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JP2004014285A - Organic EL device and method of manufacturing the same - Google Patents

Organic EL device and method of manufacturing the same Download PDF

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Publication number
JP2004014285A
JP2004014285A JP2002165805A JP2002165805A JP2004014285A JP 2004014285 A JP2004014285 A JP 2004014285A JP 2002165805 A JP2002165805 A JP 2002165805A JP 2002165805 A JP2002165805 A JP 2002165805A JP 2004014285 A JP2004014285 A JP 2004014285A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
organic
silane
siloxane compound
water
compound
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2002165805A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yukio Nomura
幸生 野村
Yasuyuki Nukina
康之 貫名
Azusa Shiga
あづさ 志賀
Shuzo Tokumitsu
修三 徳満
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2002165805A priority Critical patent/JP2004014285A/en
Publication of JP2004014285A publication Critical patent/JP2004014285A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • H10K50/846Passivation; Containers; Encapsulations comprising getter material or desiccants

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

【課題】有機EL素子の水分に起因するダークスポットの発生を抑制するために、セル構成部材を透水する水分を捕集するとともに、その透水を防止すること。
【解決手段】陽極および陰極に狭持された少なくとも1層の有機化合物層を備えた積層体と、加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物とが2枚の基板で狭持されている構成により、加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物が、セルの構成部材の透水部分(ピンホール等)で吸水するだけでなく、吸水によって加水分解したシランもしくはシロキサン化合物(シリカライクな化合物)が透水部分を塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たす。
【選択図】 図1
An object of the present invention is to collect water that permeates a cell constituent member and to prevent the water from permeating in order to suppress the generation of a dark spot caused by the water in an organic EL element.
A structure in which a laminate including at least one organic compound layer sandwiched between an anode and a cathode and a hydrolyzable silane or siloxane compound are sandwiched between two substrates is provided. The decomposable silane or siloxane compound not only absorbs water at the water-permeable portions (pinholes, etc.) of the constituent members of the cell, but also the silane or siloxane compound hydrolyzed by the water absorption (silica-like compound) blocks the water-permeable portion. It fulfills the function of preventing the above water permeation.
[Selection diagram] Fig. 1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、TVやコンピュータ画像を表示するフラットパネルディスプレイに用いられる有機EL表示素子内部の乾燥方法および製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、有機EL素子は水分に起因するダークスポットの発生を抑制するために、セル内部に封入され、さらにそのセル構成部材を透水する水分を捕集するために
セル内部に乾燥材粉末を充填していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、乾燥剤が飽和吸水した場合には、当然のことながらダークスポットの発生を抑制することができないし、また構成部材の透水を防止することもできない。したがって、有機EL素子の使用環境や使用時間によって、乾燥剤を増量する必要があり、そのために素子の厚みが増大した。さらにこれら構成では、乾燥材が基板上に設けられた積層体を覆うため、積層体上面から有機ELの発光を高効率で取り出すことが困難であった。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明はこれらの課題を解決するものであり、上記の課題を解決するための有機EL素子は、陽極および陰極に狭持された少なくとも1層の有機化合物層を備えた積層体と、加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物とが2枚の基板で狭持されている構成をもつ。
【0005】
【発明の実施の形態】
請求項1に記載の発明は、陽極および陰極に狭持された少なくとも1層の有機化合物層を備えた積層体と、加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物とが2枚の基板で狭持されている構成により、加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物が、セルの構成部材の透水部分(ピンホール等)で吸水するだけでなく、吸水によって加水分解したシランもしくはシロキサン化合物(シリカライクな化合物)が透水部分を塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たす。また、この加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物は無色透明であるため積層体上面から有機ELの発光を高効率で取り出すことが容易である。
【0006】
請求項2に記載の発明は、特に請求項1に記載の加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物が常温で気体または揮発性液体することにより、シランもしくはシロキサン蒸気が、透水部分(ピンホール等)まで拡散し、セルの構成部材の透水部分(ピンホール等)で確実に吸水するだけでなく、吸水によって加水分解したシランもしくはシロキサン化合物(シリカライクな化合物)がその部分を確実に塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たす。
【0007】
次に、請求項3に記載の発明は、陽極および陰極に狭持された少なくとも1層の有機化合物層を備えた積層体と、加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物の溶液とが2枚の基板で狭持されている構成により、シランもしくはシロキサン溶液に満たされるため、透水部分(ピンホール等)まで拡散でき、セルの構成部材の透水部分(ピンホール等)で吸水するだけでなく、吸水によって加水分解したシランもしくはシロキサン化合物(シリカライクな化合物)がその部分を確実に塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たす。
【0008】
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載のシランもしくはシロキサン化合物溶液の溶媒が無水溶媒にすることにより、シランもしくはシロキサン化合物が溶液中で水和することがないので、長期にわたりセル内部への透水を防ぐ機能を果たす。
【0009】
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の無水溶媒がフルオロ炭化水素にすることにより、セル内部の有機EL素子が溶媒によってダメージを受けることなく、長期にわたりセル内部への透水を防ぐ機能を果たす。
【0010】
請求項6に記載の発明は、請求項1〜5のいずれか1項に記載のシランもしくはシロキサンがそれぞれクロロシラン、イソシアネートシランもしくはクロロシロキサン、イソシアネートシロキサンにすることにより、これらのシランもしくはシロキサンと水との反応性が非常に高いため、セルの構成部材の透水部分(ピンホール等)で完全に吸水するだけでなく、吸水によって加水分解したシランもしくはシロキサン化合物(シリカライクな化合物)がその部分を完全にに塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たす。
【0011】
請求項7に記載の発明は、請求項1〜6のいずれか1項に記載のシランもしくはシロキサン化合物、もしくはシランもしくはシロキサン化合物の溶液が表示領域外に狭持されていることにより、画素の部分にはシランもしくはシロキサン化合物の溶液が充填しないので、溶液による有機EL素子とダメージを防ぐだけでなく、屈折率の変動による有機EL素子の発光の変色、視野変動を防ぐ。
【0012】
次に、請求項8に記載の発明は陽極および陰極に狭持された少なくとも1層の有機化合物層を備えた積層体を形成する工程と、前記積層体と加水分解可能なシラン、シロキサン化合物、またはそれらの溶液のうちのいずれか1つを2枚の基板に狭持する工程とを有する製造方法により、加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物が、セルの構成部材の透水部分(ピンホール等)で吸水するだけでなく、吸水によって加水分解したシランもしくはシロキサン化合物(シリカライクな化合物)が透水部分を塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を有する有機EL素子を製造できる。また、この加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物は無色透明であるため積層体上面から有機ELの発光を高効率で取り出すことできる有機EL素子を製造できる。
【0013】
請求項9に記載の発明は、請求項8に記載の積層体と加水分解可能なシラン、シロキサン化合物、またはそれらの溶液のうちのいずれか1つを2枚の基板に狭持する工程が、真空中で行われる製造方法により、シランもしくはシロキサン化合物もしくはそれらの溶液と一緒に水分が狭持されることがないので、これらの化合物が水分で失活することがない。したがって、優れた透水を防ぐ機能を有する有機EL素子を製造できる。
【0014】
請求項10に記載の発明は、請求項8に記載の積層体を2枚の基板に狭持する工程が、加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物のガス中で行われる製造方法により、積層体を2枚の基板に狭持すると同時に加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物のガスを狭持できるので、優れた透水を防ぐ機能を有する有機EL素子を簡便に製造できる。
【0015】
請求項11に記載の発明は、請求項8に記載の陽極および陰極に狭持された少なくとも1層の有機化合物層を備えた積層体を形成する工程と、前記積層体をギャップを保持し、かつ1カ所以上の開口部を設けて狭持する工程と、その開口部より加水分解可能なシラン、シロキサン化合物、またはそれらの溶液のうちの少なくとも1つを注入する工程とを有する製造方法により、有機EL素子の空セル作製、加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物もしくはそれらの溶液を注入といった、液晶表示素子のセル工程と類似した工程なため、液晶表示素子の工程をそのまま利用可能であるメリットを有する。
【0016】
請求項12に記載の発明は、請求項11に記載の開口部より加水分解可能なシラン、シロキサン化合物、またはそれらの溶液のうちの少なくとも1つを注入する工程が、ギャップを真空にする工程と、真空中で開口部をシラン、シロキサン化合物またはそれらの溶液の少なくとも1つに浸漬させる工程と、真空を無水雰囲気にする工程と、開口部を封口する工程とを有する製造方法により、ギャップ空間内が水分の混入がなく完全シランもしくはシロキサン化合物もしくはそれらの溶液に満たされるため、これらの化合物が水分で失活することがない。したがって、優れた透水を防ぐ機能を有する有機EL素子を製造できる。
【0017】
請求項13に記載の発明は、請求項11に記載の開口部より加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物のガスを注入する工程が、ギャップを真空にする工程と、真空をシランまたはシロキサン化合物のガス雰囲気にする工程と、開口部を封口する工程とを有する製造方法により、ギャップ空間内が水分の混入がなく完全シランもしくはシロキサン化合物ガスで満たされるため、これらの化合物が水分で失活することがない。したがって、優れた透水を防ぐ機能を有する有機EL素子を製造できる。また、ガスを注入するためシランもしくはシロキサン化合物の注入時間が早く、工程時間を短縮できる。
【0018】
請求項14に記載の発明は、請求項8〜13のいずれか1項にに記載の積層体と、シラン、シロキサン化合物、シランまたはシロキサン化合物の溶液のうちのいずれか1つを2枚の基板で狭持する工程が、シラン、シロキサン化合物、シランまたはシロキサン化合物の溶液のいずれか1つを表示領域外に狭持する工程を有する製造方法により、画素の部分にはシランもしくはシロキサン化合物の溶液が充填しないので、溶液による有機EL素子とダメージを防ぐだけでなく、屈折率の変動による発光の変色、視野変動を防ぐ有機EL素子を製造できる。
【0019】
なお、本発明に使用される、加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物としては、一般式X−(SiOX2)n−SiX3(ただしXはハロゲン、およびイソシアネート基、nは0以上の整数)で示される直鎖状化合物が水との反応活性が高く、有効である。特に、Xがクロル基、およびイソシアネート基の場合は水との反応活性がより高く、特に有効である。
【0020】
上記化合物を以下に例示すると
(1)SiX4(n=0に相当)
(2)SiX3−O−SiX3(n=1に相当)
さらに具体的な化合物としては
(3)SiCl4
(4)SiCl3−O−SiCl3
(5)Si(NCO)4
(6)Si(NCO)3−O−Si(NCO)3
が挙げられる。
【0021】
また、Siの代わりにV、Tiでも同様な作用が認められる。この化合物を例示すると、
(7)TiCl4
(8)TiCl3−O−TiCl3
(9)VCl3
(10)VCl2−O−VCl2
これらの化合物は揮発性が高く、本発明では液体だけでなく、ガスとして封入も可能である。
【0022】
また、一般式SiYpX4−pで示されるシラン化合物も有効である。但し、pは1〜3の整数、また、Yは、水素、アルキル基、アルコキシル基、含フッ素アルキル基または含フッ素アルコキシ基である。特に、ピンホールを塞ぐ立場から、p=1のものが優れている。また、透水を防ぐには含フッ素アルキル基または含フッ素アルコキシ基が有効である具体的には、
(11)CH3(CH2)9−SiCl3
(12)CF3(CF2)7−(CH2)2−SiCl3
(13)CH3(CH2)9−O−SiCl3
(14)CF3(CF2)7−(CH2)2−O−SiCl3
また、加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物を希釈してもよく、その溶媒としては、活性水素を含まない非水系溶媒を用いるのが好ましく、水を含まない炭化水素系溶媒、シリコーン系溶媒、フルオロ炭化水素系溶媒などを用いることが可能である。なお、具体的に使用可能なものは、炭化水素系溶媒では石油ナフサ、ソルベントナフサ、石油エーテル、石油ベンジン、イソパラフィン、ノルマルパラフィン、デカリン、工業ガソリン、灯油、リグロイン、シリコーン系溶媒ではジメチルミリコーン、フェニルシリコーン、アルキル変性シリコーン、ポリエステルシリコーンなどを挙げることができる。
【0023】
また、フルオロ炭化水素系溶媒には、フロン系溶媒や、フロリナート(3M社製品)、アフルード(旭ガラス社製品)などがある。なお、これらは1種単独で用いてもよいし、よく混合するものなら2種以上を組み合わせてもよい。特にフルオロ炭化水素系溶媒においては含水率がきわめて低いこと、電気絶縁性に優れていることから、本発明の有機EL素子にはきわめて有効である。
【0024】
【実施例】
(実施例1)
本発明の有機EL素子の1つの実施例を図1を用いて説明する。ガラスの基板上1上に透明の陽極2が形成されている。この陽極2上に有機化合物層3があり、さらにその上に鏡面の陰極4が形成されている。こうしてガラスの基板1上に積層体5が形成される。
【0025】
つぎに、窒素雰囲気中でヘキサクロロジシロキサン6を凹状キャップガラスの基板7の窪み部分に満たして封入し基板7の縁にはシール材が設けて貼り合わせ、これを光硬化させて、発光が積層体の下面より取り出される有機EL素子Aが作製される。
【0026】
(比較例1)
ヘキサクロロジシロキサン6の代わりに、従来行われていた、500℃で1時間焼成したゼオライト(東ソ製ゼオラムA−4 細孔径0.4nm)粉末を封入したこと以外は有機EL素子Aと同様に図2に示す有機EL素子R1を作製した。
【0027】
また、ヘキサクロロジシロキサン6の代わりに、雰囲気窒素を封入した以外は有機EL素子Aと同様に有機EL素子R2を作製した。
【0028】
(封止性能の比較)
有機EL素子A,R1,R2の初期のダークスポットを観察した。いずれの素子も初期ダークスポット10μmであった。次にこの3つの素子を60℃90%RH下に放置し、ダークスポットの成長を観察した。その結果を(表1)に示す。
【0029】
【表1】

Figure 2004014285
本発明の有機EL素子Aは全くダークスポットの成長が認められない。これは吸水によって加水分解して生成したシリカライクな化合物が透水部分を塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たしているためと考えられ、本発明の効果が発揮されていることを示す。
【0030】
(実施例2)
有機EL素子の積層体をその上面から発光を取り出す構造にした実施例を図3を用いて説明する。ガラスの基板上1上に鏡面の陰極4が形成されている。この陰極4上に有機化合物層3があり、さらにその上に透明の陽極2が形成されている。こうしてガラスの基板1上に積層体5が形成される。
【0031】
つぎに、窒素雰囲気中でヘキサクロロジシロキサン6を凹状キャップガラスの基板7の窪み部分に満たして封入し基板7の縁にはシール材が設けて貼り合わせ、これを光硬化させて、発光が積層体の上面より取り出される有機EL素子Bが作製される。またヘキサクロロジシロキサン6の代わりにテトラクロロシランを使用し、50μl封入したこと以外は、有機EL素子Bと同じように有機EL素子Cを作製した。
【0032】
(封止性能と発光特性の比較)
有機EL素子A,B、Cの初期のダークスポットを観察した。素子Cは封入したテトラクロロシランが蒸発してことが確認された。また初期ダークスポットは3つの素子とも10μmであった。次にこの3つの素子を60℃90%RH下に放置し、ダークスポットの成長を観察した。その結果を(表2)に示す。
【0033】
【表2】
Figure 2004014285
本発明の有機EL素子A、B、Cは全くダークスポットの成長が認められない。これは吸水によって加水分解して生成したシリカライクな化合物が透水部分を塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たしているためと考えられ、本発明の効果が発揮されていることを示す。
【0034】
次に素子A、B、Cについて同じ電流(密度)を加え、輝度を測定したところCはAの輝度が1.5倍向上することがわかった。また、BはAに比べて輝度が1.2倍向上することがわかった。ただしBの輝度がさほど向上しないのは、積層体の発光部にヘキサクロロシロキサンが接しているため、その液層内に発光が閉じこめられたためである。
【0035】
なお、ヘキサクロロジシロキサン6の代わりに、従来行われていた、500℃で1時間焼成したゼオライト粉末を封入すると、その発光がゼオライトに遮蔽されることは明らかである。
【0036】
したがって、光取り出し向上の観点からも本発明が優れていることが明らかである。
【0037】
(実施例3)
ヘキサクロロジシロキサン6の代わりに1%ヘキサクロロジシロキサンのパーフルオロオクタン溶液を使用したこと以外は、有機EL素子Aと同じように有機EL素子Dを作製した。
【0038】
(比較例2)
ヘキサクロロジシロキサン6の代わりに1%ヘキサクロロジシロキサンのエタノール(0.5%水含有)溶液を使用したこと以外は、有機EL素子Aと同じように有機EL素子R3を作製した。
【0039】
(封止性能の比較)
有機EL素子A,D、R3の初期のダークスポットを観察した。初期ダークスポットはAとD素子とも10μm、R3は60μmであった。次にこの2つの素子を60℃90%RH下に放置し、ダークスポットの成長を観察した。その結果を(表3)に示す。
【0040】
【表3】
Figure 2004014285
本発明の有機EL素子A、Dは全くダークスポットの成長が認められない。これは吸水によって加水分解して生成したシリカライクな化合物が透水部分を塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たしているためと考えられ、本発明の効果が発揮されていることを示す。
【0041】
一方、含水溶媒で作製された有機EL素子は初期ダークスポットが大きく、また成長が認められる。これは、ヘキサクロロジシロキサンがエタノールに含まれる水と反応したためと考えられる。さらに画素部を顕微鏡観察すると、積層部がエタノールに侵されていることがわかった。
【0042】
したがって、加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物の溶媒として非水溶媒を使用することで、本発明の効果が発揮されることがわかった。さらに、積層部が侵されないためには、フルオロ炭化水素が好ましいことがわかった。
【0043】
(実施例4)
ヘキサクロロジシロキサン6の代わりにヘキサイソシアネートジシロキサンのを使用したこと以外は、有機EL素子Aと同じように有機EL素子Fを作製した。
【0044】
(封止性能の比較)
有機EL素子A,Eの初期のダークスポットを観察した。いずれの素子も初期ダークスポット10μmであった。次にこの3つの素子を60℃90%RH下に放置し、ダークスポットの成長を観察した。その結果を(表4)に示す。
【0045】
【表4】
Figure 2004014285
本発明の有機EL素子A、Eは全くダークスポットの成長が認められない。これは、イソシアネートシロキサンもクロロシラン同様に吸水によって加水分解してシリカライクな化合物を生成して透水部分を塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たしているためと考えられ、本発明の効果が発揮されていることを示す。
【0046】
(実施例5)
シール材の1カ所に開口部を設けること、ヘキサクロロジシロキサンを満たさないこと以外は、有機EL素子Aと同様に有機EL素子セルを作製した。これを真空の容器内で開口部をヘキサクロロジシロキサンに浸漬させ、その後真空を無水雰囲気にして開口部よりヘキサクロロジシロキサンを注入後、開口部をシール材で封口し、これを光硬化させて有機EL素子Fを作製した。
【0047】
(実施例6)
シール材の1カ所に開口部を設けること、ヘキサクロロジシロキサンを満たさないこと以外は、有機EL素子Aと同様に有機EL素子セルを作製した。これを真空の容器中に放置後、容器内にテトラクロロシラン蒸気を導入して、開口部よりテトラクロロシラン蒸気を注入後、開口部をシール材で封口し、これを光硬化させて有機EL素子Gを作製した。
【0048】
(封止性能の比較)
有機EL素子A,F,Gの初期のダークスポットを観察した。F,Gの素子の初期ダークスポットは認められなかった。これは真空中でテトラクロロシランもしくはヘキサクロロジシロキサンを注入したために、初期水分によるダークスポットの発生を防いだためである。次にこの3つの素子を60℃90%RH下に放置し、ダークスポットの成長を観察した。その結果を(表5)に示す。
【0049】
【表5】
Figure 2004014285
本発明の有機EL素子A、F、Gは全くダークスポットの成長が認められない。これは、加水分解してシリカライクな化合物を生成して透水部分を塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たしているためと考えられ、本発明の効果が発揮されていることを示す。
【0050】
(実施例7)
シール材を図4のように画素部を取り囲み、ヘキサクロロジシロキサンを満たされないようにした以外は、有機EL素子Bと同様に有機EL素子セルを作製した。これを真空の容器中に放置後、容器内にテトラクロロシラン蒸気を導入し、その後開口部をシール材で封口し、これを光硬化させて有機EL素子Hを作製した。
【0051】
(封止性能の比較)
有機EL素子B,Hの初期のダークスポットを観察した。初期ダークスポットは2つの素子とも10μmであった。次にこの2つの素子を60℃90%RH下に放置し、ダークスポットの成長を観察した。その結果を(表6)に示す。
【0052】
【表6】
Figure 2004014285
本発明の有機EL素子は全くダークスポットの成長が認められない。これは吸水によって加水分解して生成したシリカライクな化合物が透水部分を塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たしているためと考えられ、本発明の効果が発揮され次に素子B、Hについて同じ電流(密度)を加え、輝度を測定したところHはBの輝度が1.4倍向上することがわかった。これは、積層体の発光部にヘキサクロロシランが接しているためヘキサクロロシラン液層内に発光が閉じこめられたためである。
【0053】
したがって、光取り出し向上の観点からも本発明が優れていることが明らかである。
【0054】
さらに、積層部が溶液で侵されないためにも、本発明の方法が好ましいことがわかった。
【0055】
【発明の効果】
以上のように、請求項1〜14の発明によれば、加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物が、有機EL素子のセルの構成部材の透水部分(ピンホール等)で吸水するだけでなく、吸水によって加水分解したシランもしくはシロキサン化合物(シリカライクな化合物)が透水部分を塞ぎ、それ以上の透水を防ぐ機能を果たす。また、この加水分解可能なシランもしくはシロキサン化合物は無色透明であるため積層体上面から有機EL素子の発光を高効率で取り出すことが容易である。
【0056】
そしてこれらの効果によって、高品質、高信頼性の有機EL素子を長期間にわたりを提供できることから本発明の効果は絶大である。
【0057】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1における有機EL素子の構成図
【図2】比較例1における有機EL素子の構成図
【図3】本発明の実施例2における有機EL素子の構成図
【図4】本発明の実施例7における有機EL素子の構成図
【符号の説明】
2 透明の陰極
3 有機化合物層
4 鏡面の陽極
5 積層体
6 ヘキサクロロシラン[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for drying and a method for manufacturing an organic EL display element used in a flat panel display for displaying TV and computer images.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, an organic EL element is sealed inside a cell in order to suppress the generation of a dark spot caused by moisture, and furthermore, a drying material powder is filled inside the cell in order to collect moisture permeating the cell components. I was
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, when the desiccant absorbs saturated water, it is naturally impossible to suppress the generation of dark spots, and it is also impossible to prevent water permeation of the constituent members. Therefore, it is necessary to increase the amount of the desiccant depending on the use environment and use time of the organic EL element, and therefore, the thickness of the element has increased. Further, in these configurations, since the desiccant covers the laminate provided on the substrate, it is difficult to efficiently extract the light emitted from the organic EL from the upper surface of the laminate.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
The present invention solves these problems, and an organic EL device for solving the above-mentioned problems includes a laminate having at least one organic compound layer sandwiched between an anode and a cathode, comprising: It has a configuration in which a possible silane or siloxane compound is sandwiched between two substrates.
[0005]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
According to a first aspect of the present invention, a laminate including at least one organic compound layer sandwiched between an anode and a cathode, and a hydrolyzable silane or siloxane compound are sandwiched between two substrates. With this configuration, not only does the hydrolyzable silane or siloxane compound absorb water at the water-permeable portions (pinholes, etc.) of the constituent members of the cell, but also the silane or siloxane compound hydrolyzed by the water absorption (silica-like compound) absorbs water. It functions to close the part and prevent further permeation. Further, since the hydrolyzable silane or siloxane compound is colorless and transparent, it is easy to take out the light emitted from the organic EL from the upper surface of the laminate with high efficiency.
[0006]
According to the second aspect of the present invention, the hydrolyzable silane or siloxane compound of the first aspect is converted into a gas or a volatile liquid at room temperature, so that the silane or siloxane vapor reaches a water-permeable portion (such as a pinhole). Not only does it diffuse and absorb water reliably at the water-permeable portions (pinholes, etc.) of the constituent members of the cell, but also the silane or siloxane compound (silica-like compound) hydrolyzed by the water absorption surely blocks that portion, Performs the function of preventing water permeation.
[0007]
Next, a third aspect of the present invention provides a method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a laminate having at least one organic compound layer sandwiched between an anode and a cathode; and a solution of a hydrolyzable silane or siloxane compound on two substrates. Is filled with a silane or siloxane solution, so that it can be diffused to a water-permeable portion (pinhole, etc.), and not only absorbs water at the water-permeable portion (pinhole, etc.) of the cell components, but also absorbs water. The hydrolyzed silane or siloxane compound (silica-like compound) reliably closes the portion and functions to prevent further water permeation.
[0008]
According to the fourth aspect of the present invention, since the silane or siloxane compound solution in the third aspect of the present invention is an anhydrous solvent, the silane or siloxane compound does not hydrate in the solution, so that the inside of the cell for a long period of time can be prevented. Performs the function of preventing water permeation.
[0009]
According to a fifth aspect of the present invention, since the anhydrous solvent of the fourth aspect is a fluorohydrocarbon, the organic EL element inside the cell is prevented from being permeated into the cell for a long time without being damaged by the solvent. Perform the function.
[0010]
The invention according to claim 6 is that the silane or siloxane according to any one of claims 1 to 5 is chlorosilane, isocyanate silane or chlorosiloxane, or isocyanate siloxane, respectively. Is highly reactive, so that not only does the water-absorbing portion (pinhole, etc.) of the cell components absorb water completely, but the silane or siloxane compound (silica-like compound) hydrolyzed by water absorption completes the portion. It has the function of blocking and preventing further permeation.
[0011]
According to a seventh aspect of the present invention, a pixel portion is formed by holding the silane or siloxane compound according to any one of the first to sixth aspects or a solution of the silane or siloxane compound outside the display region. Is not filled with a solution of a silane or siloxane compound, which prevents not only the organic EL device from being damaged by the solution, but also the discoloration of the light emission of the organic EL device and the change in the visual field due to the change in the refractive index.
[0012]
Next, the invention according to claim 8 includes a step of forming a laminate having at least one organic compound layer sandwiched between an anode and a cathode, and a silane and a siloxane compound that can be hydrolyzed with the laminate. Or a step of sandwiching any one of these solutions between two substrates, whereby the hydrolyzable silane or siloxane compound is converted into a water-permeable portion (such as a pinhole) of a cell component. As a result, an organic EL element having not only a function of absorbing water but also a function of blocking a water-permeable portion with a silane or siloxane compound (silica-like compound) hydrolyzed by water absorption and preventing further water permeation can be manufactured. Further, since the hydrolyzable silane or siloxane compound is colorless and transparent, an organic EL device capable of extracting organic EL light from the upper surface of the laminate with high efficiency can be manufactured.
[0013]
In a ninth aspect of the present invention, the step of sandwiching one of the laminate according to the eighth aspect and a hydrolyzable silane, a siloxane compound, or a solution thereof between two substrates includes: By the production method carried out in a vacuum, water is not trapped together with the silane or siloxane compound or a solution thereof, so that these compounds are not deactivated by water. Therefore, an organic EL element having an excellent function of preventing water permeation can be manufactured.
[0014]
According to a tenth aspect of the present invention, the step of sandwiching the laminate of the eighth aspect between two substrates is performed by a manufacturing method in which a gas of a hydrolyzable silane or siloxane compound is used. Since a gas of a hydrolyzable silane or siloxane compound can be simultaneously held between the two substrates, an organic EL device having an excellent function of preventing water permeation can be easily manufactured.
[0015]
An invention according to claim 11 is a step of forming a laminate including at least one organic compound layer sandwiched between the anode and the cathode according to claim 8, and maintaining the gap with the laminate, And a method of providing and holding one or more openings, and a step of injecting at least one of a hydrolyzable silane, a siloxane compound, or a solution thereof from the openings, Since it is a process similar to the cell process of a liquid crystal display element, such as making an empty cell of an organic EL element and injecting a hydrolyzable silane or siloxane compound or a solution thereof, there is an advantage that the process of the liquid crystal display element can be used as it is. Have.
[0016]
According to a twelfth aspect of the present invention, the step of injecting at least one of a hydrolyzable silane, a siloxane compound, or a solution thereof from the opening according to the eleventh aspect includes the steps of: A step of dipping the opening in at least one of a silane, a siloxane compound or a solution thereof in a vacuum, a step of setting the vacuum to an anhydrous atmosphere, and a step of sealing the opening; Is completely filled with a silane or siloxane compound or a solution thereof without mixing of water, so that these compounds are not deactivated by water. Therefore, an organic EL element having an excellent function of preventing water permeation can be manufactured.
[0017]
According to a thirteenth aspect of the present invention, the step of injecting the gas of the hydrolyzable silane or siloxane compound from the opening part of the eleventh aspect includes a step of evacuating the gap and a step of applying a vacuum to the gas of the silane or siloxane compound. By the manufacturing method including the step of forming an atmosphere and the step of closing the opening, the gap space is completely filled with a silane or siloxane compound gas without mixing of moisture, so that these compounds may be deactivated by moisture. Absent. Therefore, an organic EL element having an excellent function of preventing water permeation can be manufactured. Further, since the gas is injected, the injection time of the silane or siloxane compound is short, and the process time can be reduced.
[0018]
According to a fourteenth aspect of the present invention, the laminate according to any one of the eighth to thirteenth aspects is provided on one of a silane, a siloxane compound, and a solution of a silane or a siloxane compound on two substrates. According to the manufacturing method, in which the step of nipping includes the step of nipping one of a silane, a siloxane compound, and a solution of the silane or the siloxane compound out of the display region, the solution of the silane or the siloxane compound is applied to the pixel portion. Since it is not filled, not only the organic EL element and the damage due to the solution can be prevented, but also the organic EL element that prevents the discoloration of the light emission and the change in the visual field due to the change in the refractive index can be manufactured.
[0019]
The hydrolyzable silane or siloxane compound used in the present invention is represented by the general formula X- (SiOX2) n-SiX3 (where X is a halogen and an isocyanate group, and n is an integer of 0 or more). The linear compound has high reaction activity with water and is effective. In particular, when X is a chloro group or an isocyanate group, the activity of the reaction with water is higher, which is particularly effective.
[0020]
Examples of the above compounds are as follows: (1) SiX4 (corresponding to n = 0)
(2) SiX3-O-SiX3 (corresponding to n = 1)
More specific compounds include (3) SiCl4
(4) SiCl3-O-SiCl3
(5) Si (NCO) 4
(6) Si (NCO) 3-O-Si (NCO) 3
Is mentioned.
[0021]
A similar effect is observed with V and Ti instead of Si. To illustrate this compound:
(7) TiCl4
(8) TiCl3-O-TiCl3
(9) VCl3
(10) VCl2-O-VCl2
These compounds have high volatility, and in the present invention, not only liquid but also gas can be encapsulated.
[0022]
Further, a silane compound represented by the general formula SiYpX4-p is also effective. Here, p is an integer of 1 to 3, and Y is hydrogen, an alkyl group, an alkoxyl group, a fluorinated alkyl group or a fluorinated alkoxy group. In particular, from the standpoint of closing the pinhole, those with p = 1 are excellent. Further, to prevent water permeation, specifically, a fluorine-containing alkyl group or a fluorine-containing alkoxy group is effective.
(11) CH3 (CH2) 9-SiCl3
(12) CF3 (CF2) 7- (CH2) 2-SiCl3
(13) CH3 (CH2) 9-O-SiCl3
(14) CF3 (CF2) 7- (CH2) 2-O-SiCl3
Further, the hydrolyzable silane or siloxane compound may be diluted, and as the solvent, a non-aqueous solvent containing no active hydrogen is preferably used. A hydrocarbon solvent or the like can be used. In addition, those which can be specifically used are petroleum naphtha, solvent naphtha, petroleum ether, petroleum benzine, isoparaffin, normal paraffin, decalin, industrial gasoline, kerosene, ligroin, and dimethylmillicone in silicone solvents in hydrocarbon solvents. Examples include phenyl silicone, alkyl-modified silicone, and polyester silicone.
[0023]
Examples of the fluorohydrocarbon-based solvent include a chlorofluorocarbon-based solvent, Fluorinert (a product of 3M), Aflud (a product of Asahi Glass Co., Ltd.), and the like. In addition, these may be used individually by 1 type, and may mix 2 or more types if they mix well. In particular, a fluorohydrocarbon-based solvent is extremely effective for the organic EL device of the present invention because of its extremely low water content and excellent electrical insulation.
[0024]
【Example】
(Example 1)
One embodiment of the organic EL device of the present invention will be described with reference to FIG. A transparent anode 2 is formed on a glass substrate 1. An organic compound layer 3 is provided on the anode 2, and a mirror-like cathode 4 is formed thereon. Thus, the laminate 5 is formed on the glass substrate 1.
[0025]
Next, in a nitrogen atmosphere, hexachlorodisiloxane 6 is filled in the recessed portion of the substrate 7 of the concave cap glass and sealed, and a sealing material is provided on the edge of the substrate 7 and bonded together. The organic EL element A taken out from the lower surface of the body is manufactured.
[0026]
(Comparative Example 1)
Instead of hexachlorodisiloxane 6, the same as the organic EL element A except that zeolite (Zeolam A-4 manufactured by Toso Corp., pore diameter: 0.4 nm) powder, which was conventionally fired at 500 ° C. for 1 hour, was enclosed. The organic EL device R1 shown in FIG. 2 was manufactured.
[0027]
Further, an organic EL device R2 was produced in the same manner as the organic EL device A, except that atmospheric nitrogen was sealed in place of hexachlorodisiloxane 6.
[0028]
(Comparison of sealing performance)
Initial dark spots of the organic EL devices A, R1, and R2 were observed. Each element had an initial dark spot of 10 μm. Next, these three devices were allowed to stand at 60 ° C. and 90% RH, and the growth of dark spots was observed. The results are shown in (Table 1).
[0029]
[Table 1]
Figure 2004014285
The organic EL element A of the present invention shows no dark spot growth. This is thought to be because the silica-like compound generated by hydrolysis by water absorption has a function of blocking the water-permeable portion and preventing further water permeation, indicating that the effects of the present invention are exerted.
[0030]
(Example 2)
An embodiment in which light is emitted from the upper surface of the stacked body of the organic EL element will be described with reference to FIG. A mirror surface cathode 4 is formed on a glass substrate 1. An organic compound layer 3 is provided on the cathode 4, and a transparent anode 2 is formed thereon. Thus, the laminate 5 is formed on the glass substrate 1.
[0031]
Next, in a nitrogen atmosphere, hexachlorodisiloxane 6 is filled in the recessed portion of the substrate 7 of the concave cap glass and sealed, and a sealing material is provided on the edge of the substrate 7 and bonded together. The organic EL element B taken out from the upper surface of the body is manufactured. An organic EL device C was prepared in the same manner as the organic EL device B, except that tetrachlorosilane was used instead of hexachlorodisiloxane 6 and 50 μl was sealed.
[0032]
(Comparison of sealing performance and light emission characteristics)
Initial dark spots of the organic EL devices A, B, and C were observed. In the element C, it was confirmed that the enclosed tetrachlorosilane was evaporated. The initial dark spot was 10 μm for all three devices. Next, these three devices were allowed to stand at 60 ° C. and 90% RH, and the growth of dark spots was observed. The results are shown in (Table 2).
[0033]
[Table 2]
Figure 2004014285
The organic EL devices A, B, and C of the present invention show no dark spot growth. This is thought to be because the silica-like compound generated by hydrolysis by water absorption has a function of blocking the water-permeable portion and preventing further water permeation, indicating that the effects of the present invention are exerted.
[0034]
Next, the same current (density) was applied to the devices A, B, and C, and the luminance was measured. As a result, it was found that the luminance of C was improved by 1.5 times. In addition, it was found that the brightness of B was 1.2 times higher than that of A. However, the reason why the luminance of B does not improve so much is that light emission is confined in the liquid layer of hexachlorosiloxane in contact with the light emitting part of the laminate.
[0035]
It should be noted that if zeolite powder, which was conventionally fired at 500 ° C. for 1 hour, is sealed in place of hexachlorodisiloxane 6, the luminescence is apparently blocked by the zeolite.
[0036]
Therefore, it is clear that the present invention is excellent also from the viewpoint of improving light extraction.
[0037]
(Example 3)
Organic EL device D was prepared in the same manner as organic EL device A, except that a 1% solution of hexachlorodisiloxane in perfluorooctane was used instead of hexachlorodisiloxane 6.
[0038]
(Comparative Example 2)
An organic EL device R3 was produced in the same manner as the organic EL device A, except that a 1% solution of hexachlorodisiloxane in ethanol (containing 0.5% water) was used instead of hexachlorodisiloxane 6.
[0039]
(Comparison of sealing performance)
The initial dark spots of the organic EL devices A, D and R3 were observed. The initial dark spot was 10 μm for both the A and D elements, and R3 was 60 μm. Next, the two devices were allowed to stand at 60 ° C. and 90% RH, and the growth of dark spots was observed. The results are shown in (Table 3).
[0040]
[Table 3]
Figure 2004014285
In the organic EL devices A and D of the present invention, no dark spot growth is observed. This is thought to be because the silica-like compound generated by hydrolysis by water absorption has a function of blocking the water-permeable portion and preventing further water permeation, indicating that the effects of the present invention are exerted.
[0041]
On the other hand, the organic EL device prepared with the aqueous solvent has a large initial dark spot and growth is observed. This is probably because hexachlorodisiloxane reacted with water contained in ethanol. Further, microscopic observation of the pixel portion revealed that the laminated portion was affected by ethanol.
[0042]
Therefore, it was found that the effect of the present invention was exhibited by using a non-aqueous solvent as a solvent for the hydrolyzable silane or siloxane compound. Further, it has been found that a fluorohydrocarbon is preferable so that the laminated portion is not affected.
[0043]
(Example 4)
An organic EL device F was manufactured in the same manner as the organic EL device A, except that hexaisocyanatedisiloxane was used instead of hexachlorodisiloxane 6.
[0044]
(Comparison of sealing performance)
Initial dark spots of the organic EL devices A and E were observed. Each element had an initial dark spot of 10 μm. Next, these three devices were allowed to stand at 60 ° C. and 90% RH, and the growth of dark spots was observed. The results are shown in (Table 4).
[0045]
[Table 4]
Figure 2004014285
The organic EL devices A and E of the present invention show no dark spot growth. This is considered to be because isocyanate siloxane also hydrolyzes by water absorption similarly to chlorosilane to produce a silica-like compound, closes the water permeable portion, and prevents further water permeation, and the effect of the present invention is exhibited. To indicate that
[0046]
(Example 5)
An organic EL element cell was produced in the same manner as in the organic EL element A, except that an opening was provided in one place of the sealing material and hexachlorodisiloxane was not filled. This is immersed in hexachlorodisiloxane at the opening in a vacuum container, and then hexachlorodisiloxane is injected from the opening under a vacuum-free atmosphere, and the opening is sealed with a sealing material. An EL element F was manufactured.
[0047]
(Example 6)
An organic EL element cell was produced in the same manner as in the organic EL element A, except that an opening was provided in one place of the sealing material and hexachlorodisiloxane was not filled. After leaving this in a vacuum container, tetrachlorosilane vapor was introduced into the container, tetrachlorosilane vapor was injected from the opening, the opening was sealed with a sealing material, and this was photo-cured to form an organic EL device G. Was prepared.
[0048]
(Comparison of sealing performance)
Initial dark spots of the organic EL devices A, F, and G were observed. No initial dark spot was observed for the F and G devices. This is because the injection of tetrachlorosilane or hexachlorodisiloxane in a vacuum prevented generation of dark spots due to initial moisture. Next, these three devices were allowed to stand at 60 ° C. and 90% RH, and the growth of dark spots was observed. The results are shown in (Table 5).
[0049]
[Table 5]
Figure 2004014285
The organic EL devices A, F, and G of the present invention show no dark spot growth. This is considered to be due to the function of hydrolyzing to form a silica-like compound, closing the water-permeable portion, and preventing further water-permeability, indicating that the effects of the present invention are exhibited.
[0050]
(Example 7)
An organic EL device cell was manufactured in the same manner as the organic EL device B, except that the sealing member surrounded the pixel portion as shown in FIG. 4 and was not filled with hexachlorodisiloxane. After leaving this in a vacuum vessel, tetrachlorosilane vapor was introduced into the vessel, and then the opening was sealed with a sealing material, and this was photocured to produce an organic EL device H.
[0051]
(Comparison of sealing performance)
Initial dark spots of the organic EL devices B and H were observed. The initial dark spot was 10 μm for both devices. Next, the two devices were allowed to stand at 60 ° C. and 90% RH, and the growth of dark spots was observed. The results are shown in (Table 6).
[0052]
[Table 6]
Figure 2004014285
The organic EL device of the present invention shows no dark spot growth. This is considered to be because the silica-like compound generated by hydrolysis by water absorption functions to block the water-permeable portion and prevent further water permeation, and the effects of the present invention are exerted. When current (density) was applied and the luminance was measured, it was found that the luminance of H was improved by 1.4 times for the luminance of B. This is because light was confined in the hexachlorosilane liquid layer because hexachlorosilane was in contact with the light emitting portion of the laminate.
[0053]
Therefore, it is clear that the present invention is excellent also from the viewpoint of improving light extraction.
[0054]
Furthermore, it has been found that the method of the present invention is preferable because the laminated portion is not attacked by the solution.
[0055]
【The invention's effect】
As described above, according to the first to fourteenth aspects of the present invention, the hydrolyzable silane or siloxane compound not only absorbs water at the water-permeable portion (such as a pinhole) of the constituent member of the cell of the organic EL element, but also absorbs water. The silane or siloxane compound (silica-like compound) hydrolyzed by the above functions to block the water-permeable portion and to prevent further water-permeation. Further, since the hydrolyzable silane or siloxane compound is colorless and transparent, it is easy to extract light emitted from the organic EL element from the upper surface of the laminate with high efficiency.
[0056]
These effects make it possible to provide a high-quality and highly reliable organic EL element for a long period of time.
[0057]
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of an organic EL device according to Example 1 of the present invention. FIG. 2 is a configuration diagram of an organic EL device according to Comparative Example 1. FIG. 3 is a configuration diagram of an organic EL device according to Example 2 of the present invention. 4 is a structural view of an organic EL device according to a seventh embodiment of the present invention.
2 Transparent cathode 3 Organic compound layer 4 Mirrored anode 5 Laminate 6 Hexachlorosilane

Claims (14)

陽極および陰極に狭持された少なくとも1層の有機化合物層を備えた積層体と、加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物とが2枚の基板で狭持されている有機EL素子。An organic EL device in which a laminate having at least one organic compound layer sandwiched between an anode and a cathode and a hydrolyzable silane or siloxane compound are sandwiched between two substrates. 加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物が常温で気体または揮発性液体である請求項1記載の有機EL素子。2. The organic EL device according to claim 1, wherein the hydrolyzable silane or siloxane compound is a gas or a volatile liquid at room temperature. 陽極および陰極に狭持された少なくとも1層の有機化合物層を備えた積層体と、加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物の溶液とが2枚の基板で狭持されている有機EL素子。An organic EL device in which a laminate having at least one organic compound layer sandwiched between an anode and a cathode and a solution of a hydrolyzable silane or siloxane compound are sandwiched between two substrates. シランまたはシロキサン化合物の溶液の溶媒が非水系溶媒である請求項3記載の有機EL素子。4. The organic EL device according to claim 3, wherein the solvent of the silane or siloxane compound solution is a non-aqueous solvent. 非水系溶媒がフルオロ炭化水素である請求項4記載の有機EL素子。The organic EL device according to claim 4, wherein the non-aqueous solvent is a fluorohydrocarbon. シランがクロロシランまたはイソシアネートシランであり、シロキサンがクロロシロキサンまたはイソシアネートシロキサンである請求項1〜5のいずれか1項に記載の有機EL素子。6. The organic EL device according to claim 1, wherein the silane is chlorosilane or isocyanate silane, and the siloxane is chlorosiloxane or isocyanate siloxane. シラン、シロキサン化合物、シランまたはシロキサン化合物の溶液のうちのいずれか1つが表示領域外に狭持されている請求項1〜6のいずれか1項に記載の有機EL素子。The organic EL device according to any one of claims 1 to 6, wherein one of silane, a siloxane compound, and a solution of the silane or the siloxane compound is held outside the display region. 陽極および陰極に狭持された少なくとも1層の有機化合物層を備えた積層体を形成する工程と、前記積層体と加水分解可能なシラン、シロキサン化合物、またはそれらの溶液のうちのいずれか1つを2枚の基板に狭持する工程とを有する有機EL素子の製造方法。Forming a laminate having at least one organic compound layer sandwiched between an anode and a cathode, and one of a hydrolyzable silane, a siloxane compound, and a solution thereof with the laminate; The organic EL element is sandwiched between two substrates. 積層体と加水分解可能なシラン、シロキサン化合物、またはそれらの溶液のうちのいずれか1つを2枚の基板に狭持する工程が、真空中で行われる請求項8記載の有機EL素子の製造方法。9. The method for manufacturing an organic EL device according to claim 8, wherein the step of sandwiching one of the laminate and the hydrolyzable silane, siloxane compound, or a solution thereof between two substrates is performed in a vacuum. Method. 積層体を2枚の基板に狭持する工程が、加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物のガス中で行われる請求項8記載の有機EL素子の製造方法。9. The method for manufacturing an organic EL device according to claim 8, wherein the step of holding the laminate between two substrates is performed in a gas of a hydrolyzable silane or siloxane compound. 陽極および陰極に狭持された少なくとも1層の有機化合物層を備えた積層体を形成する工程と、前記積層体をギャップを保持し、かつ1カ所以上の開口部を設けて狭持する工程と、その開口部より加水分解可能なシラン、シロキサン化合物、またはそれらの溶液のうちの少なくとも1つを注入する工程とを有する請求項8記載の有機EL素子の製造方法。Forming a laminate having at least one organic compound layer sandwiched between an anode and a cathode; and holding the gap with the gap and providing one or more openings to sandwich the laminate. And injecting at least one of a hydrolyzable silane, a siloxane compound, or a solution thereof from the opening thereof. 開口部より加水分解可能なシラン、シロキサン化合物、またはそれらの溶液のうちの少なくとも1つを注入する工程が、ギャップを真空にする工程と、真空中で開口部をシラン、シロキサン化合物またはそれらの溶液の少なくとも1つに浸漬させる工程と、真空を無水雰囲気にする工程と、開口部を封口する工程とを有する請求項11記載の有機EL素子の製造方法。Injecting at least one of a hydrolyzable silane, siloxane compound, or a solution thereof from the opening, includes the steps of: evacuation of the gap; The method of manufacturing an organic EL device according to claim 11, further comprising a step of immersing in at least one of the above, a step of setting a vacuum to an anhydrous atmosphere, and a step of closing an opening. 開口部より加水分解可能なシランまたはシロキサン化合物のガスを注入する工程が、ギャップを真空にする工程と、真空をシランまたはシロキサン化合物のガス雰囲気にする工程と、開口部を封口する工程とを有する請求項11記載の有機EL素子の製造方法。The step of injecting a gas of a hydrolyzable silane or siloxane compound from the opening includes a step of vacuuming the gap, a step of applying a vacuum to a gas atmosphere of the silane or siloxane compound, and a step of sealing the opening. A method for manufacturing an organic EL device according to claim 11. 積層体と、シラン、シロキサン化合物、シランまたはシロキサン化合物の溶液のうちのいずれか1つを2枚の基板で狭持する工程が、シラン、シロキサン化合物、シランまたはシロキサン化合物の溶液のいずれか1つを表示領域外に狭持する工程を有する請求項8〜13のいずれか1項に記載の有機EL素子の製造方法The step of sandwiching the laminate and one of a silane, a siloxane compound, and a solution of the silane or the siloxane compound between two substrates includes forming one of the silane, the siloxane compound, and the solution of the silane or the siloxane compound. 14. The method for manufacturing an organic EL device according to claim 8, further comprising a step of holding the organic EL element outside a display area.
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