JP2004277164A

JP2004277164A - Substrate transfer cart

Info

Publication number: JP2004277164A
Application number: JP2003074923A
Authority: JP
Inventors: Toshihiro Sano; 敏弘佐野
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2003-03-19
Filing date: 2003-03-19
Publication date: 2004-10-07

Abstract

【課題】製造ラインから大型の基板を抜取り再び投入する等の作業において、大型の基板を人の手で把持しないで済むか、把持するとしても大きな基板に変形を与えないで済むようにするための基板搬送台車の提供。
【解決手段】載置した基板を載置した平面内で自在に移動可能な基板載置部と、その基板載置部を傾斜させる傾斜機構部と、その基板載置部を昇降させる昇降機構部と、各部を支持して搬送するためのキャスター付のフレーム部を具備し、基板の姿勢が水平、傾斜のいずれであっても基板の出し入れと搬送とを行なうことができるようにした基板搬送台車。
【選択図】図２An object of the present invention is to prevent a large substrate from being gripped by a human hand in a work such as removing and re-inserting a large substrate from a manufacturing line, or to prevent deformation of a large substrate even if gripped. Of substrate transport carts.
A substrate mounting portion that can freely move within a plane on which a mounted substrate is mounted, an inclining mechanism that inclines the substrate mounting portion, and an elevating mechanism that elevates the substrate mounting portion And a frame unit with casters for supporting and transporting each unit, so that the substrate can be loaded and unloaded and transported regardless of whether the substrate is horizontal or inclined. .
[Selection] Fig. 2

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板の受渡しと搬送を行なう技術分野に属する。たとえば、大型で脆弱なガラス材料等の基板を抜取検査等のために製造ラインから抜取り再び投入する等の用途に適した基板搬送台車に関する。
【０００２】
【従来技術】
近年、ＬＣＤ（ｌｉｑｕｉｄｃｒｙｓｔａｌｄｉｓｐｌａｙ）、ＰＤＰ（ｐｌａｓｍａｄｉｓｐｌａｙｐａｎｅｌ）等のディスプレイ製品における大画面化が進行している。それらのディスプレイ製品には画面寸法に従って決まる大型の基板が使用されている。たとえば、ＬＣＤのカラーフィルター、ＰＤＰの背面板や前面板、等は、大型のガラス基板の上に各種の機能を有する層（たとえば、色材層、ブラックマトリックス層、電極層、誘電体層、隔壁層、等）を形成したものであり、そのものも大型の基板である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
そのような大型の基板の製造ラインにおいては、製造条件の設定や、品質検査のために製造ラインから基板を抜き取る作業が存在する。この作業は、従来においては、人の手作業で行なわれている。すなわち、水平面と平行する姿勢で搬送路上に存在する基板を基板の辺近傍において両手で強く把持して抜き取る方法で行なわれている。基板が小型のときにはこの方法で問題はなかったが、基板が大型のときにはヒューマンエラーによる下記▲１▼〜▲４▼のような問題が発生する。問題が発生すると長時間に渡って製造ラインを停止する等の大きな生産阻害に及ぶことがある。
【０００４】
▲１▼基板を人の手で強く把持して人が搬送するため汚れが付き易い。
▲２▼品質に悪影響しない基板の辺近傍だけを把持して持ち上げるため基板割れが発生し易い。
▲３▼厚いガラス基板が使用され質量が大きいものでは作業負荷が過大となる。
▲４▼事故が起きないように製造ラインを一時停止させなければならない。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、製造ラインから大型の基板を抜取り再び投入する等の作業において、大型の基板を人の手で把持しないで済むか、把持するとしても大きな基板に変形を与えないで済むようにするための基板搬送台車を提供することにある。これにより、大型の基板汚れが付く等による品質への悪影響がなく、基板割れを発生させず、作業負荷が小さく、製造ラインを停止させなくて済むようにすることができる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題は下記の本発明によって解決される。すなわち、
本発明の請求項１に係る基板搬送台車は、基板を載置するための基板載置部と、その基板載置部を傾斜させる傾斜機構部と、その基板載置部を昇降させる昇降機構部と、前記各部を支持して搬送するためのキャスター付のフレーム部を具備し、前記基板の姿勢が水平、傾斜のいずれであっても前記基板の出し入れと搬送とを行なうことができるようにしたものである。
【０００７】
本発明によれば、製造ラインにおいて搬送される基板と同一高さ、同一傾斜（水平）になるように基板載置部の高さ、傾斜を調節することができる。また、立て掛けてスタッカー等へ集積される基板と同一高さ、同一傾斜（急傾斜）になるように基板載置部の高さ、傾斜を調節することができる。すなわち、大型の基板を移し替えるときに基板の姿勢を変えないで済む。したがって、製造ラインから大型の基板を抜取り再び投入する等の作業において、大型の基板を人の手で把持しないで済むか、把持するとしても大きな基板に変形を与えないで済むようにするための基板搬送台車が提供される。
【０００８】
また本発明の請求項２に係る基板搬送台車は、請求項１に係る基板搬送台車において、前記基板載置部は、回転とその回転方向が自在な複数のボールを平面状に配置し、前記基板をそのボールの球面で支持する基板載置部であるようにしたものである。本発明によれば、平面状に配置された複数のボールの球面で基板が支持されるから、平面内での移動抵抗を極めて小さくするとともに基板表面に対する悪影響が極めて少なくなる。
【０００９】
また本発明の請求項３に係る基板搬送台車は、請求項１または２に係る基板搬送台車において、前記基板載置部は、前記傾斜したときに下方となる辺近傍の所定箇所に回転自在の複数のフランジ付円柱を配置した基板載置部であるようにしたものである。本発明によれば、フランジ付円柱は基板の辺が当接することにより位置を規制するとともに傾斜したときには基板を支持し、さらに基板を辺方向に移動するときにはフランジ付円柱が回転して移動抵抗が極めて小さくなる。
【００１０】
また本発明の請求項４に係る基板搬送台車は、請求項１〜３のいずれかに係る基板搬送台車において、前記基板載置部は、前記基板の辺が当接することにより基板の動きを止めるストッパーを所定箇所に配置した基板載置部であり、前記ストッパーは前記基板が当接できる有効位置と、前記基板が当接できなくなる退避位置とに切替えできるストッパーであるようにしたものである。本発明によれば、ストッパーを有効位置とすることで基板の固定を行なうことができ、退避位置とすることで基板の移動を行なうことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
次に、本発明について実施の形態を説明する。本発明の基板搬送台車における構成の一例を図１〜図３に示す。図１は基板載置部の構成を示す上面図、図２は基板載置部の傾斜等を示す側面図、図３は傾斜した基板の格納等を示す正面図である。図１〜図３において、１は天板、２ａ，２ｂ，・・・はボール、３ａ，３ｂ，・・・はフランジ付円柱、４ａ，４ｂ，・・・はストッパー、５ａ，５ｂ，・・・はキャスター、６は回転軸、１０は基板載置部、２０は傾斜機構部、３０は昇降機構部、４０はフレーム部、５０は台車（格納庫、等）、１００は基板である。
【００１２】
本発明の基板搬送台車は、図２に示すように、基板載置部１０、傾斜機構部２０、昇降機構部３０、フレーム部４０から構成される。
基板載置部１０は、図１に示すように、表側の面が平面となっている天板１を支持体として複数のボール２ａ，２ｂ，・・・、フランジ付円柱３ａ，３ｂ，・・・、ストッパー４ａ，４ｂ，・・・を所定箇所に配置したものである。
【００１３】
天板１は、ムク板、合板、合成樹脂板、等のボード、ステンレス板、アルミニウム板、鋼板、等の板金加工品、角パイプ、丸パイプ、ワイヤー、棒鋼材、等の溶接加工品、それらを組合せたもの、等を適用することができる。クリーンルームにおいて使用する場合には、塵埃の発生が少なくなるように、たとえば、耐腐食性があり非塗装で使用できるステンレス板の板金加工品、等が好適である。
【００１４】
ボール２ａ，２ｂ，・・・は、その１つを図２において拡大図で示すように、保持体によって回転自在に保持されたボールである。ボール２ａ，２ｂ，・・・の回転方向は前後左右斜めのあらゆる回転方向をとることができる。また回転抵抗は極めて小さい。保持体によって保持されているボール２ａ，２ｂ，・・・において、基板１に取り付けられる保持体の底面から球面の最高部までの高さは、すべて同一である。
【００１５】
ボール２ａ，２ｂ，・・・としては、鋼、ステンレス、セラミック、エンジニアリングプラスチック、等の材料からできているボールを使用することができる。特に、乾燥炉において高温（たとえば１５０℃）となっている基板１００を抜取って搬送するような用途においては耐熱性を必要とする。また、基板１００への傷付を少なくするためには、材質が柔らかく、ボールとしたときの質量が小さく回転し易いものが好ましい。たとえば、ＰＥＥＫ（登録商標）（ポリエーテルエーテルケトン）等のエンジニアリングプラスチックは好適である。
【００１６】
この保持体付きのボール２ａ，２ｂ，・・・は、図１に示すように、天板１の表側の面に複数が配置されている。この配置は、基板載置部１０に基板１００を載置している状態、基板載置部１０に基板１００を出し入れ（移動）している状態において基板１００を裏面から適正に支持するような配置となっている。また、基板１００の寸法には種々のものがあるが、それら寸法の異なる基盤１００を裏面から適正に支持するような配置となっている。一般的には、数ｃｍ〜十数ｃｍの間隔を置いた密な配置とする。
このような配置において、ボール２ａ，２ｂ，・・・があらゆる方向に回転自在であるから、基板載置部１０に載置された基盤１００の走行抵抗は小さく、その基盤１００を僅かな力であらゆる方向に動かすことができる。
【００１７】
フランジ付円柱３ａ，３ｂ，・・・は、図２のフランジ付円柱３ｆに示すように、外周に連続的に設けられた突起部分（フランジ）の付いた円柱である。フランジ付円柱３ａ，３ｂ，・・・は円柱の軸の廻りに回転することができるようになっている。たとえば、フランジ付円柱３ａ，３ｂ，・・・は、フランジ付の円筒であって、その円筒の内径よりも外径が少し小さい軸を有するボルトによって回転自在に支持されている。そして、そのボルトの先端に設けられたネジ部おいて天板１に固定される。またたとえば、フランジ付外輪を有するボールベアリングを使用することもできる。
【００１８】
フランジ付円柱３ａ，３ｂ，・・・は、図１に示すように、天板１の表側の面における一方の辺近傍に複数が一列に配置されている。一方の辺とは、基板載置部１０を傾斜させたときに下方となる辺である。基板載置部１０を傾斜させていないときに、基板載置部１０は他方の辺の側から基板１００を導入する。このとき、フランジ付円柱３ａ，３ｂ，・・・に基板１００の進行方向側の辺が当接すると、そこで停止させられることになる。すなわち、フランジ付円柱３ａ，３ｂ，・・・は基板１００を導入するときのストッパーとしての役割を有する。
【００１９】
フランジ付円柱３ａ，３ｂ，・・・は、基板載置部１０を傾斜させたときには、図２の破線で示すように、基板１００の下側の辺が当接することにより基板１００を支持する。一方、基板１００の裏面をボール２ａ，２ｂ，・・・が支持する。フランジ付円柱３ａ，３ｂ，・・・も、ボール２ａ，２ｂ，・・・も回転自在であるから走行抵抗は小さく基板１００を僅かな力で動かすことができる。ただし、基板載置部１０を傾斜させたときの動きの方向は、フランジ付円柱３ａ，３ｂ，・・・が一列に配列する方向によって規制される。
【００２０】
ストッパー４ａ，４ｂ，・・・は、基板１００の辺が当接することにより基板１００の動きを止めるためのストッパーである。図２に示すように、基板載置部１０を傾斜させたときの、載置されている基板１００の天地左右における、地にあたる辺においては、前述のフランジ付円柱３ａ，３ｂ，・・・が基板１００の動きを止めるためのストッパーの役割を果たしている。したがって、ストッパー４ａ，４ｂ，・・・は、天と左と右にあたる辺において基板１００の動きを止めるためのストッパーの役割を果たす。
【００２１】
基板１００の寸法には種々のものがあるが、それら寸法の異なる基盤１００の動きを止めるためには、ストッパー４ａ，４ｂ，・・・の基板載置部における配置は変更できるようになっている。図２に示すように、天にあたる辺において基板１００の動きを止めるためのストッパー４ａは、天地方向に移動して位置固定することができる。また、左にあたる辺において基板１００の動きを止めるためのストッパー４ｅ，４ｄは、左右方向に移動して位置固定することができる。同様に、右にあたる辺において基板１００の動きを止めるためのストッパー４ｂ，４ｃも、左右方向に移動して位置固定することができる。
【００２２】
また、ストッパー４ａ，４ｂ，・・・は、基板１００を基板載置部１０に導入または排出するときに、ストッパー４ａ，４ｂ，・・・そのものがその導入または排出の障害とならないようになっている。すなわち、ストッパー４ａ，４ｂ，・・・は、基板１００が当接できる有効位置と、前記基板１００が当接できなくなる退避位置とに切替えできるストッパーである。
【００２３】
このようなトッパー４ａ，４ｂ，・・・は、たとえば、平らな当接板と、その当接板を天板１に取付けるための取付部材と、当接板と取付部材とを結合する結合部材とを有する。その結合部材は、当接板を天板１に対して垂直にしたり（有効位置）寝かせたり（退避位置）できるように取付部材に結合する。特に、当接板を垂直にしたときには、その当接板に基板１００が当接しある程度の力が作用しても固定状態または半固定状態となるようにする。
【００２４】
また、取付部材は、天板１の表面と接触する底面と、接触状態を操作するクランプ機構を有する。天板１の表面と取付部材の底面とが密着したときに取付部材が固定される。また、天板１の表面と取付部材の底面に隙間ができたときに取付部材の位置が変更可能となる。密着した状態と隙間ができる状態は、クランプ機構を操作することにより変更する。
【００２５】
たとえば、天板１の表面側に断面が凸形状の溝を形成しておく。その凸形状の幅広の溝部にボルトの頭を嵌め込み、その凸形状の狭幅の溝部にボルトの軸を貫通させて天板１の表面に出るようにする。その嵌め込まれたボルトの頭は溝と緩く結合していて溝に沿って移動できるが全回転はできないような形状となっている。クランプ機構としては、そのボルトの軸を取付部材の孔に通して、取っ手が付いたナットによって締め付ける機構のものを適用することができる。
なお、基板載置部１０の構成は、本発明においては上述の一例に限定されない。
【００２６】
傾斜機構部２０は、図２に示す一例では、基板載置部１０の天板１と昇降機構部３０とを回転軸６の廻りに回転できるように結合する傾斜機構である。傾斜機構部２０は、すくなくとも、基板載置部１０を水平姿勢とする位置（図２において実線で示す）、および基板載置部１０を垂直に近い傾斜姿勢と位置（図２において破線で示す）の２つの姿勢において姿勢が安定する。また、手操作で容易にその２つの姿勢の一方から他方へと姿勢変更が行なわれる。
【００２７】
このような傾斜機構における姿勢を安定させる機構は、たとえば、天板１または天板１に支持固定されている部材と、フレーム４０またはフレーム部４０に支持固定されている部材とが当接する機構として実現することができる。この互いに当接する部材の一方はダンパー付のスプリングで支持されたものとし、当接するときの衝撃を緩和させる。当接する２つの部材の一方は凸部を有し、他方は凹部を有するようにする。当接したときに、それらの凸部と凹部が勘合して所定の大きさ以上の力が作用しない限り抜けないようにする。
なお、傾斜機構部２０の構成は、本発明においては上述の一例に限定されない。
【００２８】
昇降機構部３０は、基板載置部１０を所定の範囲において昇降させ、所望の高さにおいて停止させる昇降機構である。昇降機構部３０は、図２に示す一例に示すように、キャスター付のフレーム部４０に設けられており基板載置部１０を支える支柱としての役割も有している。昇降機構部３０は、たとえば、ねじ軸とナットがボールを介して作用するボールネジ、リニアガイド、支持体、等によって構成される。また、操作を容易とするため、適切な位置にハンドルを設け、そのハンドルの操作が伝達機構によってそのボールネジに伝わるように構成する。
なお、昇降機構部３０の構成は、本発明においては上述の一例に限定されない。
【００２９】
フレーム部４０は、基板載置部１０、傾斜機構部２０、昇降機後部３０を直接的または間接的に支持する基板搬送台車のフレームである。フレーム部４０には、人手によって基板搬送台車を移動するためのキャスター５ａ，５ｂ・・・が付いている。
【００３０】
以上の構成において、次に本発明の基板搬送台車について動作の一例を説明する。
まず、製造ラインにおける基板の搬送経路に基板搬送台車を結合する。すなわち、基板搬送台車の傾斜機構部２０を操作して基板載置部１０を水平にし、昇降機後部３０を操作して基板載置部１０の高さを抜取りを行なう搬送経路の高さに一致させ、抜取りを行なう搬送経路の出口から搬送台車の入口に向かって基板の受入れが可能なようにする。出口と入口との段差は、典型的には±１ｍｍ程度以内とする。その搬送経路の出口と基板搬送台車の入口には、当接することによって最終的な微妙な位置決めを完了させる機構が存在する。たとえば、円錐形の凹部、と円錐形の凸部とを突合わせて位置決めを行なう機構が２箇所に存在する。
【００３１】
また、基板搬送台車におけるストッパー４ａ，４ｂ・・・について、基板の寸法に合せて天板１の上における位置を調節しておく。天にあたる辺において基板１００の動きを止めるためのストッパー４ａは退避位置にしておく。また、他のストッパー４ｂ，４ｃ・・・は、有効位置にしておく。
【００３２】
次に、製造ラインにおいて搬送されている基板の中で、抜取りを行なう基板１００が抜取りを行なう搬送経路切替箇所に到達したときに、押釦スイッチを押す等の操作により搬送制御装置に指示入力を行いその基板１００の搬送経路を切替える。これにより、基板１００は通常の搬送経路から外れて抜取りを行なう搬送経路に搬送方向を変える。
【００３３】
次に、基板１００は抜取りを行なう搬送経路の出口から基板搬送台車の入口に向かって搬送され、基板搬送台車に進入し、さらに有効位置となっているストッパー４ｂ，４ｃ・・・に囲まれた領域に進入し、フランジ付円柱３ａ，３ｂ・・・に当接して停止する。
【００３４】
次に、退避位置となっているストッパー４ａを有効位置に切替える。この切替えにより基板１００は基板搬送台車から脱落することがなくなる。
【００３５】
次に、基板搬送台車を、抜取りを行なう搬送経路から外して所定の場所に移動する。たとえば、図３に示すように、基板１００を一時保管しておく台車、格納庫等５０に格納するために、その場所に基板搬送台車を移動する。当然、基板搬送台車に載せられている基板１００は、その場所に搬送される。
【００３６】
次に、図２に示すように、傾斜機構部２０を操作して、基板載置部１０を傾斜させる。
【００３７】
次に、図３に示すように、基板搬送台車の出口と台車、格納庫等５０の入口との位置を一致させる。図３に示す一例では、基板載置部１０の右にあたる辺が基板搬送台車の出口となる。その基板搬送台車の出口と台車、格納庫５０の入口には、台車、格納庫５０の構造にも依るが、必要ならば当接することによって位置決めを完了させる機構を設ける。
【００３８】
次に、基板載置部１０の右にあたる辺において基板１００の動きを止めるためのストッパー４ｂ，４ｃを有効位置から退避位置に切替える。
【００３９】
次に、基板載置部１０に載置されている基板１００を台車、格納庫５０の入口に進入させ、台車、格納庫５０に格納する。このとき、基板１００の取扱い方法として、以下▲１▼〜▲３▼のいずれかの方法をとることができる。すなわち、▲１▼ボール２ａ，２ｂとフランジ付円柱３ａ，３ｂ・・・とによって支持された状態で基板１００の左にあたる辺を手で押して基板１００を進入させる方法、▲２▼図３の破線で示すように、フランジ付円柱３ａ，３ｂ・・・によって基板１００を支持し、両手で基板１００の天にあたる辺を把持し、基板１００を垂直に立てた状態で、基板１００を進入させる方法、▲３▼両手で基板１００の天にあたる辺を把持し、基板１００を持ち上げた状態で、基板１００を進入させる方法、等をとることができる。いずれの方法により行なうかは、台車、格納庫５０の構造にも依る。
【００４０】
【発明の効果】
以上のとおりであるから、本発明の請求項１に係る基板搬送台車によれば、製造ラインから大型の基板を抜取り再び投入する等の作業において、大型の基板を人の手で把持しないで済むか（粉塵汚れ対策）、把持するとしても大きな基板に変形を与えないで済むようにするための基板搬送台車が提供される。
また本発明の請求項２に係る基板搬送台車によれば、平面状に配置された複数のボールの球面で基板が支持されるから、平面内での移動抵抗を極めて小さくするとともに基板表面に対する悪影響が極めて少なくなる。また、天板平面内で任意方向への移動が可能であるから、任意形状の格納庫への移載が可能である。
また本発明の請求項３に係る基板搬送台車によれば、フランジ付円柱は基板の辺が当接することにより位置を規制するとともに傾斜したときには基板を支持し、さらに基板を辺方向に移動するときにはフランジ付円柱が回転して移動抵抗が極めて小さくなる。
また本発明の請求項４に係る基板搬送台車によれば、ストッパーを有効位置とすることで基板の固定を行なうことができ、退避位置とすることで基板の移動を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板載置部の構成を示す上面図である。
【図２】基板載置部の傾斜等を示す側面図である。
【図３】傾斜した基板の格納等を示す正面図である。
【符号の説明】
１天板
２ａ，２ｂ，・・・ボール
３ａ，３ｂ，・・・フランジ付円柱
４ａ，４ｂ，・・・ストッパー
５ａ，５ｂ，・・・キャスター
６回転軸
１０基板載置部
２０傾斜機構部
３０昇降機構部
４０フレーム部
５０台車（格納庫、等）
１００基板[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention belongs to the technical field of delivering and transferring substrates. For example, the present invention relates to a substrate transport trolley suitable for use in, for example, extracting a large and fragile substrate such as a glass material from a production line for sampling inspection or the like and reloading the substrate.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In recent years, display products such as LCDs (liquid crystal displays) and PDPs (plasma display panels) have been increasing in size. These display products use large substrates that are determined according to screen dimensions. For example, a color filter of an LCD, a back plate and a front plate of a PDP, etc. are formed on a large glass substrate by layers having various functions (for example, a color material layer, a black matrix layer, an electrode layer, a dielectric layer, and a partition). , Etc.), which are also large substrates.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
In a production line for such a large-sized substrate, there is an operation of setting the production conditions and extracting the substrate from the production line for quality inspection. This operation is conventionally performed manually by a human. That is, a method is used in which a substrate existing on a transport path in a posture parallel to a horizontal plane is strongly gripped with both hands near the side of the substrate and extracted. When the substrate is small, there is no problem with this method, but when the substrate is large, the following problems (1) to (4) occur due to human error. When a problem occurs, the production line may be stopped for a long period of time, which may result in a large production hindrance.
[0004]
{Circle around (1)} The substrate is strongly gripped by the hand of a person and transported by the person, so that the substrate is easily stained.
{Circle around (2)} Since only the vicinity of the side of the substrate that does not adversely affect the quality is gripped and lifted, the substrate is easily cracked.
{Circle around (3)} When a thick glass substrate is used and the mass is large, the work load becomes excessive.
(4) The production line must be temporarily stopped so that an accident does not occur.
[0005]
The present invention has been made in order to solve such a problem, and an object of the present invention is to eliminate the need to grip a large substrate with a human hand in an operation such as extracting a large substrate from a production line and reloading it. Another object of the present invention is to provide a substrate transport trolley for preventing a large substrate from being deformed even if it is gripped. As a result, there is no adverse effect on quality due to large-sized substrate contamination, etc., no substrate cracking occurs, the work load is small, and the production line does not need to be stopped.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The above object is achieved by the present invention described below. That is,
A substrate transport cart according to claim 1 of the present invention is a substrate mounting portion for mounting a substrate, an inclination mechanism for tilting the substrate mounting portion, and an elevating mechanism for raising and lowering the substrate mounting portion. And a frame part with casters for supporting and transporting the respective parts, so that the substrate can be taken in and out and transported regardless of whether the posture of the substrate is horizontal or inclined. Things.
[0007]
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the height and inclination of a board | substrate mounting part can be adjusted so that it may become the same height and the same inclination (horizontal) as the board | substrate conveyed in a production line. Further, the height and inclination of the substrate mounting portion can be adjusted so that the substrate is stacked and stacked on the stacker or the like at the same height and the same inclination (steep inclination). That is, when transferring a large-sized substrate, the posture of the substrate does not need to be changed. Therefore, in an operation such as extracting and re-inserting a large substrate from the production line, the large substrate is not required to be gripped by a human hand, or the large substrate is not deformed even if gripped. A substrate transport trolley is provided.
[0008]
Further, in the substrate transport trolley according to claim 2 of the present invention, in the substrate transport trolley according to claim 1, the substrate mounting portion arranges a plurality of balls whose rotation and rotation direction are freely arranged in a plane. This is a substrate mounting portion that supports the substrate on the spherical surface of the ball. According to the present invention, the substrate is supported by the spherical surfaces of the plurality of balls arranged in a plane, so that the movement resistance in the plane is extremely reduced and the adverse effect on the substrate surface is extremely reduced.
[0009]
According to a third aspect of the present invention, there is provided the substrate transporting vehicle according to the first or second aspect, wherein the substrate mounting portion is rotatable at a predetermined position near a side that is lower when the substrate is inclined. This is a substrate mounting portion on which a plurality of flanged cylinders are arranged. According to the present invention, the flanged cylinder regulates the position by contacting the sides of the substrate and supports the substrate when inclined, and furthermore, when the substrate is moved in the side direction, the flanged cylinder rotates to reduce the movement resistance. Extremely small.
[0010]
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the substrate transporting vehicle according to any one of the first to third aspects, wherein the substrate mounting portion stops the movement of the substrate when the side of the substrate abuts. A stopper is disposed at a predetermined position on the substrate mounting portion, and the stopper is a stopper that can be switched between an effective position where the substrate can abut and a retracted position where the substrate cannot abut. According to the present invention, the substrate can be fixed by setting the stopper to the effective position, and the substrate can be moved by setting the stopper to the retracted position.
[0011]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described. One example of the configuration of the substrate transport cart of the present invention is shown in FIGS. FIG. 1 is a top view showing the configuration of the substrate platform, FIG. 2 is a side view showing the inclination of the substrate platform, and FIG. 3 is a front view showing storage of the inclined substrate. 1 to 3 are balls, 3a, 3b, ... are cylinders with flanges, 4a, 4b, ... are stoppers, 5a, 5b, ... Is a caster, 6 is a rotating shaft, 10 is a substrate mounting part, 20 is a tilting mechanism part, 30 is an elevating mechanism part, 40 is a frame part, 50 is a trolley (hangar, etc.), and 100 is a substrate.
[0012]
As shown in FIG. 2, the substrate transport trolley of the present invention includes a substrate mounting section 10, an inclination mechanism section 20, an elevating mechanism section 30, and a frame section 40.
As shown in FIG. 1, the substrate mounting portion 10 includes a plurality of balls 2 a, 2 b,..., Flanged cylinders 3 a, 3 b, using a top plate 1 having a flat front surface as a support. .., The stoppers 4a, 4b,...
[0013]
The top plate 1 is made of a board such as a muk board, a plywood, a synthetic resin board, a sheet metal processed product such as a stainless steel plate, an aluminum plate, a steel plate, and the like, a welded product such as a square pipe, a round pipe, a wire, a steel bar, and the like. , Etc. can be applied. When used in a clean room, it is preferable to use, for example, a sheet metal processed product of a stainless steel plate which has corrosion resistance and can be used without painting so as to reduce generation of dust.
[0014]
Each of the balls 2a, 2b,... Is a ball rotatably held by a holder as shown in an enlarged view in FIG. The rotation directions of the balls 2a, 2b,... Also, the rotational resistance is extremely small. In the balls 2a, 2b,... Held by the holder, the heights from the bottom surface of the holder attached to the substrate 1 to the highest part of the spherical surface are all the same.
[0015]
As the balls 2a, 2b,..., Balls made of materials such as steel, stainless steel, ceramic, engineering plastic, and the like can be used. In particular, heat resistance is required in applications in which the substrate 100, which has been heated to a high temperature (for example, 150 ° C.) in a drying furnace, is extracted and transported. In addition, in order to reduce damage to the substrate 100, it is preferable that the material is soft, has a small mass as a ball, and is easy to rotate. For example, engineering plastics such as PEEK (registered trademark) (polyetheretherketone) are suitable.
[0016]
As shown in FIG. 1, a plurality of the balls 2a, 2b,... With the holder are arranged on the front surface of the top plate 1. This arrangement is such that the substrate 100 is properly supported from the back surface in a state where the substrate 100 is placed on the substrate placing part 10 and in a state where the substrate 100 is put in and out (moved) of the substrate placing part 10. It has become. Further, there are various sizes of the substrate 100, and the substrate 100 is arranged so as to appropriately support the substrate 100 having the different size from the back surface. Generally, they are densely arranged at intervals of several cm to several tens of cm.
In such an arrangement, the balls 2a, 2b,... Are rotatable in all directions, so that the running resistance of the base 100 mounted on the substrate mounting part 10 is small, and the base 100 is moved by a slight force. Can be moved in any direction.
[0017]
Each of the flanged cylinders 3a, 3b,... Is a cylinder having a protruding portion (flange) continuously provided on the outer periphery as shown in a flanged cylinder 3f in FIG. The flanged cylinders 3a, 3b,... Can rotate around the axis of the cylinder. For example, each of the flanged cylinders 3a, 3b,... Is a cylinder with a flange, and is rotatably supported by a bolt having an axis whose outer diameter is slightly smaller than the inner diameter of the cylinder. Then, the bolt is fixed to the top plate 1 at a screw portion provided at the tip of the bolt. Also, for example, a ball bearing having a flanged outer ring can be used.
[0018]
As shown in FIG. 1, a plurality of the cylinders with flanges 3a, 3b,... Are arranged in a row near one side of the front surface of the top plate 1. The one side is a side that is lower when the substrate mounting unit 10 is inclined. When the substrate platform 10 is not tilted, the substrate platform 10 introduces the substrate 100 from the other side. At this time, if the side in the traveling direction of the substrate 100 abuts against the flanged cylinders 3a, 3b,..., The substrate is stopped there. That is, the flanged cylinders 3a, 3b,... Function as stoppers when the substrate 100 is introduced.
[0019]
When the substrate mounting portion 10 is inclined, the lower side of the substrate 100 abuts on the lower side of the substrate 100 when the substrate mounting portion 10 is inclined, as shown in FIG. On the other hand, the back surface of the substrate 100 is supported by balls 2a, 2b,. Since the flanged cylinders 3a, 3b,... And the balls 2a, 2b,... Are rotatable, the running resistance is small and the substrate 100 can be moved with a slight force. However, the direction of movement when the substrate mounting portion 10 is inclined is regulated by the direction in which the flanged cylinders 3a, 3b,.
[0020]
The stoppers 4a, 4b, ... are stoppers for stopping the movement of the substrate 100 when the sides of the substrate 100 abut. As shown in FIG. 2, the above-mentioned flanged cylinders 3a, 3b,... Are formed on the sides corresponding to the ground on the left and right sides of the mounted substrate 100 when the substrate mounting portion 10 is inclined. It serves as a stopper for stopping the movement of the substrate 100. Therefore, the stoppers 4a, 4b,... Function as stoppers for stopping the movement of the substrate 100 at the top, left, and right sides.
[0021]
There are various dimensions of the substrate 100, but in order to stop the movement of the substrate 100 having the different dimensions, the arrangement of the stoppers 4a, 4b,... . As shown in FIG. 2, the stopper 4a for stopping the movement of the substrate 100 at the side corresponding to the top can be moved and fixed in the top-to-bottom direction. In addition, the stoppers 4e and 4d for stopping the movement of the substrate 100 on the left side can be moved in the left-right direction and fixed in position. Similarly, the stoppers 4b and 4c for stopping the movement of the substrate 100 on the right side can also be moved and fixed in position in the left-right direction.
[0022]
The stoppers 4a, 4b,... Do not hinder the introduction or discharge of the substrate 100 when the substrate 100 is introduced or discharged into the substrate mounting portion 10. I have. That is, the stoppers 4a, 4b,... Are stoppers that can be switched between an effective position where the substrate 100 can contact and a retracted position where the substrate 100 cannot contact.
[0023]
The toppers 4a, 4b,... Include, for example, a flat contact plate, a mounting member for mounting the contact plate to the top plate 1, and a connecting member for connecting the contact plate and the mounting member. And The connecting member is connected to the mounting member so that the contact plate can be made perpendicular to the top plate 1 (effective position) or laid down (retracted position). In particular, when the contact plate is made vertical, the substrate 100 is brought into a fixed state or a semi-fixed state even when the substrate 100 comes into contact with the contact plate and a certain amount of force acts.
[0024]
The mounting member has a bottom surface that contacts the surface of the top plate 1 and a clamp mechanism that operates the contact state. The mounting member is fixed when the surface of the top plate 1 and the bottom surface of the mounting member are in close contact. Further, when a gap is formed between the surface of the top plate 1 and the bottom surface of the mounting member, the position of the mounting member can be changed. The state of the close contact and the state of the gap are changed by operating the clamp mechanism.
[0025]
For example, a groove having a convex cross section is formed on the surface side of the top plate 1. The head of the bolt is fitted in the wide groove of the convex shape, and the shaft of the bolt is passed through the narrow groove of the convex so as to come out on the surface of the top plate 1. The head of the inserted bolt is loosely connected to the groove so that it can move along the groove but cannot make a full rotation. As the clamp mechanism, a mechanism in which the shaft of the bolt is passed through a hole of the mounting member and fastened by a nut with a handle can be applied.
The configuration of the substrate mounting unit 10 is not limited to the above-described example in the present invention.
[0026]
In the example shown in FIG. 2, the tilting mechanism unit 20 is a tilting mechanism that couples the top plate 1 of the substrate mounting unit 10 and the elevating mechanism unit 30 so as to be rotatable around the rotation shaft 6. At least, the tilt mechanism unit 20 is configured to position the substrate mounting unit 10 in a horizontal position (indicated by a solid line in FIG. 2), and to tilt the substrate mounting unit 10 in a nearly vertical position (indicated by a broken line in FIG. 2). The posture is stabilized in the two postures. Further, the posture is easily changed from one of the two postures to the other by manual operation.
[0027]
A mechanism for stabilizing the posture in such an inclining mechanism is, for example, a mechanism in which the top plate 1 or a member supported and fixed to the top plate 1 and a frame 40 or a member supported and fixed to the frame portion 40 abut. Can be realized. One of the members that come into contact with each other is supported by a spring with a damper to reduce the impact when the members come into contact with each other. One of the two abutting members has a convex portion, and the other has a concave portion. When they come into contact with each other, the protrusions and recesses are fitted to each other so that the protrusions and the recesses do not come out unless a force greater than a predetermined magnitude acts.
The configuration of the tilting mechanism 20 is not limited to the above example in the present invention.
[0028]
The elevating mechanism 30 is an elevating mechanism that elevates and lowers the substrate mounting unit 10 within a predetermined range and stops the substrate mounting unit 10 at a desired height. As shown in an example shown in FIG. 2, the elevating mechanism 30 is provided on a frame unit 40 with casters, and also has a role as a support for supporting the substrate mounting unit 10. The elevating mechanism unit 30 is configured by, for example, a ball screw, a linear guide, a support, and the like in which a screw shaft and a nut act via balls. Further, in order to facilitate the operation, a handle is provided at an appropriate position, and the operation of the handle is transmitted to the ball screw by the transmission mechanism.
The configuration of the lifting mechanism 30 is not limited to the above example in the present invention.
[0029]
The frame section 40 is a frame of a substrate transport trolley that directly or indirectly supports the substrate placing section 10, the tilt mechanism section 20, and the elevator rear section 30. The frame section 40 has casters 5a, 5b,... For manually moving the substrate transport cart.
[0030]
Next, an example of the operation of the substrate transport cart of the present invention in the above configuration will be described.
First, a substrate transport trolley is coupled to a substrate transport path in a production line. That is, the tilting mechanism 20 of the substrate transport trolley is operated to level the substrate platform 10, and the rear portion 30 of the elevator is operated to adjust the height of the substrate platform 10 to match the height of the transport path for extracting. In addition, the substrate can be received from the exit of the transport path where the substrate is extracted to the entrance of the transport cart. The step between the outlet and the inlet is typically within about ± 1 mm. At the exit of the transport path and the entrance of the substrate transport trolley, there is a mechanism that abuts the final delicate positioning by making contact. For example, there are two mechanisms for performing positioning by abutting a conical concave portion and a conical convex portion.
[0031]
Also, the positions of the stoppers 4a, 4b,... On the substrate transport trolley on the top plate 1 are adjusted in accordance with the dimensions of the substrate. The stopper 4a for stopping the movement of the substrate 100 on the side corresponding to the top is set at the retracted position. The other stoppers 4b, 4c,... Are set to the effective positions.
[0032]
Next, when the substrate 100 to be extracted reaches the transfer path switching position where the extraction is performed among the substrates being conveyed in the production line, an instruction is input to the conveyance control device by an operation such as pressing a push button switch. The transfer path of the substrate 100 is switched. As a result, the substrate 100 changes its transport direction to a transport route where the substrate 100 is removed from the normal transport route.
[0033]
Next, the substrate 100 is transported from the exit of the transport path for extracting to the entrance of the substrate transport trolley, enters the substrate transport trolley, and is surrounded by the stoppers 4b, 4c,. .. Enter the region and come into contact with the flanged cylinders 3a, 3b, and stop.
[0034]
Next, the stopper 4a in the retracted position is switched to the effective position. This switching prevents the substrate 100 from dropping off the substrate transport cart.
[0035]
Next, the substrate transport trolley is removed from the transport path for extracting and moved to a predetermined place. For example, as shown in FIG. 3, the substrate transport trolley is moved to a place where the substrate 100 is to be temporarily stored in a trolley, hangar 50 or the like. Naturally, the substrate 100 placed on the substrate transport trolley is transported to that location.
[0036]
Next, as shown in FIG. 2, the tilting mechanism unit 20 is operated to tilt the substrate mounting unit 10.
[0037]
Next, as shown in FIG. 3, the position of the exit of the substrate transport trolley and the position of the entrance of the trolley, hangar 50 and the like are matched. In the example shown in FIG. 3, the side corresponding to the right side of the substrate mounting unit 10 is an exit of the substrate transport trolley. At the exit of the substrate transport trolley, the trolley, and the entrance of the hangar 50, a mechanism is provided to complete the positioning by abutting if necessary, depending on the structure of the trolley and the hangar 50.
[0038]
Next, the stoppers 4b and 4c for stopping the movement of the substrate 100 on the right side of the substrate mounting portion 10 are switched from the effective position to the retracted position.
[0039]
Next, the substrate 100 mounted on the substrate mounting part 10 is caused to enter the entrance of the trolley and hangar 50 and stored in the trolley and hangar 50. At this time, any of the following methods (1) to (3) can be used as a method of handling the substrate 100. That is, (1) a method in which the left side of the substrate 100 is pushed by hand to allow the substrate 100 to enter while being supported by the balls 2a, 2b and the flanged columns 3a, 3b,. , The substrate 100 is supported by the flanged cylinders 3a, 3b,..., The top side of the substrate 100 is gripped with both hands, and the substrate 100 is advanced vertically, {Circle around (3)} A method of gripping the top side of the substrate 100 with both hands and moving the substrate 100 in a state where the substrate 100 is lifted can be adopted. Which method is used depends on the structure of the trolley and the hangar 50.
[0040]
【The invention's effect】
As described above, according to the substrate transport trolley according to the first aspect of the present invention, it is not necessary to hold a large substrate by a human hand in an operation of removing a large substrate from a production line and reloading the substrate. In other words, there is provided a substrate transport trolley for preventing a large substrate from being deformed even when gripped.
According to the substrate transport cart according to the second aspect of the present invention, since the substrate is supported by the spherical surfaces of the plurality of balls arranged in a plane, the movement resistance in the plane is extremely reduced, and the substrate surface is adversely affected. Is extremely reduced. In addition, since it is possible to move in an arbitrary direction within the plane of the tabletop, it is possible to transfer it to a hangar having an arbitrary shape.
Further, according to the substrate transporting cart according to claim 3 of the present invention, the column with the flange regulates the position by contacting the sides of the substrate, supports the substrate when inclined, and further moves the substrate in the side direction. The cylinder with the flange rotates and the movement resistance becomes extremely small.
According to the fourth aspect of the present invention, the substrate can be fixed by setting the stopper at the effective position, and can be moved by setting the stopper at the retracted position.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a top view illustrating a configuration of a substrate mounting unit.
FIG. 2 is a side view showing an inclination and the like of a substrate mounting portion.
FIG. 3 is a front view showing storage of an inclined substrate and the like.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Top plate 2a, 2b ... Ball 3a, 3b ... Cylinder with a flange 4a, 4b ... Stopper 5a, 5b ... Caster 6 Rotary shaft 10 Substrate mounting part 20 Inclination mechanism part 30 Lift mechanism 40 Frame 50 Cart (hangar, etc.)
100 substrates

Claims

A substrate mounting portion for mounting a substrate, an inclining mechanism for tilting the substrate mounting portion, an elevating mechanism for elevating and lowering the substrate mounting portion, and a caster for supporting and transporting each of the portions A substrate transport trolley comprising: a frame portion provided with the substrate, wherein the substrate can be loaded and unloaded and transported regardless of whether the substrate is horizontal or inclined.

2. The substrate transporting trolley according to claim 1, wherein the substrate mounting portion is a substrate mounting portion for arranging a plurality of balls that are freely rotatable and rotatable in a plane and supporting the substrate with a spherical surface of the balls. A substrate transport trolley characterized by being provided.

3. The substrate carrier according to claim 1, wherein the substrate platform is a substrate platform on which a plurality of rotatable cylinders with flanges are arranged at predetermined positions near sides that are lower when the substrate is tilted. 4. A substrate transport cart characterized by the above-mentioned.

4. The substrate carrier according to claim 1, wherein the substrate mounting unit is a substrate mounting unit in which a stopper that stops movement of the substrate by contacting a side of the substrate is disposed at a predetermined position. 5. And a stopper which can be switched between an effective position where the substrate can abut and a retracted position where the substrate cannot abut.