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JP2005150168A - Laminated coil component - Google Patents

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JP2005150168A
JP2005150168A JP2003381715A JP2003381715A JP2005150168A JP 2005150168 A JP2005150168 A JP 2005150168A JP 2003381715 A JP2003381715 A JP 2003381715A JP 2003381715 A JP2003381715 A JP 2003381715A JP 2005150168 A JP2005150168 A JP 2005150168A
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JP
Japan
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coil
conductor patterns
permeability
coils
ceramic layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP2003381715A
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Japanese (ja)
Inventor
Tadashi Tanaka
忠 田中
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminated coil component in which a low permeability material (a non-magnetic substance material) can be arranged around a conductor pattern for the coil without depending upon printing and which has excellent electrical characteristics. <P>SOLUTION: A laminated common-mode choke coil 1 is composed of a ceramic green sheet 11 to which the conductor patterns 2 for the coil and holes 6 filled with a high-permeability material are formed and which has a low permeability, and the highly permeable ceramic green sheet 12 to which the conductor patterns 3 for the coil and via holes 8 for an interlayer connection are formed. The choke coil is further composed of the ceramic green sheets 13 and 14, to which leading-out conductor patterns 4 and 5 are formed respectively and which have the high permeability, and the ceramic green sheets 15 having the high permeability for external layers. The ceramic layer 11 having the low permeability is arranged between spiral coils L1 and L2. Holes 6 filled with the high-permeability material are formed to the ceramic layer 11 so as to surround the coils L1 and L2 in a plan view. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、積層コイル部品、特に、積層インダクタや積層インピーダンス素子や積層トランスなどの積層コイル部品に関する。   The present invention relates to a multilayer coil component, and more particularly to a multilayer coil component such as a multilayer inductor, a multilayer impedance element, or a multilayer transformer.

積層トランスや積層コモンモードチョークコイルなどのように、二つのコイルを磁気的に結合させる積層セラミック電子部品が知られている。図11は従来の積層コモンモードチョークコイル100の模式断面図である。この積層コモンモードチョークコイル100は、複数の高透磁率セラミックシートを積層して構成した高透磁率セラミック積層体110の内部に、複数のコイル用導体パターン101,102をそれぞれビアホール(図示せず)にて電気的に直列に接続してなるコイルL1,L2を配設している。そして、従来より、コイル用導体パターン101,102の周辺に低透磁率セラミック材105を配置することにより、コイル用導体パターン101,102近傍を旋回する局所的な漏れ磁束φBの発生を抑え、コイルL1,L2全体を旋回する磁束φAを強くして、コイルL1とL2の結合係数を上げることが行われている。なお、図11において、符号111,112は入出力外部電極である。   A multilayer ceramic electronic component that magnetically couples two coils, such as a multilayer transformer and a multilayer common mode choke coil, is known. FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of a conventional laminated common mode choke coil 100. In this laminated common mode choke coil 100, a plurality of coil conductor patterns 101 and 102 are respectively provided in via holes (not shown) in a high permeability ceramic laminate 110 formed by laminating a plurality of high permeability ceramic sheets. Coils L1 and L2 that are electrically connected in series are arranged. Conventionally, the low magnetic permeability ceramic material 105 is disposed around the coil conductor patterns 101 and 102 to suppress the generation of local leakage magnetic flux φB that swirls around the coil conductor patterns 101 and 102. Increasing the coupling coefficient between the coils L1 and L2 by increasing the magnetic flux φA turning around the entire L1 and L2. In FIG. 11, reference numerals 111 and 112 denote input / output external electrodes.

また、特許文献1には、コイル用導体パターンの周辺のみに非磁性体を配置し、その他の部分は磁性体とするために、印刷によって同一面に磁性体パターンと非磁性体パターンとを形成している積層トランスが記載されている。   Also, in Patent Document 1, a nonmagnetic material is disposed only around the coil conductor pattern and the other portions are made of magnetic material, so that a magnetic material pattern and a nonmagnetic material pattern are formed on the same surface by printing. A laminated transformer is described.

しかしながら、同一面に異種材料を印刷することは、印刷にじみなどが発生し易くて技術的に難しく、製造工程が複雑となり、歩留まりも低下し易いという問題があった。   However, it is technically difficult to print different materials on the same surface because printing blur is likely to occur, and there is a problem that the manufacturing process is complicated and the yield is likely to decrease.

さらに、特許文献1の積層トランスの場合には、渦巻状のコイル用導体パターン全体を非磁性材料(低透磁率材料)で覆うため、同一層のコイル用導体パターン相互間のギャップを通る磁束を遮断し、その部分での上下層の結合を妨げるという問題もあった。
特開平9−306770号公報
Furthermore, in the case of the laminated transformer of Patent Document 1, in order to cover the entire spiral coil conductor pattern with a nonmagnetic material (low magnetic permeability material), the magnetic flux passing through the gap between the coil conductor patterns on the same layer is applied. There was also a problem of blocking and preventing the upper and lower layers from being bonded at that portion.
JP-A-9-306770

そこで、本発明の目的は、印刷によらないで、コイル用導体パターンの周辺に低透磁率材料(非磁性体材料)を配置することができ、かつ、電気特性の優れた積層コイル部品を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a laminated coil component having a low magnetic permeability material (non-magnetic material) around a coil conductor pattern and having excellent electrical characteristics without depending on printing. There is to do.

前記目的を達成するため、本発明に係る積層コイル部品は、
(a)複数のセラミック層と複数のコイル用導体パターンとを積み重ねて構成した積層体と、
(b)複数のコイル用導体パターンにて構成された少なくとも二つのコイルとを備え、
(c)セラミック層の積み重ね方向において、二つのコイルの間に配置されたセラミック層が、低透磁率材料からなる低透磁率セラミック層である。そして、低透磁率セラミック層には、平面視でコイルを囲むように、高透磁率材料が充填された穴が設けられていることを特徴とする。高透磁率材料が充填された穴は、コイルによって発生した磁界の磁路となる。
In order to achieve the above object, a laminated coil component according to the present invention includes:
(A) a laminate formed by stacking a plurality of ceramic layers and a plurality of coil conductor patterns;
(B) comprising at least two coils composed of a plurality of coil conductor patterns;
(C) In the stacking direction of the ceramic layers, the ceramic layer disposed between the two coils is a low permeability ceramic layer made of a low permeability material. The low-permeability ceramic layer is provided with a hole filled with a high-permeability material so as to surround the coil in plan view. The hole filled with the high magnetic permeability material becomes a magnetic path of the magnetic field generated by the coil.

以上の構成により、コイル用導体パターン近傍を旋回する局所的な漏れ磁束の発生が抑えられ、セラミック層の積み重ね方向に配置された二つのコイル全体を旋回する磁束が強くなり、二つのコイルの結合係数が向上する。   With the above configuration, the occurrence of local leakage magnetic flux swirling in the vicinity of the coil conductor pattern is suppressed, the magnetic flux swirling the entire two coils arranged in the stacking direction of the ceramic layers is strengthened, and the two coils are coupled. The coefficient is improved.

また、本発明に係る積層コイル部品は、
(d)複数のセラミック層と複数のコイル用導体パターンとを積み重ねて構成した積層体と、
(e)複数のコイル用導体パターンにて構成された螺旋状コイルとを備え、
(f)積層体の積み重ね方向において、コイル用導体パターンの間に配置されたセラミック層が、低透磁率材料からなる低透磁率セラミック層である。そして、低透磁率セラミック層には、平面視で螺旋状コイルを囲むように、高透磁率材料が充填された穴が設けられていることを特徴とする。高透磁率材料が充填された穴は、螺旋状コイルによって発生した磁界の磁路となる。
The laminated coil component according to the present invention is
(D) a laminate formed by stacking a plurality of ceramic layers and a plurality of coil conductor patterns;
(E) a spiral coil constituted by a plurality of coil conductor patterns;
(F) In the stacking direction of the laminated body, the ceramic layer disposed between the coil conductor patterns is a low permeability ceramic layer made of a low permeability material. The low-permeability ceramic layer is provided with a hole filled with a high-permeability material so as to surround the spiral coil in plan view. The hole filled with the high magnetic permeability material becomes a magnetic path of the magnetic field generated by the spiral coil.

以上の構成により、コイル用導体パターン近傍を旋回する局所的な漏れ磁束の発生が抑えられ、螺旋状コイルのインダクタンス値が向上する。   With the above configuration, the occurrence of local leakage magnetic flux swirling in the vicinity of the coil conductor pattern is suppressed, and the inductance value of the spiral coil is improved.

本発明によれば、二つのコイルの間もしくは二つのコイル用導体パターンの間に低透磁率セラミック層を配置するとともに、この低透磁率セラミック層に、平面視でコイルを囲むように高透磁率材料が充填された穴を設けることにより、同一面に複数種類の材料を印刷することなく、コイル用導体パターンの周辺に低透磁率セラミックスを配置することができる。この結果、漏れ磁束が少ない積層コイル部品を高い歩留まりで容易に製造することができる。   According to the present invention, a low permeability ceramic layer is disposed between two coils or between two coil conductor patterns, and the low permeability ceramic layer has a high permeability so as to surround the coil in plan view. By providing the hole filled with the material, the low permeability ceramics can be disposed around the coil conductor pattern without printing a plurality of types of materials on the same surface. As a result, it is possible to easily manufacture a laminated coil component with little leakage magnetic flux with a high yield.

以下に、本発明に係る積層コイル部品の実施例について、その製造方法とともに添付の図面を参照して説明する。   Below, the Example of the laminated coil component which concerns on this invention is described with reference to an accompanying drawing with the manufacturing method.

[第1実施例、図1〜図5]
図1に示すように、積層コモンモードチョークコイル1は、コイル用導体パターン2と高透磁率材料が充填された穴6とを設けた低透磁率セラミックグリーンシート11と、コイル用導体パターン3と層間接続用ビアホール8とを設けた高透磁率セラミックグリーンシート12と、引出し導体パターン4,5をそれぞれ設けた高透磁率セラミックグリーンシート13,14と、外層用高透磁率セラミックグリーンシート15などで構成されている。
[First embodiment, FIGS. 1 to 5]
As shown in FIG. 1, the laminated common mode choke coil 1 includes a low-permeability ceramic green sheet 11 provided with a coil conductor pattern 2 and a hole 6 filled with a high-permeability material, and a coil conductor pattern 3. High permeability ceramic green sheet 12 provided with via holes 8 for interlayer connection, high permeability ceramic green sheets 13 and 14 provided with lead conductor patterns 4 and 5, respectively, and high permeability ceramic green sheet 15 for outer layers It is configured.

低透磁率セラミックグリーンシート11は、低透磁率セラミックス粉末や非磁性体セラミックス粉末やガラス粉末を結合剤などと一緒に混練したものをドクターブレード法などの方法でシート状にしたものである。   The low-permeability ceramic green sheet 11 is obtained by kneading a low-permeability ceramic powder, non-magnetic ceramic powder, or glass powder together with a binder or the like into a sheet shape by a method such as a doctor blade method.

高透磁率セラミックグリーンシート12〜15は、例えばFe−Ni−Cu系のフェライト粉末を結合剤などと一緒に混練したものをドクターブレード法などの方法でシート状にしたものである。   The high magnetic permeability ceramic green sheets 12 to 15 are, for example, those obtained by kneading Fe—Ni—Cu ferrite powder together with a binder or the like into a sheet shape by a method such as a doctor blade method.

コイル用導体パターン2,3および引出し導体パターン4,5はそれぞれ、スクリーン印刷法やフォトリソグラフィ法などの方法により、シート11〜14上に形成される。これらの導体パターン2〜5はAg,Pd,Cu,Auやこれらの合金などからなる。   The coil conductor patterns 2 and 3 and the lead conductor patterns 4 and 5 are respectively formed on the sheets 11 to 14 by a method such as a screen printing method or a photolithography method. These conductor patterns 2 to 5 are made of Ag, Pd, Cu, Au, alloys thereof, or the like.

コイル用導体パターン2,3の形状は渦巻状であり、それぞれ第1コイルL1および第2コイルL2を形成する。コイルL1,L2のそれぞれのコイル軸はシート11〜15の積み重ね方向に対して平行である。平面視で、コイル用導体パターン2の一端部2aは、シート11の手前側の辺の右側に露出し、他端部2bはシート11の中央部に位置している。引出し導体パターン4の一端部4aは、シート13の奥側の辺の右側に露出し、他端部4bはシート13の中央部に位置し、シート13の中央部に設けた層間接続用ビアホール8を通してコイル用導体パターン2の端部2bに電気的に接続する。   The coil conductor patterns 2 and 3 have a spiral shape, and form a first coil L1 and a second coil L2, respectively. The coil axes of the coils L1, L2 are parallel to the stacking direction of the sheets 11-15. In plan view, one end 2 a of the coil conductor pattern 2 is exposed on the right side of the front side of the sheet 11, and the other end 2 b is located in the center of the sheet 11. One end 4 a of the lead conductor pattern 4 is exposed on the right side of the back side of the sheet 13, and the other end 4 b is located at the center of the sheet 13, and the interlayer connection via hole 8 provided at the center of the sheet 13. And electrically connected to the end 2b of the coil conductor pattern 2.

一方、コイル用導体パターン3の一端部3aは、シート12の手前側の辺の左側に露出し、他端部3bはシート12の中央部に位置している。引出し導体パターン5の一端部5aは、シート14の奥側の辺の左側に露出し、他端部5bはシート14の中央部に位置し、シート12の中央部に設けた層間接続用ビアホール8を通してコイル用導体パターン3の端部3bに電気的に接続する。   On the other hand, one end portion 3 a of the coil conductor pattern 3 is exposed on the left side of the front side of the sheet 12, and the other end portion 3 b is located at the center of the sheet 12. One end portion 5 a of the lead conductor pattern 5 is exposed on the left side of the back side of the sheet 14, and the other end portion 5 b is located in the center portion of the sheet 14, and the interlayer connection via hole 8 provided in the center portion of the sheet 12. And electrically connected to the end 3b of the coil conductor pattern 3.

層間接続用ビアホール8は、導体パターン3,4を形成する前のシート12,13にレーザビームなどを用いて貫通孔を形成し、この貫通孔にAg,Pd,Cu,Auやこれらの合金などの導電性ペーストを印刷塗布などの方法により充填することによって形成される。   The via hole 8 for interlayer connection is formed with a through hole using a laser beam or the like in the sheets 12 and 13 before the conductor patterns 3 and 4 are formed, and Ag, Pd, Cu, Au, and alloys thereof are formed in the through hole. The conductive paste is filled by a method such as printing and coating.

高透磁率材料が充填された穴6は、導体パターン3,4を形成する前の低透磁率セラミックグリーンシート11にレーザビームなどを用いて形成され、この穴6に高透磁率材料の絶縁性ペーストが印刷塗布などの方法により充填される。穴6は渦巻状コイル用導体パターン2の外周部および中心部に形成されている。穴6の径は層間接続用ビアホール8と略等しく、200μm以下の大きさが好ましい。穴6の径が200μmを越えると、印刷された高透磁率材料の絶縁性ペーストが穴6から抜け落ち易くなり、印刷性が悪くなるからである。高透磁率材料の絶縁性ペーストとしては、例えばFe−Ni−Cu系のフェライト粉末を結合材などと一緒に混練したものが用いられる。この高透磁率材料の透磁率は、高透磁率セラミックグリーンシート12〜15と同等以上であることが好ましい。   The hole 6 filled with the high magnetic permeability material is formed in the low magnetic permeability ceramic green sheet 11 before forming the conductor patterns 3 and 4 using a laser beam or the like, and the insulating property of the high magnetic permeability material is formed in the hole 6. The paste is filled by a method such as printing. The holes 6 are formed in the outer peripheral portion and the central portion of the spiral coil conductor pattern 2. The diameter of the hole 6 is substantially equal to the via hole 8 for interlayer connection, and preferably has a size of 200 μm or less. This is because when the diameter of the hole 6 exceeds 200 μm, the printed high-permeability material insulating paste easily falls out of the hole 6 and printability is deteriorated. As the high-permeability material insulating paste, for example, an Fe—Ni—Cu ferrite powder kneaded together with a binder or the like is used. The magnetic permeability of this high magnetic permeability material is preferably equal to or higher than that of the high magnetic permeability ceramic green sheets 12-15.

以上の構成からなる各シート11〜15は、図1に示すように積み重ねられて圧着された後、一体的に焼成されて図2に示すような直方体形状を有する積層体20とされる。次に、積層体20の手前側の側面に入出力外部電極21a,22aを形成するとともに、奥側の側面に入出力外部電極21b,22bを形成する。外部電極21a〜22bは、塗布焼付、スパッタリング、あるいは蒸着などの方法により形成される。外部電極21aと21bの間には、コイル用導体パターン2と引出し導体パターン4、すなわち第1コイルL1が接続されている。外部電極22aと22bの間には、コイル用導体パターン3と引出し導体パターン5、すなわち第2コイルL2が接続されている。   The sheets 11 to 15 having the above configuration are stacked and pressure-bonded as shown in FIG. 1 and then integrally fired to form a laminated body 20 having a rectangular parallelepiped shape as shown in FIG. Next, the input / output external electrodes 21a and 22a are formed on the front side surface of the laminate 20, and the input / output external electrodes 21b and 22b are formed on the back side surface. The external electrodes 21a to 22b are formed by a method such as coating baking, sputtering, or vapor deposition. Between the external electrodes 21a and 21b, the coil conductor pattern 2 and the lead conductor pattern 4, that is, the first coil L1 are connected. Between the external electrodes 22a and 22b, the coil conductor pattern 3 and the lead conductor pattern 5, that is, the second coil L2 are connected.

こうして得られた積層コモンモードチョークコイル1は、図3に示すように、積層体20の内部に、コイル軸がシート11〜15の積み重ね方向と平行な渦巻状コイルL1,L2が上下に積み重ねられた状態で配設されている。シート11〜15の積み重ね方向において、渦巻状コイルL1とL2の間には、低透磁率材料からなる低透磁率セラミック層11が配置されている。   In the laminated common mode choke coil 1 thus obtained, spiral coils L1 and L2 whose coil axes are parallel to the stacking direction of the sheets 11 to 15 are vertically stacked inside the stacked body 20, as shown in FIG. It is arranged in the state. In the stacking direction of the sheets 11 to 15, a low permeability ceramic layer 11 made of a low permeability material is disposed between the spiral coils L <b> 1 and L <b> 2.

そして、低透磁率セラミック層11には、平面視で渦巻状コイルL1,L2をそれぞれ囲むように、高透磁率材料が充填された穴6が設けられている。高透磁率材料が充填された穴6は、コイルL1,L2によってそれぞれ発生した磁界の磁路となる。従って、コイル用導体パターン2,3のそれぞれの近傍を旋回する局所的な漏れ磁束φBの発生が抑えられるとともに、コイルL1,L2全体を旋回する磁束φAが強くなり、コイルL1とL2の結合係数を上げることができる。高透磁率材料が充填された穴6は、できるだけコイル用導体パターン2,3の近傍に配置した方が、磁束φAが効率良く旋回するので、さらに結合係数がよくなる。   The low magnetic permeability ceramic layer 11 is provided with holes 6 filled with a high magnetic permeability material so as to surround the spiral coils L1 and L2 in plan view. The holes 6 filled with the high permeability material serve as magnetic paths for the magnetic fields generated by the coils L1 and L2, respectively. Therefore, the occurrence of local leakage flux φB swirling in the vicinity of each of the coil conductor patterns 2 and 3 is suppressed, and the magnetic flux φA swirling the entire coils L1 and L2 is strengthened, and the coupling coefficient between the coils L1 and L2 is increased. Can be raised. When the hole 6 filled with the high magnetic permeability material is arranged as close to the coil conductor patterns 2 and 3 as possible, the magnetic flux φA is swirled more efficiently, so that the coupling coefficient is further improved.

また、以上の製造方法によれば、シート11に形成した穴6に高透磁率材料の絶縁性ペーストを印刷塗布するだけでよく、同一面に複数種類の材料を印刷することなく、コイル用導体パターン2,3の周辺に低透磁率セラミックスを配置することができる。この結果、印刷不具合による積層コモンモードチョークコイル1の歩留まりの低下を防止することができる。   In addition, according to the above manufacturing method, it is only necessary to print and apply the insulating paste of the high magnetic permeability material to the hole 6 formed in the sheet 11, and without having to print a plurality of types of materials on the same surface, the coil conductor Low permeability ceramics can be disposed around the patterns 2 and 3. As a result, it is possible to prevent a decrease in yield of the laminated common mode choke coil 1 due to a printing defect.

さらに、積層圧着前のシート11に予め高透磁率材料が充填された穴6を形成しておけばよいので、順に重ね塗りをすることによって積層構造を有するコモンモードチョークコイルを製造する方法と比較して容易に製造することができる。   Furthermore, since the hole 6 filled with the high magnetic permeability material may be formed in the sheet 11 before the lamination pressure bonding in advance, it is compared with the method of manufacturing the common mode choke coil having the laminated structure by sequentially applying the coating. And can be easily manufactured.

なお、高透磁率材料が充填された穴6は、図4に示すように、コイル用導体パターン2のパターン間の狭い領域にも形成するようにしてもよい。これにより、より一層コイルL1とL2の結合係数が上がる。また、図5に示すように、高透磁率材料が充填された穴6を、コイル導体パターン2のパターン間の狭い領域に形成しないようにしてもよい。これにより、歩留まりが向上する。   The holes 6 filled with the high magnetic permeability material may be formed in a narrow region between the coil conductor patterns 2 as shown in FIG. This further increases the coupling coefficient between the coils L1 and L2. Further, as shown in FIG. 5, the holes 6 filled with the high magnetic permeability material may not be formed in a narrow region between the coil conductor patterns 2. Thereby, a yield improves.

[第2実施例、図6〜図8]
図6に示すように、積層コモンモードチョークコイル31は、コイル用導体パターン32,33と高透磁率材料が充填された穴36と層間接続用ビアホール38とを設けた低透磁率セラミックグリーンシート41と、コイル用導体パターン33を設けた高透磁率セラミックグリーンシート42と、予め導体パターンが設けられていない外層用高透磁率セラミックグリーンシート42などで構成されている。
[Second Embodiment, FIGS. 6 to 8]
As shown in FIG. 6, the laminated common mode choke coil 31 includes a low permeability ceramic green sheet 41 provided with coil conductor patterns 32 and 33, a hole 36 filled with a high permeability material, and an interlayer connection via hole 38. And the high permeability ceramic green sheet 42 provided with the coil conductor pattern 33, and the outer layer high permeability ceramic green sheet 42 provided with no conductor pattern in advance.

各コイル用導体パターン32は、シート41に設けた層間接続用ビアホール38を通して電気的に直列に接続され、第1螺旋状コイルL1を形成する。螺旋状コイルL1の一端部32aはシート41の手前側の辺の右側に露出し、他端部はシート41の奥側の辺の右側に露出している。一方、各コイル用導体パターン33は、シート41に設けた層間接続用ビアホール38を通して電気的に直列に接続され、第2螺旋状コイルL2を形成する。螺旋状コイルL2の一端部33aはシート41の手前側の辺の左側に露出し、他端部33bはシート42の奥側の辺の左側に露出している。   The coil conductor patterns 32 are electrically connected in series through interlayer connection via holes 38 provided in the sheet 41 to form a first spiral coil L1. One end 32a of the spiral coil L1 is exposed on the right side of the front side of the sheet 41, and the other end is exposed on the right side of the back side of the sheet 41. On the other hand, each coil conductor pattern 33 is electrically connected in series through an interlayer connection via hole 38 provided in the sheet 41 to form a second spiral coil L2. One end 33a of the spiral coil L2 is exposed on the left side of the front side of the sheet 41, and the other end 33b is exposed on the left side of the back side of the sheet 42.

高透磁率材料が充填された穴36は、低透磁率セラミックグリーンシート41のコイル用導体パターン32,33の外周部および中心部に形成されている。高透磁率材料が充填された穴36は、シート41,42の積み重ね方向に連接され柱状の穴を形成している。   The holes 36 filled with the high magnetic permeability material are formed in the outer peripheral portion and the central portion of the coil conductor patterns 32 and 33 of the low magnetic permeability ceramic green sheet 41. The holes 36 filled with the high magnetic permeability material are connected in the stacking direction of the sheets 41 and 42 to form columnar holes.

以上の構成からなる各シート41,42は、図6に示すように積み重ねられて圧着された後、一体的に焼成されて図7に示すような直方体形状を有する積層体50とされる。次に、積層体50の手前側の側面に入出力外部電極51a,52aを形成するとともに、奥側の側面に入出力外部電極51b,52bを形成する。外部電極51aと51bの間には、第1コイルL1が接続されている。外部電極52aと52bの間には、第2コイルL2が接続されている。   The sheets 41 and 42 having the above configuration are stacked and pressure-bonded as shown in FIG. 6 and then integrally fired to form a laminated body 50 having a rectangular parallelepiped shape as shown in FIG. Next, the input / output external electrodes 51a and 52a are formed on the front side surface of the multilayer body 50, and the input / output external electrodes 51b and 52b are formed on the back side surface. A first coil L1 is connected between the external electrodes 51a and 51b. A second coil L2 is connected between the external electrodes 52a and 52b.

こうして得られた積層コモンモードチョークコイル31は、図8に示すように、積層体50の内部に、コイル軸がシート41,42の積み重ね方向と平行な螺旋状コイルL1,L2が上下に積み重ねられた状態で配設されている。シート41,42の積み重ね方向において、コイル用導体パターン32と33の間、コイル用導体パターン32同士の間、並びに、コイル用導体パターン33同士の間には、低透磁率材料からなる低透磁率セラミック層41が配置されている。   In the laminated common mode choke coil 31 thus obtained, spiral coils L1 and L2 whose coil axes are parallel to the stacking direction of the sheets 41 and 42 are vertically stacked inside the stacked body 50 as shown in FIG. It is arranged in the state. In the stacking direction of the sheets 41, 42, a low permeability made of a low permeability material is provided between the coil conductor patterns 32 and 33, between the coil conductor patterns 32, and between the coil conductor patterns 33. A ceramic layer 41 is disposed.

低透磁率セラミック層41には、高透磁率材料が充填された穴36にて形成された柱状穴36が形成されており、これら柱状穴36は平面視で螺旋状コイルL1,L2をそれぞれ囲んでいる。高透磁率材料が充填された柱状穴36は、螺旋状コイルL1,L2によってそれぞれ発生した磁界の磁路となる。従って、本第2実施例の積層コモンモードチョークコイル31は、前記第1実施例の積層コモンモードチョークコイル1と同様の作用効果を奏する。   The low permeability ceramic layer 41 is formed with columnar holes 36 formed by holes 36 filled with a high permeability material, and these columnar holes 36 surround the spiral coils L1 and L2 in plan view, respectively. It is out. The columnar holes 36 filled with the high permeability material serve as magnetic paths for the magnetic fields generated by the spiral coils L1 and L2, respectively. Therefore, the laminated common mode choke coil 31 according to the second embodiment has the same effects as the laminated common mode choke coil 1 according to the first embodiment.

[第3実施例、図9および図10]
図9に示すように、積層インダクタ61は、コイル用導体パターン62と高透磁率材料が充填された穴66と層間接続用ビアホール68とを設けた低透磁率セラミックグリーンシート71と、コイル用導体パターン62を設けた高透磁率セラミックグリーンシート72と、予め導体パターンが設けられていない外層用高透磁率セラミックグリーンシート72などで構成されている。
[Third embodiment, FIGS. 9 and 10]
As shown in FIG. 9, the laminated inductor 61 includes a low magnetic permeability ceramic green sheet 71 provided with a coil conductor pattern 62, a hole 66 filled with a high magnetic permeability material, and an interlayer connection via hole 68, and a coil conductor. The high-permeability ceramic green sheet 72 provided with the pattern 62 and the high-permeability ceramic green sheet 72 for the outer layer not provided with a conductor pattern in advance.

各コイル用導体パターン62は、シート71に設けた層間接続用ビアホール68を通して電気的に直列に接続され、螺旋状コイルLを形成する。螺旋状コイルLの一端部62aはシート72の手前側の辺に露出し、他端部はシート71の奥側の辺に露出している。   Each of the coil conductor patterns 62 is electrically connected in series through an interlayer connection via hole 68 provided in the sheet 71 to form a spiral coil L. One end portion 62 a of the spiral coil L is exposed on the near side of the sheet 72, and the other end portion is exposed on the far side of the sheet 71.

高透磁率材料が充填された穴66は、低透磁率セラミックグリーンシート71のコイル用導体パターン62の外周部および中心部に形成されている。高透磁率材料が充填された穴66は、シート71,72の積み重ね方向に連接され柱状の穴を形成している。   The holes 66 filled with the high magnetic permeability material are formed in the outer peripheral portion and the central portion of the coil conductor pattern 62 of the low magnetic permeability ceramic green sheet 71. The holes 66 filled with the high magnetic permeability material are connected in the stacking direction of the sheets 71 and 72 to form columnar holes.

以上の構成からなる各シート71,72は、図9に示すように積み重ねられて圧着された後、一体的に焼成されて図10に示すような直方体形状を有する積層体80とされる。次に、積層体80の一方の側面に入出力外部電極81aを形成するとともに、他方の側面に入出力外部電極81bを形成する。外部電極81aと81bの間には、コイルLが接続されている。   The sheets 71 and 72 having the above configuration are stacked and pressure-bonded as shown in FIG. 9, and then fired integrally to form a laminated body 80 having a rectangular parallelepiped shape as shown in FIG. Next, the input / output external electrode 81a is formed on one side surface of the laminate 80, and the input / output external electrode 81b is formed on the other side surface. A coil L is connected between the external electrodes 81a and 81b.

こうして得られた積層インダクタ61は、シート71,72の積み重ね方向において、コイル用導体パターン62同士の間には、低透磁率材料からなる低透磁率セラミック層71が配置されている。   In the laminated inductor 61 obtained in this way, a low permeability ceramic layer 71 made of a low permeability material is disposed between the coil conductor patterns 62 in the stacking direction of the sheets 71 and 72.

低透磁率セラミック層71には、高透磁率材料が充填された穴66にて形成された柱状穴66が形成されており、これら柱状穴66は平面視で螺旋状コイルLを囲んでいる。高透磁率材料が充填された柱状穴66は、螺旋状コイルLによって発生した磁界の磁路となる。従って、コイル用導体パターン62の近傍を旋回する局所的な漏れ磁束φBの発生が抑えられるとともに、螺旋状コイルL全体を旋回する磁束φAが強くなり、インダクタンス値の大きい積層インダクタ61を得ることができる。   The low magnetic permeability ceramic layer 71 has columnar holes 66 formed by holes 66 filled with a high magnetic permeability material, and these columnar holes 66 surround the spiral coil L in plan view. The columnar hole 66 filled with the high magnetic permeability material becomes a magnetic path of the magnetic field generated by the spiral coil L. Therefore, the generation of the local leakage magnetic flux φB swirling in the vicinity of the coil conductor pattern 62 is suppressed, and the magnetic flux φA swirling the entire spiral coil L becomes strong, so that the multilayer inductor 61 having a large inductance value can be obtained. it can.

[他の実施例]
なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。積層コイル部品は、積層コモンモードチョークコイルや積層インダクタの他に、例えば、積層トランス、積層インピーダンス素子、積層LC複合部品などがある。また、前記実施例は個産品の例で説明したが、量産の場合には、複数の積層コイル部品を含んだマザー積層ブロックの状態で製造される。
[Other embodiments]
In addition, this invention is not limited to the said Example, It can change variously within the range of the summary. The laminated coil component includes, for example, a laminated transformer, a laminated impedance element, and a laminated LC composite component in addition to the laminated common mode choke coil and the laminated inductor. Moreover, although the said Example demonstrated by the example of the individual product, in the case of mass production, it manufactures in the state of the mother laminated block containing several laminated coil components.

本発明に係る積層コイル部品の第1実施例を示す分解斜視図。1 is an exploded perspective view showing a first embodiment of a laminated coil component according to the present invention. 図1に示した積層コイル部品の外観斜視図。FIG. 2 is an external perspective view of the multilayer coil component shown in FIG. 1. 図2に示した積層コイル部品の模式断面図。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the multilayer coil component shown in FIG. 2. 低透磁率セラミックシートの変形例を示す平面図。The top view which shows the modification of a low magnetic permeability ceramic sheet. 低透磁率セラミックシートの別の変形例を示す平面図。The top view which shows another modification of a low-permeability ceramic sheet. 本発明に係る積層コイル部品の第2実施例を示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows 2nd Example of the laminated coil component which concerns on this invention. 図6に示した積層コイル部品の外観斜視図。FIG. 7 is an external perspective view of the multilayer coil component shown in FIG. 6. 図7に示した積層コイル部品の模式断面図。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of the multilayer coil component shown in FIG. 7. 本発明に係る積層コイル部品の第3実施例を示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows 3rd Example of the laminated coil component which concerns on this invention. 図9に示した積層コイル部品の模式断面図。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of the multilayer coil component shown in FIG. 9. 従来例を示す模式断面図。The schematic cross section which shows a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

1,31…積層コモンモードチョークコイル
2,3,32,33…コイル用導体パターン
6,36…高透磁率材料が充填された穴
11,41…低透磁率セラミックグリーンシート
12〜15,42…高透磁率セラミックグリーンシート
20,50…積層体
61…積層インダクタ
62…コイル用導体パターン
66…高透磁率材料が充填された穴
71…低透磁率セラミックグリーンシート
72…高透磁率セラミックグリーンシート
80…積層体
L1,L2…コイル
L…螺旋状コイル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,31 ... Laminated common mode choke coil 2, 3, 32, 33 ... Coil conductor pattern 6, 36 ... Hole filled with high permeability material 11, 41 ... Low permeability ceramic green sheet 12-15, 42 ... High permeability ceramic green sheet 20, 50 ... laminated body 61 ... laminated inductor 62 ... coil conductor pattern 66 ... hole filled with high permeability material 71 ... low permeability ceramic green sheet 72 ... high permeability ceramic green sheet 80 ... Laminated body L1, L2 ... Coil L ... Spiral coil

Claims (4)

複数のセラミック層と複数のコイル用導体パターンとを積み重ねて構成した積層体と、
前記複数のコイル用導体パターンにて構成された少なくとも二つのコイルとを備え、
前記セラミック層の積み重ね方向において、前記二つのコイルの間に配置された前記セラミック層が、低透磁率材料からなる低透磁率セラミック層であり、
前記低透磁率セラミック層には、平面視で前記コイルを囲むように、高透磁率材料が充填された穴が設けられていること、
を特徴とする積層コイル部品。
A laminate formed by stacking a plurality of ceramic layers and a plurality of conductor patterns for coils;
Comprising at least two coils composed of the plurality of coil conductor patterns,
In the stacking direction of the ceramic layers, the ceramic layer disposed between the two coils is a low permeability ceramic layer made of a low permeability material,
The low magnetic permeability ceramic layer is provided with a hole filled with a high magnetic permeability material so as to surround the coil in a plan view.
A laminated coil component characterized by
複数のセラミック層と複数のコイル用導体パターンとを積み重ねて構成した積層体と、
前記複数のコイル用導体パターンにて構成された螺旋状コイルとを備え、
前記積層体の積み重ね方向において、前記コイル用導体パターンの間に配置された前記セラミック層が、低透磁率材料からなる低透磁率セラミック層であり、
前記低透磁率セラミック層には、平面視で前記螺旋状コイルを囲むように、高透磁率材料が充填された穴が設けられていること、
を特徴とする積層コイル部品。
A laminate formed by stacking a plurality of ceramic layers and a plurality of conductor patterns for coils;
A spiral coil configured with the plurality of coil conductor patterns,
In the stacking direction of the laminate, the ceramic layer disposed between the coil conductor patterns is a low permeability ceramic layer made of a low permeability material,
The low magnetic permeability ceramic layer is provided with a hole filled with a high magnetic permeability material so as to surround the spiral coil in a plan view.
A laminated coil component characterized by
複数のセラミック層と複数のコイル用導体パターンとを積み重ねて構成した積層体と、
前記複数のコイル用導体パターンにて構成された少なくとも二つのコイルとを備え、
前記セラミック層の積み重ね方向において、前記二つのコイルの間に配置された前記セラミック層が、低透磁率材料からなる低透磁率セラミック層であり、
前記低透磁率セラミック層には高透磁率材料が充填された穴が設けられ、該穴は前記コイルによって発生した磁界の磁路であること、
を特徴とする積層コイル部品。
A laminate formed by stacking a plurality of ceramic layers and a plurality of conductor patterns for coils;
Comprising at least two coils composed of the plurality of coil conductor patterns,
In the stacking direction of the ceramic layers, the ceramic layer disposed between the two coils is a low permeability ceramic layer made of a low permeability material,
The low permeability ceramic layer is provided with a hole filled with a high permeability material, the hole being a magnetic path of a magnetic field generated by the coil;
A laminated coil component characterized by
複数のセラミック層と複数のコイル用導体パターンとを積み重ねて構成した積層体と、
前記複数のコイル用導体パターンにて構成された螺旋状コイルとを備え、
前記積層体の積み重ね方向において、前記コイル用導体パターンの間に配置された前記セラミック層が、低透磁率材料からなる低透磁率セラミック層であり、
前記低透磁率セラミック層には高透磁率材料が充填された穴が設けられ、該穴は前記螺旋状コイルによって発生した磁界の磁路であること、
を特徴とする積層コイル部品。
A laminate formed by stacking a plurality of ceramic layers and a plurality of conductor patterns for coils;
A spiral coil configured with the plurality of coil conductor patterns,
In the stacking direction of the laminate, the ceramic layer disposed between the coil conductor patterns is a low permeability ceramic layer made of a low permeability material,
The low permeability ceramic layer is provided with a hole filled with a high permeability material, the hole being a magnetic path of a magnetic field generated by the helical coil;
A laminated coil component characterized by
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