JP2003285558A - 相変化型光記録媒体 - Google Patents
相変化型光記録媒体Info
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- JP2003285558A JP2003285558A JP2002090848A JP2002090848A JP2003285558A JP 2003285558 A JP2003285558 A JP 2003285558A JP 2002090848 A JP2002090848 A JP 2002090848A JP 2002090848 A JP2002090848 A JP 2002090848A JP 2003285558 A JP2003285558 A JP 2003285558A
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- recording
- optical recording
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 DVD−ROM並に大記録容量で記録線速が
3.5m/sから35m/sの広範囲かつ高速において
も、変調度を確保しオーバライトの繰り返し特性が良好
で保存信頼性の高い相変化型光記録媒体を提供する。 【解決手段】 相変化型光記録媒体の構成層として、例
えば基板上に(ZnS) 80(SiO2)20からなる第一
耐熱保護層、GaとSbとCaとNdとを含む相変化化
合物からなる記録層、(ZnS)80(SiO2)20から
なる第二耐熱保護層、Ag合金からなる反射放熱層およ
びアクリル樹脂からなる環境保護層を順次積層して設け
る。
3.5m/sから35m/sの広範囲かつ高速において
も、変調度を確保しオーバライトの繰り返し特性が良好
で保存信頼性の高い相変化型光記録媒体を提供する。 【解決手段】 相変化型光記録媒体の構成層として、例
えば基板上に(ZnS) 80(SiO2)20からなる第一
耐熱保護層、GaとSbとCaとNdとを含む相変化化
合物からなる記録層、(ZnS)80(SiO2)20から
なる第二耐熱保護層、Ag合金からなる反射放熱層およ
びアクリル樹脂からなる環境保護層を順次積層して設け
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電磁波、特にレー
ザ光を照射することにより記録層材料に光学的な変化を
生じさせ、情報の記録、再生、および消去・書き換えが
可能な高速、大容量、高密度記録に応用される相変化型
光記録媒体に関する。
ザ光を照射することにより記録層材料に光学的な変化を
生じさせ、情報の記録、再生、および消去・書き換えが
可能な高速、大容量、高密度記録に応用される相変化型
光記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】電磁波、特にレーザ光等の光ビームの照
射による情報の記録、再生、消去を行い書き換え、すな
わちオーバーライトが可能な光記録媒体の一つとして結
晶−非結晶相間、または結晶−結晶相間の相転移を利用
する、いわゆる相変化型光ディスクが知られている。こ
の相変化型光ディスクは、単一ビームによるオーバライ
トが可能であり、ドライブ側装置の光学系が単純なため
に、コンピュータやAV関連の記録媒体として使用され
ている。
射による情報の記録、再生、消去を行い書き換え、すな
わちオーバーライトが可能な光記録媒体の一つとして結
晶−非結晶相間、または結晶−結晶相間の相転移を利用
する、いわゆる相変化型光ディスクが知られている。こ
の相変化型光ディスクは、単一ビームによるオーバライ
トが可能であり、ドライブ側装置の光学系が単純なため
に、コンピュータやAV関連の記録媒体として使用され
ている。
【0003】このような相変化型光ディスクの記録材料
としては、これまでGe−Te、Ge−Te−Se、I
n−Sb、Ga−Sb、Ge−Sb−Te、Ag−In
−Sb−Te等の相変化化合物が用いられている。特
に、Ag−In−Sb−Teは、高感度で記録マークの
アモルファス部の輪郭が明確であるという特徴を有し、
マークエッジ記録用材料として使用されている。Ag−
In−Sb−Te系としては、特開平3−231889
号公報、特開平4−191089号公報、特開平4−2
32779号公報に開示されている。類系のAg−Sb
−Te系としては、特開平4−267192号公報、特
開平5−345478号公報に開示されている。
としては、これまでGe−Te、Ge−Te−Se、I
n−Sb、Ga−Sb、Ge−Sb−Te、Ag−In
−Sb−Te等の相変化化合物が用いられている。特
に、Ag−In−Sb−Teは、高感度で記録マークの
アモルファス部の輪郭が明確であるという特徴を有し、
マークエッジ記録用材料として使用されている。Ag−
In−Sb−Te系としては、特開平3−231889
号公報、特開平4−191089号公報、特開平4−2
32779号公報に開示されている。類系のAg−Sb
−Te系としては、特開平4−267192号公報、特
開平5−345478号公報に開示されている。
【0004】しかし、上記記録材料は、CD−RW(C
ompact Disk−Rewritable)等の
比較的低い記録密度を有する記録媒体として用いられる
ものであり、例えばDVD(Digital Vers
atile Disk)RAMやDVD−RW等に適用
する場合には、記録線速が3.5m/s(1倍速)程度
の低速ではオーバライトは可能であるが、2倍速以上に
なるとオーバライト特性が劣化するという問題が発生す
る。この劣化の原因は、上記相変化化合物からなる記録
材料の結晶化速度が遅いため、高記録線速下でのオーバ
ライトが困難になるためである。この対策として相変化
化合物中の組成分であるSbの組成量を増加して結晶化
速度を速くすることもできるが、この場合にはSb量の
増加により結晶化温度が低下してしまい、記録媒体の保
存時における特性劣化(保存特性)が大きくなるという
問題がある。
ompact Disk−Rewritable)等の
比較的低い記録密度を有する記録媒体として用いられる
ものであり、例えばDVD(Digital Vers
atile Disk)RAMやDVD−RW等に適用
する場合には、記録線速が3.5m/s(1倍速)程度
の低速ではオーバライトは可能であるが、2倍速以上に
なるとオーバライト特性が劣化するという問題が発生す
る。この劣化の原因は、上記相変化化合物からなる記録
材料の結晶化速度が遅いため、高記録線速下でのオーバ
ライトが困難になるためである。この対策として相変化
化合物中の組成分であるSbの組成量を増加して結晶化
速度を速くすることもできるが、この場合にはSb量の
増加により結晶化温度が低下してしまい、記録媒体の保
存時における特性劣化(保存特性)が大きくなるという
問題がある。
【0005】上記保存時における特性劣化の問題を解決
する方法として、Ag−In−Ge−Sb−Te系相変
化化合物からなる記録材料を用いることが特開平200
0−322740に開示されている。この記録材料は、
記録線速が3.0m/sから20m/sの範囲ではオー
バライトが可能なものであるが、更に高記録線速の場
合、例えば20m/sよりも高速の場合には対応するこ
とができない。
する方法として、Ag−In−Ge−Sb−Te系相変
化化合物からなる記録材料を用いることが特開平200
0−322740に開示されている。この記録材料は、
記録線速が3.0m/sから20m/sの範囲ではオー
バライトが可能なものであるが、更に高記録線速の場
合、例えば20m/sよりも高速の場合には対応するこ
とができない。
【0006】一方、高記録線速化用の材料としてGaS
b系相変化化合物が報告されている(「Phase−c
hange optical data storag
ein GaSb」、Applied Optics、
Vol.26、No.22115、November、
1987)。このGaSb系は、結晶化速度が極めて速
いと報告されているが、結晶化温度が350℃と非常に
高いため、記録材料を未記録状態とするための初期化工
程における初期結晶化が困難であるという難点がある。
b系相変化化合物が報告されている(「Phase−c
hange optical data storag
ein GaSb」、Applied Optics、
Vol.26、No.22115、November、
1987)。このGaSb系は、結晶化速度が極めて速
いと報告されているが、結晶化温度が350℃と非常に
高いため、記録材料を未記録状態とするための初期化工
程における初期結晶化が困難であるという難点がある。
【0007】更に、GaSb系相変化化合物にMo、
W、Ta、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Z
n、Cd、Al、Tl、Si、Ge、Sn、Pd、A
s、Bi、S、Se、Te等を添加し、特性の向上を試
みたものが米国特許4818666、5072423に
開示されているが、高速記録におけるオーバライト特
性、変調度、そして保存信頼性を同時に満足するもので
はない。
W、Ta、Ni、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Z
n、Cd、Al、Tl、Si、Ge、Sn、Pd、A
s、Bi、S、Se、Te等を添加し、特性の向上を試
みたものが米国特許4818666、5072423に
開示されているが、高速記録におけるオーバライト特
性、変調度、そして保存信頼性を同時に満足するもので
はない。
【0008】上記のように種々の相変化記録材料が報告
されているが、いずれも書き換え可能相変化型光記録媒
体として要求される特性を全て満足し得るものとは云え
なかった。特に、DVD−ROMと同様な高密度記録容
量であり、しかも記録線速が更に高速化(〜35m/
s)された場合に対応でき、オーバライト特性、変調
度、そして保存信頼性を同時に満足するような書き換え
可能相変化型光記録媒体の開発が課題となっている。
されているが、いずれも書き換え可能相変化型光記録媒
体として要求される特性を全て満足し得るものとは云え
なかった。特に、DVD−ROMと同様な高密度記録容
量であり、しかも記録線速が更に高速化(〜35m/
s)された場合に対応でき、オーバライト特性、変調
度、そして保存信頼性を同時に満足するような書き換え
可能相変化型光記録媒体の開発が課題となっている。
【0009】上記35m/sの高記録線速下でもオーバ
ライトができるためには、非晶相と結晶相との間の相転
移を利用する記録媒体においては、レーザビーム径が1
μmφとすると、レーザビームが35m/sの線速で回
転するディスク(Disk)上の一点を横切る速度は約
29nsecであり、このことから相変化記録媒体に要
求される結晶化時間は29nsec程度であることが計
算から求められる。更に高密度記録のDVDでは、使用
する光学系のレーザ波長が650nmと従来の780n
mより短くなるために、そのビーム径も1μmφより小
さくなり、レーザビームが35m/sの線速で回転する
ディスク上の一点を横切る速度は29nsecより更に
短くなる。例えば、ビーム径を0.7μmφとすると、
一点を横切る時間は約20nsecとなり、このような
短時間でオーバライト、即ち古いマークを消去(結晶
化)して新しいマークを書き換えることが要求される。
前述の従来技術であるAg−In−Sb−Te系、Ga
Sb系、Ge−Sb−Te系においてもこの時間内での
高速結晶化は可能であるが、保存信頼性や初期結晶化に
問題があり、35m/sの線速で特性を全て満足できる
ような記録材料は無かった。
ライトができるためには、非晶相と結晶相との間の相転
移を利用する記録媒体においては、レーザビーム径が1
μmφとすると、レーザビームが35m/sの線速で回
転するディスク(Disk)上の一点を横切る速度は約
29nsecであり、このことから相変化記録媒体に要
求される結晶化時間は29nsec程度であることが計
算から求められる。更に高密度記録のDVDでは、使用
する光学系のレーザ波長が650nmと従来の780n
mより短くなるために、そのビーム径も1μmφより小
さくなり、レーザビームが35m/sの線速で回転する
ディスク上の一点を横切る速度は29nsecより更に
短くなる。例えば、ビーム径を0.7μmφとすると、
一点を横切る時間は約20nsecとなり、このような
短時間でオーバライト、即ち古いマークを消去(結晶
化)して新しいマークを書き換えることが要求される。
前述の従来技術であるAg−In−Sb−Te系、Ga
Sb系、Ge−Sb−Te系においてもこの時間内での
高速結晶化は可能であるが、保存信頼性や初期結晶化に
問題があり、35m/sの線速で特性を全て満足できる
ような記録材料は無かった。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な問題点に鑑みてなされたもので、その目的はDVD−
ROM並に大記録容量で記録線速が3.5m/sから3
5m/sの広範囲かつ高速においても、十分な変調度を
確保し、オーバライトの繰り返し特性が良好で保存信頼
性の高い相変化型光記録媒体を提供することにある。
な問題点に鑑みてなされたもので、その目的はDVD−
ROM並に大記録容量で記録線速が3.5m/sから3
5m/sの広範囲かつ高速においても、十分な変調度を
確保し、オーバライトの繰り返し特性が良好で保存信頼
性の高い相変化型光記録媒体を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために記録媒体の記録層を構成する材料に着
目して鋭意研究を重ねた結果、記録材料としてGaと、
Sbと、Caと、Ndとを含む相変化化合物を用いたと
きに上記課題を解決することができると共に、該相変化
化合物にAg、Cu、N、Ge、Fe、Inから選ばれ
る一つの元素を添加することにより、保存信頼性が更に
向上することを見出し、この知見に基づいて本発明を完
成するに到った。
を解決するために記録媒体の記録層を構成する材料に着
目して鋭意研究を重ねた結果、記録材料としてGaと、
Sbと、Caと、Ndとを含む相変化化合物を用いたと
きに上記課題を解決することができると共に、該相変化
化合物にAg、Cu、N、Ge、Fe、Inから選ばれ
る一つの元素を添加することにより、保存信頼性が更に
向上することを見出し、この知見に基づいて本発明を完
成するに到った。
【0012】すなわち、記録層を構成する材料として本
発明では、GaSb化合物の持つ高速結晶化特性に注目
し、このGaSbの2元素を高速結晶化のための構成元
素として利用する一方、GaSb化合物の欠点である高
い結晶温度によってもたらされる初期結晶化の困難さ
を、Caを組成分として加えることによって解決した。
つまり、Caを組成分として加えることによってGaS
b系化合物の結晶化温度が下がり、高速結晶化が実現す
ると共に、更に十分高い変調度を獲得することができ
た。また、上記化合物に更に組成分としてNdを加える
ことによって記録層の保存信頼性とオーバーライト特性
の向上を実現した。
発明では、GaSb化合物の持つ高速結晶化特性に注目
し、このGaSbの2元素を高速結晶化のための構成元
素として利用する一方、GaSb化合物の欠点である高
い結晶温度によってもたらされる初期結晶化の困難さ
を、Caを組成分として加えることによって解決した。
つまり、Caを組成分として加えることによってGaS
b系化合物の結晶化温度が下がり、高速結晶化が実現す
ると共に、更に十分高い変調度を獲得することができ
た。また、上記化合物に更に組成分としてNdを加える
ことによって記録層の保存信頼性とオーバーライト特性
の向上を実現した。
【0013】上記のようなGaとSbとCaとNdとを
含む相変化化合物の高速結晶化の詳細は明確ではないが
GaSbの最隣接原子間距離が非晶相の場合に2.65
Å、結晶相の場合に2.64Åと極めて近いためと考え
られる。また、結晶化温度の低下はCaの共有結合性が
弱く、これによってGaSbの結合力を弱める働きをす
ると同時に、原子の再配列を容易にするため、結晶化速
度を増すことができると考えられる。更に、Caを加え
ることによりGaSbと較べて、その非晶相と結晶相の
構造の変化が大きくなり、相変化に伴う二相間の光学定
数の変化が大きくなる結果、十分な変調度を実現するこ
とができる。また、Ndを加えることによって保存信頼
性とオーバライト特性が向上する理由は、詳細は不明で
あるが、Ndの添加により、不動体を作り酸化の進行を
防止するためと考えられる。以下、上記相変化化合物を
記録層に用いた本発明について具体的に説明する。
含む相変化化合物の高速結晶化の詳細は明確ではないが
GaSbの最隣接原子間距離が非晶相の場合に2.65
Å、結晶相の場合に2.64Åと極めて近いためと考え
られる。また、結晶化温度の低下はCaの共有結合性が
弱く、これによってGaSbの結合力を弱める働きをす
ると同時に、原子の再配列を容易にするため、結晶化速
度を増すことができると考えられる。更に、Caを加え
ることによりGaSbと較べて、その非晶相と結晶相の
構造の変化が大きくなり、相変化に伴う二相間の光学定
数の変化が大きくなる結果、十分な変調度を実現するこ
とができる。また、Ndを加えることによって保存信頼
性とオーバライト特性が向上する理由は、詳細は不明で
あるが、Ndの添加により、不動体を作り酸化の進行を
防止するためと考えられる。以下、上記相変化化合物を
記録層に用いた本発明について具体的に説明する。
【0014】本発明は、基板上に構成層として少なくと
も相変化化合物からなる記録層を設け、該記録層に電磁
波を照射して可逆的相変化を起生し、該相変化に伴う光
学定数の変化を利用して情報の記録、再生、消去・書き
換えを行う相変化型光記録媒体において、該相変化化合
物が、Gaと、Sbと、Caと、Ndとを含む化合物で
あることを特徴とする相変化型光記録媒体である。この
ようなGaとSbとCaとNdとを含む相変化化合物を
記録層として設けることにより、DVD−ROM並に大
記録容量で記録線速が3.5m/sから35m/sの広
範囲かつ高速においても、十分な変調度特性、良好なオ
ーバライトとその繰り返し特性、高い保存信頼性有する
相変化型光記録媒体の提供が可能となる。
も相変化化合物からなる記録層を設け、該記録層に電磁
波を照射して可逆的相変化を起生し、該相変化に伴う光
学定数の変化を利用して情報の記録、再生、消去・書き
換えを行う相変化型光記録媒体において、該相変化化合
物が、Gaと、Sbと、Caと、Ndとを含む化合物で
あることを特徴とする相変化型光記録媒体である。この
ようなGaとSbとCaとNdとを含む相変化化合物を
記録層として設けることにより、DVD−ROM並に大
記録容量で記録線速が3.5m/sから35m/sの広
範囲かつ高速においても、十分な変調度特性、良好なオ
ーバライトとその繰り返し特性、高い保存信頼性有する
相変化型光記録媒体の提供が可能となる。
【0015】本発明の相変化型光記録媒体における前記
構成層として、基板上に相変化化合物からなる記録層と
反射放熱層とが順に備えられ、該基板と該記録層との間
および/または該記録層と該反射放熱層との間に耐熱保
護層を順次設けるか、更に前記反射放熱層の表面に環境
保護層を設けることにより、大容量、高記録線速下にお
ける、変調度確保、オーバライトの繰り返し特性維持、
保存信頼性保持が達成された相変化型光記録媒体の提供
が可能となる。
構成層として、基板上に相変化化合物からなる記録層と
反射放熱層とが順に備えられ、該基板と該記録層との間
および/または該記録層と該反射放熱層との間に耐熱保
護層を順次設けるか、更に前記反射放熱層の表面に環境
保護層を設けることにより、大容量、高記録線速下にお
ける、変調度確保、オーバライトの繰り返し特性維持、
保存信頼性保持が達成された相変化型光記録媒体の提供
が可能となる。
【0016】また、前記相変化化合物の組成式をGaα
SbβCaγNdδ(式中α+β+γ+δ=100(原
子%))とするとき、各元素の組成量α、β、γ、δを
それぞれ;4≦α≦51、45≦β≦94、1≦γ≦1
0、0.1≦δ≦2の範囲とすることにより、大容量、
高記録線速への対応と、十分な変調度特性、良好なオー
バライトとその繰り返し特性、高い保存信頼性とを両立
させさた相変化型光記録媒体の提供が可能となる。
SbβCaγNdδ(式中α+β+γ+δ=100(原
子%))とするとき、各元素の組成量α、β、γ、δを
それぞれ;4≦α≦51、45≦β≦94、1≦γ≦1
0、0.1≦δ≦2の範囲とすることにより、大容量、
高記録線速への対応と、十分な変調度特性、良好なオー
バライトとその繰り返し特性、高い保存信頼性とを両立
させさた相変化型光記録媒体の提供が可能となる。
【0017】前記相相変化化合物に、更にAg、Cu、
N、Ge、Fe、Inから選ばれる一つの元素を含有さ
せ、選ばれる一つの元素(X)を含有する層変化化合物
の組成式を(GaαSbβCaγNdδ)100-εX
ε(式中α+β+γ+δ=100、4≦α≦51、45
≦β≦94、1≦γ≦10、0.1≦δ≦20(原子
%))とするとき、元素(X)の組成量εを;0.1≦
ε≦10(原子%)とすることによって、更に保存信頼
性が向上した相変化型光記録媒体の提供が可能となる。
N、Ge、Fe、Inから選ばれる一つの元素を含有さ
せ、選ばれる一つの元素(X)を含有する層変化化合物
の組成式を(GaαSbβCaγNdδ)100-εX
ε(式中α+β+γ+δ=100、4≦α≦51、45
≦β≦94、1≦γ≦10、0.1≦δ≦20(原子
%))とするとき、元素(X)の組成量εを;0.1≦
ε≦10(原子%)とすることによって、更に保存信頼
性が向上した相変化型光記録媒体の提供が可能となる。
【0018】
【発明の実施の形態】本発明の相変化型光記録媒体にお
いては、基板上に構成層として記録層の他、耐熱保護
層、反射層、環境保護層等を設けることができ、目的や
要求特性に応じて構成層の形態が選ばれる。本発明の相
変化型光記録媒体を図面に基づいて説明する。本発明の
相変化型光記録媒体は、例えば図1〜図4に示したよう
な構成を有するものである。すなわち、基板1上に第一
耐熱保護層2、記録層3、第二耐熱保護層4、反射放熱
層5が順次設けられた構成(図1)とするか、あるいは
図1の構成の第二耐熱保護層4上に、更に環境保護層5
が設けられた構成(図2)とすることができる。また、
耐熱保護層は必ずしも記録層3の両側に設ける必要はな
いが、基板1がポリカーボネート樹脂のように耐熱性が
低い材料の場合には、図3、図4に示すように基板1と
記録層3との間に第一耐熱保護層2を設け、記録層3と
反射放熱層5との間の構成層(図1、図2における第二
耐熱保護層4)を省いた構成とすることもできる。な
お、これらの構成は実施の形態を説明するための例であ
って他の構成でもよいが、通常図2の構成形態が好まし
い。以下に各構成層について説明する。
いては、基板上に構成層として記録層の他、耐熱保護
層、反射層、環境保護層等を設けることができ、目的や
要求特性に応じて構成層の形態が選ばれる。本発明の相
変化型光記録媒体を図面に基づいて説明する。本発明の
相変化型光記録媒体は、例えば図1〜図4に示したよう
な構成を有するものである。すなわち、基板1上に第一
耐熱保護層2、記録層3、第二耐熱保護層4、反射放熱
層5が順次設けられた構成(図1)とするか、あるいは
図1の構成の第二耐熱保護層4上に、更に環境保護層5
が設けられた構成(図2)とすることができる。また、
耐熱保護層は必ずしも記録層3の両側に設ける必要はな
いが、基板1がポリカーボネート樹脂のように耐熱性が
低い材料の場合には、図3、図4に示すように基板1と
記録層3との間に第一耐熱保護層2を設け、記録層3と
反射放熱層5との間の構成層(図1、図2における第二
耐熱保護層4)を省いた構成とすることもできる。な
お、これらの構成は実施の形態を説明するための例であ
って他の構成でもよいが、通常図2の構成形態が好まし
い。以下に各構成層について説明する。
【0019】基板1に用いられる材料としては、一般に
ガラス、セラミックスまたは樹脂が用いられるが、樹脂
製基板が、成形性、コストの点から望ましい。樹脂の代
表例としては、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、
エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリロニトリル−
スチレン共重合樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレ
ン樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、ABS樹脂、ウ
レタン樹脂等が挙げられるが、加工性、光学特性等の点
からポリカーボネート樹脂が好ましい。また、基板1の
形状は、ディスク状、カード状またはシート状のいずれ
であってもよい。
ガラス、セラミックスまたは樹脂が用いられるが、樹脂
製基板が、成形性、コストの点から望ましい。樹脂の代
表例としては、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、
エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリロニトリル−
スチレン共重合樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレ
ン樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、ABS樹脂、ウ
レタン樹脂等が挙げられるが、加工性、光学特性等の点
からポリカーボネート樹脂が好ましい。また、基板1の
形状は、ディスク状、カード状またはシート状のいずれ
であってもよい。
【0020】耐熱保護層(第一耐熱保護層2または第二
耐熱保護層4)に用いられる材料としては、SiO2、
ZnO、ZrO2等の金属酸化物、AlN、Si3N4、
TiN等の窒化物、ZnS、In2S3、TaS3等の硫
化物、SiC、TiC、ZrC等の炭化物等が挙げられ
る。また、耐熱保護層の形成には、各種気相成膜法(真
空蒸着、スパッタリング、プラズマ、光CVD、イオン
プレーティング等)が用いられる。例えば、(ZnS)
・(SiO2)を用いてスパッタリング法により膜形成
を行うことにより耐熱保護層、すなわち誘電体層が形成
される。この誘電体層は、耐熱保護層としての機能と、
光干渉層としての機能を有することから、これらの機能
が最大限に発揮されるように層形成することが必要であ
る。そのためには、膜厚を200〜3000Å、特に3
50〜2000Åとすることが好ましい。200Å未満
の場合には耐熱保護層としての機能が失われ、一方30
00Åを超えると界面剥離が生じやすくなるので好まし
くない。
耐熱保護層4)に用いられる材料としては、SiO2、
ZnO、ZrO2等の金属酸化物、AlN、Si3N4、
TiN等の窒化物、ZnS、In2S3、TaS3等の硫
化物、SiC、TiC、ZrC等の炭化物等が挙げられ
る。また、耐熱保護層の形成には、各種気相成膜法(真
空蒸着、スパッタリング、プラズマ、光CVD、イオン
プレーティング等)が用いられる。例えば、(ZnS)
・(SiO2)を用いてスパッタリング法により膜形成
を行うことにより耐熱保護層、すなわち誘電体層が形成
される。この誘電体層は、耐熱保護層としての機能と、
光干渉層としての機能を有することから、これらの機能
が最大限に発揮されるように層形成することが必要であ
る。そのためには、膜厚を200〜3000Å、特に3
50〜2000Åとすることが好ましい。200Å未満
の場合には耐熱保護層としての機能が失われ、一方30
00Åを超えると界面剥離が生じやすくなるので好まし
くない。
【0021】記録層3に用いられる本発明の相変化化合
物は、前記のように組成式をGaαSbβCaγNdδ
(式中α+β+γ+δ=100(原子%))とすると
き、各元素の組成量α、β、γ、δは、それぞれ;4≦
α≦51、45≦β≦94、1≦γ≦10、0.1≦δ
≦2の範囲である。
物は、前記のように組成式をGaαSbβCaγNdδ
(式中α+β+γ+δ=100(原子%))とすると
き、各元素の組成量α、β、γ、δは、それぞれ;4≦
α≦51、45≦β≦94、1≦γ≦10、0.1≦δ
≦2の範囲である。
【0022】ここで、αとβがそれぞれ4原子%および
45原子%より少ないと結晶化速度が低下し、35m/
sの記録線速下でオーバライトが困難となる。一方、α
とβがそれぞれ51原子%および94原子%よりも多い
とオーバライトの繰り返し可能回数が低下する。また、
γが1原子%より少ないと結晶化温度が低くならず初期
結晶化が困難になると同時に、十分な変調度の確保がが
できなくなり、γが10原子%より多いと保存信頼性が
低下する。一方、δが0.1原子%より少ないと保存信
頼性とオーバライト特性が低下し、2原子%より多いと
記録感度が低下する。
45原子%より少ないと結晶化速度が低下し、35m/
sの記録線速下でオーバライトが困難となる。一方、α
とβがそれぞれ51原子%および94原子%よりも多い
とオーバライトの繰り返し可能回数が低下する。また、
γが1原子%より少ないと結晶化温度が低くならず初期
結晶化が困難になると同時に、十分な変調度の確保がが
できなくなり、γが10原子%より多いと保存信頼性が
低下する。一方、δが0.1原子%より少ないと保存信
頼性とオーバライト特性が低下し、2原子%より多いと
記録感度が低下する。
【0023】また、本発明では、GaとSbと、Ca
と、Ndからなる記録材料にAg、Cu、N、Ge、F
e、Inの中から選ばれる一つの元素を加えることで、
更に保存特性の向上を図ることができる。その詳細理由
は明確ではないが、いずれの元素の場合にも母材の未結
合手と結合して化合物の酸化を防止するためと考えられ
る。前記Ag、Cu、N、Ge、Fe、Inから選ばれ
る一つの元素(X)を含有する相変化化合物の組成式を
(GaαSbβCaγNdδ)100-εXε(式中α+β
+γ+δ=100、4≦α≦51、45≦β≦94、1
≦γ≦10、0.1≦δ≦20(原子%))とすると
き、元素(X)の組成量εは;0.1≦ε≦10(原子
%)の範囲である。元素(X)の組成量が0.1原子%
より少ないと保存特性向上の効果がなく、一方10原子
%より多いと結晶化速度を遅くして35m/sの線速下
でのオーバライトが困難となる。
と、Ndからなる記録材料にAg、Cu、N、Ge、F
e、Inの中から選ばれる一つの元素を加えることで、
更に保存特性の向上を図ることができる。その詳細理由
は明確ではないが、いずれの元素の場合にも母材の未結
合手と結合して化合物の酸化を防止するためと考えられ
る。前記Ag、Cu、N、Ge、Fe、Inから選ばれ
る一つの元素(X)を含有する相変化化合物の組成式を
(GaαSbβCaγNdδ)100-εXε(式中α+β
+γ+δ=100、4≦α≦51、45≦β≦94、1
≦γ≦10、0.1≦δ≦20(原子%))とすると
き、元素(X)の組成量εは;0.1≦ε≦10(原子
%)の範囲である。元素(X)の組成量が0.1原子%
より少ないと保存特性向上の効果がなく、一方10原子
%より多いと結晶化速度を遅くして35m/sの線速下
でのオーバライトが困難となる。
【0024】また、本発明の前記相変化化合物を含有す
る記録層3は、前記気相成膜法、例えばスパッタリング
法により膜形成が行われ、その膜厚は、100〜100
0Å、好ましくは200〜350Åである。100Åよ
り薄いと光吸収能が低下し、記録層としての機能を失
い、1000Åより厚いと透過光が少なくなるため、干
渉効果が期待できなくなる。
る記録層3は、前記気相成膜法、例えばスパッタリング
法により膜形成が行われ、その膜厚は、100〜100
0Å、好ましくは200〜350Åである。100Åよ
り薄いと光吸収能が低下し、記録層としての機能を失
い、1000Åより厚いと透過光が少なくなるため、干
渉効果が期待できなくなる。
【0025】反射放熱層5に用いられる材料としては、
高速記録に対応できる高熱伝導性のAg、Au、Cu等
の金属や合金、中でも例えばAg合金が用いられ、その
膜形成は前記各種気相成膜法、例えばスパッタリング法
により行うことができる。膜厚は、500Å〜2000
Å、好ましくは700Å〜1500Åである。
高速記録に対応できる高熱伝導性のAg、Au、Cu等
の金属や合金、中でも例えばAg合金が用いられ、その
膜形成は前記各種気相成膜法、例えばスパッタリング法
により行うことができる。膜厚は、500Å〜2000
Å、好ましくは700Å〜1500Åである。
【0026】環境保護層6に用いられる材料としては、
作業性が良く、均一な薄膜形成が可能であり、記録媒体
用としての機能を満足す耐環境性の優れた材料であれば
制約はないが、スピンコート等の手法によって薄膜が形
成できるエポキシ樹脂やアクリル樹脂等の樹脂材料が好
ましい。
作業性が良く、均一な薄膜形成が可能であり、記録媒体
用としての機能を満足す耐環境性の優れた材料であれば
制約はないが、スピンコート等の手法によって薄膜が形
成できるエポキシ樹脂やアクリル樹脂等の樹脂材料が好
ましい。
【0027】本発明の相変化型光記録媒体の記録、再
生、消去・書き換えには、電磁波(可視光、紫外線、赤
外線、電子線等)が用いられるが、光学系の搭載性、小
型化などから特に半導体レーザ光等の光ビームが好適で
ある。
生、消去・書き換えには、電磁波(可視光、紫外線、赤
外線、電子線等)が用いられるが、光学系の搭載性、小
型化などから特に半導体レーザ光等の光ビームが好適で
ある。
【0028】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を更に詳しく説
明するが、これら実施例によって、本発明は何ら限定さ
れるものではない。
明するが、これら実施例によって、本発明は何ら限定さ
れるものではない。
【0029】実施例1
前記図2に示す構成層と同じにして、トラックピッチ
0.7μm、溝深さ400Å、厚さ0.6mm、直径1
20mmφのポリカーボネート製基板1上に、第一耐熱
保護層2、記録層3、第二耐熱保護層4、反射放熱層5
をスパッタリング法により順次設けた。更に、反射放熱
層5の上には、スピンコート法によりアクリル樹脂から
なる環境保護層6を設けた。すなわち、第一耐熱保護層
2として(ZnS)80(SiO2)20を厚さ750Å
に、記録層3としてGa10Sb86Ca3Nd1を厚さ16
0オングストロームに、第二耐熱保護層4として(Zn
S)80(SiO2)20を厚さ300Åに、反射放熱層5
としてAg合金を厚さ1000Åにそれぞれ制御してス
パッタリング法により各層を積層した。得られた積層構
成最上層の反射放熱層5上にアクリル樹脂をスピンコー
トして環境保護層6を設け、評価用相変化型光記録媒体
を作製した。表1、2に各構成層の材料組成と膜厚をま
とめて示す。
0.7μm、溝深さ400Å、厚さ0.6mm、直径1
20mmφのポリカーボネート製基板1上に、第一耐熱
保護層2、記録層3、第二耐熱保護層4、反射放熱層5
をスパッタリング法により順次設けた。更に、反射放熱
層5の上には、スピンコート法によりアクリル樹脂から
なる環境保護層6を設けた。すなわち、第一耐熱保護層
2として(ZnS)80(SiO2)20を厚さ750Å
に、記録層3としてGa10Sb86Ca3Nd1を厚さ16
0オングストロームに、第二耐熱保護層4として(Zn
S)80(SiO2)20を厚さ300Åに、反射放熱層5
としてAg合金を厚さ1000Åにそれぞれ制御してス
パッタリング法により各層を積層した。得られた積層構
成最上層の反射放熱層5上にアクリル樹脂をスピンコー
トして環境保護層6を設け、評価用相変化型光記録媒体
を作製した。表1、2に各構成層の材料組成と膜厚をま
とめて示す。
【0030】実施例2〜9
実施例1において、記録層3として用いたGa10Sb86
Ca3Nd1に代えて、Ga44Sb54Ca1Nd1(実施例
2)、Ga9Sb86Ca4Nd1(実施例3)、Ga8Sb
86Ca4Nd0.5Ag1.5(実施例4)、Ga8Sb86Ca
4Nd0.5Cu1 .5(実施例5)、Ga9Sb85Ca3Nd1
Ge2(実施例6)、Ga9Sb85Ca3Nd2N1(実施
例7)、Ga9Sb85Ca3Nd2Fe1(実施例8)、G
a9Sb8 5Ca3Nd2In1(実施例9)とした以外は、
各構成層の材料組成と膜厚を実施例1とまったく同じに
してそれぞれの評価用相変化型光記録媒体を作製した。
表1、2に実施例2〜9それぞれの各構成層の材料組成
と膜厚をまとめて示す。
Ca3Nd1に代えて、Ga44Sb54Ca1Nd1(実施例
2)、Ga9Sb86Ca4Nd1(実施例3)、Ga8Sb
86Ca4Nd0.5Ag1.5(実施例4)、Ga8Sb86Ca
4Nd0.5Cu1 .5(実施例5)、Ga9Sb85Ca3Nd1
Ge2(実施例6)、Ga9Sb85Ca3Nd2N1(実施
例7)、Ga9Sb85Ca3Nd2Fe1(実施例8)、G
a9Sb8 5Ca3Nd2In1(実施例9)とした以外は、
各構成層の材料組成と膜厚を実施例1とまったく同じに
してそれぞれの評価用相変化型光記録媒体を作製した。
表1、2に実施例2〜9それぞれの各構成層の材料組成
と膜厚をまとめて示す。
【0031】
【表1】
【0032】
【表2】
【0033】比較例1〜5
実施例1において、記録層3として用いたGa10Sb86
Ca3Nd1に代えて、Ga50Sb50(比較例1)、Ga
12Sb88(比較例2)、Ga10Sb86Ca4(比較例
3)、Ga10Sb88Ge2(比較例4)、Ag1In3S
b80Te16(比較例5)とし、第一耐熱保護層4の膜厚
300Åを200Åとした以外は各構成層の材料組成と
膜厚を実施例1とまったく同じにしてそれぞれの評価用
相変化型光記録媒体を作製した。表3、4に比較例1〜
5それぞれの各構成層の材料組成と膜厚をまとめて示
す。
Ca3Nd1に代えて、Ga50Sb50(比較例1)、Ga
12Sb88(比較例2)、Ga10Sb86Ca4(比較例
3)、Ga10Sb88Ge2(比較例4)、Ag1In3S
b80Te16(比較例5)とし、第一耐熱保護層4の膜厚
300Åを200Åとした以外は各構成層の材料組成と
膜厚を実施例1とまったく同じにしてそれぞれの評価用
相変化型光記録媒体を作製した。表3、4に比較例1〜
5それぞれの各構成層の材料組成と膜厚をまとめて示
す。
【0034】
【表3】
【0035】
【表4】
【0036】上記実施例1〜9および比較例1〜5で得
られた評価用相変化型光記録媒体は非晶質であり、評価
に際して記録媒体を初期結晶化し未記録状態とした。な
お、実施例1〜9および比較例3、5の各評価用相変化
型光記録媒体については、高出力半導体レーザを用い、
出力700mWで初期結晶化(初期化)した。比較例
1、2、4の場合には、同レーザによる出力700mW
では初期化はうまく行かず、そのため1100mWの条
件で初期化した。、初期化の後、各評価用相変化型光記
録媒体(記録媒体)の再生信号特性、保存特性を下記に
より評価した。
られた評価用相変化型光記録媒体は非晶質であり、評価
に際して記録媒体を初期結晶化し未記録状態とした。な
お、実施例1〜9および比較例3、5の各評価用相変化
型光記録媒体については、高出力半導体レーザを用い、
出力700mWで初期結晶化(初期化)した。比較例
1、2、4の場合には、同レーザによる出力700mW
では初期化はうまく行かず、そのため1100mWの条
件で初期化した。、初期化の後、各評価用相変化型光記
録媒体(記録媒体)の再生信号特性、保存特性を下記に
より評価した。
【0037】評価に際しては、記録線速、記録パワーを
それぞれ3.5m/s(10mW)、15m/s(16
mW)、25m/s(26mW)、35m/s(36m
W)に設定して行った。また、記録用レーザの波長を6
50nmとし、EFM(Eight Fourteen
Modulation)ランダムパターンでオーバラ
イトの繰り返しを行い、再生信号特性の評価は3T信号
のジッタ値と、14T信号の変調度で行った。また、保
存特性は1000回オーバライトした記録媒体を80
℃、85%の温湿下で300時間保持した後の、オーバ
ライト1回目における3T信号のジッタ値と14T信号
の変調度で評価した。実施例1〜9の評価結果を表5
に、比較例1〜5の評価結果を表6にそれぞれ示す。
それぞれ3.5m/s(10mW)、15m/s(16
mW)、25m/s(26mW)、35m/s(36m
W)に設定して行った。また、記録用レーザの波長を6
50nmとし、EFM(Eight Fourteen
Modulation)ランダムパターンでオーバラ
イトの繰り返しを行い、再生信号特性の評価は3T信号
のジッタ値と、14T信号の変調度で行った。また、保
存特性は1000回オーバライトした記録媒体を80
℃、85%の温湿下で300時間保持した後の、オーバ
ライト1回目における3T信号のジッタ値と14T信号
の変調度で評価した。実施例1〜9の評価結果を表5
に、比較例1〜5の評価結果を表6にそれぞれ示す。
【0038】
【表5】
【0039】
【表6】
【0040】表5、6から明らかなように、本発明の相
変化化合物からなる記録材料を用いて構成された記録媒
体は、3.5m/s、15m/s、25m/s、35m
/sの広い範囲でかつ高記録線速、特に従来技術では困
難であった25m/s以上の線速においてもオーバライ
トが可能で、その再生信号のジッタ値と変調度が良好で
あり、保存信頼性とオーバライト繰り返し特性に優れて
いることが分かる。従来技術である比較例の記録材料と
してGa50Sb50化合物組成、あるいはGa12Sb88共
晶組成を用いた記録媒体は、高記録線速下でのオーバラ
イトは可能であるが、本発明の記録材料を用いた記録媒
体と比較して初期結晶化がし難く、ジッタ値、変調度、
保存信頼性、そしてオーバライトの繰り返し特性が劣っ
ている。また、GaSb系に添加元素としてCaを加え
た比較例3の場合は、変調度と初期結晶化は改善されて
いるもののオーバライトによる繰り返し特性と保存信頼
性が低下する。あるいは、GaSb系にGeを加えた比
較例4の場合は、保存信頼性は良好であるが、変調度が
低く、またオーバライトの繰り返し特性も良好とは云え
ない。更に、比較例5のAg−In−Sb−Te記録材
料は、線速が25m/s、35m/sではオーバライト
が不可能であった。
変化化合物からなる記録材料を用いて構成された記録媒
体は、3.5m/s、15m/s、25m/s、35m
/sの広い範囲でかつ高記録線速、特に従来技術では困
難であった25m/s以上の線速においてもオーバライ
トが可能で、その再生信号のジッタ値と変調度が良好で
あり、保存信頼性とオーバライト繰り返し特性に優れて
いることが分かる。従来技術である比較例の記録材料と
してGa50Sb50化合物組成、あるいはGa12Sb88共
晶組成を用いた記録媒体は、高記録線速下でのオーバラ
イトは可能であるが、本発明の記録材料を用いた記録媒
体と比較して初期結晶化がし難く、ジッタ値、変調度、
保存信頼性、そしてオーバライトの繰り返し特性が劣っ
ている。また、GaSb系に添加元素としてCaを加え
た比較例3の場合は、変調度と初期結晶化は改善されて
いるもののオーバライトによる繰り返し特性と保存信頼
性が低下する。あるいは、GaSb系にGeを加えた比
較例4の場合は、保存信頼性は良好であるが、変調度が
低く、またオーバライトの繰り返し特性も良好とは云え
ない。更に、比較例5のAg−In−Sb−Te記録材
料は、線速が25m/s、35m/sではオーバライト
が不可能であった。
【0041】
【発明の効果】基板上に構成層として少なくとも相変化
化合物からなる記録層を設け、該記録層に電磁波を照射
して可逆的相変化を起生し、該相変化に伴う光学定数の
変化を利用して情報の記録、再生、消去・書き換えを行
う相変化型光記録媒体の、該相変化化合物としてGa
と、Sbと、Caと、Ndとを含む化合物を用いること
により、DVD−ROM並に大記録容量で記録線速が
3.5m/sから35m/sの広範囲で、かつ高速にお
いても十分な変調度を確保し、オーバライトの繰り返し
特性が良好で保存信頼性に優れた相変化型光記録媒体が
提供される。
化合物からなる記録層を設け、該記録層に電磁波を照射
して可逆的相変化を起生し、該相変化に伴う光学定数の
変化を利用して情報の記録、再生、消去・書き換えを行
う相変化型光記録媒体の、該相変化化合物としてGa
と、Sbと、Caと、Ndとを含む化合物を用いること
により、DVD−ROM並に大記録容量で記録線速が
3.5m/sから35m/sの広範囲で、かつ高速にお
いても十分な変調度を確保し、オーバライトの繰り返し
特性が良好で保存信頼性に優れた相変化型光記録媒体が
提供される。
【図1】本発明の実施の形態における相変化型光記録媒
体を説明するための構成層例を示す概略断面図である。
体を説明するための構成層例を示す概略断面図である。
【図2】本発明の実施の形態における相変化型光記録媒
体を説明するための他の構成層例を示す概略断面図であ
る。
体を説明するための他の構成層例を示す概略断面図であ
る。
【図3】本発明の実施の形態における相変化型光記録媒
体を説明するための別の構成層例を示す概略断面図であ
る。
体を説明するための別の構成層例を示す概略断面図であ
る。
【図4】本発明の実施の形態における相変化型光記録媒
体を説明するための更に別の構成層例を示す概略断面図
である。
体を説明するための更に別の構成層例を示す概略断面図
である。
1 基板
2 第一耐熱保護層
3 記録層
4 第二耐熱保護層
5 反射放熱層
6 環境保護層
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 田代 浩子
東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式
会社リコー内
(72)発明者 水谷 未来
東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式
会社リコー内
(72)発明者 篠塚 道明
東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式
会社リコー内
(72)発明者 岩佐 博之
東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式
会社リコー内
Fターム(参考) 2H111 EA05 EA23 FA01 FA12 FA14
FB05 FB09 FB17 FB19 FB20
FB21 FB23 FB29 FB30
5D029 HA06 JA01 LB03
Claims (6)
- 【請求項1】 基板上に構成層として少なくとも相変化
化合物からなる記録層を設け、該記録層に電磁波を照射
して可逆的相変化を起生し、該相変化に伴う光学定数の
変化を利用して情報の記録、再生、消去・書き換えを行
う相変化型光記録媒体において、該相変化化合物が、G
aと、Sbと、Caと、Ndとを含む化合物であること
を特徴とする相変化型光記録媒体。 - 【請求項2】 前記構成層として、基板上に相変化化合
物からなる記録層と反射放熱層とが順に備えられ、該基
板と該記録層との間および/または該記録層と該反射放
熱層との間に耐熱保護層を順次設けたことを特徴とする
請求項1に記載の相変化型光記録媒体。 - 【請求項3】 前記反射放熱層の表面に環境保護層を設
けたことを特徴とする請求項2に記載の相変化型光記録
媒体。 - 【請求項4】 前記相変化化合物の組成式をGaαSb
βCaγNdδ(式中α+β+γ+δ=100(原子
%))とするとき、各元素の組成量α、β、γ、δがそ
れぞれ;4≦α≦51、45≦β≦94、1≦γ≦1
0、0.1≦δ≦2の範囲にあることを特徴とする請求
項1〜3のいずれかに記載の相変化型光記録媒体。 - 【請求項5】 前記相変化化合物が更にAg、Cu、
N、Ge、Fe、Inから選ばれる一つの元素を含有す
ることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の相
変化型光記録媒体。 - 【請求項6】 前記Ag、Cu、N、Ge、Fe、In
から選ばれる一つの元素(X)を含有する相変化化合物
の組成式を(GaαSbβCaγNdδ)10 0-εX
ε(式中α+β+γ+δ=100、4≦α≦51、45
≦β≦94、1≦γ≦10、0.1≦δ≦20(原子
%))とするとき、元素(X)の組成量εが;0.1≦
ε≦10(原子%)の範囲にあることを特徴とする請求
項5に記載の相変化型光記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002090848A JP2003285558A (ja) | 2002-03-28 | 2002-03-28 | 相変化型光記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002090848A JP2003285558A (ja) | 2002-03-28 | 2002-03-28 | 相変化型光記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003285558A true JP2003285558A (ja) | 2003-10-07 |
Family
ID=29236088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002090848A Pending JP2003285558A (ja) | 2002-03-28 | 2002-03-28 | 相変化型光記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003285558A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005044578A1 (ja) * | 2003-11-10 | 2005-05-19 | Ricoh Company, Ltd. | 光記録媒体及びその製造方法、スパッタリングターゲット、並びに光記録媒体の使用方法及び光記録装置 |
-
2002
- 2002-03-28 JP JP2002090848A patent/JP2003285558A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005044578A1 (ja) * | 2003-11-10 | 2005-05-19 | Ricoh Company, Ltd. | 光記録媒体及びその製造方法、スパッタリングターゲット、並びに光記録媒体の使用方法及び光記録装置 |
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