JP2003294285A - Explosion-proof fan filter unit - Google Patents
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】クリーンルーム設備の天井高さを低くでき、防
爆型クリーンルーム設備にローカルリターン方式を採用
可能とした防爆型ファンフィルタユニットを提供するこ
とを目的とする。
【解決手段】ケーシング６２は整流室７２を有し、底面
には清浄フィルタ６４が敷設されている。ファン装置７
０内には、シロッコファン７６と防爆モータ７８が設け
られている。第一の整流板６６がフレーム７４から整流
室７２内に突出して設けられ、やや上方に傾斜して形成
されている。壁９０には整流室７２内に突出して天面８
２に平行に形成された第二の整流板６８が設けられてい
る。整流室７２に供給された供給エアは第一の整流板６
６により壁９０に送風され、壁９０に反射されて第二の
整流板６８により送風流路が変更され、清浄フィルタ６
４全面に均等に供給される。
[57] An object of the present invention is to provide an explosion-proof fan filter unit in which the ceiling height of a clean room facility can be lowered and the local return method can be adopted for the explosion-proof clean room facility. A casing 62 has a rectifying chamber 72, and a clean filter 64 is laid on the bottom surface. Fan device 7
In S0, a sirocco fan 76 and an explosion-proof motor 78 are provided. A first rectifying plate 66 is provided so as to protrude from the frame 74 into the rectifying chamber 72, and is inclined slightly upward. The wall 90 protrudes into the rectifying chamber 72 and the top surface 8
2 is formed in parallel with the second rectifying plate 68. The supply air supplied to the rectifying chamber 72 is the first rectifying plate 6.
6 is blown to the wall 90, reflected by the wall 90, and the air flow path is changed by the second rectifying plate 68.
4 is supplied evenly over the entire surface
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はファンフィルタユニ
ットに係り、特に防爆構造のクリーンルーム設備に適用
される防爆型ファンフィルタユニットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fan filter unit, and more particularly to an explosion proof fan filter unit applied to an explosion proof clean room facility.
【０００２】[0002]
【従来の技術】クリーンルーム設備は天井床に設けられ
たファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵ）でエア中の
塵埃を除去することで、クリーンルームを高い清浄度に
維持している。ＦＦＵ内はファンと清浄フィルタ（一般
にはＨＥＰＡ（High Efficiency Particle Air-filter
）またはＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air ）フ
ィルタ）とが設けられ、ファンによってクリーンルーム
に吹き出されるエアを清浄フィルタに通過させることで
清浄エアを供給する。2. Description of the Related Art In a clean room facility, a fan filter unit (hereinafter referred to as FFU) provided on a ceiling floor removes dust in the air to maintain the clean room at a high cleanliness level. The inside of the FFU is a fan and a cleaning filter (generally HEPA (High Efficiency Particle Air-filter
) Or ULPA (Ultra Low Penetration Air) filter) is provided, and clean air is supplied by passing the air blown into the clean room by the fan through the clean filter.
【０００３】このような、従来のＦＦＵを用いたローカ
ルリターン方式のクリーンルーム設備１０を図４に示
す。ＦＦＵ１２により供給された清浄エアはクリーンル
ーム１４に供給され、塵埃とともにクリーンルーム床面
のグレーチング床１６から床下チャンバ１８に排出され
る。床下チャンバ１８に排出された塵埃を含んだエア
は、一部をクリーンルーム設備外に排出し、残りをリタ
ーンエアとして天井チャンバ２０に戻される。天井チャ
ンバ２０に戻されたエアは、ＦＦＵ１２により再び除塵
されてクリーンルーム１４に清浄エアとして供給され
る。FIG. 4 shows such a conventional local return type clean room facility 10 using an FFU. The clean air supplied by the FFU 12 is supplied to the clean room 14, and is discharged together with dust from the grating floor 16 on the floor of the clean room to the underfloor chamber 18. The dust-containing air discharged to the underfloor chamber 18 is partially discharged to outside the clean room facility, and the rest is returned to the ceiling chamber 20 as return air. The air returned to the ceiling chamber 20 is dust-removed again by the FFU 12 and is supplied to the clean room 14 as clean air.
【０００４】ところで、磁気テープや液晶装置などを製
造するクリーンルーム設備においては有機溶剤を溶媒と
した塗付液を用いるため爆発などの危険性が高く、防爆
型のクリーンルーム設備が必要とされる。従来までは、
防爆型モータを用いたＦＦＵは存在しなかったが、図４
に示したローカルリターン方式のクリーンルーム設備１
０において、ファン３０に防爆型モータを用いて防爆型
のクリーンルーム設備とすることが考えられる。By the way, in a clean room facility for manufacturing a magnetic tape, a liquid crystal device, etc., since a coating solution using an organic solvent as a solvent is used, there is a high risk of explosion and the like, and an explosion proof clean room facility is required. Until now,
There was no FFU using an explosion-proof motor, but Fig. 4
Local-return type clean room equipment shown in 1
0, it is conceivable to use an explosion-proof motor for the fan 30 to provide an explosion-proof clean room facility.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ファン
３０はモータの鉛直軸で回転するファンのため、これに
背が高い防爆型モータを用いると、ファン３０の高さＨ
が高くなり、ＦＦＵ１２の高さが約８００〜９００ｍｍ
程度必要となる。したがって、ＦＦＵ１２を収納するた
めにクリーンルーム設備１０の天井高さも高く必要で、
これにより施工費用が高くなる欠点があった。However, since the fan 30 is a fan that rotates on the vertical axis of the motor, if a tall explosion-proof motor is used for this, the height H of the fan 30 will be H.
Becomes higher, and the height of the FFU 12 is approximately 800 to 900 mm.
You need some degree. Therefore, the ceiling height of the clean room facility 10 must be high in order to store the FFU 12,
This has a drawback that the construction cost becomes high.
【０００６】また、図５に示すようなローカルリターン
方式を用いない防爆型クリーンルーム設備３２も知られ
ている。この防爆型クリーンルーム設備３２は、防塵用
空調機２２を別途クリーンルーム設備３２外（防爆エリ
ア外）に設置して、ダクト２４から天井チャンバ３４に
清浄エアを供給し、天井面２６に敷設された清浄フィル
タ２８を通してクリーンルーム設備内に供給する（押し
込み方式クリーンルーム）。この防爆型クリーンルーム
設備３２では、天井チャンバ３４にＦＦＵを配置してい
ないため、クリーンルーム設備３２の天井高さを低くす
ることができる。An explosion-proof clean room facility 32 that does not use the local return system as shown in FIG. 5 is also known. In this explosion-proof clean room facility 32, the dust-proof air conditioner 22 is separately installed outside the clean room facility 32 (outside the explosion-proof area), and clean air is supplied from the duct 24 to the ceiling chamber 34 to clean the ceiling surface 26. It is supplied into the clean room facility through the filter 28 (push-in type clean room). In this explosion-proof clean room facility 32, since the FFU is not arranged in the ceiling chamber 34, the ceiling height of the clean room facility 32 can be reduced.
【０００７】しかし、この防爆型クリーンルーム設備３
２では、防塵用空調機２２によって天井面２６に敷設さ
れた清浄フィルタ２８の抵抗以上の圧力でエアを加圧す
る必要があり、天井チャンバ３４の静圧がクリーンルー
ム３６の静圧よりも高くなってしまう。このため、天井
面２６に隙間があると、この隙間を通り天井チャンバ３
４からクリーンルーム３６への気流が発生し、天井チャ
ンバ３４の塵埃がこの気流によってクリーンルーム３６
に侵入してしまう。したがって、クリーンルーム３６の
清浄度を向上させるためには、防爆型クリーンルーム設
備にもローカルリターン方式を採用することが望まし
い。However, this explosion-proof clean room equipment 3
In 2, it is necessary to pressurize the air by the dust-proof air conditioner 22 with a pressure equal to or higher than the resistance of the cleaning filter 28 laid on the ceiling surface 26, and the static pressure of the ceiling chamber 34 becomes higher than the static pressure of the clean room 36. I will end up. Therefore, if there is a gap in the ceiling surface 26, the ceiling chamber 3 passes through this gap.
4 to the clean room 36, dust in the ceiling chamber 34 is generated by the air flow in the clean room 36.
Invades. Therefore, in order to improve the cleanliness of the clean room 36, it is desirable to adopt the local return method also in the explosion-proof clean room equipment.
【０００８】本発明はこのような事情に鑑みて成された
もので、クリーンルーム設備の天井高さを低くでき、防
爆型クリーンルーム設備にローカルリターン方式を採用
可能とした防爆型ファンフィルタユニットを提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides an explosion-proof fan filter unit capable of reducing the ceiling height of the clean room facility and adopting a local return system for the explosion-proof clean room facility. The purpose is to
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、前記目的を達成するために、ケーシングと、該ケー
シングに設けられて駆動することによりエアをケーシン
グ内部のチャンバ空間に吸引するファンと、ケーシング
の開口部に敷設された清浄フィルタとを有し、ファンに
よって吸引した前記エアを清浄フィルタを介してクリー
ンルームに供給するファンフィルタユニットにおいて、
ケーシングのチャンバ空間内には前記ファンが収納配置
されるとともに、ファンによって吸引した前記エアを清
浄フィルタの全面に均等供給するための整流板が前記チ
ャンバ空間内に設けられ、前記整流板は第一の整流板と
第二の整流板と、から構成され、第一の整流板は、ファ
ンに近接して配置され、前記エアの流速を付勢するよう
に形成されるとともに、第二の整流板は、第一の整流板
によって付勢された前記エアを前記清浄フィルタに案内
するように形成されたことを特徴とする。In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 and a fan for sucking air into a chamber space inside the casing by driving the casing are provided. In a fan filter unit having a cleaning filter laid in the opening of the casing and supplying the air sucked by a fan to a clean room through the cleaning filter,
The fan is housed in the chamber space of the casing, and a rectifying plate for uniformly supplying the air sucked by the fan to the entire surface of the cleaning filter is provided in the chamber space. And a second straightening vane, wherein the first straightening vane is disposed close to the fan and is formed to bias the flow velocity of the air, and the second straightening vane is formed. Is configured to guide the air urged by the first straightening vane to the cleaning filter.
【００１０】本発明によれば、ファン、第一の整流板及
び、第二の整流板をチャンバ空間内に設け、ファンによ
って吸引したエアを清浄フィルタ全面に均等供給可能と
したので、防爆型ファンフィルタユニットを小型化しつ
つ、清浄フィルタの集塵効率を高くすることができる。According to the present invention, the fan, the first straightening vane, and the second straightening vane are provided in the chamber space, and the air sucked by the fan can be uniformly supplied to the entire surface of the cleaning filter. It is possible to increase the dust collection efficiency of the clean filter while reducing the size of the filter unit.
【００１１】また、ファンを駆動するモータを防爆モー
タとし、ファンをシロッコファンとして、防爆モータの
駆動軸とシロッコファンの回転軸とを水平同軸結合した
ので、防爆型クリーンルームに使用でき、チャンバ空間
内の整流室を大きく得ることが可能で、エアの攪拌及び
均一化を図ることができる。Further, since the motor for driving the fan is an explosion-proof motor, the fan is a sirocco fan, and the drive shaft of the explosion-proof motor and the rotation shaft of the sirocco fan are horizontally coaxially connected, so that the fan can be used in an explosion-proof clean room and can be used in a chamber space. It is possible to obtain a large rectifying chamber, and it is possible to stir and homogenize the air.
【００１２】更に、モータはインバータ制御で回転数調
整するので、火花などが発生することがなく、防爆の効
果を向上することができる。Further, since the motor adjusts the number of revolutions by inverter control, no spark is generated and the explosion-proof effect can be improved.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係る防爆型ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）の好まし
い実施形態について詳説する。図１は本発明に係る防爆
型ＦＦＵ４０を使用したローカルリターン方式の防爆型
クリーンルーム設備４２の概念図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of an explosion-proof fan filter unit (FFU) according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a conceptual diagram of a local return type explosion-proof clean room facility 42 using an explosion-proof FFU 40 according to the present invention.
【００１４】同図に示すように、防爆型クリーンルーム
設備４２の内部は主に天井チャンバ４４，クリーンルー
ム４６，床下チャンバ４８に大別され、それぞれは天井
面５０及びグレーチング床５４により区画されている。As shown in the figure, the interior of the explosion-proof clean room facility 42 is mainly divided into a ceiling chamber 44, a clean room 46, and an underfloor chamber 48, each of which is divided by a ceiling surface 50 and a grating floor 54.
【００１５】天井面５０に形成された清浄エア開口部５
２には、防爆型ＦＦＵ４０、４０…が各々設置されてい
る。また、クリーンルーム４６には磁気テープや液晶装
置の製造ラインなどが設置されている。クリーンルーム
４６の床面は、グレーチング床５４となっている。Clean air opening 5 formed on ceiling surface 50
2, explosion-proof FFUs 40, 40 ... Are installed respectively. Further, in the clean room 46, a magnetic tape, a liquid crystal device manufacturing line, and the like are installed. The floor surface of the clean room 46 is a grating floor 54.
【００１６】かかる構造のクリーンルーム設備によれ
ば、防爆型ＦＦＵ４０によって天井チャンバ４４内のエ
アを吸引し、防爆型ＦＦＵ４０のフィルタによってエア
中に含まれる塵埃を除去した後、防爆型ＦＦＵ４０の下
部吹出口から清浄エアをクリーンルーム４６に吹き出
す。クリーンルーム４６に吹き出された清浄エアは、グ
レーチング床５４から吸引されることにより、クリーン
ルーム４６において垂直層流（ダウンフロー）となって
流れる。そして、グレーチング床５４に吸引された後、
床下チャンバに送られる。このようなダウンフロー型の
クリーンルームによってクリーンルーム４６がＪＩＳク
ラス３〜５程度の清浄な環境に維持される。According to the clean room facility having such a structure, the explosion-proof FFU 40 sucks the air in the ceiling chamber 44, the filter of the explosion-proof FFU 40 removes the dust contained in the air, and then the lower outlet of the explosion-proof FFU 40. The clean air is blown out from the clean room 46. The clean air blown into the clean room 46 is sucked from the grating floor 54 to flow as a vertical laminar flow (downflow) in the clean room 46. Then, after being sucked into the grating floor 54,
Delivered to the underfloor chamber. With such a downflow type clean room, the clean room 46 is maintained in a clean environment of JIS class 3 to 5.
【００１７】ここで、天井チャンバ４４には図示しない
外気処理空調機から温度、湿度などが調整された外気エ
アが供給管６０から供給され、クリーンルーム４６が予
め設定された環境に保持されている。なお、天井面５０
に設置する防爆型ＦＦＵ４０は一台であっても複数台で
あっても良い。また、天井チャンバ４４にリターンエア
を戻すことなく、床下チャンバ４８に排出された全ての
エアを外気処理空調機を介させ、天井チャンバ４４に供
給する構造とした防爆型クリーンルーム設備であっても
よい。Here, the ceiling chamber 44 is supplied with outside air air whose temperature and humidity are adjusted from an outside air processing air conditioner (not shown) through the supply pipe 60, and the clean room 46 is maintained in a preset environment. The ceiling surface 50
The number of explosion-proof FFUs 40 installed in 1 may be one or more. Further, it may be an explosion-proof clean room facility having a structure in which all the air discharged to the underfloor chamber 48 is supplied to the ceiling chamber 44 through an outside air treatment air conditioner without returning the return air to the ceiling chamber 44. .
【００１８】図２は本発明に係る防爆型ファンフィルタ
ユニット（ＦＦＵ）４０の斜視図であり、図３は図２の
矢印Ａ−Ａにおける防爆型ＦＦＵ４０の断面図である。FIG. 2 is a perspective view of an explosion-proof fan filter unit (FFU) 40 according to the present invention, and FIG. 3 is a sectional view of the explosion-proof FFU 40 taken along the arrow AA in FIG.
【００１９】防爆型ＦＦＵ４０は、ケーシング６２内に
整流室７２，ファン装置７０，第一の整流板６６，第二
の整流板６８，清浄フィルタ６４などが内設されてい
る。In the explosion-proof FFU 40, a casing 62 is provided with a rectifying chamber 72, a fan device 70, a first rectifying plate 66, a second rectifying plate 68, a cleaning filter 64, and the like.
【００２０】ケーシング６２は耐食性の高いステンレス
鋼などの鋼板からなり、底面が開放された立方体形状に
形成されている。これにより、ケーシング６２の内部に
はチャンバ空間が形成されている。The casing 62 is made of a steel plate such as stainless steel having a high corrosion resistance, and has a cubic shape with an open bottom. As a result, a chamber space is formed inside the casing 62.
【００２１】チャンバ空間にはファン装置７０を構成す
るシロッコファン７６，防爆モータ７８などが設置され
ている。シロッコファン７６及び防爆モータ７８は、ケ
ーシング６２に固定されたフレーム７４を介してチャン
バ空間に支持されている。なお、このフレーム７４は棒
状のステンレス鋼で構成されている。シロッコファン７
６の羽根車８０と防爆モータ７８は、夫々の回転軸が水
平に同軸結合されており、防爆モータ７８が駆動される
と羽根車８０が回転される。また、防爆モータ７８は、
図示しない回転数調整手段を有しており、防爆モータ７
８がインバータ制御されている。なお、防爆モータ７８
としては耐圧防爆モータを用いることが望ましい。ま
た、防爆型ＦＦＵ４０内にエアを効率よく吸気させるた
めに、防爆モータ７８は出力が０．４ｋｗ程度が好まし
い。In the chamber space, a sirocco fan 76, an explosion-proof motor 78, etc., which constitute the fan device 70, are installed. The sirocco fan 76 and the explosion-proof motor 78 are supported in the chamber space via a frame 74 fixed to the casing 62. The frame 74 is made of rod-shaped stainless steel. Sirocco fan 7
The rotating shafts of the impeller 80 and the explosion-proof motor 78 of No. 6 are horizontally coaxially coupled, and when the explosion-proof motor 78 is driven, the impeller 80 is rotated. In addition, the explosion-proof motor 78
The explosion-proof motor 7 has a rotation speed adjusting means (not shown).
8 is controlled by an inverter. The explosion-proof motor 78
It is desirable to use a flameproof motor. Further, in order to efficiently draw air into the explosion-proof FFU 40, the explosion-proof motor 78 preferably has an output of about 0.4 kW.
【００２２】シロッコファン７６の上方の天面８２には
人の手や障害物の侵入を防止するファンガードを備えた
エア吸入用の吸気口８４が設けられている。これによ
り、シロッコファン７６の羽根車８０が回転すると、吸
気口８４よりエアが吸気され、このエアはシロッコファ
ン８０の側部に設けられたエア吸入部８８よりシロッコ
ファン７６の内部に更に吸引される。吸引されたエアは
シロッコファン７６から整流室７２に吹き出される。な
お、シロッコファン７６としては風量が１０００ｍ3／
ｈ以上であることが望ましく、好ましくは１２００〜１
５００ｍ3／ｈ程あれば良い。On the top surface 82 above the sirocco fan 76, there is provided an air intake port 84 for inhaling air, which is equipped with a fan guard for preventing human hands and obstacles from entering. As a result, when the impeller 80 of the sirocco fan 76 rotates, air is taken in through the intake port 84, and this air is further sucked into the sirocco fan 76 by the air intake portion 88 provided at the side portion of the sirocco fan 80. It The sucked air is blown out from the sirocco fan 76 into the rectifying chamber 72. The sirocco fan 76 has an air volume of 1000 m 3 /
h or more is desirable, and preferably 1200 to 1
It should be about 500 m 3 / h.
【００２３】第一の整流板６６は、フレーム７４に支持
されるとともにフレーム７４から整流室７２に突出して
形成されている。この第一の整流板６６は、フレーム７
４の整流室７２側の下端部から整流室７２に向けてやや
上方に傾斜されて取り付けられている。第一の整流板６
６が上方に傾斜されて取り付けられることで、シロッコ
ファン７６からのエアの送風（供給）流路の面積Ｂ（図
３参照）が狭まることからケーシング６２の壁９０に向
かうエアの流速は早くなる。The first straightening vane 66 is supported by the frame 74 and is formed so as to project from the frame 74 into the straightening chamber 72. The first straightening vane 66 is used for the frame 7
No. 4 is attached so as to be inclined slightly upward from the lower end of the rectifying chamber 72 toward the rectifying chamber 72. First straightening plate 6
Since 6 is attached so as to be inclined upward, the area B (see FIG. 3) of the air blowing (supply) flow path from the sirocco fan 76 is narrowed, so that the flow velocity of air toward the wall 90 of the casing 62 is increased. .
【００２４】第二の整流板６８は、ケーシング６２の壁
９０より整流室７２に向けて突出して配置され、天面８
２に対し平行に取り付けられている。この第二の整流板
６８は、ケーシング６２の長手方向と比較して幅方向が
長く形成されている。The second rectifying plate 68 is arranged so as to project from the wall 90 of the casing 62 toward the rectifying chamber 72, and has a top surface 8
It is mounted parallel to 2. The second rectifying plate 68 is formed so that the width direction is longer than the longitudinal direction of the casing 62.
【００２５】清浄フィルタ６４は、開放されたケーシン
グ６２の底面に敷設され、空気を濾過して清浄化するＨ
ＥＰＡまたはＵＬＰＡフィルタなどが用いられている。
この清浄フィルタ６４の上部（上流側）には、前述した
整流室７２が構成されている。なお、フレーム７４の下
端部と清浄フィルタ６４とは、所定の隙間をあけて配置
されている（図３参照）。The cleaning filter 64 is laid on the bottom surface of the opened casing 62 and filters H to clean air.
An EPA or ULPA filter or the like is used.
The rectifying chamber 72 described above is formed on the upper portion (upstream side) of the cleaning filter 64. The lower end of the frame 74 and the cleaning filter 64 are arranged with a predetermined gap (see FIG. 3).
【００２６】次に、上述した防爆型ＦＦＵ４０の作用を
説明する。Next, the operation of the above explosion-proof FFU 40 will be described.
【００２７】防爆モータ７８を駆動するとシロッコファ
ン７６の羽根車８０が回転し、天井チャンバ４４内（図
１参照）のエアが吸気口８４からファン装置７０内に吸
気される。ファン装置７０内のエアはシロッコファン７
６のエア吸入部８８に吸引された後、シロッコファン７
６から整流室７２に吹き出される。When the explosion-proof motor 78 is driven, the impeller 80 of the sirocco fan 76 rotates, and the air in the ceiling chamber 44 (see FIG. 1) is sucked into the fan unit 70 from the suction port 84. The air inside the fan device 70 is a sirocco fan 7.
6 is sucked into the air suction part 88, and then the sirocco fan 7
It is blown out from 6 to the rectification chamber 72.
【００２８】この防爆モータ７８はインバータ制御され
ており、ポール切り替えによる回転数調整を行わないた
め、火花が発生することがなく、防爆効果を向上するこ
とができる。Since the explosion-proof motor 78 is inverter-controlled and the rotation speed is not adjusted by switching the poles, no spark is generated and the explosion-proof effect can be improved.
【００２９】整流室７２のエアの流れを図３に矢印で示
す。The flow of air in the rectifying chamber 72 is shown by an arrow in FIG.
【００３０】整流室７２に吹き出されたエアは、第一の
整流板６６が上方に傾斜されて取り付けられていること
で、ケーシング６２の壁９０に向かう流速が速くなる。
壁９０に当たったエアは壁９０に反射されて送風流路が
変更される。その後、エアは第二の整流板６８にガイド
されることにより、清浄フィルタ６４の上面に向けて再
度、送風流路が変更され、清浄フィルタ６４の上面に向
けて送風される。The air blown into the flow regulating chamber 72 has a high flow velocity toward the wall 90 of the casing 62 because the first flow regulating plate 66 is attached so as to be inclined upward.
The air hitting the wall 90 is reflected by the wall 90 and the air flow passage is changed. After that, the air is guided by the second straightening plate 68, so that the air flow passage is changed again toward the upper surface of the cleaning filter 64, and is blown toward the upper surface of the cleaning filter 64.
【００３１】これにより整流室７２でエアが攪拌されて
均一化され、清浄フィルタ６４の全面に均等供給され
る。したがって、気流中の塵埃を清浄フィルタ６４で均
等に補足することができ、清浄フィルタ６４による集塵
効率が上がり、かつ使用寿命も延び、また、第一の整流
板６６及び第二の整流板６８によって、シロッコファン
７６の吸排気流による発生騒音も遮音、吸音することが
できる。As a result, the air is agitated in the rectifying chamber 72 and made uniform, and the air is uniformly supplied to the entire surface of the cleaning filter 64. Therefore, the dust in the air flow can be evenly captured by the cleaning filter 64, the efficiency of dust collection by the cleaning filter 64 is improved, and the service life is extended. Further, the first straightening plate 66 and the second straightening plate 68 are also provided. Thus, the noise generated by the intake / exhaust flow of the sirocco fan 76 can also be insulated and absorbed.
【００３２】清浄フィルタ６４の全面に均等供給された
エアは、清浄フィルタ６４により濾過され、塵埃が除去
されてクリーンルーム４６の空間に清浄エアとして供給
される。この際、防爆型ＦＦＵ４０からクリーンルーム
４６への清浄エアの吹き出し風速は０．３〜０．４ｍ／
ｓ程度で均一化される。The air uniformly supplied to the entire surface of the clean filter 64 is filtered by the clean filter 64 to remove dust, and is supplied to the space of the clean room 46 as clean air. At this time, the blowing speed of clean air from the explosion-proof FFU 40 to the clean room 46 is 0.3 to 0.4 m /
It becomes uniform in about s.
【００３３】以上、詳説したように本発明の実施形態に
係る防爆型ＦＦＵ４０は、ケーシング６２のチャンバ空
間にファン装置７０を収納し、防爆型ＦＦＵ４０の高さ
を５００〜７００ｍｍ程度に低くしたので、図４に示し
た従来のＦＦＵ１２を用いたクリーンルーム設備１０と
比較して、クリーンルーム設備の天井高さを低くするこ
とができる。As described above in detail, in the explosion-proof FFU 40 according to the embodiment of the present invention, the fan unit 70 is housed in the chamber space of the casing 62, and the height of the explosion-proof FFU 40 is lowered to about 500 to 700 mm. As compared with the clean room facility 10 using the conventional FFU 12 shown in FIG. 4, the ceiling height of the clean room facility can be reduced.
【００３４】また、第一の整流板６６及び第二の整流板
６８を整流室７２に設け、ファン装置７０から整流室７
２に吹き出されたエアを清浄フィルタ６４までガイド可
能とした。Further, the first rectifying plate 66 and the second rectifying plate 68 are provided in the rectifying chamber 72, and the fan device 70 to the rectifying chamber 7 are provided.
The air blown to 2 can be guided to the cleaning filter 64.
【００３５】更に、ファン装置７０にシロッコファン７
６を用いたことで、ファン装置７０を小型とする一方、
整流室７２の容積を大きく得ることができる。これによ
りファン装置７０から整流室７２に吹き出されたエア
は、整流室７２で、より効率よく攪拌されて均一化さ
れ、清浄フィルタ６４の全面にエアが均等供給される。Further, the fan device 70 is attached to the sirocco fan 7
By using 6, the fan device 70 can be downsized, while
The volume of the flow regulating chamber 72 can be increased. As a result, the air blown from the fan device 70 into the flow regulating chamber 72 is more efficiently agitated and uniformized in the flow regulating chamber 72, and the air is uniformly supplied to the entire surface of the cleaning filter 64.
【００３６】また、防爆モータ７８を用いているため、
気化した有機溶剤などに引火する危険がない。Since the explosion-proof motor 78 is used,
There is no danger of ignition of vaporized organic solvents.
【００３７】また更に、防爆モータ７８はインバータ制
御で回転数が制御されるので、防爆モータ７８の回転数
を切り換えるスイッチが不要となり、火花などが発生す
ることがなく、防爆の効果を上げることができる。Furthermore, since the rotation speed of the explosion-proof motor 78 is controlled by the inverter control, a switch for changing the rotation speed of the explosion-proof motor 78 is not required, so that sparks are not generated and the explosion-proof effect is improved. it can.
【００３８】これにより、本発明の実施形態の防爆型Ｆ
ＦＵ４０を用いれば、防爆型クリーンルーム設備にロー
カルリターン方式を採用することができる。Thus, the explosion-proof type F according to the embodiment of the present invention
If the FU40 is used, the local return system can be adopted in the explosion-proof clean room facility.
【００３９】なお、上述した本発明に係る防爆型ＦＦＵ
は、前記実施の形態に限定されるものではなく、第一の
整流板６６及び第二の整流板６８は、パンチング孔を有
したパンチングメタル材を用いて構成しても良い。この
場合、シロッコファン７６からのエアは、第一の整流板
６６及び第二の整流板６８に設けられたパンチング孔に
より整流室７２を分散整流されて攪拌され、更なる均一
化を図ることができる。The explosion-proof FFU according to the present invention described above.
However, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and the first straightening vane 66 and the second straightening vane 68 may be made of a punching metal material having punching holes. In this case, the air from the sirocco fan 76 is dispersed and rectified in the rectifying chamber 72 by the punching holes provided in the first rectifying plate 66 and the second rectifying plate 68, and is agitated, so that further homogenization can be achieved. it can.
【００４０】更に、上述した実施形態では吸気口８４を
ケーシング６２の天面８２に設けたが、ファン装置７０
に近接した位置でケーシング６２側面に吸気口８４を設
ければ、自然落下してくる塵埃のファン装置７０への侵
入を防止できる。Further, although the intake port 84 is provided on the top surface 82 of the casing 62 in the above-described embodiment, the fan device 70
If the air intake port 84 is provided on the side surface of the casing 62 at a position close to, it is possible to prevent dust that naturally falls from entering the fan device 70.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上、詳説したように本発明に係る防爆
型ファンフィルタユニットによれば、ファン、第一の整
流板及び、第二の整流板をチャンバ空間内に設け、ファ
ンによって吸引したエアを清浄フィルタ全面に均等供給
可能としたので、防爆型ファンフィルタユニットを小型
化しつつ、清浄フィルタの集塵効率を高くすることがで
きる。また、ファンを駆動するモータを防爆モータと
し、ファンをシロッコファンとして、防爆モータの駆動
軸とシロッコファンの回転軸とを水平同軸結合したの
で、防爆型クリーンルームに使用でき、チャンバ空間内
の整流室を大きく得ることが可能で、エアの攪拌及び均
一化を図ることができる。更に、モータはインバータ制
御で回転数を調整するので、火花などが発生することが
なく、防爆の効果を向上することができる。As described above in detail, according to the explosion-proof fan filter unit according to the present invention, the fan, the first rectifying plate and the second rectifying plate are provided in the chamber space, and the air sucked by the fan is provided. Since it is possible to uniformly supply the cleaning filter to the entire surface, it is possible to increase the dust collecting efficiency of the cleaning filter while reducing the size of the explosion-proof fan filter unit. In addition, the motor that drives the fan is an explosion-proof motor, the fan is a sirocco fan, and the drive shaft of the explosion-proof motor and the rotation shaft of the sirocco fan are horizontally and coaxially connected, so it can be used in an explosion-proof clean room and can be used in a rectification chamber It is possible to obtain a large value, and it is possible to achieve stirring and homogenization of air. Furthermore, since the motor adjusts the number of revolutions by inverter control, sparks and the like do not occur and the explosion-proof effect can be improved.
【図１】本発明の実施形態に係る防爆型ＦＦＵを用いた
防爆型クリーンルーム設備の概念図FIG. 1 is a conceptual diagram of an explosion-proof clean room facility using an explosion-proof FFU according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施形態に係る防爆型ＦＦＵを示す斜
視図FIG. 2 is a perspective view showing an explosion-proof FFU according to an embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施形態に係る防爆型ＦＦＵの図２の
矢印Ａ−Ａにおける断面図3 is a cross-sectional view of the explosion-proof FFU according to the embodiment of the present invention taken along the arrow AA in FIG.
【図４】従来技術としてのＦＦＵを用いたローカルリタ
ーン方式のクリーンルーム設備を示す概念図FIG. 4 is a conceptual diagram showing a local return type clean room facility using an FFU as a conventional technique.
【図５】従来技術としての防爆型クリーンルーム設備の
概念図[Fig. 5] Conceptual diagram of explosion-proof clean room equipment as prior art
４０…防爆型ＦＦＵ（防爆型ファンフィルタユニッ
ト）、４２…防爆型クリーンルーム設備、４４…天井チ
ャンバ、４６…クリーンルーム、４８…床下チャンバ、
６２…ケーシング、６４…清浄フィルタ、６６…第一の
整流板、６８…第二の整流板、７６…シロッコファン、
７８…防爆モータ40 ... Explosion-proof FFU (explosion-proof fan filter unit), 42 ... Explosion-proof clean room equipment, 44 ... Ceiling chamber, 46 ... Clean room, 48 ... Underfloor chamber,
62 ... Casing, 64 ... Cleaning filter, 66 ... First rectifying plate, 68 ... Second rectifying plate, 76 ... Sirocco fan,
78 ... Explosion-proof motor
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大貫 敏之 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 Ｆターム(参考） 3L058 BD00 BE02 BF01 BG05 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Toshiyuki Onuki 1-14-1 Uchikanda, Chiyoda-ku, Tokyo Stand Plant Construction Co., Ltd. F term (reference) 3L058 BD00 BE02 BF01 BG05
Claims (3)
駆動することによりエアをケーシング内部のチャンバ空
間に吸引するファンと、ケーシングの開口部に敷設され
た清浄フィルタとを有し、ファンによって吸引した前記
エアを清浄フィルタを介してクリーンルームに供給する
ファンフィルタユニットにおいて、 ケーシングのチャンバ空間内には前記ファンが収納配置
されるとともに、前記ファンによって吸引した前記エア
を前記清浄フィルタの全面に均等供給するための整流板
がチャンバ空間内に設けられ、 前記整流板は第一の整流板と第二の整流板と、から構成
され、 第一の整流板は、ファンに近接して配置され、前記エア
の流速を付勢するように形成されるとともに、第二の整
流板は、第一の整流板によって付勢された前記エアを前
記清浄フィルタに案内するように形成されたことを特徴
とする防爆型ファンフィルタユニット。1. A casing comprising a casing, a fan provided in the casing to suck air into a chamber space inside the casing, and a cleaning filter laid in an opening of the casing. In a fan filter unit for supplying the air to a clean room via a clean filter, the fan is housed and arranged in a chamber space of a casing, and the air sucked by the fan is uniformly supplied to the entire surface of the clean filter. A rectifying plate for the chamber is provided in the chamber space, the rectifying plate is composed of a first rectifying plate and a second rectifying plate, the first rectifying plate is arranged in proximity to a fan, the air Is formed so as to energize the flow velocity of the air, and the second rectifying plate removes the air urged by the first rectifying plate. Ex fan filter unit, characterized in that it is formed to guide the serial cleaning filter.
であるとともに、前記ファンはシロッコファンであり、
前記防爆モータの駆動軸と、前記シロッコファンの回転
軸とが水平同軸結合されたことを特徴とする請求項１に
記載の防爆型ファンフィルタユニット。2. A motor for driving the fan is an explosion-proof motor, and the fan is a sirocco fan,
The explosion-proof fan filter unit according to claim 1, wherein a drive shaft of the explosion-proof motor and a rotation shaft of the sirocco fan are horizontally coaxially coupled.
であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の
防爆型ファンフィルタユニット。3. The explosion-proof fan filter unit according to claim 1, wherein the motor is an inverter-controlled motor.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002100813A JP2003294285A (en) | 2002-04-03 | 2002-04-03 | Explosion-proof fan filter unit |
Applications Claiming Priority (1)
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| Country | Link |
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102563793A (en) * | 2012-02-20 | 2012-07-11 | 刘立文 | Explosion-proof exhaust system |
| US8562722B2 (en) | 2010-12-22 | 2013-10-22 | Cooper Technologies Company | Structural reinforcements for filter assemblies |
| US8821622B2 (en) | 2010-12-22 | 2014-09-02 | Cooper Technologies Company | Pre-filtration and maintenance sensing for explosion-proof enclosures |
| JP2019211172A (en) * | 2018-06-07 | 2019-12-12 | 大成建設株式会社 | Apparatus for transporting light and conditioned air to explosion proof zone |
| JP2021167722A (en) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | Clean booth |
| TWI896842B (en) * | 2021-07-15 | 2025-09-11 | 日商西部技研股份有限公司 | Cleaning Shed |
-
2002
- 2002-04-03 JP JP2002100813A patent/JP2003294285A/en active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8562722B2 (en) | 2010-12-22 | 2013-10-22 | Cooper Technologies Company | Structural reinforcements for filter assemblies |
| US8821622B2 (en) | 2010-12-22 | 2014-09-02 | Cooper Technologies Company | Pre-filtration and maintenance sensing for explosion-proof enclosures |
| US8845793B2 (en) | 2010-12-22 | 2014-09-30 | Cooper Technologies Company | Structural reinforcements for filter assemblies |
| US9302213B2 (en) | 2010-12-22 | 2016-04-05 | Cooper Technologies Company | Pre-filtration and maintenance sensing for explosion-proof enclosures |
| CN102563793A (en) * | 2012-02-20 | 2012-07-11 | 刘立文 | Explosion-proof exhaust system |
| JP2019211172A (en) * | 2018-06-07 | 2019-12-12 | 大成建設株式会社 | Apparatus for transporting light and conditioned air to explosion proof zone |
| JP2021167722A (en) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | Clean booth |
| JP7102032B2 (en) | 2021-07-15 | 2022-07-19 | 株式会社西部技研 | Clean booth |
| TWI896842B (en) * | 2021-07-15 | 2025-09-11 | 日商西部技研股份有限公司 | Cleaning Shed |
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