JP2004004017A - バイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法 - Google Patents
バイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004004017A JP2004004017A JP2003090008A JP2003090008A JP2004004017A JP 2004004017 A JP2004004017 A JP 2004004017A JP 2003090008 A JP2003090008 A JP 2003090008A JP 2003090008 A JP2003090008 A JP 2003090008A JP 2004004017 A JP2004004017 A JP 2004004017A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode system
- insulating substrate
- electrode
- layer
- resin layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 71
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 71
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 60
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims abstract description 47
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 47
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 37
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 37
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 28
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims description 24
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 23
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 8
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 8
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 5
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 claims description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 2
- 239000012070 reactive reagent Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 119
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 13
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 8
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 5
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 4
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000219 Ethylene vinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 2
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 229960003280 cupric chloride Drugs 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 2
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 1
- SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N [(2R,3S,4S,5R,6R)-5-acetyloxy-3,4,6-trihydroxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound CC(=O)OC[C@@H]1[C@H]([C@@H]([C@H]([C@@H](O1)O)OC(=O)C)O)O SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N 0.000 description 1
- 229940081735 acetylcellulose Drugs 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 210000000601 blood cell Anatomy 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940114081 cinnamate Drugs 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003891 environmental analysis Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000004186 food analysis Methods 0.000 description 1
- 239000008098 formaldehyde solution Substances 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 150000002632 lipids Chemical class 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920002338 polyhydroxyethylmethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 238000006479 redox reaction Methods 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019795 sodium metasilicate Nutrition 0.000 description 1
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M trans-cinnamate Chemical compound [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
Abstract
【課題】キャピラリー内に確実に液体試料を吸引することができ、精密且つ正確な測定が可能であるバイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁性基板上に設けた少なくとも測定極と対極とからなる電極系と、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するように重ね合わされたスペーサーと、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に形成した反応試薬部と、スペーサーに重ね合わされたカバー板とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーを形成しているバイオセンサーにおいて、絶縁性基板の電極系が形成される面に親水性樹脂層が全面的に形成され、該親水性樹脂層上に無電解めっき層からなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層が露出している。
【選択図】 図1
【解決手段】絶縁性基板上に設けた少なくとも測定極と対極とからなる電極系と、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するように重ね合わされたスペーサーと、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に形成した反応試薬部と、スペーサーに重ね合わされたカバー板とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーを形成しているバイオセンサーにおいて、絶縁性基板の電極系が形成される面に親水性樹脂層が全面的に形成され、該親水性樹脂層上に無電解めっき層からなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層が露出している。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、食品分析、医療分析、環境分析等の分野において、微量の液体試料を用いて、その試料中の特定成分を精密且つ正確な測定が可能であるバイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、バイオセンサーとしては、図8の分解斜視図に示すようなものがある。これは、ポリエチレンテレフタレートシート等の絶縁性基板1の上にスクリーン印刷により導電性ペーストを印刷して、端子部2,3を有する平面視略凸形状の測定極4および平面視略凹形状の対極5を膜状に形成している。さらに測定極4および対極5の接合部が縦方向に並ぶ帯状領域と測定極4および対極5の各端子部2,3の領域とを残して絶縁層6を印刷し、続いて上記絶縁層6に重ねるようにしてスペーサー7を配置し、該スペーサー7により形成された帯状の空間部8の測定極4および対極5上には、反応試薬組成物を塗布する等して反応試薬部9を形成している。そして、貫通穴11を有するカバー板10で覆うことにより絶縁性基板1とスペーサー7とカバー板10とで囲まれる空間部8が液体試料通路であるキャピラリーを形成している。
【0003】
測定時には、貫通穴11を介してキャピラリー内に毛細管吸引現象によって液体試料12が導入され(図9,図10参照)、反応試薬部9が溶解して酸化還元反応が起こる。このとき測定極4と対極5に、端子部2,3を介して電圧を印加すると、電流が得られ、液体試料12の成分等が測定される。
【0004】
また、前記のような電極系の作製において、導電性ペーストのスクリーン印刷によるパターン化に代え、絶縁性基板1上に導電膜を全面に形成し、この表面に刃物によって切れ込みを入れて、導電膜に溝13を形成し、測定極4と対極5、および端子部2,3を分割したものもある(図11参照)。この全面に形成した導電膜を溝13で分割するタイプのバイオセンサーにおいては、他に、導電膜を蒸着やスパッタリングあるいは金属箔を接着することにより全面形成するものもあり、その場合にはレーザー光線を照射して分割することも行なわれている。なお、図11に示すバイオセンサーの貫通穴11は空気穴として機能し、液体試料12は毛細管吸引現象によって帯状の空間部8側方よりキャピラリー内に導入される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記構成のみでは前記液体試料12をキャピラリーの入り口に点着させても吸引されない場合がある。特に血液を用いた場合には、血球や蛋白質、脂質などの成分によって液体試料12の粘性が高くなり、液抵抗が増大して毛細管吸引が進まない現象をもたらす。この様な液体試料12の吸引不良が生じた時には、測定値の精密度と正確度は信頼できず、測定者はこのバイオセンサーを廃棄して別の新しいバイオセンサーに交換する以外に対処の方法がなく、ユーザーに大きな負担をかける等の問題を有している。
【0006】
そこで、液体試料12をスムーズにキャピラリー内に導くために、スペーサー7により形成された帯状の空間部8に界面活性剤を分注することも行なわれているが、分注した時に空間部8全体に拡散せず十分に広く行き渡らない状態で乾燥してしまうこともあり、その場合にはやはり液体試料12の前記吸引不良が生じることになる。
【0007】
したがって、本発明の目的は、上記の問題を解決することにあって、キャピラリー内に確実に液体試料を吸引することができ、精密且つ正確な測定が可能であるバイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、絶縁性基板上に設けた少なくとも測定極と対極とからなる電極系と、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するように重ね合わされたスペーサーと、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に形成した反応試薬部と、スペーサーに重ね合わされたカバー板とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーを形成しているバイオセンサーにおいて、絶縁性基板の電極系が形成される面に親水性樹脂層が全面的に形成され、該親水性樹脂層上に無電解めっき層からなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層が露出しているように構成した。
【0009】
また、本発明は、絶縁性基板上に設けた少なくとも測定極と対極とからなる電極系と、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するように重ね合わされたスペーサーと、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に形成した反応試薬部と、スペーサーに重ね合わされたカバー板とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーを形成しているバイオセンサーにおいて、
絶縁性基板の電極系が形成される面に親水性樹脂層が全面的に形成され、該親水性樹脂層上に無電解めっき層および電気めっき層が順次積層されてなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層が露出しているように構成した。
【0010】
また、本発明は、絶縁性基板上に少なくとも測定極と対極とからなる電極系を形成する工程、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するようにスペーサーを重ね合わせる工程、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に反応試薬部を形成する工程、スペーサーにカバー板を重ね合わせる工程とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーになるように形成するバイオセンサーの製造方法において、電極系を形成する工程が、絶縁性基板上に親水性樹脂層を全面的に形成し、親水性樹脂層上に無電解めっき層を全面的に形成した後、無電解めっき層上にフォトリソグラフィにより所望のパターンのエッチングレジスト層を形成し、不要な部分の無電解めっき層をエッチングにより除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層を露出させ、その後エッチングレジスト層を除去するものであるように構成した。
【0011】
また、本発明は、絶縁性基板上に少なくとも測定極と対極とからなる電極系を形成する工程、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するようにスペーサーを重ね合わせる工程、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に反応試薬部を形成する工程、スペーサーにカバー板を重ね合わせる工程とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーになるように形成するバイオセンサーの製造方法において、電極系を形成する工程が、絶縁性基板上に親水性樹脂層を全面的に形成し、親水性樹脂層上に無電解めっき層および電気めっき層を全面的に順次積層した後、電気めっき層上にフォトリソグラフィにより所望のパターンのエッチングレジスト層を形成し、不要な部分の無電解めっき層および電気めっき層をエッチングにより除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層を露出させ、その後エッチングレジスト層を除去するものであるように構成した。
【0012】
また、上記各構成において、親水性樹脂層が、ビニルアルコール系樹脂、アクリル系樹脂、セルロース系樹脂のうちから選択された一つであるように構成した。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1は本発明に係るバイオセンサーの一実施例を示す分解斜視図、図2〜6は本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図、図7は図1のバイオセンサーの部分断面図である。図中、1は絶縁性基板、2および3は端子部、4は測定極、5は対極、7はスペーサー、8は空間部、9は反応試薬部、10はカバー板、12は液体試料、14は無電解めっき層、15は親水性樹脂層、16はエッチングレジスト層、17は感光性レジスト膜をそれぞれ示す。
【0014】
本発明のバイオセンサーは、絶縁性基板1上に設けた少なくとも測定極4と対極5とからなる電極系と、電極系の一部を臨ませて空間部8を形成するように重ね合わされたスペーサー7と、空間部8域内の電極系を含む絶縁性基板1上に形成した反応試薬部9と、スペーサー7に重ね合わされたカバー板10とを有し、絶縁性基板1とスペーサー7とカバー板10とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーを形成するものであり、その特徴は、図1に示すように絶縁性基板1の電極系が形成される面に親水性樹脂層15が全面的に形成され、該親水性樹脂層15上に無電解めっき層14からなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層15が露出していることにある。この親水性樹脂層15の露出面により、本発明のバイオセンサーは液体試料12をスムーズにキャピラリー内に導くことができる。
【0015】
そして、このようなバイオセンサーを得るためには、次のようにする。
【0016】
まず、絶縁性基板1上に少なくとも測定極4と対極5とからなる電極系を形成する。具体的には、絶縁性基板1上に親水性樹脂層15を全面的に形成し、親水性樹脂層15上に無電解めっき層14を全面的に形成した後(図2参照)、無電解めっき層14上にフォトリソグラフィ(図3参照)により所望のパターンのエッチングレジスト層16を形成し、不要な部分の無電解めっき層14をエッチング(図4参照)により除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層15を露出させ(図5参照)、その後エッチングレジスト層16を除去するのである(図6参照)。
【0017】
上記絶縁性基板1は、材質、厚さ等は特に限定されるものではないが、親水性樹脂層のコーティングが安価に行なえる点で、例えばポリエチレンテレフタレート等のプラスチックフィルムが使用できる。
【0018】
絶縁性基板1上に形成する樹脂層は、無電解めっきを密着よく形成するために親水性であることが必要である。加えて、エッチングにより不要な無電解めっき層14が除去されることにより最終的に親水性樹脂層15表面が露出してキャピラリーの一表面を形成するので(図7参照)、親水性であれば液体試料12との濡れがよい。したがって、後に界面活性剤を分注形成する必要がなく、しかも親水性樹脂層15が絶縁性基板1上に全面的に形成されているため、キャピラリー内に確実に液体試料12を吸引することができる。
【0019】
親水性樹脂層15に用いる親水性樹脂としては、ビニルアルコール系樹脂、アクリル系樹脂、セルロース系樹脂などが適当である。たとえば、ビニルアルコール系樹脂としては、エチレン−ビニルアルコール共重合体、酢酸ビニル−ビニルアルコール共重合体などが好ましい。また、アクリル系樹脂としては、ポリヒドロキシエチルアクリレート、ポリヒドロキシプロピルアクリレート、ポリヒドロキシエチルメタクリレート、ポリヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリメチロールアクリルアミドあるいはこれらの共重合体などが好ましい。また、セルロース系樹脂としては、ニトロセルロース、アセチルプロピルセルロース、アセチルブチルセルロースなどが好ましい。親水性樹脂層15の形成手段しては、親水性樹脂層15を絶縁性基板1上に全面的に形成可能な方法であれば特に限定されず、たとえばスピンコーティング、ロールコーティング、ディッピング、バーコーティング、ダイコーティングなどがある。
【0020】
上記無電解めっき層14の形成に際しては、まず親水性樹脂層15上に化学めっき用の無電解めっき核を形成する。具体的には、パラジウム触媒液などの化学めっき用触媒溶液に、親水性樹脂層15が形成された絶縁性基板1を浸漬させる。このようにして、化学めっき用触媒は親水性樹脂層15表面に吸着したり、親水性樹脂層15中に含浸したりして無電解めっき核となる。この無電解めっき核が形成された親水性樹脂層15を、無電解めっき液で処理することによって無電解めっき層14が形成される。無電解めっき層14として形成される金属の種類は特に限定されるものではなく、金、銀、銅、 ニッケル、白金、パラジウム、ロジウム等、無電解めっきが可能で電極として使用可能なものであればよい。また、電極としての特性を出すために必要な場合は、2種以上の金属を積層してめっきしてもよい。なお、化学めっき用触媒は、親水性樹脂層15を形成する際に上記親水性樹脂とともに溶剤に溶解又は分散させるようにしてもよい。
【0021】
また、無電解めっき層14の膜厚は0.1〜5μmの範囲が好ましい。膜厚が0.1μmより薄い場合は、導電性が悪かったり、膜が弱く容易に破損したりする恐れがある。膜厚が5μmより厚い場合は、金属材料が無駄であり、またエッチング精度を出すのが困難になる。短時間で所定膜厚を形成するために、無電解めっき膜の上にさらに電気めっきしてもよい。
【0022】
電極系を無電解めっき層14単独ではなく、その上に電気めっき層18が積層した構成とする場合、電極系の形成は次のようにする。具体的には、絶縁性基板1上に親水性樹脂層15を全面的に形成し、親水性樹脂層15上に無電解めっき層14および電気めっき層18を全面的に順次積層した後(図12参照)、電気めっき層18上にフォトリソグラフィ(図13参照)により所望のパターンのエッチングレジスト層16を形成し、不要な部分の無電解めっき層14および電気めっき層18をエッチング(図14参照)により除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層15を露出させ(図15参照)、その後エッチングレジスト層16を除去するのである(図16参照)。
【0023】
電気めっき層18は、電気めっき液中で無電解めっき層14を正極として通電することによって形成される。電気めっき層18として形成される金属の種類は特に限定されるものではなく、金、銀、銅、 ニッケル、白金、パラジウム、ロジウム等、電気めっきが可能で電極として使用可能なものであればよい。また、電極としての特性を出すために必要な場合は、2種以上の金属を積層してめっきしてもよい。
【0024】
また、電気めっき層18の膜厚は、無電解めっき層14との総厚が0.5〜5μmの範囲が好ましい。0.5μmより薄い場合は、電気めっき層18を積層せずに無電解めっき層14のみでも充分短時間で所定膜厚を形成することができる。5μmより厚い場合は、金属材料が無駄であり、またエッチング精度を出すのが困難になる。
【0025】
フォトリソグラフィによるエッチングレジスト層16の形成は、光硬化型または光分解型の感光性レジスト膜17を無電解めっき層14上に塗装した後、マスクフィルムを重ねて露光した後、現像してマスクフィルムのパターンに対応したエッチングレジスト層16を形成する。なお、上記塗装は、一般の塗装法によるもの以外に、親水性樹脂層15及び無電解めっき層14を形成した絶縁性基板1を感光性電着液に浸漬して電着塗装してもよい。感光性レジスト膜17の材料としては、たとえばアクリル系、ポリビニルシンナメート系、合成ゴム系、ノボラック系などの光硬化型または光分解型の感光性レジスト材料を用いる。露光のために使用する光は、太陽光、水銀灯、キセノンランプ、アーク灯あるいはアルゴンレーザー等を光源とする光などを用いる。現像は、感光性レジスト膜17が光硬化型の場合、炭酸ソーダなどを現像液として使用することにより未硬化部分を選択的に除去することにより行なわれる。また、感光性レジスト膜17が光分解型の場合、メタケイ酸ソーダなどを現像液として使用することにより分解されている部分を選択的に除去することにより行なわれる。
【0026】
また、エッチングレジスト層16のパターンは、電極系のパターンに応じて形成される。なお、図1では測定極4と対極5のみの二電極系について示したが、参照電極を加えた三電極方式にすれば、より正確な測定が可能である。また、図1では電極系のパターンは、測定極4や対極5以外に端子部2,3を有するリード部も含んでいるが、これらリード部は銀ペースト等で別途設けるようにしてもよい。
【0027】
本発明における電極系をパターン化では、フォトリソグラフィにより形成したエッチングレジスト層16を用いてエッチングを行なうので、従来技術として示したスクリーン印刷にて電極系をパターン形成する場合や刃物による導電膜の分割にて電極系を形成する場合と比較してパターンの寸法精度やパターンエッジ部の直線性が良く、測定極の面積がばらついて測定精度が悪くなるということがない。スクリーン印刷にて電極系をパターン形成する場合、印刷層に液ダレや滲みが生じてパターンの寸法精度やパターンエッジ部の直線性が悪くなる。また、刃物による導電膜の分割にて電極系を形成する場合は、電極系のパターンが小さく複雑になると切れ込みを精度よく入れるのが困難となる上、刃物のストレスで切れ込み部のエッジが細かくひび割れる等してパターンエッジ部の直線性が悪くなる。なお、従来技術として示したレーザー加工法による導電膜の分割にて電極系を形成する場合は、測定極の面積のばらつきをかなり抑制することはできるが、耐熱性の点から基板の材質によっては使用できないため、やはり本発明のパターン化手段に劣る。
【0028】
上記エッチングに用いるエッチング液は、過硫酸アンモニウム、アンモニウム、塩化アンモニウムなどのアルカリエッチング液または塩化第二銅、塩化第二鉄、クロム酸/硫酸混液、過酸化水素水/硫酸混液などの酸性エッチング液などから無電解めっき層14および電気めっき層18の金属の種類により適宜選択する。たとえば、無電解めっき層14および電気めっき層18の金属がニッケルや銅などであれば、エッチング液として塩化第二鉄などを使用するとよい。また、エッチングレジスト層16の除去には、適宜の剥離剤、たとえばアセトン、メチレンクロライド、グリコールエーテル、これらの混合溶剤、またはこれらと水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液との混合液などの有機溶剤を用いる。
【0029】
以上のようにして絶縁性基板1上に少なくとも測定極4と対極5とからなる電極系を形成した後、電極系の一部を臨ませて空間部8を形成するようにスペーサー7を重ね合わせる。スペーサー7の材料としては、たとえば両面に粘着材層を形成したプラスチックフィルムやインキ層等を用いることができる。また、スペーサー7の厚みは空間部8の形状、濡れ性等に応じて適宜設定する。
【0030】
次いで、スペーサー7により形成された空間部8域内の電極系を含む絶縁性基板1上に反応試薬部9を形成する。反応試薬部は、反応試薬をディスペンサーで塗布したり、スクリーン印刷等の印刷で形成する。なお、反応試薬部の面積精度を保つために、まず、レジストや両面テープで一定面積の反応試薬形成部を規定してから、反応試薬を塗布又は印刷してもよい。また、スペーサー7を重ね合わせる前に反応試薬部9を形成してもよい。
【0031】
最後に、微量の液体試料12を確実に反応試薬部に導き分析するために、スペーサー7にカバー板10を重ね合わせ、絶縁性基板1とスペーサー7とカバー板10とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーになるように形成する。カバー板10としては、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、アクリル、ポリカーボネート等のフィルムを用いるとよい。なお、図1に示すバイオセンサーでは、スペーサー7が2つの部品からなって液体試料12の吸引口とは反対側にも開口部を有する空間部8を形成するような形態をとっているが、スペーサー7が図11に示すような切り欠き形状の空間部を形成してもよく、その場合にはカバー板10に空気穴が設けられる。
【0032】
【実施例】
(実施例1) 厚さ250μmのポリエチレンテレフタレートフィルム上全面に、エチレン−ビニルアルコール共重合体の1%水−n−プロピルアルコール混合溶液をディッピングにより塗布し、厚み0.5μmの親水性樹脂層を形成し、20分間風乾した。次に、18%ホルムアルデヒド水溶液に5分間浸漬して親水性樹脂層中の塩化パラジウムを還元してめっき核を形成し、水洗後、無電解銅めっきを行ない親水性樹脂層の表面に厚み1μmの銅の無電解めっき層を形成した。次に、無電解めっき層上にアクリル系の光硬化型感光性レジスト材料を塗布して感光性レジスト膜を形成した後、マスクフィルムを重ねて露光した後、現像して測定極と対極とからなる電極パターンのエッチングレジスト層を形成した。次いで、10%の塩化第二銅溶液で非レジスト部の不要な銅をエッチング除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層を露出させた。また、エッチングレジスト層はエッチング後、アセトンに浸漬することにより全て除去した。さらに、各電極の一部を臨ませて空間部を形成するように厚さ0.2mmの粘着材付ポリエチレンテレフタレートフィルムを貼り合せることによりスペーサーを重ね合わせた。空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上には反応試薬液をディスペンサーを用いて分注し、反応試薬部を形成した。最後に、厚さ0.1mmのアクリルフィルムをカバー板としてスペーサーに重ね合わせて接着し、バイオセンサーを得た。
【0033】
(実施例2) 銅の無電解めっき層の厚みを0.2μmとし、感光性レジスト膜を形成する前に、4μmの銅の電気めっき層を形成したこと以外は実施例1と同様とした。
【0034】
上記実施例1や実施例2の方法により複数のバイオセンサーを製造し、液体試料として血液を用い、各バイオセンサーでグルコース濃度の測定を行なったところ、ロット間で測定結果のばらつきがなかった。
【0035】
【発明の効果】
本発明のバイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法は、以上のとおりの構成を有するので、次のような優れた効果を奏する。
【0036】
すなわち、絶縁性基板の電極系が形成される面に親水性樹脂層が全面的に形成され、該親水性樹脂層上に無電解めっき層からなる電極系、あるいは無電解めっき層および電気めっき層が順次積層されてなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層が露出しているため、キャピラリー内に確実に液体試料を吸引することができる。したがって、精密且つ正確な測定が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るバイオセンサーの一実施例を示す分解斜視図である。
【図2】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図3】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図4】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図5】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図6】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図7】図1のバイオセンサーの部分断面図である。
【図8】バイオセンサーの一般的形態を示す分解斜視図である。
【図9】図8のバイオセンサーにおける液体試料の導入を説明する斜視図である。
【図10】図8のバイオセンサーにおける液体試料の導入を説明する断面図である。
【図11】導電膜を溝により分割して電極を形成したバイオセンサーの例を示す分解斜視図である。
【図12】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図13】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図14】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図15】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図16】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である
【符号の説明】
1 絶縁性基板
2 端子部
3 端子部
4 測定極
5 対極
6 絶縁層
7 スペーサー
8 空間部
9 反応試薬部
10 カバー板
11 貫通穴
12 液体試料
13 溝
14 無電解めっき層
15 親水性樹脂層
16 エッチングレジスト層
17 感光性レジスト膜
18 電気めっき層
【発明の属する技術分野】
本発明は、食品分析、医療分析、環境分析等の分野において、微量の液体試料を用いて、その試料中の特定成分を精密且つ正確な測定が可能であるバイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、バイオセンサーとしては、図8の分解斜視図に示すようなものがある。これは、ポリエチレンテレフタレートシート等の絶縁性基板1の上にスクリーン印刷により導電性ペーストを印刷して、端子部2,3を有する平面視略凸形状の測定極4および平面視略凹形状の対極5を膜状に形成している。さらに測定極4および対極5の接合部が縦方向に並ぶ帯状領域と測定極4および対極5の各端子部2,3の領域とを残して絶縁層6を印刷し、続いて上記絶縁層6に重ねるようにしてスペーサー7を配置し、該スペーサー7により形成された帯状の空間部8の測定極4および対極5上には、反応試薬組成物を塗布する等して反応試薬部9を形成している。そして、貫通穴11を有するカバー板10で覆うことにより絶縁性基板1とスペーサー7とカバー板10とで囲まれる空間部8が液体試料通路であるキャピラリーを形成している。
【0003】
測定時には、貫通穴11を介してキャピラリー内に毛細管吸引現象によって液体試料12が導入され(図9,図10参照)、反応試薬部9が溶解して酸化還元反応が起こる。このとき測定極4と対極5に、端子部2,3を介して電圧を印加すると、電流が得られ、液体試料12の成分等が測定される。
【0004】
また、前記のような電極系の作製において、導電性ペーストのスクリーン印刷によるパターン化に代え、絶縁性基板1上に導電膜を全面に形成し、この表面に刃物によって切れ込みを入れて、導電膜に溝13を形成し、測定極4と対極5、および端子部2,3を分割したものもある(図11参照)。この全面に形成した導電膜を溝13で分割するタイプのバイオセンサーにおいては、他に、導電膜を蒸着やスパッタリングあるいは金属箔を接着することにより全面形成するものもあり、その場合にはレーザー光線を照射して分割することも行なわれている。なお、図11に示すバイオセンサーの貫通穴11は空気穴として機能し、液体試料12は毛細管吸引現象によって帯状の空間部8側方よりキャピラリー内に導入される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記構成のみでは前記液体試料12をキャピラリーの入り口に点着させても吸引されない場合がある。特に血液を用いた場合には、血球や蛋白質、脂質などの成分によって液体試料12の粘性が高くなり、液抵抗が増大して毛細管吸引が進まない現象をもたらす。この様な液体試料12の吸引不良が生じた時には、測定値の精密度と正確度は信頼できず、測定者はこのバイオセンサーを廃棄して別の新しいバイオセンサーに交換する以外に対処の方法がなく、ユーザーに大きな負担をかける等の問題を有している。
【0006】
そこで、液体試料12をスムーズにキャピラリー内に導くために、スペーサー7により形成された帯状の空間部8に界面活性剤を分注することも行なわれているが、分注した時に空間部8全体に拡散せず十分に広く行き渡らない状態で乾燥してしまうこともあり、その場合にはやはり液体試料12の前記吸引不良が生じることになる。
【0007】
したがって、本発明の目的は、上記の問題を解決することにあって、キャピラリー内に確実に液体試料を吸引することができ、精密且つ正確な測定が可能であるバイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、絶縁性基板上に設けた少なくとも測定極と対極とからなる電極系と、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するように重ね合わされたスペーサーと、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に形成した反応試薬部と、スペーサーに重ね合わされたカバー板とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーを形成しているバイオセンサーにおいて、絶縁性基板の電極系が形成される面に親水性樹脂層が全面的に形成され、該親水性樹脂層上に無電解めっき層からなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層が露出しているように構成した。
【0009】
また、本発明は、絶縁性基板上に設けた少なくとも測定極と対極とからなる電極系と、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するように重ね合わされたスペーサーと、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に形成した反応試薬部と、スペーサーに重ね合わされたカバー板とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーを形成しているバイオセンサーにおいて、
絶縁性基板の電極系が形成される面に親水性樹脂層が全面的に形成され、該親水性樹脂層上に無電解めっき層および電気めっき層が順次積層されてなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層が露出しているように構成した。
【0010】
また、本発明は、絶縁性基板上に少なくとも測定極と対極とからなる電極系を形成する工程、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するようにスペーサーを重ね合わせる工程、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に反応試薬部を形成する工程、スペーサーにカバー板を重ね合わせる工程とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーになるように形成するバイオセンサーの製造方法において、電極系を形成する工程が、絶縁性基板上に親水性樹脂層を全面的に形成し、親水性樹脂層上に無電解めっき層を全面的に形成した後、無電解めっき層上にフォトリソグラフィにより所望のパターンのエッチングレジスト層を形成し、不要な部分の無電解めっき層をエッチングにより除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層を露出させ、その後エッチングレジスト層を除去するものであるように構成した。
【0011】
また、本発明は、絶縁性基板上に少なくとも測定極と対極とからなる電極系を形成する工程、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するようにスペーサーを重ね合わせる工程、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に反応試薬部を形成する工程、スペーサーにカバー板を重ね合わせる工程とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーになるように形成するバイオセンサーの製造方法において、電極系を形成する工程が、絶縁性基板上に親水性樹脂層を全面的に形成し、親水性樹脂層上に無電解めっき層および電気めっき層を全面的に順次積層した後、電気めっき層上にフォトリソグラフィにより所望のパターンのエッチングレジスト層を形成し、不要な部分の無電解めっき層および電気めっき層をエッチングにより除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層を露出させ、その後エッチングレジスト層を除去するものであるように構成した。
【0012】
また、上記各構成において、親水性樹脂層が、ビニルアルコール系樹脂、アクリル系樹脂、セルロース系樹脂のうちから選択された一つであるように構成した。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1は本発明に係るバイオセンサーの一実施例を示す分解斜視図、図2〜6は本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図、図7は図1のバイオセンサーの部分断面図である。図中、1は絶縁性基板、2および3は端子部、4は測定極、5は対極、7はスペーサー、8は空間部、9は反応試薬部、10はカバー板、12は液体試料、14は無電解めっき層、15は親水性樹脂層、16はエッチングレジスト層、17は感光性レジスト膜をそれぞれ示す。
【0014】
本発明のバイオセンサーは、絶縁性基板1上に設けた少なくとも測定極4と対極5とからなる電極系と、電極系の一部を臨ませて空間部8を形成するように重ね合わされたスペーサー7と、空間部8域内の電極系を含む絶縁性基板1上に形成した反応試薬部9と、スペーサー7に重ね合わされたカバー板10とを有し、絶縁性基板1とスペーサー7とカバー板10とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーを形成するものであり、その特徴は、図1に示すように絶縁性基板1の電極系が形成される面に親水性樹脂層15が全面的に形成され、該親水性樹脂層15上に無電解めっき層14からなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層15が露出していることにある。この親水性樹脂層15の露出面により、本発明のバイオセンサーは液体試料12をスムーズにキャピラリー内に導くことができる。
【0015】
そして、このようなバイオセンサーを得るためには、次のようにする。
【0016】
まず、絶縁性基板1上に少なくとも測定極4と対極5とからなる電極系を形成する。具体的には、絶縁性基板1上に親水性樹脂層15を全面的に形成し、親水性樹脂層15上に無電解めっき層14を全面的に形成した後(図2参照)、無電解めっき層14上にフォトリソグラフィ(図3参照)により所望のパターンのエッチングレジスト層16を形成し、不要な部分の無電解めっき層14をエッチング(図4参照)により除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層15を露出させ(図5参照)、その後エッチングレジスト層16を除去するのである(図6参照)。
【0017】
上記絶縁性基板1は、材質、厚さ等は特に限定されるものではないが、親水性樹脂層のコーティングが安価に行なえる点で、例えばポリエチレンテレフタレート等のプラスチックフィルムが使用できる。
【0018】
絶縁性基板1上に形成する樹脂層は、無電解めっきを密着よく形成するために親水性であることが必要である。加えて、エッチングにより不要な無電解めっき層14が除去されることにより最終的に親水性樹脂層15表面が露出してキャピラリーの一表面を形成するので(図7参照)、親水性であれば液体試料12との濡れがよい。したがって、後に界面活性剤を分注形成する必要がなく、しかも親水性樹脂層15が絶縁性基板1上に全面的に形成されているため、キャピラリー内に確実に液体試料12を吸引することができる。
【0019】
親水性樹脂層15に用いる親水性樹脂としては、ビニルアルコール系樹脂、アクリル系樹脂、セルロース系樹脂などが適当である。たとえば、ビニルアルコール系樹脂としては、エチレン−ビニルアルコール共重合体、酢酸ビニル−ビニルアルコール共重合体などが好ましい。また、アクリル系樹脂としては、ポリヒドロキシエチルアクリレート、ポリヒドロキシプロピルアクリレート、ポリヒドロキシエチルメタクリレート、ポリヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリメチロールアクリルアミドあるいはこれらの共重合体などが好ましい。また、セルロース系樹脂としては、ニトロセルロース、アセチルプロピルセルロース、アセチルブチルセルロースなどが好ましい。親水性樹脂層15の形成手段しては、親水性樹脂層15を絶縁性基板1上に全面的に形成可能な方法であれば特に限定されず、たとえばスピンコーティング、ロールコーティング、ディッピング、バーコーティング、ダイコーティングなどがある。
【0020】
上記無電解めっき層14の形成に際しては、まず親水性樹脂層15上に化学めっき用の無電解めっき核を形成する。具体的には、パラジウム触媒液などの化学めっき用触媒溶液に、親水性樹脂層15が形成された絶縁性基板1を浸漬させる。このようにして、化学めっき用触媒は親水性樹脂層15表面に吸着したり、親水性樹脂層15中に含浸したりして無電解めっき核となる。この無電解めっき核が形成された親水性樹脂層15を、無電解めっき液で処理することによって無電解めっき層14が形成される。無電解めっき層14として形成される金属の種類は特に限定されるものではなく、金、銀、銅、 ニッケル、白金、パラジウム、ロジウム等、無電解めっきが可能で電極として使用可能なものであればよい。また、電極としての特性を出すために必要な場合は、2種以上の金属を積層してめっきしてもよい。なお、化学めっき用触媒は、親水性樹脂層15を形成する際に上記親水性樹脂とともに溶剤に溶解又は分散させるようにしてもよい。
【0021】
また、無電解めっき層14の膜厚は0.1〜5μmの範囲が好ましい。膜厚が0.1μmより薄い場合は、導電性が悪かったり、膜が弱く容易に破損したりする恐れがある。膜厚が5μmより厚い場合は、金属材料が無駄であり、またエッチング精度を出すのが困難になる。短時間で所定膜厚を形成するために、無電解めっき膜の上にさらに電気めっきしてもよい。
【0022】
電極系を無電解めっき層14単独ではなく、その上に電気めっき層18が積層した構成とする場合、電極系の形成は次のようにする。具体的には、絶縁性基板1上に親水性樹脂層15を全面的に形成し、親水性樹脂層15上に無電解めっき層14および電気めっき層18を全面的に順次積層した後(図12参照)、電気めっき層18上にフォトリソグラフィ(図13参照)により所望のパターンのエッチングレジスト層16を形成し、不要な部分の無電解めっき層14および電気めっき層18をエッチング(図14参照)により除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層15を露出させ(図15参照)、その後エッチングレジスト層16を除去するのである(図16参照)。
【0023】
電気めっき層18は、電気めっき液中で無電解めっき層14を正極として通電することによって形成される。電気めっき層18として形成される金属の種類は特に限定されるものではなく、金、銀、銅、 ニッケル、白金、パラジウム、ロジウム等、電気めっきが可能で電極として使用可能なものであればよい。また、電極としての特性を出すために必要な場合は、2種以上の金属を積層してめっきしてもよい。
【0024】
また、電気めっき層18の膜厚は、無電解めっき層14との総厚が0.5〜5μmの範囲が好ましい。0.5μmより薄い場合は、電気めっき層18を積層せずに無電解めっき層14のみでも充分短時間で所定膜厚を形成することができる。5μmより厚い場合は、金属材料が無駄であり、またエッチング精度を出すのが困難になる。
【0025】
フォトリソグラフィによるエッチングレジスト層16の形成は、光硬化型または光分解型の感光性レジスト膜17を無電解めっき層14上に塗装した後、マスクフィルムを重ねて露光した後、現像してマスクフィルムのパターンに対応したエッチングレジスト層16を形成する。なお、上記塗装は、一般の塗装法によるもの以外に、親水性樹脂層15及び無電解めっき層14を形成した絶縁性基板1を感光性電着液に浸漬して電着塗装してもよい。感光性レジスト膜17の材料としては、たとえばアクリル系、ポリビニルシンナメート系、合成ゴム系、ノボラック系などの光硬化型または光分解型の感光性レジスト材料を用いる。露光のために使用する光は、太陽光、水銀灯、キセノンランプ、アーク灯あるいはアルゴンレーザー等を光源とする光などを用いる。現像は、感光性レジスト膜17が光硬化型の場合、炭酸ソーダなどを現像液として使用することにより未硬化部分を選択的に除去することにより行なわれる。また、感光性レジスト膜17が光分解型の場合、メタケイ酸ソーダなどを現像液として使用することにより分解されている部分を選択的に除去することにより行なわれる。
【0026】
また、エッチングレジスト層16のパターンは、電極系のパターンに応じて形成される。なお、図1では測定極4と対極5のみの二電極系について示したが、参照電極を加えた三電極方式にすれば、より正確な測定が可能である。また、図1では電極系のパターンは、測定極4や対極5以外に端子部2,3を有するリード部も含んでいるが、これらリード部は銀ペースト等で別途設けるようにしてもよい。
【0027】
本発明における電極系をパターン化では、フォトリソグラフィにより形成したエッチングレジスト層16を用いてエッチングを行なうので、従来技術として示したスクリーン印刷にて電極系をパターン形成する場合や刃物による導電膜の分割にて電極系を形成する場合と比較してパターンの寸法精度やパターンエッジ部の直線性が良く、測定極の面積がばらついて測定精度が悪くなるということがない。スクリーン印刷にて電極系をパターン形成する場合、印刷層に液ダレや滲みが生じてパターンの寸法精度やパターンエッジ部の直線性が悪くなる。また、刃物による導電膜の分割にて電極系を形成する場合は、電極系のパターンが小さく複雑になると切れ込みを精度よく入れるのが困難となる上、刃物のストレスで切れ込み部のエッジが細かくひび割れる等してパターンエッジ部の直線性が悪くなる。なお、従来技術として示したレーザー加工法による導電膜の分割にて電極系を形成する場合は、測定極の面積のばらつきをかなり抑制することはできるが、耐熱性の点から基板の材質によっては使用できないため、やはり本発明のパターン化手段に劣る。
【0028】
上記エッチングに用いるエッチング液は、過硫酸アンモニウム、アンモニウム、塩化アンモニウムなどのアルカリエッチング液または塩化第二銅、塩化第二鉄、クロム酸/硫酸混液、過酸化水素水/硫酸混液などの酸性エッチング液などから無電解めっき層14および電気めっき層18の金属の種類により適宜選択する。たとえば、無電解めっき層14および電気めっき層18の金属がニッケルや銅などであれば、エッチング液として塩化第二鉄などを使用するとよい。また、エッチングレジスト層16の除去には、適宜の剥離剤、たとえばアセトン、メチレンクロライド、グリコールエーテル、これらの混合溶剤、またはこれらと水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液との混合液などの有機溶剤を用いる。
【0029】
以上のようにして絶縁性基板1上に少なくとも測定極4と対極5とからなる電極系を形成した後、電極系の一部を臨ませて空間部8を形成するようにスペーサー7を重ね合わせる。スペーサー7の材料としては、たとえば両面に粘着材層を形成したプラスチックフィルムやインキ層等を用いることができる。また、スペーサー7の厚みは空間部8の形状、濡れ性等に応じて適宜設定する。
【0030】
次いで、スペーサー7により形成された空間部8域内の電極系を含む絶縁性基板1上に反応試薬部9を形成する。反応試薬部は、反応試薬をディスペンサーで塗布したり、スクリーン印刷等の印刷で形成する。なお、反応試薬部の面積精度を保つために、まず、レジストや両面テープで一定面積の反応試薬形成部を規定してから、反応試薬を塗布又は印刷してもよい。また、スペーサー7を重ね合わせる前に反応試薬部9を形成してもよい。
【0031】
最後に、微量の液体試料12を確実に反応試薬部に導き分析するために、スペーサー7にカバー板10を重ね合わせ、絶縁性基板1とスペーサー7とカバー板10とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーになるように形成する。カバー板10としては、ポリエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、アクリル、ポリカーボネート等のフィルムを用いるとよい。なお、図1に示すバイオセンサーでは、スペーサー7が2つの部品からなって液体試料12の吸引口とは反対側にも開口部を有する空間部8を形成するような形態をとっているが、スペーサー7が図11に示すような切り欠き形状の空間部を形成してもよく、その場合にはカバー板10に空気穴が設けられる。
【0032】
【実施例】
(実施例1) 厚さ250μmのポリエチレンテレフタレートフィルム上全面に、エチレン−ビニルアルコール共重合体の1%水−n−プロピルアルコール混合溶液をディッピングにより塗布し、厚み0.5μmの親水性樹脂層を形成し、20分間風乾した。次に、18%ホルムアルデヒド水溶液に5分間浸漬して親水性樹脂層中の塩化パラジウムを還元してめっき核を形成し、水洗後、無電解銅めっきを行ない親水性樹脂層の表面に厚み1μmの銅の無電解めっき層を形成した。次に、無電解めっき層上にアクリル系の光硬化型感光性レジスト材料を塗布して感光性レジスト膜を形成した後、マスクフィルムを重ねて露光した後、現像して測定極と対極とからなる電極パターンのエッチングレジスト層を形成した。次いで、10%の塩化第二銅溶液で非レジスト部の不要な銅をエッチング除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層を露出させた。また、エッチングレジスト層はエッチング後、アセトンに浸漬することにより全て除去した。さらに、各電極の一部を臨ませて空間部を形成するように厚さ0.2mmの粘着材付ポリエチレンテレフタレートフィルムを貼り合せることによりスペーサーを重ね合わせた。空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上には反応試薬液をディスペンサーを用いて分注し、反応試薬部を形成した。最後に、厚さ0.1mmのアクリルフィルムをカバー板としてスペーサーに重ね合わせて接着し、バイオセンサーを得た。
【0033】
(実施例2) 銅の無電解めっき層の厚みを0.2μmとし、感光性レジスト膜を形成する前に、4μmの銅の電気めっき層を形成したこと以外は実施例1と同様とした。
【0034】
上記実施例1や実施例2の方法により複数のバイオセンサーを製造し、液体試料として血液を用い、各バイオセンサーでグルコース濃度の測定を行なったところ、ロット間で測定結果のばらつきがなかった。
【0035】
【発明の効果】
本発明のバイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法は、以上のとおりの構成を有するので、次のような優れた効果を奏する。
【0036】
すなわち、絶縁性基板の電極系が形成される面に親水性樹脂層が全面的に形成され、該親水性樹脂層上に無電解めっき層からなる電極系、あるいは無電解めっき層および電気めっき層が順次積層されてなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層が露出しているため、キャピラリー内に確実に液体試料を吸引することができる。したがって、精密且つ正確な測定が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るバイオセンサーの一実施例を示す分解斜視図である。
【図2】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図3】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図4】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図5】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図6】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図7】図1のバイオセンサーの部分断面図である。
【図8】バイオセンサーの一般的形態を示す分解斜視図である。
【図9】図8のバイオセンサーにおける液体試料の導入を説明する斜視図である。
【図10】図8のバイオセンサーにおける液体試料の導入を説明する断面図である。
【図11】導電膜を溝により分割して電極を形成したバイオセンサーの例を示す分解斜視図である。
【図12】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図13】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図14】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図15】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である。
【図16】本発明に係るバイオセンサーにおける電極の形成工程の一実施例を示す断面図である
【符号の説明】
1 絶縁性基板
2 端子部
3 端子部
4 測定極
5 対極
6 絶縁層
7 スペーサー
8 空間部
9 反応試薬部
10 カバー板
11 貫通穴
12 液体試料
13 溝
14 無電解めっき層
15 親水性樹脂層
16 エッチングレジスト層
17 感光性レジスト膜
18 電気めっき層
Claims (6)
- 絶縁性基板上に設けた少なくとも測定極と対極とからなる電極系と、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するように重ね合わされたスペーサーと、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に形成した反応試薬部と、スペーサーに重ね合わされたカバー板とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーを形成しているバイオセンサーにおいて、
絶縁性基板の電極系が形成される面に親水性樹脂層が全面的に形成され、該親水性樹脂層上に無電解めっき層からなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層が露出していることを特徴とするバイオセンサー。 - 絶縁性基板上に設けた少なくとも測定極と対極とからなる電極系と、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するように重ね合わされたスペーサーと、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に形成した反応試薬部と、スペーサーに重ね合わされたカバー板とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーを形成しているバイオセンサーにおいて、
絶縁性基板の電極系が形成される面に親水性樹脂層が全面的に形成され、該親水性樹脂層上に無電解めっき層および電気めっき層が順次積層されてなる電極系が形成され、電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層が露出していることを特徴とするバイオセンサー。 - 親水性樹脂層が、ビニルアルコール系樹脂、アクリル系樹脂、セルロース系樹脂のうちから選択された一つである請求項1又は請求項2のいずれかに記載のバイオセンサー。
- 絶縁性基板上に少なくとも測定極と対極とからなる電極系を形成する工程、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するようにスペーサーを重ね合わせる工程、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に反応試薬部を形成する工程、スペーサーにカバー板を重ね合わせる工程とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーになるように形成するバイオセンサーの製造方法において、
電極系を形成する工程が、絶縁性基板上に親水性樹脂層を全面的に形成し、親水性樹脂層上に無電解めっき層を全面的に形成した後、無電解めっき層上にフォトリソグラフィにより所望のパターンのエッチングレジスト層を形成し、不要な部分の無電解めっき層をエッチングにより除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層を露出させ、その後エッチングレジスト層を除去するものであることを特徴とするバイオセンサーの製造方法。 - 絶縁性基板上に少なくとも測定極と対極とからなる電極系を形成する工程、電極系の一部を臨ませて空間部を形成するようにスペーサーを重ね合わせる工程、空間部域内の電極系を含む絶縁性基板上に反応試薬部を形成する工程、スペーサーにカバー板を重ね合わせる工程とを有し、絶縁性基板とスペーサーとカバー板とで囲まれる空間部が液体試料通路であるキャピラリーになるように形成するバイオセンサーの製造方法において、
電極系を形成する工程が、絶縁性基板上に親水性樹脂層を全面的に形成し、親水性樹脂層上に無電解めっき層および電気めっき層を全面的に順次積層した後、電気めっき層上にフォトリソグラフィにより所望のパターンのエッチングレジスト層を形成し、不要な部分の無電解めっき層および電気めっき層をエッチングにより除去して電極系のパターンの周囲に親水性樹脂層を露出させ、その後エッチングレジスト層を除去するものであることを特徴とするバイオセンサーの製造方法。 - 親水性樹脂層が、ビニルアルコール系樹脂、アクリル系樹脂、セルロース系樹脂のうちから選択された一つである請求項4又は請求項5のいずれかに記載のバイオセンサーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003090008A JP2004004017A (ja) | 2002-03-29 | 2003-03-28 | バイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002094787 | 2002-03-29 | ||
| JP2003090008A JP2004004017A (ja) | 2002-03-29 | 2003-03-28 | バイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004004017A true JP2004004017A (ja) | 2004-01-08 |
Family
ID=30446357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003090008A Pending JP2004004017A (ja) | 2002-03-29 | 2003-03-28 | バイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004004017A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7316766B2 (en) * | 2005-05-27 | 2008-01-08 | Taidoc Technology Corporation | Electrochemical biosensor strip |
| JP2009069096A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-02 | Panasonic Corp | 電極基板とそれを用いた微生物・微粒子測定装置 |
| DE102010002915A1 (de) * | 2010-03-16 | 2011-09-22 | Senslab-Gesellschaft Zur Entwicklung Und Herstellung Bioelektrochemischer Sensoren Mbh | Mikrofluidischer Sensor |
| JP2012058168A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Dainippon Printing Co Ltd | バイオセンサ及びその製造方法 |
| WO2014046318A1 (ko) * | 2012-09-21 | 2014-03-27 | ㈜ 더바이오 | 시료를 인식하는 방법 및 이를 이용한 바이오센서 |
| JP2014163900A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 濃度測定センサ、濃度測定センサ用シート及びその製造方法 |
| JP2014178143A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 濃度測定センサ、濃度測定センサ用シート及びその製造方法 |
| JP2014202584A (ja) * | 2013-04-04 | 2014-10-27 | 大日本印刷株式会社 | バイオセンサ |
| JP2014202583A (ja) * | 2013-04-04 | 2014-10-27 | 大日本印刷株式会社 | バイオセンサ用電極およびバイオセンサ |
-
2003
- 2003-03-28 JP JP2003090008A patent/JP2004004017A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7316766B2 (en) * | 2005-05-27 | 2008-01-08 | Taidoc Technology Corporation | Electrochemical biosensor strip |
| JP2009069096A (ja) * | 2007-09-18 | 2009-04-02 | Panasonic Corp | 電極基板とそれを用いた微生物・微粒子測定装置 |
| DE102010002915A1 (de) * | 2010-03-16 | 2011-09-22 | Senslab-Gesellschaft Zur Entwicklung Und Herstellung Bioelektrochemischer Sensoren Mbh | Mikrofluidischer Sensor |
| DE102010002915B4 (de) * | 2010-03-16 | 2012-10-18 | Senslab-Gesellschaft Zur Entwicklung Und Herstellung Bioelektrochemischer Sensoren Mbh | Mikrofluidischer Sensor |
| US9222909B2 (en) | 2010-09-13 | 2015-12-29 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Biosensor and method for producing the same |
| JP2012058168A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Dainippon Printing Co Ltd | バイオセンサ及びその製造方法 |
| WO2012036047A1 (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | 大日本印刷株式会社 | バイオセンサ及びその製造方法 |
| WO2014046318A1 (ko) * | 2012-09-21 | 2014-03-27 | ㈜ 더바이오 | 시료를 인식하는 방법 및 이를 이용한 바이오센서 |
| US9395321B2 (en) | 2012-09-21 | 2016-07-19 | The Bio Co. Ltd. | Sample recognition method and biosensor using same |
| JP2014163900A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 濃度測定センサ、濃度測定センサ用シート及びその製造方法 |
| JP2014178143A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-25 | Dainippon Printing Co Ltd | 濃度測定センサ、濃度測定センサ用シート及びその製造方法 |
| JP2014202584A (ja) * | 2013-04-04 | 2014-10-27 | 大日本印刷株式会社 | バイオセンサ |
| JP2014202583A (ja) * | 2013-04-04 | 2014-10-27 | 大日本印刷株式会社 | バイオセンサ用電極およびバイオセンサ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0753051B1 (en) | Method of making sensor electrodes | |
| US7294246B2 (en) | Electrode for electrochemical sensors | |
| US7419573B2 (en) | Circuit for electrochemical sensor strip | |
| US7387714B2 (en) | Electrochemical sensor strip | |
| JP4592961B2 (ja) | 電気化学的バイオセンサー試験片の製造方法 | |
| US6787013B2 (en) | Biosensor | |
| US7465597B2 (en) | Method of manufacturing a diagnostic test strip | |
| JP2004004017A (ja) | バイオセンサー及びバイオセンサーの製造方法 | |
| JP2899306B2 (ja) | 乾式イオン選択性電極およびその製法 | |
| JPH07105174B2 (ja) | 異方導電膜の製造方法 | |
| CN201607421U (zh) | 平面式生物检测试片 | |
| CN102192937A (zh) | 平面式生物检测试片的制备方法及其成品 | |
| TWI435077B (zh) | Process Method and Finished Product of Planar Biomass Test | |
| JP3509064B2 (ja) | キャピラリー電気泳動用電気化学検出器及びその製造方法 | |
| KR101753133B1 (ko) | 평면식 생물학 테스트 스트립의 제조방법 및 그 완제품 | |
| CN101395277A (zh) | 生产用于检验传感器的电极的方法 | |
| JPH05343396A (ja) | 銀パターンおよびその形成方法 | |
| JP5405361B2 (ja) | 平面型生物測定シートの製造方法及びその製品 | |
| TW201543033A (zh) | 檢測試片之製造方法 | |
| JPH0787203B2 (ja) | 2層tabの製造方法 | |
| JPH06181241A (ja) | バンプ付きテープの製造方法 | |
| JP2014190738A (ja) | 濃度測定センサ、濃度測定センサ用シート及びその製造方法 | |
| TW201506393A (zh) | 電化學測試片的製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060220 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080829 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080909 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090210 |