a display device of an electronic device such as a personal computer or a mobile phone, and a liquid crystal display device such as a reflective transflective type using natural light or a backlight as a light source of the liquid crystal display device.

また、例えば反射半透過型の液晶表示装置では表示画面への写り込みが生じることがあり、これを防ぐために外光を散乱させるための凹凸状の反射面を設けることが行われていたが、当該凹凸状の反射面の形成が必ずしもランダムに形成されておらず、反射半透過型等の液晶表示装置の表示品位としては不十分であった。   Further, for example, in a reflective transflective liquid crystal display device, reflection on the display screen may occur, and in order to prevent this, an uneven reflecting surface for scattering external light has been provided, The uneven reflective surface is not necessarily formed at random, which is insufficient for display quality of a reflective transflective liquid crystal display device.

そこで、当該凹凸状の反射面の形状をよりランダムにしかも容易に形成し液晶表示装置の表示品位を向上させる方法が提案されている(例えば、特許文献1参照。) 。
特開2003−75987号公報(段落[0007]から[0037]、図13)。
In view of this, a method has been proposed for improving the display quality of a liquid crystal display device by forming the uneven reflecting surface in a more random and easy manner (see, for example, Patent Document 1).
Japanese Patent Laying-Open No. 2003-75987 (paragraphs [0007] to [0037], FIG. 13).

しかしながら上述の方法により凹凸状の反射面の形状をよりランダムにし液晶表示装置の表示品位を向上させることは可能になったが、一方で反射型表示での液晶パネル中の光路長と透過型表示での液晶パネル中の光路長の相違等から生じる表示上の色再現性のむら、表示品位の低下という問題があり、その光路長差を改善するカラーフィルタ層やオーバーコート層の構造及び製造工程も考えられるが、その際の製造工程が複雑となりコスト高となるといった問題があった。   However, it has become possible to improve the display quality of the liquid crystal display device by making the shape of the uneven reflecting surface more random by the above method, but on the other hand, the optical path length in the liquid crystal panel and the transmissive display in the reflective display There is a problem of uneven color reproducibility on display caused by differences in optical path lengths in liquid crystal panels, and deterioration in display quality, and the structure and manufacturing process of color filter layers and overcoat layers that improve the optical path length difference Though conceivable, there was a problem that the manufacturing process at that time was complicated and the cost was high.

本発明は、上述の課題に鑑みてなされるもので、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長の違いなどから生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることができる液晶表示装置、その液晶表示装置の製造方法及びその液晶表示装置を用いた電子機器を提供することを目的とする。   The present invention is made in view of the above-described problems, and prevents deterioration in display quality such as uneven color caused by a difference in optical path length between a reflective display and a transmissive display with a simple structure, and a manufacturing process. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device capable of reducing the amount of liquid crystal, a method for manufacturing the liquid crystal display device, and an electronic apparatus using the liquid crystal display device.

上記目的を達成するために、本発明の主たる観点に係る液晶表示装置の製造方法は、複数の画素と、当該画素内に設けられた光を透過させる透過領域及び光を反射させる反射領域と、液晶を間に保持し相対向する一対の基板と、前記一対の基板のいずれか一方の基板に形成された反射膜とを備えた液晶表示装置の製造方法において、前記一対の基板のいずれか一方の基板で、前記反射領域及び前記透過領域に、着色された第1感光性材料を成膜する工程と、前記成膜された第1感光性材料を、前記透過領域で前記液晶側に突出させることで、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、第1ハーフトーンマスクを用いて露光する工程と、前記露光された第1感光性材料を現像し、着色層を形成する工程とを具備することを特徴とする。   In order to achieve the above object, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a main aspect of the present invention includes a plurality of pixels, a transmission region that transmits light provided in the pixels, and a reflection region that reflects light. In a method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a pair of substrates that hold liquid crystal in between and facing each other; and a reflective film formed on any one of the pair of substrates. Forming a colored first photosensitive material on the reflective region and the transmissive region, and projecting the formed first photosensitive material to the liquid crystal side in the transmissive region. Thus, the step of exposing using the first halftone mask so that the thickness in the transmissive region is thicker than the thickness in the reflective region, developing the exposed first photosensitive material, and coloring Forming a layer. The features.

ここで、「透過領域」とは例えば反射膜中に形成された開口部をいい、「ハーフトーンマスク」とは露光する際のマスクであり、例えば該マスク内に露光用の光源からの光を透過(遮蔽)する量が異なる領域を有するものをいう。また、「第1感光性材料」とは例えば感光性着色材を分散させたような感光性樹脂等をいう。   Here, the “transmission region” refers to, for example, an opening formed in the reflective film, and the “halftone mask” refers to a mask for exposure. For example, light from an exposure light source is incident on the mask. This refers to a region having different amounts of transmission (shielding). The “first photosensitive material” refers to a photosensitive resin in which a photosensitive coloring material is dispersed, for example.

本発明は、成膜された第1感光性材料を、透過領域で液晶側に突出させることで、透過領域での厚さが反射領域での厚さより厚くなるように、第1ハーフトーンマスクを用いて露光することとしたので、例えば透過領域での第1感光性材料には反射領域での第1感光性材料より多くの光を照射させることができる一方、反射領域での第1感光性材料にも必要な量の光を照射することができる。   In the present invention, the first halftone mask is formed so that the film thickness of the first photosensitive material protrudes toward the liquid crystal in the transmissive region so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region. For example, the first photosensitive material in the transmissive region can be irradiated with more light than the first photosensitive material in the reflective region, while the first photosensitive material in the reflective region can be irradiated. The material can be irradiated with a necessary amount of light.

これにより、従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で反射領域には透過領域と比較して厚さの薄い着色層を形成し、透過領域には反射領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させた着色層を形成でき、製造工程を少なくさせることが可能となる。   Thereby, a colored layer having a thickness smaller than that of the transmissive region is formed in the reflective region in a single coating, exposing and developing step, which conventionally required two coating, exposing and developing steps, In the transmissive region, a colored layer that is thicker than the reflective region and protrudes toward the liquid crystal side can be formed, and the number of manufacturing steps can be reduced.

更に着色層を透過領域で液晶側に突出させ、該透過領域での厚さが反射領域での厚さより厚くなるように形成したので、同一の色材で反射光と透過光との色再現性を同じにできる。   In addition, the colored layer protrudes toward the liquid crystal in the transmissive region, and the thickness in the transmissive region is greater than the thickness in the reflective region, so the color reproducibility of reflected light and transmitted light with the same colorant. Can be the same.

本発明の一の形態によれば、前記一対の基板のいずれか一方の基板に、第2感光性材料を成膜する工程と、前記反射領域での厚さを前記透過領域での厚さより厚くするために、前記反射領域で前記液晶側に突出するように、前記成膜された第2感光性材料を第2ハーフトーンマスクを用いて露光する工程と、前記露光された第2感光性材料を現像し、マルチギャップ層を形成する工程とを更に具備することを特徴とする。これにより、例えば反射領域での第2感光性材料には透過領域での第2感光性材料より多くの光を照射することができる一方、透過領域での第2感光性材料にも必要な量の光を照射することができるので、従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で透過領域には反射領域と比較して厚さの薄いマルチギャップ層を形成し、反射領域には透過領域と比較して厚さが厚く、かつ、液晶側に突出させたマルチギャップ層を形成することが可能となる。また、製造工程を少なくさせコストの低減が図れる。ここで、「マルチギャップ層」とは透過領域での液晶層の厚さが反射領域での液晶層の厚さより厚くなるように形成された層をいう。   According to one aspect of the present invention, the step of forming the second photosensitive material on one of the pair of substrates, and the thickness in the reflective region is greater than the thickness in the transmissive region. In order to do so, a step of exposing the formed second photosensitive material using a second halftone mask so as to protrude toward the liquid crystal in the reflective region, and the exposed second photosensitive material And a step of forming a multi-gap layer. Thus, for example, the second photosensitive material in the reflective region can be irradiated with more light than the second photosensitive material in the transmissive region, while the amount necessary for the second photosensitive material in the transmissive region is also necessary. Therefore, the transmissive area in the conventional coating, exposure and development process is thinner than the reflection area in the transmission, exposure and development processes. A thin multi-gap layer can be formed, and a multi-gap layer that is thicker than the transmissive region and protrudes toward the liquid crystal can be formed in the reflective region. Further, the manufacturing process can be reduced and the cost can be reduced. Here, the “multi-gap layer” refers to a layer formed such that the thickness of the liquid crystal layer in the transmissive region is larger than the thickness of the liquid crystal layer in the reflective region.

本発明の一の形態によれば、前記透過領域は前記反射膜が設けられていない領域であり、前記第1感光性材料を成膜する工程においては、前記第1感光性材料を前記反射膜上及び前記反射膜が設けられていない領域内に成膜し、前記第2感光性材料を成膜する工程においては、前記着色層上に前記第2感光性材料を成膜することを特徴とする。これにより、反射領域での液晶層の光路長と透過領域での着色層の突出による液晶層の光路長との差を、マルチギャップ層の厚さの違いにより解消することができ、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防ぐと共に、製造工程をより少なくさせることが可能となる。   According to an aspect of the present invention, the transmissive region is a region where the reflective film is not provided, and in the step of forming the first photosensitive material, the first photosensitive material is used as the reflective film. Forming the second photosensitive material on the colored layer in the step of depositing the second photosensitive material on the top and in the region where the reflective film is not provided, To do. As a result, the difference between the optical path length of the liquid crystal layer in the reflective region and the optical path length of the liquid crystal layer due to the protrusion of the colored layer in the transmissive region can be eliminated by the difference in thickness of the multi-gap layer. Thus, it is possible to prevent deterioration in display quality such as color unevenness caused by a difference in optical path length between the reflection type display and the transmission type display, and to reduce the number of manufacturing processes.

本発明の一の形態によれば、前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ネガ材であり、前記第1ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、前記第2ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されていることを特徴とする。これにより、第1ハーフトーンマスクを用いて従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で、反射領域には透過領域と比較して厚さの薄い着色層を形成し、透過領域には反射領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させて着色層を形成できるので、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。   According to an embodiment of the present invention, the first photosensitive material and the second photosensitive material are negative materials, respectively, and the first halftone mask has an area corresponding to the reflective area as the transmissive area. The second halftone mask is formed so that the area corresponding to the transmissive area is larger than the area corresponding to the reflective area. It is characterized by being. As a result, the first halftone mask, which conventionally required two coating, exposure and development steps, is thicker than the transmissive region in the reflection region in one coating, exposure and development step. A thin colored layer is formed, and the transmissive region is thicker than the reflective region and can be projected to the liquid crystal side to form a colored layer, thus preventing uneven color while reducing the number of manufacturing steps. It becomes possible to plan.

同じく、マルチギャップ層の形成も従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で透過領域には、反射領域と比較して厚さの薄いマルチギャップ層を形成し、反射領域には透過領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させて形成でき、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。   Similarly, the formation of the multi-gap layer, which previously required two coating, exposure and development steps, is thinner in the transmission region than the reflection region in one coating, exposure and development step. A multi-gap layer is formed, and the reflective region is thicker than the transmissive region and can be projected to the liquid crystal side, thereby preventing uneven color while reducing the number of manufacturing steps. .

本発明の一の形態によれば、前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ポジ材であり、前記第1ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、前記第2ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されていることを特徴とする。これにより、第1ハーフトーンマスクを用いて従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で、反射領域には透過領域と比較して厚さの薄い着色層を形成し、透過領域には反射領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させて着色層を形成でき、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。   According to an embodiment of the present invention, the first photosensitive material and the second photosensitive material are positive materials, respectively, and the first halftone mask has an area corresponding to the transmissive area as the reflective area. The second halftone mask is formed such that the area corresponding to the reflective area is larger than the area corresponding to the transmissive area. It is characterized by being. As a result, the first halftone mask, which conventionally required two coating, exposure and development steps, is thicker than the transmissive region in the reflection region in one coating, exposure and development step. A thin colored layer is formed, and the transmissive region is thicker than the reflective region and can be projected to the liquid crystal side to form a colored layer, thereby preventing uneven color while reducing the number of manufacturing steps. It becomes possible.

同じく、マルチギャップ層の形成も従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で透過領域には、反射領域と比較して厚さの薄いマルチギャップ層を形成し、反射領域には透過領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させて形成でき、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。   Similarly, the formation of the multi-gap layer, which previously required two coating, exposure and development steps, is thinner in the transmission region than the reflection region in one coating, exposure and development step. A multi-gap layer is formed, and the reflective region is thicker than the transmissive region and can be projected to the liquid crystal side, thereby preventing uneven color while reducing the number of manufacturing steps. .

本発明の一の形態によれば、前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ネガ材及びポジ材であり、前記第1ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、前記第2ハーフトーンマスクは、該第1ハーフトーンマスクと同じ形状であることを特徴とする。これにより、着色層の形成とマルチギャップ層の形成とで同じ形状のハーフトーンマスクを用いることが可能となり製造コストの低減を更に図ることができる。ここで、「第1ハーフトーンマスクと同じ形状」とは、第1ハーフトーンマスク自体であることも含む意味である。   According to an aspect of the present invention, the first photosensitive material and the second photosensitive material are a negative material and a positive material, respectively, and the first halftone mask has an area corresponding to the reflective area in the area. The second halftone mask is formed in the same shape as the first halftone mask. The second halftone mask is formed to have a larger light shielding amount than the region corresponding to the transmission region. Thereby, it is possible to use a halftone mask having the same shape for the formation of the colored layer and the formation of the multi-gap layer, and the manufacturing cost can be further reduced. Here, “the same shape as the first halftone mask” means that the first halftone mask itself is included.

本発明の一の形態によれば、前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ポジ材及びネガ材であり、前記第1ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、前記第2ハーフトーンマスクは、前記第1ハーフトーンマスクと同じ形状であることを特徴とする。これにより、着色層の形成とマルチギャップ層の形成とで同じ形状のハーフトーンマスクを用いることが可能となり製造コストの低減を更に図ることができる。また、感光性材料の多様性により対応できることとなる。ここで、「第1ハーフトーンマスクと同じ形状」とは、第1ハーフトーンマスク自体であることも含む意味である。   According to an embodiment of the present invention, the first photosensitive material and the second photosensitive material are a positive material and a negative material, respectively, and the first halftone mask has an area corresponding to the transmission area. The second halftone mask is formed in the same shape as the first halftone mask. The second halftone mask is formed to have a larger light shielding amount than the region corresponding to the reflection region. Thereby, it is possible to use a halftone mask having the same shape for the formation of the colored layer and the formation of the multi-gap layer, and the manufacturing cost can be further reduced. Moreover, it can respond by the diversity of the photosensitive material. Here, “the same shape as the first halftone mask” means that the first halftone mask itself is included.

本発明の一の形態によれば、前記第1ハーフトーンマスク及び第2ハーフトーンマスクによる露光工程の少なくともいずれか一方の露光工程で、該露光用の光源の露光量を調整することを特徴とする。これにより、例えばポジ材を露光する完全露光領域を有するハーフトーンマスクであっても、該露光用の光源の露光量を調整することによってその完全露光領域にも厚さの薄い着色層やマルチギャップ層を形成することができる。   According to one aspect of the present invention, the exposure amount of the light source for exposure is adjusted in at least one of the exposure steps using the first halftone mask and the second halftone mask. To do. Thus, for example, even in a halftone mask having a complete exposure area for exposing a positive material, a thin colored layer or a multi-gap is also formed in the complete exposure area by adjusting the exposure amount of the light source for the exposure. A layer can be formed.

本発明の他の観点に係る液晶表示装置の製造方法は、複数の画素と、当該画素内に設けられた光を透過させる透過領域及び光を反射させる反射領域と、液晶を間に保持し相対向する一対の基板と、前記一対の基板のいずれか一方の基板に形成された反射膜とを備えた液晶表示装置の製造方法において、前記一対の基板のいずれか一方の基板で、前記反射領域及び前記透過領域に、着色された第1感光性材料を成膜する工程と、前記透過領域で前記液晶側に突出させることで、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、前記成膜された第1感光性材料を複数種類のマスクを用いて多重露光する工程と、前記露光された第1感光性材料を現像し、着色層を形成する工程とを備え、前記複数種類のマスクは、前記透過領域に対応する領域とその他の領域に対応する領域とで、遮光量が異なるように形成されているマスクと、前記透過領域及び前記反射領域に対応する領域とその他の領域に対応する領域とで、遮光量が異なるように形成されているマスクとを含むことを特徴とする。   A manufacturing method of a liquid crystal display device according to another aspect of the present invention includes a plurality of pixels, a transmissive region that transmits light and a reflective region that reflects light, and a liquid crystal held between the pixels. In the method of manufacturing a liquid crystal display device including a pair of substrates facing each other and a reflective film formed on any one of the pair of substrates, the reflective region is formed on any one of the pair of substrates. And forming a colored first photosensitive material in the transmissive region, and projecting toward the liquid crystal side in the transmissive region so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region. As described above, the method includes a step of multiply exposing the formed first photosensitive material using a plurality of types of masks, and a step of developing the exposed first photosensitive material to form a colored layer. The plurality of types of masks are formed in the transmission region. The mask formed so that the amount of light shielding differs between the corresponding region and the region corresponding to the other region, and the light shielding between the region corresponding to the transmission region and the reflection region, and the region corresponding to the other region And a mask formed to have a different amount.

本発明は、透過領域で液晶側に突出させることで、透過領域での厚さが反射領域での厚さより厚くなるように、成膜された第1感光性材料を複数種類のマスクを用いて多重露光することとしたので、従来二回の塗布及び現像工程が必要であったものを一回の塗布及び現像工程で、反射領域には透過領域と比較して厚さの薄い着色層を形成し、透過領域には反射領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させて着色層を形成でき、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。   The present invention uses a plurality of types of masks to form the first photosensitive material so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region by projecting toward the liquid crystal in the transmissive region. Since multiple exposures were required, a colored layer with a smaller thickness was formed in the reflective area than in the transmissive area in a single application and development process that previously required two application and development processes. In addition, the transmissive region is thicker than the reflective region, and a colored layer can be formed by projecting toward the liquid crystal side, thereby making it possible to prevent uneven color while reducing the number of manufacturing steps.

尚、同様にマルチギャップ層を形成すれば、従来二回の塗布及び現像工程が必要であったものを一回の塗布及び現像工程で、透過領域には、反射領域と比較して厚さの薄いマルチギャップ層を形成し、反射領域には透過領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させたマルチギャップ層を形成でき、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。   Similarly, if a multi-gap layer is formed, the transmissive region has a thickness that is larger than that of the reflective region in a single coating and developing step, which previously required two coating and developing steps. A thin multi-gap layer can be formed, and the reflective region can be thicker than the transmissive region and can be projected to the liquid crystal side to prevent uneven color while reducing the number of manufacturing steps. It becomes possible.

本発明の他の観点に係る液晶表示装置は、複数の画素を備えた液晶表示装置において、液晶を間に保持し、相対向する一対の基板と、前記画素内に設けられた、光を透過させる透過領域及び光を反射させる反射領域と、前記一対の基板のいずれか一方の基板において、前記反射領域に設けられた反射膜と、前記一対の基板のいずれか一方の基板において、前記反射領域及び前記透過領域に設けられ、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、前記透過領域で前記液晶側に突出して形成された着色層と、前記着色層上の前記液晶側において、前記反射領域及び前記透過領域に設けられ、前記反射領域での厚さが前記透過領域での厚さより厚くなるように、前記反射領域で前記液晶側に突出して形成されたマルチギャップ層とを備えることを特徴とする。   A liquid crystal display device according to another aspect of the present invention is a liquid crystal display device including a plurality of pixels, which transmits light provided between the pair of substrates that hold the liquid crystal in between and are opposed to each other, and the pixels. A reflective region that reflects light; a reflective region that reflects light; a reflective film provided in the reflective region in any one of the pair of substrates; and the reflective region in any one of the pair of substrates. And a colored layer formed in the transmissive region so as to protrude toward the liquid crystal side in the transmissive region so that a thickness in the transmissive region is larger than a thickness in the reflective region, and on the colored layer. A multi-layer formed on the liquid crystal side, which is provided in the reflective region and the transmissive region, and protrudes toward the liquid crystal side in the reflective region so that the thickness in the reflective region is larger than the thickness in the transmissive region. Gad Characterized in that it comprises a layer.

本発明は、透過領域での厚さが反射領域での厚さより厚くなるように、透過領域で液晶側に突出して着色層を反射領域及び透過領域に形成したので、同一の色材で反射光と透過光との色再現性を同じにできる。   In the present invention, since the colored layer is formed in the reflective region and the transmissive region so as to protrude toward the liquid crystal side in the transmissive region so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region, the reflected light is reflected by the same color material. And the color reproducibility of transmitted light can be made the same.

また、該着色層の上に配置されたマルチギャップ層を反射領域で液晶側に突出させ、該反射領域での厚さが透過領域での厚さより厚くなるように形成することとしたので、反射領域での液晶の光路長と透過領域での着色層の突出による液晶の光路長との差を、該マルチギャップ層の厚さの違いにより解消することができ、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることが可能となる。   In addition, since the multi-gap layer disposed on the colored layer protrudes to the liquid crystal side in the reflective region, the thickness in the reflective region is formed to be thicker than the thickness in the transmissive region. The difference between the optical path length of the liquid crystal in the region and the optical path length of the liquid crystal due to the protrusion of the colored layer in the transmissive region can be eliminated by the difference in the thickness of the multi-gap layer. It is possible to prevent deterioration in display quality such as color unevenness caused by a difference in optical path length from the transmissive display, and to reduce the number of manufacturing processes.

本発明の他の観点に係る電子機器は、上述の液晶表示装置を備えたことを特徴とする。   An electronic apparatus according to another aspect of the present invention includes the above-described liquid crystal display device.

本発明は、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることができる液晶表示装置を備えるので、容易に電子機器の性能の信頼性を高めることができる。   The present invention includes a liquid crystal display device that has a simple structure and can prevent deterioration in display quality such as color unevenness caused by an optical path length difference between a reflective display and a transmissive display, and can reduce the number of manufacturing processes. Therefore, the reliability of the performance of the electronic device can be easily increased.

以下、本発明に実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下実施形態を説明するにあたっては、液晶表示装置の例として反射半透過型でニ端子型スイッチング素子であるTFD(薄膜ダイオード)を用いたアクティブマトリックス方式の液晶表示装置及びその液晶表示装置を用いた電子機器について説明するがこれに限られるものではない。また、以下の図面においては各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the embodiments, as an example of a liquid crystal display device, an active matrix type liquid crystal display device using TFD (thin film diode), which is a reflective transflective type and a two-terminal type switching element, and the liquid crystal display device are used. The electronic device used will be described but is not limited to this. Moreover, in the following drawings, in order to make each structure easy to understand, the actual structure and the scale and number of each structure are different.

(第1の実施形態)   (First embodiment)

図1は本発明の第1の実施形態に係る液晶表示装置を構成する液晶パネルの概略斜視図、図2は液晶パネルの対向基板側の概略平面図及び図3は図2におけるA−A線及びB−B線の概略断面図である。   1 is a schematic perspective view of a liquid crystal panel constituting a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic plan view of a liquid crystal panel on the counter substrate side, and FIG. 3 is a line AA in FIG. And is a schematic sectional view taken along line BB.

(液晶表示装置の構成)   (Configuration of liquid crystal display device)

液晶表示装置1は、例えば図1及び図3に示すように液晶パネル2と、当該液晶パネル2に光を射出する照明装置3及び該液晶パネル2に接続された図示しない回路基板やその他の付帯機構が必要に応じて付設される。   As shown in FIGS. 1 and 3, for example, the liquid crystal display device 1 includes a liquid crystal panel 2, an illumination device 3 that emits light to the liquid crystal panel 2, a circuit board (not shown) connected to the liquid crystal panel 2, and other incidentals. Mechanisms are attached as necessary.

液晶パネル2は、図1、図2及び図3に示すように相対向する一対の基板であるカラーフィルタ基板4及び対向基板5と、該カラーフィルタ基板4及び対向基板5がシール材(図示しない)を介して貼り合わされ両基板の間隙に封入された例えばSTN(Super Twisted Nematic)型の液晶である液晶層6とを有する。   As shown in FIGS. 1, 2 and 3, the liquid crystal panel 2 includes a color filter substrate 4 and a counter substrate 5 which are a pair of substrates facing each other, and the color filter substrate 4 and the counter substrate 5 are made of a sealing material (not shown). And a liquid crystal layer 6 which is, for example, a STN (Super Twisted Nematic) type liquid crystal and is sealed in a gap between both substrates.

ここで、カラーフィルタ基板4は、ガラス板又は合成樹脂板等から形成された透明な液晶表示装置用の基板である第1基板7を其体とし、対向基板5はカラーフィルタ基板4に対向し、ガラス板又は合成樹脂板等から形成された透明な液晶表示装置用の基板である第2基板8を其体とする。また、第1基板7の液晶層6と反対側には位相差板9及び偏光板10が配置され、第2基板8の液晶層6と反対側には同様に位相差板11及び偏光板12が配置されている。   Here, the color filter substrate 4 includes a first substrate 7 which is a transparent liquid crystal display device substrate formed of a glass plate or a synthetic resin plate, and the counter substrate 5 faces the color filter substrate 4. A second substrate 8 which is a substrate for a transparent liquid crystal display device formed from a glass plate or a synthetic resin plate is used as a body. Further, a phase difference plate 9 and a polarizing plate 10 are arranged on the opposite side of the first substrate 7 from the liquid crystal layer 6, and similarly, a phase difference plate 11 and a polarizing plate 12 are arranged on the opposite side of the second substrate 8 from the liquid crystal layer 6. Is arranged.

カラーフィルタ基板4は、図1及び図3に示すように第1基板7の液晶層側の表面に下地層13が形成され、その下地層13の表面には後述する光の透過領域である開口部を有する反射膜14及び光を遮蔽する光遮蔽層15が形成されている。また、該開口部を含めた反射膜14の液晶層側には着色層16が光遮蔽層15で区切られる領域に形成されている。この結果、開口部では着色層16が直接下地層13の上に積層されることとなる。   As shown in FIGS. 1 and 3, the color filter substrate 4 has a base layer 13 formed on the surface of the first substrate 7 on the liquid crystal layer side, and the surface of the base layer 13 has an opening which is a light transmission region described later. A reflection film 14 having a portion and a light shielding layer 15 for shielding light are formed. Further, a colored layer 16 is formed in a region delimited by the light shielding layer 15 on the liquid crystal layer side of the reflective film 14 including the opening. As a result, the colored layer 16 is directly laminated on the base layer 13 in the opening.

また、カラーフィルタ基板4は該着色層16及び光遮蔽層15の表面を覆うマルチギャップ層17が形成されており、更にマルチギャップ層17の液晶層側にはITO(インジウムスズ酸化物)等の透明導電体からなる走査電極18が形成されている。また、その走査電極18の液晶層側には、例えばポリイミド樹脂等からなる配向膜19が形成されている。   Further, the color filter substrate 4 is formed with a multi-gap layer 17 covering the surfaces of the colored layer 16 and the light shielding layer 15, and further, ITO (indium tin oxide) or the like is formed on the liquid crystal layer side of the multi-gap layer 17. A scanning electrode 18 made of a transparent conductor is formed. An alignment film 19 made of, for example, polyimide resin is formed on the liquid crystal layer side of the scanning electrode 18.

下地層13は樹脂材料からなり、その表面には細かい凹凸が形成されている。これにより、透過光等を散乱することができ、表示された画面の像が見にくくなるという問題を解消できる。   The underlayer 13 is made of a resin material, and fine irregularities are formed on the surface thereof. Thereby, the transmitted light or the like can be scattered, and the problem that it is difficult to see the image of the displayed screen can be solved.

更に反射膜14は、例えばアルミニウムや銀等の単体金属膜であって、下地層13の表面の凹凸により反射膜14の表面にも細かい凹凸が反映される。これにより、反射膜14によって反射された反射光も散乱させることができ、表示された画面への映り込み等により見難くなる等という問題を解消できる。   Further, the reflective film 14 is a single metal film such as aluminum or silver, and fine irregularities are reflected on the surface of the reflective film 14 due to the irregularities on the surface of the underlayer 13. Thereby, the reflected light reflected by the reflective film 14 can also be scattered, and the problem of being difficult to see due to reflection on the displayed screen can be solved.

反射膜14は、例えば図2及び図3に示すように一画素を構成する夫々の色のサブ画素の略中央に当該反射膜14により下地層13が覆われていない略矩形状の開口部20が形成されており、この開口部20の領域が透過領域Cとなる。また、図2及び図3に示すように該開口部20の周囲は反射膜14により外部から入射した光を反射させる反射領域Dが形成されている。これにより、後述するバックライト等の第1基板7から入射した光が透過領域Cから液晶層6へ透過できると共に、反射領域Dにより外部光を反射させることができる。   For example, as shown in FIGS. 2 and 3, the reflective film 14 has a substantially rectangular opening 20 in which the base layer 13 is not covered by the reflective film 14 at the substantial center of each color sub-pixel constituting one pixel. Are formed, and the region of the opening 20 becomes a transmission region C. As shown in FIGS. 2 and 3, a reflection region D for reflecting light incident from the outside is formed by the reflection film 14 around the opening 20. Thereby, light incident from the first substrate 7 such as a backlight described later can be transmitted from the transmission region C to the liquid crystal layer 6 and external light can be reflected by the reflection region D.

なお、開口部20はこの例に限られるものではなく、例えば円孔或は複数更には略中央でなくてもよい。これにより、種々多様な液晶表示装置1で、最も良い表示品位を提供できる。さらに、開口された形状でなくとも、単に反射膜が設けられていない領域であれば良い。   In addition, the opening part 20 is not restricted to this example, For example, it does not need to be a circular hole or a plurality, and also the approximate center. Thereby, the best display quality can be provided by various liquid crystal display devices 1. Furthermore, even if it is not an open shape, it may be a region where no reflective film is provided.

また、着色層16は例えば顔料又は染料等の着色材を含むネガ型の感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィ法によって、透過領域C及びその透過領域の周りの反射領域Dを覆うように形成された原色フィルタであって例えばR(赤)16R、G(緑)16G、B(青)16B等の三色のいずれかで構成されている。   The colored layer 16 is formed so as to cover the transmissive region C and the reflective region D around the transmissive region by applying a negative photosensitive resin containing a coloring material such as a pigment or a dye, for example. The primary color filter is composed of any one of three colors such as R (red) 16R, G (green) 16G, and B (blue) 16B.

更に着色層16は、例えば図3に示すように光を透過させる透過領域Cでの着色層表面が反射領域Dでの着色層表面より液晶層側に突出し、該透過領域Cでの厚さEが反射領域Dでの厚さFより厚く(E>F)なるように形成されており、透過領域Cでの光路長と反射領域Dでの光路長とを略同様にできる。   Further, for example, as shown in FIG. 3, the colored layer 16 has a colored layer surface in a transmissive region C that transmits light protrudes from the colored layer surface in the reflective region D to the liquid crystal layer side, and has a thickness E in the transmissive region C. Is thicker than the thickness F in the reflection region D (E> F), and the optical path length in the transmission region C and the optical path length in the reflection region D can be made substantially the same.

また、着色層16の配列パターンとして図1及び図2ではストライプ配列を採用しているが、これに限られるものではなく例えば斜めモザイク配列、ペンタイル配列或はデジタル配列等であってもよい。   1 and 2 adopt a stripe arrangement as the arrangement pattern of the colored layer 16, but is not limited to this, and may be, for example, an oblique mosaic arrangement, a pen tile arrangement, a digital arrangement, or the like.

光遮蔽層15は、各サブ画素25間の境界領域の遮光を行なうためのもので、その境界領域に第1基板7の走査電極18の長手方向(図2のX方向)及びこれに交差する方向(図2のY方向)に延在される帯状に形成されており、例えば図3に示すように着色層16Bを一番下層に配置し、その上に着色層16R、着色層16Gの順等に形成する。   The light shielding layer 15 is for shielding the boundary region between the sub-pixels 25, and intersects the boundary region in the longitudinal direction of the scanning electrode 18 of the first substrate 7 (X direction in FIG. 2). For example, as shown in FIG. 3, the colored layer 16B is arranged in the lowermost layer, and the colored layer 16R and the colored layer 16G are arranged in that order. And so on.

更にマルチギャップ層17は、例えば図1及び図3に示すように反射領域Dでの厚さGが透過領域Cでの厚さHより厚く(G>H)、反射領域Dでのマルチギャップ層表面が透過領域Cでのマルチギャップ層表面より液晶層側に突出するように形成されている。これにより、液晶層6は透過領域Cでの液晶層6の厚さが反射領域Dでの液晶層6の厚さより厚くなるというマルチギャップ構造を形成し、液晶層6での透過領域Cと反射領域Dとの光路長差等を是正することができる。   Further, for example, as shown in FIGS. 1 and 3, the multi-gap layer 17 has a thickness G in the reflection region D larger than a thickness H in the transmission region C (G> H). The surface is formed so as to protrude from the surface of the multi-gap layer in the transmission region C to the liquid crystal layer side. Thus, the liquid crystal layer 6 forms a multi-gap structure in which the thickness of the liquid crystal layer 6 in the transmissive region C is larger than the thickness of the liquid crystal layer 6 in the reflective region D. The optical path length difference from the region D can be corrected.

また、走査電極18は所定の方向(図2及び図3のX方向)に延在する帯状に形成され、複数の走査電極18が相互に並列してストライプ状に構成されている。更に配向膜19は、ポリイミド等の有機薄膜であり、液晶層6の配向状態を規定するためにラビング処理が施されている。   The scanning electrodes 18 are formed in a strip shape extending in a predetermined direction (X direction in FIGS. 2 and 3), and a plurality of scanning electrodes 18 are formed in a stripe shape in parallel with each other. Further, the alignment film 19 is an organic thin film such as polyimide, and is subjected to a rubbing process to define the alignment state of the liquid crystal layer 6.

次に対向基板5は、例えば図1、図2及び図3に示すように第2基板8の液晶層側の表面に、マトリックス状に配列する複数の画素電極21と、各画素電極21の境界領域において上述した走査電極18と交差する方向(図2のY方向)に帯状に延びる複数のデータ線22と、該画素電極21及びデータ線22に電気的に接続されたTFD23とが配置され、その液晶層側には配向膜24が形成されている。   Next, for example, as shown in FIGS. 1, 2, and 3, the counter substrate 5 includes a plurality of pixel electrodes 21 arranged in a matrix on the surface of the second substrate 8 on the liquid crystal layer side, and boundaries between the pixel electrodes 21. A plurality of data lines 22 extending in a band shape in a direction intersecting the above-described scanning electrode 18 (Y direction in FIG. 2) in the region, and the pixel electrode 21 and the TFD 23 electrically connected to the data line 22 are arranged. An alignment film 24 is formed on the liquid crystal layer side.

ここで、画素電極21は例えばITO等の透明導電体により形成されており、該走査電極18と画素電極21とによって特定される領域がサブ画素25となる。   Here, the pixel electrode 21 is formed of, for example, a transparent conductor such as ITO, and a region specified by the scanning electrode 18 and the pixel electrode 21 is a sub-pixel 25.

また、TFD23は例えば図3に示すように第2基板8の表面に成膜された下地層26の上に形成されており、第1金属膜27と、該第1金属膜27の表面に形成された絶縁膜28及び該絶縁膜28の上に形成された第2金属膜29とを有する。   Further, the TFD 23 is formed on the base layer 26 formed on the surface of the second substrate 8 as shown in FIG. 3, for example, and is formed on the surface of the first metal film 27 and the first metal film 27. And the second metal film 29 formed on the insulating film 28.

第1金属膜27は例えば、厚さが100〜500nm程度のTa単体膜、Ta合金膜等によって形成されており、データ線22に電気的に接続されている。   The first metal film 27 is formed of, for example, a Ta single film or a Ta alloy film having a thickness of about 100 to 500 nm, and is electrically connected to the data line 22.

また、絶縁膜28は例えば厚さが10〜35nm程度の酸化タンタル等によって形成されている。第2金属膜29は、例えばクロム(Cr)等といった金属膜によって50〜300nm程度の厚さに形成されており、画素電極21に電気的に接続されている。   The insulating film 28 is formed of tantalum oxide having a thickness of about 10 to 35 nm, for example. The second metal film 29 is formed with a thickness of about 50 to 300 nm by a metal film such as chromium (Cr), and is electrically connected to the pixel electrode 21.

更に配向膜24は、第1基板7の配向膜19と同様有機薄膜であり、ラビング処理が施されている。   Further, the alignment film 24 is an organic thin film similar to the alignment film 19 of the first substrate 7 and is subjected to a rubbing process.

次に、照明装置3は例えば図3に示すように図示しない光源、導光板30、二枚のプリズムシート31,32、拡散シート33、反射シート34等を有する。   Next, the illumination device 3 includes, for example, a light source (not shown), a light guide plate 30, two prism sheets 31, 32, a diffusion sheet 33, a reflection sheet 34, and the like as shown in FIG.

ここで、光源は例えばLED(Light Emitting Diode)等が用いられ、導光板30は光源から射出された光を拡散シート33の全体に照射させるものであり、プリズムシート31,32は導光板30から射出された光の輝度を向上させるものである。   Here, for example, an LED (Light Emitting Diode) is used as the light source, the light guide plate 30 irradiates the entire diffusion sheet 33 with light emitted from the light source, and the prism sheets 31 and 32 are provided from the light guide plate 30. The brightness of the emitted light is improved.

また、反射シート34は導光板30の第1基板7と反対側面から射出した光を導光板30に戻し光を有効利用できるようになっている。   Further, the reflection sheet 34 returns light emitted from the side surface opposite to the first substrate 7 of the light guide plate 30 to the light guide plate 30 so that the light can be used effectively.

(液晶表示装置の製造方法)   (Manufacturing method of liquid crystal display device)

次に、液晶表示装置1の製造方法を着色層及びマルチギャップ層を中心に説明する。   Next, a manufacturing method of the liquid crystal display device 1 will be described focusing on the colored layer and the multi-gap layer.

図4は液晶表示装置の製造工程のフローチャート図、図5はハーフトーンマスクの概略平面図、図6は着色層の製造工程を説明するための概略断面図、図7はマルチギャップ層の製造工程を説明するための概略断面図及び図8はポジ型感光性材料を用いる場合の製造工程説明図である。尚、説明の都合上図6、図7及び図8では下地層及び反射膜表面の凹凸は省略している。   4 is a flowchart of a manufacturing process of a liquid crystal display device, FIG. 5 is a schematic plan view of a halftone mask, FIG. 6 is a schematic sectional view for explaining a manufacturing process of a colored layer, and FIG. 7 is a manufacturing process of a multi-gap layer. FIG. 8 is a schematic cross-sectional view for explaining the above and FIG. 8 is an explanatory diagram of a manufacturing process when a positive photosensitive material is used. For convenience of explanation, the irregularities on the surface of the underlayer and the reflective film are omitted in FIGS. 6, 7, and 8.

まず、図4に示すように第1基板7上に均一に樹脂材料をスピンコート等により塗布し、フォトレジスト等により凹凸を有する下地層13を形成する(ST101)。   First, as shown in FIG. 4, a resin material is uniformly applied on the first substrate 7 by spin coating or the like, and the underlying layer 13 having irregularities is formed by using a photoresist or the like (ST101).

そして、該下地層13に蒸着法やスパッタリング法等によってアルミニウム等を薄膜状に成膜し、これにフォトリソグラフィ法を用いてパターニングすることによって、例えば図2及び図3に示すように各サブ画素25の略中央に透過領域Cである矩形状の開口部20を設けると共に、その周囲に反射領域Dを有する反射膜14を図6(a)に示すように形成する(ST102)。   Then, a thin film of aluminum or the like is formed on the underlayer 13 by a vapor deposition method, a sputtering method, or the like, and this is patterned by using a photolithography method. Thus, for example, as shown in FIG. 2 and FIG. A rectangular opening 20 that is a transmissive region C is provided at approximately the center of 25, and a reflective film 14 having a reflective region D around it is formed as shown in FIG. 6A (ST102).

また、形成された反射膜14の上に三色の内の例えば青色の第1感光性材料である感光性着色材が分散されたネガ型の感光性樹脂35をスピンコート等により図6(b)に示すように塗布する(ST103)。   Further, a negative photosensitive resin 35 in which a photosensitive coloring material, for example, a blue first photosensitive material of the three colors is dispersed on the formed reflection film 14 is spin coated or the like as shown in FIG. ) (ST103).

更に図5(a)に示すようにサブ画素25のストライプ配列に合わせた第1ハーフトーンマスク36の上から図6(c)に示すように露光し更に現像することにより、例えば図6(d)に示すように透過領域Cと反射領域Dとで厚さの異なる青色の着色層16Bが形成される(ST104)。なお、光遮蔽層15となる部分にも反射領域D上より更に厚さが薄い着色層16Bが形成される。この工程ST103及びST104を赤の着色層16R、緑の着色層16Gと同様に繰り返すことにより最終的に図6(e)に示すように三色の着色層16が夫々透過領域Cと反射領域Dとで厚さが異なって図3に示すように透過領域Cの表面が反射領域Dの表面より突出するように形成されることとなる。また、光遮蔽層15も三色の着色層が積層され光を遮蔽することができるようになる。   Further, as shown in FIG. 5 (a), exposure is performed as shown in FIG. 6 (c) from the first halftone mask 36 matched with the stripe arrangement of the sub-pixels 25, and further development is performed. ), A blue colored layer 16B having a different thickness is formed between the transmissive region C and the reflective region D (ST104). A colored layer 16 </ b> B that is thinner than the reflective region D is also formed on the portion that becomes the light shielding layer 15. By repeating these steps ST103 and ST104 in the same manner as the red colored layer 16R and the green colored layer 16G, the three colored layers 16 finally become a transmissive region C and a reflective region D, respectively, as shown in FIG. As shown in FIG. 3, the thickness of the transmissive region C is formed so as to protrude from the surface of the reflective region D. Further, the light shielding layer 15 is also provided with a three-color colored layer so that light can be shielded.

ここで、第1ハーフトーンマスク36は図5(a)に示すように縦方向(図中Y軸方向)に各色でハーフトーンマスクが形成されており、その一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば略0%の完全露光領域Iとその周囲にその半分程度の光の遮光量であるハーフ露光領域Jとが形成されている。また、その色のハーフトーンマスクの両隣は他の色の着色層部分となるので略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。   Here, as shown in FIG. 5A, the first halftone mask 36 is formed with a halftone mask of each color in the vertical direction (Y-axis direction in the drawing), and an area corresponding to one sub-pixel 25 thereof. In this case, a complete exposure region I having a substantially rectangular light shielding amount of, for example, approximately 0% and a half exposure region J having a light shielding amount of about half that amount are formed in the vicinity thereof. Moreover, since the color layer portions of other colors are adjacent to the halftone mask of that color, a complete light shielding region K having a light shielding amount of about 100% is formed.

これにより、図6(c)に示すように透過領域Cの感光性樹脂35の方が反射領域Dの感光性樹脂35より多く光を受けるのでネガ型である感光性樹脂35は現像後に図6(d)に示すように反射領域Dの方がより薄くなり、結局透過領域C上の表面の方が反射領域D上より突出することとなる。   As a result, the photosensitive resin 35 in the transmission region C receives more light than the photosensitive resin 35 in the reflection region D as shown in FIG. As shown in (d), the reflective region D becomes thinner, and the surface on the transmissive region C eventually protrudes from the reflective region D.

次に、三回目のST104により図6(e)に示すように三色の着色層16及び光遮蔽層15が形成されているその上に、第2感光性材料であるネガ型の感光性樹脂37をスピンコート法等により図7(a)に示すように塗布する(ST105)。   Next, as shown in FIG. 6E by the third ST104, the three-color colored layer 16 and the light shielding layer 15 are formed on the negative photosensitive resin as the second photosensitive material. 37 is applied by spin coating or the like as shown in FIG. 7A (ST105).

図5(b)に示すようにサブ画素25のストライプ配列に合わせた第2ハーフトーンマスク38の上から図7(b)に示すように露光し更に現像することにより、例えば図7(c)に示すように透過領域Cと反射領域Dとで厚さの異なるマルチギャップ層17が形成される(ST106)。   As shown in FIG. 5B, exposure and development are performed as shown in FIG. 7B from above the second halftone mask 38 in accordance with the stripe arrangement of the sub-pixels 25, for example, FIG. As shown, the multi-gap layer 17 having different thicknesses is formed in the transmissive region C and the reflective region D (ST106).

ここで、第2ハーフトーンマスク38は図5(b)に示すように縦方向(図中Y軸方向)及び横方向(図中X軸方向)でハーフトーンマスクが形成されており、その一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば半分程度のハーフ露光領域Lとその周囲に略0%の遮光量の完全露光領域Mとが形成されている。尚、第1のハーフトーンマスク36と異なり略100%の遮光量となる完全遮光領域はサブ画素25に対応する領域では形成されていない。   Here, as shown in FIG. 5B, the second halftone mask 38 is formed with a halftone mask in the vertical direction (Y-axis direction in the drawing) and the horizontal direction (X-axis direction in the drawing). In an area corresponding to one sub-pixel 25, a half-exposure area L having a substantially rectangular light shielding amount, for example, about half, and a full-exposure area M having a light shielding amount of approximately 0% are formed in the vicinity thereof. Yes. Note that, unlike the first halftone mask 36, a complete light shielding region having a light shielding amount of about 100% is not formed in a region corresponding to the sub-pixel 25.

これにより、図7(b)に示すように反射領域Dでの感光性樹脂37の方が透過領域Cでの感光性樹脂37より多く光を受けるのでネガ型である感光性樹脂37は現像後に図7(c)に示すように透過領域Cの方がより薄くなり、結局反射領域Dの表面の方が透過領域Cの表面より突出することとなる。   As a result, as shown in FIG. 7B, the photosensitive resin 37 in the reflection region D receives more light than the photosensitive resin 37 in the transmission region C, so that the negative photosensitive resin 37 is developed after development. As shown in FIG. 7C, the transmission region C becomes thinner, and the surface of the reflection region D eventually protrudes from the surface of the transmission region C.

また、ST106により形成された反射領域D上で突出しているマルチギャップ層17の上に走査電極18の材料であるITO等をスパッタリング法により被着し、フォトリソグラフィ法によってパターニングして図1、図2及び図3に示すようにX軸方向に所定の幅をもって走査電極18をストライプ状に形成する。更にその走査電極18を形成した上に配向膜19を形成し、ラビング処理を施して第1基板側の製造が終了する(ST107)。   Further, ITO or the like, which is a material of the scan electrode 18, is deposited on the multi-gap layer 17 protruding on the reflection region D formed in ST106 by sputtering, and patterned by photolithography, and then FIG. As shown in FIGS. 2 and 3, the scanning electrodes 18 are formed in stripes with a predetermined width in the X-axis direction. Further, the alignment film 19 is formed on the scan electrode 18, and a rubbing process is performed to complete the manufacture on the first substrate side (ST107).

次に、第2基板8上にTFD23、データ線22及び画素電極21を形成する(ST108)。   Next, the TFD 23, the data line 22, and the pixel electrode 21 are formed on the second substrate 8 (ST108).

ここで、TFD23は第2基板8上にTa酸化物等を一様な厚さに成膜し下地層26を形成し、その上にTa等をスパッタリングにより一様な厚さで成膜して、フォトリソグラフィ法によりデータ線22と第1金属膜27とを同時に形成する。このとき、データ線22と第1金属膜27とはブリッジで繋がっている。   Here, the TFD 23 is formed by depositing Ta oxide or the like on the second substrate 8 with a uniform thickness to form the base layer 26, and depositing Ta or the like on the second substrate 8 with a uniform thickness by sputtering. The data line 22 and the first metal film 27 are simultaneously formed by photolithography. At this time, the data line 22 and the first metal film 27 are connected by a bridge.

また、上述の第1金属膜27に絶縁膜である酸化タンタル等を一様な厚さで成膜し絶縁膜28を形成して、更にその上にCrをスパッタリング法により一様な厚さで成膜し、フォトリソグラフィ法を利用して第2金属膜29を形成する。   Further, tantalum oxide or the like, which is an insulating film, is formed on the first metal film 27 with a uniform thickness to form an insulating film 28, and Cr is further formed thereon with a uniform thickness by a sputtering method. A second metal film 29 is formed using a photolithography method.

更に画素電極21の形成予定領域の下地層26を除去した後、ITOをスパッタリング等によって一様な厚さで成膜し、更にフォトリソグラフィ法等によって一サブ画素の大きさに相当する所定形状の画素電極21を一部が第2金属膜29と重なるように形成する。これら一連の処理により、TFD23及び画素電極21が形成される(ST108)。また、その上に配向膜24を形成し、ラビング処理を施して第2基板側の製造が終了する(ST109)。   Further, after removing the underlying layer 26 in the region where the pixel electrode 21 is to be formed, ITO is deposited to a uniform thickness by sputtering or the like, and a predetermined shape corresponding to the size of one subpixel is obtained by photolithography or the like. The pixel electrode 21 is formed so as to partially overlap the second metal film 29. Through the series of processes, the TFD 23 and the pixel electrode 21 are formed (ST108). Further, the alignment film 24 is formed thereon, and a rubbing process is performed to complete the manufacture of the second substrate side (ST109).

次に、第2基板側の配向膜24上にギャップ材(図示せず)をドライ散布等により散布し、シール材を介して上述の第1基板7と第2基板8とを貼り合わせる(ST110)。その後、シール材の開口部から液晶を注入し(ST111)、シール材の開口部を紫外線硬化性樹脂等の封止材によって封止する。更に位相差板9,11及び偏光板10,12を第1基板7及び第2基板8の各外面上に貼着等の方法により取り付ける(ST112)。   Next, a gap material (not shown) is sprayed on the alignment film 24 on the second substrate side by dry spraying or the like, and the above-described first substrate 7 and second substrate 8 are bonded together via a sealing material (ST110). ). Thereafter, liquid crystal is injected from the opening of the sealing material (ST111), and the opening of the sealing material is sealed with a sealing material such as an ultraviolet curable resin. Further, the retardation plates 9 and 11 and the polarizing plates 10 and 12 are attached to the outer surfaces of the first substrate 7 and the second substrate 8 by a method such as sticking (ST112).

最後に必要な配線や照明装置3及びケース体等を取り付けて、液晶表示装置1が完成する(ST113)。   Finally, necessary wiring, illumination device 3, case body, and the like are attached, and liquid crystal display device 1 is completed (ST113).

以上で液晶表示装置1の製造方法の説明を終了する。   Above, description of the manufacturing method of the liquid crystal display device 1 is complete | finished.

尚、上述の説明では着色層16の形成にネガ型の感光性樹脂35を用い、マルチギャップ層17の形成に同じくネガ型の感光性樹脂37を用いたがこれに限られるものではなく、例えば着色層16の形成にポジ型の感光性樹脂39を用い、マルチギャップ層17の形成にポジ型の感光性樹脂40を用いてもよい。   In the above description, the negative photosensitive resin 35 is used for forming the colored layer 16 and the negative photosensitive resin 37 is used for forming the multi-gap layer 17. However, the present invention is not limited to this. The positive photosensitive resin 39 may be used for forming the colored layer 16, and the positive photosensitive resin 40 may be used for forming the multi-gap layer 17.

この場合、図8(a)に示すように着色層16の形成に用いる第1ハーフトーンマスク41は上述の第1ハーフトーンマスク36と異なり、一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば半分程度であるハーフ露光領域Jとその周囲に光の遮光量が略0%の完全露光領域Iとが形成されている。また、その色のハーフトーンマスクの両隣は他の色の着色層部分となるので略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。   In this case, as shown in FIG. 8A, the first halftone mask 41 used for forming the colored layer 16 is different from the first halftone mask 36 described above, and in the region corresponding to one sub-pixel 25, it is substantially centered. In addition, a half-exposure region J in which the light shielding amount of the substantially rectangular light is, for example, about half, and a complete exposure region I in which the light shielding amount of light is approximately 0% are formed around the half exposure region J. Moreover, since the color layer portions of other colors are adjacent to the halftone mask of that color, a complete light shielding region K having a light shielding amount of about 100% is formed.

これにより、図8(a)に示すように反射領域Dでの感光性樹脂39の方が透過領域Cでの感光性樹脂39より多く光を受けるので、ポジ型である感光性樹脂39は現像後に図6(d)に示すように反射領域Dの方がより薄くなり、結局透過領域Cの表面の方が反射領域Dより突出することとなる。この場合、完全露光領域Iでは通常の露光量では反射領域Dに着色層16が形成できないおそれがあるので、半分程度(例えば150mJ程度)に露光量を調整する必要がある。   As a result, as shown in FIG. 8A, the photosensitive resin 39 in the reflective region D receives more light than the photosensitive resin 39 in the transmissive region C, so that the positive type photosensitive resin 39 is developed. As shown in FIG. 6D later, the reflective region D becomes thinner, and eventually the surface of the transmissive region C protrudes from the reflective region D. In this case, in the complete exposure area I, the colored layer 16 may not be formed in the reflection area D with a normal exposure amount. Therefore, it is necessary to adjust the exposure amount to about half (for example, about 150 mJ).

また、図8(b)に示すようにマルチギャップ層17の形成に用いる第2ハーフトーンマスク42は上述の第2ハーフトーンマスク38と異なり、その一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば略0%の遮光量の完全露光領域Mとその周囲に半分程度のハーフ露光領域Lとが形成されている。尚、第1のハーフトーンマスク36と異なり略100%の遮光量となる完全遮光領域はサブ画素25に対応する領域では形成されていない。   Further, as shown in FIG. 8B, the second halftone mask 42 used for forming the multi-gap layer 17 is different from the second halftone mask 38 described above, and in the region corresponding to the one sub-pixel 25, the second halftone mask 42 is substantially the same. A completely exposed region M having a light shielding amount of, for example, approximately 0%, which is a substantially rectangular light shielding amount, and a half exposure region L, which is about half of the surroundings, are formed at the center. Note that, unlike the first halftone mask 36, a complete light shielding region having a light shielding amount of about 100% is not formed in a region corresponding to the sub-pixel 25.

これにより、図8(b)に示すように透過領域Cでの感光性樹脂40の方が反射領域Dでの感光性樹脂40より多く光を受けるのでポジ型である感光性樹脂40は現像後に図7(c)に示すように透過領域Cの方がより薄くなり、結局反射領域Dの表面の方が透過領域Cの表面より突出することとなる。この場合、完全露光領域Mでは通常の露光量では反射領域Dにマルチギャップ層17が形成できないおそれがあるので、半分程度(例えば150mJ程度)に露光量を調整する必要がある。   As a result, the photosensitive resin 40 in the transmission region C receives more light than the photosensitive resin 40 in the reflection region D, as shown in FIG. As shown in FIG. 7C, the transmission region C becomes thinner, and the surface of the reflection region D eventually protrudes from the surface of the transmission region C. In this case, since there is a possibility that the multi-gap layer 17 cannot be formed in the reflection region D with the normal exposure amount in the complete exposure region M, it is necessary to adjust the exposure amount to about half (for example, about 150 mJ).

(液晶表示装置の動作)   (Operation of liquid crystal display)

次に、以上のように構成された液晶表示装置1の動作について光の進行を中心に簡単に説明する。   Next, the operation of the liquid crystal display device 1 configured as described above will be briefly described focusing on the progress of light.

まず、第1基板7に形成された走査電極18に走査信号を供給する一方、第2基板8に形成されたTFD23を介して所定の画素電極21にデータ線22からデータ信号が供給されると、所定の走査電極18と所定の画素電極21とが対向する領域において保持されている液晶のみ駆動できることとなる。   First, a scan signal is supplied to the scan electrode 18 formed on the first substrate 7, while a data signal is supplied from the data line 22 to a predetermined pixel electrode 21 via the TFD 23 formed on the second substrate 8. Only the liquid crystal held in the region where the predetermined scanning electrode 18 and the predetermined pixel electrode 21 face each other can be driven.

従って、例えば第2基板8及び画素電極21を透過して液晶層6に入射した外光は、該液晶層6によってサブ画素25毎に光変調され、更に厚さGのマルチギャップ層17を通過し厚さFの着色層16により着色されて反射領域Dの反射膜14により反射される。その後再び着色層16及びマルチギャップ層17を通過し、画素電極21及び第2基板8を通過して表示画面から射出されることとなる。   Therefore, for example, external light that has passed through the second substrate 8 and the pixel electrode 21 and entered the liquid crystal layer 6 is modulated by the liquid crystal layer 6 for each sub-pixel 25 and further passes through the multi-gap layer 17 having a thickness G. Then, it is colored by the colored layer 16 having a thickness F and reflected by the reflective film 14 in the reflective region D. Thereafter, the light passes through the colored layer 16 and the multi-gap layer 17 again, passes through the pixel electrode 21 and the second substrate 8, and is emitted from the display screen.

これに対し、照明装置3から射出された光は第1基板7及び透過領域Cの反射膜14である開口部20を通過し、厚さEの着色層16及び厚さHのマルチギャップ層17を通過して液晶層6に入射した後、該液晶層6によってサブ画素25毎に光変調され、画素電極21及び第2基板8を通過して表示画面から射出される。   On the other hand, the light emitted from the illumination device 3 passes through the first substrate 7 and the opening 20 that is the reflective film 14 in the transmission region C, and the colored layer 16 having the thickness E and the multi-gap layer 17 having the thickness H. Is incident on the liquid crystal layer 6 and then light-modulated for each sub-pixel 25 by the liquid crystal layer 6, passes through the pixel electrode 21 and the second substrate 8, and is emitted from the display screen.

ここで、着色層16を透過領域Cでは一回通過するだけであるが反射領域Dでは二回通過することによる光路長の違いを、反射領域Dでの厚さF(1μm)より透過領域Cでの厚さE(2μm)に厚くして是正することが可能となる。   Here, the difference in optical path length due to passing through the colored layer 16 only once in the transmissive region C but twice in the reflective region D is based on the thickness F (1 μm) in the reflective region D. The thickness E can be corrected by increasing the thickness E (2 μm).

また、液晶層6でも透過領域Cでは一回通過するだけであるが反射領域Dでは二回通過することによる光路長差を、マルチギャップ層17の透過領域Cでの厚さH(0.8μm)より反射領域Dでの厚さG(4.3μm)に厚くして液晶層6側に突出させ、是正することが可能となる。   Further, even in the liquid crystal layer 6, the optical path length difference due to passing once in the transmissive region C but twice in the reflective region D is the thickness H (0.8 μm) in the transmissive region C of the multi-gap layer 17. ) To a thickness G (4.3 μm) in the reflective region D, and protrudes toward the liquid crystal layer 6 to make correction.

以上で液晶表示装置1の動作の説明を終了する。   Above, description of operation | movement of the liquid crystal display device 1 is complete | finished.

このように本実施形態によれば、成膜された第1感光性材料である着色層形成用の感光性樹脂35を、透過領域Cで液晶側に突出させることで、透過領域Cでの厚さが反射領域Dでの厚さより厚くなるように、第1ハーフトーンマスク36を用いて露光することとしたので、例えば透過領域Cでの感光性樹脂35には反射領域Dでの感光性樹脂35より多くの光を照射させることができる一方、反射領域Dでの感光性樹脂35にも必要な量の光を照射することができる。   As described above, according to this embodiment, the photosensitive resin 35 for forming the colored layer, which is the first photosensitive material, is formed so as to protrude toward the liquid crystal side in the transmission region C, so that the thickness in the transmission region C is increased. Since the exposure is performed using the first halftone mask 36 so that the thickness becomes larger than the thickness in the reflective region D, for example, the photosensitive resin 35 in the transmissive region C includes the photosensitive resin in the reflective region D. While more light than 35 can be irradiated, the photosensitive resin 35 in the reflection region D can also be irradiated with a necessary amount of light.

これにより、従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で反射領域Dには透過領域Cと比較して厚さの薄い着色層16を形成し、透過領域Cには反射領域Dと比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させた着色層16を形成でき、製造工程を少なくさせることが可能となる。   As a result, the colored layer 16 having a thickness smaller than that of the transmissive region C is formed in the reflective region D in a single coating, exposing and developing step, which conventionally required two coating, exposing and developing steps. In the transmissive region C, the colored layer 16 which is thicker than the reflective region D and protrudes toward the liquid crystal side can be formed, and the number of manufacturing steps can be reduced.

更に着色層16を透過領域Cで液晶側に突出させ、該透過領域Cでの厚さが反射領域Dでの厚さより厚くなるように形成したので、同一の色材で反射光と透過光との色再現性を同じとした液晶表示装置1を提供できる。   Further, since the colored layer 16 is projected to the liquid crystal side in the transmissive region C and formed so that the thickness in the transmissive region C is thicker than the thickness in the reflective region D, the reflected light and the transmitted light are made of the same color material. The liquid crystal display device 1 having the same color reproducibility can be provided.

また、該着色層16の上に配置されたマルチギャップ層17を反射領域Dで液晶側に突出させ、該反射領域Dでの厚さが透過領域Cでの厚さより厚くなるように形成することとしたので、反射領域Dでの液晶層6の光路長と透過領域Cでの着色層16の突出による液晶層6の光路長との差を、該マルチギャップ層17の厚さの違いにより解消することができ、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることが可能となる。   Further, the multi-gap layer 17 disposed on the colored layer 16 is projected to the liquid crystal side in the reflective region D, and is formed so that the thickness in the reflective region D is thicker than the thickness in the transmissive region C. Therefore, the difference between the optical path length of the liquid crystal layer 6 in the reflection region D and the optical path length of the liquid crystal layer 6 due to the protrusion of the colored layer 16 in the transmission region C is eliminated by the difference in thickness of the multi-gap layer 17. In addition, it is possible to prevent deterioration in display quality such as color unevenness caused by a difference in optical path length between the reflective display and the transmissive display with a simple structure, and to reduce the number of manufacturing processes.

更に反射領域Dでの厚さを透過領域Cでの厚さより厚くするために、反射領域Dで液晶側に突出するように、成膜された感光性樹脂37を第2ハーフトーンマスク38を用いて露光することとしたので、例えば反射領域Dでの感光性樹脂37には透過領域Cでの感光性樹脂37より多くの光を照射することができる一方、透過領域Cでの感光性樹脂37にも必要な量の光を照射することができる。これにより、従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で透過領域Cには反射領域Dと比較して厚さの薄いマルチギャップ層17を形成し、反射領域Dには透過領域Cと比較して厚さが厚く、かつ、液晶側に突出させたマルチギャップ層17を形成が可能となる。また、製造工程を少なくさせコストの低減が図れる。   Further, in order to make the thickness in the reflective region D thicker than the thickness in the transmissive region C, the photosensitive resin 37 formed so as to protrude to the liquid crystal side in the reflective region D is used with the second halftone mask 38. For example, the photosensitive resin 37 in the reflective region D can be irradiated with more light than the photosensitive resin 37 in the transmissive region C, while the photosensitive resin 37 in the transmissive region C can be irradiated. Also, a necessary amount of light can be irradiated. As a result, the multi-gap layer 17 having a thickness smaller than that of the reflective region D in the transmissive region C in a single coating, exposing and developing step, which conventionally required two coating, exposing and developing steps. The multi-gap layer 17 that is thicker than the transmissive region C and protrudes toward the liquid crystal side can be formed in the reflective region D. Further, the manufacturing process can be reduced and the cost can be reduced.

(変形例1)   (Modification 1)

次に、本発明に係る液晶表示装置1の変形例1について説明する。本変形例1においては液晶表示装置の製造方法でマルチギャップ層17の形成で用いる第2ハーフトーンマスク38に着色層16の形成に用いた第1ハーフトーンマスク36と同じ形状のものを用いる点で第1の実施形態と異なるのでその点を中心に説明する。尚、第1の実施形態の構成要素と共通する構成要素については、第1の実施形態の構成要素と同一の符号を付しその説明を省略する。   Next, Modification 1 of the liquid crystal display device 1 according to the present invention will be described. In the first modification, the second halftone mask 38 used for forming the multi-gap layer 17 in the method for manufacturing the liquid crystal display device has the same shape as the first halftone mask 36 used for forming the colored layer 16. Therefore, since this is different from the first embodiment, this point will be mainly described. In addition, about the component which is common in the component of 1st Embodiment, the code | symbol same as the component of 1st Embodiment is attached | subjected, and the description is abbreviate | omitted.

図9は同じハーフトーンマスクを用いる場合のフローチャート図、図10はマルチギャップ層の製造工程を説明するための概略断面図及び図11はネガ、ポジの組み合せを逆にした場合の製造工程の説明図である。尚、説明の都合上図9、図10及び図11では下地層及び反射膜表面の凹凸は省略している。   9 is a flowchart when the same halftone mask is used, FIG. 10 is a schematic cross-sectional view for explaining the manufacturing process of the multi-gap layer, and FIG. 11 is a description of the manufacturing process when the combination of negative and positive is reversed. FIG. For convenience of explanation, the irregularities on the surface of the base layer and the reflective film are omitted in FIGS. 9, 10, and 11.

(液晶表示装置の構成)   (Configuration of liquid crystal display device)

液晶表示装置の構成は第1の実施形態の液晶表示装置1の構成と同様であるのでその説明を省略する。   Since the configuration of the liquid crystal display device is the same as that of the liquid crystal display device 1 of the first embodiment, the description thereof is omitted.

(液晶表示装置の製造方法)   (Manufacturing method of liquid crystal display device)

図9に示すようにST101からST104までとST107からST113までは第1の実施形態の製造方法と同様であるのでその説明を省略し、マルチギャップ層17用の感光性樹脂37の塗布及び露光、現像について中心的に説明する。   As ST101 to ST104 and ST107 to ST113 are the same as the manufacturing method of the first embodiment as shown in FIG. 9, the description thereof is omitted, and application and exposure of the photosensitive resin 37 for the multi-gap layer 17 are performed. Development will be mainly described.

三回目のST104により図6(e)に示すように三色の着色層16及び光遮蔽層15が形成されているその上に、第2感光性材料であるポジ型の感光性樹脂40をスピンコート法等により図7(a)に示すように塗布する(ST201)。   As a result of the third ST104, as shown in FIG. 6E, the three-color colored layer 16 and the light shielding layer 15 are formed, and the positive photosensitive resin 40, which is the second photosensitive material, is spinned thereon. Application is performed as shown in FIG. 7A by a coating method or the like (ST201).

そして、図5(a)に示すようにサブ画素25のストライプ配列に合わせた第1ハーフトーンマスク36(または、ハーフトーンマスク36と同じ形状のマスク)の上から図10に示すように露光する。この際、一色の第1ハーフトーンマスク36では他の二色分を空けて縦方向にしか複数同時に露光できないので、他の二色の第1ハーフトーンマスクで夫々露光する多重露光して縦方向及び横方向でハーフトーンマスクが形成されているのと同様に全面に渡って露光処理することができる。   Then, exposure is performed as shown in FIG. 10 from above the first halftone mask 36 (or a mask having the same shape as the halftone mask 36) matched to the stripe arrangement of the sub-pixels 25 as shown in FIG. . At this time, since the first halftone mask 36 of one color can be exposed simultaneously only in the vertical direction by separating the other two colors, the multiple exposures in which exposure is performed with the first halftone masks of the other two colors are performed in the vertical direction. In addition, the exposure process can be performed over the entire surface in the same manner as the halftone mask is formed in the lateral direction.

更に現像することにより、例えば図7(c)に示すように透過領域Cと反射領域Dとで厚さの異なるマルチギャップ層17が形成される(ST202)。   By further developing, for example, as shown in FIG. 7C, a multi-gap layer 17 having a different thickness is formed in the transmissive region C and the reflective region D (ST202).

ここで、第1ハーフトーンマスク36は図5(a)に示すように他の二色の分を空けて縦方向(図中Y軸方向)に複数ハーフトーンマスクが形成されており、その一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば略0%の完全露光領域Iとその周囲にその半分程度の光の遮光量であるハーフ露光領域Jとが形成されている。また、ハーフトーンマスクの両隣は略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。   Here, as shown in FIG. 5A, the first halftone mask 36 is formed with a plurality of halftone masks in the vertical direction (Y-axis direction in the drawing) with the other two colors separated. In a region corresponding to one sub-pixel 25, a substantially rectangular light shielding amount is approximately 0%, for example, in a substantially central portion, and a half exposure region J having a light shielding amount of about half that amount around it. Is formed. In addition, on both sides of the halftone mask, a complete light shielding region K having a light shielding amount of about 100% is formed.

これにより、図10に示すように透過領域Cでの感光性樹脂40の方が反射領域Dでの感光性樹脂40より多く光を受けるのでポジ型である感光性樹脂39は現像後に図7(c)に示すように反射領域Dの方がより厚くなり、結局の反射領域Dでの面の方が透過領域Cより突出することとなる。   As a result, as shown in FIG. 10, the photosensitive resin 40 in the transmission region C receives more light than the photosensitive resin 40 in the reflection region D. As shown in c), the reflection region D becomes thicker, and the surface of the reflection region D eventually protrudes from the transmission region C.

以下の工程は第1の実施形態の製造方法のST107以下と同様であり、最後に必要な配線や照明装置3及びケース体等を取り付けて、液晶表示装置1が完成する(ST113)。   The following steps are the same as ST107 and subsequent steps in the manufacturing method of the first embodiment. Finally, necessary wiring, lighting device 3, case body, and the like are attached, and liquid crystal display device 1 is completed (ST113).

以上で液晶表示装置1の変形例1の製造方法の説明を終了する。   Above, description of the manufacturing method of the modification 1 of the liquid crystal display device 1 is complete | finished.

尚、上述の説明では着色層16の形成にネガ型の感光性樹脂35を用い、マルチギャップ層17の形成にポジ型の感光性樹脂40を用いたがこれに限られるものではなく、例えば着色層16の形成にポジ型の感光性樹脂39を用い、マルチギャップ層17の形成にネガ型の感光性樹脂37を用いてもよい。   In the above description, the negative photosensitive resin 35 is used for forming the colored layer 16, and the positive photosensitive resin 40 is used for forming the multi-gap layer 17. However, the present invention is not limited to this. The positive photosensitive resin 39 may be used for forming the layer 16, and the negative photosensitive resin 37 may be used for forming the multi-gap layer 17.

この場合、図11(a)に示すように着色層16の形成に用いる第1ハーフトーンマスク41は上述の第1ハーフトーンマスク36と異なり、一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば半分程度の光の遮光量であるハーフ露光領域Jとその周囲に略0%の完全露光領域Iとが形成されている。また、その色のハーフトーンマスクの両隣は他の色の着色層の部分となるので略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。   In this case, as shown in FIG. 11A, the first halftone mask 41 used for forming the colored layer 16 is different from the first halftone mask 36 described above, and in the region corresponding to one sub-pixel 25, it is substantially at the center. In addition, a half-exposure region J in which the light shielding amount of the substantially rectangular light is, for example, about half the light shielding amount, and a complete exposure region I of approximately 0% are formed in the periphery thereof. In addition, since both sides of the halftone mask of that color are portions of colored layers of other colors, a complete light shielding region K having a light shielding amount of approximately 100% is formed.

これにより、図11(a)に示すように反射領域Dでの感光性樹脂39の方が透過領域Cでの感光性樹脂39より多く光を受けるので、ポジ型である感光性樹脂39は現像後に図6(d)に示すように反射領域Dの方がより薄くなり、結局透過領域Cの表面の方が反射領域Dより突出することとなる。この場合、完全露光領域Iでは通常の露光量では反射領域Dに着色層16が形成できないおそれがあるので、半分程度(例えば150mJ程度)に露光量を調整する必要がある。   As a result, as shown in FIG. 11A, the photosensitive resin 39 in the reflection region D receives more light than the photosensitive resin 39 in the transmission region C, so that the positive type photosensitive resin 39 is developed. As shown in FIG. 6D later, the reflective region D becomes thinner, and eventually the surface of the transmissive region C protrudes from the reflective region D. In this case, in the complete exposure area I, the colored layer 16 may not be formed in the reflection area D with a normal exposure amount. Therefore, it is necessary to adjust the exposure amount to about half (for example, about 150 mJ).

また、図11(b)に示すようにマルチギャップ層17の形成に用いる一色の第1ハーフトーンマスク41では他の二色分を空けて縦方向にしか複数同時に露光できないので、他の二色の第1ハーフトーンマスクで夫々露光する多重露光して縦方向及び横方向でハーフトーンマスクが形成されているのと同様に全面に渡って露光処理することができる。   In addition, as shown in FIG. 11B, the first halftone mask 41 of one color used for forming the multi-gap layer 17 can simultaneously expose a plurality of other two colors only in the vertical direction while leaving the other two colors. The exposure process can be performed over the entire surface in the same manner that the halftone mask is formed in the vertical direction and the horizontal direction by performing multiple exposure in which each of the first halftone masks is exposed.

更に現像することにより、例えば図7(c)に示すように透過領域Cと反射領域Dとで厚さの異なるマルチギャップ層17が形成され、結局の反射領域Dでの表面の方が透過領域Cでの表面より突出することとなる。   By further developing, for example, as shown in FIG. 7C, a multi-gap layer 17 having a different thickness is formed in the transmissive region C and the reflective region D, and the surface of the reflective region D is eventually the transmissive region. It will protrude from the surface at C.

(液晶表示装置の動作)   (Operation of liquid crystal display)

次に、以上のように構成された液晶表示装置1の変形例1の動作については第1の実施形態の液晶表示装置1の動作と同様であるのでその説明を省略する。   Next, since the operation of the modification 1 of the liquid crystal display device 1 configured as described above is the same as the operation of the liquid crystal display device 1 of the first embodiment, the description thereof is omitted.

このように本変形例1によれば着色層16の形成とマルチギャップ層17の形成とで同じ形状のハーフトーンマスクを用いることが可能となり製造コストの低減を更に図ることができる。   As described above, according to the first modification, a halftone mask having the same shape can be used for the formation of the colored layer 16 and the formation of the multi-gap layer 17, and the manufacturing cost can be further reduced.

(第2の実施形態)   (Second Embodiment)

次に、本発明に係る液晶表示装置の第2の実施形態について説明する。本実施形態においてはマルチギャップ層が対向基板側に形成されている点が第1の実施形態と異なるのでその点を中心に説明する。尚、第1の実施形態の構成要素と共通する構成要素については、第1の実施形態の構成要素と同一の符号を付しその説明を省略する。   Next, a second embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention will be described. In the present embodiment, the point that the multi-gap layer is formed on the counter substrate side is different from that of the first embodiment. In addition, about the component which is common in the component of 1st Embodiment, the code | symbol same as the component of 1st Embodiment is attached | subjected, and the description is abbreviate | omitted.

図12は本発明の第2の実施形態に係る液晶表示装置101を構成する液晶パネルの部分概略断面図である。   FIG. 12 is a partial schematic cross-sectional view of a liquid crystal panel constituting a liquid crystal display device 101 according to the second embodiment of the present invention.

(液晶表示装置の構成)   (Configuration of liquid crystal display device)

液晶表示装置101は、例えば液晶パネル102と、当該液晶パネル102に光を射出する照明装置3及び該液晶パネル102に接続された図示しない回路基板やその他の付帯機構が必要に応じて付設される。   The liquid crystal display device 101 includes, for example, a liquid crystal panel 102, a lighting device 3 that emits light to the liquid crystal panel 102, a circuit board (not shown) connected to the liquid crystal panel 102, and other incidental mechanisms as necessary. .

液晶パネル102は、図12に示すように相対向する基板であるカラーフィルタ基板104及び対向基板105と該カラーフィルタ基板104及び対向基板105がシール材(図示しない)を介して貼り合わされ、両基板の間隙に封入された例えばSTN(Super Twisted Nematic)型の液晶である液晶層6等を有する。   As shown in FIG. 12, the liquid crystal panel 102 has a color filter substrate 104 and a counter substrate 105, which are opposite to each other, and the color filter substrate 104 and the counter substrate 105 bonded together with a sealant (not shown). For example, the liquid crystal layer 6 is a super twisted nematic (STN) type liquid crystal sealed in the gap.

ここで、カラーフィルタ基板104は、ガラス板又は合成樹脂板等から形成された透明な液晶表示装置用の基板である第1基板7を其体とし、対向基板105はカラーフィルタ基板104に対向し、ガラス板又は合成樹脂板等から形成された透明な液晶表示装置用の基板である第2基板8を其体とする。また、第1基板7の液晶層6と反対側には位相差板9及び偏光板10が配置され、第2基板8の液晶層6と反対側には同様に位相差板11及び偏光板12が配置されている。   Here, the color filter substrate 104 includes a first substrate 7 which is a transparent liquid crystal display device substrate formed of a glass plate or a synthetic resin plate, and the counter substrate 105 faces the color filter substrate 104. A second substrate 8 which is a substrate for a transparent liquid crystal display device formed from a glass plate or a synthetic resin plate is used as a body. Further, a phase difference plate 9 and a polarizing plate 10 are arranged on the opposite side of the first substrate 7 from the liquid crystal layer 6, and similarly, a phase difference plate 11 and a polarizing plate 12 are arranged on the opposite side of the second substrate 8 from the liquid crystal layer 6. Is arranged.

また、カラーフィルタ基板104は図12に示すように第1基板7の液晶層側の表面に下地層13が形成され、その下地層13の表面には光の透過領域である開口部を有する反射膜14及び光を遮蔽する光遮蔽層15が形成されている。また、該開口部を含めた反射膜14の液晶層側には着色層16が光遮蔽層15で区切られる領域に形成されている。この結果、開口部では着色層16が直接下地層13の上に積層されることとなる。   As shown in FIG. 12, the color filter substrate 104 has a base layer 13 formed on the surface of the first substrate 7 on the liquid crystal layer side, and the surface of the base layer 13 has a reflection portion having an opening as a light transmission region. A film 14 and a light shielding layer 15 for shielding light are formed. Further, a colored layer 16 is formed in a region delimited by the light shielding layer 15 on the liquid crystal layer side of the reflective film 14 including the opening. As a result, the colored layer 16 is directly laminated on the base layer 13 in the opening.

更にカラーフィルタ基板104は、該着色層16の液晶層側にITO(インジウムスズ酸化物)等の透明導電体からなる走査電極118が形成されている。また、その走査電極118の液晶層側には、例えばポリイミド樹脂等からなる配向膜119が形成されている。   Further, the color filter substrate 104 has a scanning electrode 118 made of a transparent conductor such as ITO (indium tin oxide) formed on the colored layer 16 on the liquid crystal layer side. An alignment film 119 made of, for example, a polyimide resin is formed on the liquid crystal layer side of the scanning electrode 118.

次に対向基板105は、例えば図12に示すように第2基板8の液晶層側の表面にマルチギャップ層117と、その上に積層されたマトリックス状に配列する複数の画素電極121と、各画素電極121の境界領域において上述した走査電極118と交差する方向(図2のY方向)に帯状に延びる複数のデータ線22と、該画素電極121及びデータ線22に電気的に接続されたTFD23とが配置され、その液晶層側には配向膜124が形成されている。   Next, for example, as shown in FIG. 12, the counter substrate 105 includes a multi-gap layer 117 on the surface of the second substrate 8 on the liquid crystal layer side, a plurality of pixel electrodes 121 arranged in a matrix stacked thereon, In the boundary region of the pixel electrode 121, a plurality of data lines 22 extending in a strip shape in the direction intersecting with the scanning electrode 118 (the Y direction in FIG. 2), and the TFD 23 electrically connected to the pixel electrode 121 and the data line 22 And an alignment film 124 is formed on the liquid crystal layer side.

ここで、マルチギャップ層117は、例えば図12に示すように反射領域Dでの厚さNが透過領域Cでの厚さOより厚く(N>O)、反射領域Dでのマルチギャップ層表面が透過領域Cでのマルチギャップ層表面より液晶層側に突出するように形成されている。これにより、液晶層6は透過領域Cでの液晶層6の厚さが反射領域Dでの液晶層6の厚さより厚くなるというマルチギャップ構造を形成し、液晶層6での透過領域Cと反射領域Dとの光路長の違い等を是正することができる。   Here, for example, as shown in FIG. 12, the multi-gap layer 117 has a thickness N in the reflection region D larger than a thickness O in the transmission region C (N> O), and the multi-gap layer surface in the reflection region D Are formed so as to protrude from the surface of the multi-gap layer in the transmission region C toward the liquid crystal layer. Thus, the liquid crystal layer 6 forms a multi-gap structure in which the thickness of the liquid crystal layer 6 in the transmissive region C is larger than the thickness of the liquid crystal layer 6 in the reflective region D. Differences in the optical path length from the area D can be corrected.

また、画素電極121は例えばITO等の透明導電体により形成されており、該走査電極118と画素電極121とによって特定される領域がサブ画素25となる。   The pixel electrode 121 is formed of a transparent conductor such as ITO, and a region specified by the scanning electrode 118 and the pixel electrode 121 becomes the sub-pixel 25.

更に配向膜124は、第1基板7の配向膜119と同様有機薄膜であり、ラビング処理が施されている。   Further, the alignment film 124 is an organic thin film similar to the alignment film 119 of the first substrate 7 and is subjected to a rubbing process.

(液晶表示装置の製造方法)   (Manufacturing method of liquid crystal display device)

次に、液晶表示装置101の製造方法は第2基板にマルチギャップ層を形成する点が第1の実施形態と異なるのでマルチギャップ層の形成を中心に説明する。   Next, since the manufacturing method of the liquid crystal display device 101 is different from the first embodiment in that a multi-gap layer is formed on a second substrate, the multi-gap layer will be mainly described.

図13は液晶表示装置の製造工程のフローチャート図及び図14はマルチギャップ層の製造工程を説明するための概略断面図である。尚、説明の都合上図14では下地層及び反射膜表面の凹凸は省略している。   FIG. 13 is a flowchart of the manufacturing process of the liquid crystal display device, and FIG. 14 is a schematic cross-sectional view for explaining the manufacturing process of the multi-gap layer. For convenience of explanation, in FIG. 14, irregularities on the surface of the underlayer and the reflective film are omitted.

まず、第1基板7上に均一に樹脂材料をスピンコート等により塗布し、フォトレジスト等により凹凸を有する下地層13を形成する(ST101)。以下、ST104までは第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。   First, a resin material is uniformly applied on the first substrate 7 by spin coating or the like, and the underlying layer 13 having irregularities is formed by a photoresist or the like (ST101). Hereafter, since it is the same as that of 1st Embodiment until ST104, description is abbreviate | omitted.

そして、三回目のST104により図6(e)に示すように三色の着色層16及び光遮蔽層15が形成されているその上に、走査電極118の材料であるITO等をスパッタリング法により被着し、フォトリソグラフィ法によってパターニングして図12に示すようにX軸方向に所定の幅をもって走査電極118をストライプ状に形成する。更にその走査電極118を形成した上に配向膜119を形成し、ラビング処理を施して第1基板側の製造が終了する(ST301)。   Then, at the third ST104, as shown in FIG. 6 (e), the three colored layers 16 and the light shielding layer 15 are formed thereon, and ITO or the like, which is the material of the scanning electrode 118, is applied by sputtering. Then, patterning is performed by a photolithography method to form scanning electrodes 118 in a stripe shape with a predetermined width in the X-axis direction as shown in FIG. Further, an alignment film 119 is formed on the scan electrode 118, and a rubbing process is performed to complete the manufacture on the first substrate side (ST301).

次に、第2基板8上にTFD23及びデータ線22を形成し(ST302)、その上に画素電極121の形成予定領域等を含め第2感光性材料であるネガ型の感光性樹脂37をスピンコート法等により図14(a)に示すように塗布する(ST303)。   Next, the TFD 23 and the data line 22 are formed on the second substrate 8 (ST302), and a negative photosensitive resin 37, which is a second photosensitive material including a region where the pixel electrode 121 is to be formed, is spinned thereon. Application is performed as shown in FIG. 14A by a coating method or the like (ST303).

そして、図5(b)に示すようにサブ画素25のストライプ配列に合わせた第2ハーフトーンマスク38の上から図14(b)に示すように露光し更に現像することにより、例えば図14(c)に示すように透過領域Cと反射領域Dとで厚さの異なるマルチギャップ層117が形成される(ST304)。尚、図14中では省略してあるがマルチギャップ層117には画素電極121と第2金属膜29とを電気的に接続するようにスルーホールが形成される。   Then, as shown in FIG. 5B, the second halftone mask 38 matched with the stripe arrangement of the sub-pixels 25 is exposed and further developed as shown in FIG. As shown in c), multi-gap layers 117 having different thicknesses are formed in the transmissive region C and the reflective region D (ST304). Although not shown in FIG. 14, a through-hole is formed in the multi-gap layer 117 so as to electrically connect the pixel electrode 121 and the second metal film 29.

また、ST304により形成されたマルチギャップ層117の上にITOをスパッタリング等によって一様な厚さで成膜し、更にフォトリソグラフィ法等によって一サブ画素の大きさに相当する所定形状の画素電極121を一部が第2金属膜29と電気的に接続するように形成する。また、その上に配向膜124を形成し、ラビング処理を施して第2基板側の製造が終了する(ST305)。   In addition, ITO is formed in a uniform thickness on the multi-gap layer 117 formed in ST304 by sputtering or the like, and further a pixel electrode 121 having a predetermined shape corresponding to the size of one sub-pixel by photolithography or the like. Is partially connected to the second metal film 29. Further, an alignment film 124 is formed thereon, and a rubbing process is performed to complete the manufacture on the second substrate side (ST305).

以下、ST110から最後に必要な配線や照明装置3及びケース体等を取り付けて、液晶表示装置101が完成するST113まで第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。   Since ST110 is the same as in the first embodiment from ST110 to ST113 in which the last necessary wiring, illumination device 3, case body, and the like are attached and liquid crystal display device 101 is completed, description thereof is omitted.

以上で液晶表示装置101の製造方法の説明を終了する。   Above, description of the manufacturing method of the liquid crystal display device 101 is complete | finished.

尚、上述の説明では着色層16の形成にネガ型の感光性樹脂35を用い、マルチギャップ層117の形成に同じくネガ型の感光性樹脂37を用いたがこれに限られるものではなく、例えば着色層16の形成にポジ型の感光性樹脂39を用い、マルチギャップ層117の形成にポジ型の感光性樹脂40を用いてもよいことは、第1の実施形態と同様である。   In the above description, the negative photosensitive resin 35 is used for forming the colored layer 16, and the negative photosensitive resin 37 is used for forming the multi-gap layer 117. However, the present invention is not limited to this. As in the first embodiment, the positive photosensitive resin 39 may be used for forming the colored layer 16 and the positive photosensitive resin 40 may be used for forming the multi-gap layer 117.

この場合、着色層16の形成に用いる第1ハーフトーンマスク41は上述の第1ハーフトーンマスク36と異なり、一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば半分程度の光の遮光量であるハーフ露光領域Jとその周囲に略0%の完全露光領域Iとが形成されている。また、その色のハーフトーンマスクの両隣は他の色の着色層の部分となるので略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。   In this case, the first halftone mask 41 used for forming the colored layer 16 is different from the first halftone mask 36 described above, and in a region corresponding to one sub-pixel 25, the light shielding amount of a substantially rectangular light at the substantially center. For example, a half exposure region J having a light shielding amount of about half and a completely exposed region I of approximately 0% are formed around it. In addition, since both sides of the halftone mask of that color are portions of colored layers of other colors, a complete light shielding region K having a light shielding amount of approximately 100% is formed.

これにより、反射領域Dでの感光性樹脂39の方が透過領域Cでの感光性樹脂39より多く光を受けるので、ポジ型である感光性樹脂39は現像後に反射領域Dの方がより薄くなり、結局透過領域Cの表面の方が反射領域Dの表面より突出することとなる。この場合、完全露光領域Iでは通常の露光量では反射領域D上に着色層16が形成できないおそれがあるので、半分程度(例えば150mJ程度)に露光量を調整する必要がある。   As a result, the photosensitive resin 39 in the reflective region D receives more light than the photosensitive resin 39 in the transmissive region C, so that the positive photosensitive resin 39 is thinner in the reflective region D after development. As a result, the surface of the transmission region C eventually protrudes from the surface of the reflection region D. In this case, in the complete exposure region I, the colored layer 16 may not be formed on the reflection region D with a normal exposure amount, so the exposure amount needs to be adjusted to about half (for example, about 150 mJ).

また、マルチギャップ層117の形成に用いる第2ハーフトーンマスク42は上述の第2ハーフトーンマスク38と異なり、その一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば略0%の遮光量の完全露光領域Mとその周囲に半分程度のハーフ露光領域Lとが形成されている。尚、第1のハーフトーンマスク36と異なり略100%の遮光量となる完全遮光領域はサブ画素25に対応する領域では形成されていない。   Also, the second halftone mask 42 used for forming the multi-gap layer 117 is different from the second halftone mask 38 described above, and in the region corresponding to one of the sub-pixels 25, a substantially rectangular light is shielded at the substantially center. A completely exposed region M having a light shielding amount of, for example, approximately 0%, and a half-exposed region L that is approximately half are formed around it. Note that, unlike the first halftone mask 36, a complete light shielding region having a light shielding amount of about 100% is not formed in a region corresponding to the sub-pixel 25.

これにより、透過領域Cでの感光性樹脂40の方が反射領域Dでの感光性樹脂40より多く光を受けるのでポジ型である感光性樹脂40は現像後に透過領域Cの方がより薄くなり、結局反射領域Dの表面の方が透過領域Cの表面より突出することとなる。この場合、完全露光領域Mでは通常の露光量では透過領域Cにマルチギャップ層117が形成できないおそれがあるので、半分程度(例えば150mJ程度)に露光量を調整する必要がある。   As a result, the photosensitive resin 40 in the transmission region C receives more light than the photosensitive resin 40 in the reflection region D, so that the positive photosensitive resin 40 becomes thinner in the transmission region C after development. Eventually, the surface of the reflection region D protrudes from the surface of the transmission region C. In this case, since there is a possibility that the multi-gap layer 117 cannot be formed in the transmission region C with the normal exposure amount in the complete exposure region M, it is necessary to adjust the exposure amount to about half (for example, about 150 mJ).

(液晶表示装置の動作)   (Operation of liquid crystal display)

次に、以上のように構成された液晶表示装置101の動作について光の進行を中心に簡単に説明する。   Next, the operation of the liquid crystal display device 101 configured as described above will be briefly described focusing on the progress of light.

まず、第1基板7に形成された走査電極118に走査信号を供給する一方、第2基板8に形成されたTFD23を介して所定の画素電極121にデータ線22からデータ信号が供給されると、所定の走査電極118と所定の画素電極121とが対向する領域において保持されている液晶のみ駆動できることとなる。   First, a scan signal is supplied to the scan electrode 118 formed on the first substrate 7, while a data signal is supplied from the data line 22 to a predetermined pixel electrode 121 via the TFD 23 formed on the second substrate 8. Only the liquid crystal held in the region where the predetermined scanning electrode 118 and the predetermined pixel electrode 121 face each other can be driven.

従って、例えば第2基板8、厚さNのマルチギャップ層117及び画素電極121を透過して液晶層6に入射した外光は、該液晶層6によってサブ画素25毎に光変調され、更に厚さFの着色層16により着色されて反射領域Dの反射膜14により反射される。その後再び着色層16、液晶層6及び画素電極121を通過し、マルチギャップ層117及び第2基板8を通過して表示画面から射出されることとなる。   Therefore, for example, external light that has passed through the second substrate 8, the multi-gap layer 117 having a thickness N, and the pixel electrode 121 and entered the liquid crystal layer 6 is optically modulated by the liquid crystal layer 6 for each sub-pixel 25, and further thickened. It is colored by the colored layer 16 of thickness F and reflected by the reflective film 14 in the reflective region D. Thereafter, the light passes through the colored layer 16, the liquid crystal layer 6, and the pixel electrode 121 again, passes through the multi-gap layer 117 and the second substrate 8, and is emitted from the display screen.

これに対し、照明装置3から射出された光は第1基板7及び透過領域Cの開口部20を通過し、厚さEの着色層16を通過して液晶層6に入射した後、該液晶層6によってサブ画素25毎に光変調され、画素電極121、厚さOのマルチギャップ層117及び第2基板8を通過して表示画面から射出される。   On the other hand, the light emitted from the illumination device 3 passes through the first substrate 7 and the opening 20 of the transmission region C, passes through the colored layer 16 having a thickness E, and enters the liquid crystal layer 6, and then the liquid crystal. The light is modulated for each sub-pixel 25 by the layer 6, and is emitted from the display screen through the pixel electrode 121, the multi-gap layer 117 having a thickness of O, and the second substrate 8.

ここで、着色層16を透過領域C上では一回通過するだけであるが反射領域D上では二回通過することによる光路長の差を、反射領域Dでの厚さF(1μm)より透過領域Cでの厚さE(2μm)に厚くして是正することが可能となる。   Here, the difference in optical path length due to passing through the colored layer 16 only once on the transmission region C but twice on the reflection region D is transmitted from the thickness F (1 μm) in the reflection region D. It is possible to correct by increasing the thickness E (2 μm) in the region C.

また、液晶層6でも透過領域C上では一回通過するだけであるが反射領域D上では二回通過することによる光路長の差を、マルチギャップ層117の透過領域Cでの厚さO(0.8μm)より反射領域Dでの厚さN(4.3μm)に厚くして液晶層6側に突出させ、是正することが可能となる。   In addition, the liquid crystal layer 6 passes only once on the transmission region C but twice on the reflection region D, and the difference in optical path length due to the passage twice on the reflection region D is the thickness O (of the multi-gap layer 117 in the transmission region C. From 0.8 μm) to the thickness N (4.3 μm) in the reflection region D, the thickness can be made to protrude toward the liquid crystal layer 6 to be corrected.

以上で液晶表示装置1の動作の説明を終了する。   Above, description of operation | movement of the liquid crystal display device 1 is complete | finished.

このように本実施形態によれば、着色層16を透過領域Cで液晶側に突出させ、該透過領域Cでの厚さが反射領域Dでの厚さより厚くなるように形成したので、同一の色材で反射光と透過光との色再現性を同じとした液晶表示装置101を提供できる。   As described above, according to the present embodiment, the colored layer 16 is protruded toward the liquid crystal side in the transmission region C, and the thickness in the transmission region C is larger than the thickness in the reflection region D. The liquid crystal display device 101 in which the color material has the same color reproducibility between the reflected light and the transmitted light can be provided.

また、第2基板8に配置されたマルチギャップ層117を反射領域Dで液晶側に突出させ、該反射領域Dでの厚さが透過領域Cでの厚さより厚くなるように形成することとしたので、反射領域Dでの液晶層6の光路長と透過領域Cでの着色層16の突出による液晶層6の光路長との差を、該マルチギャップ層117の厚さの違いにより解消することができ、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることが可能となる。   Further, the multi-gap layer 117 disposed on the second substrate 8 is projected to the liquid crystal side in the reflective region D, and is formed so that the thickness in the reflective region D is thicker than the thickness in the transmissive region C. Therefore, the difference between the optical path length of the liquid crystal layer 6 in the reflection region D and the optical path length of the liquid crystal layer 6 due to the protrusion of the colored layer 16 in the transmission region C is eliminated by the difference in thickness of the multi-gap layer 117. In addition, it is possible to prevent a reduction in display quality such as color unevenness caused by a difference in optical path length between the reflective display and the transmissive display with a simple structure, and to reduce the number of manufacturing processes.

更に反射領域Dでの厚さを透過領域Cでの厚さより厚くするために、反射領域Dで液晶側に突出するように、成膜された感光性樹脂37を第2ハーフトーンマスク38を用いて露光することとしたので、例えば反射領域Dでの感光性樹脂37には透過領域Cでの感光性樹脂37より多くの光を照射することができる一方、透過領域Cでの感光性樹脂37にも必要な量の光を照射することができる。これにより、従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で透過領域Cには反射領域Dと比較して厚さの薄いマルチギャップ層117を形成し、反射領域Dには透過領域Cと比較して厚さが厚く、かつ、液晶側に突出させたマルチギャップ層117の形成が可能となる。また、製造工程を少なくさせコストの低減が図れる他、多種多様な液晶表示装置に対応できることとなる。   Further, in order to make the thickness in the reflective region D thicker than the thickness in the transmissive region C, the photosensitive resin 37 formed so as to protrude to the liquid crystal side in the reflective region D is used with the second halftone mask 38. For example, the photosensitive resin 37 in the reflective region D can be irradiated with more light than the photosensitive resin 37 in the transmissive region C, while the photosensitive resin 37 in the transmissive region C can be irradiated. Also, a necessary amount of light can be irradiated. As a result, a multi-gap layer 117 having a thickness smaller than that of the reflective region D in the transmissive region C in a single coating, exposing and developing step, which conventionally required two coating, exposing and developing steps. The multi-gap layer 117 that is thicker than the transmissive region C and protrudes toward the liquid crystal side can be formed in the reflective region D. In addition, the manufacturing process can be reduced and the cost can be reduced, and various liquid crystal display devices can be supported.

(第3の実施形態・電子機器)   (Third Embodiment / Electronic Device)

次に、上述した液晶表示装置1,101を備えた本発明の第3の実施形態に係る電子機器について説明する。尚、第1の実施形態、変形例1の構成要素と共通する構成要素については、第1の実施形態、変形例1の構成要素と同一の符号を付しその説明を省略する。   Next, an electronic apparatus according to the third embodiment of the present invention including the liquid crystal display devices 1 and 101 described above will be described. In addition, about the component which is common in the component of 1st Embodiment and the modification 1, the code | symbol same as the component of 1st Embodiment and the modification 1 is attached | subjected, and the description is abbreviate | omitted.

図15は本発明の第3の実施形態に係る電子機器の表示制御系の全体構成を示す概略構成図である。   FIG. 15: is a schematic block diagram which shows the whole structure of the display control system of the electronic device which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.

電子機器300は、表示制御系として例えば図15に示すように液晶パネル2及び表示制御回路390などを備え、その表示制御回路390は表示情報出力源391、表示情報処理回路392、電源回路393及びタイミングジェネレータ394などを有する。   The electronic device 300 includes, for example, a liquid crystal panel 2 and a display control circuit 390 as shown in FIG. 15 as a display control system. The display control circuit 390 includes a display information output source 391, a display information processing circuit 392, a power supply circuit 393, and the like. A timing generator 394 and the like are included.

また、液晶パネル2には表示領域Sを駆動する駆動回路361を有する。   Further, the liquid crystal panel 2 has a drive circuit 361 for driving the display area S.

表示情報出力源391は、ROM(Read Only Memory)やRAM(Random Access Memory)などからなるメモリと、磁気記録ディスクや光記録ディスクなどからなるストレージユニットと、デジタル画像信号を同調出力する同調回路とを備えている。更に表示情報出力源391は、タイミングジェネレータ394によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号などの形で表示情報を表示情報処理回路392に供給するように構成されている。   The display information output source 391 includes a memory such as a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory), a storage unit such as a magnetic recording disk or an optical recording disk, and a tuning circuit that tunes and outputs a digital image signal. It has. Further, the display information output source 391 is configured to supply display information to the display information processing circuit 392 in the form of a predetermined format image signal or the like based on various clock signals generated by the timing generator 394.

また、表示情報処理回路392はシリアル−パラレル変換回路、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路などの周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像情報をクロック信号CLKと共に駆動回路361へ供給する。また、電源回路393は、上述した各構成要素に夫々所定の電圧を供給する。   The display information processing circuit 392 includes various well-known circuits such as a serial-parallel conversion circuit, an amplification / inversion circuit, a rotation circuit, a gamma correction circuit, and a clamp circuit, and executes processing of input display information to display the image. Information is supplied to the drive circuit 361 together with the clock signal CLK. The power supply circuit 393 supplies a predetermined voltage to each component described above.

このように本実施形態によれば、着色層16を透過領域Cで液晶側に突出させ、該透過領域Cでの厚さが反射領域Dでの厚さより厚くなるように形成したので、同一の色材で反射光と透過光との色再現性を同じとした液晶表示装置1を備えた電子機器300を提供できる。   As described above, according to the present embodiment, the colored layer 16 is protruded toward the liquid crystal side in the transmission region C, and the thickness in the transmission region C is larger than the thickness in the reflection region D. It is possible to provide the electronic device 300 including the liquid crystal display device 1 in which the color material has the same color reproducibility between the reflected light and the transmitted light.

また、該着色層16の上に配置されたマルチギャップ層17を反射領域Dで液晶側に突出させ、該反射領域Dでの厚さが透過領域Cでの厚さより厚くなるように形成することとしたので、反射領域Dでの液晶層6の光路長と透過領域Cでの着色層16の突出による液晶層6の光路長との差を、該マルチギャップ層17の厚さの違いにより解消することができ、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくした電子機器を提供できる。   Further, the multi-gap layer 17 disposed on the colored layer 16 is projected to the liquid crystal side in the reflective region D, and is formed so that the thickness in the reflective region D is thicker than the thickness in the transmissive region C. Therefore, the difference between the optical path length of the liquid crystal layer 6 in the reflection region D and the optical path length of the liquid crystal layer 6 due to the protrusion of the colored layer 16 in the transmission region C is eliminated by the difference in thickness of the multi-gap layer 17. In addition, it is possible to provide an electronic device that has a simple structure and prevents deterioration in display quality such as color unevenness caused by a difference in optical path length between the reflective display and the transmissive display, and has fewer manufacturing processes.

特に最近の電子機器にあっては、低価格且つ、高品質な表示機能を発揮できることが求められており、低コストで高い表示品位を提供する本発明の意義は大きいといえる。   In particular, recent electronic devices are required to exhibit a low-cost and high-quality display function, and it can be said that the present invention that provides a high display quality at a low cost is significant.

具体的な電子機器としては、携帯電話機やパーソナルコンピュータなどの他に液晶表示装置が搭載されたタッチパネル、プロジェクタ、液晶テレビやビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、上述した例えば液晶表示装置1,101が適用可能なのは言うまでもない。   Specific electronic equipment includes touch panels, projectors, liquid crystal televisions, viewfinder type, monitor direct view type video tape recorders, car navigation systems, pagers, electronic notebooks that are equipped with liquid crystal display devices in addition to mobile phones and personal computers. Calculators, word processors, workstations, videophones, POS terminals and the like. And it cannot be overemphasized that the liquid crystal display devices 1 and 101 which were mentioned above are applicable as a display part of these various electronic devices, for example.

なお、本発明の電気光学装置及び電子機器は、上述した例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加え得ることは勿論である。   Note that the electro-optical device and the electronic apparatus of the present invention are not limited to the above-described examples, and it is needless to say that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

以上、好ましい実施形態を上げて本発明を説明したが、本発明は上述したいずれの実施形態にも限定されず、本発明の技術思想の範囲内で適宜変更して実施できる。また、本発明の技術思想の範囲内で各実施形態及び変形例を適宜組み合わせて実施できる。   Although the present invention has been described above with the preferred embodiment, the present invention is not limited to any of the above-described embodiments, and can be implemented with appropriate modifications within the scope of the technical idea of the present invention. In addition, the embodiments and modifications can be combined as appropriate within the scope of the technical idea of the present invention.

例えば、上述の実施形態や変形例では薄膜ダイオード素子アクティブマトリクス型の液晶表示装置について説明したがこれに限られるものではなく、例えば薄膜トランジスタ素子アクティブマトリクス型、パッシブマトリクス型の液晶表示装置であってもよい。これにより、多種多様な液晶表示装置についても、簡単な構造で製造コストを低減しながら表示品位をより高いものとすることができる。   For example, in the above-described embodiments and modifications, the thin film diode element active matrix type liquid crystal display device has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the thin film transistor element active matrix type and passive matrix type liquid crystal display devices may be used. Good. As a result, even for a wide variety of liquid crystal display devices, the display quality can be improved while reducing the manufacturing cost with a simple structure.

また、上述の第2の実施形態では着色層16とマルチギャップ層117とを夫々別々のハーフトーンマスクを用いて露光することとして説明したがこれに限られるものではなく、第1の実施形態の変形例1と同様、着色層16とマルチギャップ層117とを同じ形のハーフトーンマスク、例えば第1ハーフトーンマスク36で露光してもよい。   In the second embodiment described above, the coloring layer 16 and the multi-gap layer 117 are exposed using different halftone masks. However, the present invention is not limited to this, and the first embodiment is not limited thereto. As in the first modification, the colored layer 16 and the multi-gap layer 117 may be exposed with the same halftone mask, for example, the first halftone mask 36.

この場合、例えば着色層16の形成にネガ型の感光性樹脂35を用い、マルチギャップ層117の形成にポジ型の感光性樹脂40を用いてもよいし、また、着色層16の形成にポジ型の感光性樹脂39を用い、マルチギャップ層117の形成にネガ型の感光性樹脂37を用いてもよい。   In this case, for example, the negative photosensitive resin 35 may be used for forming the colored layer 16, the positive photosensitive resin 40 may be used for forming the multi-gap layer 117, and the positive photosensitive resin 40 may be used for forming the colored layer 16. A negative photosensitive resin 37 may be used to form the multi-gap layer 117 using a negative photosensitive resin 39.

尚、着色層16の形成にポジ型の感光性樹脂39を用い、マルチギャップ層117の形成にネガ型の感光性樹脂37を用いる場合は、着色層16(マルチギャップ層117)の形成に用いる第1ハーフトーンマスク41は、一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば半分程度の光の遮光量であるハーフ露光領域Jとその周囲に略0%の完全露光領域Iとが形成されている。また、その色のハーフトーンマスクの両隣は他の色の着色層部分となるので略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。   When the positive photosensitive resin 39 is used for forming the colored layer 16 and the negative photosensitive resin 37 is used for forming the multi-gap layer 117, the colored layer 16 (multi-gap layer 117) is used. In the region corresponding to one sub-pixel 25, the first halftone mask 41 is substantially in the middle of the half-exposure region J in which the light shielding amount of the substantially rectangular light is, for example, about half the light shielding amount, and in the vicinity thereof. A completely exposed area I of 0% is formed. Moreover, since the color layer portions of other colors are adjacent to the halftone mask of that color, a complete light shielding region K having a light shielding amount of about 100% is formed.

これにより、製造コストの低減を更に図ることができると共に、第1感光性材料及び第2感光性材料を同じ形状のマスクで露光するので位置調整が正確であり、かつ、容易にできる。   As a result, the manufacturing cost can be further reduced, and the first photosensitive material and the second photosensitive material are exposed with the same shape mask, so that the position adjustment is accurate and easy.

また、遮光領域が異なる複数種類のマスクを用いて露光し、現像する多重露光により、着色層及びマルチギャップ層を形成しても良い。この場合、従来二回の塗布および現像工程が必要であったものを、一回の塗布および現像工程で、着色層又はマルチギャップ層を形成できる。   Further, the colored layer and the multi-gap layer may be formed by multiple exposure in which exposure is performed using a plurality of types of masks having different light-shielding regions and development. In this case, a colored layer or a multi-gap layer can be formed in a single coating and developing step, which conventionally required two coating and developing steps.

第1の実施形態に係る液晶パネルの概略斜視図である。1 is a schematic perspective view of a liquid crystal panel according to a first embodiment. 第1の実施形態に係る液晶パネルの対向基板側の概略平面図である。It is a schematic plan view by the side of the opposing board | substrate of the liquid crystal panel which concerns on 1st Embodiment. 図2におけるA−A線及びB−B線の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the AA line and BB line in FIG. 第1の実施形態に係る液晶表示装置の製造工程のフローチャート図である。It is a flowchart figure of the manufacturing process of the liquid crystal display device which concerns on 1st Embodiment. 第1の実施形態に係るハーフトーンマスクの概略平面図である。It is a schematic plan view of the halftone mask according to the first embodiment. 第1の実施形態に係る着色層の製造工程を説明するための概略断面図である。It is a schematic sectional drawing for demonstrating the manufacturing process of the colored layer which concerns on 1st Embodiment. マルチギャップ層の製造工程を説明するための概略断面図である。It is a schematic sectional drawing for demonstrating the manufacturing process of a multi gap layer. ポジ型感光性材料を用いた場合の製造工程を説明するための概略断面図である。It is a schematic sectional drawing for demonstrating the manufacturing process at the time of using a positive photosensitive material. 変形例1に係る液晶表示装置の製造方法のフローチャート図である。10 is a flowchart of a method for manufacturing a liquid crystal display device according to Modification 1. FIG. 変形例1に係るマルチギャップ層の製造工程の概略断面図である。10 is a schematic cross-sectional view of a manufacturing process of a multi-gap layer according to Modification 1. FIG. ネガ、ポジの組み合せを逆にした場合の製造工程の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of a manufacturing process at the time of reversing the combination of negative and positive. 第2の実施形態に係る液晶パネルの部分概略断面図である。It is a partial schematic sectional drawing of the liquid crystal panel which concerns on 2nd Embodiment. 第2の実施形態に係る液晶表示装置の製造工程のフローチャート図である。It is a flowchart figure of the manufacturing process of the liquid crystal display device which concerns on 2nd Embodiment. 第2の実施形態に係るマルチギャップ層の製造工程の概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the manufacturing process of the multi gap layer which concerns on 2nd Embodiment. 第3の実施形態に係る電子機器の表示制御系の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the display control system of the electronic device which concerns on 3rd Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1,101 液晶表示装置、 2,102 液晶パネル、 3 照明装置、 4,104 カラーフィルタ基板、 5,105 対向基板、 6 液晶層、 7 第1基板、 8 第2基板、 9,11 位相差板、 10,12 偏光板、 13,26 下地層、 14 反射膜、 15 光遮蔽層、 16 着色層、 17,117 マルチギャップ層、 18,118 走査電極、 19,24,119,124 配向膜、 20 開口部、 21,121 画素電極、 22 データ線、 23 TFD、 25 サブ画素、 27 第1金属膜、 28 絶縁膜、 29 第2金属膜、 30 導光板、 31,32 プリズムシート、 33 拡散シート、 34 反射シート、 35,37,39,40 感光性樹脂、 36,41 第1ハーフトーンマスク、 38,42 第2ハーフトーンマスク、 300 電子機器、 361 駆動回路、 390 表示制御回路   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,101 Liquid crystal display device, 2,102 Liquid crystal panel, 3 Illumination device, 4,104 Color filter substrate, 5,105 Opposite substrate, 6 Liquid crystal layer, 7 First substrate, 8 Second substrate, 9,11 Phase difference plate 10, 12 Polarizing plate, 13, 26 Underlayer, 14 Reflective film, 15 Light shielding layer, 16 Colored layer, 17, 117 Multi-gap layer, 18, 118 Scan electrode, 19, 24, 119, 124 Alignment film, 20 Opening, 21, 121 pixel electrode, 22 data line, 23 TFD, 25 subpixel, 27 first metal film, 28 insulating film, 29 second metal film, 30 light guide plate, 31, 32 prism sheet, 33 diffusion sheet, 34 reflective sheet, 35, 37, 39, 40 photosensitive resin, 36, 41 first halftone mask, 38, 4 2 Second halftone mask, 300 electronic device, 361 drive circuit, 390 display control circuit

Claims (11)

複数の画素と、当該画素内に設けられた光を透過させる透過領域及び光を反射させる反射領域と、液晶を間に保持し相対向する一対の基板と、前記一対の基板のいずれか一方の基板に形成された反射膜とを備えた液晶表示装置の製造方法において、
前記一対の基板のいずれか一方の基板で、前記反射領域及び前記透過領域に、着色された第1感光性材料を成膜する工程と、
前記成膜された第1感光性材料を、前記透過領域で前記液晶側に突出させることで、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、第1ハーフトーンマスクを用いて露光する工程と、
前記露光された第1感光性材料を現像し、着色層を形成する工程と
を具備することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
A plurality of pixels, a transmissive region that transmits light provided in the pixel, a reflective region that reflects light, a pair of substrates that hold liquid crystal in between and face each other, and one of the pair of substrates In a method for manufacturing a liquid crystal display device comprising a reflective film formed on a substrate,
Forming a colored first photosensitive material on the reflective region and the transmissive region on any one of the pair of substrates;
The first halftone mask is formed so that the thickness of the first photosensitive material thus formed is projected to the liquid crystal side in the transmissive region so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region. Exposing with
And a step of developing the exposed first photosensitive material to form a colored layer.
前記一対の基板のいずれか一方の基板に、第2感光性材料を成膜する工程と、
前記反射領域での厚さを前記透過領域での厚さより厚くするために、前記反射領域で前記液晶側に突出するように、前記成膜された第2感光性材料を第2ハーフトーンマスクを用いて露光する工程と、
前記露光された第2感光性材料を現像し、マルチギャップ層を形成する工程とを更に具備することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。
Depositing a second photosensitive material on one of the pair of substrates;
In order to make the thickness in the reflective region thicker than the thickness in the transmissive region, the second photosensitive material thus formed is projected to the liquid crystal side in the reflective region using a second halftone mask. Using and exposing,
The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, further comprising: developing the exposed second photosensitive material to form a multi-gap layer.
前記透過領域は前記反射膜が設けられていない領域であり、
前記第1感光性材料を成膜する工程においては、前記第1感光性材料を前記反射膜上及び前記反射膜が設けられていない領域内に成膜し、
前記第2感光性材料を成膜する工程においては、前記着色層上に前記第2感光性材料を成膜することを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置の製造方法。
The transmission region is a region where the reflective film is not provided,
In the step of depositing the first photosensitive material, the first photosensitive material is deposited on the reflective film and in a region where the reflective film is not provided,
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 2, wherein in the step of forming the second photosensitive material, the second photosensitive material is formed on the colored layer.
前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ネガ材であり、
前記第1ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、
前記第2ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。
The first photosensitive material and the second photosensitive material are negative materials, respectively.
The first halftone mask is formed such that a region corresponding to the reflective region has a larger light shielding amount than a region corresponding to the transmissive region,
The said 2nd halftone mask is formed so that the area | region corresponding to the said transmissive area | region may become larger in the light-shielding amount than the area | region corresponding to the said reflective area | region. A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ポジ材であり、
前記第1ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、
前記第2ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。
The first photosensitive material and the second photosensitive material are positive materials, respectively.
The first halftone mask is formed such that a region corresponding to the transmissive region has a larger light shielding amount than a region corresponding to the reflective region,
The said 2nd halftone mask is formed so that the area | region corresponding to the said reflection area may become larger in the amount of light shielding than the area | region corresponding to the said transmissive area | region. A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ネガ材及びポジ材であり、
前記第1ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、
前記第2ハーフトーンマスクは、該第1ハーフトーンマスクと同じ形状であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。
The first photosensitive material and the second photosensitive material are a negative material and a positive material, respectively.
The first halftone mask is formed such that a region corresponding to the reflective region has a larger light shielding amount than a region corresponding to the transmissive region,
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 2, wherein the second halftone mask has the same shape as the first halftone mask.
前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ポジ材及びネガ材であり、
前記第1ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、
前記第2ハーフトーンマスクは、前記第1ハーフトーンマスクと同じ形状であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。
The first photosensitive material and the second photosensitive material are a positive material and a negative material, respectively.
The first halftone mask is formed such that a region corresponding to the transmissive region has a larger light shielding amount than a region corresponding to the reflective region,
4. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 2, wherein the second halftone mask has the same shape as the first halftone mask. 5.
前記第1ハーフトーンマスク及び第2ハーフトーンマスクによる露光工程の少なくともいずれか一方の露光工程で、該露光用の光源の露光量を調整することを特徴とする請求項2から請求項7のうちいずれか一項に記載の液晶表示装置の製造方法。   8. The exposure amount of the light source for exposure is adjusted in at least one of the exposure steps of the exposure step using the first halftone mask and the second halftone mask. The manufacturing method of the liquid crystal display device as described in any one. 複数の画素と、当該画素内に設けられた光を透過させる透過領域及び光を反射させる反射領域と、液晶を間に保持し相対向する一対の基板と、前記一対の基板のいずれか一方の基板に形成された反射膜とを備えた液晶表示装置の製造方法において、
前記一対の基板のいずれか一方の基板で、前記反射領域及び前記透過領域に、着色された第1感光性材料を成膜する工程と、
前記透過領域で前記液晶側に突出させることで、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、前記成膜された第1感光性材料を複数種類のマスクを用いて多重露光する工程と、
前記露光された第1感光性材料を現像し、着色層を形成する工程とを備え、
前記複数種類のマスクは、前記透過領域に対応する領域とその他の領域に対応する領域とで、遮光量が異なるように形成されているマスクと、前記透過領域及び前記反射領域に対応する領域とその他の領域に対応する領域とで、遮光量が異なるように形成されているマスクとを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
A plurality of pixels, a transmissive region that transmits light provided in the pixel and a reflective region that reflects light, a pair of substrates that hold liquid crystal in between and face each other, and one of the pair of substrates In a method for manufacturing a liquid crystal display device comprising a reflective film formed on a substrate,
Forming a colored first photosensitive material on the reflective region and the transmissive region on any one of the pair of substrates;
A plurality of types of masks are used to form the first photosensitive material so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region by projecting toward the liquid crystal in the transmissive region. Multiple exposure process,
Developing the exposed first photosensitive material to form a colored layer,
The plurality of types of masks include a mask formed so that a light shielding amount is different between a region corresponding to the transmissive region and a region corresponding to another region, and a region corresponding to the transmissive region and the reflective region. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a mask formed to have a different light shielding amount in a region corresponding to another region.
複数の画素を備えた液晶表示装置において、
液晶を間に保持し、相対向する一対の基板と、
前記画素内に設けられた、光を透過させる透過領域及び光を反射させる反射領域と、
前記一対の基板のいずれか一方の基板において、前記反射領域に設けられた反射膜と、
前記一対の基板のいずれか一方の基板において、前記反射領域及び前記透過領域に設けられ、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、前記透過領域で前記液晶側に突出して形成された着色層と、
前記着色層上の前記液晶側において、前記反射領域及び前記透過領域に設けられ、前記反射領域での厚さが前記透過領域での厚さより厚くなるように、前記反射領域で前記液晶側に突出して形成されたマルチギャップ層とを備えることを特徴とする液晶表示装置。
In a liquid crystal display device having a plurality of pixels,
A pair of substrates holding the liquid crystal in between and facing each other;
A transmissive region that transmits light and a reflective region that reflects light provided in the pixel;
In any one of the pair of substrates, a reflective film provided in the reflective region;
One of the pair of substrates is provided in the reflective region and the transmissive region, and the liquid crystal side in the transmissive region is thicker than the thickness in the reflective region. A colored layer formed so as to protrude from
Provided in the reflective region and the transmissive region on the liquid crystal side on the colored layer, and protrudes toward the liquid crystal side in the reflective region so that the thickness in the reflective region is larger than the thickness in the transmissive region. And a multi-gap layer formed in the same manner.
請求項10に記載の液晶表示装置を備えたことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the liquid crystal display device according to claim 10.
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