JP2005281781A - 銅ナノ粒子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の銅ナノ粒子製造方法は、沸点が100℃以上となるように調製された有機溶媒中に、該有機溶媒に溶解可能な銅を構成元素とする少なくとも一種の化合物と、少なくとも一種の多価アルコールと、少なくとも一種の保護剤とを含む組成液を用意する工程と、前記組成液を非酸化条件下で加熱することによって還元された銅を構成要素とする銅ナノ粒子を形成する工程とを包含する。そして、前記有機溶媒として、常温で液体であって沸点が100℃以上である少なくとも一種の溶剤と、常温で液体であって沸点が100℃未満である少なくとも一種の溶剤とを主体に調製されたものが使用される。
【選択図】 図4
Description
他方、液相合成法としては、金属イオンを含む溶液に適当な還元剤が添加されることによって当該金属イオンを還元して金属微粒子を析出させる還元法が知られている。例えば、エチレングリコール等の多価アルコールを還元剤として金属塩ととともに高沸点有機溶媒に添加し、該溶液を加熱することによって金属塩を還元し金属微粒子を得るポリオール還元法が挙げられる。また、油性溶媒中の界面活性剤に包囲された水系領域を反応場とし、そこで金属イオンを還元することによって金属ナノ粒子を生成する逆ミセル法が知られている。
また、銅は比較的高い熱伝導率を有している。このことから、銅ナノ粒子は、熱を伝導する用途、例えば種々の形状・組成の複合材料(例えばポリイミド樹脂等の樹脂成形体をマトリックスとするもの)に熱伝導性及び/又は導電性フィラーとして含有(分散)させる材料として好適である。
例えば、特許文献1には、デキストリン水溶液に、塩化銅 (II)を添加して成るデキストリン・銅水溶液に、還元剤として水素化ホウ素ナトリウムを加えて銅イオンを還元・析出することを特徴とする銅ナノ粒子製造方法が記載されている。
また、特許文献2には、銅(I)アンミン錯イオンを含む水溶液に酸を加えてpHを低下させ、銅(I)イオン(Cu+)を、銅(II)イオン(Cu2+)と金属銅(Cu)とに不均化分解反応させることによって、銅を析出させることを特徴とする銅微粒子製造方法が記載されている。
また、特許文献3には、蒸着法に基づいて金、銀又は銅微粒子を製造する方法が記載されている(但し銅に関する具体的な実施例の記載はない。)。
他方、従来の液相合成法では、高純度で狭い粒径分布を有する銅ナノ粒子の製造が特定の粒径サイズのものに限定されていた。従来の液相還元法(例えば上述のポリオール還元法や逆ミセル法)によると、粒径が数nm程度のナノ粒子や100nm以上のサブミクロンオーダーの銅メタル粒子は容易に得られるが、メソサイズ(典型的には粒径10〜50nm程度、例えば20〜50nm程度)の銅ナノ粒子を得ることは困難であった。また、金や銀等と比べて酸化還元電位の小さな銅ナノ粒子を合成する場合、上記逆ミセル法のように水を含む合成系では、酸化物や水酸化物などの副生成物が形成される場合があり、非水系での合成が望まれる。
そして、この方法では、上記組成液を構成する上記有機溶媒として、常温で液体であって沸点が100℃以上である少なくとも一種の溶剤と、常温で液体であって沸点が100℃未満である少なくとも一種の溶剤とを主体に調製されたものが使用されることを特徴とする。
すなわち、本発明の銅ナノ粒子製造方法では、非水系の有機溶媒中、非酸化条件下で還元反応を行うため、高純度の銅メタルナノ粒子を製造することができる。そして、上記構成の有機溶媒を使用することによって、粒径分布の狭い、好ましくはメソサイズ(典型的には粒径10〜50nm程度、好ましくは20〜50nm程度)に粒径の揃った銅ナノ粒子を製造することができる。
従って、本発明の銅ナノ粒子製造方法によると、導体形成材料や各種成形体を構成する複合材料の成分として好適に使用され得るメソサイズの銅ナノ粒子を提供することができる。
このような配合によると、有機溶媒の高沸点を維持しつつ低粘性の有機溶媒を提供することができる。これにより、分散性の高い粒子形態の揃った銅ナノ粒子を製造することが容易となる。
THF又はその置換体は、比較的高い沸点(例えばTHFの沸点:65℃)を有する一方で、比較的低粘度(例えばTHFの25℃における粘度:約0.53mPa・s)である。このため、かかる環状エーテルと沸点200℃以上のエーテル系溶剤(例えばジオクチルエーテル)とを組み合わせて使用することによって、高沸点を維持しつつ低粘度の非水系溶媒を容易に調製することができる。また、THF等は原料物質の溶解度を調整する働きもあるので好ましい。
このような組成の有機溶媒を使用することによって、分散性に優れ、粒径分布の狭いメソサイズ銅ナノ粒子を好適に製造することができる。
例えば、上記有機溶媒全量に対する沸点100℃未満の溶剤(好ましくはエーテル系溶剤、特に上記のような環状エーテル)の含有率が35〜45vol%(この場合、典型的には沸点100℃以上の溶剤の含有率が55〜65vol%)であることによって、中心粒径(粒径分布のピーク値)が20〜50nmにあり、粒径分布が狭くサイズの揃った銅ナノ粒子を製造することができる。
この種の錯体は大気雰囲気下でも安定な有機金属錯体であり、多価アルコールによって容易に還元され得る。このため、比較的穏やかな条件(例えば大気圧条件)下で銅ナノ粒子を好適に製造することができる。
これにより、有機溶媒の過度の蒸発を抑止して、安定的に粒径の揃った銅ナノ粒子を製造することができる。例えば、上記錯体の使用が好ましい。
非イオン性高分子であるPVPを保護剤として使用することによって、分散性に優れるメソサイズの銅ナノ粒子の生成が容易になる。
本発明により提供される粉体材料には、次のものが含まれる。すなわち、ここで開示される粉体材料の一つは、銅ナノ粒子から実質的に構成される粉体材料であって、上記銅ナノ粒子は、その一次粒子の粒径分布のピーク値が10〜50nmにあり、粒径100nm以上の一次粒子が実質的に含まれていないこと(典型的には粒子数全体の1個数%以下、好ましくは0.1個数%以下)を特徴とする。
また、特に好ましい態様として、上記銅ナノ粒子の一次粒子の80個数%以上(特に好ましくは90個数%以上)が粒径20〜50nm(典型的には20〜40nm)の粒子である粉体材料が提供される。
ここで開示される粉体材料は、例えばメソサイズの銅微粒子を使用することが好ましい銅配線(又は電極その他導体)や銅メッキ膜を構成するために好適に利用し得る。また、複合材料、例えばポリイミド等から成るポリマー成形体の銅フィラーとして好適に利用し得る。
本発明により提供される銅ナノ粒子分散体には、次のものが含まれる。すなわち、ここで開示される銅ナノ粒子分散体の一つは、液体状又は固体状の媒質中に銅ナノ粒子を分散した状態で含む銅ナノ粒子分散体であって、上記銅ナノ粒子はその一次粒子の粒径分布のピーク値が10〜50nmにあり、粒径100nm以上の一次粒子が実質的に含まれていないこと(典型的には粒子数全体の1個数%以下、好ましくは0.1個数%以下)を特徴とする。
好適な液体状媒質として、水系溶媒又は種々の有機溶媒が挙げられる。また、好適な固体状(ゲル状のものを包含する。)媒質として、成形容易な種々の樹脂マトリックスあるいはセラミックマトリックスが挙げられる。
また、特に好ましい態様として、上記銅ナノ粒子の一次粒子の80個数%以上(特に好ましくは90個数%以上)が粒径20〜50nm(典型的には20〜40nm)の粒子である銅ナノ粒子分散体が提供される。
ここで開示される銅ナノ粒子分散体は、用途に応じて種々の形態(必要に応じて従来公知の種々の副成分を含有し得る。)で提供され得る。例えばメソサイズの銅微粒子を使用することが好ましい銅配線(又は電極その他導体)や銅メッキ膜を構成するためのペースト又はインク材料として提供される。また、複合材料、例えばフィラーとしてメソサイズ銅ナノ粒子が分散したポリイミド等から成るポリマー成形体として提供される。
常温(室温)で液体であって沸点100℃以上の溶剤としては、ターピネオール、或いは、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、フェニルメチルエーテル等のエーテル系溶剤が挙げられる。沸点200℃以上のエーテル系溶剤、例えば、ジフェニルエーテル(沸点:259℃)、ジオクチルエーテル(沸点:287℃)が反応安定性の観点から好ましい。
他方、常温(室温)で液体であって沸点100℃未満の溶剤としては種々のものが挙げられるが、エーテル系溶剤が好ましく、特に、分散性のよい銅ナノ粒子を生成するという効果に優れ、粘性が低く且つ比較的沸点の高い環状エーテルが好ましい。特にテトラヒドロフラン又はその置換体が好ましい。これら環状エーテルは、粘度(25℃)が0.5mPa・s程度であり、本発明の銅ナノ粒子製造方法に使用する組成液の粘性を低下させて分散性のよい銅ナノ粒子を製造する(換言すれば生成した一次粒子の凝集を防止する)のに好適な低沸点エーテル系溶剤である。
なお、これら沸点の異なる溶剤の他に、本発明の目的を達成し得る限りにおいて、他の溶剤(非水系)が多少含まれていてもよい。
また、多価アルコールは、還元剤として機能し得るものである限り、特に制限なく用いることができる。種々のポリオール、例えば沸点200℃以上の長鎖ジオール(1,2−オクタンジオール、1,2−ドデカンジオール、1,2−ヘキサデカンジオール等)を好適に用いることができる。
また、使用する組成液中の銅化合物(例えばアセチルアセトナト銅錯体)と保護剤(典型的にはPVP)との配合比は特に制限はなく、メソサイズの銅ナノ粒子の生成に十分な量の保護剤が添加されていればよい。
銅ナノ粒子は金ナノ粒子等の貴金属粒子と比べてイオン化傾向が大きく酸化雰囲気に弱い。従って、銅ナノ粒子を製造するため、以後の粒子生成反応(還元反応)を昇温した有機溶媒中で行うとともに、反応の際に酸化の原因となる水や空気を実質的に介在させない厳密な非酸化条件下で行うことが好ましい。
或いは、銅ナノ粒子分散液から銅ナノ粒子を回収・精製し、用途に応じた媒体中に貯蔵する。例えば、遠心分離により容易に当該メソサイズ銅ナノ粒子(銅粉体材料)を分離・回収することができる。こうして得られた銅ナノ粒子(銅粉体)をヘキサン、オクタン、トルエン、ターピネオール等の有機溶媒中に再分散させることによって、所望する分散体(例えば導体ペースト材料)とすることができる。
銅アセチルアセトナート(Cu(acac)2)0.1g及びポリビニルピロリドン(和光純薬工業(株)製品:ポリビニルピロリドンK25)0.067gにテトラヒドロフラン(THF)を加えた後に、適量のヘキサデカンジオールとジオクチルエーテル(OE)を加えた。ここで、THFとOEは合計が25mLとなるように加え、そのうちTHFの含有率が10vol%になるようにした。得られた原料溶液を、反応容器(マントルヒーター付きフラスコ)に入れ、スターラー(撹拌子)を用いて原料溶液をよく撹拌しながらフラスコ内に不活性ガスとしてArガス(流量:300ml/min)を流して室温条件(20〜25℃)でガス置換(フラッシング)した。
次いで、マントルヒーターにより反応溶液を加熱した。即ち昇温速度をPDI制御により約10分/1℃とし、加熱開始から約10分後に130〜150℃まで加熱した。温度が130℃を超えると溶液の色が茶色に変化した。このことから銅ナノ粒子の発生が130℃付近で生じていることが認められた。
加熱開始から30分経過後、マントルヒーターを取り外し、混合溶液を急冷した。そして、溶液の温度が60℃以下になったところで、フラスコ内にエタノールを添加し、遠心分離によって銅ナノ粒子を回収した。得られた銅ナノ粒子をメタノールで洗浄し、再度遠心分離することによって未反応物を取り除いた。最終的に、所定量のヘキサンに銅ナノ粒子を再分散させた。
THFの含有率を20vol%とした以外は、実施例1と同様の手順により、銅ナノ粒子を製造した。
THFの含有率を40vol%とした以外は、実施例1と同様の手順により、銅ナノ粒子を製造した。
THFの含有率が0vol%(即ちTHF無添加)である以外は、実施例1と同様の手順により、銅ナノ粒子を製造した。
また、TEM像解析に基づいて実施例1〜3に係る銅ナノ粒子の粒径分布を詳細に調べた。表1に各データを掲載した。また、粒径分布図を図5〜7に示す。図5、6及び7は、それぞれ実施例1、実施例2及び実施例3に対応する。また、図8に、各実施例で使用したエーテル系溶媒のTHF含有率と、それらを用いて得られた銅ナノ粒子の平均粒径(nm)及び標準偏差/平均粒径(×100)との関係を示す。
Claims (15)
- 銅ナノ粒子の製造方法であって、以下の工程:
沸点が100℃以上となるように調製された有機溶媒中に、該有機溶媒に溶解可能な銅を構成元素とする少なくとも一種の化合物と、少なくとも一種の多価アルコールと、少なくとも一種の保護剤とを含む組成液を用意する工程、
ここで前記有機溶媒として、常温で液体であって沸点が100℃以上である少なくとも一種の溶剤と、常温で液体であって100℃未満である少なくとも一種の溶剤とを主体に調製されたものが使用される;
および
前記組成液を非酸化条件下で加熱することによって、還元された銅を構成要素とする銅ナノ粒子を形成する工程;
を包含する方法。 - 前記有機溶媒として、常温で液体であって沸点が200℃以上である少なくとも一種のエーテル系溶剤と、常温で液体であって沸点が100℃未満である少なくとも一種の環状エーテル系溶剤とを主体に調製されたものが使用される、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも一種の環状エーテル系溶剤がテトラヒドロフラン又はその置換体である、請求項2に記載の方法。
- 前記有機溶媒全量に対する沸点100℃未満の溶剤の含有率が5〜50vol%である、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記銅を構成元素とする化合物が、少なくとも一種のアセチルアセトナト錯体である、請求項1〜4のいずれかに記載の方法。
- 前記組成液の加熱処理における最大加熱温度は130〜150℃の範囲に設定される、請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
- 前記保護剤として、ポリビニルピロリドンを含む、請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 銅ナノ粒子から実質的に構成される粉体材料であって、
前記銅ナノ粒子は、その一次粒子の粒径分布のピーク値が10〜50nmにあり、粒径100nm以上の一次粒子が実質的に含まれていないことを特徴とする、粉体材料。 - 前記銅ナノ粒子の一次粒子の粒径分布のピーク値が20〜50nmにある、請求項8に記載の粉体材料。
- 前記銅ナノ粒子の一次粒子の80個数%以上が、粒径20〜50nmの粒子である、請求項9に記載の粉体材料。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の方法によって製造された銅ナノ粒子を含む、請求項8〜10のいずれかに記載の粉体材料。
- 液体状又は固体状の媒質中に銅ナノ粒子を分散した状態で含む、銅ナノ粒子分散体であって、
前記銅ナノ粒子は、その一次粒子の粒径分布のピーク値が10〜50nmにあり、粒径100nm以上の一次粒子が実質的に含まれていないことを特徴とする、銅ナノ粒子分散体。 - 前記銅ナノ粒子の一次粒子の粒径分布のピーク値が20〜50nmにある、請求項12に記載の銅ナノ粒子分散体。
- 前記銅ナノ粒子の一次粒子の80個数%以上が、粒径20〜50nmの粒子である、請求項13に記載の銅ナノ粒子分散体。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の方法によって製造された銅ナノ粒子を含む、請求項12〜14のいずれかに記載の銅ナノ粒子分散体。
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