JP2006072175A - Liquid crystal display device, method for manufacturing liquid crystal display device, and electronic apparatus - Google Patents
Liquid crystal display device, method for manufacturing liquid crystal display device, and electronic apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006072175A JP2006072175A JP2004258008A JP2004258008A JP2006072175A JP 2006072175 A JP2006072175 A JP 2006072175A JP 2004258008 A JP2004258008 A JP 2004258008A JP 2004258008 A JP2004258008 A JP 2004258008A JP 2006072175 A JP2006072175 A JP 2006072175A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- liquid crystal
- reflective
- display device
- crystal display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 219
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 89
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 53
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 101
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 15
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 68
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 68
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 30
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 66
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 23
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 21
- 238000011161 development Methods 0.000 description 19
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 16
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 15
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 15
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 13
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 7
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 4
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 2
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910001362 Ta alloys Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【課題】
簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長の違いなどから生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることができる液晶表示装置、その液晶表示装置の製造方法及びその液晶表示装置を用いた電子機器を提供すること。
【解決手段】
成膜された第1感光性材料である着色層形成用の感光性樹脂35を、透過領域Cで液晶側に突出させることで、透過領域Cでの厚さが反射領域Dでの厚さより厚くなるように、第1ハーフトーンマスク36を用いて露光することとしたので、例えば透過領域Cでの感光性樹脂35には反射領域Dでの感光性樹脂35より多くの光を照射させることができる一方、反射領域Dでの感光性樹脂35にも必要な量の光を照射することができる。
【選択図】 図3
【Task】
Liquid crystal display device capable of preventing deterioration in display quality such as color unevenness caused by a difference in optical path length between a reflective display and a transmissive display with a simple structure, and reducing the number of manufacturing processes, and the liquid crystal display device Manufacturing method and electronic equipment using the liquid crystal display device.
[Solution]
The formed photosensitive resin 35 for forming a colored layer, which is the first photosensitive material, is projected to the liquid crystal side in the transmission region C, so that the thickness in the transmission region C is thicker than the thickness in the reflection region D. As described above, since the first halftone mask 36 is used for exposure, for example, the photosensitive resin 35 in the transmission region C may be irradiated with more light than the photosensitive resin 35 in the reflection region D. On the other hand, the photosensitive resin 35 in the reflective region D can be irradiated with a necessary amount of light.
[Selection] Figure 3
Description
本発明は、パーソナルコンピュータや携帯電話機に用いられる液晶表示装置、その液晶表示装置の製造方法及びその液晶表示装置を用いた電子機器に関する。 The present invention relates to a liquid crystal display device used for a personal computer or a cellular phone, a method for manufacturing the liquid crystal display device, and an electronic apparatus using the liquid crystal display device.
従来、パーソナルコンピュータや携帯電話機等といった電子機器の表示装置として液晶表示装置等があり、その液晶表示装置の光源として自然光やバックライト等を用いた反射半透過型等の液晶表示装置がある。 Conventionally, there is a liquid crystal display device or the like as a display device of an electronic device such as a personal computer or a mobile phone, and a liquid crystal display device such as a reflective transflective type using natural light or a backlight as a light source of the liquid crystal display device.
また、例えば反射半透過型の液晶表示装置では表示画面への写り込みが生じることがあり、これを防ぐために外光を散乱させるための凹凸状の反射面を設けることが行われていたが、当該凹凸状の反射面の形成が必ずしもランダムに形成されておらず、反射半透過型等の液晶表示装置の表示品位としては不十分であった。 Further, for example, in a reflective transflective liquid crystal display device, reflection on the display screen may occur, and in order to prevent this, an uneven reflecting surface for scattering external light has been provided, The uneven reflective surface is not necessarily formed at random, which is insufficient for display quality of a reflective transflective liquid crystal display device.
そこで、当該凹凸状の反射面の形状をよりランダムにしかも容易に形成し液晶表示装置の表示品位を向上させる方法が提案されている(例えば、特許文献1参照。) 。
しかしながら上述の方法により凹凸状の反射面の形状をよりランダムにし液晶表示装置の表示品位を向上させることは可能になったが、一方で反射型表示での液晶パネル中の光路長と透過型表示での液晶パネル中の光路長の相違等から生じる表示上の色再現性のむら、表示品位の低下という問題があり、その光路長差を改善するカラーフィルタ層やオーバーコート層の構造及び製造工程も考えられるが、その際の製造工程が複雑となりコスト高となるといった問題があった。 However, it has become possible to improve the display quality of the liquid crystal display device by making the shape of the uneven reflecting surface more random by the above method, but on the other hand, the optical path length in the liquid crystal panel and the transmissive display in the reflective display There is a problem of uneven color reproducibility on display caused by differences in optical path lengths in liquid crystal panels, and deterioration in display quality, and the structure and manufacturing process of color filter layers and overcoat layers that improve the optical path length difference Though conceivable, there was a problem that the manufacturing process at that time was complicated and the cost was high.
本発明は、上述の課題に鑑みてなされるもので、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長の違いなどから生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることができる液晶表示装置、その液晶表示装置の製造方法及びその液晶表示装置を用いた電子機器を提供することを目的とする。 The present invention is made in view of the above-described problems, and prevents deterioration in display quality such as uneven color caused by a difference in optical path length between a reflective display and a transmissive display with a simple structure, and a manufacturing process. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device capable of reducing the amount of liquid crystal, a method for manufacturing the liquid crystal display device, and an electronic apparatus using the liquid crystal display device.
上記目的を達成するために、本発明の主たる観点に係る液晶表示装置の製造方法は、複数の画素と、当該画素内に設けられた光を透過させる透過領域及び光を反射させる反射領域と、液晶を間に保持し相対向する一対の基板と、前記一対の基板のいずれか一方の基板に形成された反射膜とを備えた液晶表示装置の製造方法において、前記一対の基板のいずれか一方の基板で、前記反射領域及び前記透過領域に、着色された第1感光性材料を成膜する工程と、前記成膜された第1感光性材料を、前記透過領域で前記液晶側に突出させることで、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、第1ハーフトーンマスクを用いて露光する工程と、前記露光された第1感光性材料を現像し、着色層を形成する工程とを具備することを特徴とする。 In order to achieve the above object, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a main aspect of the present invention includes a plurality of pixels, a transmission region that transmits light provided in the pixels, and a reflection region that reflects light. In a method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a pair of substrates that hold liquid crystal in between and facing each other; and a reflective film formed on any one of the pair of substrates. Forming a colored first photosensitive material on the reflective region and the transmissive region, and projecting the formed first photosensitive material to the liquid crystal side in the transmissive region. Thus, the step of exposing using the first halftone mask so that the thickness in the transmissive region is thicker than the thickness in the reflective region, developing the exposed first photosensitive material, and coloring Forming a layer. The features.
ここで、「透過領域」とは例えば反射膜中に形成された開口部をいい、「ハーフトーンマスク」とは露光する際のマスクであり、例えば該マスク内に露光用の光源からの光を透過(遮蔽)する量が異なる領域を有するものをいう。また、「第1感光性材料」とは例えば感光性着色材を分散させたような感光性樹脂等をいう。 Here, the “transmission region” refers to, for example, an opening formed in the reflective film, and the “halftone mask” refers to a mask for exposure. For example, light from an exposure light source is incident on the mask. This refers to a region having different amounts of transmission (shielding). The “first photosensitive material” refers to a photosensitive resin in which a photosensitive coloring material is dispersed, for example.
本発明は、成膜された第1感光性材料を、透過領域で液晶側に突出させることで、透過領域での厚さが反射領域での厚さより厚くなるように、第1ハーフトーンマスクを用いて露光することとしたので、例えば透過領域での第1感光性材料には反射領域での第1感光性材料より多くの光を照射させることができる一方、反射領域での第1感光性材料にも必要な量の光を照射することができる。 In the present invention, the first halftone mask is formed so that the film thickness of the first photosensitive material protrudes toward the liquid crystal in the transmissive region so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region. For example, the first photosensitive material in the transmissive region can be irradiated with more light than the first photosensitive material in the reflective region, while the first photosensitive material in the reflective region can be irradiated. The material can be irradiated with a necessary amount of light.
これにより、従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で反射領域には透過領域と比較して厚さの薄い着色層を形成し、透過領域には反射領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させた着色層を形成でき、製造工程を少なくさせることが可能となる。 Thereby, a colored layer having a thickness smaller than that of the transmissive region is formed in the reflective region in a single coating, exposing and developing step, which conventionally required two coating, exposing and developing steps, In the transmissive region, a colored layer that is thicker than the reflective region and protrudes toward the liquid crystal side can be formed, and the number of manufacturing steps can be reduced.
更に着色層を透過領域で液晶側に突出させ、該透過領域での厚さが反射領域での厚さより厚くなるように形成したので、同一の色材で反射光と透過光との色再現性を同じにできる。 In addition, the colored layer protrudes toward the liquid crystal in the transmissive region, and the thickness in the transmissive region is greater than the thickness in the reflective region, so the color reproducibility of reflected light and transmitted light with the same colorant. Can be the same.
本発明の一の形態によれば、前記一対の基板のいずれか一方の基板に、第2感光性材料を成膜する工程と、前記反射領域での厚さを前記透過領域での厚さより厚くするために、前記反射領域で前記液晶側に突出するように、前記成膜された第2感光性材料を第2ハーフトーンマスクを用いて露光する工程と、前記露光された第2感光性材料を現像し、マルチギャップ層を形成する工程とを更に具備することを特徴とする。これにより、例えば反射領域での第2感光性材料には透過領域での第2感光性材料より多くの光を照射することができる一方、透過領域での第2感光性材料にも必要な量の光を照射することができるので、従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で透過領域には反射領域と比較して厚さの薄いマルチギャップ層を形成し、反射領域には透過領域と比較して厚さが厚く、かつ、液晶側に突出させたマルチギャップ層を形成することが可能となる。また、製造工程を少なくさせコストの低減が図れる。ここで、「マルチギャップ層」とは透過領域での液晶層の厚さが反射領域での液晶層の厚さより厚くなるように形成された層をいう。 According to one aspect of the present invention, the step of forming the second photosensitive material on one of the pair of substrates, and the thickness in the reflective region is greater than the thickness in the transmissive region. In order to do so, a step of exposing the formed second photosensitive material using a second halftone mask so as to protrude toward the liquid crystal in the reflective region, and the exposed second photosensitive material And a step of forming a multi-gap layer. Thus, for example, the second photosensitive material in the reflective region can be irradiated with more light than the second photosensitive material in the transmissive region, while the amount necessary for the second photosensitive material in the transmissive region is also necessary. Therefore, the transmissive area in the conventional coating, exposure and development process is thinner than the reflection area in the transmission, exposure and development processes. A thin multi-gap layer can be formed, and a multi-gap layer that is thicker than the transmissive region and protrudes toward the liquid crystal can be formed in the reflective region. Further, the manufacturing process can be reduced and the cost can be reduced. Here, the “multi-gap layer” refers to a layer formed such that the thickness of the liquid crystal layer in the transmissive region is larger than the thickness of the liquid crystal layer in the reflective region.
本発明の一の形態によれば、前記透過領域は前記反射膜が設けられていない領域であり、前記第1感光性材料を成膜する工程においては、前記第1感光性材料を前記反射膜上及び前記反射膜が設けられていない領域内に成膜し、前記第2感光性材料を成膜する工程においては、前記着色層上に前記第2感光性材料を成膜することを特徴とする。これにより、反射領域での液晶層の光路長と透過領域での着色層の突出による液晶層の光路長との差を、マルチギャップ層の厚さの違いにより解消することができ、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防ぐと共に、製造工程をより少なくさせることが可能となる。 According to an aspect of the present invention, the transmissive region is a region where the reflective film is not provided, and in the step of forming the first photosensitive material, the first photosensitive material is used as the reflective film. Forming the second photosensitive material on the colored layer in the step of depositing the second photosensitive material on the top and in the region where the reflective film is not provided, To do. As a result, the difference between the optical path length of the liquid crystal layer in the reflective region and the optical path length of the liquid crystal layer due to the protrusion of the colored layer in the transmissive region can be eliminated by the difference in thickness of the multi-gap layer. Thus, it is possible to prevent deterioration in display quality such as color unevenness caused by a difference in optical path length between the reflection type display and the transmission type display, and to reduce the number of manufacturing processes.
本発明の一の形態によれば、前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ネガ材であり、前記第1ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、前記第2ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されていることを特徴とする。これにより、第1ハーフトーンマスクを用いて従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で、反射領域には透過領域と比較して厚さの薄い着色層を形成し、透過領域には反射領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させて着色層を形成できるので、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。 According to an embodiment of the present invention, the first photosensitive material and the second photosensitive material are negative materials, respectively, and the first halftone mask has an area corresponding to the reflective area as the transmissive area. The second halftone mask is formed so that the area corresponding to the transmissive area is larger than the area corresponding to the reflective area. It is characterized by being. As a result, the first halftone mask, which conventionally required two coating, exposure and development steps, is thicker than the transmissive region in the reflection region in one coating, exposure and development step. A thin colored layer is formed, and the transmissive region is thicker than the reflective region and can be projected to the liquid crystal side to form a colored layer, thus preventing uneven color while reducing the number of manufacturing steps. It becomes possible to plan.
同じく、マルチギャップ層の形成も従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で透過領域には、反射領域と比較して厚さの薄いマルチギャップ層を形成し、反射領域には透過領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させて形成でき、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。 Similarly, the formation of the multi-gap layer, which previously required two coating, exposure and development steps, is thinner in the transmission region than the reflection region in one coating, exposure and development step. A multi-gap layer is formed, and the reflective region is thicker than the transmissive region and can be projected to the liquid crystal side, thereby preventing uneven color while reducing the number of manufacturing steps. .
本発明の一の形態によれば、前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ポジ材であり、前記第1ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、前記第2ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されていることを特徴とする。これにより、第1ハーフトーンマスクを用いて従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で、反射領域には透過領域と比較して厚さの薄い着色層を形成し、透過領域には反射領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させて着色層を形成でき、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。 According to an embodiment of the present invention, the first photosensitive material and the second photosensitive material are positive materials, respectively, and the first halftone mask has an area corresponding to the transmissive area as the reflective area. The second halftone mask is formed such that the area corresponding to the reflective area is larger than the area corresponding to the transmissive area. It is characterized by being. As a result, the first halftone mask, which conventionally required two coating, exposure and development steps, is thicker than the transmissive region in the reflection region in one coating, exposure and development step. A thin colored layer is formed, and the transmissive region is thicker than the reflective region and can be projected to the liquid crystal side to form a colored layer, thereby preventing uneven color while reducing the number of manufacturing steps. It becomes possible.
同じく、マルチギャップ層の形成も従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で透過領域には、反射領域と比較して厚さの薄いマルチギャップ層を形成し、反射領域には透過領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させて形成でき、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。 Similarly, the formation of the multi-gap layer, which previously required two coating, exposure and development steps, is thinner in the transmission region than the reflection region in one coating, exposure and development step. A multi-gap layer is formed, and the reflective region is thicker than the transmissive region and can be projected to the liquid crystal side, thereby preventing uneven color while reducing the number of manufacturing steps. .
本発明の一の形態によれば、前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ネガ材及びポジ材であり、前記第1ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、前記第2ハーフトーンマスクは、該第1ハーフトーンマスクと同じ形状であることを特徴とする。これにより、着色層の形成とマルチギャップ層の形成とで同じ形状のハーフトーンマスクを用いることが可能となり製造コストの低減を更に図ることができる。ここで、「第1ハーフトーンマスクと同じ形状」とは、第1ハーフトーンマスク自体であることも含む意味である。 According to an aspect of the present invention, the first photosensitive material and the second photosensitive material are a negative material and a positive material, respectively, and the first halftone mask has an area corresponding to the reflective area in the area. The second halftone mask is formed in the same shape as the first halftone mask. The second halftone mask is formed to have a larger light shielding amount than the region corresponding to the transmission region. Thereby, it is possible to use a halftone mask having the same shape for the formation of the colored layer and the formation of the multi-gap layer, and the manufacturing cost can be further reduced. Here, “the same shape as the first halftone mask” means that the first halftone mask itself is included.
本発明の一の形態によれば、前記第1感光性材料及び第2感光性材料は、夫々ポジ材及びネガ材であり、前記第1ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、前記第2ハーフトーンマスクは、前記第1ハーフトーンマスクと同じ形状であることを特徴とする。これにより、着色層の形成とマルチギャップ層の形成とで同じ形状のハーフトーンマスクを用いることが可能となり製造コストの低減を更に図ることができる。また、感光性材料の多様性により対応できることとなる。ここで、「第1ハーフトーンマスクと同じ形状」とは、第1ハーフトーンマスク自体であることも含む意味である。 According to an embodiment of the present invention, the first photosensitive material and the second photosensitive material are a positive material and a negative material, respectively, and the first halftone mask has an area corresponding to the transmission area. The second halftone mask is formed in the same shape as the first halftone mask. The second halftone mask is formed to have a larger light shielding amount than the region corresponding to the reflection region. Thereby, it is possible to use a halftone mask having the same shape for the formation of the colored layer and the formation of the multi-gap layer, and the manufacturing cost can be further reduced. Moreover, it can respond by the diversity of the photosensitive material. Here, “the same shape as the first halftone mask” means that the first halftone mask itself is included.
本発明の一の形態によれば、前記第1ハーフトーンマスク及び第2ハーフトーンマスクによる露光工程の少なくともいずれか一方の露光工程で、該露光用の光源の露光量を調整することを特徴とする。これにより、例えばポジ材を露光する完全露光領域を有するハーフトーンマスクであっても、該露光用の光源の露光量を調整することによってその完全露光領域にも厚さの薄い着色層やマルチギャップ層を形成することができる。 According to one aspect of the present invention, the exposure amount of the light source for exposure is adjusted in at least one of the exposure steps using the first halftone mask and the second halftone mask. To do. Thus, for example, even in a halftone mask having a complete exposure area for exposing a positive material, a thin colored layer or a multi-gap is also formed in the complete exposure area by adjusting the exposure amount of the light source for the exposure. A layer can be formed.
本発明の他の観点に係る液晶表示装置の製造方法は、複数の画素と、当該画素内に設けられた光を透過させる透過領域及び光を反射させる反射領域と、液晶を間に保持し相対向する一対の基板と、前記一対の基板のいずれか一方の基板に形成された反射膜とを備えた液晶表示装置の製造方法において、前記一対の基板のいずれか一方の基板で、前記反射領域及び前記透過領域に、着色された第1感光性材料を成膜する工程と、前記透過領域で前記液晶側に突出させることで、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、前記成膜された第1感光性材料を複数種類のマスクを用いて多重露光する工程と、前記露光された第1感光性材料を現像し、着色層を形成する工程とを備え、前記複数種類のマスクは、前記透過領域に対応する領域とその他の領域に対応する領域とで、遮光量が異なるように形成されているマスクと、前記透過領域及び前記反射領域に対応する領域とその他の領域に対応する領域とで、遮光量が異なるように形成されているマスクとを含むことを特徴とする。 A manufacturing method of a liquid crystal display device according to another aspect of the present invention includes a plurality of pixels, a transmissive region that transmits light and a reflective region that reflects light, and a liquid crystal held between the pixels. In the method of manufacturing a liquid crystal display device including a pair of substrates facing each other and a reflective film formed on any one of the pair of substrates, the reflective region is formed on any one of the pair of substrates. And forming a colored first photosensitive material in the transmissive region, and projecting toward the liquid crystal side in the transmissive region so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region. As described above, the method includes a step of multiply exposing the formed first photosensitive material using a plurality of types of masks, and a step of developing the exposed first photosensitive material to form a colored layer. The plurality of types of masks are formed in the transmission region. The mask formed so that the amount of light shielding differs between the corresponding region and the region corresponding to the other region, and the light shielding between the region corresponding to the transmission region and the reflection region, and the region corresponding to the other region And a mask formed to have a different amount.
本発明は、透過領域で液晶側に突出させることで、透過領域での厚さが反射領域での厚さより厚くなるように、成膜された第1感光性材料を複数種類のマスクを用いて多重露光することとしたので、従来二回の塗布及び現像工程が必要であったものを一回の塗布及び現像工程で、反射領域には透過領域と比較して厚さの薄い着色層を形成し、透過領域には反射領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させて着色層を形成でき、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。 The present invention uses a plurality of types of masks to form the first photosensitive material so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region by projecting toward the liquid crystal in the transmissive region. Since multiple exposures were required, a colored layer with a smaller thickness was formed in the reflective area than in the transmissive area in a single application and development process that previously required two application and development processes. In addition, the transmissive region is thicker than the reflective region, and a colored layer can be formed by projecting toward the liquid crystal side, thereby making it possible to prevent uneven color while reducing the number of manufacturing steps.
尚、同様にマルチギャップ層を形成すれば、従来二回の塗布及び現像工程が必要であったものを一回の塗布及び現像工程で、透過領域には、反射領域と比較して厚さの薄いマルチギャップ層を形成し、反射領域には透過領域と比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させたマルチギャップ層を形成でき、製造工程を少なくさせながら色むら等の防止を図ることが可能となる。 Similarly, if a multi-gap layer is formed, the transmissive region has a thickness that is larger than that of the reflective region in a single coating and developing step, which previously required two coating and developing steps. A thin multi-gap layer can be formed, and the reflective region can be thicker than the transmissive region and can be projected to the liquid crystal side to prevent uneven color while reducing the number of manufacturing steps. It becomes possible.
本発明の他の観点に係る液晶表示装置は、複数の画素を備えた液晶表示装置において、液晶を間に保持し、相対向する一対の基板と、前記画素内に設けられた、光を透過させる透過領域及び光を反射させる反射領域と、前記一対の基板のいずれか一方の基板において、前記反射領域に設けられた反射膜と、前記一対の基板のいずれか一方の基板において、前記反射領域及び前記透過領域に設けられ、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、前記透過領域で前記液晶側に突出して形成された着色層と、前記着色層上の前記液晶側において、前記反射領域及び前記透過領域に設けられ、前記反射領域での厚さが前記透過領域での厚さより厚くなるように、前記反射領域で前記液晶側に突出して形成されたマルチギャップ層とを備えることを特徴とする。 A liquid crystal display device according to another aspect of the present invention is a liquid crystal display device including a plurality of pixels, which transmits light provided between the pair of substrates that hold the liquid crystal in between and are opposed to each other, and the pixels. A reflective region that reflects light; a reflective region that reflects light; a reflective film provided in the reflective region in any one of the pair of substrates; and the reflective region in any one of the pair of substrates. And a colored layer formed in the transmissive region so as to protrude toward the liquid crystal side in the transmissive region so that a thickness in the transmissive region is larger than a thickness in the reflective region, and on the colored layer. A multi-layer formed on the liquid crystal side, which is provided in the reflective region and the transmissive region, and protrudes toward the liquid crystal side in the reflective region so that the thickness in the reflective region is larger than the thickness in the transmissive region. Gad Characterized in that it comprises a layer.
本発明は、透過領域での厚さが反射領域での厚さより厚くなるように、透過領域で液晶側に突出して着色層を反射領域及び透過領域に形成したので、同一の色材で反射光と透過光との色再現性を同じにできる。 In the present invention, since the colored layer is formed in the reflective region and the transmissive region so as to protrude toward the liquid crystal side in the transmissive region so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region, the reflected light is reflected by the same color material. And the color reproducibility of transmitted light can be made the same.
また、該着色層の上に配置されたマルチギャップ層を反射領域で液晶側に突出させ、該反射領域での厚さが透過領域での厚さより厚くなるように形成することとしたので、反射領域での液晶の光路長と透過領域での着色層の突出による液晶の光路長との差を、該マルチギャップ層の厚さの違いにより解消することができ、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることが可能となる。 In addition, since the multi-gap layer disposed on the colored layer protrudes to the liquid crystal side in the reflective region, the thickness in the reflective region is formed to be thicker than the thickness in the transmissive region. The difference between the optical path length of the liquid crystal in the region and the optical path length of the liquid crystal due to the protrusion of the colored layer in the transmissive region can be eliminated by the difference in the thickness of the multi-gap layer. It is possible to prevent deterioration in display quality such as color unevenness caused by a difference in optical path length from the transmissive display, and to reduce the number of manufacturing processes.
本発明の他の観点に係る電子機器は、上述の液晶表示装置を備えたことを特徴とする。 An electronic apparatus according to another aspect of the present invention includes the above-described liquid crystal display device.
本発明は、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることができる液晶表示装置を備えるので、容易に電子機器の性能の信頼性を高めることができる。 The present invention includes a liquid crystal display device that has a simple structure and can prevent deterioration in display quality such as color unevenness caused by an optical path length difference between a reflective display and a transmissive display, and can reduce the number of manufacturing processes. Therefore, the reliability of the performance of the electronic device can be easily increased.
以下、本発明に実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下実施形態を説明するにあたっては、液晶表示装置の例として反射半透過型でニ端子型スイッチング素子であるTFD(薄膜ダイオード)を用いたアクティブマトリックス方式の液晶表示装置及びその液晶表示装置を用いた電子機器について説明するがこれに限られるものではない。また、以下の図面においては各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the embodiments, as an example of a liquid crystal display device, an active matrix type liquid crystal display device using TFD (thin film diode), which is a reflective transflective type and a two-terminal type switching element, and the liquid crystal display device are used. The electronic device used will be described but is not limited to this. Moreover, in the following drawings, in order to make each structure easy to understand, the actual structure and the scale and number of each structure are different.
(第1の実施形態) (First embodiment)
図1は本発明の第1の実施形態に係る液晶表示装置を構成する液晶パネルの概略斜視図、図2は液晶パネルの対向基板側の概略平面図及び図3は図2におけるA−A線及びB−B線の概略断面図である。 1 is a schematic perspective view of a liquid crystal panel constituting a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic plan view of a liquid crystal panel on the counter substrate side, and FIG. 3 is a line AA in FIG. And is a schematic sectional view taken along line BB.
(液晶表示装置の構成) (Configuration of liquid crystal display device)
液晶表示装置1は、例えば図1及び図3に示すように液晶パネル2と、当該液晶パネル2に光を射出する照明装置3及び該液晶パネル2に接続された図示しない回路基板やその他の付帯機構が必要に応じて付設される。
As shown in FIGS. 1 and 3, for example, the liquid crystal display device 1 includes a
液晶パネル2は、図1、図2及び図3に示すように相対向する一対の基板であるカラーフィルタ基板4及び対向基板5と、該カラーフィルタ基板4及び対向基板5がシール材(図示しない)を介して貼り合わされ両基板の間隙に封入された例えばSTN(Super Twisted Nematic)型の液晶である液晶層6とを有する。
As shown in FIGS. 1, 2 and 3, the
ここで、カラーフィルタ基板4は、ガラス板又は合成樹脂板等から形成された透明な液晶表示装置用の基板である第1基板7を其体とし、対向基板5はカラーフィルタ基板4に対向し、ガラス板又は合成樹脂板等から形成された透明な液晶表示装置用の基板である第2基板8を其体とする。また、第1基板7の液晶層6と反対側には位相差板9及び偏光板10が配置され、第2基板8の液晶層6と反対側には同様に位相差板11及び偏光板12が配置されている。
Here, the color filter substrate 4 includes a
カラーフィルタ基板4は、図1及び図3に示すように第1基板7の液晶層側の表面に下地層13が形成され、その下地層13の表面には後述する光の透過領域である開口部を有する反射膜14及び光を遮蔽する光遮蔽層15が形成されている。また、該開口部を含めた反射膜14の液晶層側には着色層16が光遮蔽層15で区切られる領域に形成されている。この結果、開口部では着色層16が直接下地層13の上に積層されることとなる。
As shown in FIGS. 1 and 3, the color filter substrate 4 has a
また、カラーフィルタ基板4は該着色層16及び光遮蔽層15の表面を覆うマルチギャップ層17が形成されており、更にマルチギャップ層17の液晶層側にはITO(インジウムスズ酸化物)等の透明導電体からなる走査電極18が形成されている。また、その走査電極18の液晶層側には、例えばポリイミド樹脂等からなる配向膜19が形成されている。
Further, the color filter substrate 4 is formed with a
下地層13は樹脂材料からなり、その表面には細かい凹凸が形成されている。これにより、透過光等を散乱することができ、表示された画面の像が見にくくなるという問題を解消できる。
The
更に反射膜14は、例えばアルミニウムや銀等の単体金属膜であって、下地層13の表面の凹凸により反射膜14の表面にも細かい凹凸が反映される。これにより、反射膜14によって反射された反射光も散乱させることができ、表示された画面への映り込み等により見難くなる等という問題を解消できる。
Further, the
反射膜14は、例えば図2及び図3に示すように一画素を構成する夫々の色のサブ画素の略中央に当該反射膜14により下地層13が覆われていない略矩形状の開口部20が形成されており、この開口部20の領域が透過領域Cとなる。また、図2及び図3に示すように該開口部20の周囲は反射膜14により外部から入射した光を反射させる反射領域Dが形成されている。これにより、後述するバックライト等の第1基板7から入射した光が透過領域Cから液晶層6へ透過できると共に、反射領域Dにより外部光を反射させることができる。
For example, as shown in FIGS. 2 and 3, the
なお、開口部20はこの例に限られるものではなく、例えば円孔或は複数更には略中央でなくてもよい。これにより、種々多様な液晶表示装置1で、最も良い表示品位を提供できる。さらに、開口された形状でなくとも、単に反射膜が設けられていない領域であれば良い。
In addition, the opening
また、着色層16は例えば顔料又は染料等の着色材を含むネガ型の感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィ法によって、透過領域C及びその透過領域の周りの反射領域Dを覆うように形成された原色フィルタであって例えばR(赤)16R、G(緑)16G、B(青)16B等の三色のいずれかで構成されている。 The colored layer 16 is formed so as to cover the transmissive region C and the reflective region D around the transmissive region by applying a negative photosensitive resin containing a coloring material such as a pigment or a dye, for example. The primary color filter is composed of any one of three colors such as R (red) 16R, G (green) 16G, and B (blue) 16B.
更に着色層16は、例えば図3に示すように光を透過させる透過領域Cでの着色層表面が反射領域Dでの着色層表面より液晶層側に突出し、該透過領域Cでの厚さEが反射領域Dでの厚さFより厚く(E>F)なるように形成されており、透過領域Cでの光路長と反射領域Dでの光路長とを略同様にできる。 Further, for example, as shown in FIG. 3, the colored layer 16 has a colored layer surface in a transmissive region C that transmits light protrudes from the colored layer surface in the reflective region D to the liquid crystal layer side, and has a thickness E in the transmissive region C. Is thicker than the thickness F in the reflection region D (E> F), and the optical path length in the transmission region C and the optical path length in the reflection region D can be made substantially the same.
また、着色層16の配列パターンとして図1及び図2ではストライプ配列を採用しているが、これに限られるものではなく例えば斜めモザイク配列、ペンタイル配列或はデジタル配列等であってもよい。 1 and 2 adopt a stripe arrangement as the arrangement pattern of the colored layer 16, but is not limited to this, and may be, for example, an oblique mosaic arrangement, a pen tile arrangement, a digital arrangement, or the like.
光遮蔽層15は、各サブ画素25間の境界領域の遮光を行なうためのもので、その境界領域に第1基板7の走査電極18の長手方向(図2のX方向)及びこれに交差する方向(図2のY方向)に延在される帯状に形成されており、例えば図3に示すように着色層16Bを一番下層に配置し、その上に着色層16R、着色層16Gの順等に形成する。
The
更にマルチギャップ層17は、例えば図1及び図3に示すように反射領域Dでの厚さGが透過領域Cでの厚さHより厚く(G>H)、反射領域Dでのマルチギャップ層表面が透過領域Cでのマルチギャップ層表面より液晶層側に突出するように形成されている。これにより、液晶層6は透過領域Cでの液晶層6の厚さが反射領域Dでの液晶層6の厚さより厚くなるというマルチギャップ構造を形成し、液晶層6での透過領域Cと反射領域Dとの光路長差等を是正することができる。
Further, for example, as shown in FIGS. 1 and 3, the
また、走査電極18は所定の方向(図2及び図3のX方向)に延在する帯状に形成され、複数の走査電極18が相互に並列してストライプ状に構成されている。更に配向膜19は、ポリイミド等の有機薄膜であり、液晶層6の配向状態を規定するためにラビング処理が施されている。
The
次に対向基板5は、例えば図1、図2及び図3に示すように第2基板8の液晶層側の表面に、マトリックス状に配列する複数の画素電極21と、各画素電極21の境界領域において上述した走査電極18と交差する方向(図2のY方向)に帯状に延びる複数のデータ線22と、該画素電極21及びデータ線22に電気的に接続されたTFD23とが配置され、その液晶層側には配向膜24が形成されている。
Next, for example, as shown in FIGS. 1, 2, and 3, the
ここで、画素電極21は例えばITO等の透明導電体により形成されており、該走査電極18と画素電極21とによって特定される領域がサブ画素25となる。
Here, the
また、TFD23は例えば図3に示すように第2基板8の表面に成膜された下地層26の上に形成されており、第1金属膜27と、該第1金属膜27の表面に形成された絶縁膜28及び該絶縁膜28の上に形成された第2金属膜29とを有する。
Further, the
第1金属膜27は例えば、厚さが100〜500nm程度のTa単体膜、Ta合金膜等によって形成されており、データ線22に電気的に接続されている。
The
また、絶縁膜28は例えば厚さが10〜35nm程度の酸化タンタル等によって形成されている。第2金属膜29は、例えばクロム(Cr)等といった金属膜によって50〜300nm程度の厚さに形成されており、画素電極21に電気的に接続されている。
The insulating
更に配向膜24は、第1基板7の配向膜19と同様有機薄膜であり、ラビング処理が施されている。
Further, the
次に、照明装置3は例えば図3に示すように図示しない光源、導光板30、二枚のプリズムシート31,32、拡散シート33、反射シート34等を有する。
Next, the illumination device 3 includes, for example, a light source (not shown), a
ここで、光源は例えばLED(Light Emitting Diode)等が用いられ、導光板30は光源から射出された光を拡散シート33の全体に照射させるものであり、プリズムシート31,32は導光板30から射出された光の輝度を向上させるものである。
Here, for example, an LED (Light Emitting Diode) is used as the light source, the
また、反射シート34は導光板30の第1基板7と反対側面から射出した光を導光板30に戻し光を有効利用できるようになっている。
Further, the
(液晶表示装置の製造方法) (Manufacturing method of liquid crystal display device)
次に、液晶表示装置1の製造方法を着色層及びマルチギャップ層を中心に説明する。 Next, a manufacturing method of the liquid crystal display device 1 will be described focusing on the colored layer and the multi-gap layer.
図4は液晶表示装置の製造工程のフローチャート図、図5はハーフトーンマスクの概略平面図、図6は着色層の製造工程を説明するための概略断面図、図7はマルチギャップ層の製造工程を説明するための概略断面図及び図8はポジ型感光性材料を用いる場合の製造工程説明図である。尚、説明の都合上図6、図7及び図8では下地層及び反射膜表面の凹凸は省略している。 4 is a flowchart of a manufacturing process of a liquid crystal display device, FIG. 5 is a schematic plan view of a halftone mask, FIG. 6 is a schematic sectional view for explaining a manufacturing process of a colored layer, and FIG. 7 is a manufacturing process of a multi-gap layer. FIG. 8 is a schematic cross-sectional view for explaining the above and FIG. 8 is an explanatory diagram of a manufacturing process when a positive photosensitive material is used. For convenience of explanation, the irregularities on the surface of the underlayer and the reflective film are omitted in FIGS. 6, 7, and 8.
まず、図4に示すように第1基板7上に均一に樹脂材料をスピンコート等により塗布し、フォトレジスト等により凹凸を有する下地層13を形成する(ST101)。
First, as shown in FIG. 4, a resin material is uniformly applied on the
そして、該下地層13に蒸着法やスパッタリング法等によってアルミニウム等を薄膜状に成膜し、これにフォトリソグラフィ法を用いてパターニングすることによって、例えば図2及び図3に示すように各サブ画素25の略中央に透過領域Cである矩形状の開口部20を設けると共に、その周囲に反射領域Dを有する反射膜14を図6(a)に示すように形成する(ST102)。
Then, a thin film of aluminum or the like is formed on the
また、形成された反射膜14の上に三色の内の例えば青色の第1感光性材料である感光性着色材が分散されたネガ型の感光性樹脂35をスピンコート等により図6(b)に示すように塗布する(ST103)。
Further, a negative
更に図5(a)に示すようにサブ画素25のストライプ配列に合わせた第1ハーフトーンマスク36の上から図6(c)に示すように露光し更に現像することにより、例えば図6(d)に示すように透過領域Cと反射領域Dとで厚さの異なる青色の着色層16Bが形成される(ST104)。なお、光遮蔽層15となる部分にも反射領域D上より更に厚さが薄い着色層16Bが形成される。この工程ST103及びST104を赤の着色層16R、緑の着色層16Gと同様に繰り返すことにより最終的に図6(e)に示すように三色の着色層16が夫々透過領域Cと反射領域Dとで厚さが異なって図3に示すように透過領域Cの表面が反射領域Dの表面より突出するように形成されることとなる。また、光遮蔽層15も三色の着色層が積層され光を遮蔽することができるようになる。
Further, as shown in FIG. 5 (a), exposure is performed as shown in FIG. 6 (c) from the
ここで、第1ハーフトーンマスク36は図5(a)に示すように縦方向(図中Y軸方向)に各色でハーフトーンマスクが形成されており、その一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば略0%の完全露光領域Iとその周囲にその半分程度の光の遮光量であるハーフ露光領域Jとが形成されている。また、その色のハーフトーンマスクの両隣は他の色の着色層部分となるので略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。
Here, as shown in FIG. 5A, the
これにより、図6(c)に示すように透過領域Cの感光性樹脂35の方が反射領域Dの感光性樹脂35より多く光を受けるのでネガ型である感光性樹脂35は現像後に図6(d)に示すように反射領域Dの方がより薄くなり、結局透過領域C上の表面の方が反射領域D上より突出することとなる。
As a result, the
次に、三回目のST104により図6(e)に示すように三色の着色層16及び光遮蔽層15が形成されているその上に、第2感光性材料であるネガ型の感光性樹脂37をスピンコート法等により図7(a)に示すように塗布する(ST105)。
Next, as shown in FIG. 6E by the third ST104, the three-color colored layer 16 and the
図5(b)に示すようにサブ画素25のストライプ配列に合わせた第2ハーフトーンマスク38の上から図7(b)に示すように露光し更に現像することにより、例えば図7(c)に示すように透過領域Cと反射領域Dとで厚さの異なるマルチギャップ層17が形成される(ST106)。
As shown in FIG. 5B, exposure and development are performed as shown in FIG. 7B from above the
ここで、第2ハーフトーンマスク38は図5(b)に示すように縦方向(図中Y軸方向)及び横方向(図中X軸方向)でハーフトーンマスクが形成されており、その一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば半分程度のハーフ露光領域Lとその周囲に略0%の遮光量の完全露光領域Mとが形成されている。尚、第1のハーフトーンマスク36と異なり略100%の遮光量となる完全遮光領域はサブ画素25に対応する領域では形成されていない。
Here, as shown in FIG. 5B, the
これにより、図7(b)に示すように反射領域Dでの感光性樹脂37の方が透過領域Cでの感光性樹脂37より多く光を受けるのでネガ型である感光性樹脂37は現像後に図7(c)に示すように透過領域Cの方がより薄くなり、結局反射領域Dの表面の方が透過領域Cの表面より突出することとなる。
As a result, as shown in FIG. 7B, the
また、ST106により形成された反射領域D上で突出しているマルチギャップ層17の上に走査電極18の材料であるITO等をスパッタリング法により被着し、フォトリソグラフィ法によってパターニングして図1、図2及び図3に示すようにX軸方向に所定の幅をもって走査電極18をストライプ状に形成する。更にその走査電極18を形成した上に配向膜19を形成し、ラビング処理を施して第1基板側の製造が終了する(ST107)。
Further, ITO or the like, which is a material of the
次に、第2基板8上にTFD23、データ線22及び画素電極21を形成する(ST108)。
Next, the
ここで、TFD23は第2基板8上にTa酸化物等を一様な厚さに成膜し下地層26を形成し、その上にTa等をスパッタリングにより一様な厚さで成膜して、フォトリソグラフィ法によりデータ線22と第1金属膜27とを同時に形成する。このとき、データ線22と第1金属膜27とはブリッジで繋がっている。
Here, the
また、上述の第1金属膜27に絶縁膜である酸化タンタル等を一様な厚さで成膜し絶縁膜28を形成して、更にその上にCrをスパッタリング法により一様な厚さで成膜し、フォトリソグラフィ法を利用して第2金属膜29を形成する。
Further, tantalum oxide or the like, which is an insulating film, is formed on the
更に画素電極21の形成予定領域の下地層26を除去した後、ITOをスパッタリング等によって一様な厚さで成膜し、更にフォトリソグラフィ法等によって一サブ画素の大きさに相当する所定形状の画素電極21を一部が第2金属膜29と重なるように形成する。これら一連の処理により、TFD23及び画素電極21が形成される(ST108)。また、その上に配向膜24を形成し、ラビング処理を施して第2基板側の製造が終了する(ST109)。
Further, after removing the
次に、第2基板側の配向膜24上にギャップ材(図示せず)をドライ散布等により散布し、シール材を介して上述の第1基板7と第2基板8とを貼り合わせる(ST110)。その後、シール材の開口部から液晶を注入し(ST111)、シール材の開口部を紫外線硬化性樹脂等の封止材によって封止する。更に位相差板9,11及び偏光板10,12を第1基板7及び第2基板8の各外面上に貼着等の方法により取り付ける(ST112)。
Next, a gap material (not shown) is sprayed on the
最後に必要な配線や照明装置3及びケース体等を取り付けて、液晶表示装置1が完成する(ST113)。 Finally, necessary wiring, illumination device 3, case body, and the like are attached, and liquid crystal display device 1 is completed (ST113).
以上で液晶表示装置1の製造方法の説明を終了する。 Above, description of the manufacturing method of the liquid crystal display device 1 is complete | finished.
尚、上述の説明では着色層16の形成にネガ型の感光性樹脂35を用い、マルチギャップ層17の形成に同じくネガ型の感光性樹脂37を用いたがこれに限られるものではなく、例えば着色層16の形成にポジ型の感光性樹脂39を用い、マルチギャップ層17の形成にポジ型の感光性樹脂40を用いてもよい。
In the above description, the negative
この場合、図8(a)に示すように着色層16の形成に用いる第1ハーフトーンマスク41は上述の第1ハーフトーンマスク36と異なり、一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば半分程度であるハーフ露光領域Jとその周囲に光の遮光量が略0%の完全露光領域Iとが形成されている。また、その色のハーフトーンマスクの両隣は他の色の着色層部分となるので略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。
In this case, as shown in FIG. 8A, the
これにより、図8(a)に示すように反射領域Dでの感光性樹脂39の方が透過領域Cでの感光性樹脂39より多く光を受けるので、ポジ型である感光性樹脂39は現像後に図6(d)に示すように反射領域Dの方がより薄くなり、結局透過領域Cの表面の方が反射領域Dより突出することとなる。この場合、完全露光領域Iでは通常の露光量では反射領域Dに着色層16が形成できないおそれがあるので、半分程度(例えば150mJ程度)に露光量を調整する必要がある。
As a result, as shown in FIG. 8A, the
また、図8(b)に示すようにマルチギャップ層17の形成に用いる第2ハーフトーンマスク42は上述の第2ハーフトーンマスク38と異なり、その一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば略0%の遮光量の完全露光領域Mとその周囲に半分程度のハーフ露光領域Lとが形成されている。尚、第1のハーフトーンマスク36と異なり略100%の遮光量となる完全遮光領域はサブ画素25に対応する領域では形成されていない。
Further, as shown in FIG. 8B, the
これにより、図8(b)に示すように透過領域Cでの感光性樹脂40の方が反射領域Dでの感光性樹脂40より多く光を受けるのでポジ型である感光性樹脂40は現像後に図7(c)に示すように透過領域Cの方がより薄くなり、結局反射領域Dの表面の方が透過領域Cの表面より突出することとなる。この場合、完全露光領域Mでは通常の露光量では反射領域Dにマルチギャップ層17が形成できないおそれがあるので、半分程度(例えば150mJ程度)に露光量を調整する必要がある。
As a result, the
(液晶表示装置の動作) (Operation of liquid crystal display)
次に、以上のように構成された液晶表示装置1の動作について光の進行を中心に簡単に説明する。 Next, the operation of the liquid crystal display device 1 configured as described above will be briefly described focusing on the progress of light.
まず、第1基板7に形成された走査電極18に走査信号を供給する一方、第2基板8に形成されたTFD23を介して所定の画素電極21にデータ線22からデータ信号が供給されると、所定の走査電極18と所定の画素電極21とが対向する領域において保持されている液晶のみ駆動できることとなる。
First, a scan signal is supplied to the
従って、例えば第2基板8及び画素電極21を透過して液晶層6に入射した外光は、該液晶層6によってサブ画素25毎に光変調され、更に厚さGのマルチギャップ層17を通過し厚さFの着色層16により着色されて反射領域Dの反射膜14により反射される。その後再び着色層16及びマルチギャップ層17を通過し、画素電極21及び第2基板8を通過して表示画面から射出されることとなる。
Therefore, for example, external light that has passed through the
これに対し、照明装置3から射出された光は第1基板7及び透過領域Cの反射膜14である開口部20を通過し、厚さEの着色層16及び厚さHのマルチギャップ層17を通過して液晶層6に入射した後、該液晶層6によってサブ画素25毎に光変調され、画素電極21及び第2基板8を通過して表示画面から射出される。
On the other hand, the light emitted from the illumination device 3 passes through the
ここで、着色層16を透過領域Cでは一回通過するだけであるが反射領域Dでは二回通過することによる光路長の違いを、反射領域Dでの厚さF(1μm)より透過領域Cでの厚さE(2μm)に厚くして是正することが可能となる。 Here, the difference in optical path length due to passing through the colored layer 16 only once in the transmissive region C but twice in the reflective region D is based on the thickness F (1 μm) in the reflective region D. The thickness E can be corrected by increasing the thickness E (2 μm).
また、液晶層6でも透過領域Cでは一回通過するだけであるが反射領域Dでは二回通過することによる光路長差を、マルチギャップ層17の透過領域Cでの厚さH(0.8μm)より反射領域Dでの厚さG(4.3μm)に厚くして液晶層6側に突出させ、是正することが可能となる。
Further, even in the
以上で液晶表示装置1の動作の説明を終了する。 Above, description of operation | movement of the liquid crystal display device 1 is complete | finished.
このように本実施形態によれば、成膜された第1感光性材料である着色層形成用の感光性樹脂35を、透過領域Cで液晶側に突出させることで、透過領域Cでの厚さが反射領域Dでの厚さより厚くなるように、第1ハーフトーンマスク36を用いて露光することとしたので、例えば透過領域Cでの感光性樹脂35には反射領域Dでの感光性樹脂35より多くの光を照射させることができる一方、反射領域Dでの感光性樹脂35にも必要な量の光を照射することができる。
As described above, according to this embodiment, the
これにより、従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で反射領域Dには透過領域Cと比較して厚さの薄い着色層16を形成し、透過領域Cには反射領域Dと比較して厚さが厚くかつ、液晶側に突出させた着色層16を形成でき、製造工程を少なくさせることが可能となる。 As a result, the colored layer 16 having a thickness smaller than that of the transmissive region C is formed in the reflective region D in a single coating, exposing and developing step, which conventionally required two coating, exposing and developing steps. In the transmissive region C, the colored layer 16 which is thicker than the reflective region D and protrudes toward the liquid crystal side can be formed, and the number of manufacturing steps can be reduced.
更に着色層16を透過領域Cで液晶側に突出させ、該透過領域Cでの厚さが反射領域Dでの厚さより厚くなるように形成したので、同一の色材で反射光と透過光との色再現性を同じとした液晶表示装置1を提供できる。 Further, since the colored layer 16 is projected to the liquid crystal side in the transmissive region C and formed so that the thickness in the transmissive region C is thicker than the thickness in the reflective region D, the reflected light and the transmitted light are made of the same color material. The liquid crystal display device 1 having the same color reproducibility can be provided.
また、該着色層16の上に配置されたマルチギャップ層17を反射領域Dで液晶側に突出させ、該反射領域Dでの厚さが透過領域Cでの厚さより厚くなるように形成することとしたので、反射領域Dでの液晶層6の光路長と透過領域Cでの着色層16の突出による液晶層6の光路長との差を、該マルチギャップ層17の厚さの違いにより解消することができ、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることが可能となる。
Further, the
更に反射領域Dでの厚さを透過領域Cでの厚さより厚くするために、反射領域Dで液晶側に突出するように、成膜された感光性樹脂37を第2ハーフトーンマスク38を用いて露光することとしたので、例えば反射領域Dでの感光性樹脂37には透過領域Cでの感光性樹脂37より多くの光を照射することができる一方、透過領域Cでの感光性樹脂37にも必要な量の光を照射することができる。これにより、従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で透過領域Cには反射領域Dと比較して厚さの薄いマルチギャップ層17を形成し、反射領域Dには透過領域Cと比較して厚さが厚く、かつ、液晶側に突出させたマルチギャップ層17を形成が可能となる。また、製造工程を少なくさせコストの低減が図れる。
Further, in order to make the thickness in the reflective region D thicker than the thickness in the transmissive region C, the
(変形例1) (Modification 1)
次に、本発明に係る液晶表示装置1の変形例1について説明する。本変形例1においては液晶表示装置の製造方法でマルチギャップ層17の形成で用いる第2ハーフトーンマスク38に着色層16の形成に用いた第1ハーフトーンマスク36と同じ形状のものを用いる点で第1の実施形態と異なるのでその点を中心に説明する。尚、第1の実施形態の構成要素と共通する構成要素については、第1の実施形態の構成要素と同一の符号を付しその説明を省略する。
Next, Modification 1 of the liquid crystal display device 1 according to the present invention will be described. In the first modification, the
図9は同じハーフトーンマスクを用いる場合のフローチャート図、図10はマルチギャップ層の製造工程を説明するための概略断面図及び図11はネガ、ポジの組み合せを逆にした場合の製造工程の説明図である。尚、説明の都合上図9、図10及び図11では下地層及び反射膜表面の凹凸は省略している。 9 is a flowchart when the same halftone mask is used, FIG. 10 is a schematic cross-sectional view for explaining the manufacturing process of the multi-gap layer, and FIG. 11 is a description of the manufacturing process when the combination of negative and positive is reversed. FIG. For convenience of explanation, the irregularities on the surface of the base layer and the reflective film are omitted in FIGS. 9, 10, and 11.
(液晶表示装置の構成) (Configuration of liquid crystal display device)
液晶表示装置の構成は第1の実施形態の液晶表示装置1の構成と同様であるのでその説明を省略する。 Since the configuration of the liquid crystal display device is the same as that of the liquid crystal display device 1 of the first embodiment, the description thereof is omitted.
(液晶表示装置の製造方法) (Manufacturing method of liquid crystal display device)
図9に示すようにST101からST104までとST107からST113までは第1の実施形態の製造方法と同様であるのでその説明を省略し、マルチギャップ層17用の感光性樹脂37の塗布及び露光、現像について中心的に説明する。
As ST101 to ST104 and ST107 to ST113 are the same as the manufacturing method of the first embodiment as shown in FIG. 9, the description thereof is omitted, and application and exposure of the
三回目のST104により図6(e)に示すように三色の着色層16及び光遮蔽層15が形成されているその上に、第2感光性材料であるポジ型の感光性樹脂40をスピンコート法等により図7(a)に示すように塗布する(ST201)。
As a result of the third ST104, as shown in FIG. 6E, the three-color colored layer 16 and the
そして、図5(a)に示すようにサブ画素25のストライプ配列に合わせた第1ハーフトーンマスク36(または、ハーフトーンマスク36と同じ形状のマスク)の上から図10に示すように露光する。この際、一色の第1ハーフトーンマスク36では他の二色分を空けて縦方向にしか複数同時に露光できないので、他の二色の第1ハーフトーンマスクで夫々露光する多重露光して縦方向及び横方向でハーフトーンマスクが形成されているのと同様に全面に渡って露光処理することができる。
Then, exposure is performed as shown in FIG. 10 from above the first halftone mask 36 (or a mask having the same shape as the halftone mask 36) matched to the stripe arrangement of the sub-pixels 25 as shown in FIG. . At this time, since the
更に現像することにより、例えば図7(c)に示すように透過領域Cと反射領域Dとで厚さの異なるマルチギャップ層17が形成される(ST202)。
By further developing, for example, as shown in FIG. 7C, a
ここで、第1ハーフトーンマスク36は図5(a)に示すように他の二色の分を空けて縦方向(図中Y軸方向)に複数ハーフトーンマスクが形成されており、その一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば略0%の完全露光領域Iとその周囲にその半分程度の光の遮光量であるハーフ露光領域Jとが形成されている。また、ハーフトーンマスクの両隣は略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。
Here, as shown in FIG. 5A, the
これにより、図10に示すように透過領域Cでの感光性樹脂40の方が反射領域Dでの感光性樹脂40より多く光を受けるのでポジ型である感光性樹脂39は現像後に図7(c)に示すように反射領域Dの方がより厚くなり、結局の反射領域Dでの面の方が透過領域Cより突出することとなる。
As a result, as shown in FIG. 10, the
以下の工程は第1の実施形態の製造方法のST107以下と同様であり、最後に必要な配線や照明装置3及びケース体等を取り付けて、液晶表示装置1が完成する(ST113)。 The following steps are the same as ST107 and subsequent steps in the manufacturing method of the first embodiment. Finally, necessary wiring, lighting device 3, case body, and the like are attached, and liquid crystal display device 1 is completed (ST113).
以上で液晶表示装置1の変形例1の製造方法の説明を終了する。 Above, description of the manufacturing method of the modification 1 of the liquid crystal display device 1 is complete | finished.
尚、上述の説明では着色層16の形成にネガ型の感光性樹脂35を用い、マルチギャップ層17の形成にポジ型の感光性樹脂40を用いたがこれに限られるものではなく、例えば着色層16の形成にポジ型の感光性樹脂39を用い、マルチギャップ層17の形成にネガ型の感光性樹脂37を用いてもよい。
In the above description, the negative
この場合、図11(a)に示すように着色層16の形成に用いる第1ハーフトーンマスク41は上述の第1ハーフトーンマスク36と異なり、一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば半分程度の光の遮光量であるハーフ露光領域Jとその周囲に略0%の完全露光領域Iとが形成されている。また、その色のハーフトーンマスクの両隣は他の色の着色層の部分となるので略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。
In this case, as shown in FIG. 11A, the
これにより、図11(a)に示すように反射領域Dでの感光性樹脂39の方が透過領域Cでの感光性樹脂39より多く光を受けるので、ポジ型である感光性樹脂39は現像後に図6(d)に示すように反射領域Dの方がより薄くなり、結局透過領域Cの表面の方が反射領域Dより突出することとなる。この場合、完全露光領域Iでは通常の露光量では反射領域Dに着色層16が形成できないおそれがあるので、半分程度(例えば150mJ程度)に露光量を調整する必要がある。
As a result, as shown in FIG. 11A, the
また、図11(b)に示すようにマルチギャップ層17の形成に用いる一色の第1ハーフトーンマスク41では他の二色分を空けて縦方向にしか複数同時に露光できないので、他の二色の第1ハーフトーンマスクで夫々露光する多重露光して縦方向及び横方向でハーフトーンマスクが形成されているのと同様に全面に渡って露光処理することができる。
In addition, as shown in FIG. 11B, the
更に現像することにより、例えば図7(c)に示すように透過領域Cと反射領域Dとで厚さの異なるマルチギャップ層17が形成され、結局の反射領域Dでの表面の方が透過領域Cでの表面より突出することとなる。
By further developing, for example, as shown in FIG. 7C, a
(液晶表示装置の動作) (Operation of liquid crystal display)
次に、以上のように構成された液晶表示装置1の変形例1の動作については第1の実施形態の液晶表示装置1の動作と同様であるのでその説明を省略する。 Next, since the operation of the modification 1 of the liquid crystal display device 1 configured as described above is the same as the operation of the liquid crystal display device 1 of the first embodiment, the description thereof is omitted.
このように本変形例1によれば着色層16の形成とマルチギャップ層17の形成とで同じ形状のハーフトーンマスクを用いることが可能となり製造コストの低減を更に図ることができる。
As described above, according to the first modification, a halftone mask having the same shape can be used for the formation of the colored layer 16 and the formation of the
(第2の実施形態) (Second Embodiment)
次に、本発明に係る液晶表示装置の第2の実施形態について説明する。本実施形態においてはマルチギャップ層が対向基板側に形成されている点が第1の実施形態と異なるのでその点を中心に説明する。尚、第1の実施形態の構成要素と共通する構成要素については、第1の実施形態の構成要素と同一の符号を付しその説明を省略する。 Next, a second embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention will be described. In the present embodiment, the point that the multi-gap layer is formed on the counter substrate side is different from that of the first embodiment. In addition, about the component which is common in the component of 1st Embodiment, the code | symbol same as the component of 1st Embodiment is attached | subjected, and the description is abbreviate | omitted.
図12は本発明の第2の実施形態に係る液晶表示装置101を構成する液晶パネルの部分概略断面図である。
FIG. 12 is a partial schematic cross-sectional view of a liquid crystal panel constituting a liquid
(液晶表示装置の構成) (Configuration of liquid crystal display device)
液晶表示装置101は、例えば液晶パネル102と、当該液晶パネル102に光を射出する照明装置3及び該液晶パネル102に接続された図示しない回路基板やその他の付帯機構が必要に応じて付設される。
The liquid
液晶パネル102は、図12に示すように相対向する基板であるカラーフィルタ基板104及び対向基板105と該カラーフィルタ基板104及び対向基板105がシール材(図示しない)を介して貼り合わされ、両基板の間隙に封入された例えばSTN(Super Twisted Nematic)型の液晶である液晶層6等を有する。
As shown in FIG. 12, the
ここで、カラーフィルタ基板104は、ガラス板又は合成樹脂板等から形成された透明な液晶表示装置用の基板である第1基板7を其体とし、対向基板105はカラーフィルタ基板104に対向し、ガラス板又は合成樹脂板等から形成された透明な液晶表示装置用の基板である第2基板8を其体とする。また、第1基板7の液晶層6と反対側には位相差板9及び偏光板10が配置され、第2基板8の液晶層6と反対側には同様に位相差板11及び偏光板12が配置されている。
Here, the
また、カラーフィルタ基板104は図12に示すように第1基板7の液晶層側の表面に下地層13が形成され、その下地層13の表面には光の透過領域である開口部を有する反射膜14及び光を遮蔽する光遮蔽層15が形成されている。また、該開口部を含めた反射膜14の液晶層側には着色層16が光遮蔽層15で区切られる領域に形成されている。この結果、開口部では着色層16が直接下地層13の上に積層されることとなる。
As shown in FIG. 12, the
更にカラーフィルタ基板104は、該着色層16の液晶層側にITO(インジウムスズ酸化物)等の透明導電体からなる走査電極118が形成されている。また、その走査電極118の液晶層側には、例えばポリイミド樹脂等からなる配向膜119が形成されている。
Further, the
次に対向基板105は、例えば図12に示すように第2基板8の液晶層側の表面にマルチギャップ層117と、その上に積層されたマトリックス状に配列する複数の画素電極121と、各画素電極121の境界領域において上述した走査電極118と交差する方向(図2のY方向)に帯状に延びる複数のデータ線22と、該画素電極121及びデータ線22に電気的に接続されたTFD23とが配置され、その液晶層側には配向膜124が形成されている。
Next, for example, as shown in FIG. 12, the
ここで、マルチギャップ層117は、例えば図12に示すように反射領域Dでの厚さNが透過領域Cでの厚さOより厚く(N>O)、反射領域Dでのマルチギャップ層表面が透過領域Cでのマルチギャップ層表面より液晶層側に突出するように形成されている。これにより、液晶層6は透過領域Cでの液晶層6の厚さが反射領域Dでの液晶層6の厚さより厚くなるというマルチギャップ構造を形成し、液晶層6での透過領域Cと反射領域Dとの光路長の違い等を是正することができる。
Here, for example, as shown in FIG. 12, the
また、画素電極121は例えばITO等の透明導電体により形成されており、該走査電極118と画素電極121とによって特定される領域がサブ画素25となる。
The
更に配向膜124は、第1基板7の配向膜119と同様有機薄膜であり、ラビング処理が施されている。
Further, the
(液晶表示装置の製造方法) (Manufacturing method of liquid crystal display device)
次に、液晶表示装置101の製造方法は第2基板にマルチギャップ層を形成する点が第1の実施形態と異なるのでマルチギャップ層の形成を中心に説明する。
Next, since the manufacturing method of the liquid
図13は液晶表示装置の製造工程のフローチャート図及び図14はマルチギャップ層の製造工程を説明するための概略断面図である。尚、説明の都合上図14では下地層及び反射膜表面の凹凸は省略している。 FIG. 13 is a flowchart of the manufacturing process of the liquid crystal display device, and FIG. 14 is a schematic cross-sectional view for explaining the manufacturing process of the multi-gap layer. For convenience of explanation, in FIG. 14, irregularities on the surface of the underlayer and the reflective film are omitted.
まず、第1基板7上に均一に樹脂材料をスピンコート等により塗布し、フォトレジスト等により凹凸を有する下地層13を形成する(ST101)。以下、ST104までは第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。
First, a resin material is uniformly applied on the
そして、三回目のST104により図6(e)に示すように三色の着色層16及び光遮蔽層15が形成されているその上に、走査電極118の材料であるITO等をスパッタリング法により被着し、フォトリソグラフィ法によってパターニングして図12に示すようにX軸方向に所定の幅をもって走査電極118をストライプ状に形成する。更にその走査電極118を形成した上に配向膜119を形成し、ラビング処理を施して第1基板側の製造が終了する(ST301)。
Then, at the third ST104, as shown in FIG. 6 (e), the three colored layers 16 and the
次に、第2基板8上にTFD23及びデータ線22を形成し(ST302)、その上に画素電極121の形成予定領域等を含め第2感光性材料であるネガ型の感光性樹脂37をスピンコート法等により図14(a)に示すように塗布する(ST303)。
Next, the
そして、図5(b)に示すようにサブ画素25のストライプ配列に合わせた第2ハーフトーンマスク38の上から図14(b)に示すように露光し更に現像することにより、例えば図14(c)に示すように透過領域Cと反射領域Dとで厚さの異なるマルチギャップ層117が形成される(ST304)。尚、図14中では省略してあるがマルチギャップ層117には画素電極121と第2金属膜29とを電気的に接続するようにスルーホールが形成される。
Then, as shown in FIG. 5B, the
また、ST304により形成されたマルチギャップ層117の上にITOをスパッタリング等によって一様な厚さで成膜し、更にフォトリソグラフィ法等によって一サブ画素の大きさに相当する所定形状の画素電極121を一部が第2金属膜29と電気的に接続するように形成する。また、その上に配向膜124を形成し、ラビング処理を施して第2基板側の製造が終了する(ST305)。
In addition, ITO is formed in a uniform thickness on the
以下、ST110から最後に必要な配線や照明装置3及びケース体等を取り付けて、液晶表示装置101が完成するST113まで第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。
Since ST110 is the same as in the first embodiment from ST110 to ST113 in which the last necessary wiring, illumination device 3, case body, and the like are attached and liquid
以上で液晶表示装置101の製造方法の説明を終了する。
Above, description of the manufacturing method of the liquid
尚、上述の説明では着色層16の形成にネガ型の感光性樹脂35を用い、マルチギャップ層117の形成に同じくネガ型の感光性樹脂37を用いたがこれに限られるものではなく、例えば着色層16の形成にポジ型の感光性樹脂39を用い、マルチギャップ層117の形成にポジ型の感光性樹脂40を用いてもよいことは、第1の実施形態と同様である。
In the above description, the negative
この場合、着色層16の形成に用いる第1ハーフトーンマスク41は上述の第1ハーフトーンマスク36と異なり、一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば半分程度の光の遮光量であるハーフ露光領域Jとその周囲に略0%の完全露光領域Iとが形成されている。また、その色のハーフトーンマスクの両隣は他の色の着色層の部分となるので略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。
In this case, the
これにより、反射領域Dでの感光性樹脂39の方が透過領域Cでの感光性樹脂39より多く光を受けるので、ポジ型である感光性樹脂39は現像後に反射領域Dの方がより薄くなり、結局透過領域Cの表面の方が反射領域Dの表面より突出することとなる。この場合、完全露光領域Iでは通常の露光量では反射領域D上に着色層16が形成できないおそれがあるので、半分程度(例えば150mJ程度)に露光量を調整する必要がある。
As a result, the
また、マルチギャップ層117の形成に用いる第2ハーフトーンマスク42は上述の第2ハーフトーンマスク38と異なり、その一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば略0%の遮光量の完全露光領域Mとその周囲に半分程度のハーフ露光領域Lとが形成されている。尚、第1のハーフトーンマスク36と異なり略100%の遮光量となる完全遮光領域はサブ画素25に対応する領域では形成されていない。
Also, the
これにより、透過領域Cでの感光性樹脂40の方が反射領域Dでの感光性樹脂40より多く光を受けるのでポジ型である感光性樹脂40は現像後に透過領域Cの方がより薄くなり、結局反射領域Dの表面の方が透過領域Cの表面より突出することとなる。この場合、完全露光領域Mでは通常の露光量では透過領域Cにマルチギャップ層117が形成できないおそれがあるので、半分程度(例えば150mJ程度)に露光量を調整する必要がある。
As a result, the
(液晶表示装置の動作) (Operation of liquid crystal display)
次に、以上のように構成された液晶表示装置101の動作について光の進行を中心に簡単に説明する。
Next, the operation of the liquid
まず、第1基板7に形成された走査電極118に走査信号を供給する一方、第2基板8に形成されたTFD23を介して所定の画素電極121にデータ線22からデータ信号が供給されると、所定の走査電極118と所定の画素電極121とが対向する領域において保持されている液晶のみ駆動できることとなる。
First, a scan signal is supplied to the
従って、例えば第2基板8、厚さNのマルチギャップ層117及び画素電極121を透過して液晶層6に入射した外光は、該液晶層6によってサブ画素25毎に光変調され、更に厚さFの着色層16により着色されて反射領域Dの反射膜14により反射される。その後再び着色層16、液晶層6及び画素電極121を通過し、マルチギャップ層117及び第2基板8を通過して表示画面から射出されることとなる。
Therefore, for example, external light that has passed through the
これに対し、照明装置3から射出された光は第1基板7及び透過領域Cの開口部20を通過し、厚さEの着色層16を通過して液晶層6に入射した後、該液晶層6によってサブ画素25毎に光変調され、画素電極121、厚さOのマルチギャップ層117及び第2基板8を通過して表示画面から射出される。
On the other hand, the light emitted from the illumination device 3 passes through the
ここで、着色層16を透過領域C上では一回通過するだけであるが反射領域D上では二回通過することによる光路長の差を、反射領域Dでの厚さF(1μm)より透過領域Cでの厚さE(2μm)に厚くして是正することが可能となる。 Here, the difference in optical path length due to passing through the colored layer 16 only once on the transmission region C but twice on the reflection region D is transmitted from the thickness F (1 μm) in the reflection region D. It is possible to correct by increasing the thickness E (2 μm) in the region C.
また、液晶層6でも透過領域C上では一回通過するだけであるが反射領域D上では二回通過することによる光路長の差を、マルチギャップ層117の透過領域Cでの厚さO(0.8μm)より反射領域Dでの厚さN(4.3μm)に厚くして液晶層6側に突出させ、是正することが可能となる。
In addition, the
以上で液晶表示装置1の動作の説明を終了する。 Above, description of operation | movement of the liquid crystal display device 1 is complete | finished.
このように本実施形態によれば、着色層16を透過領域Cで液晶側に突出させ、該透過領域Cでの厚さが反射領域Dでの厚さより厚くなるように形成したので、同一の色材で反射光と透過光との色再現性を同じとした液晶表示装置101を提供できる。
As described above, according to the present embodiment, the colored layer 16 is protruded toward the liquid crystal side in the transmission region C, and the thickness in the transmission region C is larger than the thickness in the reflection region D. The liquid
また、第2基板8に配置されたマルチギャップ層117を反射領域Dで液晶側に突出させ、該反射領域Dでの厚さが透過領域Cでの厚さより厚くなるように形成することとしたので、反射領域Dでの液晶層6の光路長と透過領域Cでの着色層16の突出による液晶層6の光路長との差を、該マルチギャップ層117の厚さの違いにより解消することができ、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくすることが可能となる。
Further, the
更に反射領域Dでの厚さを透過領域Cでの厚さより厚くするために、反射領域Dで液晶側に突出するように、成膜された感光性樹脂37を第2ハーフトーンマスク38を用いて露光することとしたので、例えば反射領域Dでの感光性樹脂37には透過領域Cでの感光性樹脂37より多くの光を照射することができる一方、透過領域Cでの感光性樹脂37にも必要な量の光を照射することができる。これにより、従来二回の塗布、露光及び現像工程が必要であったものを一回の塗布、露光及び現像工程で透過領域Cには反射領域Dと比較して厚さの薄いマルチギャップ層117を形成し、反射領域Dには透過領域Cと比較して厚さが厚く、かつ、液晶側に突出させたマルチギャップ層117の形成が可能となる。また、製造工程を少なくさせコストの低減が図れる他、多種多様な液晶表示装置に対応できることとなる。
Further, in order to make the thickness in the reflective region D thicker than the thickness in the transmissive region C, the
(第3の実施形態・電子機器) (Third Embodiment / Electronic Device)
次に、上述した液晶表示装置1,101を備えた本発明の第3の実施形態に係る電子機器について説明する。尚、第1の実施形態、変形例1の構成要素と共通する構成要素については、第1の実施形態、変形例1の構成要素と同一の符号を付しその説明を省略する。
Next, an electronic apparatus according to the third embodiment of the present invention including the liquid
図15は本発明の第3の実施形態に係る電子機器の表示制御系の全体構成を示す概略構成図である。 FIG. 15: is a schematic block diagram which shows the whole structure of the display control system of the electronic device which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.
電子機器300は、表示制御系として例えば図15に示すように液晶パネル2及び表示制御回路390などを備え、その表示制御回路390は表示情報出力源391、表示情報処理回路392、電源回路393及びタイミングジェネレータ394などを有する。
The
また、液晶パネル2には表示領域Sを駆動する駆動回路361を有する。
Further, the
表示情報出力源391は、ROM(Read Only Memory)やRAM(Random Access Memory)などからなるメモリと、磁気記録ディスクや光記録ディスクなどからなるストレージユニットと、デジタル画像信号を同調出力する同調回路とを備えている。更に表示情報出力源391は、タイミングジェネレータ394によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号などの形で表示情報を表示情報処理回路392に供給するように構成されている。
The display
また、表示情報処理回路392はシリアル−パラレル変換回路、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路などの周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像情報をクロック信号CLKと共に駆動回路361へ供給する。また、電源回路393は、上述した各構成要素に夫々所定の電圧を供給する。
The display
このように本実施形態によれば、着色層16を透過領域Cで液晶側に突出させ、該透過領域Cでの厚さが反射領域Dでの厚さより厚くなるように形成したので、同一の色材で反射光と透過光との色再現性を同じとした液晶表示装置1を備えた電子機器300を提供できる。
As described above, according to the present embodiment, the colored layer 16 is protruded toward the liquid crystal side in the transmission region C, and the thickness in the transmission region C is larger than the thickness in the reflection region D. It is possible to provide the
また、該着色層16の上に配置されたマルチギャップ層17を反射領域Dで液晶側に突出させ、該反射領域Dでの厚さが透過領域Cでの厚さより厚くなるように形成することとしたので、反射領域Dでの液晶層6の光路長と透過領域Cでの着色層16の突出による液晶層6の光路長との差を、該マルチギャップ層17の厚さの違いにより解消することができ、簡単な構造で反射型表示と透過型表示との光路長差等から生じる色むら等の表示品位の低下を防止すると共に、製造工程をより少なくした電子機器を提供できる。
Further, the
特に最近の電子機器にあっては、低価格且つ、高品質な表示機能を発揮できることが求められており、低コストで高い表示品位を提供する本発明の意義は大きいといえる。 In particular, recent electronic devices are required to exhibit a low-cost and high-quality display function, and it can be said that the present invention that provides a high display quality at a low cost is significant.
具体的な電子機器としては、携帯電話機やパーソナルコンピュータなどの他に液晶表示装置が搭載されたタッチパネル、プロジェクタ、液晶テレビやビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、上述した例えば液晶表示装置1,101が適用可能なのは言うまでもない。
Specific electronic equipment includes touch panels, projectors, liquid crystal televisions, viewfinder type, monitor direct view type video tape recorders, car navigation systems, pagers, electronic notebooks that are equipped with liquid crystal display devices in addition to mobile phones and personal computers. Calculators, word processors, workstations, videophones, POS terminals and the like. And it cannot be overemphasized that the liquid
なお、本発明の電気光学装置及び電子機器は、上述した例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加え得ることは勿論である。 Note that the electro-optical device and the electronic apparatus of the present invention are not limited to the above-described examples, and it is needless to say that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
以上、好ましい実施形態を上げて本発明を説明したが、本発明は上述したいずれの実施形態にも限定されず、本発明の技術思想の範囲内で適宜変更して実施できる。また、本発明の技術思想の範囲内で各実施形態及び変形例を適宜組み合わせて実施できる。 Although the present invention has been described above with the preferred embodiment, the present invention is not limited to any of the above-described embodiments, and can be implemented with appropriate modifications within the scope of the technical idea of the present invention. In addition, the embodiments and modifications can be combined as appropriate within the scope of the technical idea of the present invention.
例えば、上述の実施形態や変形例では薄膜ダイオード素子アクティブマトリクス型の液晶表示装置について説明したがこれに限られるものではなく、例えば薄膜トランジスタ素子アクティブマトリクス型、パッシブマトリクス型の液晶表示装置であってもよい。これにより、多種多様な液晶表示装置についても、簡単な構造で製造コストを低減しながら表示品位をより高いものとすることができる。 For example, in the above-described embodiments and modifications, the thin film diode element active matrix type liquid crystal display device has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the thin film transistor element active matrix type and passive matrix type liquid crystal display devices may be used. Good. As a result, even for a wide variety of liquid crystal display devices, the display quality can be improved while reducing the manufacturing cost with a simple structure.
また、上述の第2の実施形態では着色層16とマルチギャップ層117とを夫々別々のハーフトーンマスクを用いて露光することとして説明したがこれに限られるものではなく、第1の実施形態の変形例1と同様、着色層16とマルチギャップ層117とを同じ形のハーフトーンマスク、例えば第1ハーフトーンマスク36で露光してもよい。
In the second embodiment described above, the coloring layer 16 and the
この場合、例えば着色層16の形成にネガ型の感光性樹脂35を用い、マルチギャップ層117の形成にポジ型の感光性樹脂40を用いてもよいし、また、着色層16の形成にポジ型の感光性樹脂39を用い、マルチギャップ層117の形成にネガ型の感光性樹脂37を用いてもよい。
In this case, for example, the negative
尚、着色層16の形成にポジ型の感光性樹脂39を用い、マルチギャップ層117の形成にネガ型の感光性樹脂37を用いる場合は、着色層16(マルチギャップ層117)の形成に用いる第1ハーフトーンマスク41は、一つのサブ画素25に対応する領域では、略中央に略矩形状の光の遮光量が例えば半分程度の光の遮光量であるハーフ露光領域Jとその周囲に略0%の完全露光領域Iとが形成されている。また、その色のハーフトーンマスクの両隣は他の色の着色層部分となるので略100%の遮光量となる完全遮光領域Kが形成されている。
When the positive
これにより、製造コストの低減を更に図ることができると共に、第1感光性材料及び第2感光性材料を同じ形状のマスクで露光するので位置調整が正確であり、かつ、容易にできる。 As a result, the manufacturing cost can be further reduced, and the first photosensitive material and the second photosensitive material are exposed with the same shape mask, so that the position adjustment is accurate and easy.
また、遮光領域が異なる複数種類のマスクを用いて露光し、現像する多重露光により、着色層及びマルチギャップ層を形成しても良い。この場合、従来二回の塗布および現像工程が必要であったものを、一回の塗布および現像工程で、着色層又はマルチギャップ層を形成できる。 Further, the colored layer and the multi-gap layer may be formed by multiple exposure in which exposure is performed using a plurality of types of masks having different light-shielding regions and development. In this case, a colored layer or a multi-gap layer can be formed in a single coating and developing step, which conventionally required two coating and developing steps.
1,101 液晶表示装置、 2,102 液晶パネル、 3 照明装置、 4,104 カラーフィルタ基板、 5,105 対向基板、 6 液晶層、 7 第1基板、 8 第2基板、 9,11 位相差板、 10,12 偏光板、 13,26 下地層、 14 反射膜、 15 光遮蔽層、 16 着色層、 17,117 マルチギャップ層、 18,118 走査電極、 19,24,119,124 配向膜、 20 開口部、 21,121 画素電極、 22 データ線、 23 TFD、 25 サブ画素、 27 第1金属膜、 28 絶縁膜、 29 第2金属膜、 30 導光板、 31,32 プリズムシート、 33 拡散シート、 34 反射シート、 35,37,39,40 感光性樹脂、 36,41 第1ハーフトーンマスク、 38,42 第2ハーフトーンマスク、 300 電子機器、 361 駆動回路、 390 表示制御回路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,101 Liquid crystal display device, 2,102 Liquid crystal panel, 3 Illumination device, 4,104 Color filter substrate, 5,105 Opposite substrate, 6 Liquid crystal layer, 7 First substrate, 8 Second substrate, 9,11
Claims (11)
前記一対の基板のいずれか一方の基板で、前記反射領域及び前記透過領域に、着色された第1感光性材料を成膜する工程と、
前記成膜された第1感光性材料を、前記透過領域で前記液晶側に突出させることで、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、第1ハーフトーンマスクを用いて露光する工程と、
前記露光された第1感光性材料を現像し、着色層を形成する工程と
を具備することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 A plurality of pixels, a transmissive region that transmits light provided in the pixel, a reflective region that reflects light, a pair of substrates that hold liquid crystal in between and face each other, and one of the pair of substrates In a method for manufacturing a liquid crystal display device comprising a reflective film formed on a substrate,
Forming a colored first photosensitive material on the reflective region and the transmissive region on any one of the pair of substrates;
The first halftone mask is formed so that the thickness of the first photosensitive material thus formed is projected to the liquid crystal side in the transmissive region so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region. Exposing with
And a step of developing the exposed first photosensitive material to form a colored layer.
前記反射領域での厚さを前記透過領域での厚さより厚くするために、前記反射領域で前記液晶側に突出するように、前記成膜された第2感光性材料を第2ハーフトーンマスクを用いて露光する工程と、
前記露光された第2感光性材料を現像し、マルチギャップ層を形成する工程とを更に具備することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。 Depositing a second photosensitive material on one of the pair of substrates;
In order to make the thickness in the reflective region thicker than the thickness in the transmissive region, the second photosensitive material thus formed is projected to the liquid crystal side in the reflective region using a second halftone mask. Using and exposing,
The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, further comprising: developing the exposed second photosensitive material to form a multi-gap layer.
前記第1感光性材料を成膜する工程においては、前記第1感光性材料を前記反射膜上及び前記反射膜が設けられていない領域内に成膜し、
前記第2感光性材料を成膜する工程においては、前記着色層上に前記第2感光性材料を成膜することを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置の製造方法。 The transmission region is a region where the reflective film is not provided,
In the step of depositing the first photosensitive material, the first photosensitive material is deposited on the reflective film and in a region where the reflective film is not provided,
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 2, wherein in the step of forming the second photosensitive material, the second photosensitive material is formed on the colored layer.
前記第1ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、
前記第2ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。 The first photosensitive material and the second photosensitive material are negative materials, respectively.
The first halftone mask is formed such that a region corresponding to the reflective region has a larger light shielding amount than a region corresponding to the transmissive region,
The said 2nd halftone mask is formed so that the area | region corresponding to the said transmissive area | region may become larger in the light-shielding amount than the area | region corresponding to the said reflective area | region. A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記第1ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、
前記第2ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。 The first photosensitive material and the second photosensitive material are positive materials, respectively.
The first halftone mask is formed such that a region corresponding to the transmissive region has a larger light shielding amount than a region corresponding to the reflective region,
The said 2nd halftone mask is formed so that the area | region corresponding to the said reflection area may become larger in the amount of light shielding than the area | region corresponding to the said transmissive area | region. A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記第1ハーフトーンマスクは、前記反射領域に対応する領域が前記透過領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、
前記第2ハーフトーンマスクは、該第1ハーフトーンマスクと同じ形状であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。 The first photosensitive material and the second photosensitive material are a negative material and a positive material, respectively.
The first halftone mask is formed such that a region corresponding to the reflective region has a larger light shielding amount than a region corresponding to the transmissive region,
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 2, wherein the second halftone mask has the same shape as the first halftone mask.
前記第1ハーフトーンマスクは、前記透過領域に対応する領域が前記反射領域に対応する領域より遮光量が大きくなるように形成されており、
前記第2ハーフトーンマスクは、前記第1ハーフトーンマスクと同じ形状であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。 The first photosensitive material and the second photosensitive material are a positive material and a negative material, respectively.
The first halftone mask is formed such that a region corresponding to the transmissive region has a larger light shielding amount than a region corresponding to the reflective region,
4. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 2, wherein the second halftone mask has the same shape as the first halftone mask. 5.
前記一対の基板のいずれか一方の基板で、前記反射領域及び前記透過領域に、着色された第1感光性材料を成膜する工程と、
前記透過領域で前記液晶側に突出させることで、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、前記成膜された第1感光性材料を複数種類のマスクを用いて多重露光する工程と、
前記露光された第1感光性材料を現像し、着色層を形成する工程とを備え、
前記複数種類のマスクは、前記透過領域に対応する領域とその他の領域に対応する領域とで、遮光量が異なるように形成されているマスクと、前記透過領域及び前記反射領域に対応する領域とその他の領域に対応する領域とで、遮光量が異なるように形成されているマスクとを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 A plurality of pixels, a transmissive region that transmits light provided in the pixel and a reflective region that reflects light, a pair of substrates that hold liquid crystal in between and face each other, and one of the pair of substrates In a method for manufacturing a liquid crystal display device comprising a reflective film formed on a substrate,
Forming a colored first photosensitive material on the reflective region and the transmissive region on any one of the pair of substrates;
A plurality of types of masks are used to form the first photosensitive material so that the thickness in the transmissive region is larger than the thickness in the reflective region by projecting toward the liquid crystal in the transmissive region. Multiple exposure process,
Developing the exposed first photosensitive material to form a colored layer,
The plurality of types of masks include a mask formed so that a light shielding amount is different between a region corresponding to the transmissive region and a region corresponding to another region, and a region corresponding to the transmissive region and the reflective region. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a mask formed to have a different light shielding amount in a region corresponding to another region.
液晶を間に保持し、相対向する一対の基板と、
前記画素内に設けられた、光を透過させる透過領域及び光を反射させる反射領域と、
前記一対の基板のいずれか一方の基板において、前記反射領域に設けられた反射膜と、
前記一対の基板のいずれか一方の基板において、前記反射領域及び前記透過領域に設けられ、前記透過領域での厚さが前記反射領域での厚さより厚くなるように、前記透過領域で前記液晶側に突出して形成された着色層と、
前記着色層上の前記液晶側において、前記反射領域及び前記透過領域に設けられ、前記反射領域での厚さが前記透過領域での厚さより厚くなるように、前記反射領域で前記液晶側に突出して形成されたマルチギャップ層とを備えることを特徴とする液晶表示装置。 In a liquid crystal display device having a plurality of pixels,
A pair of substrates holding the liquid crystal in between and facing each other;
A transmissive region that transmits light and a reflective region that reflects light provided in the pixel;
In any one of the pair of substrates, a reflective film provided in the reflective region;
One of the pair of substrates is provided in the reflective region and the transmissive region, and the liquid crystal side in the transmissive region is thicker than the thickness in the reflective region. A colored layer formed so as to protrude from
Provided in the reflective region and the transmissive region on the liquid crystal side on the colored layer, and protrudes toward the liquid crystal side in the reflective region so that the thickness in the reflective region is larger than the thickness in the transmissive region. And a multi-gap layer formed in the same manner.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004258008A JP2006072175A (en) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | Liquid crystal display device, method for manufacturing liquid crystal display device, and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004258008A JP2006072175A (en) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | Liquid crystal display device, method for manufacturing liquid crystal display device, and electronic apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006072175A true JP2006072175A (en) | 2006-03-16 |
Family
ID=36152847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004258008A Withdrawn JP2006072175A (en) | 2004-09-06 | 2004-09-06 | Liquid crystal display device, method for manufacturing liquid crystal display device, and electronic apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2006072175A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008216723A (en) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Epson Imaging Devices Corp | Liquid crystal device and electronic equipment |
| JP2008242001A (en) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Dainippon Printing Co Ltd | Optical member having phase difference control function, transflective liquid crystal device, and method of manufacturing optical member having phase difference control function |
| JP2009098499A (en) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Dainippon Printing Co Ltd | Color filter and manufacturing method thereof |
| JP2009109804A (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Dainippon Printing Co Ltd | Color filter and manufacturing method thereof |
| US8599343B2 (en) | 2010-03-09 | 2013-12-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
-
2004
- 2004-09-06 JP JP2004258008A patent/JP2006072175A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008216723A (en) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Epson Imaging Devices Corp | Liquid crystal device and electronic equipment |
| JP2008242001A (en) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Dainippon Printing Co Ltd | Optical member having phase difference control function, transflective liquid crystal device, and method of manufacturing optical member having phase difference control function |
| JP2009098499A (en) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Dainippon Printing Co Ltd | Color filter and manufacturing method thereof |
| JP2009109804A (en) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Dainippon Printing Co Ltd | Color filter and manufacturing method thereof |
| US8599343B2 (en) | 2010-03-09 | 2013-12-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4900072B2 (en) | Liquid crystal device and electronic device | |
| JP3675420B2 (en) | Liquid crystal display device and electronic device | |
| JP2004045757A (en) | Method for manufacturing color filter, electro-optical device, and electronic apparatus | |
| JP2007079355A (en) | Liquid crystal device and electronic equipment | |
| JP4241265B2 (en) | Electro-optical device substrate, electro-optical device substrate manufacturing method, electro-optical device, electro-optical device manufacturing method, and electronic apparatus | |
| JP2006220711A (en) | Liquid crystal device, substrate for liquid crystal device and electronic device | |
| JP3695415B2 (en) | Electro-optical panel substrate, manufacturing method thereof, electro-optical panel, and manufacturing method thereof | |
| JP2006072175A (en) | Liquid crystal display device, method for manufacturing liquid crystal display device, and electronic apparatus | |
| KR100590119B1 (en) | Electrooptic device and liquid crystal display device | |
| JP2007133294A (en) | Liquid crystal device and electronic apparatus | |
| JP4661148B2 (en) | Electro-optical device substrate, electro-optical device, electro-optical device manufacturing method, and electronic apparatus | |
| JP4360068B2 (en) | Electro-optical device, manufacturing method thereof, and electronic apparatus | |
| JP4321004B2 (en) | Color filter substrate manufacturing method, electro-optical panel, and electronic apparatus | |
| JP4127272B2 (en) | Electro-optical device substrate, electro-optical device, and electronic apparatus | |
| JP4207535B2 (en) | Electro-optical device substrate, electro-optical device, method for manufacturing electro-optical device substrate, method for manufacturing electro-optical device, and electronic apparatus | |
| JP4433738B2 (en) | Electro-optical device substrate, electro-optical device, and electronic apparatus | |
| JP2002229048A (en) | Liquid crystal display device and method of manufacturing the same | |
| JP4375172B2 (en) | Electro-optical device and electronic apparatus | |
| JP2006234999A (en) | Electrooptical device and electronic equipment | |
| JP2004252108A (en) | Electro-optical device substrate, method for manufacturing electro-optical device substrate, electro-optical device, and electronic apparatus | |
| JP2003302518A (en) | Electro-optical panel substrate and method of manufacturing the same, electro-optical panel, and electronic device | |
| JP2007086411A (en) | Liquid crystal display device, method of manufacturing liquid crystal display device and electronic equipment | |
| JP2007279101A (en) | Method for manufacturing liquid crystal device, liquid crystal device, and electronic apparatus | |
| JP2003323124A (en) | Electro-optical panel substrate and method of manufacturing the same, electro-optical panel, and electronic device | |
| JP2007183323A (en) | Liquid crystal display device and electronic equipment |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070403 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070828 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20080606 |