JP2004241238A - アルカリ可溶性導電性ペースト組成物 - Google Patents
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Abstract
【課題】多層セラミック基板の製造にあたって、高価なメタルマスクを使用することなく、生産性に優れる工法に用いて好適な、保存安定性とビアホールへの充填性に優れた導電性ペースト組成物を提供すること。
【解決手段】本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、(A)アルカリ可溶性高分子バインダー、(B)導電性金属粉、および(C)有機酸を含むことを特徴とし、基材上に形成したアルカリ可溶性導電性ペースト組成物の層が、その上層に設けたアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストのパターンを介してパターン化される工法に好適に用いられる。
【選択図】 なし
【解決手段】本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、(A)アルカリ可溶性高分子バインダー、(B)導電性金属粉、および(C)有機酸を含むことを特徴とし、基材上に形成したアルカリ可溶性導電性ペースト組成物の層が、その上層に設けたアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストのパターンを介してパターン化される工法に好適に用いられる。
【選択図】 なし
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はアルカリ可溶性導電性ペースト組成物に関し、特に、多層セラミック基板の製造に用いて好適な保存安定性に優れたアルカリ可溶性導電性ペースト組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、多層セラミック基板は、グリーンシート積層法により製造される。このグリーンシート積層法は、一定サイズに切断された複数枚のセラミックグリーンシートの所定位置にパンチング加工等によりビアホールを形成した後、各セラミックグリーンシートのビアホール内に選択的に穴の空いたメタルマスクを用いて導電性ペーストを充填すると共に、各セラミックグリーンシートの表面に導電性ペーストで配線パターンをスクリーン印刷した後、各セラミックグリーンシートを積層して加熱圧着し、これを焼成して多層セラミック基板を製造するものである。
しかしながら、この方法では、メタルマスクのような非常に高価なパターンマスクを使用する必要があり、しかも、パターンマスクとビアホールの位置合わせが必要で、生産性が悪いという問題がある。
【0003】
このような課題に対して、例えば樹脂被膜をセラミック基板に貼り付け、スルホール加工した後、導電性ペーストを塗布し、樹脂被膜を除去することにより不要な導電性ペーストを除去する方法で提案されている(特許文献1参照)。
しかしながら、樹脂被膜をラミネートする工程、樹脂被膜を除去する工程が増え、大幅な生産性向上には至らず、また除去した樹脂被膜の廃棄の問題も発生する。
【0004】
また、アルカリ可溶性高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤、塩基性無機粉末、およびカルボキシル基を有する有機化合物からなる感光性ペースト組成物が提案されている(特許文献2参照)。
このように感光性ペースト組成物にすることにより、メタルマスク等を使用することなく、選択的に充填することが可能であるが、感光性を得るために導電性金属粉の体積占有率が低くなり、充分な充填性が得られなくなるという問題がある。また、このような感光性ペースト組成物は、比較的高価な光重合開始剤などを使用しているため、コスト高になるという問題もある。
【0005】
【特許文献1】
特開平5−102659号公報
【特許文献2】
特開平9−222723号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述したような課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、多層セラミック基板の製造にあたって、高価なメタルマスクを使用することなく、生産性に優れる工法に用いて好適な、保存安定性とビアホールへの充填性に優れた導電性ペースト組成物を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、以下に示す内容を要旨構成とする発明を想到するに至った。
すなわち、本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、(A)アルカリ可溶性高分子バインダー、(B)導電性金属粉、および(C)有機酸を含むことを特徴とする。
このような本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、基材上に形成したアルカリ可溶性導電性ペースト組成物の層が、その上層に設けたアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストのパターンを介してパターン化される工法に好適に用いられる。
【0008】
これにより、多層セラミック基板を製造するにあたって、高価なメタルマスク等を使用することなしにセラミックグリーンシートのビアホール内に導電性ペーストを充填できると共に、上層に形成するアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストのパターンに従って導電性ペーストの厚膜パターンを形成することができる。また、本発明によれば、有機酸を添加することにより、保存安定性に優れた導電性ペースト組成物を提供でき、しかも樹脂成分に感光性を必要としないことから、導電性金属粉の体積占有率を上げることが可能になり、焼成後のビアホールへの充填性も向上できる。
【0009】
以下、本発明に係るアルカリ可溶性導電性ペースト組成物の具体的な構成成分について詳細に説明する。
まず、本発明で使用するアルカリ可溶性高分子バインダー(A)としては、具体的には以下のような化合物が挙げられる。
(1)(a)不飽和カルボン酸と、(b)エチレン性二重結合を有する化合物との共重合樹脂、
(2)(c)1分子中にアルコール性水酸基とエチレン性二重結合を有する化合物と、(b)エチレン性二重結合を有する化合物との共重合樹脂に、(d)多塩基酸無水物を付加した樹脂、
(3)(a)不飽和カルボン酸と、(b)エチレン性二重結合を有する化合物との共重合樹脂に、(e)モノエポキシ化合物を反応させ生成した第2級のアルコール性水酸基に、(d)多塩基酸無水物を付加した樹脂、
(4)(f)無水マレイン酸等の不飽和二塩基酸無水物と(b)エチレン性二重結合を有する化合物との共重合体に、(g)アルコール類を反応させた樹脂、
(5)(h)多官能エポキシ化合物に、(i)モノカルボン酸を反応させ生成した第2級のアルコール性水酸基に、(d)多塩基酸無水物を付加した樹脂などが挙げられる。
【0010】
前記アルカリ可溶性高分子バインダー(A)の合成に用いられる不飽和カルボン酸(a)としては、アクリル酸、メタクリル酸、β−スチリルアクリル酸、β−フルフリルアクリル酸、クロトン酸、α−シアノケイ皮酸、ケイ皮酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などが挙げられる。
また、エチレン性二重結合を有する化合物(b)としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートや、1分子中にアルコール性水酸基とエチレン性二重結合を有する化合物(c)が使用できる。なお、本明細書において(メタ)アクリレートとは、アクリレートとメタクリレートを総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。
前記1分子中にアルコール性水酸基とエチレン性二重結合を有する化合物(c)としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールモノ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールモノ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
【0011】
また、前記変性材料として使用される多塩基酸無水物(d)としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、無水クロレンド酸、無水トリメリット酸等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
前記モノエポキシ化合物(e)としては、ブチルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、グリシジルメタクリレート、エピクロルヒドリン、グリシドールなどが挙げられるが、グリシジルメタクリレートのような感光基を持つものは、保存安定性を低下させるので好ましくない。
前記(4)の樹脂合成に用いられる無水マレイン酸等の不飽和二塩基酸無水物(f)とエチレン性二重結合を有する化合物(b)との共重合体に、付加させるアルコール類(g)としては、メタノール、エタノール、n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなど公知慣用のアルコール類が使用できる。
更に(5)の樹脂合成に用いられる多官能エポキシ化合物(h)としては、公知慣用のエポキシ樹脂が使用できるが、フェノールノボラック型エポキシ樹脂やクレゾールノボラック型エポキシ樹脂が変性後の酸価や分子量の面から好ましい。また、これらエポキシ樹脂に付加するモノカルボン酸(i)としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、乳酸などが挙げられる。
【0012】
このようなアルカリ可溶性高分子バインダー(A)の酸価は、50〜250の範囲であることが好ましく、上記酸価が50未満の場合、アルカリ水溶液への溶解性が低下し、一方、上記酸価が250を越えた場合、結晶性が強くなり製膜性や印刷性が低下するので好ましくない。また、前記アルカリ可溶性高分子バインダー(A)の重量平均分子量は、2,000〜200,000、好ましくは5,000〜100,000の範囲である。上記重量平均分子量が、2,000未満の場合、基板への密着性が低下すると共に導電性金属粉(B)の保持性が低下し良好なペースト組成物が得られず、また重量平均分子量が200,000を超えた場合、アルカリ水溶液への溶解性が低下し、また焼成性が低下するので好ましくない。更に、これらアルカリ可溶性高分子バインダー(A)の酸の一次解離定数Kが、1×10−5以下であることが保存安定性の面から好ましい。
【0013】
次に、本発明で使用される導電性金属粉(B)としては、金、銀、銅、アルミニウムなどの導電性粒子を使用することができるが、信頼性、保存安定性、価格面から、銀の粉末が好ましい。これら導電性金属粉(B)の形状としては、球状、フレーク状、デンドライト状などの種々のものを用いることができるが、分散性を考慮すると球状のものを用いることが望ましい。また、平均粒径としては、20μm以下、好ましくは10μm以下のものを用いることが望ましい。さらに、導電性金属粉(B)の酸化防止、組成物内での分散性向上のため、脂肪酸による処理を行なったものが好ましい。脂肪酸としては、オレイン酸、リノール酸、リノレイン酸、ステアリン酸などが挙げられる。
このような導電性金属粉(B)の配合量としては、導電性ペースト組成物中において体積占有率が25〜55体積%ととなるように、配合することが好ましい。上記体積占有率が25体積%未満の場合、焼成後の充填率が低下し導電性不良等を起こすので好ましくない。一方、55体積%を越えた場合、導電性ペースト組成物の作業性が低下したり、保存安定性が低下するので好ましくない。
【0014】
更に本発明で用いられる有機酸(C)は、前記導電性金属粉(B)の脂肪酸処理と同様の目的で添加されるが、前記脂肪酸及び前記アルカリ可溶性樹脂の酸より強い酸、好ましくは一次解離定数Kが、1×10−5以上の有機酸が好ましい。 すなわち、上記有機酸(C)を含有することで、ペースト組成物中の前記導電性金属粉(B)の表面に存在する金属イオンがアルカリ可溶性高分子バインダー(A)中のカルボキシル基と反応するのが防止され、ペーストのアルカリ水溶液に対する溶解性が保たれ、しかもアルカリ水溶液による現像操作の後において導電性金属粉がセラミックグリーンシート上に残留することがない、或いは粘度変化やゲル化を防止し長期保存安定性が得られる。このように、ペースト組成物の安定性は酸の作用によるところから有機酸(C)にとどまらず塩酸、硫酸、硝酸、リン酸などの無機酸も効果があるが、無機酸はペースト組成物の混練中や保存中に機器や容器を腐食したり、保存中に樹脂成分を変質させることがあり好ましくない。
上記有機酸(C)の具体的な例としては、アジピン酸、イソ酪酸、ギ酸、クエン酸、グルタル酸、酢酸、シュウ酸、酒石酸、乳酸、ピルビン酸、マロン酸、酪酸、リンゴ酸、サリチル酸、安息香酸、フェニル酢酸、アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボン酸類;亜リン酸ジブチル、亜リン酸ブチル、亜リン酸ジメチル、亜リン酸メチル、亜リン酸ジプロピル、亜リン酸プロピル、亜リン酸ジフェニル、亜リン酸フェニル、亜リン酸ジイソプロピル、亜リン酸イソプロピル、亜リン酸−n−ブチル−2−エチルヘキシルなどの亜リン酸のモノ又はジエステル類;リン酸ジブチル、リン酸ブチル、リン酸ジメチル、リン酸メチル、リン酸ジプロピル、リン酸プロピル、リン酸ジフェニル、リン酸フェニル、リン酸ジイソプロピル、リン酸イソプロピル、リン酸−n−ブチル−2−エチルヘキシルなどのリン酸のモノ又はジエステル類などを挙げることができる。
上記有機酸(C)の配合量としては、前記導電性金属粉(B)100質量部に対し、0.1〜5質量部の範囲であることが好ましい。前記有機酸(B)の配合量が前記導電性金属粉(B)100質量部に対し、0.1質量部未満の場合、前記導電性金属粉(B)とアルカリ可溶性高分子バインダー(A)との反応が起き、長期保存安定性を低下させ、一方、前記配合量が5質量%を超えた場合、空気中の水分等を吸湿しやすくなるので好ましくない。
【0015】
更に、本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物には、組成物の粘度を調整するため、又は前記アルカリ可溶性高分子バインダー(A)を溶解しワニス化するために、有機溶剤を添加することができる。有機溶剤としては、乾燥が容易で毒性の少ない溶剤が選ばれる。例えば、メタノール、エタノール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブタノール等のアルコール類;酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル、酢酸シクロヘキシル、アセト酢酸メチル、アジピン酸ジメチル、グルタミン酸ジメチル、琥珀酸ジメチル等のエステル系溶剤類;シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、2−ブタノン、メチルイソブチルケトン、アセトン等のケトン類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルキレンオキサイド誘導体;及びトルエン、ミネラルスピリットなどを好適に用いることができる。これらの有機溶剤は、単独で又は2種類以上を混合して使用することができる。
【0016】
なお、本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、必要に応じて、ガラス粉末を導電性に悪影響を及ぼさない範囲で添加することができる。ガラス粉末としては、鉛系、ビスマス系、リン酸系、リチウム系などのガラス粉末が使用できる。これらのガラス粉末は、焼成温度に対応して選択することにより、基材への密着性、焼成後の強度を上げることができる。
【0017】
さらに必要に応じて、本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、シリコーン系、アクリル系の消泡・レベリング剤や、流動性を調整するためのチクソ性付与剤、皮膜の密着性向上のためのシランカップリング剤などの添加剤を配合することができる。また、焼成収縮を調整する目的でシリカ、酸化ビスマス、酸化アルミニウム、酸化チタン等の無機粉末、有機金属化合物、金属有機酸塩、金属アルコキシド等を添加することもできる。
【0018】
このようにして得られた本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、有機溶剤などにより、0.5〜300Ps・s、好ましくは10〜200Ps・sに粘度調整し、ゴムスキージ、バーコータなどを用いてビアホールを有するセラミックグリーンシートのビアに充填する。この時、セラミックグリーンシート上の塗布されるアルカリ可溶性導電性ペースト組成物の膜厚は10μm以下にすることが望ましい。10μmを超えた場合、アルカリ水溶液による不要部分の除去工程において、アンダーカットが発生し、信頼性に優れた配線パターンが得られなくなるため、好ましくない。また、ビアホールに確実に充填するため、必要に応じて、複数回、塗布を繰り返すことが好ましい。次に、必要に応じて、指触乾燥性を得るために、熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉等で例えば60〜120℃で5〜40分乾燥させて有機溶剤を蒸発させ、タックフリーの塗膜を得る。
アルカリ可溶性導電性ペースト組成物の充填後、アルカリ現像型感光性導電性ペーストをスクリーンやバーコータなどにより全面又は部分印刷したり、又はアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストをスクリーン印刷法によりパターン印刷する。
ここで用いられるアルカリ現像型感光性導電性ペーストとしては、例えばアルカリ可溶性高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤、導電性粒子を含む組成物等である。このようにアルカリ現像型感光性導電性ペースト又はアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストを塗布したセラミックグリーンシートは、指触乾燥性を得るために、熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉等で例えば60〜90℃で15〜30分乾燥させて有機溶剤を蒸発させ、タックフリーの塗膜を得る。
【0019】
前記工程で、アルカリ現像型感光性導電性ペーストを塗布したセラミックグリーンシートの場合、さらに所望のパターンを備えたマスクを介して活性エネルギー線を照射し露光する。
ここで、活性エネルギー線の光源としては、ハロゲンランプ、高圧水銀灯、レーザー光、メタルハライドランプ、ブラックランプ、無電極ランプなどが使用できる。露光条件は、20〜1000mJ/cm2の範囲が好ましい。
【0020】
このようにして得られたセラミックグリーンシートは、アルカリ現像機を通すことにより、アルカリ現像型感光性導電性ペースト層の未露光部とその下のアルカリ可溶性導電性ペースト層、又はアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストが印刷されていない部分が除去され、配線パターンが形成される。
ここで、現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ケイ酸ナトリウムなどのアルカリ金属塩水溶液;トリエタノールアミンなどのアミン水溶液;テトラアンモニウムハイドライドなどのようなアルカリ水溶液が挙げられ、特に約2.0質量%以下の炭酸ナトリウム水溶液などの希アルカリ水溶液が好適に用いられる。
【0021】
このように配線パターンが形成されたセラミックグリーンシートは、乾燥した後、焼成炉に移行し炉内の温度を徐々に上げながら焼成する。
この焼成過程では、アルカリ可溶性導電性ペースト組成物、及びアルカリ現像型感光性導電性ペースト又はアルカリ水溶液に不溶な導電性ペースト中の有機成分は、熱分解・除去される。焼成時の最高温度は、500〜1,000℃の範囲である。焼成は、通常、複数枚のセラミックグリーンシートを目的の導体回路設計に従い、積層され、同時焼成される。
【0022】
【実施例】
以下に合成例、実施例及び比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が以下の実施例に限定されるものでないことは言うまでもない。なお、以下において「部」及び「%」とあるのは、特に断りのない限り全て「質量部」及び「質量%」を表わす。
【0023】
合成例1
温度計、撹拌機、滴下ロート、及び還流冷却器を備えたフラスコに、溶媒としてジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、重合触媒としてアゾビスイソブチロニトリルを入れ、窒素雰囲気下で80℃に加熱し、メタクリル酸69部(0.8モル)とメチルメタクリレート120部(1.2モル)を混合したモノマーを約2時間かけて滴下し、さらに1時間撹拌後、温度を115℃まで上げ、重合を完結させ、共重合樹脂溶液を得た。この共重合樹脂溶液を冷却後、反応触媒のテトラブチルアンモニウムブロマイドと、ブチルグリシジルエーテル104部(0.8モル)を加え、95〜105℃で30時間反応させた。さらに、上記反応で得られた樹脂のOH基に、無水テトラヒドロフタル酸80部(0.52モル)を95〜105℃で8時間付加反応させ、重量平均分子量35,000、固形分酸価78.1mgKOH/g、固形分濃度50%の樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を、以下ワニスAと称す。
【0024】
実施例1
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ可溶性導電性ペーストを得た。
アルカリ可溶性高分子バインダー(ワニスA) 100部
リン酸モノメタクリロイルオキシエチル 9部
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート 70部
銀粉
(球状単分散、平均粒径1μm、タップ密度5.1g/cm3) 900部
【0025】
実施例2
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ可溶性導電性ペーストを得た。
アルカリ可溶性高分子バインダー(ワニスA) 100部
酒石酸 9部
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート 70部
銀粉
(球状単分散、平均粒径1μm、タップ密度5.1g/cm3) 900部
【0026】
比較例1
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ可溶性導電性ペーストを得た。
アルカリ可溶性高分子バインダー(ワニスA) 100部
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート 70部
銀粉
(球状単分散、平均粒径1μm、タップ密度5.1g/cm3) 900部
【0027】
アルカリ現像型感光性導電性ペーストの調整:
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ現像型感光性導電性ペーストを得た。
アルカリ可溶性高分子バインダー(ワニスA) 100部
トリメチロールプロパントリアクリレート 15部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 15部
2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]
−2−モルホリノアミノプロパノン−1 10部
2,4−ジエチルチオキサントン 1部
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート 60部
銀粉
(球状単分散、平均粒径1μm、タップ密度5.1g/cm3) 550部
【0028】
このようにして得られた各ペースト組成物を用いて、保存安定性、及び下記条件で評価基板を作成し、溶解性、パターン形成性の評価を行なった。作成条件は、以下の通りである。
評価基板の作成条件:
ビアホールが形成されたセラミックグリーンシート上に、上記実施例1,2及び比較例1のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物をゴムスキージを用いて、セラミックグリーンシート上に1〜3μm残るように塗布した。その後、前記アルカリ現像型感光性導電性ペースト組成物を、200メッシュのポリエステルスクリーン製版を用いて全面塗布した。このセラミックグリーンシートを80℃の熱風循環式乾燥炉を用いて20分間過熱乾燥し、タックフリーの塗膜を形成した。次に、ライン/スペースが、30/30〜100/100(μm/μm)まで、各10μm毎に描かれたネガフィルムを用い、積算露光量が150mJ/cm2となるように露光(オーク製作所製、型式HMW−680GW)を行なった。現像は、液温25℃の0.4wt%Na2CO3水溶液を用い、スプレー圧0.2MPaで60秒間行い、水洗・乾燥した。
【0029】
評価方法:
パターン形成性
上記のようにして現像した各評価基板の各線幅のライン/スペースのライン残存性とスペースの抜け性を評価し、共に問題の無いライン/スペースの線幅(μm)をパターン形成性の評価結果とした。
【0030】
溶解性
前記のようにして現像した各評価基板の70μmスペース部を光学顕微鏡で観察し、溶解性を評価した。
○:70μmスペース部分が溶解できた。
×:70μmスペース部分が溶解できなかった。
【0031】
保存安定性
各アルカリ可溶性導電性ペースト組成物を、室温に1ヶ月、3ヶ月、6ヶ月放置した後、粘度変化及びゲル化の有無を調べ、以下の評価基準に基づいて評価した。
○:ペースト組成物の増粘やゲル化はみられなかった。
△:ペースト組成物の増粘はみられたが、使用可能であった。
×:ペースト組成物のゲル化がみられ、使用不可能であった。
【0032】
このようにして得られた評価結果を、表1に示した。
【表1】
【0033】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物によれば、感光性を必要としないことから銀粉の含有率を上げることができ、また有機酸を添加することにより長期保存安定性に優れ、信頼性の高い多層セラミック基板を効率良く製造でき、低コスト化も可能となる。また、スクリーン製版等の治具の洗浄もアルカリ水溶液で行なうことができ、有機溶剤等の環境汚染物質の削減も可能となる。
【発明の属する技術分野】
本発明はアルカリ可溶性導電性ペースト組成物に関し、特に、多層セラミック基板の製造に用いて好適な保存安定性に優れたアルカリ可溶性導電性ペースト組成物に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、多層セラミック基板は、グリーンシート積層法により製造される。このグリーンシート積層法は、一定サイズに切断された複数枚のセラミックグリーンシートの所定位置にパンチング加工等によりビアホールを形成した後、各セラミックグリーンシートのビアホール内に選択的に穴の空いたメタルマスクを用いて導電性ペーストを充填すると共に、各セラミックグリーンシートの表面に導電性ペーストで配線パターンをスクリーン印刷した後、各セラミックグリーンシートを積層して加熱圧着し、これを焼成して多層セラミック基板を製造するものである。
しかしながら、この方法では、メタルマスクのような非常に高価なパターンマスクを使用する必要があり、しかも、パターンマスクとビアホールの位置合わせが必要で、生産性が悪いという問題がある。
【0003】
このような課題に対して、例えば樹脂被膜をセラミック基板に貼り付け、スルホール加工した後、導電性ペーストを塗布し、樹脂被膜を除去することにより不要な導電性ペーストを除去する方法で提案されている(特許文献1参照)。
しかしながら、樹脂被膜をラミネートする工程、樹脂被膜を除去する工程が増え、大幅な生産性向上には至らず、また除去した樹脂被膜の廃棄の問題も発生する。
【0004】
また、アルカリ可溶性高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤、塩基性無機粉末、およびカルボキシル基を有する有機化合物からなる感光性ペースト組成物が提案されている(特許文献2参照)。
このように感光性ペースト組成物にすることにより、メタルマスク等を使用することなく、選択的に充填することが可能であるが、感光性を得るために導電性金属粉の体積占有率が低くなり、充分な充填性が得られなくなるという問題がある。また、このような感光性ペースト組成物は、比較的高価な光重合開始剤などを使用しているため、コスト高になるという問題もある。
【0005】
【特許文献1】
特開平5−102659号公報
【特許文献2】
特開平9−222723号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述したような課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、多層セラミック基板の製造にあたって、高価なメタルマスクを使用することなく、生産性に優れる工法に用いて好適な、保存安定性とビアホールへの充填性に優れた導電性ペースト組成物を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
そこで本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、以下に示す内容を要旨構成とする発明を想到するに至った。
すなわち、本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、(A)アルカリ可溶性高分子バインダー、(B)導電性金属粉、および(C)有機酸を含むことを特徴とする。
このような本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、基材上に形成したアルカリ可溶性導電性ペースト組成物の層が、その上層に設けたアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストのパターンを介してパターン化される工法に好適に用いられる。
【0008】
これにより、多層セラミック基板を製造するにあたって、高価なメタルマスク等を使用することなしにセラミックグリーンシートのビアホール内に導電性ペーストを充填できると共に、上層に形成するアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストのパターンに従って導電性ペーストの厚膜パターンを形成することができる。また、本発明によれば、有機酸を添加することにより、保存安定性に優れた導電性ペースト組成物を提供でき、しかも樹脂成分に感光性を必要としないことから、導電性金属粉の体積占有率を上げることが可能になり、焼成後のビアホールへの充填性も向上できる。
【0009】
以下、本発明に係るアルカリ可溶性導電性ペースト組成物の具体的な構成成分について詳細に説明する。
まず、本発明で使用するアルカリ可溶性高分子バインダー(A)としては、具体的には以下のような化合物が挙げられる。
(1)(a)不飽和カルボン酸と、(b)エチレン性二重結合を有する化合物との共重合樹脂、
(2)(c)1分子中にアルコール性水酸基とエチレン性二重結合を有する化合物と、(b)エチレン性二重結合を有する化合物との共重合樹脂に、(d)多塩基酸無水物を付加した樹脂、
(3)(a)不飽和カルボン酸と、(b)エチレン性二重結合を有する化合物との共重合樹脂に、(e)モノエポキシ化合物を反応させ生成した第2級のアルコール性水酸基に、(d)多塩基酸無水物を付加した樹脂、
(4)(f)無水マレイン酸等の不飽和二塩基酸無水物と(b)エチレン性二重結合を有する化合物との共重合体に、(g)アルコール類を反応させた樹脂、
(5)(h)多官能エポキシ化合物に、(i)モノカルボン酸を反応させ生成した第2級のアルコール性水酸基に、(d)多塩基酸無水物を付加した樹脂などが挙げられる。
【0010】
前記アルカリ可溶性高分子バインダー(A)の合成に用いられる不飽和カルボン酸(a)としては、アクリル酸、メタクリル酸、β−スチリルアクリル酸、β−フルフリルアクリル酸、クロトン酸、α−シアノケイ皮酸、ケイ皮酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などが挙げられる。
また、エチレン性二重結合を有する化合物(b)としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレートや、1分子中にアルコール性水酸基とエチレン性二重結合を有する化合物(c)が使用できる。なお、本明細書において(メタ)アクリレートとは、アクリレートとメタクリレートを総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。
前記1分子中にアルコール性水酸基とエチレン性二重結合を有する化合物(c)としては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、エチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールモノ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールモノ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
【0011】
また、前記変性材料として使用される多塩基酸無水物(d)としては、無水マレイン酸、無水コハク酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、無水クロレンド酸、無水トリメリット酸等が挙げられ、これらを単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
前記モノエポキシ化合物(e)としては、ブチルグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル、グリシジルメタクリレート、エピクロルヒドリン、グリシドールなどが挙げられるが、グリシジルメタクリレートのような感光基を持つものは、保存安定性を低下させるので好ましくない。
前記(4)の樹脂合成に用いられる無水マレイン酸等の不飽和二塩基酸無水物(f)とエチレン性二重結合を有する化合物(b)との共重合体に、付加させるアルコール類(g)としては、メタノール、エタノール、n−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、n−ブチルアルコール、イソブチルアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなど公知慣用のアルコール類が使用できる。
更に(5)の樹脂合成に用いられる多官能エポキシ化合物(h)としては、公知慣用のエポキシ樹脂が使用できるが、フェノールノボラック型エポキシ樹脂やクレゾールノボラック型エポキシ樹脂が変性後の酸価や分子量の面から好ましい。また、これらエポキシ樹脂に付加するモノカルボン酸(i)としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、乳酸などが挙げられる。
【0012】
このようなアルカリ可溶性高分子バインダー(A)の酸価は、50〜250の範囲であることが好ましく、上記酸価が50未満の場合、アルカリ水溶液への溶解性が低下し、一方、上記酸価が250を越えた場合、結晶性が強くなり製膜性や印刷性が低下するので好ましくない。また、前記アルカリ可溶性高分子バインダー(A)の重量平均分子量は、2,000〜200,000、好ましくは5,000〜100,000の範囲である。上記重量平均分子量が、2,000未満の場合、基板への密着性が低下すると共に導電性金属粉(B)の保持性が低下し良好なペースト組成物が得られず、また重量平均分子量が200,000を超えた場合、アルカリ水溶液への溶解性が低下し、また焼成性が低下するので好ましくない。更に、これらアルカリ可溶性高分子バインダー(A)の酸の一次解離定数Kが、1×10−5以下であることが保存安定性の面から好ましい。
【0013】
次に、本発明で使用される導電性金属粉(B)としては、金、銀、銅、アルミニウムなどの導電性粒子を使用することができるが、信頼性、保存安定性、価格面から、銀の粉末が好ましい。これら導電性金属粉(B)の形状としては、球状、フレーク状、デンドライト状などの種々のものを用いることができるが、分散性を考慮すると球状のものを用いることが望ましい。また、平均粒径としては、20μm以下、好ましくは10μm以下のものを用いることが望ましい。さらに、導電性金属粉(B)の酸化防止、組成物内での分散性向上のため、脂肪酸による処理を行なったものが好ましい。脂肪酸としては、オレイン酸、リノール酸、リノレイン酸、ステアリン酸などが挙げられる。
このような導電性金属粉(B)の配合量としては、導電性ペースト組成物中において体積占有率が25〜55体積%ととなるように、配合することが好ましい。上記体積占有率が25体積%未満の場合、焼成後の充填率が低下し導電性不良等を起こすので好ましくない。一方、55体積%を越えた場合、導電性ペースト組成物の作業性が低下したり、保存安定性が低下するので好ましくない。
【0014】
更に本発明で用いられる有機酸(C)は、前記導電性金属粉(B)の脂肪酸処理と同様の目的で添加されるが、前記脂肪酸及び前記アルカリ可溶性樹脂の酸より強い酸、好ましくは一次解離定数Kが、1×10−5以上の有機酸が好ましい。 すなわち、上記有機酸(C)を含有することで、ペースト組成物中の前記導電性金属粉(B)の表面に存在する金属イオンがアルカリ可溶性高分子バインダー(A)中のカルボキシル基と反応するのが防止され、ペーストのアルカリ水溶液に対する溶解性が保たれ、しかもアルカリ水溶液による現像操作の後において導電性金属粉がセラミックグリーンシート上に残留することがない、或いは粘度変化やゲル化を防止し長期保存安定性が得られる。このように、ペースト組成物の安定性は酸の作用によるところから有機酸(C)にとどまらず塩酸、硫酸、硝酸、リン酸などの無機酸も効果があるが、無機酸はペースト組成物の混練中や保存中に機器や容器を腐食したり、保存中に樹脂成分を変質させることがあり好ましくない。
上記有機酸(C)の具体的な例としては、アジピン酸、イソ酪酸、ギ酸、クエン酸、グルタル酸、酢酸、シュウ酸、酒石酸、乳酸、ピルビン酸、マロン酸、酪酸、リンゴ酸、サリチル酸、安息香酸、フェニル酢酸、アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸などのカルボン酸類;亜リン酸ジブチル、亜リン酸ブチル、亜リン酸ジメチル、亜リン酸メチル、亜リン酸ジプロピル、亜リン酸プロピル、亜リン酸ジフェニル、亜リン酸フェニル、亜リン酸ジイソプロピル、亜リン酸イソプロピル、亜リン酸−n−ブチル−2−エチルヘキシルなどの亜リン酸のモノ又はジエステル類;リン酸ジブチル、リン酸ブチル、リン酸ジメチル、リン酸メチル、リン酸ジプロピル、リン酸プロピル、リン酸ジフェニル、リン酸フェニル、リン酸ジイソプロピル、リン酸イソプロピル、リン酸−n−ブチル−2−エチルヘキシルなどのリン酸のモノ又はジエステル類などを挙げることができる。
上記有機酸(C)の配合量としては、前記導電性金属粉(B)100質量部に対し、0.1〜5質量部の範囲であることが好ましい。前記有機酸(B)の配合量が前記導電性金属粉(B)100質量部に対し、0.1質量部未満の場合、前記導電性金属粉(B)とアルカリ可溶性高分子バインダー(A)との反応が起き、長期保存安定性を低下させ、一方、前記配合量が5質量%を超えた場合、空気中の水分等を吸湿しやすくなるので好ましくない。
【0015】
更に、本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物には、組成物の粘度を調整するため、又は前記アルカリ可溶性高分子バインダー(A)を溶解しワニス化するために、有機溶剤を添加することができる。有機溶剤としては、乾燥が容易で毒性の少ない溶剤が選ばれる。例えば、メタノール、エタノール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブタノール等のアルコール類;酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル、酢酸シクロヘキシル、アセト酢酸メチル、アジピン酸ジメチル、グルタミン酸ジメチル、琥珀酸ジメチル等のエステル系溶剤類;シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサノン、2−ブタノン、メチルイソブチルケトン、アセトン等のケトン類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等のアルキレンオキサイド誘導体;及びトルエン、ミネラルスピリットなどを好適に用いることができる。これらの有機溶剤は、単独で又は2種類以上を混合して使用することができる。
【0016】
なお、本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、必要に応じて、ガラス粉末を導電性に悪影響を及ぼさない範囲で添加することができる。ガラス粉末としては、鉛系、ビスマス系、リン酸系、リチウム系などのガラス粉末が使用できる。これらのガラス粉末は、焼成温度に対応して選択することにより、基材への密着性、焼成後の強度を上げることができる。
【0017】
さらに必要に応じて、本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、シリコーン系、アクリル系の消泡・レベリング剤や、流動性を調整するためのチクソ性付与剤、皮膜の密着性向上のためのシランカップリング剤などの添加剤を配合することができる。また、焼成収縮を調整する目的でシリカ、酸化ビスマス、酸化アルミニウム、酸化チタン等の無機粉末、有機金属化合物、金属有機酸塩、金属アルコキシド等を添加することもできる。
【0018】
このようにして得られた本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物は、有機溶剤などにより、0.5〜300Ps・s、好ましくは10〜200Ps・sに粘度調整し、ゴムスキージ、バーコータなどを用いてビアホールを有するセラミックグリーンシートのビアに充填する。この時、セラミックグリーンシート上の塗布されるアルカリ可溶性導電性ペースト組成物の膜厚は10μm以下にすることが望ましい。10μmを超えた場合、アルカリ水溶液による不要部分の除去工程において、アンダーカットが発生し、信頼性に優れた配線パターンが得られなくなるため、好ましくない。また、ビアホールに確実に充填するため、必要に応じて、複数回、塗布を繰り返すことが好ましい。次に、必要に応じて、指触乾燥性を得るために、熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉等で例えば60〜120℃で5〜40分乾燥させて有機溶剤を蒸発させ、タックフリーの塗膜を得る。
アルカリ可溶性導電性ペースト組成物の充填後、アルカリ現像型感光性導電性ペーストをスクリーンやバーコータなどにより全面又は部分印刷したり、又はアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストをスクリーン印刷法によりパターン印刷する。
ここで用いられるアルカリ現像型感光性導電性ペーストとしては、例えばアルカリ可溶性高分子バインダー、光重合性モノマー、光重合開始剤、導電性粒子を含む組成物等である。このようにアルカリ現像型感光性導電性ペースト又はアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストを塗布したセラミックグリーンシートは、指触乾燥性を得るために、熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉等で例えば60〜90℃で15〜30分乾燥させて有機溶剤を蒸発させ、タックフリーの塗膜を得る。
【0019】
前記工程で、アルカリ現像型感光性導電性ペーストを塗布したセラミックグリーンシートの場合、さらに所望のパターンを備えたマスクを介して活性エネルギー線を照射し露光する。
ここで、活性エネルギー線の光源としては、ハロゲンランプ、高圧水銀灯、レーザー光、メタルハライドランプ、ブラックランプ、無電極ランプなどが使用できる。露光条件は、20〜1000mJ/cm2の範囲が好ましい。
【0020】
このようにして得られたセラミックグリーンシートは、アルカリ現像機を通すことにより、アルカリ現像型感光性導電性ペースト層の未露光部とその下のアルカリ可溶性導電性ペースト層、又はアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストが印刷されていない部分が除去され、配線パターンが形成される。
ここで、現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ケイ酸ナトリウムなどのアルカリ金属塩水溶液;トリエタノールアミンなどのアミン水溶液;テトラアンモニウムハイドライドなどのようなアルカリ水溶液が挙げられ、特に約2.0質量%以下の炭酸ナトリウム水溶液などの希アルカリ水溶液が好適に用いられる。
【0021】
このように配線パターンが形成されたセラミックグリーンシートは、乾燥した後、焼成炉に移行し炉内の温度を徐々に上げながら焼成する。
この焼成過程では、アルカリ可溶性導電性ペースト組成物、及びアルカリ現像型感光性導電性ペースト又はアルカリ水溶液に不溶な導電性ペースト中の有機成分は、熱分解・除去される。焼成時の最高温度は、500〜1,000℃の範囲である。焼成は、通常、複数枚のセラミックグリーンシートを目的の導体回路設計に従い、積層され、同時焼成される。
【0022】
【実施例】
以下に合成例、実施例及び比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が以下の実施例に限定されるものでないことは言うまでもない。なお、以下において「部」及び「%」とあるのは、特に断りのない限り全て「質量部」及び「質量%」を表わす。
【0023】
合成例1
温度計、撹拌機、滴下ロート、及び還流冷却器を備えたフラスコに、溶媒としてジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、重合触媒としてアゾビスイソブチロニトリルを入れ、窒素雰囲気下で80℃に加熱し、メタクリル酸69部(0.8モル)とメチルメタクリレート120部(1.2モル)を混合したモノマーを約2時間かけて滴下し、さらに1時間撹拌後、温度を115℃まで上げ、重合を完結させ、共重合樹脂溶液を得た。この共重合樹脂溶液を冷却後、反応触媒のテトラブチルアンモニウムブロマイドと、ブチルグリシジルエーテル104部(0.8モル)を加え、95〜105℃で30時間反応させた。さらに、上記反応で得られた樹脂のOH基に、無水テトラヒドロフタル酸80部(0.52モル)を95〜105℃で8時間付加反応させ、重量平均分子量35,000、固形分酸価78.1mgKOH/g、固形分濃度50%の樹脂溶液を得た。この樹脂溶液を、以下ワニスAと称す。
【0024】
実施例1
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ可溶性導電性ペーストを得た。
アルカリ可溶性高分子バインダー(ワニスA) 100部
リン酸モノメタクリロイルオキシエチル 9部
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート 70部
銀粉
(球状単分散、平均粒径1μm、タップ密度5.1g/cm3) 900部
【0025】
実施例2
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ可溶性導電性ペーストを得た。
アルカリ可溶性高分子バインダー(ワニスA) 100部
酒石酸 9部
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート 70部
銀粉
(球状単分散、平均粒径1μm、タップ密度5.1g/cm3) 900部
【0026】
比較例1
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ可溶性導電性ペーストを得た。
アルカリ可溶性高分子バインダー(ワニスA) 100部
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート 70部
銀粉
(球状単分散、平均粒径1μm、タップ密度5.1g/cm3) 900部
【0027】
アルカリ現像型感光性導電性ペーストの調整:
以下の配合成分を量り取り、撹拌機にて撹拌後、3本ロールミルにて練肉し、アルカリ現像型感光性導電性ペーストを得た。
アルカリ可溶性高分子バインダー(ワニスA) 100部
トリメチロールプロパントリアクリレート 15部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 15部
2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]
−2−モルホリノアミノプロパノン−1 10部
2,4−ジエチルチオキサントン 1部
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート 60部
銀粉
(球状単分散、平均粒径1μm、タップ密度5.1g/cm3) 550部
【0028】
このようにして得られた各ペースト組成物を用いて、保存安定性、及び下記条件で評価基板を作成し、溶解性、パターン形成性の評価を行なった。作成条件は、以下の通りである。
評価基板の作成条件:
ビアホールが形成されたセラミックグリーンシート上に、上記実施例1,2及び比較例1のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物をゴムスキージを用いて、セラミックグリーンシート上に1〜3μm残るように塗布した。その後、前記アルカリ現像型感光性導電性ペースト組成物を、200メッシュのポリエステルスクリーン製版を用いて全面塗布した。このセラミックグリーンシートを80℃の熱風循環式乾燥炉を用いて20分間過熱乾燥し、タックフリーの塗膜を形成した。次に、ライン/スペースが、30/30〜100/100(μm/μm)まで、各10μm毎に描かれたネガフィルムを用い、積算露光量が150mJ/cm2となるように露光(オーク製作所製、型式HMW−680GW)を行なった。現像は、液温25℃の0.4wt%Na2CO3水溶液を用い、スプレー圧0.2MPaで60秒間行い、水洗・乾燥した。
【0029】
評価方法:
パターン形成性
上記のようにして現像した各評価基板の各線幅のライン/スペースのライン残存性とスペースの抜け性を評価し、共に問題の無いライン/スペースの線幅(μm)をパターン形成性の評価結果とした。
【0030】
溶解性
前記のようにして現像した各評価基板の70μmスペース部を光学顕微鏡で観察し、溶解性を評価した。
○:70μmスペース部分が溶解できた。
×:70μmスペース部分が溶解できなかった。
【0031】
保存安定性
各アルカリ可溶性導電性ペースト組成物を、室温に1ヶ月、3ヶ月、6ヶ月放置した後、粘度変化及びゲル化の有無を調べ、以下の評価基準に基づいて評価した。
○:ペースト組成物の増粘やゲル化はみられなかった。
△:ペースト組成物の増粘はみられたが、使用可能であった。
×:ペースト組成物のゲル化がみられ、使用不可能であった。
【0032】
このようにして得られた評価結果を、表1に示した。
【表1】
【0033】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物によれば、感光性を必要としないことから銀粉の含有率を上げることができ、また有機酸を添加することにより長期保存安定性に優れ、信頼性の高い多層セラミック基板を効率良く製造でき、低コスト化も可能となる。また、スクリーン製版等の治具の洗浄もアルカリ水溶液で行なうことができ、有機溶剤等の環境汚染物質の削減も可能となる。
Claims (7)
- (A)アルカリ可溶性高分子バインダー、(B)導電性金属粉、および(C)有機酸を含むことを特徴とするアルカリ可溶性導電性ペースト組成物。
- 前記有機酸(C)の一次解離定数Kが、1.0×10−5以上の有機酸であることを特徴とする請求項1に記載のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物。
- 前記有機酸(C)の配合量が、導電性金属粉(B)100質量部に対し、0.1〜5質量部の範囲であることを特徴とする請求項1又は2に記載のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物。
- 前記導電性金属粉(B)の体積占有率が、ペースト組成物中の25〜55体積%であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物。
- 前記導電性金属粉(B)が、銀粉であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物。
- 感光性成分を含まないことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物。
- 基材上に形成したアルカリ可溶性導電性ペースト組成物の層が、その上層に設けたアルカリ水溶液に不溶な導電性ペーストのパターンを介してパターン化される工法に用いられることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のアルカリ可溶性導電性ペースト組成物。
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| JP2003028509A JP2004241238A (ja) | 2003-02-05 | 2003-02-05 | アルカリ可溶性導電性ペースト組成物 |
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
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-
2003
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