[go: up one dir, main page]

JP2005288294A - 電子材料用分散剤 - Google Patents

電子材料用分散剤 Download PDF

Info

Publication number
JP2005288294A
JP2005288294A JP2004106156A JP2004106156A JP2005288294A JP 2005288294 A JP2005288294 A JP 2005288294A JP 2004106156 A JP2004106156 A JP 2004106156A JP 2004106156 A JP2004106156 A JP 2004106156A JP 2005288294 A JP2005288294 A JP 2005288294A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
weight
dispersant
unsaturated dibasic
parts
electronic materials
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004106156A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoichi Ishibashi
洋一 石橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kao Corp filed Critical Kao Corp
Priority to JP2004106156A priority Critical patent/JP2005288294A/ja
Publication of JP2005288294A publication Critical patent/JP2005288294A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Emulsifying, Dispersing, Foam-Producing Or Wetting Agents (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)

Abstract

【課題】 微粒化された電子材料用粉体の高濃度スラリーにおいても低粘度化が可能であり、更に、分散剤添加量の変化あるいは電子材料スラリーの濃度変化によるスラリー粘度の変化を小さくすることが可能な電子材料用分散剤の提供。
【解決手段】 アクリル酸又はメタクリル酸と、不飽和二塩基酸との共重合体のアンモニウム塩又はアミン塩で、構成モノマー単位のモル比が、(メタ)アクリル酸/不飽和二塩基酸=50/50〜92/8、重量平均分子量(Mw)が25000〜80000である、(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩からなる群より選ばれる少なくとも1種を含有する電子材料用分散剤、及びこの分散剤を含有する電子材料用分散組成物
【選択図】 なし

Description

本発明は、顔料等の電子材料用粉体を水等の分散媒に分散させてスラリーを得る際に好適に用いられる電子材料用分散剤及びそれを含有する電子材料用分散組成物に関する。
電子部品を製造する際に用いられる顔料等の電子材料用粉体を、水系媒体中に分散し、スラリー化するに際しては、ポリカルボン酸塩系分散剤が使用されている。上記のスラリーは、電磁気・光学用部材ファインセラミクスの高機能化、微細化に伴い、電磁気・光学用部材ファインセラミクスに用いられる顔料等の粉体はさらに微粒に、また、そのスラリーは乾燥効率の向上等生産性を高めるためさらに高濃度になっている。また電磁気・光学用部材ファインセラミクスはNa、K、Mg等の金属イオンが混入すると、電磁気的特性に弊害が生じるため、これらに使用される薬剤は金属イオンを含まない物が使用され、例えば分散剤としては特許文献1、特許文献2、特許文献3に報告されている物がある。しかし、これら特許文献記載の分散剤では、例えば平均粒径0.2μm以下の粉体を固形分75%以上のスラリーとして低粘度化する場合、少しの分散剤添加量の変化あるいは電子材料スラリーの濃度変化により、スラリー粘度の変化が著しく大きいため、シート成形等、後工程でシート化する際にシートにムラができ、均一な状態になっていないなど、作業性の低下が指摘されていた。また、作業性を改善するためスラリー製造中に分散剤を後添加するという方法はあるものの、満足できるレベルには至っていない。
特開昭59−22639号公報 特開昭61−101449号公報 特開平03−279251号公報
本発明の課題は、微粒化された電子材料用粉体の高濃度スラリーにおいても低粘度化が可能であり、更に、分散剤添加量の変化あるいは電子材料スラリーの濃度変化によるスラリー粘度の変化を小さくすることが可能な電子材料用分散剤及びそれを含有する電子材料用分散組成物を提供することにある。
本発明は、アクリル酸又はメタクリル酸と、不飽和二塩基酸との共重合体のアンモニウム塩又はアミン塩(以下、(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩という)で、構成モノマー単位のモル比が、(メタ)アクリル酸/不飽和二塩基酸=50/50〜92/8、重量平均分子量(Mw)が25000〜80000である、(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩からなる群より選ばれる少なくとも1種を含有する電子材料用分散剤、及びこの分散剤を含有する電子材料用分散組成物を提供する。
本発明の電子材料用分散剤は、従来の電子材料用分散剤に比較して、微粒化された電子材料用粉体の高濃度スラリーにおいても低粘度化が可能であり、更に、分散剤添加量の変化あるいは電子材料スラリーの濃度変化によるスラリー粘度の変化を小さくすることが可能である。
このような格別顕著に優れた効果を発現する理由は定かではないが、微粒化された粉体の高濃度スラリーを低粘度化し、分散剤添加量の影響を受けることなくほぼ一定の低粘度を保持する観点においては、おそらく電磁気・光学用部材ファインセラミクスに用いられる顔料等の粉体に対する分散剤の吸着力と、粉体に吸着した分散剤による斥力(静電気的及び/又は立体的)が共に優れていることに基づくものと考えられる。
本発明の(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩は、微粒化された粉体の高濃度スラリーを低粘度化し、分散剤添加量の影響を受けることなくほぼ一定の低粘度を保持させる観点から、構成モノマー単位のモル比が、(メタ)アクリル酸/不飽和二塩基酸=50/50〜92/8であり、重量平均分子量(Mw)が25000〜80000である。
また、上記観点から、(メタ)アクリル酸/不飽和二塩基酸(モル比)は70/30〜90/10が好ましく、80/20〜87/13がより好ましい。また、重量平均分子量(Mw)は25000〜60000が好ましく、40000〜50000がより好ましい。
尚、ここで重量平均分子量(Mw)は、実施例に記載された測定法により測定された値である。
本発明の(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩を構成する不飽和二塩基酸としては、マレイン酸無水物、マレイン酸、イタコン酸、フマル酸等を用いることができ、このうちマレイン酸無水物、マレイン酸が好ましい。
本発明の(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩は、アンモニウム塩又はアミン塩である。アミン塩としては、1級、2級又は3級のアルキルアミン塩やアルカノールアミン塩、具体的にはモノアルキル(アルキル基の炭素数1〜3)アミン、ジアルキル(アルキル基の炭素数1〜3)アミン、トリアルキル(アルキル基の炭素数1〜3)アミン、モノアルカノール(アルカノールの炭素数1〜3)アミン、ジアルカノール(アルカノールの炭素数1〜3)アミン、トリアルカノール(アルカノールの炭素数1〜3)アミン等の塩が挙げられる。これらの中で好ましいものは、アンモニウム塩である。
本発明の(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩の中和度又はアルカリ過剰度は、特に規定されないが、粉体成分の耐分解性、及び耐臭気性の観点から、通常50〜120%であり、60〜110%が好ましく、75〜105%がより好ましい。
尚、中和度又はアルカリ過剰度とは、[A(塩を構成し得るフリーの塩基の当量+塩を構成している酸基の当量)/B(塩を構成し得るフリーの酸基の当量+塩を構成している酸基の当量)]×100(%)で表される。A/Bが1以下であれば中和度と表現し、A/B=1であれば中和度100%を示す。A/Bが1より大きいものはアルカリ過剰度と表現し、100%より大きい値を示す。
また、(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩の水溶液のpHは、粉体成分の耐分解性、及び耐臭気性の観点から、5〜9が好ましく、5.5〜8.5が更に好ましく、6〜8が特に好ましい。
本発明の分散剤中の、(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩の含有量は、粉体の高濃度スラリーを低粘度化できる範疇において、97〜100重量%が好ましく、98〜100重量%がより好ましく、99〜100重量%が特に好ましい。これ以外に未反応のアクリル酸、メタクリル酸、不飽和二塩基酸等を含有していてもよい。
本発明の(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩の製造法は特に限定されないが、例えば以下に示す方法で製造することができる。
不飽和二塩基酸及びイオン交換水を不飽和二塩基酸の濃度が48重量%以上となるように反応容器に仕込み、55℃に加熱後、アンモニア水溶液を仕込む。次に約100℃まで加熱した後、この温度で、アクリル酸又はメタクリル酸を、(メタ)アクリル酸/不飽和二塩基酸(モル比)が50/50〜92/8となるように、また過酸化水素水溶液を過酸化水素が(メタ)アクリル酸と不飽和二塩基酸の全仕込みモル数に対して30〜60モル%となるように、それぞれを3〜5時間かけて滴下し重合反応を行う。滴下終了後、100℃で5〜10時間熟成する。反応終了後、約40℃に冷却し、pHが7付近となるようにアンモニア水溶液を仕込み、(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体のアンモニウム塩とする。
本発明の分散剤は、粉体スラリーが分散剤添加量の影響を受けることなくほぼ一定の低粘度を保持する観点から、電子材料用粉体100重量部に対して、分散剤添加量を0.2重量部、0.5重量部、1重量部、2重量部及び4重量部と変化させた場合、スラリー中の粉体含量が50重量%以上であるスラリーのB粘度(25℃)の値が、M×(1±0.2)mPa・s(但し、Mは下記式で定義されるB粘度の平均粘度値を示す)の範囲内を満足するものが好ましい。
M=[上記0.2〜4重量部(対電子材料用粉体100重量部)の範囲で変化させた時の各分散剤添加量で測定したスラリーのB粘度(25℃)の総和値/5(添加量の変化点数)]
即ち、例えば分散剤の添加量を0.2重量部、0.5重量部、1重量部、2重量部及び4重量部(対電子材料用粉体100重量部)と変化させて、それぞれのスラリーを調製してそれぞれのB粘度を25℃で測定し、その平均粘度値であるMを求める。例えば平均粘度値Mが100mPa・sと仮定した場合、そのときの各分散剤添加量で試験したスラリーのB粘度の値が何れも100×(1±0.2)の範囲内、つまり80〜120mPa・sの値になることを意味する。
尚、B粘度は、実施例1に記載した方法で測定する。
本発明において対象となる電子材料用粉体としては、炭酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸亜鉛、クレー、ベントナイト、サチンホワイト、亜鉛華、ベンガラ、フェライト、酸化チタン、アルミナ、酸化マグネシウム、タルク、ホワイトカーボン、セメント、石膏、カーボンブラック、チタン酸塩、珪酸塩等が挙げられる。これらの粉体の中では、電磁気・光学用部材ファインセラミクスに用いられる粉体が好ましく、チタン酸バリウム等のチタン酸塩や、アルミナが更に好ましい。
尚、ファインセラミクスとは基本的に無機化合物からなり、鉱物を原料として1000℃以上の高温反応にて製造するものである。この中で電磁気・光学用部材ファインセラミクスとは例えばICパッケージ、配線基板、絶縁体、センサー、電極、磁性体、半導体、コンデンサー、光ファイバー等が挙げられる。
本発明の電子材料用分散組成物は、本発明の分散剤を用いて、電子材料用粉体、電子材料用粉体の原鉱石又は粗粒子等を水系媒体中に分散させることにより得ることができる。水系媒体としては、水、あるいは水と、エチルアルコール、エチレングリコール等の水溶性有機溶媒との混合溶液が挙げられ、好ましくは水である。
電子材料用分散組成物中の粉体の含有量は、特に規定されないが、乾燥効率を向上し、生産性を高める観点から、50重量%以上が好ましく、50〜85重量%がより好ましく、65〜85重量%が特に好ましい。また、電子材料用分散組成物中の本発明の分散剤の含有量は、電子材料用粉体のスラリー化に支障のない範囲内であれば特に限定されないが、電子材料用粉体100重量部に対し、好ましくは0.2重量部以上であり、更に好ましくは0.2〜6重量部であり、特に好ましくは0.5〜5重量部である。
本発明の分散剤を使用して、電子材料用分散組成物を得る方法としては、通常のスラリー化方法が用いられる。例えば分散剤を溶解した水溶液に電子材料用粉体を添加して撹拌、混合する方法、電子材料用粉体に水と分散剤を加えて撹拌、混合する方法等が挙げられる。撹拌、混合する方法としては、例えば高速ディスパー、ホモミキサー、ボールミル等一般に用いられる撹拌装置を使用することができる。
また、電子材料用粉体の鉱石又は粗粒子を粉砕と同時にスラリー化する場合には、電子材料用粉体の鉱石又は粗粒子に水と分散剤を添加して、粉砕と同時にスラリー化する方法等が挙げられる。粉砕と同時にスラリー化する方法としてはビーズミル等一般に用いられる湿式粉砕機を使用することが出来る。
以下の例において、分散剤の重量平均分子量は、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)により、下記条件で測定した。
カラム:TSK PWXL+G4000PWXL+G2500PWXL(いずれも東ソー株式会社製)
カラム温度:40℃
検出器:RI又はUV(210nm)
溶離液:0.2mol/L リン酸緩衝液/アセトニトリル(9/1)
流速:1.0mL/min
注入量:0.1mL
標準:ポリエチレングリコール
製造例1
攪拌機、温度計、還流冷却管、窒素導入管、滴下ロートを備えた反応容器に、マレイン酸無水物78.5g及びイオン交換水80.0gを仕込み、55℃に加熱後、28重量%アンモニア水溶液24.3gを滴下し、マレイン酸アンモニウム塩水溶液とした。マレイン酸/アンモニア=100/50(モル比)。次に窒素気流下で100℃まで加熱した後、この温度を維持しながら、80重量%アクリル酸水溶液360.5g及び35重量%過酸化水素水溶液153.9gをそれぞれ別の滴下ロートから3.5時間かけて滴下し重合反応を行った。滴下終了後、100℃で10時間熟成し重合反応を完結させた。反応終了後、冷却し、約40℃を保持しながらpHが6〜8となるように28重量%アンモニア水溶液で中和して、アクリル酸―マレイン酸共重合体のアンモニウム塩を得た。これを分散剤1という。
製造例2〜10
製造例1と同様の方法で、表1に示すモノマー組成比及び重量平均分子量を有する(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩を製造した。これらをそれぞれ分散剤2〜10という。
比較製造例1〜6
表1に示すモノマー組成比及び重量平均分子量を有する(共)重合体の塩をそれぞれ比較分散剤1〜6という。
Figure 2005288294
表中、MAはマレイン酸、AAはアクリル酸、MAAはメタクリル酸、BAはアクリル酸ブチルを示し、共重合体の塩は全てアンモニウム塩である。
実施例1
デイスポビーカー500mLに、平均粒径が0.1μmのチタン酸バリウム粉体を158g、及び分散剤1〜10又は比較分散剤1〜6の各分散剤を添加量0.2重量部、0.5重量部、1.0重量部、2.0重量部、4.0重量部(対チタン酸バリウム粉体100重量部)に変化させたもの、さらにイオン交換水を加え、特殊機化工業株式会社製のホモディスパーで攪拌(2500rpm×2分間)し、80重量%の粉体スラリー(分散組成物)を調製した。次いで、500mL広口ポリビンにこのスラリーと2mmのジルコニアビーズ(スラリーに対し2倍重量の割合)を仕込み、井内盛栄堂社の卓上型ポットミル回転台で攪拌(150rpm×10時間)し、スラリーを調製した。得られたスラリーの25℃におけるB粘度を、株式会社東京計器製のB型粘度測定装置を用いてローターの回転速度60rpmで測定した。
それぞれの添加量でのB粘度、平均粘度値M、各分散剤使用時、最大粘度値/M、及び最小粘度値/Mの結果を表2に示す。
なお、スラリー粘度が何れも200mPa・s以下であり、かつ最大粘度値/Mが1.2以下で最小粘度値/Mが0.8以上の範囲内を満足するものが良好な分散剤である。
Figure 2005288294

Claims (5)

  1. アクリル酸又はメタクリル酸と、不飽和二塩基酸との共重合体のアンモニウム塩又はアミン塩(以下、(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩という)で、構成モノマー単位のモル比が、(メタ)アクリル酸/不飽和二塩基酸=50/50〜92/8、重量平均分子量(Mw)が25000〜80000である、(メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩からなる群より選ばれる少なくとも1種を含有する電子材料用分散剤。
  2. 不飽和二塩基酸が、マレイン酸無水物及びマレイン酸から選ばれる少なくとも1種である、請求項1記載の電子材料用分散剤。
  3. (メタ)アクリル酸−不飽和二塩基酸共重合体の塩がアンモニウム塩である、請求項1又は2記載の電子材料用分散剤。
  4. 電子材料用粉体100重量部に対して、分散剤添加量を0.2重量部、0.5重量部、1重量部、2重量部及び4重量部と変化させた場合、スラリー中の粉体含量が50重量%以上であるスラリーのB粘度(25℃)の値が、M×(1±0.2)mPa・s(但し、Mは下記式で定義されるB粘度の平均粘度値を示す)の範囲内を満足するものである請求項1〜3いずれかに記載の電子材料用分散剤。
    M=[上記0.2〜4重量部(対電子材料用粉体100重量部)の範囲で変化させた時の各分散剤添加量で測定したスラリーのB粘度(25℃)の総和値/5(添加量の変化点数)]
  5. 請求項1〜4いずれか記載の分散剤を含有する電子材料用分散組成物。
JP2004106156A 2004-03-31 2004-03-31 電子材料用分散剤 Pending JP2005288294A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004106156A JP2005288294A (ja) 2004-03-31 2004-03-31 電子材料用分散剤

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004106156A JP2005288294A (ja) 2004-03-31 2004-03-31 電子材料用分散剤

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005288294A true JP2005288294A (ja) 2005-10-20

Family

ID=35321851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004106156A Pending JP2005288294A (ja) 2004-03-31 2004-03-31 電子材料用分散剤

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005288294A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011041929A (ja) * 2009-08-24 2011-03-03 Kao Corp 分散剤
JP2011105808A (ja) * 2009-11-13 2011-06-02 Kao Corp 分散剤組成物
JP2011213903A (ja) * 2010-03-31 2011-10-27 Kose Corp 親水性高分子およびそれを配合する化粧料または皮膚外用剤
JP2013512990A (ja) * 2009-12-02 2013-04-18 ハンツマン ペトロケミカル エルエルシー 高分子量分散剤組成物の製造および使用
JP2014116186A (ja) * 2012-12-10 2014-06-26 Mitsubishi Paper Mills Ltd リチウムイオン電池セパレータおよびリチウムイオン電池セパレータ用塗工液
KR20170072813A (ko) 2015-12-17 2017-06-27 카오카부시키가이샤 분체용 분산제 조성물
CN114920862A (zh) * 2022-06-06 2022-08-19 西安信征电子材料有限责任公司 一种新型分散剂生产工艺及其制备方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4879230A (ja) * 1972-01-25 1973-10-24
JPS53129200A (en) * 1977-04-18 1978-11-10 Shiraishi Kogyo Kk Dispersant for calcium carbonate
JPS5922639A (ja) * 1982-07-28 1984-02-04 Kao Corp ソフトフエライト原料金属酸化物粉末用分散剤
JPS6028818A (ja) * 1983-07-28 1985-02-14 Lion Corp 炭酸カルシウム用分散剤
JPH07291691A (ja) * 1994-04-19 1995-11-07 Nippon Kayaku Co Ltd 無機水硬性組成物用分散剤、水硬性組成物及びその硬化物

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4879230A (ja) * 1972-01-25 1973-10-24
JPS53129200A (en) * 1977-04-18 1978-11-10 Shiraishi Kogyo Kk Dispersant for calcium carbonate
JPS5922639A (ja) * 1982-07-28 1984-02-04 Kao Corp ソフトフエライト原料金属酸化物粉末用分散剤
JPS6028818A (ja) * 1983-07-28 1985-02-14 Lion Corp 炭酸カルシウム用分散剤
JPH07291691A (ja) * 1994-04-19 1995-11-07 Nippon Kayaku Co Ltd 無機水硬性組成物用分散剤、水硬性組成物及びその硬化物

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011041929A (ja) * 2009-08-24 2011-03-03 Kao Corp 分散剤
JP2011105808A (ja) * 2009-11-13 2011-06-02 Kao Corp 分散剤組成物
JP2013512990A (ja) * 2009-12-02 2013-04-18 ハンツマン ペトロケミカル エルエルシー 高分子量分散剤組成物の製造および使用
JP2011213903A (ja) * 2010-03-31 2011-10-27 Kose Corp 親水性高分子およびそれを配合する化粧料または皮膚外用剤
JP2014116186A (ja) * 2012-12-10 2014-06-26 Mitsubishi Paper Mills Ltd リチウムイオン電池セパレータおよびリチウムイオン電池セパレータ用塗工液
KR20170072813A (ko) 2015-12-17 2017-06-27 카오카부시키가이샤 분체용 분산제 조성물
CN114920862A (zh) * 2022-06-06 2022-08-19 西安信征电子材料有限责任公司 一种新型分散剂生产工艺及其制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101191786B1 (ko) 아크릴산의 제어 라디칼 중합을 위해 전달제 형태로 황화합물을 사용하여 제조한 중합체 및 이의 용도
CN100341628C (zh) 用于水性悬浮液中矿物质研磨和/或分散的助剂以及所形成的水性悬浮液及其用途
JP5776549B2 (ja) 顔料用分散剤及びその用途
KR101295987B1 (ko) 분말상 폴리카르본산계 시멘트 분산제 및 상기 분산제를함유하는 분산제 조성물
JP2009161621A (ja) 新規なポリカルボン酸系重合体
JP2009526113A (ja) 水性分散接着剤の調製のためのナノ粒子の使用
JPH02149332A (ja) 無機粉末の油中分散安定剤
KR20140002658A (ko) 비닐-카르복실산 중합체와 조합하여 광물성 아민을 사용하는 수성 현탁액의 제조 방법
JP2005288294A (ja) 電子材料用分散剤
JP5514489B2 (ja) 分散剤
JP5134351B2 (ja) 電子材料用油中分散剤組成物
JP2020182931A (ja) 水系分散剤
JP2005046781A (ja) 無機顔料用分散剤
JPH02307524A (ja) 無機粒子の分散物及びその製造方法
JP2018143969A (ja) 無機粉体用分散剤の製造方法および無機粉体用分散剤
JP5551415B2 (ja) 分散剤組成物
JP2004307703A (ja) 無機顔料用分散剤
JP6814616B2 (ja) 粉体用分散剤組成物
JP4090833B2 (ja) 無機顔料用分散剤
JPS61174211A (ja) 重合体水溶液の製造法
JP4663454B2 (ja) 無機顔料用分散剤
US20240228787A1 (en) Use of polyethers for pigment dispersions
JPS6169873A (ja) 炭酸カルシウム填剤
JP4563065B2 (ja) 無機顔料用分散剤
JP4964513B2 (ja) 無機粉体微粒子の製造法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100119

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100629