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JP2005345375A - Electromagnetic induction type abs encoder - Google Patents

Electromagnetic induction type abs encoder Download PDF

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JP2005345375A
JP2005345375A JP2004167517A JP2004167517A JP2005345375A JP 2005345375 A JP2005345375 A JP 2005345375A JP 2004167517 A JP2004167517 A JP 2004167517A JP 2004167517 A JP2004167517 A JP 2004167517A JP 2005345375 A JP2005345375 A JP 2005345375A
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Japan
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electromagnetic induction
incremental
scales
absolute position
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JP2004167517A
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Kenichi Nakayama
賢一 中山
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a period of time for calculating the absolute position in an electromagnetic induction type ABS encoder, equipped with a plurality of incremental scales having different wavelengths. <P>SOLUTION: In the electromagnetic induction type ABS encoder, equipped with the plurality of incremental scales 13A, 13B and 13C having different wavelengths, all the scales 13A, 13B and 13C are detected at its power-on timing, and the absolute position is obtained and preset to a counter 42. After the timing, only a part (13A) of the scales is detected, and incremental counting for the preset value in the counter are carried out. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、波長が異なる複数のインクリメンタルスケールを備えた電磁誘導式ABSエンコーダに係り、特に、絶対位置を迅速に検出可能な電磁誘導式ABSエンコーダに関する。   The present invention relates to an electromagnetic induction type ABS encoder having a plurality of incremental scales having different wavelengths, and more particularly to an electromagnetic induction type ABS encoder capable of quickly detecting an absolute position.

図1に例示する如く、メインスケール12の長手方向に多数配置したコイル14と、インデックススケール16に配置した送信コイル18及び受信コイル19でなるエンコーダパターン10の電磁誘導により、メインスケール12とインデックススケール16の相対位置変化を検出するようにした電磁誘導式エンコーダが知られている(特許文献1、2参照)。図において、20は駆動回路、30は受信回路である。   As illustrated in FIG. 1, the main scale 12 and the index scale are caused by electromagnetic induction of an encoder pattern 10 including a plurality of coils 14 arranged in the longitudinal direction of the main scale 12 and a transmission coil 18 and a reception coil 19 arranged on the index scale 16. There are known electromagnetic induction encoders that detect 16 relative position changes (see Patent Documents 1 and 2). In the figure, 20 is a driving circuit, and 30 is a receiving circuit.

このような電磁誘導式エンコーダにおいて、図2に示す如く、前記コイル14を、互いに波長を変えて複数列、例えば波長が一番短い微細トラックを有するスケール(微細スケールと称する)13A、波長が一番長い粗トラックを有するスケール(粗スケール)13C、波長が中間の中間トラックを有するスケール(中間スケールと称する)13Bで構成し、メインスケール12とインデックススケール16の変位の絶対値(ABS位置とも称する)を求めるようにした電磁誘導式ABSエンコーダも開発されている。   In such an electromagnetic induction type encoder, as shown in FIG. 2, the coil 14 has a plurality of rows with different wavelengths, for example, a scale (referred to as a fine scale) 13A having fine tracks with the shortest wavelength, and a single wavelength. It is composed of a scale (coarse scale) 13C having the longest coarse track, and a scale (referred to as intermediate scale) 13B having an intermediate track having an intermediate wavelength, and is an absolute value (also referred to as ABS position) of displacement of the main scale 12 and the index scale 16. Inductive ABS encoders that are required to obtain the above are also being developed.

このような電磁誘導式ABSエンコーダにおいては、図3に示す如く、位置データ要求信号を受信後、波長の異なった2つ以上の全インクリメンタルスケール13A、13B、13Cの位置を毎回検出し、絶対位置を合成(ABS合成とも称する)していた。   In such an electromagnetic induction type ABS encoder, as shown in FIG. 3, after receiving the position data request signal, the positions of two or more incremental scales 13A, 13B, 13C having different wavelengths are detected every time, and the absolute position is detected. Was synthesized (also referred to as ABS synthesis).

特開2000−180209号公報JP 2000-180209 A 特開2002−213906号公報JP 2002-213906 A 特開昭63−71611号公報JP-A-63-71611

このため、絶対位置を算出するための時間が非常に長くかかり、信号処理の高速化を図ることができなかった。   For this reason, it takes a very long time to calculate the absolute position, and the speed of signal processing cannot be increased.

なお、本願に類似するものとして、出願人は特許文献3において、インクリメンタルスケールとアブソリュートスケールを備えた測長装置において、電源投入時にアブソリュートスケールを用いて絶対位置を検出し、後はインクリメンタルスケールによる計数値を増減することを提案しているが、通常のインクリメンタルスケールの他に、絶対位置検出用のアブソリュートスケールが必要であった。   In addition, as similar to the present application, in the patent document 3, the applicant detects the absolute position using the absolute scale when the power is turned on in the length measuring device including the incremental scale and the absolute scale, and then calculates the measurement using the incremental scale. Although it has been proposed to increase or decrease the numerical value, an absolute scale for detecting the absolute position is required in addition to the normal incremental scale.

本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、波長が異なる複数のインクリメンタルスケールを備えた電磁誘導式ABSエンコーダにおいて、絶対位置を算出するための時間を短縮することを課題とする。   The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and it is an object of the present invention to reduce the time for calculating the absolute position in an electromagnetic induction ABS encoder having a plurality of incremental scales having different wavelengths. To do.

本発明は、波長が異なる複数のインクリメンタルスケールを備えた電磁誘導式ABSエンコーダにおいて、電源投入時に全てのスケールを検出し、絶対位置を求めてカウンタにプリセットし、それ以降は、一部のスケールのみを検出し、前記カウンタのプリセット値に対するインクリメンタル計数を行なうようにして、前記課題を解決したものである。   In the electromagnetic induction type ABS encoder having a plurality of incremental scales having different wavelengths, all scales are detected when the power is turned on, and absolute positions are obtained and preset in a counter. Thereafter, only some scales are detected. And the above-mentioned problem is solved by performing incremental counting with respect to the preset value of the counter.

又、前記インクリメンタル計数を、最下位のスケールのみで行なうようにして、信号処理の高速化を図ったものである。   In addition, the incremental counting is performed only with the lowest scale so as to speed up the signal processing.

又、前記最下位スケールによるインクリメンタル計数値と、最下位スケールと他の一部のスケールにより求めた絶対位置を照合するようにして、測定値の信頼性を高めたものである。   Further, the reliability of the measured value is improved by collating the incremental count value by the lowest scale and the absolute position obtained by the lowest scale and some other scale.

又、前記絶対位置を、他の一部のスケールを交互に用いて求めるようにして、測定値の信頼性を更に高めたものである。   Further, the reliability of the measured value is further improved by obtaining the absolute position by alternately using some other scales.

本発明によれば、毎回検出するスケールの数を少なくしたので、絶対位置を算出するための時間を短縮することが可能となる。   According to the present invention, since the number of scales to be detected each time is reduced, it is possible to shorten the time for calculating the absolute position.

特に、最下位スケールによるインクリメンタル計数値と、最下位スケールと他の一部のスケールにより求めた絶対位置を照合するようにした場合には、測定値の信頼性を向上することができる。   In particular, when the incremental count value by the lowest scale and the absolute position obtained by the lowest scale and some other scale are collated, the reliability of the measurement value can be improved.

以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

本発明の第1実施形態は、図4に示す如く、図2に示したような微細スケール13A、中間スケール13B、粗スケール13Cの3つのインクリメンタルスケールを含むエンコーダパターン10と、該エンコーダパターン10のインデックススケール16の送信コイル18(図1参照)を、例えばLCR共振によって駆動するための駆動回路20と、前記微細スケール13A、中間スケール13B、粗スケール13Cからの受信信号をそれぞれ受信する受信回路30A、30B、30Cと、該受信回路30A、30B、30Cからの出力に基づいて、電源投入時に全てのスケールを検出し、絶対位置を求めてカウンタ42にプリセットし、それ以降は、最下位の微細スケール13のみを検出し、前記カウンタ42のプリセット値に対するインクリメンタル計数を行なう演算回路40とを備えたものである。   As shown in FIG. 4, the first embodiment of the present invention includes an encoder pattern 10 including three incremental scales such as a fine scale 13A, an intermediate scale 13B, and a coarse scale 13C as shown in FIG. A drive circuit 20 for driving the transmission coil 18 (see FIG. 1) of the index scale 16 by, for example, LCR resonance, and a reception circuit 30A for receiving reception signals from the fine scale 13A, intermediate scale 13B, and coarse scale 13C, respectively. , 30B, 30C, and outputs from the receiving circuits 30A, 30B, 30C, all scales are detected when the power is turned on, and absolute positions are obtained and preset in the counter 42. Only the scale 13 is detected, and the input to the preset value of the counter 42 is detected. It is obtained by an arithmetic circuit 40 for performing Rimentaru counting.

本実施形態によれば、電源投入時は、図5(A)に示す如く、全スケール13A、13B、13Cの検出を行ない、例えば微細スケール13Aのデータから下位ABS位置を求め、2つの上位スケール13B、13Cのデータから上位ABS位置を求め、これを合成することによって絶対位置を求める。   According to the present embodiment, when the power is turned on, as shown in FIG. 5A, all scales 13A, 13B, and 13C are detected, for example, the lower ABS position is obtained from the data of the fine scale 13A, and the two upper scales are obtained. The upper ABS position is obtained from the data of 13B and 13C, and the absolute position is obtained by combining them.

そして、このABS位置をカウンタ42にプリセットし、それ以降は、図5(B)に示す如く、微細スケール13Aのみにより位置検出を行ない、図6に示す如く、前記カウンタ42のプリセット値に対するインクリメンタル計数を行なうことによって、絶対位置を求める。   Then, the ABS position is preset in the counter 42, and thereafter, as shown in FIG. 5B, the position is detected only by the fine scale 13A. As shown in FIG. 6, the incremental count with respect to the preset value of the counter 42 is performed. To obtain the absolute position.

このようにして、毎回測定するスケールを微細スケール13Aのみとすることで、絶対位置データ出力時間を低減することが可能となる。   Thus, the absolute position data output time can be reduced by setting the scale to be measured each time to only the fine scale 13A.

なお、図6に示したインクリメンタル計数による位置検出ルーチンでは、外乱ノイズ等の影響でカウンタ値に異常が発生した場合、検出する方法が無く、データの信頼性に問題を生ずる。そこで、次に、この問題を解決した、本発明の第2実施形態を詳細に説明する。   In the position detection routine based on incremental counting shown in FIG. 6, there is no method for detection when an abnormality occurs in the counter value due to the influence of disturbance noise or the like, causing a problem in data reliability. Therefore, a second embodiment of the present invention that solves this problem will now be described in detail.

本実施形態は、図4に示した第1実施形態と同様の電磁誘導式ABSエンコーダにおいて、図7に示す如く、微細スケール13Aによるインクリメンタル計数と並行して、微細スケール13Aと他のスケール(例えば中間スケール13B又は粗スケール13C)による絶対位置検出を行い、これらを相互に比較することにより、位置の照合を行なうようにしたものである。   In this embodiment, in the electromagnetic induction type ABS encoder similar to that of the first embodiment shown in FIG. 4, as shown in FIG. 7, in parallel with the incremental counting by the fine scale 13A, the fine scale 13A and other scales (for example, The absolute position is detected by the intermediate scale 13B or the coarse scale 13C), and these are compared with each other so that the positions are verified.

このようにして、2つの計数値を照合することで、インクリメンタル計数値を保証することが可能となり、出力データの信頼性を向上することができる。   In this way, by comparing the two count values, the incremental count value can be guaranteed, and the reliability of the output data can be improved.

この際、図8に示す如く、中間スケール13Bと粗スケール13Cの両者を交互に用いて絶対位置を求めることで、信頼性を更に向上することができる。なお、一方のスケール13B又は13Cと微細スケール13Aの組合せのみで絶対位置を求めることもできる。   At this time, as shown in FIG. 8, the reliability can be further improved by obtaining the absolute position by alternately using the intermediate scale 13B and the coarse scale 13C. Note that the absolute position can be obtained only by a combination of one scale 13B or 13C and the fine scale 13A.

前記実施形態においては、全てのインクリメンタルスケールを使った絶対位置検出を、電源投入時にのみ行なっていたが、低速時に周期的に行なったり、あるいはエラー検出時に行なうことも可能である。   In the embodiment, the absolute position detection using all the incremental scales is performed only when the power is turned on. However, the absolute position detection can be performed periodically at a low speed or when an error is detected.

又、前記実施形態においては、スケールの種類が微細、中間、粗の3つとされていたが、本発明の適用対象はこれに限定されず、2あるいは4以上のスケールであっても構わない。   In the above embodiment, there are three types of scales: fine, intermediate, and coarse. However, the application target of the present invention is not limited to this, and two or four or more scales may be used.

電磁誘導式エンコーダの一例の構成を示す平面図A plan view showing the configuration of an example of an electromagnetic induction encoder 3つのインクリメンタルスケールの配置例を示す平面図Plan view showing an arrangement example of three incremental scales 電磁誘導式ABSエンコーダの従来の位置検出ルーチンを示す説明図Explanatory drawing which shows the conventional position detection routine of an electromagnetic induction type ABS encoder 本発明の第1実施形態の構成を示すブロック図The block diagram which shows the structure of 1st Embodiment of this invention. 第1実施形態の位置検出ルーチンを示す説明図Explanatory drawing which shows the position detection routine of 1st Embodiment. 同じくインクリメンタル計数時の位置検出ルーチンを示す説明図Explanatory drawing which similarly shows the position detection routine at the time of incremental counting 本発明の第2実施形態におけるインクリメンタル計数とABS値照合時の位置検出ルーチンを示す説明図Explanatory drawing which shows the position detection routine at the time of the incremental count and ABS value collation in 2nd Embodiment of this invention. 同じく他のスケールの位置検出ルーチンを示す説明図Explanatory drawing which similarly shows the position detection routine of another scale

符号の説明Explanation of symbols

10…エンコーダパターン
12…メインスケール
13A…微細スケール
13B…中間スケール
13C…粗スケール
16…インデックススケール
20…駆動回路
30A、30B、30C…受信回路
40…演算回路
42…カウンタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Encoder pattern 12 ... Main scale 13A ... Fine scale 13B ... Intermediate scale 13C ... Coarse scale 16 ... Index scale 20 ... Drive circuit 30A, 30B, 30C ... Reception circuit 40 ... Arithmetic circuit 42 ... Counter

Claims (4)

波長が異なる複数のインクリメンタルスケールを備えた電磁誘導式ABSエンコーダにおいて、
電源投入時に全てのスケールを検出し、絶対位置を求めてカウンタにプリセットし、
それ以降は、一部のスケールのみを検出し、前記カウンタのプリセット値に対するインクリメンタル計数を行なうことを特徴とする電磁誘導式ABSエンコーダ。
In an electromagnetic induction ABS encoder having a plurality of incremental scales having different wavelengths,
All scales are detected when the power is turned on, the absolute position is obtained and preset to the counter,
Thereafter, the electromagnetic induction type ABS encoder is characterized in that only a part of the scale is detected, and the incremental count with respect to the preset value of the counter is performed.
前記インクリメンタル計数を、最下位のスケールのみで行なうことを特徴とする請求項1に記載の電磁誘導式ABSエンコーダ。   2. The electromagnetic induction type ABS encoder according to claim 1, wherein the incremental counting is performed only with the lowest scale. 前記最下位スケールによるインクリメンタル計数値と、最下位スケールと他の一部のスケールにより求めた絶対位置を照合することを特徴とする請求項2に記載の電磁誘導式ABSエンコーダ。   3. The electromagnetic induction ABS encoder according to claim 2, wherein the incremental count value obtained by the lowest scale is collated with the absolute position obtained by the lowest scale and some other scale. 前記絶対位置を、他の一部のスケールを交互に用いて求めることを特徴とする請求項3に記載の電磁誘導式ABSエンコーダ。   4. The electromagnetic induction ABS encoder according to claim 3, wherein the absolute position is obtained by alternately using another part of the scale.
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