JP2005078968A - サージアブソーバ - Google Patents
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Abstract
【課題】 主放電電極部材の主放電面からの金属成分の飛散を抑制して、高サージ耐量・長寿命のサージアブソーバを提供すること。
【解決手段】 サージアブソーバ1は、周面に中央の放電ギャップ2を介して導電性被膜3が分割形成された円柱状セラミックス(絶縁性部材)5と、この円柱状セラミックス5の両端に対向配置され導電性被膜3に接触する一対の主放電電極部材6、7と、一対の主放電電極部材6、7を両端に配して円柱状セラミックス5を内部にAr(アルゴン)等の封止ガスと共に封止する筒型セラミックス(絶縁性管)8とを備えている。
一対の主放電電極部材6、7は、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)、鉄(Fe)を備える合金であるコバールの電極基体部と、互いに対向する面の表面を覆い電極基体部よりも高融点の導電性を有するセラミックスコーティング膜11とを備えている構成とした。
【選択図】 図1
【解決手段】 サージアブソーバ1は、周面に中央の放電ギャップ2を介して導電性被膜3が分割形成された円柱状セラミックス(絶縁性部材)5と、この円柱状セラミックス5の両端に対向配置され導電性被膜3に接触する一対の主放電電極部材6、7と、一対の主放電電極部材6、7を両端に配して円柱状セラミックス5を内部にAr(アルゴン)等の封止ガスと共に封止する筒型セラミックス(絶縁性管)8とを備えている。
一対の主放電電極部材6、7は、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)、鉄(Fe)を備える合金であるコバールの電極基体部と、互いに対向する面の表面を覆い電極基体部よりも高融点の導電性を有するセラミックスコーティング膜11とを備えている構成とした。
【選択図】 図1
Description
本発明は、サージから様々な機器を保護し、事故を未然に防ぐのに使用するサージアブソーバに関する。
電話機、ファクシミリ、モデム等の通信機器用の電子機器が通信線との接続する部分、電源線、アンテナ或いはCRT駆動回路等、雷サージや静電気等の異常電圧(サージ電圧)による電撃を受けやすい部分には、異常電圧によって電子機器やこの機器を搭載するプリント基板の熱的損傷又は発火等による破壊を防止するために、サージアブソーバが接続されている。
従来、例えばマイクロギャップを有するサージ吸収素子を用いたサージアブソーバが提案されている。このサージアブソーバは、導電性被膜で被覆した円柱状の導電性セラミックス部材の周面に、いわゆるマイクロギャップが形成され、セラミックス部材の両端に一対のキャップ電極を有するサージ吸収素子が、所望の電気特性を得るために組成を調整されたガス(以下、封止ガスとする。)と共にガラス管内に収容され、円筒状のガラス管の両端にリード線を有する封止電極が高温加熱で封止された放電型サージアブソーバである。
このような放電型のサージアブソーバの主放電電極間でサージ電圧によるアーク放電(以下、主放電とする。)が行われる場合、主放電により主放電電極が高温となり、主放電電極を構成する金属成分が電極表面から飛散し、これがマイクロギャップを埋めてしまうことによって性能が劣化することがあった。
そこで、主放電電極からの金属飛散を防止するために、主放電電極表面にSnO2(酸化スズ)やCu2O(酸化銅)等の膜を形成したものが提案されている(例えば、特許文献1、2参照。)。
また、放電電極表面にガラス薄膜を被着形成してトンネル効果による導電性を確保しつつイオン衝撃を緩和させるものや(例えば、特許文献3参照。)、放電電極基体部よりも融点が高く、かつ、仕事関数の小さい金属で構成される表層部を形成させたものが提案されている(例えば、特許文献4参照。)。
特開平10−106712号公報(第1図)
特開平5−242951号公報(第1図)
特開平5−36460号公報(第2図)
特開平9−266054号公報(第2図)
そこで、主放電電極からの金属飛散を防止するために、主放電電極表面にSnO2(酸化スズ)やCu2O(酸化銅)等の膜を形成したものが提案されている(例えば、特許文献1、2参照。)。
また、放電電極表面にガラス薄膜を被着形成してトンネル効果による導電性を確保しつつイオン衝撃を緩和させるものや(例えば、特許文献3参照。)、放電電極基体部よりも融点が高く、かつ、仕事関数の小さい金属で構成される表層部を形成させたものが提案されている(例えば、特許文献4参照。)。
しかしながら、上記従来のサージアブソーバには、以下の課題が残されている。すなわち、通信線や電源線等に対して使用する場合には、より高いサージ耐量・長寿命が要求されているため、上記特許文献1、2に記載のようなSnO2やCu2O等の被膜では、依然として電極の金属成分が飛散することによって、十分なサージ耐量・サージ寿命を得ることが困難であった。
また、上記特許文献3に記載の技術によれば、トンネル効果を形成するための膜厚制御が困難であるという課題があるとともに、特許文献4に記載の技術によれば、表層部が絶縁物質であるので、導電性被膜で被覆した円柱状セラミックス部材に接する箇所には使用できず、形成範囲が限定されてしまうという問題があった。
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、主放電電極部材の主放電面からの金属成分の飛散を抑制して、高サージ耐量・長寿命のサージアブソーバを提供することを目的とする。
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、主放電電極部材の主放電面からの金属成分の飛散を抑制して、高サージ耐量・長寿命のサージアブソーバを提供することを目的とする。
本発明のサージアブソーバは、周面に中央の放電ギャップを介して導電性被膜が分割形成された柱状の絶縁性部材と、該絶縁性部材の両端に対向配置され前記導電性被膜に接触する一対の主放電電極部材と、前記一対の主放電電極部材を両端に配して前記絶縁性部材を内部に封止ガスと共に封止する絶縁性管とを備えたサージアブソーバであって、前記一対の主放電電極部材が、金属製の電極基体部と、少なくとも互いに対向する面の表面を覆い前記電極基体部よりも高融点の導電性を有するセラミックスコーティング膜とを備えていることを特徴とする。
このサージアブソーバは、上記の構成を備えているので、一対の主放電電極部材間で主放電が行われて一対の主放電電極部材が高温とされても、導電性を有するセラミックスコーティング膜が電極基体部を構成する金属やSnO2等の被膜よりも高融点であるため熱的に安定しており、被膜がない場合に比べて化学的安定性に優れている。したがって、電極基体部の金属成分が表面から飛散することを抑制することができる。また、導電性を有するのセラミックスコーティング膜が備えられているので、絶縁性部材に形成された導電性被膜と一対の主放電電極部材との接触を良好に維持することができる。
本発明のサージアブソーバは、前記サージアブソーバであって、前記セラミックスコーティング膜が、チタン化合物であることが好ましい。
このサージアブソーバは、上記の構成を有するので、一対の主放電電極部材に通常使用されるコバール(KOVAR:登録商標)或いはステンレス系金属よりも高融点で化学的安定性に優れたセラミックスコーティング膜を形成させることができる。
このサージアブソーバは、上記の構成を有するので、一対の主放電電極部材に通常使用されるコバール(KOVAR:登録商標)或いはステンレス系金属よりも高融点で化学的安定性に優れたセラミックスコーティング膜を形成させることができる。
また、本発明のサージアブソーバは、前記サージアブソーバであって、前記セラミックスコーティング膜が、窒化チタン(TiN)、炭化チタン(TiC)、或いは炭窒化チタン(TiCN)からなり、一層又は二層以上で形成されていることが好ましい。
このサージアブソーバは、上記の構成を有するので、主放電時に一対の主放電電極部材の表面からの金属飛散をより効果的に抑制することができる。
このサージアブソーバは、上記の構成を有するので、主放電時に一対の主放電電極部材の表面からの金属飛散をより効果的に抑制することができる。
さらに、本発明のサージアブソーバは、前記サージアブソーバであって、前記セラミックスコーティング膜が、蒸着法によって形成されていることが好ましい。
このサージアブソーバは、蒸着法等の薄膜形成技術によって形成されているので、薄膜形成条件を制御することにより、所望の化学的安定性に優れたセラミックスコーティング膜を形成することができる。
このサージアブソーバは、蒸着法等の薄膜形成技術によって形成されているので、薄膜形成条件を制御することにより、所望の化学的安定性に優れたセラミックスコーティング膜を形成することができる。
以上説明した本発明においては以下の効果を奏する。
本発明のサージアブソーバによれば、主放電電極部材の表面に導電性を有するセラミックスコーティング膜が形成されているので、主放電電極部材の金属成分の飛散が抑制され、マイクロギャップや絶縁性管内の金属成分の堆積が少量となるためにサージ耐量の高いサージアブソーバを長期間にわたって使用することができる。
本発明のサージアブソーバによれば、主放電電極部材の表面に導電性を有するセラミックスコーティング膜が形成されているので、主放電電極部材の金属成分の飛散が抑制され、マイクロギャップや絶縁性管内の金属成分の堆積が少量となるためにサージ耐量の高いサージアブソーバを長期間にわたって使用することができる。
本発明の第1の実施形態について、図1から図4を参照して説明する。
本実施形態に係るサージアブソーバ1は、マイクロギャップを使用した放電型サージアブソーバである。このサージアブソーバ1は、図1に示すように、周面に中央の放電ギャップ2を介して導電性被膜3が分割形成された円柱状セラミックス(絶縁性部材)5と、この円柱状セラミックス5の両端に対向配置され導電性被膜3に接触する一対の主放電電極部材6、7と、一対の主放電電極部材6、7を両端に配して円柱状セラミックス5を内部にアルゴン(Ar)等の封止ガスと共に封止する筒型セラミックス(絶縁性管)8とを備えている。
本実施形態に係るサージアブソーバ1は、マイクロギャップを使用した放電型サージアブソーバである。このサージアブソーバ1は、図1に示すように、周面に中央の放電ギャップ2を介して導電性被膜3が分割形成された円柱状セラミックス(絶縁性部材)5と、この円柱状セラミックス5の両端に対向配置され導電性被膜3に接触する一対の主放電電極部材6、7と、一対の主放電電極部材6、7を両端に配して円柱状セラミックス5を内部にアルゴン(Ar)等の封止ガスと共に封止する筒型セラミックス(絶縁性管)8とを備えている。
円柱状セラミックス5は、ムライト焼結体等のセラミックス材料からなり、表面に導電性被膜3として物理蒸着法(PVD)、化学蒸着法(CVD)といった蒸着法の薄膜形成技術によるTiN等の薄膜が形成されている。
放電ギャップ2は、レーザーカット、ダイシング、エッチング等の加工によって0.01〜1.5mmの幅で1〜100本形成されるが、本実施形態では、70μm幅のものを1本形成している。
放電ギャップ2は、レーザーカット、ダイシング、エッチング等の加工によって0.01〜1.5mmの幅で1〜100本形成されるが、本実施形態では、70μm幅のものを1本形成している。
一対の主放電電極部材6、7は、図2及び図3に示すように、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)、鉄(Fe)を備える合金であるコバールの電極基体部10と、互いに対向する面の表面を覆い前記電極基体部10よりも高融点の導電性を有するセラミックスコーティング膜11とを備えている。
また、一対の主放電電極部材6、7は、それぞれ筒型セラミックス8の端面とロウ材12で接着される縦横比が1以下とされた長方形状の周縁部13と、筒型セラミックス8の内側かつ軸方向に突出すると共に径方向内側面15aで円柱状セラミックス5を支持する突出支持部15とを備えている。突出支持部15に囲まれて円柱状セラミックス5の端部に対向する位置には中央領域15bが形成されている。
突出支持部15は、径方向内側面15aと円柱状セラミックス5の端部とが接触しやすいように、図2及び図3に示すように、基端を中心に向けた傾斜面(テーパ面)を有することが望ましい。
この突出支持部15の先端が互いに対向して主放電面とされている。
また、一対の主放電電極部材6、7は、それぞれ筒型セラミックス8の端面とロウ材12で接着される縦横比が1以下とされた長方形状の周縁部13と、筒型セラミックス8の内側かつ軸方向に突出すると共に径方向内側面15aで円柱状セラミックス5を支持する突出支持部15とを備えている。突出支持部15に囲まれて円柱状セラミックス5の端部に対向する位置には中央領域15bが形成されている。
突出支持部15は、径方向内側面15aと円柱状セラミックス5の端部とが接触しやすいように、図2及び図3に示すように、基端を中心に向けた傾斜面(テーパ面)を有することが望ましい。
この突出支持部15の先端が互いに対向して主放電面とされている。
筒型セラミックス8は、断面長方形状を有し両端面外形が周縁部13の外周寸法と一致している。
この筒型セラミックス8と一対の主放電電極部材6、7とによって円柱状セラミックス5等がAr等の封止ガスとともに封止されている。
この筒型セラミックス8と一対の主放電電極部材6、7とによって円柱状セラミックス5等がAr等の封止ガスとともに封止されている。
次に、以上の構成からなる本実施形態のサージアブソーバ1の製造方法について説明する。
まず、一対の主放電電極部材6、7を打ち抜き加工によって所望の形状に成形する。
そして、図3に示すように、突出支持部15が互いに対向する面の表面に、通常の物理蒸着法(PVD)又は化学蒸着法(CVD)の装置によってチタン化合物であるTiNを、導電性を有するセラミックスコーティング膜11として、例えば、TiC(下層)−TiN(上層)の2層を蒸着する。
まず、一対の主放電電極部材6、7を打ち抜き加工によって所望の形状に成形する。
そして、図3に示すように、突出支持部15が互いに対向する面の表面に、通常の物理蒸着法(PVD)又は化学蒸着法(CVD)の装置によってチタン化合物であるTiNを、導電性を有するセラミックスコーティング膜11として、例えば、TiC(下層)−TiN(上層)の2層を蒸着する。
続いて、ロウ材12とのぬれ性を向上させるために、筒型セラミックス8の両端面に、例えば、モリブデン(Mo)−タングステン(W)層とNi層とを各1層ずつ備えるメタライズ層8aを形成する。
そして、主放電電極部材6の中央領域15b上に、円柱状セラミックス5を載置して径方向内側面15aと円柱状セラミックス5の端面とを接触させる。そして、周縁部13上にロウ材12を載置しその上に筒型セラミックス8を載置する。さらに円柱状セラミックス5の上部にロウ材12を載置し、中央領域15bと対向するように主放電電極部材7を載置して、径方向内側面15aと主放電電極部材7とを接触させて仮組する。
そして、主放電電極部材6の中央領域15b上に、円柱状セラミックス5を載置して径方向内側面15aと円柱状セラミックス5の端面とを接触させる。そして、周縁部13上にロウ材12を載置しその上に筒型セラミックス8を載置する。さらに円柱状セラミックス5の上部にロウ材12を載置し、中央領域15bと対向するように主放電電極部材7を載置して、径方向内側面15aと主放電電極部材7とを接触させて仮組する。
上述のように仮組した状態で、十分に真空引き後封止ガス雰囲気として加熱し、ロウ材12を溶融して封止し、その後急速に冷却を行いサージアブソーバ1を製造する。
こうして製造したサージアブソーバ1を、例えば、図4に示すように、プリント基板等の基板B上に筒型セラミックス8の一側面である実装面8Aを基板B上に載置し、基板Bと一対の主放電電極部材6、7の外面とを半田Sによって接着固定して使用する。
こうして製造したサージアブソーバ1を、例えば、図4に示すように、プリント基板等の基板B上に筒型セラミックス8の一側面である実装面8Aを基板B上に載置し、基板Bと一対の主放電電極部材6、7の外面とを半田Sによって接着固定して使用する。
このサージアブソーバ1によれば、一対の主放電電極部材6、7の互いの突出支持部15間で主放電が行われて一対の主放電電極部材6、7が主放電面を中心に高温とされても、チタン化合物である導電性のセラミックスコーティング膜11が電極基体部10を構成するFe等の金属やSnO2等の被膜よりも高融点であるため熱的に安定しており、被膜がない場合に比べて化学的安定性に優れる。
したがって、電極基体部10の金属成分が表面から飛散することを抑制することができる。また、チタン化合物からなる導電性を有するセラミックスコーティング膜11が備えられているので、円柱状セラミックス5の表面に形成された導電性被膜3と一対の主放電電極部材6、7との接触を良好に維持することができ、サージ耐性・サージ寿命を向上することができる。さらに、このセラミックスコーティング膜11が、物理蒸着法又は化学蒸着法といった蒸着法等の薄膜形成技術によって形成されているので、薄膜形成条件を制御することにより、所望の化学的安定性に優れた被膜を形成することができる。
したがって、電極基体部10の金属成分が表面から飛散することを抑制することができる。また、チタン化合物からなる導電性を有するセラミックスコーティング膜11が備えられているので、円柱状セラミックス5の表面に形成された導電性被膜3と一対の主放電電極部材6、7との接触を良好に維持することができ、サージ耐性・サージ寿命を向上することができる。さらに、このセラミックスコーティング膜11が、物理蒸着法又は化学蒸着法といった蒸着法等の薄膜形成技術によって形成されているので、薄膜形成条件を制御することにより、所望の化学的安定性に優れた被膜を形成することができる。
次に、本発明に係る第2の実施形態について、図5及び図6を参照して説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態において説明した構成要素には同一符号を付し、その説明は省略する。
第2の実施形態が上記第1の実施形態と異なる点は、図5に示すように、一対の主放電電極部材16、17が一対のキャップ電極18、20とされて、円柱状セラミックス5の両端に配設されるとともに、さらにその両端に配設された一対の端子電極部材21、22と筒型セラミックス8とが封止されるとした点である。
第2の実施形態が上記第1の実施形態と異なる点は、図5に示すように、一対の主放電電極部材16、17が一対のキャップ電極18、20とされて、円柱状セラミックス5の両端に配設されるとともに、さらにその両端に配設された一対の端子電極部材21、22と筒型セラミックス8とが封止されるとした点である。
このサージアブソーバ23の一対のキャップ電極18、20は、ステンレス製の金属基体部25とこれを覆う導電性を有するセラミックスコーティング膜11とを備えている。金属基体部25は、ステンレス製で椀状に形成され、外周部26が突出支持部15の先端よりも軸方向内方に延びて断面略U字状に形成され主放電部とされている。
一対の端子電極部材21、22は、長方形状の周縁部27と、筒型セラミックス8の内側かつ軸方向に突出すると共に径方向内側面28aで円柱状セラミックス5を支持する突出支持部28とを備えている。突出支持部28に囲まれて円柱状セラミックス5の端部に対向する位置には中央領域28bが形成されている。
円柱状セラミックス5の導電性被膜3は、一対のキャップ電極18、20の内周面で接触し、一対のキャップ電極18、20は、突出支持部28の径方向内側面28aに接触して支持されている。
一対の端子電極部材21、22は、長方形状の周縁部27と、筒型セラミックス8の内側かつ軸方向に突出すると共に径方向内側面28aで円柱状セラミックス5を支持する突出支持部28とを備えている。突出支持部28に囲まれて円柱状セラミックス5の端部に対向する位置には中央領域28bが形成されている。
円柱状セラミックス5の導電性被膜3は、一対のキャップ電極18、20の内周面で接触し、一対のキャップ電極18、20は、突出支持部28の径方向内側面28aに接触して支持されている。
次に、以上の構成からなる本実施形態のサージアブソーバ23の製造方法について説明する。
まず、一対の端子電極部材21、22を打ち抜き加工によって成形する。
その後、図6に示すように、一対のキャップ電極18、20の表面に、第1の実施形態と同様に通常の物理蒸着法又は化学蒸着法の装置によってチタン化合物であるTiNを、導電性を有するセラミックスコーティング膜11として被覆させる。
そして、これら一対のキャップ電極18、20を円柱状セラミックス5の両端に圧入や嵌め合い等により係合させ、第1の実施形態と同様の方法でサージアブソーバ23を製造する。
まず、一対の端子電極部材21、22を打ち抜き加工によって成形する。
その後、図6に示すように、一対のキャップ電極18、20の表面に、第1の実施形態と同様に通常の物理蒸着法又は化学蒸着法の装置によってチタン化合物であるTiNを、導電性を有するセラミックスコーティング膜11として被覆させる。
そして、これら一対のキャップ電極18、20を円柱状セラミックス5の両端に圧入や嵌め合い等により係合させ、第1の実施形態と同様の方法でサージアブソーバ23を製造する。
このサージアブソーバ23によれば、一対のキャップ電極18、20の外周部26付近で主放電が行われるが、これによって一対のキャップ電極18、20が主放電面を中心に高温とされても、導電性を有するセラミックスコーティング膜11が備えられているので、第1の実施形態と同様の作用・効果を得ることができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、導電性を有するセラミックスコーティング膜11としてTiNとしているが、炭化チタン(TiC)、炭窒化チタン(TiCN)等の他のチタン化合物、或いは、導電性を有するセラミックスからなり、一層又は二層以上で形成されていればよい。
また、セラミックスコーティング膜11は、物理蒸着法や化学蒸着法に限らず他の薄膜形成技術によって積層されても構わない。
例えば、上記実施形態では、導電性を有するセラミックスコーティング膜11としてTiNとしているが、炭化チタン(TiC)、炭窒化チタン(TiCN)等の他のチタン化合物、或いは、導電性を有するセラミックスからなり、一層又は二層以上で形成されていればよい。
また、セラミックスコーティング膜11は、物理蒸着法や化学蒸着法に限らず他の薄膜形成技術によって積層されても構わない。
さらに、円柱状セラミックス5の導電性被膜3は、Ag、Ag/Pd合金、SnO2、Al、Ni、Cu、Ti、Ta、W、SiC、BaAl、C、Ag/Pt合金、ITO、TiC、TiCN等からなり、一層又は二層以上で形成されていればよい。また、主放電電極部材は、CuやNi系の合金でもよい。
また、筒型セラミックス8両端面のメタライズ層8aは、Ag、Cu、Auでも良く、また、メタライズ層を用いず活性金属ロウ材だけで封止しても構わない。
封止ガスは、所望の電気特性を得るために組成を調整され、例えば、大気(空気)でもよく、Ar、N2、Ne、He、Xe、H2、SF6、C2F6、C3F8、CO2等、及びこれらの混合ガスでもよい。
また、筒型セラミックス8両端面のメタライズ層8aは、Ag、Cu、Auでも良く、また、メタライズ層を用いず活性金属ロウ材だけで封止しても構わない。
封止ガスは、所望の電気特性を得るために組成を調整され、例えば、大気(空気)でもよく、Ar、N2、Ne、He、Xe、H2、SF6、C2F6、C3F8、CO2等、及びこれらの混合ガスでもよい。
上述した実施形態に係るサージアブソーバ23と、導電性を有するセラミックスコーティング膜11のない従来のサージアブソーバとをそれぞれ基板等に実装して使用した際の寿命を比較した。
具体的には、図7に示す、8/20−50Aのサージ電流を繰り返しサージアブソーバに所定の回数印加して、そのときのギャップ間での放電開始電圧(V)を測定した。結果を図8に示す。
従来のサージアブソーバは、サージ電流を繰り返し印加すると主放電電極部材の金属電極の金属成分が多く飛散し、それらの金属成分が比較的短時間でマイクロギャップに堆積するために、ギャップ間の放電開始電圧が低下して寿命に至る。
一方、本発明に係るサージアブソーバは、導電性を有するセラミックスコーティング膜11によって主放電電極部材の電極成分の飛散が抑制されるため、マイクロギャップにおける金属成分の堆積が抑制されてギャップ間の放電開始電圧が安定していることがわかる。
具体的には、図7に示す、8/20−50Aのサージ電流を繰り返しサージアブソーバに所定の回数印加して、そのときのギャップ間での放電開始電圧(V)を測定した。結果を図8に示す。
従来のサージアブソーバは、サージ電流を繰り返し印加すると主放電電極部材の金属電極の金属成分が多く飛散し、それらの金属成分が比較的短時間でマイクロギャップに堆積するために、ギャップ間の放電開始電圧が低下して寿命に至る。
一方、本発明に係るサージアブソーバは、導電性を有するセラミックスコーティング膜11によって主放電電極部材の電極成分の飛散が抑制されるため、マイクロギャップにおける金属成分の堆積が抑制されてギャップ間の放電開始電圧が安定していることがわかる。
1、23 サージアブソーバ
2 放電ギャップ
3 導電性被膜
5 円柱状セラミックス(絶縁性部材)
6、7、16、17 主放電電極部材
8 筒型セラミックス(絶縁性管)
10、25 金属基体部
11 セラミックスコーティング膜
18、20 キャップ電極(主放電電極部材
2 放電ギャップ
3 導電性被膜
5 円柱状セラミックス(絶縁性部材)
6、7、16、17 主放電電極部材
8 筒型セラミックス(絶縁性管)
10、25 金属基体部
11 セラミックスコーティング膜
18、20 キャップ電極(主放電電極部材
Claims (4)
- 周面に中央の放電ギャップを介して導電性被膜が分割形成された柱状の絶縁性部材と、該絶縁性部材の両端に対向配置され前記導電性被膜に接触する一対の主放電電極部材と、前記一対の主放電電極部材を両端に配して前記絶縁性部材を内部に封止ガスと共に封止する絶縁性管とを備えたサージアブソーバであって、
前記一対の主放電電極部材が、金属製の電極基体部と、
少なくとも互いに対向する面の表面を覆い前記電極基体部よりも高融点の導電性を有するセラミックスコーティング膜とを備えていることを特徴とするサージアブソーバ。 - 前記セラミックスコーティング膜が、チタン化合物であることを特徴とする請求項1に記載のサージアブソーバ。
- 前記セラミックスコーティング膜が、窒化チタン(TiN)、炭化チタン(TiC)、或いは炭窒化チタン(TiCN)からなり、一層又は二層以上で形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のサージアブソーバ。
- 前記セラミックスコーティング膜が、蒸着法によって形成されていることを特徴とする請求項1から3の何れか一つに記載のサージアブソーバ。
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-
2003
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