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JP2005345375A - 電磁誘導式absエンコーダ - Google Patents

電磁誘導式absエンコーダ Download PDF

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賢一 中山
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Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Abstract

【課題】絶対位置を算出するための時間を短縮する。
【解決手段】波長が異なる複数のインクリメンタルスケール13A、13B、13Cを備えた電磁誘導式ABSエンコーダにおいて、電源投入時に全てのスケール13A、13B、13Cを検出し、絶対位置を求めてカウンタ42にプリセットし、それ以降は、一部のスケール(13A)のみを検出し、前記カウンタのプリセット値に対するインクリメンタル計数を行なう。
【選択図】図5

Description

本発明は、波長が異なる複数のインクリメンタルスケールを備えた電磁誘導式ABSエンコーダに係り、特に、絶対位置を迅速に検出可能な電磁誘導式ABSエンコーダに関する。
図1に例示する如く、メインスケール12の長手方向に多数配置したコイル14と、インデックススケール16に配置した送信コイル18及び受信コイル19でなるエンコーダパターン10の電磁誘導により、メインスケール12とインデックススケール16の相対位置変化を検出するようにした電磁誘導式エンコーダが知られている(特許文献1、2参照)。図において、20は駆動回路、30は受信回路である。
このような電磁誘導式エンコーダにおいて、図2に示す如く、前記コイル14を、互いに波長を変えて複数列、例えば波長が一番短い微細トラックを有するスケール(微細スケールと称する)13A、波長が一番長い粗トラックを有するスケール(粗スケール)13C、波長が中間の中間トラックを有するスケール(中間スケールと称する)13Bで構成し、メインスケール12とインデックススケール16の変位の絶対値(ABS位置とも称する)を求めるようにした電磁誘導式ABSエンコーダも開発されている。
このような電磁誘導式ABSエンコーダにおいては、図3に示す如く、位置データ要求信号を受信後、波長の異なった2つ以上の全インクリメンタルスケール13A、13B、13Cの位置を毎回検出し、絶対位置を合成(ABS合成とも称する)していた。
特開2000−180209号公報 特開2002−213906号公報 特開昭63−71611号公報
このため、絶対位置を算出するための時間が非常に長くかかり、信号処理の高速化を図ることができなかった。
なお、本願に類似するものとして、出願人は特許文献3において、インクリメンタルスケールとアブソリュートスケールを備えた測長装置において、電源投入時にアブソリュートスケールを用いて絶対位置を検出し、後はインクリメンタルスケールによる計数値を増減することを提案しているが、通常のインクリメンタルスケールの他に、絶対位置検出用のアブソリュートスケールが必要であった。
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、波長が異なる複数のインクリメンタルスケールを備えた電磁誘導式ABSエンコーダにおいて、絶対位置を算出するための時間を短縮することを課題とする。
本発明は、波長が異なる複数のインクリメンタルスケールを備えた電磁誘導式ABSエンコーダにおいて、電源投入時に全てのスケールを検出し、絶対位置を求めてカウンタにプリセットし、それ以降は、一部のスケールのみを検出し、前記カウンタのプリセット値に対するインクリメンタル計数を行なうようにして、前記課題を解決したものである。
又、前記インクリメンタル計数を、最下位のスケールのみで行なうようにして、信号処理の高速化を図ったものである。
又、前記最下位スケールによるインクリメンタル計数値と、最下位スケールと他の一部のスケールにより求めた絶対位置を照合するようにして、測定値の信頼性を高めたものである。
又、前記絶対位置を、他の一部のスケールを交互に用いて求めるようにして、測定値の信頼性を更に高めたものである。
本発明によれば、毎回検出するスケールの数を少なくしたので、絶対位置を算出するための時間を短縮することが可能となる。
特に、最下位スケールによるインクリメンタル計数値と、最下位スケールと他の一部のスケールにより求めた絶対位置を照合するようにした場合には、測定値の信頼性を向上することができる。
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
本発明の第1実施形態は、図4に示す如く、図2に示したような微細スケール13A、中間スケール13B、粗スケール13Cの3つのインクリメンタルスケールを含むエンコーダパターン10と、該エンコーダパターン10のインデックススケール16の送信コイル18(図1参照)を、例えばLCR共振によって駆動するための駆動回路20と、前記微細スケール13A、中間スケール13B、粗スケール13Cからの受信信号をそれぞれ受信する受信回路30A、30B、30Cと、該受信回路30A、30B、30Cからの出力に基づいて、電源投入時に全てのスケールを検出し、絶対位置を求めてカウンタ42にプリセットし、それ以降は、最下位の微細スケール13のみを検出し、前記カウンタ42のプリセット値に対するインクリメンタル計数を行なう演算回路40とを備えたものである。
本実施形態によれば、電源投入時は、図5(A)に示す如く、全スケール13A、13B、13Cの検出を行ない、例えば微細スケール13Aのデータから下位ABS位置を求め、2つの上位スケール13B、13Cのデータから上位ABS位置を求め、これを合成することによって絶対位置を求める。
そして、このABS位置をカウンタ42にプリセットし、それ以降は、図5(B)に示す如く、微細スケール13Aのみにより位置検出を行ない、図6に示す如く、前記カウンタ42のプリセット値に対するインクリメンタル計数を行なうことによって、絶対位置を求める。
このようにして、毎回測定するスケールを微細スケール13Aのみとすることで、絶対位置データ出力時間を低減することが可能となる。
なお、図6に示したインクリメンタル計数による位置検出ルーチンでは、外乱ノイズ等の影響でカウンタ値に異常が発生した場合、検出する方法が無く、データの信頼性に問題を生ずる。そこで、次に、この問題を解決した、本発明の第2実施形態を詳細に説明する。
本実施形態は、図4に示した第1実施形態と同様の電磁誘導式ABSエンコーダにおいて、図7に示す如く、微細スケール13Aによるインクリメンタル計数と並行して、微細スケール13Aと他のスケール(例えば中間スケール13B又は粗スケール13C)による絶対位置検出を行い、これらを相互に比較することにより、位置の照合を行なうようにしたものである。
このようにして、2つの計数値を照合することで、インクリメンタル計数値を保証することが可能となり、出力データの信頼性を向上することができる。
この際、図8に示す如く、中間スケール13Bと粗スケール13Cの両者を交互に用いて絶対位置を求めることで、信頼性を更に向上することができる。なお、一方のスケール13B又は13Cと微細スケール13Aの組合せのみで絶対位置を求めることもできる。
前記実施形態においては、全てのインクリメンタルスケールを使った絶対位置検出を、電源投入時にのみ行なっていたが、低速時に周期的に行なったり、あるいはエラー検出時に行なうことも可能である。
又、前記実施形態においては、スケールの種類が微細、中間、粗の3つとされていたが、本発明の適用対象はこれに限定されず、2あるいは4以上のスケールであっても構わない。
電磁誘導式エンコーダの一例の構成を示す平面図 3つのインクリメンタルスケールの配置例を示す平面図 電磁誘導式ABSエンコーダの従来の位置検出ルーチンを示す説明図 本発明の第1実施形態の構成を示すブロック図 第1実施形態の位置検出ルーチンを示す説明図 同じくインクリメンタル計数時の位置検出ルーチンを示す説明図 本発明の第2実施形態におけるインクリメンタル計数とABS値照合時の位置検出ルーチンを示す説明図 同じく他のスケールの位置検出ルーチンを示す説明図
符号の説明
10…エンコーダパターン
12…メインスケール
13A…微細スケール
13B…中間スケール
13C…粗スケール
16…インデックススケール
20…駆動回路
30A、30B、30C…受信回路
40…演算回路
42…カウンタ

Claims (4)

  1. 波長が異なる複数のインクリメンタルスケールを備えた電磁誘導式ABSエンコーダにおいて、
    電源投入時に全てのスケールを検出し、絶対位置を求めてカウンタにプリセットし、
    それ以降は、一部のスケールのみを検出し、前記カウンタのプリセット値に対するインクリメンタル計数を行なうことを特徴とする電磁誘導式ABSエンコーダ。
  2. 前記インクリメンタル計数を、最下位のスケールのみで行なうことを特徴とする請求項1に記載の電磁誘導式ABSエンコーダ。
  3. 前記最下位スケールによるインクリメンタル計数値と、最下位スケールと他の一部のスケールにより求めた絶対位置を照合することを特徴とする請求項2に記載の電磁誘導式ABSエンコーダ。
  4. 前記絶対位置を、他の一部のスケールを交互に用いて求めることを特徴とする請求項3に記載の電磁誘導式ABSエンコーダ。
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