[go: up one dir, main page]

JP2004074041A - フッ素の回収方法 - Google Patents

フッ素の回収方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2004074041A
JP2004074041A JP2002239217A JP2002239217A JP2004074041A JP 2004074041 A JP2004074041 A JP 2004074041A JP 2002239217 A JP2002239217 A JP 2002239217A JP 2002239217 A JP2002239217 A JP 2002239217A JP 2004074041 A JP2004074041 A JP 2004074041A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
calcium
fluorine
wastewater
particle size
fluoride
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002239217A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004074041A5 (ja
Inventor
Norio Moriya
守屋 則雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cabot Supermetals KK
Original Assignee
Cabot Supermetals KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cabot Supermetals KK filed Critical Cabot Supermetals KK
Priority to JP2002239217A priority Critical patent/JP2004074041A/ja
Priority to PCT/JP2003/010450 priority patent/WO2004018369A1/ja
Priority to AU2003262247A priority patent/AU2003262247A1/en
Publication of JP2004074041A publication Critical patent/JP2004074041A/ja
Publication of JP2004074041A5 publication Critical patent/JP2004074041A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/52Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities
    • C02F1/5236Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities using inorganic agents
    • C02F1/5245Treatment of water, waste water, or sewage by flocculation or precipitation of suspended impurities using inorganic agents using basic salts, e.g. of aluminium and iron
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C02TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02FTREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2101/00Nature of the contaminant
    • C02F2101/10Inorganic compounds
    • C02F2101/12Halogens or halogen-containing compounds
    • C02F2101/14Fluorine or fluorine-containing compounds

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Removal Of Specific Substances (AREA)
  • Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

【課題】膜処理における濾過性が良好な、比較的粒子径の大きなフッ化カルシウムを生成させることが可能なフッ素の回収方法を提供する。
【解決手段】フッ素が溶解した水溶液と炭酸カルシウムおよび/または硫酸カルシウムとを混合して、フッ化カルシウムを生成させることにより、フッ素を回収する。使用する炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムの粒径を適宜選択することによって、所望の粒径のフッ化カルシウムを生成させることができるので、比較的粒径が大きく、濾過性の優れたフッ化カルシウムを生成させ、膜処理を効果的に行い、廃水などに含まれるフッ素濃度を低減させることができる。
【選択図】 なし

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、廃水などに溶解しているフッ素を回収する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
タンタルから形成されたアノード電極を備えた固体電解コンデンサは、小型で、低ESR、かつ高容量であるため、携帯電話やパソコンなどの部品として急速に普及してきた。また、タンタルと同族元素であるニオブも、タンタルよりも安価であり、また、酸化ニオブの誘電率が大きいことから、アノード電極への利用が研究されている。
【0003】
このようにアノード電極原料として使用されるタンタル粉末およびニオブ粉末は、通常、KTaF、KNbF、KNbFなどのフッ化カリウム塩を、溶融希釈塩中においてナトリウムなどの還元剤と反応させ、還元反応終了後、反応融液を冷却し、得られた集塊を洗浄して希釈塩などを除去することにより得られる。例えば、フッ化カリウム塩としてKTaFを、還元剤としてナトリウムを使用した場合、還元反応は下記式(1)で表され、集塊を洗浄することにより発生した廃水には、フッ素が溶解している。
TaF+5Na→2KF+5NaF+Ta・・・(1)
このような廃水の処理方法としては、この廃水にカルシウム化合物を添加してフッ化カルシウムを析出させ、これを膜処理して回収する方法が一般的である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような方法では、生成したフッ化カルシウムが非常に微細となり、膜処理に長時間を要したり、膜が目づまりを起こしたりする場合が多く、濾過性に問題があった。
【0005】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、膜処理における濾過性が良好な、比較的粒子径の大きなフッ化カルシウムを容易に生成させることが可能なフッ素の回収方法を提供することを課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
第1のフッ素の回収方法は、フッ素が溶解した水溶液と炭酸カルシウムとを混合して、フッ化カルシウムを生成させることにより、フッ素を回収する方法であって、前記炭酸カルシウムとして、粒径5〜50μmの粒子を使用することを特徴とする。
また、前記フッ素のモル数(M)と、前記炭酸カルシウムにおけるカルシウムのモル数(MCa)との比率MCa/2Mを、1.2〜2.0の範囲とすることが好ましい。
第2のフッ素の回収方法は、フッ素が溶解した水溶液と硫酸カルシウムとを混合して、フッ化カルシウムを生成させることにより、フッ素を回収することを特徴とする。
前記硫酸カルシウムとして、粒径5〜50μmの粒子を使用することが好ましい。
また、前記フッ素のモル数(M)と、前記硫酸カルシウムにおけるカルシウムのモル数(MCa)との比率MCa/2Mを、1.2〜2.0の範囲とすることが好ましい。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明のフッ素の回収方法は、フッ素が溶解した水溶液と硫酸カルシウムおよび/または炭酸カルシウムとを混合して、難溶性のフッ化カルシウムを生成させることにより、フッ素を回収するものである。
ここで、フッ素が溶解した水溶液としては特に制限はなく、各種製造業などにおいて発生する廃水が挙げられ、例えば、タンタルのフッ化カリウム塩を希釈塩中で還元して、コンデンサ用途のタンタル粉末を製造する工程で発生した廃水が挙げられる。
【0008】
タンタル粉末を製造する工程においては、まず、KTaF等のタンタルのフッ化カリウム塩を、800〜900℃程度に加熱されて溶融状態にあるKCl、NaCl、KFやこれらの共晶塩などからなる希釈塩中に、ナトリウム、マグネシウム、カルシウム等のアルカリ金属やアルカリ土類金属、これらの水素化物などの還元剤とともに投入し、還元反応を行う。ここでタンタルのフッ化カリウム塩と還元剤とは一括投入しても、いずれも少量ずつを交互に投入してもよい。また、還元反応は通常撹拌しながら行う。
ここで例えば、原料としてKTaFを使用し、還元剤としてナトリウムを使用した場合には、進行する還元反応は以下の式(1)で示される。
TaF+5Na→2KF+5NaF+Ta・・・(1)
【0009】
このような還元反応終了後、溶融状態にある希釈塩および反応生成物などの混合物、すなわち反応融液を冷却し、得られた集塊を洗浄して、希釈塩などを除去、精製することにより、タンタル粉末を得ることができる。
【0010】
還元反応が上記(1)式で示される反応であって、希釈塩としてKClが使用された場合を例に挙げると、得られた集塊は、目的生成物であるタンタルの他、希釈塩であるKClと、副生成物であるKFおよびNaFと、未反応残渣である少量のKTaFおよびNaとを含有することとなる。ここで、タンタル以外のものをできるだけ除去するとともに、タンタル粉末の表面状態を平滑化し、不純物の少ない状態とするために、通常、まず、水による洗浄を行い、ついで、フッ酸などの酸による洗浄を行い、最後に過酸化水素水と硝酸による洗浄を行う。その結果、このような洗浄により発生する廃水としては、水による洗浄と、フッ酸などの酸による洗浄と、過酸化水素水と硝酸による洗浄の、3種類の廃水が発生することとなる。
【0011】
この場合、水による洗浄で発生した廃水(以下、第1廃水という。)には、水への溶解度の高い希釈塩(KCl)だけでなく、副生成物(KFおよびNaF)が溶解するため、10〜300ppm程度の濃度でフッ素が含まれる。また、この際、希釈塩としてKFが使用された場合には、第1廃水中のフッ素濃度はより高くなることもある。
フッ酸などの酸による洗浄で発生した廃水(以下、第2廃水という。)には、フッ酸中のフッ素とタンタルの一部と希釈塩に由来するカリウムとが反応して生成したKTaF、KTaOなどが溶解することにより、100〜20000ppm程度の濃度でフッ素が含まれる。
このように、タンタル粉末を製造する工程において発生する第1廃水と第2廃水には、原料、副生成物、希釈塩に由来するフッ素が比較的高濃度で含まれる。なお、過酸化水素水と硝酸による洗浄で発生した廃水(以下、第3廃水という。)には、フッ素はほとんど含まれない。また、ここでppmは質量基準である。
【0012】
このようなフッ素の濃度が高い第1廃水および第2廃水と、炭酸カルシウムおよび/または硫酸カルシウムとを混合することにより、難溶性のフッ化カルシウムが生成する。そして、このフッ化カルシウムを膜処理などにより回収することにより、廃水中に残存するフッ素濃度を低下させることができる。
ここで使用する炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムは、粒子の状態のまま廃水中に直接加えても良く、あらかじめ水に分散させたスラリーの状態で加えても良い。
また、炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムの粒径は5〜50μmの範囲であることが好ましい。このような粒径の炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムを使用すると、生成するフッ化カルシウムの粒径も使用した炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムと同程度の5〜50μmとなり、フッ化カルシウムを膜処理で回収する際の膜の目づまりが起きにくく、短時間ですむなど、濾過性に優れる。
【0013】
ここで生成するフッ化カルシウムの粒径が、使用した炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムの粒径と同程度となる理由については以下のように説明できる。
すなわち、炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムは、いずれも水への溶解度が非常に低い。一方、わずかに溶解しているカルシウムイオンと、フッ素イオンとの反応、すなわち、下記式(2)で表される反応の反応速度は大きい。よって、フッ素が溶解している廃水と、炭酸カルシウムおよび/または硫酸カルシウムとを混合すると、溶解している微量のカルシウムイオンは直ちにフッ素イオンと反応し、難溶性のフッ化カルシウムを生成する。すると、溶液の平衡状態が移動し、炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムの粒子が、その表面から再びわずかに溶解する。そして、溶解により生成したカルシウムイオンは、粒子表面において直ちにフッ素イオンと反応し、不溶性のフッ化カルシウムを再び生成すると考えられる。
Ca2++2F→CaF・・・(2)
このように、炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムは、溶解度が低くて、溶解速度は高く、一方、カルシウムイオンとフッ素イオンとの反応は速いため、フッ化カルシウムの生成反応は炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムの粒子表面で起こり、その結果、最終的に得られるフッ化カルシウムの粒径は、もともと使用した炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムの粒径とほぼ同じとなると考えられる。
【0014】
ここで、使用する炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムの粒径が5μm未満であると、生成するフッ化カルシウムの粒径も小さくなり、その結果、膜処理による濾過性が低下する傾向がある。一方、粒径が50μmを超えると、フッ化カルシウムの生成速度が非常に遅くなり、効率が低くなる傾向がある。
【0015】
また、ここで、溶解しているフッ素のモル数(M)と、炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムにおけるカルシウムのモル数(MCa)との比率MCa/2Mが、1.2〜2.0の範囲となるように、フッ素が溶解した廃水などの水溶液と炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムとを混合することが好ましい。MCa/2Mが1.2未満では、フッ化カルシウムの生成速度が遅い傾向がある。一方、MCa/2Mが2.0を超える過剰の炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムを使用しても、フッ素の回収効果はあまり変わらない。比率MCa/2Mが、1.2〜2.0の範囲であると、過剰な炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウを使用することなく、短時間でフッ化カルシウムを生成させることができ、その結果、残存するフッ素濃度を数十〜数百ppmまで効果的に低下させることができる。
【0016】
なお、硫酸カルシウムとしては、無水物(CaSO)、水和物(CaSO・1/2HO、CaSO・2HO)が使用できるが、これらのなかでも室温付近における水への溶解度は低いが、その溶解速度が大きいCaSOが好ましい。
また、フッ素が溶解した水溶液と炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムとの混合は、連続的に行っても、バッチ式で行ってもよいが、バッチ式の方が効果的にフッ素濃度を低減させることができる。
さらに、生成したフッ化カルシウムの回収は、助剤凝集分離、遠心分離、沈降分離などの方法で行ってもよいが、中空糸膜、フィルタープレスなどの膜を使用した膜処理で行うことが好ましい。
【0017】
以上説明したようにこのようなフッ素の回収方法によれば、カルシウム化合物として、水への溶解度が非常に低い炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムを使用するので、フッ化カルシウムの生成反応を炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムの粒子表面で進行させることができる。そのため、得られるフッ化カルシウムの粒径は、使用する炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムの粒径とほぼ同じに制御され、使用する炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムの粒径を適宜選択することによって、所望の粒径のフッ化カルシウムを生成させることができる。このような方法によれば、比較的粒径が大きく、濾過性の優れたフッ化カルシウムを容易に生成可能であるので、膜処理による回収を短時間で行って廃水中のフッ素濃度を効果的に低減させることができる。
【0018】
【実施例】
以下、実施例を示して本発明を具体的に説明する。
[実施例1]
タンタル原料化合物を、870℃程度に加熱されて溶融状態にある希釈塩中に還元剤とともに投入し、還元反応を行った。ここでタンタル原料化合物としてはKTaFを、希釈塩としてはKFを、還元剤としてはNaを使用した。
還元反応終了後、溶融状態にある反応融液を冷却し、得られた集塊を、まず、水で洗浄した。ここで得られた廃水を第1廃水とする。ついで、3%のフッ酸で洗浄した。ここで得られた廃水を第2廃水とする。さらに、1.5%の過酸化水素水と9%の硝酸で洗浄した。ここで得られた廃水を第3廃水とする。
【0019】
第1廃水、第2廃水中に溶解しているフッ素濃度は、JIS K−0102による分析によれば、それぞれ100ppm、20000ppmであった。第3廃水中に溶解しているフッ素濃度は50ppmであった。
第1廃水と第2廃水とを混合して得られた混合廃水2L(フッ素濃度10000ppm)と、平均粒径(累積質量50%の粒径)38.71μmのCaSOが水中に分散したスラリー0.7Lとを混合し、室温において10分間攪拌したところフッ化カルシウムが析出した。
なお、この際、フッ素のモル数(M)と硫酸カルシウムにおけるカルシウムのモル数(MCa)との比率MCa/2Mは1.5とした。
【0020】
ついで、フッ化カルシウムが析出した混合廃水を、目開き0.45μmのフィルタを使用して膜処理したところ、目詰まりが起こることなく、スムーズに膜処理を行うことができた。
また、得られたフッ化カルシウムの平均粒径(累積質量50%の粒径)は、42.00μmであり、使用したCaSOの平均粒径と同程度であった。
さらに、得られた濾液をJIS K−0102により分析したところ、溶解しているフッ素濃度は20ppmであり、フッ素を99.8%の回収率で回収することができた。
さらに濾過の際の濾過比抵抗αを算出したところ、α[m/kg]は1011オーダーであり、濾過性に優れていた。
【0021】
[実施例2〜20]
フッ素のモル数(M)とCaSOにおけるカルシウムのモル数(MCa)との比率MCa/2Mを種々変化させた以外は実施例1と同様にして、フッ化カルシウムを析出させ、その混合廃水を膜処理した。得られた濾液について、実施例1と同様に分析し、比率MCa/2Mと濾液中のフッ素濃度(残存フッ素濃度)との関係を、実施例1の結果と併せて図1に示した。
【0022】
[実施例21〜22]
使用したCaSOの平均粒径(累積質量50%の粒径)を、実施例21では18.95μm、実施例22では5.74μmとした以外は実施例1と同様にしてフッ化カルシウムを析出させ、その混合廃水を膜処理したが、目詰まりが起こることなく、スムーズに行うことができた。
また、得られたフッ化カルシウムの平均粒径(累積質量50%の粒径)は、実施例21では20.2μm、実施例22では8.1μmであり、使用したCaSOの平均粒径と同程度であった。
【0023】
[比較例1]
CaSOの代わりに平均粒径(累積質量50%の粒径)が50μmの硝酸カルシウムを使用した以外は実施例1と同様にして、フッ化カルシウムを析出させ、ついでその混合廃水を膜処理し、得られた濾液について、実施例1と同様に分析した。
しかしながら、得られたフッ化カルシウムの平均粒径(累積質量50%の粒径)は0.2μmと微細であり、膜処理には長時間を要した。また、濾過の際の濾過比抵抗αを算出したところ、α[m/kg]は1013オーダーであった。
【0024】
[比較例2]
CaSOの代わりに平均粒径(累積質量50%の粒径)が50μmの塩化カルシウムを使用した以外は実施例1と同様にして、フッ化カルシウムを析出させ、ついでその混合廃水を膜処理し、得られた濾液について、実施例1と同様に分析した。
しかしながら、得られたフッ化カルシウムの平均粒径(累積質量50%の粒径)は0.7μmと微細であり、膜処理には長時間を要した。また、濾過の際の濾過比抵抗αを算出したところ、α[m/kg]は1013オーダーであった。
なお、濾過比抵抗αは、Ruthの濾過理論:R=αcV/Aで定義される。ここでR:ケーク濾過抵抗、c:単位当たりケーク質量、V:濾過流量、A:濾過面積であって、スラリーの濾過しやすさを表す。
【0025】
[実施例23〜28]
第1廃水と第2廃水とを混合して得られた混合廃水と、CaSOが水中に分散したスラリーとの攪拌時間を種々変化させ、各攪拌時間における濾液中の残存フッ素濃度を測定した。また、フッ素のモル数(M)と硫酸カルシウムにおけるカルシウムのモル数(MCa)との比率MCa/2Mは、実施例23で1.0、実施例24で1.1、実施例25で1.2、実施例26で1.3、実施例27で1.4、実施例28で1.5とした。
各MCa/2Mにおける残存フッ素濃度の攪拌時間に対する経時変化を図2に示す。
【0026】
以上の結果から、硫酸カルシウム(CaSO)を使用した場合、使用した硫酸カルシウムとほぼ同程度の平均粒径のフッ化カルシウムを生成させることができ、濾過もスムーズに行うことができた。また、MCa/2Mが1.1〜2.0、さらには1.2〜2.0の範囲で、特に効果的に残存フッ素濃度を低下させることができることが明らかとなった。
なお、硫酸カルシウム(CaSO)のかわりに炭酸カルシウムを使用した場合も、使用した炭酸カルシウムとほぼ同程度の平均粒径のフッ化カルシウムを生成させることができ、MCa/2Mが1.1〜2.0、さらには1.1〜2.0の範囲で、特に効果的に残存フッ素濃度を低下させることができた。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の回収方法によれば、カルシウム化合物として、水への溶解度が非常に低い炭酸カルシウムおよび/または硫酸カルシウムを使用するので、使用する炭酸カルシウムおよび硫酸カルシウムの粒径を適宜選択することによって、所望の粒径のフッ化カルシウムを生成させることができる。すなわち、このような方法によれば、比較的粒径が大きく、濾過性の優れたフッ化カルシウムを容易に生成可能であるので、膜処理による回収を短時間で行って廃水などに溶解しているフッ素濃度を効果的に低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】フッ素とカルシウムとの比率MCa/2Mに対して、残存フッ素濃度をプロットしたグラフである。
【図2】攪拌時間に対する残存フッ素濃度の変化を示すグラフである。

Claims (5)

  1. フッ素が溶解した水溶液と炭酸カルシウムとを混合して、フッ化カルシウムを生成させることにより、フッ素を回収する方法であって、
    前記炭酸カルシウムは、粒径5〜50μmの粒子であることを特徴とするフッ素の回収方法。
  2. 前記フッ素のモル数(M)と、前記炭酸カルシウムにおけるカルシウムのモル数(MCa)との比率MCa/2Mが、1.2〜2.0の範囲であることを特徴とする請求項1に記載のフッ素の回収方法。
  3. フッ素が溶解した水溶液と硫酸カルシウムとを混合して、フッ化カルシウムを生成させることにより、フッ素を回収することを特徴とするフッ素の回収方法。
  4. 前記硫酸カルシウムは、粒径5〜50μmの粒子であることを特徴とする請求項3に記載のフッ素の回収方法。
  5. 前記フッ素のモル数(M)と、前記硫酸カルシウムにおけるカルシウムのモル数(MCa)との比率MCa/2Mが、1.2〜2.0の範囲であることを特徴とする請求項3または4に記載のフッ素の回収方法。
JP2002239217A 2002-08-20 2002-08-20 フッ素の回収方法 Pending JP2004074041A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002239217A JP2004074041A (ja) 2002-08-20 2002-08-20 フッ素の回収方法
PCT/JP2003/010450 WO2004018369A1 (ja) 2002-08-20 2003-08-19 フッ素の回収方法
AU2003262247A AU2003262247A1 (en) 2002-08-20 2003-08-19 Method of recovering fluorine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002239217A JP2004074041A (ja) 2002-08-20 2002-08-20 フッ素の回収方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004074041A true JP2004074041A (ja) 2004-03-11
JP2004074041A5 JP2004074041A5 (ja) 2005-10-13

Family

ID=31943857

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002239217A Pending JP2004074041A (ja) 2002-08-20 2002-08-20 フッ素の回収方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2004074041A (ja)
AU (1) AU2003262247A1 (ja)
WO (1) WO2004018369A1 (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006206359A (ja) * 2005-01-27 2006-08-10 Nikon Corp フッ化カルシウム微粒子,フッ化カルシウム乾燥体,フッ化カルシウム焼結体,フッ化カルシウム透明焼結体及びそれらの製造方法
JP2006290703A (ja) * 2005-04-14 2006-10-26 Cabot Supermetal Kk フッ素の回収方法
JP2008173527A (ja) * 2007-01-16 2008-07-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd フッ素含有水の処理方法および処理装置
WO2011049052A1 (ja) * 2009-10-22 2011-04-28 栗田工業株式会社 フッ素含有水の処理方法および処理装置
WO2013136385A1 (ja) * 2012-03-13 2013-09-19 株式会社 東芝 フッ素回収装置、フッ素回収システム及びフッ素回収方法
WO2013145373A1 (ja) * 2012-03-30 2013-10-03 株式会社 東芝 水処理方法
JP2014097501A (ja) * 2014-01-31 2014-05-29 Toshiba Corp 水処理方法
JP2014133188A (ja) * 2013-01-08 2014-07-24 Toshiba Corp 水処理方法及び水処理装置
JP2014162794A (ja) * 2013-02-21 2014-09-08 Pfizer Inc 選択的cdk4/6阻害剤の固体形態

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4368249B2 (ja) 2004-06-01 2009-11-18 三洋電機株式会社 処理装置およびそれを用いた被処理水の処理方法
JP2013220956A (ja) * 2012-04-13 2013-10-28 Central Glass Co Ltd フッ化カルシウムの製造方法及び装置
JP2013220955A (ja) * 2012-04-13 2013-10-28 Central Glass Co Ltd フッ化カルシウムの製造方法及び装置
US10136709B2 (en) 2013-09-06 2018-11-27 Oliver Joen-An Ma Cantilever umbrella

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49122880A (ja) * 1973-03-28 1974-11-25
US5362461A (en) * 1991-10-03 1994-11-08 Kurita Water Industries, Ltd. Method for recovering calcium fluoride from fluoroetchant
JP2001137864A (ja) * 1999-11-10 2001-05-22 Daikin Ind Ltd フッ酸を含有する廃水の処理方法

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006206359A (ja) * 2005-01-27 2006-08-10 Nikon Corp フッ化カルシウム微粒子,フッ化カルシウム乾燥体,フッ化カルシウム焼結体,フッ化カルシウム透明焼結体及びそれらの製造方法
JP2006290703A (ja) * 2005-04-14 2006-10-26 Cabot Supermetal Kk フッ素の回収方法
JP2008173527A (ja) * 2007-01-16 2008-07-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd フッ素含有水の処理方法および処理装置
KR101775888B1 (ko) * 2009-10-22 2017-09-07 쿠리타 고교 가부시키가이샤 불소 함유수의 처리 방법 및 처리 장치
WO2011049052A1 (ja) * 2009-10-22 2011-04-28 栗田工業株式会社 フッ素含有水の処理方法および処理装置
JP2011088071A (ja) * 2009-10-22 2011-05-06 Kurita Water Ind Ltd フッ素含有水の処理方法および処理装置
CN102574712A (zh) * 2009-10-22 2012-07-11 栗田工业株式会社 含有氟的水的处理方法及处理装置
WO2013136385A1 (ja) * 2012-03-13 2013-09-19 株式会社 東芝 フッ素回収装置、フッ素回収システム及びフッ素回収方法
JP2013188673A (ja) * 2012-03-13 2013-09-26 Toshiba Corp フッ素回収装置、フッ素回収システム及びフッ素回収方法
WO2013145373A1 (ja) * 2012-03-30 2013-10-03 株式会社 東芝 水処理方法
JP2013208543A (ja) * 2012-03-30 2013-10-10 Toshiba Corp 水処理方法
JP2014133188A (ja) * 2013-01-08 2014-07-24 Toshiba Corp 水処理方法及び水処理装置
JP2014162794A (ja) * 2013-02-21 2014-09-08 Pfizer Inc 選択的cdk4/6阻害剤の固体形態
JP2014097501A (ja) * 2014-01-31 2014-05-29 Toshiba Corp 水処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004018369A1 (ja) 2004-03-04
AU2003262247A1 (en) 2004-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2004074041A (ja) フッ素の回収方法
JPH09217133A (ja) 希土類−ニッケル系合金からの有用元素の回収方法
JP2003055702A (ja) 窒素含有金属粉末およびその製造方法ならびにそれを用いた多孔質焼結体および固体電解コンデンサ
JPS62297463A (ja) 高純度金属タンタル製タ−ゲツトとその製造方法
JPH0356686A (ja) 二酸化マンガン及び亜鉛の同時回収方法
TWI763694B (zh) 經純化之六氟合錳酸鉀及純化六氟合錳酸鉀之方法
CN116940698B (zh) 铌和钽的液化处理方法、铌溶液和钽溶液的制造方法
JP2002363662A (ja) 高純度タンタルの回収方法並びに高純度タンタルスパッタリングターゲット及び該スパッタリングターゲットにより形成された薄膜
KR101645431B1 (ko) 탄탈륨 또는 탄탈륨/니오븀의 회수 방법
JP4245899B2 (ja) 金属の回収方法
CN118019714A (zh) 一种氟化钙渣和含氟废水资源化利用的方法
JP2002241864A (ja) タンタル、ニオブ等の製造方法
JP3295687B2 (ja) フッ化タンタル酸カリウムの製造方法
JP2023129361A (ja) リチウム濃縮液の製造方法及びこれに用いるリン酸リチウムの生成方法
RU2362653C2 (ru) Получение порошков клапанных металлов
JP2547500B2 (ja) タンタルの還元方法
Parker et al. Solvation of ions. Some applications. IV A novel process for the recovery of pure silver from impure silver chloride
JP2012087085A (ja) 高純度ニオブ溶液の製造方法
JP7578982B2 (ja) 塩化鉄(ii)の高純度化方法
KR20040091071A (ko) 고순도 니오브 화합물 및/또는 탄탈 화합물의 정제방법
JP7688842B2 (ja) タングステン酸ナトリウムの製造方法
JP2008095200A (ja) 窒素含有金属粉末およびその製造方法ならびにそれを用いた多孔質焼結体および固体電解コンデンサ
CN120328619A (zh) 钽粉混合盐副产物分离方法及系统
JP3291493B2 (ja) フッ化タンタル酸カリウム結晶の製造方法およびフッ化タンタル酸カリウム結晶
JP2004203694A (ja) タンタル化合物及び/又はニオブ化合物の回収方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Effective date: 20050610

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050610

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20061114

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070313